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JP2009002513A - 位置調整要素 - Google Patents

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JP2009002513A JP2008159555A JP2008159555A JP2009002513A JP 2009002513 A JP2009002513 A JP 2009002513A JP 2008159555 A JP2008159555 A JP 2008159555A JP 2008159555 A JP2008159555 A JP 2008159555A JP 2009002513 A JP2009002513 A JP 2009002513A
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Thomas Ehre
エーレ,トーマス
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Stabilus GmbH
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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Fluid-Damping Devices (AREA)

Abstract

【課題】省スペースかつ低コストである手段により、シリンダに対するピストンの位置、ひいてはピストン棒の位置を検出できる位置調整要素を提供する。
【解決手段】本発明は、一端を閉止され加圧状態にある流体で充填されているシリンダと、シリンダ内を軸線方向に変位可能でありシリンダを第1の作業室と第2の作業室とに分割させているピストンと、ピストンの片側に配置され第1の作業室を貫通して密封案内装置を介して密封状態でシリンダの他端から突出するピストン棒とを備えた位置調整要素に関し、位置調整要素(1)はピストン棒の位置および該位置調整要素の突き出し長さを検出するための測定装置を有する。
【選択図】図1

Description

本発明は、一端を閉止され、加圧状態にある流体で充填されているシリンダと、シリンダ内を軸線方向に変位可能でありシリンダを第1の作業室と第2の作業室とに分割するピストンと、ピストンの片側に配置され第1の作業室を貫通して密封案内装置を介して密封状態でシリンダの他端から突出しているピストン棒と、を備えた位置調整要素に関するものである。
この種の位置調整要素は従来知られており、自動車のトランクルームフラップまたはトランクルームカバーあるいはエンジンフードに非常に頻繁に使用され、自動または手動による快適な開閉を保証するものである。
特にフラップを自動で開閉する場合には、ピストンシリンダアッセンブリの行程に沿って設定した複数の点において特定の機能を果たすように、シリンダに対するピストンの位置、ひいてはピストン棒の位置を検出できると有利である。
本発明の課題は、省スペースかつ低コストである手段により、前記機能を果たす位置調整要素を提供することである。
この課題は、位置調整要素がピストン棒の位置および/または前記位置調整要素の突き出し長さを検出するための測定装置を有していることによって解決される。
省スペースかつ低コストである構成においては、測定装置はシリンダに配置されるフォイルポテンショメータを含んでいる。フォイルポテンショメータは軸線方向においてシリンダの外面にて延在している。
電圧比を用いてピストンの移動距離を測定するため、フォイルポテンショメータは接触テープと抵抗テープとを有し、接触テープには参照電圧が印加され、抵抗テープの片側には接地電位が、他の側には正の電位が印加される。
機能安定な作動を保証するため、フォイルポテンショメータを介して走行可能なツインワイパーコンタクトが設けられており、これによって可撓導線を使用する必要がなくなる。
ツインワイパーコンタクトが保護管内に配置されていることによって、機能障害が回避される。
他の択一的な実施態様では、測定装置はシリンダに配置される磁気バンドを含んでいる。磁気バンドは軸線方向においてシリンダの外面にて延在している。
磁気バンドは、該磁気バンドの軸線方向において交互に逆の極性をもつセグメントを有している。
測定装置は磁気バンドを介して無接触に走行可能なホールプローブを含んでおり、これによって天候に左右されない、磨耗がない構造が提供され、非常に正確に、機能安定に作動する。
運動方向の確実な検出を保証するため、ホールプローブは2つのセンサを含んでいる。
ホールプローブが保護管内に配置されていることによって、機械的な影響に対する機能安定性が補助的に高められる。
または、測定装置はシリンダに配置される2つの磁気バンドを含んでいてもよい。磁気バンドは軸線方向においてシリンダの外面にて延在している。
両磁気バンドが1つの共通の担持材上に配置されていることによって、簡単な取り付けが達成される。
磁気バンドは、該磁気バンドの軸線方向において位相をずらして極性を付与されているセグメントを有している。
運動方向の確実な検出と絶対値検出とを保証するため、一方の磁気バンドのセグメントが、軸線方向において、第2の磁気バンドのセグメントに対し位相をずらして配置されている。
測定装置は、磁気バンドを介して無接触に走行可能な2つのMRセンサを含み、それぞれ1つのMRセンサが1つの磁気バンドに付設されている。このことによって、天候に左右されない、磨耗がない構造が提供され、非常に正確に機能安定に作動する。この場合、ピストン・ピストン棒ユニットの距離の絶対値検出が可能である。
機械的な影響を少なくするため、MRセンサは保護管内に配置されている。
択一的な実施態様としては、測定装置はシリンダに配置されるコイルを含んでいる。コイルの端部は制御装置と接続されている。
無接触に、したがって磨耗がなく、汚染のない作動を保証するため、測定装置はコイル内へ変位可能なソレノイドプランジャーを含んでいる。
ソレノイドプランジャーがピストン棒の自由端に固定されて該ピストン棒とともに変位できることによって、簡潔な構成が得られる。
代替実施態様では、測定装置は送光装置と、受光装置と、リフレクタとを含んでいる。これによって、無接触の作動構造、すなわち磨耗のない構造が提供される。
特別な構成では、送光装置と受光装置はピストン棒の自由端に配置され、リフレクタはシリンダの閉止端に配置されている。
送光装置と受光装置は互いに所定の間隔で配置されている。
受光装置は、少なくとも1つのフォトダイオードを含んでいるセンサを有している。
他の択一的な実施態様では、測定装置は金属板を含んでいる。
省スペースかつ低コストである構造を提供するため、金属板はコンデンサの第1の電極を形成し、シリンダは第2の電極を形成している。
スペースにとっては、金属板がピストン棒の自由端に配置され、シリンダ壁から間隔をもってシリンダに沿って移動できると、好ましい。
保護管がピストン棒に固定されて該ピストン棒とシリンダとを少なくとも部分的に取り囲んでいることによって、必要なスペースが小さくなる。
1つの択一的な実施態様は、測定装置がマイクロ波送受信ユニットを有していることを特徴としている。
マイクロ波送受信ユニットがシリンダ内に配置されていると、特に省スペースであることが明らかになった。
マイクロ波送受信ユニットがシリンダ内でその閉止端に配置されていると、特に機能安定な構成が得られる。
択一的に、マイクロ波送受信ユニットがシリンダ内でその密封案内パックに配置されていてもよい。これによりさらにスペースを節約することができる。
測定装置には、電子評価システムを含む制御装置が付設されている。
特別な実施態様では、シリンダに挿着されるピストンは、制御装置により制御される電磁弁を含んでいる。
前記突き出し長さは、よってピストン棒の位置は、測定装置により検出されて制御装置に転送され、制御装置は信号を評価し、それによって電磁弁を制御する。
図面には本発明の実施形態のいくつかが図示されており、以下にこれを詳細に説明する。
図1は位置調整要素1を示す。位置調整要素は、一端にて閉止され、加圧状態にある流体で充填されている中空のシリンダ2と、シリンダ2内を軸方向に変位可能で、シリンダ2を第1の作業室4と第2の作業室5とに分割するピストン3と、ピストン3に配置され、第1の作業室4を貫通し、密封案内装置7を介して密封された状態でシリンダ2の他端から突出しているピストン棒6とを備えている。ピストンは、電気的な制御部により開閉可能であり、ピストン3での流体の貫流を可能にし、又は阻止するための、図示されない電磁弁をさらに有している。電磁弁が開いているとき、流体は一方の作業室から他方の作業室へ流れることが可能であり、ピストン3またはピストン棒6はシリンダ2内を軸方向に移動することができる。電磁弁が閉じているときには、流体は一方の作業室から他方の作業室へ流動できず、ピストン3はブロックされる。
ピストン棒6のピストン3とは逆側の端部には保護管8が配置され、回転を阻止されている。保護管8とピストン棒6とは電気的に絶縁されている。保護管8内にはツインワイパーコンタクト9があり、シリンダ2の外面にはフォイルポテンショメータ10が装着されている。ツインワイパーコンタクト9の両ワイパーコンタクトは互いに電気的に導通接続される。フォイルポテンショメータ10とシリンダ2との間は電気的に導通接続されていない。ツインワイパーコンタクト9はフォイルポテンショメータ10を介して移動する。ピストン棒6とシリンダ2とは電気的に互いに絶縁されている。
シリンダ2の閉止端には第1の接続要素11が配置され、ピストン棒6のピストン3とは逆側の端部には第2の接続要素12が配置されている。これらの接続要素を用いると、位置調整要素をたとえば自動車の車体または車体に回動可能に装着されたフラップ、特にリヤフラップにより係止させることができる。
保護管8に配置されているツインワイパーコンタクト9は、シリンダにおいて軸線方向に延在しているフォイルポテンショメータ10を介して移動する。移動距離は電圧比を用いて算出する。評価は、制御装置13内に配置されている図示しないマイクロコントローラを用いて行なう。ツインワイパーコンタクトを使用するのは、フォイルポテンショメータ10の可動ケーブルを設けないようにするためである。もちろん、シングルワイパーコンタクトをポテンショメータとして使用し、分圧器を介してマイクロコントローラを用いて距離を算出するようにしてもよい。この場合には、圧力に反応し、汚染しにくく、作動中の磨耗がわずかであるようなフォイルポテンショメータを使用するのが好ましい。
図2はフォイルポテンショメータ10と制御装置13と位置調整要素1との電気結線図である。フォイルポテンショメータは接触テープ14と抵抗テープ15とを有している。接触テープはその全長にわたってほぼ0オームの電気抵抗を有する。接触テープ14の一端からは導線16が制御装置13へ案内され、この場合導線16には参照電圧が印加される。抵抗テープ15は、その一端から他端まで実質的に連続的に0オームから数千オーム、好ましくは5キロオームの値へ変化する抵抗値を有する。抵抗テープ15の両端も同様にそれぞれ導線17または18により制御装置13と接続され、この場合一方の導線には好ましくは5ボルトが印加され、他方の導線はアースされている。制御装置からは、正の電位をもった導線19が位置調整要素1のシリンダ2へ案内されている。ピストン棒6に接続されている接続部20はアースされている。しかし、接続部20を制御装置13へ案内してもよい。導線19には電圧または正の電位が印加され、好ましくは、電磁弁を確実に作動させるために十分な大きさの、自動車の電源電圧が印加される。制御装置は第1の接続部13aと第2の接続部13bとを有し、これら接続部によって制御装置を搭載電源に接続することができる。
図3には本発明の他の実施形態が図示されており、この実施形態は図1に図示した実施形態と大部分において対応している。そのため、対応する部材には図1および図2と同じ符号を付した。なお、以下に説明する他の全ての図についても同じ符号を付す。
第1の実施形態とは異なり、保護管8内にはホールプローブ(Hall−Sonde)21が配置され、シリンダ2の外面には磁気バンド22が配置されている。ホールプローブ21は2つのセンサ23と24を有し、これらのセンサは一定の角度だけ、好ましくは40゜だけ位相をずらして配置されている。保護管8をピストン棒6が移動すると、ホールプローブ21は磁気バンド22上を無接触に移動する。磁気バンド22は磁化が異なる、すなわちN極とS極が連続的に交替する多数のセグメント25を有している。ホールプローブ21は異なる磁化増分をカウントし、制御装置13内の電子評価システムを用いて距離を算出する。両センサ23と24は導線26と27を介して制御装置13と電気的に接続されている。両センサ23と24の接続部28と29は別個の電圧供給部、または制御装置13に接続されていてよい。シリンダ2へ案内されている導線19にも、電磁弁を操作できる電圧が印加される。制御装置は第1の接続部13aと第2の接続部13bとを有し、これらの接続部を用いて制御装置も搭載電源に接続させることができる。ピストン棒6は接続部20を介して接地電位に接続されている。
図4は、磁化セグメントまたは磁気セグメント25を交互に配置した磁気バンド22の構成を示している。
本発明の択一的な実施形態を図5に示す。保護管8内には、MRセンサ30と31と呼ばれる2つの磁気抵抗センサが配置され、これらの磁気抵抗センサは、第1の磁気バンド33と第2の磁気バンド34とを備えた磁気テープ32上を無接触に移動することができる。MRセンサ30と31は導線35と36を介して制御装置13と接続されている。両MRセンサ30と31の接続部37と38は別個の電圧供給部、または制御装置13に接続されていてよい。第1の磁気バンド33および第2の磁気バンド34はそれぞれ多数のセグメント39または40を有しており、これらのセグメントが磁気バンドの軸線方向において位相ずれを提供してその結果磁気抵抗は余弦状に変化する。第1の磁気バンド33のセグメント39は第2の磁気バンド34のセグメント40に対し軸線方向に位相ずれして配置されている。この場合、それぞれ1つのMRセンサが1つの磁気バンドに対応しており、これにより絶対的な距離検知が可能である。シリンダ2へ案内されている導線19には、電磁弁を操作できる電圧が印加される。制御装置は第1の接続部13aと第2の接続部13bとを有し、これらの接続部を搭載電源に接続することができる。ピストン棒6は接続部20を介して接地電位に接続されている。
図6は軸線方向に延びている磁気バンド33と34を備えた磁気テープ32を示しており、磁気バンド33と34は磁気バンドの軸線方向において位相ずれを提供する多数のセグメント39と40を備えている。
図7に図示した実施形態は、シリンダ2の横で軸線方向に延びているコイル41を示している。コイルは2つの導線42と43を介して制御装置13と接続されている。ピストン棒6のピストン3とは逆側の端部には保持装置44が配置され、該保持装置44からは、軟鉄からなるソレノイドプランジャー45がコイル41内へ延びている。保持装置44とピストン棒6とは電気的に絶縁されている。コイル41とシリンダ2の間は導電接続されていない。ピストン棒6とシリンダ2も電気的に絶縁されている。ソレノイドプランジャー45は、ピストン棒6がシリンダ2内へ移動したときに芯材としてコイル41内へ押し入ることができる。
したがって、ソレノイドプランジャー45はピストン運動に比例して移動し、コイル41内のインダクタンスを変化させる。距離の検出は図示しないRC発振回路を介して行われる。コイル41内のインダクタンスが変化することにより該発振回路の振動数が変化する。たとえば制御装置13内に配置したマイクロコントローラを介して移動距離を検出することができる。ピストン3内に配置されている電磁弁は、導線19を介して制御装置13により制御される。ピストン棒6は接続部20を介して接地電位に接続されている。
前記実施形態の場合と同様に、保持装置44には、ソレノイドプランジャー45とコイル41とシリンダ2とを少なくとも部分的に取り囲む保護管を配置してもよい。
三角測量方式またはパルス伝播時間測定により距離測定を行うよう構成された、択一的実施形態を図8に示す。ピストン棒6のピストン3とは逆側の端部には保持装置44が配置され、該保持装置には、レーザーダイオードの形態の送光装置46と受光装置47とが配置されている。シリンダ2の閉止端には、送光装置46および受光装置47のほうへ指向するリフレクタ48が配置されている。受光装置47は2つの導線49と50により制御装置13と接続されている。ピストン棒6は接続部20により接地電位に接続され、シリンダ2は導線19を介して制御装置13に接続されている。
パルス伝播時間測定の場合、送光装置46は光パルスを送出し、光パルスはリフレクタ48によって反射されて受光装置47に到達する。送出パルスと受光パルスとの伝播時間差から、制御装置内に収納されているマイクロコントローラにより距離を算出する。制御装置13は導線20を介して電磁弁を制御する。
三角測量方式を用いた距離測定のために、送光装置46は光線をリフレクタ48へ送る。光はリフレクタ48によって反射され、受光装置47により検知される。その際受光光線は、図9に図示したように、レンズ51を介して合焦され、一列のフォトダイオード53を備えたセンサ52上で評価される。特定の時点で露光されたフォトダイオード53から、ピストン棒6の位置を導出することが可能となる。ピストン棒6の運動は送光装置46の運動に比例しているため、送光装置46とリフレクタ48との間隔からピストン棒の位置を求めることが可能となる。前記間隔を算出するにはマイクロコントローラが必要である。この場合も、制御装置13内にマイクロコントローラを配置してもよい。
前記実施形態の場合と同様に、保持装置44には保護管を配置してもよい。保護管は送光装置46と受光装置47とを取り囲み、且つ少なくとも部分的にシリンダ2またはリフレクタ48を取り囲む。
容量性距離測定を図10に示す。ピストン棒6のピストン3とは逆側の端部では、保持装置44に金属板54が配置されている。シリンダ2の方向において、金属板は該シリンダに対し所定の間隔をおいて延在している。保持装置44とピストン棒6とは電気的に絶縁されている。ピストン棒6とシリンダ2の間も電気的に導通接続されていない。
シリンダ2は、たとえば導線55を介して接地電位と接続され、ピストン棒6は導線56を介して電源電圧または正の電位と接続され、金属板54にも同様に正の電位、たとえば電源電圧または他の値をもった他の電圧が印加される。これは制御装置13から導線57を介して行なうことができる。これによりシリンダ2と金属板54との間にコンデンサ(容量)が形成される。ピストン棒6の運動により金属板54も同様に運動する。これによりシリンダ2と金属板54との間の容量も変化する。この容量の変化に基づいて、マイクロコントローラを用いて移動距離を算出することができる。
保持装置44には、前記実施形態の場合と同様に、金属板54とシリンダ2とを少なくとも部分的に取り囲む保護管を配置してもよい。
図11に、シリンダ2内にマイクロ波送受信ユニット58を収納した位置調整要素1を示す。図示された実施形態では、マイクロ波送受信ユニット58はシリンダ2の閉止端に配置されている。マイクロ波送受信ユニット58は導線59と60を介して制御装置13と接続されている。制御装置からは正の電位をもった導線61がシリンダ2へ案内されており、電磁弁を制御できるようになっている。ピストン棒は接続部20を介して接地電位と直接にまたは制御装置13を介して接続されている。マイクロ波送受信ユニット58は接続部61と62を介して搭載電源に直接接続されるか、あるいは制御装置13と接続されている。
マイクロ波送受信ユニット58の送信部分は、アンテナを介してGHz範囲の電磁波をシリンダ2の中空導体構造内へ入射させる。この電磁波はピストン3で反射し、同じアンテナを介して再び受信される。入射信号と受信信号とはその移送ずれについて対比される。この過程を異なる周波数で反復させることにより、マイクロコントローラを用いてピストン3の絶対位置を求める。ピストン3が運動すると移送ずれが変化し、これによって現在位置を算出することができる。
他方、マイクロ波送受信ユニット55をピストン3内または密封案内装置7内に配置してもよい。
図面に図示した個々の導線の代わりに、少なくとも1つの制御装置を電圧供給用および信号伝送用の種々の部材と接続することのできるバスラインを使用してもよいことは当然である。
本発明の第1実施形態を示す図である。 図1に図示した実施形態の詳細図である。 本発明の第2実施形態を示す図である。 図3に図示した実施形態の詳細図である。 本発明の第3実施形態を示す図である。 図5に図示した実施形態の詳細図である。 本発明の第4実施形態を示す図である。 本発明の第5実施形態を示す図である。 図8に図示した実施形態の詳細図である。 本発明の第6実施形態を示す図である。 本発明の第7実施形態を示す図である。
符号の説明
1 位置調整要素
2 シリンダ
3 ピストン
4 第1の作業室
5 第2の作業室
6 ピストン棒
7 密封案内装置
8 保護管
9 ツインワイパーコンタクト
10 フォイルポテンショメータ
11 第1の接続要素
12 第2の接続要素
13 制御装置
13a 第1の接続部
13b 第2の接続部
14 接触テープ
15 抵抗テープ
16 導線
17 導線
18 導線
19 導線
20 接続部
21 ホールプローブ
22 磁気バンド
23 センサ
24 センサ
25 セグメント
26 導線
27 導線
28 接続部
29 接続部
30 MRセンサ
31 MRセンサ
32 磁気テープ
33 第1の磁気バンド
34 第2の磁気バンド
35 導線
36 導線
37 接続部
38 接続部
39 セグメント
40 セグメント
41 コイル
42 導線
43 導線
44 保持装置
45 ソレノイドプランジャー
46 送光装置
47 受光装置
48 リフレクタ
49 導線
50 導線
51 レンズ
52 センサ
53 フォトダイオード
54 金属板
55 導線
56 導線
57 導線
58 マイクロ波送受信ユニット
59 導線
60 導線
61 導線

Claims (39)

  1. 一端を閉止され、加圧状態にある流体で充填されたシリンダと、
    前記シリンダ内を軸線方向に変位可能で、前記シリンダを第1の作業室と第2の作業室とに分割するピストンと、
    前記ピストンの片側に配置され、前記第1の作業室を貫通して密封案内装置を介して密封状態で前記シリンダの他端から突出しているピストン棒と、を備える位置調整要素において、
    前記位置調整要素(1)が、前記ピストン棒の位置および/または前記位置調整要素(1)の突き出し長さを検出するための測定装置を有することを特徴とする位置調整要素。
  2. 前記測定装置が、前記シリンダ(2)に配置されるフォイルポテンショメータ(10)を含むことを特徴とする、請求項1に記載の位置調整要素。
  3. 前記フォイルポテンショメータ(10)が、軸線方向において前記シリンダ(2)の外面に延在することを特徴とする、請求項2に記載の位置調整要素。
  4. 前記フォイルポテンショメータ(10)が、接触テープ(14)と抵抗テープ(15)とを含み、前記接触テープ(14)に参照電圧が印加され、前記抵抗テープ(15)の片側に接地電位が、他側に正の電位が印加されることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の位置調整要素。
  5. 前記測定装置が、前記フォイルポテンショメータ(10)を介して走行可能なツインワイパーコンタクト(9)を含むことを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の位置調整要素。
  6. 前記ツインワイパーコンタクト(9)が、保護管(8)内に配置されることを特徴とする、請求項5に記載の位置調整要素。
  7. 前記測定装置が、前記シリンダ(2)に配置される磁気バンド(17)を含むことを特徴とする、請求項1に記載の位置調整要素。
  8. 前記磁気バンド(17)が、軸線方向において前記シリンダ(2)の外面に延在することを特徴とする、請求項7に記載の位置調整要素。
  9. 前記磁気バンド(17)が、前記磁気バンド(17)の軸線方向において交互に逆の極性をもつセグメント(20)を有することを特徴とする、請求項8に記載の位置調整要素。
  10. 前記測定装置が、前記磁気バンド(17)を介して無接触に走行可能なホールプローブ(21)を含むことを特徴とする、請求項7〜9のいずれか一項に記載の位置調整要素。
  11. 前記ホールプローブ(21)が、2つのセンサ(18,19)を含むことを特徴とする、請求項10に記載の位置調整要素。
  12. 前記ホールプローブ(21)が、保護管(8)内に配置されることを特徴とする、請求項10または11に記載の位置調整要素。
  13. 前記測定装置が、前記シリンダに配置される2つの磁気バンド(33,34)を含むことを特徴とする、請求項1に記載の位置調整要素。
  14. 前記磁気バンド(33,34)が、軸線方向において前記シリンダ(2)の外面に延在することを特徴とする、請求項13に記載の位置調整要素。
  15. 前記磁気バンド(33,34)が、1つの共通の担持材上に配置されることを特徴とする、請求項13または14に記載の位置調整要素。
  16. 前記磁気バンド(33,34)が、前記磁気バンドの軸線方向において位相をずらして極性を付与されたセグメント(39,40)を有することを特徴とする、請求項13〜15のいずれか一項に記載の位置調整要素。
  17. 第1の磁気バンドのセグメント(39または40)が、軸線方向において第2の磁気バンドのセグメント(40または39)に対し位相をずらして配置されることを特徴とする、請求項16に記載の位置調整要素。
  18. 前記測定装置が磁気バンド(33,34)を介して無接触に走行可能な2つのMRセンサ(30,31)を含み、それぞれ1つの前記MRセンサが1つの前記磁気バンドに対応することを特徴とする、請求項13〜17のいずれか一項に記載の位置調整要素。
  19. 前記MRセンサ(30,31)が、保護管(8)内に配置されることを特徴とする、請求項18に記載の位置調整要素。
  20. 前記測定装置が、前記シリンダ(2)に配置されるコイル(41)を含むことを特徴とする、請求項1に記載の位置調整要素。
  21. 前記コイル(41)の端部が、前記制御装置(13)と接続されることを特徴とする、請求項20に記載の位置調整要素。
  22. 前記測定装置が、前記コイル(41)内へ変位可能なソレノイドプランジャー(45)を含むことを特徴とする、請求項20または21に記載の位置調整要素。
  23. 前記ソレノイドプランジャー(45)が、前記ピストン棒(6)の自由端に固定されて前記ピストン棒(6)とともに変位できることを特徴とする、請求項22に記載の位置調整要素。
  24. 測定装置が、送光装置(46)と、受光装置(47)と、リフレクタ(48)と、を含むことを特徴とする、請求項1に記載の位置調整要素。
  25. 前記送光装置(46)と前記受光装置(47)とが前記ピストン棒(6)の自由端に配置され、前記リフレクタ(48)が前記シリンダ(2)の閉止端に配置されることを特徴とする、請求項24に記載の位置調整要素。
  26. 前記送光装置(46)と前記受光装置(47)が互いに所定の間隔で配置されることを特徴とする、請求項25に記載の位置調整要素。
  27. 前記受光装置(47)が、少なくとも1つのフォトダイオード(53)を含むセンサ(52)を有することを特徴とする、請求項24〜26のいずれか一項に記載の位置調整要素。
  28. 前記測定装置が、金属板(54)を含むことを特徴とする、請求項1に記載の位置調整要素。
  29. 前記金属板(54)がコンデンサの第1の電極を形成し、前記シリンダ(2)が第2の電極を形成することを特徴とする、請求項28に記載の位置調整要素。
  30. 前記金属板(54)が、前記ピストン棒(6)の自由端に配置され、前記シリンダの壁から間隔をもって前記シリンダ(2)に沿って移動できることを特徴とする、請求項28または29に記載の位置調整要素。
  31. 保護管(8)が前記ピストン棒(6)に固定されて前記ピストン棒(6)とシリンダ(2)とを少なくとも部分的に取り囲むことを特徴とする、請求項1〜30のいずれか一項に記載の位置調整要素。
  32. 前記測定装置が、マイクロ波送受信ユニット(58)を有することを特徴とする、請求項1に記載の位置調整要素。
  33. 前記マイクロ波送受信ユニット(58)が、前記シリンダ(2)内に配置されることを特徴とする、請求項32に記載の位置調整要素。
  34. 前記マイクロ波送受信ユニット(58)が、前記シリンダ(2)内でその閉止端に配置されることを特徴とする、請求項32に記載の位置調整要素。
  35. 前記マイクロ波送受信ユニット(58)が、前記シリンダ(2)内でその密封案内装置(7)に配置されることを特徴とする、請求項32に記載の位置調整要素。
  36. 前記測定装置に制御装置(13)が付設されることを特徴とする、請求項1〜35のいずれか一項に記載の位置調整要素。
  37. 前記ピストン(3)が、電磁弁を含むことを特徴とする、請求項1〜36のいずれか一項に記載の位置調整要素。
  38. 前記電磁弁が、前記制御装置(13)によって制御されることを特徴とする、請求項36または37に記載の位置調整要素。
  39. 前記制御装置(13)が、前記測定装置によって検出された信号に基づいて前記電磁弁を制御することを特徴とする、請求項38に記載の位置調整要素。
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