JP2009054608A - Organic electroluminescence device and method for producing the same - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、インクジェット法等の吐出法により有機層を形成する有機EL素子およびその製造方法であって、表示品質の高い有機EL素子およびその製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、有機EL層が平坦有機層を有し、隔壁で画定される画素において、上記平坦有機層が平坦部と上記平坦部の周囲に配置された周辺部とを有し、上記画素内の上記平坦有機層の中心部分を含む断面での上記平坦有機層の長さを1としたときに上記平坦部の長さが0.7以上であり、上記画素内の上記平坦有機層の断面形状が上記周辺部にて変曲点を有する形状であることを特徴とする有機EL素子を提供することにより、上記目的を達成するものである。
【選択図】図2An object of the present invention is to provide an organic EL element for forming an organic layer by a discharge method such as an ink jet method and a method for manufacturing the organic EL element, and to provide an organic EL element having a high display quality and a method for manufacturing the organic EL element. .
According to the present invention, an organic EL layer has a flat organic layer, and in a pixel defined by a partition wall, the flat organic layer has a flat portion and a peripheral portion disposed around the flat portion. When the length of the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel is 1, the length of the flat portion is 0.7 or more, and the flat in the pixel The object is achieved by providing an organic EL element characterized in that the cross-sectional shape of the organic layer is a shape having an inflection point in the peripheral portion.
[Selection] Figure 2
Description
本発明は、吐出法により有機層を形成する有機エレクトロルミネッセンス(以下、ELと略す場合がある。)素子およびその製造方法に関するものである。 The present invention relates to an organic electroluminescence (hereinafter sometimes abbreviated as EL) element for forming an organic layer by a discharge method and a method for manufacturing the same.
発光層を一対の電極間に挟み、両電極間に電圧をかけて発光させる有機EL素子は、自己発色により視認性が高いこと、液晶素子と異なり全固体素子であるため耐衝撃性に優れていること、応答速度が速いこと、温度変化による影響が少ないこと、および、視野角が大きいことなどの利点を有しており、表示装置や照明装置における発光素子としての利用が注目されている。 An organic EL element that sandwiches a light emitting layer between a pair of electrodes and emits light by applying a voltage between both electrodes has high visibility due to self-coloring, and unlike a liquid crystal element, it is an all-solid-state element and has excellent impact resistance. It has advantages such as high response speed, low influence of temperature change, and a large viewing angle, and its use as a light emitting element in a display device or a lighting device is drawing attention.
有機EL素子の製造方法においては、正孔輸送層や発光層等の有機層のパターニングが行われる場合がある。この有機層のパターニング方法としては、例えばフォトリソグラフィー法、マスク蒸着法、インクジェット法などがある。フォトリソグラフィー法では、工程が複雑でありコストがかかるという問題があり、またマスク蒸着法では、高価格の真空装置が必要となり歩留まりやコストが問題となる。一方、インクジェット法は、簡便な方法であり、高精細なパターニングも可能である。 In the method for producing an organic EL element, patterning of an organic layer such as a hole transport layer or a light emitting layer may be performed. Examples of the method for patterning the organic layer include a photolithography method, a mask vapor deposition method, and an ink jet method. The photolithographic method has a problem that the process is complicated and expensive, and the mask vapor deposition method requires a high-priced vacuum apparatus, and yield and cost are problems. On the other hand, the ink jet method is a simple method, and high-definition patterning is also possible.
インクジェット法において、基板上に塗布された微小液体の乾燥は極めて速い。さらに、基板上に微小液体が塗布される塗布領域における端(上端、下端、右端、左端)では、基板上に塗布された微小液体から蒸発した溶媒分子分圧が低いため、一般的に速く乾きはじめる。このような微小液体の乾燥時間の差は、画素内および各画素間での有機層の膜厚むらを引き起こす。このような膜厚むらは、輝度むら、発光色むら等の表示むらの原因となる。 In the inkjet method, the drying of the micro liquid applied on the substrate is extremely fast. Furthermore, at the ends (upper end, lower end, right end, left end) of the application area where the micro liquid is applied on the substrate, the solvent molecule partial pressure evaporated from the micro liquid applied on the substrate is low, so it generally dries quickly. Start. Such a difference in the drying time of the micro liquid causes unevenness in the thickness of the organic layer within the pixel and between the pixels. Such uneven film thickness causes uneven display such as uneven brightness and uneven emission color.
上記問題を解決するために、例えば特許文献1および特許文献2には、画素内および各画素間での有機層の膜厚を均一にする方法が開示されている。特許文献1では、有機EL材料および溶媒を含む組成物の塗布領域を有効光学領域より大きくすることで、有効光学領域内に塗布された組成物の周囲の環境、乾燥を均一にし、画素内および各画素間での有機層の膜厚を均一にしている。また、特許文献2では、有効光学領域に有機EL材料および溶媒を含む組成物を塗布し、非有効光学領域に溶媒のみを塗布することで、組成物が塗布された塗布領域の端と中央とで溶媒分子分圧を等しくし、画素内および各画素間での有機層の膜厚を均一にしている。
In order to solve the above problem, for example, Patent Document 1 and
しかしながら、これらの方法では、有効光学領域の他に、組成物や溶媒を塗布する余分な領域が必要であり、有効光学領域が小さくなってしまう。さらに、特許文献1に記載の方法では、有機EL材料の利用効率が低いという問題がある。したがって、画素内および各画素間での有機層の膜厚を均一にする方法には改善の余地がある。 However, in these methods, in addition to the effective optical region, an extra region for applying the composition and the solvent is necessary, and the effective optical region becomes small. Furthermore, the method described in Patent Document 1 has a problem that the utilization efficiency of the organic EL material is low. Therefore, there is room for improvement in the method of making the film thickness of the organic layer uniform within and between the pixels.
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、インクジェット法等の吐出法により有機層を形成する有機EL素子およびその製造方法であって、表示品質の高い有機EL素子およびその製造方法を提供することを主目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and is an organic EL element for forming an organic layer by a discharge method such as an ink jet method and a method for manufacturing the organic EL element. The main purpose is to provide.
上記目的を達成するために、本発明は、基板と、上記基板上にパターン状に形成された第一電極層と、上記基板上の上記第一電極層間に形成された隔壁と、上記第一電極層上に形成され、発光層を含む1層以上の有機層を有する有機EL層と、上記有機EL層上に形成された第二電極層とを有する有機EL素子であって、上記有機EL層が、上記有機層として平坦有機層を有し、上記隔壁で画定される画素において、上記平坦有機層が平坦部と上記平坦部の周囲に配置された周辺部とを有し、上記画素内の上記平坦有機層の中心部分を含む断面での上記平坦有機層の長さを1としたときに上記平坦部の長さが0.7以上であり、上記画素内の上記平坦有機層の断面形状が上記周辺部にて変曲点を有する形状であることを特徴とする有機EL素子を提供する。 In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate, a first electrode layer formed in a pattern on the substrate, a partition formed between the first electrode layers on the substrate, and the first electrode An organic EL element having an organic EL layer formed on an electrode layer and having one or more organic layers including a light emitting layer, and a second electrode layer formed on the organic EL layer, wherein the organic EL element The layer has a flat organic layer as the organic layer, and in the pixel defined by the partition, the flat organic layer has a flat portion and a peripheral portion disposed around the flat portion, When the length of the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer is 1, the length of the flat portion is 0.7 or more, and the cross section of the flat organic layer in the pixel Organic EL element having a shape having an inflection point at the peripheral portion To provide.
本発明によれば、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の長さを1としたときに平坦部の長さが0.7以上であるので、画素内の平坦有機層の大部分の膜厚が均一であり、表示品質を向上させることが可能である。また、画素内の平坦有機層の断面形状が周辺部にて変曲点を有する形状であるので、電極間の短絡を防ぐことが可能である。 According to the present invention, when the length of the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel is 1, the length of the flat portion is 0.7 or more. The film thickness of most of the organic layer is uniform, and the display quality can be improved. Further, since the cross-sectional shape of the flat organic layer in the pixel has an inflection point in the peripheral portion, it is possible to prevent a short circuit between the electrodes.
上記発明においては、上記隔壁表面の少なくとも一部が撥液性を有することが好ましい。例えば、隔壁の平坦有機層に接する部分および上面が撥液性を有する場合には、平坦有機層を所定の断面形状を有するものとすることができ、また発光層等を精度良くパターニングすることができるからである。 In the said invention, it is preferable that at least one part of the said partition wall surface has liquid repellency. For example, when the portion of the partition wall that contacts the flat organic layer and the upper surface have liquid repellency, the flat organic layer can have a predetermined cross-sectional shape, and the light emitting layer and the like can be patterned with high precision. Because it can.
また本発明は、基板と、上記基板上にパターン状に形成された第一電極層と、上記基板上の上記第一電極層間に形成され、全表面に撥液性を有する隔壁と、上記第一電極層上に形成され、発光層を含む1層以上の有機層を有する有機EL層と、上記有機EL層上に形成された第二電極層とを有する有機EL素子であって、上記有機EL層が、上記有機層として平坦有機層を有し、上記隔壁で画定される画素のすべてにおいて、上記画素内の上記平坦有機層の中心部分の上記第一電極層表面からの高さと、上記平坦有機層の中心部分を含む断面での上記平坦有機層の長さを1としたときに上記中心部分から0.25の距離にある所定部分の上記第一電極層表面からの高さとの差が5nm以下であることを特徴とする有機EL素子を提供する。 The present invention also includes a substrate, a first electrode layer formed in a pattern on the substrate, a partition wall formed between the first electrode layers on the substrate and having liquid repellency on the entire surface, and the first electrode layer. An organic EL element having an organic EL layer having one or more organic layers including a light-emitting layer and a second electrode layer formed on the organic EL layer, the organic EL element being formed on one electrode layer, The EL layer has a flat organic layer as the organic layer, and the height of the central portion of the flat organic layer in the pixel from the surface of the first electrode layer in all of the pixels defined by the partition walls, Difference in height from the surface of the first electrode layer at a predetermined portion at a distance of 0.25 from the center portion when the length of the flat organic layer in a cross section including the center portion of the flat organic layer is 1. Provided is an organic EL device characterized by having a thickness of 5 nm or less.
本発明によれば、すべての画素において、平坦有機層の中心部分の第一電極層表面からの高さと、平坦有機層の所定部分の第一電極層表面からの高さとの差が所定の値以下であるので、画素内の平坦有機層の大部分の膜厚が均一であるとともに、すべての画素において平坦有機層の形状が均一であり、表示品質を向上させることが可能である。 According to the present invention, in all pixels, the difference between the height of the central portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer and the height of the predetermined portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer is a predetermined value. Since the thickness of the flat organic layer in the pixel is uniform in most cases, the shape of the flat organic layer is uniform in all the pixels, and the display quality can be improved.
本発明においては、上記平坦有機層が上記発光層であることが好ましい。発光層が平坦有機層であれば、表示品質をより高めることができるからである。 In the present invention, the flat organic layer is preferably the light emitting layer. This is because the display quality can be further improved if the light emitting layer is a flat organic layer.
さらに本発明は、第一電極層がパターン状に形成され、上記第一電極層間に隔壁が形成された基板上に、有機材料と表面張力が40mN/m以下である溶媒とを含有する平坦有機層形成用塗工液を、吐出法により塗布し、上記溶媒の蒸発速度が1.0×10-3μl/sec以上となるように乾燥させて、平坦有機層を形成する平坦有機層形成工程を有することを特徴とする有機EL素子の製造方法を提供する。 Furthermore, the present invention provides a flat organic material containing an organic material and a solvent having a surface tension of 40 mN / m or less on a substrate in which a first electrode layer is formed in a pattern and a partition wall is formed between the first electrode layers. A flat organic layer forming step of forming a flat organic layer by applying a coating liquid for layer formation by a discharge method and drying the solvent so that the evaporation rate of the solvent is 1.0 × 10 −3 μl / sec or more. The manufacturing method of the organic EL element characterized by having.
本発明によれば、有機材料と所定の表面張力の溶媒とを含有する平坦有機層形成用塗工液を吐出法により塗布し、溶媒の蒸発速度が所定の値以上となるように乾燥させるので、塗布された平坦有機層形成用塗工液中の溶媒を即座に乾燥させることができ、画素内の大部分の膜厚が均一であり、すべての画素において形状が均一な平坦有機層を形成することができる。したがって、表示品質の高い有機EL素子を得ることができる。また、所定の表面張力の溶媒を含む平坦有機層形成用塗工液を用い、蒸発速度が所定の値以上となるように乾燥させるだけで、上記のような平坦有機層を形成することができ、簡便な方法で表示品質の高い有機EL素子を得ることができる。 According to the present invention, the coating liquid for forming a flat organic layer containing an organic material and a solvent having a predetermined surface tension is applied by a discharge method and dried so that the evaporation rate of the solvent becomes a predetermined value or more. , The solvent in the applied coating liquid for forming a flat organic layer can be immediately dried, and most of the film thickness in the pixel is uniform, and a flat organic layer having a uniform shape in all pixels is formed. can do. Therefore, an organic EL element with high display quality can be obtained. In addition, a flat organic layer as described above can be formed simply by using a coating liquid for forming a flat organic layer containing a solvent having a predetermined surface tension and drying it so that the evaporation rate becomes a predetermined value or more. An organic EL element with high display quality can be obtained by a simple method.
また本発明においては、上記隔壁表面の少なくとも一部が撥液性を有することが好ましい。例えば、隔壁の平坦有機層に接する部分および上面が撥液性を有する場合には、上述したように、平坦有機層を所定の断面形状を有するものとすることができ、また発光層等を精度良くパターニングすることができるからである。 In the present invention, it is preferable that at least a part of the partition wall surface has liquid repellency. For example, when the portion of the partition wall that contacts the flat organic layer and the upper surface have liquid repellency, the flat organic layer can have a predetermined cross-sectional shape as described above, and the light emitting layer and the like can be accurately This is because the patterning can be performed well.
さらに本発明においては、上記平坦有機層が発光層であることが好ましい。上述したように、発光層が平坦有機層であれば、表示品質をより高めることができるからである。 Furthermore, in the present invention, the flat organic layer is preferably a light emitting layer. As described above, if the light emitting layer is a flat organic layer, the display quality can be further improved.
本発明によれば、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の長さを1としたときに平坦部の長さが0.7以上であるので、画素内の平坦有機層の大部分の膜厚が均一であり、表示品質を向上させることができるという効果を奏する。また、画素内の平坦有機層の断面形状が周辺部にて変曲点を有する形状であるので、電極間の短絡を防ぐことができるという効果を奏する。 According to the present invention, when the length of the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel is 1, the length of the flat portion is 0.7 or more. The film thickness of most of the organic layer is uniform, and the display quality can be improved. Further, since the cross-sectional shape of the flat organic layer in the pixel has an inflection point in the peripheral portion, there is an effect that a short circuit between the electrodes can be prevented.
以下、本発明の有機EL素子およびその製造方法について詳細に説明する。 Hereinafter, the organic EL device of the present invention and the manufacturing method thereof will be described in detail.
A.有機EL素子
まず、本発明の有機EL素子について説明する。
本発明の有機EL素子は、有機層の構成により2つの態様に分けることができる。以下、各態様に分けて説明する。
A. Organic EL Element First, the organic EL element of the present invention will be described.
The organic EL device of the present invention can be divided into two modes depending on the constitution of the organic layer. Hereinafter, the description will be made separately for each aspect.
1.第一態様
本発明の有機EL素子の第一態様は、基板と、上記基板上にパターン状に形成された第一電極層と、上記基板上の上記第一電極層間に形成された隔壁と、上記第一電極層上に形成され、発光層を含む1層以上の有機層を有する有機EL層と、上記有機EL層上に形成された第二電極層とを有する有機EL素子であって、上記有機EL層が、上記有機層として平坦有機層を有し、上記隔壁で画定される画素において、上記平坦有機層が平坦部と上記平坦部の周囲に配置された周辺部とを有し、上記画素内の上記平坦有機層の中心部分を含む断面での上記平坦有機層の長さを1としたときに上記平坦部の長さが0.7以上であり、上記画素内の上記平坦有機層の断面形状が上記周辺部にて変曲点を有する形状であることを特徴とするものである。
1. 1st aspect The 1st aspect of the organic EL element of this invention is a board | substrate, the 1st electrode layer formed in the pattern form on the said board | substrate, the partition formed between the said 1st electrode layers on the said board | substrate, An organic EL element having an organic EL layer formed on the first electrode layer and having one or more organic layers including a light emitting layer, and a second electrode layer formed on the organic EL layer, The organic EL layer has a flat organic layer as the organic layer, and in the pixel defined by the partition, the flat organic layer has a flat portion and a peripheral portion disposed around the flat portion, When the length of the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel is 1, the length of the flat portion is 0.7 or more, and the flat organic layer in the pixel The cross-sectional shape of the layer is a shape having an inflection point at the peripheral portion. It is.
本態様の有機EL素子について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本態様の有機EL素子の一例を示す概略断面図である。図1に例示する有機EL素子1においては、基板2上に第一電極層4がパターン状に形成され、さらに第一電極層4を区画するように隔壁5が形成されている。また、第一電極層4上には、正孔注入層6および発光層7が形成され、有機EL層8が構成されている。そして、有機EL層8上に第二電極層9が形成されている。
The organic EL element of this embodiment will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of the organic EL element of this embodiment. In the organic EL element 1 illustrated in FIG. 1, the
また、隔壁5で画定される領域は、画素10である。図1においては発光層7が平坦有機層であり、画素10内において、発光層7は、平坦部11と、この平坦部11の周囲に配置された周辺部12とを有している。
A region defined by the
なお、「平坦部」とは、第一電極層表面からの平坦有機層の高さが最も低い部分を基準として、第一電極層表面からの平坦有機層の高さの差が5nm以下である領域をいう。
ここで、平坦部は、画素内における第一電極層表面からの平坦有機層の高さを測定することにより、確認することができる。画素内における第一電極層表面からの平坦有機層の高さは、Zygo社製、New View 5000を用い、走査型白色干渉法により測定することとする。
図2は、上記方法により求められた画素内における第一電極層表面からの発光層の高さである。図3(a)に例示するような、直径70μmの円形状の画素10が100μmのピッチで配置された有機EL素子において、画素10内の発光層(平坦有機層17)の中心部分pを含む断面、すなわちA−A線断面での発光層(平坦有機層17)の膜厚を測定した結果が図2となる。
ここで、画素内における第一電極層表面からの平坦有機層の高さとは、図1に例示するような、画素10内における第一電極層4表面からの平坦有機層(発光層7)の高さh1をいう。
The “flat portion” means that the difference in height of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer is 5 nm or less with reference to the portion where the height of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer is the lowest. An area.
Here, the flat portion can be confirmed by measuring the height of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer in the pixel. The height of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer in the pixel is measured by a scanning white interference method using New View 5000 manufactured by Zygo.
FIG. 2 shows the height of the light emitting layer from the surface of the first electrode layer in the pixel determined by the above method. In the organic EL element in which
Here, the height of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer in the pixel means the flat organic layer (light emitting layer 7) from the surface of the
また、「周辺部」とは、画素内における平坦有機層の上記平坦部以外の領域をいう。 Further, the “peripheral portion” refers to a region other than the flat portion of the flat organic layer in the pixel.
本態様において、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の長さを1としたときに平坦部の長さは0.7以上である。 In this aspect, when the length of the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel is 1, the length of the flat portion is 0.7 or more.
なお、「画素内の平坦有機層の中心部分」とは、画素の形状の重心をいう。
また、「画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面」とは、画素の形状の重心を含む断面をいう。例えば図3(a)に示すように、画素10が円形状である場合には、円形の直径を含む断面、すなわちA−A線断面が、画素10内の平坦有機層17の中心部分pを含む断面となる。
なお、本態様においては、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面のうち、平坦有機層の長さを1としたときに平坦部の長さが0.7以上となる断面が少なくとも一箇所あればよい。
The “center portion of the flat organic layer in the pixel” refers to the center of gravity of the shape of the pixel.
Further, “a cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel” refers to a cross section including the center of gravity of the shape of the pixel. For example, as shown in FIG. 3A, when the
In this aspect, among the cross sections including the central portion of the flat organic layer in the pixel, at least one cross section in which the length of the flat portion is 0.7 or more when the length of the flat organic layer is 1 is used. I just need a place.
また、「画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の長さ」とは、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面において、平坦有機層の隔壁に接している端部から端部までの距離をいう。具体的には、図4に例示するような、平坦有機層17の隔壁5に接している端部から端部までの距離が、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の長さd1となる。
Further, “the length of the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel” is in contact with the partition wall of the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel. The distance from end to end. Specifically, as illustrated in FIG. 4, the flat
さらに、「(画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の)平坦部の長さ」とは、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面において、平坦部の端部から端部までの距離をいう。具体的には、図4に例示するような、平坦有機層17の平坦部11の端部から端部までの距離が、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の平坦部の長さd2となる。
Furthermore, “the length of the flat portion (of the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel)” means the end of the flat portion in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel. The distance from the part to the end. Specifically, as illustrated in FIG. 4, the distance from the end portion of the
本態様においては、このような画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の長さd1を1としたときに平坦部の長さd2が0.7以上であるので、画素内の平坦有機層の大部分の膜厚が均一であり、輝度むらや色むらを低減し、表示品質を向上させることが可能である。 In this embodiment, when the length d 1 of the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel is 1, the flat portion length d 2 is 0.7 or more. Therefore, the film thickness of most of the flat organic layer in the pixel is uniform, and it is possible to reduce luminance unevenness and color unevenness and improve display quality.
また本態様において、画素内の平坦有機層の断面形状は周辺部にて変曲点を有する形状である。 In this embodiment, the cross-sectional shape of the flat organic layer in the pixel is a shape having an inflection point in the peripheral portion.
なお、「変曲点を有する形状」とは、上に凸の状態から上に凹の状態に変わる点、または、上に凹の状態から上に凸の状態に変わる点を有する形状をいう。
また、「周辺部にて変曲点を有する形状」とは、画素内の平坦有機層の断面において、平坦部の両端には周辺部が配置されているので、両端の周辺部にてそれぞれ、上に凸の状態から上に凹の状態に変わる点、または、上に凹の状態から上に凸の状態に変わる点を有する形状をいう。
例えば図4に示す平坦有機層17の断面形状は、周辺部12にて変曲点i1およびi2を有する形状である。これらの変曲点i1およびi2はそれぞれ、上に凸の状態から上に凹の状態に変わる点であるともいえ、また上に凹の状態から上に凸の状態に変わる点であるともいえる。
一方、変曲点を有さない形状とは、例えば図5に示すような有機層107の凹形状をいう。
The “shape having an inflection point” refers to a shape having a point that changes from an upward convex state to a concave state or a point that changes from an upward concave state to an upward convex state.
In addition, “the shape having an inflection point in the peripheral part” means that the peripheral part is arranged at both ends of the flat part in the cross section of the flat organic layer in the pixel. A shape having a point that changes from a convex state upward to a concave state or a point that changes from a concave state upward to a convex state.
For example, the cross-sectional shape of the flat
On the other hand, the shape having no inflection point refers to a concave shape of the
ここで、平坦有機層の断面形状が周辺部にて変曲点を有する形状であることは、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面において、上述したように画素内における第一電極層表面からの平坦有機層の高さを測定することにより確認する、あるいは、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面の電子顕微鏡写真により確認することができる。 Here, the cross-sectional shape of the flat organic layer is a shape having an inflection point in the peripheral portion, as described above, in the cross-section including the central portion of the flat organic layer in the pixel, the first electrode layer in the pixel. It can be confirmed by measuring the height of the flat organic layer from the surface, or can be confirmed by an electron micrograph of a cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel.
本態様においては、このように画素内の平坦有機層の断面形状が周辺部にて変曲点を有する形状であるので、平坦有機層の割れや欠け等の発生を抑制し、有機層と隔壁との境界周辺での電極間の短絡を防ぐことが可能である。 In this embodiment, since the cross-sectional shape of the flat organic layer in the pixel has an inflection point in the peripheral portion, the occurrence of cracks and chips in the flat organic layer is suppressed, and the organic layer and the partition wall are suppressed. It is possible to prevent a short circuit between the electrodes around the boundary.
以下、本態様の有機EL素子の各構成について説明する。 Hereinafter, each structure of the organic EL element of this aspect is demonstrated.
(1)有機EL層
本態様における有機EL層は、第一電極層上に形成され、発光層を含む1層以上の有機層を有するものであり、この有機層として平坦有機層を有するものである。すなわち、有機EL層とは、少なくとも発光層を含む層であり、その層構成が有機層1層以上の層をいう。
(1) Organic EL layer The organic EL layer in this embodiment is formed on the first electrode layer and has one or more organic layers including a light emitting layer, and has a flat organic layer as the organic layer. is there. That is, the organic EL layer is a layer including at least a light emitting layer, and the layer configuration is a layer having one or more organic layers.
発光層以外に有機EL層内に形成される有機層としては、正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層等を挙げることができる。正孔輸送層は、正孔注入層に正孔輸送機能を付与することにより、正孔注入層と一体化される場合が多い。また、電子輸送層は、電子注入層に電子輸送機能を付与することにより、電子注入層と一体化されることがある。
その他、有機EL層内に形成される有機層としては、キャリアブロック層のような正孔もしくは電子の突き抜けを防止し、さらに励起子の拡散を防止して発光層内に励起子を閉じ込めることにより、再結合効率を高めるための層等を挙げることができる。
Examples of the organic layer formed in the organic EL layer other than the light emitting layer include a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, and an electron transport layer. The hole transport layer is often integrated with the hole injection layer by imparting a hole transport function to the hole injection layer. Further, the electron transport layer may be integrated with the electron injection layer by imparting an electron transport function to the electron injection layer.
In addition, as an organic layer formed in the organic EL layer, it prevents holes or electrons from penetrating like a carrier block layer and further prevents exciton diffusion and confines excitons in the light emitting layer. And a layer for increasing the recombination efficiency.
このように有機EL層は種々の層を積層した積層構造を有することが多く、このような積層構造としては多くの種類がある。例えば、正孔注入層/発光層、正孔注入層/正孔輸送層/発光層、正孔注入層/発光層/電子輸送層、正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層等のような積層構造が挙げられる。
以下、有機EL層の各構成について説明する。
Thus, the organic EL layer often has a laminated structure in which various layers are laminated, and there are many kinds of such laminated structures. For example, hole injection layer / light emitting layer, hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer, hole injection layer / light emitting layer / electron transport layer, hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport Examples include a laminated structure such as a layer.
Hereinafter, each structure of the organic EL layer will be described.
(i)平坦有機層
本態様における平坦有機層は、画素において、平坦部とこの平坦部の周囲に配置された周辺部とを有するものである。
(I) Flat organic layer The flat organic layer in this aspect has a flat part and the peripheral part arrange | positioned around this flat part in a pixel.
平坦部の表面平坦性としては、第一電極層表面からの平坦有機層の高さが最も低い部分を基準として、第一電極層表面からの平坦有機層の高さの差が5nm以下であり、好ましくは3nm以下、さらに好ましくは2nm以下である。表面平坦性が上記範囲であれば、表示品質をさらに向上させることができるからである。 As for the surface flatness of the flat portion, the difference in height of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer is 5 nm or less with reference to the portion where the height of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer is the lowest. , Preferably 3 nm or less, more preferably 2 nm or less. This is because the display quality can be further improved if the surface flatness is within the above range.
また、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の長さを1としたときに、平坦部の長さは0.7以上であり、好ましくは0.8以上である。平坦部の長さが上記範囲であれば、表示品質をさらに向上させることができるからである。一方、平坦有機層は平坦部の周囲に周辺部を有するが、平坦部の長さは長いほど好ましいことから、上限値は特に限定されない。 Further, when the length of the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel is 1, the length of the flat portion is 0.7 or more, preferably 0.8 or more. . This is because the display quality can be further improved if the length of the flat portion is in the above range. On the other hand, the flat organic layer has a peripheral portion around the flat portion, but the upper portion is not particularly limited because the longer the flat portion, the better.
画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面(画素の形状の重心を含む断面)のうち、少なくとも1箇所の上記断面での平坦有機層の長さを1としたときに平坦部の長さは0.7以上であればよいが、中でも、いずれの上記断面においても、平坦有機層の長さを1としたときに平坦部の長さは0.7以上であることが好ましい。 Of the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel (the cross section including the center of gravity of the shape of the pixel), the length of the flat portion when the length of the flat organic layer in at least one of the cross sections is 1. However, it is preferable that the length of the flat portion is 0.7 or more when the length of the flat organic layer is 1 in any of the cross sections.
また、画素内の平坦有機層の断面形状は周辺部にて変曲点を有する形状である。本態様においては、画素の形状にかかわらず、画素内の平坦有機層の断面形状は周辺部にて変曲点を有する形状となる。 Further, the cross-sectional shape of the flat organic layer in the pixel is a shape having an inflection point in the peripheral portion. In this aspect, regardless of the shape of the pixel, the cross-sectional shape of the flat organic layer in the pixel is a shape having an inflection point in the peripheral portion.
図4に例示するように、平坦有機層17は、断面形状が周辺部12にて変曲点i1,i2を有する形状であるので、膜厚が段階的に変化する。一方、図5に例示するように、有機層107の断面形状が変曲点を有さない形状である場合には、有機層107の膜厚が連続的に変化する。したがって、有機層の断面形状が変曲点を有する形状であるか、変曲点を有さない形状であるかにより、膜厚変化が異なるものとなる。本態様においては、平坦有機層の断面形状が変曲点を有する形状であるので、平坦有機層の割れや欠け等の発生を効果的に防ぐことができる。
As illustrated in FIG. 4, since the flat
具体的に、平坦有機層の平坦部の第一電極層表面からの高さは、平坦有機層の種類によっても異なるが、0.5nm〜500nm程度であることが好ましく、より好ましくは5nm〜300nmの範囲内、さらに好ましくは10nm〜250nmの範囲内である。平坦有機層の平坦部の第一電極層表面からの高さが上記範囲であれば、平坦有機層が後述の各層である場合に、各層の機能を充分に発揮することができる。
なお、平坦有機層の平坦部の第一電極層表面からの高さとは、図4に例示するような平坦有機層17の平坦部11の第一電極層4表面からの高さh2をいう。
Specifically, the height of the flat portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer varies depending on the type of the flat organic layer, but is preferably about 0.5 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 300 nm. And more preferably within a range of 10 nm to 250 nm. When the height of the flat portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer is in the above range, the function of each layer can be sufficiently exhibited when the flat organic layer is each layer described later.
Note that the height of the flat portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer means the height h 2 of the
また、平坦有機層の平坦部の厚みと、変曲点での平坦有機層の厚みとの関係としては、変曲点での平坦有機層の厚みが、平坦有機層の平坦部の厚みの1.5倍〜15倍程度であることが好ましく、さらに好ましくは2倍〜10倍程度である。上記の関係であれば、平坦有機層の割れや欠け等をより一層防ぐことができるからである。
なお、平坦有機層の平坦部の厚みとは、図6に例示するような平坦有機層17の中心部分の厚みh3をいう。また、変曲点での平坦有機層の厚みとは、図6に例示するように、画素10内の平坦有機層17の中心部分を含む断面において、平坦有機層17の中心部での下地層(平坦有機層の直下に形成されている層)16の第一電極層4表面からの高さを基準線Lとした場合に、変曲点i1,i2での平坦有機層17の基準線Lからの高さ(厚み)h4をいう。
Further, as a relationship between the thickness of the flat portion of the flat organic layer and the thickness of the flat organic layer at the inflection point, the thickness of the flat organic layer at the inflection point is 1 of the thickness of the flat portion of the flat organic layer. It is preferably about 5 to 15 times, more preferably about 2 to 10 times. This is because the above-described relationship can further prevent the flat organic layer from being cracked or chipped.
Note that the thickness of the flat portion of the flat organic layer refers to the thickness h 3 of the central portion of the flat
具体的に、上記平坦有機層の平坦部の厚みは、平坦有機層の種類によっても異なるが、0.5nm〜500nm程度であることが好ましく、より好ましくは5nm〜300nmの範囲内、さらに好ましくは10nm〜250nmの範囲内である。上記平坦有機層の平坦部の厚みが上記範囲であれば、平坦有機層が後述の各層である場合に、各層の機能を充分に発揮することができる。 Specifically, the thickness of the flat portion of the flat organic layer varies depending on the type of the flat organic layer, but is preferably about 0.5 nm to 500 nm, more preferably in the range of 5 nm to 300 nm, and still more preferably. It is in the range of 10 nm to 250 nm. If the thickness of the flat part of the said flat organic layer is the said range, when a flat organic layer is each layer mentioned later, the function of each layer can fully be exhibited.
また、具体的に、上記変曲点での平坦有機層の厚みは、隔壁の厚み等によっても異なるが、1.25nm〜1250nm程度であることが好ましく、より好ましくは12.5nm〜750nmの範囲内、さらに好ましくは15nm〜650nmの範囲内である。上記変曲点での平坦有機層の厚みが上記範囲であれば、平坦有機層の割れや欠け等をより一層防ぐことができる。 Specifically, the thickness of the flat organic layer at the inflection point varies depending on the thickness of the partition wall, but is preferably about 1.25 nm to 1250 nm, more preferably in the range of 12.5 nm to 750 nm. Of these, more preferably in the range of 15 nm to 650 nm. If the thickness of the flat organic layer at the inflection point is within the above range, it is possible to further prevent the flat organic layer from being cracked or chipped.
ここで、上記の平坦有機層の平坦部の第一電極層表面からの高さ、平坦有機層の平坦部の厚み、および変曲点での平坦有機層の厚みは、Zygo社製、New View 5000を用い、走査型白色干渉法により測定することとする。
なお、変曲点は、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面において、上述したように画素内における第一電極層表面からの平坦有機層の高さを測定することにより確認する、あるいは、画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面の電子顕微鏡写真により確認することができる。
Here, the height of the flat portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer, the thickness of the flat portion of the flat organic layer, and the thickness of the flat organic layer at the inflection point are manufactured by Zygo, New View. Measured by scanning white light interferometry using 5000.
The inflection point is confirmed by measuring the height of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer in the pixel as described above in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel, or It can be confirmed by an electron micrograph of a cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel.
平坦有機層は、発光層、正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層、キャリアブロック層等のいずれであってもよい。また、平坦有機層は、1層であってもよく2層以上であってもよい。例えば、有機EL層が正孔注入層/正孔輸送層/発光層の積層構造を有する場合、平坦有機層は、発光層のみであってもよく、正孔輸送層および発光層の2層であってもよく、正孔注入層、正孔輸送層および発光層の3層であってもよい。 The flat organic layer may be any of a light emitting layer, a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, an electron transport layer, a carrier block layer, and the like. Further, the flat organic layer may be a single layer or two or more layers. For example, when the organic EL layer has a layered structure of a hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer, the flat organic layer may be only the light emitting layer, or two layers of the hole transport layer and the light emitting layer. There may be three layers of a hole injection layer, a hole transport layer, and a light emitting layer.
中でも、平坦有機層は少なくとも発光層であることが好ましい。一般に、有機EL素子では電圧をかけると発光層の膜厚の薄い部分から発光し始めるので、膜厚の均一な部分が多ければ発光領域を広げることができる。したがって、発光層が平坦有機層であれば、輝度むら、発光色むらを効果的に抑制し、表示品質をより高めることができる。 Among these, the flat organic layer is preferably at least a light emitting layer. In general, when a voltage is applied to an organic EL element, light emission starts from a portion where the thickness of the light emitting layer is thin. Therefore, if there are many portions having a uniform thickness, the light emitting region can be expanded. Therefore, if the light emitting layer is a flat organic layer, luminance unevenness and emission color unevenness can be effectively suppressed, and display quality can be further improved.
さらには、平坦有機層が、発光層および正孔輸送層である、あるいは、発光層、正孔輸送層および正孔注入層であることが好ましい。一般に、有機EL素子を作製する際には、陽極側から有機層を積層するほうが安定であるため、正孔注入層、正孔輸送層、発光層の順に積層することが好ましい。したがって、発光層の下に形成される正孔注入層や正孔輸送層も平坦有機層であれば、画素内の発光層の大部分の膜厚を均一にすることができ、表示品質をさらに高めることができる。 Further, the flat organic layer is preferably a light emitting layer and a hole transport layer, or a light emitting layer, a hole transport layer and a hole injection layer. In general, when an organic EL device is produced, it is more stable to stack an organic layer from the anode side, and therefore it is preferable to stack a hole injection layer, a hole transport layer, and a light emitting layer in this order. Therefore, if the hole injection layer and the hole transport layer formed under the light emitting layer are also flat organic layers, the film thickness of the most part of the light emitting layer in the pixel can be made uniform, further improving the display quality. Can be increased.
以下、平坦有機層が上記の各層である場合について分けて説明する。 Hereinafter, the case where the flat organic layer is each of the above layers will be described separately.
(発光層)
平坦有機層が発光層である場合、発光層を構成する有機材料としては、例えば、色素系材料、金属錯体系材料、高分子系材料等の発光材料を挙げることができる。
(Light emitting layer)
When the flat organic layer is a light emitting layer, examples of the organic material constituting the light emitting layer include light emitting materials such as a dye material, a metal complex material, and a polymer material.
色素系材料としては、例えば、シクロペンタジエン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体、トリフェニルアミン誘導体、アリールアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルピラジン誘導体、ジスチリルアリレーン誘導体、シロール誘導体、カルバゾール誘導体、アントラセン誘導体、ジナフチルアントラセン誘導体、フェニルアントラセン誘導体、チオフェン環化合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、トリフマニルアミン誘導体、クマリン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマー、フェナントロリン類などを挙げることができる。また、これらにフルオレン基やスピロ基を導入した化合物も用いることができる。
具体的に、トリフェニルアミン誘導体としては、N,N´−ビス−(3−メチルフェニル)−N,N´−ビス−(フェニル)−ベンジジン(TPD)、4,4,4−トリス(3−メチルフェニルフェニルアミノ)トリフェニルアミン(MTDATA)等が挙げられる。アリールアミン誘導体としては、ビス(N−(1−ナフチル−N−フェニル)ベンジジン)(α−NPD)等が挙げられる。オキサジアゾール誘導体としては、(2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール)(PBD)等が挙げられる。ジナフチルアントラセン誘導体としては、9,10−ジ−2−ナフチルアントラセン(DNA)等が挙げられる。カルバゾール誘導体としては、4,4−N,N´−ジカルバゾール−ビフェニル(CBP)、1,4−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ベンゼン(DPVBi)等が挙げられる。フェナントロリン類としては、バソキュプロイン、バソフェナントロリン等が挙げられる。これらの材料は単独で用いてもよく2種以上を併用してもよい。
Examples of dye-based materials include cyclopentadiene derivatives, tetraphenylbutadiene derivatives, triphenylamine derivatives, arylamine derivatives, oxadiazole derivatives, pyrazoloquinoline derivatives, distyrylbenzene derivatives, distyrylpyrazine derivatives, distyrylarylene. Derivatives, silole derivatives, carbazole derivatives, anthracene derivatives, dinaphthylanthracene derivatives, phenylanthracene derivatives, thiophene ring compounds, pyridine ring compounds, perinone derivatives, perylene derivatives, oligothiophene derivatives, trifumanylamine derivatives, coumarin derivatives, oxadiazole dimers , Pyrazoline dimer, phenanthroline and the like. Moreover, the compound which introduce | transduced the fluorene group and the spiro group into these can also be used.
Specifically, as the triphenylamine derivative, N, N′-bis- (3-methylphenyl) -N, N′-bis- (phenyl) -benzidine (TPD), 4,4,4-tris (3 -Methylphenylphenylamino) triphenylamine (MTDATA) and the like. Examples of the arylamine derivative include bis (N- (1-naphthyl-N-phenyl) benzidine) (α-NPD). Examples of the oxadiazole derivative include (2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole) (PBD). Examples of the dinaphthylanthracene derivative include 9,10-di-2-naphthylanthracene (DNA). Examples of the carbazole derivative include 4,4-N, N′-dicarbazole-biphenyl (CBP), 1,4-bis (2,2-diphenylvinyl) benzene (DPVBi), and the like. Examples of phenanthrolines include bathocuproin and bathophenanthroline. These materials may be used alone or in combination of two or more.
金属錯体系材料としては、例えば、中心金属に、Al、Zn、Be、Ir、Pt等、またはTb、Eu、Dy等の希土類金属を有し、配位子にオキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造等を有する金属錯体を挙げることができる。この金属錯体としては、アルミニウムキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾール亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロピウム錯体、イリジウム金属錯体、プラチナ金属錯体等が挙げられる。
具体的には、トリス(8−キノリノール)アルミニウム錯体(Alq3)、ビス(2−メチル−8−キノリラト)(p−フェニルフェノラート)アルミニウム錯体(BAlq)、トリ(ジベンゾイルメチル)フェナントロリンユーロピウム錯体、ビス(ベンゾキノリノラト)ベリリウム錯体(Bebq)等を挙げることができる。これらの材料は単独で用いてもよく2種以上を併用してもよい。
Examples of the metal complex-based material include Al, Zn, Be, Ir, Pt, etc. as a central metal, or rare earth metals such as Tb, Eu, Dy, etc., and oxadiazole, thiadiazole, phenylpyridine as a ligand. , Phenylbenzimidazole, metal complexes having a quinoline structure, and the like. Examples of the metal complex include an aluminum quinolinol complex, a benzoquinolinol beryllium complex, a benzoxazole zinc complex, a benzothiazole zinc complex, an azomethylzinc complex, a porphyrin zinc complex, a europium complex, an iridium metal complex, and a platinum metal complex.
Specifically, tris (8-quinolinol) aluminum complex (Alq 3 ), bis (2-methyl-8-quinolinato) (p-phenylphenolate) aluminum complex (BAlq), tri (dibenzoylmethyl) phenanthroline europium complex And bis (benzoquinolinolato) beryllium complex (Bebq). These materials may be used alone or in combination of two or more.
高分子系材料としては、例えば、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリフルオレノン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリキノキサリン誘導体、ポリジアルキルフルオレン誘導体、およびそれらの共重合体等を挙げることができる。また、上記色素系発光材料および金属錯体系発光材料を高分子化したものも挙げられる。 Examples of the polymer material include polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, polyparaphenylene derivatives, polysilane derivatives, polyacetylene derivatives, polyvinylcarbazole, polyfluorenone derivatives, polyfluorene derivatives, polyquinoxaline derivatives, polydialkylfluorene derivatives, and Examples thereof include copolymers thereof. Moreover, what polymerized the said pigment-type luminescent material and metal complex type | system | group luminescent material is also mentioned.
また、発光層中には、発光効率の向上、発光波長を変化させる等の目的で、蛍光発光または燐光発光するドーパントが添加されていてもよい。このようなドーパントとしては、例えば、ペリレン誘導体、クマリン誘導体、ルブレン誘導体、キナクリドン誘導体、スクアリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、スチリル色素、テトラセン誘導体、ピラゾリン誘導体、デカシクレン、フェノキサゾン、キノキサリン誘導体、カルバゾール誘導体、フルオレン誘導体等を挙げることができる。具体的には、1−tert−ブチル−ペリレン(TBP)、クマリン6、ナイルレッド、1,4−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ベンゼン(DPVBi)、1,1,4,4−テトラフェニル−1,3−ブタジエン(TPB)等を挙げることができる。
Further, a dopant that emits fluorescence or phosphorescence may be added to the light emitting layer for the purpose of improving the light emission efficiency and changing the light emission wavelength. Examples of such dopants include perylene derivatives, coumarin derivatives, rubrene derivatives, quinacridone derivatives, squalium derivatives, porphyrin derivatives, styryl dyes, tetracene derivatives, pyrazoline derivatives, decacyclene, phenoxazone, quinoxaline derivatives, carbazole derivatives, fluorene derivatives, and the like. Can be mentioned. Specifically, 1-tert-butyl-perylene (TBP),
さらに、燐光系のドーパントとして、白金やイリジウムなどの重金属イオンを中心に有し、燐光を示す有機金属錯体を使用することができる。具体的には、Ir(ppy)3、(ppy)2Ir(acac)、Ir(BQ)3、(BQ)2Ir(acac)、Ir(THP)3、(THP)2Ir(acac)、Ir(BO)3、(BO)2(acac)、Ir(BT)3、(BT)2Ir(acac)、Ir(BTP)3、(BTP)2Ir(acac)、FIr6、PtOEP等を用いることができる。 Furthermore, as a phosphorescent dopant, an organometallic complex that has a heavy metal ion such as platinum or iridium at the center and exhibits phosphorescence can be used. Specifically, Ir (ppy) 3 , (ppy) 2 Ir (acac), Ir (BQ) 3 , (BQ) 2 Ir (acac), Ir (THP) 3 , (THP) 2 Ir (acac), Ir (BO) 3 , (BO) 2 (acac), Ir (BT) 3 , (BT) 2 Ir (acac), Ir (BTP) 3 , (BTP) 2 Ir (acac), FIr6, PtOEP, etc. are used. be able to.
ここで、発光層は、電子と正孔との再結合の場を提供して発光する機能を有するものである。発光層としては、青色、緑色、黄色、橙色、赤色等の単色発光するものであってもよく、複数色の混色により白色発光するものであってもよく、三原色の発光パターンが配列されたものであってもよい。白色発光は、複数の発光体からの発光の重ねあわせにより得ることができる。白色発光する発光層は、例えば、所定のピーク波長を有する2種類の発光体の2色発光の重ねあわせにより白色発光を得るものであってもよく、所定のピーク波長を有する3種類の発光体の3色発光の重ねあわせにより白色発光を得るものであってもよい。 Here, the light emitting layer has a function of emitting light by providing a recombination field between electrons and holes. The light emitting layer may emit blue light, green light, yellow light, orange light, red light, or other single color light, or may emit white light due to a mixture of multiple colors. It may be. White light emission can be obtained by superimposing light emission from a plurality of light emitters. The light emitting layer that emits white light may be, for example, one that obtains white light emission by superimposing two-color light emission of two kinds of light emitters having a predetermined peak wavelength, and three kinds of light emitters having a predetermined peak wavelength. It is also possible to obtain white light emission by superimposing these three colors.
(正孔輸送層)
平坦有機層が正孔輸送層である場合、正孔輸送層を構成する有機材料としては、陽極から注入された正孔を安定に発光層内へ輸送することができる正孔輸送性材料であれば特に限定されるものではない。中でも、正孔輸送性材料は、正孔移動度が高いものであることが好ましい。さらに、正孔輸送性材料は、陰極から移動してきた電子の突き抜けを防止することが可能なものであることが好ましい。これにより、発光層内での正孔および電子の再結合効率を高めることができるからである。
(Hole transport layer)
When the flat organic layer is a hole transport layer, the organic material constituting the hole transport layer may be a hole transport material that can stably transport holes injected from the anode into the light emitting layer. There is no particular limitation. Among these, the hole transporting material preferably has a high hole mobility. Furthermore, the hole transporting material is preferably a material that can prevent penetration of electrons that have moved from the cathode. This is because the recombination efficiency of holes and electrons in the light emitting layer can be increased.
このような正孔輸送性材料としては、例えば、アリールアミン誘導体、アントラセン誘導体、カルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フルオレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、スピロ化合物等を挙げることができる。アリールアミン誘導体の具体的としては、ビス(N−(1−ナフチル−N−フェニル)−ベンジジン(α−NPD)、N,N´−ビス−(3−メチルフェニル)−N,N´−ビス−(フェニル)−ベンジジン(TPD)、4,4,4−トリス(3−メチルフェニルフェニルアミノ)トリフェニルアミン(MTDATA)、コポリ[3,3´−ヒドロキシ−テトラフェニルベンジジン/ジエチレングリコール]カーボネート(PC−TPD−DEG)等を挙げることができる。アントラセン誘導体の具体例としては、9,10−ジ−2−ナフチルアントラセン(DNA)、ポリ[(9,9−ジオクチルフルオレニル−2,7−ジイル)−co−(9,10−アントラセン)]等を挙げることができる。カルバゾール誘導体の具体例としては、4,4−N,N´−ジカルバゾール−ビフェニル(CBP)、ポリビニルカルバゾール(PVK)等を挙げることができる。チオフェン誘導体の具体例としては、ポリ[(9,9−ジオクチルフルオレニル−2,7−ジイル)−co−(ビチオフェン)]等を挙げることができる。フルオレン誘導体の具体例としては、ポリ[(9,9−ジオクチルフルオレニル−2,7−ジイル)−co−(4,4'−(N−(4−sec−ブチルフェニル))ジフェニルアミン)](TFB)等を挙げることができる。ジスチリルベンゼン誘導体の具体例としては、1,4−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ベンゼン(DPVBi)等を挙げることができる。スピロ化合物の具体例としては、ポリ[(9,9−ジオクチルフルオレニル−2,7−ジイル)−alt−co−(9,9´−スピロ−ビフルオレン−2,7−ジイル)]等を挙げることができる。これらの材料は単独で用いてもよく2種以上を併用してもよい。 Examples of such hole transporting materials include arylamine derivatives, anthracene derivatives, carbazole derivatives, thiophene derivatives, fluorene derivatives, distyrylbenzene derivatives, and spiro compounds. Specific examples of the arylamine derivative include bis (N- (1-naphthyl-N-phenyl) -benzidine (α-NPD), N, N′-bis- (3-methylphenyl) -N, N′-bis. -(Phenyl) -benzidine (TPD), 4,4,4-tris (3-methylphenylphenylamino) triphenylamine (MTDATA), copoly [3,3'-hydroxy-tetraphenylbenzidine / diethylene glycol] carbonate (PC -TPD-DEG), etc. Specific examples of anthracene derivatives include 9,10-di-2-naphthylanthracene (DNA), poly [(9,9-dioctylfluorenyl-2,7- Diyl) -co- (9,10-anthracene)], etc. Specific examples of the carbazole derivative include 4, -N, N'-dicarbazole-biphenyl (CBP), polyvinylcarbazole (PVK), etc. Specific examples of thiophene derivatives include poly [(9,9-dioctylfluorenyl-2,7- Diyl) -co- (bithiophene)] etc. Specific examples of the fluorene derivative include poly [(9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl) -co- (4,4 ′). -(N- (4-sec-butylphenyl)) diphenylamine)] (TFB), etc. Specific examples of the distyrylbenzene derivative include 1,4-bis (2,2-diphenylvinyl) benzene. (DPVBi) etc. Specific examples of the spiro compound include poly [(9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl) -al. t-co- (9,9'-spiro-bifluorene-2,7-diyl)], etc. These materials may be used alone or in combination of two or more.
(正孔注入層)
平坦有機層が正孔注入層である場合、正孔注入層を構成する有機材料としては、発光層内への正孔の注入を安定化させることができる正孔注入性材料であれば特に限定されるものではない。このような正孔注入性材料としては、例えば、アリールアミン誘導体、ポルフィリン誘導体、カルバゾール誘導体、さらにはポリアニリン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリフェニレンビニレン誘導体等の導電性高分子などを挙げることができる。具体的には、アリールアミン誘導体としては、ビス(N−(1−ナフチル−N−フェニル)ベンジジン(α−NPD)、N,N´−ビス−(3−メチルフェニル)−N,N´−ビス−(フェニル)−ベンジジン(TPD)、コポリ[3,3´−ヒドロキシ−テトラフェニルベンジジン/ジエチレングリコール]カーボネート(PC−TPD−DEG)、4,4,4−トリス(3−メチルフェニルフェニルアミノ)トリフェニルアミン(MTDATA)等が挙げられる。カルバゾール誘導体としては、ポリビニルカルバゾール(PVK)等が挙げられ、ポリチオフェン誘導体としてはポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)−ポリスチレンスルホン酸(PEDOT−PSS)等が挙げられる。
(Hole injection layer)
When the flat organic layer is a hole injection layer, the organic material constituting the hole injection layer is particularly limited as long as it is a hole injection material that can stabilize injection of holes into the light emitting layer. Is not to be done. Examples of such hole injecting materials include arylamine derivatives, porphyrin derivatives, carbazole derivatives, and conductive polymers such as polyaniline derivatives, polythiophene derivatives, and polyphenylene vinylene derivatives. Specifically, as the arylamine derivative, bis (N- (1-naphthyl-N-phenyl) benzidine (α-NPD), N, N′-bis- (3-methylphenyl) -N, N′- Bis- (phenyl) -benzidine (TPD), copoly [3,3′-hydroxy-tetraphenylbenzidine / diethylene glycol] carbonate (PC-TPD-DEG), 4,4,4-tris (3-methylphenylphenylamino) Triphenylamine (MTDATA), etc. Examples of the carbazole derivative include polyvinyl carbazole (PVK), and examples of the polythiophene derivative include poly (3,4-ethylenedioxythiophene) -polystyrene sulfonic acid (PEDOT-PSS). Etc.
上記のポルフィリン誘導体およびアリールアミン誘導体等は、ルイス酸や四フッ化テトラシアノキノジメタン(F4−TCNQ)、塩化鉄、バナジウムやモリブデンなど無機の酸化物などが混合されていてもよい。 The above porphyrin derivatives and arylamine derivatives may be mixed with inorganic acids such as Lewis acid, tetracyanoquinodimethane (F4-TCNQ), iron chloride, vanadium and molybdenum.
(電子輸送層)
平坦有機層が電子輸送層である場合、電子輸送層を構成する有機材料としては、陰極から注入された電子を安定に発光層内へ輸送することができる電子輸送性材料であれば特に限定されるものではない。中でも、電子輸送性材料は、電子移動度が高いものであることが好ましい。さらに、電子輸送性材料は、正極から移動してきた正孔の突き抜けを防止することが可能なものであることが好ましい。これにより、発光層内での正孔および電子の再結合効率を高めることができるからである。
このような電子輸送性材料としては、例えば、オキサジアゾール類、トリアゾール類、フェナントロリン類、シロール誘導体、シクロペンタジエン誘導体、アルミニウム錯体等を挙げることができる。具体的には、オキサジアゾール誘導体としては(2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール)(PBD)等が挙げられ、フェナントロリン類としてはバソキュプロイン、バソフェナントロリン等が挙げられ、アルミニウム錯体としてはトリス(8−キノリノール)アルミニウム錯体(Alq3)、ビス(2−メチル−8−キノリラト)(p−フェニルフェノラート)アルミニウム錯体(BAlq)等が挙げられる。
(Electron transport layer)
When the flat organic layer is an electron transport layer, the organic material constituting the electron transport layer is not particularly limited as long as it is an electron transport material that can stably transport electrons injected from the cathode into the light emitting layer. It is not something. Especially, it is preferable that an electron transport material has a high electron mobility. Furthermore, it is preferable that the electron transporting material can prevent penetration of holes that have moved from the positive electrode. This is because the recombination efficiency of holes and electrons in the light emitting layer can be increased.
Examples of such an electron transporting material include oxadiazoles, triazoles, phenanthrolines, silole derivatives, cyclopentadiene derivatives, aluminum complexes, and the like. Specific examples of the oxadiazole derivative include (2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole) (PBD) and the like, and phenanthroline. Examples thereof include bathocuproin, bathophenanthroline and the like, and aluminum complexes include tris (8-quinolinol) aluminum complex (Alq 3 ), bis (2-methyl-8-quinolinato) (p-phenylphenolate) aluminum complex (BAlq ) And the like.
なお、平坦有機層の形成方法については、後述の「B.有機EL素子の製造方法」に詳しく記載するので、ここでの説明は省略する。 In addition, since the formation method of a flat organic layer is described in detail in "B. Manufacturing method of organic EL element" mentioned later, description here is abbreviate | omitted.
(ii)その他の層
有機EL層は、上述したように、平坦有機層の他に、他の有機層を有していてもよい。他の有機層としては、平坦有機層の機能に応じて、適宜選択される。例えば図1に示すように、有機EL層8を、他の有機層(正孔注入層6)と平坦有機層(発光層7)とが積層されたもの等とすることができる。
(Ii) Other layers As described above, the organic EL layer may have other organic layers in addition to the flat organic layer. The other organic layer is appropriately selected according to the function of the flat organic layer. For example, as shown in FIG. 1, the organic EL layer 8 may be formed by stacking another organic layer (hole injection layer 6) and a flat organic layer (light emitting layer 7).
具体的には、平坦有機層が発光層である場合には、他の有機層としては正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層等を挙げることができる。また、平坦有機層が発光層および正孔輸送層である場合には、他の有機層としては正孔注入層、電子輸送層等を挙げることができる。 Specifically, when the flat organic layer is a light emitting layer, examples of the other organic layer include a hole injection layer, a hole transport layer, and an electron transport layer. When the flat organic layer is a light emitting layer and a hole transport layer, examples of other organic layers include a hole injection layer and an electron transport layer.
陽極および発光層の間、あるいは陽極および正孔輸送層の間には、正孔注入層が形成されていてもよい。正孔注入層の構成材料としては、発光層内への電子の注入を安定化させることができる材料であれば特に限定されるものではなく、上記平坦有機層が正孔注入層である場合の正孔注入層の構成材料を例示することができる。 A hole injection layer may be formed between the anode and the light emitting layer, or between the anode and the hole transport layer. The constituent material of the hole injection layer is not particularly limited as long as it is a material that can stabilize the injection of electrons into the light emitting layer, and when the flat organic layer is a hole injection layer. The constituent material of a positive hole injection layer can be illustrated.
また、正孔注入層には、金属酸化物、炭化物などの無機材料を用いることもできる。例えば、酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、酸化アルミニウムおよび酸化チタン等の金属酸化物;アモルファスカーボン、C60、カーボンナノチューブ等の炭化物が挙げられる。 In addition, an inorganic material such as a metal oxide or a carbide can be used for the hole injection layer. Examples thereof include metal oxides such as vanadium oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, aluminum oxide, and titanium oxide; and carbides such as amorphous carbon, C 60 , and carbon nanotubes.
さらに、正孔注入層には、電極との結合基をもつ材料を用いることもできる。電極との結合基をもつ材料としては、リン酸化合物、カルボン酸化合物、スルホン酸化合物、シランカップリング剤等を挙げることができる。具体的には、4−(トリフルオロメチル)ベンゼンスルホニルクロリド、4−クロロフェニルホスホロジクロリダート、9−フルオレニルメチルクロロホーメート等が挙げられる。 Furthermore, a material having a bonding group with an electrode can be used for the hole injection layer. Examples of the material having a bonding group with the electrode include a phosphoric acid compound, a carboxylic acid compound, a sulfonic acid compound, and a silane coupling agent. Specific examples include 4- (trifluoromethyl) benzenesulfonyl chloride, 4-chlorophenyl phosphorodichloridate, 9-fluorenylmethyl chloroformate and the like.
正孔注入層の厚みとしては、正孔注入機能が十分に発揮される厚みであれば特に限定されるものではない。また、正孔注入層の形成方法としては、例えばスピンコート法、インクジェット法等の湿式法や、真空蒸着法等の乾式法を用いることができる。 The thickness of the hole injection layer is not particularly limited as long as the hole injection function is sufficiently exerted. Moreover, as a formation method of a positive hole injection layer, wet methods, such as a spin coat method and an inkjet method, and dry methods, such as a vacuum evaporation method, can be used, for example.
また、発光層および陰極の間、あるいは発光層および電子注入層の間には、電子輸送層が形成されていてもよい。電子輸送層の構成材料としては、陰極から注入された電子を発光層内へ輸送することが可能な材料であれば特に限定されるものではなく、上記平坦有機層が電子輸送層である場合の電子輸送層の構成材料を例示することができる。 In addition, an electron transport layer may be formed between the light emitting layer and the cathode, or between the light emitting layer and the electron injection layer. The constituent material of the electron transport layer is not particularly limited as long as it is a material capable of transporting electrons injected from the cathode into the light emitting layer, and the case where the flat organic layer is an electron transport layer. The constituent material of an electron carrying layer can be illustrated.
電子輸送層の厚みとしては、電子輸送機能が十分に発揮される厚みであれば特に限定されるものではない。また、電子輸送層の形成方法としては、例えばスピンコート法、インクジェット法等の湿式法や、真空蒸着法等の乾式法を用いることができる。 The thickness of the electron transport layer is not particularly limited as long as the electron transport function is sufficiently exerted. Moreover, as a formation method of an electron carrying layer, wet methods, such as a spin coat method and an inkjet method, and dry methods, such as a vacuum evaporation method, can be used, for example.
さらに、発光層および陰極の間、あるいは電子輸送層および陰極の間には、電子注入層が形成されていてもよい。電子注入層の構成材料は、発光層内への電子の注入を安定化させることができる材料であれば特に限定されるものではなく、例えば、ストロンチウム、カルシウム、リチウム、セシウム等のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の金属単体;酸化マグネシウム、酸化ストロンチウム、酸化リチウム等のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の酸化物;フッ化リチウム、フッ化マグネシウム、フッ化ストロンチウム、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、フッ化セシウム等のアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物;ポリメチルメタクリレートポリスチレンスルホン酸ナトリウム等のアルカリ金属の有機錯体などを挙げることができる。 Further, an electron injection layer may be formed between the light emitting layer and the cathode or between the electron transport layer and the cathode. The constituent material of the electron injection layer is not particularly limited as long as it can stabilize the injection of electrons into the light emitting layer. For example, alkali metal such as strontium, calcium, lithium, cesium or alkali Earth metal simple substance; Alkali metal or alkaline earth metal oxide such as magnesium oxide, strontium oxide, lithium oxide; lithium fluoride, magnesium fluoride, strontium fluoride, calcium fluoride, barium fluoride, fluoride Fluorides of alkali metals or alkaline earth metals such as cesium; organic complexes of alkali metals such as sodium polymethyl methacrylate polystyrene sulfonate.
電子注入層の厚みとしては、電子注入機能が十分に発揮される厚みであれば特に限定されるものではない。また、電子注入層の形成方法としては、真空蒸着法等の乾式法を用いることができる。 The thickness of the electron injection layer is not particularly limited as long as the electron injection function is sufficiently exerted. As a method for forming the electron injection layer, a dry method such as a vacuum evaporation method can be used.
(2)画素
本態様における画素は、隔壁で画定されるものである。
(2) Pixel The pixel in this embodiment is defined by a partition wall.
画素の形状としては、一般的な画素の形状と同様とすることができ、例えば、円形、正方形等の点対称の形状や、長方形、トラック形、楕円形等の点対称ではないが線対称の形状を挙げることができる。画素の形状が正方形や長方形である場合、有機層を形成するための有機層形成用塗工液には表面張力があるため、図3(b)に例示するように正方形や長方形の角部は丸みを帯びているほうが好ましい。 The shape of the pixel can be the same as the shape of a general pixel, for example, a point-symmetric shape such as a circle or a square, or a point-symmetric shape such as a rectangle, a track shape, or an ellipse, but a line-symmetric shape. The shape can be mentioned. When the shape of the pixel is a square or a rectangle, since the organic layer forming coating liquid for forming the organic layer has a surface tension, as illustrated in FIG. It is preferable to be rounded.
また、画素の配列としては、モザイク配列、デルタ配列、ストライプ配列等とすることができる。さらに、画素のピッチは、X方向にて等間隔、Y方向にて等間隔であることが好ましく、中でもX方向およびY方向いずれも等間隔であることが好ましい。平坦有機層を形成する際に、すべての画素において、塗布された有機層形成用塗工液を均一に乾燥させることができるからである。 Further, the pixel arrangement may be a mosaic arrangement, a delta arrangement, a stripe arrangement, or the like. Furthermore, the pitch of the pixels is preferably equal in the X direction and equal in the Y direction. In particular, both the X and Y directions are preferably equal. This is because, when the flat organic layer is formed, the applied organic layer forming coating solution can be uniformly dried in all pixels.
画素の大きさとしては、特に限定されるものではなく、画素の形状に応じて適宜選択される。例えば、画素の形状が円形であれば直径が1μm〜200μm程度であることが好ましい。 The size of the pixel is not particularly limited, and is appropriately selected according to the shape of the pixel. For example, if the pixel has a circular shape, the diameter is preferably about 1 μm to 200 μm.
(3)隔壁
本態様における隔壁は、基板上の第一電極層間に形成され、隔壁の少なくとも一部分が第一電極層に接するように形成されるものである。隔壁が形成されていることにより、有機層を形成するための有機層形成用塗工液を吐出する際に、この有機層形成用塗工液を精度良く所定の領域に塗布することができる。
(3) Partition Wall The partition wall in this embodiment is formed between the first electrode layers on the substrate, and is formed so that at least a part of the partition wall is in contact with the first electrode layer. Since the partition walls are formed, when the organic layer forming coating solution for forming the organic layer is discharged, the organic layer forming coating solution can be applied to a predetermined region with high accuracy.
隔壁は、表面の少なくとも一部が撥液性を有することが好ましく、中でも、平坦有機層に接する部分および上面が撥液性を有することが好ましい。隔壁の平坦有機層に接する部分が撥液性であることにより、所定の断面形状を有する平坦有機層とすることができる。また、隔壁の上面が撥液性であれば、吐出法によって発光層をパターニングする際に、発光層形成用塗工液が隣接する画素に濡れ広がるのを効果的に防ぐことができる。
なお、隔壁の上面とは、隔壁の第二電極層側の面をいう。
It is preferable that at least a part of the surface of the partition wall has liquid repellency. In particular, it is preferable that the portion in contact with the flat organic layer and the upper surface have liquid repellency. Since the portion of the partition that is in contact with the flat organic layer is liquid repellent, a flat organic layer having a predetermined cross-sectional shape can be obtained. Further, if the upper surface of the partition wall is liquid repellent, it is possible to effectively prevent the light emitting layer forming coating liquid from spreading to adjacent pixels when the light emitting layer is patterned by the discharge method.
Note that the upper surface of the partition wall refers to the surface of the partition wall on the second electrode layer side.
隔壁の平坦有機層に接する部分および上面が撥液性を有していれば、図7(a)に例示するように、隔壁5は、基板2側から、親液性を有する親液性隔壁5aと、撥液性を有する撥液性隔壁5bとが積層されたものであってもよい。
If the part and upper surface which contact the flat organic layer of a partition have lyophobic property, as illustrated in FIG. 7A, the
特に、隔壁の全表面が撥液性を有することが好ましい。
なお、「隔壁の全表面が撥液性を有する」とは、隔壁の側面および上面のいずれもが撥液性を有することをいう。
In particular, it is preferable that the entire surface of the partition wall has liquid repellency.
“The entire surface of the partition wall has liquid repellency” means that both the side surface and the upper surface of the partition wall have liquid repellency.
従来、図5に示すような断面形状の有機層を形成するには、隔壁は少なくとも側面、すなわち有機層と接する部分が親液性を有する必要があった。隔壁をこのような構成とする場合、例えば、親液性を有する隔壁と撥液性を有する隔壁とを積層したり、隔壁の側面を親液性とし、上面を撥液性としたりしていた。
これに対して、本発明においては、後述の「B.有機EL素子の製造方法」に記載するように、所定の表面張力の溶媒を含む平坦有機層形成用塗工液を塗布し、蒸発速度が所定の値以上となるように乾燥させることで、平坦部を有し、断面形状が所定の形状である平坦有機層を形成することができる。したがって、隔壁が親液性を有する必要はなく、親液性を有する隔壁と撥液性を有する隔壁とを積層したり、隔壁の側面を親液性とし、上面を撥液性としたりする必要もなく、有機EL素子の製造工程を簡略化することができる。
Conventionally, in order to form an organic layer having a cross-sectional shape as shown in FIG. 5, at least a side surface of the partition wall, that is, a portion in contact with the organic layer has to be lyophilic. When the partition wall has such a configuration, for example, a partition wall having lyophilicity and a partition wall having liquid repellency are laminated, or a side surface of the partition wall is made lyophilic and an upper surface is made liquid repellant. .
On the other hand, in the present invention, as described later in “B. Manufacturing method of organic EL element”, a coating solution for forming a flat organic layer containing a solvent having a predetermined surface tension is applied, and the evaporation rate is applied. By drying so that becomes a predetermined value or more, a flat organic layer having a flat portion and having a predetermined cross-sectional shape can be formed. Therefore, it is not necessary that the partition walls have lyophilicity, and it is necessary to laminate the partition walls having lyophilicity and the partition walls having liquid repellency, or to make the side surfaces of the partition walls lyophilic and to make the upper surface lyophobic. In addition, the manufacturing process of the organic EL element can be simplified.
隔壁の撥液性としては、隔壁表面の水に対する接触角が70°以上であることが好ましく、より好ましくは75°以上、さらに好ましくは80°以上である。隔壁表面の水に対する接触角が上記範囲であれば、所定の断面形状を有する平坦有機層とすることができる。 As the liquid repellency of the partition wall, the contact angle of the partition wall surface with water is preferably 70 ° or more, more preferably 75 ° or more, and further preferably 80 ° or more. If the contact angle with respect to the water of the partition wall surface is the said range, it can be set as the flat organic layer which has a predetermined | prescribed cross-sectional shape.
また、発光層等を形成するための有機層形成用塗工液には、通常、有機溶媒が用いられる。隔壁は、有機溶媒に対しても高い接触角を有することが好ましい。具体的には、表面張力29mN/m(常温)の液体に対する接触角が40°以上であることが好ましく、より好ましくは45°以上、さらに好ましくは50°以上である。 Moreover, an organic solvent is usually used for the coating liquid for forming an organic layer for forming a light emitting layer or the like. The partition walls preferably have a high contact angle with respect to the organic solvent. Specifically, the contact angle with respect to a liquid having a surface tension of 29 mN / m (normal temperature) is preferably 40 ° or more, more preferably 45 ° or more, and further preferably 50 ° or more.
一方、隔壁が親液性隔壁と撥液性隔壁とからなる場合、親液性隔壁の親液性としては、親液性隔壁表面の水に対する接触角が20°以下であることが好ましく、より好ましくは10°以下、さらに好ましくは5°以下である。また、表面張力29mN/m(常温)の液体に対する接触角が20°以下であることが好ましく、より好ましくは10°以下、さらに好ましくは5°以下である。 On the other hand, when the partition wall comprises a lyophilic partition wall and a lyophobic partition wall, the lyophilic property of the lyophilic partition wall is preferably such that the contact angle of the surface of the lyophilic partition wall with water is 20 ° or less. Preferably it is 10 degrees or less, More preferably, it is 5 degrees or less. Further, the contact angle with respect to a liquid having a surface tension of 29 mN / m (normal temperature) is preferably 20 ° or less, more preferably 10 ° or less, and further preferably 5 ° or less.
なお、液体との接触角は、温度23℃で、液体との接触角を接触角測定器(協和界面科学(株)製CA−Z型)を用いて測定(マイクロシリンジから水滴1μlを滴下して30秒後)し、その結果から得たものである。 The contact angle with the liquid was measured at a temperature of 23 ° C., and the contact angle with the liquid was measured using a contact angle measuring device (CA-Z type manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.). 30 seconds later) and obtained from the result.
本発明において、隔壁に上述したような撥液性を付与する方法としては、撥液性材料を用いて隔壁を形成する方法と、隔壁形成後に隔壁表面を撥液化処理する方法とが挙げられる。中でも、撥液性材料を用いることが好ましい。有機EL素子の製造工程を簡略化することができるからである。 In the present invention, examples of a method for imparting the above-described liquid repellency to the partition include a method of forming the partition using a liquid repellent material and a method of lyophobic the partition surface after forming the partition. Among these, it is preferable to use a liquid repellent material. This is because the manufacturing process of the organic EL element can be simplified.
撥液性材料を用いて隔壁を形成する場合、この撥液性材料としては、例えば、樹脂材料自体が撥液性を有する樹脂材料、撥液剤が添加された樹脂材料を挙げることができる。 When the partition wall is formed using a liquid repellent material, examples of the liquid repellent material include a resin material having a liquid repellent property and a resin material to which a liquid repellent is added.
樹脂材料自体が撥液性を有する樹脂材料としては、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等のフッ素系樹脂、シリコーン系樹脂などを挙げることができる。
この場合、樹脂材料自体が撥液性を有する樹脂材料のみを用いてもよく、樹脂材料自体が撥液性を有する樹脂材料に、他の汎用の材料を混合して用いてもよい。後者の場合、混合比率としては、上記の撥液性を満たすように適宜調整される。
Examples of the resin material in which the resin material itself has liquid repellency include fluorine resins such as polytetrafluoroethylene (PTFE), silicone resins, and the like.
In this case, the resin material itself may use only a resin material having liquid repellency, or another general-purpose material may be mixed with the resin material itself having liquid repellency. In the latter case, the mixing ratio is appropriately adjusted so as to satisfy the above liquid repellency.
また、撥液剤が添加された樹脂材料を用いる場合、撥液剤としては、有機EL層に対して悪影響を及ぼさないものであれば特に限定されるものではなく、例えば、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂、パーフルオロアルキル基含有アクリレートまたはメタクリレートを主成分とする共重合オリゴマー等を挙げることができる。中でも、パーフルオロアルキル基含有アクリレートまたはメタクリレートを主成分とする共重合オリゴマーを用いることが好ましい。また市販品としては、サーフロン(ランダム型オリゴマー;セイミケミカル社製)、アロンG(グラフト型オリゴマー;東亜合成化学社製)、モディバーF(ブロック型オリゴマー;日本油脂社製)等を挙げることができる。 Further, when using a resin material to which a liquid repellent is added, the liquid repellent is not particularly limited as long as it does not adversely affect the organic EL layer. For example, a fluorine resin, a silicone resin And a copolymer oligomer having a perfluoroalkyl group-containing acrylate or methacrylate as a main component. Among them, it is preferable to use a copolymer oligomer mainly composed of a perfluoroalkyl group-containing acrylate or methacrylate. Moreover, as a commercial item, surflon (random type oligomer; made by Seimi Chemical Co., Ltd.), Aron G (graft type oligomer; made by Toa Gosei Chemical Co., Ltd.), Modiva F (block type oligomer; made by Nippon Oil & Fats Co., Ltd.) and the like can be mentioned. .
このような撥液剤の樹脂材料に対する添加量としては、撥液剤の種類および樹脂の種類によっても異なるものであるが、樹脂材料100重量部に対して、1重量部〜20重量部程度とすることが好ましく、より好ましくは5重量部〜10重量部の範囲内である。 The amount of the liquid repellent added to the resin material varies depending on the type of liquid repellent and the type of resin, but should be about 1 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the resin material. Is preferable, and more preferably within the range of 5 to 10 parts by weight.
撥液剤が添加された樹脂材料を用いる場合、この樹脂材料としては、一般的に隔壁に用いられるものを使用することができ、例えば、ノボラック系樹脂、ポリイミド、アクリレート等を挙げることができる。 In the case of using a resin material to which a liquid repellent is added, as this resin material, those generally used for partition walls can be used, and examples thereof include novolak resins, polyimides, and acrylates.
樹脂材料自体が撥液性を有する樹脂材料を用いる場合であっても、必要に応じてさらに上記の撥液剤を添加してもよい。 Even when the resin material itself uses a resin material having liquid repellency, the above-described liquid repellent may be further added as necessary.
また、隔壁形成後に隔壁表面を撥液化処理する場合、隔壁の構成材料としては、撥液化処理が可能なものであれば特に限定されるものではなく、一般的に隔壁に用いられるものを使用することができ、例えば、ノボラック系樹脂、ポリイミド等を挙げることができる。 In addition, when the partition wall surface is subjected to a liquid repellency treatment after the partition wall formation, the constituent material of the partition wall is not particularly limited as long as the liquid repellent treatment is possible, and those generally used for the partition wall are used. Examples thereof include novolac resins and polyimide.
隔壁の撥液化処理方法としては、特に限定されるものではなく、例えば、シリコーン化合物や含フッ素化合物等の撥液処理剤を用いて表面処理する方法、フルオロカーボンガスのプラズマを用いて表面処理する方法(プラズマ処理)などが挙げられる。中でも、プラズマ処理が好ましい。プラズマ処理は、有機物を選択的に撥液化することができるからである。例えばITO膜等の第一電極層上に隔壁を形成されている場合、第一電極層は撥液化されずに、隔壁表面のみを撥液化することができる。したがって、基板全面にプラズマ処理を施すことにより、隔壁表面のみを撥液化することができる。 The method for repelling the partition walls is not particularly limited. For example, the surface treatment method using a liquid repellent treatment agent such as a silicone compound or a fluorine-containing compound, or the surface treatment method using a fluorocarbon gas plasma. (Plasma treatment). Among these, plasma treatment is preferable. This is because the plasma treatment can selectively repel organic substances. For example, when a partition is formed on a first electrode layer such as an ITO film, the first electrode layer can be made liquid-repellent without making the first electrode layer liquid-repellent. Therefore, by performing plasma treatment on the entire surface of the substrate, only the partition wall surface can be made liquid repellent.
プラズマ処理にて使用されるフルオロカーボンガスとしては、例えば、CF4、C2F6、C3F8、c−C4F8、CCl2F2、CClF3、C2Cl2F4、C2ClF5、CBrF3、CHF3、C2H3F3、CH3CHF2、NF3、SF6等を用いることでき、中でも、CF4ガスが好適に用いられる。 Examples of the fluorocarbon gas used in the plasma treatment include CF 4 , C 2 F 6 , C 3 F 8 , c-C 4 F 8 , CCl 2 F 2 , CClF 3 , C 2 Cl 2 F 4 , C 2 ClF 5 , CBrF 3 , CHF 3 , C 2 H 3 F 3 , CH 3 CHF 2 , NF 3 , SF 6 and the like can be used, and among them, CF 4 gas is preferably used.
また、フルオロカーボンガスのプラズマを用いた表面処理に際して、あらかじめ酸素ガスのプラズマを用いた表面処理を施してもよい。このように酸素ガスのプラズマを用いた表面処理を施して第一電極層表面を親液化しておき、その後フルオロカーボンガスのプラズマを用いた表面処理を施して隔壁表面のみを撥液化することにより、第一電極層上に有機層形成用塗工液を塗布しやすくすることができるからである。 Further, in the surface treatment using the fluorocarbon gas plasma, the surface treatment using the oxygen gas plasma may be performed in advance. In this way, the surface treatment using oxygen gas plasma is performed to make the first electrode layer lyophilic, and then the surface treatment using fluorocarbon gas plasma is performed to make only the partition wall lyophobic, This is because the coating liquid for forming an organic layer can be easily applied on the first electrode layer.
隔壁が親液性隔壁と撥液性隔壁とからなる場合、親液性隔壁の構成材料としては、例えば、SiO2、TiO2などが挙げられる。 When the partition wall comprises a lyophilic partition wall and a liquid repellent partition wall, examples of the constituent material of the lyophilic partition wall include SiO 2 and TiO 2 .
隔壁の断面形状としては、特に限定されるものではないが、平坦有機層の断面形状を所定の形状とするために、順テーパー形状および矩形状であることが好ましい。 The cross-sectional shape of the partition wall is not particularly limited, but is preferably a forward tapered shape and a rectangular shape in order to make the cross-sectional shape of the flat organic layer a predetermined shape.
また、隔壁の厚みとしては、1μm〜5μm程度で設定され、好ましくは1μm〜2μmの範囲内である。 Further, the thickness of the partition wall is set to about 1 μm to 5 μm, and preferably within the range of 1 μm to 2 μm.
隔壁の形成位置としては、隔壁が、基板上の第一電極層間に、隔壁の少なくとも一部分が第一電極層に接するように形成されていれば特に限定されるものではない。例えば、図1や図7(a)においては、隔壁5は第一電極層4の端部を覆うように形成されている。
また、図7(b)に例示するように、隔壁5は第一電極層4上に形成されていてもよい。
The position of the partition is not particularly limited as long as the partition is formed between the first electrode layers on the substrate so that at least a part of the partition is in contact with the first electrode layer. For example, in FIG. 1 and FIG. 7A, the
Further, as illustrated in FIG. 7B, the
また、隔壁の形成方法としては、フォトリソグラフィー法等を挙げることができる。 In addition, examples of the method for forming the partition include a photolithography method.
(4)第一電極層および第二電極層
本態様における第一電極層は、基板上にパターン状に形成されるものである。また、本態様における第二電極層は、有機EL層上に形成されるものである。
(4) First electrode layer and second electrode layer The first electrode layer in this embodiment is formed on the substrate in a pattern. Moreover, the 2nd electrode layer in this aspect is formed on an organic EL layer.
第一電極層および第二電極層は、いずれが陽極であっても陰極であってもよい。本態様の有機EL素子を作製する際には、通常、第一電極層上に有機EL層を形成し、この有機EL層上に第二電極層を形成する。また、一般に有機EL素子を作製する際には、陽極側から積層する方が安定して有機EL素子を作製することができる。そのため、第一電極層が陽極、第二電極層が陰極であることが好ましい。 Any of the first electrode layer and the second electrode layer may be an anode or a cathode. When producing the organic EL element of this aspect, normally, an organic EL layer is formed on a 1st electrode layer, and a 2nd electrode layer is formed on this organic EL layer. In general, when an organic EL element is produced, the organic EL element can be produced more stably by laminating from the anode side. Therefore, it is preferable that the first electrode layer is an anode and the second electrode layer is a cathode.
第一電極層および第二電極層のうち、光の取出し面となる電極は透明である必要がある。一方、光の取出し面と反対側の電極は、透明であってもなくてもよい。 Of the first electrode layer and the second electrode layer, the electrode serving as the light extraction surface needs to be transparent. On the other hand, the electrode opposite to the light extraction surface may or may not be transparent.
また、第一電極層および第二電極層は抵抗が小さいことが好ましく、一般には導電性材料である金属材料が用いられるが、有機化合物または無機化合物を用いてもよい。 The first electrode layer and the second electrode layer preferably have a low resistance, and generally a metal material that is a conductive material is used, but an organic compound or an inorganic compound may be used.
陽極に用いられる材料としては、正孔が注入しやすいように仕事関数の大きい導電性材料を用いることが好ましい。例えば、Au、Ta、W、Pt、Ni、Pd、Cr、Cu、Mo、アルカリ金属、アルカリ土類金属等の金属;これらの金属の酸化物;AlLi、AlCa、AlMg等のAl合金、MgAg等のMg合金、Ni合金、Cr合金、アルカリ金属の合金、アルカリ土類金属の合金等の合金;酸化インジウム錫(ITO)、酸化インジウム亜鉛(IZO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化インジウム等の無機酸化物;金属ドープされたポリチオフェン、ポリアニリン、ポリアセチレン、ポリアルキルチオフェン誘導体、ポリシラン誘導体等の導電性高分子;α−Si、α−SiC;などが挙げられる。これらの導電性材料は、単独で用いても、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。2種類以上を用いる場合には、各材料からなる層を積層してもよい。 As a material used for the anode, a conductive material having a large work function is preferably used so that holes can be easily injected. For example, metals such as Au, Ta, W, Pt, Ni, Pd, Cr, Cu, Mo, alkali metals, alkaline earth metals; oxides of these metals; Al alloys such as AlLi, AlCa, AlMg, MgAg, etc. Mg alloys, Ni alloys, Cr alloys, alkali metal alloys, alkaline earth metal alloys, etc .; inorganic such as indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), indium oxide Examples include oxides; conductive polymers such as metal-doped polythiophene, polyaniline, polyacetylene, polyalkylthiophene derivatives, and polysilane derivatives; α-Si, α-SiC; and the like. These conductive materials may be used alone or in combination of two or more. When two or more types are used, layers made of each material may be stacked.
陰極に用いられる材料としては、電子が注入しやすいように仕事関数の小さい導電性材料を用いることが好ましい。例えば、MgAg等のマグネシウム合金、AlLi、AlCa、AlMg等のアルミニウム合金、Li、Cs、Ba、Sr、Ca等のアルカリ金属類およびアルカリ土類金属類の合金などが挙げられる。 As a material used for the cathode, a conductive material having a small work function is preferably used so that electrons can be easily injected. Examples thereof include magnesium alloys such as MgAg, aluminum alloys such as AlLi, AlCa, and AlMg, and alloys of alkali metals and alkaline earth metals such as Li, Cs, Ba, Sr, and Ca.
第一電極層および第二電極層の成膜方法としては、一般的な電極の形成方法を用いることができ、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、EB蒸着法、イオンプレーティング法等の物理的蒸着(PVD)法、あるいは、化学的蒸着(CVD)法などを挙げることができる。また、第一電極層および第二電極層のパターニング方法としては、所望のパターンに精度よく形成することができる方法であれば特に限定されるものではないが、具体的にはフォトリソグラフィー法等を挙げることができる。 As a method for forming the first electrode layer and the second electrode layer, a general electrode forming method can be used. For example, physical vapor deposition such as vacuum vapor deposition, sputtering, EB vapor deposition, and ion plating. (PVD) method, chemical vapor deposition (CVD) method, etc. can be mentioned. Further, the patterning method of the first electrode layer and the second electrode layer is not particularly limited as long as it can be accurately formed into a desired pattern. Specifically, a photolithography method or the like is used. Can be mentioned.
(5)基板
本態様に用いられる基板は、第一電極層、有機EL層および第二電極層を支持するものである。
第一電極層が所定の強度を有する場合には、第一電極層自体が支持体となり得るが、所定の強度を有する基板上に第一電極層が形成されていてもよい。
(5) Substrate The substrate used in this embodiment supports the first electrode layer, the organic EL layer, and the second electrode layer.
When the first electrode layer has a predetermined strength, the first electrode layer itself can be a support, but the first electrode layer may be formed on a substrate having a predetermined strength.
基板としては、特に限定されるものではないが、一般的には基板側を光の取出し面とすることが好ましいことから、透明であることが好ましい。このような基板としては、例えばソーダ石灰ガラス、アルカリガラス、鉛アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラス、シリカガラス等のガラス基板;フィルム状に成形が可能な樹脂基板;などを用いることができる。
樹脂基板に用いられる樹脂としては、耐溶剤性および耐熱性の比較的高いものであることが好ましい。具体的には、フッ素系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニル、ポリスチレン、ABS樹脂、ポリアミド、ポリアセタール、ポリエステル、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリスルホン、ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリフェニレンスルフィド、液晶性ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリミクロイキシレンジメチレンテレフタレート、ポリオキシメチレン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアクリレート、アクリロニトリル-スチレン樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン、シリコーン樹脂、非晶質ポリオレフィン等が挙げられる。また、これらの共重合体を用いることもできる。さらに必要に応じて、水分や酸素等のガスを遮断するガスバリア性を有する基板を用いてもよい。
Although it does not specifically limit as a board | substrate, In general, since it is preferable to make the board | substrate side into the light extraction surface, it is preferable that it is transparent. As such a substrate, for example, a glass substrate such as soda lime glass, alkali glass, lead alkali glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, or silica glass; a resin substrate that can be formed into a film can be used. .
The resin used for the resin substrate is preferably one having relatively high solvent resistance and heat resistance. Specifically, fluorine resin, polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride, polyvinyl fluoride, polystyrene, ABS resin, polyamide, polyacetal, polyester, polycarbonate, modified polyphenylene ether, polysulfone, polyarylate, polyetherimide, polyether mon Phon, Polyamideimide, Polyimide, Polyphenylene sulfide, Liquid crystalline polyester, Polyethylene terephthalate, Polybutylene terephthalate, Polyethylene naphthalate, Polymicroxylene dimethylene terephthalate, Polyoxymethylene, Polyethersulfone, Polyetheretherketone, Polyacrylate, Acrylonitrile -Styrene resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, unsaturated polyester resin, Poxy resin, polyurethane, silicone resin, amorphous polyolefin and the like can be mentioned. Moreover, these copolymers can also be used. Further, if necessary, a substrate having a gas barrier property that blocks gas such as moisture and oxygen may be used.
基板の厚みとしては、基板の構成材料および有機EL素子の用途により適宜選択される。具体的には、基板の厚みは、0.005mm〜5mm程度である。 The thickness of the substrate is appropriately selected depending on the constituent material of the substrate and the use of the organic EL element. Specifically, the thickness of the substrate is about 0.005 mm to 5 mm.
2.第二態様
本発明の有機EL素子の第二態様は、基板と、上記基板上にパターン状に形成された第一電極層と、上記基板上の上記第一電極層間に形成され、全表面に撥液性を有する隔壁と、上記第一電極層上に形成され、発光層を含む1層以上の有機層を有する有機EL層と、上記有機EL層上に形成された第二電極層とを有する有機EL素子であって、上記有機EL層が、上記有機層として平坦有機層を有し、上記隔壁で画定される画素のすべてにおいて、上記画素内の上記平坦有機層の中心部分の上記第一電極層表面からの高さと、上記平坦有機層の中心部分を含む断面での上記平坦有機層の長さを1としたときに上記中心部分から0.25の距離にある所定部分の上記第一電極層表面からの高さとの差が5nm以下であることを特徴とするものである。
2. Second aspect A second aspect of the organic EL device of the present invention is formed between the substrate, the first electrode layer formed in a pattern on the substrate, and the first electrode layer on the substrate. A partition having liquid repellency, an organic EL layer formed on the first electrode layer and including one or more organic layers including a light emitting layer, and a second electrode layer formed on the organic EL layer. The organic EL element includes the organic EL layer having a flat organic layer as the organic layer, and in all of the pixels defined by the partition wall, the first portion of the central portion of the flat organic layer in the pixel. When the height from the surface of one electrode layer and the length of the flat organic layer in a cross section including the central portion of the flat organic layer is 1, the predetermined portion of the predetermined portion located at a distance of 0.25 from the central portion. The difference from the height from the surface of one electrode layer is 5 nm or less. Is.
本態様の有機EL素子について、図面を参照しながら説明する。
図8は、本態様の有機EL素子の一例を示す概略断面図である。図8に例示する有機EL素子1においては、基板2上に第一電極層4がパターン状に形成され、さらに第一電極層4を区画するように隔壁5が形成されている。また、第一電極層4上には、正孔注入層6および発光層7が形成され、有機EL層8が構成されている。そして、有機EL層8上に第二電極層9が形成されている。隔壁5で画定される領域は画素10であり、図1においては発光層7が平坦有機層である。
The organic EL element of this embodiment will be described with reference to the drawings.
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing an example of the organic EL element of this embodiment. In the organic EL element 1 illustrated in FIG. 8, the
図9は図8の拡大図である。なお、図9において第二電極層は省略されている。図9に例示するように、画素10内における発光層7(平坦有機層)の中心部分21の第一電極層4表面からの高さはh5となる。また、発光層7(平坦有機層)の中心部分21を含む断面において、平坦有機層の長さd3を1としたときに、中心部分21から所定の距離d4にある所定部分22a,22bの第一電極層4表面からの高さはそれぞれh6,h7となる。この中心部分21の高さh5と、所定部分22aの高さh6との差は所定の値以下であり、またこの中心部分21の高さh5と、所定部分22bの高さh7との差も所定の値以下である。
FIG. 9 is an enlarged view of FIG. In FIG. 9, the second electrode layer is omitted. As illustrated in FIG. 9, the height of the central portion 21 of the light emitting layer 7 (flat organic layer) in the
なお、「画素内の平坦有機層の中心部分」については、上記第一態様に記載したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。
また、「画素内の平坦有機層の中心部分の第一電極層表面からの高さ」とは、図9に例示するような、画素10内における平坦有機層(発光層7)の中心部分21の第一電極層4表面からの高さh5をいう。
Note that “the central portion of the flat organic layer in the pixel” is the same as that described in the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here.
Further, “the height of the central portion of the flat organic layer in the pixel from the surface of the first electrode layer” means the central portion 21 of the flat organic layer (light emitting layer 7) in the
「平坦有機層の中心部分を含む断面」については、上記第一態様に記載した「画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面」と同様であるので、ここでの説明は省略する。
また、「平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の長さ」については、上記第一態様に記載した「画素内の平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の長さ」と同様であるので、ここでの説明は省略する。
The “cross section including the central portion of the flat organic layer” is the same as the “cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel” described in the first embodiment, and thus description thereof is omitted here.
The “length of the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer” is described in “the flat organic layer in the cross section including the central portion of the flat organic layer in the pixel” described in the first aspect. Since it is the same as “length”, the description here is omitted.
「中心部分から所定の距離にある所定部分」とは、平坦有機層の中心部分から基板面に対して平行に所定の距離にある部分をいう。例えば、図9に例示するような、平坦有機層(発光層7)の中心部分21から基板2面に対して平行に所定の距離d4にある所定部分22a,22bをいう。
また、「中心部分から所定の距離にある所定部分の第一電極層表面からの高さ」とは、図9に例示するような、画素10内における平坦有機層(発光層7)の中心部分21から所定の距離d4にある所定部分22a,22bの第一電極層4表面からの高さh6,h7をいう。
The “predetermined portion at a predetermined distance from the central portion” refers to a portion at a predetermined distance parallel to the substrate surface from the central portion of the flat organic layer. For example, as illustrated in FIG. 9 refers to the
The “height from the surface of the first electrode layer at a predetermined distance from the central portion” means the central portion of the flat organic layer (light emitting layer 7) in the
ここで、上記の平坦有機層の中心部分の第一電極層表面からの高さ、および上記の平坦有機層の所定部分の第一電極層表面からの高さは、Zygo社製、New View 5000を用い、走査型白色干渉法により測定することとする。 Here, the height of the central portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer, and the height of the predetermined portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer are as follows. Measured by scanning white light interferometry.
本態様においては、隔壁で画定される画素のすべてにおいて、画素内の平坦有機層の中心部分の第一電極層表面からの高さと、平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の長さを1としたときに中心部分から所定の距離にある所定部分の第一電極層表面からの高さとの差が所定の値以下となる。 In this aspect, in all of the pixels defined by the partition walls, the height of the central portion of the flat organic layer in the pixel from the surface of the first electrode layer and the flat organic layer in a cross section including the central portion of the flat organic layer. When the length is set to 1, the difference between the height from the surface of the first electrode layer at a predetermined distance from the center portion becomes a predetermined value or less.
なお、すべての画素において、平坦有機層の中心部分の第一電極層表面からの高さと、平坦有機層の所定部分の第一電極層表面からの高さとの差が所定の値以下となることは、次のようにして確認することができる。
すなわち、すべての画素のうち、中央領域の画素10個と周縁領域の画素10個とについて、それぞれ上記の高さの差を測定する。これらの中央領域の画素10個についての上記の高さの差と、周縁領域の画素10個についての上記の高さの差とがいずれも所定の値以下であれば、すべての画素において、上記の高さの差が所定の値以下であるとみなす。
In all pixels, the difference between the height of the central portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer and the height of the predetermined portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer is not more than a predetermined value. Can be confirmed as follows.
That is, among all the pixels, the above height difference is measured for each of the ten pixels in the central region and the ten pixels in the peripheral region. If the difference in height for the ten pixels in the central region and the difference in height for the ten pixels in the peripheral region are both equal to or less than a predetermined value, the above-described difference is found in all pixels. Is considered to be less than or equal to a predetermined value.
なお、「周縁領域の画素」とは、すべての画素のうち、外周3列の画素をいう。また、「中央領域の画素」とは、上記の周縁領域の画素以外の画素をいう。例えば図10に示すように円形状の画素10が配列されている場合、外周3列の画素が周縁領域の画素10a、それ以外の画素が中央領域の画素10bとなる。
Note that “pixels in the peripheral area” refers to pixels in three columns on the outer periphery among all the pixels. Further, the “pixel in the central region” refers to a pixel other than the pixels in the peripheral region. For example, as shown in FIG. 10, when
本態様においては、すべての画素において、平坦有機層の中心部分の第一電極層表面からの高さと、平坦有機層の所定部分の第一電極層表面からの高さとの差が所定の値以下であるので、画素内の平坦有機層の大部分の膜厚が均一であるとともに、すべての画素において平坦有機層の形状が均一であり、輝度むらや色むらを低減し、表示品質を向上させることが可能である。 In this aspect, the difference between the height of the central portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer and the height of the predetermined portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer is not more than a predetermined value in all pixels. Therefore, the thickness of most of the flat organic layer in the pixel is uniform, and the shape of the flat organic layer is uniform in all pixels, thereby reducing luminance unevenness and color unevenness and improving display quality. It is possible.
また、隔壁の全表面が撥液性を有するので、有機EL素子を作製する際に、従来のように親液性を有する隔壁と撥液性を有する隔壁とを積層したり、隔壁の側面を親液性とし、上面を撥液性としたりする必要もなく、製造工程を簡略化することができる。 In addition, since the entire surface of the partition wall has liquid repellency, when an organic EL element is manufactured, the partition wall having lyophilicity and the partition wall having liquid repellency are laminated as in the past, or the side surface of the partition wall is There is no need to make it lyophilic and make the top surface liquid repellent, and the manufacturing process can be simplified.
なお、画素、第一電極層、第二電極層、および基板については、上記第一態様に記載したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。以下、本態様の有機EL素子の他の構成について説明する。 Note that the pixel, the first electrode layer, the second electrode layer, and the substrate are the same as those described in the first embodiment, and thus description thereof is omitted here. Hereinafter, another configuration of the organic EL element of this embodiment will be described.
(1)有機EL層
本態様における有機EL層は、第一電極層上に形成され、発光層を含む1層以上の有機層を有するものであり、この有機層として平坦有機層を有するものである。
なお、有機EL層における平坦有機層以外の点については、上記第一態様と同様であるので、ここでの説明は省略する。以下、平坦有機層について説明する。
(1) Organic EL layer The organic EL layer in this embodiment is formed on the first electrode layer and has one or more organic layers including a light emitting layer, and has a flat organic layer as the organic layer. is there.
Since points other than the flat organic layer in the organic EL layer are the same as those in the first aspect, description thereof is omitted here. Hereinafter, the flat organic layer will be described.
本態様における平坦有機層は、画素のすべてにおいて、画素内の平坦有機層の中心部分の第一電極層表面からの高さと、平坦有機層の中心部分を含む断面での平坦有機層の長さを1としたときに中心部分から0.25の距離にある所定部分の第一電極層表面からの高さとの差が5nm以下であるものである。 In all of the pixels, the flat organic layer in this aspect includes the height of the central portion of the flat organic layer in the pixel from the surface of the first electrode layer and the length of the flat organic layer in a cross section including the central portion of the flat organic layer. The difference between the height from the surface of the first electrode layer at a predetermined portion at a distance of 0.25 from the center portion when 5 is 1 or less is 5 nm or less.
平坦有機層の中心部分の第一電極層表面からの高さと、平坦有機層の所定部分の第一電極層表面からの高さとの差は、5nm以下であり、好ましくは3nm以下、さらに好ましくは2nm以下である。上記の高さの差が上記範囲であれば、表示品質をさらに向上させることができるからである。上記の高さの差は、小さいほど好ましいので、下限は特に限定されない。 The difference between the height of the central portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer and the height of the predetermined portion of the flat organic layer from the surface of the first electrode layer is 5 nm or less, preferably 3 nm or less, more preferably 2 nm or less. This is because the display quality can be further improved if the height difference is within the above range. Since the difference in height is preferably as small as possible, the lower limit is not particularly limited.
なお、平坦有機層が、発光層、正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層等である場合の、各層については、上記第一態様に記載したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。 Note that when the flat organic layer is a light emitting layer, a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, etc., each layer is the same as described in the first aspect, Description is omitted.
(2)隔壁
本態様における隔壁は、基板上の第一電極層間に形成され、全表面に撥液性を有するものである。隔壁の全表面が撥液性を有するので、有機EL層を形成するための有機層形成用塗工液を吐出する際に、この有機層形成用塗工液を精度良く所定の領域に塗布することができる。
なお、隔壁の撥液性、構成材料、厚みおよび形成方法等については、上記第一態様に記載したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。
(2) Partition Wall The partition wall in this embodiment is formed between the first electrode layers on the substrate and has liquid repellency on the entire surface. Since the entire surface of the partition wall has liquid repellency, when the organic layer forming coating solution for forming the organic EL layer is discharged, the organic layer forming coating solution is applied to a predetermined region with high accuracy. be able to.
In addition, about the liquid repellency of a partition, a constituent material, thickness, a formation method, etc., since it is the same as that of what was described in the said 1st aspect, description here is abbreviate | omitted.
B.有機EL素子の製造方法
次に、本発明の有機EL素子の製造方法について説明する。
本発明の有機EL素子の製造方法は、第一電極層がパターン状に形成され、上記第一電極層間に隔壁が形成された基板上に、有機材料と表面張力が40mN/m以下である溶媒とを含有する平坦有機層形成用塗工液を、吐出法により塗布し、上記溶媒の蒸発速度が1.0×10-3μl/sec以上となるように乾燥させて、平坦有機層を形成する平坦有機層形成工程を有することを特徴とするものである。
B. Next, a method for manufacturing the organic EL element of the present invention will be described.
The organic EL device manufacturing method of the present invention includes a solvent having an organic material and a surface tension of 40 mN / m or less on a substrate in which a first electrode layer is formed in a pattern and a partition wall is formed between the first electrode layers. A flat organic layer is formed by applying a coating solution for forming a flat organic layer containing the above by a discharge method and drying the solvent so that the evaporation rate of the solvent is 1.0 × 10 −3 μl / sec or more. And a flat organic layer forming step.
本発明の有機EL素子の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
図11は、本発明の有機EL素子の製造方法の一例を示す工程図である。
まず、図示しないが、第一電極層がパターン状に形成された基板上に隔壁形成用塗工液を塗布し、露光および現像して、基板2上の第一電極層4間に隔壁5を形成する(図11(a))。次に、第一電極層4上に、正孔注入層形成用塗工液6’をインクジェットヘッド31から吐出し、乾燥させて、正孔注入層6を形成する(図11(b),(c)、正孔注入層形成工程)。次いで、発光材料および所定の表面張力の溶媒を含有する発光層形成用塗工液7’をインクジェットヘッド32から吐出し、乾燥させて、発光層7を形成する(図11(d),(e)、発光層形成工程)。塗布された発光層形成用塗工液を乾燥させる際には、発光層形成用塗工液中の溶媒の蒸発速度が所定の値以上となるように乾燥させる。次に、正孔注入層6および発光層7から構成される有機EL層8上に第二電極層9を形成する(図11(g)、第二電極層形成工程)。図11においては、図11(d),(e)に示す発光層形成工程が平坦有機層形成工程である。
The manufacturing method of the organic EL element of this invention is demonstrated referring drawings.
FIG. 11 is a process diagram showing an example of a method for producing an organic EL element of the present invention.
First, although not shown, a partition wall-forming coating solution is applied onto a substrate on which a first electrode layer is formed in a pattern, exposed and developed, and a
従来、図10に例示するようなすべての画素10のうち、周縁領域の画素10a、特に最外周の画素と、中央領域の画素10bとでは、有機層の膜厚に差が生じる場合があった。これは、次のような理由による。すなわち、周縁領域の画素10a、特に最外周の画素では、最外周の画素の外周に有機層形成用塗工液が塗布されないため、有機層形成用塗工液中の溶媒分子の分圧が、中央領域の画素10bでの有機層形成用塗工液中の溶媒分子の分圧よりも低くなる。そのため、周縁領域の画素10a、特に最外周の画素では、中央領域の画素10bに比較して、有機層形成用塗工液中の溶媒が速く乾燥してしまう。それにより、例えば図12に示すように、周縁領域の画素10aと中央領域の画素10bとで、有機層107の膜厚に差が生じてしまうのである。
Conventionally, among all the
このように有機層形成用塗工液中の溶媒分子の分圧に違いが生じて、周縁領域の画素と中央領域の画素とで有機層の膜厚に差が生じてしまう原因は、一般に有機層形成用塗工液に使用される溶媒の沸点が比較的高く、溶媒の蒸発速度が比較的遅いことにある。溶媒の蒸発速度が比較的遅いので、周縁領域の画素と中央領域の画素とで溶媒の蒸発速度に差が生じて、有機層の膜厚に差が生じてしまうのである。 In general, the difference in the partial pressure of solvent molecules in the coating liquid for forming an organic layer causes a difference in the film thickness of the organic layer between the peripheral region pixel and the central region pixel. The solvent used for the layer forming coating solution has a relatively high boiling point and a relatively low evaporation rate of the solvent. Since the evaporation rate of the solvent is relatively slow, a difference occurs in the evaporation rate of the solvent between the peripheral region pixel and the central region pixel, resulting in a difference in the film thickness of the organic layer.
そこで、本発明者は鋭意研究を重ねた結果、塗布された有機層形成用塗工液を均一に乾燥させるためには、沸点が比較的低い溶媒を用いて、溶媒の蒸発速度を比較的速くし、塗布された有機層形成用塗工液を即座に乾燥させることが望ましいことを見出した。また、塗布された有機層形成用塗工液の断面形状や、有機層形成用塗工液が塗布される層表面の濡れ性には、表面張力が関係することから、表面張力にも着目した。 Therefore, as a result of extensive research, the present inventor has used a solvent having a relatively low boiling point and a relatively high evaporation rate of the solvent in order to uniformly dry the applied organic layer forming coating solution. The present inventors have found that it is desirable to immediately dry the applied organic layer forming coating solution. In addition, since the surface tension is related to the cross-sectional shape of the applied organic layer forming coating solution and the wettability of the layer surface to which the organic layer forming coating solution is applied, attention was also paid to the surface tension. .
本発明によれば、有機材料と所定の表面張力の溶媒とを含有する平坦有機層形成用塗工液を吐出法により塗布し、溶媒の蒸発速度が所定の値以上となるように乾燥させるので、塗布された平坦有機層形成用塗工液中の溶媒を即座に乾燥させることができ、画素内の大部分の膜厚が均一であり、すべての画素において形状が均一な平坦有機層を形成することができる。したがって、輝度むらや色むらのない、表示品質の高い有機EL素子を得ることができる。 According to the present invention, the coating liquid for forming a flat organic layer containing an organic material and a solvent having a predetermined surface tension is applied by a discharge method and dried so that the evaporation rate of the solvent becomes a predetermined value or more. , The solvent in the applied coating liquid for forming a flat organic layer can be immediately dried, and most of the film thickness in the pixel is uniform, and a flat organic layer having a uniform shape in all pixels is formed. can do. Therefore, it is possible to obtain an organic EL element with high display quality that does not have uneven luminance and uneven color.
また、従来のように、塗布された有機層形成用塗工液を均一に乾燥させるために、溶媒雰囲気下で乾燥させたり、溶媒雰囲気下とするための部材を別途形成したり、最外周の画素のさらに外周に有機層形成用塗工液や溶媒を塗布したりする必要がなく、製造工程を簡略化することが可能である。
以下、本発明の有機EL素子の製造方法の各工程について説明する。
In addition, as in the past, in order to uniformly dry the applied organic layer forming coating solution, it can be dried in a solvent atmosphere, or a member for the solvent atmosphere can be separately formed, It is not necessary to apply an organic layer forming coating solution or solvent to the outer periphery of the pixel, and the manufacturing process can be simplified.
Hereinafter, each process of the manufacturing method of the organic EL element of this invention is demonstrated.
1.平坦有機層形成工程
本発明における平坦有機層形成工程は、第一電極層がパターン状に形成され、上記第一電極層間に隔壁が形成された基板上に、有機材料と表面張力が40mN/m以下である溶媒とを含有する平坦有機層形成用塗工液を、吐出法により塗布し、上記溶媒の蒸発速度が1.0×10-3μl/sec以上となるように乾燥させて、平坦有機層を形成する工程である。
1. Flat organic layer forming step In the flat organic layer forming step in the present invention, an organic material and a surface tension of 40 mN / m are formed on a substrate on which a first electrode layer is formed in a pattern and a partition wall is formed between the first electrode layers. A coating liquid for forming a flat organic layer containing the following solvent is applied by a discharge method and dried so that the evaporation rate of the solvent is 1.0 × 10 −3 μl / sec or more. This is a step of forming an organic layer.
平坦有機層形成用塗工液は、有機材料を、所定の表面張力の溶媒に溶解もしくは分散させることにより調製することができる。 The coating solution for forming a flat organic layer can be prepared by dissolving or dispersing an organic material in a solvent having a predetermined surface tension.
平坦有機層形成用塗工液に用いられる溶媒の表面張力は、40mN/m以下であり、好ましくは36mN/m以下、さらに好ましくは29mN/m以下である。溶媒の表面張力が低いほど、蒸発しやすくなるからである。したがって、溶媒の表面張力の下限は特に限定されない。 The surface tension of the solvent used for the coating liquid for forming a flat organic layer is 40 mN / m or less, preferably 36 mN / m or less, more preferably 29 mN / m or less. This is because the lower the surface tension of the solvent, the easier it is to evaporate. Therefore, the lower limit of the surface tension of the solvent is not particularly limited.
また、溶媒の沸点は、250℃以下が好ましく、より好ましくは200℃以下、さらに好ましくは150℃以下である。加熱などを行わず、溶媒の蒸発速度を変化させない条件であれば、溶媒の沸点が低いほど、蒸発しやすくなるからである。したがって、溶媒の沸点の下限は特に限定されない。 Further, the boiling point of the solvent is preferably 250 ° C. or lower, more preferably 200 ° C. or lower, and further preferably 150 ° C. or lower. This is because the lower the boiling point of the solvent, the easier it is to evaporate under conditions where heating is not performed and the evaporation rate of the solvent is not changed. Therefore, the lower limit of the boiling point of the solvent is not particularly limited.
このような溶媒としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系;メタノール、エタノール、2−プロパノール、n−ブタノール、2−エトキシエタノール等のアルコール系;ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン、p−シメン、ジイソプロピルベンゼン等の芳香族炭化水素系;酢酸エチル、酢酸イソブチル、酢酸ブチル、プロピオン酸メチル等のエステル系;ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、tert−ブチルメチルエーテル、シクロペンチルメチルエーテル、ジメトキシエタン、エチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン等のエーテル系;ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、デカン、ドデカン、ウンデカン、シクロヘキサン、デカリン等の脂肪族炭化水素系;ジクロロメタン、1,2−ジクロロエタン、クロロホルム、o−ジクロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素類等が挙げられる。中でも芳香族炭化水素系が好ましく、特にトルエン、キシレンが好適である。トルエンやキシレンは、表面張力および沸点がいずれも比較的低いからである。そのため、例えば常温、常圧等の緩やかな条件で蒸発速度を所定の範囲に設定することができる。 Examples of such a solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; alcohols such as methanol, ethanol, 2-propanol, n-butanol, and 2-ethoxyethanol; benzene, toluene, xylene, Aromatic hydrocarbons such as mesitylene, p-cymene and diisopropylbenzene; esters such as ethyl acetate, isobutyl acetate, butyl acetate and methyl propionate; diethyl ether, diisopropyl ether, tert-butyl methyl ether, cyclopentyl methyl ether, dimethoxy Ethers such as ethane, ethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane; pentane, hexane, heptane, octane, decane, dodecane, undecane Cyclohexane, aliphatic hydrocarbons decalin; dichloromethane, 1,2-dichloroethane, chloroform, o- halogenated aromatic hydrocarbons dichlorobenzene, and the like. Of these, aromatic hydrocarbons are preferable, and toluene and xylene are particularly preferable. This is because toluene and xylene have relatively low surface tension and boiling point. Therefore, for example, the evaporation rate can be set within a predetermined range under moderate conditions such as normal temperature and normal pressure.
なお、有機材料については、上記「A.有機EL素子」の平坦有機層の項に詳しく記載したので、ここでの説明は省略する。 In addition, since it described in detail in the term of the flat organic layer of said "A. organic EL element" about the organic material, description here is abbreviate | omitted.
平坦有機層形成用塗工液の塗布方法としては、吐出法であればよく、インクジェット法、ディスペンサー法等が挙げられる。 The application method of the coating liquid for forming a flat organic layer may be a discharge method, and examples thereof include an inkjet method and a dispenser method.
周縁領域の画素と中央領域の画素とで、平坦有機層形成用塗工液をより均一に乾燥させるためには、平坦有機層形成用塗工液の吐出間隔が等間隔であることが好ましい。画素のピッチがX方向およびY方向いずれも等間隔である場合には、X方向およびY方向いずれかの方向に、平坦有機層形成用塗工液を等間隔で吐出すればよい。また、画素のピッチがX方向にて等間隔、Y方向にて等間隔であるが、X方向とY方向とで間隔が異なる場合には、速く乾燥することから、間隔のより広い方向に、平坦有機層形成用塗工液を等間隔で吐出することが好ましい。さらに、画素の形状が長方形、トラック形等であり、X方向とY方向とで異なるピッチで画素が配列されている場合は、画素内にて、間隔のより広い方向に、平坦有機層形成用塗工液を等間隔で吐出してもよい。 In order to more uniformly dry the flat organic layer forming coating solution between the peripheral region pixels and the central region pixels, it is preferable that the discharge intervals of the flat organic layer forming coating solution are equal. When the pixel pitch is equal in both the X direction and the Y direction, the flat organic layer forming coating solution may be ejected at equal intervals in either the X direction or the Y direction. In addition, the pixel pitch is equal in the X direction and equal in the Y direction, but when the interval is different between the X direction and the Y direction, it is dried quickly, It is preferable to discharge the coating liquid for forming a flat organic layer at regular intervals. Furthermore, when the pixel shape is a rectangle, a track shape, or the like and the pixels are arranged at different pitches in the X direction and the Y direction, a flat organic layer is formed in a wider direction in the pixel. The coating liquid may be discharged at regular intervals.
また、塗布された平坦有機層形成用塗工液の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度を所定の範囲とすることができれば、特に限定されるものではなく、一般的な乾燥方法を用いることができ、例えば、自然乾燥、送風乾燥、加熱乾燥、減圧乾燥等が挙げられる。 Further, the method for drying the applied coating liquid for forming a flat organic layer is not particularly limited as long as the evaporation rate of the solvent can be within a predetermined range, and a general drying method can be used. Examples thereof include natural drying, air drying, heat drying, and reduced pressure drying.
この際の溶媒の蒸発速度は、1.0×10-3μl/sec以上に設定され、好ましくは1.5×10-3μl/sec以上、さらに好ましくは2.0×10-3μl/sec以上とされる。溶媒の蒸発速度が上記範囲であれば、平坦有機層の膜厚を均一にすることができる。一方、溶媒の蒸発速度の上限は、1.0×10-1μl/sec程度とされる。溶媒の蒸発速度が速すぎると、吐出された平坦有機層形成用塗工液が濡れ広がる前に固化し、均一な膜厚の平坦有機層を得ることが困難となるおそれがあるからである。 The evaporation rate of the solvent at this time is set to 1.0 × 10 −3 μl / sec or more, preferably 1.5 × 10 −3 μl / sec or more, more preferably 2.0 × 10 −3 μl / sec or more. If the evaporation rate of the solvent is within the above range, the thickness of the flat organic layer can be made uniform. On the other hand, the upper limit of the evaporation rate of the solvent is about 1.0 × 10 −1 μl / sec. This is because if the evaporation rate of the solvent is too high, the discharged flat organic layer forming coating solution may solidify before spreading and it may be difficult to obtain a flat organic layer having a uniform film thickness.
なお、溶媒の蒸発速度は、温度23℃で、基板上に溶媒を1μl滴下して、溶媒が完全に蒸発する時間を測定する方法により求められる。 The evaporation rate of the solvent can be obtained by a method of measuring the time for completely evaporating the solvent by dropping 1 μl of the solvent onto the substrate at a temperature of 23 ° C.
平坦有機層形成用塗工液を乾燥させる際の雰囲気としては、溶媒の蒸発速度を所定の範囲とすることができれば特に限定されるものではなく、例えば、真空雰囲気、窒素ガス等の不活性ガス雰囲気、空気雰囲気等とすることができる。平坦有機層形成用塗工液中の有機材料が酸素や水等によって劣化するものである場合には、真空雰囲気や不活性ガス雰囲気とすることが好ましい。 The atmosphere for drying the coating liquid for forming a flat organic layer is not particularly limited as long as the evaporation rate of the solvent can be within a predetermined range. For example, the atmosphere is a vacuum atmosphere, an inert gas such as nitrogen gas, etc. It can be an atmosphere, an air atmosphere, or the like. When the organic material in the coating liquid for forming a flat organic layer is deteriorated by oxygen, water, or the like, a vacuum atmosphere or an inert gas atmosphere is preferable.
なお、平坦有機層のその他の点については、上記「A.有機EL素子」の平坦有機層の項に記載したので、ここでの説明は省略する。 Since the other points of the flat organic layer are described in the section of the flat organic layer in the above “A. Organic EL element”, description thereof is omitted here.
2.その他の工程
本発明の有機EL素子の製造方法は、上記平坦有機層形成工程の他に、他の工程を有していてもよい。通常は、平坦有機層形成工程を有し、平坦有機層を含む有機EL層を形成する有機EL層形成工程が行われる。また、第一電極層がパターン状に形成された基板上に隔壁を形成する隔壁形成工程や、有機EL層上に第二電極層を形成する第二電極層形成工程などを行うことができる。
2. Other Steps The method for producing an organic EL device of the present invention may have other steps in addition to the flat organic layer forming step. Usually, an organic EL layer forming step for forming a flat organic layer and forming an organic EL layer including the flat organic layer is performed. Moreover, the partition formation process which forms a partition on the board | substrate with which the 1st electrode layer was formed in the pattern form, the 2nd electrode layer formation process which forms a 2nd electrode layer on an organic EL layer, etc. can be performed.
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。 The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
以下、本発明について実施例および比較例を用いて具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be specifically described using examples and comparative examples.
[実施例1]
ガラス基板上にパターン状にITOからなる透明電極を形成した。次に、この透明電極を仕切るように基板上に、含フッ素樹脂、光酸発生剤、酸架橋剤およびアルカリ可溶性樹脂を含む撥液性材料を塗布し、露光および現像して、厚み2μmの隔壁を形成した。隔壁で画定される画素は、直径70μmの円形状であった。
[Example 1]
A transparent electrode made of ITO was formed in a pattern on a glass substrate. Next, a liquid repellent material containing a fluorine-containing resin, a photoacid generator, an acid cross-linking agent and an alkali-soluble resin is applied onto the substrate so as to partition this transparent electrode, exposed and developed, and a partition wall having a thickness of 2 μm. Formed. The pixels defined by the partition walls were circular with a diameter of 70 μm.
次に、隔壁で隔てられた領域に、PEDOTの水分散液を、X方向に100μmピッチ、Y方向に200μmピッチでインクジェットヘッドから吐出した。その後、PEDOTが塗布された基板をグローブボックスに入れ、窒素雰囲気下で200℃、10分間加熱した。これにより、正孔注入層を形成した。 Next, an aqueous dispersion of PEDOT was ejected from the inkjet head at a pitch of 100 μm in the X direction and a pitch of 200 μm in the Y direction in a region separated by the partition walls. Thereafter, the substrate coated with PEDOT was placed in a glove box and heated at 200 ° C. for 10 minutes in a nitrogen atmosphere. Thereby, a hole injection layer was formed.
次に、ビス(N-(1-ナフチル-N-フェニル)ベンジジン)(α-NPD)と4,4’-ビス(2,2-ジフェニル-エテン-1-イル)ジフェニル(DPVBi)と熱硬化性エポキシ樹脂組成物とが重量比7:3:7で混合されたキシレン溶液を、X方向およびY方向とも100μmピッチでインクジェットヘッドから吐出した。自然乾燥によってキシレンが蒸発し終わるのを待った後、グローブボックス内で200℃、1時間加熱した。これにより、正孔輸送層を形成した。
なお、上記熱硬化性エポキシ樹脂組成物としては、液状タイプの水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(旭電化工業製、アデカレジンEP−4080S)に、硬化剤として無水フタル酸を添加したもの(エポキシ樹脂:無水フタル酸=10:1(重量比))を使用した。
さらに、キシレンは、沸点が139.1℃、表面張力が28.1mN/mである。また、自然乾燥の際のキシレンの蒸発速度は2.4×10-3μl/secであった。
Next, thermosetting with bis (N- (1-naphthyl-N-phenyl) benzidine) (α-NPD) and 4,4'-bis (2,2-diphenyl-ethen-1-yl) diphenyl (DPVBi) The xylene solution mixed with the conductive epoxy resin composition at a weight ratio of 7: 3: 7 was discharged from the inkjet head at a pitch of 100 μm in both the X direction and the Y direction. After waiting for the xylene to evaporate by natural drying, it was heated in a glove box at 200 ° C. for 1 hour. Thereby, a hole transport layer was formed.
The thermosetting epoxy resin composition is a liquid type hydrogenated bisphenol A type epoxy resin (Asahi Denka Kogyo, Adeka Resin EP-4080S) added with phthalic anhydride as a curing agent (epoxy resin: Phthalic anhydride = 10: 1 (weight ratio)) was used.
Furthermore, xylene has a boiling point of 139.1 ° C. and a surface tension of 28.1 mN / m. Further, the evaporation rate of xylene during natural drying was 2.4 × 10 −3 μl / sec.
得られた正孔輸送層について、上述の方法により第一電極層表面からの高さを測定した。画素内の正孔輸送層の中心部分を含む断面において、正孔輸送層の長さは80μmであり、正孔輸送層の平坦部の長さは50μmであった。また、画素内の正孔輸送層の中心部分を含む断面において、正孔輸送層の中心部分の第一電極層表面からの高さは100nmであり、正孔輸送層の所定部分の第一電極層表面からの高さは103nmであった。 About the obtained hole transport layer, the height from the 1st electrode layer surface was measured by the above-mentioned method. In the cross section including the central portion of the hole transport layer in the pixel, the length of the hole transport layer was 80 μm, and the length of the flat portion of the hole transport layer was 50 μm. Further, in the cross section including the central portion of the hole transport layer in the pixel, the height of the central portion of the hole transport layer from the surface of the first electrode layer is 100 nm, and the first electrode of the predetermined portion of the hole transport layer The height from the layer surface was 103 nm.
次に、2-Methyl-9,10-bis(naphthalen-2-yl)anthracene(オージェック社製 LT-E410)と4,4’-Bis[4-(di-p-tolylamino)styryl]biphenyl(オージェック社製 LT-E605)とが重量比20:1で混合されたトルエン溶液を、X方向およびY方向とも100μmピッチでインクジェットヘッドから吐出した。自然乾燥によってトルエンが蒸発し終わるのを待った後、グローブボックス内で90℃、1時間加熱した。これにより、発光層を形成した。
なお、トルエンは、沸点が110.6℃、表面張力が28.4mN/mである。また、自然乾燥の際のトルエンの蒸発速度は7.8×10-3μl/secであった。
Next, 2-Methyl-9,10-bis (naphthalen-2-yl) anthracene (LT-E410 manufactured by Aujek) and 4,4'-Bis [4- (di-p-tolylamino) styryl] biphenyl (Auigek) A toluene solution mixed with a LT-E605 (made by company) at a weight ratio of 20: 1 was discharged from an inkjet head at a pitch of 100 μm in both the X and Y directions. After waiting for toluene to evaporate by natural drying, it was heated in a glove box at 90 ° C. for 1 hour. This formed the light emitting layer.
In addition, toluene has a boiling point of 110.6 ° C. and a surface tension of 28.4 mN / m. Further, the evaporation rate of toluene during natural drying was 7.8 × 10 −3 μl / sec.
得られた発光層について、上述の方法により第一電極層表面からの高さを測定した。画素内の発光層の中心部分を含む断面において、発光層の長さは70μmであり、発光層の平坦部の長さは50μmであった。また、画素内の発光層の中心部分を含む断面において、発光層の中心部分の第一電極層表面からの高さは130nmであり、発光層の所定部分の第一電極層表面からの高さは133nmであった。 About the obtained light emitting layer, the height from the 1st electrode layer surface was measured by the above-mentioned method. In the cross section including the central portion of the light emitting layer in the pixel, the length of the light emitting layer was 70 μm, and the length of the flat portion of the light emitting layer was 50 μm. In the cross section including the central portion of the light emitting layer in the pixel, the height of the central portion of the light emitting layer from the surface of the first electrode layer is 130 nm, and the height of the predetermined portion of the light emitting layer from the surface of the first electrode layer. Was 133 nm.
次いで、発光層上に、電子輸送層としてAlq3を厚み20nm、電子注入層としてLiFを厚み0.5nm、陰極としてAlを厚み250nmで、真空加熱蒸着法により積層成膜した。続いて、エポキシ樹脂を封止板の周りに塗布し、この封止板をガラス基板上にのせ、紫外線を照射してエポキシ樹脂を硬化させて、封止を行った。 Next, on the light-emitting layer, Alq 3 having a thickness of 20 nm as an electron transport layer, LiF having a thickness of 0.5 nm as an electron injection layer, and Al having a thickness of 250 nm as a cathode were laminated and formed by a vacuum heating deposition method. Then, the epoxy resin was apply | coated around the sealing board, this sealing board was put on the glass substrate, the epoxy resin was hardened by irradiating an ultraviolet-ray, and sealing was performed.
得られた有機EL素子は、直径70μmの円形の画素が、X方向およびY方向ともに100μmピッチで配置された2mm角の発光エリアを有するものであった。この有機EL素子では、輝度むら、色むらのない均一な表示が得られた。 The obtained organic EL device had a light emitting area of 2 mm square in which circular pixels with a diameter of 70 μm were arranged at a pitch of 100 μm in both the X direction and the Y direction. With this organic EL element, uniform display without uneven brightness and uneven color was obtained.
[比較例1]
実施例1と同様にしてガラス基板上に透明電極、隔壁および正孔注入層を形成した。
次に、溶媒をキシレンからブチルベンゼンに変更した以外は、実施例1と同様にして正孔輸送層を形成した。
次いで、溶媒をトルエンからブチルベンゼンに変更した以外は、実施例1と同様にして発光層を形成した。
なお、ブチルベンゼンは、沸点が183℃、表面張力が29mN/mである。また、自然乾燥の際のブチルベンゼンの蒸発速度は3.3×10-4μl/secであった。
[Comparative Example 1]
In the same manner as in Example 1, a transparent electrode, a partition wall and a hole injection layer were formed on a glass substrate.
Next, a hole transport layer was formed in the same manner as in Example 1 except that the solvent was changed from xylene to butylbenzene.
Subsequently, the light emitting layer was formed like Example 1 except having changed the solvent from toluene into butylbenzene.
Butylbenzene has a boiling point of 183 ° C. and a surface tension of 29 mN / m. Further, the evaporation rate of butylbenzene during natural drying was 3.3 × 10 −4 μl / sec.
得られた発光層について、上述の方法により第一電極層表面からの高さを測定した。画素内の発光層の中心部分を含む断面において、発光層の長さは70μmであり、発光層の平坦部の長さは27μmであった。また、画素内の発光層の中心部分を含む断面において、発光層の中心部分の第一電極層表面からの高さは150nmであり、発光層の所定部分の第一電極層表面からの高さは160nmであった。 About the obtained light emitting layer, the height from the 1st electrode layer surface was measured by the above-mentioned method. In the cross section including the central portion of the light emitting layer in the pixel, the length of the light emitting layer was 70 μm, and the length of the flat portion of the light emitting layer was 27 μm. In the cross section including the central portion of the light emitting layer in the pixel, the height of the central portion of the light emitting layer from the surface of the first electrode layer is 150 nm, and the height of the predetermined portion of the light emitting layer from the surface of the first electrode layer. Was 160 nm.
次いで、発光層上に、電子輸送層としてAlq3を厚み20nm、電子注入層としてLiFを厚み0.5nm、陰極としてAlを厚み250nmで、真空加熱蒸着法により積層成膜した。続いて、エポキシ樹脂を封止板の周りに塗布し、この封止板をガラス基板上にのせ、紫外線を照射してエポキシ樹脂を硬化させて、封止を行った。 Next, on the light-emitting layer, Alq 3 having a thickness of 20 nm as an electron transport layer, LiF having a thickness of 0.5 nm as an electron injection layer, and Al having a thickness of 250 nm as a cathode were laminated and formed by a vacuum heating deposition method. Then, the epoxy resin was apply | coated around the sealing board, this sealing board was put on the glass substrate, the epoxy resin was hardened by irradiating an ultraviolet-ray, and sealing was performed.
得られた有機EL素子は、直径70μmの円形の画素が、X方向およびY方向ともに100μmピッチで配置された2mm角の発光エリアを有するものであった。この有機EL素子では、膜厚むらや輝度むらや色むらが見られた。 The obtained organic EL device had a light emitting area of 2 mm square in which circular pixels with a diameter of 70 μm were arranged at a pitch of 100 μm in both the X direction and the Y direction. In this organic EL element, film thickness unevenness, luminance unevenness, and color unevenness were observed.
[参考例1]
実施例1と同様にしてガラス基板上に透明電極および隔壁を形成した。隔壁で画定される画素は、直径70μmの円形状であった。また、図14(a)に例示するように、基板上には、画素10がそれぞれ同じように配列されている4つの領域A,B,C,Dを設けた。なお、図14(b)は図14(a)の各領域A,B,C,Dの拡大図である。
[Reference Example 1]
In the same manner as in Example 1, transparent electrodes and partition walls were formed on a glass substrate. The pixels defined by the partition walls were circular with a diameter of 70 μm. Further, as illustrated in FIG. 14A, four regions A, B, C, and D in which the
次に、隔壁で隔てられた領域に、実施例1と同様にして発光層を形成した。この際、透明電極上に直接発光層を形成した。
発光層の膜厚(発光層の透明電極表面からの高さ)を図13に示す。
また、図14に例示するような各領域A,B,C,DにおけるI,II,III,IV,Vの位置の画素について、発光層の膜厚を測定した。領域Bの位置IV、領域Dの位置I、領域Dの位置III、および領域Dの位置IVの画素について、発光層の膜厚の測定結果を図15に示す。なお、図15において、隔壁とは、発光層形成前の状態を示している。トルエンを使用すると、吐出後すぐに乾燥するため、同一基板内で場所による発光層の膜厚むらは起こらなかった。
Next, a light emitting layer was formed in the region separated by the partition walls in the same manner as in Example 1. At this time, a light emitting layer was directly formed on the transparent electrode.
FIG. 13 shows the thickness of the light emitting layer (height of the light emitting layer from the surface of the transparent electrode).
Further, the film thickness of the light emitting layer was measured for the pixels at positions I, II, III, IV, and V in the respective regions A, B, C, and D as illustrated in FIG. FIG. 15 shows the measurement results of the film thickness of the light emitting layer with respect to the pixel at the position IV in the area B, the position I in the area D, the position III in the area D, and the position IV in the area D. In FIG. 15, the partition wall indicates a state before the light emitting layer is formed. When toluene was used, the film was dried immediately after discharge, so that the thickness of the light emitting layer was not uneven depending on the location in the same substrate.
[参考例2]
トルエンの代わりにキシレンを用いた以外は、参考例1と同様にして発光層を形成した。なお、自然乾燥の際のキシレンの蒸発速度は2.43×10-3μl/secであった。
発光層の膜厚(発光層の透明電極表面からの高さ)を図16に示す。
[Reference Example 2]
A light emitting layer was formed in the same manner as in Reference Example 1 except that xylene was used instead of toluene. The evaporation rate of xylene during natural drying was 2.43 × 10 −3 μl / sec.
The film thickness of the light emitting layer (height of the light emitting layer from the transparent electrode surface) is shown in FIG.
[参考例3]
トルエンの代わりにアニソール(表面張力35mN/m、沸点155℃)を用いた以外は、参考例1と同様にして発光層を形成した。なお、自然乾燥の際のアニソールの蒸発速度は9.31×10-4μl/secであった。
発光層の膜厚(発光層の透明電極表面からの高さ)を図17に示す。
[Reference Example 3]
A light emitting layer was formed in the same manner as in Reference Example 1 except that anisole (surface tension 35 mN / m, boiling point 155 ° C.) was used instead of toluene. The evaporation rate of anisole during natural drying was 9.31 × 10 −4 μl / sec.
FIG. 17 shows the thickness of the light emitting layer (height of the light emitting layer from the surface of the transparent electrode).
[参考例4]
トルエンの代わりにメシチレン(表面張力28.3mN/m、沸点164.7℃)を用いた以外は、参考例1と同様にして発光層を形成した。なお、自然乾燥の際のメシチレンの蒸発速度は6.68×10-4μl/secであった。
発光層の膜厚(発光層の透明電極表面からの高さ)を図18に示す。
[Reference Example 4]
A light emitting layer was formed in the same manner as in Reference Example 1 except that mesitylene (surface tension 28.3 mN / m, boiling point 164.7 ° C.) was used instead of toluene. The evaporation rate of mesitylene during natural drying was 6.68 × 10 −4 μl / sec.
The film thickness of the light emitting layer (the height of the light emitting layer from the transparent electrode surface) is shown in FIG.
[参考例5]
トルエンの代わりにブチルベンゼンを用いた以外は、参考例1と同様にして発光層を形成した。なお、自然乾燥の際のブチルベンゼンの蒸発速度は3.31×10-4μl/secであった。
発光層の膜厚(発光層の透明電極表面からの高さ)を図19に示す。
[Reference Example 5]
A light emitting layer was formed in the same manner as in Reference Example 1 except that butylbenzene was used instead of toluene. The evaporation rate of butylbenzene during natural drying was 3.31 × 10 −4 μl / sec.
The film thickness of the light emitting layer (height of the light emitting layer from the transparent electrode surface) is shown in FIG.
1 … 有機EL素子
2 … 基板
4 … 第一電極層
5 … 隔壁
6 … 正孔注入層
7 … 発光層
8 … 有機EL層
9 … 第二電極層
10 … 画素
11 … 平坦部
12 … 周辺部
17 … 平坦有機層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ...
Claims (7)
前記有機エレクトロルミネッセンス層が、前記有機層として平坦有機層を有し、
前記隔壁で画定される画素において、前記平坦有機層が平坦部と前記平坦部の周囲に配置された周辺部とを有し、前記画素内の前記平坦有機層の中心部分を含む断面での前記平坦有機層の長さを1としたときに前記平坦部の長さが0.7以上であり、前記画素内の前記平坦有機層の断面形状が前記周辺部にて変曲点を有する形状であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 1 including a substrate, a first electrode layer formed in a pattern on the substrate, a partition formed between the first electrode layers on the substrate, and a light emitting layer formed on the first electrode layer. An organic electroluminescence device having an organic electroluminescence layer having an organic layer of at least one layer and a second electrode layer formed on the organic electroluminescence layer,
The organic electroluminescence layer has a flat organic layer as the organic layer,
In the pixel defined by the partition wall, the flat organic layer has a flat portion and a peripheral portion disposed around the flat portion, and the cross section includes a central portion of the flat organic layer in the pixel. When the length of the flat organic layer is 1, the length of the flat portion is 0.7 or more, and the cross-sectional shape of the flat organic layer in the pixel has an inflection point in the peripheral portion. An organic electroluminescence device characterized in that there is.
前記有機エレクトロルミネッセンス層が、前記有機層として平坦有機層を有し、
前記隔壁で画定される画素のすべてにおいて、前記画素内の前記平坦有機層の中心部分の前記第一電極層表面からの高さと、前記平坦有機層の中心部分を含む断面での前記平坦有機層の長さを1としたときに前記中心部分から0.25の距離にある所定部分の前記第一電極層表面からの高さとの差が5nm以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 A substrate, a first electrode layer formed in a pattern on the substrate, a partition wall formed between the first electrode layers on the substrate and having liquid repellency on the entire surface, and on the first electrode layer An organic electroluminescence device comprising an organic electroluminescence layer formed and having one or more organic layers including a light emitting layer, and a second electrode layer formed on the organic electroluminescence layer,
The organic electroluminescence layer has a flat organic layer as the organic layer,
In all of the pixels defined by the partition walls, the flat organic layer in a cross section including the height of the central portion of the flat organic layer in the pixel from the surface of the first electrode layer and the central portion of the flat organic layer. An organic electroluminescence device, wherein a difference between a height of a predetermined portion at a distance of 0.25 from the center portion and the surface of the first electrode layer is 5 nm or less when the length of the electroluminescent device is 1.
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