[go: up one dir, main page]

JP2009068649A - Spindle device - Google Patents

Spindle device Download PDF

Info

Publication number
JP2009068649A
JP2009068649A JP2007239821A JP2007239821A JP2009068649A JP 2009068649 A JP2009068649 A JP 2009068649A JP 2007239821 A JP2007239821 A JP 2007239821A JP 2007239821 A JP2007239821 A JP 2007239821A JP 2009068649 A JP2009068649 A JP 2009068649A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cooling
main shaft
sleeve
spindle
bearing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007239821A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Teruyoshi Horiuchi
照悦 堀内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NTN Corp, NTN Toyo Bearing Co Ltd filed Critical NTN Corp
Priority to JP2007239821A priority Critical patent/JP2009068649A/en
Publication of JP2009068649A publication Critical patent/JP2009068649A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Mounting Of Bearings Or Others (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spindle device capable of suppressing adverse effect by heat generation in use. <P>SOLUTION: This spindle device is provided with a spindle 1, bearing sleeves 3 and 4, a cooling sleeve 15, and a housing 2. The bearing sleeves 3 and 4 have intake holes 3b, 3c and 4c arranged to face partial parts of a side surface of the spindle 1 for supplying gas to spaces between the partial parts of the side surface of the spindle 1 and themselves formed thereon. The cooling sleeve 15 is arranged to face at least a part of a region other than regions facing the bearing sleeves 3 and 4 on the side surface of the spindle 1. The housing 2 has an opening, and holds the bearing sleeves 3 and 4, the cooling sleeve 15 and the spindle 1 in the opening. On the cooling sleeve 15 formed of a porous material, a plurality of holes are formed on an inner peripheral-side surface as cooling gas supply holes for supplying a cooling gas toward the side surface of the spindle 1. A cooling groove part 1b is formed on a side surface of the spindle 1 facing the cooling sleeve 15. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

この発明は、スピンドル装置に関し、より特定的には、軸受として静圧気体軸受を用いたスピンドル装置に関する。   The present invention relates to a spindle device, and more particularly to a spindle device using a static pressure gas bearing as a bearing.

静圧気体軸受は主軸を軸受面に対して非接触状態で支持するため、その回転精度が高い。このため、この静圧気体軸受は、精密加工機や精密検査装置のワークスピンドル装置または工具スピンドル装置などに使用される。このような静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置の例は、たとえば特許文献1に開示されている。   Since the hydrostatic gas bearing supports the main shaft in a non-contact state with respect to the bearing surface, its rotational accuracy is high. For this reason, this static pressure gas bearing is used for a work spindle device or a tool spindle device of a precision processing machine or a precision inspection device. An example of such a static pressure gas bearing and a spindle device using the same is disclosed in Patent Document 1, for example.

従来のスピンドル装置を、図9を参照しながら説明する。図9は、従来のスピンドル装置を示す断面模式図である。このスピンドル装置における静圧気体軸受では、ハウジング103に軸受スリーブ104、105、106を適宜の手段で固定している。そして、主軸101を、二つの軸受スリーブ104、105により形成されたジャーナル軸受部107、108において、微小な軸受隙間を介して非接触状態で径方向に支持する。さらに、主軸101に一体に設けたスラスト板102を、その両面から二つの軸受スリーブ105、106で挟み込むことにより形成された一対のスラスト軸受部109、110で、微小な軸受隙間を介して非接触状態で軸方向に支持する。   A conventional spindle apparatus will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a schematic sectional view showing a conventional spindle device. In the static pressure gas bearing in this spindle apparatus, bearing sleeves 104, 105, and 106 are fixed to the housing 103 by appropriate means. Then, the main shaft 101 is supported in a radial direction in a non-contact state through a minute bearing gap in journal bearing portions 107 and 108 formed by two bearing sleeves 104 and 105. Further, a pair of thrust bearing portions 109 and 110 formed by sandwiching a thrust plate 102 provided integrally with the main shaft 101 with two bearing sleeves 105 and 106 from both surfaces thereof are not contacted through a minute bearing gap. Support in the axial direction in the state.

この静圧気体軸受を備えるスピンドル装置では、主軸101と同軸的に駆動源122が設けられる。この駆動源122は、主軸101にモータロータ111が一体に取付けられ、モータステータ112との間に作用する電磁力により発生する駆動力によって主軸101を回転させるものである。ジャーナル軸受部107、108を構成する軸受スリーブ104、105には、主軸101と対向する軸受面に開口する複数個の微細な給気孔113が形成されている。複数個の給気孔113は、円周方向において等間隔に、軸方向二列の給気列123となるように配置されている。また、主軸101の外径面には、軸受スリーブ104、105に形成された二列の給気列123と対向する位置に円周溝118が設けられている。   In a spindle apparatus provided with this static pressure gas bearing, a drive source 122 is provided coaxially with the main shaft 101. In the drive source 122, the motor rotor 111 is integrally attached to the main shaft 101, and the main shaft 101 is rotated by a driving force generated by an electromagnetic force acting between the main shaft 101 and the motor stator 112. The bearing sleeves 104 and 105 constituting the journal bearing portions 107 and 108 are formed with a plurality of fine air supply holes 113 that open to the bearing surface facing the main shaft 101. The plurality of air supply holes 113 are arranged to form two air supply rows 123 in the axial direction at equal intervals in the circumferential direction. Further, a circumferential groove 118 is provided on the outer diameter surface of the main shaft 101 at a position facing the two air supply rows 123 formed in the bearing sleeves 104 and 105.

スラスト軸受部109、110を構成する軸受スリーブ105、106には、スラスト板102と対向する軸受面に開口する複数個の微細な給気孔14が形成されている。複数個の給気孔14は、円周方向等間隔に配置され、円周上一列の給気列124を構成している。   A plurality of fine air supply holes 14 are formed in the bearing sleeves 105 and 106 constituting the thrust bearing portions 109 and 110 so as to open on the bearing surface facing the thrust plate 102. The plurality of air supply holes 14 are arranged at equal intervals in the circumferential direction, and constitute an air supply row 124 in one row on the circumference.

この静圧気体軸受では、軸受給気口115から圧縮気体を供給する。供給された圧縮気体は、ハウジング103に設けられた給気路116を経由して給気列123、124の給気孔113、114からジャーナル軸受部107、108およびスラスト軸受部109、110の軸受隙間に流入する。この結果、軸受隙間内の圧縮気体の圧力によって主軸101の自重や外部負荷と釣り合う軸受反力を生じる。このジャーナル軸受部107、108およびスラスト軸受部109、110により、主軸101を非接触状態で支持しながら回転駆動させることによって、高精度の回転運動を実現している。なお、ジャーナル軸受部107、108およびスラスト軸受部109、110から流出する気体は、軸受端部から直接、または排気路117を通ってハウジング103の外部に排出される。   In this static pressure gas bearing, compressed gas is supplied from the bearing air inlet 115. The supplied compressed gas passes through an air supply path 116 provided in the housing 103 and from the air supply holes 113 and 114 of the air supply rows 123 and 124 to the bearing gaps of the journal bearing portions 107 and 108 and the thrust bearing portions 109 and 110. Flow into. As a result, the pressure of the compressed gas in the bearing gap generates a bearing reaction force that balances the weight of the main shaft 101 and an external load. The journal bearing portions 107 and 108 and the thrust bearing portions 109 and 110 are driven to rotate while supporting the main shaft 101 in a non-contact state, thereby realizing a highly accurate rotational motion. The gas flowing out from the journal bearing portions 107 and 108 and the thrust bearing portions 109 and 110 is discharged to the outside of the housing 103 directly from the bearing end portion or through the exhaust passage 117.

軸受スリーブ104と105の間には、シールスリーブ119が配設されている。このシールスリーブ119には、内径面と外径面間で貫通する排気孔125、および当該排気孔125と連通する円周溝126が内径面と外径面にそれぞれ形成されている。この排気孔125および円周溝126を介して、主軸101に設けた排気路121とハウジング103に設けた排気路120とが連通している。シールスリーブ119の内径面に形成された円周溝126の両側は、ジャーナル軸受部107、108の軸受隙間と同等の微小なシール隙間を介して主軸101の外径面と対向し、非接触シール構造を構成する。   A seal sleeve 119 is disposed between the bearing sleeves 104 and 105. The seal sleeve 119 is formed with an exhaust hole 125 penetrating between the inner diameter surface and the outer diameter surface, and a circumferential groove 126 communicating with the exhaust hole 125 on the inner diameter surface and the outer diameter surface, respectively. Via the exhaust hole 125 and the circumferential groove 126, the exhaust path 121 provided in the main shaft 101 and the exhaust path 120 provided in the housing 103 communicate with each other. Both sides of the circumferential groove 126 formed on the inner diameter surface of the seal sleeve 119 are opposed to the outer diameter surface of the main shaft 101 through a minute seal gap equivalent to the bearing gap of the journal bearing portions 107 and 108, and are non-contact seals. Configure the structure.

ただしこの排気路121、120等は常に形成されるとは限らず、主軸101の端部に取付けられるワーク取付板においてワークを固定するために上記排気路121、120を経由して真空吸引する場合等に形成される。
特開2003−301841号公報
However, the exhaust passages 121, 120 and the like are not always formed, and when vacuum suction is performed via the exhaust passages 121, 120 in order to fix the work on the work mounting plate attached to the end of the main shaft 101. Etc. are formed.
JP 2003-301841 A

上記のように従来のスピンドル装置は、高精度の精密加工機や精密検査装置のワークスピンドル装置等に使用されている。そして、使用中の発熱によって本スピンドル装置の主軸101が伸びると、軸端に取付けたワークの位置が変化するため加工や測定精度に悪影響を及ぼす場合がある。また使用中に発生した熱が、主軸101を経由し非加工物又は測定物(以下ワークと呼ぶ)に伝わり悪影響を及ぼす場合もある。このため、主軸101の回転中は出来る限り当該軸の温度上昇がなく、軸端位置も変化しない事が望まれる。   As described above, the conventional spindle device is used for a high-precision precision processing machine, a work spindle device of a precision inspection device, and the like. If the spindle 101 of the spindle device is extended due to heat generation during use, the position of the workpiece attached to the shaft end changes, which may adversely affect machining and measurement accuracy. In addition, heat generated during use may be transmitted to the non-processed object or the measured object (hereinafter referred to as a workpiece) via the main shaft 101 and may have an adverse effect. For this reason, it is desirable that the temperature of the shaft does not increase as much as possible and the position of the shaft end does not change while the main shaft 101 is rotating.

この発明は、上記のような課題を解決するために成されたものであり、この発明の目的は、使用中の発熱による悪影響を抑制することが可能なスピンドル装置を提供することである。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a spindle device capable of suppressing adverse effects due to heat generation during use.

この発明に従ったスピンドル装置は、主軸と、軸受スリーブと、冷却スリーブと、ハウジングとを備える。軸受スリーブは、主軸の側面の一部に対向するように配置され、主軸の側面の一部との間の間隙に気体を供給するための気体供給孔が形成されている。冷却スリーブは、主軸の側面において軸受スリーブと対向する領域以外の領域の少なくとも一部に対向するように配置される。ハウジングは、開口部を有し、当該開口部の内部に軸受スリーブ、冷却スリーブおよび主軸を保持する。冷却スリーブには主軸の側面に向けて冷却用気体を供給する冷却用気体供給孔が形成される。主軸において冷却スリーブと対向する側面には、凹凸形状部が形成されている。   A spindle device according to the present invention includes a main shaft, a bearing sleeve, a cooling sleeve, and a housing. The bearing sleeve is disposed so as to face a part of the side surface of the main shaft, and a gas supply hole is formed for supplying gas to a gap between the bearing sleeve and a part of the side surface of the main shaft. The cooling sleeve is arranged to face at least a part of a region other than a region facing the bearing sleeve on the side surface of the main shaft. The housing has an opening, and holds the bearing sleeve, the cooling sleeve, and the main shaft inside the opening. A cooling gas supply hole for supplying a cooling gas toward the side surface of the main shaft is formed in the cooling sleeve. An uneven portion is formed on the side surface of the main shaft that faces the cooling sleeve.

このようにすれば、冷却スリーブから供給される冷却用気体によって主軸を冷却することができる。このため、スピンドル装置において使用中の発熱により主軸が伸びることで加工または測定精度が悪化する、あるいは主軸を介して非加工物または測定物に熱が伝わって悪影響を及ぼすことを防止できる。   In this way, the main shaft can be cooled by the cooling gas supplied from the cooling sleeve. For this reason, it is possible to prevent the machining or measurement accuracy from deteriorating due to the extension of the main shaft due to heat generation during use in the spindle device, or the heat from being transmitted to the non-workpiece or the measurement object via the main shaft.

本発明によれば、冷却スリーブから主軸に対して冷却用気体を供給して当該主軸を冷却できるので、使用中におけるスピンドル装置の温度上昇を抑制することができる。この結果、使用中の発熱に起因する悪影響を抑制できる。   According to the present invention, since the cooling gas can be supplied from the cooling sleeve to the main shaft to cool the main shaft, an increase in the temperature of the spindle device during use can be suppressed. As a result, adverse effects caused by heat generation during use can be suppressed.

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.

(実施の形態1)
図1は、本発明によるスピンドル装置の実施の形態1を示す断面模式図である。図2は、図1の線分II−IIにおける断面模式図である。図1および図2を参照して、本発明によるスピンドル装置の実施の形態1を説明する。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic sectional view showing Embodiment 1 of a spindle apparatus according to the present invention. 2 is a schematic cross-sectional view taken along line II-II in FIG. A first embodiment of a spindle device according to the present invention will be described with reference to FIGS.

図1および図2を参照して、本発明によるスピンドル装置は、静圧気体軸受を用いたスピンドル装置であって、ハウジング2と軸受スリーブ3と主軸1とを備えている。ハウジング2は開口部を有する。ハウジング2の開口部には軸受スリーブ3、4が固定されている。そして、この軸受スリーブ3、4の中央部に形成された断面形状が円形状の開口部に主軸1が配置されている。主軸1には、フランジ状に外周側へと突出した、平面形状が円形状のスラスト板1aが一体に形成されている。このスラスト板1aの表面および主軸1の側面を囲むように、軸受スリーブ3、4が配置されている。   1 and 2, the spindle device according to the present invention is a spindle device using a static pressure gas bearing and includes a housing 2, a bearing sleeve 3, and a main shaft 1. The housing 2 has an opening. Bearing sleeves 3 and 4 are fixed to the opening of the housing 2. The main shaft 1 is disposed in an opening having a circular cross section formed in the center of the bearing sleeves 3 and 4. The main shaft 1 is integrally formed with a thrust plate 1a having a circular planar shape protruding in a flange shape toward the outer peripheral side. Bearing sleeves 3 and 4 are arranged so as to surround the surface of the thrust plate 1 a and the side surface of the main shaft 1.

軸受スリーブ3、4には、主軸1の側面もしくはスラスト板1aの表面と対向する領域に圧縮空気などの気体を供給するための給気孔3b、3c、4cが形成されている。この給気孔3b、3c、4cには、ハウジング2に形成された給気路2aおよび軸受スリーブ3、4に形成された給気路21を介して気体が供給される。また、軸受スリーブ3の主軸1と対向する内周面には、排気用円周溝3dが形成されている。この排気用円周溝3dには、軸受スリーブ3の内部に形成された排気路5およびハウジング2に形成された排気路17が接続されている。   The bearing sleeves 3 and 4 are formed with air supply holes 3b, 3c and 4c for supplying a gas such as compressed air to a region facing the side surface of the main shaft 1 or the surface of the thrust plate 1a. Gas is supplied to the air supply holes 3 b, 3 c, and 4 c through an air supply path 2 a formed in the housing 2 and an air supply path 21 formed in the bearing sleeves 3 and 4. An exhaust circumferential groove 3 d is formed on the inner peripheral surface of the bearing sleeve 3 facing the main shaft 1. An exhaust passage 5 formed in the bearing sleeve 3 and an exhaust passage 17 formed in the housing 2 are connected to the exhaust circumferential groove 3d.

軸受給気口18から給気路2a、21を介して給気孔3b、3cから供給された空気は、軸受スリーブ3、4と主軸1およびスラスト板1aとの間に供給され、この主軸1とスラスト板1aと軸受スリーブ3、4との間に微小な軸受隙間を形成する。このように、主軸1の側面と軸受スリーブ3との間にはジャーナル軸受部11a、11bが形成されている。この結果、主軸1は、軸受スリーブ3、4に対して非接触の状態で回転可能になっている。   The air supplied from the air supply holes 3b and 3c through the air supply passages 2a and 21 from the bearing air supply port 18 is supplied between the bearing sleeves 3 and 4 and the main shaft 1 and the thrust plate 1a. A minute bearing gap is formed between the thrust plate 1 a and the bearing sleeves 3 and 4. As described above, journal bearing portions 11 a and 11 b are formed between the side surface of the main shaft 1 and the bearing sleeve 3. As a result, the main shaft 1 is rotatable in a non-contact state with respect to the bearing sleeves 3 and 4.

給気孔3b、3c、4cから供給された空気は、排気用円周溝3dや隙間19から排気路5、17を介してスピンドル装置の外部へと排出される。また、主軸1のスラスト板1aの表面と軸受スリーブ3、4との間の間隙にも、給気孔3c、4cから気体が供給されることにより微細な軸受空間が形成される。つまり、スラスト板1aの表面と軸受スリーブ3、4との間にはスラスト軸受部3a、4aが形成される。   The air supplied from the air supply holes 3b, 3c, and 4c is discharged to the outside of the spindle device through the exhaust circumferential groove 3d and the gap 19 through the exhaust passages 5 and 17. A fine bearing space is also formed in the gap between the surface of the thrust plate 1a of the main shaft 1 and the bearing sleeves 3 and 4 by supplying gas from the air supply holes 3c and 4c. That is, the thrust bearing portions 3a, 4a are formed between the surface of the thrust plate 1a and the bearing sleeves 3, 4.

次に、スラスト板1aから見てジャーナル軸受部11a、11bが形成された側と反対側における主軸1の端部には、駆動源が設けられている。具体的には、当該端部において主軸1にはモータロータ9aが一体に取付けられている。そして、このモータロータ9aと対向するようにモータステータ9bがハウジング2の内周側に固定されている。このモータロータ9aとモータステータ9bとにより駆動源が構成される。そして、モータロータ9aとモータステータ9bとの間に作用する電磁力によって、モータロータ9aは回転し、この駆動力によって主軸1は回転する。   Next, a drive source is provided at the end of the main shaft 1 on the side opposite to the side where the journal bearing portions 11a and 11b are formed as viewed from the thrust plate 1a. Specifically, a motor rotor 9a is integrally attached to the main shaft 1 at the end portion. A motor stator 9b is fixed to the inner peripheral side of the housing 2 so as to face the motor rotor 9a. The motor rotor 9a and the motor stator 9b constitute a drive source. The motor rotor 9a is rotated by the electromagnetic force acting between the motor rotor 9a and the motor stator 9b, and the main shaft 1 is rotated by this driving force.

主軸1においてモータロータ9aが設置された側と反対側の端部には、治具などを固定するための固定部8が設置されている。この固定部8においては、真空吸着などにより治具などを固定することができる。   A fixing portion 8 for fixing a jig or the like is installed at the end of the main shaft 1 opposite to the side where the motor rotor 9a is installed. In the fixing portion 8, a jig or the like can be fixed by vacuum suction or the like.

上述したジャーナル軸受部11a、11bを構成する軸受スリーブ3には、主軸1と対向する内周面(軸受面)に複数の給気孔3bが形成されている。複数の給気孔3bは、主軸1の側面を囲む円周方向において等間隔に配置されている。また、ジャーナル軸受部11a、11bのそれぞれにおいては、主軸1の軸方向2列に給気孔3bが整列した給気列が構成されている。なお、主軸1の外周面には、軸受スリーブ3に形成された2列の上記給気列と対向する位置において、軸受剛性を高めるため円周溝(図示せず)が設けられていてもよい。   A plurality of air supply holes 3 b are formed in the inner peripheral surface (bearing surface) facing the main shaft 1 in the bearing sleeve 3 constituting the journal bearing portions 11 a and 11 b described above. The plurality of air supply holes 3 b are arranged at equal intervals in the circumferential direction surrounding the side surface of the main shaft 1. Further, in each of the journal bearing portions 11a and 11b, an air supply row in which the air supply holes 3b are arranged in two rows in the axial direction of the main shaft 1 is configured. Note that a circumferential groove (not shown) may be provided on the outer peripheral surface of the main shaft 1 at a position facing the two air supply rows formed on the bearing sleeve 3 in order to increase bearing rigidity. .

また、スラスト軸受部3a、4aを構成する軸受スリーブ3、4の部分には、上述のようにスラスト板1aと対向する内周面(軸受面)に数個の微細な給気孔3c、4cが円周方向において等間隔に配置されている。この給気孔3c、4cは、円周状に一列に並んだ給気列として設けられている。また、このスラスト軸受部3a、4aにおいても軸受剛性を上げるため、軸受スリーブ3、4に形成された給気列と対向する位置に、スラスト板1aの表面に円周溝を設けていてもよい。また、給気孔3c、4cからなる給気列を含む円周状に、軸受スリーブ3、4の表面に円周溝を設けるようにしてもよい。   Further, in the bearing sleeves 3 and 4 constituting the thrust bearing portions 3a and 4a, as described above, several fine air supply holes 3c and 4c are formed on the inner peripheral surface (bearing surface) facing the thrust plate 1a. They are arranged at equal intervals in the circumferential direction. The air supply holes 3c and 4c are provided as air supply lines arranged in a line in a circumferential shape. Further, in order to increase the bearing rigidity in the thrust bearing portions 3a and 4a, a circumferential groove may be provided on the surface of the thrust plate 1a at a position facing the air supply row formed in the bearing sleeves 3 and 4. . Further, a circumferential groove may be provided on the surface of the bearing sleeves 3 and 4 in a circumferential shape including an air supply row including the air supply holes 3c and 4c.

図1に示したスピンドル装置においては、主軸1においてスラスト板1aが形成された側と反対側の端部において、主軸1の側面の一部と対向する位置に冷却スリーブ15が配置されている。この冷却スリーブ15には、その外周の一部に円周状の給気溝である冷却スリーブ外周溝14が形成されている。冷却スリーブ15は多孔質の材料からなる。この冷却スリーブ15は、図1からもわかるように軸受スリーブ3と隙間19を隔てた位置に配置される。また、冷却スリーブ15は、軸受スリーブ3と同様にハウジング2の内部に挿入設置されている。この冷却スリーブ15のスラスト板1a側の側面および当該スラスト板1a側の側面と反対側の側面は共に接着剤や他の樹脂等の材料で被覆されている。このような被覆層を設けることで、冷却スリーブ15の対向する上記側面から冷却用気体(空気)が漏れることを防止している。   In the spindle apparatus shown in FIG. 1, a cooling sleeve 15 is disposed at a position facing a part of the side surface of the main shaft 1 at the end of the main shaft 1 opposite to the side where the thrust plate 1 a is formed. The cooling sleeve 15 is formed with a cooling sleeve outer peripheral groove 14 which is a circumferential air supply groove on a part of the outer periphery thereof. The cooling sleeve 15 is made of a porous material. As can be seen from FIG. 1, the cooling sleeve 15 is disposed at a position separating the bearing sleeve 3 and the gap 19. The cooling sleeve 15 is inserted and installed in the housing 2 in the same manner as the bearing sleeve 3. Both the side surface of the cooling sleeve 15 on the thrust plate 1a side and the side surface opposite to the side surface on the thrust plate 1a side are covered with a material such as an adhesive or other resin. By providing such a coating layer, the cooling gas (air) is prevented from leaking from the side surfaces of the cooling sleeve 15 facing each other.

冷却スリーブ15の冷却スリーブ外周溝14に繋がるように、ハウジング2には給気口2cに繋がる給気路13が形成されている。この給気口2cから上記給気路13を介して冷却スリーブ外周溝14には冷却用の空気が供給される。   An air supply path 13 connected to the air supply port 2 c is formed in the housing 2 so as to connect to the cooling sleeve outer peripheral groove 14 of the cooling sleeve 15. Cooling air is supplied from the air supply port 2 c to the cooling sleeve outer circumferential groove 14 through the air supply path 13.

また、主軸1の冷却スリーブ15と対向する位置には、円周状の溝が複数配置された冷却溝部1bが形成されている。この冷却溝部1bにおいては、複数の円周溝が形成されている。このような円周溝を形成することによって、冷却スリーブ15から噴出された冷却用気体(空気)と主軸1との接触面積を増やすことができる。   In addition, a cooling groove portion 1 b in which a plurality of circumferential grooves are arranged is formed at a position facing the cooling sleeve 15 of the main shaft 1. A plurality of circumferential grooves are formed in the cooling groove portion 1b. By forming such a circumferential groove, the contact area between the cooling gas (air) ejected from the cooling sleeve 15 and the main shaft 1 can be increased.

また、図2に示すように、冷却スリーブ15の内径側(主軸1と対向する内周側)には、冷却に用いた空気の排気を行なうため、円周方向に等間隔に配置されるように、複数(たとえば4つ)の排気溝15aが設けられている。排気溝15aは、主軸1の軸方向に沿った方向に延びるように形成される。   Further, as shown in FIG. 2, the cooling sleeve 15 is arranged on the inner diameter side (the inner peripheral side facing the main shaft 1) at equal intervals in the circumferential direction in order to exhaust the air used for cooling. In addition, a plurality of (for example, four) exhaust grooves 15a are provided. The exhaust groove 15 a is formed so as to extend in a direction along the axial direction of the main shaft 1.

次に、上述したスピンドル装置の動作を簡単に説明する。上述したスピンドル装置では、軸受給気口18から圧縮気体を供給すると、当該圧縮気体はハウジング2に設けられた給気路2aおよび軸受スリーブ3、4に形成された給気路21を介して給気列の給気孔3b、3c、4cから、ジャーナル軸受部11a、11bおよびスラスト軸受部3a、4aの軸受隙間に流入する。この軸受隙間内の圧縮気体の圧力によって、主軸1の自重や外部負荷に釣り合う軸受反力が生じる。このジャーナル軸受部11a、11bおよびスラスト軸受部3a、4aによって、主軸1を非接触状態で支持しながら駆動源から発生した駆動力によって回転駆動させることができる。この結果、主軸1において高精度の回転運動を実現することができる。なお、ジャーナル軸受部11a、11bおよびスラスト軸受部3a、3bから流出する気体は、軸受端部から直接、あるいは排気路17を通ってハウジング2の外部に排出される。   Next, the operation of the spindle device described above will be briefly described. In the spindle apparatus described above, when compressed gas is supplied from the bearing air supply port 18, the compressed gas is supplied via an air supply path 2 a provided in the housing 2 and an air supply path 21 formed in the bearing sleeves 3 and 4. The air flows from the air supply holes 3b, 3c, and 4c into the bearing clearances of the journal bearing portions 11a and 11b and the thrust bearing portions 3a and 4a. The pressure of the compressed gas in the bearing gap generates a bearing reaction force that balances the weight of the main shaft 1 and an external load. The journal bearing portions 11a and 11b and the thrust bearing portions 3a and 4a can be rotationally driven by the driving force generated from the driving source while supporting the main shaft 1 in a non-contact state. As a result, a highly accurate rotational motion can be realized in the main shaft 1. The gas flowing out from the journal bearing portions 11a and 11b and the thrust bearing portions 3a and 3b is discharged to the outside of the housing 2 directly from the bearing end portion or through the exhaust passage 17.

上述したスピンドルの使用時には、ハウジング2に設けた給気口2cから給気路13を介して冷却スリーブ15の冷却スリーブ外周溝14に冷却用の圧縮気体が給気される。そして、冷却スリーブ外周溝14から多孔質の冷却スリーブ15の内部を介して、主軸1の冷却溝部1bに向けて冷却用の圧縮気体が供給される。そして、冷却溝部1bにおいては当該冷却用の圧縮気体が表面に吹付けられることによって主軸1が冷却される。   When the spindle described above is used, the compressed compressed gas for cooling is supplied to the cooling sleeve outer circumferential groove 14 of the cooling sleeve 15 from the air supply port 2 c provided in the housing 2 through the air supply path 13. Then, compressed gas for cooling is supplied from the cooling sleeve outer circumferential groove 14 to the cooling groove portion 1 b of the main shaft 1 through the inside of the porous cooling sleeve 15. And in the cooling groove part 1b, the main axis | shaft 1 is cooled by the said compressed gas for cooling being sprayed on the surface.

この冷却に用いられた圧縮気体の大半は、主軸1の冷却溝部1bに形成された円周溝に沿って冷却スリーブ15の排気溝15a(図2参照)まで流れる。また、冷却に用いられた圧縮気体の一部は、冷却スリーブ15と、軸受スリーブ3との間の隙間19を通って、排気路17を介してハウジング2の外部へ排気される。また、冷却に用いられた圧縮気体の一部は、排気溝15aの上端およびハウジング2と主軸1との隙間20からハウジング2の外部に放出される。   Most of the compressed gas used for this cooling flows to the exhaust groove 15a (see FIG. 2) of the cooling sleeve 15 along the circumferential groove formed in the cooling groove portion 1b of the main shaft 1. A part of the compressed gas used for cooling passes through the gap 19 between the cooling sleeve 15 and the bearing sleeve 3 and is exhausted to the outside of the housing 2 through the exhaust path 17. In addition, a part of the compressed gas used for cooling is discharged to the outside of the housing 2 from the upper end of the exhaust groove 15 a and the gap 20 between the housing 2 and the main shaft 1.

上述したスピンドルでは、冷却溝部1bの周囲を取り囲む冷却スリーブ15を構成する材料として多孔質材を用いているので、冷却に用いる気体が冷却スリーブ15の内周側(主軸1の冷却溝部1bに対向する側の表面)の長手方向および円周方向において均一に主軸1に向けて噴出される。このため、スピンドル装置の回転精度に悪影響を及ぼすことなく、冷却溝部1bを効率的に冷却できる。また、要求される特性に応じて、主軸1の延在方向における冷却スリーブ15および冷却溝部1bの長さを調節すれば(たとえば長くすれば)、冷却効率を変更する(たとえばより高める)ことができる。さらに、主軸1に吹付けられる冷却用の気体として、外部から事前に温度を下げた(冷却した)圧縮気体(たとえば圧縮空気)を用いれば、より冷却効率を高めることができる。   In the spindle described above, since a porous material is used as a material constituting the cooling sleeve 15 surrounding the cooling groove portion 1b, the gas used for cooling is opposed to the inner peripheral side of the cooling sleeve 15 (opposing the cooling groove portion 1b of the main shaft 1). Are uniformly ejected toward the main shaft 1 in the longitudinal direction and the circumferential direction. For this reason, the cooling groove 1b can be efficiently cooled without adversely affecting the rotation accuracy of the spindle device. Further, if the lengths of the cooling sleeve 15 and the cooling groove 1b in the extending direction of the main shaft 1 are adjusted (for example, longer) according to the required characteristics, the cooling efficiency can be changed (for example, further increased). it can. Further, if a compressed gas (for example, compressed air) whose temperature has been lowered (cooled) in advance from the outside is used as the cooling gas blown to the main shaft 1, the cooling efficiency can be further increased.

上述したスピンドル装置においては、たとえばジャーナル軸受部11a、11bおよびスラスト軸受部3a、4aへ気体を供給する給気路2aと冷却スリーブ外周溝14とを連通させてもよい。この場合、1ヶ所からの給気でジャーナル軸受部11a、11bおよびスラスト軸受部3a、4aでの空気軸受を動作させることと同時に、冷却溝部1bにおいて主軸1を冷却する効果を奏することもできる。ただし、この場合冷却溝部1bに供給される気体の量が多くなると、スラスト軸受部3a、4aおよびジャーナル軸受部11a、11bに供給される気体の圧力が低下し、当該軸受部の剛性の低下を招くことになる。したがって、本発明によるスピンドル装置の使用される用途に応じて、必要とされる軸受部の剛性の範囲内で冷却スリーブ15の主軸1の軸方向の長さを決定することが好ましい。   In the spindle device described above, for example, the air supply passage 2a for supplying gas to the journal bearing portions 11a and 11b and the thrust bearing portions 3a and 4a and the cooling sleeve outer circumferential groove 14 may be communicated with each other. In this case, the air bearings in the journal bearing portions 11a and 11b and the thrust bearing portions 3a and 4a are operated by supplying air from one place, and at the same time, the effect of cooling the main shaft 1 in the cooling groove portion 1b can be achieved. However, in this case, when the amount of gas supplied to the cooling groove portion 1b increases, the pressure of the gas supplied to the thrust bearing portions 3a, 4a and the journal bearing portions 11a, 11b decreases, and the rigidity of the bearing portion decreases. Will be invited. Therefore, it is preferable to determine the axial length of the main shaft 1 of the cooling sleeve 15 within the required rigidity of the bearing portion, depending on the application in which the spindle device according to the present invention is used.

また、冷却溝部1bおよび冷却スリーブ15から構成される冷却部は、非接触シールとしての機能も有している。すなわち、この冷却溝部1bと冷却スリーブ15とにより構成される冷却部に冷却用の気体が供給され、当該部分からハウジング2の外部へと気体が排気されるため、スラスト軸受部3a、4aおよびジャーナル軸受部11a、11bにスピンドルの外部から塵などの異物が侵入することを防止できる。   In addition, the cooling section composed of the cooling groove 1b and the cooling sleeve 15 also has a function as a non-contact seal. That is, since the cooling gas is supplied to the cooling part constituted by the cooling groove part 1b and the cooling sleeve 15, and the gas is exhausted from the part to the outside of the housing 2, the thrust bearing parts 3a, 4a and the journal It is possible to prevent foreign matters such as dust from entering the bearing portions 11a and 11b from the outside of the spindle.

(実施の形態2)
図3は、本発明によるスピンドル装置の実施の形態2を示す断面模式図である。図2を参照して、本発明によるスピンドル装置の実施の形態2を説明する。
(Embodiment 2)
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing Embodiment 2 of the spindle apparatus according to the present invention. A second embodiment of the spindle apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.

図3を参照して、本発明によるスピンドル装置の実施の形態2は、基本的には図1および図2に示したスピンドル装置と同様の構造を備えるが、冷却スリーブ25の構造が異なっている。すなわち、図3に示したスピンドル装置においては、冷却スリーブ25を構成する材料としてカーボンまたは金属など中実体である材料を用いている。そして、冷却スリーブ外周溝14から内周表面(主軸1の冷却溝部1bに対向する側の表面)に繋がる複数の通気路25aが形成されている。この通気路25aを介して、冷却スリーブ外周溝14の内部から冷却溝部1bに対して冷却用の気体が吹付けられる。この通気路25aは、冷却スリーブ25の円周方向および長手方向において複数個配置されている。たとえば、円周方向において複数の通気路25aは等間隔で配置されていてもよい。このような構造によっても、図1および図2に示したスピンドル装置と同様の効果を得ることができる。   Referring to FIG. 3, the spindle device according to the second embodiment of the present invention basically has the same structure as the spindle device shown in FIGS. 1 and 2, but the structure of the cooling sleeve 25 is different. . That is, in the spindle apparatus shown in FIG. 3, a solid material such as carbon or metal is used as the material constituting the cooling sleeve 25. A plurality of air passages 25a are formed from the cooling sleeve outer peripheral groove 14 to the inner peripheral surface (surface on the side facing the cooling groove portion 1b of the main shaft 1). Cooling gas is blown from the inside of the cooling sleeve outer peripheral groove 14 to the cooling groove portion 1b through the air passage 25a. A plurality of the air passages 25 a are arranged in the circumferential direction and the longitudinal direction of the cooling sleeve 25. For example, the plurality of ventilation paths 25a may be arranged at equal intervals in the circumferential direction. Even with such a structure, the same effect as that of the spindle apparatus shown in FIGS. 1 and 2 can be obtained.

(実施の形態3)
図4は、本発明によるスピンドル装置の実施の形態3を示す断面模式図である。図4を参照して、本発明によるスピンドル装置の実施の形態3を説明する。
(Embodiment 3)
FIG. 4 is a schematic sectional view showing Embodiment 3 of the spindle apparatus according to the present invention. A third embodiment of the spindle apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.

図4を参照して、スピンドル装置は基本的には図1および図2に示したスピンドルと同様の構造を備えるが、冷却スリーブ15における冷却スリーブ外周溝14に供給される冷却用の気体の供給方法が異なっている。具体的には、図4に示したスピンドル装置においては、ジャーナル軸受部11a、11bおよびスラスト軸受部3a、4aからの排気を冷却用の気体として冷却スリーブ外周溝14に供給している。つまり、図4に示したスピンドル装置においては、軸受スリーブ3において排気用円周溝3dと繋がる排気路3eが、通気路3fを介して冷却スリーブ15に形成された通気路14eに繋がっている。この通気路14eは冷却スリーブ外周溝14に接続されている。また、このように通気路3fと通気路14eとを接続するため、冷却スリーブ15と軸受スリーブ3とは互いに対向する面が接触した状態になるように配置されている。   Referring to FIG. 4, the spindle device basically has the same structure as the spindle shown in FIGS. 1 and 2, but supplies a cooling gas supplied to cooling sleeve outer circumferential groove 14 in cooling sleeve 15. The method is different. Specifically, in the spindle apparatus shown in FIG. 4, exhaust gas from the journal bearing portions 11a and 11b and the thrust bearing portions 3a and 4a is supplied to the cooling sleeve outer circumferential groove 14 as a cooling gas. In other words, in the spindle device shown in FIG. 4, the exhaust passage 3e connected to the exhaust circumferential groove 3d in the bearing sleeve 3 is connected to the air passage 14e formed in the cooling sleeve 15 via the air passage 3f. The air passage 14e is connected to the outer circumferential groove 14 of the cooling sleeve. Further, in order to connect the air passage 3f and the air passage 14e in this way, the cooling sleeve 15 and the bearing sleeve 3 are arranged so that the surfaces facing each other are in contact with each other.

図4に示したスピンドル装置では、冷却スリーブ15の軸受スリーブ3に対向する側の側面が突出し、当該側面が軸受スリーブ3の表面に接触している。このようにすれば、冷却用の気体を供給するための供給通路をハウジング2において別途設けたり、当該冷却用の気体を供給するための供給部材などを別途設ける必要がなく、軸受に供給された気体を有効利用することができる。   In the spindle device shown in FIG. 4, the side surface of the cooling sleeve 15 facing the bearing sleeve 3 protrudes, and the side surface is in contact with the surface of the bearing sleeve 3. In this way, it is not necessary to separately provide a supply passage for supplying the cooling gas in the housing 2 or a supply member for supplying the cooling gas, and the supply passage is supplied to the bearing. Gas can be used effectively.

なお、図4では冷却スリーブ15と軸受スリーブ3とは各々別体とした場合の構造を示しているが、上記冷却スリーブ15と軸受スリーブ3とは一体で形成されていてもよい。   Although FIG. 4 shows a structure in which the cooling sleeve 15 and the bearing sleeve 3 are separately provided, the cooling sleeve 15 and the bearing sleeve 3 may be integrally formed.

(実施の形態4)
図5は、本発明によるスピンドル装置の実施の形態4を示す断面模式図である。図5を参照して、本発明によるスピンドル装置の実施の形態4を説明する。
(Embodiment 4)
FIG. 5 is a schematic sectional view showing Embodiment 4 of the spindle apparatus according to the present invention. A fourth embodiment of the spindle apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.

図5を参照して、スピンドル装置は基本的には図1および図2に示したスピンドル装置と同様の構造を備えるが、冷却スリーブ15の冷却スリーブ外周溝14に供給される冷却用の気体の供給経路が異なっている。すなわち、図5に示したスピンドルにおいては、図4に示したスピンドルと同様に排気用円周溝3dに繋がるように排気路3eが形成されている。この排気路3eに繋がるように、ハウジング2において通気路2bが形成されている。この通気路2bは冷却スリーブ外周溝14に接続されている。この結果、ジャーナル軸受部11a、11bおよびスラスト軸受部3a、4aから排気された気体が排気路3eおよび通気路2bを介して冷却スリーブ外周溝14に供給される。そして、この冷却スリーブ外周溝14の内部から多孔質材料からなる冷却スリーブ15を介して気体が冷却溝部1bへと吹付けられる。この結果、図4に示したスピンドル装置と同様の効果を得ることができる。   Referring to FIG. 5, the spindle device basically has the same structure as the spindle device shown in FIGS. 1 and 2, but the cooling gas supplied to the cooling sleeve outer circumferential groove 14 of the cooling sleeve 15. The supply route is different. That is, in the spindle shown in FIG. 5, the exhaust passage 3e is formed so as to be connected to the exhaust circumferential groove 3d in the same manner as the spindle shown in FIG. A ventilation path 2b is formed in the housing 2 so as to be connected to the exhaust path 3e. The ventilation path 2 b is connected to the cooling sleeve outer circumferential groove 14. As a result, the gas exhausted from the journal bearing portions 11a and 11b and the thrust bearing portions 3a and 4a is supplied to the cooling sleeve outer circumferential groove 14 via the exhaust passage 3e and the ventilation passage 2b. Then, gas is blown from the inside of the cooling sleeve outer peripheral groove 14 to the cooling groove portion 1b through the cooling sleeve 15 made of a porous material. As a result, the same effect as that of the spindle device shown in FIG. 4 can be obtained.

(実施の形態5)
図6は、本発明によるスピンドル装置の実施の形態5を示す断面模式図である。図6を参照して、本発明によるスピンドル装置の実施の形態5を説明する。
(Embodiment 5)
FIG. 6 is a schematic sectional view showing Embodiment 5 of the spindle apparatus according to the present invention. A fifth embodiment of the spindle apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.

図6を参照して、本発明によるスピンドル装置の実施の形態5は基本的には図1に示したスピンドル装置と同様の構造を備えるが、冷却溝部と冷却スリーブとにより構成される冷却部が複数箇所(3ヶ所)形成された構造となっている。すなわち、図6に示したスピンドル装置においては、図1などに示したスピンドル装置と同様に主軸1のスラスト板1aが配置された側と反対側の端部に冷却溝部1bと冷却スリーブ15とからなる冷却部が配置されている。さらに、図6に示したスピンドル装置においては、軸受スリーブ33a、33bの間に(すなわちジャーナル軸受部11aとジャーナル軸受部11bとの間に)、冷却スリーブ35と冷却溝部1cとからなる第2の冷却部が配置されている。この冷却溝部1cは、基本的には冷却溝部1bと同様の構造を備えており、主軸1の外周面に円周溝が複数個形成されている。また、冷却スリーブ35は冷却スリーブ15と同様の構造を備えている。   Referring to FIG. 6, the fifth embodiment of the spindle apparatus according to the present invention basically has the same structure as that of the spindle apparatus shown in FIG. 1, except that a cooling section constituted by a cooling groove section and a cooling sleeve is provided. It has a structure in which a plurality of places (three places) are formed. That is, in the spindle apparatus shown in FIG. 6, the cooling groove 1b and the cooling sleeve 15 are provided at the end opposite to the side where the thrust plate 1a of the main shaft 1 is disposed, as in the spindle apparatus shown in FIG. The cooling part which becomes is arrange | positioned. Further, in the spindle apparatus shown in FIG. 6, a second sleeve comprising a cooling sleeve 35 and a cooling groove 1c is provided between the bearing sleeves 33a and 33b (that is, between the journal bearing portion 11a and the journal bearing portion 11b). A cooling part is arranged. The cooling groove 1 c basically has the same structure as the cooling groove 1 b, and a plurality of circumferential grooves are formed on the outer peripheral surface of the main shaft 1. The cooling sleeve 35 has the same structure as the cooling sleeve 15.

また、図6に示したスピンドル装置では、スラスト板1aとモータロータ9aとの間に、冷却スリーブ45と冷却溝部1dとからなる第3の冷却部が配置されている。この冷却スリーブ45も冷却スリーブ15と同様の構造を備えている。また、冷却溝部1dも、上述した冷却溝部1cと同様の構造を備えており、複数の円周溝が主軸1の外周側面に形成されている。   Further, in the spindle apparatus shown in FIG. 6, a third cooling unit including a cooling sleeve 45 and a cooling groove 1d is disposed between the thrust plate 1a and the motor rotor 9a. The cooling sleeve 45 also has the same structure as the cooling sleeve 15. The cooling groove 1 d also has the same structure as the cooling groove 1 c described above, and a plurality of circumferential grooves are formed on the outer peripheral side surface of the main shaft 1.

このように3ヶ所(複数箇所)に冷却部を配置することで、スピンドル装置の主軸1をより効果的に冷却することができる。なお、これらの冷却スリーブ15、35、45のそれぞれの冷却スリーブ外周溝14には、外部から給気口2cを介して冷却用の気体が供給される。これは、第1から第3の冷却部における合計の冷却用の気体の消費量が比較的多くなるため、ジャーナル軸受部11a、11bおよびスラスト軸受部3a、4aに供給する気体を冷却用気体に流用した場合に当該軸受部の剛性が悪影響を受けることを防止するためである。   Thus, by disposing the cooling units at three places (plural places), the spindle 1 of the spindle device can be cooled more effectively. A cooling gas is supplied to the cooling sleeve outer circumferential groove 14 of each of the cooling sleeves 15, 35, 45 from the outside through the air supply port 2 c. This is because the total amount of cooling gas consumed in the first to third cooling sections is relatively large, so that the gas supplied to the journal bearing portions 11a and 11b and the thrust bearing portions 3a and 4a is used as the cooling gas. This is for preventing the rigidity of the bearing portion from being adversely affected when diverted.

なお、図6に示したスピンドル装置において、3ヶ所に冷却部を配置したが、冷却部の数は図6に示したような3個に限られることなく、2つあるいは4個以上の複数箇所としてもよい。また、冷却部の配置についても、ジャーナル軸受部11a、11bの間やスラスト板1aとモータロータ9aとの間といった位置と異なる位置に配置してもよい。また、図6に示した3つの冷却部のうちの任意の2つの組合せ、あるいはこれらの3つの冷却部のうちの任意の1つを配置してもよい。   In the spindle apparatus shown in FIG. 6, the cooling units are arranged at three locations, but the number of cooling units is not limited to three as shown in FIG. 6, but two or more than four locations. It is good. Further, the cooling unit may be arranged at a position different from the position between the journal bearing parts 11a and 11b or between the thrust plate 1a and the motor rotor 9a. Further, any two combinations of the three cooling units shown in FIG. 6 or any one of these three cooling units may be arranged.

(実施の形態6)
図7は、本発明によるスピンドル装置の実施の形態6を示す断面模式図である。図7を参照して、本発明によるスピンドル装置の実施の形態6を説明する。
(Embodiment 6)
FIG. 7 is a schematic sectional view showing Embodiment 6 of the spindle device according to the present invention. A sixth embodiment of the spindle apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.

図7を参照して、スピンドル装置は基本的には図6に示したスピンドル装置と同様の構造を備えるが、冷却スリーブ15、35、45へ冷却用の気体を供給する供給方法が異なっている。具体的には、図7に示したスピンドル装置においては、ジャーナル軸受部11a、11bおよびスラスト軸受部3a、4aから排気された気体を排気用円周溝3dや通気路3fを介して各冷却スリーブ15、35の冷却スリーブ外周溝14へと供給している。またさらに、ハウジング2において、上述した通気路3fに連通する通気路2dをさらに設け、当該通気路2dを介して冷却用の気体を冷却スリーブ45の冷却スリーブ外周溝14へと供給している。このようにすれば、ジャーナル軸受部11a、11bおよびスラスト軸受部3a、4aへ十分な圧力の気体が供給されている場合に、これらの軸受部からの排気を冷却部における冷却用の気体として流用することができる。このため、冷却用の気体を別系統としてスピンドル装置に供給する必要がないため、スピンドル装置の装置構成を簡略化することができる。   Referring to FIG. 7, the spindle apparatus basically has the same structure as the spindle apparatus shown in FIG. 6, but the supply method of supplying the cooling gas to the cooling sleeves 15, 35, 45 is different. . Specifically, in the spindle apparatus shown in FIG. 7, the gas exhausted from the journal bearing portions 11a and 11b and the thrust bearing portions 3a and 4a is supplied to each cooling sleeve via the exhaust circumferential groove 3d and the air passage 3f. 15 and 35 are supplied to the outer circumferential groove 14 of the cooling sleeve. Further, the housing 2 is further provided with a ventilation path 2d communicating with the above-described ventilation path 3f, and a cooling gas is supplied to the cooling sleeve outer circumferential groove 14 of the cooling sleeve 45 through the ventilation path 2d. In this way, when the gas of sufficient pressure is supplied to the journal bearing portions 11a and 11b and the thrust bearing portions 3a and 4a, the exhaust gas from these bearing portions is used as the cooling gas in the cooling portion. can do. For this reason, it is not necessary to supply the cooling gas to the spindle device as a separate system, so that the device configuration of the spindle device can be simplified.

図8は、図7に示した本発明によるスピンドル装置の実施の形態6の変形例を示す断面模式図である。図8を参照して、本発明によるスピンドル装置の実施の形態6の変形例を説明する。   FIG. 8 is a schematic sectional view showing a modification of the sixth embodiment of the spindle apparatus according to the present invention shown in FIG. A modification of the sixth embodiment of the spindle device according to the present invention will be described with reference to FIG.

図8を参照して、スピンドル装置は基本的には図7に示したスピンドル装置と同様の構造を備えるが、冷却スリーブ15、35の冷却スリーブ外周溝14へ冷却用の気体を供給する経路が異なっている。具体的には、ジャーナル軸受部11a、11bおよびスラスト軸受部3a、4aから排気された気体は、排気用円周溝3dおよび軸受スリーブ33a、33bに形成された通気路3fを介して、ハウジング2に形成された通気路2bを通り冷却スリーブ15、35、45のそれぞれの冷却スリーブ外周溝14へと供給されている。このようにしても、図7に示したスピンドルと同様の効果を得ることができる。   Referring to FIG. 8, the spindle device basically has the same structure as that of the spindle device shown in FIG. 7, except that a path for supplying a cooling gas to the cooling sleeve outer circumferential groove 14 of the cooling sleeves 15 and 35 is provided. Is different. Specifically, the gas exhausted from the journal bearing portions 11a and 11b and the thrust bearing portions 3a and 4a passes through the ventilation passage 3f formed in the exhaust circumferential groove 3d and the bearing sleeves 33a and 33b, and the housing 2 The cooling sleeves 15, 35, 45 are supplied to the cooling sleeve outer circumferential grooves 14 through the ventilation passages 2 b formed in the above. Even in this case, the same effect as that of the spindle shown in FIG. 7 can be obtained.

なお、上述した実施の形態3〜6においては、冷却スリーブ15、35、45として、図3に示した冷却スリーブ25と同じ構造のものを用いてもよい。   In Embodiments 3 to 6 described above, the cooling sleeves 15, 35, and 45 may have the same structure as the cooling sleeve 25 shown in FIG.

以下、上述した実施の形態と一部重複する部分もあるが、本発明の特徴的な構成を列挙する。   Hereinafter, although there is a part which overlaps with embodiment mentioned above, the characteristic structure of this invention is enumerated.

この発明に従ったスピンドル装置は、主軸1と、軸受スリーブ3、33a、33b、4と、冷却スリーブ15、25、35、45と、ハウジング2とを備える。軸受スリーブ3、33a、33b、4は、主軸1の側面の一部に対向するように配置され、主軸1の側面の一部との間の間隙に気体を供給するための気体供給孔(給気孔3b、3c、4c)が形成されている。冷却スリーブ15、25、35、45は、主軸1の側面において軸受スリーブ3、33a、33b、4と対向する領域以外の領域の少なくとも一部に対向するように配置される。ハウジング2は、開口部を有し、当該開口部の内部に軸受スリーブ3、33a、33b、4、冷却スリーブ15、25、35、45および主軸1を保持する。冷却スリーブには主軸の側面に向けて冷却用気体を供給する冷却用気体供給孔(多孔質材料からなる冷却スリーブ15、35、45における内周側表面の複数の孔、および図3に示した冷却スリーブ25の通気路25の冷却溝部1b側の開口端部)が形成される。主軸1において冷却スリーブ15、25、35、45と対向する側面には、凹凸形状部(冷却溝部1b、1c、1d)が形成されている。   The spindle device according to the present invention includes a main shaft 1, bearing sleeves 3, 33 a, 33 b, 4, cooling sleeves 15, 25, 35, 45, and a housing 2. The bearing sleeves 3, 33 a, 33 b, and 4 are arranged so as to face a part of the side surface of the main shaft 1, and supply a gas supply hole (supply) for supplying a gas to a gap between a part of the side surface of the main shaft 1. The pores 3b, 3c, 4c) are formed. The cooling sleeves 15, 25, 35, 45 are arranged so as to face at least a part of the region other than the region facing the bearing sleeves 3, 33 a, 33 b, 4 on the side surface of the main shaft 1. The housing 2 has an opening, and the bearing sleeves 3, 33 a, 33 b, 4, the cooling sleeves 15, 25, 35, 45 and the main shaft 1 are held inside the opening. A cooling gas supply hole for supplying a cooling gas toward the side surface of the main shaft (a plurality of holes on the inner peripheral surface of the cooling sleeves 15, 35, 45 made of a porous material, and the cooling sleeve shown in FIG. 3) An opening end on the cooling groove portion 1b side of the air passage 25 of the cooling sleeve 25) is formed. On the side surface of the main shaft 1 facing the cooling sleeves 15, 25, 35, 45, uneven portions (cooling groove portions 1 b, 1 c, 1 d) are formed.

このようにすれば、冷却スリーブ15、25、35、45から供給される冷却用気体によって主軸1を冷却することができる。このため、スピンドル装置において使用中の発熱により主軸1が伸びることで加工または測定精度が悪化する、あるいは主軸1を介して非加工物または測定物に熱が伝わって悪影響を及ぼすことを防止できる。   In this way, the main shaft 1 can be cooled by the cooling gas supplied from the cooling sleeves 15, 25, 35, 45. For this reason, it is possible to prevent machining or measurement accuracy from deteriorating due to the extension of the main shaft 1 due to heat generation during use in the spindle device, or heat from being transmitted to the non-workpiece or the measured object via the main shaft 1.

上記スピンドル装置において、冷却スリーブ15、25、35、45には、主軸1の周囲を周回するように配置される円周状の給気溝(冷却スリーブ外周溝14)が形成されていてもよい。冷却スリーブ外周溝14は冷却スリーブ15、25、35、45の外周面に形成されていてもよいが、内部に形成されていてもよい。冷却用気体供給孔としての冷却スリーブ15、35、45の内周側表面の複数の孔、および図3に示した冷却スリーブ25の通気路25は給気溝に連通していてもよい。   In the spindle device, the cooling sleeves 15, 25, 35, 45 may be formed with a circumferential air supply groove (cooling sleeve outer circumferential groove 14) arranged so as to go around the main shaft 1. . The cooling sleeve outer peripheral groove 14 may be formed on the outer peripheral surface of the cooling sleeves 15, 25, 35, 45, but may be formed inside. A plurality of holes on the inner peripheral surface of the cooling sleeves 15, 35, 45 as cooling gas supply holes and the air passage 25 of the cooling sleeve 25 shown in FIG. 3 may communicate with the air supply groove.

この場合、冷却用気体を一度冷却スリーブ外周溝14に貯留し、一定の圧力で冷却スリーブ15、25、35、45の内周側表面から主軸1に向けて噴出することができる。このため、安定した条件で主軸1を冷却することができる。   In this case, the cooling gas can be stored once in the cooling sleeve outer circumferential groove 14 and can be ejected from the inner circumferential surface of the cooling sleeves 15, 25, 35, 45 toward the main shaft 1 at a constant pressure. For this reason, the main shaft 1 can be cooled under stable conditions.

上記スピンドル装置において、冷却スリーブ15、35、45は多孔質材料からなる。この場合、複数の孔が形成されている多孔質材料によって冷却スリーブ15、35、45を形成するので、当該複数の孔を冷却スリーブ15、35、45の冷却用気体供給孔として利用することができる。このため、冷却スリーブ15、35、45の製造工程において、冷却用気体供給孔を形成するための加工工程を別途行なう必要が無い。   In the spindle device, the cooling sleeves 15, 35, 45 are made of a porous material. In this case, since the cooling sleeves 15, 35, 45 are formed of a porous material in which a plurality of holes are formed, the plurality of holes can be used as cooling gas supply holes for the cooling sleeves 15, 35, 45. it can. For this reason, in the manufacturing process of the cooling sleeves 15, 35, 45, it is not necessary to separately perform a processing process for forming the cooling gas supply hole.

上記スピンドル装置において、冷却溝部1b、1c、1dは、主軸1の側面における周方向の全周にわたって形成されていてもよい。冷却溝部1b、1c、1dに対向する冷却スリーブ15、25、35、45の表面に、主軸1の側面の周方向に添って複数の冷却用気体供給孔(多孔質材料からなる冷却スリーブ15、35、45における内周側表面の複数の孔、および図3に示した冷却スリーブ25の通気路25の冷却溝部1b側の開口端部)が形成されていてもよい。   In the spindle device, the cooling groove portions 1b, 1c, and 1d may be formed over the entire circumference in the circumferential direction on the side surface of the main shaft 1. A plurality of cooling gas supply holes (a cooling sleeve 15 made of a porous material, along the circumferential direction of the side surface of the main shaft 1 are formed on the surfaces of the cooling sleeves 15, 25, 35, 45 facing the cooling grooves 1b, 1c, 1d. A plurality of holes on the inner peripheral surface in 35 and 45, and an opening end portion on the cooling groove portion 1b side of the air passage 25 of the cooling sleeve 25 shown in FIG. 3 may be formed.

この場合、主軸1の側面の周方向における全周にわたって、冷却用気体による冷却を行なうことができるので、主軸を効率的に冷却することができる。   In this case, since cooling with the cooling gas can be performed over the entire circumference in the circumferential direction of the side surface of the main shaft 1, the main shaft can be efficiently cooled.

上記スピンドル装置において、図4、図5、図7、図8に示すように、軸受スリーブ3、33a、33b、4と主軸1の側面との間の間隙から排出される気体を冷却スリーブ15、35、45の冷却スリーブ外周溝14に導入するための気体流路(通気路3f、2b、2d)が形成されていてもよい。   In the above spindle device, as shown in FIGS. 4, 5, 7, and 8, the cooling sleeve 15 allows the gas discharged from the gap between the bearing sleeves 3, 33a, 33b, 4 and the side surface of the main shaft 1 to be cooled. Gas passages (air passages 3f, 2b, 2d) for introduction into the cooling sleeve outer circumferential grooves 14 of 35 and 45 may be formed.

この場合、軸受スリーブ3、33a、33b、4と主軸1の側面(主軸1の側面およびスラスト板1aの表面)との間に、所定の間隙を形成して静圧気体軸受を形成するための気体を、冷却用気体として再利用することができる。このため、軸受スリーブ3、33a、33b、4の給気孔3b、3c、4cに供給するための気体を導入する系とは別に、冷却用気体を供給するための系を設ける必要が無いので、スピンドル装置全体の装置構成を簡略化できる。   In this case, a predetermined gap is formed between the bearing sleeves 3, 33a, 33b, and 4 and the side surface of the main shaft 1 (the side surface of the main shaft 1 and the surface of the thrust plate 1a) to form a static pressure gas bearing. The gas can be reused as a cooling gas. For this reason, it is not necessary to provide a system for supplying the cooling gas separately from the system for introducing the gas for supplying the air to the air supply holes 3b, 3c, 4c of the bearing sleeves 3, 33a, 33b, 4. The device configuration of the entire spindle device can be simplified.

上記スピンドル装置は、主軸1の側面から外側へ突出するスラスト板1aと、主軸1の端部に接続された、主軸1を回転させるための駆動部(モータステータ9bおよびモータロータ9a)とをさらに備えていてもよい。冷却スリーブ15、25、35、45は、モータロータ9aに接続された主軸1の端部とスラスト板1aから見て反対側に位置する主軸1の側面、またはスラスト板1aとモータロータ9aとの間に位置する主軸1の側面のいずれかと対向する位置に配置されていてもよい。この場合、冷却スリーブ15、25、35、45と軸受スリーブ3、33a、33b、4との配置を、スピンドル装置の装置構成に応じて適宜設定することができる。たとえば、主軸1においてスラスト板1aから見てモータロータ9aに接続された端部と反対側の領域に、スペース的な余裕があれば、当該領域に冷却スリーブ15、25、35を配置することができる。また、スラスト板1aとモータロータ9aとの間に位置する領域での発熱が特に問題になっているような場合、当該領域に冷却スリーブ45を配置することもできる。   The spindle device further includes a thrust plate 1a protruding outward from the side surface of the main shaft 1, and a drive unit (motor stator 9b and motor rotor 9a) connected to the end of the main shaft 1 for rotating the main shaft 1. It may be. The cooling sleeves 15, 25, 35, 45 are arranged between the end portion of the main shaft 1 connected to the motor rotor 9 a and the side surface of the main shaft 1 located on the opposite side as viewed from the thrust plate 1 a, or between the thrust plate 1 a and the motor rotor 9 a. You may arrange | position in the position facing either of the side surfaces of the main axis | shaft 1 located. In this case, the arrangement of the cooling sleeves 15, 25, 35, 45 and the bearing sleeves 3, 33a, 33b, 4 can be appropriately set according to the device configuration of the spindle device. For example, if there is a space in the region on the main shaft 1 opposite to the end connected to the motor rotor 9a when viewed from the thrust plate 1a, the cooling sleeves 15, 25, and 35 can be arranged in the region. . Further, when heat generation in a region located between the thrust plate 1a and the motor rotor 9a is particularly problematic, the cooling sleeve 45 can be disposed in the region.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明によるスピンドル装置は、軸受として静圧気体軸受を用いたスピンドル装置であって、精密加工機や精密検査装置のワークスピンドル装置または工具スピンドル装置などに使用されるものに有利に適用される。   The spindle device according to the present invention is advantageously applied to a spindle device using a static pressure gas bearing as a bearing and used for a work spindle device or a tool spindle device of a precision processing machine or a precision inspection device.

本発明によるスピンドル装置の実施の形態1を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows Embodiment 1 of the spindle apparatus by this invention. 図1の線分II−IIにおける断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram in line segment II-II of FIG. 本発明によるスピンドル装置の実施の形態2を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows Embodiment 2 of the spindle apparatus by this invention. 本発明によるスピンドル装置の実施の形態3を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows Embodiment 3 of the spindle apparatus by this invention. 本発明によるスピンドル装置の実施の形態4を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows Embodiment 4 of the spindle apparatus by this invention. 本発明によるスピンドル装置の実施の形態5を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows Embodiment 5 of the spindle apparatus by this invention. 本発明によるスピンドル装置の実施の形態6を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows Embodiment 6 of the spindle apparatus by this invention. 本発明によるスピンドル装置の実施の形態6の変形例を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows the modification of Embodiment 6 of the spindle apparatus by this invention. 従来のスピンドル装置を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows the conventional spindle apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1,101 主軸、1a,102 スラスト板、1b〜1d 冷却溝部、2,103 ハウジング、2c 給気口、2a,13,21,116 給気路、2b,2d,3f,5,14e,25,25a 通気路、3a,4a,109 スラスト軸受部、3d 排気用円周溝、3e,17,117,120,121 排気路、3b,3c,14,113 給気孔、3,33a,33b,4,104,105 軸受スリーブ、8 固定部、9b,112 モータステータ、9a,111 モータロータ、11a,11b,107 ジャーナル軸受部、14 冷却スリーブ外周溝、15,25,35,45 冷却スリーブ、15a 排気溝、18,115 軸受給気口、19,20 隙間、118,126 円周溝、119 シールスリーブ、122 駆動源、123,124 給気列、125 排気孔、126 円周溝。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,101 Main shaft, 1a, 102 Thrust board, 1b-1d Cooling groove part, 2,103 Housing, 2c Air supply port, 2a, 13, 21, 116 Air supply path, 2b, 2d, 3f, 5, 14e, 25, 25a Air passage, 3a, 4a, 109 Thrust bearing portion, 3d Exhaust circumferential groove, 3e, 17, 117, 120, 121 Exhaust passage, 3b, 3c, 14, 113 Air supply hole, 3, 33a, 33b, 4, 104, 105 Bearing sleeve, 8 Fixed part, 9b, 112 Motor stator, 9a, 111 Motor rotor, 11a, 11b, 107 Journal bearing part, 14 Cooling sleeve outer peripheral groove, 15, 25, 35, 45 Cooling sleeve, 15a Exhaust groove, 18, 115 Bearing air inlet, 19, 20 Clearance, 118, 126 Circumferential groove, 119 Seal sleeve, 122 Drive source, 12 , 124 Kyukiretsu, 125 exhaust hole, 126 circumferential grooves.

Claims (6)

主軸と、
前記主軸の側面の一部に対向するように配置され、前記主軸の側面の一部との間の間隙に気体を供給するための気体供給孔が形成された軸受スリーブと、
前記主軸の側面において前記軸受スリーブと対向する領域以外の領域の少なくとも一部に対向するように配置された冷却スリーブと、
開口部を有し、前記開口部の内部に前記軸受スリーブ、前記冷却スリーブおよび前記主軸を保持するハウジングとを備え、
前記冷却スリーブには前記主軸の側面に向けて冷却用気体を供給する冷却用気体供給孔が形成され、
前記主軸において前記冷却スリーブと対向する側面には、凹凸形状部が形成されている、スピンドル装置。
The spindle,
A bearing sleeve that is disposed so as to face a part of the side surface of the main shaft, and has a gas supply hole for supplying gas to a gap between the side surface and a part of the side surface of the main shaft;
A cooling sleeve arranged to face at least a part of a region other than a region facing the bearing sleeve on a side surface of the main shaft;
A housing having an opening, and holding the bearing sleeve, the cooling sleeve, and the main shaft inside the opening;
A cooling gas supply hole for supplying a cooling gas toward the side surface of the main shaft is formed in the cooling sleeve,
A spindle apparatus, wherein a concave and convex portion is formed on a side surface of the main shaft that faces the cooling sleeve.
前記冷却スリーブには、前記主軸の周囲を周回するように配置される円周状の給気溝が形成され、
前記冷却用気体供給孔は前記給気溝に連通している、請求項1に記載のスピンドル装置。
The cooling sleeve is formed with a circumferential air supply groove arranged to circulate around the main shaft,
The spindle device according to claim 1, wherein the cooling gas supply hole communicates with the air supply groove.
前記冷却スリーブは多孔質材料からなる、請求項1または2に記載のスピンドル装置。   The spindle device according to claim 1, wherein the cooling sleeve is made of a porous material. 前記凹凸形状部は、前記主軸の側面における周方向の全周にわたって形成され、
前記凹凸形状部に対向する前記冷却スリーブの表面に、前記主軸の側面の周方向に添って複数の前記冷却用気体供給孔が形成されている、請求項1または2に記載のスピンドル装置。
The uneven portion is formed over the entire circumference in the circumferential direction on the side surface of the main shaft,
3. The spindle device according to claim 1, wherein a plurality of the cooling gas supply holes are formed along a circumferential direction of a side surface of the main shaft on a surface of the cooling sleeve facing the uneven shape portion.
前記軸受スリーブと前記主軸の側面との間の前記間隙から排出される前記気体を前記冷却スリーブの前記給気溝に導入するための気体流路が形成されている、請求項1〜4のいずれかに記載のスピンドル装置。   5. The gas flow path for introducing the gas discharged from the gap between the bearing sleeve and the side surface of the main shaft into the air supply groove of the cooling sleeve is formed. A spindle device according to any one of the above. 前記主軸の側面から外側へ突出するスラスト板と、
前記主軸の端部に接続された、前記主軸を回転させるための駆動部とをさらに備え、
前記冷却スリーブは、前記駆動部に接続された前記主軸の端部と前記スラスト板から見て反対側に位置する前記主軸の側面、または前記スラスト板と前記駆動部との間に位置する前記主軸の側面のいずれかと対向する位置に配置されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載のスピンドル装置。
A thrust plate protruding outward from the side surface of the main shaft;
A drive unit connected to an end of the main shaft for rotating the main shaft;
The cooling sleeve is connected to the drive unit, the end of the main shaft and the side surface of the main shaft located on the opposite side as viewed from the thrust plate, or the main shaft located between the thrust plate and the drive unit. The spindle device according to claim 1, wherein the spindle device is disposed at a position facing any one of the side surfaces.
JP2007239821A 2007-09-14 2007-09-14 Spindle device Pending JP2009068649A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007239821A JP2009068649A (en) 2007-09-14 2007-09-14 Spindle device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007239821A JP2009068649A (en) 2007-09-14 2007-09-14 Spindle device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009068649A true JP2009068649A (en) 2009-04-02

Family

ID=40605122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007239821A Pending JP2009068649A (en) 2007-09-14 2007-09-14 Spindle device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009068649A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101071171B1 (en) 2009-07-21 2011-10-10 다항산업 주식회사 Spindle device capable of promoting cooling effect
JP2012037014A (en) * 2010-08-11 2012-02-23 Ntn Corp Static pressure gas bearing spindle
CN102494025A (en) * 2011-12-28 2012-06-13 元亮科技有限公司 Static-pressure gas bearing
WO2015074403A1 (en) * 2013-11-20 2015-05-28 广州市昊志机电股份有限公司 A high-speed air-bearing electric spindle
CN108869559A (en) * 2018-08-21 2018-11-23 浙江田中精机股份有限公司 A kind of high-speed main spindle driving device
CN114658762A (en) * 2022-04-12 2022-06-24 西安热工研究院有限公司 A Coolable Hydrostatic Bearing
CN116710667A (en) * 2020-12-03 2023-09-05 Ntn株式会社 Spindle device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60168916A (en) * 1984-02-10 1985-09-02 Nissan Motor Co Ltd Gas bearing device
JPS637251A (en) * 1986-06-24 1988-01-13 Nippon Seiko Kk Structure for cooling spindle
JP2001227543A (en) * 2000-02-14 2001-08-24 Ntn Corp Static pressure gas bearing spindle
JP2003065334A (en) * 2002-06-13 2003-03-05 Nsk Ltd Hydrostatic gas bearing

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60168916A (en) * 1984-02-10 1985-09-02 Nissan Motor Co Ltd Gas bearing device
JPS637251A (en) * 1986-06-24 1988-01-13 Nippon Seiko Kk Structure for cooling spindle
JP2001227543A (en) * 2000-02-14 2001-08-24 Ntn Corp Static pressure gas bearing spindle
JP2003065334A (en) * 2002-06-13 2003-03-05 Nsk Ltd Hydrostatic gas bearing

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101071171B1 (en) 2009-07-21 2011-10-10 다항산업 주식회사 Spindle device capable of promoting cooling effect
JP2012037014A (en) * 2010-08-11 2012-02-23 Ntn Corp Static pressure gas bearing spindle
CN102494025A (en) * 2011-12-28 2012-06-13 元亮科技有限公司 Static-pressure gas bearing
WO2015074403A1 (en) * 2013-11-20 2015-05-28 广州市昊志机电股份有限公司 A high-speed air-bearing electric spindle
CN108869559A (en) * 2018-08-21 2018-11-23 浙江田中精机股份有限公司 A kind of high-speed main spindle driving device
CN108869559B (en) * 2018-08-21 2023-11-10 浙江田中精机股份有限公司 High-speed spindle driving device
CN116710667A (en) * 2020-12-03 2023-09-05 Ntn株式会社 Spindle device
CN114658762A (en) * 2022-04-12 2022-06-24 西安热工研究院有限公司 A Coolable Hydrostatic Bearing

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009068649A (en) Spindle device
JP5464879B2 (en) Machine Tools
WO2009107493A1 (en) Rotating table device with cooling structure and rotating bearing with cooling structure
US20110280679A1 (en) Cooling structure for machine tool main spindle
CN102179532A (en) Ultrahigh-precision aerostatic bearing main shaft system
KR20080005766U (en) Spindle unit
US10788076B2 (en) Rotation mechanism, machine tool, and semiconductor manufacturing device
US10001170B2 (en) Rolling bearing
JP4146151B2 (en) Hydrostatic gas bearing and spindle device using the same
JP2018068084A (en) Electric motor having air purge function
CN102873410B (en) Gear processing device
JP2013053689A (en) Spindle device
JP2006167821A (en) Attachment fitting method and spindle device
JP2006336826A (en) Hydrostatic gas bearing spindle
JP6737846B2 (en) Spindle device
KR20150050259A (en) Spindle structure of machine tool
JP5888663B2 (en) Spindle motor
JP4264731B2 (en) Hydrostatic air bearing spindle
JP4529129B2 (en) Hydrostatic air bearing spindle
JP2009197942A (en) Gas bearing spindle
JP6463297B2 (en) Machine tool spindle equipment
JP6280149B2 (en) Machine tool spindle equipment
KR20150050260A (en) Spindle structure of machine tool
JP2006167822A (en) Spindle device
JP4989140B2 (en) Air spindle drive

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100817

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110928

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20111011

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Effective date: 20120313

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02