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JP2008232763A - Defect detection apparatus and defect detection method - Google Patents

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JP2008232763A
JP2008232763A JP2007071368A JP2007071368A JP2008232763A JP 2008232763 A JP2008232763 A JP 2008232763A JP 2007071368 A JP2007071368 A JP 2007071368A JP 2007071368 A JP2007071368 A JP 2007071368A JP 2008232763 A JP2008232763 A JP 2008232763A
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JP
Japan
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defect
correlation coefficient
eddy current
frequency
induced
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Pending
Application number
JP2007071368A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshinobu Arai
俊信 新井
Tadashi Yagi
紀 八木
Hiroyuki Torii
弘之 鳥居
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Motor Corp
Original Assignee
Toyota Motor Corp
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Publication date
Application filed by Toyota Motor Corp filed Critical Toyota Motor Corp
Priority to JP2007071368A priority Critical patent/JP2008232763A/en
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flaw detector capable of precisely detecting the presence of the flaw of an object, even when there is uneveness in the shape, the weight or the material of the object, and to provide a flaw detection method. <P>SOLUTION: This flow detection method is constituted so that an impact is applied to a sintered product 10 to collect the vibration produced from the sintered product 10, the collected vibration is converted to a signal, showing intensity at each frequency, the correlation coefficients (r1-rN) between the peak frequencies (X1-X16) of a plurality of the peaks in a signal showing the preliminarily acquired intensity at every frequency and the peak frequencies (Y1-Y16) of a plurality of the peaks contained in the signal converted by an FFT analyzer 130 are calculated with respect to (N) reference objects free from a flaw and the presence of the flaw of the sintered product 10 is determined, on the basis of the calculated coefficient coefficients [the average value of (N) correlation coefficients r1-rN]. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、対象物の欠陥を検出する技術に関する。   The present invention relates to a technique for detecting a defect of an object.

従来、非破壊で対象物の欠陥（例えば、クラックやピンホール等）の有無を検出する技術としては、対象物の打撃音を利用する技術が知られている。例えば、特許文献１および特許文献２に記載の如くである。
特許文献１および特許文献２に記載の技術は、対象物をハンマ等で打撃して打音を発生し、発生した打音を振動信号として検出し、振動信号の特徴量、例えば周波数帯域毎の最大値（ピーク強度）を抽出し、これを予め設定された基準データと比較することにより欠陥の有無を判定するものである。 2. Description of the Related Art Conventionally, as a technique for detecting the presence or absence of a defect (for example, a crack or a pinhole) of an object without destruction, a technique using a hit sound of the object is known. For example, it is as described in Patent Document 1 and Patent Document 2.
The technologies described in Patent Literature 1 and Patent Literature 2 strike a target object with a hammer or the like to generate a hitting sound, detect the generated hitting sound as a vibration signal, and detect a characteristic amount of the vibration signal, for example, for each frequency band. The maximum value (peak intensity) is extracted, and the presence / absence of a defect is determined by comparing it with preset reference data.

また、同一の対象物の異なる複数の位置にそれぞれ打撃を付与し、得られた打撃音の所定の周波数帯におけるピーク強度の大きさに基づいて対象物の欠陥の有無およびその位置を検査する技術も知られている。例えば、特許文献３に記載の如くである。   In addition, a technique for applying a hit to a plurality of different positions of the same object, and inspecting the presence or absence of the defect of the object and its position based on the magnitude of the peak intensity in a predetermined frequency band of the obtained hit sound Is also known. For example, as described in Patent Document 3.

また、設備内の不法侵入者等の監視（防犯）や機器の無人監視等の目的で、過去に収集された音（通常は異常が発生していないときの音）の所定の周波数帯域の周波数スペクトルの積分強度の分布と新たに収集された音の所定の周波数帯域の周波数スペクトルの積分強度の分布とを比較することにより、新たに収集された音が異常であるか否かを判定する技術も知られている。例えば、特許文献４に記載の如くである。   In addition, for the purpose of monitoring illegal intruders in the facility (crime prevention) and unattended monitoring of equipment, etc., the frequency of a predetermined frequency band of sounds collected in the past (usually sound when no abnormality has occurred) Technology that determines whether or not the newly collected sound is abnormal by comparing the distribution of the integrated intensity of the spectrum and the distribution of the integrated intensity of the frequency spectrum in the predetermined frequency band of the newly collected sound Is also known. For example, as described in Patent Document 4.

特許文献１乃至特許文献３に記載の技術は、対象物の種類が全く異なる場合には基準となる対象物の打音の振動信号（音圧）のピークが異なる周波数帯に現れること、あるいは欠陥が有る対象物は欠陥が無い対象物に比べて打撃音に含まれる特定の周波数成分のピーク周波数が低周波数側にシフトする傾向があることを利用するものである。
特許文献１乃至特許文献３に記載の技術は、一般に対象物の一個あたりの検査に要する時間が短く、対象物の全数検査を行う用途等への適用が有望視される。 In the techniques described in Patent Documents 1 to 3, when the types of objects are completely different, the peak of the vibration signal (sound pressure) of the sound of the reference object appears in different frequency bands, or a defect An object having a characteristic utilizes the fact that the peak frequency of a specific frequency component included in the hitting sound tends to shift to a lower frequency side than an object having no defect.
The techniques described in Patent Document 1 to Patent Document 3 generally have a short time required for inspection per object, and are expected to be applied to applications for inspecting all objects.

特許文献４に記載の技術は、設備や機器等の監視対象に異常が発生した場合には、監視対象から収集される音の振動信号（音圧）のピークが異なる周波数帯に現れることを利用するものである。   The technique described in Patent Document 4 uses that the peak of the vibration signal (sound pressure) of sound collected from the monitoring object appears in different frequency bands when an abnormality occurs in the monitoring object such as equipment or equipment. To do.

しかし、特許文献１乃至特許文献３に記載の技術は、対象物の形状、重量あるいは材質等のバラツキによる振動信号の特徴量（例えば、ピーク強度やピーク周波数等）の変化が欠陥の有無による振動信号の特徴量の変化よりも大きい場合には、欠陥が無い対象物について欠陥が有ると判定したり欠陥が有る対象物について欠陥が無いと判定したりするといった過検出の頻度が高くなり、対象物の欠陥の有無を精度良く検出することが困難であるという問題がある。
特開２０００−１３１２９４号公報 特開２００２−３３３４３６号公報 特開平７−５１５４号公報 特開２００５−１７２５４８号公報 However, the techniques described in Patent Documents 1 to 3 are based on the fact that the change in the characteristic amount (for example, peak intensity, peak frequency, etc.) of the vibration signal due to variations in the shape, weight, material, etc. of the object If it is greater than the change in the feature amount of the signal, the frequency of overdetection, such as determining that there is a defect for an object without a defect or determining that there is no defect for an object with a defect, is increased. There is a problem that it is difficult to accurately detect the presence or absence of a defect in an object.
JP 2000-131294 A JP 2002-333436 A Japanese Patent Laid-Open No. 7-5154 JP 2005-172548 A

本発明は以上の如き状況に鑑み、対象物の形状、重量あるいは材質のバラツキがある場合でも対象物の欠陥の有無を精度良く検出することが可能な欠陥検出装置および欠陥検出方法を提供するものである。   In view of the circumstances as described above, the present invention provides a defect detection apparatus and a defect detection method capable of accurately detecting the presence or absence of defects in an object even when there is a variation in the shape, weight, or material of the object. It is.

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。   The problem to be solved by the present invention is as described above. Next, means for solving the problem will be described.

即ち、請求項１においては、
対象物に打撃を付与する打撃付与手段と、
前記打撃付与手段により打撃が付与された対象物から発せられる振動を収集する振動収集手段と、
前記振動収集手段により収集された振動を周波数毎の強度を表す信号に変換する信号変換手段と、
欠陥が無いことが分かっている基準対象物について予め取得された周波数毎の強度を表す信号における複数のピークのピーク周波数と、前記振動変換手段により変換された信号に含まれる複数のピークのピーク周波数と、の間の相関係数を算出する相関係数算出手段と、
前記相関係数算出手段により算出された相関係数に基づいて前記対象物の欠陥の有無を判定する判定手段と、
を具備するものである。 That is, in claim 1,
A striking means for striking a target;
Vibration collecting means for collecting vibrations emitted from the object to which the hit is given by the hit giving means;
Signal conversion means for converting the vibration collected by the vibration collection means into a signal representing the intensity for each frequency;
The peak frequency of a plurality of peaks in a signal representing the intensity for each frequency acquired in advance for a reference object known to be free of defects, and the peak frequencies of a plurality of peaks included in the signal converted by the vibration conversion means Correlation coefficient calculating means for calculating a correlation coefficient between
Determining means for determining the presence or absence of defects of the object based on the correlation coefficient calculated by the correlation coefficient calculating means;
It comprises.

請求項２においては、
前記判定手段は、
前記相関係数算出手段により算出された相関係数が、予め設定された所定の閾値以上である場合には前記対象物に欠陥が無いと判定し、前記閾値未満である場合には前記対象物に欠陥が有ると判定するものである。 In claim 2,
The determination means includes
When the correlation coefficient calculated by the correlation coefficient calculation means is greater than or equal to a predetermined threshold value set in advance, it is determined that there is no defect in the object, and when it is less than the threshold value, the object Is determined to have a defect.

請求項３においては、
前記対象物の表面領域における誘起領域に誘起された渦電流の変化を検出する渦電流検出手段と、
前記対象物の表面領域における誘起領域の位置を検出する誘起領域位置検出手段と、
前記渦電流検出手段により検出された渦電流の変化および前記誘起領域位置検出手段により検出された誘起領域の位置に基づいて、前記対象物における欠陥の位置を判定する欠陥位置判定手段と、
を具備するものである。 In claim 3,
Eddy current detection means for detecting a change in eddy current induced in the induction region in the surface region of the object;
Induced region position detecting means for detecting the position of the induced region in the surface region of the object;
A defect position determining means for determining a position of the defect in the object based on a change in the eddy current detected by the eddy current detecting means and a position of the induced area detected by the induced area position detecting means;
It comprises.

請求項４においては、
打撃が付与された対象物から発せられる振動を収集する振動収集工程と、
前記振動収集工程において収集された振動を周波数毎の強度を表す信号に変換する信号変換工程と、
欠陥が無いことが分かっている基準対象物について予め取得された周波数毎の強度を表す信号における複数のピークのピーク周波数と、前記振動変換工程において変換された信号に含まれる複数のピークのピーク周波数と、の間の相関係数を算出する相関係数算出工程と、
前記相関係数算出工程において算出された相関係数に基づいて前記対象物の欠陥の有無を判定する判定工程と、
を具備するものである。 In claim 4,
A vibration collection step for collecting vibrations emitted from the object to which the blow is applied;
A signal conversion step of converting the vibration collected in the vibration collection step into a signal representing the intensity for each frequency;
The peak frequency of a plurality of peaks in a signal representing the intensity for each frequency acquired in advance for a reference object known to be free of defects, and the peak frequencies of a plurality of peaks included in the signal converted in the vibration conversion step A correlation coefficient calculating step for calculating a correlation coefficient between
A determination step of determining presence or absence of a defect of the object based on the correlation coefficient calculated in the correlation coefficient calculation step;
It comprises.

請求項５においては、
前記判定工程は、
前記相関係数算出工程において算出された相関係数が、予め設定された所定の閾値以上である場合には前記対象物に欠陥が無いと判定し、前記閾値未満である場合には前記対象物に欠陥が有ると判定するものである。 In claim 5,
The determination step includes
When the correlation coefficient calculated in the correlation coefficient calculation step is greater than or equal to a predetermined threshold value set in advance, it is determined that there is no defect in the target object. When the correlation coefficient is less than the threshold value, the target object is determined. Is determined to have a defect.

請求項６においては、
前記判定工程において前記対象物に欠陥が有ると判定した場合に、前記対象物の表面領域における誘起領域に誘起された渦電流の変化および前記対象物の表面領域における誘起領域の位置を検出する渦電流変化・誘起領域位置検出工程と、
前記渦電流変化・誘起領域位置検出工程において検出された渦電流の変化および誘起領域の位置に基づいて、前記対象物における欠陥の位置を判定する欠陥位置判定工程と、
を具備するものである。 In claim 6,
When it is determined in the determination step that the object has a defect, a change in eddy current induced in the induction region in the surface region of the object and a vortex for detecting the position of the induction region in the surface region of the object Current change / induced region position detection process;
A defect position determination step of determining a position of a defect in the object based on the change of the eddy current detected in the eddy current change / induced region position detection step and the position of the induction region;
It comprises.

本発明は、対象物の形状、重量あるいは材質のバラツキがある場合でも対象物の欠陥の有無を精度良く検出することが可能である、という効果を奏する。   The present invention has an effect that it is possible to accurately detect the presence / absence of a defect in an object even when the object has variations in shape, weight, or material.

以下では、図１乃至図６を用いて本発明に係る欠陥検出装置の実施の一形態である欠陥検出装置１００について説明する。
図１に示す如く、欠陥検出装置１００は焼結品１０の内部の欠陥の有無を検出する装置であり、主として載置台１０５、電磁インパクタ１１０、マイクロホン１２０、ＦＦＴアナライザ１３０、制御装置１４０、渦流センサ１５０、スライドユニット１６０、アンプ１７０、ロータリエンコーダ１８０等を具備する。 Below, the defect detection apparatus 100 which is one Embodiment of the defect detection apparatus which concerns on this invention using FIG. 1 thru | or FIG. 6 is demonstrated.
As shown in FIG. 1, the defect detection device 100 is a device that detects the presence or absence of defects inside the sintered product 10, and mainly includes a mounting table 105, an electromagnetic impactor 110, a microphone 120, an FFT analyzer 130, a control device 140, and an eddy current sensor. 150, a slide unit 160, an amplifier 170, a rotary encoder 180, and the like.

焼結品１０は本発明に係る対象物の実施の一形態であり、欠陥検出装置１００による欠陥の有無の検出の対象となる物品である。焼結品１０は、例えば無加圧焼結法（雰囲気焼結法）、通電加熱焼結法、放電プラズマ焼結法等の方法を用いて粉末状の材料（主として金属材料）を所定の型に収容して加圧し、所定の形状とした後加熱する、あるいは所定の型に収容して加圧した状態で加熱することにより得られる。
図２に示す如く、本実施例の焼結品１０は略リング状の部材であり、その内周面には複数の突起１０ａ・１０ａ・・・が形成され、突起１０ａ・１０ａ・・・にはそれぞれ貫通孔１０ｂ・１０ｂ・・・が形成される。
なお、本実施例の対象物は焼結品１０であるが、本発明はこれに限定されず、内部にクラックやピンホール等の種々の欠陥を有する物品に適用可能である。 The sintered product 10 is an embodiment of the object according to the present invention, and is an article to be detected by the defect detection apparatus 100 for the presence or absence of defects. The sintered product 10 is made of a powdery material (mainly a metal material) in a predetermined shape by using, for example, a pressureless sintering method (atmosphere sintering method), an electric heating sintering method, a discharge plasma sintering method, or the like. It can be obtained by storing and pressurizing and heating to a predetermined shape and heating, or by storing in a predetermined mold and pressurizing.
As shown in FIG. 2, the sintered product 10 of this embodiment is a substantially ring-shaped member, and a plurality of protrusions 10a, 10a,... Are formed on the inner peripheral surface thereof, and the protrusions 10a, 10a,. Are formed with through holes 10b, 10b,.
In addition, although the target object of a present Example is the sintered article 10, this invention is not limited to this, It is applicable to the articles | goods which have various defects, such as a crack and a pinhole, inside.

載置台１０５は欠陥の有無を検出する際に焼結品１０を載置する台である。載置台１０５はターンテーブル１０６、モータ１０７を具備する。
ターンテーブル１０６は略円盤形状の部材であり、その上面に焼結品１０が所定の姿勢で載置される。
モータ１０７はターンテーブル１０６を旋回するためのアクチュエータであり、モータ１０７の回転軸はターンテーブル１０６の下面に固定される。 The mounting table 105 is a table on which the sintered product 10 is mounted when detecting the presence or absence of defects. The mounting table 105 includes a turntable 106 and a motor 107.
The turntable 106 is a substantially disk-shaped member, and the sintered product 10 is placed on the upper surface thereof in a predetermined posture.
The motor 107 is an actuator for turning the turntable 106, and the rotation shaft of the motor 107 is fixed to the lower surface of the turntable 106.

電磁インパクタ１１０は本発明に係る打撃付与手段の実施の一形態であり、焼結品１０に打撃を付与するものである。
電磁インパクタ１１０は、電磁コイルを収容する本体１１１、および当該電磁コイルが発生する電磁力により本体１１１の側方に突出および没入するハンマ１１２を具備する。ハンマ１１２が突出するとハンマ１１２の先端部が焼結品１０に衝突し、焼結品１０に打撃が付与される。
なお、本発明に係る打撃付与手段は本実施例の電磁インパクタ１１０に限定されず、他の構成でも良い。他の構成としては、例えば振り子式インパクタ等が挙げられる。 The electromagnetic impactor 110 is an embodiment of the impact imparting means according to the present invention, and imparts impact to the sintered product 10.
The electromagnetic impactor 110 includes a main body 111 that houses an electromagnetic coil, and a hammer 112 that protrudes and immerses into the side of the main body 111 by an electromagnetic force generated by the electromagnetic coil. When the hammer 112 protrudes, the tip portion of the hammer 112 collides with the sintered product 10, and the sintered product 10 is hit.
In addition, the impact imparting means according to the present invention is not limited to the electromagnetic impactor 110 of the present embodiment, and may have other configurations. Examples of other configurations include a pendulum type impactor.

マイクロホン１２０は本発明に係る振動収集手段の実施の一形態であり、電磁インパクタ１１０により打撃が付与された焼結品１０から発せられる振動を収集するものである。
ここで、「振動」には、人間が聴覚により知覚可能な周波数（可聴域）の弾性波である音波、音波よりも高い周波数帯の弾性波である超音波、音波よりも低い周波数帯の弾性波である超低周波音が含まれる。
本実施例のマイクロホン１２０はいわゆる音響センサの一種であり、周波数が４０ｋＨｚ以下程度の周波数帯の振動（弾性波）を収集することが可能である。マイクロホン１２０は電磁インパクタ１１０により打撃が付与される焼結品１０の上方、かつ所定の間隔を空けた位置に配置される。 The microphone 120 is an embodiment of the vibration collecting means according to the present invention, and collects vibrations emitted from the sintered product 10 that is hit by the electromagnetic impactor 110.
Here, “vibration” includes sound waves that are elastic waves of a frequency (audible range) that humans can perceive by hearing, ultrasonic waves that are elastic waves in a higher frequency band than sound waves, and elasticity in a lower frequency band than sound waves. Includes very low frequency sounds that are waves.
The microphone 120 of this embodiment is a kind of so-called acoustic sensor, and can collect vibrations (elastic waves) in a frequency band with a frequency of about 40 kHz or less. The microphone 120 is disposed above the sintered product 10 to which the impact is applied by the electromagnetic impactor 110 and at a position with a predetermined interval.

ＦＦＴ（Ｆａｓｔ Ｆｏｕｒｉｅｒ Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ；高速フーリエ変換）アナライザ１３０は本発明に係る信号変換手段の実施の一形態であり、マイクロホン１２０により収集された振動（本実施例の場合、４０ｋＨｚ以下程度の周波数帯の弾性波）を図２に示す如き周波数毎の強度を表す信号に変換するものである。
ここで、「高速フーリエ変換」は離散フーリエ変換を高速で計算するためのアルゴリズムを指す。
ＦＦＴアナライザ１３０はマイクロホン１２０に接続され、マイクロホン１２０により収集された振動に係る情報を取得することが可能である。
ＦＦＴアナライザ１３０は、内部に格納された所定のアルゴリズムに従ってマイクロホン１２０から取得した振動に係る情報に高速フーリエ変換処理を施し、周波数毎の強度を表す信号に変換する。
図３に示す如く、マイクロホン１２０により収集された振動（弾性波）を周波数毎の強度を表す信号に変換すると、当該信号には複数のピーク（ピーク番号（１）乃至（１６）で示す）が含まれる。これら複数のピークは焼結品１０の材質や形状により特定の周波数帯に現れる。 An FFT (Fast Fourier Transform) analyzer 130 is an embodiment of the signal conversion means according to the present invention, and vibrations collected by the microphone 120 (in this embodiment, elasticity in a frequency band of about 40 kHz or less). 2) is converted into a signal representing the intensity for each frequency as shown in FIG.
Here, the “fast Fourier transform” refers to an algorithm for calculating the discrete Fourier transform at high speed.
The FFT analyzer 130 is connected to the microphone 120 and can acquire information related to vibration collected by the microphone 120.
The FFT analyzer 130 performs a fast Fourier transform process on information related to vibration acquired from the microphone 120 according to a predetermined algorithm stored therein, and converts the information into a signal representing the intensity for each frequency.
As shown in FIG. 3, when the vibration (elastic wave) collected by the microphone 120 is converted into a signal representing the intensity for each frequency, the signal has a plurality of peaks (indicated by peak numbers (1) to (16)). included. These plural peaks appear in a specific frequency band depending on the material and shape of the sintered product 10.

渦流センサ１５０は本発明に係る渦電流検出手段の実施の一形態であり、焼結品１０の表面領域における誘起領域に誘起された渦電流の変化を検出するものである。渦流センサ１５０は専用品でも良いが、市販の渦流センサを用いて達成することも可能である。
ここで、「対象物の表面領域」は、対象物の表面および当該表面から所定の深さ（渦電流が発生し得る深さ）までの領域を指す。
また、「対象物の表面領域における誘起領域」は、対象物の表面領域のうち渦電流検出手段により渦電流が誘起されている領域を指し、通常は対象物の表面領域のうち渦流検出手段と近接（対向）する部分を指す。 The eddy current sensor 150 is an embodiment of the eddy current detection means according to the present invention, and detects a change in eddy current induced in the induction region in the surface region of the sintered product 10. The eddy current sensor 150 may be a dedicated product, but can also be achieved using a commercially available eddy current sensor.
Here, the “surface region of the object” refers to the surface of the object and a region from the surface to a predetermined depth (depth at which eddy current can be generated).
The “induced area in the surface area of the object” refers to an area in the surface area of the object in which eddy current is induced by the eddy current detecting means, and usually the eddy current detecting means in the surface area of the object. It refers to the part that is close (opposite).

渦流センサ１５０はコイルを有し、当該コイルを焼結品１０の表面近傍に配置（焼結品１０の表面に対向）した状態で交流電流を流すことにより、焼結品１０の表面領域における誘起領域に電磁誘導による渦電流を誘起する。
また、焼結品１０の表面領域における誘起領域に割れ（クラック）等の欠陥が有る場合と欠陥が無い場合とでは誘起領域に誘起された渦電流の分布が異なり、当該渦電流により渦流センサ１５０のコイルに誘起される誘起電圧が変化する。従って、渦流センサ１５０のコイルに誘起される誘起電圧の変化を検出することにより、誘起領域における欠陥の有無を判定することが可能である。 The eddy current sensor 150 has a coil, and induces in the surface region of the sintered product 10 by flowing an alternating current in a state where the coil is arranged near the surface of the sintered product 10 (opposite the surface of the sintered product 10). An eddy current is induced in the region by electromagnetic induction.
Further, the distribution of eddy currents induced in the induction region differs depending on whether the induction region in the surface region of the sintered product 10 has a defect such as a crack or not, and the eddy current sensor 150 depends on the eddy current. The induced voltage induced in the coil changes. Therefore, by detecting a change in the induced voltage induced in the coil of the eddy current sensor 150, it is possible to determine the presence or absence of a defect in the induced region.

スライドユニット１６０は渦流センサ１５０を所定の位置に所定の姿勢で支持するものであり、レール部材１６１、スライド部材１６２を具備する。   The slide unit 160 supports the eddy current sensor 150 at a predetermined position in a predetermined posture, and includes a rail member 161 and a slide member 162.

レール部材１６１は長手方向に延びた形状の部材である。本実施例のレール部材１６１はその長手方向を略上下方向に一致させた姿勢で他の構造体または地面に固定される。   The rail member 161 is a member extending in the longitudinal direction. The rail member 161 of the present embodiment is fixed to another structure or the ground in a posture in which the longitudinal direction thereof is substantially matched with the vertical direction.

スライド部材１６２はレール部材１６１に係合しつつレール部材１６１の長手方向に沿って摺動可能であり、かつレール部材１６１の長手方向の任意の位置で固定可能である。
また、スライド部材１６２は渦流センサ１５０を載置台１０５に載置された焼結品１０に対して接近または離間可能に支持する。 The slide member 162 can slide along the longitudinal direction of the rail member 161 while engaging with the rail member 161, and can be fixed at an arbitrary position in the longitudinal direction of the rail member 161.
Further, the slide member 162 supports the eddy current sensor 150 so as to be able to approach or be separated from the sintered product 10 placed on the placing table 105.

このように、スライドユニット１６０は、渦流センサ１５０を所定の位置（本実施例の場合、載置台１０５に載置された焼結品１０の外周面から所定の間隔を空けるとともに渦電流を誘起可能な程度に近接した位置であり、焼結品１０の外周面から０．５ｍｍ程度離間した位置）に支持することが可能であるとともに、渦流センサ１５０を所定の姿勢（本実施例の場合、渦流センサ１５０のコイルが載置台１０５に載置された焼結品１０の外周面に対向した姿勢）で支持することが可能である。   As described above, the slide unit 160 can induce the eddy current sensor 150 at a predetermined position (in the case of the present embodiment, a predetermined interval from the outer peripheral surface of the sintered product 10 placed on the mounting table 105 and induce an eddy current. It is possible to support the eddy current sensor 150 at a predetermined position (in the case of the present embodiment, the eddy current). The coil of the sensor 150 can be supported in a posture facing the outer peripheral surface of the sintered product 10 placed on the placing table 105.

アンプ１７０は渦流センサ１５０に接続され、渦流センサ１５０からの出力信号、すなわち渦電流により渦流センサ１５０のコイルに誘起される誘起電圧を増幅するものである。
アンプ１７０は専用品でも良いが、市販のアンプを用いて達成することも可能である。 The amplifier 170 is connected to the eddy current sensor 150 and amplifies an output signal from the eddy current sensor 150, that is, an induced voltage induced in the coil of the eddy current sensor 150 by the eddy current.
The amplifier 170 may be a dedicated product, but can be achieved by using a commercially available amplifier.

ロータリエンコーダ１８０は本発明に係る誘起領域位置検出手段の実施の一形態であり、焼結品１０の表面領域における誘起領域の位置を検出するものである。
ロータリエンコーダ１８０は載置台１０５のモータ１０７に設けられ、モータ１０７の回転軸の回転角度を検出する。
本実施例の場合、焼結品１０を載置台１０５に載置する位置および姿勢（より厳密にはターンテーブル１０６と焼結品１０との相対的な位置関係）を予め設定しておけば、（１）焼結品１０の形状が略リング形状であり、（２）焼結品１０の外周面に対向する位置に渦流センサ１５０が配置され、（３）焼結品１０の表面領域における誘起領域は通常は渦流センサ１５０が近接（対向）する部分であることから、モータ１０７の回転軸の回転角度を検出することにより焼結品１０の外周面のうちどの部分が渦流センサ１５０に近接（対向）した位置にあるか（焼結品１０の外周面のうちどの部分が誘起領域となっているか）を判定することができる。 The rotary encoder 180 is an embodiment of the induction region position detecting means according to the present invention, and detects the position of the induction region in the surface region of the sintered product 10.
The rotary encoder 180 is provided in the motor 107 of the mounting table 105 and detects the rotation angle of the rotation shaft of the motor 107.
In the case of the present embodiment, if the position and orientation (more precisely, the relative positional relationship between the turntable 106 and the sintered product 10) for placing the sintered product 10 on the mounting table 105 are set in advance, (1) The shape of the sintered product 10 is a substantially ring shape, (2) the eddy current sensor 150 is disposed at a position facing the outer peripheral surface of the sintered product 10, and (3) induction in the surface region of the sintered product 10. Since the region is usually a portion where the eddy current sensor 150 approaches (opposites), by detecting the rotation angle of the rotation shaft of the motor 107, which portion of the outer peripheral surface of the sintered product 10 is close to the eddy current sensor 150 ( It can be determined whether it is in a position facing (which portion of the outer peripheral surface of the sintered product 10 is an induction region).

制御装置１４０は主として制御部１４１、入力部１４２、表示部１４３等を具備する。   The control device 140 mainly includes a control unit 141, an input unit 142, a display unit 143, and the like.

制御部１４１は欠陥検出装置１００の一連の動作を制御するものである。
制御部１４１は、種々のプログラム等（例えば、後述する検出動作制御プログラム、相関係数算出プログラム、判定プログラム、欠陥位置判定プログラムおよび各種データ等）を格納し、これらのプログラム等を展開し、これらのプログラム等に従って所定の演算を行い、演算結果等を保管（記憶）することができる。 The control unit 141 controls a series of operations of the defect detection apparatus 100.
The control unit 141 stores various programs and the like (for example, a detection operation control program, a correlation coefficient calculation program, a determination program, a defect position determination program, and various data described later), expands these programs, and the like. It is possible to perform a predetermined calculation according to the above program and store (store) the calculation result and the like.

制御部１４１は、実体的には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等がバスで接続される構成であっても良く、あるいはワンチップのＬＳＩ等からなる構成であっても良い。
本実施例の制御部１４１は専用品であるが、市販のパーソナルコンピュータやワークステーション等に上記プログラム等を格納したもので達成することも可能である。 The control unit 141 may actually be configured such that a CPU, ROM, RAM, HDD, or the like is connected by a bus, or may be configured by a one-chip LSI or the like.
Although the control unit 141 of this embodiment is a dedicated product, it can also be achieved by storing the above-described program in a commercially available personal computer or workstation.

制御部１４１はモータ１０７に接続され、載置台１０５のターンテーブル１０６、ひいてはターンテーブル１０６に載置された焼結品１０を水平面に沿って回転させるための信号を送信することが可能である。
制御部１４１は電磁インパクタ１１０に接続され、電磁インパクタ１１０の動作を制御する（ハンマ１１２の突出および没入を行う、ひいては焼結品１０への打撃の付与を行う）ための信号を送信することが可能である。
制御部１４１はＦＦＴアナライザ１３０に接続され、ＦＦＴアナライザ１３０により変換された周波数毎の強度を表す信号を取得することが可能である。
制御部１４１はアンプ１７０に接続され、アンプ１７０からの出力信号、すなわち渦電流により渦流センサ１５０のコイルに誘起される誘起電圧を増幅したものを取得することが可能である。
制御部１４１はロータリエンコーダ１８０に接続され、ロータリエンコーダ１８０により検出された回転角に係る信号、すなわち焼結品１０の外周面における渦流センサ１５０に対向する位置に係る情報を取得することが可能である。 The control unit 141 is connected to the motor 107, and can transmit a signal for rotating the turntable 106 of the mounting table 105, and consequently the sintered product 10 mounted on the turntable 106, along a horizontal plane.
The control unit 141 is connected to the electromagnetic impactor 110, and can transmit a signal for controlling the operation of the electromagnetic impactor 110 (protruding and immersing the hammer 112, and thus imparting impact to the sintered product 10). Is possible.
The controller 141 is connected to the FFT analyzer 130 and can acquire a signal representing the intensity for each frequency converted by the FFT analyzer 130.
The control unit 141 is connected to the amplifier 170, and can obtain an output signal from the amplifier 170, that is, an amplification of the induced voltage induced in the coil of the eddy current sensor 150 by the eddy current.
The control unit 141 is connected to the rotary encoder 180 and can acquire a signal related to the rotation angle detected by the rotary encoder 180, that is, information related to the position facing the eddy current sensor 150 on the outer peripheral surface of the sintered product 10. is there.

入力部１４２は制御部１４１に接続され、制御部１４１に欠陥検出装置１００の動作に係る種々の情報・指示等を入力するものである。
本実施例の入力部１４２は専用品であるが、市販のキーボード、マウス、ポインティングデバイス、ボタン、スイッチ等を用いても同様の効果を達成することが可能である。 The input unit 142 is connected to the control unit 141, and inputs various information / instructions related to the operation of the defect detection apparatus 100 to the control unit 141.
Although the input unit 142 of the present embodiment is a dedicated product, the same effect can be achieved even if a commercially available keyboard, mouse, pointing device, button, switch, or the like is used.

表示部１４３は欠陥検出装置１００の動作状況、入力部１４２から制御部１４１への入力内容、欠陥検出装置１００による検出結果等を表示するものである。
本実施例の表示部１４３は専用品であるが、市販のモニターや液晶ディスプレイ等を用いても同様の効果を達成することが可能である。 The display unit 143 displays the operation status of the defect detection device 100, the input content from the input unit 142 to the control unit 141, the detection result by the defect detection device 100, and the like.
Although the display unit 143 of this embodiment is a dedicated product, the same effect can be achieved even if a commercially available monitor, liquid crystal display, or the like is used.

また、市販のタッチパネル等を用いて入力部１４２としての機能と表示部１４３としての機能を一体化したものを達成することが可能である。   Moreover, it is possible to achieve what integrated the function as the input part 142 and the function as the display part 143 using a commercially available touch panel etc. FIG.

以下では、制御部１４１の詳細構成について説明する。
制御部１４１は、機能的には検出動作制御部１４１ａ、相関係数算出部１４１ｂ、判定部１４１ｃ、欠陥位置判定部１４１ｄを具備する。 Below, the detailed structure of the control part 141 is demonstrated.
The control unit 141 functionally includes a detection operation control unit 141a, a correlation coefficient calculation unit 141b, a determination unit 141c, and a defect position determination unit 141d.

検出動作制御部１４１ａは欠陥検出装置１００の動作を制御するものである。
実体的には、制御部１４１が、予め格納された検出動作制御プログラムに従って所定の演算等を行うことにより、検出動作制御部１４１ａとしての機能を果たす。 The detection operation control unit 141a controls the operation of the defect detection apparatus 100.
Substantially, the control unit 141 functions as the detection operation control unit 141a by performing a predetermined calculation or the like according to a detection operation control program stored in advance.

本実施例では、検出動作制御部１４１ａは電磁インパクタ１１０の動作を制御して焼結品１０に打撃を付与する。   In the present embodiment, the detection operation control unit 141 a controls the operation of the electromagnetic impactor 110 to give a hit to the sintered product 10.

相関係数算出部１４１ｂは本発明に係る相関係数算出手段の実施の一形態であり、欠陥が無いことが分かっている基準対象物について予め取得された周波数毎の強度を表す信号における複数のピークのピーク周波数と、前記振動変換手段により変換された信号に含まれる複数のピークと、の間の相関係数を算出するものである。
実体的には、制御部１４１が、予め格納された相関係数算出プログラムに従って所定の演算等を行うことにより、相関係数算出部１４１ｂとしての機能を果たす。 The correlation coefficient calculation unit 141b is an embodiment of the correlation coefficient calculation unit according to the present invention, and a plurality of signals in the signal representing the intensity for each frequency acquired in advance for a reference object that is known to be free of defects. A correlation coefficient between the peak frequency of the peak and a plurality of peaks included in the signal converted by the vibration converting means is calculated.
Substantially, the control unit 141 functions as the correlation coefficient calculation unit 141b by performing a predetermined calculation or the like according to a correlation coefficient calculation program stored in advance.

「基準対象物」は対象物と基本的には同じ形状、材質、重量の物品であり、他の方法（例えば、Ｘ線透過画像による欠陥の有無の判定、渦流センサや超音波による探傷等）により欠陥が内部（または表面）に無いことが予め確認されている（分かっている）ものを指す。
「ピーク周波数」は、振動変換手段により変換された信号に含まれる複数のピークのそれぞれについて、その強度が最大となるときの周波数を指す。 A “reference object” is an article having basically the same shape, material, and weight as the object, and other methods (for example, determination of presence / absence of defects by an X-ray transmission image, flaw detection by an eddy current sensor or ultrasonic waves, etc.) Indicates that the defect is not confirmed in the interior (or the surface).
“Peak frequency” refers to the frequency at which the intensity of each of a plurality of peaks included in the signal converted by the vibration converting means is maximized.

制御部１４１は、他の方法により欠陥が内部（または表面）に無いことが予め確認されている計Ｎ個の焼結品１０を基準対象物（図４では「基準品」と表示）として、これらの基準対象物についてそれぞれ取得された周波数毎の強度を表す信号（図３と同様の信号）における（ａ）計１６個のピークのピーク周波数の値（Ｘ１〜Ｘ１６）、および、（ｂ）各基準対象物についての計１６個のピークのピーク周波数の平均値（Ｘａｖｅ）を算出し、これらを図４（Ａ）に示す如き「基準データ」として格納している。
なお、図４（Ａ）に示すピーク番号は、各ピークに付した番号であり、本実施例では周波数が低い順に１、２・・・、１６と番号を付している。 The control unit 141 uses a total of N sintered products 10 that have been confirmed in advance to be free from defects (or surfaces) by other methods as reference objects (indicated as “reference products” in FIG. 4). (A) Peak frequency values (X1 to X16) of a total of 16 peaks in a signal (the same signal as in FIG. 3) representing the intensity for each frequency acquired for each of these reference objects, and (b) An average value (Xave) of peak frequencies of a total of 16 peaks for each reference object is calculated, and these are stored as “reference data” as shown in FIG.
Note that the peak numbers shown in FIG. 4A are numbers assigned to the respective peaks, and in this embodiment, numbers 1, 2,..., 16 are assigned in ascending order of frequency.

相関係数算出部１４１ｂは、ＦＦＴアナライザ１３０により変換された検査対象となる焼結品１０（検査品）についての周波数毎の強度を表す信号に基づいて、当該信号に含まれる計１６個のピーク（図３参照）のピーク周波数の値（Ｙ１〜Ｙ１６）、および、これらのピーク周波数の平均値（Ｙａｖｅ）を算出し、これらを図４（Ｂ）に示す如き「検査データ」とする。   The correlation coefficient calculation unit 141b, based on the signal representing the intensity for each frequency of the sintered product 10 (inspected product) to be inspected converted by the FFT analyzer 130, a total of 16 peaks included in the signal. The peak frequency values (Y1 to Y16) (see FIG. 3) and the average value (Yave) of these peak frequencies are calculated and set as “inspection data” as shown in FIG. 4B.

相関係数算出部１４１ｂは、上記「基準データ」と「検査データ」とに基づいて、以下の数１に示す「基準データ」と「検査データ」との間の相関係数（ｒ）を算出する。   The correlation coefficient calculation unit 141b calculates the correlation coefficient (r) between the “reference data” and the “inspection data” shown in the following equation 1 based on the “reference data” and the “inspection data”. To do.

Figure 2008232763
Figure 2008232763

なお、本実施例における相関係数（ｒ）は、いわゆるピアソンの積率相関係数（Ｐｅａｒｓｏｎ ｐｒｏｄｕｃｔ−ｍｏｍｅｎｔ ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ）であるが、本発明に係る相関係数はこれに限定されず、他の相関係数、例えばスピアマンの順位相関係数（Ｓｐｅａｒｍａｎ’ｓ ｒａｎｋ ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ）やケンドールの順位相関係数（Ｋｅｎｄａｌｌ ｔａｕ ｒａｎｋ ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ）でも良い。   The correlation coefficient (r) in the present embodiment is a so-called Pearson product-moment correlation coefficient, but the correlation coefficient according to the present invention is not limited to this, It may be a correlation coefficient, for example, Spearman's rank correlation coefficient or Kendall's rank correlation coefficient.

本実施例では、計Ｎ個の基準対象物のそれぞれについての基準データと検査データとの間で計Ｎ個の相関係数（ｒ１〜ｒＮ）をそれぞれ算出する。なお、基準対象物の数（Ｎ個）については、対象物の性質等に応じて適宜選択する必要がある。   In the present embodiment, a total of N correlation coefficients (r1 to rN) are calculated between the reference data and the inspection data for each of the N reference objects. The number of reference objects (N) needs to be appropriately selected according to the properties of the objects.

判定部１４１ｃは本発明に係る判定手段の実施の一形態であり、相関係数算出部１４１ｂにより算出された相関係数（ｒ）に基づいて焼結品１０の欠陥の有無を判定するものである。
実体的には、制御部１４１が、予め格納された判定プログラムに従って所定の演算等を行うことにより、判定部１４１ｃとしての機能を果たす。 The determination unit 141c is an embodiment of the determination unit according to the present invention, and determines the presence or absence of defects in the sintered product 10 based on the correlation coefficient (r) calculated by the correlation coefficient calculation unit 141b. is there.
Substantially, the control unit 141 functions as the determination unit 141c by performing a predetermined calculation or the like according to a determination program stored in advance.

制御部１４１は、他の方法により欠陥が内部（または表面）に無いことが予め確認されている複数の焼結品１０・・・（図５において「良品」と表示）、および、他の方法により欠陥が内部（または表面）に有ることが予め確認されている複数の焼結品１０・・・（図５において「不良品」と表示）のそれぞれについて、複数（本実施例の場合、１６個）のピーク周波数の値およびこれらの平均値を算出し、これらの算出値と上記「基準データ」との間の相関係数（本実施例の場合、計Ｎ個の相関係数の平均値）を算出することにより設定された「閾値」を格納している。   The control unit 141 includes a plurality of sintered products 10 (indicated as “non-defective” in FIG. 5) that have been confirmed in advance by other methods to have no defects inside (or on the surface), and other methods. Thus, for each of a plurality of sintered products 10 (indicated as “defective products” in FIG. 5) that have been confirmed in advance to have defects inside (or on the surface), a plurality of (in the case of this embodiment, 16 Peak frequency values and average values thereof, and a correlation coefficient between these calculated values and the above “reference data” (in the case of the present embodiment, an average value of a total of N correlation coefficients) ) Is stored, the “threshold value” set is calculated.

図５に示す如く、不良品群の相関係数の値と良品群の相関係数とは値が大きく異なっており、不良品群の相関係数の値は０．９９９７未満であるのに対して良品群の相関係数の値は０．９９９９以上である。従って、両者の境界となる相関係数の値を閾値として設定し、当該閾値と検査対象となる対象物についての相関係数の値とを比較することにより、欠陥の有無を判定することが可能である。
なお、本実施例では図５に示す如く閾値を「０．９９９９８」に設定しているが、不良品群の相関係数の値と良品群の相関係数との境界領域にある数値であれば良い。従って、図５に示す場合であれば、閾値を０．９９９７〜０．９９９９の範囲に含まれる他の値に設定しても良い。
また、閾値の値は対象物の性状等により変動し得るものであることから、対象物の種類毎に予め実験等を行うことにより適宜設定することが望ましい。 As shown in FIG. 5, the correlation coefficient value of the defective product group is significantly different from the correlation coefficient value of the non-defective product group, whereas the correlation coefficient value of the defective product group is less than 0.9997. The value of the correlation coefficient of the good product group is 0.9999 or more. Therefore, it is possible to determine the presence / absence of a defect by setting the correlation coefficient value that is the boundary between the two as a threshold value and comparing the threshold value with the correlation coefficient value for the object to be inspected. It is.
In this embodiment, the threshold value is set to “0.99998” as shown in FIG. 5, but it may be a numerical value in the boundary region between the correlation coefficient value of the defective product group and the correlation coefficient of the good product group. It ’s fine. Therefore, in the case shown in FIG. 5, the threshold value may be set to another value included in the range of 0.9997 to 0.9999.
In addition, since the threshold value can vary depending on the properties of the object, it is desirable to set the threshold appropriately by conducting an experiment or the like in advance for each type of object.

判定部１４１ｃは、相関係数算出部１４１ｂにより算出された計Ｎ個の相関係数（ｒ１〜ｒＮ）の平均値を算出し、これを「最終的な相関係数」とする。
判定部１４１ｃは、「最終的な相関係数」の値が、「閾値（０．９９９８）」以上である場合には検査対象となる焼結品１０には欠陥が無いと判定し、「閾値（０．９９９８）」未満である場合には検査対象となる焼結品１０には欠陥が有ると判定する。 The determination unit 141c calculates an average value of the total N correlation coefficients (r1 to rN) calculated by the correlation coefficient calculation unit 141b, and sets this as a “final correlation coefficient”.
When the value of “final correlation coefficient” is equal to or greater than “threshold (0.9998)”, the determination unit 141c determines that the sintered article 10 to be inspected has no defect, If it is less than (0.9998), it is determined that the sintered product 10 to be inspected has a defect.

本実施例では複数の基準対象物と検査対象たる対象物との間でそれぞれ相関係数を算出し、算出された複数の相関係数の平均値を「最終的な相関係数」として、「最終的な相関係数」に基づいて（相関係数の平均値と閾値とを比較することにより）検査対象たる対象物の欠陥の有無を判定する構成としたが、本発明はこれに限定されず、一つの基準対象物についての基準データと検査データとの相関係数を算出し、これを「最終的な相関係数」とする構成としても良い。   In this embodiment, correlation coefficients are calculated between a plurality of reference objects and an object to be inspected, and an average value of the calculated plurality of correlation coefficients is set as a “final correlation coefficient”. Based on the “final correlation coefficient” (by comparing the average value of the correlation coefficient with a threshold value), it is configured to determine whether or not there is a defect in the object to be inspected. However, the present invention is not limited to this. Instead, the correlation coefficient between the reference data and the inspection data for one reference object may be calculated and used as the “final correlation coefficient”.

欠陥位置判定部１４１ｄは本発明に係る欠陥位置判定手段の実施の一形態であり、（ａ）渦流センサ１５０により検出された焼結品１０の表面領域における誘起領域に誘起された渦電流の変化、および（ｂ）ロータリエンコーダ１８０により検出された誘起領域の位置（本実施例の場合、モータ１０７の回転軸の回転角度）に基づいて、焼結品１０における欠陥の位置を判定するものである。
実体的には、制御部１４１が、予め格納された欠陥判定プログラムに従って所定の演算等を行うことにより、欠陥位置判定部１４１ｄとしての機能を果たす。 The defect position determination unit 141d is an embodiment of the defect position determination means according to the present invention. (A) Changes in eddy currents induced in the induction region in the surface region of the sintered product 10 detected by the eddy current sensor 150. And (b) The position of the defect in the sintered product 10 is determined based on the position of the induction region detected by the rotary encoder 180 (in this embodiment, the rotation angle of the rotating shaft of the motor 107). .
Substantially, the control unit 141 performs a predetermined calculation or the like according to a defect determination program stored in advance, thereby serving as a defect position determination unit 141d.

欠陥位置判定部１４１ｄは、判定部１４１ｃが検査対象たる焼結品１０（ターンテーブル１０６に載置された焼結品１０）に欠陥が有ると判定した場合には、モータ１０７を回転駆動して焼結品１０を回転させつつ、渦流センサ１５０により図６に示す如き渦電流の変化（コイルの誘導電圧の変化）を取得するとともにロータリエンコーダ１８０によりモータ１０７の回転軸の回転角度θを取得する。   When the determination unit 141c determines that the sintered product 10 to be inspected (sintered product 10 placed on the turntable 106) has a defect, the defect position determination unit 141d drives the motor 107 to rotate. While rotating the sintered product 10, the eddy current sensor 150 obtains a change in eddy current (change in the induced voltage of the coil) as shown in FIG. 6 and the rotary encoder 180 obtains the rotation angle θ of the rotating shaft of the motor 107. .

欠陥位置判定部１４１ｄは、渦流センサ１５０のコイルの誘導電圧の変化が所定の上限値Ｂ１を上回ったときまたは所定の下限値Ｂ２を下回ったときのモータ１０７の回転軸の回転角度を算出し、算出された回転角度に基づいて焼結品１０における欠陥の位置を判定する。
渦流センサ１５０のコイルの誘導電圧の変化が所定の上限値Ｂ１を上回ること、または所定の下限値Ｂ２を下回ることは、そのときに焼結品１０において渦流センサ１５０に近接する（対向する）位置、すなわち誘起領域に欠陥が存在することを意味する。
従って、渦流センサ１５０のコイルの誘導電圧の変化が所定の上限値Ｂ１を上回るまたは所定の下限値Ｂ２を下回るときのモータ１０７の回転軸の回転角度を算出することにより、焼結品１０における欠陥の位置を精度良く判定することが可能である。 The defect position determination unit 141d calculates the rotation angle of the rotating shaft of the motor 107 when the change in the induced voltage of the coil of the eddy current sensor 150 exceeds the predetermined upper limit value B1 or falls below the predetermined lower limit value B2. The position of the defect in the sintered product 10 is determined based on the calculated rotation angle.
When the change in the induced voltage of the coil of the eddy current sensor 150 exceeds the predetermined upper limit value B1 or lower than the predetermined lower limit value B2, the position close to (opposite) the eddy current sensor 150 in the sintered product 10 at that time. That is, it means that a defect exists in the induction region.
Therefore, by calculating the rotation angle of the rotating shaft of the motor 107 when the change in the induced voltage of the coil of the eddy current sensor 150 exceeds the predetermined upper limit value B1 or lower than the predetermined lower limit value B2, the defect in the sintered product 10 is calculated. Can be accurately determined.

なお、本実施例では、対象物である焼結品１０の形状が略リング状であり、焼結品１０の外周面のどの部分に欠陥が有るかを判定することを目的とすることから、焼結品１０を回転しつつ渦流センサ１５０でコイルの誘導電圧の変化を検出する構成としたが、本発明はこれに限定されず、対象物の形状によっては対象物を固定し、渦流センサを対象物に沿って走査することにより欠陥の位置を判定する構成としても良い。   In this embodiment, the shape of the sintered product 10 that is the object is substantially ring-shaped, and the purpose is to determine which part of the outer peripheral surface of the sintered product 10 is defective, Although the eddy current sensor 150 detects a change in the induced voltage of the coil while rotating the sintered product 10, the present invention is not limited to this, and depending on the shape of the object, the object is fixed and the eddy current sensor is used. It is good also as a structure which determines the position of a defect by scanning along a target object.

以上の如く、欠陥検出装置１００は、
焼結品１０に打撃を付与する電磁インパクタ１１０と、
電磁インパクタ１１０により打撃が付与された焼結品１０から発せられる振動を収集するマイクロホン１２０と、
マイクロホン１２０により収集された振動を周波数毎の強度を表す信号に変換するＦＦＴアナライザ１３０と、
欠陥が無いことが分かっている基準対象物（本実施例の場合、図４に示す基準品１乃至基準品Ｎ）について予め取得された周波数毎の強度を表す信号における複数のピークのピーク周波数（Ｘ１乃至Ｘ１６）と、ＦＦＴアナライザ１３０により変換された信号に含まれる複数のピークのピーク周波数（Ｙ１乃至Ｙ１６）と、の間の相関係数（ｒ１〜ｒＮ）を算出する相関係数算出部１４１ｂと、
相関係数算出部１４１ｂにより算出された相関係数（本実施例の場合、ｒ１〜ｒＮの平均値）に基づいて焼結品１０の欠陥の有無を判定する判定部１４１ｃと、
を具備するものである。
このように構成することは、以下の如き利点を有する。
すなわち、打撃が付与された対象物から発せられる振動をマイクロホン等により収集し、これを周波数毎に強度を表す信号に変換したもののうち、特定の周波数帯を一つだけ選択し、選択された周波数帯におけるピーク周波数の値により対象物の欠陥の有無を判定する従来の構成では、対象物の重量や形状、材質等のバラツキによるピーク周波数の変動量が欠陥の有無によるピーク周波数の変動量よりも大きい場合には対象物の欠陥の有無を精度良く検出することが困難である。
これに対して、欠陥検出装置１００は、複数のピーク周波数についての相関係数を算出しこれに基づいて欠陥の有無を判定することから、焼結品１０から発せられる振動の広範囲な周波数帯におけるピーク周波数の変動量を総合的に勘案して焼結品１０の欠陥の有無を判定することとなる。
従って、欠陥検出装置１００は、従来の構成では欠陥の有無の判定が困難であった対象物についても精度良く欠陥の有無を判定することが可能である。 As described above, the defect detection apparatus 100 is
An electromagnetic impactor 110 for imparting impact to the sintered product 10;
A microphone 120 that collects vibrations emitted from the sintered article 10 that has been hit by the electromagnetic impactor 110;
An FFT analyzer 130 for converting the vibration collected by the microphone 120 into a signal representing the intensity for each frequency;
Peak frequencies of a plurality of peaks in a signal representing the intensity at each frequency acquired in advance for a reference object that is known to be free of defects (in the case of this embodiment, reference products 1 to N shown in FIG. 4). X1 to X16) and a correlation coefficient calculation unit 141b that calculates correlation coefficients (r1 to rN) between the peak frequencies (Y1 to Y16) of a plurality of peaks included in the signal converted by the FFT analyzer 130. When,
A determination unit 141c that determines the presence or absence of defects in the sintered product 10 based on the correlation coefficient calculated by the correlation coefficient calculation unit 141b (in this example, the average value of r1 to rN);
It comprises.
Such a configuration has the following advantages.
That is, by collecting vibrations emitted from the hit object using a microphone, etc., and converting this to a signal representing the intensity for each frequency, select only one specific frequency band, and the selected frequency In the conventional configuration in which the presence or absence of defects in the object is determined based on the peak frequency value in the band, the amount of fluctuation in peak frequency due to variations in the weight, shape, material, etc. of the object is greater than the amount of fluctuation in peak frequency due to the presence or absence of defects. If it is large, it is difficult to accurately detect the presence or absence of defects in the object.
On the other hand, since the defect detection apparatus 100 calculates correlation coefficients for a plurality of peak frequencies and determines the presence or absence of defects based on the correlation coefficients, the defect detection apparatus 100 has a wide frequency band of vibrations emitted from the sintered product 10. The presence or absence of defects in the sintered product 10 is determined by comprehensively considering the amount of fluctuation of the peak frequency.
Therefore, the defect detection apparatus 100 can accurately determine the presence / absence of a defect even for an object for which it was difficult to determine the presence / absence of a defect in the conventional configuration.

また、欠陥検出装置１００の判定部１４１ｃは、
相関係数算出部１４１ｂにより算出された相関係数（本実施例の場合、ｒ１〜ｒＮの平均値）が、予め設定された所定の閾値以上である場合には焼結品１０に欠陥が無いと判定し、閾値未満である場合には焼結品１０に欠陥が有ると判定するものである。
このように構成することにより、欠陥の有無の判定に係る演算量を削減し、当該判定に要する時間を短縮することが可能である。 The determination unit 141c of the defect detection apparatus 100 is
When the correlation coefficient calculated by the correlation coefficient calculation unit 141b (in this embodiment, the average value of r1 to rN) is equal to or greater than a predetermined threshold value set in advance, the sintered product 10 has no defect. If it is less than the threshold value, it is determined that the sintered product 10 has a defect.
With this configuration, it is possible to reduce the amount of calculation related to the determination of the presence / absence of a defect and to shorten the time required for the determination.

本実施例では焼結品１０についての周波数毎の強度を表す信号のうち、計１６個のピークを用いて相関係数を算出する構成としたが、用いるピークの数は２個以上であれば本発明の効果を奏する。
ただし、本発明は本来単一のピークについてのピーク周波数の値のみでは欠陥の有無の判定が困難な対象物について精度良く欠陥の有無の判定を行うものであることから、相関係数を算出する際に用いるピークの数は本実施例の如く極力多く設定することが望ましい。 In this embodiment, the correlation coefficient is calculated using a total of 16 peaks out of signals representing the intensity for each frequency of the sintered product 10, but the number of peaks used is 2 or more. The effects of the present invention are exhibited.
However, since the present invention accurately determines the presence / absence of a defect with respect to an object for which it is difficult to determine the presence / absence of a defect with only a peak frequency value for a single peak, the correlation coefficient is calculated. It is desirable to set the number of peaks used as much as possible as in this embodiment.

また、欠陥検出装置１００は、
焼結品１０の表面領域における誘起領域に誘起された渦電流の変化を検出する渦流センサ１５０と、
焼結品１０の表面領域における誘起領域の位置を検出するロータリエンコーダ１８０と、
渦流センサ１５０により検出された渦電流の変化およびロータリエンコーダ１８０により検出された誘起領域の位置に基づいて、焼結品１０における欠陥の位置を判定する欠陥位置判定部１４１ｄと、
を具備するものである。
このように構成することにより、焼結品１０について欠陥の位置を精度良く判定することが可能である。
特に、焼結品１０の欠陥の位置に係る情報を焼結品１０の製造工程にフィードバックすることにより、焼結品１０の製造工程における欠陥の発生の原因究明、ひいては焼結品１０の製造工程の改善（製品歩留まり、生産性の向上）に寄与する。 In addition, the defect detection apparatus 100 includes:
An eddy current sensor 150 for detecting a change in eddy current induced in the induction region in the surface region of the sintered article 10;
A rotary encoder 180 for detecting the position of the induction region in the surface region of the sintered article 10;
A defect position determination unit 141d that determines the position of the defect in the sintered article 10 based on the change in the eddy current detected by the eddy current sensor 150 and the position of the induction region detected by the rotary encoder 180;
It comprises.
By configuring in this way, it is possible to accurately determine the position of the defect in the sintered product 10.
In particular, the information on the position of the defect in the sintered product 10 is fed back to the manufacturing process of the sintered product 10 to investigate the cause of the occurrence of defects in the manufacturing process of the sintered product 10, and thus the manufacturing process of the sintered product 10. Contribute to improvement (product yield, productivity improvement).

以下では、図１および図７を用いて本発明に係る欠陥検出方法の第一実施例について説明する。
本発明に係る欠陥検出方法の第一実施例は欠陥検出装置１００を用いて焼結品１０の内部の欠陥の有無を検出する方法であり、図７に示す如く、主として振動収集工程Ｓ１１００、信号変換工程Ｓ１２００、相関係数算出工程Ｓ１３００、判定工程Ｓ１４００、を具備する。 Below, the 1st Example of the defect detection method which concerns on this invention is described using FIG. 1 and FIG.
The first embodiment of the defect detection method according to the present invention is a method for detecting the presence or absence of defects inside the sintered product 10 using the defect detection apparatus 100. As shown in FIG. A conversion step S1200, a correlation coefficient calculation step S1300, and a determination step S1400 are provided.

振動収集工程Ｓ１１００は打撃が付与された焼結品１０から発せられる振動（弾性波）を収集する工程である。
振動収集工程Ｓ１１００において、電磁インパクタ１１０により焼結品１０に打撃が付与され、マイクロホン１２０により焼結品１０から発せられる振動（弾性波）が収集される。
振動収集工程Ｓ１１００が終了したら、信号変換工程Ｓ１２００に移行する。 The vibration collection step S1100 is a step of collecting vibrations (elastic waves) emitted from the sintered product 10 to which the impact is applied.
In the vibration collection step S1100, the sintered product 10 is hit by the electromagnetic impactor 110, and the vibration (elastic wave) emitted from the sintered product 10 is collected by the microphone 120.
When the vibration collection step S1100 is completed, the process proceeds to the signal conversion step S1200.

信号変換工程Ｓ１２００は振動収集工程Ｓ１１００において収集された振動を周波数毎の強度を表す信号に変換する工程である。
信号変換工程Ｓ１２００において、ＦＦＴアナライザ１３０はマイクロホン１２０により収集された振動（弾性波）を図３に示す如き周波数毎の強度を表す信号に変換する。
信号変換工程Ｓ１２００が終了したら、相関係数算出工程Ｓ１３００に移行する。 The signal conversion step S1200 is a step of converting the vibration collected in the vibration collection step S1100 into a signal representing the intensity for each frequency.
In the signal conversion step S1200, the FFT analyzer 130 converts the vibration (elastic wave) collected by the microphone 120 into a signal representing the intensity for each frequency as shown in FIG.
When the signal conversion step S1200 ends, the process proceeds to a correlation coefficient calculation step S1300.

相関係数算出工程Ｓ１３００は欠陥が無いことが分かっているＮ個の基準対象物について予め取得された周波数毎の強度を表す信号における複数のピークのピーク周波数（Ｘ１〜Ｘ１６）と、信号変換工程Ｓ１２００において変換された信号に含まれる複数のピークのピーク周波数（Ｙ１〜Ｙ１６）と、の間の相関係数（ｒ１〜ｒＮ）を算出する工程である。
相関係数算出工程Ｓ１３００が終了したら、判定工程Ｓ１４００に移行する。 The correlation coefficient calculation step S1300 includes a peak conversion frequency (X1 to X16) of a plurality of peaks in a signal representing the intensity for each frequency acquired in advance for N reference objects that are known to be free of defects, and a signal conversion step. This is a step of calculating correlation coefficients (r1 to rN) between peak frequencies (Y1 to Y16) of a plurality of peaks included in the signal converted in S1200.
When the correlation coefficient calculation step S1300 ends, the process proceeds to the determination step S1400.

判定工程Ｓ１４００は、相関係数算出工程Ｓ１３００において算出された相関係数（本実施例の場合、ｒ１〜ｒＮの平均値）に基づいて焼結品１０の欠陥の有無を判定する工程である。   The determination step S1400 is a step of determining the presence or absence of defects in the sintered article 10 based on the correlation coefficient calculated in the correlation coefficient calculation step S1300 (in the case of the present embodiment, the average value of r1 to rN).

以上の如く本発明に係る欠陥検出方法の第一実施例を構成することにより、従来の構成では欠陥の有無の判定が困難であった対象物についても精度良く欠陥の有無を判定することが可能である。   By configuring the first embodiment of the defect detection method according to the present invention as described above, it is possible to accurately determine the presence / absence of a defect even for an object for which it was difficult to determine the presence / absence of a defect with the conventional configuration. It is.

また、本発明に係る欠陥検出方法の第一実施例の判定工程Ｓ１４００は、
相関係数算出工程Ｓ１３００において算出された相関係数（本実施例の場合、ｒ１〜ｒＮの平均値）が、予め設定された所定の閾値以上である場合には焼結品１０に欠陥が無いと判定し、閾値未満である場合には焼結品１０に欠陥が有ると判定するものである。
このように構成することにより、欠陥の有無の判定に係る演算量を削減し、当該判定に要する時間を短縮することが可能である。 In addition, the determination step S1400 of the first embodiment of the defect detection method according to the present invention includes:
When the correlation coefficient calculated in the correlation coefficient calculation step S1300 (in this example, the average value of r1 to rN) is equal to or greater than a predetermined threshold value, the sintered product 10 has no defect. If it is less than the threshold value, it is determined that the sintered product 10 has a defect.
With this configuration, it is possible to reduce the amount of calculation related to the determination of the presence / absence of a defect and reduce the time required for the determination.

以下では、図１および図８を用いて本発明に係る欠陥検出方法の第二実施例について説明する。
本発明に係る欠陥検出方法の第二実施例は欠陥検出装置１００を用いて焼結品１０の内部の欠陥の有無を検出する方法であり、図８に示す如く、主として振動収集工程Ｓ２１００、信号変換工程Ｓ２２００、相関係数算出工程Ｓ２３００、判定工程Ｓ２４００、渦電流変化・誘起領域位置検出工程Ｓ２５００、欠陥位置判定工程Ｓ２６００を具備する。
なお、振動収集工程Ｓ２１００、信号変換工程Ｓ２２００、相関係数算出工程Ｓ２３００については、それぞれ先に説明した本発明に係る欠陥検出方法の第一実施例における振動収集工程Ｓ１１００、信号変換工程Ｓ１２００、相関係数算出工程Ｓ１３００と略同じ構成であることから、詳細な説明を省略する。 Below, the 2nd Example of the defect detection method based on this invention is described using FIG. 1 and FIG.
The second embodiment of the defect detection method according to the present invention is a method for detecting the presence or absence of defects inside the sintered product 10 using the defect detection apparatus 100. As shown in FIG. A conversion step S2200, a correlation coefficient calculation step S2300, a determination step S2400, an eddy current change / induced region position detection step S2500, and a defect position determination step S2600 are provided.
The vibration collection step S2100, the signal conversion step S2200, and the correlation coefficient calculation step S2300 are respectively the vibration collection step S1100, the signal conversion step S1200, the phase in the first embodiment of the defect detection method according to the present invention described above. Since the configuration is substantially the same as that of the relationship number calculation step S1300, detailed description thereof is omitted.

判定工程Ｓ２４００は、相関係数算出工程Ｓ２３００において算出された相関係数（本実施例の場合、ｒ１〜ｒＮの平均値）に基づいて焼結品１０の欠陥の有無を判定する工程である。
判定工程Ｓ２４００において焼結品１０に欠陥が無いと判定された場合には本発明に係る欠陥検出方法の第二実施例は終了し、判定工程Ｓ２４００において焼結品１０に欠陥が有ると判定された場合には渦電流変化・誘起領域位置検出工程Ｓ２５００に移行する。 The determination step S2400 is a step of determining the presence or absence of defects in the sintered product 10 based on the correlation coefficient calculated in the correlation coefficient calculation step S2300 (in this example, the average value of r1 to rN).
When it is determined in the determination step S2400 that the sintered product 10 is free of defects, the second embodiment of the defect detection method according to the present invention is completed, and in the determination step S2400, it is determined that the sintered product 10 is defective. If YES, the process moves to the eddy current change / induced region position detection step S2500.

渦電流変化・誘起領域位置検出工程Ｓ２５００は、判定工程Ｓ２４００において焼結品１０に欠陥が有ると判定した場合に、焼結品１０の表面領域における誘起領域に誘起された渦電流の変化および焼結品１０の表面領域における誘起領域の位置を検出する工程である。
渦電流変化・誘起領域位置検出工程Ｓ２５００が終了したら、欠陥位置判定工程Ｓ２６００に移行する。 In the eddy current change / induced region position detection step S2500, when it is determined in the determination step S2400 that the sintered product 10 has a defect, the change of the eddy current induced in the induced region and the sintering in the surface region of the sintered product 10 are detected. This is a step of detecting the position of the induction region in the surface region of the bonded product 10.
When the eddy current change / induced region position detection step S2500 is completed, the process proceeds to the defect position determination step S2600.

欠陥位置判定工程Ｓ２６００は渦電流変化・誘起領域位置検出工程Ｓ２５００において検出された渦電流の変化および誘起領域の位置に基づいて、焼結品１０における欠陥の位置を判定する工程である。   The defect position determination step S2600 is a step of determining the position of the defect in the sintered product 10 based on the change in the eddy current detected in the eddy current change / induced region position detection step S2500 and the position of the induced region.

以上の如く本発明に係る欠陥検出方法の第二実施例を構成することにより、焼結品１０について欠陥の位置を精度良く判定することが可能である。
特に、判定工程Ｓ２４００において欠陥が無いと判定された焼結品１０に対してのみ渦電流変化・誘起領域位置検出工程Ｓ２５００および欠陥位置判定工程Ｓ２６００を施して欠陥の位置を判定することから、欠陥が無い焼結品１０に対して渦電流を用いた欠陥の検出を行うといった無駄な作業を省略することが可能であり、作業効率が良い。 By configuring the second embodiment of the defect detection method according to the present invention as described above, it is possible to accurately determine the position of the defect in the sintered product 10.
In particular, since the eddy current change / induced region position detection step S2500 and the defect position determination step S2600 are performed only on the sintered product 10 determined to have no defect in the determination step S2400, the defect position is determined. It is possible to omit a wasteful operation such as detecting a defect using an eddy current with respect to the sintered product 10 having no defect, and the work efficiency is good.

本発明に係る欠陥検出装置の実施の一形態を示す図。The figure which shows one Embodiment of the defect detection apparatus which concerns on this invention. 焼結品を示す斜視図。The perspective view which shows a sintered product. 周波数帯毎の強度を表す信号を示す図。The figure which shows the signal showing the intensity | strength for every frequency band. 複数の基準対象物のピーク周波数、および検査対象たる対象物のピーク周波数を示す図。The figure which shows the peak frequency of the some reference | standard object and the peak frequency of the target object which is a test object. 欠陥が無い複数の対象物および欠陥が有る複数の対象物についての相関係数を示す図。The figure which shows the correlation coefficient about the several target object without a defect, and the several target object with a defect. 渦電流に起因する誘導電圧とターンテーブルの回転角度との関係を示す図。The figure which shows the relationship between the induced voltage resulting from an eddy current, and the rotation angle of a turntable. 本発明に係る欠陥検出方法の第一実施例を示すフロー図。The flowchart which shows the 1st Example of the defect detection method which concerns on this invention. 本発明に係る欠陥検出方法の第二実施例を示すフロー図。The flowchart which shows the 2nd Example of the defect detection method which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 焼結品（対象物）
１１０ 電磁インパクタ（打撃付与手段）
１２０ マイクロホン（振動収集手段）
１３０ ＦＦＴアナライザ（信号変換手段）
１４１ｂ 相関係数算出部（相関係数算出手段）
１４１ｃ 判定部（判定手段） 10 Sintered product (object)
110 Electromagnetic impactor (hitting imparting means)
120 microphone (vibration collecting means)
130 FFT analyzer (signal conversion means)
141b Correlation coefficient calculation unit (correlation coefficient calculation means)
141c Determination unit (determination means)

Claims (6)

対象物に打撃を付与する打撃付与手段と、
前記打撃付与手段により打撃が付与された対象物から発せられる振動を収集する振動収集手段と、
前記振動収集手段により収集された振動を周波数毎の強度を表す信号に変換する信号変換手段と、
欠陥が無いことが分かっている基準対象物について予め取得された周波数毎の強度を表す信号における複数のピークのピーク周波数と、前記振動変換手段により変換された信号に含まれる複数のピークのピーク周波数と、の間の相関係数を算出する相関係数算出手段と、
前記相関係数算出手段により算出された相関係数に基づいて前記対象物の欠陥の有無を判定する判定手段と、
を具備する欠陥検出装置。 A striking means for striking a target;
Vibration collecting means for collecting vibrations emitted from the object to which the hit is given by the hit giving means;
Signal conversion means for converting the vibration collected by the vibration collection means into a signal representing the intensity for each frequency;
The peak frequency of a plurality of peaks in a signal representing the intensity for each frequency acquired in advance for a reference object known to be free of defects, and the peak frequencies of a plurality of peaks included in the signal converted by the vibration conversion means Correlation coefficient calculating means for calculating a correlation coefficient between
Determining means for determining the presence or absence of defects of the object based on the correlation coefficient calculated by the correlation coefficient calculating means;
A defect detection apparatus comprising: 前記判定手段は、
前記相関係数算出手段により算出された相関係数が、予め設定された所定の閾値以上である場合には前記対象物に欠陥が無いと判定し、前記閾値未満である場合には前記対象物に欠陥が有ると判定する請求項１に記載の欠陥検出装置。 The determination means includes
When the correlation coefficient calculated by the correlation coefficient calculation means is greater than or equal to a predetermined threshold value set in advance, it is determined that there is no defect in the object, and when it is less than the threshold value, the object The defect detection apparatus according to claim 1, wherein the defect detection apparatus determines that there is a defect. 前記対象物の表面領域における誘起領域に誘起された渦電流の変化を検出する渦電流検出手段と、
前記対象物の表面領域における誘起領域の位置を検出する誘起領域位置検出手段と、
前記渦電流検出手段により検出された渦電流の変化および前記誘起領域位置検出手段により検出された誘起領域の位置に基づいて、前記対象物における欠陥の位置を判定する欠陥位置判定手段と、
を具備する請求項１または請求項２に記載の欠陥検出装置。 Eddy current detection means for detecting a change in eddy current induced in the induction region in the surface region of the object;
Induced region position detecting means for detecting the position of the induced region in the surface region of the object;
A defect position determining means for determining a position of the defect in the object based on a change in the eddy current detected by the eddy current detecting means and a position of the induced area detected by the induced area position detecting means;
The defect detection apparatus of Claim 1 or Claim 2 which comprises these. 打撃が付与された対象物から発せられる振動を収集する振動収集工程と、
前記振動収集工程において収集された振動を周波数毎の強度を表す信号に変換する信号変換工程と、
欠陥が無いことが分かっている基準対象物について予め取得された周波数毎の強度を表す信号における複数のピークのピーク周波数と、前記振動変換工程において変換された信号に含まれる複数のピークのピーク周波数と、の間の相関係数を算出する相関係数算出工程と、
前記相関係数算出工程において算出された相関係数に基づいて前記対象物の欠陥の有無を判定する判定工程と、
を具備する欠陥検出方法。 A vibration collection step for collecting vibrations emitted from the object to which the blow is applied;
A signal conversion step of converting the vibration collected in the vibration collection step into a signal representing the intensity for each frequency;
The peak frequency of a plurality of peaks in a signal representing the intensity for each frequency acquired in advance for a reference object known to be free of defects, and the peak frequencies of a plurality of peaks included in the signal converted in the vibration conversion step A correlation coefficient calculating step for calculating a correlation coefficient between
A determination step of determining presence or absence of a defect of the object based on the correlation coefficient calculated in the correlation coefficient calculation step;
A defect detection method comprising: 前記判定工程は、
前記相関係数算出工程において算出された相関係数が、予め設定された所定の閾値以上である場合には前記対象物に欠陥が無いと判定し、前記閾値未満である場合には前記対象物に欠陥が有ると判定する請求項４に記載の欠陥検出方法。 The determination step includes
When the correlation coefficient calculated in the correlation coefficient calculation step is greater than or equal to a predetermined threshold value set in advance, it is determined that there is no defect in the target object. When the correlation coefficient is less than the threshold value, the target object is determined. The defect detection method according to claim 4, wherein the defect is determined to have a defect. 前記判定工程において前記対象物に欠陥が有ると判定した場合に、前記対象物の表面領域における誘起領域に誘起された渦電流の変化および前記対象物の表面領域における誘起領域の位置を検出する渦電流変化・誘起領域位置検出工程と、
前記渦電流変化・誘起領域位置検出工程において検出された渦電流の変化および誘起領域の位置に基づいて、前記対象物における欠陥の位置を判定する欠陥位置判定工程と、
を具備する請求項４または請求項５に記載の欠陥検出方法。 When it is determined in the determination step that the object has a defect, a change in eddy current induced in the induction region in the surface region of the object and a vortex for detecting the position of the induction region in the surface region of the object Current change / induced region position detection process;
A defect position determination step of determining a position of a defect in the object based on the change of the eddy current detected in the eddy current change / induced region position detection step and the position of the induction region;
The defect detection method of Claim 4 or Claim 5 which comprises these.
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