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JP2009043314A - Nonvolatile semiconductor memory device and control method of nonvolatile semiconductor memory device - Google Patents

Nonvolatile semiconductor memory device and control method of nonvolatile semiconductor memory device Download PDF

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JP2009043314A
JP2009043314A JP2007205720A JP2007205720A JP2009043314A JP 2009043314 A JP2009043314 A JP 2009043314A JP 2007205720 A JP2007205720 A JP 2007205720A JP 2007205720 A JP2007205720 A JP 2007205720A JP 2009043314 A JP2009043314 A JP 2009043314A
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JP2007205720A
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Manabu Takase
瀬 覚 高
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Toshiba Corp
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Abstract

【課題】読み出しアクセス時に発生する充放電電流及びノイズを低減し、NAND型フラッシュメモリの動作を安定化させる。
【解決手段】一対の選択ゲート電極4、6と、前記一対の選択ゲート電極4、6の間の複数のフローティングゲート電極8と、各フローティングゲート電極8の間及び前記フローティングゲート電極8と前記選択ゲート電極4、6との間にそれぞれ設けられた複数のコントロールゲート電極2と、を備え、第1の読み出しアクセス時に、前記複数のフローティングゲート電極8のうち選択される第1のフローティングゲート電極8の両側の一対のコントロールゲート電極2に所定の読み出し電圧を印し、前記第1の読み出しアクセスに続く第2の読み出しアクセス時に、前記第1のフローティングゲート電極8から2n(nは自然数)番目の第2のフローティングゲート電極8の両側の一対のコントロールゲート電極2に前記所定の読み出し電圧を印加する。
【選択図】図1
Charge / discharge current and noise generated during read access are reduced, and the operation of a NAND flash memory is stabilized.
A pair of selection gate electrodes 4, 6 and a plurality of floating gate electrodes 8 between the pair of selection gate electrodes 4, 6 and between each floating gate electrode 8 and the floating gate electrode 8 and the selection. A plurality of control gate electrodes 2 provided between the gate electrodes 4 and 6, respectively, and a first floating gate electrode 8 selected from the plurality of floating gate electrodes 8 during a first read access. A predetermined read voltage is marked on the pair of control gate electrodes 2 on both sides of the first floating gate electrode 2n (n is a natural number) from the first floating gate electrode 8 during the second read access following the first read access. The predetermined read power is applied to the pair of control gate electrodes 2 on both sides of the second floating gate electrode 8. Apply pressure.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、不揮発性半導体記憶装置及び不揮発性半導体記憶装置の制御方法に関し、特に、フローティングゲート電極の両側に位置する一対のコントロールゲート電極を備えた不揮発性半導体記憶装置及び当該不揮発性半導体記憶装置の制御方法に関する。   The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory device and a method for controlling the nonvolatile semiconductor memory device, and more particularly to a nonvolatile semiconductor memory device including a pair of control gate electrodes located on both sides of a floating gate electrode and the nonvolatile semiconductor memory device. Relates to the control method.

従来、電気的に書き換え可能で且つ高集積化が可能な不揮発性半導体記憶装置として、いわゆるNAND型フラッシュメモリが知られている。   2. Description of the Related Art Conventionally, a so-called NAND flash memory is known as a nonvolatile semiconductor memory device that can be electrically rewritten and can be highly integrated.

従来のNAND型フラッシュメモリのメモリセルは、電荷を蓄積するフローティングゲート電極と当該フローティングゲート電極の電圧を制御するためのコントロールゲート電極によって構成される積層形成されたスタックゲート構造を有している。   A memory cell of a conventional NAND flash memory has a stack gate structure in which a floating gate electrode for accumulating charges and a control gate electrode for controlling the voltage of the floating gate electrode are stacked.

メモリセルは、フローティングゲート電極の電荷蓄積状態に応じてデータを不揮発に記憶する。例えば、2値データを記憶する2値記憶方式を実現する場合には、チャネルから電子が注入されたフローティングゲート電極の閾値電圧より高い状態をデータ“0”としチャネルに電子が放出されたフローティングゲート電極の閾値電圧より低い状態をデータ“1”とする。なお、閾値分布をより細分化することによって、4値以上のデータを記憶する多値記憶方式を実現することもできる。   The memory cell stores data in a nonvolatile manner according to the charge accumulation state of the floating gate electrode. For example, in the case of realizing a binary storage system for storing binary data, a floating gate in which electrons are emitted from the channel with data “0” being higher than the threshold voltage of the floating gate electrode into which electrons are injected from the channel. A state lower than the threshold voltage of the electrode is defined as data “1”. It should be noted that a multi-value storage method for storing data of four or more values can be realized by further subdividing the threshold distribution.

これに対して、書き込み電圧の低電圧化、高集積化及び高速化を実現する改良型NAND型フラッシュメモリが知られている(特許文献1)。   On the other hand, an improved NAND flash memory that realizes a lower write voltage, higher integration, and higher speed is known (Patent Document 1).

特許文献1のNAND型フラッシュメモリのメモリセルは、フローティングゲートの両側に一対のコントロールゲート電極が位置し、一対のコントロールゲート電極の電圧が変化すると、一対のコントロールゲート電極に挟まれたフローティングゲート電極の電圧が変化する。   The memory cell of the NAND flash memory of Patent Document 1 has a floating gate electrode sandwiched between a pair of control gate electrodes when a pair of control gate electrodes are positioned on both sides of the floating gate and the voltage of the pair of control gate electrodes changes. The voltage changes.

特許文献1のNAND型フラッシュメモリの書き込みアクセスでは、フローティングゲート電極の電圧と閾値電圧の関係に応じて2値又は多値のデータを不揮発に記憶する。   In the write access of the NAND flash memory of Patent Document 1, binary or multivalued data is stored in a nonvolatile manner according to the relationship between the voltage of the floating gate electrode and the threshold voltage.

特許文献1のNAND型フラッシュメモリの読み出しアクセスでは、最初の読み出しアクセス時に任意のフローティングゲート電極が選択され、続く読み出しアクセス時に当該フローティングゲート電極に隣接するフローティングゲート電極が選択される。これらの読み出しアクセスは、データの読み出しが完了するまで連続的に行われる。   In the read access of the NAND flash memory of Patent Document 1, an arbitrary floating gate electrode is selected at the first read access, and a floating gate electrode adjacent to the floating gate electrode is selected at the subsequent read access. These read accesses are continuously performed until the data read is completed.

しかし、隣接するフローティングゲート電極が連続的に選択されるために、選択されるフローティングゲート電極だけでなく、選択されないフローティングゲート電極を制御するコントロールゲート電極の電圧を変化させる必要がある。   However, since adjacent floating gate electrodes are continuously selected, it is necessary to change the voltage of not only the selected floating gate electrode but also the control gate electrode that controls the unselected floating gate electrode.

その結果、多数のコントロールゲート電極の電圧を変化させることによって、カップリング及び充放電電流によるノイズが、電源線及び信号線(例えば、ビット線)に影響を及ぼすために、NAND型フラッシュメモリの動作が不安定になるという問題がある。
特開2005−101066号公報
As a result, the noise of the coupling and charging / discharging current affects the power supply line and the signal line (for example, bit line) by changing the voltage of a large number of control gate electrodes. There is a problem that becomes unstable.
JP 2005-101066 A

本発明の目的は、読み出しアクセス時に発生する充放電電流及びノイズを低減し、NAND型フラッシュメモリの動作を安定化させることである。   An object of the present invention is to reduce the charge / discharge current and noise generated during read access and stabilize the operation of the NAND flash memory.

本発明の第1の態様によれば、半導体基板と、前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた一対の選択ゲート電極と、前記一対の選択ゲート電極の間の前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた複数のフローティングゲート電極と、各フローティングゲート電極の間及び前記フローティングゲート電極と前記選択ゲート電極との間にそれぞれ設けられた複数のコントロールゲート電極と、を備えた不揮発性半導体記憶装置の制御方法であって、第1の読み出しアクセス時に、前記複数のフローティングゲート電極のうち選択される第1のフローティングゲート電極の両側に位置する一対のコントロールゲート電極に所定電圧が印加され、前記第1の読み出しアクセスに続く第2の読み出しアクセス時に、前記第1のフローティングゲート電極から2n(nは自然数)番目の第2のフローティングゲート電極の両側に位置する一対のコントロールゲート電極に前記所定の読み出し電圧が印加されることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の制御方法が提供される。   According to the first aspect of the present invention, a semiconductor substrate, a pair of selection gate electrodes provided on the semiconductor substrate via a gate insulating film, and the semiconductor substrate between the pair of selection gate electrodes A plurality of floating gate electrodes provided via a gate insulating film, and a plurality of control gate electrodes provided between the floating gate electrodes and between the floating gate electrode and the selection gate electrode, respectively. A method for controlling a nonvolatile semiconductor memory device, wherein a predetermined voltage is applied to a pair of control gate electrodes positioned on both sides of a first floating gate electrode selected from the plurality of floating gate electrodes during a first read access. Applied to the first flow during a second read access following the first read access. The predetermined read voltage is applied to a pair of control gate electrodes located on both sides of the 2n (n is a natural number) second floating gate electrode from the scanning gate electrode, and the control of the nonvolatile semiconductor memory device A method is provided.

本発明の第2の態様によれば、半導体基板と、前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた一対の選択ゲート電極と、前記一対の選択ゲート電極の間の前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた複数のフローティングゲート電極と、各フローティングゲート電極の間及び前記フローティングゲート電極と前記選択ゲート電極との間にそれぞれ設けられた複数のコントロールゲート電極と、を備えた不揮発性半導体記憶装置の制御方法であって、第1の読み出しアクセス時に、前記複数のフローティングゲート電極のうち選択される第1のフローティングゲート電極の電圧が変化し、前記第1の読み出しアクセスに続く第2の読み出しアクセス時に、前記第1のフローティングゲート電極から2n(nは自然数)番目の第2のフローティングゲート電極の電圧が変化することを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の制御方法が提供される。   According to the second aspect of the present invention, a semiconductor substrate, a pair of selection gate electrodes provided on the semiconductor substrate via a gate insulating film, and the semiconductor substrate between the pair of selection gate electrodes A plurality of floating gate electrodes provided via a gate insulating film, and a plurality of control gate electrodes provided between the floating gate electrodes and between the floating gate electrode and the selection gate electrode, respectively. A method for controlling a nonvolatile semiconductor memory device, wherein a voltage of a first floating gate electrode selected from among the plurality of floating gate electrodes changes during a first read access, and follows the first read access. During the second read access, the 2nth (n is a natural number) second from the first floating gate electrode. Control method for a nonvolatile semiconductor memory device characterized by voltage of the floating gate electrode is changed is provided.

本発明の第3態様によれば、半導体基板と、前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた一対の選択ゲート電極と、前記一対の選択ゲート電極の間の前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた複数のフローティングゲート電極と、各フローティングゲート電極の間及び前記フローティングゲート電極と前記選択ゲート電極との間にそれぞれ設けられた複数のコントロールゲート電極と、を備えた不揮発性半導体記憶装置であって、物理アドレスの2m―2(mは自然数)番地がそれぞれ連続する第1の論理アドレスに対応し、物理アドレスの2m−1番地がそれぞれ前記第1の論理アドレスに続いて連続する第2の論理アドレスに対応する様に配置されたトランジスタを有するメモリ部を備えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置が提供される。   According to a third aspect of the present invention, a semiconductor substrate, a pair of selection gate electrodes provided on the semiconductor substrate via a gate insulating film, and a gate on the semiconductor substrate between the pair of selection gate electrodes Nonvolatile comprising: a plurality of floating gate electrodes provided via an insulating film; and a plurality of control gate electrodes provided between the floating gate electrodes and between the floating gate electrode and the selection gate electrode, respectively 2m-2 (m is a natural number) of physical addresses corresponding to a continuous first logical address, and 2m-1 of a physical address follows the first logical address. A nonvolatile memory comprising a memory portion having transistors arranged to correspond to consecutive second logical addresses Conductor storage device is provided.

本発明の第4態様によれば、半導体基板と、前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた一対の選択ゲート電極と、前記一対の選択ゲート電極の間の前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた複数のフローティングゲート電極と、各フローティングゲート電極の間及び前記フローティングゲート電極と前記選択ゲート電極との間にそれぞれ設けられた複数のコントロールゲート電極と、を備えた不揮発性半導体記憶装置であって、物理アドレスの各番地がそれぞれ連続する論理アドレスに対応する様に配置されたトランジスタを有するメモリ部と、前記メモリ部の物理アドレスの2m−2(mは自然数)番地をそれぞれ連続する第1の論理アドレスに変換し、前記メモリ部の物理アドレスの2m−1番地をそれぞれ前記第1の論理アドレスに続いて連続する第2の論理アドレスに変換するためのアドレス変換テーブルを記憶するアドレス変換テーブル記憶部と、前記アドレス変換テーブル記憶部に記憶されたアドレス変換テーブルに従って前記フローティングゲート電極の両側に位置する一対のコントロールゲート電極に所定の読み出し電圧を印加する制御部と、を備えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置が提供される。   According to a fourth aspect of the present invention, a semiconductor substrate, a pair of selection gate electrodes provided on the semiconductor substrate via a gate insulating film, and a gate on the semiconductor substrate between the pair of selection gate electrodes Nonvolatile comprising: a plurality of floating gate electrodes provided via an insulating film; and a plurality of control gate electrodes provided between the floating gate electrodes and between the floating gate electrode and the selection gate electrode, respectively And a memory unit having transistors arranged so that each address of a physical address corresponds to a continuous logical address, and 2m-2 (m is a natural number) of a physical address of the memory unit Are converted into continuous first logical addresses, and 2m-1 addresses of the physical addresses of the memory units are respectively converted into the first logical addresses. An address conversion table storage unit for storing an address conversion table for conversion to a second logical address that is continuous following the logical address, and the floating gate electrode according to the address conversion table stored in the address conversion table storage unit There is provided a nonvolatile semiconductor memory device comprising: a control unit that applies a predetermined read voltage to a pair of control gate electrodes located on both sides.

本発明によれば、読み出しアクセス時に発生する充放電電流及びノイズを低減し、NAND型フラッシュメモリの動作を安定化させることができる。   According to the present invention, it is possible to reduce the charge / discharge current and noise generated during read access and to stabilize the operation of the NAND flash memory.

以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。なお、以下の実施例は、本発明の実施の一形態であって、本発明の範囲を限定するものではない。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The following examples are one embodiment of the present invention and do not limit the scope of the present invention.

(基本構造)
はじめに、本発明の実施例に係る不揮発性半導体記憶装置の基本構造について説明する。
(Basic structure)
First, the basic structure of a nonvolatile semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention will be described.

図1は、本発明の実施例に係る不揮発性半導体記憶装置の模式的回路構成図(a)及び模式的素子断面構造図(b)である。   FIG. 1A is a schematic circuit configuration diagram of a nonvolatile semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention, and FIG.

図1(b)に示されるように、本発明の実施例に係る不揮発性半導体記憶装置は、半導体基板に形成されたp型のウェル26と、ウェル26上に図示されないゲート絶縁膜を介して設けられた一対の選択ゲート電極4、6と、選択ゲート電極4、6の間のウェル26上に図示されないゲート絶縁膜を介して設けられた複数のフローティングゲート電極(FG)8と、各フローティングゲート電極(FG)8の間及びフローティングゲート電極(FG)8と選択ゲート電極4、6との間に電極間絶縁膜を介してそれぞれ設けられた複数のコントロールゲート電極(CG)2を備えている。このコントロールゲート電極(CG)2も図示されない絶縁膜を介してウェル26上に設けられている。   As shown in FIG. 1B, the nonvolatile semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention includes a p-type well 26 formed on the semiconductor substrate and a gate insulating film (not shown) on the well 26. A pair of provided selection gate electrodes 4 and 6, a plurality of floating gate electrodes (FG) 8 provided on a well 26 between the selection gate electrodes 4 and 6 via a gate insulating film (not shown), and each floating gate electrode A plurality of control gate electrodes (CG) 2 provided between the gate electrodes (FG) 8 and between the floating gate electrode (FG) 8 and the selection gate electrodes 4 and 6 via inter-electrode insulating films, respectively. Yes. The control gate electrode (CG) 2 is also provided on the well 26 via an insulating film (not shown).

各コントロールゲート電極(CG)2には、コントロールゲート線CG0〜8が接続され、選択ゲート電極4、6には、選択ゲート線SGS、SGDが接続されている。   Control gate lines CG0 to CG8 are connected to each control gate electrode (CG) 2, and selection gate lines SGS and SGD are connected to the selection gate electrodes 4 and 6, respectively.

ウェル26内には、n型のビット線コンタクト領域14、ソース線コンタクト領域16及び複数の拡散層18が設けられている。ビット線コンタクト領域14には、ビット線BLが配線されている。ソース線コンタクト領域16には、ソース線SLが配線されている。各拡散層18は、各コントロールゲート電極(CG)2の下方のウェル26内に設けられている。一対の選択ゲート電極4、6及び複数のフローティングゲート電極(FG)8は拡散層18を共有して直列に配置され、NANDメモリセル列(以下「NANDストリング」という)が構成される。   In the well 26, an n-type bit line contact region 14, a source line contact region 16, and a plurality of diffusion layers 18 are provided. A bit line BL is wired in the bit line contact region 14. A source line SL is wired in the source line contact region 16. Each diffusion layer 18 is provided in a well 26 below each control gate electrode (CG) 2. The pair of select gate electrodes 4 and 6 and the plurality of floating gate electrodes (FG) 8 share the diffusion layer 18 and are arranged in series to form a NAND memory cell string (hereinafter referred to as “NAND string”).

NANDストリングは、ビット線BLk又はBLk+1との間に選択ゲートトランジスタSG1を備え、コントロールゲート線CG0〜8に平行に1本の選択ゲート線SGDが接続されている。また、NANDストリングは、ソース線SLとの間に選択ゲートトランジスタSG2を備え、コントロールゲート線CG0〜8に平行に1本の選択ゲート線SGSが接続されている。また、NANDストリングは、コントロールゲート線CG8に隣接して接続される選択ゲートトランジスタSG1を介して、ビット線BLk又はBLk+1に接続され、コントロールゲート線CG0に隣接して接続される選択ゲートトランジスタSG2を介して、ソース線SLに接続される。   The NAND string includes a select gate transistor SG1 between the bit line BLk or BLk + 1, and one select gate line SGD is connected in parallel to the control gate lines CG0 to CG8. The NAND string includes a select gate transistor SG2 between the NAND line and the source line SL, and one select gate line SGS is connected in parallel to the control gate lines CG0 to CG8. Further, the NAND string is connected to the bit line BLk or BLk + 1 via the selection gate transistor SG1 connected adjacent to the control gate line CG8 and connected to the control gate line CG0. To the source line SL.

これらの選択ゲートトランジスタSG1、SG2の各ゲートに対して選択ゲート線SGS、SGDが配線されている。   Select gate lines SGS, SGD are wired to the gates of these select gate transistors SG1, SG2.

図1(a)より明らかなように、2本のNANDストリングは、ビット線側選択ゲートトランジスタSG1を介して別々のビット線BLk、BLk+1に接続され、各ビット線毎のビット線コンタクトCBk、CBk+1を有する。   As is clear from FIG. 1A, the two NAND strings are connected to different bit lines BLk and BLk + 1 via the bit line side select gate transistor SG1, and the bit line contacts CBk and CBk + 1 for each bit line. Have

図1(b)に示されるように、NANDストリングのビット線BL側は、ビット線側選択ゲートトランジスタSG1の選択ゲート6に接続された選択ゲート線SGDを介してビット線コンタクト領域14に接続され、NANDストリングのソース線SL側は、ソース線側選択ゲートトランジスタSG2の選択ゲート4に接続された選択ゲート線SGSを介してソース線コンタクト領域16に接続されている。   As shown in FIG. 1B, the bit line BL side of the NAND string is connected to the bit line contact region 14 via the selection gate line SGD connected to the selection gate 6 of the bit line side selection gate transistor SG1. The source line SL side of the NAND string is connected to the source line contact region 16 via the selection gate line SGS connected to the selection gate 4 of the source line side selection gate transistor SG2.

NANDストリングに対して更に、このようなソース側選択ゲートトランジスタSG1及びビット線側の選択ゲートトランジスタSG2までも含めた構成を「NANDメモリセルユニット」という。   A configuration including the source side selection gate transistor SG1 and the bit line side selection gate transistor SG2 in addition to the NAND string is referred to as a “NAND memory cell unit”.

図1(a)に示される回路構成は、2列のNANDメモリセルユニットが示されたものであり、図1(b)に示される構造は、図1(a)に示される回路構成のうち、1本のNANDメモリセルユニット部分を模式的に表した断面構造に装置し、尚且つ、後述の図2(b)に示される平面パターン図においてI−I線に沿った模式的断面構造を表している。   The circuit configuration shown in FIG. 1A shows two rows of NAND memory cell units, and the structure shown in FIG. 1B is the same as the circuit configuration shown in FIG. An apparatus having a cross-sectional structure schematically showing one NAND memory cell unit portion, and a schematic cross-sectional structure taken along line II in the planar pattern diagram shown in FIG. Represents.

なお、上記例では、ビット線側選択ゲート線SGD及びソース側選択ゲート線SGSがそれぞれ1本であるが、本発明の実施例は、これに限られるものではなく、ビット線側選択ゲート線SGDが2本以上であっても良く、ソース側選択ゲート線SGSが2本以上であっても良い。   In the above example, there is one bit line side selection gate line SGD and one source side selection gate line SGS, but the embodiment of the present invention is not limited to this, and the bit line side selection gate line SGD is not limited thereto. There may be two or more, and there may be two or more source-side selection gate lines SGS.

なお、本発明の実施例では、フローティングゲート電極(FG)及びコントロールゲート電極(CG)の数は、3個以上であれば幾つでも良い。   In the embodiment of the present invention, the number of floating gate electrodes (FG) and control gate electrodes (CG) may be any number as long as it is three or more.

また、本発明の実施例では、最端部のコントロールゲート電極(CG)と選択ゲート電極4、6との間にダミーのフローティングゲート電極を設けても良い。   In the embodiment of the present invention, a dummy floating gate electrode may be provided between the control gate electrode (CG) at the extreme end and the selection gate electrodes 4 and 6.

(基本動作)
次に、本発明の実施例に係る不揮発性半導体記憶装置の読み出しアクセスの基本動作について説明する。
(basic action)
Next, a basic operation of read access of the nonvolatile semiconductor memory device according to the example of the present invention will be described.

本発明の実施例に係る不揮発性半導体記憶装置の読み出しアクセスは、連続的に行われる。以下、連続的に行われる2つの読み出しアクセスのうち、最初の読み出しアクセスを第1の読み出しアクセスとし、第1の読み出しアクセスに続く読み出しアクセスを第2の読み出しアクセスとする。   Read access of the nonvolatile semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention is continuously performed. Hereinafter, of the two read accesses that are successively performed, the first read access is referred to as a first read access, and the read access subsequent to the first read access is referred to as a second read access.

第1の読み出しアクセス時には、複数のフローティングゲート電極(FG)8の中から1つが第1の選択フローティングゲート電極(SFG1)として選択され、第1の選択フローティングゲート電極(SFG1)の両側に位置する一対のコントロールゲート電極(CG)2(以下「第1の選択コントロールゲート電極(SCG1)という)」のそれぞれに所定の読み出し電圧Vt(例えば、Vt=0V)が印加される。 During the first read access, one of the plurality of floating gate electrodes (FG) 8 is selected as the first selected floating gate electrode (SFG1) and is located on both sides of the first selected floating gate electrode (SFG1). A predetermined read voltage V t (for example, V t = 0 V) is applied to each of a pair of control gate electrodes (CG) 2 (hereinafter referred to as “first selection control gate electrode (SCG1)”).

第1の選択フローティングゲート電極(SFG1)の電圧は、一対の第1の選択コントロール電極(SCG1)の電圧の平均値となる。(実際には、CG-FG間のカップリング比を乗じた値になるが、単純化のためにこの値を用いる。)本実施形態では、2つの第1の選択コントロール電極(SCG1)に印加された所定の読み出し電圧Vtが等しいので、第1の選択フローティングゲート電極(SFG1)の電圧も所定の読み出し電圧Vt(=0V)に等しくなる。 The voltage of the first selection floating gate electrode (SFG1) is an average value of the voltages of the pair of first selection control electrodes (SCG1). (In actuality, the value is obtained by multiplying the coupling ratio between CG and FG, but this value is used for simplification.) In this embodiment, it is applied to the two first selection control electrodes (SCG1). Since the predetermined read voltage V t is equal, the voltage of the first selected floating gate electrode (SFG1) is also equal to the predetermined read voltage V t (= 0V).

このとき、第1の選択コントロールゲート電極(SCG1)以外のコントロールゲート電極(以下「第1の非選択コントロールゲート電極(NSCG1)」という)には、交互に読み出し低電圧VreadL(例えば、VreadL=0V)と読み出し高電圧VreadH(例えば、VreadH=10V)が印加されている。その結果、第1の選択フローティングゲート電極(SFG1)以外のフローティングゲート電極(以下「第1の非選択フローティングゲート(NSFG1)」という)の電圧は5Vになる。 At this time, a read low voltage V readL (for example, V readL ) is alternately applied to control gate electrodes other than the first selected control gate electrode (SCG1) (hereinafter referred to as “first unselected control gate electrode (NSCG1)”). = 0V) and a read high voltage V readH (for example, V readH = 10V) are applied. As a result, the voltage of the floating gate electrodes other than the first selected floating gate electrode (SFG1) (hereinafter referred to as “first unselected floating gate (NSFG1)”) is 5V.

第2の読み出しアクセス時には、第1の選択フローティングゲート電極(SFG1)から2n(nは自然数)番目のフローティングゲート電極(FG)8が第2の選択フローティングゲート電極(SFG2)として選択され、第2の選択フローティングゲート電極(SFG2)の両側に位置する一対のコントロールゲート電極(以下「第2の選択コントロールゲート電極(SCG2)という)」のそれぞれに所定の読み出し電圧Vt(例えば、Vt=0V)が印加される。 During the second read access, the 2nth (n is a natural number) floating gate electrode (FG) 8 from the first selected floating gate electrode (SFG1) is selected as the second selected floating gate electrode (SFG2). A predetermined read voltage V t (for example, V t = 0V) is applied to each of a pair of control gate electrodes (hereinafter referred to as “second selection control gate electrode (SCG2))” located on both sides of the selected floating gate electrode (SFG2). ) Is applied.

第1の選択フローティングゲート電極(SFG1)の読み出しアクセス時と同様に、第2の選択フローティングゲート電極(SFG2)の電圧は、第2の選択コントロール電極(SCG2)の電圧の平均値となり、本実施形態の場合には、2つの第2の選択コントロール電極(SCG2)に印加された所定の読み出し電圧Vtが等しいので、第2の選択フローティングゲート電極(SFG2)の電圧も所定の読み出し電圧Vt(=0V)に等しくなる。 Similar to the read access of the first selected floating gate electrode (SFG1), the voltage of the second selected floating gate electrode (SFG2) is the average value of the voltage of the second selected control electrode (SCG2), and this embodiment In the embodiment, since the predetermined read voltage V t applied to the two second selection control electrodes (SCG2) is equal, the voltage of the second selection floating gate electrode (SFG2) is also the predetermined read voltage V t. (= 0V).

また、第2の選択コントロールゲート電極(SCG2)以外のコントロールゲート電極(以下「第2の非選択コントロールゲート電極(NSCG2)」という)には、第1の選択フローティングゲート電極(SFG1)の読み出しアクセス時と同様に、交互に読み出し低電圧VreadL(例えば、VreadL=0V)と読み出し高電圧VreadH(例えば、VreadH=10V)が印加され、第2の選択フローティングゲート電極(SFG2)以外のフローティングゲート電極(以下「第2の非選択フローティングゲート(NSFG2)」という)の電圧は5Vになる。 Further, read access to the first selected floating gate electrode (SFG1) is made to a control gate electrode other than the second selected control gate electrode (SCG2) (hereinafter referred to as “second unselected control gate electrode (NSCG2)”). Similarly to the time, a read low voltage V readL (for example, V readL = 0 V) and a read high voltage V readH (for example, V readH = 10 V) are applied alternately, and other than the second selected floating gate electrode (SFG2). The voltage of the floating gate electrode (hereinafter referred to as “second unselected floating gate (NSFG2)”) is 5V.

各読み出しアクセスでは、所定の読み出し電圧Vtが印加された選択コントロールゲート電極(SCG)の組み合わせが属するメモリセルMCは閾値電圧が判定され、互いに異なる読み出し電圧VreadL、VreadHが印加された非選択コントロールゲート電極(NSFG)の属するメモリセルMCは記憶されたデータに拘らずオン状態となる。 Non Each read access, the memory cells MC combination belongs predetermined read voltage V t is applied selected control gate electrode (SCG) is the threshold voltage is determined, the different read voltages V readL, V readH is applied together The memory cell MC to which the selected control gate electrode (NSFG) belongs is turned on regardless of the stored data.

第1及び第2の読み出しアクセスでは、第1の選択フローティングゲート電極(SFG1)と第2の選択フローティングゲート電極(SFG2)との間に2n−1(nは自然数)個のフローティングゲート電極(FG)8が存在することになる。   In the first and second read accesses, 2n-1 (n is a natural number) floating gate electrodes (FG) between the first selected floating gate electrode (SFG1) and the second selected floating gate electrode (SFG2). ) 8 exists.

次に、本発明の実施例1について説明する。本発明の実施例1は、不揮発性半導体記憶装置の回路構成を用いて、読み出しアクセス時に発生する充放電電流及びノイズを低減する例について説明する。   Next, Example 1 of the present invention will be described. Embodiment 1 of the present invention describes an example in which charge / discharge current and noise generated during read access are reduced using a circuit configuration of a nonvolatile semiconductor memory device.

なお、本発明の実施例1では、コントロールゲート線CG0〜8が接続されたコントロールゲート電極(CG)2をそれぞれ、コントロールゲート電極(CG0〜8)という。   In the first embodiment of the present invention, the control gate electrodes (CG) 2 to which the control gate lines CG0 to CG8 to 8 are connected are referred to as control gate electrodes (CG0 to 8), respectively.

図2は、本発明の実施例1に係る不揮発性半導体記憶装置の論理回路構成図(a)及び読み出しアクセスにおける物理アドレスと論理アドレスの関係を示す表(b)である。   FIG. 2 is a logical circuit configuration diagram (a) of the nonvolatile semiconductor memory device according to the first embodiment of the invention and a table (b) showing a relationship between a physical address and a logical address in read access.

図2(a)に示されるように、本発明の実施例1に係る不揮発性半導体記憶装置は、前述の複数のコントロールゲート電極(CG)2に対応する複数のNAND回路と、アドレス線をプリデコードすることによって生成された信号A0〜BA2に対して図2(b)に示される関係が成立するように配置された複数のトランジスタを含むメモリ部を備えている。   As shown in FIG. 2A, the nonvolatile semiconductor memory device according to the first embodiment of the present invention includes a plurality of NAND circuits corresponding to the plurality of control gate electrodes (CG) 2 and address lines. A memory unit including a plurality of transistors arranged so that the relationship shown in FIG. 2B is established with respect to the signals A0 to BA2 generated by decoding.

図2(b)に示されるように、本発明の実施例1に係る不揮発性半導体記憶装置のメモリ部は、論理アドレスがインクリメントされる毎に物理アドレスが1番地おきにアクセスされる。すなわち、物理アドレス「2m―2(mは自然数)番地」は、論理アドレス「0〜3番地」(第1の論理アドレス)に対応し、物理アドレス「2m−1番地」は、論理アドレス「4〜7番地」(第2の論理アドレス)に対応する。   As shown in FIG. 2B, the memory section of the nonvolatile semiconductor memory device according to the first embodiment of the present invention accesses every other physical address every time the logical address is incremented. That is, the physical address “2m-2 (m is a natural number)” corresponds to the logical address “0-3” (first logical address), and the physical address “2m-1” is the logical address “4”. Corresponds to “˜7” (second logical address).

ここで、第1の読み出しアクセス時に論理アドレス「5番地」がアクセスされ、第2の読み出しアクセス時に論理アドレス「6番地」がアクセスされる場合の例を説明する。   Here, an example in which the logical address “address 5” is accessed during the first read access and the logical address “address 6” is accessed during the second read access will be described.

図3は、図2に対応する各コントロールゲート電極(CG0〜8)及び各フローティングゲート電極(FG0〜7)の電圧の遷移を示す概念図である。   FIG. 3 is a conceptual diagram showing voltage transition of each control gate electrode (CG0-8) and each floating gate electrode (FG0-7) corresponding to FIG.

第1の読み出しアクセス時には、論理アドレス「5番地」に対応する物理アドレス「3」を示すフローティングゲート電極(FG3)が第1の選択フローティングゲート電極(SFG1)として選択される。その結果、フローティングゲート電極(FG3)の両側に位置するコントロールゲート電極(CG3、4)が第1の選択コントロールゲート電極(SCG1)となる。また、フローティングゲート電極(FG0〜2、4〜7)が第1の非選択フローティングゲート電極(NSFG1)となり、コントロールゲート電極(CG0〜2、5〜8)が第1の非選択コントロールゲート電極(NSCG1)となる。   During the first read access, the floating gate electrode (FG3) indicating the physical address “3” corresponding to the logical address “address 5” is selected as the first selected floating gate electrode (SFG1). As a result, the control gate electrodes (CG3, 4) located on both sides of the floating gate electrode (FG3) become the first selection control gate electrode (SCG1). Further, the floating gate electrodes (FG0-2, 4-7) serve as the first non-selected floating gate electrode (NSFG1), and the control gate electrodes (CG0-2, 5-8) serve as the first non-selected control gate electrode (NSFG1). NSCG1).

続いて、コントロールゲート電極(CG3、4)にそれぞれ所定の読み出し電圧Vt(=0V)が印加される。その結果、フローティングゲート電極(FG3)の電圧は0Vになる。 Subsequently, a predetermined read voltage V t (= 0 V) is applied to each of the control gate electrodes (CG3, 4). As a result, the voltage of the floating gate electrode (FG3) becomes 0V.

このとき、コントロールゲート電極(CG0〜2、5〜8)には、交互に読み出し低電圧VreadL(=0V)と読み出し高電圧VreadH(=10V)が印加されている。すなわち、第1の非選択コントロールゲート電極(NSCG1)であるコントロールゲート電極(CG0、CG2、CG5、CG7)には読み出し高電圧VreadH(=10V)が印加され、第1の非選択コントロールゲート電極(NSCG1)であるコントロールゲート電極(CG1、CG6、CG8)には読み出し低電圧VreadL(=0V)が印加される。その結果、第1の非選択フローティングゲート電極(NSFG1)であるフローティングゲート電極(FG0〜2、4〜7)の電圧は5Vになる。 At this time, the read low voltage V readL (= 0 V) and the read high voltage V readH (= 10 V) are alternately applied to the control gate electrodes (CG 0 to 2, 5 to 8). That is, the read high voltage VreadH (= 10 V) is applied to the control gate electrodes (CG0, CG2, CG5, CG7) which are the first non-selected control gate electrodes (NSCG1), and the first non-selected control gate electrodes ( A read low voltage VreadL (= 0 V) is applied to the control gate electrodes (CG1, CG6, CG8) which are NSCG1). As a result, the voltage of the floating gate electrodes (FG0-2, 4-7) which is the first non-selected floating gate electrode (NSFG1) is 5V.

第2の読み出しアクセス時には、論理アドレス「6番地」に対応する物理アドレス「5番地」を示すフローティングゲート電極(FG5)が第2の選択フローティングゲート電極(SFG2)として選択される。その結果、フローティングゲート電極(FG5)の両側に位置するコントロールゲート電極(CG5、6)が第2の選択コントロールゲート電極(SCG2)となる。また、フローティングゲート電極(FG0〜4、6、7)が第2の非選択フローティングゲート電極(NSFG2)となり、コントロールゲート電極(CG0〜4、7、8)が第2の非選択コントロールゲート電極(NSCG2)となる。   During the second read access, the floating gate electrode (FG5) indicating the physical address “5th address” corresponding to the logical address “6th address” is selected as the second selected floating gate electrode (SFG2). As a result, the control gate electrodes (CG5, 6) located on both sides of the floating gate electrode (FG5) become the second selection control gate electrode (SCG2). The floating gate electrodes (FG0 to 4, 6, and 7) serve as the second non-selected floating gate electrode (NSFG2), and the control gate electrodes (CG0 to 4, 7, and 8) serve as the second non-selected control gate electrode (NSFG2). NSCG2).

続いて、コントロールゲート電極(CG5、CG6)にそれぞれに所定の読み出し電圧Vt(=0V)が印加される。その結果、フローティングゲート電極(FG5)の電圧は0Vになる。 Subsequently, a predetermined read voltage V t (= 0 V) is applied to each of the control gate electrodes (CG5, CG6). As a result, the voltage of the floating gate electrode (FG5) becomes 0V.

このとき、コントロールゲート電極(CG0〜4、7、8)には、交互に読み出し低電圧VreadL(=0V)と読み出し高電圧VreadH(=10V)が印加されている。すなわち、第2の非選択コントロールゲート電極(NSCG1)であるコントロールゲート電極(CG0、CG2、CG4、CG7)には読み出し高電圧VreadH(=10V)が印加され、第2の非選択コントロールゲート電極(NSCG1)であるコントロールゲート電極(CG1、CG3、CG8)には読み出し低電圧VreadL(=0V)が印加される。その結果、第2の非選択フローティングゲート電極(NSFG2)であるフローティングゲート電極(FG0〜4、6、7)の電圧は5Vになる。 At this time, the read low voltage V readL (= 0 V) and the read high voltage V readH (= 10 V) are alternately applied to the control gate electrodes (CG 0 to 4, 7, 8). That is, the read high voltage VreadH (= 10 V) is applied to the control gate electrodes (CG0, CG2, CG4, CG7) which are the second non-selected control gate electrodes (NSCG1), and the second non-selected control gate electrodes (NS A read low voltage VreadL (= 0 V) is applied to the control gate electrodes (CG1, CG3, CG8) which are NSCG1). As a result, the voltage of the floating gate electrodes (FG0 to 4, 6, and 7) that are the second non-selected floating gate electrode (NSFG2) is 5V.

図3に示されるように、第1の読み出しアクセスと第2読み出しアクセスを比較すると、第1又は第2の選択コントロールゲート電極(SCG1、2)となったコントロールゲート電極(CG3〜6)の電圧のみが変化している。換言すれば、第1及び第2の非選択コントロールゲート電極(NSCG1、2)となったコントロールゲート電極(CG0〜2、7、8)の電圧は変化せず維持されている。   As shown in FIG. 3, when the first read access and the second read access are compared, the voltages of the control gate electrodes (CG3 to CG6) that have become the first or second selection control gate electrodes (SCG1, 2). Only has changed. In other words, the voltages of the control gate electrodes (CG0 to 2, 7, 8) that have become the first and second non-selected control gate electrodes (NSCG1, 2) are maintained without change.

図4は、本発明の実施例1の変形例に係る不揮発性半導体記憶装置の論理回路構成図(a)及び読み出しアクセスにおける物理アドレスと論理アドレスの関係を示す表(b)である。   FIG. 4 is a logical circuit configuration diagram (a) of a nonvolatile semiconductor memory device according to a modification of the first embodiment of the present invention and a table (b) showing a relationship between a physical address and a logical address in read access.

図4(a)に示されるように、本発明の実施例1の変形例に係る不揮発性半導体記憶装置は、前述のコントロールゲート電極(CG)2に相当する複数のNAND回路と、アドレス線をプリデコードすることによって生成された信号A0〜BA2に対して図4(b)に示される関係が成立するように配置された複数のトランジスタを含むメモリ部を備えている。   As shown in FIG. 4A, the nonvolatile semiconductor memory device according to the modification of the first embodiment of the present invention includes a plurality of NAND circuits corresponding to the control gate electrode (CG) 2 and an address line. A memory unit including a plurality of transistors arranged so that the relationship shown in FIG. 4B is established with respect to the signals A0 to BA2 generated by predecoding.

図4(b)に示されるように、本発明の実施例1の変形例に係る不揮発性半導体記憶装置のメモリ部は、論理アドレスがインクリメントされる毎に物理アドレスが3番地おきにアクセスされることを示す。   As shown in FIG. 4B, in the memory unit of the nonvolatile semiconductor memory device according to the modification of the first embodiment of the present invention, every time the logical address is incremented, the physical address is accessed every third address. It shows that.

ここで、第1の読み出しアクセス時に論理アドレス「6番地」がアクセスされ、第2の読み出しアクセス時に論理アドレス「7番地」がアクセスされる場合の例を説明する。   Here, an example in which the logical address “6” is accessed during the first read access and the logical address “7” is accessed during the second read access will be described.

図5は、図4に対応する各コントロールゲート電極(CG0〜8)及び各フローティングゲート電極(FG0〜7)の電圧の遷移を示す概念図である。   FIG. 5 is a conceptual diagram showing voltage transition of each control gate electrode (CG0-8) and each floating gate electrode (FG0-7) corresponding to FIG.

はじめに、第1の読み出しアクセス時には、論理アドレス「6番地」に対応する物理アドレス「3番地」を示すフローティングゲート電極(FG3)が第1の選択フローティングゲート電極(SFG1)として選択される。その結果、フローティングゲート電極(FG3)の両側に位置するコントロールゲート電極(CG3、4)が第1の選択コントロールゲート電極(SCG1)となる。また、フローティングゲート電極(FG0〜2、4〜7)が第1の非選択フローティングゲート電極(NSFG1)となり、コントロールゲート電極(CG0〜2、5〜8)が第1の非選択コントロールゲート電極(NSCG1)となる。   First, in the first read access, the floating gate electrode (FG3) indicating the physical address “address 3” corresponding to the logical address “address 6” is selected as the first selected floating gate electrode (SFG1). As a result, the control gate electrodes (CG3, 4) located on both sides of the floating gate electrode (FG3) become the first selection control gate electrode (SCG1). Further, the floating gate electrodes (FG0-2, 4-7) serve as the first non-selected floating gate electrode (NSFG1), and the control gate electrodes (CG0-2, 5-8) serve as the first non-selected control gate electrode (NSFG1). NSCG1).

続いて、コントロールゲート電極(CG3、CG4)にそれぞれ所定の読み出し電圧Vt(=0V)が印加される。その結果、フローティングゲート電極(FG3)の電圧は0Vになる。 Subsequently, a predetermined read voltage V t (= 0 V) is applied to each of the control gate electrodes (CG3, CG4). As a result, the voltage of the floating gate electrode (FG3) becomes 0V.

このとき、コントロールゲート電極(CG0〜2、5〜8)には、交互に読み出し低電圧VreadL(=0V)と読み出し高電圧VreadH(=10V)が印加されている。その結果、フローティングゲート電極(FG0〜2、4〜7)の電圧は5Vになる。 At this time, the read low voltage V readL (= 0 V) and the read high voltage V readH (= 10 V) are alternately applied to the control gate electrodes (CG 0 to 2, 5 to 8). As a result, the voltage of the floating gate electrodes (FG0 to 2, 4 to 7) becomes 5V.

第2の読み出しアクセス時には、論理アドレス「7番地」に対応する物理アドレス「7番地」を示すフローティングゲート電極(FG7)が第2の選択フローティングゲート電極(SFG2)として選択される。その結果、フローティングゲート電極(FG7)の両側に位置するコントロールゲート電極(CG7、8)が第2の選択コントロールゲート電極(SCG2)となる。また、フローティングゲート電極(FG0〜6)が第2の非選択フローティングゲート電極(NSFG2)となり、コントロールゲート電極(CG0〜6)が第2の非選択コントロールゲート電極(NSCG2)となる。   During the second read access, the floating gate electrode (FG7) indicating the physical address “7th address” corresponding to the logical address “7th address” is selected as the second selected floating gate electrode (SFG2). As a result, the control gate electrodes (CG7, 8) located on both sides of the floating gate electrode (FG7) become the second selection control gate electrode (SCG2). Further, the floating gate electrodes (FG0 to FG6) become the second non-selected floating gate electrode (NSFG2), and the control gate electrodes (CG0 to CG6) become the second non-selected control gate electrode (NSCG2).

続いて、コントロールゲート電極(CG7、CG8)にそれぞれ所定の読み出し電圧Vt(=0V)が印加される。その結果、フローティングゲート電極(FG7)の電圧は0Vになる。 Subsequently, a predetermined read voltage V t (= 0 V) is applied to each of the control gate electrodes (CG7, CG8). As a result, the voltage of the floating gate electrode (FG7) becomes 0V.

このとき、第2の非選択コントロールゲート電極(NSCG2)には、交互に読み出し低電圧VreadL(=0V)と読み出し高電圧VreadH(=10V)が印加されている。その結果、フローティングゲート電極(FG0〜6)の電圧は5Vになる。 At this time, the read low voltage V readL (= 0 V) and the read high voltage V readH (= 10 V) are alternately applied to the second non-selected control gate electrode (NSCG2). As a result, the voltage of the floating gate electrodes (FG0 to FG6) becomes 5V.

図5に示されるように、第1の読み出しアクセスと第2読み出しアクセスを比較すると、 第1又は第2の選択コントロールゲート電極(SCG1、2)となったコントロールゲート電極(CG3、4、7、8)の電圧及び第1及び第2の選択コントロールゲート電極(SCG1、2)の間に位置するコントロールゲート電極(CG5、6)の電圧のみが変化している。換言すれば、コントロールゲート電極(CG0〜2)の電圧は変化せず維持されている。   As shown in FIG. 5, when the first read access and the second read access are compared, the control gate electrodes (CG3, 4, 7, 7) that become the first or second selection control gate electrodes (SCG1, 2) are obtained. Only the voltage of 8) and the voltage of the control gate electrodes (CG5, 6) located between the first and second selection control gate electrodes (SCG1, 2) are changed. In other words, the voltage of the control gate electrodes (CG0 to CG2) is maintained without change.

本発明の実施例1によれば、連続する読み出しアクセスにおいて、選択フローティングゲート電極(SFG)のみの電圧が変化するように選択コントロールゲート電極(SCG)に電圧を印加するので、非選択コントロールゲート電極(NSCG)に電圧を印加する際に生じる充放電電流を低減し、不揮発性半導体記憶装置の動作を安定化させることができる。   According to the first embodiment of the present invention, the voltage is applied to the selected control gate electrode (SCG) so that only the voltage of the selected floating gate electrode (SFG) changes in successive read accesses. The charge / discharge current generated when a voltage is applied to (NSCG) can be reduced, and the operation of the nonvolatile semiconductor memory device can be stabilized.

また、本発明の実施例1によれば、充放電電流及びフローティングゲート電極(FG)8の電圧変化によって発生するノイズを低減し、不揮発性半導体記憶装置の動作を安定化させることができる。   Further, according to the first embodiment of the present invention, noise generated by the charge / discharge current and the voltage change of the floating gate electrode (FG) 8 can be reduced, and the operation of the nonvolatile semiconductor memory device can be stabilized.

次に、本発明の実施例2について説明する。本発明の実施例1は、不揮発性半導体記憶装置の回路構成を用いる例であるが、本発明の実施例2は、アドレス変換テーブルを用いて、読み出しアクセス時に発生する充放電電流及びノイズを低減する例である。なお、本発明の実施例1と同様の内容についての説明は省略する。   Next, a second embodiment of the present invention will be described. The first embodiment of the present invention is an example using the circuit configuration of the nonvolatile semiconductor memory device, but the second embodiment of the present invention uses the address conversion table to reduce the charge / discharge current and noise generated during read access. This is an example. In addition, the description about the content similar to Example 1 of this invention is abbreviate | omitted.

なお、本発明の実施例2では、コントロールゲート線CG0〜8が接続されたコントロールゲート電極(CG)2をそれぞれ、コントロールゲート電極(CG0〜8)という。   In Example 2 of the present invention, the control gate electrodes (CG) 2 to which the control gate lines CG0 to CG8 to 8 are connected are referred to as control gate electrodes (CG0 to 8), respectively.

図6は、本発明の実施例2に係る不揮発性半導体記憶装置の論理回路構成図(a)及び読み出しアクセスにおける物理アドレスと論理アドレスの関係を示す表(b)である。   FIG. 6 is a logical circuit configuration diagram (a) of the nonvolatile semiconductor memory device according to the second embodiment of the present invention and a table (b) showing a relationship between a physical address and a logical address in read access.

図6(a)に示されるように、本発明の実施例2に係る不揮発性半導体記憶装置は、前述のコントロールゲート電極(CG)2に相当する複数のNAND回路と、アドレス線をプリデコードすることによって生成された信号A0〜BA2に対して所定の基準に従って配置された複数のトランジスタを含むメモリ部を備えている。   As shown in FIG. 6A, the nonvolatile semiconductor memory device according to Example 2 of the present invention pre-decodes a plurality of NAND circuits corresponding to the above-described control gate electrode (CG) 2 and address lines. A memory unit including a plurality of transistors arranged according to a predetermined standard with respect to the signals A0 to BA2 generated in this way is provided.

図6(b)に示されるように、本発明の実施例2に係る不揮発性半導体記憶装置のメモリ部201(図7)は、論理アドレスがインクリメントされる毎に物理アドレスが連続的にアクセスされる。   As shown in FIG. 6B, the physical address of the memory unit 201 (FIG. 7) of the nonvolatile semiconductor memory device according to the second embodiment of the present invention is continuously accessed every time the logical address is incremented. The

図7は、本発明の実施例2に係る不揮発性半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。   FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of a nonvolatile semiconductor memory device according to Example 2 of the present invention.

本発明の実施例2に係る不揮発性半導体記憶装置は、メモリ部201及びコントローラ202を備えている。   The nonvolatile semiconductor memory device according to the second embodiment of the present invention includes a memory unit 201 and a controller 202.

メモリ部201は、前述の基本構造(図1、2)を備え、前述の基本動作の通りに動作する。また、メモリ部201は、前述の論理回路構成(図6)を有する。   The memory unit 201 has the above-described basic structure (FIGS. 1 and 2) and operates according to the above-described basic operation. The memory unit 201 has the above-described logic circuit configuration (FIG. 6).

コントローラ202は、アドレス変換テーブル記憶部2021及び制御部2022を備えている。   The controller 202 includes an address conversion table storage unit 2021 and a control unit 2022.

アドレス変換テーブル記憶部2021は、複数のアドレス変換テーブル2021A、Bを記憶している。アドレス変換テーブル2021A、Bは、論理アドレスを物理アドレスに変換するための情報、例えば、図2(b)又は図4(b)に示されるように、論理アドレスがインクリメントされる毎に物理アドレスが2m−1(mは自然数)番地おきにアクセスされることを示す情報を含む。   The address conversion table storage unit 2021 stores a plurality of address conversion tables 2021A and 2021. The address conversion tables 2021A and 202B are information for converting a logical address into a physical address. For example, as shown in FIG. 2B or 4B, the physical address is changed every time the logical address is incremented. 2m-1 (m is a natural number) includes information indicating that access is made every other address.

制御部2022は、アドレス変換テーブル記憶部2021に記憶されたアドレス変換テーブル2021A又はBを参照し、アドレス変換テーブル2021A又はBに含まれる情報に従って、論理アドレスを物理アドレスに変換し、変換された物理アドレスに対応するフローティングゲート電極(FG)8の両側に位置する一対のコントロールゲート電極(CG)2に所定の読み出し電圧Vt(例えば、Vt=0V)を印加する。 The control unit 2022 refers to the address conversion table 2021A or B stored in the address conversion table storage unit 2021, converts the logical address into a physical address according to the information included in the address conversion table 2021A or B, and converts the converted physical address A predetermined read voltage V t (for example, V t = 0 V) is applied to the pair of control gate electrodes (CG) 2 located on both sides of the floating gate electrode (FG) 8 corresponding to the address.

本発明の実施例2に係る不揮発性半導体記憶装置の読み出しアクセス時には、図6(b)に示される物理アドレスと論理アドレスの関係とは異なり、アドレス変換テーブル2021A又はBに含まれる情報(すなわち、図2(b)又は図4(b)に示されるような物理アドレスと論理アドレスの関係)に従って、図3又は図5に示されるようにフローティングゲート電極(FG0〜7)及びコントロールゲート電極(CG0〜8)の電圧が遷移する。   At the time of read access of the nonvolatile semiconductor memory device according to the second embodiment of the present invention, unlike the relationship between the physical address and the logical address shown in FIG. 6B, the information included in the address conversion table 2021A or B (that is, According to the relationship between the physical address and the logical address as shown in FIG. 2B or FIG. 4B), the floating gate electrode (FG0-7) and the control gate electrode (CG0) as shown in FIG. The voltage of ˜8) transitions.

なお、本発明の実施例2では、アドレス変換テーブル記憶手段2021がコントローラ202の外部に設けられても良いし、メモリ部201の内部に設けられても良い。   In the second embodiment of the present invention, the address conversion table storage unit 2021 may be provided outside the controller 202 or may be provided inside the memory unit 201.

また、本発明の実施例2では、コントローラ202がメモリ部201の内部に設けられても良い。   In the second embodiment of the present invention, the controller 202 may be provided inside the memory unit 201.

本発明の実施例2によれば、アドレス変換テーブル2021A、Bを参照して一対のコントロールゲート電極(CG)2に電圧を印加するので、論理アドレスがインクリメントされる毎に物理アドレスが連続的にアクセスされることを示す論理回路を用いる場合であっても、本発明の実施例1と同様の効果を得ることができる。   According to the second embodiment of the present invention, a voltage is applied to the pair of control gate electrodes (CG) 2 with reference to the address conversion tables 2021A and 202B. Therefore, each time the logical address is incremented, the physical address is continuously increased. Even when a logic circuit indicating access is used, the same effect as in the first embodiment of the present invention can be obtained.

本発明の実施例に係る不揮発性半導体記憶装置の模式的回路構成図(a)及び模式的素子断面構造図(b)である。1A is a schematic circuit configuration diagram of a nonvolatile semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 本発明の実施例1に係る不揮発性半導体記憶装置の論理回路構成図(a)及び読み出しアクセスにおける物理アドレスと論理アドレスの関係を示す表(b)である。2A is a logical circuit configuration diagram (a) of the nonvolatile semiconductor memory device according to the first embodiment of the invention, and FIG. 2B is a table (b) showing a relationship between a physical address and a logical address in read access. 図2に対応する各コントロールゲート電極(CG0〜8)及び各フローティングゲート電極(FG0〜7)の電圧の遷移を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the transition of the voltage of each control gate electrode (CG0-8) and each floating gate electrode (FG0-7) corresponding to FIG. 本発明の実施例1の変形例に係る不揮発性半導体記憶装置の論理回路構成図(a)及び読み出しアクセスにおける物理アドレスと論理アドレスの関係を示す表(b)である。FIG. 6 is a logical circuit configuration diagram (a) of a nonvolatile semiconductor memory device according to a modification of Example 1 of the present invention and a table (b) showing a relationship between a physical address and a logical address in read access. 図4に対応する各コントロールゲート電極(CG0〜8)及び各フローティングゲート電極(FG0〜7)の電圧の遷移を示す概念図である。FIG. 5 is a conceptual diagram illustrating voltage transition of each control gate electrode (CG0 to 8) and each floating gate electrode (FG0 to 7) corresponding to FIG. 4. 本発明の実施例2に係る不揮発性半導体記憶装置の論理回路構成図(a)及び読み出しアクセスにおける物理アドレスと論理アドレスの関係を示す表(b)である。FIG. 7 is a logical circuit configuration diagram (a) of a nonvolatile semiconductor memory device according to Example 2 of the invention and a table (b) showing a relationship between a physical address and a logical address in read access. 本発明の実施例2に係る不揮発性半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the non-volatile semiconductor memory device based on Example 2 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

2 コントロールゲート電極(CG)
4、6 選択ゲート電極
8 フローティングゲート電極(FG)
14 ビット線コンタクト領域
16 ソース線コンタクト領域
18 拡散層
26 ウェル
201 メモリ部
202 コントローラ
2021 アドレス変換テーブル記憶部
2021A、B アドレス変換テーブル
2022 制御部
2 Control gate electrode (CG)
4, 6 Select gate electrode 8 Floating gate electrode (FG)
14 Bit line contact region 16 Source line contact region 18 Diffusion layer 26 Well 201 Memory unit 202 Controller 2021 Address conversion table storage unit 2021A, B Address conversion table 2022 Control unit

Claims (5)

半導体基板と、前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた一対の選択ゲート電極と、前記一対の選択ゲート電極の間の前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた複数のフローティングゲート電極と、各フローティングゲート電極の間及び前記フローティングゲート電極と前記選択ゲート電極との間にそれぞれ設けられた複数のコントロールゲート電極と、を備えた不揮発性半導体記憶装置の制御方法であって、
第1の読み出しアクセス時に、前記複数のフローティングゲート電極のうち選択される第1のフローティングゲート電極の両側に位置する一対のコントロールゲート電極に所定電圧が印加され、
前記第1の読み出しアクセスに続く第2の読み出しアクセス時に、前記第1のフローティングゲート電極から2n(nは自然数)番目の第2のフローティングゲート電極の両側に位置する一対のコントロールゲート電極に前記所定の読み出し電圧が印加されることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
A semiconductor substrate; a pair of select gate electrodes provided on the semiconductor substrate via a gate insulating film; and a plurality of gate electrodes provided on the semiconductor substrate between the pair of select gate electrodes. A control method for a nonvolatile semiconductor memory device, comprising: a floating gate electrode; and a plurality of control gate electrodes provided between the floating gate electrodes and between the floating gate electrode and the selection gate electrode, respectively. ,
During a first read access, a predetermined voltage is applied to a pair of control gate electrodes located on both sides of the first floating gate electrode selected from among the plurality of floating gate electrodes,
In a second read access subsequent to the first read access, the predetermined control gate electrodes are placed on the pair of control gate electrodes located on both sides of the 2n (n is a natural number) second floating gate electrode from the first floating gate electrode. A read voltage is applied to the nonvolatile semiconductor memory device.
前記第2の読み出しアクセス時に、前記第1のフローティングゲート電極から2番目の第2のフローティングゲート電極の両側に位置する一対のコントロールゲート電極に前記読み出し電圧が印加される請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。   2. The nonvolatile memory according to claim 1, wherein at the time of the second read access, the read voltage is applied to a pair of control gate electrodes positioned on both sides of the second floating gate electrode from the first floating gate electrode. Control method for conductive semiconductor memory device 半導体基板と、前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた一対の選択ゲート電極と、前記一対の選択ゲート電極の間の前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた複数のフローティングゲート電極と、各フローティングゲート電極の間及び前記フローティングゲート電極と前記選択ゲート電極との間にそれぞれ設けられた複数のコントロールゲート電極と、を備えた不揮発性半導体記憶装置の制御方法であって、
第1の読み出しアクセス時に、前記複数のフローティングゲート電極のうち選択される第1のフローティングゲート電極の電圧が変化し、
前記第1の読み出しアクセスに続く第2の読み出しアクセス時に、前記第1のフローティングゲート電極から2n(nは自然数)番目の第2のフローティングゲート電極の電圧が変化することを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
A semiconductor substrate; a pair of select gate electrodes provided on the semiconductor substrate via a gate insulating film; and a plurality of gate electrodes provided on the semiconductor substrate between the pair of select gate electrodes. A control method for a nonvolatile semiconductor memory device, comprising: a floating gate electrode; and a plurality of control gate electrodes provided between the floating gate electrodes and between the floating gate electrode and the selection gate electrode, respectively. ,
During the first read access, the voltage of the first floating gate electrode selected from the plurality of floating gate electrodes changes,
A non-volatile semiconductor, wherein a voltage of a 2nth (n is a natural number) second floating gate electrode from the first floating gate electrode changes during a second read access following the first read access. Storage device control method.
半導体基板と、前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた一対の選択ゲート電極と、前記一対の選択ゲート電極の間の前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた複数のフローティングゲート電極と、各フローティングゲート電極の間及び前記フローティングゲート電極と前記選択ゲート電極との間にそれぞれ設けられた複数のコントロールゲート電極と、を備えた不揮発性半導体記憶装置であって、
物理アドレスの2m―2(mは自然数)番地がそれぞれ連続する第1の論理アドレスに対応し、物理アドレスの2m−1番地がそれぞれ前記第1の論理アドレスに続いて連続する第2の論理アドレスに対応する様に配置されたトランジスタを有するメモリ部を備えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
A semiconductor substrate; a pair of select gate electrodes provided on the semiconductor substrate via a gate insulating film; and a plurality of gate electrodes provided on the semiconductor substrate between the pair of select gate electrodes. A non-volatile semiconductor memory device comprising: a floating gate electrode; and a plurality of control gate electrodes provided between each floating gate electrode and between the floating gate electrode and the selection gate electrode,
A second logical address in which physical addresses 2m-2 (m is a natural number) corresponds to a first logical address that continues, and 2m-1 addresses in a physical address follow each of the first logical addresses. A non-volatile semiconductor memory device comprising a memory portion having transistors arranged so as to correspond to the above.
半導体基板と、前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた一対の選択ゲート電極と、前記一対の選択ゲート電極の間の前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して設けられた複数のフローティングゲート電極と、各フローティングゲート電極の間及び前記フローティングゲート電極と前記選択ゲート電極との間にそれぞれ設けられた複数のコントロールゲート電極と、を備えた不揮発性半導体記憶装置であって、
物理アドレスの各番地がそれぞれ連続する論理アドレスに対応する様に配置されたトランジスタを有するメモリ部と、
前記メモリ部の物理アドレスの2m−2(mは自然数)番地をそれぞれ連続する第1の論理アドレスに変換し、前記メモリ部の物理アドレスの2m−1番地をそれぞれ前記第1の論理アドレスに続いて連続する第2の論理アドレスに変換するためのアドレス変換テーブルを記憶するアドレス変換テーブル記憶部と、
前記アドレス変換テーブル記憶部に記憶されたアドレス変換テーブルに従って前記フローティングゲート電極の両側に位置する一対のコントロールゲート電極に所定の読み出し電圧を印加する制御部と、を備えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
A semiconductor substrate; a pair of select gate electrodes provided on the semiconductor substrate via a gate insulating film; and a plurality of gate electrodes provided on the semiconductor substrate between the pair of select gate electrodes. A non-volatile semiconductor memory device comprising: a floating gate electrode; and a plurality of control gate electrodes provided between each floating gate electrode and between the floating gate electrode and the selection gate electrode,
A memory unit having transistors arranged so that each address of a physical address corresponds to a continuous logical address;
The 2m-2 (m is a natural number) address of the physical address of the memory unit is converted into a continuous first logical address, and the 2m-1 address of the physical address of the memory unit is respectively followed by the first logical address. An address conversion table storage unit for storing an address conversion table for converting to a second continuous logical address;
And a control unit that applies a predetermined read voltage to a pair of control gate electrodes located on both sides of the floating gate electrode in accordance with an address conversion table stored in the address conversion table storage unit. Semiconductor memory device.
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