JP2008294244A - Wiring pattern connection method, wiring sheet, and wiring sheet laminate - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明は、簡単な工程で、効果的かつ信頼性の高い完全な接続を行うことができる。
【解決手段】 本発明の配線パターンの接続方法は、可撓性支持体の表面及び裏面にそれぞれ配線パターンと、可撓性支持体に設けられた貫通孔部とを有する配線シートにおける配線パターンの接続方法であり、貫通孔部の周囲の縁部を少なくとも含む領域に、乾燥して導通部を形成する導電性材料含有溶液を付与し、形成された導通部を介して各配線パターンを接続することに特徴がある。よって、簡単な工程で、表裏の配線パターンを貫通孔部を介して電気的に接続できる。
【選択図】 図2PROBLEM TO BE SOLVED: To perform an effective and highly reliable complete connection with a simple process.
A wiring pattern connection method according to the present invention includes a wiring pattern on a wiring sheet having a wiring pattern on a front surface and a back surface of a flexible support, and a through hole provided in the flexible support. A connection method, in which a conductive material-containing solution that is dried to form a conductive portion is applied to a region including at least the peripheral portion around the through-hole portion, and each wiring pattern is connected through the formed conductive portion. There is a special feature. Therefore, the front and back wiring patterns can be electrically connected through the through-hole portion by a simple process.
[Selection] Figure 2
Description
本発明は配線パターンの接続方法、配線シート及び配線シート積層体に関し、詳細には表裏に設けられた配線パターンをスルーホールを介して互いに導通して接続する配線パターンの接続方法に関する。 The present invention relates to a wiring pattern connection method, a wiring sheet, and a wiring sheet laminate, and more particularly to a wiring pattern connection method in which wiring patterns provided on the front and back surfaces are connected to each other through a through hole.
近年、微細な微粒子/超微粒子を用いた発光素子/媒体および光プロセシング素子/媒体等の各種素子が特許文献1などに提案されている。また、これらの各種素子あるいは、それらをつなぐ配線パターン形成の手段として、特許文献2のように、基板上にインクジェットヘッドを用いて、金属ペーストにより直接回路パターンを描画するようにし、ファインパターンの形成が容易で、廃液処理の必要がなく、生産工程が単純で設備費や生産コストが少なくて済む配線パターンの形成方法および回路基板の製造方法が提案されている。更に、特許文献3には、インクジェット原理を利用して、電子源基板製造を行う技術が提案されている。
In recent years, various devices such as a light emitting device / medium and an optical processing device / medium using fine particles / ultrafine particles have been proposed in Patent Document 1 and the like. Further, as a means for forming these various elements or a wiring pattern connecting them, a circuit pattern is directly drawn with a metal paste using an inkjet head on a substrate as in Patent Document 2 to form a fine pattern. A wiring pattern forming method and a circuit board manufacturing method have been proposed that are easy to perform, do not require waste liquid treatment, have a simple production process, and require less equipment and production costs. Further,
このようにインクジェット原理を利用したこのような提案が種々行われ始めているが、このような手段で各種デバイス、あるいはパターン配線シート/基板を製作しようという考えはまだ新しく、より具体的な方法については未知の部分が多く、手探り状態にあるのが実情であり、まだまだ検討すべき課題が多々ある。例えば、より高機能なこのようなパターン配線シート/基板を実現するためには、可撓性支持体よりなるシート/基板の表裏にこのようなパターンを形成したり、あるいはこのようなパターン配線シート/基板を複数個積層し、表裏あるいは上下のシート/基板状のパターンを電気的接続し、互いの配線パターンを協働させることにより、より高機能なパターン配線シート/基板あるいはその積層体の実現を図ることが考えられる。その際、各配線パターンを電気的接続する手段として、例えば特許文献4には、基板に形成されたスルーホールを銅無電界めっきで充填する技術の開示がある。また、特許文献5では、導電性金属ペーストを導通用孔部に充填する手段として、インクジェットやスクリーン印刷、ディスペンサー、含浸、スピンコートなどの各種手法を用いることを示唆している。
しかしながら、上記特許文献4のようなめっきによる方法では、基板全体をめっき浴槽に入れる必要があり、基板の洗浄、乾燥といった工程が必要であり、装置が大掛かりになることは避けられない。また、上記特許文献5においてはパターン形成に関する詳細な説明はあるものの、導通用孔部に充填する手段に関してはその手法を示唆する程度にとどまっており、具体的にどのようにすればよいのかが今ひとつはっきりしない。
However, in the method using plating as described in
本発明はこれらの問題点及び実情に鑑みてなされたもので、簡単な工程で、効果的かつ信頼性の高い完全な接続を行うことができる配線パターンの接続方法、配線シート及び配線シート積層体を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of these problems and circumstances, and a wiring pattern connection method, a wiring sheet, and a wiring sheet laminate capable of performing effective and reliable complete connection in a simple process. The purpose is to provide.
前記問題点を解決するために、可撓性支持体の表面及び裏面にそれぞれ配線パターンと、可撓性支持体に設けられた貫通孔部とを有する配線シートにおける、本発明の配線パターンの接続方法によれば、貫通孔部の周囲の縁部を少なくとも含む領域に、乾燥して導通部を形成する導電性材料含有溶液を付与し、形成された導通部を介して各配線パターンを接続することに特徴がある。よって、簡単な工程で、表裏の配線パターンを貫通孔部を介して電気的に接続できる。 In order to solve the above problems, the wiring pattern of the present invention is connected to a wiring sheet having a wiring pattern on each of the front and back surfaces of the flexible support and a through hole provided in the flexible support. According to the method, a conductive material-containing solution that is dried to form a conductive portion is applied to a region including at least the peripheral portion around the through-hole portion, and each wiring pattern is connected via the formed conductive portion. There is a special feature. Therefore, the front and back wiring patterns can be electrically connected through the through-hole portion by a simple process.
また、可撓性支持体の表面と裏面のいずれかに又は両面に設けられた配線パターンと、可撓性支持体に設けられた貫通孔部とを有する配線シートを複数個積層してなる配線シート積層体における、本発明の配線パターンの接続方法によれば、一端の配線シートの連通する貫通孔部の周囲の縁部を少なくとも含む領域に、乾燥して導通部を形成する導電性材料含有溶液を付与し、形成された導通部を介して各配線パターンを接続することに特徴がある。よって、簡単な工程で、各配線シートの接続対象となる所望の配線パターンを貫通孔部を介して電気的に接続できる。 Also, a wiring formed by laminating a plurality of wiring sheets each having a wiring pattern provided on either or both of the front surface and the back surface of the flexible support and a through hole provided in the flexible support. According to the wiring pattern connection method of the present invention in the sheet laminate, the conductive material contains a conductive material that is dried to form a conductive portion in a region including at least the peripheral edge of the through-hole portion communicating with the wiring sheet at one end. It is characterized in that a solution is applied and each wiring pattern is connected through the formed conductive portion. Therefore, a desired wiring pattern to be connected to each wiring sheet can be electrically connected through the through-hole portion by a simple process.
更に、導通部は、貫通孔部の周囲の縁部を少なくとも含む領域に導電性材料含有溶液の液滴を複数個付与して形成する。よって、効果的に導通部が形成され、簡単な工程で、表裏の配線パターンを貫通孔部を介して電気的に接続できる。 Furthermore, the conducting portion is formed by applying a plurality of droplets of the conductive material-containing solution to a region including at least the peripheral portion around the through-hole portion. Therefore, the conductive part is effectively formed, and the front and back wiring patterns can be electrically connected through the through hole part with a simple process.
また、導通部は、貫通孔部及び貫通孔部の周囲の縁部を覆うように導電性材料含有溶液の液滴を付与して形成する。よって、効果的に導通部が形成され、簡単な工程で、表裏の配線パターンを貫通孔部を介して電気的に接続できる。 The conducting portion is formed by applying a droplet of the conductive material-containing solution so as to cover the through-hole portion and the peripheral portion around the through-hole portion. Therefore, the conductive part is effectively formed, and the front and back wiring patterns can be electrically connected through the through hole part with a simple process.
更に、導通部は、配線シートの表裏に形成することが好ましい。 Furthermore, it is preferable to form the conduction part on the front and back of the wiring sheet.
また、貫通孔部の内壁面は、可撓性支持体の配線パターンの形成面又は配線パターンの表面より、導電性材料含有溶液に対して濡れやすいことにより、効果的かつ信頼性の高い完全な接続を行うことができる。 Further, the inner wall surface of the through-hole portion is more effective and reliable because it is more easily wetted with the conductive material-containing solution than the wiring pattern forming surface of the flexible support or the surface of the wiring pattern. Connection can be made.
更に、貫通孔部の内壁面は、可撓性支持体の配線パターンの形成面又は配線パターンの表面より、表面粗さが大であることにより、効果的かつ信頼性の高い完全な接続を行うことができる。 Further, the inner wall surface of the through-hole portion has a surface roughness larger than that of the wiring pattern forming surface of the flexible support or the surface of the wiring pattern, so that effective and reliable complete connection is achieved. be able to.
また、液滴噴射ヘッドを用いて、貫通孔部の周囲の縁部を少なくとも含む領域に導電性材料含有溶液を噴射してドットパターンの導通部を形成することにより、微小な配線シートの配線パターンの接続も可能となる。 In addition, by using a liquid droplet ejecting head, a conductive material-containing solution is ejected onto a region including at least the peripheral edge of the through-hole portion to form a conductive portion of a dot pattern, thereby forming a wiring pattern of a minute wiring sheet. Can also be connected.
更に、液滴噴射ヘッドを用いて、貫通孔部及び貫通孔部の周囲の縁部を覆う領域に導電性材料含有溶液を噴射してドットパターンの導通部を形成することにより、微小な配線シートの配線パターンの接続も可能となる。 Furthermore, by using a droplet jet head, a conductive material-containing solution is jetted onto a region covering the through-hole portion and the peripheral edge of the through-hole portion to form a conductive portion of the dot pattern. It is also possible to connect the wiring patterns.
また、別の発明としての配線シートは、可撓性支持体の表面及び裏面にそれぞれ設けられた配線パターンと、可撓性支持体に設けられた貫通孔部と、上記パターンの接続方法によって形成され、各配線パターンを接続する導通部とを有することに特徴がある。よって、安価な、かつ信頼性の高い配線シートを提供することできる。 Moreover, the wiring sheet as another invention is formed by a wiring pattern provided on the front and back surfaces of the flexible support, a through hole provided in the flexible support, and a method of connecting the patterns. And having a conductive portion for connecting each wiring pattern. Therefore, an inexpensive and highly reliable wiring sheet can be provided.
更に、別の発明としての配線シート積層体は、可撓性支持体の表面と裏面のいずれかに又は両面に設けられた配線パターンと、可撓性支持体に設けられた貫通孔部とを有する配線シートを複数個積層してなる配線シート積層体であって、上記配線パターンの接続方法によって、連通する各貫通孔部の周囲の縁部を少なくとも含む領域に付与された導電性材料含有溶液が連通する各貫通孔部の内壁を配して形成され、各配線シートの配線パターンを接続する導通部を有することに特徴がある。よって、複数の配線シートにおける接続対象となる所望の配線パターンを電気的に接続でき、効果的に機能する新規な配線シート積層体を提供することができる。 Furthermore, the wiring sheet laminate as another invention includes a wiring pattern provided on either or both of the front surface and the back surface of the flexible support, and a through-hole portion provided in the flexible support. A wiring sheet laminate comprising a plurality of wiring sheets having a conductive material-containing solution applied to a region including at least an edge around each through-hole portion communicated by the wiring pattern connection method. Is formed by arranging the inner wall of each through-hole portion that communicates with each other, and is characterized by having a conduction portion that connects the wiring patterns of each wiring sheet. Therefore, the desired wiring pattern used as the connection object in a some wiring sheet can be electrically connected, and the novel wiring sheet laminated body which functions effectively can be provided.
本発明によれば、貫通孔部の周囲の縁部を少なくとも含む領域に、乾燥して導通部を形成する導電性材料含有溶液を付与し、形成された導通部を介して各配線パターンを接続するので、簡単な工程で、表裏の配線パターンを電気的に接続でき、そして安価な、かつ信頼性の高い配線シートを提供することできる。 According to the present invention, a conductive material-containing solution that is dried to form a conductive portion is applied to a region including at least the peripheral portion around the through-hole portion, and each wiring pattern is connected through the formed conductive portion. Therefore, it is possible to provide an inexpensive and highly reliable wiring sheet that can electrically connect the wiring patterns on the front and back sides with a simple process.
図1は本発明の一実施の形態の配線シートの構成を示す平面図であり、図2は図1のA−A’線断面図である。両図に示す本実施の形態の配線シート10は、樹脂あるいは紙よりなる可撓性支持体11と、可撓性支持体11に形成されたスルーホール12と、表面の配線パターン13と、裏面の配線パターン14とを含んで構成されている。本実施の形態では表裏の配線パターン13、14は互いに直交した例を示している。また、実際の配線シートはより複雑な配線パターンよりなるが、ここでは説明のため、簡略化した表裏それぞれ1つずつの配線パターンのみを示している。ここで、参考までに寸法の一例を示す。図1、2に示すように、例えば可撓性支持体11は厚さ1000μmのものを使用し、φ300μmのスルーホール12を形成している。スルーホール12の上下縁部近傍の可撓性支持体11の表裏両面には、スルーホール12と同心円状に外径φ800μm、内径φ400μmのリング状の配線パターン13が形成され、その配線パターン13は、線幅300μmのライン状の配線パターンと一体化されている。ここで、リング状あるいはライン状の配線パターンの厚さは5μmである。なお、図1、2では、実際の寸法と必ずしも一致した比率で描かれていない。
FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a wiring sheet according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line A-A ′ of FIG. 1. The
次に、本発明の配線シートを製作するための可撓性支持体について説明する。本発明の配線シートの材料は、軽量性、可撓性、柔軟性を考慮して、また使用時に折り曲げる場面なども考慮して、有機材料から選ばれる。また用途に応じては少なくとも自重で撓まない程度の剛性も考慮して選ばれる。具体的には、ポリエチレン、ポリエステル、ビニルを始めとする各種の樹脂、エポキシ等の熱硬化性樹脂からなるシートや高分子フィルムを支持体とする。あるいは、軽量かつ折り曲げたりすることも可能であるとともに一定の剛性を有する紙もしくは紙をベースとした支持体とする。支持体としてこれらを単独で用い、あるいは適度な剛性を持たせるため、あるいは耐水性を持たせるためにこれらの材料を複合的に用いてもよい。具体的には、紙の表面あるいは内部に上記樹脂シートあるいは材料を組み込んだ複合シートを支持体としてもよい。 Next, a flexible support for producing the wiring sheet of the present invention will be described. The material for the wiring sheet of the present invention is selected from organic materials in consideration of lightness, flexibility, and flexibility, and also in consideration of the situation of bending during use. Further, depending on the application, it is selected in consideration of at least a rigidity that does not bend due to its own weight. Specifically, various resins including polyethylene, polyester, vinyl, and sheets and polymer films made of thermosetting resins such as epoxy are used as the support. Alternatively, it is possible to use a paper or a paper-based support that is lightweight and can be bent and has a certain rigidity. These materials may be used alone as a support, or a combination of these materials may be used in order to impart appropriate rigidity or water resistance. Specifically, a composite sheet in which the resin sheet or material is incorporated on the surface or inside of paper may be used as the support.
図1、図2に示した配線シートは、例えば厚さ1000μmの紙にスルーホール14を穿孔してなり、表裏にスクリーン印刷によって、リング状およびライン状のパターンを組み合わせた配線パターン12、13を形成したものである。パターン形成材料は、粒径が5nm〜50nmの銀ナノ粒子と、分散剤(ジエタノールアミン)、有機バインダー(熱フェノール樹脂)よりなる銀ナノペーストである。印刷後、加熱処理により、揮発成分が除去され、バインダーと銀ナノ粒子が凝集、焼結した状態で導通が得られた配線パターンとなっている。
The wiring sheets shown in FIGS. 1 and 2 are formed by punching through
なお、ここで使用するのは必ずしも銀ナノ粒子を含む銀ナノペーストに限定されるものではなく、後述するように液体噴射ヘッドによって形成されるスルーホール部の導通部分と同様,金、銀、銅、パラジウム、ニッケルの何れかを含有する金属微粒子、あるいは導電性ポリマーや超電導体の微粒子などを含有する溶液を用いてもよい。 In addition, what is used here is not necessarily limited to the silver nanopaste containing silver nanoparticles, but, as will be described later, gold, silver, copper, as well as the conductive part of the through-hole part formed by the liquid jet head Alternatively, a solution containing metal fine particles containing any of palladium, nickel, or conductive polymer or superconductor fine particles may be used.
そして、図2に示すように、インクジェット原理で、噴射、飛翔させられた導電性微粒子含有溶液による液滴15は、図2の矢印方向に飛翔し、可撓性支持体11のスルーホール14の縁部16の近傍に着弾するようになっている。スルーホールの縁部の拡大図である図3には、液滴15が着弾して形成される仮想ドット17を示しており、図4には実際に形成されるドットパターン18を示している。ドットパターン18が欠けているのは、一部スルーホール14の中に溶液が入り込むからである。図5では、このような液滴15によるドットパターン18をスルーホール14の縁部16の周囲近傍に、このスルーホール14を囲むように複数個(図5では8個)形成している。
Then, as shown in FIG. 2, the
このように、液滴15をスルーホール14の縁部16の近傍に着弾させてドットパターン18を形成することにより、表面の配線パターン12のリング状部分にドットパターン18が覆い被さるとともに、ドットパターン18の欠けた部分の溶液が、図6の(a)に示すようにスルーホール14の内壁に付着することになる。その後、このスルーホール14の内壁に付着した溶液は、図6の(b)に示すようにスルーホール14の下まで到達するとともに、裏面の配線パターン13に接触することにより、表面の配線パターン12と裏面の配線パターン13が、スルーホール14の内壁を介して付着した溶液によって接続され、50℃〜100℃で加熱、乾燥することにより揮発成分が除去され、表裏の配線パターン12、13を接続する導通部として完成する。
In this way, by forming the
次に、スルーホールの縁部の拡大図である図7には、液滴15が着弾して形成される仮想ドット17が非常に大きい場合を示しており、図8には実際に形成されるドットパターン18を示している。図8に示すように、スルーホール14によって中心が抜けたドーナツ状にドットパターン18が付着形成される。ドーナツ状に中心が抜けた部分の溶液は、スルーホール14の内壁に付着し、裏面の配線パターンと接続する役割を果たす。このように大きなドットパターン18を形成する液滴15の場合には、1滴のみで裏面の配線パターンとの接続を行うことが可能であるが、1滴だけではなく複数滴付与してもよい。
Next, FIG. 7 which is an enlarged view of the edge portion of the through hole shows a case where the
なお、このようなドットパターンを可撓性支持体の表面から形成する例であるが、裏面に形成している配線パターンのリング状部分からも同様にこのようなドットパターンを形成し、表裏両方(上下両方)から接続、導通を図るようにするとより確実かつ信頼性の高い導通部を形成できる。 In addition, although it is an example which forms such a dot pattern from the surface of a flexible support body, such a dot pattern is similarly formed from the ring-shaped part of the wiring pattern currently formed in the back surface, both front and back By connecting and conducting from both (upper and lower sides), a more reliable and reliable conducting portion can be formed.
ここで、この溶液は、導電膜形成成分を含む液状体であるが、5nm〜50nmの導電性微粒子(導電性ナノ粒子)を分散剤や有機バインダーとともに分散媒に分散させた分散液を用いる。例えば導電性微粒子として、金、銀、銅、パラジウム、ニッケルの何れかを含有する金属微粒子の他、導電性ポリマーや超電導体の微粒子などが用いられる。これら導電性微粒子については、分散性を向上させるためその表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。導電性微粒子の表面にコーティングするコーティング剤としては、例えばキシレン、トルエン等の有機溶剤やクエン酸等が挙げられる。導電性微粒子の粒径は1nm以上100nm以下であることが好ましい。より好ましくは、導電性微粒子の分散安定性を考慮して下限値は5nm、後述する液体噴射ヘッドのノズルの目詰まり回避を考慮して上限値は50nmとするのがよい。導電性微粒子を含有する液体の分散媒としては、室温での蒸気圧が0.001mmHg以上200mmHg以下(約0.133Pa以上26600Pa以下)であるものが好ましい。蒸気圧が200mmHgより高いと、吐出後に分散媒が急激に蒸発してしまい、良好な膜を形成することが困難となるからである。また、分散媒の蒸気圧は0.001mmHg以上50mmHg以下(約0.133Pa以上6650Pa以下)であるのがより好ましい。蒸気圧が50mmHgより高いと、液滴吐出法で液滴を吐出する際に乾燥によるノズル詰まりが起こり易く、安定な吐出が困難になるからである。一方、室温での蒸気圧が0.001mmHgより低い分散媒の場合には、乾燥が遅くなって膜中に分散媒が残留しやすくなり、後工程の熱及び/又は光処理後に良質の導電膜が得られにくくなる。使用する分散媒としては、前記の導電性微粒子を分散できるもので、凝集を起こさないものであれば特に限定されない。 Here, the solution is a liquid containing a conductive film forming component, but a dispersion liquid in which conductive fine particles (conductive nanoparticles) of 5 nm to 50 nm are dispersed in a dispersion medium together with a dispersant and an organic binder is used. For example, as the conductive fine particles, in addition to metal fine particles containing any of gold, silver, copper, palladium, and nickel, conductive polymer and superconductor fine particles are used. About these electroconductive fine particles, in order to improve dispersibility, the organic substance etc. can also be coated and used for the surface. Examples of the coating agent that coats the surface of the conductive fine particles include organic solvents such as xylene and toluene, citric acid, and the like. The particle diameter of the conductive fine particles is preferably 1 nm or more and 100 nm or less. More preferably, the lower limit is set to 5 nm in consideration of the dispersion stability of the conductive fine particles, and the upper limit is set to 50 nm in consideration of avoiding clogging of the nozzle of the liquid jet head described later. The liquid dispersion medium containing conductive fine particles preferably has a vapor pressure at room temperature of 0.001 mmHg to 200 mmHg (about 0.133 Pa to 26600 Pa). This is because if the vapor pressure is higher than 200 mmHg, the dispersion medium rapidly evaporates after discharge, making it difficult to form a good film. The vapor pressure of the dispersion medium is more preferably 0.001 mmHg or more and 50 mmHg or less (about 0.133 Pa or more and 6650 Pa or less). This is because if the vapor pressure is higher than 50 mmHg, nozzle clogging due to drying tends to occur when droplets are ejected by the droplet ejection method, and stable ejection becomes difficult. On the other hand, in the case of a dispersion medium whose vapor pressure at room temperature is lower than 0.001 mmHg, drying is slow and the dispersion medium tends to remain in the film, and a high-quality conductive film after heat and / or light treatment in the subsequent process. Is difficult to obtain. The dispersion medium to be used is not particularly limited as long as it can disperse the conductive fine particles and does not cause aggregation.
そのような分散媒として、具体的には、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類、n−ヘプタン、n−オクタン、デカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼンなどの炭化水素系化合物、またエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、1、2−ジメトキシエタン、ビス(2−メトキシエチル)エーテル、p−ジオキサンなどのエーテル系化合物、更にプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの極性化合物を挙げることができる。 Specific examples of such a dispersion medium include water, alcohols such as methanol, ethanol, propanol, and butanol, n-heptane, n-octane, decane, toluene, xylene, cymene, durene, indene, and dipentene. Hydrocarbon compounds such as tetrahydronaphthalene, decahydronaphthalene, cyclohexylbenzene, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, 1,2-dimethoxy Ether compounds such as ethane, bis (2-methoxyethyl) ether, p-dioxane, propylene carbonate, γ Butyrolactone, N- methyl-2-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, it may be mentioned polar compounds such as cyclohexanone.
これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法への適用のし易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好ましく、さらに好ましい分散媒としては、水、炭化水素系化合物を挙げることができる。これらの分散媒は、単独でも、あるいは2種以上の混合物としても使用することができる。 Of these, water, alcohols, hydrocarbon compounds, and ether compounds are preferred and more preferred dispersions in terms of fine particle dispersibility, dispersion stability, and ease of application to the droplet discharge method. Examples of the medium include water and hydrocarbon compounds. These dispersion media can be used alone or as a mixture of two or more.
このような導電性微粒子を分散媒に分散する場合の分散質濃度としては、1質量%以上60質量%以下とするのが好ましく、所望の導電膜の膜厚に応じて調整することができる。60質量%を超えると凝集をおこしやすくなるとともに、液体噴射ヘッドによる吐出が困難になる。 The dispersoid concentration when such conductive fine particles are dispersed in the dispersion medium is preferably 1% by mass or more and 60% by mass or less, and can be adjusted according to the desired film thickness of the conductive film. If it exceeds 60% by mass, aggregation tends to occur and ejection by the liquid jet head becomes difficult.
このようにして調整された導電性微粒子を含有する溶液の表面張力としては、0.02N/m以上0.07N/m以下の範囲とするのが好ましい。なぜなら、液体噴射ヘッドにてこの溶液を吐出する際、表面張力が0.02N/m未満であると、溶液組成物のノズル面に対する濡れ性が増大するため噴射方向曲りが生じ易くなり、0.07N/mを超えると、ノズル先端でのメニスカスの形状が安定しないため、吐出量、吐出タイミングの制御が困難になるからである。 The surface tension of the solution containing the conductive fine particles thus adjusted is preferably in the range of 0.02 N / m or more and 0.07 N / m or less. This is because, when the solution is ejected by the liquid ejecting head, if the surface tension is less than 0.02 N / m, the wettability of the solution composition with respect to the nozzle surface increases, so that the ejection direction is likely to be bent. This is because if it exceeds 07 N / m, the shape of the meniscus at the tip of the nozzle is not stable, and it becomes difficult to control the discharge amount and the discharge timing.
また、表面張力を調整するため、このような溶液には、支持体(溶液付着部分)との接触角を不当に低下させない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加することができる。ノニオン系表面張力調節剤は、溶液の支持体(溶液付着部分)への濡れ性を良好化し、膜のレベリング性を改良し、塗膜のぶつぶつの発生、ゆず肌の発生などの防止に役立つ。 In addition, in order to adjust the surface tension, a surface tension regulator such as a fluorine-based, silicone-based, or nonionic-based solution is added to such a solution as long as the contact angle with the support (solution-adhering portion) is not unduly lowered. Trace amounts can be added. The nonionic surface tension modifier improves the wettability of the solution to the support (solution adhering portion), improves the leveling property of the film, and helps to prevent the occurrence of crushing of the coating film and the generation of itching skin.
このような溶液には、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトン等の有機化合物を含んでいても差し支えない。この溶液の粘度は1mPa・s以上50mPa・s以下であるのが好ましい。液体噴射ヘッドにて吐出する際、粘度が1mPa・sより小さい場合にはノズル周辺部がインクの流出により汚染されやすく、また粘度が50mPa・sより大きい場合は、ノズル孔での目詰まり頻度が高くなり円滑な液滴の吐出が困難となるからである。 Such a solution may contain an organic compound such as alcohol, ether, ester, or ketone, if necessary. The viscosity of this solution is preferably 1 mPa · s or more and 50 mPa · s or less. When discharging with a liquid ejecting head, if the viscosity is less than 1 mPa · s, the peripheral portion of the nozzle is easily contaminated by the outflow of ink, and if the viscosity is more than 50 mPa · s, the clogging frequency in the nozzle holes is high. This is because it becomes so high that it becomes difficult to discharge liquid droplets smoothly.
本実施の形態では、粒径10nmからなる銀の微粒子をα−テルピネオールに分散させた銀微粒子分散液を用いたが、必ずしもこれに限定されるものではなく、前述のような、適切な大きさの各種微粒子を所望の年度表面張力になるように調合して使用すればよい。 In the present embodiment, a silver fine particle dispersion in which silver fine particles having a particle diameter of 10 nm are dispersed in α-terpineol is used. However, the present invention is not necessarily limited to this, and has an appropriate size as described above. These various fine particles may be prepared and used so as to have a desired surface tension in the year.
そして、このような導電性微粒子を含有する溶液を吐出する液滴吐出装置としては、部分切断斜視図である図9の(a)、及び図9の(a)のB−B’線断面図である図9の(b)に示す液体噴射ヘッド30を備えた装置が好適に用いられる。ここで、液体噴射ヘッド30は、図9の(a)に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート31と振動板32とを備え、両者を仕切部材(リザーバプレート)33を介して接合したものである。ノズルプレート31と振動板32との間には、仕切部材33によって複数の空間34と液溜まり35とが形成されている。各空間34と液溜まり35の内部は導電性微粒子含有溶液で満たされており、各空間34と液溜まり35とは供給口36を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート31には、空間34から導電性微粒子含有溶液を噴射するためのノズル孔37が一列に配列された状態で複数形成されている。一方、振動板32には、液溜まり35にインクを供給するための孔38が形成されている。また、振動板32の空間34に対向する面と反対側の面上には、図9の(b)に示すように圧電素子(ピエゾ素子)39が接合されている。この圧電素子39は、一対の電極40の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子39が接合されている振動板32は、圧電素子39と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間34の容積が増大するようになっている。
And as a droplet discharge device which discharges the solution containing such electroconductive fine particles, (a) of FIG. 9 which is a partially cut perspective view, and BB ′ line sectional view of FIG. 9 (a) An apparatus including the
したがって、空間34内に増大した容積分に相当する導電性微粒子含有溶液が、液溜まり35から供給口36を介して流入する。また、このような状態から圧電素子39への通電を解除すると、圧電素子39と振動板32はともに元の形状に戻る。したがって、空間34も元の容積に戻ることから、空間34内部の導電性微粒子含有溶液の圧力が上昇し、ノズル孔37から基板に向けて導電性微粒子含有溶液の液滴41が吐出される。
Therefore, the conductive fine particle-containing solution corresponding to the increased volume in the
なお、液体噴射ヘッド30の液滴吐出方式(インクジェット方式)としては、液滴を定量吐出できるものであればいかなる機構でも良く、特に0.1pl〜数100pl程度の液滴を形成できるインクジェット原理の機構であれば、前述の圧電素子39を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式のものを採用してもよい。例えば、米国特許第3,596,275号明細書、米国特許第3,298,030号明細書等に開示されているSweet方式であったり、特公昭56−9429号公報に開示されているサーマルインクジェット方式であってもよい。
The droplet ejection method (inkjet method) of the
次に、本発明の他の特徴的な点について説明する。前述のように本発明においては、導電性微粒子含有溶液がスルーホールの内壁を伝って表裏の配線パターンを接続するものである。よって、スルーホールの内部に導電性微粒子含有溶液が入りやすいようにしておく必要がある。 Next, other characteristic points of the present invention will be described. As described above, in the present invention, the conductive fine particle-containing solution is connected to the front and back wiring patterns along the inner wall of the through hole. Therefore, it is necessary to make it easy for the conductive fine particle-containing solution to enter the through hole.
そこで、本発明においてはこの点を考慮し、スルーホールの内壁が導電性微粒子含有溶液に対して濡れやすい、つまり親液性を持つようにしている。より具体的には、スルーホールの内壁の領域を少なくともスルーホールの縁部の表面の部分や、表面の配線パターンの表面のように、液滴が最初に付着してドットパターンを形成する場所よりも、導電性微粒子含有溶液に対して濡れやすい、言い換えるならば溶液がスルーホールの内壁のほうに移動しやすいようにしている。例えば、スルーホールの縁部の表面の部分は、樹脂あるいは紙よりなる可撓性支持体の材料表面であるが、この部分はシート状の樹脂あるいは紙を製造する工程上の関係から、かなり滑らかな面として形成されている。樹脂シートの場合、鏡面に近いような面性状である。また、紙のシートの場合においても、紙のセルロース繊維の凹凸があるものの、タルク、クレー、炭酸カルシウム、二酸化チタンなどのてん料粒子が繊維間に充填されたり、またカレンダーローラーによってその凹凸が低減化されたりしているので、2、3μm程度の凹凸になっている。また、それらのシート表面に形成される配線パターン表面も、元のシート表面の表面性状にならい比較的滑らかな表面性状となる。 Therefore, in the present invention, in consideration of this point, the inner wall of the through hole is easily wetted with the conductive fine particle-containing solution, that is, has a lyophilic property. More specifically, the region of the inner wall of the through-hole is at least from the portion of the surface of the edge of the through-hole or the surface of the wiring pattern on the surface where the droplet first adheres to form the dot pattern. However, it is easy to get wet with the conductive fine particle-containing solution, in other words, the solution is likely to move toward the inner wall of the through hole. For example, the surface portion of the edge of the through hole is the material surface of a flexible support made of resin or paper, but this portion is considerably smooth due to the manufacturing process of sheet-like resin or paper. It is formed as a flat surface. In the case of a resin sheet, the surface property is close to a mirror surface. Also in the case of paper sheets, although there are irregularities in the cellulose fibers of the paper, filler particles such as talc, clay, calcium carbonate, titanium dioxide are filled between the fibers, and the irregularities are reduced by a calendar roller. As a result, the surface has irregularities of about 2 to 3 μm. Further, the surface of the wiring pattern formed on the sheet surface also has a relatively smooth surface property following the surface property of the original sheet surface.
このような滑らかな表面性状に対して、本発明の配線シートにおけるスルーホールの内壁は、メカニカルなドリルあるいはレーザなどによって穿孔することにより、その表面性状を、5、6μmあるいはそれ以上のザラついた状態(表面粗さが大)とする。その目的は、ザラついた状態を利用して毛管現象によって液が表面を浸透、移動するようにすることである。このザラついた状態の内壁面は、少なくとも支持体の表面、あるいは配線パターン表面よりは、液が浸透、あるいは移動しやすい状態になり、スルーホールの縁部の近傍に着弾させた液滴の一部分は、毛管現象によってザラついた状態のスルーホールの内壁のほうに速やかに移動するようになる。 In contrast to such a smooth surface texture, the inner wall of the through hole in the wiring sheet of the present invention has a rough surface texture of 5, 6 μm or more by drilling with a mechanical drill or a laser. State (surface roughness is large). The purpose is to allow the liquid to penetrate and move through the surface by capillary action using the rough state. The rough inner wall surface is a state where at least the surface of the support or the surface of the wiring pattern is more liable to allow the liquid to permeate or move, and a part of the droplet landed near the edge of the through hole. Moves quickly toward the inner wall of the rough through-hole due to capillary action.
なお、これらの例では、スルーホールの内壁面の表面粗さを大とすることにより、導電性微粒子含有溶液が速やかに移動するようにしたものであるが、内壁面にシリコンコーティング材による親液性処理を施すのもよい方法である。あるいはUVオゾン照射によって、樹脂表面に酸素リッチな官能基を形成し、極性に起因する親液性向上を行ってもよい。また、プラズマ照射によって濡れ性を向上させて、同様の効果を狙ってもよい。 In these examples, by increasing the surface roughness of the inner wall surface of the through hole, the solution containing the conductive fine particles moves quickly. It is also a good method to perform sex processing. Alternatively, an oxygen-rich functional group may be formed on the resin surface by UV ozone irradiation to improve lyophilicity due to polarity. Moreover, the wettability may be improved by plasma irradiation to aim at the same effect.
図10は別の発明の配線シート積層体の構成を示す概略断面図である。同図に示す配線シート積層体50は配線シート10を複数個(この例では3個)積層してなる積層体である。例えば図11の(a),(b),(c)に示したような各3枚の配線シート10−1、10−2、10−3を積層し、絶縁性の接着剤によって接着した後、連通するスルーホール14を形成し、その後導電性材料含有溶液の液滴15をスルーホール14の縁部16の近傍に着弾させ、ドットパターンを形成したものである。例えば図11の(a)の配線シート10−1は、可撓性支持体11に表面の配線パターン12を形成した配線シートであり、図11の(b)の配線シート10−2は、可撓性支持体11に表面の配線パターン12と裏面の配線パターン13を形成した配線シートであり、図11の(c)は、可撓性支持体11に表面の配線パターン12と裏面の配線パターン13を形成した配線シートである。これらを積層し、共通のスルーホール14およびその内壁の表面に導電性材料含有溶液を付与、乾燥させることによって、各配線シートの表裏の配線パターンの電気的接続がなされ、より複雑な回路構成、あるいはより大容量のメモリ構成を実現した積層型の配線シート積層体を実現することができる。
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a wiring sheet laminate of another invention. A
なお、導電性材料含有溶液の液滴をスルーホールの縁部の近傍に着弾させる場合、図3〜図5に示したように、スルーホールの縁部の周辺に複数滴でドットパターンを形成してもよいし、あるいは、図7、図8に示したように大きなドットパターン1つとしてもよい。また、スルーホールの形成は、複数枚の配線シートを積層し、絶縁性の接着剤によって接着した後に行ってもよいし、あるいは予めスルーホールを形成してある配線シートをスルーホール位置に一致させて積層、接着するようにしてもよい。しかしながら、接着時にスルーホール内に接着剤が入ってしまうこともあるので、どちらかというと前者が望ましい。このような積層型の配線シート構造体の場合においても、スルーホールの内壁の面は、各配線シートの配線パターン形成面、あるいは配線パターン面より、導電性材料含有溶液に対して濡れやすくすること、あるいは表面粗さが大となるようにしたり,各種処理を施して同様の効果を得るようにすることが望ましいのは、単層の配線シートで表裏の配線パターンの電気的接続を行う場合と同じである。 When a droplet of the conductive material-containing solution is landed near the edge of the through hole, a dot pattern is formed with a plurality of droplets around the edge of the through hole as shown in FIGS. Alternatively, one large dot pattern may be used as shown in FIGS. The through hole may be formed after laminating a plurality of wiring sheets and adhering them with an insulating adhesive, or by aligning a wiring sheet on which a through hole has been formed in advance with the through hole position. May be laminated and bonded. However, since the adhesive may enter the through hole during bonding, the former is rather preferable. Even in the case of such a laminated wiring sheet structure, the inner wall surface of the through hole should be more easily wetted with the conductive material-containing solution than the wiring pattern forming surface of each wiring sheet or the wiring pattern surface. Alternatively, it is desirable to increase the surface roughness or apply various treatments to obtain the same effect as in the case of electrically connecting the front and back wiring patterns with a single-layer wiring sheet. The same.
また、本発明においては、このような表裏の配線パターンの電気的接続を取るために、配線シートのスルーホール内に導電性材料含有溶液を付与する手段として液体噴射ヘッドを利用する説明を行ったがこれに限定する必要はなく、またこの手段は配線パターンを形成する手段としても好適に適用できる。図1に示したリング状およびライン状のパターンを組み合わせた配線パターンは、コンピュータグラフィックスデータを液体噴射ヘッドに入力し、この噴射ヘッドを可撓性支持体の全面で相対的に移動させながらこのようなパターンを噴射、描画することにより、簡単に形成できる。使用する溶液も、前述の導電性材料含有溶液がそのまま適用できる。このように、スルーホール部分への導電性材料含有溶液付与のみならずこのような配線パターン形成も液体噴射ヘッドによって行うようにすると、スクリーン印刷等の装置を省略できるので、非常に安価なスルーホール部分への導通も行うことのできるパターン配線形成装置を実現できる。 Further, in the present invention, in order to establish electrical connection between the front and back wiring patterns, a description has been given of using a liquid jet head as a means for applying a conductive material-containing solution into the through hole of the wiring sheet. However, it is not necessary to limit to this, and this means can also be suitably applied as a means for forming a wiring pattern. The wiring pattern that combines the ring-shaped and line-shaped patterns shown in FIG. 1 inputs computer graphics data to the liquid ejecting head, and moves the ejecting head relative to the entire surface of the flexible support. Such a pattern can be easily formed by jetting and drawing. As the solution to be used, the aforementioned conductive material-containing solution can be applied as it is. In this way, if not only the application of the conductive material-containing solution to the through-hole part but also the formation of such a wiring pattern by the liquid ejecting head, an apparatus such as screen printing can be omitted, so a very inexpensive through-hole is provided. It is possible to realize a pattern wiring forming apparatus capable of conducting to a portion.
なお、本発明は上記実施の形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変形や置換可能であることは言うまでもない。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and it goes without saying that various modifications and substitutions are possible as long as they are described within the scope of the claims.
10,10−1,10−2,10−3;配線シート、
11;可撓性支持体、12,13;配線パターン、
14;スルーホール、15;液滴、16;縁部、17;仮想ドット、
18;ドットパターン、30;液体噴射ヘッド、
50;配線シート積層体。
10, 10-1, 10-2, 10-3; wiring sheet,
11; flexible support, 12, 13; wiring pattern,
14; Through hole, 15; Droplet, 16; Edge, 17; Virtual dot,
18; dot pattern, 30; liquid jet head,
50: Wiring sheet laminate.
Claims (11)
前記貫通孔部の周囲の縁部を少なくとも含む領域に、乾燥して導通部を形成する導電性材料含有溶液を付与し、形成された前記導通部を介して前記各配線パターンを接続することを特徴とする配線パターンの接続方法。 In a wiring pattern connection method in a wiring sheet having a wiring pattern on each of the front and back surfaces of the flexible support and a through-hole portion provided in the flexible support,
Applying a conductive material-containing solution that dries to form a conductive portion to a region that includes at least the peripheral portion around the through-hole portion, and connects the wiring patterns through the formed conductive portion. A characteristic wiring pattern connection method.
一端の前記配線シートの連通する前記貫通孔部の周囲の縁部を少なくとも含む領域に、乾燥して導通部を形成する導電性材料含有溶液を付与し、形成された前記導通部を介して前記各配線パターンを接続することを特徴とする配線パターンの接続方法。 A wiring sheet formed by laminating a plurality of wiring sheets each having a wiring pattern provided on one or both of the front and back surfaces of the flexible support and a through hole provided in the flexible support. In the connection method of the wiring pattern in the laminate,
A conductive material-containing solution that is dried to form a conductive portion is applied to a region including at least an edge portion around the through-hole portion that communicates with the wiring sheet at one end, and the conductive material-containing solution is formed through the formed conductive portion. A wiring pattern connecting method, wherein each wiring pattern is connected.
前記可撓性支持体に設けられた貫通孔部と、
請求項1,3〜9のいずれか1項に記載の配線パターンの接続方法によって形成され、前記各配線パターンを接続する導通部と
を有することを特徴とする配線シート。 A wiring pattern provided on each of the front and back surfaces of the flexible support;
A through hole provided in the flexible support;
A wiring sheet formed by the wiring pattern connection method according to claim 1, and having a conduction portion that connects the wiring patterns.
請求項2〜9のいずれか1項に記載の配線パターンの接続方法によって、連通する前記各貫通孔部の周囲の縁部を少なくとも含む領域に付与された導電性材料含有溶液が連通する前記各貫通孔部の内壁を配して形成され、前記各配線シートの前記配線パターンを接続する導通部を有することを特徴とする配線シート積層体。 A wiring sheet formed by laminating a plurality of wiring sheets each having a wiring pattern provided on one or both of the front and back surfaces of the flexible support and a through hole provided in the flexible support. In the laminate,
10. Each of the conductive material-containing solutions provided in a region including at least an edge portion around each of the through-hole portions communicated with each other by the wiring pattern connection method according to claim 2. A wiring sheet laminate, characterized in that the wiring sheet laminate is formed by arranging an inner wall of a through-hole portion and connecting the wiring pattern of each wiring sheet.
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012129251A (en) * | 2010-12-13 | 2012-07-05 | Canon Inc | Method for manufacturing wiring board and the wiring board |
| JP2012248595A (en) * | 2011-05-26 | 2012-12-13 | Seiko Epson Corp | Manufacturing method of wiring board |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11186730A (en) * | 1997-10-14 | 1999-07-09 | Ibiden Co Ltd | Multilayered printed wiring board and manufacture thereof |
| JP2003318542A (en) * | 2002-04-22 | 2003-11-07 | Seiko Epson Corp | Method of forming multilayer wiring, multilayer wiring board, device, method of manufacturing device, and electronic equipment |
| JP2005183847A (en) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Seiko Epson Corp | Method for forming wiring board |
-
2007
- 2007-05-25 JP JP2007138521A patent/JP2008294244A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11186730A (en) * | 1997-10-14 | 1999-07-09 | Ibiden Co Ltd | Multilayered printed wiring board and manufacture thereof |
| JP2003318542A (en) * | 2002-04-22 | 2003-11-07 | Seiko Epson Corp | Method of forming multilayer wiring, multilayer wiring board, device, method of manufacturing device, and electronic equipment |
| JP2005183847A (en) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Seiko Epson Corp | Method for forming wiring board |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012129251A (en) * | 2010-12-13 | 2012-07-05 | Canon Inc | Method for manufacturing wiring board and the wiring board |
| JP2012248595A (en) * | 2011-05-26 | 2012-12-13 | Seiko Epson Corp | Manufacturing method of wiring board |
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