JP2008232870A - 半導体試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】特定のＤＵＴを把握しながら各ＤＵＴの試験結果をリアルタイムかつ連続して確認することが可能な半導体試験装置を提供する。
【解決手段】特定ＤＵＴ強調機能では、ユーザが指定操作部１１３により指定したＤＵＴが太い、または異なる表示色の枠線で強調表示されるので、各ＤＵＴの試験結果をリアルタイムに確認しながら特定のＤＵＴを注目して試験結果の状況等を把握することが可能となる。ＤＵＴを再度指定して操作することにより強調表示を解除し、他の注目したい特定のＤＵＴを指定して操作することで試験結果の状況等を把握するＤＵＴを容易に変更することができる。
【選択図】図２

Description

本発明は、半導体デバイス等の被試験対象に対して試験を行った試験結果を表示する半導体試験装置に係り、特に、試験の進行に従って試験結果を表示する構成に関するものである。

従来、半導体デバイス等の被試験対象（以下、ＤＵＴと称する。）に対して、試験信号を出力して動作確認の試験を行う半導体試験装置では、ウエハ上に形成された各ＤＵＴのそれぞれに対して試験を行い、試験の進行に従って順々に試験結果をディスプレイ等の表示画面上で表示し、ユーザが試験を行いながらリアルタイムに各ＤＵＴの試験結果を確認できるようになっている。

以下の特許文献１に記載された操作装置では、操作画面の各画面要素に対応したＧＵＩ定義体を定義体格納手段に格納しておき、この定義体格納手段からカスタマイズに応じた所望のＧＵＩ定義体を読み出してカスタマイズ情報とし、このカスタマイズ情報に基づいてカスタマイズ画面を生成している（例えば、特許文献１参照。）。

特開２００１−２０９５２０号公報（図１）

また、従来の半導体試験装置では、以下のようにしてウエハ上に形成された各ＤＵＴの試験結果をリアルタイムに表示している。図９は、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴに対して、例えば４個のＤＵＴの試験結果を表示したマルチＤＵＴテスト結果を示す説明図である。

図１０は、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴに対して、例えば１２８個のＤＵＴの試験結果を表示したマルチＤＵＴテスト結果を示す説明図である。図１０に示すマルチＤＵＴテスト結果では、ウエハ上の各ＤＵＴに対して行われた結果としてパスまたはフェイルを示す試験結果が試験の進行に従って各ＤＵＴ毎に表示され、ウエハ上の座標で識別されるそれぞれのＤＵＴの表示領域に、試験が繰り返し行われる毎に試験結果の情報が切り換えて更新される。通常ユーザは、ディスプレイに画面表示されたマルチＤＵＴテスト結果を見て、試験の進行に従ってリアルタイムに各ＤＵＴの試験結果を確認している。

しかしながら、このような従来技術における半導体試験装置では、以下のような問題があった。即ち、図９に示すように、同時に試験を行ったＤＵＴの個数が４個程度の場合には、１つずつＤＵＴの試験結果を把握しながら試験の進行に従ってリアルタイムに確認することは比較的容易であるが、図１０に示すように、比較的多数（１２８個）のＤＵＴに対して同時に試験を行う場合には、ユーザがいずれか１つ（または数個）のＤＵＴに注目して試験結果の変遷を把握しようとしても、１２８個のＤＵＴの試験結果が試験の進行に従って順次切り換えられて更新されていくと、やがてＤＵＴ同士の区別がつかなくなり、特定のＤＵＴだけを注目し続けることが困難であった。

また、各ＤＵＴの試験結果は試験の進行に従って順々に切り換えて最新のものに更新して表示されるため、ＤＵＴごとに連続した試験結果の履歴を確認することができないという問題もあった。

そこで本発明は、特定のＤＵＴに着目しながら各ＤＵＴの試験結果をリアルタイムかつ連続して確認することが可能な半導体試験装置を提供することを課題とする。

以上のような課題を達成するために、本発明に係る半導体試験装置は、ウエハ上に形成された複数の被試験対象を画像として表示する画像表示手段と、前記画像表示手段により表示される各被試験対象の画像上に、被試験対象に対して行われる試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果を表示する結果表示手段と、前記結果表示手段により表示される試験結果について、特定の被試験対象に対応する試験結果を強調表示する強調表示手段とを備えたことを特徴とする。

本発明によれば、画像として表示された各被試験対象のうち、特定の被試験対象についての試験結果が画像上で強調表示されるので、ユーザは強調表示されている箇所に注目しながら特定の被試験対象の試験結果の状況を把握することが可能となる。なお、試験結果は良品（合格）であれば「パス」、不良品（不合格）であれば「フェイル」をそれぞれ意味する表示色や記号等の識別情報とともに表示されるので、ユーザが着目する特定の被試験対象について、毎回のようにフェイルの試験結果が連続していれば、それによって半導体試験装置に何らかの異常（プローブ不良等）があることを発見しやすくなる。

また、本発明に係る他の半導体試験装置は、ウエハ上に形成された複数の被試験対象を、相互に識別可能な画像として表示する画像表示手段と、前記画像表示手段により表示される各被試験対象の画像上に、被試験対象に対して行われる試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果を表示する結果表示手段と、前記画像表示手段により表示された画像上で任意の被試験対象を指定するための操作入力を受け付ける指定操作手段と、前記指定操作手段への操作入力に基づき、画像上で指定された被試験対象と、それ以外の被試験対象とで試験結果の表示態様を異ならせる表示態様変更手段とを備えたことを特徴とする。

上記の構成によれば、画像として表示された各被試験対象のうち、マウスやキーボード、タッチペン等の指定操作手段を用いて指定された任意の被試験対象と、それ以外の被試験対象とでは互いに試験結果の表示態様が異なったものとなる。このためユーザは、自己が指定した被試験対象の試験結果とその他の試験結果とを容易に識別することができる。また自己が指定した被試験対象について、試験の進行に従ってその試験結果の変遷をリアルタイムに確認することが可能となるため、上記と同様に毎回のようにフェイルの試験結果が連続していれば、それによって半導体試験装置に何らかの異常（プローブ不良等）があることを発見しやすくなる。

上述の半導体試験装置において、前記表示態様変更手段は、前記指定操作手段により指定された被試験対象が画像として表示される表示領域の枠線を、他の被試験対象が画像として表示される表示領域の枠線よりも太い線を用いて表示することとしても良い。

このような構成により、ユーザは他よりも太い枠線で表示される試験結果を容易に識別することができるため、試験の進行に伴って試験結果が順次更新されていったとしても、その変遷を容易に観察し続けることができる。

上述の半導体試験装置において、前記表示態様変更手段は、前記指定操作手段により既に指定された同一の被試験対象について、再度の指定がされたことに応じて画像上での表示態様の変更を解除することとしても良い。このような構成により、ユーザが一度指定した被試験対象について、その試験結果に注目する必要がなくなれば、ユーザが再度の操作入力を行うことでその表示態様の変更を解除することができる。またこの場合、ユーザが改めて他の被試験対象を指定することで、着目するべき被試験対象を容易に変更することができる。

本発明に係る他の半導体試験装置は、ウエハ上に形成された複数の被試験対象を、相互に識別可能な画像として表示する画像表示手段と、前記画像表示手段により表示される各被試験対象の画像上に、被試験対象に対して行われる試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果を表示する結果表示手段と、前記画像表示手段により画像として表示された各被試験対象について、前記結果表示手段により表示された試験結果の履歴を試験の進行に従って順々に表示する履歴表示手段とを備えたことを特徴とする。

このような構成により、ユーザは各被試験対象の試験結果の履歴（変遷）をリアルタイムかつ連続的に確認することができ、毎回のように連続してフェイルと判定されている被試験対象の有無を容易に確認することが可能となる。

上述の半導体試験装置において、前記履歴表示手段は、各被試験対象について前記結果表示手段により表示された試験結果を、試験の進行に従って順々に蓄積して表示することとしても良い。このような構成により、試験結果の履歴が順々に蓄積して表示されるので、ユーザは各被試験対象について試験結果の履歴を容易に一覧することができる。これにより、毎回のように連続してフェイルと判定されている被試験対象があれば、その存在を容易に発見することができる。

本発明に係る半導体試験装置によれば、任意に指定した特定の被試験対象を画像上で容易に把握しながら、その試験結果をリアルタイムかつ連続して確認することが可能となるという効果が得られる。

以下、本発明の一実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
図１は、本発明に係る半導体試験装置の一実施形態である半導体試験装置１００の構成例を示した説明図である。半導体試験装置１００は、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴに対して動作確認等の試験を複数回行っていき、試験の進行に従って試験結果を順々に画面表示したマルチＤＵＴテスト結果の各ＤＵＴに表示する装置である。

半導体試験装置１００は、各ＤＵＴに対して試験を行った試験結果をリアルタイムに表示する処理等を行う情報処理部１１０と、試験時の装置内の各部の制御や電源供給等を行う装置本体１２０と、各種のピンカードが実装されてウエハ上の各ＤＵＴにプローブを接触させて複数回の試験を実際に行うテストヘッド１３０とから構成されている。

情報処理部１１０は、制御部１１１及び表示制御部１１２を備えている。このうち制御部１１１は、情報処理部１１０内の各構成要素の動作を制御する。また表示制御部１１２は、マルチＤＵＴテスト結果を生成して画像表示する処理や、このマルチＤＵＴテスト結果に表示された各ＤＵＴに対して試験の進行に従って試験結果を順々に表示する処理を行うほか、指定操作部１１３により指定して操作されたマルチＤＵＴテスト結果のＤＵＴを強調表示等する処理を行う。

さらに表示制御部１１２は、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴに対して試験の進行に従って試験結果の履歴を順々に表示していき、複数回行われる試験の試験結果を各回数毎に蓄積して表示する処理を行う。

指定操作部１１３は、マルチＤＵＴテスト結果に表示された各ＤＵＴのうち、いずれかを指定して操作するための入力デバイスである。この指定操作部１１３は、マウスやタッチ入力ペン、タブレット等のポインティングデバイスやキーボードを用いて実現され、ユーザが操作してマルチＤＵＴテスト結果に表示された各ＤＵＴのうち、いずれかを指定する目的で使用される。指定操作部１１３によりいずれかのＤＵＴを指定する操作がされると、マルチＤＵＴテスト結果上の指定されたＤＵＴの表示領域を囲む枠線が他の指定されていないＤＵＴの表示領域を囲む枠線よりも太いか、または異なる表示色の枠線を用いて強調表示（表示態様が変更）される。

また、一度指定されたＤＵＴが指定操作部１１３により再度指定されると、これに応じて指定されたＤＵＴの表示領域を囲む枠線が他の指定されていないＤＵＴと同じ状態に戻り、強調表示（表示態様の変更）が解除されるようになっている。

また、情報処理部１１０は、ウエハ上の各ＤＵＴや試験結果に関する情報を記憶する試験情報記憶部１１４を備えている。試験情報記憶部１１４は、ウエハ上の各ＤＵＴに対して複数回行われた各回数毎の試験の試験結果の情報と、各ＤＵＴを識別するためのウエハ上の座標を示す座標情報とを関連付けて記憶する機能を有する。

情報処理部１１０は、更にマルチＤＵＴテスト結果や試験結果等の情報を画像表示するモニタやディスプレイ等を用いた画像表示部１１５を備えている。

続いて、本実施の形態における半導体試験装置１００の動作について図２〜図６に示すマルチＤＵＴテスト結果を画像表示した画面の説明図を用いて説明する。

（特定ＤＵＴ強調機能）
まず、マルチＤＵＴテスト結果上で特定のＤＵＴを強調表示する特定ＤＵＴ強調機能について説明する。半導体試験装置１００が、装置本体１２０やテストヘッド１３０によって、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴに対してプローブを接触させて試験信号の出力や信号の判定等を行っていき順々に複数回の試験を行っていく。情報処理部１１０の制御部１１１は、試験の進行に従って試験が行われたＤＵＴから順々に、パスまたはフェイルと判定された試験結果等の情報を装置本体１２０から取得し、これをＤＵＴの座標情報と関連付けて試験情報記憶部１１４に記憶させる。

そして、制御部１１１は、表示制御部１１２により試験情報記憶部１１４に記憶されたそれぞれの試験結果の情報に対応するＤＵＴを座標情報によって特定し、マルチＤＵＴテスト結果の各ＤＵＴに対して試験の進行に従い、リアルタイムで試験結果の情報を順々に表示していく処理を行う。

このとき、マルチＤＵＴテスト結果に表示された各ＤＵＴのうち、図２に示すように、ユーザが注目したい特定のＤＵＴの表示領域にマウス等のポインタを合わせた状態で、マウスのボタンをクリックすることによって指定の操作が行われる。制御部１１１は、表示制御部１１２によりこの指定されたＤＵＴの表示領域を囲む枠線を他の指定されていないＤＵＴの表示領域を囲む枠線よりも太い、または赤色等の異なる表示色の枠線を用いて強調表示する。

制御部１１１は、指定操作部１１３により指定されたＤＵＴを強調表示したままの状態で、マルチＤＵＴテスト結果の各ＤＵＴに対して試験の進行に従ってリアルタイムに試験結果の情報を順々に表示していく処理を行う。

このように、特定ＤＵＴ強調機能では、ユーザが指定操作部１１３により指定したＤＵＴが他のＤＵＴよりも太い、または異なる表示色の枠線で強調表示されるので、ユーザは、各ＤＵＴの試験結果を試験の進行に従ってリアルタイムに確認しながら特定のＤＵＴに注目して試験結果の各回数毎の状況等を把握することが可能となる。

なお、ユーザが指定操作部１１３により一度指定したＤＵＴを再度指定して操作することにより強調表示を解除し、他の注目したい特定のＤＵＴの表示領域にポインタ等を合わせることによって指定して操作することで、試験結果の状況等を把握するＤＵＴを容易に変更することができる。

（パス／フェイル結果履歴表示機能）
次に、試験の進行に従って試験結果の履歴を順々に表示するパス／フェイル結果履歴表示機能について説明する。半導体試験装置１００が、装置本体１２０やテストヘッド１３０によって、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴに対してプローブを接触させて試験信号の出力や信号の判定等を行っていき順々に複数回の試験を行っていく。情報処理部１１０の制御部１１１は、試験の進行に従って試験が行われたＤＵＴから順々に、パスまたはフェイルと判定された試験結果等の情報を装置本体１２０から取得し、これをＤＵＴの座標情報と関連付けて試験情報記憶部１１４に記憶させる。

そして、制御部１１１は、表示制御部１１２により試験情報記憶部１１４に記憶されたそれぞれの試験結果の情報に対応するＤＵＴを座標情報によって特定し、図３に示すように、各ＤＵＴに対して試験の進行に従ってリアルタイムに試験結果の情報を表示する処理を行う。

制御部１１１は、更に図４〜図７に示すように、試験の進行に従って前の回の試験結果を上方向に蓄積して新たな回数の試験結果の情報を下方向から順々に表示させていき、複数回行われる試験の試験結果を各回数毎に蓄積して表示する処理を行う。また、各ＤＵＴに対する試験結果の情報は、例えばパスと判定された場合は白色、フェイルと判定された場合は赤色の表示色とし、試験結果の内容に応じて異なる表示色で表示する。

このように、パス／フェイル結果履歴表示機能では、各ＤＵＴに対して試験の進行に従って複数回行われる試験の試験結果を各回数毎に蓄積して順々に表示する処理を行うので、各ＤＵＴの試験結果をリアルタイムかつ連続して確認することができ、複数回フェイルと判定される被試験対象の状況を把握して確認することが可能となる。また、試験結果の内容に応じて異なる表示色で表示するので例えば同一内容の試験結果が連続した場合に同一の表示色が並んで帯状となり容易に把握することができる。

〔他の実施の形態〕
上述の実施の形態において、特定ＤＵＴ強調機能では、指定操作部１１３によりユーザが注目したい１つのＤＵＴを指定して強調表示していたが、以下のようにして一定の範囲を指定し、この範囲内に含まれる複数のＤＵＴを強調表示しても良い。

図８（ａ）は、ユーザが指定操作部１１３によりマルチＤＵＴテスト結果に表示された各ＤＵＴのうち、円形（楕円形）や長方形等の図形を用いてユーザが注目したい範囲を指定して操作し、複数のＤＵＴを強調表示した様子を示す説明図である。図８（ｂ）は、範囲指定に際して、円形や長方形の図形に対応する複数のボタンＢ１〜Ｂ４を有する範囲選択用ウィンドウＷの一例である。このようなウィンドウＷは、画面上でマルチＤＵＴテスト結果とは別に表示される。

即ち、ユーザは、範囲選択用ウィンドウＷ内のボタンＢ１〜Ｂ４のいずれかのボタンを選択する。このうち、ボタンＢ１は実線の円（または楕円）に対応し、ボタンＢ３は破線の円（または楕円）に対応する。またボタンＢ２は実線の枠に対応し、ボタンＢ４は破線の枠に対応する。各ボタンＢ１〜Ｂ４の選択は、例えばポインタＭを対象のボタンＢ１〜Ｂ４上に合わせ、ユーザがマウスをクリックすることで行われる。そして、選択したボタンＢ１〜Ｂ４に表示された図形を用いてマルチＤＵＴテスト結果に表示された各ＤＵＴのうち、図８（ａ）に示すように、ユーザが注目したい複数のＤＵＴの表示領域を囲むようにポインタＭ等をドラッグ操作することによって範囲を指定する。制御部１１１は、表示制御部１１２によりこの指定された範囲を囲む枠線をＤＵＴの表示領域を囲む枠線よりも太い、または赤色等の異なる表示色の枠線を用いて表示して強調表示する。

本実施形態の半導体試験装置の構成を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のマルチＤＵＴテスト結果を表示した様子を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のＤＵＴの試験結果の履歴を表示した様子を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のＤＵＴの試験結果の履歴を表示した様子を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のＤＵＴの試験結果の履歴を表示した様子を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のＤＵＴの試験結果の履歴を表示した様子を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のＤＵＴの試験結果の履歴を表示した様子を示す説明図である。 他の実施形態の半導体試験装置のマルチＤＵＴテスト結果を表示した様子を示す説明図である。 従来技術の半導体試験装置のＤＵＴの試験結果を表示した様子を示す説明図である。 従来技術の半導体試験装置のマルチＤＵＴテスト結果を表示した様子を示す説明図である。

符号の説明

１００ 半導体試験装置
１１０ 情報処理部
１１１ 制御部
１１２ 表示制御部
１１３ 指定操作部
１１４ 試験情報記憶部
１１５ 画像表示部
１２０ 装置本体
１３０ テストヘッド

Claims (6)

1. ウエハ上に形成された複数の被試験対象を画像として表示する画像表示手段と、
   前記画像表示手段により表示される各被試験対象の画像上に、被試験対象に対して行われる試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果を表示する結果表示手段と、
   前記結果表示手段により表示される試験結果について、特定の被試験対象に対応する試験結果を強調表示する強調表示手段とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
2. ウエハ上に形成された複数の被試験対象を、相互に識別可能な画像として表示する画像表示手段と、
   前記画像表示手段により表示される各被試験対象の画像上に、被試験対象に対して行われる試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果を表示する結果表示手段と、
   前記画像表示手段により表示された画像上で任意の被試験対象を指定するための操作入力を受け付ける指定操作手段と、
   前記指定操作手段への操作入力に基づき、画像上で指定された被試験対象と、それ以外の被試験対象とで試験結果の表示態様を異ならせる表示態様変更手段とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
3. 請求項２に記載の半導体試験装置において、
   前記表示態様変更手段は、
   前記指定操作手段により指定された被試験対象が画像として表示される表示領域の枠線を、他の被試験対象が画像として表示される表示領域の枠線よりも太い線を用いて表示することを特徴とする半導体試験装置。
4. 請求項２または３に記載の半導体試験装置において、
   前記表示態様変更手段は、
   前記指定操作手段により既に指定された同一の被試験対象について、再度の指定がされたことに応じて画像上での表示態様の変更を解除することを特徴とする半導体試験装置。
5. ウエハ上に形成された複数の被試験対象を、相互に識別可能な画像として表示する画像表示手段と、
   前記画像表示手段により表示される各被試験対象の画像上に、被試験対象に対して行われる試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果を表示する結果表示手段と、
   前記画像表示手段により画像として表示された各被試験対象について、前記結果表示手段により表示された試験結果の履歴を試験の進行に従って順々に表示する履歴表示手段とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
6. 請求項５に記載の半導体試験装置において、
   前記履歴表示手段は、
   各被試験対象について前記結果表示手段により表示された試験結果を、試験の進行に従って順々に蓄積して表示することを特徴とする半導体試験装置。

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