[go: up one dir, main page]

JP2008286699A - Signal input and output device, testing device, and electronic device - Google Patents

Signal input and output device, testing device, and electronic device Download PDF

Info

Publication number
JP2008286699A
JP2008286699A JP2007133166A JP2007133166A JP2008286699A JP 2008286699 A JP2008286699 A JP 2008286699A JP 2007133166 A JP2007133166 A JP 2007133166A JP 2007133166 A JP2007133166 A JP 2007133166A JP 2008286699 A JP2008286699 A JP 2008286699A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
waveform data
input
circuit
converter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2007133166A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideki Ichikawa
英樹 市川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP2007133166A priority Critical patent/JP2008286699A/en
Publication of JP2008286699A publication Critical patent/JP2008286699A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Analogue/Digital Conversion (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a signal input and output device for precisely inputting analog signals. <P>SOLUTION: This signal input and output device for the analog signal is provided with a D/A conversion part for outputting the analog signal, in response to an imparted input waveform data; an output circuit for transmitting the analog signal output from the D/A conversion part to an output terminal, an A/D conversion part for outputting an output waveform data in response to the imparted analog signal; an input circuit for transmitting the analog signal input via the input terminal to the A/D conversion part; a switching control part for imparting a predetermined reference waveform data to the D/A conversion part, in place of the input waveform data when the characteristics are measured, and for supplying a signal between the D/A conversion part and the output circuit, to the input circuit, rather than the analog signal; an acquisition part for acquiring the output waveform data output from the A/D conversion part as a measured waveform data, when measuring the characteristic, and a calculation part for calculating transmission characteristics of the input circuit and the A/D conversion part, based on the reference waveform data and the measured waveform data. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、信号入出力装置、試験装置および電子デバイスに関する。特に本発明は、アナログ信号の信号入出力装置、試験装置および電子デバイスに関する。   The present invention relates to a signal input / output device, a test apparatus, and an electronic device. In particular, the present invention relates to a signal input / output apparatus, a test apparatus, and an electronic device for analog signals.

任意波形のアナログ信号を被試験デバイスに供給する信号発生装置と、被試験デバイスから出力されたアナログ信号の波形を取り込んでデジタル化するデジタイザとを備える試験装置が知られている(例えば、特許文献1参照。)。このような試験装置によれば、アナログ信号を入出力する電子デバイスを試験することができる。   2. Description of the Related Art A test apparatus is known that includes a signal generator that supplies an analog signal having an arbitrary waveform to a device under test and a digitizer that takes in and digitizes the waveform of the analog signal output from the device under test (for example, Patent Documents). 1). According to such a test apparatus, an electronic device that inputs and outputs analog signals can be tested.

また、このような試験装置は、アナログ信号を入力する入力端子からデジタイザ内のAD変換器までの経路の伝達特性に応じて、当該デジタイザにより取り込んだ波形データを補正する。これにより、試験装置によれば、デジタイザの入力端子からAD変換器までの経路において生じる信号劣化を、取り込んだ波形データから除去することができる。
特開2006−337140号公報
Such a test apparatus corrects the waveform data captured by the digitizer according to the transfer characteristics of the path from the input terminal for inputting an analog signal to the AD converter in the digitizer. As a result, according to the test apparatus, it is possible to remove signal degradation that occurs in the path from the input terminal of the digitizer to the AD converter from the captured waveform data.
JP 2006-337140 A

ところで、デジタイザの入力端子からAD変換器までの経路の伝達特性は、ネットワークアナライザによって予め測定されていなければならない。従って、使用者は、例えばキャリブレーション時に、当該試験装置の入力端子およびAD変換器にネットワークアナライザのプローブを接続し、伝達特性を測定しなければならなかった。このため、このような試験装置によれば、伝達特性の測定のための作業工数が多かった。   Incidentally, the transfer characteristic of the path from the input terminal of the digitizer to the AD converter must be measured in advance by a network analyzer. Therefore, the user must connect the probe of the network analyzer to the input terminal of the test apparatus and the AD converter and measure the transfer characteristics at the time of calibration, for example. For this reason, according to such a test apparatus, the number of work steps for measuring the transfer characteristics is large.

また、ネットワークアナライザは、プローブを接続することができないような部分までの経路の伝達特性(例えばIC内部の途中までの経路の伝達特性)を測定することはできない。従って、ネットワークアナライザは、AD変換器の内部回路を含めた経路の伝達特性を測定することができなかった。   Further, the network analyzer cannot measure the transfer characteristic of a route to a part where the probe cannot be connected (for example, the transfer characteristic of the route to the middle of the IC). Therefore, the network analyzer cannot measure the transfer characteristic of the path including the internal circuit of the AD converter.

また、ネットワークアナライザは、差動信号を入力することが困難である。従って、AD変換器が差動入力となっており、AD変換器の前段にシングルエンド信号を差動信号に変換する差動増幅器が設けられている場合、ネットワークアナライザは、当該差動増幅器を含めた経路の伝達特性を確度良く測定することが困難であった。   Moreover, it is difficult for the network analyzer to input a differential signal. Therefore, when the AD converter is a differential input and a differential amplifier for converting a single-ended signal into a differential signal is provided in the previous stage of the AD converter, the network analyzer includes the differential amplifier. It was difficult to accurately measure the transfer characteristics of the path.

そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる信号入出力装置、試験装置および電子デバイスを提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。   Therefore, an object of the present invention is to provide a signal input / output apparatus, a test apparatus, and an electronic device that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims. The dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.

上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、アナログ信号の信号入出力装置であって、与えられた入力波形データに応じたアナログ信号を出力するDA変換部と、DA変換部により出力されたアナログ信号を出力端子へ伝達する出力回路と、与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するAD変換部と、入力端子を介して入力したアナログ信号をAD変換部へ伝達する入力回路と、特性測定時において、入力波形データに代えて予め定められた基準波形データをDA変換部に与え、入力端子からのアナログ信号に代えてDA変換部と出力回路との間の信号を入力回路に供給する切替制御部と、特性測定時において、AD変換部により出力された出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、基準波形データおよび測定波形データに基づき、入力回路およびAD変換部の伝達特性を算出する算出部とを備える信号入出力装置を提供する。   In order to solve the above-described problem, in the first embodiment of the present invention, a signal input / output device for an analog signal, a DA converter that outputs an analog signal corresponding to given input waveform data, and a DA converter An output circuit for transmitting an analog signal output from the output unit to an output terminal, an AD converter for outputting output waveform data corresponding to the given analog signal, and an analog signal input via the input terminal to the AD converter In the characteristic measurement, the reference waveform data determined in advance instead of the input waveform data is given to the DA converter, and the analog signal from the input terminal is replaced with the analog signal from the DA converter and the output circuit. A switching control unit that supplies a signal to the input circuit, an acquisition unit that acquires output waveform data output from the AD conversion unit as measurement waveform data during characteristic measurement, and a reference wave Based on the data and the measured waveform data, to provide a signal output device and a calculation unit for calculating a transfer characteristic of the input circuit and the AD converter.

本発明の第2の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに供給すべき試験信号の波形を表す入力波形データに応じたアナログ信号を出力するDA変換部と、DA変換部により出力されたアナログ信号を被試験デバイスへ伝達する出力回路と、与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するAD変換部と、被試験デバイスから出力されたアナログ信号をAD変換部へ伝達する入力回路と、入力回路およびAD変換部の伝達特性の逆特性に応じて、出力波形データを補正する補正部と、補正された出力波形データに基づき、被試験デバイスの良否を判定する判定部と、特性測定時において、入力波形データに代えて予め定められた基準波形データをDA変換部に与え、被試験デバイスからのアナログ信号に代えてDA変換部と出力回路との間の信号を入力回路に供給する切替制御部と、特性測定時において、AD変換部により出力された出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、基準波形データおよび測定波形データに基づき、入力回路およびAD変換部の伝達特性を算出する算出部とを備える試験装置を提供する。   In the second embodiment of the present invention, a DA converter for testing a device under test, which outputs an analog signal corresponding to input waveform data representing a waveform of a test signal to be supplied to the device under test; , An output circuit for transmitting the analog signal output from the DA converter to the device under test, an AD converter for outputting output waveform data corresponding to the given analog signal, and the analog signal output from the device under test The input circuit that transmits to the AD converter, the corrector that corrects the output waveform data according to the inverse characteristics of the transfer characteristics of the input circuit and the AD converter, and the quality of the device under test based on the corrected output waveform data And a reference waveform data set in advance in place of the input waveform data to the DA converter during the characteristic measurement. A switching control unit that supplies a signal between the DA conversion unit and the output circuit to the input circuit instead of the log signal, and acquisition of the output waveform data output by the AD conversion unit as measurement waveform data during characteristic measurement A test apparatus is provided that includes a calculation unit that calculates a transfer characteristic of an input circuit and an AD conversion unit based on a reference waveform data and measurement waveform data.

本発明の第3の形態においては、電子デバイスであって、被試験回路と、被試験回路を試験する試験回路とを備え、試験回路は、被試験回路に供給すべき試験信号の波形を表す入力波形データに応じたアナログ信号を出力するDA変換部と、DA変換部により出力されたアナログ信号を被試験回路へ伝達する出力回路と、与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するAD変換部と、被試験回路から出力されたアナログ信号をAD変換部へ伝達する入力回路と、入力回路およびAD変換部の伝達特性の逆特性に応じて、出力波形データを補正する補正部と、補正された出力波形データに基づき、被試験回路の良否を判定する判定部と、特性測定時において、入力波形データに代えて予め定められた基準波形データをDA変換部に与え、被試験回路からのアナログ信号に代えてDA変換部と出力回路との間の信号を入力回路に供給する切替制御部と、特性測定時において、AD変換部により出力された出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、基準波形データおよび測定波形データに基づき、入力回路およびAD変換部の伝達特性を算出する算出部とを備える電子デバイスを提供する。   According to a third aspect of the present invention, an electronic device includes a circuit under test and a test circuit for testing the circuit under test, and the test circuit represents a waveform of a test signal to be supplied to the circuit under test. A DA converter that outputs an analog signal corresponding to the input waveform data, an output circuit that transmits the analog signal output from the DA converter to the circuit under test, and output waveform data corresponding to the given analog signal An AD converter, an input circuit that transmits an analog signal output from the circuit under test to the AD converter, and a correction unit that corrects the output waveform data according to the reverse characteristics of the transfer characteristics of the input circuit and the AD converter; A determination unit for determining the quality of the circuit under test based on the corrected output waveform data, and a reference waveform data set in advance in place of the input waveform data at the time of characteristic measurement in the DA conversion unit A switching control unit for supplying a signal between the DA conversion unit and the output circuit to the input circuit instead of an analog signal from the circuit under test, and output waveform data output by the AD conversion unit during the characteristic measurement. An electronic device is provided that includes an acquisition unit that acquires measurement waveform data, and a calculation unit that calculates transfer characteristics of an input circuit and an AD conversion unit based on reference waveform data and measurement waveform data.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   The above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention, and sub-combinations of these feature groups can also be the invention.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention. However, the following embodiments do not limit the invention according to the scope of claims, and all combinations of features described in the embodiments are included. It is not necessarily essential for the solution of the invention.

図1は、本実施形態に係る試験装置10の構成を、被試験デバイス300と共に示す。図2は、図1に示された出力回路36の構成の一例を示す。   FIG. 1 shows a configuration of a test apparatus 10 according to the present embodiment, together with a device under test 300. FIG. 2 shows an example of the configuration of the output circuit 36 shown in FIG.

試験装置10は、アナログ信号を入出力する被試験デバイス300を試験する。より詳しくは、試験装置10は、アナログの試験信号を被試験デバイス300に供給し、試験信号に応じて被試験デバイス300から出力されたアナログの出力信号を取り込む。そして、試験装置10は、取り込んだ出力信号の波形と期待波形とを比較して、当該被試験デバイス300の良否を判定する。   The test apparatus 10 tests the device under test 300 that inputs and outputs analog signals. More specifically, the test apparatus 10 supplies an analog test signal to the device under test 300 and takes in an analog output signal output from the device under test 300 according to the test signal. Then, the test apparatus 10 compares the captured waveform of the output signal with the expected waveform to determine whether the device under test 300 is good or bad.

試験装置10は、波形メモリ12と、転送部14と、判定部16と、信号入出力装置20とを備える。波形メモリ12は、被試験デバイス300に供給すべき試験信号の波形を表す波形データ(入力波形データ)を記憶する。試験装置10は、一例として、正弦波およびランプ波等の任意波形を所定ピッチでサンプルした信号値の系列を、入力波形データとして記憶する。   The test apparatus 10 includes a waveform memory 12, a transfer unit 14, a determination unit 16, and a signal input / output device 20. The waveform memory 12 stores waveform data (input waveform data) representing the waveform of the test signal to be supplied to the device under test 300. As an example, the test apparatus 10 stores a series of signal values obtained by sampling an arbitrary waveform such as a sine wave and a ramp wave at a predetermined pitch as input waveform data.

転送部14は、波形メモリ12に記憶されている入力波形データを順次に読み出して信号入出力装置20に転送する。転送部14は、一例として、リストに従った順序で入力波形データを読み出してよい。判定部16は、信号入出力装置20により取り込まれた被試験デバイス300の出力信号の波形と期待波形とを比較する。そして、判定部16は、比較結果に基づき被試験デバイス300の良否を判定する。   The transfer unit 14 sequentially reads the input waveform data stored in the waveform memory 12 and transfers it to the signal input / output device 20. For example, the transfer unit 14 may read the input waveform data in the order according to the list. The determination unit 16 compares the waveform of the output signal of the device under test 300 captured by the signal input / output device 20 with the expected waveform. Then, the determination unit 16 determines pass / fail of the device under test 300 based on the comparison result.

信号入出力装置20は、第1切替部32と、DA変換部34と、出力回路36と、第2切替部42と、入力回路44と、AD変換部46と、補正部48と、基準波形発生部52と、切替制御部54と、取得部56と、算出部58とを有する。信号入出力装置20は、試験時において、転送部14から与えられた入力波形データに応じた波形のアナログの試験信号を生成し、出力端子26を介して被試験デバイス300に供給する。また、信号入出力装置20は、試験時において、被試験デバイス300から出力されたアナログの出力信号を入力端子28を介して入力し、入力した出力信号をデジタル化し、当該出力信号の波形を取り込む。   The signal input / output device 20 includes a first switching unit 32, a DA conversion unit 34, an output circuit 36, a second switching unit 42, an input circuit 44, an AD conversion unit 46, a correction unit 48, and a reference waveform. The generation unit 52, the switching control unit 54, the acquisition unit 56, and the calculation unit 58 are included. During the test, the signal input / output device 20 generates an analog test signal having a waveform corresponding to the input waveform data given from the transfer unit 14 and supplies the analog test signal to the device under test 300 via the output terminal 26. Further, the signal input / output device 20 inputs an analog output signal output from the device under test 300 via the input terminal 28 during the test, digitizes the input output signal, and captures the waveform of the output signal. .

さらに、信号入出力装置20は、例えば一定期間毎または試験開始前等に、例えばキャリブレーションを目的として当該信号入出力装置20の特性を測定する。特性測定時において、信号入出力装置20は、入力端子28からAD変換部46の出力端までの信号経路の伝達特性を測定する。   Further, the signal input / output device 20 measures the characteristics of the signal input / output device 20 for the purpose of calibration, for example, at regular intervals or before the start of the test. At the time of characteristic measurement, the signal input / output device 20 measures the transmission characteristic of the signal path from the input terminal 28 to the output end of the AD conversion unit 46.

第1切替部32は、転送部14から出力された入力波形データまたは基準波形発生部52から出力された基準波形データの一方を選択して、DA変換部34に与える。より詳しくは、第1切替部32は、試験時において入力波形データを選択してDA変換部34に与え、特性測定時において基準波形データを選択してDA変換部34に与える。   The first switching unit 32 selects one of the input waveform data output from the transfer unit 14 or the reference waveform data output from the reference waveform generation unit 52 and supplies the selected waveform data to the DA conversion unit 34. More specifically, the first switching unit 32 selects input waveform data at the time of testing and supplies it to the DA conversion unit 34, and selects reference waveform data at the time of characteristic measurement and supplies it to the DA conversion unit 34.

DA変換部34は、与えられた波形データに応じたアナログ信号を出力する。より詳しくは、DA変換部34は、試験時において、転送部14から与えられた入力波形データをDA変換することにより、入力波形データに応じたアナログ信号を出力する。また、DA変換部34は、特性測定時において、入力波形データに代えて、基準波形発生部52から与えられた基準波形データをDA変換することにより、基準波形データに応じたアナログ信号を出力する。   The DA converter 34 outputs an analog signal corresponding to the given waveform data. More specifically, the DA conversion unit 34 outputs an analog signal corresponding to the input waveform data by performing DA conversion on the input waveform data given from the transfer unit 14 during the test. Further, the DA converter 34 outputs an analog signal corresponding to the reference waveform data by performing DA conversion on the reference waveform data given from the reference waveform generator 52 instead of the input waveform data at the time of characteristic measurement. .

DA変換部34は、一例として、差動DAC342と、トランス344とを含んでよい。差動DAC342は、与えられた波形データに応じた差動信号を出力する。トランス344は、差動DAC342から出力された差動信号をシングルエンド信号に変換する。   As an example, the DA converter 34 may include a differential DAC 342 and a transformer 344. The differential DAC 342 outputs a differential signal corresponding to the given waveform data. The transformer 344 converts the differential signal output from the differential DAC 342 into a single-ended signal.

出力回路36は、DA変換部34により出力されたアナログ信号を出力端子26を介して被試験デバイス300へ伝達する。出力回路36は、一例として、帯域制限回路であってよい。すなわち、出力回路36は、一例として、DA変換部34から出力されたアナログ信号の帯域を制限した信号を、被試験デバイス300に供給してよい。   The output circuit 36 transmits the analog signal output from the DA converter 34 to the device under test 300 via the output terminal 26. For example, the output circuit 36 may be a band limiting circuit. That is, for example, the output circuit 36 may supply the device under test 300 with a signal in which the band of the analog signal output from the DA converter 34 is limited.

出力回路36は、一例として、図2に示されるような、第1アテネータ62と、フィルタ回路64と、第2アテネータ66と、増幅器68とを含む帯域制限回路60を有してよい。第1アテネータ62は、DA変換部34から出力されたアナログ信号を減衰する。フィルタ回路64は、第1アテネータ62により減衰されたアナログ信号をフィルタリングする。第2アテネータ66は、フィルタ回路64によりフィルタリングされたアナログ信号を減衰する。増幅器68は、第2アテネータ66により減衰されたアナログ信号を増幅する。これにより、帯域制限回路60によれば、DA変換部34から出力されたアナログ信号を帯域制限した信号を被試験デバイス300に与えることができる。   As an example, the output circuit 36 may include a band limiting circuit 60 including a first attenuator 62, a filter circuit 64, a second attenuator 66, and an amplifier 68 as shown in FIG. The first attenuator 62 attenuates the analog signal output from the DA converter 34. The filter circuit 64 filters the analog signal attenuated by the first attenuator 62. The second attenuator 66 attenuates the analog signal filtered by the filter circuit 64. The amplifier 68 amplifies the analog signal attenuated by the second attenuator 66. Thereby, according to the band limiting circuit 60, a signal obtained by band limiting the analog signal output from the DA converter 34 can be given to the device under test 300.

第2切替部42は、被試験デバイス300から出力されたアナログ信号またはDA変換部34から出力されたアナログ信号の一方を選択して、入力回路44に与える。より詳しくは、第2切替部42は、試験時において被試験デバイス300から出力されたアナログ信号を選択して入力回路44に与え、特性測定時においてDA変換部34から出力されたアナログ信号を選択して入力回路44に与える。   The second switching unit 42 selects one of the analog signal output from the device under test 300 or the analog signal output from the DA conversion unit 34 and supplies the selected analog signal to the input circuit 44. More specifically, the second switching unit 42 selects an analog signal output from the device under test 300 at the time of testing and applies it to the input circuit 44, and selects the analog signal output from the DA conversion unit 34 at the time of characteristic measurement. To the input circuit 44.

入力回路44は、第2切替部42を介して入力したアナログ信号をAD変換部46へ伝達する。より詳しくは、入力回路44は、試験時において、被試験デバイス300から出力されたアナログ信号を入力端子28を介して入力し、入力したアナログ信号をAD変換部46へ伝達する。入力回路44は、特性測定時において、DA変換部34から出力されたアナログ信号を入力し、入力したアナログ信号をAD変換部46へ伝達する。入力回路44は、一例として、伝達するアナログ信号の帯域を制限してよい。すなわち、入力回路44は、一例として、被試験デバイス300から出力されたアナログ信号またはDA変換部34から出力されたアナログ信号の帯域を制限した信号を、AD変換部46に供給してよい。   The input circuit 44 transmits the analog signal input via the second switching unit 42 to the AD conversion unit 46. More specifically, the input circuit 44 inputs an analog signal output from the device under test 300 via the input terminal 28 and transmits the input analog signal to the AD conversion unit 46 during the test. The input circuit 44 inputs the analog signal output from the DA conversion unit 34 and transmits the input analog signal to the AD conversion unit 46 at the time of characteristic measurement. For example, the input circuit 44 may limit the band of the analog signal to be transmitted. That is, for example, the input circuit 44 may supply the AD converter 46 with an analog signal output from the device under test 300 or a signal in which the band of the analog signal output from the DA converter 34 is limited.

AD変換部46は、入力回路44から与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力する。より詳しくは、AD変換部46は、試験時において、被試験デバイス300から出力され、入力回路44を通過したアナログ信号をDA変換し、DA変換の結果得られた出力波形データを出力する。また、AD変換部46は、特性測定時において、DA変換部34から出力され、入力回路44を通過したアナログ信号をDA変換し、DA変換した結果得られた出力波形データを出力する。   The AD converter 46 outputs output waveform data corresponding to the analog signal supplied from the input circuit 44. More specifically, the AD converter 46 DA-converts the analog signal output from the device under test 300 and passed through the input circuit 44 during the test, and outputs output waveform data obtained as a result of the DA conversion. Further, the AD conversion unit 46 DA-converts the analog signal output from the DA conversion unit 34 and passed through the input circuit 44 at the time of characteristic measurement, and outputs output waveform data obtained as a result of the DA conversion.

AD変換部46は、一例として、差動アンプ462と、差動ADC464とを含んでよい。差動アンプ462は、入力回路44から出力されたシングルエンド信号を差動信号に変換する。差動ADC464は、差動アンプ462から出力された差動信号に応じたデジタル信号を出力する。   As an example, the AD conversion unit 46 may include a differential amplifier 462 and a differential ADC 464. The differential amplifier 462 converts the single end signal output from the input circuit 44 into a differential signal. The differential ADC 464 outputs a digital signal corresponding to the differential signal output from the differential amplifier 462.

補正部48は、入力回路44およびAD変換部46の伝達特性の逆特性に応じて、出力波形データを補正する。すなわち、補正部48は、入力回路44の入力端からAD変換部46の出力端までの経路の伝達特性の逆特性に応じて、AD変換部46から出力された出力波形データを補正する。   The correction unit 48 corrects the output waveform data according to the inverse characteristics of the transfer characteristics of the input circuit 44 and the AD conversion unit 46. That is, the correction unit 48 corrects the output waveform data output from the AD conversion unit 46 according to the reverse characteristic of the transfer characteristic of the path from the input end of the input circuit 44 to the output end of the AD conversion unit 46.

補正部48は、一例として、入力回路44の入力端からAD変換部46の出力端までの経路のSパラメータにより出力波形データを補正してよい。補正部48は、一例として、出力波形データを周波数成分毎に分解し、各周波数成分を対応する周波数のSパラメータにより補正してよい。補正部48は、一例として、出力波形データの周波数成分を、対応する周波数のSパラメータの係数S21により除算することにより補正してよい。これにより、補正部48によれば、入力回路44およびAD変換部46において生じる信号劣化を補正した出力波形データを出力することができる。 As an example, the correction unit 48 may correct the output waveform data based on the S parameter of the path from the input end of the input circuit 44 to the output end of the AD conversion unit 46. For example, the correction unit 48 may decompose the output waveform data for each frequency component, and correct each frequency component with the S parameter of the corresponding frequency. Correcting unit 48, as an example, the frequency components of the output waveform data, may be corrected by dividing by a factor S 21 of S parameters of the corresponding frequency. As a result, the correction unit 48 can output output waveform data in which signal degradation occurring in the input circuit 44 and the AD conversion unit 46 is corrected.

そして、補正部48は、補正した出力波形データを判定部16に供給する。これにより、判定部16によれば、補正部48により補正された出力波形データに基づき、被試験デバイス300の良否を判定することができる。   Then, the correction unit 48 supplies the corrected output waveform data to the determination unit 16. Thereby, the determination unit 16 can determine the quality of the device under test 300 based on the output waveform data corrected by the correction unit 48.

基準波形発生部52は、特性測定時において、予め定められた基準波形データを発生する。本実施形態においては、基準波形発生部52は、複数の周波数成分を含む波形(マルチトーン信号)の信号値の系列を、基準波形データとして発生する。   The reference waveform generator 52 generates predetermined reference waveform data at the time of characteristic measurement. In the present embodiment, the reference waveform generator 52 generates a series of signal values of a waveform (multitone signal) including a plurality of frequency components as reference waveform data.

切替制御部54は、第1切替部32および第2切替部42を制御する。より詳細には、切替制御部54は、試験時において、転送部14から出力された入力波形データをDA変換部34に与えるように第1切替部32を切り替え、被試験デバイス300からのアナログ信号を入力回路44に供給するように第2切替部42を切り替える。また、切替制御部54は、特性測定時において、入力波形データに代えて予め定められた基準波形データをDA変換部34に与えるように第1切替部32を切り替え、被試験デバイス300からのアナログ信号に代えてDA変換部34と出力回路36との間の信号を入力回路44に供給するように第2切替部42を切り替える。   The switching control unit 54 controls the first switching unit 32 and the second switching unit 42. More specifically, the switching control unit 54 switches the first switching unit 32 so that the input waveform data output from the transfer unit 14 is supplied to the DA conversion unit 34 during the test, and the analog signal from the device under test 300 is switched. Is switched to the input circuit 44. Further, the switching control unit 54 switches the first switching unit 32 so as to provide the DA converter 34 with predetermined reference waveform data instead of the input waveform data at the time of characteristic measurement, and the analog from the device under test 300 is switched. The second switching unit 42 is switched so that a signal between the DA converter 34 and the output circuit 36 is supplied to the input circuit 44 instead of the signal.

取得部56は、特性測定時において、AD変換部46により出力された出力波形データを測定波形データとして取得する。すなわち、取得部56は、DA変換部34から出力され、入力回路44を通過したアナログ信号をAD変換部46によりサンプルした結果得られた信号値の系列を、測定波形データとして取得する。   The acquisition unit 56 acquires the output waveform data output from the AD conversion unit 46 as measurement waveform data during characteristic measurement. That is, the acquisition unit 56 acquires a series of signal values obtained as a result of sampling the analog signal output from the DA conversion unit 34 and passed through the input circuit 44 by the AD conversion unit 46 as measurement waveform data.

算出部58は、基準波形データおよび測定波形データに基づき、入力回路44およびAD変換部46の伝達特性を算出する。すなわち、算出部58は、基準波形データおよび測定波形データに基づき、入力回路44の入力端からAD変換部46の出力端までの経路の伝達特性を算出する。算出部58は、一例として、入力回路44の入力端からAD変換部46の出力端までの経路のSパラメータを、伝達特性として算出してよい。   The calculation unit 58 calculates transfer characteristics of the input circuit 44 and the AD conversion unit 46 based on the reference waveform data and the measurement waveform data. That is, the calculation unit 58 calculates the transfer characteristic of the path from the input end of the input circuit 44 to the output end of the AD conversion unit 46 based on the reference waveform data and the measurement waveform data. For example, the calculation unit 58 may calculate the S parameter of the path from the input end of the input circuit 44 to the output end of the AD conversion unit 46 as a transfer characteristic.

そして、算出部58は、入力回路44の入力端からAD変換部46の出力端までの経路の伝達特性の逆特性を算出し、算出した逆特性を補正部48に与える。算出部58は、一例として、入力回路44の入力端からAD変換部46の出力端までの経路のSパラメータを補正部48に与えてよい。   Then, the calculation unit 58 calculates the reverse characteristic of the transfer characteristic of the path from the input end of the input circuit 44 to the output end of the AD conversion unit 46, and gives the calculated reverse characteristic to the correction unit 48. For example, the calculation unit 58 may provide the correction unit 48 with the S parameter of the path from the input end of the input circuit 44 to the output end of the AD conversion unit 46.

以上の構成の試験装置10によれば、ネットワークアナライザを用いずに入力端子28から補正部48の出力端までの伝達特性を測定することができる。これにより、試験装置10によれば、伝達特性の測定の自動化をすることができ、作業工程を少なくすることができる。   According to the test apparatus 10 having the above configuration, transfer characteristics from the input terminal 28 to the output end of the correction unit 48 can be measured without using a network analyzer. Thereby, according to the test apparatus 10, the measurement of a transfer characteristic can be automated and work processes can be reduced.

また、試験装置10によれば、補正部48の内部回路を含めた経路の伝達特性を測定することができる。さらに、試験装置10によれば、補正部48内に差動ADC464および差動アンプ462を含む場合であっても、これらを含めた伝送特性を測定することができる。これにより、試験装置10によれば、入力端子28から補正部48の出力端までの伝達特性を精度良く測定することができる。   Further, according to the test apparatus 10, it is possible to measure the transfer characteristics of the path including the internal circuit of the correction unit 48. Further, according to the test apparatus 10, even when the correction unit 48 includes the differential ADC 464 and the differential amplifier 462, transmission characteristics including these can be measured. Thereby, according to the test apparatus 10, the transfer characteristic from the input terminal 28 to the output terminal of the correction | amendment part 48 can be measured with a sufficient precision.

図3は、特性測定時において形成される2ポートネットワーク70を示す。特性測定時において、信号入出力装置20内には、DA変換部34、入力回路44およびAD変換部46を含む2ポートネットワーク70が形成される。2ポートネットワーク70の入力ポート72に対する入力信号のレベルをa、出力信号のレベルをbとし、出力ポート74に対する入力信号のレベルをa、出力信号のレベルをbとした場合、当該2ポートネットワーク70のSパラメータは式(1)のように表される。 FIG. 3 shows a two-port network 70 formed during characteristic measurement. At the time of characteristic measurement, a two-port network 70 including a DA converter 34, an input circuit 44, and an AD converter 46 is formed in the signal input / output device 20. When the input signal level for the input port 72 of the two-port network 70 is a 1 , the output signal level is b 1 , the input signal level for the output port 74 is a 2 , and the output signal level is b 2 , The S parameter of the 2-port network 70 is expressed as shown in Equation (1).

Figure 2008286699
Figure 2008286699

ここで、DA変換部34は、AD変換部46のサンプリングレートよりも十分に高いサンプリングレートにより、デジタルデータをアナログ信号に変換する。この結果、DA変換部34は、AD変換部46と比較して、高速に動作し、動作帯域も広い。また、DA変換部34の出力段の回路(例えば、トランス344)も、周波数特性が広い。従って、DA変換部34の周波数特性は、AD変換部46の動作帯域において理想的(ゲイン1、位相0)に近い。   Here, the DA converter 34 converts the digital data into an analog signal at a sampling rate sufficiently higher than the sampling rate of the AD converter 46. As a result, the DA converter 34 operates at a higher speed and has a wider operation band than the AD converter 46. Further, the output stage circuit of the DA converter 34 (for example, the transformer 344) also has a wide frequency characteristic. Therefore, the frequency characteristics of the DA converter 34 are close to ideal (gain 1, phase 0) in the operating band of the AD converter 46.

DA変換部34の周波数特性が理想的である場合、入力回路44の入力端からAD変換部46の出力端までの経路のSパラメータは、2ポートネットワーク70のSパラメータに一致する。従って、算出部58は、式(1)に表された2ポートネットワーク70のSパラメータを算出することによって、入力回路44の入力端からAD変換部46の出力端までの経路のSパラメータを算出することができる。   When the frequency characteristic of the DA converter 34 is ideal, the S parameter of the path from the input end of the input circuit 44 to the output end of the AD converter 46 matches the S parameter of the 2-port network 70. Therefore, the calculation unit 58 calculates the S parameter of the path from the input end of the input circuit 44 to the output end of the AD conversion unit 46 by calculating the S parameter of the two-port network 70 expressed by the equation (1). can do.

また、2ポートネットワーク70において、入力ポート72からの出力信号bおよび出力ポート74に対する入力信号aは、0である。従って、式(1)におけるS11、S12、S22は、0である。そして、式(1)におけるS21は、下記式(2)のように表される。 In the two-port network 70, the output signal b 1 from the input port 72 and the input signal a 2 to the output port 74 are zero. Therefore, S 11 , S 12 and S 22 in the formula (1) are 0. Then, S 21 in the formula (1) is expressed by the following equation (2).

Figure 2008286699
Figure 2008286699

従って、算出部58は、入力波形データおよび測定波形データに基づき、上記式(2)を演算することにより、入力回路44およびAD変換部46のSパラメータを算出することができる。すなわち、算出部58は、測定波形データにより表される波形のレベルを、入力波形データにより表される波形のレベルにより除算することにより、入力回路44およびAD変換部46のSパラメータ(係数S21)を算出することができる。本実施形態においては、算出部58は、周波数毎に、Sパラメータを算出する。そして、算出部58は、特性測定時において算出した周波数毎のSパラメータを、補正部48に与える。 Therefore, the calculation unit 58 can calculate the S parameter of the input circuit 44 and the AD conversion unit 46 by calculating the above equation (2) based on the input waveform data and the measured waveform data. In other words, the calculation unit 58 divides the waveform level represented by the measured waveform data by the waveform level represented by the input waveform data, so that the S parameter (coefficient S 21) of the input circuit 44 and the AD conversion unit 46 is obtained. ) Can be calculated. In the present embodiment, the calculation unit 58 calculates an S parameter for each frequency. Then, the calculation unit 58 gives the S parameter for each frequency calculated during the characteristic measurement to the correction unit 48.

補正部48は、試験時において、与えられた周波数毎のSパラメータに基づき、AD変換部46から出力された測定波形データを補正して、判定部16に供給する。より具体的には、補正部48は、周波数毎に、与えられたSパラメータ(係数S21)に基づき、AD変換部46から出力された信号を下記式(3)に表されるように補正する。すなわち、補正部48は、出力波形データを周波数成分毎に分解し、周波数成分毎に、AD変換部46から出力された信号値BADCを、対応する周波数のSパラメータの係数S21により除算することにより、補正をする。なお、式(3)において、BADC(f)は、AD変換部46から出力された信号の周波数fの成分を表し、B(f)は、補正後の信号値の周波数fの成分を表し、S21(f)は、Sパラメータの係数S21の周波数fの成分を表す。 The correction unit 48 corrects the measurement waveform data output from the AD conversion unit 46 based on the given S parameter for each frequency during the test, and supplies the corrected measurement waveform data to the determination unit 16. More specifically, the correction unit 48 corrects the signal output from the AD conversion unit 46 based on the given S parameter (coefficient S 21 ) for each frequency as represented by the following equation (3). To do. That is, the correction unit 48 decomposes the output waveform data for each frequency component, dividing each frequency component, the signal value B ADC output from the AD conversion unit 46, the coefficient S 21 of S parameters of the corresponding frequency To correct. In Equation (3), B ADC (f) represents the frequency f component of the signal output from the AD converter 46, and B O (f) represents the frequency f component of the corrected signal value. S 21 (f) represents the frequency f component of the S parameter coefficient S 21 .

Figure 2008286699
Figure 2008286699

図4は、算出部58により算出されるSパラメータ(係数S21)の一例を示す。算出部58は、周波数毎に、入力回路44およびAD変換部46のSパラメータ(係数S21)を測定して、記憶する。算出部58は、一例として、所定周波数帯域(例えば、40MHz〜80MHz)における所定周波数毎に、入力回路44およびAD変換部46のSパラメータの係数S21の実数成分および虚数成分を測定して、記憶してよい。そして、算出部58は、測定した入力回路44およびAD変換部46の周波数毎のSパラメータを、補正部48に与える。 FIG. 4 shows an example of the S parameter (coefficient S 21 ) calculated by the calculation unit 58. The calculation unit 58 measures and stores the S parameter (coefficient S 21 ) of the input circuit 44 and the AD conversion unit 46 for each frequency. Calculating section 58, as an example, a predetermined frequency band (e.g., 40MHz~80MHz) for each predetermined frequency in, by measuring the real and imaginary components of the coefficients S 21 of S parameters of the input circuit 44 and the AD converter 46, You may remember. Then, the calculation unit 58 gives the measured S parameter for each frequency of the input circuit 44 and the AD conversion unit 46 to the correction unit 48.

図5は、基準波形発生部52から発生される基準波形データとして発生されるマルチトーン信号の周波数特性の一例を示す。基準波形発生部52は、一例として、マルチトーン信号をデジタル化した基準波形データを発生してよい。マルチトーン信号は、複数の周波数成分が合成された信号である。マルチトーン信号は、一例として、所定周波数帯域(例えば、40MHz〜80MHz)における所定周波数毎に、所定のレベルの信号を含んでよい。   FIG. 5 shows an example of frequency characteristics of a multitone signal generated as reference waveform data generated from the reference waveform generator 52. For example, the reference waveform generator 52 may generate reference waveform data obtained by digitizing a multitone signal. A multitone signal is a signal in which a plurality of frequency components are combined. As an example, the multitone signal may include a signal of a predetermined level for each predetermined frequency in a predetermined frequency band (for example, 40 MHz to 80 MHz).

切替制御部54は、特性測定時において、入力波形データに代えて、基準波形発生部52により発生されたマルチトーン信号をデジタル化した基準波形データを、DA変換部34に与える。算出部58は、入力回路44およびAD変換部46の周波数毎の伝達特性を算出する。算出部58は、一例として、取得部56により取得された測定波形データをFFT演算等により周波数成分に分解し、周波数毎に、Sパラメータを算出してよい。これにより、信号入出力装置20によれば、入力回路44およびAD変換部46の周波数毎の伝達特性を短時間で測定することができる。   The switching control unit 54 provides the DA converter 34 with reference waveform data obtained by digitizing the multitone signal generated by the reference waveform generation unit 52 instead of the input waveform data at the time of characteristic measurement. The calculation unit 58 calculates transfer characteristics for each frequency of the input circuit 44 and the AD conversion unit 46. For example, the calculation unit 58 may decompose the measurement waveform data acquired by the acquisition unit 56 into frequency components by FFT calculation or the like, and calculate the S parameter for each frequency. Thereby, according to the signal input / output device 20, the transfer characteristics for each frequency of the input circuit 44 and the AD conversion unit 46 can be measured in a short time.

なお、基準波形発生部52は、時間領域における最大値と最小値との差がより小さくなるように各周波数成分のレベルが調整されたマルチトーン信号を発生してよい。これにより、基準波形発生部52によれば、DA変換部34からAD変換部46までの伝送路中において生じるマルチトーン信号の歪を小さくすることができる。   Note that the reference waveform generation unit 52 may generate a multitone signal in which the level of each frequency component is adjusted so that the difference between the maximum value and the minimum value in the time domain becomes smaller. Thereby, according to the reference waveform generation unit 52, it is possible to reduce the distortion of the multitone signal generated in the transmission path from the DA conversion unit 34 to the AD conversion unit 46.

更に、基準波形発生部52は、DA変換部34における0次ホールドによる高周波成分の減衰を予め補正したマルチトーン信号をデジタル化した基準波形データを発生してよい。これにより、基準波形発生部52によれば、DA変換部34において生じる誤差を除去し、入力回路44およびAD変換部46の伝達特性をより正確に算出することができる。   Further, the reference waveform generation unit 52 may generate reference waveform data obtained by digitizing a multi-tone signal in which attenuation of a high frequency component due to 0th-order hold in the DA conversion unit 34 is corrected in advance. Thereby, according to the reference waveform generation unit 52, errors generated in the DA conversion unit 34 can be removed, and the transfer characteristics of the input circuit 44 and the AD conversion unit 46 can be calculated more accurately.

図6は、本実施形態の第1変形例に係る試験装置10の構成を示す。本変形例に係る試験装置10は、図1に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。   FIG. 6 shows a configuration of a test apparatus 10 according to a first modification of the present embodiment. Since the test apparatus 10 according to this modification employs substantially the same configuration and function as the members having the same reference numerals shown in FIG. 1, the description thereof will be omitted except for the following differences.

本変形例に係る入力回路44は、伝達特性を変更可能である。入力回路44は、一例として、経路中の増幅器、減衰器、フィルタ回路等の係数および組み合わせを切替可能となっており、これらを切り替えることにより伝達特性を変更することができる。本変形例に係る切替制御部54は、ユーザ等の制御に応じて、入力回路44の伝達特性を変更する。   The input circuit 44 according to this modification can change the transfer characteristics. As an example, the input circuit 44 can switch coefficients and combinations of amplifiers, attenuators, filter circuits, and the like in the path, and the transfer characteristics can be changed by switching these coefficients. The switching control unit 54 according to this modification changes the transfer characteristic of the input circuit 44 according to the control of the user or the like.

本変形例に係る取得部56は、特性測定時において、入力回路44内の経路毎に、測定波形データを取得する。また、算出部58は、入力回路44内の経路毎に、入力回路44の入力端からAD変換部46の出力端までの経路の伝達特性を算出する。算出部58は、入力回路44内の経路毎に、入力回路44の入力端からAD変換部46の出力端までの経路の伝達特性の逆特性を算出し、算出した逆特性を補正部48に与える。   The acquisition unit 56 according to this modification acquires measurement waveform data for each path in the input circuit 44 at the time of characteristic measurement. The calculation unit 58 calculates the transfer characteristic of the path from the input end of the input circuit 44 to the output end of the AD conversion unit 46 for each path in the input circuit 44. The calculation unit 58 calculates the reverse characteristic of the transfer characteristic of the path from the input end of the input circuit 44 to the output end of the AD conversion unit 46 for each path in the input circuit 44, and sends the calculated reverse characteristic to the correction unit 48. give.

そして、補正部48は、試験時において、入力回路44内の経路毎に、対応する経路の伝達特性の逆特性に応じて出力波形データを補正する。これにより、補正部48によれば、入力回路44の伝達特性が変更可能な場合であっても、それぞれの経路に対応して出力波形データを正確に補正することができる。   Then, the correction unit 48 corrects the output waveform data for each path in the input circuit 44 according to the inverse characteristic of the transfer characteristic of the corresponding path during the test. Thereby, according to the correction | amendment part 48, even if it is a case where the transfer characteristic of the input circuit 44 can be changed, output waveform data can be correctly correct | amended corresponding to each path | route.

また、本変形例に係る試験装置10は、減衰部80と、振幅制御部82とを更に備える。減衰部80は、DA変換部34により出力されたアナログ信号を減衰する。減衰部80は、減衰させたアナログ信号を第2切替部42に供給する。そして、切替制御部54は、特性測定時において、被試験デバイス300からのアナログ信号に代えて、減衰部80から出力された信号を入力回路44に供給するように第2切替部42を切り替える。   Further, the test apparatus 10 according to this modification further includes an attenuation unit 80 and an amplitude control unit 82. The attenuator 80 attenuates the analog signal output from the DA converter 34. The attenuation unit 80 supplies the attenuated analog signal to the second switching unit 42. Then, the switching control unit 54 switches the second switching unit 42 so that the signal output from the attenuation unit 80 is supplied to the input circuit 44 instead of the analog signal from the device under test 300 during the characteristic measurement.

振幅制御部82は、入力回路44の増幅率に応じて、DA変換部34から出力するアナログ信号の振幅を制御する。本例においては、振幅制御部82は、減衰部80による減衰率を制御することにより、DA変換部34から出力するアナログ信号の振幅を制御する。   The amplitude controller 82 controls the amplitude of the analog signal output from the DA converter 34 according to the amplification factor of the input circuit 44. In this example, the amplitude control unit 82 controls the amplitude of the analog signal output from the DA conversion unit 34 by controlling the attenuation rate by the attenuation unit 80.

ここで、振幅制御部82は、入力回路44から出力された信号がAD変換部46の入力電圧範囲に含まれるように、入力回路44の増幅率に応じて減衰部80の減衰率を制御する。より詳しくは、振幅制御部82は、入力回路44から出力される信号の振幅が、少なくともAD変換部46の分解能よりも大きく、AD変換部46の入力可能最大値以下となるように、減衰部80の減衰率を制御する。これにより、振幅制御部82によれば、入力回路44の増幅率が変更した場合であっても、AD変換部46により波形をデジタル化させることができる。   Here, the amplitude control unit 82 controls the attenuation rate of the attenuation unit 80 according to the amplification rate of the input circuit 44 so that the signal output from the input circuit 44 is included in the input voltage range of the AD conversion unit 46. . More specifically, the amplitude control unit 82 is configured so that the amplitude of the signal output from the input circuit 44 is at least larger than the resolution of the AD conversion unit 46 and equal to or less than the maximum input possible value of the AD conversion unit 46. Control the attenuation factor of 80. Thereby, according to the amplitude control part 82, even if it is a case where the gain of the input circuit 44 changes, the waveform can be digitized by the AD conversion part 46.

図7は、本変形例に係る入力回路44の構成の一例を示す。入力回路44は、一例として、帯域制限部92と、増幅部94と、フィルタ部96と、パス切替部98とを含んでよい。   FIG. 7 shows an example of the configuration of the input circuit 44 according to this modification. For example, the input circuit 44 may include a band limiting unit 92, an amplifying unit 94, a filter unit 96, and a path switching unit 98.

帯域制限部92は、第2切替部42により出力されたアナログ信号を帯域制限した信号を出力する。帯域制限部92は、複数の帯域制限回路102と、第1帯域制限部内スイッチ104と、第2帯域制限部内スイッチ106とを含む。複数の帯域制限回路102は、互いに異なる伝達特性を有する回路である。複数の帯域制限回路102のそれぞれは、一例として、図2に示す帯域制限回路60と略同一の回路構成であってよい。第1帯域制限部内スイッチ104および第2帯域制限部内スイッチ106は、パス切替部98からの選択信号に応じて複数の帯域制限回路102のうちのいずれか1つを選択し、選択した帯域制限回路102に第2切替部42により出力されたアナログ信号を通過させる。   The band limiting unit 92 outputs a signal obtained by band limiting the analog signal output by the second switching unit 42. The band limiting unit 92 includes a plurality of band limiting circuits 102, a first band limiting unit internal switch 104, and a second band limiting unit internal switch 106. The plurality of band limiting circuits 102 are circuits having different transfer characteristics. Each of the plurality of band limiting circuits 102 may have substantially the same circuit configuration as the band limiting circuit 60 shown in FIG. 2 as an example. The first band limiting unit switch 104 and the second band limiting unit switch 106 select any one of the plurality of band limiting circuits 102 according to the selection signal from the path switching unit 98 and select the selected band limiting circuit. The analog signal output by the second switching unit 42 is passed through 102.

増幅部94は、複数の増幅回路112と、第1増幅部内スイッチ114と、第2増幅部内スイッチ116とを含む。複数の増幅回路112は、互いに異なる増幅率を有する回路である。第1増幅部内スイッチ114および第2増幅部内スイッチ116は、パス切替部98からの選択信号に応じて複数の増幅回路112のうちのいずれか1つを選択し、選択した増幅回路112に帯域制限部92により出力されたアナログ信号を通過させる。   The amplification unit 94 includes a plurality of amplification circuits 112, a first amplification unit switch 114, and a second amplification unit switch 116. The plurality of amplifier circuits 112 are circuits having different amplification factors. The first amplifying unit switch 114 and the second amplifying unit switch 116 select one of the plurality of amplifying circuits 112 according to the selection signal from the path switching unit 98, and band-limit the selected amplifying circuit 112. The analog signal output by the unit 92 is passed.

フィルタ部96は、増幅部94により出力されたアナログ信号をフィルタリングして出力する。パス切替部98は、切替制御部54からの制御に応じて、帯域制限部92および増幅部94に選択信号を供給する。以上のような入力回路44によれば、伝達特性の異なる経路を変更可能とすることができる。   The filter unit 96 filters the analog signal output from the amplification unit 94 and outputs the filtered analog signal. The path switching unit 98 supplies a selection signal to the band limiting unit 92 and the amplifying unit 94 in accordance with the control from the switching control unit 54. According to the input circuit 44 as described above, paths having different transfer characteristics can be changed.

なお、以上説明した試験装置10は、試験対象となる被試験回路と共に同一の電子デバイスに設けられた試験回路であってもよい。当該試験回路は、電子デバイスのBIST回路等として実現され、被試験回路を試験することにより電子デバイスの診断等を行う。これにより、当該試験回路は、被試験回路となる回路が、電子デバイスが本来目的とする通常動作を行うことができるかどうかをチェックすることができる。   Note that the test apparatus 10 described above may be a test circuit provided in the same electronic device together with a circuit under test to be tested. The test circuit is realized as a BIST circuit or the like of an electronic device, and diagnoses the electronic device by testing the circuit under test. Thus, the test circuit can check whether the circuit to be tested can perform the normal operation originally intended by the electronic device.

また、試験装置10は、試験対象となる被試験回路と同一のボード又は同一の装置内に設けられた試験回路であってもよい。このような試験回路も、上述したように被試験回路が本来目的とする通常動作を行うことができるかどうかをチェックすることができる。   The test apparatus 10 may be a test circuit provided on the same board or the same apparatus as the circuit under test to be tested. Such a test circuit can also check whether or not the circuit under test can perform the intended normal operation as described above.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

図1は、本発明の実施形態に係る試験装置10の構成を、被試験デバイス300と共に示す。FIG. 1 shows a configuration of a test apparatus 10 according to an embodiment of the present invention, together with a device under test 300. 図2は、図1に示された出力回路36の構成の一例を示す。FIG. 2 shows an example of the configuration of the output circuit 36 shown in FIG. 図3は、特性測定時において形成される2ポートネットワーク70を示す。FIG. 3 shows a two-port network 70 formed during characteristic measurement. 図4は、本発明の実施形態に係る算出部58により算出されるSパラメータ(係数S21)の一例を示す。FIG. 4 shows an example of the S parameter (coefficient S 21 ) calculated by the calculation unit 58 according to the embodiment of the present invention. 図5は、本発明の実施形態に係る基準波形発生部52から発生される基準波形データとして発生されるマルチトーン信号の周波数特性の一例を示す。FIG. 5 shows an example of the frequency characteristic of the multitone signal generated as the reference waveform data generated from the reference waveform generator 52 according to the embodiment of the present invention. 図6は、本発明の実施形態の第1変形例に係る試験装置10の構成を示す。FIG. 6 shows a configuration of a test apparatus 10 according to a first modification of the embodiment of the present invention. 図7は、本発明の実施形態の第1変形例に係る入力回路44の構成の一例を示す。FIG. 7 shows an example of the configuration of the input circuit 44 according to the first modification of the embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 試験装置
12 波形メモリ
14 転送部
16 判定部
20 信号入出力装置
26 出力端子
28 入力端子
32 第1切替部
34 DA変換部
36 出力回路
42 第2切替部
44 入力回路
46 AD変換部
48 補正部
52 基準波形発生部
54 切替制御部
56 取得部
58 算出部
60 帯域制限回路
62 第1アテネータ
64 フィルタ回路
66 第2アテネータ
68 増幅器
70 2ポートネットワーク
72 入力ポート
74 出力ポート
80 減衰部
82 振幅制御部
92 帯域制限部
94 増幅部
96 フィルタ部
98 パス切替部
102 帯域制限回路
104 第1帯域制限部内スイッチ
106 第2帯域制限部内スイッチ
112 増幅回路
114 第1増幅部内スイッチ
116 第2増幅部内スイッチ
300 被試験デバイス
342 差動DAC
344 トランス
462 差動アンプ
464 差動ADC
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Test apparatus 12 Waveform memory 14 Transfer part 16 Judgment part 20 Signal input / output device 26 Output terminal 28 Input terminal 32 1st switching part 34 DA conversion part 36 Output circuit 42 2nd switching part 44 Input circuit 46 AD conversion part 48 Correction | amendment part 52 Reference waveform generator 54 Switching controller 56 Acquisition unit 58 Calculation unit 60 Band limiting circuit 62 First attenuator 64 Filter circuit 66 Second attenuator 68 Amplifier 70 Two-port network 72 Input port 74 Output port 80 Attenuator 82 Amplitude controller 92 Band limiting unit 94 Amplifying unit 96 Filter unit 98 Path switching unit 102 Band limiting circuit 104 First band limiting unit switch 106 Second band limiting unit switch 112 Amplifying circuit 114 First amplifier unit switch 116 Second amplifier unit switch 300 Device under test 342 Differential DAC
344 Transformer 462 Differential amplifier 464 Differential ADC

Claims (8)

アナログ信号の信号入出力装置であって、
与えられた入力波形データに応じたアナログ信号を出力するDA変換部と、
前記DA変換部により出力されたアナログ信号を出力端子へ伝達する出力回路と、
与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するAD変換部と、
入力端子を介して入力したアナログ信号を前記AD変換部へ伝達する入力回路と、
特性測定時において、前記入力波形データに代えて予め定められた基準波形データを前記DA変換部に与え、前記入力端子からのアナログ信号に代えて前記DA変換部と前記出力回路との間の信号を前記入力回路に供給する切替制御部と、
前記特性測定時において、前記AD変換部により出力された前記出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、
前記基準波形データおよび前記測定波形データに基づき、前記入力回路および前記AD変換部の伝達特性を算出する算出部と
を備える信号入出力装置。
A signal input / output device for analog signals,
A DA converter that outputs an analog signal corresponding to given input waveform data;
An output circuit for transmitting an analog signal output by the DA converter to an output terminal;
An AD converter that outputs output waveform data according to a given analog signal;
An input circuit for transmitting an analog signal input via an input terminal to the AD converter;
At the time of characteristic measurement, a predetermined reference waveform data is given to the DA converter instead of the input waveform data, and a signal between the DA converter and the output circuit is substituted for an analog signal from the input terminal. A switching control unit for supplying to the input circuit,
An acquisition unit for acquiring the output waveform data output by the AD conversion unit as measurement waveform data at the time of the characteristic measurement;
A signal input / output device comprising: a calculation unit that calculates transfer characteristics of the input circuit and the AD conversion unit based on the reference waveform data and the measurement waveform data.
前記入力回路および前記AD変換部の伝達特性の逆特性に応じて、前記出力波形データを補正する補正部を更に備える請求項1に記載の信号入出力装置。   The signal input / output device according to claim 1, further comprising a correction unit that corrects the output waveform data according to a reverse characteristic of a transfer characteristic of the input circuit and the AD conversion unit. 前記切替制御部は、前記入力波形データに代えて、マルチトーン信号をデジタル化した基準波形データを前記DA変換部に与え、
前記算出部は、前記入力回路および前記AD変換部の周波数成分毎の伝達特性を算出する
請求項1に記載の信号入出力装置。
The switching control unit, instead of the input waveform data, gives reference waveform data obtained by digitizing a multitone signal to the DA conversion unit,
The signal input / output device according to claim 1, wherein the calculation unit calculates transfer characteristics for each frequency component of the input circuit and the AD conversion unit.
前記入力回路は、前記伝達特性を変更可能であり、
前記入力回路の増幅率に応じて、前記DA変換部から出力するアナログ信号の振幅を制御する振幅制御部を更に備える
請求項1に記載の信号入出力装置。
The input circuit can change the transfer characteristics;
The signal input / output device according to claim 1, further comprising an amplitude control unit that controls an amplitude of an analog signal output from the DA conversion unit in accordance with an amplification factor of the input circuit.
前記DA変換部により出力されたアナログ信号を減衰する減衰部を更に備え、
前記振幅制御部は、前記減衰部による減衰率を制御する
請求項4に記載の信号入出力装置。
An attenuator for attenuating the analog signal output by the DA converter;
The signal input / output device according to claim 4, wherein the amplitude control unit controls an attenuation rate by the attenuation unit.
前記DA変換部は、前記AD変換部のサンプリングレートよりも高いサンプリングレートにより、デジタルデータをアナログ信号に変換する
請求項1に記載の信号入出力装置。
The signal input / output device according to claim 1, wherein the DA conversion unit converts digital data into an analog signal at a sampling rate higher than a sampling rate of the AD conversion unit.
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに供給すべき試験信号の波形を表す入力波形データに応じたアナログ信号を出力するDA変換部と、
前記DA変換部により出力されたアナログ信号を前記被試験デバイスへ伝達する出力回路と、
与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するAD変換部と、
前記被試験デバイスから出力されたアナログ信号を前記AD変換部へ伝達する入力回路と、
前記入力回路および前記AD変換部の伝達特性の逆特性に応じて、前記出力波形データを補正する補正部と、
補正された前記出力波形データに基づき、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
特性測定時において、前記入力波形データに代えて予め定められた基準波形データを前記DA変換部に与え、前記被試験デバイスからのアナログ信号に代えて前記DA変換部と前記出力回路との間の信号を前記入力回路に供給する切替制御部と、
前記特性測定時において、前記AD変換部により出力された前記出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、
前記基準波形データおよび前記測定波形データに基づき、前記入力回路および前記AD変換部の伝達特性を算出する算出部と
を備える試験装置。
A test apparatus for testing a device under test,
A DA converter that outputs an analog signal corresponding to input waveform data representing a waveform of a test signal to be supplied to the device under test;
An output circuit for transmitting the analog signal output by the DA converter to the device under test;
An AD converter that outputs output waveform data according to a given analog signal;
An input circuit for transmitting an analog signal output from the device under test to the AD converter;
A correction unit that corrects the output waveform data according to a reverse characteristic of a transfer characteristic of the input circuit and the AD conversion unit;
Based on the corrected output waveform data, a determination unit that determines pass / fail of the device under test,
At the time of characteristic measurement, a predetermined reference waveform data is given to the DA converter instead of the input waveform data, and an analog signal from the device under test is substituted between the DA converter and the output circuit. A switching control unit for supplying a signal to the input circuit;
An acquisition unit for acquiring the output waveform data output by the AD conversion unit as measurement waveform data at the time of the characteristic measurement;
A test apparatus comprising: a calculation unit that calculates transfer characteristics of the input circuit and the AD conversion unit based on the reference waveform data and the measurement waveform data.
電子デバイスであって、
被試験回路と、
前記被試験回路を試験する試験回路とを備え、
前記試験回路は、
前記被試験回路に供給すべき試験信号の波形を表す入力波形データに応じたアナログ信号を出力するDA変換部と、
前記DA変換部により出力されたアナログ信号を前記被試験回路へ伝達する出力回路と、
与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するAD変換部と、
前記被試験回路から出力されたアナログ信号を前記AD変換部へ伝達する入力回路と、
前記入力回路および前記AD変換部の伝達特性の逆特性に応じて、前記出力波形データを補正する補正部と、
補正された前記出力波形データに基づき、前記被試験回路の良否を判定する判定部と、
特性測定時において、前記入力波形データに代えて予め定められた基準波形データを前記DA変換部に与え、前記被試験回路からのアナログ信号に代えて前記DA変換部と前記出力回路との間の信号を前記入力回路に供給する切替制御部と、
前記特性測定時において、前記AD変換部により出力された前記出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、
前記基準波形データおよび前記測定波形データに基づき、前記入力回路および前記AD変換部の伝達特性を算出する算出部と
を備える電子デバイス。
An electronic device,
The circuit under test;
A test circuit for testing the circuit under test,
The test circuit includes:
A DA converter that outputs an analog signal corresponding to input waveform data representing a waveform of a test signal to be supplied to the circuit under test;
An output circuit for transmitting the analog signal output by the DA converter to the circuit under test;
An AD converter that outputs output waveform data according to a given analog signal;
An input circuit for transmitting an analog signal output from the circuit under test to the AD converter;
A correction unit that corrects the output waveform data according to a reverse characteristic of a transfer characteristic of the input circuit and the AD conversion unit;
A determination unit for determining pass / fail of the circuit under test based on the corrected output waveform data;
At the time of characteristic measurement, predetermined reference waveform data is given to the DA converter instead of the input waveform data, and between the DA converter and the output circuit instead of the analog signal from the circuit under test. A switching control unit for supplying a signal to the input circuit;
An acquisition unit that acquires the output waveform data output by the AD conversion unit as measurement waveform data at the time of the characteristic measurement;
An electronic device comprising: a calculation unit that calculates transfer characteristics of the input circuit and the AD conversion unit based on the reference waveform data and the measurement waveform data.
JP2007133166A 2007-05-18 2007-05-18 Signal input and output device, testing device, and electronic device Withdrawn JP2008286699A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007133166A JP2008286699A (en) 2007-05-18 2007-05-18 Signal input and output device, testing device, and electronic device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007133166A JP2008286699A (en) 2007-05-18 2007-05-18 Signal input and output device, testing device, and electronic device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008286699A true JP2008286699A (en) 2008-11-27

Family

ID=40146551

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007133166A Withdrawn JP2008286699A (en) 2007-05-18 2007-05-18 Signal input and output device, testing device, and electronic device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008286699A (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010210375A (en) * 2009-03-10 2010-09-24 Seiko Epson Corp Testing device of semiconductor integrated circuit and testing method of semiconductor integrated circuit
EP2378667A3 (en) * 2010-04-15 2012-11-14 Tektronix, Inc. Method for compensating a frequency characteristic of an arbitrary waveform generator
EP2574942A1 (en) * 2011-09-23 2013-04-03 Tektronix, Inc. Enhanced arbitrary waveform generator waveform calibration using s-parameters
CN103018700A (en) * 2011-09-23 2013-04-03 特克特朗尼克公司 Enhanced arbitrary waveform generator waveform calibration using S-parameters
US9229037B2 (en) 2012-08-29 2016-01-05 Advantest Corporation Measurement apparatus and measurement method
FR3085759A1 (en) * 2018-09-12 2020-03-13 Stmicroelectronics (Grenoble 2) Sas ELECTRONIC CHIP WITH ANALOGUE INPUTS / OUTPUTS INCLUDING SELF-DIAGNOSTIC MEANS
JP2020198487A (en) * 2019-05-31 2020-12-10 株式会社アドバンテスト Signal generation device, waveform digitizer, signal generation method, and signal generation program
JP2023025353A (en) * 2021-08-10 2023-02-22 株式会社アドバンテスト Measuring device, measuring method, and program
US12135351B2 (en) 2022-02-03 2024-11-05 Stmicroelectronics S.R.L. DFT architecture for analog circuits

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010210375A (en) * 2009-03-10 2010-09-24 Seiko Epson Corp Testing device of semiconductor integrated circuit and testing method of semiconductor integrated circuit
EP2378667A3 (en) * 2010-04-15 2012-11-14 Tektronix, Inc. Method for compensating a frequency characteristic of an arbitrary waveform generator
US9927485B2 (en) 2011-09-23 2018-03-27 Tektronix, Inc. Enhanced AWG waveform calibration using S-parameters
CN103018700A (en) * 2011-09-23 2013-04-03 特克特朗尼克公司 Enhanced arbitrary waveform generator waveform calibration using S-parameters
EP2574943A1 (en) * 2011-09-23 2013-04-03 Tektronix, Inc. Enhanced arbitrary waveform generator waveform calibration using s-parameters
JP2013068619A (en) * 2011-09-23 2013-04-18 Tektronix Inc Channel calibration method of optional waveform generator
JP2013068618A (en) * 2011-09-23 2013-04-18 Tektronix Inc Channel calibration method of optional waveform generator
EP2574942A1 (en) * 2011-09-23 2013-04-03 Tektronix, Inc. Enhanced arbitrary waveform generator waveform calibration using s-parameters
US9229037B2 (en) 2012-08-29 2016-01-05 Advantest Corporation Measurement apparatus and measurement method
FR3085759A1 (en) * 2018-09-12 2020-03-13 Stmicroelectronics (Grenoble 2) Sas ELECTRONIC CHIP WITH ANALOGUE INPUTS / OUTPUTS INCLUDING SELF-DIAGNOSTIC MEANS
EP3623827A1 (en) * 2018-09-12 2020-03-18 STMicroelectronics (Grenoble 2) SAS Electronic chip with analog inputs/outputs comprising self-test means
US11353499B2 (en) 2018-09-12 2022-06-07 Stmicroelectronics (Grenoble 2) Sas Electronic chip with analog input and output
JP2020198487A (en) * 2019-05-31 2020-12-10 株式会社アドバンテスト Signal generation device, waveform digitizer, signal generation method, and signal generation program
JP7386000B2 (en) 2019-05-31 2023-11-24 株式会社アドバンテスト Signal generator, waveform digitizer, signal generation method, and signal generation program
JP2023025353A (en) * 2021-08-10 2023-02-22 株式会社アドバンテスト Measuring device, measuring method, and program
JP7731728B2 (en) 2021-08-10 2025-09-01 株式会社アドバンテスト Measurement device, measurement method, and program
US12135351B2 (en) 2022-02-03 2024-11-05 Stmicroelectronics S.R.L. DFT architecture for analog circuits

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008286699A (en) Signal input and output device, testing device, and electronic device
US8290032B2 (en) Distortion identification apparatus, test system, recording medium and distortion identification method
KR101407354B1 (en) Compensation for harmonic distortion in the device channel
KR101216405B1 (en) Testing apparatus and device manufacturing method using the testing apparatus
US8358682B2 (en) Signal processing apparatus, test system, distortion detecting apparatus, signal compensation apparatus, analytic signal generating apparatus, recording medium and analytic signal generating method
US8280667B2 (en) Test apparatus, performance board and calibration board
JP5225994B2 (en) Measuring apparatus, test apparatus and measuring method
JP2018014718A (en) Digitizing apparatus and method
JP6174296B2 (en) How to calibrate the interleave digitizer channel
JP5113739B2 (en) Test apparatus and test method
US10469292B1 (en) Apparatus and method for characterizing amplifiers in decision feedback equalizers
CN114691437B (en) A test and correction device and method
KR101832190B1 (en) Apparatus and method for diagnosing a partial discharging having a calibration funtiality
JP4928339B2 (en) Arbitrary waveform generator
EP4394399B1 (en) Measurement device for performing measurements with respect to a dut
US7526701B2 (en) Method and apparatus for measuring group delay of a device under test
US7672804B2 (en) Analog signal test using a-priori information
US10181858B1 (en) Auto-zero algorithm for reducing measurement noise in analog-to-digital systems over a wide range of sampling rates
JP5016235B2 (en) Current-voltage converter and impedance measuring device
US10168411B2 (en) Measuring device and a method for measuring a high-frequency signal with deembedding
Rabijns et al. Using multisines to measure state-of-the-art analog to digital converters
JP3990041B2 (en) Semiconductor device test equipment
Max et al. Reducing THD in an audio test instrument
JP2010164396A (en) Optional waveform generator and tester
JP2006029826A (en) Method for measuring amount of delay

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20100803