JP2009048159A - Photosensitive transfer material, color filter and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
【課題】高速で転写を行っても転写不良が起こりにくく、高湿雰囲気下で保存してもレチキュレーション、熱可塑性樹脂層の染み出しが発生しにくい感光性転写材料を提供する。
【解決手段】仮支持体上に、該仮支持体側から順に、I/O値が0.30〜0.45である化合物を含有するアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを有する感光性転写材料である。前記化合物のI/O値は、0.32〜0.43であることが好ましく、前記熱可塑性樹脂層が、前記化合物を、前記熱可塑性樹脂層の全質量に対して0.5〜20質量%含有することが好ましい。
【選択図】なしProvided is a photosensitive transfer material in which transfer failure hardly occurs even if transfer is performed at high speed, and reticulation and thermoplastic resin layer do not occur even when stored in a high humidity atmosphere.
An alkali-soluble thermoplastic resin layer containing a compound having an I / O value of 0.30 to 0.45, in order from the temporary support side, and a photosensitive resin layer on the temporary support. Is a photosensitive transfer material. The I / O value of the compound is preferably 0.32 to 0.43, and the thermoplastic resin layer contains the compound in an amount of 0.5 to 20 mass with respect to the total mass of the thermoplastic resin layer. % Content is preferable.
[Selection figure] None
Description
本発明は、感光性転写材料、カラーフィルタおよびその製造方法に関する。 The present invention relates to a photosensitive transfer material, a color filter, and a manufacturing method thereof.
カラーフィルタの製造方法は、種々の方法があり、例えば、感光性転写材料を用いて製造する方法が知られている(たとえば、特許文献1、参照)。この方法では、感光性転写材料を透明基板にラミネートした後、仮支持体を剥離してから露光、現像を行なうことにより透明基板上に所望の画素を形成する手法が用いられる。この場合、凹凸のある基板に、感光性樹脂層と基板の間に気泡を閉じ込める転写不良が発生することがあった。 There are various methods for manufacturing a color filter. For example, a method using a photosensitive transfer material is known (for example, see Patent Document 1). In this method, a method is used in which a photosensitive transfer material is laminated on a transparent substrate, and then a temporary support is peeled off, followed by exposure and development to form desired pixels on the transparent substrate. In this case, a transfer defect that traps bubbles between the photosensitive resin layer and the substrate may occur on the uneven substrate.
その転写不良防止のために、感光性転写材料に熱可塑性樹脂層を設けることが提案されている(たとえば、特許文献2、参照)。
しかしながら、近年、感光性転写材料の転写速度が大きくなり、優れた転写不良防止技術が求められるようになってきている。高速での転写を可能にするために熱可塑性樹脂層に可塑剤を添加する方法が提案されており、可塑剤の例として、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェートが挙げられている(たとえば、特許文献3、参照))。
However, in recent years, the transfer speed of photosensitive transfer materials has increased, and excellent transfer failure prevention techniques have been demanded. In order to enable high-speed transfer, a method of adding a plasticizer to the thermoplastic resin layer has been proposed. Examples of the plasticizer include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, Examples include cresyl phosphate, cresyl phenyl phosphate, and biphenyl diphenyl phosphate (for example, see Patent Document 3).
熱可塑性樹脂層に可塑剤を添加すると、高速転写には有利である。しかし、その一方で、上記可塑剤は親水性であることから、感光性転写材料が柔らかく、レチキュレーション(しわの発生)の原因となり、また、感光性転写材料を巻いて保管する際等において、感光性転写材料の脇から熱可塑性樹脂層が染み出す問題があった。これは、親水性の可塑剤の添加により、感光性転写材料を転写する際の高温時の熱可塑性樹脂層の粘度と、室温時の熱可塑性樹脂層の弾性率や粘度が、それぞれ低下するために起こるものである。 Addition of a plasticizer to the thermoplastic resin layer is advantageous for high-speed transfer. However, on the other hand, since the plasticizer is hydrophilic, the photosensitive transfer material is soft, causing reticulation (wrinkle generation), and when the photosensitive transfer material is wound and stored. There is a problem that the thermoplastic resin layer oozes out from the side of the photosensitive transfer material. This is because the addition of a hydrophilic plasticizer decreases the viscosity of the thermoplastic resin layer at a high temperature when transferring the photosensitive transfer material and the elastic modulus and viscosity of the thermoplastic resin layer at room temperature. What happens.
本発明は、上記問題に鑑み、高速で転写を行っても転写不良が起こりにくく、高湿雰囲気下で保存してもレチキュレーション、熱可塑性樹脂層の染み出しが発生しにくい感光性転写材料、それを用いたカラーフィルタおよびその製造方法を提供することを目的とする。 In view of the above problems, the present invention is a photosensitive transfer material in which transfer failure hardly occurs even if transfer is performed at high speed, and reticulation and thermoplastic resin layer do not easily exude even if stored in a high humidity atmosphere. Another object of the present invention is to provide a color filter using the same and a manufacturing method thereof.
前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
<1> 仮支持体上に、該仮支持体側から順に、I/O値が0.30〜0.45である化合物を含有するアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを有する感光性転写材料である。
<2> 前記化合物のI/O値が、0.32〜0.43であることを特徴とする前記<1>に記載の感光性転写材料である。
<3> 前記熱可塑性樹脂層が、前記化合物を、前記熱可塑性樹脂層の全質量に対して0.5〜20質量%含有することを特徴とする前記<1>または<2>に記載の感光性転写材料である。
<4> 前記熱可塑性樹脂層と前記感光性樹脂層との間に、少なくとも1層の中間層を有することを特徴とする前記<1>〜<3>のいずれか1つに記載の感光性転写材料である。
<5> 前記熱可塑性樹脂層が、可塑剤を更に含有することを特徴とする前記<1>〜<4>のいずれか1つに記載の感光性転写材料である。
Specific means for achieving the above object are as follows.
<1> An alkali-soluble thermoplastic resin layer containing a compound having an I / O value of 0.30 to 0.45 and a photosensitive resin layer on the temporary support in this order from the temporary support side. A photosensitive transfer material.
<2> The photosensitive transfer material according to <1>, wherein the compound has an I / O value of 0.32 to 0.43.
<3> The thermoplastic resin layer according to <1> or <2>, wherein the thermoplastic resin layer contains the compound in an amount of 0.5 to 20% by mass with respect to the total mass of the thermoplastic resin layer. It is a photosensitive transfer material.
<4> The photosensitive property according to any one of <1> to <3>, wherein at least one intermediate layer is provided between the thermoplastic resin layer and the photosensitive resin layer. It is a transfer material.
<5> The photosensitive transfer material according to any one of <1> to <4>, wherein the thermoplastic resin layer further contains a plasticizer.
<6> 前記<1>〜<5>のいずれか1つに記載の感光性転写材料を用いて、基板上に少なくとも感光性樹脂層を転写する転写工程と、前記基板上に転写された少なくとも前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、前記露光後の前記感光性樹脂層を現像する現像工程と、を有するカラーフィルタの製造方法である。
<7> 前記<6>に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタである。
<6> Using the photosensitive transfer material according to any one of <1> to <5>, a transfer step of transferring at least a photosensitive resin layer onto a substrate, and at least transferred onto the substrate It is a manufacturing method of the color filter which has the exposure process which exposes the said photosensitive resin layer, and the image development process which develops the said photosensitive resin layer after the said exposure.
<7> A color filter manufactured by the method for manufacturing a color filter according to <6>.
本発明によれば、高速で転写を行っても転写不良が起こりにくく、高湿雰囲気下で保存してもレチキュレーション、熱可塑性樹脂層の染み出しが発生しにくい感光性転写材料、それを用いたカラーフィルタおよびその製造方法を提供することができる。 According to the present invention, there is provided a photosensitive transfer material in which transfer failure is unlikely to occur even when transfer is performed at high speed, and reticulation or thermoplastic resin layer does not ooze out even when stored in a high humidity atmosphere. The used color filter and the manufacturing method thereof can be provided.
<感光性転写材料>
本発明の感光性転写材料は、仮支持体上に、該仮支持体側から順に、I/O値が0.30〜0.45である化合物を含有するアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを有するが、さらに、中間層や、その他の層を設けてもよい。
<Photosensitive transfer material>
The photosensitive transfer material of the present invention comprises, on the temporary support, in order from the temporary support side, an alkali-soluble thermoplastic resin layer containing a compound having an I / O value of 0.30 to 0.45, Although it has a photosensitive resin layer, an intermediate layer and other layers may be further provided.
[仮支持体]
仮支持体としては、可撓性を有し、加圧下又は、加圧及び加熱下で著しい変形、収縮もしくは伸びを生じない材料を用いることができる。このような材料の例として、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等が挙げられ、中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
[Temporary support]
As the temporary support, a material that has flexibility and does not cause significant deformation, shrinkage, or elongation under pressure or under pressure and heat can be used. Examples of such materials include a polyethylene terephthalate film, a cellulose triacetate film, a polystyrene film, a polycarbonate film, etc. Among them, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable.
仮支持体の厚みには、特に制限はなく、5〜200μmの範囲が一般的であり、取扱い易さ、汎用性などの点で、特に10〜150μmの範囲が好ましい。
また、仮支持体は透明でもよいし、染料化ケイ素、アルミナゾル、クロム塩、ジルコニウム塩などを含有していてもよい。
There is no restriction | limiting in particular in the thickness of a temporary support body, The range of 5-200 micrometers is common, and the range of 10-150 micrometers is especially preferable at points, such as handleability and versatility.
Further, the temporary support may be transparent or may contain dyed silicon, alumina sol, chromium salt, zirconium salt or the like.
[熱可塑性樹脂層]
本発明における熱可塑性樹脂層は、アルカリ可溶に構成されるとともに、I/O値が0.30〜0.45である化合物の少なくとも1種を含有する。この化合物を含有することにより、高温時に低粘度を得て、転写性を保持するとともに、保存時(室温時)において粘度を保って、レチキュレーションや染み出しの発生を防止することができる。さらに、可塑剤を含有することが好ましく、他の成分を含んでいてもよい。
[Thermoplastic resin layer]
The thermoplastic resin layer in the present invention is configured to be alkali-soluble and contains at least one compound having an I / O value of 0.30 to 0.45. By containing this compound, a low viscosity can be obtained at a high temperature, the transferability can be maintained, and the viscosity can be maintained during storage (at room temperature) to prevent the occurrence of reticulation and bleeding. Further, it preferably contains a plasticizer, and may contain other components.
−I/O値が0.30〜0.45である化合物−
本発明の熱可塑性樹脂層に用いられる前記化合物は、I/O値が0.30〜0.45であり、好ましくは、0.32〜0.43である。前記I/O値が0.30未満であると、感光性転写材料の保存中に、この化合物が熱可塑性樹脂層の層外に析出する現象−いわゆる泣き出し−が発生し、I/O値が0.45を超えると感光性転写材料のレチキュレーション(しわの発生)が悪化する。
I/O値とは、化合物の親疎水性を現す尺度であり、たとえば「甲田善生著、有機概念図−基礎と応用−(三共出版(株)、昭和59年発行)」に、詳細に記載されている。Iは無機性をOは有機性を表し、I/O値が大きいほど無機性が大きい(極性高く親水性が大きい)ことを示す。
-Compound having an I / O value of 0.30 to 0.45-
The compound used in the thermoplastic resin layer of the present invention has an I / O value of 0.30 to 0.45, preferably 0.32 to 0.43. If the I / O value is less than 0.30, a phenomenon in which this compound precipitates outside the thermoplastic resin layer during storage of the photosensitive transfer material-so-called crying-out occurs, and the I / O value If it exceeds 0.45, the reticulation (wrinkle generation) of the photosensitive transfer material is deteriorated.
The I / O value is a scale representing the hydrophilicity / hydrophobicity of a compound, and is described in detail in, for example, “Yoshio Koda, Organic Conceptual Diagram-Basics and Applications” (Sankyo Publishing Co., Ltd., published in 1984). ing. I represents inorganic and O represents organic, and the larger the I / O value, the greater the inorganicity (high polarity and high hydrophilicity).
本発明の熱可塑性樹脂層に用いられる前記化合物は、I/O値が0.30〜0.45であれば特に制限は無いが、熱可塑性の化合物であることが好ましく、好ましい具体例としては、ステアリン酸(0.42)、ベヘン酸(0.34)、パルミチン酸アミド(0.42)、ステアリン酸アミド(0.38)、ベヘン酸アミド(0.31)、オレイン酸アミド(0.38)、エルカ酸アミド(0.31)、アジピン酸ジオクチル(0.43)、アジピン酸ジノニル(0.35)、セバシン酸ジオクチル(0.35)などを挙げることができる。カッコ内の数字はその化合物のI/O値を示す。
これらの中でも、溶剤への溶解度の点で、アジピン酸ジオクチル、アジピン酸ジノニル、セバシン酸ジオクチルは、特に好ましい化合物である。
The compound used in the thermoplastic resin layer of the present invention is not particularly limited as long as the I / O value is 0.30 to 0.45, but is preferably a thermoplastic compound. , Stearic acid (0.42), behenic acid (0.34), palmitic acid amide (0.42), stearic acid amide (0.38), behenic acid amide (0.31), oleic acid amide (0. 38), erucic acid amide (0.31), dioctyl adipate (0.43), dinonyl adipate (0.35), dioctyl sebacate (0.35) and the like. The number in parenthesis indicates the I / O value of the compound.
Among these, dioctyl adipate, dinonyl adipate, and dioctyl sebacate are particularly preferred compounds in terms of solubility in a solvent.
前記化合物の熱可塑性樹脂層中の含有量は、熱可塑性樹脂層の全質量に対して、0.5〜20質量%が好ましく、0.8〜10質量%がより好ましい。添加量が0.5質量%以上あれば、転写性改良効果があり、また、20質量%以内であれば、感光性転写材料の保存中に、この化合物が層外に析出することを防止することができる。 0.5-20 mass% is preferable with respect to the total mass of a thermoplastic resin layer, and, as for content in the thermoplastic resin layer of the said compound, 0.8-10 mass% is more preferable. If the added amount is 0.5% by mass or more, there is an effect of improving transferability, and if it is within 20% by mass, this compound is prevented from being deposited outside the layer during the storage of the photosensitive transfer material. be able to.
−アルカリ可溶性−
本発明におけるアルカリ可溶とは、下記のアルカリ物質の水溶液、又はこれに水と混和性のある有機溶媒を混合したものに可溶であることをいう。
適当なアルカリ性物質はアルカリ金属水酸化物類(例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例えぱ炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)、アルカリ金属メタケイ酸塩類(メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えぱテトラメチルアンモニウムヒドロキシド)または燐酸三ナトリウムなどである。アルカリ性物質の濃度は、処理速度の点で、0.01質量%〜30質量%であることが好ましく、同じく処理速度の点で、pHは8〜14であることが好ましい。
-Alkali soluble-
The alkali-soluble in the present invention means that it is soluble in an aqueous solution of the following alkaline substance or a mixture of this with an organic solvent miscible with water.
Suitable alkaline substances are alkali metal hydroxides (eg, sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (eg, sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (sodium bicarbonate, potassium bicarbonate). ), Alkali metal silicates (sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicates (sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine, tetraalkylammonium hydroxide (Eg tetramethylammonium hydroxide) or trisodium phosphate. The concentration of the alkaline substance is preferably 0.01% by mass to 30% by mass in terms of processing speed, and the pH is preferably 8 to 14 in terms of the processing speed.
水と混和性の有る適当な有機溶剤は、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カブロラクタム、N一メチルピロリドンなどである。水と混和性の有機溶剤の濃度は0.1質量%〜30質量%である。またさらに公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は0.01質量%〜10質量%が好ましい。 Suitable organic solvents miscible with water are methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether, benzyl alcohol. Acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone, and the like. The concentration of the water-miscible organic solvent is 0.1% by mass to 30% by mass. Furthermore, a known surfactant can be added. The concentration of the surfactant is preferably 0.01% by mass to 10% by mass.
−熱可塑性樹脂−
本発明における熱可塑性樹脂層には、前記化合物に加え、さらに、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエステル、ポリウレタン、ゴム系樹脂、酢酸ビニル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂およびこれらの共重合体等の熱可塑性樹脂を用いることができる。
-Thermoplastic resin-
In the thermoplastic resin layer of the present invention, in addition to the above compounds, thermoplastic resins such as acrylic resins, polystyrene resins, polyesters, polyurethanes, rubber resins, vinyl acetate resins, polyolefin resins, and copolymers thereof Can be used.
具体的には、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレン/(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸エステル3元共重合体、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、「プラスチック性能便覧」(日本プラスチックエ業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著 工業調査会発行、1968年10月25目発行)による有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なもの、などから少なくとも1つが挙げられる。 Specifically, saponified product of ethylene and acrylate copolymer, saponified product of styrene and (meth) acrylic ester copolymer, styrene / (meth) acrylic acid / (meth) acrylic ester ternary copolymer Saponification products such as saponified polymers, vinyl toluene and (meth) acrylic acid ester copolymers, poly (meth) acrylic acid esters, (meth) acrylic acid ester copolymers such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate , At least from organic polymers soluble in alkaline aqueous solution among organic polymers according to "Plastic Performance Handbook" (edited by Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Industry Association, published by Industrial Research Council, published October 25, 1968), etc. One is mentioned.
これらの熱可塑性樹脂は、1種単独で使用してもよいし2種以上を併用してもよい。充分なクッション性と転写後の除去のしやすさの点で、異なる2種類の特性を有する樹脂(好ましくは後述のポリマーPH及びポリマーPL)を混合して用いることが好ましい。
なお、本発明において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸及びメタクリル酸を総称し、その誘導体の場合も同様である。
These thermoplastic resins may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together. In view of sufficient cushioning properties and ease of removal after transfer, it is preferable to use a mixture of resins having two different characteristics (preferably polymer P H and polymer P L described later).
In the present invention, “(meth) acrylic acid” is a generic term for acrylic acid and methacrylic acid, and the same applies to derivatives thereof.
上記の熱可塑性樹脂の中でも、好ましくは、重量平均分子量が5万〜50万で、且つガラス転移温度(Tg)が0〜140℃の範囲の樹脂〔以下、熱可塑性樹脂(a)ともいう〕を、更に好ましくは重量平均分子量が6万〜20万で,且つガラス転移温度(Tg)が30〜110℃の範囲の樹脂を、選択して使用することができる。これらの樹脂の具体例としては、特公昭54−34327号、特公昭55−38961号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭61−134756号、特公昭59−44615号、特開昭54−92723号、特開昭54−99418号、特開昭54−137085号、特開昭57−20732号、特開昭58−93046号、特開昭59−97135号、特開昭60−159743号、OLS3504254号、特開昭60−247638号、特開昭60−208748号、特開昭60−214354号、特開昭60−230135号、特開昭60−258539号、特開昭61−169829号、特開昭61−213213号、特開昭63−147159号、特開昭63−213837号、特開昭63−266448号、特開昭64−55551号、特開昭64−55550号、特開平2−191955号、特開平2−199403号、特開平2−199404号、特開平2−208602号、特願平4−39653号、特開平5−241340号の各公報又は明細書に記載されているアルカリ水溶液に可溶な樹脂を挙げることができる。特に好ましいのは、特開昭63−147159号公報に記載されたメタクリル酸/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メチルメタクリレート共重合体である。 Among the above thermoplastic resins, a resin having a weight average molecular weight of 50,000 to 500,000 and a glass transition temperature (Tg) of 0 to 140 ° C. [hereinafter also referred to as a thermoplastic resin (a)] More preferably, a resin having a weight average molecular weight of 60,000 to 200,000 and a glass transition temperature (Tg) of 30 to 110 ° C. can be selected and used. Specific examples of these resins include JP-B-54-34327, JP-B-55-38961, JP-B-58-12777, JP-B-54-25957, JP-A-61-134756, JP-B-59-44615. JP, 54-92723, JP 54-99418, JP 54-137085, JP 57-20732, JP 58-93046, JP 59-97135, JP-A-60-159743, OLS3254254, JP-A-60-247638, JP-A-60-208748, JP-A-60-214354, JP-A-60-230135, JP-A-60-258539 JP-A 61-169829, JP-A 61-213213, JP-A 63-147159, JP-A 63-213837, JP-A 63-26 No. 448, JP-A 64-55551, JP-A 64-55550, JP 2-191955, JP 2-199403, JP 2-199404, JP 2-208602, and Japanese Patent Application No. 2-208602. Examples include resins that are soluble in an alkaline aqueous solution described in JP-A-4-39653 and JP-A-5-241340. Particularly preferred is a methacrylic acid / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methyl methacrylate copolymer described in JP-A-63-147159.
また、上記した種々の樹脂のうち、低分子側では、好ましくは重量平均分子量が3千〜3万で、且つガラス転移温度(Tg)が30〜170℃の範囲の樹脂〔以下、熱可塑性樹脂(b)ともいう〕を、更に好ましくは重量平均分子量が4千〜2万で、且つガラス転移温度(Tg)が60〜140℃の範囲の樹脂を、選択して使用することができる。好ましい具体例は、上記の各公報等に記載されているものの中から選ぶことができるが、特に好ましくは、特公昭55−38961号公報、特開平5−241340号公報に記載のスチレン/(メタ)アクリル酸共重合体が挙げられる。 Of the various resins described above, on the low molecular side, a resin having a weight average molecular weight of preferably 3,000 to 30,000 and a glass transition temperature (Tg) of 30 to 170 ° C. [hereinafter, a thermoplastic resin. (Also referred to as (b)], more preferably, a resin having a weight average molecular weight of 4,000 to 20,000 and a glass transition temperature (Tg) of 60 to 140 ° C. can be selected and used. Preferable specific examples can be selected from those described in the above-mentioned publications and the like, and particularly preferably, styrene / (metabolites described in JP-B-55-38961 and JP-A-5-241340. ) Acrylic acid copolymer.
熱可塑性樹脂(a)の重量平均分子量が5万以上、又はガラス転移温度(Tg)が0℃以上あれば、レチキュレーションの発生を防止し、転写中に熱可塑性樹脂が周囲にはみ出すことを抑制することができる。熱可塑性樹脂(a)の重量平均分子量が50万以内であり、又はガラス転移温度(Tg)が140℃以下であれば、転写時に画素間に気泡が入ったり、熱可塑性樹脂のアルカリ水溶液除去性が低下することを抑えることができる。 If the weight average molecular weight of the thermoplastic resin (a) is 50,000 or more, or the glass transition temperature (Tg) is 0 ° C. or more, the occurrence of reticulation is prevented and the thermoplastic resin protrudes to the surroundings during transfer. Can be suppressed. If the weight average molecular weight of the thermoplastic resin (a) is 500,000 or less, or if the glass transition temperature (Tg) is 140 ° C. or lower, bubbles may enter between pixels during transfer, or the aqueous alkali solution of the thermoplastic resin can be removed. Can be suppressed.
熱可塑性樹脂層を構成する熱可塑性樹脂(b)の重量平均分子量が3千以上、又はガラス転移温度(Tg)が30℃以上あれば、レチキュレーションの発生を防止し、転写中に熱可塑性樹脂が周囲にはみ出すことを抑制することができる。熱可塑性樹脂(b)の重量平均分子量が3万以内であり、又はガラス転移温度(Tg)が170℃以下であれば、転写時に画素間に気泡が入ったり、熱可塑性樹脂のアルカリ水溶液除去性が低下することを抑えることができる。 If the thermoplastic resin (b) constituting the thermoplastic resin layer has a weight average molecular weight of 3,000 or more or a glass transition temperature (Tg) of 30 ° C. or more, the occurrence of reticulation is prevented and the thermoplasticity is transferred during transfer. It can suppress that resin protrudes to the circumference | surroundings. If the weight average molecular weight of the thermoplastic resin (b) is within 30,000, or if the glass transition temperature (Tg) is 170 ° C. or lower, bubbles may enter between pixels during transfer, or the aqueous alkali solution of the thermoplastic resin can be removed. Can be suppressed.
更には、上記のように異なる2種類の特性を有する樹脂、具体的には、高分子量ポリマーPHと低分子量ポリマーPLとを混合して用いることが好ましい。ここで、低分子量ポリマーとは、重量平均分子量が4,000以上12,000未満のポリマーであり、高分子量ポリマーとは重量平均分子量が12,000以上のポリマーである。
好ましい形態は、充分なクッション性と転写後の除去のしやすさの点で、重量平均分子量が5,000以上10,000未満のPLと重量平均分子量が60,000以上120,000未満のPHとを混合して用いる場合であり、好ましい例として、メタクリル酸/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メチルメタクリレート共重合体(PH)とスチレン/(メタ)アクリル酸共重合体(PL)とを混合して用いる場合が挙げられる。
Furthermore, a resin having two characteristics that are different as described above, specifically, it is preferable to use a mixture of a high molecular weight polymer P H and a low molecular weight polymer P L. Here, the low molecular weight polymer is a polymer having a weight average molecular weight of 4,000 or more and less than 12,000, and the high molecular weight polymer is a polymer having a weight average molecular weight of 12,000 or more.
The preferred form in terms of the ease of removal after transfer with sufficient cushioning property, the weight-average molecular weight of P L and weight average molecular weight of less than 10,000 5,000 is less than 60,000 120,000 This is a case of using a mixture of P H and, as a preferable example, methacrylic acid / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methyl methacrylate copolymer (P H ) and styrene / (meth) acrylic acid copolymer (P L ) And a mixture thereof.
異なる2種類の特性を有する樹脂を混合する場合、例えば、熱可塑性樹脂(a)と熱可塑性樹脂(b)とを混合して使用する場合には、その混合比は、熱可塑性樹脂(a)の比率が95質量%〜5質量%であることが好ましい。熱可塑性樹脂(a)の比率が95%以内であれば、転写時に画素間に気泡が入りにくく、熱可塑性樹脂(a)の比率が5%以上あれば、熱可塑性樹脂が周囲にはみ出しにくく、また、熱可塑性樹脂層が脆くなることを防ぐことができるので、裁断工程で微細な切り屑が飛散しにくい。 When mixing resins having two different types of properties, for example, when the thermoplastic resin (a) and the thermoplastic resin (b) are mixed and used, the mixing ratio is the thermoplastic resin (a). The ratio is preferably 95% by mass to 5% by mass. If the ratio of the thermoplastic resin (a) is within 95%, it is difficult for bubbles to enter between the pixels at the time of transfer, and if the ratio of the thermoplastic resin (a) is 5% or more, the thermoplastic resin is difficult to protrude to the surroundings. Moreover, since it becomes possible to prevent the thermoplastic resin layer from becoming brittle, it is difficult for fine chips to be scattered in the cutting process.
−可塑剤−
本発明において、熱可塑性樹脂層には、可塑剤として、仮支持体との接着力及び/又は転写性を調節するために、各種のポリマーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界面活性剤、離型剤等を加えることで熱可塑性樹脂層のガラス転移温度(Tg)を微調整することが可能である。ここでの可塑剤は、前記I/O値が0.30〜0.45である化合物以外の化合物である。
好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン、エポキシ樹脂とポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアナートとポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアナートとポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレートとの付加反応生成物、フタル酸ジエステル類、ビスフェノールAとポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートとの縮合反応生成物等を挙げることができる。これらの可塑剤のなかでも、2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパンは特に好ましい。
-Plasticizer-
In the present invention, the thermoplastic resin layer is made of various polymers, supercooling substances, adhesion improvers or surfactants, release agents, and the like as plasticizers in order to adjust the adhesive force and / or transferability with the temporary support. By adding a mold or the like, it is possible to finely adjust the glass transition temperature (Tg) of the thermoplastic resin layer. The plasticizer here is a compound other than the compound having an I / O value of 0.30 to 0.45.
Specific examples of preferred plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, biphenyl diphenyl phosphate, polyethylene glycol mono (meth) acrylate, Polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane, epoxy resin and polyethylene glycol mono (meth) ) Addition reaction product with acrylate, addition reaction product of organic diisocyanate and polyethylene glycol mono (meth) acrylate Things, the addition reaction product of an organic diisocyanate and polypropylene glycol mono (meth) acrylate, phthalic acid diesters, may be mentioned condensation products and the like of bisphenol A and polyethylene glycol mono (meth) acrylate. Among these plasticizers, 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane is particularly preferable.
前記熱可塑性樹脂と前記可塑剤との組み合わせとして、好ましくは、1)メタクリル酸/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メチルメタクリレート共重合体、スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、ビスフェノールAとポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートとの縮合反応生成物の組み合わせ、2)メタクリル酸/ベンジルメタクリレート共重合体、スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、ビスフェノールAとポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートとの縮合反応生成物の組み合わせ、3)メタクリル酸/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メチルメタクリレート共重合体、スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、フタル酸ジエステル類の組み合わせ、4)メタクリル酸/ベンジルメタクリレート共重合体、スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、フタル酸ジエステル類の組み合わせ、5)メタクリル酸/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリレート共重合体、スチレン/アクリル酸共重合体、2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパンとの縮合反応生成物の組み合わせなどを挙げることができる。
可塑剤の量は、熱可塑性樹脂層を構成する熱可塑性樹脂の合計に対して、好ましくは質量比で0〜200%、より好ましくは20〜100%である。
The combination of the thermoplastic resin and the plasticizer is preferably 1) methacrylic acid / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methyl methacrylate copolymer, styrene / (meth) acrylic acid copolymer, bisphenol A and polyethylene Combination of condensation reaction product with glycol mono (meth) acrylate 2) Condensation of methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer, styrene / (meth) acrylic acid copolymer, bisphenol A and polyethylene glycol mono (meth) acrylate Combination of reaction products, 3) Combination of methacrylic acid / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methyl methacrylate copolymer, styrene / (meth) acrylic acid copolymer, phthalic acid diesters, 4) Crylic acid / benzyl methacrylate copolymer, styrene / (meth) acrylic acid copolymer, combination of phthalic acid diesters, 5) Methacrylic acid / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylate copolymer, styrene / acrylic acid copolymer Examples thereof include a combination of a polymer and a condensation reaction product with 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane.
The amount of the plasticizer is preferably 0 to 200%, more preferably 20 to 100% in terms of a mass ratio with respect to the total of the thermoplastic resins constituting the thermoplastic resin layer.
熱可塑性樹脂の厚みは6μm以上が好ましい。熱可塑性樹脂の厚みが6μm以上であると、1μm以上の下地の凹凸を十分に吸収することができる。また、上限については、アルカリ水溶液除去性、製造適性から約100μm以下、好ましくは約50μm以下である。 The thickness of the thermoplastic resin is preferably 6 μm or more. When the thickness of the thermoplastic resin is 6 μm or more, the underlying irregularities of 1 μm or more can be sufficiently absorbed. The upper limit is about 100 μm or less, preferably about 50 μm or less, from the viewpoint of the ability to remove alkaline aqueous solution and the suitability for production.
本発明における熱可塑性樹脂層の塗布液としてはこの層を構成する樹脂を溶解する限り特に制限なく使用でき、例えばメチルエチルケトン、n−プロパノール、i−プロパノール等を使用できる。 As the coating solution for the thermoplastic resin layer in the present invention, it can be used without particular limitation as long as the resin constituting this layer is dissolved. For example, methyl ethyl ketone, n-propanol, i-propanol and the like can be used.
[感光性樹脂層]
本発明における感光性樹脂層を構成する感光性樹脂組成物としては、架橋性のバインダー(以下、「架橋性基を有する高分子化合物(A)」、単に「樹脂(A)」とも言う。)、重合性化合物(B)(以下、単に「モノマー」とも言う。)、光重合開始剤(C)を含有することが好ましい。また、必要に応じて、着色剤や界面活性剤などのその他の成分を用いて構成することができる。
[Photosensitive resin layer]
As the photosensitive resin composition constituting the photosensitive resin layer in the present invention, a crosslinkable binder (hereinafter also referred to as “polymer compound (A)” having a crosslinkable group, simply “resin (A)”). The polymerizable compound (B) (hereinafter also simply referred to as “monomer”) and the photopolymerization initiator (C) are preferably contained. Moreover, it can comprise using other components, such as a coloring agent and surfactant, as needed.
―樹脂(A)―
本発明における感光性樹脂組成物において、樹脂(A)は架橋性のバインダーであり、スペーサーや着色画素等の積層体を形成した場合にバインダー成分としての機能を有するものである。
例えば、それ自体架橋性・重合性を有する、特開2003−131379の段落番号[0031]〜[0054]に記載の光により重合可能なアリル基を有する高分子樹脂(高分子物質)が好ましい例として挙げられる。
また、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの架橋性の極性基を有するポリマーが挙げられる。
-Resin (A)-
In the photosensitive resin composition of the present invention, the resin (A) is a crosslinkable binder, and has a function as a binder component when a laminate such as a spacer or a colored pixel is formed.
For example, a polymer resin (polymer substance) having an allyl group capable of being polymerized by light described in paragraphs [0031] to [0054] of JP-A No. 2003-131379, which is itself crosslinkable / polymerizable, is preferable. As mentioned.
Moreover, the polymer which has crosslinkable polar groups, such as a carboxylic acid group and a carboxylate group, in a side chain is mentioned.
高分子物質は、目的に応じて適宜選択した単量体の単独重合体、複数の単量体からなる共重合体のいずれであってもよく、1種単独で用いる以外に、2種以上を併用するようにしてもよい。
側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーの例としては、特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59−53836号公報及び特開昭59−71048号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。
また、側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができ、また、この他にも水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく用いることができる。また、特に好ましい例としては、米国特許第4139391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸との共重合体や,ベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。
The polymer substance may be either a monomer homopolymer appropriately selected according to the purpose, or a copolymer composed of a plurality of monomers. You may make it use together.
Examples of the polymer having a polar group such as a carboxylic acid group or a carboxylic acid group in the side chain include JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12777, and JP-B-54. Methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer as described in JP-A-25-25957, JP-A-59-53836 and JP-A-59-71048. Examples thereof include a polymer, a maleic acid copolymer, and a partially esterified maleic acid copolymer.
Moreover, the cellulose derivative which has a carboxylic acid group in a side chain can also be mentioned, In addition, what added the cyclic acid anhydride to the polymer which has a hydroxyl group can also be used preferably. Particularly preferred examples include copolymers of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid described in US Pat. No. 4,139,391, benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid, and other Mention may be made of multicomponent copolymers with monomers.
アリル基を有する高分子物質の単量体としては、アリル基を有する単量体、アリル基となり得る単量体、及びその他の単量体が挙げられる。特に制限はなく、目的に応じてその他の単量体を適宜選択することができる。これらには、例えば、アルキル(メタ)アクリレート、アリール(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、ビニル化合物、アリル基含有(メタ)アクリレート、等が挙げられる。尚、本明細書中において、(メタ)アクリレートは、アクリレート又はメタクリレートを表す。
これら単量体は、1種単独で用いる以外に2種以上を併用してもよい。
Examples of the monomer of the polymer substance having an allyl group include a monomer having an allyl group, a monomer capable of becoming an allyl group, and other monomers. There is no restriction | limiting in particular, According to the objective, another monomer can be selected suitably. These include, for example, alkyl (meth) acrylates, aryl (meth) acrylates, hydroxyalkyl (meth) acrylates, vinyl compounds, allyl group-containing (meth) acrylates, and the like. In the present specification, (meth) acrylate represents acrylate or methacrylate.
These monomers may be used in combination of two or more in addition to being used alone.
前記アルキル(メタ)アクリレート及びアリール(メタ)アクリレートとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジルアクリレート、トリルアクリレート、ナフチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、等が好適に挙げられる。 Examples of the alkyl (meth) acrylate and aryl (meth) acrylate include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, and pentyl (meth) ) Acrylate, hexyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl acrylate, tolyl acrylate, naphthyl acrylate, cyclohexyl acrylate, and the like.
前記ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとしては、例えば、ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシイソブチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシペンチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシヘキシル(メタ)アクリレート、ヒドロキシオクチル(メタ)アクリレート等が挙げられ、中でも特に、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシn−プロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシn−ブチル(メタ)アクリレート等が好ましい。 Examples of the hydroxyalkyl (meth) acrylate include hydroxymethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, hydroxyisobutyl (meth) acrylate, hydroxypentyl ( And (meth) acrylate, hydroxyhexyl (meth) acrylate, hydroxyoctyl (meth) acrylate, and the like. Among others, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxy n-propyl (meth) acrylate, hydroxy n-butyl (meth) acrylate, etc. Is preferred.
前記ビニル化合物としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、N−ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー、等が好適に挙げられる。 As the vinyl compound, for example, styrene, α-methylstyrene, vinyl toluene, glycidyl methacrylate, acrylonitrile, vinyl acetate, N-vinyl pyrrolidone, tetrahydrofurfuryl methacrylate, polystyrene macromonomer, polymethyl methacrylate macromonomer, and the like are preferable. Can be mentioned.
前記アリル基含有(メタ)アクリレートとしては、例えば、アリル(メタ)アクリレート、2−メチルアリルアクリレート、クロチルアクリレート、クロルアリルアクリレート、フェニルアリルアクリレート、シアノアリルアクリレート、等が挙げられ、中でもアリル(メタ)アクリレートが特に好ましい。 Examples of the allyl group-containing (meth) acrylate include allyl (meth) acrylate, 2-methylallyl acrylate, crotyl acrylate, chloroallyl acrylate, phenylallyl acrylate, and cyanoallyl acrylate. ) Acrylate is particularly preferred.
上記した高分子物質の中でも、アリル基含有(メタ)アクリレートをモノマーユニットとして少なくとも有する樹脂が好ましく、アリル基含有(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸及びアリル基非含有(メタ)アクリレートから選択されるモノマーとをモノマーユニットとして有する樹脂がより好ましい。 Among the above-described polymer substances, a resin having at least allyl group-containing (meth) acrylate as a monomer unit is preferable, and is selected from allyl group-containing (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, and allyl group-free (meth) acrylate. A resin having a monomer as a monomer unit is more preferable.
前記高分子物質の好ましい具体例としては、(メタ)アクリル酸(M1)とアリル(メタ)アクリレート(M2)との二元共重合樹脂〔好適な共重合比[モル比]はM1:M2=2〜90:10〜98〕や、(メタ)アクリル酸(M3)とアリル(メタ)アクリレート(M4)とベンジル(メタ)アクリレート(M5)との三元共重合樹脂〔好適な共重合比[モル比]はM3:M4:M5=5〜40:20〜90:5〜70〕などが挙げられる。 As a preferred specific example of the polymer substance, a binary copolymer resin of (meth) acrylic acid (M 1 ) and allyl (meth) acrylate (M 2 ) [preferred copolymerization ratio [molar ratio] is M 1 : M 2 = 2 to 90:10 to 98] or a terpolymer resin of (meth) acrylic acid (M 3 ), allyl (meth) acrylate (M 4 ) and benzyl (meth) acrylate (M 5 ). [Preferable copolymerization ratio [molar ratio] is M 3 : M 4 : M 5 = 5 to 40:20 to 90: 5 to 70].
前記高分子物質がアリル基を有する場合のアリル基含有モノマーの含有率としては、10モル%以上が好ましく、好ましくは10〜100モル%、より好ましくは15〜90モル%、更に好ましくは20〜85モル%である。 When the polymer substance has an allyl group, the content of the allyl group-containing monomer is preferably 10 mol% or more, preferably 10 to 100 mol%, more preferably 15 to 90 mol%, still more preferably 20 to 20 mol%. 85 mol%.
前記高分子物質の重量平均分子量としては、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)測定値のポリスチレン換算値で5,000〜100,000が好ましく、8,000〜50,000がより好ましい。該重量平均分子量を5,000〜100,000の範囲内とすることで、膜強度を良化することができる。 The weight average molecular weight of the polymer substance is preferably 5,000 to 100,000, and more preferably 8,000 to 50,000 in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC). By setting the weight average molecular weight within the range of 5,000 to 100,000, the film strength can be improved.
さらに、樹脂(A)は、側鎖に分岐および/または脂環構造を有する基:X(xモル%)と、側鎖に酸性基を有する基:Y(yモル%)と、側鎖にエチレン性不飽和基を有する基:Z(zモル%)を含有してなるものが好ましく、必要に応じてその他の基(L)(lモル%)を有していてもよい。
また、樹脂(A)中のひとつの基の中にX,Y,及びZが複数組み合わされていてもよい。
Furthermore, the resin (A) contains a group having a branched and / or alicyclic structure in the side chain: X (x mol%), a group having an acidic group in the side chain: Y (y mol%), and a side chain. A group having an ethylenically unsaturated group: one containing Z (z mol%) is preferable, and may have another group (L) (1 mol%) as necessary.
A plurality of X, Y, and Z may be combined in one group in the resin (A).
―側鎖に分岐および/または脂環構造を有する基:X―
前記「側鎖に分岐および/または脂環構造を有する基」について説明する。
まず、分岐を有する基としては、炭素原子数3〜12個の分岐状のアルキル基を示し、例えば、i−プロピル基、i−ブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、2−メチルブチル基、イソヘキシル基、2−エチルヘキシル基、2−メチルヘキシル基、i−アミル基、t−アミル基、3−オクチル、t−オクチル等が挙げられる。これらの中でも、i−プロピル基、s−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基等が好ましく、さらにi−プロピル基、s−ブチル基、t−ブチル基等が好ましい。
-Group having branched and / or alicyclic structure in side chain: X-
The “group having a branched and / or alicyclic structure in the side chain” will be described.
First, as the group having a branch, a branched alkyl group having 3 to 12 carbon atoms is shown, for example, i-propyl group, i-butyl group, s-butyl group, t-butyl group, isopentyl group, Examples include neopentyl group, 2-methylbutyl group, isohexyl group, 2-ethylhexyl group, 2-methylhexyl group, i-amyl group, t-amyl group, 3-octyl, t-octyl and the like. Among these, i-propyl group, s-butyl group, t-butyl group, isopentyl group and the like are preferable, and i-propyl group, s-butyl group, t-butyl group and the like are more preferable.
次に脂環構造を有する基としては、炭素原子数5〜20個の脂環式炭化水素基を示し、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、ジシクロペンテニル基、ジシクロペンタニル基、トリシクロペンテニル基、及びトリシクロペンタニル基等が挙げられる。これらの中でも、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、トリシクロペンテニル基、トリシクロペンタニル基等が好ましく、更にシクロヘキシル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロペンテニル基等が好ましい。 Next, the group having an alicyclic structure represents an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms, such as a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group, a norbornyl group, an isobornyl group, Examples thereof include an adamantyl group, a tricyclodecyl group, a dicyclopentenyl group, a dicyclopentanyl group, a tricyclopentenyl group, and a tricyclopentanyl group. Among these, a cyclohexyl group, a norbornyl group, an isobornyl group, an adamantyl group, a tricyclodecyl group, a tricyclopentenyl group, a tricyclopentanyl group, and the like are preferable, and a cyclohexyl group, a norbornyl group, an isobornyl group, a tricyclopentenyl group, and the like. Is preferred.
前記側鎖に分岐および/または脂環構造を有する基を含有する単量体としては、スチレン類、(メタ)アクリレート類、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、(メタ)アクリルアミド類などが挙げられ、(メタ)アクリレート類、ビニルエステル類、(メタ)アクリルアミド類が好ましく、さらに好ましくは(メタ)アクリレート類である。 Examples of the monomer containing a group having a branched and / or alicyclic structure in the side chain include styrenes, (meth) acrylates, vinyl ethers, vinyl esters, (meth) acrylamides, and the like ( (Meth) acrylates, vinyl esters and (meth) acrylamides are preferred, and (meth) acrylates are more preferred.
前記側鎖に分岐構造を有する基を含有する単量体の具体例としては、(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、(メタ)アクリル酸s−ブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸i−アミル、(メタ)アクリル酸t−アミル、(メタ)アクリル酸sec−iso−アミル、(メタ)アクリル酸2−オクチル、(メタ)アクリル酸3−オクチル、(メタ)アクリル酸t−オクチル等が挙げられ、その中でも、(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、メタクリル酸t−ブチル等が好ましく、さらに好ましくは、メタクリル酸i−プロピル、メタクリル酸t−ブチル等である。 Specific examples of the monomer containing a group having a branched structure in the side chain include i-propyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, s-butyl (meth) acrylate, (meth ) T-butyl acrylate, i-amyl (meth) acrylate, t-amyl (meth) acrylate, sec-iso-amyl (meth) acrylate, 2-octyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid 3-octyl, t-octyl (meth) acrylate, and the like are mentioned. Among them, i-propyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, t-butyl methacrylate, and the like are preferable, and more preferable. I-propyl methacrylate, t-butyl methacrylate and the like.
次に、前記側鎖に脂環構造を有する基を含有する単量体の具体例としては、炭素原子数5〜20個の脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリレートである。具体的な例としては、(メタ)アクリル酸(ビシクロ〔2.2.1]ヘプチル−2)、(メタ)アクリル酸−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3−メチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3,5−ジメチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3−エチルアダマンチル、(メタ)アクリル酸−3−メチル−5−エチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3,5,8−トリエチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3,5−ジメチル−8−エチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸 2−メチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸 2−エチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸 3−ヒドロキシ−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ−4,7−メンタノインデン−5−イル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ−4,7−メンタノインデン−1−イルメチル、(メタ)アクリル酸−1−メンチル、(メタ)アクリル酸トリシクロデシル、(メタ)アクリル酸−3−ヒドロキシ−2,6,6−トリメチル−ビシクロ〔3.1.1〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸−3,7,7−トリメチル−4−ヒドロキシ−ビシクロ〔4.1.0〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸フエンチル、(メタ)アクリル酸−2,2,5−トリメチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、などが挙げられる。これら(メタ)アクリル酸エステルの中でも、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸フエンチル、(メタ)アクリル酸1−メンチル、(メタ)アクリル酸トリシクロデシルなどが好ましく、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸−2−アダマンチルが特に好ましい。 Next, a specific example of the monomer containing a group having an alicyclic structure in the side chain is (meth) acrylate having an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms. Specific examples include (meth) acrylic acid (bicyclo [2.2.1] heptyl-2), (meth) acrylic acid-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-2-adamantyl, (meth) acrylic. Acid-3-methyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-3,5-dimethyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-3-ethyladamantyl, (meth) acrylic acid-3-methyl-5-ethyl -1-adamantyl, (meth) acrylic acid-3,5,8-triethyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-3,5-dimethyl-8-ethyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid 2- Methyl-2-adamantyl, (meth) acrylic acid 2-ethyl-2-adamantyl, (meth) acrylic acid 3-hydroxy-1-adamantyl, (meth) acrylic acid Kutahydro-4,7-mentanoinden-5-yl, (meth) acrylate octahydro-4,7-mentanoinden-1-ylmethyl, (meth) acrylate-1-menthyl, (meth) acrylate tricyclo Decyl, (meth) acrylic acid-3-hydroxy-2,6,6-trimethyl-bicyclo [3.1.1] heptyl, (meth) acrylic acid-3,7,7-trimethyl-4-hydroxy-bicyclo [ 4.1.0] heptyl, (nor) bornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, fuentyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid-2,2,5-trimethylcyclohexyl, (meth) And cyclohexyl acrylate. Among these (meth) acrylic acid esters, (meth) acrylic acid cyclohexyl, (meth) acrylic acid (nor) bornyl, (meth) acrylic acid isobornyl, (meth) acrylic acid-1-adamantyl, (meth) acrylic acid- 2-adamantyl, (meth) acrylic acid fuentyl, (meth) acrylic acid 1-menthyl, (meth) acrylic acid tricyclodecyl, etc. are preferable, (meth) acrylic acid cyclohexyl, (meth) acrylic acid (nor) bornyl, ( Particularly preferred are isobornyl (meth) acrylate and 2-adamantyl (meth) acrylate.
更に、前記側鎖に脂環構造を有する基を含有する単量体の具体例としては、下記一般式(1)又は(2)で表される化合物が挙げられる。ここで、一般式(1)、(2)において、xは1又は2を表し、Rは水素又はメチル基を表す。m及びnはそれぞれ独立に0〜15を表す。一般式(1)、(2)の中でも、x=1又は2、m=0〜8、n=0〜4が好ましく、m=1〜4、n=0〜2がより好ましい。一般式(1)又は(2)で表される化合物の好ましい具体例として、下記化合物D−1〜D−5、T−1〜T−8が挙げられる。 Furthermore, specific examples of the monomer containing a group having an alicyclic structure in the side chain include compounds represented by the following general formula (1) or (2). Here, in the general formulas (1) and (2), x represents 1 or 2, and R represents hydrogen or a methyl group. m and n each independently represent 0-15. Among general formulas (1) and (2), x = 1 or 2, m = 0 to 8, and n = 0 to 4 are preferable, and m = 1 to 4 and n = 0 to 2 are more preferable. Preferable specific examples of the compound represented by the general formula (1) or (2) include the following compounds D-1 to D-5 and T-1 to T-8.
前記側鎖に脂環構造を有する基を含有する単量体は適宜製造したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。
前記市販品としては、日立化成工業(株)製:FA−511A、FA−512A(S)、FA−512M、FA−513A、FA−513M、TCPD−A、TCPD−M、
H−TCPD−A、H−TCPD−M、TOE−A、TOE−M、H−TOE−A、H−TOE−M等が挙げられる。これらの中でも現像性に優れ、変形回復率に優れる点で、FA−512A(S),512Mが好ましい。
As the monomer containing a group having an alicyclic structure in the side chain, an appropriately produced monomer may be used, or a commercially available product may be used.
As said commercial item, Hitachi Chemical Co., Ltd. product: FA-511A, FA-512A (S), FA-512M, FA-513A, FA-513M, TCPD-A, TCPD-M,
H-TCPD-A, H-TCPD-M, TOE-A, TOE-M, H-TOE-A, H-TOE-M and the like can be mentioned. Among these, FA-512A (S) and 512M are preferable because they are excellent in developability and excellent in the deformation recovery rate.
―側鎖に酸性基を有する基:Y―
前記酸性基としては、特に制限はなく、公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、スルホンアミド基、リン酸基、フェノール性水酸基等が挙げられる。これらの中でも、現像性、及び硬化膜の耐水性が優れる点から、カルボキシ基、フェノール性水酸基であることが好ましい。
-Group having an acidic group in the side chain: Y-
There is no restriction | limiting in particular as said acidic group, It can select suitably from well-known things, For example, a carboxyl group, a sulfonic acid group, a sulfonamide group, a phosphoric acid group, a phenolic hydroxyl group etc. are mentioned. Among these, a carboxy group and a phenolic hydroxyl group are preferable from the viewpoint of excellent developability and water resistance of the cured film.
前記側鎖に酸性基を有する基の単量体としては、特に制限はなく、スチレン類、(メタ)アクリレート類、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、(メタ)アクリルアミド類などが挙げられ、(メタ)アクリレート類、ビニルエステル類、(メタ)アクリルアミド類が好ましく、さらに好ましくは(メタ)アクリレート類である。 The monomer having an acidic group in the side chain is not particularly limited, and examples thereof include styrenes, (meth) acrylates, vinyl ethers, vinyl esters, (meth) acrylamides, and the like (meth) Acrylates, vinyl esters and (meth) acrylamides are preferred, and (meth) acrylates are more preferred.
前記側鎖に酸性基を有する基の単量体の具体例としては、公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、α−シアノ桂皮酸、アクリル酸ダイマー、水酸基を有する単量体と環状酸無水物との付加反応物、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは、適宜製造したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。 Specific examples of the monomer having an acidic group in the side chain can be appropriately selected from known ones such as (meth) acrylic acid, vinyl benzoic acid, maleic acid, monoalkyl maleate. Ester, fumaric acid, itaconic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, α-cyanocinnamic acid, acrylic acid dimer, addition reaction product of hydroxyl group-containing monomer and cyclic acid anhydride, ω-carboxy-polycaprolactone A mono (meth) acrylate etc. are mentioned. As these, those produced as appropriate may be used, or commercially available products may be used.
前記水酸基を有する単量体と環状酸無水物との付加反応物に用いられる水酸基を有する単量体としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。前記環状酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水フタル酸、シクロヘキサンジカルボン酸無水物等が挙げられる。 Examples of the monomer having a hydroxyl group used in the addition reaction product of the monomer having a hydroxyl group and a cyclic acid anhydride include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate. Examples of the cyclic acid anhydride include maleic anhydride, phthalic anhydride, and cyclohexanedicarboxylic anhydride.
前記市販品としては、東亜合成化学工業(株)製:アロニックスM−5300、アロニックスM−5400、アロニックスM−5500、アロニックスM−5600、新中村化学工業(株)製:NKエステルCB−1、NKエステルCBX−1、共栄社油脂化学工業(株)製:HOA−MP、HOA−MS、大阪有機化学工業(株)製:ビスコート#2100等が挙げられる。これらの中でも現像性に優れ、低コストである点で(メタ)アクリル酸等が好ましい。 As said commercial item, Toa Gosei Chemical Industry Co., Ltd .: Aronix M-5300, Aronix M-5400, Aronix M-5500, Aronix M-5600, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd .: NK Ester CB-1, NK ester CBX-1, manufactured by Kyoeisha Oil Chemical Co., Ltd .: HOA-MP, HOA-MS, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd .: Biscote # 2100, and the like. Among these, (meth) acrylic acid and the like are preferable in terms of excellent developability and low cost.
―側鎖にエチレン性不飽和基を有する基:Z―
前記「側鎖にエチレン性不飽和基」としては、特に制限はなく、エチレン性不飽和基としては、(メタ)アクリロイル基が好ましい。また、エチレン性不飽和基と単量体との連結はエステル基、アミド基、カルバモイル基などの2価の連結基であれば特に制限はない。側鎖にエチレン性不飽和基を導入する方法は公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、酸性基を持つ基にエポキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法、ヒドロキシル基を持つ基にイソシアネート基を持つ(メタ)アクリレートを付加した付加する方法、イソシアネート基を持つ基にヒドロキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法などが挙げられる。
その中でも、酸性基を持つ繰り返し単位にエポキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法が最も製造が容易であり、低コストである点で好ましい。
—Group having an ethylenically unsaturated group in the side chain: Z—
The “ethylenically unsaturated group in the side chain” is not particularly limited, and the ethylenically unsaturated group is preferably a (meth) acryloyl group. The connection between the ethylenically unsaturated group and the monomer is not particularly limited as long as it is a divalent linking group such as an ester group, an amide group, or a carbamoyl group. The method of introducing an ethylenically unsaturated group into the side chain can be appropriately selected from known ones, for example, a method of adding a (meth) acrylate having an epoxy group to a group having an acidic group, or having a hydroxyl group Examples include a method of adding a (meth) acrylate having an isocyanate group to the group, a method of adding a (meth) acrylate having a hydroxy group to a group having an isocyanate group, and the like.
Among these, the method of adding (meth) acrylate having an epoxy group to a repeating unit having an acidic group is most preferable because it is the easiest to produce and is low in cost.
前記エチレン性不飽和結合及びエポキシ基を有する(メタ)アクリレートとしては、これらを有すれば特に制限はないが、例えば、下記構造式(1)で表される化合物及び下記構造式(2)で表される化合物が好ましい。 The (meth) acrylate having an ethylenically unsaturated bond and an epoxy group is not particularly limited as long as it has these. For example, in the compound represented by the following structural formula (1) and the following structural formula (2) The compounds represented are preferred.
ただし、前記構造式(1)中、R1は水素原子又はメチル基を表す。L1は有機基を表す。 In the Structural Formula (1), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group. L 1 represents an organic group.
ただし、前記構造式(2)中、R2は水素原子又はメチル基を表す。L2は有機基を表す。Wは4〜7員環の脂肪族炭化水素基を表す。 In the Structural formula (2), R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group. L 2 represents an organic group. W represents a 4- to 7-membered aliphatic hydrocarbon group.
前記構造式(1)で表される化合物及び構造式(2)で表される化合物の中でも、構造式(1)で表される化合物が構造式(2)よりも好ましい。前記構造式(1)及び(2)においては、L1及びL2がそれぞれ独立に炭素数1〜4のアルキレン基のものがより好ましい。 Of the compound represented by the structural formula (1) and the compound represented by the structural formula (2), the compound represented by the structural formula (1) is more preferable than the structural formula (2). In the structural formulas (1) and (2), it is more preferable that L 1 and L 2 are each independently an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms.
前記構造式(1)で表される化合物又は構造式(2)で表される化合物としては、特に制限はないが、例えば、以下の例示化合物(1)〜(10)が挙げられる。 Although there is no restriction | limiting in particular as a compound represented by the said Structural formula (1) or a structural formula (2), For example, the following exemplary compounds (1)-(10) are mentioned.
―その他の基:L―
その他の基の単量体としては、特に制限はなく、例えば分岐および/または脂環構造をもたない(メタ)アクリル酸エステル、スチレン、ビニルエーテル基、二塩基酸無水物基、ビニルエステル基、炭化水素アルケニル基等を有する単量体などが挙げられる。
前記ビニルエーテル基としては、特に制限はなく、例えば、ブチルビニルエーテル基などが挙げられる。
-Other groups: L-
The monomer of the other group is not particularly limited, for example, (meth) acrylic acid ester having no branched and / or alicyclic structure, styrene, vinyl ether group, dibasic acid anhydride group, vinyl ester group, And monomers having a hydrocarbon alkenyl group.
There is no restriction | limiting in particular as said vinyl ether group, For example, a butyl vinyl ether group etc. are mentioned.
前記二塩基酸無水物基としては、特に制限はなく、例えば、無水マレイン酸基、無水イタコン酸基などが挙げられる。
前記ビニルエステル基としては、特に制限はなく、例えば、酢酸ビニル基などが挙げられる。
前記炭化水素アルケニル基としては、特に制限はなく、例えば、ブタジエン基、イソプレン基などが挙げられる。
The dibasic acid anhydride group is not particularly limited, and examples thereof include a maleic anhydride group and an itaconic anhydride group.
There is no restriction | limiting in particular as said vinyl ester group, For example, a vinyl acetate group etc. are mentioned.
There is no restriction | limiting in particular as said hydrocarbon alkenyl group, For example, a butadiene group, an isoprene group, etc. are mentioned.
前記樹脂(A)におけるその他の単量体の含有率としては、モル組成比が、0〜30mol%であることが好ましく、0〜20mol%であることがより好ましい。 As content rate of the other monomer in the said resin (A), it is preferable that molar composition ratio is 0-30 mol%, and it is more preferable that it is 0-20 mol%.
樹脂(A)の具体例としては、例えば、下記化合物P−1〜P−35で表される化合物が挙げられる。 Specific examples of the resin (A) include compounds represented by the following compounds P-1 to P-35.
―製造法について―
前記樹脂(A)は、モノマーの(共)重合反応の工程とエチレン性不飽和基を導入する工程の二段階の工程から作られる。
まず、(共)重合反応は種々のモノマーの(共)重合反応によって作られ、特に制限はなく公知のものの中から適宜選択することができる。例えば、重合の活性種については、ラジカル重合、カチオン重合、アニオン重合、配位重合などを適宜選択することができる。これらの中でも合成が容易であり、低コストである点からラジカル重合であることが好ましい。また、重合方法についても特に制限はなく公知のものの中から適宜選択することができる。例えば、バルク重合法、懸濁重合法、乳化重合法、溶液重合法などを適宜選択することができる。これらの中でも、溶液重合法であることがより望ましい。
―About manufacturing method―
The resin (A) is produced from a two-stage process including a (co) polymerization process of monomers and a process of introducing ethylenically unsaturated groups.
First, the (co) polymerization reaction is made by a (co) polymerization reaction of various monomers, and is not particularly limited and can be appropriately selected from known ones. For example, radical polymerization, cationic polymerization, anionic polymerization, coordination polymerization and the like can be appropriately selected for the active species of polymerization. Among these, radical polymerization is preferable from the viewpoint of easy synthesis and low cost. Moreover, there is no restriction | limiting in particular also about the polymerization method, It can select suitably from well-known things. For example, a bulk polymerization method, a suspension polymerization method, an emulsion polymerization method, a solution polymerization method and the like can be appropriately selected. Among these, the solution polymerization method is more desirable.
−分子量−
樹脂(A)として好適な前記共重合体の重量平均分子量は、7,000〜10万が好ましく、8,000〜8万が更に好ましく、9,000〜5万が特に好ましい。重量平均分子量が前記範囲内であると、共重合体の製造適性、現像性の点で望ましい。
-Molecular weight-
The weight average molecular weight of the copolymer suitable as the resin (A) is preferably 7,000 to 100,000, more preferably 8,000 to 80,000, and particularly preferably 9,000 to 50,000. When the weight average molecular weight is within the above range, it is desirable from the viewpoint of production suitability and developability of the copolymer.
−ガラス転移温度−
樹脂(A)として好適なガラス転移温度(Tg)は、40〜180℃であることが好ましく、45〜140℃であることはより好ましく、50〜130℃であることが特に好ましい。ガラス転移温度(Tg)が前記好ましい範囲内であると、良好な現像性、力学強度を有するフォトスペーサーが得られる。
-Glass transition temperature-
The glass transition temperature (Tg) suitable for the resin (A) is preferably 40 to 180 ° C, more preferably 45 to 140 ° C, and particularly preferably 50 to 130 ° C. When the glass transition temperature (Tg) is within the preferred range, a photospacer having good developability and mechanical strength can be obtained.
―酸 価−
樹脂(A)として好適な酸価はとりうる分子構造により好ましい範囲は変動するが、一般には20mgKOH/g以上であることが好ましく、50mgKOH/g以上であることはより好ましく、70〜130mgKOH/gであることが特に好ましい。酸価が前記好ましい範囲内であると、良好な現像性、力学強度を有するフォトスペーサーが得られる。
-Acid value-
The preferred range of the acid value suitable for the resin (A) varies depending on the molecular structure that can be taken, but generally it is preferably 20 mgKOH / g or more, more preferably 50 mgKOH / g or more, and 70 to 130 mgKOH / g. It is particularly preferred that When the acid value is within the preferred range, a photospacer having good developability and mechanical strength can be obtained.
前記樹脂(A)のガラス転移温度(Tg)が40〜180℃であり、かつ重量平均分子量が7,000〜100,000であることが良好な現像性、力学強度を有するフォトスペーサーが得られる点で好ましい。
更に、前記樹脂(A)の好ましい例は、好ましい前記分子量、ガラス転移温度(Tg)、及び酸価のそれぞれの組合せがより好ましい。
The resin (A) has a glass transition temperature (Tg) of 40 to 180 ° C. and a weight average molecular weight of 7,000 to 100,000, whereby a photospacer having good developability and mechanical strength can be obtained. This is preferable.
Furthermore, the preferable example of the said resin (A) has more preferable each combination of the said preferable molecular weight, glass transition temperature (Tg), and an acid value.
前記樹脂(A)の前記各成分の共重合組成比については、ガラス転移温度と酸価を勘案して決定され、一概に言えないが、「側鎖に分岐および/または脂環構造を有する基」は10〜70モル%が好ましく、15〜65モル%が更に好ましく、20〜60モル%が特に好ましい。側鎖に分岐および/または脂環構造を有する基が前記範囲内であると、良好な現像性が得られると共に、画像部の現像液耐性も良好である。
また、「側鎖に酸性基を有する基」は5〜70モル%が好ましく、10〜60モル%が更に好ましく、20〜50モル%が特に好ましい。側鎖に酸性基を有する基が前記範囲内であると、良好な硬化性、現像性が得られる。
また、「側鎖にエチレン性不飽和基を有する基」は10〜70モル%が好ましく、20〜70モル%が更に好ましく、30〜70モル%が特に好ましい。側鎖にエチレン性不飽和基を有する基が前記範囲内であると、顔料分散性に優れると共に、現像性及び硬化性も良好である。
The copolymer composition ratio of the respective components of the resin (A) is determined in consideration of the glass transition temperature and the acid value, and cannot be generally stated, but “group having a branched and / or alicyclic structure in the side chain” "Is preferably 10 to 70 mol%, more preferably 15 to 65 mol%, particularly preferably 20 to 60 mol%. When the group having a branched and / or alicyclic structure in the side chain is within the above range, good developability is obtained and the developer resistance of the image area is also good.
Moreover, 5-70 mol% is preferable, and "group which has an acidic group in a side chain" has more preferable 10-60 mol%, and 20-50 mol% is especially preferable. When the group having an acidic group in the side chain is within the above range, good curability and developability can be obtained.
Moreover, 10-70 mol% is preferable, "group which has an ethylenically unsaturated group in a side chain", 20-70 mol% is still more preferable, and 30-70 mol% is especially preferable. When the group having an ethylenically unsaturated group in the side chain is within the above range, the pigment dispersibility is excellent, and the developability and curability are also good.
前記樹脂(A)の含有量としては、感光性樹脂組成物全固形分に対して、5〜70質量%が好ましく、10〜50質量%がより好ましい。樹脂(A)は後述のその他の樹脂を含有することができるが、樹脂(A)のみが好ましい。 As content of the said resin (A), 5-70 mass% is preferable with respect to the photosensitive resin composition total solid, and 10-50 mass% is more preferable. The resin (A) can contain other resins described later, but only the resin (A) is preferable.
−その他の樹脂−
前記樹脂(A)と併用することができる樹脂としては、アルカリ性水溶液に対して膨潤性を示す化合物が好ましく、アルカリ性水溶液に対して可溶性である化合物がより好ましい。
アルカリ性水溶液に対して膨潤性又は溶解性を示す樹脂としては、例えば、酸性基を有するものが好適に挙げられ、具体的には、エポキシ化合物にエチレン性不飽和二重結合と酸性基とを導入した化合物(エポキシアクリレート化合物)、側鎖に(メタ)アクリロイル基、及び酸性基を有するビニル共重合体、エポキシアクリレート化合物と、側鎖に(メタ)アクリロイル基、及び酸性基を有するビニル共重合体との混合物、マレアミド酸系共重合体、などが好ましい。
前記酸性基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基、などが挙げられ、これらの中でも、原料の入手性などの観点から、カルボキシル基が好ましく挙げられる。
-Other resins-
As the resin that can be used in combination with the resin (A), a compound exhibiting swelling property with respect to an alkaline aqueous solution is preferable, and a compound that is soluble in an alkaline aqueous solution is more preferable.
As the resin exhibiting swellability or solubility with respect to an alkaline aqueous solution, for example, those having an acidic group are preferably mentioned. Specifically, an ethylenically unsaturated double bond and an acidic group are introduced into an epoxy compound. Compound (epoxy acrylate compound), vinyl copolymer having (meth) acryloyl group and acidic group in side chain, epoxy acrylate compound and vinyl copolymer having (meth) acryloyl group and acidic group in side chain And the like, and a maleamic acid copolymer are preferable.
The acidic group is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include a carboxyl group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group. Among these, the availability of raw materials, etc. From the viewpoint, a carboxyl group is preferable.
−樹脂(A)とその他の樹脂の比率―
前記樹脂(A)と併用することができる樹脂との合計の含有量としては、感光性樹脂組成物全固形分に対して、5〜70質量%が好ましく、10〜50質量%がより好ましい。該固形分含有量が、5質量%以上あれば、後述する感光性樹脂層の膜強度の弱化を抑制し、該感光性樹脂層表面のタック性悪化を防止することができる。また、70質量%以内であれば、露光感度の低下を抑えることができる。なお、前記含有量は、固形分含有量のことを示している。
-Ratio of resin (A) to other resins-
The total content of the resin (A) and the resin that can be used in combination is preferably 5 to 70% by mass and more preferably 10 to 50% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. When the solid content is 5% by mass or more, weakening of the film strength of the photosensitive resin layer described later can be suppressed and deterioration of the tackiness of the surface of the photosensitive resin layer can be prevented. Moreover, if it is within 70 mass%, the fall of exposure sensitivity can be suppressed. In addition, the said content has shown that solid content.
―重合性化合物(B)、その他の成分―
本発明において、上記以外の、重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)、その他の成分として公知の組成物を構成する成分を好適に用いることができ、例えば、特開2006−23696号公報の段落番号[0010]〜[0020]に記載の成分や、特開2006−64921号公報の段落番号[0027]〜[0053]に記載の成分が挙げられる。
-Polymerizable compound (B) and other components-
In the present invention, other than those described above, the polymerizable compound (B), the photopolymerization initiator (C), and other components constituting the known composition can be suitably used. For example, JP-A-2006-23696 Ingredients listed in paragraph Nos. [0010] to [0020] of JP, No. 2006-64921, and components described in paragraph Nos. [0027] to [0053] of JP-A No. 2006-64921.
前記樹脂(A)との関係において、重合性化合物(B)の樹脂(A)に対する質量比率((B)/(A)比)が0.3〜1.5であることが好ましく、0.4〜1.4であることはより好ましく、0.5〜1.2であることが特に好ましい。(B)/(A)比が前記好ましい範囲内であると、良好な現像性、力学強度を有するフォトスペーサーが得られる。 In the relationship with the resin (A), the mass ratio ((B) / (A) ratio) of the polymerizable compound (B) to the resin (A) is preferably 0.3 to 1.5, and It is more preferably 4 to 1.4, and particularly preferably 0.5 to 1.2. When the ratio (B) / (A) is within the preferred range, a photospacer having good developability and mechanical strength can be obtained.
−着色剤−
本発明における感光性樹脂組成物には、着色剤として、カラーフィルタ用途に好適な従来公知の種々の顔料を、目的に応じて1種又は2種以上選択して用いることができる。
-Colorant-
In the photosensitive resin composition of the present invention, various conventionally known pigments suitable for color filter use can be selected and used as a colorant, depending on the purpose.
本発明における感光性樹脂組成物には、カラーフィルタ用途に好適な、従来公知の種々の顔料を、目的に応じて1種又は2種以上選択して併用することができる。
本発明に係る感光性樹脂組成物に用いることができる顔料としては、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を用いることができる。また、無機顔料、有機顔料のいずれであっても、形成された感光性樹脂組成物が高光透過率であることが好ましいことを考慮すれば、なるべく細かい粒径の顔料を使用することが好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、上記顔料の平均粒子径は、0.01μm〜0.1μmが好ましく、0.01μm〜0.05μmがより好ましい。また、上記無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、および前記金属の複合酸化物を挙げることができる。
In the photosensitive resin composition of the present invention, conventionally known various pigments suitable for color filter applications can be selected and used in combination according to the purpose.
As the pigment that can be used in the photosensitive resin composition according to the present invention, various conventionally known inorganic pigments or organic pigments can be used. In addition, it is preferable to use a pigment having a particle size as small as possible considering that it is preferable that the formed photosensitive resin composition has a high light transmittance regardless of whether it is an inorganic pigment or an organic pigment. In consideration of handling properties, the average particle size of the pigment is preferably 0.01 μm to 0.1 μm, and more preferably 0.01 μm to 0.05 μm. Examples of the inorganic pigment include metal compounds represented by metal oxides, metal complex salts, and the like. Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc And metal oxides such as antimony, and composite oxides of the above metals.
有機顔料としては、例えば、
C.I.ピグメント イエロー 11、24、31、53、83、93、99、108、109、110、138、139、147、150、151、154、155、167、180、185、199;
C.I.ピグメント オレンジ 36、38、43、71;
C.I.ピグメント レッド 81、105、122、149、150、155、171、175、176、177、209、220、224、242、254、255、264、270;
C.I.ピグメント バイオレット 19、23、32、39;
C.I.ピグメント ブルー 1、2、15、15:1、15:3、15:6、16、22、60、66;
C.I.ピグメント グリーン 7、36、37;
C.I.ピグメント ブラウン 25、28;
C.I.ピグメント ブラック 1、7;
カーボンブラック等を挙げることができる。
As an organic pigment, for example,
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199;
C. I. Pigment orange 36, 38, 43, 71;
C. I. Pigment Red 81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177, 209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C. I. Pigment violet 19, 23, 32, 39;
C. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;
C. I. Pigment green 7, 36, 37;
C. I. Pigment brown 25, 28;
C. I. Pigment Black 1, 7;
Examples thereof include carbon black.
本発明では、特に顔料の構造式中に塩基性のN原子をもつものを好ましく用いることができる。これら塩基性のN原子をもつ顔料は本発明の組成物中で良好な分散性を示す。その原因については十分解明されていないが、感光性重合成分と顔料との親和性の良さが影響しているものと推定される。 In the present invention, those having a basic N atom in the structural formula of the pigment can be preferably used. These pigments having a basic N atom exhibit good dispersibility in the composition of the present invention. Although the cause is not fully elucidated, it is presumed that the good affinity between the photosensitive polymerization component and the pigment has an influence.
本発明において好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し本発明は、これらに限定されるものではない。 Examples of the pigment that can be preferably used in the present invention include the following. However, the present invention is not limited to these.
C.I.ピグメント イエロー 11、24、108、109、110、138、139、150、151、154、167、180、185、
C.I.ピグメント オレンジ 36、71、
C.I.ピグメント レッド 122、150、171、175、177、209、224、242、254、255、264、
C.I.ピグメント バイオレット 19、23、32、
C.I.ピグメント ブルー 15:1、15:3、15:6、16、22、60、66、
C.I.ピグメント ブラック 1
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
C. I. Pigment orange 36, 71,
C. I. Pigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C. I. Pigment violet 19, 23, 32,
C. I. Pigment Blue 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66,
C. I. Pigment Black 1
これら有機顔料は、単独もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。上記組合せの具体例を以下に示す。例えば、赤色用の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独またはそれらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料またはペリレン系赤色顔料と、の混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド177が挙げられ、ペリレン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、C.I.ピグメントレッド254が挙げられ、色再現性の点でC.I.ピグメントイエロー139との混合が好ましい。また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:50が好ましい。100:5以上であれば、400nmから500nmの光透過率を抑えることができ、色純度を上げることができる。また100:50以下であれば、主波長が短波長よりとなりにくく、NTSC目標色相からのずれを抑えることができる。特に、上記質量比としては、100:10〜100:30の範囲が最適である。尚、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。 These organic pigments can be used alone or in various combinations in order to increase color purity. Specific examples of the above combinations are shown below. For example, as red pigments, anthraquinone pigments, perylene pigments, diketopyrrolopyrrole pigments alone or at least one of them, disazo yellow pigments, isoindoline yellow pigments, quinophthalone yellow pigments or perylene red pigments And the like can be used. For example, as an anthraquinone pigment, C.I. I. Pigment red 177, and perylene pigments include C.I. I. Pigment red 155, C.I. I. Pigment Red 224, and diketopyrrolopyrrole pigments include C.I. I. Pigment red 254, and C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 139 is preferred. The mass ratio of the red pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 50. If it is 100: 5 or more, the light transmittance from 400 nm to 500 nm can be suppressed, and the color purity can be increased. If it is 100: 50 or less, the dominant wavelength is less likely to be shorter than the short wavelength, and deviation from the NTSC target hue can be suppressed. In particular, the mass ratio is optimally in the range of 100: 10 to 100: 30. In the case of a combination of red pigments, it can be adjusted in accordance with the chromaticity.
また、緑色用の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、または、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、C.I.ピグメントグリーン7、36、37とC.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー180またはC.I.ピグメントイエロー185との混合が好ましい。緑顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:150が好ましい。上記質量比が100:5以上有れば、400nm〜450nmの光透過率を抑えることができ、色純度を上げることができる。また、100:150以内であれば、主波長が長波長よりとなりにくく、NTSC目標色相からのずれを抑制することができる。上記質量比としては100:30〜100:120の範囲が特に好ましい。 Further, as the green pigment, a halogenated phthalocyanine pigment can be used alone, or a mixture thereof with a disazo yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment, an azomethine yellow pigment, or an isoindoline yellow pigment can be used. . For example, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 37 and C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180 or C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 185 is preferred. The mass ratio of the green pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 150. If the mass ratio is 100: 5 or more, the light transmittance of 400 nm to 450 nm can be suppressed, and the color purity can be increased. In addition, if it is within 100: 150, the dominant wavelength is less likely to be longer than the long wavelength, and deviation from the NTSC target hue can be suppressed. The mass ratio is particularly preferably in the range of 100: 30 to 100: 120.
青色用の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えばC.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、100:0〜100:30が好ましく、より好ましくは100:10以下である。 As the blue pigment, a phthalocyanine pigment can be used alone, or a mixture of this and a dioxazine purple pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Mixing with pigment violet 23 is preferred. The mass ratio of the blue pigment to the violet pigment is preferably 100: 0 to 100: 30, more preferably 100: 10 or less.
また、ブラックマトリックス用の顔料としては、前記黒色顔料以外のカーボン顔料、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン単独または混合が用いられ、前記黒色顔料とチタンカーボンとの組合せが好ましい。また、黒色顔料とチタンカーボンとの質量比は、100:0〜100:60の範囲が好ましい。100:61以上では、分散安定性が低下する場合がある。 Further, as the pigment for the black matrix, carbon pigments other than the black pigment, titanium carbon, iron oxide, titanium oxide alone or a mixture thereof is used, and a combination of the black pigment and titanium carbon is preferable. The mass ratio of the black pigment to titanium carbon is preferably in the range of 100: 0 to 100: 60. If it is 100: 61 or more, the dispersion stability may decrease.
本発明における顔料は、平均粒径r(単位nm)は、20≦r≦300、好ましくは125≦r≦250、特に好ましくは30≦r≦200を満たすことが望ましい。このような平均粒径rの顔料を用いることにより、高コントラスト比であり、かつ高光透過率の赤色および緑色の画素を得ることができる。ここでいう「平均粒径」とは、顔料の一次粒子(単微結晶)が集合した二次粒子についての平均粒径を意味する。
また、本発明において使用しうる顔料の二次粒子の粒径分布(以下、単に「粒径分布」という。)は、(平均粒径±100)nmに入る二次粒子が全体の70質量%以上、好ましくは80質量%以上であることが望ましい。
The pigment in the present invention preferably has an average particle diameter r (unit: nm) satisfying 20 ≦ r ≦ 300, preferably 125 ≦ r ≦ 250, particularly preferably 30 ≦ r ≦ 200. By using such a pigment having an average particle diameter r, red and green pixels having a high contrast ratio and a high light transmittance can be obtained. The “average particle diameter” as used herein means the average particle diameter of secondary particles in which primary particles (single microcrystals) of the pigment are aggregated.
In addition, the particle size distribution of the secondary particles of the pigment that can be used in the present invention (hereinafter, simply referred to as “particle size distribution”) is 70% by mass of the secondary particles falling within (average particle size ± 100) nm. As mentioned above, it is desirable that it is 80 mass% or more.
−顔料分散剤−
本発明では着色剤として顔料を用いる場合には、公知の顔料分散剤を併用することができる。顔料分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、および、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造からさらに直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
-Pigment dispersant-
In the present invention, when a pigment is used as the colorant, a known pigment dispersant can be used in combination. Examples of the pigment dispersant include polymer dispersants [for example, polyamidoamine and its salt, polycarboxylic acid and its salt, high molecular weight unsaturated acid ester, modified polyurethane, modified polyester, modified poly (meth) acrylate, (meth) acrylic. -Based copolymers, naphthalenesulfonic acid formalin condensates], and polyoxyethylene alkyl phosphate esters, polyoxyethylene alkyl amines, alkanol amines, pigment derivatives, and the like.
The polymer dispersant can be further classified into a linear polymer, a terminal-modified polymer, a graft polymer, and a block polymer according to the structure.
高分子分散剤は顔料の表面に吸着し、再凝集を防止する様に作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。一方で、顔料誘導体は顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。 The polymer dispersant is adsorbed on the surface of the pigment and acts to prevent reaggregation. Therefore, a terminal-modified polymer, a graft polymer and a block polymer having an anchor site to the pigment surface can be mentioned as preferred structures. On the other hand, the pigment derivative has an effect of promoting the adsorption of the polymer dispersant by modifying the pigment surface.
本発明に用いうる顔料分散剤の具体例としては、BYK Chemie社製「Disperbyk−101(ポリアミドアミン燐酸塩)、107(カルボン酸エステル)、110(酸基を含む共重合物)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共重合物)」、「BYK−P104、P105(高分子量不飽和ポリカルボン酸)、EFKA社製「EFKA4047、4050、4010、4165(ポリウレタン系)、EFKA4330、4340(ブロック共重合体)、4400、4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、5765(高分子量ポリカルボン酸塩)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6745(フタロシアニン誘導体)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファンテクノ社製「アジスパーPB821、PB822」、共栄社化学社製「フローレンTG−710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロンKS−860、873SN、874、#2150(脂肪族多価カルボン酸)、#7004(ポリエーテルエステル)、DA−703−50、DA−705、DA−725」、花王社製「デモールRN、N(ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物)、MS、C、SN−B(芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物)」、「ホモゲノールL−18(高分子ポリカルボン酸)」、「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、ルーブリゾール社製「ソルスパース5000(フタロシアニン誘導体)、22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、17000、27000(末端部に機能部を有する高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト型高分子)」、日光ケミカル者製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート)、MYS−IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」等が挙げられる。 Specific examples of the pigment dispersant that can be used in the present invention include “Disperbyk-101 (polyamidoamine phosphate), 107 (carboxylic acid ester), 110 (copolymer containing an acid group), 130 (polyamide) manufactured by BYK Chemie. ), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170 (polymer copolymer) ”,“ BYK-P104, P105 (high molecular weight unsaturated polycarboxylic acid) ”,“ EFKA 4047, 4050, 4010, manufactured by EFKA, 4165 (polyurethane series), EFKA4330, 4340 (block copolymer), 4400, 4402 (modified polyacrylate), 5010 (polyesteramide), 5765 (high molecular weight polycarboxylate), 6220 (fatty acid polyester), 6745 (phthalocyanine) Derivatives), 6750 (azo) "Adisper PB821, PB822" manufactured by Ajinomoto Fan Techno Co., "Floren TG-710 (urethane oligomer)" manufactured by Kyoeisha Chemical Co., "Polyflow No. 50E, No. 300 (acrylic copolymer)", “Disparon KS-860, 873SN, 874, # 2150 (aliphatic polycarboxylic acid), # 7004 (polyetherester), DA-703-50, DA-705, DA-725” manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd., Kao “Demol RN, N (Naphthalenesulfonic acid formalin polycondensate), MS, C, SN-B (aromatic sulfonic acid formalin polycondensate)”, “Homogenol L-18 (polymer polycarboxylic acid)”, “ Emulgen 920, 930, 935, 985 (polyoxyethylene nonylphenyl ether) ”,“ acetamine 86 (stearylamine acetate) ", Lubrizol" Solsperse 5000 (phthalocyanine derivative), 22000 (azo pigment derivative), 13240 (polyesteramine), 3000, 17000, 27000 (polymer having a functional part at the end), 24000, 28000, 32000, 38500 (graft type polymer) ”,“ Nikkor T106 (polyoxyethylene sorbitan monooleate), MYS-IEX (polyoxyethylene monostearate) ”manufactured by Nikko Chemicals, and the like.
感光性樹脂組成物における着色顔料の含有量は、該組成物を構成する全固形分に対して30質量%以上90質量%以下であることが好ましく、40質量%以上85質量%以下であることがより好ましく、50質量%以上80質量%以下であることがさらに好ましい。 The content of the color pigment in the photosensitive resin composition is preferably 30% by mass or more and 90% by mass or less, and preferably 40% by mass or more and 85% by mass or less based on the total solid content constituting the composition. Is more preferable, and it is further more preferable that it is 50 to 80 mass%.
―微粒子(D)―
感光性樹脂組成物において、微粒子を添加することが好ましい。例えば、液晶表示する際のスペーサーを形成する場合に好適である。前記微粒子(D)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、特開2003−302639号公報[0035]〜[0041]に記載の体質顔料が好ましく、中でも良好な現像性、力学強度を有するフォトスペーサーが得られるという観点からコロイダルシリカが好ましい。
-Fine particles (D)-
In the photosensitive resin composition, it is preferable to add fine particles. For example, it is suitable for forming a spacer for liquid crystal display. The fine particles (D) are not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, extender pigments described in JP-A No. 2003-302039 [0035] to [0041] are preferable. Colloidal silica is preferred from the viewpoint of obtaining a photospacer having good developability and mechanical strength.
前記微粒子(D)の平均粒子径は、高い力学強度を有するフォトスペーサーが得られるという観点から、5〜50nmであることが好ましく、10〜40nmであることがより好ましく、15〜30nmであることが特に好ましい。 The average particle diameter of the fine particles (D) is preferably 5 to 50 nm, more preferably 10 to 40 nm, and more preferably 15 to 30 nm from the viewpoint that a photospacer having high mechanical strength can be obtained. Is particularly preferred.
また、前記微粒子(D)の含有量は、高い力学強度を有するフォトスペーサーが得られるという観点から、本発明における感光性樹脂組成物中の全固形分に対する質量比率が5〜50質量%であることが好ましく、10〜40質量%であることがより好ましく、15〜30質量%であることが特に好ましい。 In addition, the content of the fine particles (D) is 5 to 50% by mass with respect to the total solid content in the photosensitive resin composition in the present invention from the viewpoint that a photospacer having high mechanical strength is obtained. It is preferably 10 to 40% by mass, more preferably 15 to 30% by mass.
−界面活性剤−
本発明における感光性樹脂組成物には、さらに、少なくとも1種の界面活性剤を含有することが好ましい。界面活性剤を含有することにより、表示ムラ(膜厚変動による色ムラを含む。)を効果的に防止でき、表示品位の高い画像を得ることができる。たとえば、カラーフィルタを作製して液晶表示装置を構成した場合に、画像の表示ムラを抑えて、表示品位の高い画像を表示することができる。
-Surfactant-
The photosensitive resin composition in the present invention preferably further contains at least one surfactant. By containing the surfactant, display unevenness (including color unevenness due to film thickness variation) can be effectively prevented, and an image with high display quality can be obtained. For example, when a liquid crystal display device is configured by producing a color filter, an image with high display quality can be displayed while suppressing display unevenness of the image.
前記界面活性剤としては、感光性樹脂組成物の前記構成成分と混ざり合うものを適宜選択することができる。具体的には、好ましい界面活性剤として、特開2003−337424号公報の段落番号[0015]〜[0024]、特開2003−177522号公報の段落番号[0012]〜[0017]、特開2003−177523号公報の段落番号[0012]〜[0015]、特開2003−177521号公報の段落番号[0010]〜[0013]、特開2003−177519号公報の段落番号[0010]〜[0013]、特開2003−177520号公報の段落番号[0012]〜[0015]、特開平11−133600号公報の段落番号[0034]〜[0035]、特開平6−16684号公報に発明として開示されている界面活性剤が挙げられる。 As the surfactant, those which are mixed with the constituent components of the photosensitive resin composition can be appropriately selected. Specifically, as preferable surfactants, paragraph numbers [0015] to [0024] of JP-A No. 2003-337424, paragraph numbers [0012] to [0017] of JP-A No. 2003-177522, JP 2003 Paragraph numbers [0012] to [0015] of JP-A-177523, paragraph numbers [0010] to [0013] of JP-A-2003-177521, and paragraph numbers [0010] to [0013] of JP-A-2003-177519. JP, 2003-177520, paragraph Nos. [0012] to [0015], JP-A No. 11-133600, paragraph numbers [0034] to [0035] and JP-A No. 6-16684 are disclosed as inventions. The surfactant which is mentioned is mentioned.
より高い効果を得る観点からは、フッ素系界面活性剤及び/又はシリコーン系界面活性剤(フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、フッ素原子と珪素原子との両方を含有する界面活性剤を含む。)のいずれか1種、あるいは2種以上を選択するのが好ましく、フッ素系界面活性剤が最も好ましい。
前記フッ素系界面活性剤を用いる場合、界面活性剤分子中のフッ素含有置換基のフッ素原子数が1〜38のものが好ましく、5〜25のものがより好ましく、7〜20のものが最も好ましい。フッ素原子数が上記範囲にあると、フッ素非含有の通常の溶媒に対する溶解性が確保され、塗布等によるムラから生ずる膜厚変動を効果的に防止することができる。
From the viewpoint of obtaining a higher effect, a fluorosurfactant and / or a silicone surfactant (a fluorosurfactant, a silicone surfactant, a surfactant containing both a fluorine atom and a silicon atom) It is preferable to select any one of them, or two or more thereof, and a fluorosurfactant is most preferable.
When using the said fluorosurfactant, the number of fluorine atoms of the fluorine-containing substituent in the surfactant molecule is preferably 1 to 38, more preferably 5 to 25, and most preferably 7 to 20. . When the number of fluorine atoms is in the above range, solubility in an ordinary solvent not containing fluorine is ensured, and film thickness fluctuation caused by unevenness due to coating or the like can be effectively prevented.
また、市販の界面活性剤をそのまま用いることもできる。市販の界面活性剤として、例えば、エフトップEF301、同EF303(新秋田化成(株)製)、フロラードFC430、同431(住友スリーエム(株)製)、メガファックF171、同F173、同F176、同F189、同F780F、同R08(大日本インキ化学工業(株)製)、サーフロンS−382、同SC101、同102、同103、同104、同105、同106(旭硝子(株)製)等のフッ素系界面活性剤、又はシリコーン系界面活性剤を挙げることができる。また、ポリシロキサンポリマーKP−341(信越化学工業(株)製)、トロイゾルS−366(トロイケミカル(株)製)もシリコーン系界面活性剤として用いることができる。 Commercially available surfactants can also be used as they are. Commercially available surfactants include, for example, F-top EF301, EF303 (manufactured by Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), Florard FC430, 431 (manufactured by Sumitomo 3M Co.), MegaFuck F171, F173, F176, F189, F780F, R08 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.), Surflon S-382, SC101, 102, 103, 104, 105, 106 (Asahi Glass Co., Ltd.), etc. Fluorine type surfactant or silicone type surfactant can be mentioned. Polysiloxane polymers KP-341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and Troisol S-366 (manufactured by Troy Chemical Co., Ltd.) can also be used as the silicone surfactant.
界面活性剤の感光性樹脂層中における含有量としては、感光性樹脂層の固形分(質量)に対して、0.01〜10質量%が好ましく、0.1〜7質量%がより好ましい。界面活性剤の含有量が特に前記範囲であると、高コントラストの表示画像中の表示ムラの防止に効果的である。 As content in surfactant in the photosensitive resin layer, 0.01-10 mass% is preferable with respect to solid content (mass) of the photosensitive resin layer, and 0.1-7 mass% is more preferable. When the content of the surfactant is particularly in the above range, it is effective for preventing display unevenness in a high-contrast display image.
[中間層]
感光性転写材料には、複数層を塗布する際及び塗布後の保存の際における成分の混合を防止する目的で、中間層を設けることが好ましい。例えば、熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層との間に形成することができる。
中間層としては、特開平5−72724号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断膜が好ましく、露光時の感度がアップし、露光機の時間負荷を低減し得、生産性が向上する。
[Middle layer]
The photosensitive transfer material is preferably provided with an intermediate layer for the purpose of preventing mixing of components during the application of a plurality of layers and during storage after the application. For example, it can be formed between a thermoplastic resin layer and a photosensitive resin layer.
As the intermediate layer, an oxygen barrier film having an oxygen barrier function, which is described as “separation layer” in JP-A-5-72724, is preferable, which increases the sensitivity during exposure and reduces the time load of the exposure machine. And productivity is improved.
酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。
例えば、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリビニルピロリドン系樹脂、セルロース系樹脂、アクリルアミド系樹脂、ポリエチレンオキサイド系樹脂、ゼラチン、ビニルエーテル系樹脂、ポリアミド樹脂、及びこれらの共重合体などの樹脂を用いて構成することができ、中でも特に好ましいのはポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組合せである。
The oxygen barrier film is preferably one that exhibits low oxygen permeability and is dispersed or dissolved in water or an aqueous alkali solution, and can be appropriately selected from known ones.
For example, it may be configured using a resin such as polyvinyl alcohol resin, polyvinyl pyrrolidone resin, cellulose resin, acrylamide resin, polyethylene oxide resin, gelatin, vinyl ether resin, polyamide resin, or a copolymer thereof. Among them, a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone is particularly preferable.
中間層には、必要に応じて界面活性剤などの添加剤を添加してもよい。
中間層の厚みは0.1〜5μmの範囲が好ましく、さらに好ましくは0.5〜3μmの範囲である。中間層の厚みが上記の範囲内であると、酸素遮断性を低下させることがなく、また、現像時の中間層除去時間が増大するのを防止することができる。
You may add additives, such as surfactant, to an intermediate | middle layer as needed.
The thickness of the intermediate layer is preferably in the range of 0.1 to 5 μm, more preferably in the range of 0.5 to 3 μm. When the thickness of the intermediate layer is within the above range, the oxygen barrier property is not deteriorated, and it is possible to prevent the intermediate layer removal time during development from increasing.
中間層は、前記樹脂及び必要に応じ添加剤を用いて調製した塗布液を塗布して塗設することができる。この塗布液の調製には溶媒を使用でき、該溶媒としては、前記樹脂が溶解するものであれば特に制限はなく、特に水又は、水に水混和性の有機溶剤を混合した混合溶媒が好ましい。 The intermediate layer can be applied by applying a coating solution prepared using the resin and, if necessary, an additive. A solvent can be used for the preparation of the coating solution, and the solvent is not particularly limited as long as the resin can be dissolved, and water or a mixed solvent obtained by mixing water-miscible organic solvent is particularly preferable. .
−他の層等−
本発明の感光性転写材料には、感光性樹脂層の表面に保護フィルムなどを更に設けて好適に構成することができる。
-Other layers-
The photosensitive transfer material of the present invention can be suitably configured by further providing a protective film or the like on the surface of the photosensitive resin layer.
感光性樹脂層の表面には、保管の際のゴミ等の不純物による汚染や損傷から保護する目的で、薄い保護フィルムを設けることが好ましい。保護フィルムは、感光性樹脂層から容易に剥離し得るものを用いることができ、仮支持体と同一若しくは類似の材料からなるものを好適に選択することができる。
保護フィルムに使用できる材料としては、例えば、シリコン紙、ポリオレフィンフィルムやシート、ポリテトラフルオロエチレンフィルムやシートが適当である。
A thin protective film is preferably provided on the surface of the photosensitive resin layer in order to protect it from contamination and damage due to impurities such as dust during storage. As the protective film, a film that can be easily peeled off from the photosensitive resin layer can be used, and a film made of the same or similar material as the temporary support can be suitably selected.
Suitable materials that can be used for the protective film include, for example, silicon paper, polyolefin films and sheets, and polytetrafluoroethylene films and sheets.
[感光性転写材料の作製]
本発明の感光性転写材料は、仮支持体側から順に熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを有し、前記熱可塑性樹脂層と前記感光性樹脂層の間に、少なくとも1層の中間層を有することが好ましい。
この感光性転写材料は、仮支持体上に、熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布し、乾燥させて熱可塑性樹脂層を設けた後、この熱可塑性樹脂層上に中間層用塗布液を塗布し、乾燥させて中間層を積層し、この中間層上に更に、感光性樹脂層用塗布液を塗布し、乾燥させて感光性樹脂層を積層することによって、好適に作製することができる。
ここで、前記熱可塑性樹脂層用塗布液は、I/O値が0.30〜0.45である化合物や、必要に応じて、熱可塑性の有機高分子と共に添加剤を溶解した溶解液として調製することができ、前記中間層用塗布液は、熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤に樹脂や添加剤を加えて調製した調製液であることが好ましい。また、前記感光性樹脂層用塗布液は、中間層を溶解しない溶剤を用いて調製することが好ましい。
[Production of photosensitive transfer material]
The photosensitive transfer material of the present invention has a thermoplastic resin layer and a photosensitive resin layer in order from the temporary support side, and at least one intermediate layer between the thermoplastic resin layer and the photosensitive resin layer. It is preferable to have.
In this photosensitive transfer material, a thermoplastic resin layer coating solution is applied onto a temporary support, dried to provide a thermoplastic resin layer, and then an intermediate layer coating solution is applied onto the thermoplastic resin layer. Then, the intermediate layer is laminated by drying, and a coating solution for the photosensitive resin layer is further coated on the intermediate layer, and dried to laminate the photosensitive resin layer.
Here, the coating solution for the thermoplastic resin layer is a compound having an I / O value of 0.30 to 0.45 or, as necessary, a solution in which an additive is dissolved together with a thermoplastic organic polymer. The intermediate layer coating solution can be prepared, and is preferably a preparation solution prepared by adding a resin or an additive to a solvent that does not dissolve the thermoplastic resin layer. Moreover, it is preferable to prepare the said coating liquid for photosensitive resin layers using the solvent which does not melt | dissolve an intermediate | middle layer.
仮支持体に感光性樹脂層を塗設する場合、感光性に調製された感光性樹脂層用塗布液を、公知の塗布方法(例えばスリットコーター等の塗布機を用いた塗布)により形成することができる。また、感光性樹脂層以外の熱可塑性樹脂層、中間層などの他の層を設ける場合も同様に行なえる。 When a photosensitive resin layer is coated on a temporary support, a photosensitive resin layer coating solution prepared to be photosensitive is formed by a known coating method (for example, coating using a coating machine such as a slit coater). Can do. The same can be applied to the case where other layers such as a thermoplastic resin layer and an intermediate layer other than the photosensitive resin layer are provided.
前記公知の塗布方法としては、スピンコート法、カーテンコート法、スリットコート法、ディップコート法、エアーナイフコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、スリットコート法、あるいは米国特許第2681294号明細書に記載のポッパーを使用するエクストルージョンコート法等が挙げられる。 Examples of the known coating methods include spin coating, curtain coating, slit coating, dip coating, air knife coating, roller coating, wire bar coating, gravure coating, slit coating, or US Patent No. Examples include an extrusion coating method using a popper described in US Pat. No. 2,681,294.
中でも、液が吐出する部分にスリット状の穴を有するスリット状ノズルにより、あるいはスリットコーターにより塗布することが好ましい。具体的には、特開2004−89851号公報、特開2004−17043号公報、特開2003−170098号公報、特開2003−164787号公報、特開2003−10767号公報、特開2002−79163号公報、特開2001−310147号公報等に記載のスリット状ノズル、及びスリットコーターが好適に用いられる。 Among these, it is preferable to apply by means of a slit-like nozzle having a slit-like hole in a portion from which the liquid is discharged or by a slit coater. Specifically, JP-A-2004-89851, JP-A-2004-17043, JP-A-2003-170098, JP-A-2003-164787, JP-A-2003-10767, JP-A-2002-79163. Slit nozzles and slit coaters described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-310147 and the like are preferably used.
上記による以外に、仮支持体上に該仮支持体側から順に熱可塑性樹脂層及び中間層を設けた第1シートと、保護フィルム上に感光性樹脂層を設けた第2シートとを用意し、第1シートの中間層表面と感光性樹脂層の表面とが接するように貼り合せることによって作製することもできる。また更に、仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設けた第1シートと、保護フィルム上に該保護フィルム側から順に感光性樹脂層及び中間層を設けた第2シートとを用意し、第1シートの中間層表面と第2シートの熱可塑性樹脂層の表面とが接するように貼り合せることによって作製することもできる。 In addition to the above, prepare a first sheet provided with a thermoplastic resin layer and an intermediate layer in order from the temporary support side on the temporary support, and a second sheet provided with a photosensitive resin layer on the protective film, It can also produce by bonding together so that the intermediate | middle layer surface of a 1st sheet | seat and the surface of the photosensitive resin layer may contact | connect. Furthermore, a first sheet provided with a thermoplastic resin layer on a temporary support and a second sheet provided with a photosensitive resin layer and an intermediate layer in order from the protective film side on a protective film are prepared. It can also be produced by bonding so that the surface of the intermediate layer of the sheet is in contact with the surface of the thermoplastic resin layer of the second sheet.
<カラーフィルタ及びその製造方法>
本発明のカラーフィルタの製造方法は、既述の本発明の感光性転写材料を用いて基板上に少なくとも感光性樹脂層を転写する転写工程と、基板上に転写された少なくとも感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光後の感光性樹脂層を現像処理する現像工程とを設けて構成されたものである。
<Color filter and manufacturing method thereof>
The method for producing a color filter of the present invention comprises a transfer step of transferring at least a photosensitive resin layer onto a substrate using the above-described photosensitive transfer material of the present invention, and at least a photosensitive resin layer transferred onto the substrate. An exposure process for exposure and a development process for developing the exposed photosensitive resin layer are provided.
前記転写工程では、本発明の感光性転写材料を用い、仮支持体上に設けられた感光性樹脂層を、その表面が被転写材である基板の表面と接するようにして重ね合わせ、さらに加熱及び/又は加圧したローラー又は平板で圧着又は加熱圧着して貼り合わせ、その後剥離することにより基板面に感光性樹脂層を転写する。 In the transfer step, the photosensitive transfer material of the present invention is used, the photosensitive resin layer provided on the temporary support is overlaid so that the surface thereof is in contact with the surface of the substrate that is the transfer material, and further heated. And the photosensitive resin layer is transcribe | transferred to a board | substrate surface by bonding by pressure-bonding or thermocompression bonding with the pressurized roller or flat plate, and peeling after that.
具体的には、特開平7−110575号公報、特開平11−77942号公報、特開2000−334836号公報、特開2002−148794号公報に記載のラミネーター及びラミネート方法が挙げられ、低異物の観点で、特開平7−110575号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。 Specific examples include laminators and laminating methods described in JP-A-7-110575, JP-A-11-77942, JP-A-2000-334836, and JP-A-2002-148794. From the viewpoint, it is preferable to use the method described in JP-A-7-110575.
被転写材となる基板には、透明基板が好適であり、例えば、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、あるいはプラスチックスフィルム等を挙げることができる。また、基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、感光性樹転写材料の感光性樹脂層との間の密着を良好にすることができる。カップリング処理としては、特開2000−39033号公報に記載の方法が好適に用いられる。
なお、基板の厚みとしては、700〜1200μmが一般的に好ましい。
A transparent substrate is suitable for the substrate to be transferred. For example, a known glass plate such as a soda glass plate having a silicon oxide film on its surface, a low expansion glass, a non-alkali glass, a quartz glass plate, or a plastic glass plate. A film etc. can be mentioned. Moreover, the substrate can be made to have good adhesion with the photosensitive resin layer of the photosensitive tree transfer material by performing a coupling treatment in advance. As the coupling treatment, a method described in JP 2000-39033 A is preferably used.
In addition, as thickness of a board | substrate, 700-1200 micrometers is generally preferable.
前記露光工程では、前記転写工程で基板上に転写形成された感光性樹脂層をパターン状に露光する。具体的には、例えば、基板上に形成された感光性樹脂層の上方に所定のマスクを配置し、該マスク及び場合により熱可塑性樹脂層及び中間層を介してマスクの更に上方(マスクの感光性樹脂層と対向しない側)から露光することができる。 In the exposure step, the photosensitive resin layer transferred and formed on the substrate in the transfer step is exposed in a pattern. Specifically, for example, a predetermined mask is disposed above the photosensitive resin layer formed on the substrate, and further above the mask (mask photosensitive resin) via the mask and optionally a thermoplastic resin layer and an intermediate layer. From the side not facing the photosensitive resin layer).
露光に用いる光源としては、感光性樹脂層の感応波長に属し硬化しうる波長域の光(例えば、365nm、405nmなど)を照射できるものを適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、通常5〜200mJ/cm2程度であり、好ましくは10〜100mJ/cm2程度である。 As a light source used for exposure, a light source that can be irradiated with light in a wavelength range that belongs to the sensitive wavelength of the photosensitive resin layer and can be cured (eg, 365 nm, 405 nm, etc.) can be appropriately selected and used. Specifically, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, etc. are mentioned. As an exposure amount, it is about 5-200 mJ / cm < 2 > normally, Preferably it is about 10-100 mJ / cm < 2 >.
前記現像工程では、少なくとも前記露光工程で露光された後の感光性樹脂層を、現像液を用いて現像する。現像液としては、特に制約はなく、特開平5−72724号公報に記載のものなど、公知の現像液を使用することができる。
現像液は、感光性樹脂層が溶解性を示す現像挙動をするものが好ましく、例えば、pKa=7〜13の化合物を0.05〜5mol/lの濃度で含むものが好ましい。さらに、水と混和性の有機溶剤を少量添加してもよい。
In the developing step, at least the photosensitive resin layer exposed in the exposing step is developed using a developer. There is no restriction | limiting in particular as a developing solution, Well-known developing solutions, such as a thing described in Unexamined-Japanese-Patent No. 5-72724, can be used.
The developer preferably has a developing behavior in which the photosensitive resin layer exhibits solubility. For example, a developer containing a compound having a pKa of 7 to 13 at a concentration of 0.05 to 5 mol / l is preferable. Further, a small amount of an organic solvent miscible with water may be added.
水と混和性の有機溶剤としては、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等が挙げられる。有機溶剤の濃度は0.1〜30質量%が好ましい。
また、現像液には、更に公知の界面活性剤を添加してもよく、添加する場合の添加濃度は0.01〜10質量%が好ましい。
Examples of water-miscible organic solvents include methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, benzyl alcohol, Examples include acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, and N-methylpyrrolidone. The concentration of the organic solvent is preferably 0.1 to 30% by mass.
Further, a known surfactant may be further added to the developer, and the concentration of addition is preferably 0.01 to 10% by mass.
現像の方式としては、パドル現像、シャワー現像、シャワー&スピン現像、ディプ現像等のいずれでもよい。
シャワー現像による場合、露光工程後の感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。現像液の液温度は20℃〜40℃が好ましく、また、現像液のpHは8〜13が好ましい。
また、現像前には予め、感光性樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。現像後には更に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。
As a development method, any of paddle development, shower development, shower & spin development, dip development and the like may be used.
In the case of shower development, an uncured portion can be removed by spraying a developer onto the photosensitive resin layer after the exposure process. The liquid temperature of the developer is preferably 20 ° C. to 40 ° C., and the pH of the developer is preferably 8 to 13.
Further, before development, it is preferable to spray an alkaline solution having a low solubility of the photosensitive resin layer by a shower or the like in advance to remove the thermoplastic resin layer, the intermediate layer, and the like. After the development, it is preferable to remove the development residue while spraying a cleaning agent or the like with a shower and rubbing with a brush or the like.
前記洗浄剤には、公知のものを使用できるが、例えば、富士フイルム(株)製のT−SD1(燐酸塩、珪酸塩、ノニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有)又はT−SD2(炭酸ナトリウム及びフェノキシオキシエチレン系界面活性剤含有)が好ましく使用できる。 As the cleaning agent, known ones can be used. For example, T-SD1 (containing phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, and stabilizer) manufactured by Fuji Film Co., Ltd. or T- SD2 (containing sodium carbonate and phenoxyoxyethylene surfactant) can be preferably used.
さらに、現像処理された感光性樹脂層を加熱によりベーク処理を施すことができる。ベーク処理は、200〜240℃、10〜20分程度の条件が望ましい。 Further, the developed photosensitive resin layer can be baked by heating. The baking treatment is preferably performed at 200 to 240 ° C. for about 10 to 20 minutes.
上記のようにして、本発明の感光性転写材料を用いて基板上に硬化物(着色剤としてカーボンブラックを主に含んで黒着色されているときにはブラックマトリクスなどの遮光膜)を形成することができる。例えば、本発明の感光性転写材料を用いて基板上にブラックマトリクスを形成した場合、この基板に赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の着色画素を設けることでカラーフィルタを作製することができる。具体的には、ブラックマトリクス付基板上に、R、G又はBに着色された感光性樹脂層を形成し、これを少なくとも露光、現像する操作を所望の色の数だけ繰り返し行なう方法など公知の方法で作製することができる。 As described above, by using the photosensitive transfer material of the present invention, a cured product (a light shielding film such as a black matrix when carbon black is mainly included as a colorant and is black-colored) can be formed. it can. For example, when a black matrix is formed on a substrate using the photosensitive transfer material of the present invention, a color filter is prepared by providing red (R), green (G), and blue (B) colored pixels on the substrate. can do. Specifically, a method of forming a photosensitive resin layer colored R, G, or B on a substrate with a black matrix and repeating the operation of exposing and developing at least the number of desired colors is known. Can be produced by a method.
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法について、ブラックマトリックスを転写形成する場合を例に更に詳細に示す。
i)基板洗浄
まず、無アルカリガラス基板(以下、「ガラス基板」と略記する。)を用意し、転写工程前に予め、ガラス基板面の汚れを除去するために洗浄を行なう。例えば、25℃に調整したガラス洗浄剤液(商品名:T−SD1、T−SD2 富士フイルム(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有す回転ブラシで洗浄し、更に純水シャワー洗浄を行なう。
Hereinafter, the method for producing a color filter of the present invention will be described in more detail by taking as an example the case of transferring a black matrix.
i) Substrate cleaning First, an alkali-free glass substrate (hereinafter abbreviated as “glass substrate”) is prepared, and cleaning is performed in advance to remove stains on the glass substrate surface before the transfer step. For example, glass cleaner liquid adjusted to 25 ° C. (trade names: T-SD1, T-SD2, manufactured by Fuji Film Co., Ltd.) is washed with a rotating brush having nylon hair while spraying for 20 seconds in a shower, and further purified water Perform shower cleaning.
ii)シランカップリング処理
後の転写工程におけるラミネートによる感光性樹脂層の密着性を高めるために、シランカップリング処理を実施することが好ましい。シランカップリング剤としては、感光性樹脂と相互作用する官能基を有するものが好ましい。例えばシランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄する。この後、加熱により反応させる。加熱槽を用いてもよく、ラミネーターの基板予備加熱でも反応を促進できる。
ii) Silane coupling treatment In order to enhance the adhesion of the photosensitive resin layer by lamination in the subsequent transfer step, it is preferable to carry out a silane coupling treatment. As the silane coupling agent, those having a functional group that interacts with the photosensitive resin are preferable. For example, a silane coupling solution (N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane 0.3 mass% aqueous solution, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) is sprayed for 20 seconds by a shower, and pure water shower washing is performed. To do. Thereafter, the reaction is carried out by heating. A heating tank may be used, and the reaction can be promoted by preheating the substrate with a laminator.
iii)ラミネート(転写工程)
洗浄及びシランカップリング処理後のガラス基板を基板予備加熱装置で100℃で2分間加熱し、ラミネーターに送る。そして、感光性転写材料の保護フィルムを剥離後、露出した感光性樹脂層をラミネーターを用いて、既に100℃に加熱されたガラス基板面に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分の条件にてラミネートする。ゴムローラーは、150℃以上であると転写材料にシワがはいり、100℃以下では感光性樹脂層の密着が弱くなることがある。
iii) Lamination (transfer process)
The glass substrate after the cleaning and silane coupling treatment is heated at 100 ° C. for 2 minutes with a substrate preheating device and sent to a laminator. Then, after peeling off the protective film of the photosensitive transfer material, the exposed photosensitive resin layer is transferred to a glass substrate surface already heated to 100 ° C. using a laminator, with a rubber roller temperature of 130 ° C., a linear pressure of 100 N / cm, and conveyed. Lamination is performed at a speed of 2.2 m / min. If the rubber roller is 150 ° C. or higher, the transfer material will be wrinkled, and if it is 100 ° C. or lower, the adhesion of the photosensitive resin layer may be weak.
iv)露光(露光工程)
次いで、仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を備えたプロキシミティー型露光機でパターン状に露光する。基板サイズが50cm以上の場合、マスクの撓み防止の点で、基板とマスク(画像パターンを有する石英露光マスク)とをともに垂直に立てた状態で露光するのが好ましい。露光マスク面と感光性樹脂層表面の間の距離は短いほど解像はよいが、異物が付着しやすいので、100〜300μmが望ましい。露光量は、10〜80mJ/cm2が望ましい。
iv) Exposure (exposure process)
Next, after peeling off the temporary support, exposure is performed in a pattern with a proximity type exposure machine equipped with an ultrahigh pressure mercury lamp. When the substrate size is 50 cm or more, it is preferable that the substrate and the mask (quartz exposure mask having an image pattern) are both exposed in a vertical state in order to prevent the mask from being bent. The shorter the distance between the exposure mask surface and the photosensitive resin layer surface, the better the resolution, but foreign matter tends to adhere, so 100 to 300 μm is desirable. The exposure amount is desirably 10 to 80 mJ / cm 2 .
v)熱可塑性樹脂層及び中間層の除去
露光後、トリエタノールアミン系現像液T−PD1(2.5%のトリエタノールアミン含有、ノニオン界面活性剤含有、ポリプロピレン系消泡剤含有;富士フイルム(株)製)などで熱可塑性樹脂層と中間層とを現像除去する。このとき、理想的には感光性樹脂層は全く現像されない条件等に設定するのが望ましい。例えば、30℃で50秒間、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー状に供給する態様が望ましい。
v) Removal of thermoplastic resin layer and intermediate layer After exposure, triethanolamine developer T-PD1 (2.5% triethanolamine-containing, nonionic surfactant-containing, polypropylene-based antifoaming agent; Fuji Film ( The thermoplastic resin layer and the intermediate layer are developed and removed by, for example, a product of KK Corporation. At this time, ideally, it is desirable that the photosensitive resin layer is set to a condition in which development is not performed at all. For example, it is desirable to supply in a shower form at a flat nozzle pressure of 0.04 MPa at 30 ° C. for 50 seconds.
vi)感光性樹脂層の現像(現像工程)
次いで、感光性樹脂層をアルカリにて現像してブラックマトリクスをなすパターンを形成する。例えば、炭酸Na系現像液T−CD1(0.06モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、1質量%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有;富士フイルム(株)製)が用いられる。条件としては、例えば、35℃で35秒間、コーン型ノズル圧力0.15MPaでのシャワー等とする。現像液としては、KOH系、TMAΗ系を用いてもよい。
vi) Development of photosensitive resin layer (development process)
Next, the photosensitive resin layer is developed with alkali to form a pattern forming a black matrix. For example, sodium carbonate developer T-CD1 (0.06 mol / liter sodium bicarbonate, sodium carbonate of the same concentration, 1% by weight of sodium dibutylnaphthalenesulfonate, anionic surfactant, antifoaming agent, and stabilizer Contained; manufactured by FUJIFILM Corporation). The condition is, for example, a shower at 35 ° C. for 35 seconds and a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa. As the developing solution, KOH type or TMA type may be used.
vii)残渣除去
引き続き、洗浄剤(富士フイルム(株)製のT−SD1、T−SD2等)を用いて残渣除去を行ない、未露光部における感光性樹脂層の残成分が除去される。条件としては、例えば、33℃で20秒間、コーン型ノズル圧力0.02MPaでのシャワー及びナイロン毛を有する回転ブラシによる回転等とする。
vii) Residue removal Subsequently, the residue is removed using a cleaning agent (T-SD1, T-SD2, etc. manufactured by Fuji Film Co., Ltd.) to remove the remaining components of the photosensitive resin layer in the unexposed area. The conditions include, for example, a shower at a cone type nozzle pressure of 0.02 MPa for 20 seconds at 33 ° C. and rotation by a rotating brush having nylon bristles.
viii)ポスト露光
次いで、ガラス基板に対し、パターンが形成されている側から超高圧水銀灯で500mJ/cm2程度にてポスト露光を行なう。これにより、後のベークでの重合効果が高まると共に、ポスト露光の量によりベーク後のブラックマトリクスの断面形状を調整することができる。両面から実施してもよく、また、100〜800mJ/cm2の範囲で選択できる。
viii) Post-exposure Next, the glass substrate is subjected to post-exposure from the side where the pattern is formed with an ultra-high pressure mercury lamp at about 500 mJ / cm 2 . Thereby, the polymerization effect in the subsequent baking is enhanced, and the cross-sectional shape of the black matrix after baking can be adjusted by the amount of post exposure. You may implement from both surfaces and can select in the range of 100-800 mJ / cm < 2 >.
ix)ベーク処理(ベーク工程)
モノマー又はオリゴマーを反応させて硬い膜とするため、ベーク処理を行なうことが好ましい。ベークは、200〜240℃、10〜20分程度の条件が望ましい。なお、ベーク処理は、ブラックマトリクスを形成した後にRGBの着色画素を上記と同様にして形成する場合は、ブラックマトリクス及び着色画素を形成後に一括して行なうようにしてもよい。
ix) Baking process (baking process)
In order to react the monomer or oligomer to form a hard film, baking is preferably performed. The baking is preferably performed at 200 to 240 ° C. for about 10 to 20 minutes. In the case where the RGB colored pixels are formed in the same manner as described above after the black matrix is formed, the baking process may be performed collectively after the black matrix and the colored pixels are formed.
本発明のカラーフィルタは、本発明のカラーフィルタの製造方法により上記のようにして作製されるものであり、既述の本発明の感光性転写材料を用いるので、転写形成された像(ブラックマトリクスなど)は高速で転写を行っても転写不良が起こりにくい。 The color filter of the present invention is produced as described above by the method for producing a color filter of the present invention. Since the photosensitive transfer material of the present invention described above is used, a transferred image (black matrix) is produced. Are not likely to cause transfer defects even when transferred at high speed.
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」および「%」は質量基準である。 EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “part” and “%” are based on mass.
<実施例1>
(感光性転写材料)
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体(PET仮支持体)上に、下記処方1の各成分を混合し、更に熱可塑性樹脂層の全質量の0.8質量%となるように、セバシン酸ジオクチル(I/O値=0.35)を添加して熱可塑性樹脂層用塗布液を調製した。これを塗布して100℃で5分間乾燥させ、乾燥層厚15μmの熱可塑性樹脂層を形成した。
<Example 1>
(Photosensitive transfer material)
Each component of the following formulation 1 is mixed on a 75 μm-thick polyethylene terephthalate film temporary support (PET temporary support), and further sebacic acid so as to be 0.8% by mass of the total mass of the thermoplastic resin layer. Dioctyl (I / O value = 0.35) was added to prepare a coating solution for a thermoplastic resin layer. This was applied and dried at 100 ° C. for 5 minutes to form a thermoplastic resin layer having a dry layer thickness of 15 μm.
[熱可塑性樹脂層用塗布液の処方1]
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=55/12/5/28[モル比]、重量平均分子量90,000)
・・・・93.1部
・スチレン/アクリル酸共重合体(=63/37[モル比]、重量平均分子量8000)
・・・113.7部
・2,2−ビス〔4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル〕プロパン
・・・106.5部
・界面活性剤1(メガファックF−780F、大日本インキ化学工業(株)製)
・・・・・6.0部
・メタノール ・・・175.0部
・1−メトキシ−2−プロパノール ・・・・80.0部
・メチルエチルケトン ・・・425.7部
[Formulation 1 of coating solution for thermoplastic resin layer]
Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 55/12/5/28 [molar ratio], weight average molecular weight 90,000)
.... 93.1 parts
Styrene / acrylic acid copolymer (= 63/37 [molar ratio], weight average molecular weight 8000)
... 113.7 parts 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane
... 106.5 parts-Surfactant 1 (Megafac F-780F, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
··· 6.0 parts · Methanol · · · 175.0 · · 1-methoxy-2-propanol · · · 80.0 · · Methyl ethyl ketone · · · 425.7 parts
次に、形成した熱可塑性樹脂層上に、下記処方Bからなる中間層用塗布液を塗布して100℃で5分間乾燥させて、乾燥層厚1.5μmの中間層を積層した。 Next, an intermediate layer coating solution having the following formulation B was applied onto the formed thermoplastic resin layer and dried at 100 ° C. for 5 minutes to laminate an intermediate layer having a dry layer thickness of 1.5 μm.
[中間層用塗布液の処方B]
・ポリビニルアルコール(PVA−205、鹸化率80%、(株)クラレ製)
・・・・32.2部
・ポリビニルピロリドン(PVP K−30、アイエスピー・ジャパン(株)製)
・・・・14.8部
・メタノール ・・・429 部
・蒸留水 ・・・524 部
[Prescription B of coating solution for intermediate layer]
Polyvinyl alcohol (PVA-205, saponification rate 80%, manufactured by Kuraray Co., Ltd.)
・ ・ ・ ・ 32.2 parts ・ Polyvinylpyrrolidone (PVP K-30, manufactured by IS Japan Co., Ltd.)
··· 14.8 parts · Methanol · · · 429 parts · Distilled water · · · 524 parts
次に、形成した中間層上に更に、下記に示すように調製した濃色組成物K1(感光性樹脂層用塗布液)を塗布して、100℃で5分間乾燥させて、乾燥層厚2.3μmの感光性樹脂層を積層した。
下記に示す処方からなるK顔料分散物1、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを、下記表1に記載の量、計り取り、温度24℃で混合した。この混合物を、24℃下、150rpmの回転数で10分間攪拌しながら、下記表1に記載の量のメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、バインダー2、フェノチアジン、DPHA液、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ビスジエトキシカルボニルメチル)アミノ−3’−ブロモフェニル]−s−トリアジン、及び上記界面活性剤1をこの順に添加した。その後、温度40℃下、150rpmの回転数で30分間攪拌することによって、濃色組成物K1を得た。
なお、下記表1に記載の量は質量部であり、各成文の詳細は下記の通りである。
Next, a dark color composition K1 (photosensitive resin layer coating solution) prepared as shown below was further applied onto the formed intermediate layer, dried at 100 ° C. for 5 minutes, and dried layer thickness 2 A 3 μm photosensitive resin layer was laminated.
The K pigment dispersion 1 having the formulation shown below and propylene glycol monomethyl ether acetate were measured in the amounts shown in Table 1 below, and mixed at a temperature of 24 ° C. While stirring this mixture at 24 ° C. and 150 rpm for 10 minutes, the amounts of methyl ethyl ketone, cyclohexanone, binder 2, phenothiazine, DPHA solution, 2,4-bis (trichloromethyl) -6 shown in Table 1 below. -[4 '-(N, N-bisdiethoxycarbonylmethyl) amino-3'-bromophenyl] -s-triazine and the surfactant 1 were added in this order. Then, the dark color composition K1 was obtained by stirring for 30 minutes at the rotation speed of 150 rpm under the temperature of 40 degreeC.
In addition, the quantity of the following Table 1 is a mass part, and the detail of each composition is as follows.
〔K顔料分散物1〕
・カーボンブラック(デグッサ社製 Nipex35) ・・・13.1 %
・分散剤(下記化合物1) ・・・・0.65%
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、分子量3.7万)
・・・・6.72%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・79.5 %
[K pigment dispersion 1]
・ Carbon black (Nippex 35 manufactured by Degussa) ... 13.1%
・ Dispersant (compound 1 below) ・ ・ ・ ・ 0.65%
・ Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio random copolymer, molecular weight 37,000)
・ ・ ・ ・ 6.72%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 79.5%
〔バインダー2〕
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比のランダム共重合物、分子量3.8万) ・・・27%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・73%
[Binder 2]
・ Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 molar ratio random copolymer, molecular weight 38,000) 27%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 73%
〔DPHA液〕
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合禁止剤MEHQ 500ppm含有、日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA) ・・・76%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・24%
[DPHA solution]
・ Dipentaerythritol hexaacrylate (containing polymerization inhibitor MEHQ 500 ppm, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: KAYARAD DPHA) 76%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate: 24%
以上のようにして、PET仮支持体/熱可塑性樹脂層/中間層/感光性樹脂層の積層構造に構成した後、感光性樹脂層の表面に更に、カバーフィルムとして厚み12μmのポリプロピレン製フィルムを加熱・加圧して貼り付け、感光性転写材料を得た。 After forming the laminated structure of the PET temporary support / thermoplastic resin layer / intermediate layer / photosensitive resin layer as described above, a polypropylene film having a thickness of 12 μm is further formed on the surface of the photosensitive resin layer as a cover film. A photosensitive transfer material was obtained by pasting by heating and pressing.
〔感光性転写材料の評価〕
実施例1の感光性転写材料について、以下の評価を行った。
−転写性(ラミネーション)の評価−
一辺が500μmの正方形で、高さ2.3μmの画素が基板前面に市松模様に形成されたガラス基板(厚さ1.1mm)を準備した。ポリプロピレンシートを剥離した感光性転写材料の感光性樹脂層とガラス基板の画素が形成された側が向かい合うように、両者を重ね、ラミネーター(大阪ラミネーター(株)製VP−11)を用いてラミネートした。ラミネートの条件はローラー温度130℃、 圧力10kg/cm、速度0.8m/分とした。
ラミネート後、基板を光学顕微鏡で観察して発生する気泡の大きさを評価した。気泡が発生している場合、その形状は円形、楕円形、角のとれた菱形の何れかであった。そこで円の直径、楕円形の長軸の長さ、菱形の長いほうの対角線の長さを気泡の大きさとして、次のように分類した。
A:気泡の発生なし
B:気泡の大きさが30μm未満
C:気泡の大きさが30μm以上60μm未満
D:気泡の大きさが60μm以上100μm未満
E:気泡の大きさが100μm以上
評価結果を表8に示す。
[Evaluation of photosensitive transfer material]
The photosensitive transfer material of Example 1 was evaluated as follows.
-Evaluation of transferability-
A glass substrate (thickness: 1.1 mm) in which a square having a side of 500 μm and a pixel having a height of 2.3 μm was formed in a checkered pattern on the front surface of the substrate was prepared. Both were laminated so that the photosensitive resin layer of the photosensitive transfer material from which the polypropylene sheet had been peeled and the side on which the pixels of the glass substrate were formed faced each other, and were laminated using a laminator (VP-11 manufactured by Osaka Laminator Co., Ltd.). Lamination conditions were a roller temperature of 130 ° C., a pressure of 10 kg / cm, and a speed of 0.8 m / min.
After the lamination, the size of bubbles generated was evaluated by observing the substrate with an optical microscope. When bubbles were generated, the shape was either a circle, an ellipse, or a diamond with a corner. Therefore, the diameter of the circle, the length of the major axis of the ellipse, and the length of the longer diagonal of the rhombus were classified as the bubble size as follows.
A: No bubble is generated B: Bubble size is less than 30 μm C: Bubble size is 30 μm or more and less than 60 μm D: Bubble size is 60 μm or more and less than 100 μm E: Bubble size is 100 μm or more It is shown in FIG.
−レチュキレーションの評価−
カバーフィルムをはがした感光性転写材料を45℃/75%RHの雰囲気下で3日間保管した。その後、感光性樹脂層と中間層を剥離して熱可塑性樹脂層の表面を光学顕微鏡で観察してレチュキレーションの発生の有無を観察した。レチュキレーションの程度は次の3ランクに分類して評価した。
A:レチュキレーションは発生していない
B:レチュキレーションがわずかに発生し、熱可塑性樹脂層表面に凹凸がみられる
C:レチュキレーションが発生し、熱可塑性樹脂層表面にシワ状の模様がみられる
評価結果を表8に示す。
-Evaluation of rechation-
The photosensitive transfer material with the cover film peeled off was stored for 3 days in an atmosphere of 45 ° C./75% RH. Thereafter, the photosensitive resin layer and the intermediate layer were peeled off, and the surface of the thermoplastic resin layer was observed with an optical microscope to observe the occurrence of reticulation. The degree of rechuking was classified into the following three ranks and evaluated.
A: No recursion occurred B: Recuration slightly occurred and irregularities were observed on the surface of the thermoplastic resin layer C: Reticulation occurred and a wrinkled pattern was observed on the surface of the thermoplastic resin layer The evaluation results are shown in Table 8.
−熱可塑性樹脂層の染み出しの評価−
カバーフィルムがついたままの感光性転写材料を、5cm×5cmの大きさに裁断し、この感光性転写材料20枚を、カバーフィルムの表面(感光性樹脂層が設けられていない側の面)と、仮支持体の表面(感光性樹脂層が設けられていない面)とが接するように、順次重ね合わせて、水平に置かれた台の上に置いた。この上に5kgの加重をかけて、3日間保管した。その後、熱可塑性樹脂層が感光性転写材料周辺部に染み出して、感光性転写材料同士にくっつきが生じたかどうか観察した。くっつきが生じるものは好ましくない。ここでは、くっつきの程度を次の3ランクに分類して評価した。
A:くっつきは発生していない
B:わずかにくっつきが発生しているが、くっつきは軽く外れる
C:くっつきが発生し、感光性転写材料同士が硬く繋がっている
評価結果を表8に示す。
-Evaluation of seepage of thermoplastic resin layer-
The photosensitive transfer material with the cover film attached is cut into a size of 5 cm × 5 cm, and 20 sheets of the photosensitive transfer material are coated on the surface of the cover film (the surface on which the photosensitive resin layer is not provided). And the surface of the temporary support (the surface on which the photosensitive resin layer is not provided) were sequentially overlapped and placed on a horizontally placed table. On top of this, a weight of 5 kg was applied and stored for 3 days. Thereafter, it was observed whether or not the thermoplastic resin layer oozed out to the periphery of the photosensitive transfer material and the photosensitive transfer material was stuck to each other. Those that cause sticking are not preferred. Here, the degree of sticking was classified into the following three ranks and evaluated.
A: No sticking has occurred B: Slight sticking has occurred, but the sticking is slightly removed C: Sticking has occurred and the photosensitive transfer materials are firmly connected to each other Table 8 shows the evaluation results.
(カラーフィルタ)
以下に示すようにして、上記より得た実施例1の感光性転写材料(黒色感光性転写材料K201)及び下記着色感光性転写材料(R201、G201、B201)を用いて転写によりカラーフィルタを作製した。黒色感光性転写材料K201は、カバーフィルムがついたままの状態で45℃/75%RHの雰囲気下で3日間保管したものを用いた。
(Color filter)
As shown below, a color filter is produced by transfer using the photosensitive transfer material of Example 1 (black photosensitive transfer material K201) obtained as described above and the following colored photosensitive transfer materials (R201, G201, B201). did. The black photosensitive transfer material K201 was stored for 3 days in an atmosphere of 45 ° C./75% RH with the cover film attached.
[着色感光性転写材料R201、G201、B201の作製]
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレート仮支持体(PET仮支持体)の表面に、スリットノズルを用いて乾燥膜厚が14.6μmになるように下記処方H1からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布し、乾燥させて熱可塑性樹脂層を形成した。次いで、この熱可塑性樹脂層上に、前記処方Bからなる中間層用塗布液を、スリットノズルを用いて乾燥膜厚が1.6μmとなるように塗布し、乾燥させて中間層を積層した。
上記のようにして熱可塑性樹脂層及び中間層が積層されたPET仮支持体を3枚用意した。
[Preparation of colored photosensitive transfer materials R201, G201, B201]
Apply a coating solution for a thermoplastic resin layer consisting of the following formulation H1 to the surface of a 75 μm thick polyethylene terephthalate temporary support (PET temporary support) using a slit nozzle so that the dry film thickness is 14.6 μm. And dried to form a thermoplastic resin layer. Next, on this thermoplastic resin layer, the intermediate layer coating solution comprising the above-mentioned formulation B was applied using a slit nozzle so that the dry film thickness was 1.6 μm, and dried to laminate the intermediate layer.
Three PET temporary supports on which the thermoplastic resin layer and the intermediate layer were laminated as described above were prepared.
−熱可塑性樹脂層用塗布液の処方H1−
・メタノール ・・・・11.1 部
・プロピレングリコールモノメチルエーテル ・・・・・6.36部
・メチルエチルケトン ・・・・52.4 部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合比[モル比]=55/11.7/4.5/28.8、重量平均分子量=9万、Tg≒70℃)
・・・・・5.83部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合比[モル比]=63/37、重量平均分子量=8,000、Tg≒100℃)
・・・・13.6 部
・BPE−500 ・・・・・9.1 部
(ビスフェノールAにペンタエチレングリコールモノメタクリートが2当量脱水縮合した化合物;新中村化学工業(株)製)
・上記界面活性剤1(メチルイソブチルケトン30質量%溶液)・・・・・0.54部
-Formulation H1- of coating liquid for thermoplastic resin layer
· Methanol ···· 11.1 parts · Propylene glycol monomethyl ether ··· 6.36 parts · Methyl ethyl ketone ····· 52.4 parts · Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer Copolymer (copolymerization ratio [molar ratio] = 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8, weight average molecular weight = 90,000, Tg≈70 ° C.)
... 5.83 parts styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization ratio [molar ratio] = 63/37, weight average molecular weight = 8,000, Tg≈100 ° C.)
··· 13.6 parts · BPE-500 ··· 9.1 parts (compound obtained by dehydration condensation of 2 equivalents of pentaethylene glycol monomethacrylate to bisphenol A; manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
・ Surfactant 1 (methyl isobutyl ketone 30 mass% solution) 0.54 parts
次に、下記表2に示す組成の赤色感光性樹脂組成物R201、下記表3に示す組成の緑色感光性樹脂組成物G201、下記表4に示す組成の青色感光性樹脂組成物B201を、それぞれ各表中の調製手順にしたがって調製した。次いで、得られた赤色感光性樹脂組成物R201、緑色感光性樹脂組成物G201、及び青色感光性樹脂組成物B201の各々を、それぞれ別のPET仮支持体上の中間層の上にスリット状ノズルを用いて膜厚が2.4μmになるように更に積層して塗布し、乾燥させ、赤色(R)、緑色(G)、又は青色(B)の着色感光性樹脂層R、G、Bを形成した。形成された各色の着色感光性樹脂層上に更に、厚さ12μmのポリプロピレンフィルムを圧着し、保護フィルムを設けた。以上のようにして、PET仮支持体/熱可塑性樹脂層/中間層/赤色、緑色又は青色着色感光性樹脂層/保護フィルムの積層構造に構成された、着色画素形成用の着色感光性転写材料R201、G201、B201を作製した。 Next, a red photosensitive resin composition R201 having a composition shown in Table 2 below, a green photosensitive resin composition G201 having a composition shown in Table 3 below, and a blue photosensitive resin composition B201 having a composition shown in Table 4 below, respectively. Prepared according to the preparation procedure in each table. Next, each of the obtained red photosensitive resin composition R201, green photosensitive resin composition G201, and blue photosensitive resin composition B201 is slit on an intermediate layer on a separate PET temporary support. Are further laminated and applied so that the film thickness becomes 2.4 μm, dried, and the colored photosensitive resin layers R, G, and B of red (R), green (G), or blue (B) are dried. Formed. A polypropylene film having a thickness of 12 μm was further pressure-bonded onto the formed colored photosensitive resin layer of each color to provide a protective film. As described above, a colored photosensitive transfer material for forming a colored pixel, which has a laminated structure of a temporary PET support / thermoplastic resin layer / intermediate layer / red, green or blue colored photosensitive resin layer / protective film. R201, G201, and B201 were produced.
まず、無アルカリガラス基板(以下、「ガラス基板」と略記する。)を用意し、この基板を、転写前に予め25℃に調整したガラス洗浄剤液T−SD1(富士フイルム(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄を行なった。その後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。その後、このガラス基板を基板予備加熱装置で、100℃で2分間加熱した。 First, an alkali-free glass substrate (hereinafter abbreviated as “glass substrate”) was prepared, and this substrate was preliminarily adjusted to 25 ° C. before being transferred to a glass detergent solution T-SD1 (manufactured by Fuji Film Co., Ltd.). Was washed with a rotating brush having nylon bristles while spraying for 20 seconds in a shower to perform pure water shower washing. Then, a silane coupling solution (N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane 0.3 mass% aqueous solution, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower, and a pure water shower Washed. Thereafter, the glass substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes with a substrate preheating device.
既述のようにして得られた黒色感光性転写材料K201の保護フィルムを剥離除去した後、露出した黒色着色感光性樹脂層が上記の100℃に加熱されたガラス基板の表面と接するように重ね合わせ、ラミネーターLamicII型〔(株)日立インダストリイズ製〕を用いて、ゴムローラ温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分の条件で貼り合わせた。次いで、PET仮支持体を剥離し、ガラス基板上に黒色着色感光性樹脂層/中間層/熱可塑性樹脂層の順に転写した(転写工程)。 After peeling off and removing the protective film of the black photosensitive transfer material K201 obtained as described above, the exposed black colored photosensitive resin layer is overlaid so as to be in contact with the surface of the glass substrate heated to 100 ° C. They were bonded together under the conditions of a rubber roller temperature of 130 ° C., a linear pressure of 100 N / cm, and a conveying speed of 2.2 m / min using a laminator Lamic II type (manufactured by Hitachi Industries, Ltd.). Next, the PET temporary support was peeled off and transferred onto the glass substrate in the order of the black colored photosensitive resin layer / intermediate layer / thermoplastic resin layer (transfer process).
続いて、超高圧水銀灯を備えたプロキシミティー型露光機(日立電子エンジニアリング社製)を用い、マスク(画像パターンを有する石英露光マスク)と、該マスクと熱可塑性樹脂層とが向き合うように配置したガラス基板とを略平行に垂直に立てた状態で、マスク面と黒色着色感光性樹脂層の中間層に接する側の表面との間の距離を200μmとし、マスクを介して熱可塑性樹脂層側から露光量50mJ/cm2で全面露光した(露光工程)。 Subsequently, using a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) equipped with an ultrahigh pressure mercury lamp, the mask (quartz exposure mask having an image pattern) and the mask and the thermoplastic resin layer were arranged to face each other. The distance between the mask surface and the surface of the black colored photosensitive resin layer in contact with the intermediate layer of the black colored photosensitive resin layer is set to 200 μm in a state where the glass substrate stands substantially parallel and vertically, and from the thermoplastic resin layer side through the mask. The entire surface was exposed with an exposure amount of 50 mJ / cm 2 (exposure process).
露光後、純水をシャワーノズルから噴霧し、黒色着色感光性樹脂層の表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製;KOH及びノニオン界面活性剤含有アルカリ現像液)を純水で100倍に希釈したものを、フラットノズルから25℃、ノズル圧力0.04MPaにて60秒間噴射してシャワー現像し、黒色パターンを得た(現像工程)。
その後続けて、ガラス基板の黒色パターンが形成された側に超純水を超高圧洗浄ノズルにより9.8MPaの圧力で噴射して残渣を除去し、その後220℃で30分間熱処理(ベーク)して(ベーク工程)、無アルカリガラス基板上にブラックマトリクスを形成した。
After exposure, pure water is sprayed from a shower nozzle to uniformly wet the surface of the black colored photosensitive resin layer, and then KOH-based developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd .; KOH and nonionic interface) An activator-containing alkaline developer) diluted 100 times with pure water was sprayed from a flat nozzle at 25 ° C. and a nozzle pressure of 0.04 MPa for 60 seconds to perform a shower development to obtain a black pattern (development process) .
Subsequently, ultrapure water was sprayed onto the glass substrate on which the black pattern was formed at a pressure of 9.8 MPa with an ultrahigh pressure cleaning nozzle to remove the residue, and then heat treated (baked) at 220 ° C. for 30 minutes. (Baking process) A black matrix was formed on an alkali-free glass substrate.
次に、以下のようにしてR、G、B3色の着色画素を順に形成した。
まず、ブラックマトリクスが形成されたガラス基板に、上記より得られた着色感光性転写材料R201を用いて、前記ブラックマトリクスの形成の場合と同様にして転写、露光、現像、及びベークを行ない、ガラス基板のブラックマトリクスが形成されている側にレッド画素(R画素)を形成した。このとき、KOH系現像液(25℃)による現像時間を100秒とした。その後、R画素が形成されたガラス基板を再び、上記のように洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、純水でシャワー洗浄した後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送って100℃で2分間加熱した。
Next, colored pixels of R, G, and B colors were formed in order as follows.
First, using the colored photosensitive transfer material R201 obtained above on a glass substrate on which a black matrix is formed, transfer, exposure, development, and baking are performed in the same manner as in the formation of the black matrix, and glass is formed. Red pixels (R pixels) were formed on the side of the substrate where the black matrix was formed. At this time, the development time with a KOH developer (25 ° C.) was set to 100 seconds. Thereafter, the glass substrate on which the R pixel is formed is again cleaned with a brush using a cleaning agent as described above, shower-washed with pure water, and then sent to a substrate preheating device without using a silane coupling solution. And heated at 100 ° C. for 2 minutes.
次いで、上記のR画素を形成する場合と同様に、着色感光性転写材料G201を用いて転写、露光、現像、ベークの各工程を行ない、ブラックマトリクス及びR画素が設けられている側に緑色画素(G画素)を形成した。但し、露光工程での露光量は40mJ/cm2とし、現像工程での現像処理は34℃で45秒間とした。その後、R画素及びG画素が形成されたガラス基板を再び、上記のように洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、純水でシャワー洗浄した後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送って100℃で2分間加熱した。
更に続けて、前記R画素及びG画素を形成する場合と同様に、着色感光性転写材料B2を用いて転写、露光、現像の各工程(ベーク工程は除く。)を行ない、ガラス基板のブラックマトリクス並びにR画素及びG画素が設けられている側に青色画素(B画素)を形成した。但し、露光工程での露光量は30mJ/cm2とし、現像工程での現像処理は36℃で40秒間とした。
その後、R、G、Bの各画素が形成されたガラス基板を基板予備加熱装置により240℃で50分間ベークし、カラーフィルタ(カラーフィルタ基板)を得た。
Next, as in the case of forming the R pixel, the transfer, exposure, development, and baking processes are performed using the colored photosensitive transfer material G201, and the green pixel is provided on the side where the black matrix and the R pixel are provided. (G pixel) was formed. However, the exposure amount in the exposure step was 40 mJ / cm 2 , and the development process in the development step was 34 ° C. for 45 seconds. After that, the glass substrate on which the R pixel and the G pixel are formed is again cleaned with a brush using a cleaning agent as described above, shower-washed with pure water, and then pre-heated without using a silane coupling liquid. It was sent to the apparatus and heated at 100 ° C. for 2 minutes.
Subsequently, as in the case of forming the R pixel and the G pixel, transfer, exposure, and development processes (excluding the baking process) are performed using the colored photosensitive transfer material B2, and the black matrix of the glass substrate is formed. In addition, a blue pixel (B pixel) was formed on the side where the R pixel and the G pixel were provided. However, the exposure amount in the exposure step was 30 mJ / cm 2 , and the development process in the development step was 36 ° C. for 40 seconds.
Thereafter, the glass substrate on which each of the R, G, and B pixels was formed was baked at 240 ° C. for 50 minutes by a substrate preheating device to obtain a color filter (color filter substrate).
〔カラーフィルタの評価〕
実施例1のカラーフィルタについて、以下の評価を行った。
−表示ムラ−
カラーフィルタを、暗室でNaランプを斜め方向から照射し、目視及びルーペにて観察し、ムラの発生の有無を判断した。表示ムラの程度は次のように評価した。
A:表示ムラは全く認められなかった。
B:表示ムラが僅かに認められた。
C:表示ムラが顕著に認められた。
評価結果を表8に示す。
[Evaluation of color filter]
The color filter of Example 1 was evaluated as follows.
-Display unevenness-
The color filter was irradiated with an Na lamp from an oblique direction in a dark room and observed visually and with a magnifying glass to determine whether unevenness occurred. The degree of display unevenness was evaluated as follows.
A: Display unevenness was not recognized at all.
B: Display unevenness was slightly recognized.
C: Display unevenness was noticeable.
The evaluation results are shown in Table 8.
<実施例2〜11>
実施例1の感光性転写材料の製造工程において、熱可塑性樹脂層用塗布液成分中、セバシン酸ジオクチル0.8質量%を、表8に示した化合物種に変更した以外は、実施例1と同様にして感光性転写材料を製造し、実施例1と同様の評価を行った。評価結果を表8に示す。
また、実施例1のカラーフィルタの製造工程において、実施例1の感光性転写材料(黒色感光性転写材料K201)を、それぞれ、実施例2〜11の感光性転写材料(黒色感光性転写材料K202〜K211)に代えた他は、実施例1と同様にして、それぞれカラーフィルタを製造した。実施例2〜11の感光性転写材料とカラーフィルタについて、実施例1と同様の評価を行った。評価結果を表8に示す。
<Examples 2 to 11>
In the production process of the photosensitive transfer material of Example 1, in the coating liquid component for the thermoplastic resin layer, 0.8% by mass of dioctyl sebacate was changed to the compound types shown in Table 8 with Example 1 In the same manner, a photosensitive transfer material was produced and evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 8.
In the color filter manufacturing process of Example 1, the photosensitive transfer material of Example 1 (black photosensitive transfer material K201) was replaced with the photosensitive transfer material of Examples 2 to 11 (black photosensitive transfer material K202). Each color filter was manufactured in the same manner as in Example 1 except that it was replaced with ~ K211). Evaluation similar to Example 1 was performed about the photosensitive transfer material and color filter of Examples 2-11. The evaluation results are shown in Table 8.
<実施例12>
実施例1の感光性転写材料の製造工程において、赤色感光性樹脂組成物R201、緑色感光性樹脂組成物G201、及び青色感光性樹脂組成物B201を、それぞれ下記表5〜7に記載の赤色感光性樹脂組成物R301、緑色感光性樹脂組成物G301、及び青色感光性樹脂組成物B301に変更した以外は、実施例1と同様にして、着色画素形成用の着色感光性転写材料R301、G301、及びB301を製造した。
さらに、実施例1のカラーフィルタの製造工程において、赤色感光性転写材料R201、緑色感光性転写材料G201、及び青色感光性転写材料B201を、それぞれ赤色感光性転写材料R301、緑色感光性転写材料G301、及び青色感光性転写材料B301に代えた他は、実施例1と同様にして、カラーフィルタを製造した。実施例12の感光性転写材料とカラーフィルタについて、実施例1と同様の評価を行った。評価結果を表8に示す。
<Example 12>
In the manufacturing process of the photosensitive transfer material of Example 1, the red photosensitive resin composition R201, the green photosensitive resin composition G201, and the blue photosensitive resin composition B201 are each represented by the red photosensitive resin described in Tables 5 to 7 below. Colored photosensitive transfer materials R301, G301 for forming colored pixels, except that the photosensitive resin composition R301, the green photosensitive resin composition G301, and the blue photosensitive resin composition B301 were changed. And B301 were produced.
Further, in the color filter manufacturing process of Example 1, the red photosensitive transfer material R201, the green photosensitive transfer material G201, and the blue photosensitive transfer material B201 are respectively converted into a red photosensitive transfer material R301 and a green photosensitive transfer material G301. A color filter was produced in the same manner as in Example 1, except that the blue photosensitive transfer material B301 was used. Evaluation similar to Example 1 was performed about the photosensitive transfer material of Example 12, and a color filter. The evaluation results are shown in Table 8.
前記表5〜7におけるR顔料分散組成物2、R顔料分散組成物3、Y顔料分散組成物1、G顔料分散組成物2、およびG顔料分散組成物3の調製方法を以下に示す。 The preparation methods of R pigment dispersion composition 2, R pigment dispersion composition 3, Y pigment dispersion composition 1, G pigment dispersion composition 2, and G pigment dispersion composition 3 in Tables 5 to 7 are shown below.
(R顔料分散組成物2の調製)
下記組成を3,000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.1mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し、R顔料分散組成物2を得た。
−組成−
・C.I.ピグメント・レッド254 ・・・12部
・分散剤 ・・・ 6部
(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製30%溶液)
・アルカリ可溶性樹脂 ・・・1.8部
(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体=75/25[質量比]共重合体、重量平均分子量Mw:5,000)
・溶剤 ・・・80部
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
(Preparation of R pigment dispersion composition 2)
The following composition was stirred for 1 hour using a homogenizer at 3,000 rpm. The obtained mixed solution was subjected to fine dispersion treatment for 4 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.1 mm zirconia beads to obtain an R pigment dispersion composition 2.
-Composition-
・ C. I. Pigment Red 254 12 parts Dispersant 6 parts (Brand name: Disperbyk-161, 30% solution manufactured by Big Chemie)
Alkali-soluble resin: 1.8 parts (benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer = 75/25 [mass ratio] copolymer, weight average molecular weight Mw: 5,000)
・ Solvent: 80 parts (propylene glycol monomethyl ether acetate)
(R顔料分散組成物3の調製)
下記組成を3,000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.1mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し、R顔料分散組成物3を得た。
−組成−
・C.I.ピグメント・レッド177 ・・・13.1部
・分散剤 ・・・ 5.3部
(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製30%溶液)
・溶剤 ・・・81.6部
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
(Preparation of R pigment dispersion composition 3)
The following composition was stirred for 1 hour using a homogenizer at 3,000 rpm. The obtained mixed solution was subjected to a fine dispersion treatment for 4 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.1 mm zirconia beads to obtain an R pigment dispersion composition 3.
-Composition-
・ C. I. Pigment Red 177 ... 13.1 parts, Dispersant ... 5.3 parts (trade name: Disperbyk-161, 30% solution manufactured by Big Chemie)
・ Solvent: 81.6 parts (propylene glycol monomethyl ether acetate)
(Y顔料分散組成物1の調製)
下記組成を3,000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.1mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し、Y顔料分散組成物1を得た。
−組成−
・C.I.ピグメント・イエロー150 ・・・18.1部
・分散剤 ・・・ 2部
(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製30%溶液)
・アルカリ可溶性樹脂 ・・・3.5部
(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体=75/25[質量比]共重合体、重量平均分子量Mw:5,000)
・溶剤 ・・・76.4部
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
(Preparation of Y pigment dispersion composition 1)
The following composition was stirred for 1 hour using a homogenizer at 3,000 rpm. The obtained mixed solution was finely dispersed for 4 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.1 mm zirconia beads to obtain Y pigment dispersion composition 1.
-Composition-
・ C. I. Pigment Yellow 150 ・ ・ ・ 18.1 parts ・ Dispersant ・ ・ ・ 2 parts (trade name: Disperbyk-161, 30% solution manufactured by Big Chemie)
Alkali-soluble resin: 3.5 parts (benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer = 75/25 [mass ratio] copolymer, weight average molecular weight Mw: 5,000)
・ Solvent: 76.4 parts (propylene glycol monomethyl ether acetate)
(G顔料分散組成物2の調製)
下記組成を3,000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.1mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し、G顔料分散組成物2を得た。
−組成−
・C.I.ピグメント・グリーン36 ・・・12部
・C.I.ピグメント・イエロー150 ・・・3部
・分散剤・・・2.2部
(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製 30%溶液)
・アルカリ可溶性樹脂 ・・・3.7部
(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体=75/25[質量比]共重合体、 重量平均分子量Mw:5,000)
・溶剤 ・・・76.1部
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
(Preparation of G pigment dispersion composition 2)
The following composition was stirred for 1 hour using a homogenizer at 3,000 rpm. The obtained mixed solution was subjected to fine dispersion treatment for 4 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.1 mm zirconia beads to obtain G pigment dispersion composition 2.
-Composition-
・ C. I. Pigment Green 36 ・ ・ ・ 12 parts ・ C.I. I. Pigment Yellow 150 3 parts Dispersant 2.2 parts (Product name: Disperbyk-161, 30% solution manufactured by Big Chemie)
Alkali-soluble resin: 3.7 parts (benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer = 75/25 [mass ratio] copolymer, weight average molecular weight Mw: 5,000)
・ Solvent: 76.1 parts (propylene glycol monomethyl ether acetate)
(G顔料分散組成物3の調製)
下記組成を3,000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.1mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し、G顔料分散組成物3を得た。
−組成−
・C.I.ピグメント・グリーン36 ・・・8.25部
・C.I.ピグメント・イエロー150 ・・・6.75部
・分散剤・・・2.2部
(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製 30%溶液)
・アルカリ可溶性樹脂 ・・・3.7部
(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体=75/25[質量比]共重合体、 重量平均分子量Mw:5,000)
・溶剤 ・・・76.1部
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
(Preparation of G pigment dispersion composition 3)
The following composition was stirred for 1 hour using a homogenizer at 3,000 rpm. The obtained mixed solution was subjected to fine dispersion treatment for 4 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.1 mm zirconia beads to obtain G pigment dispersion composition 3.
-Composition-
・ C. I. Pigment Green 36 ... 8.25 parts C.I. I. Pigment Yellow 150 ... 6.75 parts, Dispersant ... 2.2 parts (Brand name: Disperbyk-161, 30% solution manufactured by Big Chemie)
Alkali-soluble resin: 3.7 parts (benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer = 75/25 [mass ratio] copolymer, weight average molecular weight Mw: 5,000)
・ Solvent: 76.1 parts (propylene glycol monomethyl ether acetate)
<比較例1>
実施例1の感光性転写材料の製造工程において、熱可塑性樹脂層用塗布液成分中、セバシン酸ジオクチルを用いなかった以外は、実施例1と同様にして感光性転写材料(黒色感光性転写材料K301)を製造し、実施例1のカラーフィルタの製造工程において、実施例1の感光性転写材料(黒色感光性転写材料K201)を、黒色感光性転写材料K301に代えた他は、実施例1と同様にして、カラーフィルタを製造した。比較例1の感光性転写材料とカラーフィルタについて、実施例1と同様の評価を行った。評価結果を表8に示す。
<Comparative Example 1>
In the production process of the photosensitive transfer material of Example 1, a photosensitive transfer material (black photosensitive transfer material) was prepared in the same manner as in Example 1 except that dioctyl sebacate was not used in the coating liquid component for the thermoplastic resin layer. Example 1 except that the photosensitive transfer material of Example 1 (black photosensitive transfer material K201) was replaced with the black photosensitive transfer material K301 in the color filter manufacturing process of Example 1 in the manufacturing process of the color filter of Example 1. A color filter was produced in the same manner as described above. The photosensitive transfer material and color filter of Comparative Example 1 were evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 8.
<比較例2>
実施例1の感光性転写材料の製造工程において、熱可塑性樹脂層用塗布液成分中、セバシン酸ジオクチルを用いず、熱可塑性樹脂層用塗布液を下記処方2に変更した以外は実施例1と同様にして感光性転写材料(黒色感光性転写材料K302)を製造し、実施例1のカラーフィルタの製造工程において、実施例1の感光性転写材料(黒色感光性転写材料K201)を、黒色感光性転写材料K302に代えた他は、実施例1と同様にして、カラーフィルタを製造した。比較例2の感光性転写材料とカラーフィルタについて、実施例1と同様の評価を行った。評価結果を表8に示す。
〔熱可塑性樹脂層用塗布液の処方2〕
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=55/12/5/28[モル比]、重量平均分子量90000)
・・・・90.7部
・スチレン/アクリル酸共重合体(=63/37[モル比]、重量平均分子量8000)
・・・110.8部
・2,2−ビス〔4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル〕プロパン
・・・111.8部
・界面活性剤1(メガファックF−780F、大日本インキ化学工業(株)製)
・・・・・6.0部
・メタノール ・・・175.0部
・1−メトキシ−2−プロパノール ・・・・80.0部
・メチルエチルケトン ・・・425.7部
<Comparative example 2>
In the production process of the photosensitive transfer material of Example 1, the coating liquid for the thermoplastic resin layer was not used in the coating liquid component for the thermoplastic resin layer, and the coating liquid for the thermoplastic resin layer was changed to the following formulation 2 and Example 1 was used. Similarly, a photosensitive transfer material (black photosensitive transfer material K302) is manufactured, and in the color filter manufacturing process of Example 1, the photosensitive transfer material of Example 1 (black photosensitive transfer material K201) is converted to black photosensitive. A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that the color transfer material K302 was used. The photosensitive transfer material and color filter of Comparative Example 2 were evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 8.
[Formulation 2 of coating solution for thermoplastic resin layer]
Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 55/12/5/28 [molar ratio], weight average molecular weight 90000)
・ ・ ・ ・ 90.7 parts ・ Styrene / acrylic acid copolymer (= 63/37 [molar ratio], weight average molecular weight 8000)
... 110.8 parts 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane
... 111.8 parts ・ Surfactant 1 (Megafac F-780F, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
··· 6.0 parts · Methanol · · · 175.0 · · 1-methoxy-2-propanol · · · 80.0 · · Methyl ethyl ketone · · · 425.7 parts
<比較例3>
実施例1の感光性転写材料の製造工程において、熱可塑性樹脂層用塗布液成分中、セバシン酸ジオクチルを用いず、熱可塑性樹脂層用塗布液を下記処方3に変更した以外は実施例1と同様にして感光性転写材料(黒色感光性転写材料K303)を製造し、実施例1のカラーフィルタの製造工程において、実施例1の感光性転写材料(黒色感光性転写材料K201)を、黒色感光性転写材料K303に代えた他は、実施例1と同様にして、カラーフィルタを製造した。比較例3の感光性転写材料とカラーフィルタについて、実施例1と同様の評価を行った。評価結果を表8に示す。
〔熱可塑性樹脂層用塗布液の処方3〕
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=55/12/5/28[モル比]、重量平均分子量90000)
・・・・88.3部
・スチレン/アクリル酸共重合体(=63/37[モル比]、重量平均分子量8000)
・・・107.9部
・2,2−ビス〔4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル〕プロパン
・・・117.2部
・界面活性剤1(メガファックF−780F、大日本インキ化学工業(株)製)
・・・・・6.0部
・メタノール ・・・175.0部
・1−メトキシ−2−プロパノール ・・・・80.0部
・メチルエチルケトン ・・・425.6部
<Comparative Example 3>
In the production process of the photosensitive transfer material of Example 1, in the coating liquid component for the thermoplastic resin layer, dioctyl sebacate was not used, and the coating liquid for the thermoplastic resin layer was changed to the following formulation 3 and Example 1 Similarly, a photosensitive transfer material (black photosensitive transfer material K303) was manufactured, and in the color filter manufacturing process of Example 1, the photosensitive transfer material of Example 1 (black photosensitive transfer material K201) was converted to black photosensitive. A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that the color transfer material K303 was used. The photosensitive transfer material and the color filter of Comparative Example 3 were evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 8.
[Formulation 3 of coating solution for thermoplastic resin layer]
Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 55/12/5/28 [molar ratio], weight average molecular weight 90000)
・ ・ ・ ・ 88.3 parts ・ Styrene / acrylic acid copolymer (= 63/37 [molar ratio], weight average molecular weight 8000)
... 107.9 parts of 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane
... 117.2 parts Surfactant 1 (Megafac F-780F, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
・ ・ ・ 6.0 parts ・ Methanol ・ ・ ・ 175.0 parts ・ 1-methoxy-2-propanol ・ ・ ・ ・ 80.0 parts ・ Methyl ethyl ketone ・ ・ ・ 425.6 parts
<比較例4>
実施例1の感光性転写材料の製造工程において、熱可塑性樹脂層用塗布液成分中、セバシン酸ジオクチルを用いず、熱可塑性樹脂層用塗布液を下記処方4に変更した以外は実施例1と同様にして感光性転写材料(黒色感光性転写材料K304)を製造し、実施例1のカラーフィルタの製造工程において、実施例1の感光性転写材料(黒色感光性転写材料K201)を、黒色感光性転写材料K304に代えた他は、実施例1と同様にして、カラーフィルタを製造した。比較例4の感光性転写材料とカラーフィルタについて、実施例1と同様の評価を行った。評価結果を表8に示す。
〔熱可塑性樹脂層用塗布液の処方4〕
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=55/12/5/28[モル比]、重量平均分子量90000)
・・・・93.1部
・スチレン/アクリル酸共重合体(=63/37[モル比]、重量平均分子量8000)
・・・113.7部
・オクタドコサン酸 ・・・106.5部
・界面活性剤1(メガファックF−780F、大日本インキ化学工業(株)製)
・・・・・6.0部
・メタノール ・・・175.0部
・1−メトキシ−2−プロパノール ・・・・80.0部
・メチルエチルケトン ・・・425.7部
<Comparative example 4>
In the production process of the photosensitive transfer material of Example 1, the coating liquid for the thermoplastic resin layer was not used in the coating liquid component for the thermoplastic resin layer, and the coating liquid for the thermoplastic resin layer was changed to the following formulation 4 with Example 1 and Similarly, a photosensitive transfer material (black photosensitive transfer material K304) is manufactured, and in the color filter manufacturing process of Example 1, the photosensitive transfer material of Example 1 (black photosensitive transfer material K201) is converted to black photosensitive. A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that the color transfer material K304 was used. The photosensitive transfer material and color filter of Comparative Example 4 were evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 8.
[Formulation 4 of coating solution for thermoplastic resin layer]
Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 55/12/5/28 [molar ratio], weight average molecular weight 90000)
.... 93.1 parts Styrene / acrylic acid copolymer (= 63/37 [molar ratio], weight average molecular weight 8000)
・ ・ ・ 113.7 parts ・ Octadocosanoic acid ・ ・ ・ 106.5 parts ・ Surfactant 1 (Megafac F-780F, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
··· 6.0 parts · Methanol · · · 175.0 · · 1-methoxy-2-propanol · · · 80.0 · · Methyl ethyl ketone · · · 425.7 parts
表8中、化合物および可塑剤の量は、いずれも黒色感光性転写材料における熱可塑性樹脂層の全質量に対する量(質量%)である。 In Table 8, the amounts of the compound and the plasticizer are all amounts (% by mass) based on the total mass of the thermoplastic resin layer in the black photosensitive transfer material.
表8からわかるように、熱可塑性樹脂層に可塑剤を用いただけのもの(比較例1〜4)は、可塑剤の量が増えるにつれてレチキュレーションと染み出しが悪化し(比較例1、3)、可塑剤の量が少なくても、転写時に気泡が発生した(比較例1)。
一方、熱可塑性樹脂層が、I/O値が0.30〜0.45の化合物を含有し、当該化合物の含有量が好ましい範囲(0.8〜20質量%)にあるもの(実施例1〜9、12)は、レチキュレーション、ラミネーション、染み出しにおいて総合的に優れた評価結果が得られた。
また、熱可塑性樹脂層が、I/O値が0.30〜0.45の化合物を含有する感光性転写材料を用いて製造したカラーフィルタ(実施例1〜12)は、いずれも表示ムラがなかった。
As can be seen from Table 8, reticulation and oozing worsened as the amount of plasticizer increased (Comparative Examples 1 and 3) in the case of using only a plasticizer in the thermoplastic resin layer (Comparative Examples 1 to 4). ) Even when the amount of plasticizer was small, bubbles were generated during transfer (Comparative Example 1).
On the other hand, the thermoplastic resin layer contains a compound having an I / O value of 0.30 to 0.45, and the content of the compound is in a preferred range (0.8 to 20% by mass) (Example 1) ˜9, 12), comprehensively excellent evaluation results were obtained in reticulation, lamination and exudation.
Moreover, the color filter (Examples 1-12) which the thermoplastic resin layer manufactured using the photosensitive transfer material containing the compound whose I / O value is 0.30-0.45 has all display unevenness. There wasn't.
Claims (7)
前記基板上に転写された少なくとも前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、
前記露光後の前記感光性樹脂層を現像する現像工程と、
を有するカラーフィルタの製造方法。 A transfer step of transferring at least a photosensitive resin layer onto a substrate using the photosensitive transfer material according to any one of claims 1 to 5,
An exposure step of exposing at least the photosensitive resin layer transferred onto the substrate;
A development step of developing the photosensitive resin layer after the exposure;
The manufacturing method of the color filter which has.
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| JP2010243599A (en) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Dnp Fine Chemicals Co Ltd | Resin composition for color layer for color filter |
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