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JP2009058780A - Optical filter - Google Patents

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JP2009058780A
JP2009058780A JP2007226275A JP2007226275A JP2009058780A JP 2009058780 A JP2009058780 A JP 2009058780A JP 2007226275 A JP2007226275 A JP 2007226275A JP 2007226275 A JP2007226275 A JP 2007226275A JP 2009058780 A JP2009058780 A JP 2009058780A
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optical filter
multilayer film
dielectric multilayer
refractive index
dielectric
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JP2007226275A
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Inventor
Toshihiro Kuroda
敏裕 黒田
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Resonac Corp
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Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical filter capable of reducing the stress, acting in the direction of warping a dielectric multilayer film, when removing a substrate from the dielectric multilayer film. <P>SOLUTION: This optical filter 1 has the first dielectric multilayer film 2 and the second dielectric multilayer film 4, alternately layered with a low-refractive index layer 8 and a high-refractive index layer 10 of an dielectric, and a resin layer 6 for bonding the first dielectric multilayer film 2 and the second dielectric multilayer film 4 along a layered direction A. The resin layer 6 has a refractive index which is substantially the same as that of the low-refractive index layer 8 or the high-refractive index layer 10, so as to constitute the optical filter 1 which is integrated with the first dielectric multilayer film 2, the resin layer 6 and the second dielectric multilayer film 4. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、光学フィルタに関し、更に詳細には、誘電体多層膜を含む光学フィルタに関する。   The present invention relates to an optical filter, and more particularly to an optical filter including a dielectric multilayer film.

光通信分野において光学フィルタを使用して所定の波長範囲の光を選択して透過させるる場合、光学フィルタを空間内に配置することが一般的である。図5は、空間内に配置された光学フィルタを含む光学系の一例を示す概略図である。図5に示すように、第1の光ファイバー51から出射した拡散光52は、第1のレンズ53を通って平行光54に変換され、平行光54が光学フィルタ55を通るとき、所定の波長範囲の平行光54が光学フィルタ55を透過し、透過した平行光54が第2のレンズ56によって収束光57に変換され、第2の光ファイバー58に入射する。   In the optical communication field, when an optical filter is used to select and transmit light in a predetermined wavelength range, the optical filter is generally arranged in space. FIG. 5 is a schematic diagram illustrating an example of an optical system including an optical filter disposed in a space. As shown in FIG. 5, the diffused light 52 emitted from the first optical fiber 51 is converted into parallel light 54 through the first lens 53, and when the parallel light 54 passes through the optical filter 55, a predetermined wavelength range is obtained. The parallel light 54 passes through the optical filter 55, and the transmitted parallel light 54 is converted into convergent light 57 by the second lens 56 and is incident on the second optical fiber 58.

光学フィルタ55は、それが20nmの波長間隔で光波長多重通信を行うCWDM(Coarse Wavelength Division Multiplexing)システム用の光学フィルタして機能する場合、20nmのバンド幅の波長範囲以外の光を−20〜−40dB以下で遮断することができるバンドパスフィルタである。   When the optical filter 55 functions as an optical filter for a CWDM (Coarse Wavelength Division Multiplexing) system that performs optical wavelength division multiplexing at a wavelength interval of 20 nm, the optical filter 55 emits light in a wavelength range other than the 20 nm bandwidth. It is a bandpass filter that can block at -40 dB or less.

近年、1530〜1565nmの波長範囲において高密度の光波長多重通信を可能にするために、0.8nmの波長間隔で光波長多重通信を行うDWDM(Dense Wavelength Division Multiplexing)システムが注目されている。DWDMシステム用の光学フィルタとして機能する光学フィルタは、0.8nmのバンド幅の波長範囲以外の光を−20〜−40dB以下で遮断することができるバンドパスフィルタである。   In recent years, in order to enable high-density optical wavelength division multiplexing in the wavelength range of 1530 to 1565 nm, a DWDM (Dense Wavelength Division Multiplexing) system that performs optical wavelength division multiplexing at a wavelength interval of 0.8 nm has attracted attention. An optical filter that functions as an optical filter for a DWDM system is a band-pass filter that can block light outside a wavelength range of a bandwidth of 0.8 nm at −20 to −40 dB or less.

上記光学フィルタ55を誘電体多層膜59で形成する場合、ガラス等の光透過性の基板60を準備して、その上に多数の誘電体からなる膜を順番に真空蒸着法等によって積層させる。CWDMシステム用の光学フィルタの場合には、約60〜70層の誘電体膜が積層され、誘電体多層膜の厚さが約20〜40μmになる。DWDMシステム用の光学フィルタの場合には、バンド幅が非常に狭くなるので、CWDMシステム用の光学フィルタよりも多数の誘電体膜を積層させる必要があり、約120〜150層の誘電体膜が積層され、誘電体多層膜の厚さが約40〜80μmになる。   When the optical filter 55 is formed of the dielectric multilayer film 59, a light-transmitting substrate 60 such as glass is prepared, and a film made of a large number of dielectrics is sequentially laminated thereon by a vacuum deposition method or the like. In the case of an optical filter for a CWDM system, about 60 to 70 layers of dielectric films are laminated, and the thickness of the dielectric multilayer film is about 20 to 40 μm. In the case of an optical filter for a DWDM system, since the bandwidth is very narrow, it is necessary to stack a larger number of dielectric films than for an optical filter for a CWDM system. As a result, the thickness of the dielectric multilayer film is about 40 to 80 μm.

光学フィルタ55を実際に使用するとき、CWDMシステム用の光学フィルタでは、誘電体多層膜59から基板60が取り外され、誘電体多層膜59だけで使用される。これに対して、DWDMシステム用の光学フィルタの場合、誘電体多層膜59に基板60が取付けられた状態で使用される(図5参照)。その理由は、DWDMシステム用の光学フィルタ55では、誘電体膜の層数が多いので、層と層との間に働く応力の合計が大きくなり、誘電体多層膜から基板を取り外すと、誘電体多層膜が反ってしまうからである。従って、DWDMシステム用の光学フィルタ55の厚さは、基板60の厚さと誘電体多層膜59の厚さを合計した厚さ、即ち、約0.5〜1.0mmになる。   When the optical filter 55 is actually used, in the optical filter for the CWDM system, the substrate 60 is removed from the dielectric multilayer film 59, and only the dielectric multilayer film 59 is used. On the other hand, in the case of an optical filter for a DWDM system, it is used in a state where a substrate 60 is attached to a dielectric multilayer film 59 (see FIG. 5). The reason is that in the optical filter 55 for the DWDM system, since the number of layers of the dielectric film is large, the total stress acting between the layers increases, and when the substrate is removed from the dielectric multilayer film, the dielectric This is because the multilayer film is warped. Therefore, the thickness of the optical filter 55 for the DWDM system is a total thickness of the substrate 60 and the dielectric multilayer film 59, that is, about 0.5 to 1.0 mm.

上述した光学フィルタは、空間的に配置されるだけでなく、樹脂基板や石英基板を用いた基板タイプの光合分波器に搭載される場合もある(DWDMシステム用の光学フィルタについて、例えば、特許文献1参照)。   The above-described optical filter is not only spatially arranged, but may also be mounted on a substrate type optical multiplexer / demultiplexer using a resin substrate or a quartz substrate (for an optical filter for a DWDM system, for example, a patent Reference 1).

特開2006−98897号公報(図6)Japanese Patent Laying-Open No. 2006-98897 (FIG. 6)

ガラス等の基板60が誘電体多層膜59に取付けられた状態のDWDMシステム用の光学フィルタ55が空間的に配置される場合、光学フィルタ55の中を通って伝搬する光が平行光であるため、基板60の中を伝搬する光の挿入損失は少ない。   When the optical filter 55 for the DWDM system in a state where the substrate 60 such as glass is attached to the dielectric multilayer film 59 is spatially disposed, the light propagating through the optical filter 55 is parallel light. The insertion loss of light propagating through the substrate 60 is small.

これに対して、DWDMシステム用の光学フィルタ55を基板タイプの光合分波器に搭載すると、伝搬する光の挿入損失が大きくなる。詳細には、シングルモードの光が基板60に入射するとき、平行光ではないため、基板60の界面で拡散し、放射されてしまうからである。誘電体多層膜59から基板60を取り外せば、挿入損失は少なくなるが、上述したように、誘電体多層膜59が反ってしまい、光学フィルタ55として使用できなくなる。   On the other hand, when the optical filter 55 for the DWDM system is mounted on the substrate type optical multiplexer / demultiplexer, the insertion loss of the propagating light increases. Specifically, when single-mode light is incident on the substrate 60, it is not parallel light, and is diffused and emitted at the interface of the substrate 60. If the substrate 60 is removed from the dielectric multilayer film 59, the insertion loss is reduced. However, as described above, the dielectric multilayer film 59 warps and cannot be used as the optical filter 55.

そこで、本発明の目的は、誘電体多層膜から基板を取り外したときに誘電多層膜を反らせる方向に働く応力を軽減することができる光学フィルタを提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical filter capable of reducing stress acting in a direction in which the dielectric multilayer film is warped when the substrate is removed from the dielectric multilayer film.

上記課題を解決するために、本発明による光学フィルタは、誘電体の低屈折率層と高屈折率層とを交互に積層させた第1の誘電体多層膜及び第2の誘電体多層膜と、第1の誘電体多層膜と第2の誘電体多層膜とを積層方向に接着するための樹脂層と、を有し、樹脂層は、第1の誘電体多層膜、樹脂層及び第2の誘電体多層膜が一体の光学フィルタを構成するように、低屈折率層又は高屈折率層と実質的に同じ屈折率を有することを特徴としている。   In order to solve the above-described problems, an optical filter according to the present invention includes a first dielectric multilayer film and a second dielectric multilayer film in which dielectric low-refractive index layers and high-refractive index layers are alternately stacked. And a resin layer for adhering the first dielectric multilayer film and the second dielectric multilayer film in the laminating direction. The resin layer includes the first dielectric multilayer film, the resin layer, and the second dielectric layer film. The dielectric multilayer film has substantially the same refractive index as that of the low refractive index layer or the high refractive index layer so as to constitute an integrated optical filter.

このように構成された光学フィルタによれば、樹脂層が低屈折率層又は高屈折率層と実質的に同じ屈折率を有しているので、第1の誘電体多層膜、樹脂層及び第2の誘電体多層膜を一体の光学フィルタとして機能させることができる。また、第1の誘電体多層膜と第2の誘電体多層膜との間に樹脂層を介在させることにより、第1の誘電体多層膜及び第2の誘電体多層膜で生じた応力を樹脂層で緩和させ、一体の光学フィルタにおいて、誘電体多層膜を反らせる方向に働く応力を軽減させることができる。   According to the optical filter configured as described above, since the resin layer has substantially the same refractive index as that of the low refractive index layer or the high refractive index layer, the first dielectric multilayer film, the resin layer, and the first The two dielectric multilayer films can function as an integral optical filter. In addition, by interposing a resin layer between the first dielectric multilayer film and the second dielectric multilayer film, the stress generated in the first dielectric multilayer film and the second dielectric multilayer film is made resin. It is possible to reduce the stress acting in the direction of warping the dielectric multilayer film in the integrated optical filter.

本発明による光学フィルタの実施形態において、好ましくは、光学フィルタは、DWDMシステム用の光学フィルタとして機能する。   In an embodiment of the optical filter according to the invention, preferably the optical filter functions as an optical filter for a DWDM system.

DWDMシステム用の光学フィルタとして機能する光学フィルタは、誘電体膜の層数がCWDMシステム用の光学フィルタの誘電体膜の層数よりも多くなり、誘電体多層膜から基板を取外したときに、誘電体多層膜が反ってしまう。しかしながら、上記実施形態の構成によれば、CWDMシステム用の光学フィルタの誘電体膜の層数よりも多くなっても、誘電体膜間に生じた応力を樹脂層によって緩和することにより、誘電体多層膜を反らせる方向に働く応力を軽減させることができる。   The optical filter functioning as an optical filter for the DWDM system has a larger number of dielectric films than the number of dielectric films of the optical filter for the CWDM system, and when the substrate is removed from the dielectric multilayer film, The dielectric multilayer film is warped. However, according to the configuration of the above-described embodiment, even if the number of dielectric films of the optical filter for the CWDM system is larger than the number of dielectric films, the stress generated between the dielectric films is relaxed by the resin layer. The stress acting in the direction of warping the multilayer film can be reduced.

この実施形態において、更に好ましくは、第1の誘電体多層膜は、第1の波長範囲の光を透過させるCWDMシステム用の光学フィルタとして機能し、第2の誘電体多層膜は、第1の波長範囲よりも低い波長にシフトした第2の波長範囲の光を透過させるCWDMシステム用の光学フィルタとして機能し、第1の波長範囲と第2の波長範囲を重ね合わせることによって、一体の光学フィルタは、DWDMシステム用の光学フィルタとして機能する。   In this embodiment, more preferably, the first dielectric multilayer film functions as an optical filter for a CWDM system that transmits light in the first wavelength range, and the second dielectric multilayer film is the first dielectric multilayer film. An integrated optical filter that functions as an optical filter for a CWDM system that transmits light in a second wavelength range shifted to a wavelength lower than the wavelength range, and overlaps the first wavelength range and the second wavelength range Functions as an optical filter for the DWDM system.

このように構成された光学フィルタによれば、第1の誘電体多層膜及び第2の誘電多層膜自体は、従来のCWDMシステム用の光学フィルタからなる。従って、第1の誘電体多層膜及び第2の誘電体多層膜を、従来使用しているCWDMシステム用の光学フィルタのための成膜技術を用いて製作することができる。更に、反りがなく且つ遮断特性が優れた第1の誘電体多層膜及び第2の誘電体多層膜を得ることができる。第1の波長範囲の下限波長と第2の波長範囲の上限波長との間の波長範囲を、DWDMシステム用の波長範囲に合わせることにより、第1の誘電体多層膜、樹脂層及び第2の誘電体多層膜が構成する光学フィルタを、DWDMシステム用の光学フィルタとして機能させることができる。   According to the optical filter configured as described above, the first dielectric multilayer film and the second dielectric multilayer film themselves are made of conventional optical filters for the CWDM system. Therefore, the first dielectric multilayer film and the second dielectric multilayer film can be manufactured by using a conventional film forming technique for an optical filter for a CWDM system. Furthermore, it is possible to obtain a first dielectric multilayer film and a second dielectric multilayer film that are free from warping and have excellent blocking characteristics. By matching the wavelength range between the lower limit wavelength of the first wavelength range and the upper limit wavelength of the second wavelength range to the wavelength range for the DWDM system, the first dielectric multilayer film, the resin layer, and the second wavelength range The optical filter formed by the dielectric multilayer film can function as an optical filter for the DWDM system.

本発明による光学フィルタの実施形態において、好ましくは、誘電体を積層させるときに使用した基板が取り外される。   In the embodiment of the optical filter according to the present invention, the substrate used when laminating the dielectric is preferably removed.

このように構成された光学フィルタによれば、誘電体多層膜から基板が取り外されるので、シングルモードの光が拡散する界面がなくなり、DWDMシステム用の光学フィルタの中を通って伝搬するシングルモードの光の挿入損失を軽減することができる。   According to the optical filter configured as described above, since the substrate is removed from the dielectric multilayer film, there is no interface for diffusing single mode light, and the single mode propagating through the optical filter for the DWDM system is eliminated. Light insertion loss can be reduced.

本発明による光学フィルタの実施形態において、好ましくは、光学フィルタは、120〜150層の誘電体を有する。   In an embodiment of the optical filter according to the invention, preferably the optical filter has 120 to 150 layers of dielectric.

120〜150層の誘電体を連続的に積層させて誘電体多層膜を形成した場合、誘電体多層膜から基板を取り外すと、誘電体多層膜が反ってしまう。しかしながら、上記実施形態の構成では、120〜150層の誘電体を有していても、第1の誘電体多層膜と第2の誘電体多層膜との間に介在した樹脂層により、誘電体多層膜を反らせる方向に働く応力を軽減させることができる。   When a dielectric multilayer film is formed by continuously laminating 120 to 150 dielectric layers, the dielectric multilayer film warps when the substrate is removed from the dielectric multilayer film. However, in the configuration of the above embodiment, even if the dielectric has 120 to 150 layers, the dielectric is formed by the resin layer interposed between the first dielectric multilayer film and the second dielectric multilayer film. The stress acting in the direction of warping the multilayer film can be reduced.

以上説明した通り、本発明による光学フィルタは、誘電体多層膜から基板を取り外したときに誘電多層膜を反らせる方向に働く応力を軽減することができる。   As described above, the optical filter according to the present invention can reduce the stress acting in the direction of warping the dielectric multilayer film when the substrate is removed from the dielectric multilayer film.

まず、図1を参照して、本発明による光デバイスの第1の実施形態を説明する。図1は、本発明による光学フィルタの概略図である。   First, a first embodiment of an optical device according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic view of an optical filter according to the present invention.

図1に示すように、光学フィルタ1は、第1の誘電体多層膜2と、第2の誘電体多層膜4と、第1の誘電体多層膜2と第2の誘電体多層膜4とを積層方向Aに接着する樹脂層6とを有している。第1の誘電体多層膜2及び第2の誘電体多層膜4はいずれも、誘電体の低屈折率層8と高屈折率層10とを交互に積層させることにより形成されている。低屈折率層8は、例えば、SiO2の誘電体からなり、この場合、屈折率は1.46である。高屈折率層10は、例えば、TiO2の誘電体からなり、この場合、屈折率は2.40である。図1に示す実施形態では、樹脂層6と隣接する第1の誘電体多層膜2の層と第2の誘電体多層膜4の層は、高屈折率層10で形成され、樹脂層6は、低屈折率層8と実質的に同じ屈折率を有する材料で作られている。それにより、第1の誘電体多層膜2、樹脂層6及び第2の誘電体多層膜4にわたって、高屈折率の層と低屈折率の層が交互に連続し、それらが一体の光学フィルタを形成している。樹脂層6の屈折率は、低屈折率層8又は高屈折率層10の屈折率に対して、±0.020の範囲内にあることが好ましく、±0.010の範囲内にあることが更に好ましい。樹脂層6は、例えば、協立化学製シリコーン系接着剤WR8962Hで形成され、この場合、屈折率は、1.455である。 As shown in FIG. 1, the optical filter 1 includes a first dielectric multilayer film 2, a second dielectric multilayer film 4, a first dielectric multilayer film 2, and a second dielectric multilayer film 4. And a resin layer 6 that adheres in the laminating direction A. Each of the first dielectric multilayer film 2 and the second dielectric multilayer film 4 is formed by alternately laminating dielectric low refractive index layers 8 and high refractive index layers 10. The low refractive index layer 8 is made of, for example, a SiO 2 dielectric, and in this case, the refractive index is 1.46. The high refractive index layer 10 is made of, for example, a TiO 2 dielectric, and in this case, the refractive index is 2.40. In the embodiment shown in FIG. 1, the layer of the first dielectric multilayer film 2 and the layer of the second dielectric multilayer film 4 adjacent to the resin layer 6 are formed of the high refractive index layer 10, and the resin layer 6 is The low refractive index layer 8 is made of a material having substantially the same refractive index. As a result, the high refractive index layer and the low refractive index layer are alternately continued over the first dielectric multilayer film 2, the resin layer 6 and the second dielectric multilayer film 4. Forming. The refractive index of the resin layer 6 is preferably within a range of ± 0.020 with respect to the refractive index of the low refractive index layer 8 or the high refractive index layer 10, and may be within a range of ± 0.010. Further preferred. The resin layer 6 is formed of, for example, a silicone adhesive WR8962H manufactured by Kyoritsu Chemical Co., Ltd. In this case, the refractive index is 1.455.

光学フィルタ1を形成する方法の一例では、先ず、基板12の上に誘電体の低屈折率層8と高屈折率層10とを交互に積層させ、第1の誘電体多層膜2を形成する。また、別の基板(図示せず)上に誘電体の低屈折率層8と高屈折率層10とを交互に積層させ、第2の誘電体多層膜4を形成する。次いで、第1の誘電体多層膜2と第2の誘電体多層膜4を樹脂層6で接着する。誘電体を積層させるときに使用した基板12を、第1の誘電体多層膜2及び第2の誘電体多層膜4から取り外すことが好ましい。   In an example of a method for forming the optical filter 1, first, a dielectric low refractive index layer 8 and a high refractive index layer 10 are alternately stacked on a substrate 12 to form a first dielectric multilayer film 2. . Further, the dielectric low refractive index layer 8 and the high refractive index layer 10 are alternately laminated on another substrate (not shown) to form the second dielectric multilayer film 4. Next, the first dielectric multilayer film 2 and the second dielectric multilayer film 4 are bonded with the resin layer 6. It is preferable to remove the substrate 12 used when laminating the dielectric from the first dielectric multilayer film 2 and the second dielectric multilayer film 4.

第1の誘電体多層膜及び第2の誘電体多層膜4は、単体で反りが生じない層数及び厚さであることが好ましく、例えば、50〜80層であり、更に好ましくは、60〜70層である。また、第1の誘電体多層膜2の層数と第2の誘電体多層膜4の層数の合計は、樹脂層6を介在させないで直接積層させたものに反りが生じる層数であることが好ましく、例えば、120〜150層である。   The first dielectric multilayer film and the second dielectric multilayer film 4 preferably have a number of layers and a thickness that do not cause a single warp, for example, 50 to 80 layers, and more preferably 60 to 60 layers. 70 layers. Further, the total number of layers of the first dielectric multilayer film 2 and the number of layers of the second dielectric multilayer film 4 is the number of layers in which the resin layer 6 is directly laminated without interposing the warp. For example, 120 to 150 layers.

本実施形態の光学フィルタ1は、第1の誘電体多層膜2と第2の誘電体多層膜4の間に樹脂層6が介在しているので、第1の誘電体多層膜2内の応力と第2の誘電体多層膜4内の応力が樹脂層6によって緩和され、光学フィルタ1は、基板12を取り外した状態であっても反りが防止される。   In the optical filter 1 of this embodiment, since the resin layer 6 is interposed between the first dielectric multilayer film 2 and the second dielectric multilayer film 4, the stress in the first dielectric multilayer film 2 is The stress in the second dielectric multilayer film 4 is relaxed by the resin layer 6, and the optical filter 1 is prevented from warping even when the substrate 12 is removed.

また、樹脂層6の弾性率が0.001〜0.1MPaであることが好ましく、0.001〜0.01MPaであることが更に好ましい。弾性率が0.1MPaよりも大きいと、応力を十分に緩和することができなくなり、基板を取り外したときに反りが生じることがある。また、光学フィルタの取扱いを容易にするために、弾性率が0.001MPa以上であることが好ましい。   Further, the elastic modulus of the resin layer 6 is preferably 0.001 to 0.1 MPa, and more preferably 0.001 to 0.01 MPa. If the elastic modulus is greater than 0.1 MPa, the stress cannot be sufficiently relaxed, and warping may occur when the substrate is removed. In order to facilitate handling of the optical filter, the elastic modulus is preferably 0.001 MPa or more.

一体の光学フィルタは、DWDMシステム用の光学フィルタとして機能することが好ましい。それにより、従来のDWDMシステム用の光学フィルタでは、反りを防止するために基板12を誘電体多層膜に取付けた状態のままにしておく必要であったが、本実施形態による光学フィルタ1では、基板12を取り外すことができるようになる。その結果、光学フィルタ1の厚さを薄くできると共に、光を拡散させていた基板がなくなるので、光学フィルタ1の挿入損失を小さくすることができる。   The integral optical filter preferably functions as an optical filter for the DWDM system. Thereby, in the conventional optical filter for the DWDM system, it was necessary to leave the substrate 12 attached to the dielectric multilayer film in order to prevent warpage, but in the optical filter 1 according to the present embodiment, The substrate 12 can be removed. As a result, the thickness of the optical filter 1 can be reduced, and the substrate that diffuses the light is eliminated, so that the insertion loss of the optical filter 1 can be reduced.

また、一般的に、DWDMシステム用の光学フィルタを、樹脂層6を介在させないで連続的に誘電体を積層させる方法によって形成する成膜技術は、CWDMシステム用の光学フィルタを同様な方法によって形成する成膜技術よりも、高精度に行う必要がある。しかしながら、本発明による光学フィルタであれば、従来のCWDMシステム用の光学フィルタの成膜技術で、DWDMシステム用の光学フィルタを簡易に形成することができる。   In general, a film forming technique for forming an optical filter for a DWDM system by a method of continuously laminating dielectrics without interposing a resin layer 6 is an optical filter for a CWDM system formed by a similar method. It is necessary to carry out with higher accuracy than the film forming technique. However, with the optical filter according to the present invention, the optical filter for the DWDM system can be easily formed by the conventional film forming technique for the optical filter for the CWDM system.

DWDMシステム用の光学フィルタの第1の形態は、従来の、即ち、樹脂層6を介在させないで連続的に誘電体を積層させたDWDM用の光学フィルタの誘電体膜の1つを、その膜と実質的に同じ屈折率を有する樹脂層6で置き換えた形態である。   The first form of the optical filter for the DWDM system is a conventional one, that is, one of the dielectric films of the optical filter for DWDM in which the dielectric is continuously laminated without interposing the resin layer 6. And a resin layer 6 having substantially the same refractive index.

図2は、第1の形態の具体例の特性を示す図である。図2に示した第1の形態の具体例では、基板を取り外した状態でも光学フィルタ1に反りはなく、厚さが50μmであり、1552±0.4nmの波長範囲以外の光を−30dB以下で遮断することができた。   FIG. 2 is a diagram illustrating characteristics of a specific example of the first embodiment. In the specific example of the first mode shown in FIG. 2, the optical filter 1 is not warped even when the substrate is removed, the thickness is 50 μm, and light outside the wavelength range of 1552 ± 0.4 nm is −30 dB or less. I was able to shut off.

DWDMシステム用の光学フィルタの第2の形態は、第1の誘電体多層膜2が第1の波長範囲の光を透過させるCWDMシステム用の光学フィルタとして機能し、第2の誘電体多層膜4が、第1の波長範囲よりも低い波長にシフトした第2の波長範囲の光を透過させるCWDMシステム用の光学フィルタとして機能し、第1の波長範囲と第2の波長範囲を重ね合わせることによって、一体の光学フィルタ1が、DWDMシステム用の光学フィルタとして機能するものである。   In the second form of the optical filter for the DWDM system, the first dielectric multilayer film 2 functions as an optical filter for the CWDM system that transmits light in the first wavelength range, and the second dielectric multilayer film 4 Functions as an optical filter for a CWDM system that transmits light in the second wavelength range shifted to a wavelength lower than the first wavelength range, and by superimposing the first wavelength range and the second wavelength range The integrated optical filter 1 functions as an optical filter for the DWDM system.

図3は、第2の形態の具体例の特性を示す図である。第1の誘電体多層膜2は、基板を取り外した状態でも反りはなく、厚さが30μmであり、図3(a)に示すように、1552.82〜1572.82nm(20nmのバンド幅)の波長範囲以外の光を−30dB以下で遮断することができた。また、第2の誘電体多層膜4は、基板を取り外した状態でも反りはなく、厚さが30μmであり、図3(b)に示すように、1533.6〜1553.6nm(20nmのバンド幅)の波長範囲以外の光を−30dB以下で遮断することができた。第1の誘電体多層膜2及び第2の誘電体多層膜4は、従来のCWDM用の光学フィルタの成膜技術を使用して作られたものである。第1の誘電体多層膜2と第2の誘電体多層膜4を、協立化学製シリコーン系接着剤WR8962Hからなる接着剤層6で接着して得られた光学フィルタ1は、反りはなく、厚さが60μmであり、図3(c)に示すように、1558.68〜1559.28nm(0.8nmのバンド幅)の波長範囲の光を−30dB以下で遮断することができた。得られた光学フィルタ1は、DWDMシステムで十分に使用可能なものであった。   FIG. 3 is a diagram illustrating characteristics of a specific example of the second embodiment. The first dielectric multilayer film 2 is not warped even when the substrate is removed, and has a thickness of 30 μm. As shown in FIG. 3A, 1552.82 to 1572.82 nm (bandwidth of 20 nm) It was possible to block light outside the wavelength range of −30 dB or less. The second dielectric multilayer film 4 is not warped even when the substrate is removed, and has a thickness of 30 μm. As shown in FIG. 3B, the second dielectric multilayer film 4 has a band of 1533.6 to 1553.6 nm (band of 20 nm). Light outside the wavelength range of (width) could be blocked at -30 dB or less. The first dielectric multilayer film 2 and the second dielectric multilayer film 4 are formed by using a conventional optical filter forming technique for CWDM. The optical filter 1 obtained by bonding the first dielectric multilayer film 2 and the second dielectric multilayer film 4 with the adhesive layer 6 made of Kyoritsu Chemical's silicone adhesive WR8962H has no warpage, The thickness was 60 μm, and as shown in FIG. 3C, light in the wavelength range of 1558.68 to 1559.28 nm (band width of 0.8 nm) could be blocked at −30 dB or less. The obtained optical filter 1 was sufficiently usable in a DWDM system.

図4は、上述した第2の形態の光学フィルタを基板タイプの光導波路に搭載した図である。光学フィルタ1には、シングルモード光ファイバー又はシングルモード光導波路(図示せず)から出射した光のうち、電柱等から宅内に引き込まれる入力ポートからビデオポートに1558.98±0.3nmの波長帯の光(ビデオ信号)のみが透過し、入力ポートからパソコンなどを接続するIPポートにのみ伝搬する必要がある1490nmの波長の光(インターネットプロトコル信号)が光学フィルタ1で反射する。   FIG. 4 is a diagram in which the optical filter of the second embodiment described above is mounted on a substrate type optical waveguide. The optical filter 1 has a wavelength band of 1558.98 ± 0.3 nm from an input port drawn from a utility pole or the like to a video port out of light emitted from a single mode optical fiber or a single mode optical waveguide (not shown). Only light (video signal) is transmitted, and light (Internet protocol signal) having a wavelength of 1490 nm that needs to propagate only from an input port to an IP port connecting a personal computer or the like is reflected by the optical filter 1.

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope of the invention described in the claims. Needless to say, these are also included within the scope of the present invention.

上記実施形態では、低屈折率層8と高屈折率層10が1層ごとに交互に配置されている形態を示したけれども、光学フィルタの使用によって、複数の低屈折率層8又は高屈折率層10が隣接していても、全体として低屈折率層8と高屈折率層10とが交互に配置されていればよい。従って、例えば、低屈折率層8と実質的に同じ屈折率を有する樹脂層6が、第1誘電体多層膜2又は第2の誘電体多層膜4の低屈折率層8と隣接して配置されていてもよい。また、樹脂層6は、高屈折率層10と実質的に同じ屈折率のものを用いてもよい。   In the above embodiment, the low refractive index layer 8 and the high refractive index layer 10 are alternately arranged for each layer. However, by using an optical filter, a plurality of low refractive index layers 8 or high refractive indexes are used. Even if the layers 10 are adjacent to each other, the low refractive index layers 8 and the high refractive index layers 10 may be alternately arranged as a whole. Therefore, for example, the resin layer 6 having substantially the same refractive index as that of the low refractive index layer 8 is disposed adjacent to the low refractive index layer 8 of the first dielectric multilayer film 2 or the second dielectric multilayer film 4. May be. The resin layer 6 may have a refractive index substantially the same as that of the high refractive index layer 10.

また、上記実施形態では、1つの光学フィルタ1に対して、1種類の低屈折率層8と1種類の高屈折率層10を使用したが、複数種類の低屈折率層8及び高屈折率層を使用してもよい。   In the above embodiment, one kind of low refractive index layer 8 and one kind of high refractive index layer 10 are used for one optical filter 1, but a plurality of kinds of low refractive index layers 8 and high refractive indices are used. Layers may be used.

上記実施形態では、2つの誘電体多層膜2、4を樹脂層6で接着したが、3つ以上の誘電体多層膜をそれぞれ、低屈折率層8又は高屈折率層10と同じ屈折率を有する樹脂層で接着してもよい。   In the above embodiment, the two dielectric multilayer films 2 and 4 are bonded with the resin layer 6. However, the three or more dielectric multilayer films have the same refractive index as that of the low refractive index layer 8 or the high refractive index layer 10, respectively. You may adhere by the resin layer which has.

本発明による光学フィルタの概略図である。It is the schematic of the optical filter by this invention. DWDMシステム用の光学フィルタの第1の形態の特性を示す図である。It is a figure which shows the characteristic of the 1st form of the optical filter for DWDM systems. DWDMシステム用の光学フィルタの第2の形態の特性を示す図である。It is a figure which shows the characteristic of the 2nd form of the optical filter for DWDM systems. 第2の形態のDWDMシステム用の光学フィルタを基板タイプの光合分波器に搭載した図である。It is the figure which mounted the optical filter for DWDM systems of the 2nd form in the substrate type optical multiplexer / demultiplexer. 空間内に配置された光学フィルタを含む光学系の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the optical system containing the optical filter arrange | positioned in space.

符号の説明Explanation of symbols

1光学フィルタ
2 第1の誘電体多層膜
4 第2の誘電体多層膜
6 樹脂層
8 低屈折率層
10 高屈折率層
12基板
A 積層方向
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical filter 2 1st dielectric multilayer film 4 2nd dielectric multilayer film 6 Resin layer 8 Low refractive index layer 10 High refractive index layer 12 Board | substrate A Lamination direction

Claims (5)

誘電体の低屈折率層と高屈折率層とを交互に積層させた第1の誘電体多層膜及び第2の誘電体多層膜と、
前記第1の誘電体多層膜と前記第2の誘電体多層膜とを積層方向に接着するための樹脂層と、を有し、
前記樹脂層は、前記第1の誘電体多層膜、前記樹脂層及び前記第2の誘電体多層膜が一体の光学フィルタを構成するように、前記低屈折率層又は前記高屈折率層と実質的に同じ屈折率を有することを特徴とする光学フィルタ。
A first dielectric multilayer film and a second dielectric multilayer film in which a low refractive index layer and a high refractive index layer of dielectric are alternately laminated;
A resin layer for adhering the first dielectric multilayer film and the second dielectric multilayer film in the stacking direction;
The resin layer is substantially the same as the low refractive index layer or the high refractive index layer so that the first dielectric multilayer film, the resin layer, and the second dielectric multilayer film constitute an integrated optical filter. An optical filter having the same refractive index.
前記一体の光学フィルタは、DWDMシステム用の光学フィルタとして機能することを特徴とする、請求項1に記載の光学フィルタ。   The optical filter according to claim 1, wherein the integrated optical filter functions as an optical filter for a DWDM system. 前記第1の誘電体多層膜は、第1の波長範囲の光を透過させるCWDMシステム用の光学フィルタとして機能し、
前記第2の誘電体多層膜は、前記第1の波長範囲よりも低い波長にシフトした第2の波長範囲の光を透過させるCWDMシステム用の光学フィルタとして機能し、
前記第1の波長範囲と前記第2の波長範囲を重ね合わせることによって、前記一体の光学フィルタは、DWDMシステム用の光学フィルタとして機能することを特徴とする、請求項2に記載の光学フィルタ。
The first dielectric multilayer film functions as an optical filter for a CWDM system that transmits light in the first wavelength range;
The second dielectric multilayer film functions as an optical filter for a CWDM system that transmits light in a second wavelength range shifted to a wavelength lower than the first wavelength range,
The optical filter according to claim 2, wherein the integrated optical filter functions as an optical filter for a DWDM system by superimposing the first wavelength range and the second wavelength range.
誘電体を積層させるときに使用した基板が取り外されることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の光学フィルタ。   The optical filter according to any one of claims 1 to 3, wherein a substrate used for laminating the dielectric is removed. 前記一体の光学フィルタは、120〜150層の誘電体を有することを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の光学フィルタ。   5. The optical filter according to claim 1, wherein the integral optical filter has 120 to 150 layers of dielectrics.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106443848A (en) * 2016-11-16 2017-02-22 天津津航技术物理研究所 Broadband laser film mirror

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