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JP2009075482A - Curable composition, color filter, method for producing color filter, and solid-state imaging device - Google Patents

Curable composition, color filter, method for producing color filter, and solid-state imaging device Download PDF

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JP2009075482A
JP2009075482A JP2007246261A JP2007246261A JP2009075482A JP 2009075482 A JP2009075482 A JP 2009075482A JP 2007246261 A JP2007246261 A JP 2007246261A JP 2007246261 A JP2007246261 A JP 2007246261A JP 2009075482 A JP2009075482 A JP 2009075482A
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Japan
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curable composition
pigment
group
color filter
mass
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Application number
JP2007246261A
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Japanese (ja)
Inventor
Yuji Kaneko
祐士 金子
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Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
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Publication date
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Abstract

【課題】保存安定性に優れ、現像性が良好な硬化性組成物、さらに、顔料を含む場合であっても、顔料の分散性、分散安定性に優れ、且つ、現像性が良好でパターン形成性に優れた硬化性組成物、それにより形成された着色領域を有するカラーフィルタ、その製造方法、並びに該カラーフィルタを備えた固体撮像素子を提供する。
【解決手段】(A)窒素原子を含んで構成される主鎖部とオキシアルキレン基を含む側鎖部とを有する樹脂、(B)光重合開始剤、(C)エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物、及び、(D)溶剤、を含有する硬化性組成物。さらに、着色剤として、(E)顔料を含有することで、カラーフィルタ形成用の着色硬化性組成物となる。
【選択図】なし
[PROBLEMS] To provide a curable composition having excellent storage stability and good developability, and, even when a pigment is contained, has excellent dispersibility and dispersion stability of the pigment, and has good developability and pattern formation. The present invention provides a curable composition having excellent properties, a color filter having a colored region formed thereby, a method for producing the same, and a solid-state imaging device including the color filter.
(A) A resin having a main chain part containing a nitrogen atom and a side chain part containing an oxyalkylene group, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an ethylenically unsaturated double bond. And a curable composition containing (D) a solvent. Furthermore, it becomes a colored curable composition for color filter formation by containing (E) pigment as a coloring agent.
[Selection figure] None

Description

本発明は、液晶表示素子(LCD)や固体撮像素子(CCD、CMOSなど)等に用いられるカラーフィルタを作製するのに好適な硬化性組成物、及び該硬化性組成物により形成された着色領域を有するカラーフィルタ、及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a curable composition suitable for producing a color filter used for a liquid crystal display element (LCD), a solid-state imaging element (CCD, CMOS, etc.), and a colored region formed by the curable composition. And a method for manufacturing the same.

カラーフィルタは、液晶ディスプレイや固体撮像素子に不可欠な構成部品である。カラーフィルタは、着色剤(顔料又は染料)を含有する硬化性組成物を用いて作成する。着色剤が顔料である場合、分散性・分散安定性を確保するために、分散剤(例えば、特許文献1記載参照)を添加する必要性がある。   The color filter is an essential component for liquid crystal displays and solid-state image sensors. The color filter is prepared using a curable composition containing a colorant (pigment or dye). When the colorant is a pigment, it is necessary to add a dispersant (for example, see Patent Document 1) in order to ensure dispersibility and dispersion stability.

近年、固体撮像素子は、画素数の向上に従い、ピクセルサイズの縮小(パターン幅、膜厚の縮小)が必須となっている。それに伴い、硬化性組成物中の顔料濃度を高める必要がある。しかし、顔料濃度を高めると、必然的に硬化性組成物中の分散樹脂・アルカリ可溶性樹脂の含有量が低下するため、分散性・分散安定性が悪化することが判明した。分散性・分散安定性を向上させるため、特定の分散剤の添加量を多くすることが提案されている(例えば、特許文献1、参照)。しかしながら、分散剤の添加量を増やすことで現像性が低下する問題が発生した。   In recent years, solid-state imaging devices have been required to reduce pixel size (pattern width and film thickness) as the number of pixels increases. Accordingly, it is necessary to increase the pigment concentration in the curable composition. However, it has been found that when the pigment concentration is increased, the content of the dispersion resin / alkali-soluble resin in the curable composition is inevitably lowered, so that the dispersibility / dispersion stability deteriorates. In order to improve dispersibility and dispersion stability, it has been proposed to increase the amount of a specific dispersant added (for example, see Patent Document 1). However, there has been a problem that developability is lowered by increasing the amount of the dispersant added.

また、TV用途の液晶ディスプレイでは、従来のモニター用途のものに比し、より高度な画質が求められ、コントラスト及び色純度の向上が要求されている。
カラーフィルタ製造用途の硬化性組成物に関しては、使用する顔料の粒子サイズとして、より微小なものを用いることで、コントラストを向上させる試みがなされている(例えば、特許文献2、参照。)。
しかしながら、顔料の粒子サイズを微小化すると、顔料の表面積が大きくなるため、保存安定性が悪化する問題があった。保存安定性を確保するために、分散剤の添加量を多くすると、前記の固体撮像素子の場合と同様に、現像性が低下し、良好なパターンが形成され難いという問題が生じる。
In addition, liquid crystal displays for TV use are required to have higher image quality than those of conventional monitor uses, and are required to improve contrast and color purity.
With respect to curable compositions for color filter production, attempts have been made to improve contrast by using finer particle sizes of pigments to be used (see, for example, Patent Document 2).
However, when the particle size of the pigment is reduced, the surface area of the pigment increases, which causes a problem of deterioration in storage stability. If the amount of the dispersant added is increased in order to ensure storage stability, as in the case of the solid-state imaging device, the developability deteriorates, and there is a problem that it is difficult to form a good pattern.

すなわち、近年、高機能化された固体撮像素子・液晶ディスプレイに対応する高コントラストで色特性が良好なカラーフィルタは、従来の分散剤を含有する硬化性組成物では製造することが難しく、分散安定性と現像性を両立できる硬化性組成物が望まれていた。
特開平9−176511公報 特開2006−30541号公報
That is, in recent years, color filters with high contrast and good color characteristics that are compatible with highly functional solid-state imaging devices and liquid crystal displays are difficult to manufacture with conventional curable compositions containing dispersants, and are stable in dispersion. Therefore, a curable composition that can achieve both compatibility and developability has been desired.
JP-A-9-176511 JP 2006-30541 A

本発明の目的は、保存安定性に優れ、現像性が良好な硬化性組成物を提供することにある。さらに、顔料を含む場合であっても、顔料の分散性、分散安定性に優れ、且つ、現像性が良好でパターン形成性に優れた硬化性組成物を提供することにある。
本発明のさらなる目的は、顔料の分散安定性と現像性が良好な着色硬化性組成物により形成された高解像度で色特性の良好な着色パターンを有するカラーフィルタ及びその生産性に優れた製造方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、高解像度で色特性の良好な着色パターンを有するカラーフィルタを備えた固体撮像素子を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a curable composition having excellent storage stability and good developability. Furthermore, even if it contains a pigment, it is providing the curable composition which was excellent in the dispersibility and dispersion stability of a pigment, was excellent in developability, and was excellent in pattern formation property.
A further object of the present invention is to provide a color filter having a color pattern having a high resolution and good color characteristics formed from a colored curable composition having good dispersion stability and developability of the pigment, and a production method excellent in productivity thereof. Is to provide.
Another object of the present invention is to provide a solid-state imaging device including a color filter having a coloring pattern with high resolution and good color characteristics.

前記実情に鑑み本発明者らは、鋭意研究を行ったところ、特定構造を有する樹脂を用いることで上記課題を解決しうることを見出し、本発明を完成した。
即ち、本発明の目的は下記の手段により達成されるものである。
<1> (A)窒素原子を含んで構成される主鎖部とオキシアルキレン基を含む側鎖部とを有する樹脂、(B)光重合開始剤、(C)エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物、及び、(D)溶剤、を含有する硬化性組成物。
<2> さらに、(E)顔料を含有することを特徴とする<1>に記載の硬化性組成物。
In view of the above circumstances, the present inventors have conducted intensive research and found that the above problems can be solved by using a resin having a specific structure, and have completed the present invention.
That is, the object of the present invention is achieved by the following means.
<1> (A) Resin having a main chain part containing a nitrogen atom and a side chain part containing an oxyalkylene group, (B) a photopolymerization initiator, (C) an ethylenically unsaturated double bond The curable composition containing the compound to contain and the (D) solvent.
<2> The curable composition according to <1>, further comprising (E) a pigment.

<3> (A)窒素原子を含んで構成される主鎖部とオキシアルキレン基を有する側鎖部とを有する樹脂と(E)顔料とを含んで調製された顔料分散液と、(B)光重合開始剤と、(C)エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物と、(D)溶剤とを混合して得られることを特徴とする<2>に記載の硬化性組成物。
<4> さらに(F)アルカリ可溶性樹脂を含有することを特徴とする<1>〜<3>のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
<5> 前記窒素原子を含んで構成される主鎖部が、ポリアミン構造を含むことを特徴とする<1>〜<4>のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
<3> (A) a pigment dispersion prepared by including a resin having a main chain portion containing a nitrogen atom and a side chain portion having an oxyalkylene group, and (E) a pigment; and (B) The curable composition according to <2>, which is obtained by mixing a photopolymerization initiator, (C) a compound containing an ethylenically unsaturated double bond, and (D) a solvent.
<4> The curable composition according to any one of <1> to <3>, further comprising (F) an alkali-soluble resin.
<5> The curable composition according to any one of <1> to <4>, wherein the main chain portion including the nitrogen atom includes a polyamine structure.

<6> 支持体上に、<2>〜<5>のいずれか1項に記載の硬化性組成物により形成された着色領域を有することを特徴とするカラーフィルタ。
<7> 支持体上に、<2>〜<5>のいずれか1項に記載の硬化性組成物を塗布して該硬化性組成物からなる着色層を形成する着色層形成工程と、該着色層を、マスクを介してパターン露光する露光工程と、露光後の着色層を現像して着色パターンを形成する現像工程と、を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
<8> <7>に記載のカラーフィルタの製造方法によって得られたカラーフィルタを備える固体撮像素子。
<6> A color filter having a colored region formed of the curable composition according to any one of <2> to <5> on a support.
<7> A colored layer forming step of forming a colored layer comprising the curable composition by applying the curable composition according to any one of <2> to <5> on the support; A method for producing a color filter, comprising: an exposure step of pattern exposure of a colored layer through a mask; and a development step of developing the colored layer after exposure to form a colored pattern.
<8> A solid-state imaging device comprising a color filter obtained by the method for producing a color filter according to <7>.

本発明の硬化性組成物は、窒素原子を有する主鎖部及び親水的で、且つ、プロピレングルコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノン等の有機溶剤への溶解性に優れているオキシアルキレン基を含む側鎖構造を有する樹脂を用いているため、現像性を損なうことなく、安定性向上を達成しうるため、従来困難であった分散性・分散安定性と現像性の両立を達成することができた。即ち、有機溶剤への溶解性に優れているオキシアルキレン基を側鎖に有することで、経時的な固形物の析出抑制効果により、優れた安定性を達成しており、この分散性、分散安定性は特に着色料として顔料を有する場合にその効果が著しい。このため、本発明の硬化性組成物であって顔料を含有する着色硬化性組成物により形成された着色領域は高解像度で色純度が高いものとなる。また、このような着色硬化性組成物を用いることにより、解像度で高コントラストのカラーフィルタや、該カラーフィルタを備えた固体撮像素子、コントラスト比の高い液晶ディスプレイなどを得ることができる。
なお、本発明における着色領域とは、カラーフィルタにおける着色画素(着色パターン)領域、及び、遮光膜形成領域を包含するものである。
The curable composition of the present invention has a main chain portion having a nitrogen atom and an oxyalkylene that is hydrophilic and has excellent solubility in organic solvents such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether, and cyclohexanone. Since a resin having a side chain structure containing a group is used, stability improvement can be achieved without impairing developability, thereby achieving both dispersibility / dispersion stability and developability, which has been difficult in the past. I was able to. That is, by having an oxyalkylene group excellent in solubility in an organic solvent in the side chain, excellent stability is achieved due to the effect of suppressing solid precipitation over time. The effect is particularly remarkable when a pigment is used as a colorant. For this reason, the colored area | region formed with the curable composition of this invention and the colored curable composition containing a pigment becomes a thing with high resolution and high color purity. Further, by using such a colored curable composition, it is possible to obtain a high-contrast color filter with a resolution, a solid-state imaging device including the color filter, a liquid crystal display with a high contrast ratio, and the like.
The colored region in the present invention includes a colored pixel (colored pattern) region and a light shielding film forming region in the color filter.

本発明によれば、保存安定性に優れ、現像性が良好な硬化性組成物を提供することができ、顔料を含む場合であっても、顔料の分散性、分散安定性に優れ、且つ、現像性が良好でパターン形成性に優れた硬化性組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、高解像度で色特性の良好な着色パターンを有するカラーフィルタ及びその生産性に優れた製造方法、さらには、該カラーフィルタを備えた固体撮像素子を提供することができる。
According to the present invention, a curable composition having excellent storage stability and good developability can be provided, and even when a pigment is contained, the pigment has excellent dispersibility and dispersion stability, and A curable composition having good developability and excellent pattern forming property can be provided.
In addition, according to the present invention, it is possible to provide a color filter having a colored pattern with high resolution and good color characteristics, a manufacturing method excellent in productivity thereof, and a solid-state imaging device including the color filter. .

以下、発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。なお、本明細書における基(原子団)の表記に於いて、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含することを意味する。例えば、「アルキル基」との表記は、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。   Hereinafter, the best mode for carrying out the invention will be described in detail. In addition, in the description of a group (atomic group) in this specification, the description which does not describe substitution and non-substitution means that what has a substituent is included with what does not have a substituent. For example, the expression “alkyl group” includes not only an alkyl group having no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group having a substituent (substituted alkyl group).

本発明の硬化性組成物は、(A)窒素原子を含んで構成される主鎖部とオキシアルキレン基を含む側鎖部とを有する樹脂、(B)光重合開始剤、(C)エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物、及び、(D)溶剤、を含有することを特徴とし、さらに、硬化性組成物の用途に応じて(E)顔料を含有する。
以下、本発明の硬化性組成物に含まれる各成分について順次説明する。まず、本発明の重要な要件である(A)窒素原子を含んで構成される主鎖部とオキシアルキレン基を含む側鎖部とを有する樹脂(以下、適宜、特定樹脂と称する)について述べる。
The curable composition of the present invention includes (A) a resin having a main chain part containing a nitrogen atom and a side chain part containing an oxyalkylene group, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an ethylenic resin. It contains a compound containing an unsaturated double bond and (D) a solvent, and further contains (E) a pigment depending on the use of the curable composition.
Hereinafter, each component contained in the curable composition of this invention is demonstrated one by one. First, (A) a resin having a main chain part containing a nitrogen atom and a side chain part containing an oxyalkylene group (hereinafter referred to as a specific resin as appropriate), which is an important requirement of the present invention, will be described.

<(A)窒素原子を含んで構成される主鎖部とオキシアルキレン基を含む側鎖部とを有する樹脂>
本発明に係る(A)特定樹脂は、(i)窒素原子を含んで構成される主鎖部及び(ii)オキシアルキレン基を含む側鎖部を有する樹脂であり、現像性の向上機能を有するとともに、経時的な固形物析出抑制効果に優れ、優れた保存安定性を達成しうる。さらに、系中に着色剤として顔料を含む場合には、その分散性・分散安定性を高める分散剤としても機能する。
<(A) Resin having a main chain portion containing a nitrogen atom and a side chain portion containing an oxyalkylene group>
The specific resin (A) according to the present invention is a resin having (i) a main chain portion containing a nitrogen atom and (ii) a side chain portion containing an oxyalkylene group, and has a function of improving developability. At the same time, it is excellent in the effect of suppressing solid matter precipitation over time and can achieve excellent storage stability. Furthermore, when a pigment is included as a colorant in the system, it also functions as a dispersant that enhances dispersibility and dispersion stability.

(i)窒素原子を含んで構成される主鎖部とは、窒素含有官能基を繰り返し単位として含有する鎖状構造を指し、より具体的には、数平均分子量200〜50,000の範囲にあるオリゴマー鎖又はポリマー鎖である。窒素原子を含んで構成される主鎖部の数平均分子量は、300〜20,000がより好ましく、500〜10,000が最も好ましい。本発明の(A)特定樹脂の数平均分子量が上記範囲において、硬化性組成物は分散性及び現像性が優れたものとなる。樹脂の数平均分子量は沸点上昇、粘度、NMRによる末端官能基と繰り返し単位の比率を測定するか、もしくはゲルパーミエーションクロマトグラフィーなどの方法により測定することができる。   (I) The main chain portion containing a nitrogen atom refers to a chain structure containing a nitrogen-containing functional group as a repeating unit, and more specifically, in the range of a number average molecular weight of 200 to 50,000. A certain oligomer chain or polymer chain. As for the number average molecular weight of the principal chain part comprised including a nitrogen atom, 300-20,000 are more preferable, and 500-10,000 are the most preferable. When the number average molecular weight of the (A) specific resin of the present invention is in the above range, the curable composition has excellent dispersibility and developability. The number average molecular weight of the resin can be measured by measuring the increase in boiling point, viscosity, ratio of terminal functional group and repeating unit by NMR, or by a method such as gel permeation chromatography.

本発明の(A)特定樹脂における窒素原子を含んで構成される主鎖部は、ポリアミン構造を含むことが好ましい。また、主鎖部に含まれる記窒素含有官能基としては、下記一般式(I−1)又は一般式(I−2)で表される官能基であることが好ましい。   The main chain portion containing a nitrogen atom in the specific resin (A) of the present invention preferably contains a polyamine structure. In addition, the nitrogen-containing functional group contained in the main chain portion is preferably a functional group represented by the following general formula (I-1) or general formula (I-2).

Figure 2009075482
Figure 2009075482

一般式(I−1)及び(I−2)中、R、R、R、R、R、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アシル基又はアルコキシカルボニル基を表す。l、m及びnは、それぞれ独立して1〜10の整数を表す。
Aは、下記一般式(I−3)、一般式(I−4)、一般式(I−5)又は一般式(I−6)で表される窒素原子を含む部分構造を表す。
In general formulas (I-1) and (I-2), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group, or cycloalkyl. Represents a group, an aryl group, an acyl group or an alkoxycarbonyl group. l, m, and n each independently represent an integer of 1 to 10.
A represents a partial structure containing a nitrogen atom represented by the following general formula (I-3), general formula (I-4), general formula (I-5), or general formula (I-6).

Figure 2009075482
Figure 2009075482

一般式(I−3)、一般式(I−4)、一般式(I−5)及び一般式(I−6)中、R、R、R10、R11及びR12は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アシル基、又は、アルコキシカルボニル基を表すか、或いは、後述する側鎖との連結部位を表す。即ち、このR〜R12の少なくとも1カ所が単結合或いは2価の連結基として、後述する側鎖部を連結する部位となる。ここに連結される側鎖構造については以下に詳述する。
なお、一般式(I−2)におけるAを表す場合、一般式(I−3)〜一般式(I−6)で表される構造の片末端が−(CR)n−に連結し、他末端は水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アシル基、又は、アルコキシカルボニル基から選択される末端基を有するか、或いは、後述する側鎖との連結部位となる。
In general formula (I-3), general formula (I-4), general formula (I-5) and general formula (I-6), R 8 , R 9 , R 10 , R 11 and R 12 are respectively Independently, it represents a hydrogen atom, an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, an acyl group, or an alkoxycarbonyl group, or represents a linking site with a side chain described later. That is, at least one of R 8 to R 12 serves as a single bond or a divalent linking group, which serves as a site for connecting side chain portions described later. The side chain structure connected here will be described in detail below.
When A in general formula (I-2) is represented, one end of the structure represented by general formula (I-3) to general formula (I-6) is linked to-(CR 6 R 7 ) n-. The other terminal has a terminal group selected from a hydrogen atom, an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, an acyl group, or an alkoxycarbonyl group, or serves as a linking site with a side chain described later.

前記一般式(I−1)及び一般式(I−2)におけるR、R、R、R、R、R、及び、Rがアルキル基を表す場合のアルキル基としては、炭素数1〜30のアルキル基が好ましく、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、n−ブチル、sec−ブチル、tert−ブチル、n−ペンチル、n−オクチル等が挙げられる。 As the alkyl group in the case where R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , and R 7 in the general formula (I-1) and the general formula (I-2) represent an alkyl group, The alkyl group having 1 to 30 carbon atoms is preferable, and examples thereof include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, n-butyl, sec-butyl, tert-butyl, n-pentyl, n-octyl and the like.

前記一般式(I−1)及び一般式(I−2)におけるR、R、R、R、R、R、及び、Rで表されるシクロアルキル基は、炭素数3〜30のアルキル基が好ましく、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロオクチル等が挙げられる。 The cycloalkyl group represented by R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , and R 7 in the general formula (I-1) and the general formula (I-2) has a carbon number. 3-30 alkyl groups are preferred, and examples include cyclopentyl, cyclohexyl, cyclooctyl and the like.

前記一般式(I−1)及び一般式(I−2)におけるR、R、R、R、R、R、及び、Rで表されるアシル基は、炭素数1〜30のアシル基が好ましく、例えば、ホルミル、アセチル、ベンゾイル等が挙げられる。 The acyl group represented by R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , and R 7 in the general formula (I-1) and the general formula (I-2) has 1 carbon atom. ˜30 acyl groups are preferred, and examples include formyl, acetyl, benzoyl and the like.

前記一般式(I−1)及び一般式(I−2)におけるR、R、R、R、R、R、及び、Rで表されるアルコキシカルボニル基は、炭素数1〜30のアルキル基が好ましく、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、フェノキシカルボニル等が挙げられる。 The alkoxycarbonyl group represented by R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , and R 7 in the general formula (I-1) and the general formula (I-2) 1-30 alkyl groups are preferable, and methoxycarbonyl, ethoxycarbonyl, phenoxycarbonyl, etc. are mentioned.

前記一般式(I−1)及び一般式(I−2)におけるR、R、R、R、R、R、及び、Rとしては、水素原子、アルキル基、フッ素原子又は塩素原子であることが好ましく、水素原子であることが最も好ましい。
l、m及びnは1〜10の整数であるが、なかでも、1〜5であることが好ましく、lが2,m及びnがいずれも1であることが最も好ましい。
R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , and R 7 in the general formula (I-1) and the general formula (I-2) include a hydrogen atom, an alkyl group, and a fluorine atom. Or it is preferable that it is a chlorine atom, and it is most preferable that it is a hydrogen atom.
l, m, and n are integers of 1 to 10, preferably 1 to 5, and most preferably 1 is 2, and m and n are all 1.

Aとしては、一般式(I−3)、又は、一般式(1−4)で表される構造であることが好ましく、一般式(I−3)であることが最も好ましい。   A is preferably a structure represented by General Formula (I-3) or General Formula (1-4), and most preferably General Formula (I-3).

前記一般式(I−3)〜一般式(I−6)におけるR、R、R10、R11及びR12がアルキル基を表す場合のアルキル基、シクロアルキル基、アシル基、及び、アルコキシカルボニル基は、それぞれ、前記一般式(I−1)及び一般式(I−2)におけるR〜Rにおいて挙げたものと同様のものが挙げられる。
、R、R10、R11及びR12は、水素原子、アルキル基又は側鎖との連結部位を表すことが好ましく、水素原子又は側鎖との連結部位を表すことがさらに好ましい。
In the general formula (I-3) to general formula (I-6), when R 8 , R 9 , R 10 , R 11 and R 12 represent an alkyl group, an alkyl group, a cycloalkyl group, an acyl group, and Examples of the alkoxycarbonyl group include the same groups as those described for R 1 to R 7 in the general formula (I-1) and the general formula (I-2).
R 8 , R 9 , R 10 , R 11, and R 12 preferably represent a hydrogen atom, an alkyl group, or a linkage site with a side chain, and more preferably represent a linkage site with a hydrogen atom or a side chain.

窒素原子を含んで構成される主鎖部は、一般式(I−1)又は一般式(I−2)で表される構造単位に代表される窒素原子含有官能基以外に、窒素原子を含まない二価の連結基或いは窒素原子を含まない構造単位をさらに有して構成されていてもよい。
(A)特定樹脂の主鎖部に導入可能な二価の連結基としては、炭素数1〜30のアルキレン基(例えば、メチレン、エチレン、プロピレン等)、炭素数3〜30のシクロアルキレン基(例えば、1,4−シクロヘキシレン等)、アリーレン基(例えば、1,4−フェニレン等)等が挙げられる。
窒素含有官能基と窒素原子を含まない二価の連結基(構造単位)の重合モル比率は、窒素含有官能基:他の連結基=100:0〜1:99であることが好ましく、100:0〜30:70であることが最も好ましい。
The main chain portion containing a nitrogen atom contains a nitrogen atom in addition to the nitrogen atom-containing functional group represented by the structural unit represented by the general formula (I-1) or the general formula (I-2). It may be configured to further have a structural unit not containing any divalent linking group or nitrogen atom.
(A) As a bivalent coupling group which can be introduce | transduced into the principal chain part of specific resin, a C1-C30 alkylene group (for example, a methylene, ethylene, propylene, etc.), a C3-C30 cycloalkylene group ( For example, 1,4-cyclohexylene and the like, an arylene group (for example, 1,4-phenylene and the like) and the like can be mentioned.
The polymerization molar ratio of the nitrogen-containing functional group and the divalent linking group (structural unit) not containing a nitrogen atom is preferably nitrogen-containing functional group: other linking group = 100: 0 to 1:99, 100: Most preferably, it is 0-30: 70.

本発明の(A)特定樹脂は、ii)オキシアルキレン基を有する側鎖部を有する。ここで、オキシアルキレン基としては、下記一般式(II)で表わされる構造が好ましい。   (A) specific resin of this invention has a side chain part which has ii) oxyalkylene group. Here, the oxyalkylene group is preferably a structure represented by the following general formula (II).

Figure 2009075482
Figure 2009075482

一般式(II)中、Bは炭素数1〜10のアルキレン基を表す。Cは水素原子又は一価の有機基を表す。pは1〜5,000の整数を表す。   In general formula (II), B represents an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms. C represents a hydrogen atom or a monovalent organic group. p represents an integer of 1 to 5,000.

Bは炭素数1〜8のアルキレン基が好ましく、特に炭素数2〜6のアルキレン基が好ましい。Bで表されるアルキレン基はさらに置換基を有するものであってもよく、導入可能な置換基としては、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシル基又はアルコキシカルボニル基が挙げられる。
Cは、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アシル基又はアルコキシカルボニル基であることが好ましく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアシル基又は炭素数1〜20のアルコキシカルボニル基が好ましく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアシル基又は炭素数1〜20のアルコキシカルボニル基が最も好ましい。
本発明の(A)特定樹脂にこのような側鎖構造を有することで、現像性が向上し、さらに、顔料を併用する場合には、顔料の分散性能も向上する。pは1〜2,000が好ましく、1〜1,000が最も好ましい。
B is preferably an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms, and particularly preferably an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms. The alkylene group represented by B may further have a substituent. Examples of the substituent that can be introduced include an alkyl group, a cycloalkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, a halogen atom, an alkoxy group, Examples include an acyl group and an alkoxycarbonyl group.
C is preferably a hydrogen atom, an alkyl group, a cycloalkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, an acyl group or an alkoxycarbonyl group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms. Group, an acyl group having 1 to 20 carbon atoms or an alkoxycarbonyl group having 1 to 20 carbon atoms, preferably an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, an acyl group having 1 to 20 carbon atoms, or An alkoxycarbonyl group having 1 to 20 carbon atoms is most preferable.
By having such a side chain structure in the specific resin (A) of the present invention, developability is improved, and further, when a pigment is used in combination, the dispersion performance of the pigment is also improved. p is preferably 1 to 2,000, and most preferably 1 to 1,000.

本発明のグラフト鎖含有樹脂は、前記オキシアルキレン部を有する側鎖以外の側鎖を有するグラフト重合体であってもよく、例えば、一般式(III)で表わされるポリエステルを側鎖構造として有してもよい。側鎖にポリエステル構造を有することで、顔料の分散性能が一層向上する。   The graft chain-containing resin of the present invention may be a graft polymer having a side chain other than the side chain having the oxyalkylene portion, and has, for example, a polyester represented by the general formula (III) as a side chain structure. May be. By having a polyester structure in the side chain, the pigment dispersion performance is further improved.

Figure 2009075482
Figure 2009075482

一般式(III)中、Dは炭素数1〜30のアルキレン基を表す。Eは水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アシル基又はアルコキシカルボニル基を表す。qは1〜5,000の整数を表す。   In general formula (III), D represents an alkylene group having 1 to 30 carbon atoms. E represents a hydrogen atom, an alkyl group, a cycloalkyl group, an acyl group or an alkoxycarbonyl group. q represents an integer of 1 to 5,000.

Eで表される水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アシル基又はアルコキシカルボニル基は、前記一般式(II)におけるCで表される水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アシル基又はアルコキシカルボニル基と同義である。   The hydrogen atom, alkyl group, cycloalkyl group, acyl group or alkoxycarbonyl group represented by E is the hydrogen atom, alkyl group, cycloalkyl group, acyl group or alkoxycarbonyl represented by C in the general formula (II). Synonymous with group.

Dは炭素数1〜20のアルキレン基が好ましく、1〜15のアルキレン基が最も好ましい。Eは水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアシル基又は炭素数1〜20のアルコキシカルボニル基が好ましく、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアシル基が最も好ましい。
qは1〜2,000が好ましく、1〜1,000が最も好ましい。
D is preferably an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, and most preferably an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms. E is preferably a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an acyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an alkoxycarbonyl group having 1 to 20 carbon atoms, a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or 1 carbon atom. Most preferred are ˜20 acyl groups.
q is preferably 1 to 2,000, and most preferably 1 to 1,000.

オキシアルキレン基を有する側鎖部とそれ以外の側鎖部のモル比率は、オキシアルキレン部を有する側鎖部:それ以外の側鎖部=100:0〜1:99であることが好ましく、100:0〜30:70であることが最も好ましい。
本発明で最も好ましい(A)特定樹脂の態様としては、ポリエチレンイミン又はポリアリルアミンの如き主鎖構造を有し、その側鎖にオキシエチレン、オキシプロピレンから選択されるオキシアルキレン構造を含む置換基を有する重量平均分子量3,000〜50,000程度の高分子化合物である。
The molar ratio of the side chain part having an oxyalkylene group to the other side chain part is preferably such that the side chain part having an oxyalkylene part: the other side chain part = 100: 0 to 1:99, Most preferably, it is 0 to 30:70.
As the most preferable embodiment of the specific resin (A) in the present invention, a substituent having a main chain structure such as polyethyleneimine or polyallylamine and having an oxyalkylene structure selected from oxyethylene and oxypropylene in its side chain is provided. It is a polymer compound having a weight average molecular weight of about 3,000 to 50,000.

本発明に好適に用いうる(A)窒素原子を含んで構成される主鎖部とオキシアルキレン基を含む側鎖部とを有する樹脂は、例えば、特開昭56−57,747号公報に記載の方法に従い、触媒存在下、窒素原子を有するオリゴマー又はポリマーと、環状エーテルとの反応により製造することが可能である。   A resin having a main chain part containing a nitrogen atom and a side chain part containing an oxyalkylene group which can be suitably used in the present invention is described in, for example, JP-A-56-57,747. According to the method, it can be produced by reacting an oligomer or polymer having a nitrogen atom with a cyclic ether in the presence of a catalyst.

反応時に用いる触媒としては、塩基性化合物を用いることが好ましく、例えば水酸化物(水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化セシウム、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウム又は水酸化バリウム等)、アミン化合物(トリエチルアミン、トリブチルアミン、ジイソプロピルエチルアミン、1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]-7-ウンデセン等)、アルキルリチウム(メチルリチウム、エチルリチウム、n−ブチルリチウム、tert−ブチルリチウム等)、グリニヤール試薬(メチルマグネシウムブロミド、エチルマグネシウムブロミド、n−ブチルマグネシウムブロミド等)等が挙げられるが、特に水酸化物が好ましく、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムが最も好ましい。
触媒の使用量には特に制限はないが、窒素原子を有するオリゴマー又はポリマーの窒素原子モル数に対し、0.01モル%〜10モル%用いるのが好ましく、0.1モル%〜5モル%用いるのが最も好ましい。
As the catalyst used in the reaction, a basic compound is preferably used. For example, hydroxide (lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide, cesium hydroxide, calcium hydroxide, magnesium hydroxide, barium hydroxide, etc.) Amine compounds (triethylamine, tributylamine, diisopropylethylamine, 1,8-diazabicyclo [5.4.0] -7-undecene, etc.), alkyllithium (methyllithium, ethyllithium, n-butyllithium, tert-butyllithium, etc.) ), Grignard reagents (methylmagnesium bromide, ethylmagnesium bromide, n-butylmagnesium bromide, etc.), etc. are preferred, with hydroxides being particularly preferred, and lithium hydroxide, sodium hydroxide or potassium hydroxide being most preferred.
Although there is no restriction | limiting in particular in the usage-amount of a catalyst, It is preferable to use 0.01 mol%-10 mol% with respect to the nitrogen atom mole number of the oligomer or polymer which has a nitrogen atom, 0.1 mol%-5 mol% Most preferably it is used.

本反応に用いる環状エーテルは三員環もしくは四員環の環状エーテルが好ましく、エチレンオキシド、プロピレンオキシド及びオキセタンが好ましい。   The cyclic ether used in this reaction is preferably a 3-membered or 4-membered cyclic ether, and ethylene oxide, propylene oxide and oxetane are preferred.

本反応に用いる環状エーテルと、窒素原子を有するオリゴマー又はポリマー中に含まれる窒素原子の総モル数とのモル比は、環状エーテル:窒素原子を有するオリゴマー又はポリマーの窒素原子=1:3〜1:10,000が好ましく、1:10〜1:5,000が最も好ましい。   The molar ratio between the cyclic ether used in this reaction and the total number of moles of nitrogen atoms contained in the oligomer or polymer having a nitrogen atom is cyclic ether: nitrogen atom of oligomer or polymer having nitrogen atom = 1: 3 to 1. : 10,000 is preferable, and 1:10 to 1: 5,000 is most preferable.

反応は、無溶媒で行っても、溶媒存在下で行ってもよい。
溶媒を使用する場合、溶剤としては、脂肪族炭化水素系溶媒(例えば、ペンタン、ヘキサン、シクロヘキサン等)、芳香族炭化水素系溶媒(例えば、トルエン、キシレン、メシチレン等)、スルホキシド系溶媒(例えば、ジメチルスルホキシド等)、ケトン系溶媒(例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン等)、エステル系溶媒(例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピオン酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等)、エーテル系溶媒(例えば、ジエチルエーテル、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン等)、ニトリル系溶媒(例えば、アセトニトリル、プロピオンニトリル等)、アミド系溶媒(例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等)及びハロゲン系溶媒(例えば、クロロホルム、1,2−ジクロロエタン等)を用いることができる。
反応は、無溶媒で行うことが生産性の観点から好ましい。
The reaction may be performed in the absence of a solvent or in the presence of a solvent.
When a solvent is used, examples of the solvent include aliphatic hydrocarbon solvents (eg, pentane, hexane, cyclohexane, etc.), aromatic hydrocarbon solvents (eg, toluene, xylene, mesitylene, etc.), sulfoxide solvents (eg, Dimethyl sulfoxide, etc.), ketone solvents (eg, acetone, methyl ethyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone, etc.), ester solvents (eg, ethyl acetate, butyl acetate, ethyl propionate, propylene glycol monomethyl ether acetate, etc.), ether solvents (Eg, diethyl ether, dibutyl ether, tetrahydrofuran, etc.), nitrile solvents (eg, acetonitrile, propiononitrile, etc.), amide solvents (eg, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide) N- methylpyrrolidone) and halogenated solvents (e.g., chloroform, 1,2-dichloroethane and the like) can be used.
The reaction is preferably carried out without solvent from the viewpoint of productivity.

反応温度は10〜250℃が好ましく、50〜200℃が最も好ましい。
反応時間は、1〜48時間が好ましく、2〜24時間が最も好ましい。
The reaction temperature is preferably 10 to 250 ° C, and most preferably 50 to 200 ° C.
The reaction time is preferably 1 to 48 hours, and most preferably 2 to 24 hours.

以下に、本発明に用いられる(A)特定樹脂の具体例を、その重量平均分子量(Mw)とともに、以下に示すが、本発明はこれらに制限されるものではない。なお、各構造単位に併記された数値は重合度を表す。分子量はGPC法により求めた値である。   Specific examples of the (A) specific resin used in the present invention are shown below together with the weight average molecular weight (Mw), but the present invention is not limited thereto. In addition, the numerical value written together in each structural unit represents a polymerization degree. The molecular weight is a value determined by the GPC method.

Figure 2009075482
Figure 2009075482

本発明の硬化性組成物における(A)特定樹脂の含有量は目的に応じて適宜選択されるが、固形分換算で、0.1〜20質量%の範囲であることが、保存安定性の観点から好ましく、1〜10質量%の範囲であることが更に好ましい。
特に、本発明の硬化性組成物により形成として顔料を含有するものを用いる場合、予め顔料分散液を調製し、その後、他の成分と混合して調製することがこのましいが、その場合には、顔料固形分100質量部に対し10〜80重量部で用いることが好ましい。
Although content of (A) specific resin in the curable composition of this invention is suitably selected according to the objective, it is the range of 0.1-20 mass% in conversion of solid content, and it is storage stability. From the viewpoint, it is preferably in the range of 1 to 10% by mass.
In particular, in the case of using a pigment containing pigment as a formation by the curable composition of the present invention, it is preferable to prepare a pigment dispersion in advance and then mix it with other components. Is preferably used in an amount of 10 to 80 parts by weight based on 100 parts by weight of the pigment solid content.

<(B)光重合開始剤>
本発明の硬化性組成物は、感度及びパターン形成性向上のため(B)光重合開始剤を含有する。本発明における光重合開始剤は、光により分解し、本発明における重合可能な成分の重合を開始、促進する化合物であり、波長300〜500nmの領域に吸収を有するものであることが好ましい。また、光重合開始剤は、単独で、又は2種以上を併用して用いることができる。
<(B) Photopolymerization initiator>
The curable composition of this invention contains (B) photoinitiator for a sensitivity and pattern formation improvement. The photopolymerization initiator in the present invention is a compound that is decomposed by light and initiates and accelerates polymerization of a polymerizable component in the present invention, and preferably has an absorption in a wavelength region of 300 to 500 nm. Moreover, a photoinitiator can be used individually or in combination of 2 or more types.

光重合開始剤としては、例えば、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オキシムエステル化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン(オキシド)化合物、アルキルアミノ化合物、等が挙げられる。
以下、これらの各化合物について詳細に述べる。
Examples of the photopolymerization initiator include organic halogenated compounds, oxydiazole compounds, carbonyl compounds, ketal compounds, benzoin compounds, acridine compounds, organic peroxide compounds, azo compounds, coumarin compounds, azide compounds, metallocene compounds, hexaaryls. Examples thereof include a rubiimidazole compound, an organic boric acid compound, a disulfonic acid compound, an oxime ester compound, an onium salt compound, an acylphosphine (oxide) compound, and an alkylamino compound.
Hereinafter, each of these compounds will be described in detail.

有機ハロゲン化化合物としては、具体的には、若林等、「Bull Chem.Soc Japan」42、2924(1969)、米国特許第3,905,815号明細書、特公昭46−4605号、特開昭48−36281号、特開昭55−32070号、特開昭60−239736号、特開昭61−169835号、特開昭61−169837号、特開昭62−58241号、特開昭62−212401号、特開昭63−70243号、特開昭63−298339号の各公報、M.P.Hutt”Journal of Heterocyclic Chemistry”1(No3),(1970)」等に記載の化合物が挙げられ、特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、s−トリアジン化合物が挙げられる。   Specific examples of the organic halogenated compound include Wakabayashi et al., “Bull Chem. Soc Japan” 42, 2924 (1969), US Pat. No. 3,905,815, Japanese Patent Publication No. 46-4605, JP 48-36281, JP 55-3070, JP 60-239736, JP 61-169835, JP 61-169837, JP 62-58241, JP 62 -212401, JP-A-63-70243, JP-A-63-298339, M.S. P. Examples include compounds described in Hutt “Journal of Heterocyclic Chemistry” 1 (No 3), (1970) ”, and in particular, oxazole compounds substituted with a trihalomethyl group and s-triazine compounds.

s−トリアジン化合物として、より好適には、すくなくとも一つのモノ、ジ、又はトリハロゲン置換メチル基がs−トリアジン環に結合したs−トリアジン誘導体、具体的には、例えば、2,4,6−トリス(モノクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−n−プロピル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(α,α,β−トリクロロエチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3,4−エポキシフェニル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔1−(p−メトキシフェニル)−2,4−ブタジエニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−スチリル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−i−プロピルオキシスチリル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−ナトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ベンジルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジブロモメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メトキシ−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。   As the s-triazine compound, more preferably, an s-triazine derivative in which at least one mono-, di-, or trihalogen-substituted methyl group is bonded to the s-triazine ring, specifically, for example, 2,4,6- Tris (monochloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (dichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-n-propyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (α, α, β-trichloroethyl) -4,6-bis (trichloro Methyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloro) Methyl) -s-triazine, 2- (3,4-epoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- [1- (p-methoxyphenyl) -2,4-butadienyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-styryl-4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2- (p-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (pi-propyloxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-natoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) s-triazine, 2-phenylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-benzylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (dibromomethyl) ) -S-triazine, 2,4,6-tris (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methoxy-4,6- Bis (tribromomethyl) -s-triazine and the like can be mentioned.

オキソジアゾール化合物としては、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(シアノスチリル)−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(ナフト−1−イル)−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(4−スチリル)スチリル−1,3,4−オキソジアゾールなどが挙げられる。   Examples of the oxodiazole compound include 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxodiazole, 2-trichloromethyl-5- (cyanostyryl) -1,3,4-oxodiazole, 2- Examples include trichloromethyl-5- (naphth-1-yl) -1,3,4-oxodiazole, 2-trichloromethyl-5- (4-styryl) styryl-1,3,4-oxodiazole, and the like. .

カルボニル化合物としては、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドロキシ−2−メチルフェニルプロパノン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、2−メチル−(4’−(メチルチオ)フェニル)−2−モルホリノ−1−プロパノン、1,1,1−トリクロロメチル−(p−ブチルフェニル)ケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン等のアセトフェノン誘導体、チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体等を挙げることができる。   Examples of the carbonyl compound include benzophenone, Michler ketone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, 2-carboxybenzophenone and other benzophenone derivatives, 2,2-dimethoxy-2 -Phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, α-hydroxy-2-methylphenylpropanone, 1-hydroxy-1-methylethyl- (p-isopropylphenyl) ketone, 1-hydroxy -1- (p-dodecylphenyl) ketone, 2-methyl- (4 ′-(methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, 1,1,1-trichloromethyl- (p-butylphenyl) , Acetophenone derivatives such as 2-benzyl-2-dimethylamino-4-morpholinobutyrophenone, thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone Thioxanthone derivatives such as 2,4-diisopropylthioxanthone, and benzoic acid ester derivatives such as ethyl p-dimethylaminobenzoate and ethyl p-diethylaminobenzoate.

ケタール化合物としては、ベンジルメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルエチルアセタールなどを挙げることができる。
ベンゾイン化合物としてはmベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルo−ベンゾイルベンゾエートなどを挙げることができる。
Examples of the ketal compound include benzyl methyl ketal and benzyl-β-methoxyethyl ethyl acetal.
Examples of the benzoin compound include mbenzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin methyl ether, methyl o-benzoylbenzoate, and the like.

アクリジン化合物としては、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタンなどを挙げることができる。   Examples of the acridine compound include 9-phenylacridine, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, and the like.

有機過酸化化合物としては、例えば、トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、1,1−ビス(tert−ブチルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(tert−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、2,2−ビス(tert−ブチルパーオキシ)ブタン、tert−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、2,5−ジメチルヘキサン−2,5−ジハイドロパーオキサイド、1,1,3,3−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、tert−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ジ(tert−ブチルパーオキシ)ヘキサン、2,5−オキサノイルパーオキサイド、過酸化こはく酸、過酸化ベンゾイル、2,4−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ(3−メチル−3−メトキシブチル)パーオキシジカーボネート、tert−ブチルパーオキシアセテート、tert−ブチルパーオキシピバレート、tert−ブチルパーオキシネオデカノエート、tert−ブチルパーオキシオクタノエート、tert−ブチルパーオキシラウレート、ターシルカーボネート、3,3’,4,4’−テトラ−(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ−(t−ヘキシルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ−(p−イソプロピルクミルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、カルボニルジ(t−ブチルパーオキシ二水素二フタレート)、カルボニルジ(t−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート)等が挙げられる。   Examples of the organic peroxide compound include trimethylcyclohexanone peroxide, acetylacetone peroxide, 1,1-bis (tert-butylperoxy) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (tert-butylperoxide). Oxy) cyclohexane, 2,2-bis (tert-butylperoxy) butane, tert-butyl hydroperoxide, cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, 2,5-dimethylhexane-2,5-dihydroper Oxide, 1,1,3,3-tetramethylbutyl hydroperoxide, tert-butylcumyl peroxide, dicumyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (tert-butylperoxy) hexane, 2 , -Oxanoyl peroxide, succinic peroxide, benzoyl peroxide, 2,4-dichlorobenzoyl peroxide, diisopropyl peroxydicarbonate, di-2-ethylhexyl peroxydicarbonate, di-2-ethoxyethyl peroxydicarbonate , Dimethoxyisopropyl peroxycarbonate, di (3-methyl-3-methoxybutyl) peroxydicarbonate, tert-butyl peroxyacetate, tert-butyl peroxypivalate, tert-butyl peroxyneodecanoate, tert- Butyl peroxyoctanoate, tert-butyl peroxylaurate, tersyl carbonate, 3,3 ′, 4,4′-tetra- (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3 ′, 4 '-Tetra- (t-hexylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3', 4,4'-tetra- (p-isopropylcumylperoxycarbonyl) benzophenone, carbonyldi (t-butylperoxydihydrogen diphthalate) , Carbonyldi (t-hexylperoxydihydrogen diphthalate) and the like.

アゾ化合物としては、例えば、特開平8−108621号公報に記載のアゾ化合物等を挙げることができる。
クマリン化合物としては、例えば、3−メチル−5−アミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、3−クロロ−5−ジエチルアミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、3−ブチル−5−ジメチルアミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン等を挙げることができる。
Examples of the azo compound include azo compounds described in JP-A-8-108621.
Examples of the coumarin compound include 3-methyl-5-amino-((s-triazin-2-yl) amino) -3-phenylcoumarin, 3-chloro-5-diethylamino-((s-triazin-2-yl). ) Amino) -3-phenylcoumarin, 3-butyl-5-dimethylamino-((s-triazin-2-yl) amino) -3-phenylcoumarin, and the like.

アジド化合物としては、米国特許第2848328号明細書、米国特許第2852379号明細書ならびに米国特許第2940853号明細書に記載の有機アジド化合物、2,6−ビス(4−アジドベンジリデン)−4−エチルシクロヘキサノン(BAC−E)等が挙げられる。   Examples of the azide compound include organic azide compounds described in U.S. Pat. No. 2,848,328, U.S. Pat. No. 2,852,379 and U.S. Pat. No. 2,940,553, 2,6-bis (4-azidobenzylidene) -4-ethyl. And cyclohexanone (BAC-E).

メタロセン化合物としては、特開昭59−152396号公報、特開昭61−151197号公報、特開昭63−41484号公報、特開平2−249号公報、特開平2−4705号公報、特開平5−83588号公報記載の種々のチタノセン化合物、例えば、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4−ジ−フルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、特開平1−304453号公報、特開平1−152109号公報記載の鉄−アレーン錯体等が挙げられる。   Examples of the metallocene compound include JP-A-59-152396, JP-A-61-151197, JP-A-63-41484, JP-A-2-249, JP-A-2-4705, Various titanocene compounds described in JP-A-5-83588, such as di-cyclopentadienyl-Ti-bis-phenyl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-difluorophen-1-yl, di -Cyclopentadienyl-Ti-bis-2,4-di-fluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,4,6-trifluorophen-1-yl, di- Cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4,5,6-pentaful Lophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-difluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,4,6-trifluoropheny -1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4 , 5,6-pentafluorophen-1-yl, iron-arene complexes described in JP-A-1-304453 and JP-A-1-152109, and the like.

ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、特公平6−29285号公報、米国特許第3,479,185号、同第4,311,783号、同第4,622,286号等の各明細書に記載の種々の化合物、具体的には、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ブロモフェニル))4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(m−メトキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o,o’−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ニトロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−トリフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。   As the hexaarylbiimidazole compound, for example, JP-B-6-29285, US Pat. Nos. 3,479,185, 4,311,783, 4,622,286, etc. And, specifically, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-bromophenyl) )) 4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2 ′ -Bis (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (m-methoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o, o'-dichlorophenyl) -4,4', 5 5'-tetraphenylbi Dazole, 2,2′-bis (o-nitrophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-methylphenyl) -4,4 ′, 5 Examples include 5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-trifluorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, and the like.

有機ホウ酸塩化合物としては、例えば、特開昭62−143044号、特開昭62−150242号、特開平9−188685号、特開平9−188686号、特開平9−188710号、特開2000−131837、特開2002−107916、特許第2764769号、特願2000−310808号、等の各公報、及び、Kunz,Martin“Rad Tech’98.Proceeding April 19−22,1998,Chicago”等に記載される有機ホウ酸塩、特開平6−157623号公報、特開平6−175564号公報、特開平6−175561号公報に記載の有機ホウ素スルホニウム錯体或いは有機ホウ素オキソスルホニウム錯体、特開平6−175554号公報、特開平6−175553号公報に記載の有機ホウ素ヨードニウム錯体、特開平9−188710号公報に記載の有機ホウ素ホスホニウム錯体、特開平6−348011号公報、特開平7−128785号公報、特開平7−140589号公報、特開平7−306527号公報、特開平7−292014号公報等の有機ホウ素遷移金属配位錯体等が具体例として挙げられる。   Examples of the organic borate compound include JP-A-62-143044, JP-A-62-1050242, JP-A-9-188585, JP-A-9-188686, JP-A-9-188710, JP-A-2000. -131837, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-107916, Japanese Patent No. 2764769, Japanese Patent Application No. 2000-310808, etc., and Kunz, Martin “Rad Tech '98. Proceeding April 19-22, 1998, Chicago”. Organoboron salts described in JP-A-6-157623, JP-A-6-175564, JP-A-6-175561, JP-A-6-175554 In Japanese Patent Laid-Open No. 6-175553 Organoboron iodonium complexes, organoboron phosphonium complexes described in JP-A-9-188710, JP-A-6-348011, JP-A-7-128785, JP-A-7-140589, JP-A-7- Specific examples include organoboron transition metal coordination complexes such as those described in Japanese Patent No. 306527 and Japanese Patent Laid-Open No. 7-292014.

ジスルホン化合物としては、特開昭61−166544号公報、特願2001−132318号明細書等記載される化合物等が挙げられる。   Examples of the disulfone compound include compounds described in JP-A No. 61-166544 and Japanese Patent Application No. 2001-132318.

オキシムエステル化合物としては、J.C.S. Perkin II (1979 )1653−1660)、J.C.S. Perkin II (1979)156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995)202−232、特開2000−66385号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報記載の化合物等が挙げられる。   Examples of oxime ester compounds include J.M. C. S. Perkin II (1979) 1653-1660), J. MoI. C. S. Perkin II (1979) 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) 202-232, JP-A 2000-66385, compounds described in JP-A 2000-80068, JP-T 2004-534797 Compounds and the like.

オニウム塩化合物としては、例えば、S.I.Schlesinger,Photogr.Sci.Eng.,18,387(1974)、T.S.Bal et al,Polymer,21,423(1980)に記載のジアゾニウム塩、米国特許第4,069,055号明細書、特開平4−365049号等に記載のアンモニウム塩、米国特許第4,069,055号、同4,069,056号の各明細書に記載のホスホニウム塩、欧州特許第104、143号、米国特許第339,049号、同第410,201号の各明細書、特開平2−150848号、特開平2−296514号の各公報に記載のヨードニウム塩などが挙げられる。   Examples of onium salt compounds include S.I. I. Schlesinger, Photogr. Sci. Eng. 18, 387 (1974), T .; S. Bal et al, Polymer, 21, 423 (1980), diazonium salts described in U.S. Pat. No. 4,069,055, ammonium salts described in JP-A-4-365049, U.S. Pat. No. 4,069, No. 055, No. 4,069,056, phosphonium salts described in European Patent Nos. 104 and 143, U.S. Pat. Nos. 339,049 and 410,201, JP Examples include iodonium salts described in JP-A No. -150848 and JP-A-2-296514.

本発明に好適に用いることのできるヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウム塩であり、安定性の観点から、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基等の電子供与性基で2つ以上置換されていることが好ましい。また、その他の好ましいスルホニウム塩の形態として、トリアリールスルホニウム塩の1つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、300nm以上に吸収を有するヨードニウム塩などが好ましい。   The iodonium salt that can be suitably used in the present invention is a diaryl iodonium salt, and is preferably substituted with two or more electron donating groups such as an alkyl group, an alkoxy group, and an aryloxy group from the viewpoint of stability. . In addition, as another preferable form of the sulfonium salt, an iodonium salt in which one substituent of the triarylsulfonium salt has a coumarin or an anthraquinone structure and absorption at 300 nm or more is preferable.

本発明に好適に用いることのできるスルホニウム塩としては、欧州特許第370,693号、同390,214号、同233,567号、同297,443号、同297,442号、米国特許第4,933,377号、同161,811号、同410,201号、同339,049号、同4,760,013号、同4,734,444号、同2,833,827号、独国特許第2,904,626号、同3,604,580号、同3,604,581号の各明細書に記載のスルホニウム塩が挙げられ、安定性と感度の点から好ましくは電子吸引性基で置換されていることが好ましい。電子吸引性基としては、ハメット値が0より大きいことが好ましい。好ましい電子吸引性基としては、ハロゲン原子、カルボン酸などが挙げられる。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の1つの置換基がクマリン、アントラキノン構造を有し、300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。
Examples of the sulfonium salt that can be suitably used in the present invention include European Patent Nos. 370,693, 390,214, 233,567, 297,443, 297,442, and U.S. Pat. 933,377, 161,811, 410,201, 339,049, 4,760,013, 4,734,444, 2,833,827, Germany Examples thereof include sulfonium salts described in the specifications of Patent Nos. 2,904,626, 3,604,580, and 3,604,581, and are preferably electron withdrawing groups from the viewpoint of stability and sensitivity. It is preferably substituted with. The electron withdrawing group preferably has a Hammett value greater than zero. Preferred electron-withdrawing groups include halogen atoms and carboxylic acids.
Other preferable sulfonium salts include sulfonium salts in which one substituent of the triarylsulfonium salt has a coumarin or anthraquinone structure and absorbs at 300 nm or more. As another preferable sulfonium salt, a sulfonium salt in which the triarylsulfonium salt has an allyloxy group or an arylthio group as a substituent and has absorption at 300 nm or more can be mentioned.

また、オニウム塩化合物としては、J.V.Crivello et al,Macromolecules,10(6),1307(1977)、J.V.Crivello et al,J.Polymer Sci.,Polymer Chem.Ed.,17,1047(1979)に記載のセレノニウム塩、C.S.Wen et al,Teh,Proc.Conf.Rad.Curing ASIA,p478 Tokyo,Oct(1988)に記載のアルソニウム塩等のオニウム塩等が挙げられる。   Moreover, as an onium salt compound, J.M. V. Crivello et al, Macromolecules, 10 (6), 1307 (1977), J. MoI. V. Crivello et al, J.A. Polymer Sci. , Polymer Chem. Ed. , 17, 1047 (1979), a selenonium salt described in C.I. S. Wen et al, Teh, Proc. Conf. Rad. Curing ASIA, p478 Tokyo, Oct (1988), and onium salts such as arsonium salts.

アシルホスフィン(オキシド)化合物としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュア819、ダロキュア4265、ダロキュアTPOなどが挙げられる。   Examples of the acylphosphine (oxide) compound include Irgacure 819, Darocur 4265, Darocur TPO and the like manufactured by Ciba Specialty Chemicals.

アルキルアミノ化合物としては、例えば、特開平9−281698号公報の段落番号[0047]、特開平6−19240号公報、特開平6−19249号公報等に記載のジアルキルアミノフェニル基を有する化合物やアルキルアミン化合物が挙げられる。具体的には、ジアルキルアミノフェニル基を有する化合物としてはp−ジメチルアミノ安息香酸エチル等の化合物や、p−ジエチルアミノベンズカルバルデヒド、9−ジュロリジルカルバルデヒド等のジアルキルアミノフェニルカルバルデヒドが、アルキルアミン化合物としてはトリエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエチルアミン等が挙げられる。   Examples of the alkylamino compound include compounds having a dialkylaminophenyl group described in paragraph No. [0047] of JP-A-9-281698, JP-A-6-19240, JP-A-6-19249, and the like. An amine compound is mentioned. Specifically, compounds having a dialkylaminophenyl group include compounds such as ethyl p-dimethylaminobenzoate, and dialkylaminophenyl carbaldehydes such as p-diethylaminobenzcarbaldehyde and 9-julolidylcarbaldehyde. Examples of the amine compound include triethanolamine, diethanolamine, and triethylamine.

本発明に用いられる(B)光重合開始剤としては、露光感度の観点から、トリアジン系化合物、アルキルアミノ化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、メタロセン化合物、オキシム系化合物、ビイミダゾール系化合物、オニウム系化合物、ベンゾチアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、3−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。   As the photopolymerization initiator (B) used in the present invention, from the viewpoint of exposure sensitivity, a triazine compound, an alkylamino compound, a benzyldimethyl ketal compound, an α-hydroxyketone compound, an α-aminoketone compound, an acylphosphine compound, Phosphine oxide compounds, metallocene compounds, oxime compounds, biimidazole compounds, onium compounds, benzothiazole compounds, benzophenone compounds, acetophenone compounds and derivatives thereof, cyclopentadiene-benzene-iron complexes and salts thereof, halo A compound selected from the group consisting of a methyloxadiazole compound and a 3-aryl-substituted coumarin compound is preferred.

より好ましくは、トリアジン系化合物、アルキルアミノ化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、オキシム系化合物、ビイミダゾール系化合物、オニウム系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物であり、トリアジン系化合物、アルキルアミノ化合物、オキシム系化合物、ビイミダゾール系化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物が更に好ましい。   More preferably, they are triazine compounds, alkylamino compounds, α-aminoketone compounds, acylphosphine compounds, phosphine oxide compounds, oxime compounds, biimidazole compounds, onium compounds, benzophenone compounds, acetophenone compounds. More preferably, at least one compound selected from the group consisting of triazine compounds, alkylamino compounds, oxime compounds, and biimidazole compounds.

特に、本発明の硬化性組成物を固体撮像素子のカラーフィルタにおける着色画素の形成に用いる場合、処方上、硬化性組成物の顔料濃度が高くなるため、開始剤の添加量は少なくなり、感度が低下してしまう。又、露光をステッパーで行う際には、トリアジン系化合物等のごとく、露光時にハロゲン含有化合物を発生する開始剤を用いると、機器の腐食の原因となり使用し難い。これらを考慮すれば、感度と諸性能を満足させる光重合開始剤としては、オキシム系化合物が好ましく、特に、365nmに吸収を有するオキシム系化合物が最も好ましい。   In particular, when the curable composition of the present invention is used for the formation of colored pixels in a color filter of a solid-state image sensor, the pigment concentration of the curable composition is high due to the formulation, so the amount of initiator added is reduced and the sensitivity is increased. Will fall. Further, when exposure is performed with a stepper, if an initiator that generates a halogen-containing compound at the time of exposure, such as a triazine compound, is used, it causes corrosion of the equipment and is difficult to use. Considering these, as the photopolymerization initiator that satisfies the sensitivity and various performances, an oxime compound is preferable, and an oxime compound having absorption at 365 nm is most preferable.

(B)光重合開始剤の含有量は、本発明の硬化性組成物の全固形分に対し0.1質量%〜50質量%であることが好ましく、より好ましくは0.5質量%〜30質量%、特に好ましくは1質量%〜20質量%である。この範囲で、良好な感度とパターン形成性が得られる。   (B) It is preferable that content of a photoinitiator is 0.1 mass%-50 mass% with respect to the total solid of the curable composition of this invention, More preferably, 0.5 mass%-30 % By mass, particularly preferably 1% by mass to 20% by mass. Within this range, good sensitivity and pattern formability can be obtained.

<(C)エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物>
本発明の硬化性組成物は、前記樹脂以外のエチレン性不飽和二重結合を含有する化合物(以下、単に「エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物」と称する場合がある。)を含有することができる。
<(C) Compound containing ethylenically unsaturated double bond>
The curable composition of the present invention contains a compound containing an ethylenically unsaturated double bond other than the resin (hereinafter, sometimes simply referred to as “compound containing an ethylenically unsaturated double bond”). can do.

本発明に用いることができるエチレン性不飽和二重結合を含有する化合物は、前記樹脂以外のものであって、少なくとも一個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定無く用いることができる。これらは、例えばモノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物ならびにそれらの共重合体などの化学的形態をもつ。モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。また、ヒドロキシ基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。   The compound containing an ethylenically unsaturated double bond that can be used in the present invention is an addition-polymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond, other than the resin, and having a terminal ethylene Selected from compounds having at least one, preferably two or more, unsaturated unsaturated bonds. Such a compound group is widely known in the industrial field, and can be used without any particular limitation in the present invention. These have chemical forms such as monomers, prepolymers, i.e. dimers, trimers and oligomers, or mixtures thereof and copolymers thereof. Examples of monomers and copolymers thereof include unsaturated carboxylic acids (for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.), and esters and amides thereof. In this case, an ester of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyhydric alcohol compound, or an amide of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyvalent amine compound is used. In addition, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a nucleophilic substituent such as a hydroxy group, an amino group or a mercapto group with a monofunctional or polyfunctional isocyanate or epoxy, and a monofunctional or polyfunctional compound. A dehydration condensation reaction product with a functional carboxylic acid is also preferably used. Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having an electrophilic substituent such as an epoxy group or an epoxy group with a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol, a halogen group or In addition, a substitution reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a leaving substituent such as a tosyloxy group and a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol is also suitable. As another example, it is also possible to use a group of compounds substituted with unsaturated phosphonic acid, styrene, vinyl ether or the like instead of the unsaturated carboxylic acid.

脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、1,3−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸EO変性トリアクリレート等がある。   Specific examples of the monomer of an ester of an aliphatic polyhydric alcohol compound and an unsaturated carboxylic acid include acrylic acid esters such as ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, and tetramethylene glycol. Diacrylate, propylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, hexanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate , Tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate , Pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyester acrylate oligomer, isocyanuric acid There are EO-modified triacrylate and the like.

メタクリル酸エステルとしては、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔p−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔p−(メタクリルオキシエトキシ)フェニル〕ジメチルメタン等がある。   Methacrylic acid esters include tetramethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butanediol dimethacrylate, Hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol dimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, sorbitol trimethacrylate, sorbitol tetramethacrylate, bis [p- (3-methacryloxy- 2-hydroxypro ) Phenyl] dimethyl methane, bis - [p- (methacryloxyethoxy) phenyl] dimethyl methane.

イタコン酸エステルとしては、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、1,3−ブタンジオールジイタコネート、1,4−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。   Itaconic acid esters include ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate, tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate And sorbitol tetritaconate. Examples of crotonic acid esters include ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate, and sorbitol tetradicrotonate. Examples of isocrotonic acid esters include ethylene glycol diisocrotonate, pentaerythritol diisocrotonate, and sorbitol tetraisocrotonate. Examples of maleic acid esters include ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate, and sorbitol tetramaleate.

その他のエステルの例として、例えば、特公昭51−47334号、特開昭57−196231号各公報記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭59−5240号、特開昭59−5241号、特開平2−226149号各公報記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平1−165613号公報記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。更に、前述のエステルモノマーは混合物としても使用することができる。   Examples of other esters include, for example, aliphatic alcohol esters described in JP-B-51-47334 and JP-A-57-196231, JP-A-59-5240, and JP-A-59-5241. Those having an aromatic skeleton described in JP-A-2-226149 and those containing an amino group described in JP-A-1-165613 are also preferably used. Furthermore, the ester monomers described above can also be used as a mixture.

さらに、酸基を含有するモノマーも使用でき、例えば、(メタ)アクリル酸、ペンタエリスリトールトリアクリレートコハク酸モノエステル、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートコハク酸モノエステル、ペンタエリスリトールトリアクリレートマレイン酸モノエステル、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートマレイン酸モノエステル、ペンタエリスリトールトリアクリレートフタル酸モノエステル、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートフタル酸モノエステル、ペンタエリスリトールトリアクリレートテトラヒドロフタル酸モノエステル、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートテトラヒドロフタル酸モノエステル等が挙げられる。これらの中では、ペンタエリスリトールトリアクリレートコハク酸モノエステル等が挙げられる。   Furthermore, monomers containing acid groups can also be used, for example, (meth) acrylic acid, pentaerythritol triacrylate succinic acid monoester, dipentaerythritol pentaacrylate succinic acid monoester, pentaerythritol triacrylate maleic acid monoester, dipenta Erythritol pentaacrylate maleic acid monoester, pentaerythritol triacrylate phthalic acid monoester, dipentaerythritol pentaacrylate phthalic acid monoester, pentaerythritol triacrylate tetrahydrophthalic acid monoester, dipentaerythritol pentaacrylate tetrahydrophthalic acid monoester It is done. In these, pentaerythritol triacrylate succinic acid monoester etc. are mentioned.

また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭54−21726記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。   Specific examples of amide monomers of aliphatic polyvalent amine compounds and unsaturated carboxylic acids include methylene bis-acrylamide, methylene bis-methacrylamide, 1,6-hexamethylene bis-acrylamide, 1,6-hexamethylene bis. -Methacrylamide, diethylenetriamine trisacrylamide, xylylene bisacrylamide, xylylene bismethacrylamide and the like. Examples of other preferable amide monomers include those having a cyclohexylene structure described in JP-B-54-21726.

また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭48−41708号公報に記載されている1分子に2個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に、下記一般式で表される化合物における水酸基を含有するビニルモノマーを付加させた1分子中に2個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。   Further, urethane-based addition polymerizable compounds produced by using an addition reaction of isocyanate and hydroxyl group are also suitable. Specific examples thereof include, for example, one molecule described in JP-B-48-41708. A vinyl urethane compound containing two or more polymerizable vinyl groups in one molecule obtained by adding a vinyl monomer containing a hydroxyl group in a compound represented by the following general formula to a polyisocyanate compound having two or more isocyanate groups. Etc.

一般式 CH=C(R10)COOCHCH(R11)OH
(ただし、R10及びR11は、H又はCHを示す。)
Formula CH 2 = C (R 10) COOCH 2 CH (R 11) OH
(However, R 10 and R 11 represent H or CH 3. )

また、特開昭51−37193号、特公平2−32293号、特公平2−16765号各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号、特公昭56−17654号、特公昭62−39417号、特公昭62−39418号各公報記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭63−277653号、特開昭63−260909号、特開平1−105238号各公報に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。   Also, urethane acrylates such as those described in JP-A-51-37193, JP-B-2-32293, JP-B-2-16765, JP-B-58-49860, JP-B-56-17654 Urethane compounds having an ethylene oxide skeleton described in JP-B-62-39417 and JP-B-62-39418 are also suitable. Furthermore, by using addition polymerizable compounds having an amino structure or a sulfide structure in the molecule described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, JP-A-1-105238 Can obtain a photopolymerizable composition having an excellent photosensitive speed.

その他の例としては、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭46−43946号、特公平1−40337号、特公平1−40336号各公報記載の特定の不飽和化合物や、特開平2−25493号公報記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、ある場合には、特開昭61−22048号公報記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。更に日本接着協会誌vol.20、No.7、300〜308ページ(1984年)に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。   Other examples include reacting polyester acrylates, epoxy resins and (meth) acrylic acid as described in JP-A-48-64183, JP-B-49-43191 and JP-B-52-30490. And polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates. Further, specific unsaturated compounds described in JP-B-46-43946, JP-B-1-40337, JP-B-1-40336, and vinylphosphonic acid-based compounds described in JP-A-2-25493 are also included. be able to. In some cases, a structure containing a perfluoroalkyl group described in JP-A-61-22048 is preferably used. Furthermore, Journal of Japan Adhesion Association vol. 20, no. 7, pages 300 to 308 (1984), which are introduced as photocurable monomers and oligomers, can also be used.

これらの付加重合性化合物について、その構造、単独使用か併用か、添加量等の使用方法の詳細は、硬化性組成物の性能設計にあわせて任意に設定できる。例えば、次のような観点から選択される。
感度の点では1分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、2官能以上が好ましい。また、画像部すなわち硬化膜の強度を高くするためには、3官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基(例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物)のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。硬化感度の観点から、(メタ)アクリル酸エステル構造を2個以上含有する化合物を用いることが好ましく、3個以上含有する化合物を用いることがより好ましく、4個以上含有する化合物を用いることが最も好ましい。また、硬化感度、および、未露光部の現像性の観点では、EO変性体を含有することが好ましい。また、硬化感度、および、露光部強度の観点ではウレタン結合を含有することが好ましい。
About these addition polymerizable compounds, the details of usage methods such as the structure, single use or combined use, addition amount and the like can be arbitrarily set according to the performance design of the curable composition. For example, it is selected from the following viewpoints.
From the viewpoint of sensitivity, a structure having a large unsaturated group content per molecule is preferable, and in many cases, a bifunctional or higher functionality is preferable. Further, in order to increase the strength of the image area, that is, the cured film, those having three or more functionalities are preferable. A method of adjusting both sensitivity and strength by using a compound) is also effective. From the viewpoint of curing sensitivity, it is preferable to use a compound containing two or more (meth) acrylic acid ester structures, more preferably a compound containing three or more, and most preferably a compound containing four or more. preferable. Moreover, it is preferable to contain an EO modified body from a viewpoint of hardening sensitivity and the developability of an unexposed part. Moreover, it is preferable to contain a urethane bond from a viewpoint of hardening sensitivity and exposure part intensity | strength.

また、硬化性組成物中の他の成分(例えば、樹脂、光重合開始剤、顔料)との相溶性、分散性に対しても、付加重合化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や、2種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、基板等との密着性を向上せしめる目的で特定の構造を選択することもあり得る。   In addition, the selection and use method of the addition polymerization compound is an important factor for the compatibility and dispersibility with other components (for example, resin, photopolymerization initiator, pigment) in the curable composition, For example, the compatibility may be improved by using a low-purity compound or using two or more kinds in combination. In addition, a specific structure may be selected for the purpose of improving the adhesion with a substrate or the like.

以上の観点より、ビスフェノールAジアクリレート、ビスフェノールAジアクリレートEO変性体、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートEO変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートEO変性体などが好ましいものとして挙げられ、また、市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社製)、UA−7200(新中村化学社製)が好ましい。   From the above viewpoints, bisphenol A diacrylate, modified bisphenol A diacrylate EO, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate Acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxy D (I) Isocyanurate, pentaerythritol tetraacrylate EO modified product, dipentaerythritol hexaacrylate EO modified product, etc. are mentioned as preferable ones. Also, as commercially available products, urethane oligomer UAS-10, UAB-140 (Sanyo Kokusaku Pulp Co., Ltd.) Manufactured), DPHA-40H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600, AI-600 (manufactured by Kyoei), UA-7200 (Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.) Product).

中でも、ビスフェノールAジアクリレートEO変性体、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートEO変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートEO変性体などが、市販品としては、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社製)がより好ましい。   Among them, bisphenol A diacrylate EO modified, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, pentaerythritol tetraacrylate EO modified, di Examples of commercially available modified products such as pentaerythritol hexaacrylate EO include DPHA-40H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600, AI-600 ( Kyoeisha) is more preferable.

本発明における(C)エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物の含有量は、本発明の硬化性組成物の固形分中に、1質量%〜90質量%であることが好ましく、5質量%〜80質量%であることがより好ましく、10質量%〜70質量%であることが更に好ましい。   The content of the compound containing (C) an ethylenically unsaturated double bond in the present invention is preferably 1% by mass to 90% by mass in the solid content of the curable composition of the present invention, and 5% by mass. % To 80% by mass is more preferable, and 10% to 70% by mass is even more preferable.

特に、本発明の硬化性組成物をカラーフィルタの着色パターン形成に使用する場合、(C)エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物の含有量は、上記の範囲において5質量%〜50質量%であることが好ましく、7質量%〜40質量%であることがより好ましく、10質量%〜35質量%であることが更に好ましい。   In particular, when the curable composition of the present invention is used for forming a colored pattern of a color filter, the content of the compound containing (C) an ethylenically unsaturated double bond is 5% by mass to 50% by mass within the above range. %, More preferably 7% by mass to 40% by mass, and still more preferably 10% by mass to 35% by mass.

(D)溶剤
本発明の硬化性組成物は、少なくとも一種の(D)溶剤を有する。前記(A)特定樹脂、(B)重合開始剤、(C)重合性化合物と共に(D)溶媒を用いることにより、後述する(E)顔料を用いる場合、顔料が良好に分散された硬化性組成物を調製することができる。
(D) Solvent The curable composition of the present invention has at least one (D) solvent. The (A) specific resin, (B) polymerization initiator, (C) the polymerizable compound and the (D) solvent are used, and when the (E) pigment described later is used, the curable composition in which the pigment is well dispersed. Product can be prepared.

本発明における(D)溶剤としては、以下に示される有機溶剤から選択される液体が挙げられ、顔料分散液中に含まれる各成分の溶解性や、硬化性組成物に応用した場合の塗布性などを考慮して選択されるものであり、これら所望の物性を満足すれば基本的に特には限定されないが、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
溶剤の具体例としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等;
Examples of the solvent (D) in the present invention include liquids selected from the organic solvents shown below, and the solubility of each component contained in the pigment dispersion and the applicability when applied to a curable composition. These are selected in consideration of the above and are not particularly limited as long as these desired physical properties are satisfied, but are preferably selected in consideration of safety.
Specific examples of the solvent include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, methyl oxyacetate, and ethyl oxyacetate. , Butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, 3-methoxypropion Ethyl acetate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, methyl 2-methoxypropionate, 2-methoxypropion Ethyl, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-methoxy-2 -Methyl methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate and the like;

エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート(エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート)、エチルセロソルブアセテート(エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート)、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等;
ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等;芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン等;が好ましい。
Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate (ethylene glycol monomethyl ether acetate), ethyl cellosolve acetate (ethylene glycol monoethyl ether acetate), diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol mono Ethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol methyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, pro Etc. glycol propyl ether acetate;
Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone and the like; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene are preferred.

これらの中でも、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)等がより好ましい。   Among these, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimeter ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, diethylene glycol monoethyl ether Acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol methyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) and the like are more preferable.

本発明の硬化性組成物中における(D)溶剤の含有量としては、50〜90質量%が好ましく、60〜95質量%がより好ましく、70〜90質量%が最も好ましい。溶剤の含有量が前記範囲内であることにより、異物の発生抑制の点で有利である。   As content of (D) solvent in the curable composition of this invention, 50-90 mass% is preferable, 60-95 mass% is more preferable, 70-90 mass% is the most preferable. When the content of the solvent is within the above range, it is advantageous in terms of suppressing the generation of foreign matter.

本発明の硬化性組成物は、必要に応じて以下に詳述する成分をさらに含有してもよい。   The curable composition of this invention may further contain the component explained in full detail as needed.

<(E)顔料>
本発明の硬化性組成物は、顔料を含有してもよい。顔料を含有することにより、カラーフィルタにおける着色領域の形成、印刷用インク等に適用することが可能となる。
<(E) Pigment>
The curable composition of the present invention may contain a pigment. By containing a pigment, it can be applied to formation of a colored region in a color filter, printing ink, and the like.

硬化性組成物が含有する顔料は、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を用いることができ、高透過率であることが好ましい。   As the pigment contained in the curable composition, conventionally known various inorganic pigments or organic pigments can be used, and high transmittance is preferable.

無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、および前記金属の複合酸化物を挙げることができる。   Examples of inorganic pigments include metal compounds represented by metal oxides, metal complex salts, and the like. Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, antimony, etc. And metal oxides of the above metals.

有機顔料としては、例えば、
C.I.ピグメントイエロー11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,185,199,;
C.I.ピグメントオレンジ36,38,43,71;
C.I.ピグメントレッド81,105,122,149,150,155,171,175,176,177,209,220,224,242,254,255,264,270;
C.I.ピグメントバイオレット19,23,32,39;
C.I.ピグメントブルー1,2,15,15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
C.I.ピグメントグリーン7,36,37;
C.I.ピグメントブラウン25,28;
C.I.ピグメントブラック1,7;
カーボンブラック等を挙げることができる。
As an organic pigment, for example,
C. I. Pigment yellow 11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,185,199;
C. I. Pigment orange 36, 38, 43, 71;
C. I. Pigment red 81,105,122,149,150,155,171,175,176,177,209,220,224,242,254,255,264,270;
C. I. Pigment violet 19, 23, 32, 39;
C. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;
C. I. Pigment green 7, 36, 37;
C. I. Pigment brown 25, 28;
C. I. Pigment black 1, 7;
Examples thereof include carbon black.

本発明では、特に顔料の構造式中に塩基性の窒素原子をもつものを好ましく用いることができる。これら塩基性の窒素原子をもつ顔料は本発明の組成物中で良好な分散性を示す。その原因については十分解明されていないが、感光性重合成分と顔料との親和性の良さが影響しているものと推定される。   In the present invention, those having a basic nitrogen atom in the structural formula of the pigment can be preferably used. These pigments having basic nitrogen atoms exhibit good dispersibility in the composition of the present invention. Although the cause is not fully elucidated, it is presumed that the good affinity between the photosensitive polymerization component and the pigment has an influence.

本発明において好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し本発明は、これらに限定されるものではない。   Examples of the pigment that can be preferably used in the present invention include the following. However, the present invention is not limited to these.

C.I.ピグメントイエロー11,24,108,109,110,138,139,150,151,154,167,180,185,
C.I.ピグメントオレンジ36,71,
C.I.ピグメントレッド122,150,171,175,177,209,224,242,254,255,264,
C.I.ピグメントバイオレット19,23,32,
C.I.ピグメントブルー15:1,15:3,15:6,16,22,60,66,
C.I.ピグメントグリーン7,36,37;
C.I.ピグメントブラック1
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185
C. I. Pigment orange 36, 71,
C. I. Pigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264
C. I. Pigment violet 19, 23, 32,
C. I. Pigment Blue 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66,
C. I. Pigment green 7, 36, 37;
C. I. Pigment Black 1

これら有機顔料は、単独もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。上記組合せの具体例を以下に示す。例えば、赤の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独またはそれらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料またはペリレン系赤色顔料と、の混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド177が挙げられ、ペリレン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、C.I.ピグメントレッド254が挙げられ、色分解性の点でC.I.ピグメントイエロー139との混合が好ましい。
また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:50が好ましい。100:4以下では400nmから500nmの光透過率を抑えることが困難であり、また100:51以上では主波長が短波長寄りになり、色分解能を上げることが出来ない場合がある。特に、上記質量比としては、100:10〜100:30の範囲が最適である。尚、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、求める分光に併せて調整することができる。
These organic pigments can be used alone or in various combinations in order to increase color purity. Specific examples of the above combinations are shown below. For example, as a red pigment, an anthraquinone pigment, a perylene pigment, a diketopyrrolopyrrole pigment alone or at least one of them, a disazo yellow pigment, an isoindoline yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment or a perylene red pigment , Etc. can be used. For example, as an anthraquinone pigment, C.I. I. Pigment red 177, and perylene pigments include C.I. I. Pigment red 155, C.I. I. Pigment Red 224, and diketopyrrolopyrrole pigments include C.I. I. Pigment Red 254, and C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 139 is preferred.
The mass ratio of the red pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 50. If the ratio is 100: 4 or less, it is difficult to suppress the light transmittance from 400 nm to 500 nm. If the ratio is 100: 51 or more, the main wavelength tends to be closer to the short wavelength, and the color resolution may not be improved. In particular, the mass ratio is optimally in the range of 100: 10 to 100: 30. In the case of a combination of red pigments, it can be adjusted in accordance with the required spectrum.

また、緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、または、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、C.I.ピグメントグリーン7、36、37とC.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー180またはC.I.ピグメントイエロー185との混合が好ましい。
緑顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:150が好ましい。上記質量比としては100:30〜100:120の範囲が特に好ましい。
As the green pigment, a halogenated phthalocyanine pigment can be used alone, or a mixture thereof with a disazo yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment, an azomethine yellow pigment or an isoindoline yellow pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 37 and C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180 or C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 185 is preferred.
The mass ratio of the green pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 150. The mass ratio is particularly preferably in the range of 100: 30 to 100: 120.

青の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えばC.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との混合が好ましい。
青色顔料と紫色顔料との質量比は、100:0〜100:100が好ましく、より好ましくは100:10以下である。
As the blue pigment, a phthalocyanine pigment can be used alone, or a mixture thereof with a dioxazine purple pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Mixing with pigment violet 23 is preferred.
The mass ratio of the blue pigment and the violet pigment is preferably 100: 0 to 100: 100, more preferably 100: 10 or less.

また、ブラックマトリックス用の顔料としては、カーボン、チタンブラック、酸化鉄、酸化チタン単独または混合が用いられ、カーボンとチタンブラックとの組合せが好ましい。また、カーボンとチタンブラックとの質量比は、100:0〜100:60の範囲が好ましい。   Further, as the pigment for the black matrix, carbon, titanium black, iron oxide, titanium oxide alone or a mixture thereof is used, and a combination of carbon and titanium black is preferable. The mass ratio of carbon to titanium black is preferably in the range of 100: 0 to 100: 60.

顔料の一次粒子径は、カラーフィルタ用として用いる場合には、色ムラやコントラストの観点から、100nm以下であることが好ましく、また、分散安定性の観点から5nm以上であることが好ましい。顔料の一次粒子径としてより好ましくは、5〜75nmであり、さらに好ましくは5〜55nmであり、特に好ましくは5〜35nmである。
顔料の一次粒子径は、電子顕微鏡等の公知の方法で測定することができる。
When used for a color filter, the primary particle diameter of the pigment is preferably 100 nm or less from the viewpoint of color unevenness and contrast, and is preferably 5 nm or more from the viewpoint of dispersion stability. The primary particle diameter of the pigment is more preferably 5 to 75 nm, still more preferably 5 to 55 nm, and particularly preferably 5 to 35 nm.
The primary particle diameter of the pigment can be measured by a known method such as an electron microscope.

中でも、顔料としては、アントラキノン系、アゾメチン系、ベンジリデン系、シアニン系、ジケトピロロピロール系、フタロシアニン系から選ばれる顔料であることが好ましい。   Among these, the pigment is preferably a pigment selected from anthraquinone, azomethine, benzylidene, cyanine, diketopyrrolopyrrole, and phthalocyanine.

本発明の硬化性組成物における顔料の含有量は、カラーフィルタの着色パターン形成に使用する場合を含めて、硬化性組成物の全固形分に対して、30質量%以上であることが好ましく、35質量%以上であることがより好ましく、40質量%以上80質量%以下であることがもっとも好ましい。   The content of the pigment in the curable composition of the present invention is preferably 30% by mass or more based on the total solid content of the curable composition, including the case where it is used for forming a color filter color pattern. It is more preferably 35% by mass or more, and most preferably 40% by mass or more and 80% by mass or less.

次に、本発明の硬化性組成物に添加しうる他の成分について述べる。
<アルカリ可溶性樹脂>
硬化性組成物には、膜性や現像性向上の目的でアルカリ可溶性樹脂を添加することができる。本発明において使用しうるアルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であって、分子(好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子)中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基(例えばカルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、ヒドロキシル基など)を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。
上記アルカリ可溶性樹脂としてより好ましいものは、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等のアクリル系共重合体のものが挙げられる。
酸価としては、20〜200mgKOH/g、好ましくは30〜150mgKOH/g、更に好ましくは35〜120mgKOH/gの範囲のものが好ましい。
Next, other components that can be added to the curable composition of the present invention will be described.
<Alkali-soluble resin>
An alkali-soluble resin can be added to the curable composition for the purpose of improving film properties and developability. The alkali-soluble resin that can be used in the present invention is a linear organic polymer, and at least 1 in a molecule (preferably a molecule having an acrylic copolymer or a styrene copolymer as a main chain). It can be appropriately selected from alkali-soluble resins having two groups that promote alkali solubility (for example, carboxyl group, phosphoric acid group, sulfonic acid group, hydroxyl group, etc.).
More preferable as the alkali-soluble resin is a polymer having a carboxylic acid in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, JP-B-54-25957, A methacrylic acid copolymer, an acrylic acid copolymer, an itaconic acid copolymer, a crotonic acid copolymer, a maleic acid, as described in Japanese Unexamined Patent Publication Nos. 59-53836 and 59-71048. Acrylic copolymers such as acid copolymers, partially esterified maleic acid copolymers, etc., acidic cellulose derivatives having carboxylic acids in the side chains, and polymers having hydroxyl groups with acid anhydrides added. Can be mentioned.
The acid value is preferably in the range of 20 to 200 mgKOH / g, preferably 30 to 150 mgKOH / g, more preferably 35 to 120 mgKOH / g.

アルカリ可溶性樹脂の具体的な構成単位については、特に(メタ)アクリル酸と、これと共重合可能な他の単量体との共重合体が好適である。前記(メタ)アクリル酸と共重合可能な他の単量体としては、アルキル(メタ)アクリレート、アリール(メタ)アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。ここで、アルキル基及びアリール基の水素原子は、置換基で置換されていてもよい。
前記アルキル(メタ)アクリレート及びアリール(メタ)アクリレートのとしては、CH=C(R)(COOR) 〔ここで、Rは水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表し、Rは炭素数6〜10の芳香族炭化水素環を表し、Rは炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数6〜12のアラルキル基を表す。〕具体的にはメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、トリル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート(アルキルは炭素数1〜8のアルキル基)、ヒドロキシグリシジルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等を挙げることができる。
As a specific structural unit of the alkali-soluble resin, a copolymer of (meth) acrylic acid and another monomer copolymerizable therewith is particularly suitable. Examples of other monomers copolymerizable with the (meth) acrylic acid include alkyl (meth) acrylates, aryl (meth) acrylates, and vinyl compounds. Here, the hydrogen atom of the alkyl group and the aryl group may be substituted with a substituent.
As the alkyl (meth) acrylate and aryl (meth) acrylate, CH 2 ═C (R 1 ) (COOR 3 ) [wherein R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms; 2 represents an aromatic hydrocarbon ring having 6 to 10 carbon atoms, and R 3 represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or an aralkyl group having 6 to 12 carbon atoms. Specifically, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, octyl (meth) ) Acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, tolyl (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, hydroxyalkyl (meth) acrylate (alkyl is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms) ), Hydroxyglycidyl methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate and the like.

また分子側鎖にポリアルキレンオキサイド鎖を有する樹脂も好ましいものである。前記ポリアルキレンオキサイド鎖としてはポリエチレンオキシド鎖、ポリプロピレンオキシド鎖、ポリテトラメチレングリコール鎖あるいはこれらの併用も可能であり、末端は水素原子あるいは直鎖もしくは分岐のアルキル基である。
ポリエチレンオキシド鎖、ポリプロピレンオキシド鎖の繰り返し単位は1〜20が好ましく、2〜12がより好ましい。これらの側鎖にポリアルキレンオキサイド鎖を有するアクリル系共重合体は、例えば2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリ(エチレングリコール−プロピレングリコール)モノ(メタ)アクリレートなどおよびこれらの末端OH基をアルキル封鎖した化合物、例えばメトキシポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、エトキシポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、メトキシポリ(エチレングリコール−プロピレングリコール)モノ(メタ)アクリレートなどを共重合成分とするアクリル系共重合体である。
A resin having a polyalkylene oxide chain in the molecular side chain is also preferred. The polyalkylene oxide chain may be a polyethylene oxide chain, a polypropylene oxide chain, a polytetramethylene glycol chain, or a combination thereof, and the terminal is a hydrogen atom or a linear or branched alkyl group.
1-20 are preferable and, as for the repeating unit of a polyethylene oxide chain and a polypropylene oxide chain, 2-12 are more preferable. Acrylic copolymers having a polyalkylene oxide chain in these side chains are, for example, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate , Poly (ethylene glycol-propylene glycol) mono (meth) acrylate and the like, and compounds in which these terminal OH groups are alkyl-blocked, such as methoxypolyethylene glycol mono (meth) acrylate, ethoxypolypropylene glycol mono (meth) acrylate, methoxypoly (ethylene glycol) -An acrylic copolymer having propylene glycol) mono (meth) acrylate or the like as a copolymerization component.

また、前記ビニル化合物としては、CH=CR 〔ここで、Rは水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表し、Rは炭素数6〜10の芳香族炭化水素環を表す。〕具体的には、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、アクリロニトリル、ビニルアセテート、N−ビニルピロリドン、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等を挙げることができる。
これら共重合可能な他の単量体は、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。好ましい共重合可能な他の単量体は、アルキル(メタ)アクリレート(アルキルは炭素数2から4のアルキル基)、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート及びスチレンである。
これらの中では特に、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体やベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/他のモノマーからなる多元共重合体が好適である。
In addition, as the vinyl compound, CH 2 = CR 1 R 2 [wherein R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and R 2 represents an aromatic hydrocarbon ring having 6 to 10 carbon atoms. Represents. Specific examples include styrene, α-methylstyrene, vinyl toluene, acrylonitrile, vinyl acetate, N-vinyl pyrrolidone, polystyrene macromonomer, polymethyl methacrylate macromonomer, and the like.
These other copolymerizable monomers can be used singly or in combination of two or more. Other preferable copolymerizable monomers are alkyl (meth) acrylate (alkyl is an alkyl group having 2 to 4 carbon atoms), phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate and styrene.
Among these, benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymers and multi-component copolymers composed of benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / other monomers are preferable.

アクリル系樹脂は、既に述べたように、20〜200mgKOH/gの範囲の酸価を有する。酸価が200を越えた場合、アクリル系樹脂がアルカリに対する溶解性が大きくなりすぎて現像適正範囲(現像ラチチュード)が狭くなる。一方、20未満と小さすぎると、アルカリに対する溶解性が小さく現像に時間がかかり過ぎて好ましくない。
また、アクリル系樹脂の重量平均分子量Mw(GPC法で測定されたポリスチレン換算値)は、カラーレジストを塗布等の工程上使用しやすい粘度範囲を実現するために、また膜強度を確保するために、2,000〜100,000であることが好ましく、より好ましくは3,000〜50,000である。
アクリル系樹脂の酸価を上記で特定した範囲とするには、各単量体の共重合割合を適切に調整することに容易に行うことができる。また、質量平均分子量の範囲を上記範囲とするには、単量体の共重合の際に、重合方法に応じた連鎖移動剤を適切な量使用することにより容易に行うことができる。
アクリル系樹脂は、例えばそれ自体公知のラジカル重合法により製造することができる。ラジカル重合法でアクリル系樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶媒の種類等々の重合条件は、当業者であれば容易に設定することができるし、条件設定が可能である。
As already described, the acrylic resin has an acid value in the range of 20 to 200 mgKOH / g. When the acid value exceeds 200, the acrylic resin becomes too soluble in alkali and the appropriate development range (development latitude) becomes narrow. On the other hand, if it is too small, such as less than 20, the solubility in alkali is so small that it takes too much time for development, which is not preferable.
In addition, the weight average molecular weight Mw of the acrylic resin (polystyrene conversion value measured by the GPC method) is used to realize a viscosity range that is easy to use in a process such as applying a color resist, and to secure film strength. It is preferable that it is 2,000-100,000, More preferably, it is 3,000-50,000.
In order to make the acid value of acrylic resin into the range specified above, it can be easily performed by appropriately adjusting the copolymerization ratio of each monomer. Further, the range of the mass average molecular weight can be easily set by using an appropriate amount of a chain transfer agent according to the polymerization method when the monomers are copolymerized.
The acrylic resin can be produced, for example, by a known radical polymerization method. Polymerization conditions such as temperature, pressure, type and amount of radical initiator, type of solvent, etc. when producing an acrylic resin by radical polymerization can be easily set by those skilled in the art. Is possible.

本発明の硬化性組成物にアルカリ可溶性樹脂を添加する際の添加量としては、組成物の全固形分の5〜90質量%であることが好ましく、より好ましくは10〜60質量%である。アルカリ可溶性樹脂の量が5質量%より少ないと膜強度が低下し、また、90質量%より多いと、酸性分が多くなるので、溶解性のコントロールが難しくなり、又相対的に顔料が少なくなるので十分な画像濃度が得られない。な厚さの塗膜が得やすくなる点で好ましい。特に、広幅で大面積の基板への塗布に好適なスリット塗布に対して得率が高く良好な塗膜を得ることができる。   The addition amount when the alkali-soluble resin is added to the curable composition of the present invention is preferably 5 to 90% by mass, more preferably 10 to 60% by mass, based on the total solid content of the composition. When the amount of the alkali-soluble resin is less than 5% by mass, the film strength is lowered. When the amount is more than 90% by mass, the acid content increases, so that it becomes difficult to control the solubility and the pigment is relatively reduced. Therefore, sufficient image density cannot be obtained. It is preferable at the point which becomes easy to obtain the coating film of thickness. In particular, a good coating can be obtained with a high yield for slit coating suitable for coating on a wide substrate having a large area.

また、本発明における光硬化性着色組成物の架橋効率を向上させるために、重合性基をアルカリ可溶性樹脂に有した樹脂を単独もしくは重合性基を有しないアルカリ可溶性樹脂と併用してもよく、アリール基、(メタ)アクリル基、アリールオキシアルキル基等を側鎖に含有したポリマー等が有用である。
重合性二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂は、アルカリ現像液での現像が可能であって、さらに光硬化性と熱硬化性を備えたものである。
これら重合性基を含有するポリマーの例を以下に示すが、COOH基、OH基等のアルカリ可溶性基と炭素炭素間不飽和結合が含まれていれば下記に限定されない。
(1)予めイソシアネート基とOH基を反応させ、未反応のイソシアネート基を1つ残し、かつ(メタ)アクリロイル基を少なくとも1つ含む化合物とカルボキシル基を含むアクリル樹脂との反応によって得られるウレタン変性した重合性二重結合含有アクリル樹脂、
(2)カルボキシル基を含むアクリル樹脂と分子内にエポキシ基及び重合性二重結合を共に有する化合物との反応によって得られる不飽和基含有アクリル樹脂、
(3)酸ペンダント型エポキシアクリレート樹脂、
(4)OH基を含むアクリル樹脂と重合性二重結合を有する2塩基酸無水物を反応させた重合性二重結合含有アクリル樹脂。
上記のうち、特に(1)及び(2)の樹脂が好ましい。
Further, in order to improve the crosslinking efficiency of the photocurable coloring composition in the present invention, a resin having a polymerizable group in an alkali-soluble resin may be used alone or in combination with an alkali-soluble resin having no polymerizable group, Polymers containing an aryl group, a (meth) acryl group, an aryloxyalkyl group or the like in the side chain are useful.
The alkali-soluble resin having a polymerizable double bond can be developed with an alkali developer, and is further provided with photocurability and thermosetting.
Examples of polymers containing these polymerizable groups are shown below, but are not limited to the following as long as alkali-soluble groups such as COOH groups and OH groups and carbon-carbon unsaturated bonds are included.
(1) Urethane modification obtained by reacting an isocyanate group and an OH group in advance, leaving one unreacted isocyanate group and reacting at least one (meth) acryloyl group with an acrylic resin containing a carboxyl group A polymerizable double bond-containing acrylic resin,
(2) an unsaturated group-containing acrylic resin obtained by a reaction between an acrylic resin containing a carboxyl group and a compound having both an epoxy group and a polymerizable double bond in the molecule;
(3) Acid pendant type epoxy acrylate resin,
(4) A polymerizable double bond-containing acrylic resin obtained by reacting an acrylic resin containing an OH group with a dibasic acid anhydride having a polymerizable double bond.
Among the above, the resins (1) and (2) are particularly preferable.

本発明における重合性二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂の酸価としては好ましくは30〜150mgKOH/g、より好ましくは35〜120mgKOH/gであり、また質量平均分子量Mwとしては好ましくは2,000〜50,000、より好ましくは3,000〜30,000である。
具体例として、OH基を有する例えば2−ヒドロキシエチルアクリレートと、COOH基を含有する例えばメタクリル酸と、これらと共重合可能なアクリル系若しくはビニル系化合物等のモノマーとの共重合体に、OH基に対し反応性を有するエポキシ環と炭素間不飽和結合基を有する化合物(例えばグリシジルアクリレートなどの化合物)を反応させて得られる化合物、等を使用できる。OH基との反応ではエポキシ環のほかに酸無水物、イソシアネート基、アクリロイル基を有する化合物も使用できる。また、特開平6−102669号公報、特開平6−1938号公報に記載のエポキシ環を有する化合物にアクリル酸のような不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物に、飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる反応物も使用できる。COOH基のようなアルカリ可溶化基と炭素間不飽和基とを併せ持つ化合物として、例えば、ダイヤナールNRシリーズ(三菱レイヨン(株)製);Photomer 6173(COOH基含有Polyurethane acrylic oligomer、Diamond Shamrock Co.Ltd.,製);ビスコートR−264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業(株)製);サイクロマーPシリーズ、プラクセルCF200シリーズ(いずれもダイセル化学工業(株)製);Ebecryl3800(ダイセルユーシービー(株)製)、などが挙げられる。
The acid value of the alkali-soluble resin having a polymerizable double bond in the present invention is preferably 30 to 150 mgKOH / g, more preferably 35 to 120 mgKOH / g, and the mass average molecular weight Mw is preferably 2,000 to 50,000, more preferably 3,000 to 30,000.
As a specific example, a copolymer of an OH group such as 2-hydroxyethyl acrylate, a COOH group such as methacrylic acid, and a monomer such as an acrylic or vinyl compound copolymerizable with these, an OH group A compound obtained by reacting an epoxy ring having reactivity with a compound having a carbon-carbon unsaturated bond group (for example, a compound such as glycidyl acrylate) can be used. In the reaction with the OH group, a compound having an acid anhydride, an isocyanate group, or an acryloyl group in addition to the epoxy ring can be used. Further, a compound obtained by reacting an unsaturated carboxylic acid such as acrylic acid with a compound having an epoxy ring described in JP-A-6-102669 and JP-A-6-1938 is saturated or unsaturated polybasic. A reaction product obtained by reacting an acid anhydride can also be used. Examples of compounds having both an alkali solubilizing group such as a COOH group and an intercarbon unsaturated group include, for example, Dynar NR series (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.); Ltd .; Biscort R-264, KS resist 106 (both manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.); Cyclomer P series, Plaxel CF200 series (both manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.); Ebecryl 3800 (Daicel) And UCB Co., Ltd.).

本発明の硬化性組成物は、必要に応じて以下に詳述する成分をさらに含有してもよい。
<分散剤>
本発明の硬化性組成物において、(E)顔料を含有する場合には、該顔料の分散性を向上させる観点から、(A)窒素原子を有する主鎖部及びオキシアルキレン部を有するグラフト鎖部からなる樹脂以外の分散剤をさらに添加してもよい。分散剤の添加により、分散性能が向上する。
本発明に用いうる分散剤(顔料分散剤)としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、および、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造からさらに直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
The curable composition of this invention may further contain the component explained in full detail as needed.
<Dispersant>
In the curable composition of the present invention, when (E) a pigment is contained, from the viewpoint of improving the dispersibility of the pigment, (A) a main chain part having a nitrogen atom and a graft chain part having an oxyalkylene part A dispersant other than the resin may be further added. Addition of a dispersant improves the dispersion performance.
Dispersants (pigment dispersants) that can be used in the present invention include polymer dispersants [for example, polyamidoamines and salts thereof, polycarboxylic acids and salts thereof, high molecular weight unsaturated acid esters, modified polyurethanes, modified polyesters, modified polymers. (Meth) acrylate, (meth) acrylic copolymer, naphthalene sulfonic acid formalin condensate], polyoxyethylene alkyl phosphate ester, polyoxyethylene alkyl amine, alkanol amine, pigment derivative and the like.
The polymer dispersant can be further classified into a linear polymer, a terminal-modified polymer, a graft polymer, and a block polymer according to the structure.

高分子分散剤は顔料の表面に吸着し、再凝集を防止する様に作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。一方で、顔料誘導体は顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。   The polymer dispersant is adsorbed on the surface of the pigment and acts to prevent reaggregation. Therefore, a terminal-modified polymer, a graft polymer and a block polymer having an anchor site to the pigment surface can be mentioned as preferred structures. On the other hand, the pigment derivative has an effect of promoting the adsorption of the polymer dispersant by modifying the pigment surface.

本発明に用いうる顔料分散剤の具体例としては、BYK Chemie社製「Disperbyk−101(ポリアミドアミン燐酸塩)、107(カルボン酸エステル)、110(酸基を含む共重合物)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共重合物)」、「BYK−P104、P105(高分子量不飽和ポリカルボン酸)、EFKA社製「EFKA4047、4050、4010、4165(ポリウレタン系)、EFKA4330、4340(ブロック共重合体)、4400、4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、5765(高分子量ポリカルボン酸塩)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6745(フタロシアニン誘導体)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファインテクノ社製「アジスパーPB821、PB822」、共栄社製「フローレンTG−710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロンKS−860、873SN、874、#2150(脂肪族多価カルボン酸)、#7004(ポリエーテルエステル)、DA−703−50、DA−705、DA−725」、花王社製「デモールRN、N(ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物)、MS、C、SN−B(芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物)」、「ホモゲノールL−18(高分子ポリカルボン酸)」、「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、ルーブリゾール社製「ソルスパース5000(フタロシアニン誘導体)、22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、17000、27000(末端部に機能部を有する高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト型高分子)」、日光ケミカル社製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート)、MYS−IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」等が挙げられる。   Specific examples of the pigment dispersant that can be used in the present invention include “Disperbyk-101 (polyamidoamine phosphate), 107 (carboxylic acid ester), 110 (copolymer containing an acid group), 130 (polyamide) manufactured by BYK Chemie. ), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170 (polymer copolymer) ”,“ BYK-P104, P105 (high molecular weight unsaturated polycarboxylic acid) ”,“ EFKA 4047, 4050, 4010, manufactured by EFKA, 4165 (polyurethane series), EFKA4330, 4340 (block copolymer), 4400, 4402 (modified polyacrylate), 5010 (polyesteramide), 5765 (high molecular weight polycarboxylate), 6220 (fatty acid polyester), 6745 (phthalocyanine) Derivatives), 6750 (azo) Derivatives) ”,“ Ajisper PB821, PB822 ”manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.,“ Floren TG-710 (urethane oligomer) ”manufactured by Kyoeisha,“ Polyflow No. 50E, No. 300 (acrylic copolymer) ”, Enomoto Kasei “Disparon KS-860, 873SN, 874, # 2150 (aliphatic polycarboxylic acid), # 7004 (polyetherester), DA-703-50, DA-705, DA-725”, manufactured by Kao Corporation DEMAL RN, N (naphthalene sulfonic acid formalin polycondensate), MS, C, SN-B (aromatic sulfonic acid formalin polycondensate), “homogenol L-18 (polymer polycarboxylic acid)”, “Emulgen 920 , 930, 935, 985 (polyoxyethylene nonylphenyl ether) "," acetamine 86 (Stearylamine Acetate) ", Lubrizol" Solsperse 5000 (phthalocyanine derivative), 22000 (azo pigment derivative), 13240 (polyesteramine), 3000, 17000, 27000 (polymer having a functional part at the end), 24000 , 28000, 32000, 38500 (graft type polymer) ”,“ Nikkor T106 (polyoxyethylene sorbitan monooleate), MYS-IEX (polyoxyethylene monostearate) ”manufactured by Nikko Chemical Co., Ltd., and the like.

これらの分散剤は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、特に、顔料誘導体と高分子分散剤とを組み合わせて使用することが好ましい。本発明における分散剤の含有量としては、顔料に対して、1質量%〜100質量%であることが好ましく、3質量%〜100質量%がより好ましく、5質量%〜80質量%が更に好ましい。
具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その使用量としては、顔料に対して、5質量%〜100質量%の範囲が好ましく、10質量%〜80質量%の範囲がより好ましい。また、顔料誘導体を使用する場合であれば、その使用量としては、顔料に対し1質量%〜30質量%の範囲にあることが好ましく、3質量%〜20質量%の範囲にあることがより好ましく、5質量%〜15質量%の範囲にあることが特に好ましい。
These dispersants may be used alone or in combination of two or more. In the present invention, it is particularly preferable to use a combination of a pigment derivative and a polymer dispersant. As content of the dispersing agent in this invention, it is preferable that it is 1 mass%-100 mass% with respect to a pigment, 3 mass%-100 mass% are more preferable, 5 mass%-80 mass% are still more preferable. .
Specifically, when a polymer dispersant is used, the amount used is preferably in the range of 5% by mass to 100% by mass and more preferably in the range of 10% by mass to 80% by mass with respect to the pigment. preferable. In the case of using a pigment derivative, the amount used is preferably in the range of 1% by mass to 30% by mass with respect to the pigment, and more preferably in the range of 3% by mass to 20% by mass. It is preferably in the range of 5% by mass to 15% by mass.

本発明において、顔料と分散剤とを用いる場合、硬化感度、色濃度の観点から、顔料及び分散剤の含有量の総和が、硬化性組成物を構成する全固形分に対して35質量%以上90質量%以下であることが好ましく、45質量%以上85質量%以下であることがより好ましく、50質量%以上80質量%以下であることがさらに好ましい。   In the present invention, when a pigment and a dispersant are used, the total content of the pigment and the dispersant is 35% by mass or more based on the total solid content constituting the curable composition from the viewpoint of curing sensitivity and color density. It is preferably 90% by mass or less, more preferably 45% by mass or more and 85% by mass or less, and further preferably 50% by mass or more and 80% by mass or less.

<増感剤>
本発明の硬化性組成物は、重合開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、増感剤を含有してもよい。本発明に用いることができる増感剤としては、前記した光重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。本発明に用いることができる増感剤としては、以下に列挙する化合物類に属しており、且つ300nm〜450nmの波長領域に吸収波長を有するものが挙げられる。
<Sensitizer>
The curable composition of the present invention may contain a sensitizer for the purpose of improving the radical generation efficiency of the polymerization initiator and increasing the photosensitive wavelength. As the sensitizer that can be used in the present invention, those that sensitize the above-mentioned photopolymerization initiator by an electron transfer mechanism or an energy transfer mechanism are preferable. Examples of the sensitizer that can be used in the present invention include those belonging to the compounds listed below and having an absorption wavelength in a wavelength region of 300 nm to 450 nm.

好ましい増感剤の例としては、以下の化合物類に属しており、かつ330nmから450nm域に吸収波長を有するものを挙げることができる。
例えば、多核芳香族類(例えば、フェナントレン、アントラセン、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、9,10−ジアルコキシアントラセン)、キサンテン類(例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンB、ローズベンガル)、チオキサントン類(イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、クロロチオキサントン)、シアニン類(例えばチアカルボシアニン、オキサカルボシアニン)、メロシアニン類(例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン)、フタロシアニン類、チアジン類(例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー)、アクリジン類(例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン)、アントラキノン類(例えば、アントラキノン)、スクアリウム類(例えば、スクアリウム)、アクリジンオレンジ、クマリン類(例えば、7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン)、ケトクマリン、フェノチアジン類、フェナジン類、スチリルベンゼン類、アゾ化合物、ジフェニルメタン、トリフェニルメタン、ジスチリルベンゼン類、カルバゾール類、ポルフィリン、スピロ化合物、キナクリドン、インジゴ、スチリル、ピリリウム化合物、ピロメテン化合物、ピラゾロトリアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、バルビツール酸誘導体、チオバルビツール酸誘導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チオキサントン、ミヒラーズケトンなどの芳香族ケトン化合物、N−アリールオキサゾリジノンなどのヘテロ環化合物などが挙げられる。
等が挙げられ、更に欧州特許第568,993号明細書、米国特許第4,508,811号明細書、同5,227,227号明細書、特開2001−125255号公報、特開平11−271969号公報等に記載の化合物等などが挙げられる。
Examples of preferred sensitizers include those belonging to the following compounds and having an absorption wavelength in the range of 330 nm to 450 nm.
For example, polynuclear aromatics (for example, phenanthrene, anthracene, pyrene, perylene, triphenylene, 9,10-dialkoxyanthracene), xanthenes (for example, fluorescein, eosin, erythrosine, rhodamine B, rose bengal), thioxanthones (Isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, chlorothioxanthone), cyanines (eg thiacarbocyanine, oxacarbocyanine), merocyanines (eg merocyanine, carbomerocyanine), phthalocyanines, thiazines (eg thionine, methylene blue, toluidine blue) , Acridines (eg, acridine orange, chloroflavin, acriflavine), anthraquinones (eg, anthraquinone), squariums (eg Squalium), acridine orange, coumarins (eg 7-diethylamino-4-methylcoumarin), ketocoumarin, phenothiazines, phenazines, styrylbenzenes, azo compounds, diphenylmethane, triphenylmethane, distyrylbenzenes, carbazole , Porphyrins, spiro compounds, quinacridone, indigo, styryl, pyrylium compounds, pyromethene compounds, pyrazolotriazole compounds, benzothiazole compounds, barbituric acid derivatives, thiobarbituric acid derivatives, acetophenone, benzophenone, thioxanthone, Michler's ketone, and other aromatics Examples include ketone compounds and heterocyclic compounds such as N-aryloxazolidinones.
In addition, European Patent No. 568,993, U.S. Pat. No. 4,508,811, No. 5,227,227, JP-A-2001-125255, JP-A-11- And compounds described in Japanese Patent No. 271969.

<重合禁止剤>
本発明においては、硬化性組成物の製造中あるいは保存中において重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の不要な熱重合を阻止するために少量の熱重合防止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる熱重合防止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
<Polymerization inhibitor>
In the present invention, a small amount of a thermal polymerization inhibitor may be added in order to prevent unnecessary thermal polymerization of a compound having an ethylenically unsaturated double bond that can be polymerized during the production or storage of the curable composition. desirable.
Examples of the thermal polymerization inhibitor that can be used in the present invention include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl-6). -T-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine primary cerium salt and the like.

重合禁止剤の添加量は、全組成物の質量に対して約0.01質量%〜約5質量%が好ましい。また必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するためにベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で感光層の表面に偏在させてもよい。高級脂肪酸誘導体の添加量は、全組成物の約0.5質量%〜約10質量%が好ましい。   The addition amount of the polymerization inhibitor is preferably about 0.01% by mass to about 5% by mass with respect to the mass of the whole composition. If necessary, a higher fatty acid derivative such as behenic acid or behenic acid amide may be added to prevent polymerization inhibition due to oxygen, and it may be unevenly distributed on the surface of the photosensitive layer in the course of drying after coating. . The amount of the higher fatty acid derivative added is preferably about 0.5% by mass to about 10% by mass of the total composition.

<その他の添加剤>
さらに、本発明においては、硬化皮膜の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤、感光層表面のインク着肉性を向上させうる感脂化剤等の公知の添加剤、基板密着性を向上させうる基板密着剤を加えてもよい。
可塑剤としては例えばジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等があり、結合剤を使用した場合、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と結合剤との合計質量に対し10質量%以下添加することができる。
<Other additives>
Furthermore, in the present invention, in order to improve the physical properties of the cured film, known additives such as inorganic fillers, plasticizers, and sensitizers that can improve the ink inking property on the surface of the photosensitive layer, substrate adhesion You may add the board | substrate adhesion agent which can improve this.
Examples of plasticizers include dioctyl phthalate, didodecyl phthalate, triethylene glycol dicaprylate, dimethyl glycol phthalate, tricresyl phosphate, dioctyl adipate, dibutyl sebacate, and triacetyl glycerin. 10 mass% or less can be added with respect to the total mass of the compound which has an ionic unsaturated double bond, and a binder.

本発明の硬化性組成物を基板等の硬質材料表面に適用する場合には、該硬質材料表面との密着性を向上させるための添加剤(以下、「基板密着剤」と称する。)を加えてもよい。
基板密着剤としては、公知の材料を用いることができるが、特にシラン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤を用いることが好ましい。
When the curable composition of the present invention is applied to the surface of a hard material such as a substrate, an additive for improving the adhesion to the surface of the hard material (hereinafter referred to as “substrate adhesion agent”) is added. May be.
As the substrate adhesion agent, known materials can be used, but it is particularly preferable to use a silane coupling agent, a titanate coupling agent, or an aluminum coupling agent.

シラン系カップリング剤としては、例えば、γ−(2−アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−(2−アミノエチル)アミノプロピルジメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、アミノシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、γ−アニリノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン、オクタデシルジメチル[3−(トリメトキシシリル)プロピル]アンモニウムクロライド、γ−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、トリメチルクロロシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、ビスアリルトリメトキシシラン、テトラエトキシシラン、ビス(トリメトキシシリル)ヘキサン、フェニルトリメトキシシラン、N−(3−アクリロキシ−2−ヒドロキシプロピル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−(3−メタクリロキシ−2−ヒドロキシプロピル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、(メタクリロキシメチル)メチルジエトキシシラン、(アクリロキシメチル)メチルジメトキシシラン、等が挙げられる。
中でもγ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、が好ましく、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが最も好ましい。
Examples of the silane coupling agent include γ- (2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, γ- (2-aminoethyl) aminopropyldimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxy. Silane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane, γ-acryloxypropyl Triethoxysilane, γ-isocyanatopropyltrimethoxysilane, γ-isocyanatopropyltriethoxysilane, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane / hydrochloride, γ-glycidoxypro Pyrtrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, aminosilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltriethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, γ- Chloropropyltrimethoxysilane, hexamethyldisilazane, γ-anilinopropyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, octadecyldimethyl [3- (trimethoxysilyl) propyl ] Ammonium chloride, γ-chloropropylmethyldimethoxysilane, γ-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, methyltrichlorosilane, dimethyldichlorosilane, trimethyl Chlorosilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, bisallyltrimethoxysilane, tetraethoxysilane, bis (trimethoxysilyl) hexane, phenyltrimethoxysilane, N- (3-acryloxy-2-hydroxy Propyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, N- (3-methacryloxy-2-hydroxypropyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, (methacryloxymethyl) methyldiethoxysilane, (acryloxymethyl) methyldimethoxysilane , Etc.
Among them, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane, γ-acryloxypropyltriethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltri Ethoxysilane and phenyltrimethoxysilane are preferred, and γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane is most preferred.

チタネート系カップリング剤としては、例えば、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イソプロピルトリデシルベンゼンスルホニルチタネート、イソプロピルトリス(ジオクチルパイロホスフェート)チタネート、テトライソプロピルビス(ジオクチルホスファイト)チタネート、テトラオクチルビス(ジトリデシルホスファイト)チタネート、テトラ(2,2−ジアリルオキシメチル)ビス(ジ−トリデシル)ホスファイトチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテートチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エチレンチタネート、イソプロピルトリオクタノイルチタネート、イソプロピルジメタクリルイソステアロイルチタネート、イソプロピルイソステアロイルジアクリルチタネート、トリイソプロピルトリ(ジオクチルホスフェート)チタネート、イソプロピルトリクミルフェニルチタネート、イソプロピルトリ(N−アミドエチル・アミノエチル)チタネート、ジクミルフェニルオキシアセテートチタネート、ジイソステアロイルエチレンチタネート等が挙げられる。   Examples of titanate coupling agents include isopropyl triisostearoyl titanate, isopropyl tridecylbenzenesulfonyl titanate, isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate, tetraisopropyl bis (dioctyl phosphite) titanate, tetraoctyl bis (ditridecyl phosphite). ) Titanate, tetra (2,2-diallyloxymethyl) bis (di-tridecyl) phosphite titanate, bis (dioctylpyrophosphate) oxyacetate titanate, bis (dioctylpyrophosphate) ethylene titanate, isopropyltrioctanoyl titanate, isopropyldi Methacrylic isostearoyl titanate, isopropyl isostearoyl diacryl titanate, Li isopropyl tri (dioctyl phosphate) titanate, isopropyl tricumylphenyl titanate, isopropyl tri (N- amidoethyl-aminoethyl) titanate, dicumyl phenyloxy acetate titanate, diisostearoyl ethylene titanate.

アルミニウム系カップリング剤としては、例えば、アセトアルコキシアルミニウムジイソプロピレート等が挙げられる。   Examples of the aluminum coupling agent include acetoalkoxyaluminum diisopropylate.

基板密着剤の含有量は、硬化性組成物の未露光部に残渣が残らないようにする観点から、本発明の硬化性組成物の全固形分に対して、0.1質量%以上30質量%以下であることが好ましく、0.5質量%以上20質量%以下であることがより好ましく、1質量%以上10質量%以下であることが特に好ましい。   The content of the substrate adhesion agent is 0.1% by mass or more and 30% by mass with respect to the total solid content of the curable composition of the present invention from the viewpoint of leaving no residue in the unexposed part of the curable composition. % Or less, more preferably 0.5% by mass or more and 20% by mass or less, and particularly preferably 1% by mass or more and 10% by mass or less.

本発明の硬化性組成物は、高感度で硬化し、かつ、保存安定性も良好である。また、硬化性組成物を適用する基板などの硬質材料表面への高い密着性を示す。従って、本発明の硬化性組成物は、3次元光造形やホログラフィー、カラーフィルタといった画像形成材料やインク、塗料、接着剤、コーティング剤等の分野において好ましく使用することができる。
また、本発明の硬化性組成物は、微細な顔料を高濃度で含有しても、顔料分散何安定性と現像性に優れ、高精細で色特性の良好な着色領域を形成しうることから、固体撮像素子用のカラーフィルタの製造、特に、膜厚が0.8μm以下、好ましくは膜厚、0.1μm以上0.6μm以下の範囲の画素を形成するような場合、特に本発明の顔料含有着色硬化性組成物を用いることでその効果が著しいといえる。
The curable composition of the present invention is cured with high sensitivity and has good storage stability. Moreover, the high adhesiveness to hard material surfaces, such as a board | substrate which applies a curable composition, is shown. Accordingly, the curable composition of the present invention can be preferably used in the fields of image forming materials such as three-dimensional stereolithography, holography, and color filters, inks, paints, adhesives, and coating agents.
Further, the curable composition of the present invention can form a colored region having excellent pigment dispersion stability and developability, high definition and good color characteristics even when containing a fine pigment at a high concentration. The production of a color filter for a solid-state imaging device, particularly when forming a pixel having a film thickness of 0.8 μm or less, preferably a film thickness of 0.1 μm or more and 0.6 μm or less, particularly the pigment of the present invention. It can be said that the effect is remarkable by using the contained colored curable composition.

(着色硬化性組成物の調製)
以下、本発明の硬化性組成物に(E)顔料を添加し、着色硬化性組成物とする場合の好ましい製造方法について説明する。
(E)顔料を含んで構成される本発明の硬化性組成物においては、まず、(A)窒素原子を含んで構成される主鎖部とオキシアルキレン基を含む側鎖部とを有する樹脂と(E)顔料とを含む顔料分散液を調製する第一の工程を行った後、他の成分、具体的には、(B)、光重合開始剤、(C)エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物、(D)溶剤や、界面活性剤など所望により併用される他の添加剤と、を混合する第2の工程を実施することで調製することが好ましい。
(Preparation of colored curable composition)
Hereinafter, the preferable manufacturing method in the case of adding the (E) pigment to the curable composition of the present invention to obtain a colored curable composition will be described.
(E) In the curable composition of the present invention including a pigment, first, (A) a resin having a main chain portion including a nitrogen atom and a side chain portion including an oxyalkylene group; (E) After performing the first step of preparing a pigment dispersion containing a pigment, other components, specifically, (B), a photopolymerization initiator, (C) an ethylenically unsaturated double bond It is preferable to prepare by performing the 2nd process of mixing the compound containing this, (D) solvent, and other additives used together together as desired, such as surfactant.

第1の工程において、顔料分散組液を調製する場合、顔料分散液中、顔料は全固形分に対して、35重量%以上95質量%以下であることが好ましく、40重量%以上80質量%以下であることが最も好ましい。(A)特定樹脂は、顔料分散液中、全固形分に対して5重量%以上50重量%以下が好ましく、10重量%以上30重量%以下であることが好ましい。
次に、この顔料分散液を用いて着色硬化性組成物を調製する第2の工程において、着色硬化性組成物に含まれる顔料分散液の含有量は、必要とされる顔料の量により適宜調整されるが、一般的には、硬化性組成物中に対して、5〜50重量%であることが好ましく、10〜40重量%であることが最も好ましい。この第2工程において、(A)成分、(E)成分以外の成分を混合し、攪拌することで本発明の硬化性組成物を得ることができる。このような第1、第2の工程を含んで調製することで、得られた硬化性組成物は、直接(E)顔料を添加、混合する場合に比較し、顔料の分散性、分散安定性が一層向上する。
In the first step, when preparing a pigment dispersion liquid composition, the pigment content in the pigment dispersion is preferably 35% by weight or more and 95% by weight or less, and 40% by weight or more and 80% by weight or less based on the total solid content. Most preferably: (A) The specific resin is preferably 5% by weight or more and 50% by weight or less, and preferably 10% by weight or more and 30% by weight or less, based on the total solid content in the pigment dispersion.
Next, in the second step of preparing a colored curable composition using this pigment dispersion, the content of the pigment dispersion contained in the colored curable composition is appropriately adjusted according to the amount of pigment required. However, generally, it is preferably 5 to 50% by weight, and most preferably 10 to 40% by weight, based on the curable composition. In this 2nd process, components other than (A) component and (E) component are mixed, and the curable composition of this invention can be obtained by stirring. By preparing by including such first and second steps, the resulting curable composition has a dispersibility and dispersion stability of the pigment as compared with the case of directly adding and mixing the (E) pigment. Is further improved.

[カラーフィルタ及びその製造方法]
次に、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明のカラーフィルタは、支持体上に、本発明の硬化性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とする。
以下、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法(本発明のカラーフィルタの製造方法)を通じて詳述する。
[Color filter and manufacturing method thereof]
Next, the color filter of the present invention and the manufacturing method thereof will be described.
The color filter of the present invention is characterized by having a colored pattern formed using the curable composition of the present invention on a support.
Hereinafter, the color filter of the present invention will be described in detail through its manufacturing method (color filter manufacturing method of the present invention).

支持体上に、本発明の硬化性組成物を硬化性組成物を塗布して該硬化性組成物からなる着色層を形成する着色層形成工程と、前記着色層をマスクを介して露光する露光工程と、露光後の着色層を現像して着色パターンを形成する現像工程とを含むことを特徴とする。
以下、本発明の製造方法における各工程について説明する。
A colored layer forming step of forming a colored layer comprising the curable composition by applying the curable composition of the present invention on the support, and exposure for exposing the colored layer through a mask And a developing step of developing the colored layer after exposure to form a colored pattern.
Hereafter, each process in the manufacturing method of this invention is demonstrated.

<着色層形成工程>
着色層形成工程では、支持体上に、本発明の硬化性組成物であって(E)顔料を含有する組成物を塗布して該硬化性組成物からなる着色層を形成する。
<Colored layer forming step>
In the colored layer forming step, a colored layer made of the curable composition is formed on the support by applying the curable composition of the present invention and containing the (E) pigment.

本工程に用いうる支持体としては、例えば、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックマトリックスが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
Examples of the support that can be used in this step include a photoelectric conversion element substrate used for an imaging element or the like, such as a silicon substrate, a complementary metal oxide semiconductor (CMOS), or the like. In some cases, a black matrix for isolating each pixel is formed on these substrates.
Further, an undercoat layer may be provided on these supports, if necessary, in order to improve adhesion to the upper layer, prevent diffusion of substances, or flatten the substrate surface.

支持体上への本発明の硬化性組成物の塗布方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、コイルバー塗布、スクリーン印刷法、グラビア印刷法、反転印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。
硬化性組成物の塗布直後の膜厚としては、塗布膜の膜厚均一性、塗布溶剤の乾燥のしやすさの観点から、0.1〜10μmが好ましく、0.2〜5μmがより好ましく、0.2〜3μmがさらに好ましい。
Examples of the coating method of the curable composition of the present invention on the support include slit coating, ink jet method, spin coating, cast coating, roll coating, coil bar coating, screen printing method, gravure printing method, and reverse printing method. Various coating methods can be applied.
The film thickness immediately after application of the curable composition is preferably 0.1 to 10 μm, more preferably 0.2 to 5 μm, from the viewpoint of film thickness uniformity of the coating film and ease of drying of the coating solvent. 0.2-3 micrometers is more preferable.

基板上に塗布された着色層(硬化性組成物層)の乾燥(プリベーク)は、ホットプレート、オーブン等で50℃〜140℃の温度で10〜300秒で行うことができる。   The colored layer (curable composition layer) applied on the substrate can be dried (prebaked) at a temperature of 50 ° C. to 140 ° C. for 10 to 300 seconds using a hot plate, oven, or the like.

硬化性組成物の乾燥後の塗布膜厚(以下、適宜、「乾燥膜厚」と称する)としては、固体撮像素子用カラーフィルタとして用いるためには、色濃度確保の観点、斜め方向の光が受光部に到達せず、又、デバイスの端と中央とで集光率の差が顕著になる等の不具合を低減する観点から、0.05μm以上1.0μm未満が好ましく、0.1μm以上0.8μm以下がより好ましく、0.2μm以上0.7μm以下が特に好ましい。
また、表示素子用カラーフィルタとして用いるためには、光透過率やコントラストの観点から、0.5μm以上3.0μm以下であることが好ましく、1.0μm以上2.5μm以下の範囲であることが最も好ましい。
As a coating film thickness after drying of the curable composition (hereinafter referred to as “dry film thickness” as appropriate), in order to use it as a color filter for a solid-state image sensor, light in an oblique direction is used from the viewpoint of securing color density. From the viewpoint of reducing problems such as not reaching the light receiving portion and a significant difference in the light collection rate between the edge and the center of the device, it is preferably 0.05 μm or more and less than 1.0 μm, preferably 0.1 μm or more and 0 0.8 μm or less is more preferable, and 0.2 μm or more and 0.7 μm or less is particularly preferable.
In order to use as a color filter for a display element, from the viewpoint of light transmittance and contrast, it is preferably 0.5 μm or more and 3.0 μm or less, and is preferably in a range of 1.0 μm or more and 2.5 μm or less. Most preferred.

<露光工程>
露光工程では、前記着色層形成工程において形成された着色層(硬化性組成物層)を、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させ、現像液で現像して、各色(3色あるいは4色)の画素からなるパターン状皮膜を形成することにより行うことができる。露光に際して用いることができる放射線としては、i線(365nm)等の紫外線が好ましく用いられ、露光機としては露光光が平行光線となるステッパー露光機が好ましい。
露光光が広がりを持つプロキシミテイ露光機では期待するような効果は得にくいので好ましくない。照射量は30〜1500mJ/cmが好ましく50〜1000mJ/cmがより好ましく、80〜500mJ/cmが最も好ましい。
<Exposure process>
In the exposure step, the colored layer (curable composition layer) formed in the colored layer forming step is exposed through a predetermined mask pattern, only the coating film portion irradiated with light is cured, and developed with a developer. And it can carry out by forming the pattern-form film | membrane which consists of a pixel of each color (3 colors or 4 colors). As the radiation that can be used for exposure, ultraviolet rays such as i-line (365 nm) are preferably used, and as the exposure machine, a stepper exposure machine in which the exposure light becomes parallel rays is preferable.
Proximity exposure machines with broad exposure light are not preferable because it is difficult to obtain the expected effect. Irradiation dose is more preferably preferably 50~1000mJ / cm 2 30~1500mJ / cm 2 , and most preferably 80~500mJ / cm 2.

<現像工程>
次いでアルカリ現像処理(現像工程)を行うことにより、上記露光により光未照射部分をアルカリ水溶液に溶出させ、光硬化した部分だけが残る。現像液としては、下地の回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常20℃〜30℃であり、現像時間は20〜90秒である。
<Development process>
Subsequently, by performing an alkali development process (development process), the light non-irradiated part is eluted in the alkaline aqueous solution by the exposure, and only the photocured part remains. As the developer, an organic alkali developer that does not damage the underlying circuit or the like is desirable. The development temperature is usually 20 ° C. to 30 ° C., and the development time is 20 to 90 seconds.

現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5、4、0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等の無機化合物等が挙げられ、これらのアルカリ剤を濃度が0.001質量%〜10質量%、好ましくは0.01質量%〜1質量%となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄(リンス)する。
次いで、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施す。
Examples of the alkaline agent used in the developer include ammonia water, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5,4, 0] -7-undecene and the like, and inorganic compounds such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, and the like. The concentration of these alkali agents is 0.001% by mass to 10%. An alkaline aqueous solution diluted with pure water so as to have a mass%, preferably 0.01 mass% to 1 mass%, is preferably used as the developer. In the case where a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed (rinsed) with pure water after development.
Next, excess developer is washed away and dried.

なお、本発明の製造方法においては、上述した、着色層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要により、形成された着色パターンを加熱(ポストベーク)及び/又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。   In the production method of the present invention, after the colored layer forming step, the exposure step, and the development step described above are performed, the formed colored pattern is cured by heating (post-baking) and / or exposure as necessary. A curing step may be included.

ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常100℃〜240℃の熱硬化処理を行う。基板がガラス基板またはシリコン基板の場合は上記温度範囲の中でも200℃〜240℃が好ましい。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
The post-baking is a heat treatment after development for complete curing, and usually a heat curing treatment at 100 ° C. to 240 ° C. is performed. When the substrate is a glass substrate or a silicon substrate, 200 ° C. to 240 ° C. is preferable in the above temperature range.
This post-bake treatment is performed continuously or batchwise using a heating means such as a hot plate, a convection oven (hot air circulation dryer), a high-frequency heater, or the like so that the coating film after development is in the above-described condition. be able to.

以上説明した、着色層形成工程、露光工程、及び現像工程(更に、必要により硬化工程)を所望の色相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラーフィルタが作製される。   By repeating the colored layer forming step, the exposure step, and the developing step (and, if necessary, the curing step) described above for the desired number of hues, a color filter having a desired hue is produced.

本発明の硬化性組成物の用途として、主にカラーフィルタの画素への用途を主体に述べてきたが、カラーフィルタの画素間に設けられるブラックマトリックスにも適用できることは言うまでもない。ブラックマトリックスは、本発明の硬化性組成物に着色剤として、カーボンブラック、チタンブラックなどの黒色の顔料を添加したものを用いる他は、上記画素の作製方法と同様に、パターン露光、アルカリ現像し、更にその後、ポストベークして膜の硬化を促進させて形成させることができる。   The application of the curable composition of the present invention has been described mainly with respect to the application to the pixels of the color filter, but it goes without saying that it can also be applied to a black matrix provided between the pixels of the color filter. The black matrix is subjected to pattern exposure and alkali development in the same manner as in the above pixel production method except that a black pigment such as carbon black or titanium black is added to the curable composition of the present invention as a colorant. Further, after that, post-baking can be performed to promote the curing of the film.

本発明のカラーフィルタは、本発明の硬化性組成物を用いているため、形成された着色パターンが支持体基板との高い密着性を示し、硬化した組成物は耐現像性に優れるため、露光感度に優れ、露光部の基板との密着性が良好であり、かつ、所望の断面形状を与える高解像度のパターンを形成することができる。従って、CCD、CMOS等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。   Since the color filter of the present invention uses the curable composition of the present invention, the formed colored pattern exhibits high adhesion to the support substrate, and the cured composition has excellent development resistance. It is possible to form a high-resolution pattern that is excellent in sensitivity, has good adhesion to the substrate of the exposed portion, and gives a desired cross-sectional shape. Therefore, it can be suitably used for a solid-state imaging device such as a CCD or CMOS, and is particularly suitable for a high-resolution CCD device or CMOS that exceeds 1 million pixels. The color filter of the present invention can be used as, for example, a color filter disposed between a light receiving portion of each pixel constituting a CCD and a microlens for condensing light.

以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明がこれらにより限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited by these.

(合成例1)
〔特定樹脂:樹脂(A)の合成〕
ポリエチレンイミン(数平均分子量600)50g及び粉末状の水酸化ナトリウム1.0gを1.0Lのオートクレーブに添加し、80℃に加熱した。その後、窒素置換を三回行い、170℃に加熱した。
次に、エチレンオキシドを0.5MPaを超えないように計500gを5時間かけて添加し、その後、2時間加熱した。80℃に冷却後、窒素気流下で1時間攪拌し、未反応のエチレンオキシドを反応系外に除去し、その後、室温まで冷却し、下記構造の樹脂(A)を540g得た。なお、これ以降、樹脂の構造中で各構造単位に併記された数値は、その重合度を示す。
得られた高分子化合物の平均分子量を、ポリスチレンを標準物質としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定した結果、質量平均分子量(Mw)は13,100であった。
(Synthesis Example 1)
[Specific resin: Synthesis of resin (A)]
50 g of polyethyleneimine (number average molecular weight 600) and 1.0 g of powdered sodium hydroxide were added to a 1.0 L autoclave and heated to 80 ° C. Then, nitrogen substitution was performed 3 times and it heated at 170 degreeC.
Next, a total of 500 g of ethylene oxide was added over 5 hours so as not to exceed 0.5 MPa, and then heated for 2 hours. After cooling to 80 ° C., the mixture was stirred for 1 hour under a nitrogen stream, unreacted ethylene oxide was removed from the reaction system, and then cooled to room temperature to obtain 540 g of resin (A) having the following structure. In the following, the numerical values written in the respective structural units in the resin structure indicate the degree of polymerization.
As a result of measuring the average molecular weight of the obtained polymer compound by a gel permeation chromatography (GPC) method using polystyrene as a standard substance, the mass average molecular weight (Mw) was 13,100.

Figure 2009075482
Figure 2009075482

(合成例2)
〔特定樹脂:樹脂(B)の合成〕
ポリアリルアミン(数平均分子量3,000)50g及び粉末状の水酸化ナトリウム1.0gを1.0Lのオートクレーブに添加し、80℃に加熱した。その後、窒素置換を三回行い、170℃に加熱した。
次に、プロピレンオキシドを0.5MPaを超えないように計500gを5時間かけて添加し、その後、2時間加熱した。80℃に冷却後、窒素気流下で1時間攪拌し、未反応のエチレンオキシドを反応系外に除去し、その後、室温まで冷却し、下記構造の樹脂(B)を540g得た。
得られた高分子化合物の分子量を、ポリスチレンを標準物質としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)により測定した結果、質量平均分子量は11,500であった。
(Synthesis Example 2)
[Specific Resin: Synthesis of Resin (B)]
50 g of polyallylamine (number average molecular weight 3,000) and 1.0 g of powdered sodium hydroxide were added to a 1.0 L autoclave and heated to 80 ° C. Then, nitrogen substitution was performed 3 times and it heated at 170 degreeC.
Next, a total of 500 g of propylene oxide was added over 5 hours so as not to exceed 0.5 MPa, and then heated for 2 hours. After cooling to 80 ° C., the mixture was stirred for 1 hour under a nitrogen stream, unreacted ethylene oxide was removed from the reaction system, and then cooled to room temperature to obtain 540 g of resin (B) having the following structure.
As a result of measuring the molecular weight of the obtained polymer compound by gel permeation chromatography (GPC) using polystyrene as a standard substance, the mass average molecular weight was 11,500.

Figure 2009075482
Figure 2009075482

(合成例3)
〔特定樹脂:樹脂(C)の合成〕
ポリエチレンイミン(数平均分子量1800)50g及び粉末状の水酸化ナトリウム1.0gを1.0Lのオートクレーブに添加し、80℃に加熱した。その後、窒素置換を三回行い、170℃に加熱した。
次に、エチレンオキシドを0.5MPaを超えないように計250gを2.5時間かけて添加し、次にプロピレンオキシドを0.5MPaを超えないように計250gを2.5時間かけて添加し、その後、2時間加熱した。次に80℃に冷却後、窒素気流下で1時間攪拌し、未反応のエチレンオキシドを反応系外に除去し、その後、室温まで冷却し、下記構造の樹脂(C)を540g得た。
得られた高分子化合物の分子量をポリスチレンを標準物質としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)により測定した結果、質量平均分子量は12,500であった。
(Synthesis Example 3)
[Specific resin: Synthesis of resin (C)]
50 g of polyethyleneimine (number average molecular weight 1800) and 1.0 g of powdered sodium hydroxide were added to a 1.0 L autoclave and heated to 80 ° C. Then, nitrogen substitution was performed 3 times and it heated at 170 degreeC.
Next, a total of 250 g is added over 2.5 hours so that ethylene oxide does not exceed 0.5 MPa, and then a total of 250 g is added over 2.5 hours so that propylene oxide does not exceed 0.5 MPa, Then, it heated for 2 hours. Next, after cooling to 80 ° C., the mixture was stirred for 1 hour under a nitrogen stream, unreacted ethylene oxide was removed from the reaction system, and then cooled to room temperature to obtain 540 g of resin (C) having the following structure.
As a result of measuring the molecular weight of the obtained polymer compound by gel permeation chromatography (GPC) using polystyrene as a standard substance, the mass average molecular weight was 12,500.

Figure 2009075482
Figure 2009075482

(合成例4)
〔特定樹脂:樹脂(D)の合成〕
合成例1で得られた樹脂(A)20g、1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]-7-ウンデセン7.0g及びN−メチルピロリジノン50gにパルミチン酸クロリド12.5gを含有するテトラヒドロフラン溶液50mLをゆっくり滴下し、室温で5時間攪拌した。その後、反応液を水1.0Lに添加し、析出した粉末をろ過で採取・乾燥後、下記構造の樹脂(D)が24g得られた。
得られた高分子化合物の分子量をポリスチレンを標準物質としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)により測定した結果、質量平均分子量は8,500であった。
(Synthesis Example 4)
[Specific Resin: Synthesis of Resin (D)]
Tetrahydrofuran solution containing 20 g of the resin (A) obtained in Synthesis Example 1 and 7.0 g of 1,8-diazabicyclo [5.4.0] -7-undecene and 50 g of N-methylpyrrolidinone and 12.5 g of palmitic acid chloride. 50 mL was slowly added dropwise and stirred at room temperature for 5 hours. Thereafter, the reaction solution was added to 1.0 L of water, and the precipitated powder was collected by filtration and dried to obtain 24 g of resin (D) having the following structure.
As a result of measuring the molecular weight of the obtained polymer compound by gel permeation chromatography (GPC) using polystyrene as a standard substance, the mass average molecular weight was 8,500.

Figure 2009075482
Figure 2009075482

(合成例5)
〔特定樹脂:樹脂(E)の合成〕
パルミチン酸45g、6−ヘキサノラクトン200g、オルトチタン酸テトラブチル0.1gを170℃で15時間加熱し、放冷後、ポリエステル(A)を240g得た。次に、ポリエチレンイミン(数平均分子量1,800)50g及びポリエステル(α)100gを170℃で5時間加熱し、放冷後、ポリエステルをグラフト鎖として有するポリイミン(β)を145g得た。このポリイミン(β)50g及び粉末状の水酸化ナトリウム1.0gを1.0Lのオートクレーブに添加し、80℃に加熱した。その後、窒素置換を三回行い、170℃に加熱した。
次に、プロピレンオキシドを0.5MPaを超えないように計500gを5時間かけて添加し、その後、2時間加熱した。80℃に冷却後、窒素気流下で1時間攪拌し、未反応のエチレンオキシドを反応系外に除去し、その後、室温まで冷却し、下記構造の樹脂(E)を540g得た。
得られた高分子化合物の分子量をポリスチレンを標準物質としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)により測定した結果、質量平均分子量は16,500であった。
(Synthesis Example 5)
[Specific Resin: Synthesis of Resin (E)]
45 g of palmitic acid, 200 g of 6-hexanolactone and 0.1 g of tetrabutyl orthotitanate were heated at 170 ° C. for 15 hours and allowed to cool to obtain 240 g of polyester (A). Next, 50 g of polyethyleneimine (number average molecular weight 1,800) and 100 g of polyester (α) were heated at 170 ° C. for 5 hours and allowed to cool to obtain 145 g of polyimine (β) having polyester as a graft chain. 50 g of this polyimine (β) and 1.0 g of powdered sodium hydroxide were added to a 1.0 L autoclave and heated to 80 ° C. Then, nitrogen substitution was performed 3 times and it heated at 170 degreeC.
Next, a total of 500 g of propylene oxide was added over 5 hours so as not to exceed 0.5 MPa, and then heated for 2 hours. After cooling to 80 ° C., the mixture was stirred for 1 hour under a nitrogen stream, unreacted ethylene oxide was removed from the reaction system, and then cooled to room temperature to obtain 540 g of resin (E) having the following structure.
As a result of measuring the molecular weight of the obtained polymer compound by gel permeation chromatography (GPC) using polystyrene as a standard substance, the mass average molecular weight was 16,500.

Figure 2009075482
Figure 2009075482

(合成例6)
〔比較樹脂(F)の合成〕
合成例5で得られたポリエステル(α)100gとポリエチレンイミン(数平均分子量1,800)10gを170℃で5時間加熱し、放冷した後、下記構造の比較樹脂(F)を105g得た。
(Synthesis Example 6)
[Synthesis of Comparative Resin (F)]
100 g of the polyester (α) obtained in Synthesis Example 5 and 10 g of polyethyleneimine (number average molecular weight 1,800) were heated at 170 ° C. for 5 hours and allowed to cool, and then 105 g of a comparative resin (F) having the following structure was obtained. .

Figure 2009075482
Figure 2009075482

得られた樹脂(A)〜樹脂(F)は固形分20重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液として調製した。   The obtained resins (A) to (F) were prepared as propylene glycol monomethyl ether acetate solutions having a solid content of 20% by weight.

[実施例1−1〜1−5、比較例1−1〜1−3]
<液晶表示用カラーフィルタ形成に用いた例>
〔1.硬化性組成物の調製〕
ここでは、液晶表示素子用途のカラーフィルタ形成用として顔料を含有する硬化性組成物を調整した例を挙げて説明する。
[Examples 1-1 to 1-5, Comparative Examples 1-1 to 1-3]
<Example used for forming color filter for liquid crystal display>
[1. Preparation of curable composition]
Here, an example in which a curable composition containing a pigment is prepared for forming a color filter for use in a liquid crystal display element will be described.

1−1.顔料分散液の調製
(顔料分散液組成)
・(E)顔料 (表1記載の量)
(C.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー219
との30/70(質量比)混合物(平均粒子径61nm))、
・(A)特定樹脂 (表1記載の量)
(樹脂(A)〜(E):表1記載の樹脂(固形分濃度20重量%)
・アルカリ可溶性樹脂 (表1に記載の量)
(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(mol比70/30、
重量平均分子量7,000)のプロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート30重量%溶液)
・(D)溶媒〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕 110質量部
上記組成を混合し、ビーズミルにより5時間混合・分散して、顔料分散液を調製した。ここで、本発明に係る(A)特定樹脂は、顔料分散剤として機能する。
得られた分散液中の顔料の平均粒径を動的光散乱法(Microtrac Nanotrac UPA−EX150(日機装社製)を用いて、測定し、結果を表1に示した。
1-1. Preparation of pigment dispersion (pigment dispersion composition)
(E) Pigment (Amount listed in Table 1)
(C.I. Pigment Green 36 and C.I. Pigment Yellow 219
30/70 (mass ratio) mixture with (average particle diameter 61 nm)),
・ (A) Specific resin (Amounts listed in Table 1)
(Resins (A) to (E): Resins listed in Table 1 (solid content concentration 20% by weight)
・ Alkali-soluble resin (Amount listed in Table 1)
(Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (mol ratio 70/30,
30% by weight solution of propylene glycol monomethyl ether acetate having a weight average molecular weight of 7,000)
-(D) Solvent [Propylene glycol monomethyl ether acetate] 110 parts by mass The above composition was mixed and mixed and dispersed for 5 hours by a bead mill to prepare a pigment dispersion. Here, (A) specific resin which concerns on this invention functions as a pigment dispersant.
The average particle diameter of the pigment in the obtained dispersion was measured using a dynamic light scattering method (Microtrac Nanotrac UPA-EX150 (manufactured by Nikkiso Co., Ltd.)), and the results are shown in Table 1.

Figure 2009075482
Figure 2009075482

1−2.硬化性組成物(塗布液)の調製
前記分散処理した顔料分散液1〜8を用いて下記組成比となるよう撹拌混合して硬化性組成物溶液を調製した。
・着色剤(前記顔料分散液1〜8:表1記載の分散液) 600質量部
・光重合開始剤〔(B)成分〕 30質量部
(2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ
フェニル−1,2’−ビイミダゾール)
・ペンタエリスリトールテトラアクリレート〔(C)成分〕 50質量部
・アルカリ可溶性樹脂 20質量部
(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリ
レート共重合体、mol比:80/10/10、Mw:10000)
・溶媒〔(D)成分〕 900質量部
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテード)
・基板密着剤(3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン) 1質量部
・増感剤(下記化合物α) 15質量部
・共増感剤(2−メルカプトベンゾイミダゾール) 15質量部
1-2. Preparation of curable composition (coating liquid) A curable composition solution was prepared by stirring and mixing the pigment dispersion liquids 1 to 8 having been subjected to the dispersion treatment so as to have the following composition ratio.
Colorant (Pigment dispersions 1 to 8: dispersions listed in Table 1) 600 parts by mass Photopolymerization initiator [component (B)] 30 parts by mass (2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4 , 4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole)
Pentaerythritol tetraacrylate [component (C)] 50 parts by weight Alkali-soluble resin 20 parts by weight (benzyl methacrylate / methacrylic acid / hydroxyethyl methacrylate copolymer, molar ratio: 80/10/10, Mw: 10,000)
・ Solvent [component (D)] 900 parts by mass (propylene glycol monomethyl ether acetate)
-Substrate adhesion agent (3-methacryloxypropyltrimethoxysilane) 1 part by mass-Sensitizer (the following compound α) 15 parts by mass-Co-sensitizer (2-mercaptobenzimidazole) 15 parts by mass

Figure 2009075482
Figure 2009075482

〔カラーフィルタの作製〕
1−3.硬化性組成物層の形成
上記顔料を含有する硬化性組成物をレジスト溶液として、550mm×650mmのガラス基板に下記条件でスリット塗布した後、10分間そのままの状態で待機させ、真空乾燥とプレベーク(prebake)(100℃80秒)を施して硬化性組成物塗布膜(硬化性組成物層)を形成した。
[Production of color filters]
1-3. Formation of the curable composition layer The curable composition containing the pigment as a resist solution was slit-coated on a 550 mm × 650 mm glass substrate under the following conditions, and then allowed to stand for 10 minutes, followed by vacuum drying and pre-baking ( prebake) (100 ° C., 80 seconds) to form a curable composition coating film (curable composition layer).

(スリット塗布条件)
・塗布ヘッド先端の開口部の間隙: 50μm
・塗布速度: 100mm/秒
・基板と塗布ヘッドとのクリヤランス: 150μm
・乾燥膜厚: 1.75μm
・塗布温度: 23℃
(Slit application conditions)
・ Gap of the opening at the tip of the coating head: 50 μm
・ Application speed: 100 mm / second ・ Clearance between substrate and application head: 150 μm
-Dry film thickness: 1.75 μm
・ Application temperature: 23 ℃

1−4.露光、現像
その後、2.5kWの超高圧水銀灯を用いて硬化性組成物膜を、線幅20μmのテスト用フォトマスクを用いてパターン状に露光し、露光後、塗布膜の全面を有機系現像液(商品名:CD、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の10%水溶液で被い、60秒間静止した。
1-4. Exposure and development Thereafter, the curable composition film is exposed in a pattern using a test mask with a line width of 20 μm using a 2.5 kW ultra-high pressure mercury lamp. After the exposure, the entire surface of the coating film is organically developed. The sample was covered with a 10% aqueous solution (trade name: CD, manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.) and left still for 60 seconds.

1−5.加熱処理
静止後、純水をシャワー状に噴射して現像液を洗い流し、かかる露光(光硬化)処理及び現像処理を施した塗布膜を220℃のオーブンにて1時間加熱した(ポストベーク)。これにより、ガラス基板上に硬化性組成物塗布膜(着色層)を形成してなるカラーフィルタを得た。
1-5. Heat treatment After standing still, pure water was sprayed in the form of a shower to wash away the developer, and the coating film subjected to such exposure (photocuring) treatment and development treatment was heated in an oven at 220 ° C. for 1 hour (post-baking). Thereby, the color filter formed by forming a curable composition coating film (colored layer) on the glass substrate was obtained.

1−6.性能評価
上記で調製された硬化性組成物を用いてガラス基板上に形成された硬化性組成物塗布膜(着色層)の分散性、分散安定性及び現像性を下記のようにして評価した。結果を表2に示す。
1-6. Performance Evaluation The dispersibility, dispersion stability and developability of the curable composition coating film (colored layer) formed on the glass substrate using the curable composition prepared above were evaluated as follows. The results are shown in Table 2.

<分散性>
顔料分散液の調製後、粘度測定を行ない、分散性を評価した。粘度が低いものほど顔料の分散性が良好であると評価する。
−評価基準−
○:粘度10mPa・s未満
△:粘度10mPa・s以上15mPa・s未満
×:粘度15mPa・s以上
<分散安定性>
顔料分散液の調製から7日後の粘度測定を行い、分散安定性を評価した。粘度上昇率が低いものほど、経時での顔料の分散安定性が良好であると評価する。
−評価基準−
○:粘度上昇が10%未満
△:粘度上昇が10%以上30%未満
×:粘度上昇が30%以上
<Dispersibility>
After preparing the pigment dispersion, the viscosity was measured and the dispersibility was evaluated. The lower the viscosity, the better the dispersibility of the pigment.
-Evaluation criteria-
○: Viscosity of less than 10 mPa · s Δ: Viscosity of 10 mPa · s or more and less than 15 mPa · s ×: Viscosity of 15 mPa · s or more <Dispersion stability>
The viscosity was measured 7 days after the preparation of the pigment dispersion, and the dispersion stability was evaluated. The lower the viscosity increase rate, the better the dispersion stability of the pigment over time.
-Evaluation criteria-
○: Increase in viscosity is less than 10% Δ: Increase in viscosity is 10% or more and less than 30% ×: Increase in viscosity is 30% or more

<現像性>
露光工程において、光が照射されなかった領域(未露光部)の残渣の有無を観察し、現像性を評価した。残渣が少ないものほど現像性が良好であると評価する。
−評価基準−
○:未露光部には、残渣がまったく確認されなかった。
△:未露光部に、残渣がわずかに確認されたが、実用上問題のない程度であった。
×:未露光部に、残渣が著しく確認された。
<Developability>
In the exposure step, the presence or absence of residue in the area not irradiated with light (unexposed portion) was observed to evaluate developability. The smaller the residue, the better the developability.
-Evaluation criteria-
A: No residue was observed at all in the unexposed area.
Δ: A slight residue was confirmed in the unexposed area, but it was practically unproblematic.
X: Residue was remarkably confirmed in the unexposed part.

<液晶表示素子のコントラストの評価>
顔料分散組成物を含有する着色硬化性組成物を、それぞれガラス基板上に厚みが2μmになるように塗布し、サンプルを作製した。バックライトユニットとして3波長冷陰極管光源(東芝ライテック(株)製FWL18EX−N)に拡散板を設置したものを用い、2枚の偏光板(日東電工(株)製G1220DUN)が平行のときと、垂直のときとの透過光量を測定し、偏光板の偏光軸が垂直のときの透過光量に対する偏光軸が平行のときの透過光量の比をコントラストとした。評価基準は以下の通りである。
○:コントラスト6000以上
×:コントラスト6000以下
<Evaluation of contrast of liquid crystal display element>
A colored curable composition containing the pigment dispersion composition was applied on a glass substrate to a thickness of 2 μm to prepare a sample. When a three-wavelength cold-cathode tube light source (FWL18EX-N manufactured by Toshiba Lighting & Technology Co., Ltd.) is used as a backlight unit and two polarizing plates (G1220DUN manufactured by Nitto Denko Corporation) are parallel The transmitted light amount with respect to the vertical direction was measured, and the ratio of the transmitted light amount when the polarization axis was parallel to the transmitted light amount when the polarization axis of the polarizing plate was vertical was defined as contrast. The evaluation criteria are as follows.
○: Contrast 6000 or more ×: Contrast 6000 or less

Figure 2009075482
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表2の結果から、本発明における(A)特定樹脂を含有する実施例1−1〜1−5の硬化性組成物は、分散性・分散安定性・現像性のいずれも良好であり、硬化性組成物として優れたものであることが分かる。また、この硬化性組成物による着色領域は、コントラストが良好であり、コントラストに優れた液晶表示素子用カラーフィルタの作製に有用であることがわかる。
一方、公知の分散剤〔比較樹脂(F)〕を用いた比較例1−1〜1−3の硬化性組成物は、アルカリ可溶性樹脂と公知分散剤との比率を種々変更しても、分散性・分散安定性が良好なものは現像性に劣り、現像性が良好なものは、分散性、分散安定性が低く、これらの特性のすべてを良好とすることが難しく、高精細なカラーフィルタを作製するには不向きであることが判明した。
From the results of Table 2, the curable compositions of Examples 1-1 to 1-5 containing the specific resin (A) in the present invention have good dispersibility, dispersion stability, and developability, and are cured. It can be seen that the composition is excellent as an adhesive composition. Moreover, it turns out that the coloring area | region by this curable composition has a favorable contrast, and is useful for preparation of the color filter for liquid crystal display elements excellent in contrast.
On the other hand, the curable compositions of Comparative Examples 1-1 to 1-3 using a known dispersant [Comparative Resin (F)] are dispersed even if the ratio of the alkali-soluble resin and the known dispersant is variously changed. Those with good dispersibility and dispersion stability are inferior in developability, those with good developability have low dispersibility and dispersion stability, and it is difficult to make all of these properties good, and high-definition color filters It turned out that it is unsuitable for producing.

[実施例2−1〜2−5、比較例2−1〜2−3]
<固体撮像素子用カラーフィルタ形成に用いた例>
以下、固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用として着色剤(顔料)を含有する硬化性組成物を調製した例を挙げて説明する。
[Examples 2-1 to 2-5, Comparative examples 2-1 to 2-3]
<Examples used for forming color filters for solid-state imaging devices>
Hereinafter, an example of preparing a curable composition containing a colorant (pigment) for forming a color filter for use in a solid-state imaging device will be described.

2−1.顔料分散液の調製
(顔料分散液組成)
・(E)顔料 (表3記載の量)
(C.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー219
との30/70(質量比)混合物(平均粒子径61nm))、
・(A)特定樹脂 (表3記載の量)
〔樹脂(A)〜(E):表3記載の樹脂(固形分濃度20重量%)〕
・アルカリ可溶性樹脂 (表3に記載の量)
(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(mol比70/30、
重量平均分子量7,000)のプロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート30重量%溶液)
・(D)溶媒〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕 110質量部
上記組成を混合し、ビーズミルにより5時間混合・分散して、顔料分散液を調製した。ここで、本発明に係る(A)特定樹脂は、顔料分散剤として機能する。
得られた分散液中の顔料の平均粒径を動的光散乱法(Microtrac Nanotrac UPA−EX150(日機装社製)を用いて、測定し、結果を表3に示した。
2-1. Preparation of pigment dispersion (pigment dispersion composition)
(E) Pigment (Amount described in Table 3)
(C.I. Pigment Green 36 and C.I. Pigment Yellow 219
30/70 (mass ratio) mixture with (average particle diameter 61 nm)),
・ (A) Specific resin (Amounts listed in Table 3)
[Resin (A) to (E): Resins listed in Table 3 (solid content concentration: 20% by weight)]
・ Alkali-soluble resin (Amounts listed in Table 3)
(Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (mol ratio 70/30,
30% by weight solution of propylene glycol monomethyl ether acetate having a weight average molecular weight of 7,000)
-(D) Solvent [Propylene glycol monomethyl ether acetate] 110 parts by mass The above composition was mixed and mixed and dispersed for 5 hours by a bead mill to prepare a pigment dispersion. Here, (A) specific resin which concerns on this invention functions as a pigment dispersant.
The average particle diameter of the pigment in the obtained dispersion was measured using a dynamic light scattering method (Microtrac Nanotrac UPA-EX150 (manufactured by Nikkiso Co., Ltd.)), and the results are shown in Table 3.

Figure 2009075482
Figure 2009075482

2−2.硬化性組成物(塗布液)の調製
前記分散処理した顔料分散液9〜16を用いて下記組成比となるよう撹拌混合して硬化性組成物溶液を調製した。
・着色剤(顔料分散液9〜16:表3に記載) 600質量部
・光重合開始剤〔(B):オキシム系光重合開始剤〕 30質量部
(CGI−124、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〔(C)成分〕 30質量部
・(C)成分〔TO−1382(東亞合成(株)製)〕 25質量部
・(D)溶媒(PGMEA) 900質量部
・基板密着剤(3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン) 1質量部
2-2. Preparation of curable composition (coating liquid) A curable composition solution was prepared by stirring and mixing the pigment dispersion liquids 9 to 16 subjected to the dispersion treatment so that the following composition ratio was obtained.
Colorant (pigment dispersions 9 to 16: listed in Table 3) 600 parts by mass Photopolymerization initiator [(B): Oxime-based photopolymerization initiator] 30 parts by mass (CGI-124, Ciba Specialty Chemicals) Made)
Dipentaerythritol hexaacrylate [component (C)] 30 parts by mass Component C (TO-1382 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.)) 25 parts by mass (D) 900 parts by mass of solvent (PGMEA) Agent (3-methacryloxypropyltrimethoxysilane) 1 part by mass

2−3.硬化性組成物によるカラーフィルタの作製
<下塗り層付シリコン基盤の作成>
下塗り層付シリコン基盤を作成するためのレジスト液の調製を下記組成に従い行った。
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 19.20質量部
・乳酸エチル 36.67質量部
・樹脂(メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル共重合体(モル比=60/22/18)の40%PGMEA溶液) 30.51質量部
・エチレン性不飽和二重結合含有化合物(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)
12.20質量部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) 0.0061質量部
・フッ素系界面活性剤(F−475、大日本インキ化学工業(株)製) 0.83質量部
・(B)光重合開始剤(トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤)0.586質量部
(TAZ−107、みどり化学社製)
2-3. Preparation of color filter with curable composition <Preparation of silicon substrate with undercoat layer>
A resist solution for preparing a silicon substrate with an undercoat layer was prepared according to the following composition.
-Propylene glycol monomethyl ether acetate 19.20 parts by mass-Ethyl lactate 36.67 parts by mass-Resin (benzyl methacrylate / methacrylic acid / methacrylic acid-2-hydroxyethyl copolymer (molar ratio = 60/22/18)) 40% PGMEA solution) 30.51 parts by mass-ethylenically unsaturated double bond-containing compound (dipentaerythritol hexaacrylate)
12.20 parts by mass-polymerization inhibitor (p-methoxyphenol) 0.0061 parts by mass-fluorine-based surfactant (F-475, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) 0.83 parts by mass (B) Photopolymerization initiator (trihalomethyltriazine photopolymerization initiator) 0.586 parts by mass (TAZ-107, manufactured by Midori Chemical Co., Ltd.)

6inchシリコンウエハをオーブン中で200℃のもと30分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に前記レジスト液を乾燥膜厚が1.5μmになるように塗布し、更に220℃のオーブン中で1時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハ基板を得た。   A 6 inch silicon wafer was heat-treated in an oven at 200 ° C. for 30 minutes. Next, the resist solution is applied onto the silicon wafer so that the dry film thickness is 1.5 μm, and further heated and dried in an oven at 220 ° C. for 1 hour to form an undercoat layer. Got.

表3に従い調製した着色剤含有硬化性組成物を、下塗り層付シリコンウエハの下塗り層上に塗布し、着色層(塗布膜)を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が0.7μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。
次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を使用して365nmの波長で、パターンが2μm四方のIslandパターンマスクを通して50〜1200mJ/cmの種々の露光量で露光した。
その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハ基板をスピン・シャワー現像機(DW−30型、(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハ基板に着色パターンを形成した。
The coloring agent containing curable composition prepared according to Table 3 was apply | coated on the undercoat layer of the silicon wafer with undercoat layer, and the colored layer (coating film) was formed. Then, heat treatment (pre-baking) was performed for 120 seconds using a hot plate at 100 ° C. so that the dry film thickness of the coating film became 0.7 μm.
Next, exposure was performed using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.) at a wavelength of 365 nm and through an Island pattern mask having a pattern of 2 μm square at various exposure amounts of 50 to 1200 mJ / cm 2 .
Thereafter, the silicon wafer substrate on which the irradiated coating film is formed is placed on a horizontal rotary table of a spin shower developing machine (DW-30 type, manufactured by Chemitronics), and CD-2000 (Fuji Film). Paddle development was performed at 23 ° C. for 60 seconds using Electronics Materials Co., Ltd. to form a colored pattern on the silicon wafer substrate.

着色パターンが形成されたシリコンウエハ基板を真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハ基板を回転数50r.p.m.で回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥した。   The silicon wafer substrate on which the colored pattern is formed is fixed to the horizontal rotary table by a vacuum chuck method, and the silicon wafer substrate is rotated at a rotation speed of 50 r. p. m. While being rotated, pure water was supplied from the upper part of the rotation center in the form of a shower through a spray nozzle, followed by rinsing treatment, and then spray drying.

2−4.性能評価
上記で調製された硬化性組成物を用いてシリコンウエハ基板上に形成された硬化性組成物塗布膜(着色層)の分散性、分散安定性及び現像性を実施例1−1と同様にして評価した。また、形成された着色パターンの色ムラを以下のように評価した。
2-4. Performance Evaluation The dispersibility, dispersion stability and developability of the curable composition coating film (colored layer) formed on the silicon wafer substrate using the curable composition prepared above are the same as in Example 1-1. And evaluated. Moreover, the color unevenness of the formed coloring pattern was evaluated as follows.

<固体撮像素子の色ムラ>
色ムラの評価は、輝度分布を下記方法で解析し、平均からのずれが±5%以内である画素が全画素数に占める割合をもとに行った。評価基準は以下の通りである。
輝度分布の測定方法について説明する。
まず、硬化性組成物を、前記下塗り層付ガラス板の下塗り層上に塗布し、着色層(塗布膜)を形成した。この塗布膜の乾燥膜厚が0.7μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。
この硬化性組成物を塗布して着色層を形成したガラス板の輝度分布を顕微鏡MX−50(オリンパス社製)にて撮影した画像を解析した。
−評価基準−
○:平均からのずれが±5%以内である画素が全画素数中の99%以上
△:平均からのずれが±5%以内である画素が全画素数中の95%以上99%未満
×:平均からのずれが±5%以内である画素が全画素数中の95%未満
これらの結果を表4に示す。
<Color unevenness of solid-state image sensor>
The color unevenness was evaluated by analyzing the luminance distribution by the following method and based on the ratio of the pixels whose deviation from the average is within ± 5% to the total number of pixels. The evaluation criteria are as follows.
A method for measuring the luminance distribution will be described.
First, the curable composition was applied onto the undercoat layer of the glass plate with the undercoat layer to form a colored layer (coating film). Heat treatment (pre-baking) was performed for 120 seconds using a hot plate at 100 ° C. so that the dry film thickness of the coating film became 0.7 μm.
The brightness | luminance distribution of the glass plate which apply | coated this curable composition and formed the colored layer analyzed the image | photographed with microscope MX-50 (made by Olympus).
-Evaluation criteria-
○: Pixels whose deviation from the average is within ± 5% is 99% or more of the total number of pixels Δ: Pixels whose deviation from the average is within ± 5% is 95% or more and less than 99% of the total number of pixels × : Pixels whose deviation from the average is within ± 5% is less than 95% of the total number of pixels.

Figure 2009075482
Figure 2009075482

表4の結果から、本発明における(A)特定樹脂を含有する実施例2−1〜2−5の硬化性組成物は、前記液晶表示用カラーフィルタ形成用の着色硬化性組成物と同様に、分散性・分散安定性・現像性のいずれも良好であり、硬化性組成物として優れたものであることが分かる。また、この硬化性組成物による着色層は、輝度分布のずれがなく、均一な着色画素の形成、ひいては、高コントラストで高精細な固体撮像素子用カラーフィルタの作製に有用であることがわかる。
一方、公知の分散剤〔比較樹脂(F)〕を用いた比較例2−1〜2−3の硬化性組成物は、アルカリ可溶性樹脂と公知分散剤との比率を種々変更しても、分散性・分散安定性が良好なものは現像性に劣り、現像性が良好なものは、分散性、分散安定性が低く、これらの特性のすべてを良好とすることが難しく、高精細なカラーフィルタを作成するには不向きであることが判明した。
From the results of Table 4, the curable compositions of Examples 2-1 to 2-5 containing the specific resin (A) in the present invention are the same as the colored curable composition for forming a color filter for liquid crystal display. It can be seen that the dispersibility, dispersion stability and developability are all good, and the composition is excellent as a curable composition. In addition, it can be seen that the colored layer made of this curable composition has no deviation in luminance distribution and is useful for forming uniform colored pixels, and thus for producing a high-contrast and high-definition color filter for a solid-state imaging device.
On the other hand, the curable compositions of Comparative Examples 2-1 to 2-3 using the known dispersant [Comparative Resin (F)] are dispersed even if the ratio of the alkali-soluble resin and the known dispersant is variously changed. Those with good dispersibility and dispersion stability are inferior in developability, those with good developability have low dispersibility and dispersion stability, and it is difficult to make all of these properties good, and high-definition color filters Turned out to be unsuitable to create.

以上の通り、本発明の硬化性組成物は、液晶表示用及び固体撮像素子用カラーフィルタの作成に必要な分散性・分散安定性・現像性の全てに優れていることが明らかである。   As described above, it is apparent that the curable composition of the present invention is excellent in all of the dispersibility, dispersion stability, and developability necessary for producing color filters for liquid crystal displays and solid-state imaging devices.

Claims (8)

(A)窒素原子を含んで構成される主鎖部とオキシアルキレン基を含む側鎖部とを有する樹脂、(B)光重合開始剤、(C)エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物、及び、(D)溶剤、を含有する硬化性組成物。   (A) a resin having a main chain part containing a nitrogen atom and a side chain part containing an oxyalkylene group, (B) a photopolymerization initiator, (C) a compound containing an ethylenically unsaturated double bond And (D) a curable composition containing a solvent. さらに、(E)顔料を含有することを特徴とする請求項1に記載の硬化性組成物。   Furthermore, (E) A pigment is contained, The curable composition of Claim 1 characterized by the above-mentioned. (A)窒素原子を含んで構成される主鎖部とオキシアルキレン基を有する側鎖部とを有する樹脂と(E)顔料とを含んで調製された顔料分散液と、(B)光重合開始剤と、(C)エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物と、(D)溶剤とを混合して得られることを特徴とする請求項2に記載の硬化性組成物。   (A) a pigment dispersion prepared by including a resin having a main chain part containing a nitrogen atom and a side chain part having an oxyalkylene group, and (E) a pigment, and (B) initiation of photopolymerization. The curable composition according to claim 2, obtained by mixing an agent, a compound containing (C) an ethylenically unsaturated double bond, and (D) a solvent. さらに(F)アルカリ可溶性樹脂を含有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の硬化性組成物。   Furthermore, (F) alkali-soluble resin is contained, The curable composition of any one of Claim 1 to 3 characterized by the above-mentioned. 前記窒素原子を含んで構成される主鎖部が、ポリアミン構造を含むことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の硬化性組成物。   The curable composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the main chain portion including the nitrogen atom includes a polyamine structure. 支持体上に、請求項2から請求項5のいずれか1項に記載の硬化性組成物により形成された着色領域を有することを特徴とするカラーフィルタ。   A color filter comprising a colored region formed of the curable composition according to any one of claims 2 to 5 on a support. 支持体上に、請求項2から請求項5のいずれか1項に記載の硬化性組成物を塗布して該硬化性組成物からなる着色層を形成する着色層形成工程と、該着色層を、マスクを介してパターン露光する露光工程と、露光後の着色層を現像して着色パターンを形成する現像工程と、を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。   A colored layer forming step of forming a colored layer comprising the curable composition by applying the curable composition according to any one of claims 2 to 5 on a support, and the colored layer A color filter manufacturing method comprising: an exposure step of pattern exposure through a mask; and a development step of developing a colored layer after exposure to form a colored pattern. 請求項7に記載のカラーフィルタの製造方法によって得られたカラーフィルタを備える固体撮像素子。   A solid-state image sensor provided with the color filter obtained by the manufacturing method of the color filter of Claim 7.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016071365A (en) * 2014-09-30 2016-05-09 富士フイルム株式会社 Curable composition, cured film, organic el display device, liquid crystal display device, and touch panel display device

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