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JP2009002857A - Circuit element measuring device - Google Patents

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JP2009002857A
JP2009002857A JP2007165331A JP2007165331A JP2009002857A JP 2009002857 A JP2009002857 A JP 2009002857A JP 2007165331 A JP2007165331 A JP 2007165331A JP 2007165331 A JP2007165331 A JP 2007165331A JP 2009002857 A JP2009002857 A JP 2009002857A
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Japan
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voltage
current
device under
measured
unit
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Pending
Application number
JP2007165331A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tsutomu Yamaguchi
力 山口
Keiichi Taguchi
圭一 田口
Takayuki Terajima
隆幸 寺島
Hideaki Tanaka
秀明 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hioki EE Corp
Original Assignee
Hioki EE Corp
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Publication date
Application filed by Hioki EE Corp filed Critical Hioki EE Corp
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  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Abstract

【課題】特にコンタクトチェック用の専用回路を必要とすることなく、簡便な方法でエラー原因であるコンタクト異常などを検出できるようにする。
【解決手段】被測定素子DUTに電圧を印加する信号発生部10と、被測定素子DUTに流れる電流を検出する電流検出部20と、被測定素子DUTの両端間の電圧を測定する電圧検出部30と、検出された電流と電圧とから所定の素子定数を算出する制御部50とを備えている回路素子測定装置において、電圧検出部30の検出電圧が所定の閾値以下である場合に電圧異常信号を出力する電圧判定部31と、電流検出部20の検出電流が所定の閾値以上の場合に電流異常信号を出力する電流判定部21とを有し、制御部50は、電圧異常信号と電流異常信号とに基づいて、信号発生部10側のHi側ソース端子Hcもしくは電圧検出部30側のHi側センス端子Hpの被測定素子DUTに対する接触状態の良否と、被測定素子DUT自体の良否とを判定する。
【選択図】図1
The present invention makes it possible to detect a contact abnormality or the like that causes an error by a simple method without requiring a dedicated circuit for contact check.
A signal generator for applying a voltage to a device under test DUT, a current detector 20 for detecting a current flowing through the device under test DUT, and a voltage detector for measuring a voltage across the device under test DUT. 30 and a control unit 50 that calculates a predetermined element constant from the detected current and voltage, a voltage abnormality occurs when the detection voltage of the voltage detection unit 30 is equal to or lower than a predetermined threshold value. The voltage determination unit 31 that outputs a signal and the current determination unit 21 that outputs a current abnormality signal when the detected current of the current detection unit 20 is equal to or greater than a predetermined threshold value. The control unit 50 includes the voltage abnormality signal and the current Based on the abnormality signal, the contact state of the Hi-side source terminal Hc on the signal generating unit 10 side or the Hi-side sense terminal Hp on the voltage detection unit 30 side with respect to the measured element DUT, and the measured element DUT itself Judges and not.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、被測定素子が固有的に備えているインピーダンスなどの素子定数を測定する回路素子測定装置に関し、さらに詳しく言えば、簡便な方法でコンタクトチェックが行える技術に関するものである。   The present invention relates to a circuit element measuring apparatus for measuring an element constant such as impedance inherently provided in an element to be measured, and more specifically to a technique that can perform a contact check by a simple method.

図3に示すように、回路素子測定装置は、その基本的な構成として、被測定素子DUTに電圧を印加する信号発生部10と、被測定素子DUTに流れる電流を検出する電流検出部20と、被測定素子DUTの両端の電圧を検出する電圧検出部30とを備え、検出した電圧と電流とからインピーダンスなどの素子定数を算出し、その測定値を図示しない表示部に表示する。   As shown in FIG. 3, the circuit element measuring apparatus has, as its basic configuration, a signal generator 10 that applies a voltage to the device under test DUT, and a current detector 20 that detects the current flowing through the device under test DUT. And a voltage detector 30 that detects the voltage across the measured element DUT, calculates an element constant such as impedance from the detected voltage and current, and displays the measured value on a display unit (not shown).

この構成において、信号発生部10および電流検出部20が信号のソース側で、電圧検出部30が信号のセンス側であるため、本明細書では、信号発生部10側のコンタクトピンをHi側ソース端子Hc,電流検出部20側のコンタクトピンをLo側ソース端子Lcとし、電圧検出部30側に設けられる2つのコンタクトピンのうち、Hi側のものをHi側センス端子Hp,Lo側のものをLo側センス端子Lpとしている。なお、Hiとは電位的に高い方、Loとは電位的に低い方である。   In this configuration, since the signal generation unit 10 and the current detection unit 20 are on the signal source side, and the voltage detection unit 30 is on the signal sense side, in this specification, the contact pin on the signal generation unit 10 side is referred to as the Hi side source. The terminal Hc, the contact pin on the current detection unit 20 side is the Lo side source terminal Lc, and the two contact pins provided on the voltage detection unit 30 side are those on the Hi side sense terminals Hp, Lo side. The Lo side sense terminal Lp is used. Note that Hi is the higher potential and Lo is the lower potential.

ところで、被測定素子が例えば高誘電率系の積層セラミックキャパシタなどの電圧依存性が高い素子である場合、印加電圧が適正であるかどうかを知る必要がある。   By the way, when the element to be measured is an element having high voltage dependency such as a high dielectric constant type multilayer ceramic capacitor, it is necessary to know whether or not the applied voltage is appropriate.

そのため、特許文献1に記載の発明では、電圧検出部30にコンパレータ機能を有する電圧判定部31を接続し、電圧判定部31にて検出された電圧があらかじめ設定されている上下限値を外れているかどうかを監視し、外れている場合には電圧異常として警報部32から警報を発するようにしている。   Therefore, in the invention described in Patent Document 1, a voltage determination unit 31 having a comparator function is connected to the voltage detection unit 30, and the voltage detected by the voltage determination unit 31 deviates from the preset upper and lower limit values. The alarm unit 32 issues a warning as a voltage abnormality if the voltage is off.

これによれば、電圧異常が自動的に検出され、警報などでユーザーに知らせることができるが、電圧異常の原因までは特定することができない。   According to this, the voltage abnormality is automatically detected and can be notified to the user by an alarm or the like, but the cause of the voltage abnormality cannot be specified.

例えば、被測定素子DUTの両端電圧が下限値よりも低くなる原因には、次の2つが挙げられる。(1)被測定素子DUT自体が内部でショート状態(低インピーダンス側)になっている場合。(2)Hi側ソース端子HcもしくはHi側センス端子Hpが接続されていない場合のコンタクト異常。   For example, there are the following two reasons why the voltage across the measured element DUT is lower than the lower limit. (1) When the device under test DUT itself is in a short state (low impedance side). (2) Contact abnormality when the Hi side source terminal Hc or the Hi side sense terminal Hp is not connected.

ユーザーとしては、被測定素子DUT自体がショートを起こしている場合には不良品として排除し、コンタクト異常の場合には再測定を行いたいが、その区別がつかない点で問題がある。   As a user, if the device under test DUT itself is short-circuited, it is rejected as a defective product, and it is desired to perform re-measurement in the case of contact abnormality, but there is a problem in that it cannot be distinguished.

この点について、特許文献2に記載の発明によれば、4端子のインピーダンス測定において、その測定を中断することなく、コンタクトチェックを行うことができる。   With respect to this point, according to the invention described in Patent Document 2, contact measurement can be performed without interrupting the measurement in the impedance measurement of four terminals.

すなわち、特許文献2に記載の発明では、図4に示すように、信号発生部10,電流検出部20および電圧検出部30を含む基本的な構成に加えて、Hi側ソース端子HcとHi側センス端子Hpとを含むHi側電流路に直流定電流を供給する第1直流定電流源41およびその電流源の振幅(直流電圧)を測定する第1直流電圧計42と、Lo側ソース端子LcとLo側センス端子Lpとを含むLo側電流路に直流定電流を供給する第2直流定電流源43およびその電流源の振幅(直流電圧)を測定する第2直流電圧計44とを備えた構成としている。   That is, in the invention described in Patent Document 2, as shown in FIG. 4, in addition to the basic configuration including the signal generation unit 10, the current detection unit 20, and the voltage detection unit 30, the Hi side source terminal Hc and the Hi side A first DC constant current source 41 for supplying a DC constant current to a Hi side current path including the sense terminal Hp, a first DC voltmeter 42 for measuring the amplitude (DC voltage) of the current source, a Lo side source terminal Lc, As a configuration provided with a second DC constant current source 43 that supplies a DC constant current to a Lo side current path including the Lo side sense terminal Lp, and a second DC voltmeter 44 that measures the amplitude (DC voltage) of the current source. Yes.

これによれば、第1直流電圧計42または第2直流電圧計44で、それぞれの電流路の直流電圧を測定することにより、各端子Hc,Lc,Lp,Lcと被測定素子DUT間のコンタクト異常を検出することができるが、2つの直流定電流源41,43および2つの直流電圧計42,44からなるコンタクトチェック用の専用回路を必要とするため、その分、コストが高くなる。   According to this, by measuring the DC voltage of each current path with the first DC voltmeter 42 or the second DC voltmeter 44, contact abnormality between each terminal Hc, Lc, Lp, Lc and the element DUT to be measured is detected. Although it can be detected, a dedicated circuit for contact check composed of two DC constant current sources 41 and 43 and two DC voltmeters 42 and 44 is required, and the cost is increased accordingly.

特開2000−147038号公報JP 2000-147038 A 特開2006−322821号公報JP 2006-322821 A

したがって、本発明の課題は、特にコンタクトチェック用の専用回路を必要とすることなく、簡便な方法でエラー原因であるコンタクト異常などを検出できるようにすることにある。   Therefore, an object of the present invention is to enable detection of a contact abnormality or the like that causes an error by a simple method without requiring a dedicated circuit for contact check.

上記課題を解決するため、第1の発明は、請求項1に記載されているように、被測定素子に電圧を印加する信号発生部と、上記被測定素子に流れる電流を検出する電流検出部と、上記被測定素子の両端間の電圧を測定する電圧検出部と、上記電流検出部にて検出された電流と上記電圧検出部にて検出された電圧とからインピーダンスなどの素子定数を算出して表示部に表示する制御部とを備えている回路素子測定装置において、上記電圧検出部にて検出された電圧が少なくとも所定の閾値以下である場合に電圧異常信号を上記制御部に出力する電圧判定部と、上記電流検出部にて検出された電流が所定の閾値以上の場合に電流異常信号を上記制御部に出力する電流判定部とを有し、上記制御部は、上記電圧異常信号と上記電流異常信号とに基づいて、上記信号発生部側のHi側ソース端子もしくは上記電圧検出部側のHi側センス端子の上記被測定素子に対する接触状態の良否と、上記被測定素子自体の良否とを判定することを特徴としている。   In order to solve the above-described problem, the first invention is a signal generation unit that applies a voltage to the device under measurement and a current detection unit that detects a current flowing through the device under measurement as described in claim 1. An element constant such as impedance is calculated from the voltage detection unit that measures the voltage across the measured element, the current detected by the current detection unit, and the voltage detected by the voltage detection unit. A voltage that outputs a voltage abnormality signal to the control unit when the voltage detected by the voltage detection unit is at least a predetermined threshold value or less. A determination unit; and a current determination unit that outputs a current abnormality signal to the control unit when the current detected by the current detection unit is greater than or equal to a predetermined threshold. The control unit includes the voltage abnormality signal and Based on the current abnormal signal Determining whether the contact state of the Hi-side source terminal on the signal generation unit side or the Hi-side sense terminal on the voltage detection unit side with respect to the element to be measured is good or bad. Yes.

第1の発明においては、請求項2に記載されているように、上記制御部は、上記電流判定部から上記電流異常信号が出力された場合には、上記被測定素子に異常ありとしてエラー信号を上記表示部に出力し、上記電圧判定部から上記電圧異常信号が出力された場合には、上記Hi側ソース端子,上記Hi側センス端子のいずれかに接触不良ありとしてエラー信号を上記表示部に出力する。   In the first invention, as described in claim 2, when the current abnormality signal is output from the current determination unit, the control unit determines that there is an abnormality in the measured element, and an error signal is output. Is output to the display unit, and if the voltage abnormality signal is output from the voltage determination unit, the display unit displays an error signal indicating that there is a contact failure in either the Hi-side source terminal or the Hi-side sense terminal. Output to.

また、第2の発明は、請求項3に記載されているように、Hi側ソース端子を介して被測定素子に電圧を印加する信号発生部と、Lo側ソース端子を介して上記被測定素子に流れる電流を検出する電流検出部と、Hi側センス端子およびLo側センス端子を介して上記被測定素子の両端間の電圧を測定する電圧検出部と、上記電流検出部にて検出された電流と上記電圧検出部にて検出された電圧とからインピーダンスなどの素子定数を算出して表示部に表示する制御部とを備えている回路素子測定装置において、上記制御部は、上記被測定素子の素子定数を測定する先だって、あらかじめ良品の被測定素子から吸収された電圧値,電流値を基準にして所定の閾値を有する良品電圧範囲,良品電流範囲を設定し、実際の測定時に上記被測定素子から得られる電圧,電流のモニタ値が、上記良品電圧範囲,良品電流範囲のいずれかから外れている場合には、上記被測定素子に接触されている上記各端子のなかに、接触不良があると判定することを特徴としている。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a signal generating unit for applying a voltage to the device under measurement via the Hi side source terminal, and the device under measurement via the Lo side source terminal. A current detection unit that detects a current flowing through the voltage sensor, a voltage detection unit that measures a voltage across the measured element via the Hi side sense terminal and the Lo side sense terminal, and a current detected by the current detection unit And a control unit that calculates an element constant such as an impedance from the voltage detected by the voltage detection unit and displays it on the display unit, the control unit includes: Prior to measuring the element constant, set the good voltage range and good current range having predetermined thresholds based on the voltage value and current value absorbed from the good measured element in advance, and the above measured element at the time of actual measurement If the monitored values of voltage and current obtained from the above are out of either the good voltage range or the good current range, there is a contact failure in each of the terminals that are in contact with the device under test. It is characterized by judging.

第2の発明においては、請求項4に記載されているように、上記制御部は、上記モニタ電圧値が上記良品電圧範囲よりも低く、かつ、上記モニタ電流値が上記良品電流範囲よりも小さい場合には、上記Hi側ソース端子もしくは上記Lo側ソース端子に接触不良ありと判定する。   According to a second aspect of the present invention, as described in claim 4, the control unit has the monitor voltage value lower than the non-defective voltage range and the monitor current value smaller than the non-defective current range. In this case, it is determined that there is a contact failure with the Hi-side source terminal or the Lo-side source terminal.

また、請求項5に記載されているように、上記被測定素子のインピーダンスが上記Lo側ソース端子に接続されている配線抵抗よりも低いことを条件として、上記制御部は、上記モニタ電流値が上記良品電流範囲内であるが、上記モニタ電圧値が上記良品電圧範囲から外れている場合には、上記Hi側センス端子もしくは上記Lo側センス端子に接触不良ありと判定する。   In addition, as described in claim 5, on the condition that the impedance of the element to be measured is lower than the wiring resistance connected to the Lo-side source terminal, the control unit has the monitor current value If it is within the non-defective product current range but the monitor voltage value is out of the non-defective product voltage range, it is determined that the Hi-side sense terminal or the Lo-side sense terminal has poor contact.

第1の発明によれば、電圧検出部にて検出された電圧が少なくとも所定の閾値以下である場合に電圧判定部から出力される電圧異常信号と、電流検出部にて検出された電流が所定の閾値以上の場合に電流判定部から出力される電流異常信号とに基づいて、信号発生部側のHi側ソース端子もしくは電圧検出部側のHi側センス端子の被測定素子に対する接触状態の良否と、被測定素子自体の良否とを判定することができる。   According to the first invention, the voltage abnormality signal output from the voltage determination unit and the current detected by the current detection unit are predetermined when the voltage detected by the voltage detection unit is at least a predetermined threshold value or less. On the basis of the current abnormality signal output from the current determination unit when the threshold value is equal to or greater than the threshold value, the contact state of the Hi-side source terminal on the signal generation unit side or the Hi-side sense terminal on the voltage detection unit side with respect to the measured element The quality of the element to be measured itself can be determined.

具体的には、電流判定部から電流異常信号が出力された場合には、被測定素子に異常ありと判定でき、電圧判定部から電圧異常信号が出力された場合には、Hi側ソース端子,Hi側センス端子のいずれかに接触不良ありと判定できる。   Specifically, when a current abnormality signal is output from the current determination unit, it can be determined that there is an abnormality in the element to be measured. When a voltage abnormality signal is output from the voltage determination unit, the Hi side source terminal, It can be determined that there is a contact failure in any of the Hi side sense terminals.

また、第2の発明によれば、制御部には、被測定素子の素子定数を測定する先だって、あらかじめ良品の被測定素子から吸収された電圧値,電流値を基準にして所定の閾値を有する良品電圧範囲,良品電流範囲が設定され、実際の測定時に上記被測定素子から得られる電圧,電流のモニタ値が、良品電圧範囲,良品電流範囲のいずれかから外れている場合には、被測定素子に接触されている各端子のなかに、接触不良があると判定することができる。   According to the second invention, the control unit has a predetermined threshold based on the voltage value and the current value absorbed in advance from a non-defective device under measurement before measuring the device constant of the device under measurement. When the good voltage range and good current range are set, and the monitored value of voltage and current obtained from the above measured device during actual measurement is out of either the good voltage range or good current range, It can be determined that there is a contact failure among the terminals in contact with the element.

具体的には、モニタ電圧値が良品電圧範囲よりも低く、かつ、モニタ電流値が上記良品電流範囲よりも小さい場合には、Hi側ソース端子もしくはLo側ソース端子に接触不良ありと判定することができる。   Specifically, when the monitor voltage value is lower than the non-defective product voltage range and the monitor current value is smaller than the non-defective product current range, it is determined that the Hi-side source terminal or the Lo-side source terminal has poor contact. Can do.

また、被測定素子のインピーダンスがLo側ソース端子に接続されている配線抵抗よりも低いことを条件として、モニタ電流値が上記良品電流範囲内であるが、モニタ電圧値が良品電圧範囲から外れている場合には、Hi側センス端子もしくはLo側センス端子に接触不良ありと判定することができる。   In addition, the monitor current value is within the above-mentioned non-defective current range on the condition that the impedance of the element to be measured is lower than the wiring resistance connected to the Lo side source terminal, but the monitor voltage value is out of the non-defective voltage range. If there is a contact failure, the Hi-side sense terminal or the Lo-side sense terminal can be determined to have a contact failure.

次に、図1,2により、本発明の第1,第2の2つの実施形態について説明する。図1は第1実施形態に係る回路素子測定装置を示す概略的な構成図、図2は第2実施形態に係る回路素子測定装置を示す概略的な構成図である。これらの図において、先に説明した図3,図4と同一の構成要素には同一の参照符号を用いている。   Next, the first and second embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a circuit element measuring apparatus according to the first embodiment, and FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a circuit element measuring apparatus according to the second embodiment. In these drawings, the same reference numerals are used for the same components as those in FIGS. 3 and 4 described above.

図1に示すように、第1実施形態に係る回路素子測定装置1Aは、その基本的な構成として、Hi側ソース端子Hcを介して被測定素子DUTに電圧を印加する信号発生部10と、Lo側ソース端子Lcを介して被測定素子DUTに流れる電流を検出する電流検出部20と、Hi側センス端子HpおよびLo側センス端子Lpを介して被測定素子DUTの両端間の電圧を測定する電圧検出部30とを備えている。なお、Routは信号発生部10の出力抵抗,Rfは電流検出部20の電流検出抵抗である。   As shown in FIG. 1, the circuit element measuring apparatus 1A according to the first embodiment has, as its basic configuration, a signal generator 10 that applies a voltage to the element DUT to be measured via the Hi-side source terminal Hc, The current detector 20 that detects the current flowing through the device under test DUT via the Lo side source terminal Lc, and the voltage across the device under test DUT through the Hi side sense terminal Hp and the Lo side sense terminal Lp are measured. And a voltage detection unit 30. Rout is an output resistance of the signal generation unit 10 and Rf is a current detection resistance of the current detection unit 20.

電圧検出部30には、コンパレータ機能を有する電圧判定部31が接続されている。電圧判定部31には、閾値として所定の上下限値が設定され、電圧検出部30での検出電圧がその閾値からはずれた場合に電圧異常信号が出力されるが、この第1実施形態に係る回路素子測定装置1Aは、被測定素子DUTの両端電圧が下限値よりも低くなった場合、それが(1)被測定素子DUT自体が内部でショート状態(低インピーダンス側)になっていることによるものなのか、(2)Hi側ソース端子HcもしくはHi側センス端子Hpが接続されていないコンタクト異常によるものなのかを判断可能とすることを課題としているため、以下の説明において、電圧判定部31から電圧異常信号が出力されるのは、電圧検出部30での検出電圧が下限値を下回った場合であると理解されたい。   A voltage determination unit 31 having a comparator function is connected to the voltage detection unit 30. A predetermined upper and lower limit value is set as a threshold value in the voltage determination unit 31, and a voltage abnormality signal is output when the detection voltage in the voltage detection unit 30 deviates from the threshold value, but according to the first embodiment When the voltage across the measured element DUT is lower than the lower limit value, the circuit element measuring apparatus 1A is (1) because the measured element DUT itself is in a short state (low impedance side). It is an object to make it possible to determine whether this is due to a contact abnormality in which the Hi-side source terminal Hc or the Hi-side sense terminal Hp is not connected. It should be understood that the abnormal voltage signal is output from the case where the voltage detected by the voltage detector 30 falls below the lower limit value.

この第1実施形態に係る回路素子測定装置1Aにおいては、電流検出部20にも電流判定部21が接続される。電流判定部21は、電流検出部20にて検出された電流が所定の閾値以上の場合に電流異常信号(電流オーバー信号)を出力する。   In the circuit element measuring apparatus 1A according to the first embodiment, the current determination unit 21 is also connected to the current detection unit 20. The current determination unit 21 outputs a current abnormality signal (current over signal) when the current detected by the current detection unit 20 is equal to or greater than a predetermined threshold.

電圧判定部31から出力される電圧異常信号および電流判定部21から出力される電流異常信号は、それがアナログ信号である場合には図示しないA/D変換器でデジタル信号に変換されて制御部50に与えられる。制御部50には、CPU,MPUやマイクロコンピュータなどが用いられてよい。   When the voltage abnormality signal output from the voltage determination unit 31 and the current abnormality signal output from the current determination unit 21 are analog signals, they are converted into digital signals by an A / D converter (not shown), and the control unit 50. The control unit 50 may be a CPU, MPU, microcomputer, or the like.

制御部50は、電圧判定部31から出力される電圧異常信号と、電流判定部21から出力される電流異常信号とに基づいてコンタクト異常であるか、被測定素子DUTが不良品であるかを判断する。   Based on the voltage abnormality signal output from the voltage determination unit 31 and the current abnormality signal output from the current determination unit 21, the control unit 50 determines whether there is a contact abnormality or whether the device under test DUT is defective. to decide.

表1に、その判断の論理表を示すが、電圧異常信号,電流異常信号がともに出力されない場合は、被測定素子DUTは正常であると判断できる。   Table 1 shows a logical table for the determination. When neither a voltage abnormality signal nor a current abnormality signal is output, it can be determined that the device under test DUT is normal.

Figure 2009002857
Figure 2009002857

電圧異常信号がなく、電流異常信号のみが出力された場合には、被測定素子DUTが測定レンジを外れる低インピーダンスであると判断されるので、警報部60を動作させてユーザーに知らせる。なお、警報部は表示部と読み替えられてもよい。   When there is no voltage abnormality signal and only a current abnormality signal is output, it is determined that the device under test DUT has a low impedance outside the measurement range, so the alarm unit 60 is operated to notify the user. The alarm unit may be read as a display unit.

また、電圧異常信号,電流異常信号がともに出力された場合には、被測定素子DUTの両端電圧が下限値を下回っており、かつ、所定の閾値(上限値)を上回る大きな電流が流れていることになるため、被測定素子DUT自体が内部でショートを起こしていると判断して、警報部60を動作させてユーザーに知らせる。   When both the voltage abnormality signal and the current abnormality signal are output, the voltage across the measured element DUT is below the lower limit value, and a large current that exceeds a predetermined threshold (upper limit value) flows. Therefore, it is determined that the device under test DUT itself is short-circuited inside, and the alarm unit 60 is operated to notify the user.

また、電圧異常信号のみが出力され、電流異常信号が出されない場合には、Hi側ソース端子HcもしくはHi側センス端子Hpが被測定素子DUTに接続されていないコンタクト異常と判断できるため、警報部60を動作させてユーザーに知らせる。   When only the voltage abnormality signal is output and the current abnormality signal is not output, it is possible to determine that the Hi side source terminal Hc or the Hi side sense terminal Hp is not connected to the element DUT to be measured. Operate 60 to inform the user.

この第1実施形態に係る回路素子測定装置1Aによれば、被測定素子DUT不良の場合と、コンタクト異常の場合とで警報部60の警報形態(もしくは表示部の表示形態)を変えることにより、エラー表示がなされた場合、それがコンタクト異常によるものなのか、被測定素子DUT不良によるものなのかを識別することができる。   According to the circuit element measuring apparatus 1A according to the first embodiment, by changing the alarm mode (or display mode of the display unit) of the alarm unit 60 between the case of the measured element DUT failure and the case of contact abnormality, When an error is displayed, it is possible to identify whether the error is due to contact abnormality or due to a failure of the element DUT to be measured.

次に、図2により、第2実施形態に係る回路素子測定装置1Bについて説明する。この回路素子測定装置1Bは、計測対象を特に低インピーダンスの被測定素子DUTとして設計され、そのコンタクト異常をもっぱら制御部50のソフトウェアにより検出する。   Next, a circuit element measuring apparatus 1B according to the second embodiment will be described with reference to FIG. In this circuit element measuring apparatus 1B, the measurement target is designed as a measured element DUT having a low impedance, and the contact abnormality is exclusively detected by software of the control unit 50.

そのため、上記第1実施形態に係る回路素子測定装置1Aから電流判定部21と電圧判定部31とを外した構成とし、電流検出部20にて検出された電流と、電圧検出部30にて検出された電圧とが、図示しないA/D変換器を介して制御部50に取り込まれる。なお、図2において、RhcはHi側ソース端子Hcに接続されるケーブルの配線抵抗、RlcはLo側ソース端子Lcに接続されるケーブルの配線抵抗である。   Therefore, the current determination unit 21 and the voltage determination unit 31 are removed from the circuit element measurement apparatus 1A according to the first embodiment, and the current detected by the current detection unit 20 and the voltage detection unit 30 are detected. The obtained voltage is taken into the control unit 50 via an A / D converter (not shown). In FIG. 2, Rhc is the wiring resistance of the cable connected to the Hi-side source terminal Hc, and Rlc is the wiring resistance of the cable connected to the Lo-side source terminal Lc.

この第2実施形態に係る回路素子測定装置1Bでは、まず、同測定装置1Bの4端子計測にて良品の被測定素子DUTから吸収した電圧値,電流値が制御部50のメモリ51に格納される。   In the circuit element measuring apparatus 1B according to the second embodiment, first, the voltage value and the current value absorbed from the non-defective measured element DUT in the four-terminal measurement of the measuring apparatus 1B are stored in the memory 51 of the control unit 50. The

この例において、表2に示すように、良品の被測定素子DUTから吸収した電圧値は0.002V,電流値は19.61mAである(被測定素子;10μFのキャパシタ,周波数100kHz,1V(Vモード),1Ωレンジ固定,ケーブル長1m(発生電圧降下0.023V)での測定値)。   In this example, as shown in Table 2, the voltage value absorbed from a non-defective device under test DUT is 0.002 V, and the current value is 19.61 mA (device under test; 10 μF capacitor, frequency 100 kHz, 1 V (V Mode), 1Ω range fixed, cable length 1m (measured voltage drop 0.023V)).

Figure 2009002857
Figure 2009002857

制御部50は、上記したような電圧値,電流値を基準にして所定の閾値を有する良品電圧範囲,良品電流範囲を設定する。その閾値はユーザーにより任意に決められてよい。なお、以下の説明において、良品電圧範囲,良品電流範囲を「正常時もしくは正常値」ということがある。   The control unit 50 sets a non-defective voltage range and a non-defective current range having predetermined threshold values based on the voltage value and current value as described above. The threshold value may be arbitrarily determined by the user. In the following description, the good product voltage range and the good product current range may be referred to as “normal or normal value”.

実際の測定時に、制御部50は、被測定素子DUTから測定された電圧,電流のモニタ値が、良品電圧範囲,良品電流範囲のいずれかから外れている場合には、被測定素子DUTに接触されている各端子Hc,Lc,Hp,Lpのなかに、接触不良(コンタクト異常)があると判定する。   At the time of actual measurement, the control unit 50 contacts the device under test DUT when the voltage or current monitor value measured from the device under test DUT is out of either the good product voltage range or the good product current range. It is determined that there is a contact failure (contact abnormality) among the terminals Hc, Lc, Hp, and Lp.

表2を参照して、まず、Hi側ソース端子Hcが外れている場合には、被測定素子DUTに電圧が印加されない。そのため、測定されるモニタ電圧値は正常時よりも低い約0V、モニタ電流値は正常時よりも小さい約0Aとなる(モニタ電圧,モニタ電流ともに異常)。   Referring to Table 2, first, when the Hi-side source terminal Hc is disconnected, no voltage is applied to the device under test DUT. Therefore, the measured monitor voltage value is about 0 V lower than normal and the monitor current value is about 0 A smaller than normal (both monitor voltage and monitor current are abnormal).

次に、Hi側センス端子Hpが外れている場合には、被測定素子DUTのHi側の電圧が検出されない。このとき、被測定素子DUTが高インピーダンスであれば、その被測定素子DUTから測定されるモニタ電圧は正常時よりも低い異常値を示す。一方、被測定素子DUTのインピーダンスが、ケーブルの配線抵抗Rlcよりも低い場合には、Lo側のケーブルの配線抵抗Rlcでの電圧降下分が測定されるため、測定されるモニタ電圧値は正常時よりも高い異常値を示す。測定されるモニタ電流値は正常値を示す(モニタ電圧は異常,モニタ電流は正常)。   Next, when the Hi side sense terminal Hp is disconnected, the voltage on the Hi side of the device under test DUT is not detected. At this time, if the device under test DUT has a high impedance, the monitor voltage measured from the device under test DUT shows an abnormal value lower than normal. On the other hand, when the impedance of the device under test DUT is lower than the wiring resistance Rlc of the cable, the voltage drop at the wiring resistance Rlc of the Lo side cable is measured. Higher outliers. The measured monitor current value is normal (monitor voltage is abnormal, monitor current is normal).

次に、Lo側センス端子Lpが外れている場合には、被測定素子DUTのLo側の電圧が検出されない。このとき、被測定素子DUTが高インピーダンスであれば、その被測定素子DUTから測定されるモニタ電圧はほぼ正常値を示すが、被測定素子DUTのインピーダンスが、ケーブルの配線抵抗Rlcよりも低い場合には、Lo側の配線抵抗Rlcでの電圧降下分と被測定素子DUTの両端の電圧を合わせた電圧値が測定されるため、測定されるモニタ電圧値は正常時よりも高い異常値を示す。測定されるモニタ電流値は正常値を示す(被測定素子DUTのインピーダンスが配線抵抗Rlcよりも低いことを条件として、モニタ電圧は異常,モニタ電流は正常)。   Next, when the Lo-side sense terminal Lp is disconnected, the Lo-side voltage of the device under test DUT is not detected. At this time, if the device under test DUT has a high impedance, the monitor voltage measured from the device under test DUT shows a normal value, but the impedance of the device under test DUT is lower than the wiring resistance Rlc of the cable. In this case, a voltage value obtained by adding the voltage drop at the Lo-side wiring resistance Rlc and the voltage at both ends of the measured element DUT is measured, and thus the measured monitor voltage value shows an abnormal value higher than normal. . The measured monitor current value is a normal value (the monitor voltage is abnormal and the monitor current is normal on condition that the impedance of the device under test DUT is lower than the wiring resistance Rlc).

次に、Lo側ソース端子Lcが外れている場合には、被測定素子DUTに電流が流れない。そのため、測定されるモニタ電圧値は正常時よりも低い約0V、モニタ電流値は正常時よりも小さい約0Aとなる(モニタ電圧,モニタ電流ともに異常)。   Next, when the Lo-side source terminal Lc is disconnected, no current flows through the device under test DUT. Therefore, the measured monitor voltage value is about 0 V lower than normal and the monitor current value is about 0 A smaller than normal (both monitor voltage and monitor current are abnormal).

以上のことから、モニタ電圧値とモニタ電流値がともに異常の場合には、Hi側ソース端子HcもしくはLo側ソース端子Lcに接触不良ありと判断できる。   From the above, when both the monitor voltage value and the monitor current value are abnormal, it can be determined that there is a contact failure with the Hi side source terminal Hc or the Lo side source terminal Lc.

これに対して、モニタ電圧値が異常でモニタ電流値が正常の場合には、Hi側センス端子HpもしくはLo側センス端子Lpに接触不良ありと判断できる。   On the other hand, when the monitor voltage value is abnormal and the monitor current value is normal, it can be determined that there is a contact failure with the Hi-side sense terminal Hp or the Lo-side sense terminal Lp.

ただし、被測定素子DUTのインピーダンスが配線抵抗Rlcよりも低いことが条件とされるが、この第2実施形態に係る回路素子測定装置1Bが、特に低インピーダンスの被測定素子DUT用途(例えば、キャパシタの低ESR測定用途)であるかぎり、コンタクトチェック用の専用回路などを付加することなく、各端子Hc,Lc,Hp,Lpの接触不良を検出することができる。   However, the impedance of the device under test DUT is required to be lower than the wiring resistance Rlc. However, the circuit device measuring apparatus 1B according to the second embodiment is particularly suitable for use in the device under test DUT having a low impedance (for example, a capacitor As long as it is a low ESR measurement application), it is possible to detect a contact failure between the terminals Hc, Lc, Hp, and Lp without adding a dedicated circuit for contact check.

本発明の第1実施形態に係る回路素子測定装置を示す概略的な構成図。1 is a schematic configuration diagram showing a circuit element measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第2実施形態に係る回路素子測定装置を示す概略的な構成図。The schematic block diagram which shows the circuit element measuring apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 第1従来例を示す概略的な構成図。The schematic block diagram which shows a 1st prior art example. 第2従来例を示す概略的な構成図。The schematic block diagram which shows a 2nd prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

10 信号発生部
20 電流検出部
21 電流判定部
30 電圧検出部
31 電圧判定部
50 制御部
51 メモリ
60 警告部
Hc Hi側ソース端子
Lc Lo側ソース端子
Hp Hi側センス端子
Lp Lo側センス端子
Rhc,Rlc 配線抵抗
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Signal generation part 20 Current detection part 21 Current determination part 30 Voltage detection part 31 Voltage determination part 50 Control part 51 Memory 60 Warning part Hc Hi side source terminal Lc Lo side source terminal Hp Hi side sense terminal Lp Lo side sense terminal Rhc, Rlc wiring resistance

Claims (5)

被測定素子に電圧を印加する信号発生部と、上記被測定素子に流れる電流を検出する電流検出部と、上記被測定素子の両端間の電圧を測定する電圧検出部と、上記電流検出部にて検出された電流と上記電圧検出部にて検出された電圧とからインピーダンスなどの素子定数を算出して表示部に表示する制御部とを備えている回路素子測定装置において、
上記電圧検出部にて検出された電圧が少なくとも所定の閾値以下である場合に電圧異常信号を上記制御部に出力する電圧判定部と、上記電流検出部にて検出された電流が所定の閾値以上の場合に電流異常信号を上記制御部に出力する電流判定部とを有し、
上記制御部は、上記電圧異常信号と上記電流異常信号とに基づいて、上記信号発生部側のHi側ソース端子もしくは上記電圧検出部側のHi側センス端子の上記被測定素子に対する接触状態の良否と、上記被測定素子自体の良否とを判定することを特徴とする回路素子測定装置。
A signal generator that applies a voltage to the device under measurement, a current detector that detects the current flowing through the device under measurement, a voltage detector that measures the voltage across the device under measurement, and the current detector In a circuit element measuring apparatus comprising a control unit that calculates an element constant such as impedance from the current detected by the voltage detection unit and the voltage detected by the voltage detection unit and displays the constant on the display unit.
A voltage determination unit that outputs a voltage abnormality signal to the control unit when the voltage detected by the voltage detection unit is at least a predetermined threshold value; and a current detected by the current detection unit is equal to or greater than a predetermined threshold value. A current determination unit that outputs a current abnormality signal to the control unit in the case of
Based on the voltage abnormality signal and the current abnormality signal, the control unit determines whether the contact state of the Hi-side source terminal on the signal generation unit side or the Hi-side sense terminal on the voltage detection unit side with respect to the measured element is good or bad. And a circuit element measuring apparatus for determining whether the measured element itself is good or bad.
上記制御部は、上記電流判定部から上記電流異常信号が出力された場合には、上記被測定素子に異常ありとしてエラー信号を上記表示部に出力し、上記電圧判定部から上記電圧異常信号が出力された場合には、上記Hi側ソース端子,上記Hi側センス端子のいずれかに接触不良ありとしてエラー信号を上記表示部に出力することを特徴とする請求項1に記載の回路素子測定装置。   When the current abnormality signal is output from the current determination unit, the control unit outputs an error signal to the display unit as an abnormality in the element to be measured, and the voltage abnormality signal is output from the voltage determination unit. 2. The circuit element measuring apparatus according to claim 1, wherein when the signal is output, an error signal is output to the display unit as a contact failure in either the Hi-side source terminal or the Hi-side sense terminal. . Hi側ソース端子を介して被測定素子に電圧を印加する信号発生部と、Lo側ソース端子を介して上記被測定素子に流れる電流を検出する電流検出部と、Hi側センス端子およびLo側センス端子を介して上記被測定素子の両端間の電圧を測定する電圧検出部と、上記電流検出部にて検出された電流と上記電圧検出部にて検出された電圧とからインピーダンスなどの素子定数を算出して表示部に表示する制御部とを備えている回路素子測定装置において、
上記制御部は、上記被測定素子の素子定数を測定する先だって、あらかじめ良品の被測定素子から吸収された電圧値,電流値を基準にして所定の閾値を有する良品電圧範囲,良品電流範囲を設定し、
実際の測定時に上記被測定素子から得られる電圧,電流のモニタ値が、上記良品電圧範囲,良品電流範囲のいずれかから外れている場合には、上記被測定素子に接触されている上記各端子のなかに、接触不良があると判定することを特徴とする回路素子測定装置。
A signal generator for applying a voltage to the device under measurement via the Hi-side source terminal; a current detector for detecting a current flowing through the device under measurement via the Lo-side source terminal; a Hi-side sense terminal and a Lo-side sense An element constant such as an impedance is obtained from a voltage detection unit that measures a voltage across the element to be measured via a terminal, a current detected by the current detection unit, and a voltage detected by the voltage detection unit. In a circuit element measuring apparatus comprising a control unit that calculates and displays on a display unit,
Prior to measuring the element constant of the element to be measured, the control unit sets a non-defective voltage range and a non-defective current range having predetermined threshold values based on voltage values and current values previously absorbed from non-defective measured elements. And
When the monitored value of the voltage and current obtained from the device under measurement at the time of actual measurement is out of either the non-defective voltage range or the non-defective current range, the terminals that are in contact with the measured device Among them, it is determined that there is a contact failure.
上記制御部は、上記モニタ電圧値が上記良品電圧範囲よりも低く、かつ、上記モニタ電流値が上記良品電流範囲よりも小さい場合には、上記Hi側ソース端子もしくは上記Lo側ソース端子Lcに接触不良ありと判定することを特徴とする請求項3に記載の回路素子測定装置。   The control unit contacts the Hi-side source terminal or the Lo-side source terminal Lc when the monitor voltage value is lower than the non-defective product voltage range and the monitor current value is smaller than the good product current range. The circuit element measuring apparatus according to claim 3, wherein it is determined that there is a defect. 上記被測定素子のインピーダンスが上記Lo側ソース端子に接続されている配線抵抗よりも低いことを条件として、上記制御部は、上記モニタ電流値が上記良品電流範囲内であるが、上記モニタ電圧値が上記良品電圧範囲から外れている場合には、上記Hi側センス端子もしくは上記Lo側センス端子に接触不良ありと判定することを特徴とする請求項3に記載の回路素子測定装置。   On the condition that the impedance of the device under test is lower than the wiring resistance connected to the Lo-side source terminal, the control unit determines that the monitor current value is within the non-defective current range, but the monitor voltage value is 4 is a circuit element measuring device according to claim 3, wherein when the voltage is out of the non-defective voltage range, it is determined that the Hi-side sense terminal or the Lo-side sense terminal has poor contact.
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