JP2008518795A - 反応性無機吸熱物質を含む研磨材 - Google Patents
反応性無機吸熱物質を含む研磨材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008518795A JP2008518795A JP2007539356A JP2007539356A JP2008518795A JP 2008518795 A JP2008518795 A JP 2008518795A JP 2007539356 A JP2007539356 A JP 2007539356A JP 2007539356 A JP2007539356 A JP 2007539356A JP 2008518795 A JP2008518795 A JP 2008518795A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- abrasive
- nonwoven fabric
- polishing
- adhesive
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 title claims description 15
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 claims abstract description 78
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 59
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 36
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 34
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 32
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 24
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 7
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 6
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 5
- XFWJKVMFIVXPKK-UHFFFAOYSA-N calcium;oxido(oxo)alumane Chemical compound [Ca+2].[O-][Al]=O.[O-][Al]=O XFWJKVMFIVXPKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 claims description 3
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 52
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 52
- 239000012711 adhesive precursor Substances 0.000 description 26
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 21
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 21
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 17
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 15
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 15
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 15
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 14
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 14
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 11
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 10
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 10
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 8
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 8
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 7
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 7
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 6
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 6
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 6
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 6
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 5
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 4
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 4
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002292 Nylon 6 Polymers 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 3
- MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 1,2-Divinylbenzene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1C=C MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PMBXCGGQNSVESQ-UHFFFAOYSA-N 1-Hexanethiol Chemical compound CCCCCCS PMBXCGGQNSVESQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZRKMQKLGEQPLNS-UHFFFAOYSA-N 1-Pentanethiol Chemical compound CCCCCS ZRKMQKLGEQPLNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- INQDDHNZXOAFFD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethoxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C=C INQDDHNZXOAFFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxyethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOC(=O)C=C KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YBRVSVVVWCFQMG-UHFFFAOYSA-N 4,4'-diaminodiphenylmethane Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1CC1=CC=C(N)C=C1 YBRVSVVVWCFQMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LSDPWZHWYPCBBB-UHFFFAOYSA-N Methanethiol Chemical compound SC LSDPWZHWYPCBBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002302 Nylon 6,6 Polymers 0.000 description 2
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WQAQPCDUOCURKW-UHFFFAOYSA-N butanethiol Chemical compound CCCCS WQAQPCDUOCURKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- GDVKFRBCXAPAQJ-UHFFFAOYSA-A dialuminum;hexamagnesium;carbonate;hexadecahydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Al+3].[Al+3].[O-]C([O-])=O GDVKFRBCXAPAQJ-UHFFFAOYSA-A 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- DNJIEGIFACGWOD-UHFFFAOYSA-N ethanethiol Chemical compound CCS DNJIEGIFACGWOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- 229910001701 hydrotalcite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229960001545 hydrotalcite Drugs 0.000 description 2
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 description 2
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 229920005906 polyester polyol Polymers 0.000 description 2
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- KJRCEJOSASVSRA-UHFFFAOYSA-N propane-2-thiol Chemical compound CC(C)S KJRCEJOSASVSRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- OVBFMUAFNIIQAL-UHFFFAOYSA-N 1,4-diisocyanatobutane Chemical compound O=C=NCCCCN=C=O OVBFMUAFNIIQAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDMDQYCEEKCBGR-UHFFFAOYSA-N 1,4-diisocyanatocyclohexane Chemical compound O=C=NC1CCC(N=C=O)CC1 CDMDQYCEEKCBGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBPZYKAUNRMKP-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2,4-dichlorophenyl)pentyl]1,2,4-triazole Chemical compound C=1C=C(Cl)C=C(Cl)C=1C(CCC)CN1C=NC=N1 WKBPZYKAUNRMKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTZVZZJJVJQZHV-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-4-ethenylbenzene Chemical compound ClC1=CC=C(C=C)C=C1 KTZVZZJJVJQZHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PTBDIHRZYDMNKB-UHFFFAOYSA-N 2,2-Bis(hydroxymethyl)propionic acid Chemical compound OCC(C)(CO)C(O)=O PTBDIHRZYDMNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JVYDLYGCSIHCMR-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)butanoic acid Chemical compound CCC(CO)(CO)C(O)=O JVYDLYGCSIHCMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHAMPPWFPNXLIU-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)pentanoic acid Chemical compound CCCC(CO)(CO)C(O)=O UHAMPPWFPNXLIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YAJYJWXEWKRTPO-UHFFFAOYSA-N 2,3,3,4,4,5-hexamethylhexane-2-thiol Chemical compound CC(C)C(C)(C)C(C)(C)C(C)(C)S YAJYJWXEWKRTPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LTHJXDSHSVNJKG-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOCCOCCOC(=O)C(C)=C LTHJXDSHSVNJKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl methacrylate Chemical compound CC(O)COC(=O)C(C)=C VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWZMWHWAWHPNHN-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl prop-2-enoate Chemical compound CC(O)COC(=O)C=C GWZMWHWAWHPNHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGIGUEBEKRSTEW-UHFFFAOYSA-N 2-vinylpyridine Chemical compound C=CC1=CC=CC=N1 KGIGUEBEKRSTEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Diphenylmethane Diisocyanate Chemical compound C1=CC(N=C=O)=CC=C1CC1=CC=C(N=C=O)C=C1 UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IBOFVQJTBBUKMU-UHFFFAOYSA-N 4,4'-methylene-bis-(2-chloroaniline) Chemical compound C1=C(Cl)C(N)=CC=C1CC1=CC=C(N)C(Cl)=C1 IBOFVQJTBBUKMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-1,1,1-trifluorobutane Chemical compound FC(F)(F)CCCBr DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 6-prop-2-enoyloxyhexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCCOC(=O)C=C FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004114 Ammonium polyphosphate Substances 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005057 Hexamethylene diisocyanate Substances 0.000 description 1
- 239000005058 Isophorone diisocyanate Substances 0.000 description 1
- 241001465754 Metazoa Species 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001112258 Moca Species 0.000 description 1
- 229920001730 Moisture cure polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001800 Shellac Polymers 0.000 description 1
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- GZCGUPFRVQAUEE-SLPGGIOYSA-N aldehydo-D-glucose Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C=O GZCGUPFRVQAUEE-SLPGGIOYSA-N 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019826 ammonium polyphosphate Nutrition 0.000 description 1
- 229920001276 ammonium polyphosphate Polymers 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L calcium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ca+2] AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000920 calcium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001861 calcium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012986 chain transfer agent Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010431 corundum Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- KBLWLMPSVYBVDK-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1CCCCC1 KBLWLMPSVYBVDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTXVGVNLYGSIAR-UHFFFAOYSA-N decane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCS VTXVGVNLYGSIAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 125000005265 dialkylamine group Chemical group 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002009 diols Chemical group 0.000 description 1
- WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N dodecane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCCCS WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GMSCBRSQMRDRCD-UHFFFAOYSA-N dodecyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C GMSCBRSQMRDRCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003995 emulsifying agent Substances 0.000 description 1
- 238000010556 emulsion polymerization method Methods 0.000 description 1
- 238000007720 emulsion polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Substances CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000002657 fibrous material Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000010528 free radical solution polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N hexamethylene diisocyanate Chemical compound O=C=NCCCCCCN=C=O RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNCPIMCVTKXXOY-UHFFFAOYSA-N hexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCOC(=O)C(C)=C LNCPIMCVTKXXOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNMQRPPRQDGUDR-UHFFFAOYSA-N hexyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCOC(=O)C=C LNMQRPPRQDGUDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N isophorone diisocyanate Chemical compound CC1(C)CC(N=C=O)CC(C)(CN=C=O)C1 NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- PBOSTUDLECTMNL-UHFFFAOYSA-N lauryl acrylate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC(=O)C=C PBOSTUDLECTMNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- AYLRODJJLADBOB-QMMMGPOBSA-N methyl (2s)-2,6-diisocyanatohexanoate Chemical compound COC(=O)[C@@H](N=C=O)CCCCN=C=O AYLRODJJLADBOB-QMMMGPOBSA-N 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004530 micro-emulsion Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- KZCOBXFFBQJQHH-UHFFFAOYSA-N octane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCS KZCOBXFFBQJQHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NZIDBRBFGPQCRY-UHFFFAOYSA-N octyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCOC(=O)C(C)=C NZIDBRBFGPQCRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940065472 octyl acrylate Drugs 0.000 description 1
- ANISOHQJBAQUQP-UHFFFAOYSA-N octyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCOC(=O)C=C ANISOHQJBAQUQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enylbenzene Chemical compound C=CCC1=CC=CC=C1 HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOQSSGDQNWEFSX-UHFFFAOYSA-N propan-2-yl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(C)OC(=O)C(C)=C BOQSSGDQNWEFSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LYBIZMNPXTXVMV-UHFFFAOYSA-N propan-2-yl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)OC(=O)C=C LYBIZMNPXTXVMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)=C NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNXMTCDJUBJHQJ-UHFFFAOYSA-N propyl prop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C=C PNXMTCDJUBJHQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- ZLGIYFNHBLSMPS-ATJNOEHPSA-N shellac Chemical compound OCCCCCC(O)C(O)CCCCCCCC(O)=O.C1C23[C@H](C(O)=O)CCC2[C@](C)(CO)[C@@H]1C(C(O)=O)=C[C@@H]3O ZLGIYFNHBLSMPS-ATJNOEHPSA-N 0.000 description 1
- 239000004208 shellac Substances 0.000 description 1
- 229940113147 shellac Drugs 0.000 description 1
- 235000013874 shellac Nutrition 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 125000001174 sulfone group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000010558 suspension polymerization method Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011031 topaz Substances 0.000 description 1
- 229910052853 topaz Inorganic materials 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BIKXLKXABVUSMH-UHFFFAOYSA-N trizinc;diborate Chemical compound [Zn+2].[Zn+2].[Zn+2].[O-]B([O-])[O-].[O-]B([O-])[O-] BIKXLKXABVUSMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CCIDWXHLGNEQSL-UHFFFAOYSA-N undecane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCCS CCIDWXHLGNEQSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D11/00—Constructional features of flexible abrasive materials; Special features in the manufacture of such materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D11/00—Constructional features of flexible abrasive materials; Special features in the manufacture of such materials
- B24D11/001—Manufacture of flexible abrasive materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D11/00—Constructional features of flexible abrasive materials; Special features in the manufacture of such materials
- B24D11/02—Backings, e.g. foils, webs, mesh fabrics
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
- B24D3/34—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents characterised by additives enhancing special physical properties, e.g. wear resistance, electric conductivity, self-cleaning properties
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
本発明は反応性無機吸熱物質を含む不織布研磨剤を提供する。
Description
本発明は研磨材に関し、特に、金属、プラスチック、及び木材のような材料の表面を研磨するための不織布研磨材に関する。
不織布のような基材と、基材の表面上に設けられた接着剤と、その少なくとも一部が接着剤に埋没して基材の表面上に設けられている砥粒とを有する不織布研磨材は当業者に広く知られている。
特許文献1には、基材として高い空隙率を有するオープン構造の低密度不織布を用い、接着剤としてフェノール−アルデヒド樹脂溶液を使用した床磨きパッドが記載されている。特許文献2には、複数の不織布研磨材を積み重ね、使用により作業面がすり減った場合に、一層を剥離して再生することができる表面処理パッドが記載されている。
特許文献3には、低密度不織ウェブに接着剤で砥粒を固定した砥石車であって、接着剤がポリエステル、ポリウレタン及びこれらと混和性を有する重合体の混合物であるものが記載されている。特許文献4には、このような接着剤の前駆体としてポリウレタンプレポリマーとアミン官能性物質を含んでなる水分散性組成物が記載されている。特許文献5には、不織布と伸縮防止有孔補強織地と伸縮性接着剤とを有してなる表面仕上げ製品が記載されている。
特許文献6には、不織布に、硬化性樹脂、硬化剤及び揮発性溶剤を含有する溶剤系接着剤の溶液及び砥粒を塗布し、接着剤溶液を乾燥させて取扱い可能な研磨中間材を得、研磨中間材をラミネート形式、フラップ形式及び渦巻形式等に成形し、その後、成形された研磨中間材を加熱して接着剤を硬化させる不織布研磨材の製造方法が記載されている。
特許文献7には、リン系難燃剤を含有するフェノール樹脂バインダーにより不織布に砥粒を付着せしめ、円筒状に成形して成る難燃性不織布研磨材が記載されている。この不織布研磨材は自己消火性に優れ、金属研磨時に火花が発生しても火災につながりにくい。
特許文献8および9には、不織布、樹脂バインダー、および研磨粒子を少なくとも含む不織布研磨材が記載されている。使用しうる軟質研磨粒子および充填材の例として多くの無機物質が列挙されている。
不織布研磨材は基材や接着剤が有機物質で形成されており、熱によって劣化しうる。そのため、研磨作業の際に発生する熱を抑制することは重要な課題である。特に微細な表面仕上げ、又は鏡面仕上げを行う場合には摩擦熱の発生量が多く、不織布研磨材を構成している有機物質が劣化し易い。劣化した有機物質が被研磨面に接すると、そこに付着して汚れが発生することがある。この汚れは、一般にはスメアと呼ばれるものである。スメアが発生すると、被研磨面からこれを除去する工程が新たに必要となって研磨作業が煩雑になる。
潤滑剤は、研磨時の発熱を防止する手段として従来から一般的に使用されている。潤滑剤は、一方では摩擦熱の発生を低減し、他方では研磨部位から熱を持ち出す媒体として機能する。しかしながら、液体の潤滑剤は被研磨面を変性することがあり、また研磨後に被研磨面から除去する工程が必要となって煩雑である。また、固体の潤滑剤は摩擦熱の抑制効果が不充分である。
本発明の一面は上記技術の問題を解決するものであり、発熱抑制効果が改良され、乾式研磨を行う場合にスメアが発生しない不織布研磨材を提供する。
本発明は概して反応性無機吸熱物質を含む研磨材を提供する。上記研磨材の一例としては、繊維から構成される不織布と;該不織布の繊維の表面に接着された接着剤と;該接着剤によって不織布に接着された反応性無機吸熱物質とを、有する不織布研磨材がある。
本発明の不織布研磨材は研磨作業時の発熱抑制効果に優れている。そのため、微細な表面仕上げ、又は鏡面仕上げを乾式で行う場合にもスメアが発生しない。また、被研磨物を熱劣化させないため、従来は困難であった樹脂、特に熱可塑性樹脂研磨に使用できる。
本発明で用いる不織布は、無作為に並べられた繊維から構成される嵩高のシート材料である。好適な不織布は不織布研磨材の基材として当業者によく知られている。代表的な不織布は、例えば、特公平3−55270号公報第10欄第10行から同第11欄第25行に記載されている。
好ましい不織布は、ポリアミド(例えば、ポリカプロラクタムやポリヘキサメチルアジパミドから構成されるナイロン6及びナイロン6,6)、ポリオレフィン(例えば、ポリプロピレン及びポリエチレン)、ポリエステル(例えば、ポリエチレンテレフタレート)、及びポリカーボネートのような熱可塑性有機繊維から構成されたものである。ナイロン及びポリエステル繊維から構成された不織布が一般に使用される。繊維の太さは、一般に直径19〜250μm程度である。また、不織布の厚さは一般に2〜50mm程度である。
接着剤とは、不織布と砥粒とを結合させる材料をいう。接着剤は研磨操作の間不織布と砥粒との結合を維持するのに十分な強度を有する材料であればよい。一般に、接着剤はバインダー樹脂と添加剤とを成分として含有する。バインダー樹脂とは、塗着可能な液体から剛性の固体に相変化するために、物質を接合する機能を奏する有機樹脂をいう。また、接着剤前駆体とは、特にバインダー樹脂が液体状態の接着剤を指していう。
バインダー樹脂としては、例えば、フェノール樹脂、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、セラック(shellac)、エポキシ樹脂、イソシアヌレート、ポリウレタン、獣皮にかわ等を使用できる。
本発明の不織布研磨材に用いるのに好ましいバインダー樹脂は、比較的剛性の有機樹脂である。例えば、硬化後に引張強度3000psi以上、好ましくは3000〜11000psiであり、伸び180%以上、好ましくは180〜800%であり;ショアーD硬度40以上、好ましくは40〜80;及び弾性率1MPa以上、好ましくは10〜50MPa、を示す樹脂が好ましい。
バインダー樹脂の引張強度が20MPa(3000psi)未満であると硬化後の接着剤の強度、剛性が小さすぎて不織布研磨材に適さない。伸びが180%未満であると硬化後の接着剤の柔軟性が小さすぎて不織布研磨材に適さない。ショアーD硬度が40未満であると研磨中に不織布研磨材から砥粒が脱落し易くなる。弾性率が1MPa未満であると硬化後の接着剤の強度、剛性が小さく不織布研磨剤に適さない。
このような樹脂の具体例には、ポリウレタン樹脂が挙げられる。例えば、特公昭61−37064号公報第10欄第4行から第32行記載を参照。市販品の例には、ユニロイヤル・ケミカル(Uniroyal Chemical)社製のアジプレンLタイプ樹脂(例えば、L−42、L−83、L−100、L−167、L−200、L−213、L−300、L−315等)、旭電化社製のアデカボンタイタータイプ樹脂(例えば、HUX−232、HUX−240、HUX−260、HUX−320、HUX−350、HUX−380、HUX−381、HUX−380A、HUX−386、HUX−401、HUX−670、HUX−290H、HUX−260N、HUX−394、HUX−680等)等が挙げられる。
このようなポリウレタン樹脂の調製には、一般に、ポリオール成分、これを硬化させる硬化剤成分等が用いられる。硬化剤には、例えば、4,4’−メチレンジス−2−クロロアニリン(MOCA)のようなイソシアネート、その末端をケトオキシムでブロックしたもの、末端を4,4’−メチレンビスアニリンで処理したフェノールであるp,p’−メチレンジアニリン、メラミンタイプ樹脂(例えば、日立化成工業社製の「メラン5100」)等が挙げられる。硬化剤の含有量が、NCO量又はメラミン量として3〜10重量%であるウレタン樹脂が好ましい。
接着剤前駆体は水系のものを用いてもよい。水系接着剤前駆体は溶媒として主として水を含有する接着剤前駆体をいう。一般に、水系接着剤前駆体はバインダー樹脂が水中に均一に分散した形態をとっており、エマルジョンやサスペンションと呼ばれる。水中に均一に分散させることができる樹脂をここでは水分散性樹脂という。
未硬化のバインダー樹脂は水分散性であることを要し、熱硬化性であることが好ましい。成形して不織布研磨材を形成することが容易になるからである。バインダー樹脂は硬化温度100〜300℃、特に100〜200℃を示すことが好ましい。バインダー樹脂の硬化温度が100℃未満であると硬化が不十分となり砥粒が脱落しやすく研削比が低くなる。また、バインダー樹脂の硬化温度が300℃を越えるとバインダー樹脂が分解し、砥粒が脱落しやすく研削比が低くなる。
また、未硬化のバインダー樹脂は室温環境下で触っても粘着性を示さないものであることが好ましい。不織布に接着剤前駆体を塗布して乾燥した研磨中間材の取扱いが容易になるからである。
好ましいバインダー樹脂はアニオン基を有する末端イソシアネートポリマー、ヒドロキシル基を有する熱硬化性アクリルポリマー及びメラミン系架橋剤を含有し、水分散性を示す熱硬化性樹脂である。ソフトセグメントであるイソシアネートポリマーとハードセグメントであるアクリルポリマーとを組み合わせることで、バインダー樹脂の特性を、不織布に砥粒を接着するために最適に調節することができる。
その結果、本発明で用いる水系接着剤前駆体は、溶剤系接着剤前駆体と同等又はそれ以上にまで砥粒を保持する強度を有し、砥粒が不織布から脱落するのを防ぎ、常に新しい研磨面での研磨が可能となるように、不織布に適度な自生作用を付与することができる。
アニオン基を有する末端イソシアネートポリマー、ヒドロキシル基を有する熱硬化性アクリルポリマー及びメラミン系架橋剤はそれぞれエマルジョンや水分散体の形態で配合されてよい。
分子中にアニオン基を有する末端イソシアネートポリマー単独若しくはこれと分子中にアニオン基を有しない末端イソシアネートポリマーとの混合物が用いられ、樹脂総量100グラム当たり0.001〜0.5当量のアニオン基を有する樹脂分(分子中にアニオン基を有する末端イソシアネートポリマーと分子中にアニオン基を有しない末端イソシアネートポリマーとの混合物)を使用することが好ましく、このような樹脂分は水分散性がよく、乳化剤乃至分散剤を使用しなくとも水分散液を得ることができる。上記のアニオン基としてはカルボキシル基、スルホン基及びこれらの併用が挙げられるが、好ましくはカルボキシル基である。
上記分子中にアニオン基を有する末端イソシアネートポリマーは、従来公知の方法で得ることができ、例えばカルボキシル基の導入を例にとると、2,2−ジメチロールプロピオン酸、2,2−ジメチロール酪酸、2,2−ジメチロール吉草酸等のカルボキシル基含有ジオール単位を有するポリエーテルポリオール及び/又はポリエステルポリオールをポリオール成分としてポリイソシアネートと反応させて得ることができる。
上記分子中にアニオン基を有する末端イソシアネートポリマー及び分子中にアニオン基を有しない末端イソシアネートポリマーに使用されるポリエーテルポリオール及び/又はポリエステルポリオールのポリオール成分は平均分子量が500〜4000のものが望ましく、又、ポリイソシアネート成分としては特に限定されず、例えば、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート、1,4−シクロヘキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、4,4’−ジシクロヘキシルジイソシアネート等の脂環族ポリイソシアネート、トリレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート等の芳香族ポリイソシアネート等が挙げられ、中でも脂肪族又は脂環族ポリイソシアネートが好ましい。
また、この末端イソシアネートポリマーはジアルキルアミン、ジアルキルヒドラジド等で鎖伸長させた末端イソシアネートポリマーであってもよく、水分散が可能な範囲内で用途により任意に選択できる。分子中にアニオン基を有するポリマーの水分散体は市販されており、例えば、上述の旭電化社製の「ボンタイター」タイプ等が挙げられる。
ヒドロキシル基を有する熱硬化性アクリルポリマーは、水中に均一に分散されたアクリルポリマーエマルジョンであることが好ましい。このアクリルポリマーは、水酸基価が40〜100である。水酸基価が40未満では反応点が少なく、反応が不充分になり本発明の目的を達成することができない。一方、水酸基価が100を超えると硬化後の接着剤の耐水性等が低下する。また、このアクリルポリマーは、酸価が1〜30である。酸価が1未満では安定なエマルジョンが得にくく、30を超えるとポリマーの親水性が高くなるため、エマルジョンが高粘度となり、また接着剤の耐水性が低下する。さらに、このアクリルポリマーは、ガラス転移点が−40〜10℃である。ガラス転移点が−40℃より低い場合には、接着剤の物理的強度、耐久性に難点があり、10℃より高い場合には、接着剤の硬度が増し、低温における可とう性が低下する。
アクリルポリマーエマルジョンは、次のような不飽和単量体から製造される。
1.水酸基含有アクリル系単量体として、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、ラクトン変性2−ヒドロキシエチルアクリレート、ラクトン変性2−ヒドロキシエチルメタクリレートなどのヒドロキシル基含有エチレン性不飽和単量体。
2.アクリル酸又はメタクリル酸のアルキルエステルとして、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸イソプロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ラウリル、アクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸オクチル、メタクリル酸ラウリルなど。
3.α,β−エチレン性不飽和カルボン酸として、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸など。
4.ビニル芳香族化合物として、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−クロロスチレン、ビニルピリジンなど。
5.その他のビニル化合物として、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ジビニルベンゼン、トリメチロールプロパントリアクリレートなど。
これらの不飽和単量体は、水酸基含有アクリル単量体及びα,β−エチレン性不飽和カルボン酸単量体を必須成分とし、必要に応じアクリル酸又はメタクリル酸のアルキルエステル、その他のビニル化合物などを併用し、所望の樹脂物性に応じて、その種類、配合比を適宜選択して使用することができる。
また、分子量調整のための連鎖移動剤として、メチルメルカプタン、エチルメルカプタン、イソプロピルメルカプタン、ブチルメルカプタン、ペンチルメルカプタン、ヘキシルメルカプタン、オクチルメルカプタン、デシルメルカプタン、ウンデシルメルカプタン、ドデシルメルカプタン、t−ドデシルメルカプタンなどを用いることが好ましい。
本発明のアクリルポリマーエマルジョンに含まれる共重合体の製造は、公知の方法に従い、例えば溶液重合法、乳化重合法、懸濁重合法を用いて行うことができるが、乳化重合に従って行うことが好ましい。一般的には単量体を界面活性剤のような分散安定剤の存在下で、重合開始剤、例えば過硫酸アンモニウム等のラジカル重合用のラジカル開始剤の存在下に、好ましくは60〜95℃の反応温度において、好ましくは4〜8時間反応させ、三次元架橋し、アミンで中和して目的のアクリルポリマーエマルジョンを得ることができる。得られるアクリルポリマーエマルジョン中の微粒子の粒子径は、好ましくは50〜200nmとなる。
このようなミクロエマルジョンは市販されており、例えば、日立化成工業社製の「ヒタロイド」タイプ、品番AE8200等が挙げられる。
メラミン系架橋剤は、合成樹脂用架橋剤として公知のメラミン系架橋剤を用いればよい。これらは、必要に応じて乳化剤乃至分散剤を用いて、若しくは用いることなく水に分散させることができる。メラミン系架橋剤としては特に限定されないが、例えば、日立化成工業社製の「メラン5100」等が挙げられる。
熱硬化性水性接着剤前駆体の成分の配合割合は、一般に、アニオン基を有する末端イソシアネートポリマー100重量部、ヒドロキシル基を有する熱硬化性アクリルポリマー1〜50重量部、及びメラミン系架橋剤0.01〜20重量部である。ヒドロキシル基を有する熱硬化性アクリルポリマーの量が1重量部未満であるとアニオン基を有する末端イソシアネートポリマーの特性により、硬化後の接着剤の軟性が大きくなりすぎて不織布研磨材に適さず、50重量部を越えると硬化後の接着剤の柔軟性が小さくなりすぎて不織布研磨材に適さない。メラミン系架橋剤の量が0.01重量部未満であると硬化後の接着剤の軟性が大きくなりすぎて不織布研磨材に適さず、20重量部を越えると硬化後の接着剤の柔軟性が小さくなりすぎて不織布研磨材に適さない。
本発明の不織布研磨材で用いる反応性無機吸熱物質は、研磨作業時に発生する熱によって反応して金属酸化物に変化し、反応時に熱を吸収するような固体無機物質である。反応性無機吸熱物質は300℃以下の反応温度を有するものが好ましい。不織布の繊維にはナイロン6,6のようなポリエステルが有用であり、ポリエステル繊維の耐熱温度が約300℃だからである。好ましくは、反応性無機吸熱物質の反応温度は100〜250℃、より好ましくは150〜230℃である。
反応性無機吸熱物質の具体例としては、水酸化アルミニウム、水酸化カルシウム、カルシウムアルミネート、水酸化マグネシウム、繊維状水酸化マグネシウム、塩基性炭酸マグネシウム、ホウ酸亜鉛、ポリリン酸アンモニウム、ドーソナイト、ハイドロタルサイト類等が挙げられる。好ましい反応性無機吸熱物質は水酸化アルミニウム、ハイドロタルサイド、カルシウムアルミネート及び塩基性炭酸マグネシウムであり、特に好ましいものは水酸化アルミニウム及びハイドロタルサイトである。
反応性無機吸熱物質は接着剤100重量部に対して10〜300重量部、好ましくは10〜200重量部、より好ましくは30〜100重量部の量使用する。反応性無機吸熱物質の使用量が少量(例えば10重量部以下)すぎると吸熱効果が低下し、300重量部を越えると接着剤の強度が不足して不織布研磨材に適しなくなる。
本発明の不織布研磨材には、用途に応じて砥粒を用いてもよい。砥粒は当業界で通常用いられるものである。典型的には、平均直径が4〜2000μm、好ましくは20〜1000μm、及びモース硬度が4〜10Mohs、好ましくは6〜9Mohsの粒子であればよい。具体的には、パーミス、トパーズ、ガーネット、アルミナ、コランダム、炭化ケイ素、ジルコニア、及びダイヤモンド等でなる粒子を使用できる。これらの粒子は単一サイズの混合物であってもよく、異なるサイズの混合物であってもよい。
本発明の不織布研磨材は、当業者に知られている方法に準じて作製することができる。例えば、まず、液状のバインダー樹脂に針状充填材を加えて十分均一に分散させて接着剤前駆体を作製する。液状のバインダー樹脂は溶液であっても水分散体であってもよい。不織布の繊維の表面に、接着剤前駆体を塗布する。塗布された接着剤前駆体の上に砥粒を散布して付着させる。そして、接着剤前駆体から有機溶媒や水を蒸発させて乾燥させる。次に接着剤前駆体を硬化する。バインダー樹脂として熱硬化性樹脂を使用する場合は、接着剤前駆体を一定時間加熱して硬化させる。一般に、接着剤前駆体は、100〜300℃に10〜30分間に維持して硬化させる。
接着剤前駆体を調製する際に予め砥粒も加えておき、接着剤前駆体と砥粒とを同時に不織布に塗布してもよい。また、接着剤前駆体の乾燥と熱硬化性樹脂の硬化とは同一の加熱工程で行なってもよく、別々の加熱工程で行なってもよい。接着剤前駆体の乾燥と熱硬化性樹脂の硬化とを別々の加熱工程で行なう場合であっても、乾燥工程で熱硬化性樹脂を一部硬化させることは差し支えない。
上述のとおり、基材として使用する不織布は嵩高の繊維材料であり、弾性に富むため、容易に変形及び復元することができる。それゆえ、不織布層を複数重ねた積層体は変形性に富み、圧力を加えて比較的自由に成形することができる。本発明の好ましい一実施態様では、不織布の容易な成形性を利用して、立体形状の不織布研磨材を製造する。立体形状の不織布研磨材の典型例は、中心孔を有する円筒状の研磨ブラシである。図1は中心孔を有する円筒状の研磨ブラシの典型的な構成形式を示す斜視図である。(a)はラミネート形式、(b)はフラップ形式、(c)は渦巻形式を示している。
図2は立体形状の不織布研磨材を製造するのに用いる研磨中間材を製造する工程を示した模式図である。まず、不織布のロール100から不織布10を送り出す。ついで、不織布10を接着剤前駆体と砥粒との混合物に含浸させる。含浸不織布を加熱して不織布の繊維の表面に熱硬化性樹脂及び砥粒を固定させる。その上から接着剤前駆体をスプレー塗布する。
ついで、乾燥炉で接着剤前駆体から有機溶媒や水を蒸発させて乾燥させる。乾燥は、接着剤前駆体が、室温において非粘着性であるが、熱硬化性樹脂が完全に硬化しない温度及び時間行う。乾燥工程後に接着剤前駆体が室温で未だ粘着性を保っていると、得られる研磨中間材の取扱い及び加工が困難となり、乾燥工程後に熱硬化性樹脂が完全に硬化していると、研磨中間材をその後成形することが困難となるからである。好ましい態様では、乾燥工程は100〜120℃で1〜10分間行われる。乾燥工程の後、得られた研磨中間材20は粘着性が無くなって取扱うことが可能になっている。従ってこれは巻き上げてロール200として保存することができる。
図3は研磨中間材を用いて立体形状の不織布研磨材を製造する工程を示した模式図である。まず、研磨中間材のロール200から研磨中間材20を送り出す。そして研磨中間材20を適当な形状に打ち抜いて中間部材25を得る。治具6、7及び8を用いて中間部材25を複数枚重ね、圧縮して高密度化する。そして、圧縮したまま加熱して接着剤前駆体を完全に硬化させ、形状を固定する。好ましい態様では、加熱硬化工程は100〜200℃で10〜60分間行われる。そのことにより中心孔を有する円筒状の研磨ブラシが得られる(図1(a)参照)。
本発明の不織布研磨材は研磨力よりも微細な仕上げが要求される用途に適している。かかる用途としては、例えば、鏡面仕上げのような微細な表面処理が挙げられる。また、本発明の不織布研磨材は耐熱性に劣っている材料を研磨する用途にも適している。かかる材料としては、例えば、樹脂、特に熱可塑性樹脂およびプラスチック材料が挙げられる。
本発明の不織布研磨材の使用方法は従来の不織布研磨材と同様である。つまり、被研磨物の表面に不織布研磨材を接触させ、圧力をかけながら、両者を相対的に動かせばよい。通常は、不織布研磨材の主要面を被研磨物の表面に押し当てて回転させることにより、研磨が行われる。研磨荷重、研磨速度および研磨時間などの研磨条件は適宜決定される。
以下の実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。実施例中特に明示しない限り「部」は重量基準である。
反応性無機吸熱物質として水酸化アルミニウム(日本軽金属社製「B103」)を準備した。バインダー樹脂としては、旭電化社製ウレタン樹脂エマルジョン「ボンタイターHUX−380」を準備した。このウレタン樹脂の性状(硬化後)は、引張強度38MPa(5500psi)、伸び500%、ショアーD硬度45、及び弾性率8.4MPaである。砥粒としては、平均粒径1μmの酸化アルミニウム(フジミインコーポレーテッド製「WA8000」)を準備した。また、不織布としては、6デニール×38mmのナイロン6,6繊維でなる目付440g/m2、厚さ10mm、直径10cmの円盤形の不織布を準備した。
上記ウレタン樹脂100部に反応性無機吸熱物質として水酸化アルミニウム50部および砥粒300部を加え、混練して塗布液を得た。この塗布液を、不織布の両面にスプレー方式を用いて塗布した。塗布液の乾燥塗布量は880g/m2とした。その後、この材料をオーブンに入れ、110℃で20分間加熱して接着剤前駆体を少なくとも部分的に硬化させて、不織布研磨ディスクを得た。
不織布研磨ディスクをステンレス鋼板の主要面に押し当てて回転させることにより、研磨試験を行った。被研磨物としてステンレス鋼板(SS#304)を用いた。研磨条件は荷重2000g/cm2、研磨速度10000rpm、研磨時間5秒とした。
研磨終了後、放射温度計(ミノルタ社製「THERMOMETER TR−0510b」)を用いて、研磨ディスクから10mm離れた箇所において、被研磨物の表面温度を測定したところ150℃であった。また、被研磨面を観察したところ、鏡面に仕上がっており、スメアは発生していなかった。
砥粒を使用しないこと以外は実施例1と同様にして不織布研磨ディスクを調製し、研磨試験を行った。被研磨面を観察したところ、スメアは発生していなかった。その他の結果を表1に示す。
水酸化アルミニウムをハイドロタルサイト(協和化学工業社製「DHT−6」)100部にしたこと以外は実施例1と同様にして実施例3を調製した。研磨後の被研磨物の温度は130℃であった。この被研磨物は鏡面に仕上がっており、スメアは発生していなかった。
砥粒を使用しないこと以外は実施例3と同様にして実施例4を調製した。比較試験結果を表1に示す。
反応性無機吸熱物質を使用しないこと以外は実施例1と同様にして不織布研磨ディスクを調製し、研磨試験を行った。被研磨面を観察したところ、部分的に鏡面に仕上がっており、スメアが発生していた。その他の結果を表1に示す。
a)反応性無機吸熱物質を使用せず、b)砥粒を使用しないこと以外は実施例1と同様にして不織布研磨ディスクを調製した。研磨試験を行い、被研磨面を観察したところ、スメアが発生していた。その他の結果を表1(下)に示す。
表1の結果により、微細な表面仕上げ又は鏡面仕上げを乾式で行った場合でも発熱量が抑制され、スメアが発生しないことが示されている。
厚さ約25mmのABS樹脂板(新神戸電機社製「ABS−NWN(商品名)」)及びPP樹脂板(新神戸電機社製「PP−NBN」)を準備した。ABS樹脂及びPP樹脂は共に熱可塑性樹脂であり、軟化温度は約100℃である。被研磨物としてこれらの樹脂板を用いること以外は実施例1と同様にして研磨を行った。
被研磨面を観察したところ、摩擦熱によって溶融した形跡は認められなかった。図4はABS樹脂板の被研磨面を示す写真である。図5はPP樹脂板の被研磨面を示す写真である。
被研磨物として厚さ約25mmのABS樹脂板(新神戸電機社製「ABS−NWN」)及びPP樹脂板(新神戸電機社製「PP−NBN」)を用いること以外は比較例1と同様にして研磨を行った。
被研磨面を観察したところ、摩擦熱によって溶融した樹脂が研磨かすと共に黒い汚れとなって残されていた。図6はABS樹脂板の被研磨面を示す写真である。図7はPP樹脂板の被研磨面を示す写真である。
かかる特性の向上は、上記ラミネート形式の研磨ディスクばかりでなく、渦巻形式及びフラップ形式のような研磨ブラシ等においても確認されている。
10…不織布、
100…不織布のロール、
20…研磨中間材、
200…研磨中間材のロール、
25…中間部材、
6、7、8…治具。
100…不織布のロール、
20…研磨中間材、
200…研磨中間材のロール、
25…中間部材、
6、7、8…治具。
Claims (7)
- 反応性無機物質を含む研磨材。
- 前記研磨材が不織布研磨材であって、
不織布と;該不織布の繊維の表面に接着された接着剤と;該接着剤によって不織布の繊維に接着された反応性無機吸熱物質とを、有する請求項1記載の研磨材。 - 前記接着剤によって不織布の繊維に接着された砥粒を更に有する請求項2記載の研磨材。
- 前記反応性無機吸熱物質の反応温度が300℃以下である請求項2又は3記載の研磨材。
- 前記反応性無機吸熱物質が水酸化アルミニウム、カルシウムアルミネート及び塩基性炭酸マグネシウムからなる群から選択される少なくとも一種である請求項1〜4のいずれか記載の研磨材。
- 前記反応性無機吸熱物質が、接着剤100重量部に対して10〜300重量部の量で含有される請求項1〜5のいずれか記載の不織布研磨材。
- プラスチック材料の表面に請求項1〜6のいずれか記載の不織布研磨材を擦るように接触させ、該不織布研磨材又は該プラスチック材料の少なくとも一方を他方に相対的に動かして該プラスチック材料を研磨する工程を包含する、プラスチック材料の研磨方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004322358A JP2006130607A (ja) | 2004-11-05 | 2004-11-05 | 反応性無機吸熱物質を含む研磨材 |
| PCT/US2005/039954 WO2006052721A1 (en) | 2004-11-05 | 2005-11-04 | Abrasive material comprising reactive inorganic endothermic compound |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008518795A true JP2008518795A (ja) | 2008-06-05 |
| JP2008518795A5 JP2008518795A5 (ja) | 2008-12-18 |
Family
ID=35757720
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004322358A Pending JP2006130607A (ja) | 2004-11-05 | 2004-11-05 | 反応性無機吸熱物質を含む研磨材 |
| JP2007539356A Withdrawn JP2008518795A (ja) | 2004-11-05 | 2005-11-04 | 反応性無機吸熱物質を含む研磨材 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004322358A Pending JP2006130607A (ja) | 2004-11-05 | 2004-11-05 | 反応性無機吸熱物質を含む研磨材 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20120036790A1 (ja) |
| EP (1) | EP1817138A1 (ja) |
| JP (2) | JP2006130607A (ja) |
| KR (1) | KR20070085714A (ja) |
| CN (1) | CN101094749A (ja) |
| WO (1) | WO2006052721A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4229193B2 (ja) | 2007-04-06 | 2009-02-25 | 三菱自動車工業株式会社 | 車両用差動制限装置 |
| JP5248954B2 (ja) | 2008-09-02 | 2013-07-31 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 抱接化合物を含む研磨材製品 |
| CN103740281B (zh) * | 2013-12-31 | 2015-11-25 | 深圳市力合材料有限公司 | 一种适用于大尺寸硅晶片抛光的抛光组合物及其制备方法 |
| JP6194874B2 (ja) * | 2014-12-08 | 2017-09-13 | スターライト工業株式会社 | 製鋼用メンテナンスワイパー |
| TWI601598B (zh) * | 2016-12-09 | 2017-10-11 | 智勝科技股份有限公司 | 研磨墊及研磨方法 |
| US20210379731A1 (en) * | 2018-10-15 | 2021-12-09 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles having improved performance |
| TR201903909A2 (tr) * | 2019-03-15 | 2020-10-21 | Cukurova Kimya Enduestrisi A S | Aşındırıcı elemanlar için bir reçine ve bunun için bir üretim yöntemi. |
| JP7614745B2 (ja) * | 2020-06-10 | 2025-01-16 | 株式会社東京精密 | 切断用ブレード |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5078753A (en) * | 1990-10-09 | 1992-01-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Coated abrasive containing erodable agglomerates |
| US5551961A (en) * | 1992-09-15 | 1996-09-03 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive articles and methods of making same |
| CN1185816A (zh) * | 1995-05-25 | 1998-06-24 | 美国3M公司 | 未拉伸、韧性、耐久熔融粘合、粗纤度热塑性多组份长丝纤维 |
| JPH10245720A (ja) * | 1997-03-03 | 1998-09-14 | Chisso Corp | 分割型複合繊維及びそれを用いた布帛 |
-
2004
- 2004-11-05 JP JP2004322358A patent/JP2006130607A/ja active Pending
-
2005
- 2005-11-04 CN CNA2005800456367A patent/CN101094749A/zh active Pending
- 2005-11-04 WO PCT/US2005/039954 patent/WO2006052721A1/en not_active Ceased
- 2005-11-04 KR KR1020077012567A patent/KR20070085714A/ko not_active Withdrawn
- 2005-11-04 EP EP05815937A patent/EP1817138A1/en not_active Withdrawn
- 2005-11-04 JP JP2007539356A patent/JP2008518795A/ja not_active Withdrawn
- 2005-11-04 US US11/718,360 patent/US20120036790A1/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1817138A1 (en) | 2007-08-15 |
| WO2006052721A1 (en) | 2006-05-18 |
| KR20070085714A (ko) | 2007-08-27 |
| CN101094749A (zh) | 2007-12-26 |
| JP2006130607A (ja) | 2006-05-25 |
| US20120036790A1 (en) | 2012-02-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2340151B1 (en) | Abrasive material product containing inclusion compound | |
| CN101208385B (zh) | 组合物、经处理的背衬和包含这样的组合物和背衬的磨料制品 | |
| CN109789534B (zh) | 疏涂层磨料制品和研磨方法 | |
| JP3956364B2 (ja) | ポリウレタン組成物および研磨パッド | |
| CN1320058C (zh) | 可固化的乳液及其制得的磨具 | |
| CN100418996C (zh) | 组合物、经处理的背衬和包含这样的组合物和背衬的经涂敷的磨料制品 | |
| US6979713B2 (en) | Curable compositions and abrasive articles therefrom | |
| JP2008168433A (ja) | 研磨パッド及びその製造方法並びに研磨パッド用クッション層 | |
| WO2014176108A1 (en) | Coated abrasive belt | |
| WO2007002338A2 (en) | Coated abrasive article, and method of making and using the same | |
| JP5072257B2 (ja) | 耐熱性不織布研磨材 | |
| JP2008518795A (ja) | 反応性無機吸熱物質を含む研磨材 | |
| US20130189911A1 (en) | Abrasive products and methods for finishing coated surfaces | |
| JP4592300B2 (ja) | 不織布研磨材及びその製造方法 | |
| JP2005230929A (ja) | 不織布研磨材及びその製造方法 | |
| TW567114B (en) | Polishing pad and manufacture method thereof and buffer layer for polishing pad | |
| JP5810382B2 (ja) | 研磨保持用パッド | |
| JP3967810B2 (ja) | 不織布研磨材製品 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081030 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081030 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090123 |