JP2008238090A - マイクロ流路体 - Google Patents

Abstract

【課題】 流路内を流れる流体を所定の温度に加熱できるマイクロ流路体を提供すること。
【解決手段】 マイクロ流路体１は、基体２内部に設けられた流体が流通される流路２ａと、流路２ａに隣接する第１領域に設けられた第１のヒーター３ａと、第１領域を介して流路２ａに隣接し、第１領域よりも広い第２領域に設けられた第２のヒーター３ｂとを具備している。流路２ａ内に流通される流体を所定の温度に加熱できるとともに、ヒーター形成領域とヒーター非形成領域との間において熱膨張差による大きな熱応力が発生し難く、基体２にクラック等の破損が生じ難い。
【選択図】 図１

Description

本発明は、内部に微小な流路を持つマイクロ流路体に関し、特に微小な流路内で複数流体の混合を行なう微小混合デバイス（マイクロミキサ）や、流体の加熱、冷却を行なう微小熱交換デバイス、および化学、生化学、物理化学反応を行なう微小反応デバイス（マイクロリアクタ）等のマイクロケミカルデバイスに用いられるマイクロ流路体に関する。

従来、セラミックスから成る基体の内部に、流体を流すための流路を設けたマイクロ流路体において、流路を加熱する導電性材料を蛇行した形状等に配置したヒーターを基体の内部に形成し、流路に熱を供給するものがあった（例えば、下記の特許文献１参照）。
特表2002−527254号公報

しかしながら、流路を加熱するヒーターはマイクロ流路体の一部の領域のみを加熱するものであるため、マイクロ流路体周囲の温度変化によっては、ヒーターより供給された熱がマイクロ流路体の加熱部以外の領域に逃げてしまいやすく、流路内を流れる流体が所定の温度に加熱されない場合があり、期待される反応結果が安定して得られないという問題点が発生していた。

また、上記従来のマイクロ流路体においては、ヒーターによる加熱温度を高くすると、ヒーター形成領域とヒーター非形成領域との間で大きな温度差が生じて、ヒーター形成領域とヒーター非形成領域との間において熱膨張差による熱応力が発生し、極端な場合、この熱応力によってセラミックスから成る基体にクラック等の破損が生じてしまう場合があった。この場合、流路から流体が漏れてしまうという問題点が発生してしまう。

本発明は上記問題点に鑑み案出されたもので、その目的は、流路内を流れる流体を所定の温度に加熱できるマイクロ流路体を提供することにある。

本発明のマイクロ流路体は、基体内部に設けられた流体が流通される流路と、前記流路に隣接する第１領域に設けられた第１のヒーターと、前記第１領域を介して前記流路に隣接し、前記第１領域よりも広い第２領域に設けられた第２のヒーターとを具備していることを特徴とする。

好ましくは、本発明のマイクロ流路体において、前記第１のヒーターは、前記第２のヒーターよりも高温に発熱することを特徴とする。

好ましくは、本発明のマイクロ流路体において、前記第１のヒーターおよび前記第２のヒーターは、前記流路に沿って折り返すように、導電性部材が蛇行した形状に配置されて成ることを特徴とする。

好ましくは、本発明のマイクロ流路体において、前記第１のヒーターおよび前記第２のヒーターは、前記流路の延設方向に交差するように、導電性部材が蛇行した形状に配置されて成ることを特徴とする。

好ましくは、本発明のマイクロ流路体において、前記基体は、セラミックスから成ることを特徴とする。

好ましくは、本発明のマイクロ流路体において、前記基体は、９０質量％以上のアルミナを含んでいることを特徴とする。

好ましくは、本発明のマイクロ流路体において、前記基体は、セラミックグリーンシート積層法によって形成されて成ることを特徴とする。

本発明のマイクロ流路体は、基体内部に設けられた流体が流通される流路と、流路に隣接する第１領域に設けられた第１のヒーターと、第１領域を介して前記流路に隣接し、第１領域よりも広い第２領域に設けられた第２のヒーターとを具備していることから、第２のヒーターによって第２領域も加熱され第１領域から第２領域に熱が逃げ難くなって、流路周辺の第１領域の温度制御がし易くなる。その結果、流路内に流通される流体を所定の温度に加熱でき、期待される反応結果が安定して得られるようになる。

好ましくは、本発明のマイクロ流路体において、第１のヒーターは第２のヒーターよりも高温に発熱する場合、流路からマイクロ流路体の外周にかけて温度分布を高温から低温に保持させることができ、ヒーター形成領域とヒーター非形成領域との間に生じる熱応力を低減することができる。

好ましくは、本発明のマイクロ流路体において、第１のヒーターおよび第２のヒーターは、流路に沿って折り返すように、導電性部材が蛇行した形状に配置されて成る場合、第１のヒーターおよび第２のヒーターの長さを調節し易くなるので、ヒーター設計が容易になる。

好ましくは、本発明のマイクロ流路体において、第１のヒーターおよび第２のヒーターは流路の延設方向に交差するように、導電性部材が蛇行した形状に配置されて成る場合、蛇行数を多くすることができ、流路内に流通される流体を加熱し易くすることができる。

好ましくは、本発明のマイクロ流路体において、基体は、セラミックスから成る場合、耐薬品性に優れたマイクロ流路体とすることができる。

好ましくは、本発明のマイクロ流路体において、基体は、９０質量％以上のアルミナを含んでいることから、機械的強度が高く、酸，アルカリ等の薬品の侵食に耐える耐薬品性に非常に優れたセラミック製マイクロ流路体を提供することができる。

好ましくは、本発明のマイクロ流路体において、基体は、セラミックグリーンシート積層法によって形成される場合、セラミックグリーンシートに、流路，第１のヒーター，第２のヒーターをそれぞれ形成し、これらを積層することによって、容易に所定形状のマイクロ流路体を形成することができ、製造効率の良いマイクロ流路体を提供することができる。

本発明のマイクロ流路体について以下に詳細に説明する。図１（ａ）は本発明のマイクロ流路体の実施の形態の一例を示す斜視図、図１（ｂ）は本発明のマイクロ流路体の実施の形態の他の例を示す斜視図である。図２（ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明のマイクロ流路体の実施の形態のさらに他の例を示す平面図である。図３は本発明のマイクロ流路体の実施の形態のさらに他の例を示す分解斜視図である。これらの図において、１はマイクロ流路体、２は基体、２ａは流路、２ｂは流入口、２ｃは流出口、３ａは第１のヒーター、３ｂは第２のヒーターを示す。

本発明のマイクロ流路体１は、図１（ａ），（ｂ）に示すように、基体２内部に、流体が流通される流路２ａが設けられ、流路２ａの周囲の第１領域に流路２ａと並行するように第１のヒーター３ａが設けられるとともに、第１領域に隣接し第１領域を介して流路２ａに隣接する第１領域よりも広い面積の第２領域に、第２のヒーター３ｂが設けられる。例えば、マイクロ流路体１の平面視において、流路２ａを透して第２領域は第１領域に重なるように第１領域の奥に位置し、第１の領域に設けられた第１のヒーター３ａの奥に、第１のヒーター３ａよりも広い面積で第２のヒーター３ｂが設けられる。

ここで基体２は、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）質焼結体，窒化アルミニウム（ＡｌＮ）質焼結体，ムライト（３Ａｌ_２Ｏ_３・２ＳｉＯ_２）質焼結体，ガラスセラミックス等のセラミックスや、ガラス、石英、Ｓｉ、あるいは金属、樹脂等から成り、基体２の内部にエッチング法や切削法および金型を用いた成形法などにより被処理流体が流通される幅が微小な流路２ａが形成されている。そして、この流路２ａに被処理流体を流入させるための流入口２ｂと流出口２ｃとが形成されている。

流入口２ｂと流出口２ｃとは流路２ａを外部に接続可能なように外部と流路２ａとの間に貫通孔状に設けられたもので、例えば、図１（ａ）に示すように基体２の表面に貫通孔が設けられていたり、図１（ｂ）に示すように基体２と一体で基体２の表面から突出する筒状部２ｄの内側に設けられたりしている。図１（ｂ）において、筒状部２ｄの表面には、外部から流体が流入または流出可能なように流入口２ｂまたは流出口２ｃの開口が形成され、流入口２ｂまたは流出口２ｃの他端は流路２ａに接続されている。また、筒状部２ｄは、外周面に外部接続用チューブを差し込めるように円柱状や外部接続用チューブの回転防止等の目的で全体または一部が多角形筒状とされている。基体２および筒状部２ｄは被処理流体によって侵されない材質を適宜選択すればよい。

図１（ｂ）に示すように、流路２ａに流体を流入させる流入口２ｂまたは流出させる流出口２ｃが基体２と一体の基体２の表面から突出する筒状部２ｄとされている場合、流入口２ｂおよび流出口２ｃを流路２ａに対して所定位置に接続することができる。また、筒状部２ｄの外周部に外部接続用チューブの内周面を必要長さ嵌め込むことが可能となり、外部接続用チューブをマイクロ流路体１の所定の位置に確実に固定することができる。これによって、流体を流す際に流入口２ｂおよび流出口２ｃで生ずる圧力損失を小さなものにすることができる。また、マイクロ流路体１の厚みが薄いものであっても、外部接続用チューブをしっかりと固定することができる。その結果、流路２ａ内で化学反応等を行なった場合においても、流入口２ｂおよび流出口２ｃが圧力損失の特異点となってしまうことがなく、期待される反応結果を安定して得ることができる。

また基体２には、流路２ａの周囲の第１領域に第１のヒーター３ａが設けられるとともに、流路２ａおよび第１領域を結ぶ方向に直交する面内に、マイクロ流路体１の平面視において第１領域に重なるとともに第１領域よりも広い第２領域の面を有し、この第２領域の面内に第２のヒーター３ｂが設けられている。

この構成により、第２のヒーター３ｂによって第２領域も加熱され、流路２ａと第２領域との間の温度差勾配を小さくすることができるので、第１領域から第２領域に熱が逃げ難くなって、流路２ａ周辺の第１領域の温度制御がし易くなる。その結果、流路２ａ内に流通される流体を所定の温度に加熱でき、期待される反応結果が安定して得られるようになる。

また上記構成により、第１領域は第１のヒーター３ａと第２のヒーター３ｂが設けられて高い温度で保持されるとともに、第２領域は第２のヒーター３ｂが設けられて第１領域よりも低い温度で保持されるようにする。即ち、流路２ａの周辺部の第１領域では流路２ａ内に流通される流体を所定の温度に加熱可能な温度とし、その外側の第２領域では第１領域からの熱が逃げ難くなるように第１領域が保温される温度として、第１領域よりも低い温度とし、さらに第２領域の外側では第２領域よりも低い温度とすることによって、第１領域，第２領域，第２領域の外側の順に順次温度が低くなる温度分布とされている。従って、流路２ａ形成領域のマイクロ流路体１の中心側が高温で外側に向かうにつれ順次温度が低くなっており、ヒーター形成領域とヒーター非形成領域との間で大きな温度差が生じることがなく、ヒーター形成領域とヒーター非形成領域との間において熱膨張差によって大きな熱応力が生じ難く、そのために基体２にクラック等の破損が生じ難くなる。その結果、流路２ａから流体が漏れるのを防止できる。

また、第２のヒーター３ｂの温度は、第１のヒーター３ａのみ点灯とした場合に第１のヒーター３ａによって加熱されて達する第２領域の温度より高い温度に設定されるのがよい。これによって、第１領域と第２領域との間の温度勾配が第２のヒーター３ｂが設けられていない場合よりも緩いものとなり、第１領域の保温が容易なものとなる。また、第２領域の面積が第１領域の面積よりも大きく、第２領域の熱容量が第１領域の熱容量よりも大きいものとなるので、第１領域の温度変化を小さなものとできる。

この第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂは導電性部材によって形成され、第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂのそれぞれの両端が基体２の表面に引き出されるとともに、この両端をそれぞれ外部電気回路に接続して電流を流すことによって、第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂが発熱し、ヒーターとして機能するものである。第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂとなる導電性部材としては、ニクロム（Ｎｉ−Ｃｒ合金）等から成る金属線や金属箔により形成されたものであったり、タングステン（Ｗ），モリブデン（Ｍｏ），マンガン（Ｍｎ）等の高融点金属から成るメタライズ層によって形成されたものであったりする。

以上のように、基体２に流路２ａ，流入口２ｂ，流出口２ｃ，第１のヒーター３ａ，および第２のヒーター３ｂが形成されることによってマイクロ流路体１が構成される。

ここで流路２ａは、５〜５００μｍの微小な幅および高さが５〜５００μｍの断面矩形状の微小な流路として設けられる。なお、流路２ａの断面は円形であってもよいし、三角形その他多角形であってもよい。

このようにして得られたマイクロ流路体１は、例えば、流路２ａで流体を加熱したり冷却したり、さらに流体同士を混合させて反応させる化学、生化学、物理化学反応を行なわせるマイクロ化学チップ、アルコールを水素に改質する改質器等に好適に用いることができる。

流路２ａの配置としては、例えば、図１（ａ）に示すように流入口２ｂと流出口２ｃが１箇所ずつ設けられ、流入口２ｂと流出口２ｃとを結ぶように流路２ａが形成されている形態であったり、図１（ｂ）に示すように流入口２ｂと流出口２ｃとが２箇所あるいはそれ以上の複数箇所に設けられ、複数箇所の流入口２ｂに接続された複数本の流路２ａを所定順序で合流させ、さらに流路２ａから流出口２ｃに向け複数本の流路２ａに分岐する形態であったりする。流路２ａは直線状に配置されていても良いし、曲線状に配置されていてもよい。また、第１または第２のヒーター３ａ，３ｂのようなミアンダ状に蛇行していてもよい。流路２ａの配置は、図１（ａ），（ｂ）に示す形態に限定されることはなく、目的に合わせて種々の形態とし得る。

ここで第１のヒーター３ａは、第２のヒーター３ｂよりも高温に発熱するヒーター性能を有しているのがよい。これにより、加熱される流体が流通する流路２ａ部分を高い温度に加熱することができる。

好ましくは、図１（ａ），図１（ｂ），図２（ａ），図２（ｂ）に示すように、第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂは導電性部材がＳ字を連ねた形状で折り返すように蛇行した形状に配置されるのがよい。この構成により、蛇行する部分で熱が発生し易くなり第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂの加熱性能を高いものとすることができる。

第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂは、図２（ａ）に示すように、流路２ａに沿って折り返すように、導電性部材が蛇行した形状に配置される。または、図１（ａ），図１（ｂ），図２（ｂ）に示すように、流路２ａの延設方向に交差するように導電性部分が蛇行した形状に配置される。流路２ａの延設方向とは、流路２ａを全体として見た場合の配置される方向をいう。例えば、図１，図２のように流路２ａが直線状に配置されている場合は、流入口２ｂと流出口２ｃとを結ぶ方向が延設方向と考えることができるが、流路２ａがこの延設方向を複数回横切るように蛇行して配置された場合も、流路２ａ全体としての延設方向は、同じく流入口２ｂと流出口２ｃとを結ぶ方向と考えてよい。

図２（ａ）に示すように、流路２ａに沿って、流路２ａの端部で折り返すように導電性部材を蛇行した形状に配置すると、導電性部材の長さを適宜の長さに調節し易くなるので、ヒーター設計が容易になるとともに、流路２ａに沿って流路２ａを均一に加熱し易いものとなる。

好ましくは、図１（ａ），図１（ｂ）に示すように、第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂは流路２ａの延設方向に交差するように、導電性部材が蛇行した形状に配置される。この構成により、流路２ａの周囲の一定範囲を加熱することができ、流路２ａ内に流通される流体を均一に加熱し易くできる。また、蛇行数を多くすることにより、流路２ａ内に流通される流体を加熱し易くすることができる。

また、図示しないが、第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂは金属箔やメタライズ層によって形成される場合、平板状に形成されてもよいし、第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂが金属線から成る場合、コイル状の形状とされてもよく、第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂは種々の形状とし得る。

好ましくは、図２（ｂ）に示すように、第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂの外部電気回路との接続部周辺が幅広に形成されているのがよい。この構成により、ヒーターとして機能させる必要のない接続部周辺は幅広として抵抗値を小さくして発熱しないようにし、接続部周辺で電力が消費されないようにすることができる。そして、第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂの接続部周辺を除く残部のみで効率良く発熱できるようになる。また、接続部において外部電気回路基板との接続が容易なものとすることができる。

好ましくは、基体２は、セラミックスから成るのがよい。具体的に基体２を形成するセラミックスとしては、Ａｌ_２Ｏ_３質焼結体，ＡｌＮ質焼結体，３Ａｌ_２Ｏ_３・２ＳｉＯ_２質焼結体，ガラスセラミックス等が挙げられる。この構成により、機械的強度や耐熱性や耐圧性および耐薬品性に優れたマイクロ流路体１とすることができる。

好ましくは、基体２は、９０質量％以上のアルミナを含んでいるのがよい。この構成により、機械的強度が高く、酸，アルカリ等の薬品の腐食にも耐える耐薬品性に非常に優れたセラミック製のマイクロ流路体１とすることができる。

好ましくは、基体２は、セラミックグリーンシート積層法によって形成される。

例えば、基体２がＡｌ_２Ｏ_３質焼結体から成る場合であれば、Ａｌ_２Ｏ_３，酸化珪素（ＳｉＯ_２），酸化マグネシウム（ＭｇＯ），酸化カルシウム（ＣａＯ）等の原料粉末に適当な有機バインダ，溶剤，可塑剤，分散剤等を混合添加して泥漿状となすとともに、これからドクターブレード法やカレンダーロール法を採用することによってセラミックグリーンシート（セラミック生シート）を形成し、しかる後に、このセラミックグリーンシートに流路２ａ等と成る適当な打ち抜き加工を施した後に、このグリーンシートを複数枚積層し、約1600℃の温度で焼成することによって作製される。

セラミックグリーンシートを流路２ａの形状で打ち抜くことによって、容易に所定形状の流路２ａを形成することができ、製造効率の良いマイクロ流路体１を提供することができる。

特に、金型による打ち抜き部（開口２２ａ，貫通孔２１ａ）同士の位置ずれは数１０μｍ以下に抑えることができ、寸法精度の高いマイクロ流路体１とすることができる。

次に、本発明のマイクロ流路体１の製造方法の一例を、図３（ａ）を用いて詳細に説明する。

まず、基体２の最上層と成るセラミックグリーンシートとして、第１のセラミックグリーンシート２１を準備する。この第１のセラミックグリーンシート２１には、流入口２ｂと流出口２ｃと成る箇所に貫通孔２１ａを金型を用いて打ち抜き加工を施す。

次いで、第１のセラミックグリーンシート２１の下側に積層される第２のセラミックグリーンシート２２を準備する。この第２のセラミックグリーンシート２２には、流路２ａの側面と成る打ち抜き孔を金型を用いて打ち抜き加工を施すか、または押し型によって流路２ａとなる溝を加工する。打ち抜き孔または溝の開口２２ａは、流入口２ｂまたは流出口２ｃと繋がる第１貫通孔２１ａの部分を除いて第１のセラミックグリーンシート２１の下面によって覆われるようにして塞がれる。

次いで、第２のセラミックグリーンシート２２の下側に積層される第３のセラミックグリーンシート２３を準備する。この第３のセラミックグリーンシート２３は、流路２ａの下側開口を下側から蓋をする役割を果たし平板状に形成される。

次いで、第３のセラミックグリーンシート２３の下側に積層される第４のセラミックグリーンシート２４を準備する。この第４のセラミックグリーンシート２４は、平板状に形成され、ＷやＭｏ，Ｍｎ等の高融点金属粉末に適当な有機バインダ、可塑剤、溶剤等を添加混合して得た金属ペーストを、スクリーン印刷法等の厚膜形成技術により印刷塗布して、第１のヒーター３ａとなる第１のメタライズ層２４ａを所定パターンに形成する。

次いで、第４のセラミックグリーンシート２４の下側に積層され、最下層と成る第５のセラミックグリーンシート２５を準備する。この第５のセラミックグリーンシート２５は、平板状に形成され、ＷやＭｏ，Ｍｎ等の高融点金属粉末に適当な有機バインダ、可塑剤、溶剤等を添加混合して得た金属ペーストを、スクリーン印刷法等の厚膜形成技術により印刷塗布して、第２のヒーター３ｂとなる第２のメタライズ層２５ａを所定パターンに形成する。

そして、これらの第１から第５のセラミックグリーンシート２１〜２５のそれぞれを所定の順序で積層し、約1600℃の温度で焼成することによって基体２が作製される。

以上のようにして、セラミックグリーンシート積層法により、セラミックスから成るマイクロ流路体１を効率良く製造することができる。

なお、上記の例で第１のヒーター３ａとなる第１のメタライズ層２４ａおよび第２のヒーター３ｂとなる第２のメタライズ層２５ａは、流路２ａとなる打ち抜き孔または溝の開口が形成されるセラミックグリーンシートよりも下側に位置するセラミックグリーンシートに形成されている例を示したが、流路２ａとなる打ち抜き孔または溝の開口が形成されるセラミックグリーンシートよりも上側に位置するセラミックグリーンシートに形成されるようにしても構わない。またこの場合、流路２ａが溝として加工され、下側開口を有さない場合は、流路２ａの下側開口を下側から蓋をする役割を果たし平板状に形成される第３のセラミックグリーンシート２３は省略してもよい。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を施すことは何等差し支えない。

例えば、上記実施の形態例において、流入口２ｂと流出口２ｃは基体２の上側主面に設けられているものとしたが、基体２の流路２ａが延びる方向と平行な側面または流路２ａが延びる方向と交わり該方向を横切る側面に設けてもよい。この場合、流路２ａが延びる方向と流入口２ｂまたは流出口２ｃとを平行に配置することができ、流入口２ｂから流出口２ｃにかけての圧力損失を低いものとすることができる。

また、流路２ａの上側または下側の少なくとも一方が透光性材料から成っていてもよい。この構成により、流路２ａ内の流体の流通を視覚的に確認できる。また、流路２ａ内に光を照射させることで、流路２ａ内の流体を化学的に反応させることもできる。

また、流路２ａが形成される部分を金属製とし、ヒーター形成領域をセラミック，樹脂等の絶縁材料で形成する等、基体２は異なる材料から成るものが組み合わされて形成されていてもよい。

また、第１のヒーター３ａおよび第２のヒーター３ｂの外部電気回路との接続部には金属製のリード端子が接合されていてもよく、外部電気回路との接続がし易いものとなる。

また、上記実施の形態の説明において上下左右という用語は、単に図面上の位置関係を説明するために用いたものであり、実際の使用時における位置関係を意味するものではない。

（ａ）は本発明のマイクロ流路体の実施の形態の一例を示す斜視図、（ｂ）は本発明のマイクロ流路体の実施の形態の他の例を示す斜視図である。 （ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明のマイクロ流路体の実施の形態のさらに他の例を示す平面図である。 本発明のマイクロ流路体の例を示す分解斜視図である。

符号の説明

１：マイクロ流路体
２：基体
２ａ：流路
２ｂ：流入口
２ｃ：流出口
３ａ：第１のヒーター
３ｂ：第２のヒーター

Claims (7)

1. 基体内部に設けられた流体が流通される流路と、前記流路に隣接する第１領域に設けられた第１のヒーターと、前記第１領域を介して前記流路に隣接し、前記第１領域よりも広い第２領域に設けられた第２のヒーターとを具備していることを特徴とするマイクロ流路体。
2. 前記第１のヒーターは、前記第２のヒーターよりも高温に発熱することを特徴とする請求項１記載のマイクロ流路体。
3. 前記第１のヒーターおよび前記第２のヒーターは、前記流路に沿って折り返すように、導電性部材が蛇行した形状に配置されて成ることを特徴とする請求項１または請求項２記載のマイクロ流路体。
4. 前記第１のヒーターおよび前記第２のヒーターは、前記流路の延設方向に交差するように、導電性部材が蛇行した形状に配置されて成ることを特徴とする請求項１または請求項２記載のマイクロ流路体。
5. 前記基体は、セラミックスから成ることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のマイクロ流路体。
6. 前記基体は、９０質量％以上のアルミナを含んでいることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のマイクロ流路体。
7. 前記基体は、セラミックグリーンシート積層法によって形成されて成ることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のマイクロ流路体。

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