JP2008285179A - Taping device and method for controlling the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、小型半導体製品等の電子部品をキャリアテープのポケットに挿入し、シールで封止するためのテーピング装置及びその制御方法に関するものである。 The present invention relates to a taping device for inserting an electronic component such as a small semiconductor product into a pocket of a carrier tape and sealing it with a seal, and a control method therefor.
電子部品の製造工程においては、製品を検査しながら搬送するための装置が不可欠である。例えば、ダイオードなどのディスクリート半導体や、小ピンのICなどの小型半導体製品の製造工程においては、製品を検査しながら搬送するための装置として、テストハンドラーが用いられる。最も一般的なテストハンドラーは、製品の電気特性のテストを行うテスト装置、製品表面へのマーキングを行うマーキング装置、製品をキャリアテープなどへ収容してパッキングを行うテーピング装置を備え、ターンテーブル等の搬送部により、各装置に対して電子部品を搬送しながら、各工程の処理を実行するものである。 In the manufacturing process of electronic components, an apparatus for transporting products while inspecting them is indispensable. For example, in a manufacturing process of a discrete semiconductor such as a diode or a small semiconductor product such as a small pin IC, a test handler is used as an apparatus for transporting the product while inspecting it. The most common test handler includes a test device that tests the electrical characteristics of a product, a marking device that marks the surface of the product, a taping device that packs the product in a carrier tape, etc. The process of each process is performed while conveying an electronic component to each apparatus by the conveyance unit.
上述のようにテーピング装置の一部を構成するテーピング装置においては、キャリアテープに収容された半導体製品が、正しい方向で収容されているか、収容された半導体製品に形状欠陥や異物の混入がないか、などの外観検査を行い、この外観検査において不良と判定された半導体製品はキャリアテープから取り除かれる。キャリアテープには多数の半導体製品を収容するが、そのなかに一つでも不良品が混入している場合には、キャリアテープ全体を廃棄しなければならないため、この外観検査による不良品の排出は非常に重要な工程である。 In the taping device that constitutes a part of the taping device as described above, whether the semiconductor product accommodated in the carrier tape is accommodated in the correct direction, or is there no shape defect or foreign matter mixed in the accommodated semiconductor product? A semiconductor product determined to be defective in this appearance inspection is removed from the carrier tape. The carrier tape contains a large number of semiconductor products, but if any defective product is mixed, the entire carrier tape must be discarded. This is a very important process.
キャリアテープ内の不良品は、作業者による目視又はキャリアテープ近傍に設けたカメラによって判別し、不良品が発見された場合には、製造装置を一旦停止し、作業者が手作業で良品との入替えを行うか、又は、機械的に打ち抜くことにより自動的に切除することとしていた(特許文献1)。
しかしながら、不良品が発見された場合に、製造装置を停止しての良品との交換作業は、上記のように各工程を備えたテストハンドラー全体を停止させることとなり、生産性の低下につながっていた。また、近年の半導体製品の微小化により、作業者が手作業で半導体製品の交換を行うのは非常に難しく、却って製品を傷つけてしまうなど、課題があった。 However, when a defective product is found, the replacement of the manufacturing equipment with a non-defective product stops the entire test handler with each process as described above, leading to a decrease in productivity. It was. In addition, due to the recent miniaturization of semiconductor products, it is very difficult for an operator to replace a semiconductor product manually, and there is a problem that the product is damaged.
また、特許文献1のように機械的に打ち抜く手法では、製造装置を止めることなく処理を続けることはできるが、キャリアテープの打ち抜きにより、テープのところどころ製品の収容されていない箇所が生じてしまっていた。
Further, in the method of mechanical punching as in
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、キャリアテープポケットに挿入された半導体製品の外観検査を行い、不良品が発見された場合に、効率よく良品と交換することが可能なテーピング装置及びその制御方法を提供することにある。 The present invention has been proposed in order to solve the above-described problems of the prior art. The purpose of the present invention is to inspect the appearance of a semiconductor product inserted into a carrier tape pocket and find a defective product. In such a case, it is an object of the present invention to provide a taping device that can be efficiently replaced with a non-defective product and a control method thereof.
上記の目的を達成するため、請求項1の発明は、キャリアテープを保持し電子部品をキャリアテープに設けられたポケットに収容して当該キャリアテープを間欠的に移送するキャリアテープ駆動部と、前記キャリアテープの電子部品収容位置に電子部品を保持して移送し当該収容位置にあるポケットに電子部品を挿入する保持部とを制御して電子部品を前記ポケットに順次収容して梱包するテーピング装置において、前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部と、前記外観検査部により不良と判定された電子部品を、前記収容位置からポケット一つ分下流側の排出位置にて、前記ポケットから排出する不良品排出部とを備え、前記キャリアテープ駆動部は、前記不良品排出部が前記ポケットから電子部品を排出した後、前記排出位置にある空のポケットを前記収容位置まで戻すことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention provides a carrier tape driving unit that holds a carrier tape and accommodates an electronic component in a pocket provided on the carrier tape to intermittently transfer the carrier tape; In a taping device for holding and transferring an electronic component to an electronic component receiving position of a carrier tape and controlling the holding unit for inserting the electronic component into a pocket at the receiving position and sequentially storing and packing the electronic components in the pocket An appearance inspection unit that captures and detects a defect of the electronic component accommodated in the pocket, and an electronic component that is determined to be defective by the appearance inspection unit to a discharge position that is one pocket downstream from the accommodation position. A defective product discharge section that discharges from the pocket, and the carrier tape drive section discharges the electronic component from the pocket. After, and returning the empty pocket in said discharge position to the stowed position.
請求項4の発明は、請求項1の発明を方法という見方から捉えたもので、キャリアテープを保持し電子部品をキャリアテープに設けられたポケットに収容して当該キャリアテープを間欠的に移送するキャリアテープ駆動部と、前記キャリアテープの電子部品収容位置に電子部品を保持して移送し当該収容位置にあるポケットに電子部品を挿入する保持部とを制御して電子部品を前記ポケットに順次収容して梱包するテーピング装置の制御方法において、前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部により電子部品の外観検査を行う外観検査ステップと、前記外観検査ステップにおいて不良と判定された電子部品を、不良品排出部により前記収容位置からポケット一つ分下流側の排出位置にて前記ポケットから吸着排出する不良品排出ステップと、前記キャリアテープ駆動部により、前記不良品排出部が前記ポケットから電子部品を排出した後、前記排出位置にある空のポケットを前記収容位置まで戻すステップとを含むことを特徴とする。
The invention of
以上のような請求項1,4の発明では、キャリアテープ内の電子部品に外観不良等が発見された場合に、これを外観検査部により自動的に検出し、当該不良品を排出部により吸着保持して排出することができるので、従来のように製造装置を停止して良品と交換する必要がなく、生産性に優れる。また、微小な電子部品を作業者が手作業で電子部品の交換を行う必要がなく、高品質な製品の提供が可能である。
In the inventions of
また、排出部により、排出位置から不良の電子部品を排出した後、排出したポケット1つ分キャリアテープを戻すため、不良品と良品の入れ替えを自動で行うことができるので、従来のように不良品部分を打ち抜くことにより不良品を排出した場合と異なり、不良品の排出によりキャリアテープのポケットに空きが生じるようなことがない。 In addition, after the defective electronic component is discharged from the discharge position by the discharge unit, the carrier tape is returned for one discharged pocket, so the defective product and the non-defective product can be automatically replaced. Unlike the case where defective products are discharged by punching out non-defective products, there is no possibility that the pocket of the carrier tape is empty due to the discharge of defective products.
請求項2の発明は、キャリアテープを保持し電子部品をキャリアテープに設けられたポケットに収容して当該キャリアテープを間欠的に移送するキャリアテープ駆動部と、前記キャリアテープの電子部品収容位置に電子部品を保持して移送し当該収容位置にあるポケットに電子部品を挿入する保持部とを制御して電子部品を前記ポケットに順次収容して梱包するテーピング装置において、前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部と、前記外観検査部により不良と判定された電子部品を、排出位置にて前記ポケットから排出する不良品排出部とを備え、前記収容位置と前記排出位置とは共通であり、前記保持部と前記不良品排出部とは共通に設けられ、前記キャリアテープ駆動部は、外観検査部において電子部品の不良が検知された場合に、前記キャリアテープを移送して、前記外観検査位置にあるポケットを前記収容排出位置まで戻すことを特徴とする。 According to the second aspect of the present invention, there is provided a carrier tape driving unit that holds a carrier tape and accommodates an electronic component in a pocket provided on the carrier tape and intermittently transfers the carrier tape, and an electronic component accommodation position of the carrier tape. In the taping device for holding and transferring the electronic component and controlling the holding unit for inserting the electronic component into the pocket at the receiving position and sequentially storing and packing the electronic component in the pocket, the electronic received in the pocket A visual inspection unit that captures and detects a defect of a component; and a defective product discharge unit that discharges an electronic component determined to be defective by the visual inspection unit from the pocket at a discharge position. The discharge position is common, the holding part and the defective product discharge part are provided in common, and the carrier tape drive part is an electronic part in the appearance inspection part. If the defective is detected, and transporting the carrier tape, and returning the pockets in the appearance inspection position to the housing discharge position.
請求項5の発明は、請求項2の発明を方法という見方から捉えたもので、キャリアテープを保持し電子部品をキャリアテープに設けられたポケットに収容して当該キャリアテープを間欠的に移送するキャリアテープ駆動部と、前記キャリアテープの電子部品収容位置に電子部品を保持して移送し当該収容位置にあるポケットに電子部品を挿入する保持部とを制御して電子部品を前記ポケットに順次収容して梱包するテーピング装置の制御方法において、前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部により電子部品の外観検査を行う外観検査ステップと、前記外観検査ステップにおいて不良と判定された電子部品を、不良品排出部により排出位置にて前記ポケットから吸着排出する不良品排出ステップと、前記収容位置と前記排出位置とは共通であり、前記保持部と前記不良品排出部とは共通に設けられ、前記キャリアテープ駆動部により、外観検査部において電子部品の不良が検知された場合に、前記キャリアテープを移送して、前記外観検査位置にあるポケットを前記収容排出位置まで戻すステップとを含むことを特徴とする。 The invention of claim 5 captures the invention of claim 2 from the viewpoint of a method. The carrier tape is held, the electronic component is accommodated in a pocket provided in the carrier tape, and the carrier tape is intermittently transferred. The electronic component is sequentially accommodated in the pocket by controlling the carrier tape driving unit and the holding unit that holds and transfers the electronic component to the electronic component accommodation position of the carrier tape and inserts the electronic component into the pocket at the accommodation position. In the control method of the taping device to be packed, the appearance inspection step of performing the appearance inspection of the electronic component by the appearance inspection section that images and detects the defect of the electronic component accommodated in the pocket, and the defect in the appearance inspection step. A defective product discharging step of sucking and discharging the determined electronic component from the pocket at a discharge position by a defective product discharging section; And the discharge position are common, the holding unit and the defective product discharge unit are provided in common, and when the carrier tape drive unit detects a defect of the electronic component in the appearance inspection unit, Transferring the carrier tape and returning the pocket at the appearance inspection position to the accommodation discharge position.
以上のような請求項2,5の発明では、請求項1,4の発明の効果に加えて、排出部と保持部とを共通にすることができ、これにより装置構成の簡潔化を図ることが可能となる。
In the inventions of claims 2 and 5 as described above, in addition to the effects of the inventions of
請求項3の発明は、請求項1又は2記載の発明において、前記キャリアテープ上の前記外観検査部により撮像する位置は、ガラスカバーにより覆われ、このガラスカバーは前記キャリアテープ上をスライド移動可能に設けられ、前記不良品排出部は、前記ガラスカバーをスライド移動させるレバーを備え、このレバーにより開いた状態で前記ポケットから電子部品を排出することを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the position taken by the appearance inspection unit on the carrier tape is covered with a glass cover, and the glass cover is slidable on the carrier tape. The defective product discharge section includes a lever that slides the glass cover, and the electronic component is discharged from the pocket while being opened by the lever.
以上のような請求項3の発明では、排出位置がガラスカバーで覆われていることにより、外観検査部の撮像を妨げるような光の反射を防ぐことができる。
In the invention of
本発明によれば、キャリアテープポケットに挿入された半導体製品の外観検査を行い、不良品が発見された場合に、効率よく良品と交換することが可能で、稼働率の高いテーピング装置及びその制御方法を提供することができる。 According to the present invention, the appearance inspection of the semiconductor product inserted into the carrier tape pocket is performed, and when a defective product is found, it can be efficiently replaced with a non-defective product, and the taping device with high operating rate and its control A method can be provided.
次に、本発明を実施するための最良の形態を、図1乃至図3を参照して説明する。 Next, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to FIGS.
(1)本発明の実施形態
[実施形態の構成]
本実施形態のテーピング装置は、図1に示すように、キャリアテープTを搭載し、このキャリアテープTを間欠的に移送するキャリアテープ駆動機構1と、メインテーブル(図示せず)に備え付けられ半導体製品をテーピング装置上に運ぶ保持機構2とを備える。
(1) Embodiment of the present invention [Configuration of embodiment]
As shown in FIG. 1, the taping apparatus according to the present embodiment is equipped with a carrier tape T and a carrier
テーピング装置は、また、ポケット内に収容される半導体製品Wの外観を撮像し、キャリアテープに収容する方向の不良や外観不良を検知する外観検査部3と、外観不良の半導体製品Wを吸着することによってポケットから排出する排出機構4とを備える。
The taping device also picks up the
キャリアテープ駆動機構1は、キャリアテープTの図示しないエンボス穴に突起を引っ掛けて搬送させるスプロケット11と、スプロケット11を回転駆動させるモータ12とと、このキャリアテープTを水平上に搬送する搬送路13とを備える。この搬送路13の下流には、キャリアテープTの表面に貼着するシールSとそのシールSをキャリアテープT上にガイドするシール用コテ16とを備える。
The carrier
また、キャリアテープ駆動機構1は、図2の平面図に示すように、外観検査部3によりポケット内から外観不良の製品が発見された場合に、その全体を排出機構4と同一軸線上に平行移動させる機構を備えている。
Further, as shown in the plan view of FIG. 2, the carrier
キャリアテープ駆動機構1のキャリアテープT上には、テープカバー14とガラスカバー15とが設けられている。このガラスカバー15は、テープカバー14に対してテープカバー14に対してスライド移動可能に設けられ、先端方向に向かって付勢されている。ガラスカバー15は、保持機構2が半導体製品Wを挿入する収容位置Pよりもポケット一つ分下流の位置Qを覆うように設けられており、テープカバー14は、位置Qよりさらに下流側を覆うようになっている。
On the carrier tape T of the carrier
保持機構2は、上下方向すなわちZ軸方向に駆動して半導体製品Wを吸着する吸着ノズル21を備え、真空吸着により半導体製品Wを吸着又は吸着解除を行うものであって、メインテーブルMの回転に伴ってキャリアテープTの半導体製品収容位置Pに半導体製品Wを運び当該位置Pにあるポケットに半導体製品Wを挿入するものである。なお、このメインテーブルMは、図2の平面図に表されるように、その円周等配位置において、半導体製品Wに対して電気測定検査工程、方向判別工程、捺印工程等の各種処理工程を施すものである。
The holding mechanism 2 includes an
外観検査部3は、収容位置よりもキャリアテープのポケット1個分下流側の検査排出位置Qにおいてカメラ等の撮像手段により、ポケットに収容された半導体製品Wの外観を撮像し、ポケットに収容された半導体製品Wの方向が正しいかあるいは半導体製品Wの外観不良が発生していないかを判定する手段である。
The
排出機構4は、上下方向すなわちZ軸方向に駆動する排出用の吸着ノズル41を備え、これによりポケット内に収容された半導体製品Wを真空吸着によって保持して、ポケット内から排出するものである。排出機構4は、図2(a)に示すように、キャリアテープTを搭載したキャリアテープ駆動機構1の通常の位置とは、離間した位置に配置されている。具体的には、キャリアテープTの搬送方向X線上と平行な位置Y線上に設けられ、図2(b)に示すように、外観検査部3において不良品が発見された場合にキャリアテープ駆動機構1がこれを平行移動させる機構によりテープTの搬送方向X線上と平行な位置Y線上上に移動し、これに応じて、Y線上の離間した位置に設けられた排出機構4がY線上をキャリアテープ駆動機構1の検査排出位置Q上に移動するようになっている。
The
ここで、排出機構4には、図3に示すように、ガラスカバー15をテープカバー14側に押し開くためのレバー42を備える。このレバー42は、排出用吸着ノズル41とは独立して取り付けられており、上述のように、排出機構4がY軸上をキャリアテープ駆動機構1側に移動する際に、検査排出位置を覆うガラスカバー15を押し開けるようになっている。
Here, as shown in FIG. 3, the
[実施形態の作用効果]
以上のような構成を有する本実施形態の作用について、図を参照して説明する。
[Effects of Embodiment]
The operation of the present embodiment having the above configuration will be described with reference to the drawings.
電気特性検査工程、マーキング工程等の各工程処理を終えた電子部品が、メインテーブルMに設けられた保持機構2によって搬送されながら、本テーピング装置へ搬送されてくる。 The electronic component that has been subjected to each process such as the electrical property inspection process and the marking process is conveyed to the taping device while being conveyed by the holding mechanism 2 provided on the main table M.
図4に本テーピング装置の動作を説明する。図4(a)に示すように、メインテーブルMに設けられた保持機構2の吸着ノズル21は、半導体製品W4を保持したまま、収容位置Pにて下降し、同図(b)に示すように、キャリアテープTのポケットに収容し、同図(c)に示すように上昇する。
FIG. 4 illustrates the operation of the taping device. As shown in FIG. 4A, the
この間、外観検査部3は、検査排出位置Qを通過する半導体製品Wの外観検査を行い、方向違い等の外観不良の有無を検知する。なお、この際、検査排出位置Qがガラスカバー15で覆われていることにより、外観検査部3の撮像を妨げるような光の反射を防ぐことができる。
During this time, the
外観検査部3において、半導体製品Wの外観不良が検出されると、キャリアテープ駆動機構1はキャリアテープの送りを停止し、図2(b)に示すように、キャリアテープ駆動機構1全体を排出機構4と同一軸線上が設けられた位置に平行移動させる。
When an appearance defect of the semiconductor product W is detected in the
次に、図2(b)又は図4(d)に示すように、排出機構4がY軸上をキャリアテープ駆動機構1の方向に移動し、検査排出位置Q上で停止する。このとき、排出機構4に設けられたレバー42が、この排出機構4のY軸上における移動にともなって、キャリアテープT上のガラスカバー15をテープカバー14側に押し開く。
Next, as shown in FIG. 2B or FIG. 4D, the
この状態で、図4(e)に示すように、排出用の吸着ノズル41が下降し、同図(f)に示すように半導体製品W4を吸着保持して上昇し、ポケットから半導体製品W4を排出する。同時に、外観検査部3は、当該ポケットから半導体製品W4が排出されたか否かの確認を行う。
In this state, as shown in FIG. 4 (e), the
排出機構4は、Y軸上を元の位置に向けて移動し、元の位置において保持した半導体製品W4の吸着を解除し、元の位置に設置された排出ボックス等に当該製品を排出する。排出機構4が元の位置に移動すると、排出機構4のガラスカバー15は、図4(g)に示すように、付勢されて検査排出位置Qを覆う位置に戻る。
The
同時に、キャリアテープ駆動機構1は、図2(a)に示すように、Y軸上からX軸上に平行移動する。そして、図4(h)に示すように、モータ12がスプロケット11を回転駆動させ、キャリアテープTを搬送方向と逆方向にポケット1つ分戻す。
At the same time, the carrier
このように、本実施形態のテーピング装置は、通常は、図4(a)〜(c)に示した動作を繰り返しているが、外観検査部3において検査排出位置Qに搬送されてくるポケット内に収容された半導体製品Wの外観検査を行い外観不良等が検出された場合には、図4(d)〜(h)の処理を行い、外観不良の製品をキャリアテープTのポケット内から排出するようになっている。
As described above, the taping device of the present embodiment normally repeats the operations shown in FIGS. 4A to 4C, but in the pocket that is conveyed to the inspection discharge position Q in the
以上のような本実施形態のテーピング装置では、キャリアテープ内の半導体製品に外観不良等が発見された場合に、外観検査部により半導体製品の外観の不良を自動的に検出し、当該不良品を排出機構4により吸着保持して排出し、さらにキャリアテープをポケット1つ分戻すことにより、そのまま良品とすることが可能であるので、従来のように製造装置を停止して良品と交換する必要がなく、生産性に優れる。また、微小な半導体製品を作業者が手作業で半導体製品の交換を行う必要がなく、高品質な製品の提供が可能である。
In the taping device of the present embodiment as described above, when an appearance defect or the like is found in a semiconductor product in the carrier tape, the appearance inspection unit automatically detects the appearance defect of the semiconductor product, and detects the defective product. Since it is possible to make it a non-defective product by sucking and holding it by the
また、排出機構4により、検査排出位置Qから不良の半導体製品を排出した後、排出したポケット1つ分キャリアテープを戻すため、従来のように不良品部分を打ち抜くことにより不良品を排出した場合と異なり、不良品の排出によりキャリアテープTのポケットに空きが生じるようなことがない。
In addition, when the defective semiconductor product is discharged from the inspection discharge position Q by the
(2)他の実施形態
本発明は、上記の実施形態に例示した態様のみならず、以下の態様も含むものである。例えば、キャリアテープ上に設けられたガラスカバーは必須の構成要素ではなく、これを設けなくても本発明の作用効果を奏することは可能である。
(2) Other Embodiments The present invention includes not only the aspects exemplified in the above-described embodiments but also the following aspects. For example, the glass cover provided on the carrier tape is not an essential component, and the effects of the present invention can be achieved without providing the glass cover.
また、本発明は、排出機構4と保持機構2とを共通にすることも可能である。すなわち、メインテーブルMに設けられた吸着ノズル21によって、外観不良と判定された半導体製品Wを排出することも可能である。この場合は、上記実施形態において、排出機構4の構成として設けられていた排出用の吸着ノズル41やレバー42は設ける必要ない。また、不良品排出時にキャリアテープ駆動機構1を移動させる機構も不要となる。
In the present invention, the
この場合、図5に示すように、半導体製品Wの収容位置と排出位置とはメインテーブルMに設けられた吸着ノズル21の直下において共通であり、外観検査位置はこの収容排出位置よりポケット一つ分下流に設けられている。
In this case, as shown in FIG. 5, the storage position and the discharge position of the semiconductor product W are common immediately below the
次のこの態様の処理をフローチャートに示すと、図6(a)及び(b)に示すように次の2通りが可能である。まず、図6(a)において、収容位置Pにおいて吸着ノズル21からの半導体製品W4の収容が完了した状態において、外観検査部3において半導体製品W3の外観検査を行い(S601)、外観に不良があるか否かを検出する(S602)。外観不良がない場合には(NO)、キャリアテープ駆動機構1は、キャリアテープを進め次のポケットに吸着ノズル21からの新たな半導体製品W5の収容を許可して(S603)、S601へ戻る。
When the processing of this aspect is shown in the flowchart, the following two types are possible as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b). First, in FIG. 6A, in the state where the housing of the semiconductor product W4 from the
一方、外観不良が検出された場合には(S602のYES)、キャリアテープ駆動機構1はキャリアテープをポケット1つ分戻し(S604)、外観不良のある半導体製品W3が収容位置Pに位置する。このとき、吸着ノズル21が下降し当該不良のある半導体製品W3を排出する(S605)。より具体的には、メインテーブルMが回転することにより、メインテーブルM上の次のポジションにおいて、吸着解除することにより、不良品排出部に対して排出する。
On the other hand, when an appearance defect is detected (YES in S602), the carrier
次に、キャリアテープ駆動機構1は、キャリアテープを進め、この半導体製品W3の収容されていたポケットを検査排出位置Qに送り(S606)、このポケットに半導体製品が残存していないことを確認する(S607)。そして、キャリアテープ駆動機構1はキャリアテープをポケット1つ分戻し(S608)、収容位置Pにおいて吸着ノズル21が下降して半導体製品Wを収容し(S609)、S601へ戻る。
Next, the carrier
一方、図6(b)に示す処理は、上記図6(a)に示す処理の高速化を図ったものであり、メインテーブルMの回転をキャリアテープにおける外観検査を待たずに行うものである。すなわち、収容位置Pにおいて吸着ノズル21からの半導体製品W4の収容が完了した状態において、外観検査部3において半導体製品W3の外観検査を行い(S611)、外観に不良があるか否かを検出する(S612)。外観不良がない場合には(NO)、キャリアテープ駆動機構1は、キャリアテープを進め次のポケットに吸着ノズル21からの新たな半導体製品W5の収容を許可して(S613)、S611へ戻る。
On the other hand, the process shown in FIG. 6B is intended to speed up the process shown in FIG. 6A, and the main table M is rotated without waiting for the appearance inspection on the carrier tape. . That is, in the state where the housing of the semiconductor product W4 from the
一方、外観不良が検出された場合には(S612のYES)、メインテーブルMを逆回転させて、吸着ノズル一つ分戻させる(S614)。次に、キャリアテープ駆動機構1はキャリアテープTをポケット1つ分戻す(S615)。、外観不良のある半導体製品W3が収容位置Pに位置する。このとき、吸着ノズル21が下降し当該不良のある半導体製品W3をピックアップする(S616)。
On the other hand, when an appearance defect is detected (YES in S612), the main table M is reversely rotated and returned by one suction nozzle (S614). Next, the carrier
次に、キャリアテープ駆動機構1は、キャリアテープを進め、この半導体製品W3の収容されていたポケットを検査排出位置Qに送り(S617)、このポケットに半導体製品が残存していないことを確認する(S618)。この間にメインテーブルMを吸着ノズル1つ分回転させ(S619)、吸着ノズル21に保持した不良の半導体製品W4を不良品排出部に排出する(S620)。そして、キャリアテープ駆動機構1はキャリアテープをポケット1つ分戻し(S618)、収容位置Pにおいて吸着ノズル21が下降して半導体製品Wを収容し(S619)、S611へ戻る。
Next, the carrier
このように、本発明は、排出機構4と保持機構2とを共通にすることができ、これにより装置構成の簡潔化を図ることが可能となる。
Thus, according to the present invention, the
また、上記実施形態においは、図2に示したように、排出機構4は、キャリアテープTの搬送方向X線上と平行な位置Y線上上に設け、図2(b)に示すように、外観検査部3において不良品が発見された場合にキャリアテープ駆動機構1がこれを平行移動させる機構によりテープTの搬送方向Xと平行な位置Y上に移動し、これに応じて、Y軸上の離間した位置に設けられた排出機構4がY軸上をキャリアテープ駆動機構1の検査排出位置Q上に移動するようにしたが、本発明はこのような態様に限らず、例えば、図7(a)及び(b)に示すように、キャリアテープ駆動機構1の検査排出位置Qまで排出機構4が移動するように構成することも可能である。
Moreover, in the said embodiment, as shown in FIG. 2, the
このように、排出機構4は、外観検査部3において不良品が発見された際に、キャリアテープ駆動機構1の検査排出位置Q上に位置するように構成すれば、その具体的な態様はいかなるものも採用可能であり、本発明の実施形態のようにキャリアテープ駆動機構1と排出機構4との双方を移動させるようにしてもよいし、一方のみを移動させることにより実現することも可能である。
Thus, if the
ただし、上記実施形態で示した態様が最良であるといえるのは、キャリアテープ駆動機構において、構造的に前後方向、すなわちテープ送り方向と直角方向の方向への駆動軸が1軸追加されるため、この機構を利用することでテープポケットの前後位置を補正することが可能となることにある。この場合、前後方向の移動はサーボ駆動しており位置決め精度も高く、半導体製品をカメラで位置認識し、ポケット位置を補正し確実に収納するといったことができるようになる。 However, it can be said that the mode shown in the above embodiment is the best because, in the carrier tape drive mechanism, one drive shaft is added in the front-rear direction, that is, in the direction perpendicular to the tape feed direction. By using this mechanism, the front and back positions of the tape pocket can be corrected. In this case, the movement in the front-rear direction is servo-driven and the positioning accuracy is high, so that the position of the semiconductor product can be recognized by the camera, and the pocket position can be corrected and stored reliably.
1…キャリアテープ駆動機構
2…保持機構
3…外観検査部
4…排出機構
11…スプロケット
12…モータ
13…搬送路
14…テープカバー
15…ガラスカバー
16…シール用コテ
21…吸着ノズル
41…排出用吸着ノズル
42…レバー
M…メインテーブル
P…収容位置
P…半導体製品収容位置
Q…検査排出位置
S…シール
T…キャリアテープ
W…半導体製品
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部と、
前記外観検査部により不良と判定された電子部品を、前記収容位置からポケット一つ分下流側の排出位置にて、前記ポケットから排出する不良品排出部とを備え、
前記キャリアテープ駆動部は、前記不良品排出部が前記ポケットから電子部品を排出した後、前記排出位置にある空のポケットを前記収容位置まで戻すことを特徴とするテーピング装置。 A carrier tape driving unit that holds the carrier tape and stores the electronic component in a pocket provided in the carrier tape and intermittently transfers the carrier tape, and holds and transfers the electronic component to the electronic component receiving position of the carrier tape. In the taping device for controlling and holding the electronic part to be inserted into the pocket at the storage position and sequentially storing and packing the electronic parts in the pocket,
An appearance inspection unit that detects and detects defects in the electronic components housed in the pockets;
An electronic component determined to be defective by the appearance inspection unit, including a defective product discharge unit that discharges from the pocket at a discharge position on the downstream side by one pocket from the storage position;
The taping device according to claim 1, wherein the carrier tape drive unit returns an empty pocket at the discharge position to the storage position after the defective product discharge unit discharges the electronic component from the pocket.
前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部と、
前記外観検査部により不良と判定された電子部品を、排出位置にて前記ポケットから排出する不良品排出部とを備え、
前記収容位置と前記排出位置とは共通であり、
前記保持部と前記不良品排出部とは共通に設けられ、
前記キャリアテープ駆動部は、外観検査部において電子部品の不良が検知された場合に、前記キャリアテープを移送して、前記外観検査位置にあるポケットを前記収容排出位置まで戻すことを特徴とするテーピング装置。 A carrier tape driving unit that holds the carrier tape and stores the electronic component in a pocket provided in the carrier tape and intermittently transfers the carrier tape, and holds and transfers the electronic component to the electronic component receiving position of the carrier tape. In the taping device for controlling and holding the electronic part to be inserted into the pocket at the storage position and sequentially storing and packing the electronic parts in the pocket,
An appearance inspection unit that detects and detects defects in the electronic components housed in the pockets;
An electronic component determined to be defective by the appearance inspection unit, and a defective product discharge unit that discharges the electronic component from the pocket at a discharge position;
The accommodation position and the discharge position are common.
The holding part and the defective product discharge part are provided in common,
The carrier tape driving unit is configured to transfer the carrier tape and return the pocket at the appearance inspection position to the accommodation / discharge position when a defect of an electronic component is detected by the appearance inspection unit. apparatus.
前記不良品排出部は、前記ガラスカバーをスライド移動させるレバーを備え、このレバーにより開いた状態で前記ポケットから電子部品を排出することを特徴とする請求項1記載のテーピング装置。 The position to be imaged by the appearance inspection unit on the carrier tape is covered with a glass cover, and this glass cover is provided so as to be slidable on the carrier tape,
The taping apparatus according to claim 1, wherein the defective product discharge section includes a lever that slides the glass cover, and discharges the electronic component from the pocket in an open state by the lever.
前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部により電子部品の外観検査を行う外観検査ステップと、
前記外観検査ステップにおいて不良と判定された電子部品を、不良品排出部により前記収容位置からポケット一つ分下流側の排出位置にて前記ポケットから吸着排出する不良品排出ステップと、
前記キャリアテープ駆動部により、前記不良品排出部が前記ポケットから電子部品を排出した後、前記排出位置にある空のポケットを前記収容位置まで戻すステップとを含むことを特徴とするテーピング装置の制御方法。 A carrier tape driving unit that holds the carrier tape and stores the electronic component in a pocket provided in the carrier tape and intermittently transfers the carrier tape, and holds and transfers the electronic component to the electronic component receiving position of the carrier tape. Then, in the control method of the taping device for controlling the holding unit for inserting the electronic component into the pocket at the storage position and sequentially storing and packing the electronic component in the pocket,
An appearance inspection step of inspecting the appearance of the electronic component by an appearance inspection unit that images and detects defects in the electronic component accommodated in the pocket;
A defective product discharging step of sucking and discharging the electronic component determined to be defective in the appearance inspection step from the pocket at a discharge position on the downstream side by one pocket from the housing position by the defective product discharge unit;
And a step of returning the empty pocket at the discharge position to the storage position after the defective product discharge section discharges the electronic component from the pocket by the carrier tape driving section. Method.
前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部により電子部品の外観検査を行う外観検査ステップと、
前記外観検査ステップにおいて不良と判定された電子部品を、不良品排出部により排出位置にて前記ポケットから吸着排出する不良品排出ステップと、
前記収容位置と前記排出位置とは共通であり、
前記保持部と前記不良品排出部とは共通に設けられ、
前記キャリアテープ駆動部により、外観検査部において電子部品の不良が検知された場合に、前記キャリアテープを移送して、前記外観検査位置にあるポケットを前記収容排出位置まで戻すステップとを含むことを特徴とするテーピング装置の制御方法。 A carrier tape driving unit that holds the carrier tape and stores the electronic component in a pocket provided in the carrier tape and intermittently transfers the carrier tape, and holds and transfers the electronic component to the electronic component receiving position of the carrier tape. Then, in the control method of the taping device for controlling the holding unit for inserting the electronic component into the pocket at the storage position and sequentially storing and packing the electronic component in the pocket,
An appearance inspection step of inspecting the appearance of the electronic component by an appearance inspection unit that images and detects defects in the electronic component accommodated in the pocket;
A defective product discharging step of sucking and discharging the electronic component determined to be defective in the appearance inspection step from the pocket at a discharge position by a defective product discharging unit;
The accommodation position and the discharge position are common.
The holding part and the defective product discharge part are provided in common,
Including transferring the carrier tape to return the pocket at the appearance inspection position to the accommodation discharge position when the carrier tape driving unit detects a defect of the electronic component in the appearance inspection section. A control method for a taping device.
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