JP2009004649A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. アルミナと、第１のフラックスと、を含有したセラミック基体と、
   前記セラミック基体に内蔵された静電電極と、
   前記セラミック基体と前記静電電極との間に、第２のフラックスを含み、前記セラミック基体及び前記静電電極と接触するセラミック材と、を備え、
   前記セラミック材に含まれる前記第２のフラックスの含有率は、前記セラミック基体に含まれる前記第１のフラックスの含有率よりも高いことを特徴とする静電チャック。
2. 前記セラミック材は、アルミナを主成分とすることを特徴とする請求項１記載の静電チャック。
3. 前記第１のフラックスの含有率は、前記第２のフラックスを含有した前記セラミック材に比べて、前記セラミック基体がプラズマによる損傷を受けにくい値であることを特徴とする請求項１又は２記載の静電チャック。
4. 前記第１のフラックス及び前記第２のフラックスは、酸化珪素、炭酸カルシウム、及び酸化マグネシウムのうち、少なくともいずれか１種を含むことを特徴とする請求項１ないし３のうち、いずれか一項記載の静電チャック。
5. 前記セラミック基体に含まれる前記第１のフラックスの含有率は、１重量％以下であることを特徴とする請求項１ないし４のうち、いずれか一項記載の静電チャック。
6. 積層された複数のグリーンシートを焼成することにより形成されるセラミック基体と、前記セラミック基体に内蔵され、導電性ペーストを焼成することにより形成される静電電極と、を備え、
   前記セラミック基体に含まれるフラックスの含有率を、プラズマにより前記セラミック基体が損傷を受けにくい値とした静電チャックの製造方法であって、
   前記複数のグリーンシートは、少なくとも第１のグリーンシートと、第２のグリーンシートとを有し、
   前記第１及び第２のグリーンシートは、アルミナと、第１のフラックスと、を含み、
   前記第１のグリーンシートに、第２のフラックスを含んだ第１のアルミナペーストを形成する第１のアルミナペースト形成工程と、
   前記第１のアルミナペーストに、前記導電性ペーストを形成する導電性ペースト形成工程と、
   前記導電性ペーストと対向する部分の前記第２のグリーンシートに、前記第２のフラックスを含んだ第２のアルミナペーストを形成する第２のアルミナペースト形成工程と、
   前記第２のアルミナペーストと前記導電性ペーストとが接触するように、前記第１のアルミナペースト及び前記導電性ペーストが形成された前記第１のグリーンシートと、前記第２のアルミナペーストが形成された前記第２のグリーンシートとを積層させる積層工程と、
   前記積層工程後に、前記第１のアルミナペースト及び前記導電性ペーストが形成された前記第１のグリーンシートと、前記第２のアルミナペーストが形成された前記第２のグリーンシートとが積層された構造体を焼成する焼成工程と、を含み、
   前記第１及び第２のアルミナペーストに含まれる前記第２のフラックスの含有率を前記第１及び第２のグリーンシートに含まれる前記第１のフラックスの含有率よりも高くしたことを特徴とする静電チャックの製造方法。