JP2009058630A - 光照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】マスク保持部材及びそのマスク保持部材に密着保持された遮光マスクを介して被照射物に光を照射する光照射装置において、マスク保持部材を平坦化する。
【解決手段】マスク保持部材２２における周縁部２２ａ以外の部分に固定された連結部３５には、吊下部としてのワイヤ４０が連結され、その連結部３５をワイヤ４０により吊り上げる。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス等の光透過部材よりなるマスク保持部材に遮光マスクが保持される構成を備えた光照射装置に係り、詳しくは、液晶等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel Display）に用いる２枚の基板の貼り合わせ工程に使用する光照射装置に関する。

従来、この種の光照射装置において、マスク保持部材の上方に設けられた光源からの光は、該マスク保持部材及びその下面に吸着保持された遮光マスクを介して、遮光マスク下方に配置される貼り合わせ基板に照射されるようになっている（例えば特許文献１参照）。このような光照射装置のマスク保持部材では、光源からの光の通過する部分を確保するために、マスク保持部材周縁部のみがマスクステージにて支持されている。これにより、マスク保持部材下面において遮光マスクを保持する保持面を広くとることができる。
特開２００６−６６５８５号公報

しかしながら、上記のような光照射装置では、マスク保持部材を周縁部で支持しているため、該保持部材が自重によって撓んでしまうという問題が生じる。マスク保持部材が撓むと、その下面に遮光マスクを密着させ難くなり、吸着保持させるのが困難となる。また、遮光マスクはマスク保持部材に倣って撓んだ状態で吸着保持されるため、遮光マスクと貼り合わせ基板との間の間隔（プロキシミティギャップ）を、遮光マスクの撓みを考慮に入れた大きな値に設定する必要がある。このプロキシミティギャップが拡大した状態では、貼り合わせ基板に対するシャープな照射が難しくなり、遮光したい部分にも光が照射されてしまう虞がある。

このようなマスク保持部材の撓みは、近年、大型化傾向にあるフラットパネルディスプレイの貼り合わせに用いる光照射装置において、パネルサイズの大型化に伴って遮光マスク及びマスク保持部材が大型になるため、特に顕著に現れてしまう。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、マスク保持部材及びそのマスク保持部材に密着保持された遮光マスクを介して被照射物に光を照射する光照射装置において、マスク保持部材を平坦化することにある。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、周縁部が支持されたマスク保持部材の下面に遮光マスクを密着保持し、前記遮光マスクの下方に配置される被照射板に対して、前記マスク保持部材の上方に設けられた光源から前記マスク保持部材及び前記遮光マスクを介して光を照射する光照射装置であって、前記マスク保持部材における前記周縁部以外の部分に連結されるとともに、その連結部を吊り上げる吊上部材を備えたことをその要旨とする。

この発明では、マスク保持部材において自重により下方に撓む虞のある周縁部以外の部分に吊上部材が連結され、その吊上部材により連結部が上方に引き上げられるため、マスク保持部材を平坦化することができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光照射装置において、前記吊上部材は、前記マスク保持部材より上方に設けられた保持部と、該保持部に吊下保持され下端が前記マスク保持部材と連結された吊下部とからなることをその要旨とする。

この発明では、吊上部材は、マスク保持部材より上方に設けられた保持部と、該保持部に吊下保持され下端がマスク保持部材と連結された吊下部とからなるため、マスク保持部材における吊下部との連結部を上方に引き上げてマスク保持部材の平坦化が可能となる。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の光照射装置において、前記遮光マスクは交換可能であり、前記吊下部は、前記マスク保持部材に保持可能な複数種類の遮光マスクにおいて共通に遮光される領域の上方に設けられたことをその要旨とする。

この発明では、遮光マスクをマスクパターンの異なるものに交換した場合に、光源から出射される光のうち遮光マスクを通過させて被照射物に照射すべき光を、吊下部が遮ってしまうことを防止することができる。

請求項４に記載の発明は、請求項２又は３に記載の光照射装置において、前記吊下部は、水平方向に移動可能に設けられたことをその要旨とする。
この発明では、遮光マスクの交換時におけるズレ等によって、光を透過させる領域の上方に吊下部が配置されてまった場合に、吊下部の設置位置を遮光マスクにおいて遮光される領域の上方に移動させることが可能となる。また、マスクパターンが新規な遮光マスクを使用する場合においても、吊下部を遮光される領域の上方に移動させることが可能となる。

請求項５に記載の発明は、請求項２〜４のいずれか１項に記載の光照射装置において、前記吊下部はワイヤであり、前記吊上部材には、前記ワイヤを上方に向かって付勢する付勢部材が設けられたことをその要旨とする。

この発明では、ワイヤの熱伸び等によりマスク保持部材が下方に撓むことが抑制される。
請求項６に記載の発明は、請求項２〜４のいずれか１項に記載の光照射装置において、前記吊下部は、真空吸着により前記マスク保持部材と連結されたことをその要旨とする。

この発明では、マスク保持部材を吊下部に容易に着脱させることが可能である。また、マスク保持部材に吊上部材への連結用部材を設ける必要がなくなるため、吊上部材を水平方向に移動可能に構成した場合に、マスク保持部材はそのままのものを用いて連結位置（吸引位置）を変更することができる。

請求項７に記載の発明は、請求項２〜６のいずれか１項に記載の光照射装置において、前記光源は、前記保持部の上方において水平方向に移動可能に設けられるものであり、前記光源とともに移動し前記保持部下方の箇所を照射する補助光源を備えたことをその要旨とする。

この発明では、主となる光源の下方に設けられた保持部によって照射されにくい箇所に対し補助光源が補完的に照射するため、その主光源からの光の不足分を補うことができ、その結果、照射ムラを抑えることができる。

従って、上記記載の発明によれば、マスク保持部材及びそのマスク保持部材に密着保持された遮光マスクを介して被照射物に光を照射する光照射装置において、マスク保持部材を平坦化することができる。

（第１実施形態）
以下、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のパネルを製造するパネル製造装置に用いられる紫外線照射装置に本発明を具体化した第１実施形態を図面に従って説明する。

図１に示す紫外線照射装置は、液晶パネルを構成する貼り合わせ基板Ｗ（図中、中央上部）の間に介在された紫外線硬化性樹脂よりなるシール材（図示略）に紫外線を照射することで、そのシール材を硬化させるためのものである。尚、シール材が介在された貼り合わせ基板Ｗは、パネル製造装置におけるシール材塗布工程、液晶滴下工程及びプレス工程にて成形されるものである。これらの工程により、貼り合わせ基板Ｗ間にはシール材が板面に沿って枠状に形成され、そのシール材の枠中には滴下された液晶（図示略）が存在している。

図１に示すように、平面をなす基部１上には上記プレス工程後に搬送される貼り合わせ基板Ｗを載置するためのワークステージ部１１が設けられている。ワークステージ部１１下段のワーク移動機構１２は、基部１上面に沿う方向に移動可能に設けられるとともに、基部１上面に対し水平方向に回転可能に設けられている。ワーク移動機構１２の上段にはワークステージ部１１の上下動作を行うための駆動部１３が設けられている。駆動部１３には一対のリフトピン１４が立設されるとともに、リフトピン１４の上下方向中間位置には各リフトピン１４に跨る支持台１５が固定されている。駆動部１３における各リフトピン１４の間には、支持台１５に挿通された柱状の可動部１６が上下方向に移動可能となるように設けられている。

可動部１６の上端には載置台としてのワークステージ本体１７が固定されるとともに、そのワークステージ本体１７の上面には平面状をなす載置面１７ａが形成されている。ワークステージ本体１７は、上記ワーク移動機構１２の動作に伴って平面移動及び回転するとともに、可動部１６の動作に伴って上下移動するようになっている。ワークステージ本体１７にはリフトピン１４がそれぞれ挿通される挿通孔１７ｂが貫通形成されるとともに、挿通孔１７ｂの両側位置には貫通孔１７ｃがそれぞれ形成されている。尚、貫通孔１７ｃの開口下端は透明板１７ｄによって閉塞されている。また、貫通孔１７ｃ下端と透明板１７ｄとの間、及び挿通孔１７ｂとリフトピン１４との間はそれぞれ封止されている。照射加工時において、このようなワークステージ本体１７の載置面１７ａに上記貼り合わせ基板Ｗが載置される。

ワークステージ部１１の周囲において基部１に立設されたマスクステージ２１は、その上端部が内側に屈曲されるとともに、該上端部には矩形状の開口２１ａが形成されている。マスクステージ２１は、その側方から上記貼り合わせ基板Ｗを挿入してワークステージ本体１７に載置可能となるように設けられている。また、マスクステージ２１の上下方向中間位置において内側に延出するように設けられた一対の支持部２１ｂにはそれぞれ、前記ワークステージ部１１の位置合わせを行うためのアライメントカメラ２１ｃが前記貫通孔１７ｃの真下位置で固定されている。

マスクステージ２１の上部には、矩形板状の高透過ガラスよりなるマスク保持部材２２が開口２１ａを覆うように着脱可能に固定されている。このマスク保持部材２２は、水平方向において開口２１ａよりも若干大きなサイズに形成されるとともに、その周縁部２２ａ全体に亘ってマスクステージ２１により支持されている。尚、本実施形態では、マスク保持部材２２は平面視において、一辺長さが２０００ｍｍ以上に形成されるとともに、その板厚は１５ｍｍ〜２０ｍｍに形成されている。図１では、説明の便宜のため、マスク保持部材２２の板厚を誇張して図示している。

マスク保持部材２２の下面２２ｂには枠状をなす吸着溝２３が形成されるとともに、マスク保持部材２２には吸着溝２３内を減圧可能に接続された真空ポンプ（図示略）が接続されている。マスク保持部材２２の下面２２ｂには、吸着溝２３全体を覆うように配置された板状の遮光マスク２４が、その吸着溝２３の減圧により吸着保持されている。尚、遮光マスク２４は光透過性の板状部材の下面に所定のマスクパターンが形成されてなる。このような遮光マスク２４は、貼り合わせ基板Ｗの種類に応じた複数種類のものが用意され、貼り合わせ基板Ｗの種類の変更に応じて交換可能となっている。

マスク保持部材２２の上方には、図示しない筐体に支持固定されたランプハウス２５が配置されるとともに、そのランプハウス２５内には光源（紫外線源）としてのランプ２６が取り付けられている。ランプ２６から下方に出射された紫外線は、遮光マスク２４によって一部遮光され、前記貼り合わせ基板Ｗのシール材のみに紫外線が照射されるようになっている。

ランプハウス２５の上方において前記筐体に支持された保持部としての固定ベース３１には、吊下部としてのワイヤ４０を固定するための固定部３２が設けられている。尚、固定部３２はマスク保持部材２２の上方において２×３の６つ（図１においては２つのみ図示）が設けられている。固定部３２には、下端が固定ベース３１に当接する付勢部材としての圧縮コイルバネ３３が設けられるとともに、そのバネ３３の上端は上下方向に移動可能に設けられた係合部３４と当接している。この圧縮コイルバネ３３は固定ベース３１と係合部３４との間において圧縮状態で介在されている。

各固定部３２の係合部３４にはそれぞれワイヤ４０の上端が固定されるとともに、各ワイヤ４０は固定ベース３１及びランプハウス２５を貫通して吊り下げられている。そして、各ワイヤ４０の下端はそれぞれ、マスク保持部材２２上面に接着固定された連結部３５に対し、リング３６を介して着脱可能に固定されている。尚、固定ベース３１及びワイヤ４０が吊上部材を構成している。各連結部３５はそれぞれ各固定部３２の真下位置に設けられるとともに、マスク保持部材２２の周縁部２２ａ以外の部分に設けられている。また、各連結部３５はマスク保持部材２２の水平方向中心に対して対称的に設けられている。尚、ワイヤ４０の長さは固定部３２及び連結部３５間の距離を考慮して設定されるとともに、このワイヤ４０による引っ張り力は、マスク保持部材２２の水平状態を保つような大きさに設定されている。

また、ワイヤ４０及び連結部３５は、マスク保持部材２２に保持可能な前記複数種類の遮光マスクにおいて共通に遮光される領域の上方に設けられている。これにより、遮光マスク２４をマスクパターンの異なるものに交換した場合に、ランプ２６から出射される光のうち遮光マスク２４を通過させて貼り合わせ基板Ｗのシール材に照射すべき紫外線を、ワイヤ４０及び連結部３５が遮ってしまうことが防止される。

上記のように、遮光マスク２４を保持するマスク保持部材２２は、その周縁部２２ａがマスクステージ２１にて支持されるとともに、連結部３５には固定部３２から吊り下げられたワイヤ４０により上方への引っ張り力が付与されている。これにより、周縁部２２ａ以外の部分が自重により下方に撓むことなく、マスク保持部材２２は平坦化されている。また、係合部３４に固定されたワイヤ４０は、前記圧縮コイルバネ３３によって上方への引っ張り力が付与されている。これにより、ワイヤ４０が熱膨張等により上下方向に伸びてしまった場合に、バネ３３がワイヤ４０を上方に引き上げるため、マスク保持部材２２が下方に撓んでしまうことが防止されている。

図２（ａ）（ｂ）はそれぞれ、従来の紫外線照射装置と本実施形態の紫外線照射装置とにおけるマスク保持部材の下方への撓みの分布を示す模式図である。尚、図２（ａ）と図２（ｂ）とにおいて、撓みの様子を同様な階調で示しているが、それらのスケールは異なるものである。図２（ａ）に示すように、マスク保持部材４１の周縁部４１ａのみが支持された従来の紫外線照射装置では、マスク保持部材４１の下方への撓み量（周縁部４１ａを基準とする変形量）が周縁部４１ａから中央にかけて徐々に大きくなっており、マスク保持部材４１の中心部で撓み量が最大となっている。本実施形態のような平面サイズに対して板厚が薄いマスク保持部材（１辺２０００ｍｍ以上、板厚１５ｍｍ〜２０ｍｍ）を支持する場合、その最大撓み量は６〜７ｍｍ程度に及ぶ。

一方、図２（ｂ）に示すように、本実施形態の紫外線照射装置では、マスク保持部材２２の周縁部２２ａからやや内側にかけて微少ながら撓んでいるが、その撓み量はワイヤ連結部分３５ａに近づくにつれて減少し、該連結部分３５ａは周縁部２２ａと同じ高さ（撓み量０ｍｍ）となっている。図２（ｂ）において、最も濃い階調で示す部分が最も撓み量が大きい部分であるが、その撓み量は０．１〜０．２ｍｍ程度であり、マスク保持部材２２は略水平な状態が保たれている。

尚、このようなマスク保持部材２２に遮光マスク２４を吸着保持させる際には、遮光マスク２４を載置したワークステージ本体１７を上昇させて、遮光マスク２４をマスク保持部材２２の下面２２ｂに当接させた後、吸着溝２３内を前記真空ポンプにより減圧する。これにより、遮光マスク２４とマスク保持部材２２との間に残存する空気が吸着溝２３に吸い込まれ、遮光マスク２４が吸着保持される。このとき、上記したように、マスク保持部材２２はワイヤ４０の吊り上げによって撓みが抑制されているため、マスク保持部材２２の下面２２ｂに遮光マスク２４が密着し易くなり、その結果、遮光マスク２４を吸着保持させ易くなっている。

尚、マスク保持部材２２の着脱の際には、ワークステージ本体１７を上昇させ、その載置面１７ａとマスク保持部材２２の下面２２ｂとを当接させることで、ワークステージ本体１７がマスク保持部材２２を下方から支持するようになっている。

次に、本実施形態の特徴的な作用効果を記載する。
（１）マスク保持部材２２における周縁部２２ａ以外の部分に固定された連結部３５には吊下部としてのワイヤ４０が連結され、その連結部３５はワイヤ４０により吊り上げられる。これにより、マスク保持部材２２における連結部３５がワイヤ４０によって上方へ引き上げられるため、マスク保持部材２２を平坦化することができる。

（２）遮光マスク２４は交換可能であり、ワイヤ４０及び連結部３５はマスク保持部材２２に保持可能な複数種類の遮光マスクにおいて共通に遮光される領域の上方に設けられる。このため、遮光マスク２４をマスクパターンの異なるものに交換した場合に、ランプ２６から出射される光のうち遮光マスク２４を通過させて貼り合わせ基板Ｗのシール材に照射すべき紫外線を、ワイヤ４０及び連結部３５が遮ってしまうことを防止することができる。

（３）固定部３２にはワイヤ４０を上方に向かって付勢する付勢部材としての圧縮コイルバネ３３が設けられるため、ワイヤの熱伸び等によってマスク保持部材２２が下方に撓むことが防止される。

（４）ワイヤ４０を保持するための固定ベース３１はランプ２６の上方に設けられるため、固定ベース３１がランプ２６から出射される紫外線を遮ってしまうことが防止される。

（５）マスク保持部材２２はワイヤ４０に着脱可能に連結されるため、マスク保持部材２２が劣化した場合等に、マスク保持部材２２を容易に交換することができる。
尚、上記第１実施形態は、以下のように変更してもよい。

・上記実施形態では、吊下部としてワイヤ４０を用いたが、これ以外に例えば、図３に示すような構成としてもよい。図３に示すように、保持部としての固定ベース３１上の所定位置において水平方向に移動可能に設けられた固定部５１には、真空管５２が保持されている。真空管５２はその上端が図示しない真空ポンプに接続されるとともに、下端が真空パッド５３に連通されている。尚、真空管５２及び真空パッド５３が吊下部を構成している。また、固定部５１（昇降手段）は真空管５２及び真空パッド５３を昇降可能に構成されている。真空パッド５３はマスク保持部材２２の上面と当接された状態でその内部が真空ポンプにより減圧され、これにより、マスク保持部材２２を吸着保持している。尚、昇降手段としての固定部５１が真空管５２及び真空パッド５３を昇降させることで、真空パッド５３とマスク保持部材２２との連結部に上下方向への力を付与することが可能となっている。この構成によれば、吊下部を構成する真空管５２及び真空パッド５３は、真空吸引によりマスク保持部材２２と連結されるため、マスク保持部材２２の着脱を容易にすることが可能である。また、真空管５２を保持する固定部５１が水平方向に移動可能に設けられるため、遮光マスク２４の交換時におけるズレ等によって、光を透過させる領域の上方に真空管５２及び真空パッド５３が配置されてまった場合に、それらの設置位置を遮光マスク２４において遮光される領域の上方に移動させることが可能となる。また、マスクパターンが新規な遮光マスクを使用する場合においても、真空管５２及び真空パッド５３を遮光される領域の上方に移動させることが可能となる。さらに、マスク保持部材２２の上面に吊上部材への連結用部材を設ける必要がなくなる。尚、上記実施形態おいて、固定部３２を水平方向に移動可能に設けるとともに、連結部３５をマスク保持部材２２の上面に真空吸着により着脱可能に設けても、上記と同様な作用効果が得られる。また、例えば、マスク保持部材２２に吸着保持された遮光マスク２４を取り外す際に、マスク保持部材２２を上下方向に敢えて撓ませることで、遮光マスク２４を剥離させやすくすることが可能である。

（第２実施形態）
以下、本発明を具体化した第２実施形態を図面に従って説明する。
本実施形態の紫外線照射装置は、光源を水平方向に走査させるランプスキャン方式のものであり、前記第１実施形態の紫外線照射装置と比べて、光源及び保持部の構成を中心として変更されている。従って、以下には、その光源及び保持部を中心に説明し、前記第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。

図４（ａ）（ｂ）に示すように、マスクステージ２１の上面に設けられた一対の支持部６１には、保持部としての柱状の保持梁６２が掛け渡されて固定されている。保持梁６２上面の所定位置には固定部６３が固定されるとともに、該固定部６３には保持梁６２を貫通して吊り下げられた吊下部としてのワイヤ６４の上端が固定されている。ワイヤ６４の下端は、第１実施形態と同様に、マスク保持部材２２上面に接着固定された連結部３５に対し、リング３６を介して着脱可能に固定されている。マスク保持部材２２は、前記第１実施形態と同様に、その周縁部２２ａがマスクステージ２１にて支持されるとともに、連結部３５にはワイヤ６４によって上方への引っ張り力が付与されている。これにより、マスク保持部材２２の自重による撓みが抑制されている。

図４（ｂ）は、図４（ａ）の紫外線照射装置を水平方向に９０°反転させた概略図である。図４（ｂ）に示すように、マスクステージ２１の上面に設けられた一対の走査ステージ７１には、保持梁６２の上方及び側方を覆うようにランプハウス７２が掛け渡されている。ランプハウス７２の掛け渡し方向は、保持梁６２の掛け渡し方向と直交するとともに、該ランプハウス７２は、図４（ｂ）において紙面直交方向（図４（ａ）において左右方向）に移動可能に構成されている。ランプハウス７２内には、光源（紫外線源）としてのランプ７３が設けられており、該ランプ７３から出射された紫外線はマスク保持部材２２及び遮光マスク２４を介してその下方に配置された貼り合わせ基板Ｗ（図１参照）に照射されるようになっている。また、ランプハウス７２には下方に延びる支持部７４が固定されるとともに、その下端には補助光源としての補助ランプ７５が設けられている。この補助ランプ７５は、保持梁６２の下方の箇所を照射するように設けられている。

貼り合わせ基板Ｗへの紫外線照射加工時において、ランプハウス７２は水平方向（図４（ａ）において右から左）に走査しつつ、ランプ７３及び補助ランプ７５から紫外線を出射する。尚、ランプ７３とともに補助ランプ７５も水平方向に移動する。このとき、補助ランプ７５は、保持梁６２によってランプ７３から出射された紫外線が照射されにくい箇所に対して補完的に照射するため、そのランプ７３からの光の不足分を補うことができ、その結果、照射ムラを抑えることができる。

本実施形態の紫外線照射装置は、前記第１実施形態の紫外線照射装置と比べて若干の変更点はあるが、前記第１実施形態で記載した作用効果を有している。
尚、上記各実施形態は、以下のように変更してもよい。

・上記第１実施形態では、ワイヤ４０を上方に向かって付勢する付勢部材として圧縮コイルバネ３３が設けられたが、これに限定されるものではない。
・上記第１実施形態では、６つの吊上部材（ワイヤ４０）が設けられたが、これに限定されるものではなく、例えば１つ〜５つ、又は７つ以上設けてもよい。

・上記第２実施形態では、固定部６３は保持梁６２に固定されたが、水平方向に移動可能に設けてもよい。
・上記第２実施形態では、吊下部としてワイヤ６４が用いられたが、上記したような真空管５２及び真空パッド５３（図３参照）を用いてもよい。

・上記各実施形態では、連結部３５はマスク保持部材２２の上面に接着固定されたが、これに限定されるものではなく、例えば吸着固定でもよい。この構成によれば、マスク保持部材２２上面における連結部３５の設置位置を容易に変更可能となる。

・上記各実施形態では、マスクステージ２１は、その上部に開口２１ａが形成され、マスク保持部材２２の周縁部２２ａ全体に亘って支持したが、特にこれに限定されるものではなく、例えば、マスクステージ２１をマスク保持部材２２の周囲四方に設け、マスク保持部材２２の周縁部２２ａを部分的に支持してもよい。

・上記各実施形態では、マスク保持部材２２の周縁部２２ａはマスクステージ２１により支持されたが、これに限定されるものではなく、例えば吊下支持でもよい。
・上記各実施形態では、マスク保持部材２２は板状矩形をなしたが、これ以外に例えば、板状円形でもよい。また、マスク保持部材２２の大きさに関しても上記各実施形態に限定されるものではない。

・上記各実施形態では、液晶ディスプレイのパネルを製造するパネル製造装置に用いられる紫外線照射装置に本発明を適用したが、これに限らず、液晶以外のフラットパネルディスプレイのパネル製造装置でもよく、また、紫外線以外の例えば可視光を照射する光照射装置に本発明を適用してもよい。

次に、上記各実施形態及び別例から把握できる技術的思想を以下に追記する。
（イ） 吊上部材を昇降させてマスク保持部材に上下方向への力を付与する昇降手段を備える。

この構成によれば、例えばマスク保持部材に吸着保持された遮光マスクを取り外す際に、マスク保持部材を上下方向に敢えて撓ませることで、遮光マスクを剥離させやすくすることが可能である。

第１実施形態の紫外線照射装置を示す概略図。 （ａ）従来の紫外線照射装置におけるマスク保持部材の撓みを示す模式図、（ｂ）第１実施形態の紫外線照射装置におけるマスク保持部材の撓みを示す模式図。 別例の紫外線照射装置示す概略図。 （ａ）（ｂ）第２実施形態の紫外線照射装置を示す概略図。

符号の説明

Ｗ…被照射板としての貼り合わせ基板、２２…マスク保持部材、２２ａ…周縁部、２４…遮光マスク、２６，７３…光源としてのランプ、３１…吊上部材を構成する保持部としての固定ベース、３２…固定部、３３…付勢部材としての圧縮コイルバネ、３５…連結部、４０，６４…吊下部としてのワイヤ、５１…固定部、５２…吊下部を構成する真空管、５３…吊下部を構成する真空パッド、６２…吊上部材を構成する保持部としての保持梁、７５…補助光源としての補助ランプ。

Claims (7)

1. 周縁部が支持されたマスク保持部材の下面に遮光マスクを密着保持し、前記遮光マスクの下方に配置される被照射板に対して、前記マスク保持部材の上方に設けられた光源から前記マスク保持部材及び前記遮光マスクを介して光を照射する光照射装置であって、
   前記マスク保持部材における前記周縁部以外の部分に連結されるとともに、その連結部を吊り上げる吊上部材を備えたことを特徴とする光照射装置。
2. 請求項１に記載の光照射装置において、
   前記吊上部材は、前記マスク保持部材より上方に設けられた保持部と、該保持部に吊下保持され下端が前記マスク保持部材と連結された吊下部とからなることを特徴とする光照射装置。
3. 請求項２に記載の光照射装置において、
   前記遮光マスクは交換可能であり、
   前記吊下部は、前記マスク保持部材に保持可能な複数種類の遮光マスクにおいて共通に遮光される領域の上方に設けられたことを特徴とする光照射装置。
4. 請求項２又は３に記載の光照射装置において、
   前記吊下部は、水平方向に移動可能に設けられたことを特徴とする光照射装置。
5. 請求項２〜４のいずれか１項に記載の光照射装置において、
   前記吊下部はワイヤであり、
   前記吊上部材には、前記ワイヤを上方に向かって付勢する付勢部材が設けられたことを特徴とする光照射装置。
6. 請求項２〜４のいずれか１項に記載の光照射装置において、
   前記吊下部は、真空吸着により前記マスク保持部材と連結されたことを特徴とする光照射装置。
7. 請求項２〜６のいずれか１項に記載の光照射装置において、
   前記光源は、前記保持部の上方において水平方向に移動可能に設けられるものであり、
   前記光源とともに移動し前記保持部下方の箇所を照射する補助光源を備えたことを特徴とする光照射装置。

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