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JP2008241738A - Mirror driving method and deformable mirror - Google Patents

Mirror driving method and deformable mirror Download PDF

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JP2008241738A JP2007077641A JP2007077641A JP2008241738A JP 2008241738 A JP2008241738 A JP 2008241738A JP 2007077641 A JP2007077641 A JP 2007077641A JP 2007077641 A JP2007077641 A JP 2007077641A JP 2008241738 A JP2008241738 A JP 2008241738A
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Hiroyuki Kawashima
浩幸 川島
Yoshiaki Goto
義明 後藤
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Topcon Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mirror driving method capable of suppressing ringing when a thin film mirror is deformed and shorten the time up to its settlement, and a variable shape mirror to which the method is applied. <P>SOLUTION: In the mirror driving method and variable shape mirror, the thin film mirror 10 is driven to be deformed by successively applying voltages between the thin film mirror 10 and a plurality of fixed electrodes 14 opposed to the thin film mirror 10. Further, while the thin film mirror 10 is placed in a sealed and decompressed package 1, the voltages are sequentially applied between the thin film mirror 10 and fixed electrodes 14 and thus the thin film mirror 10 is driven to be deformed. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

この発明は、静電力によって薄膜ミラーを変形駆動させるミラー駆動方法及び可変形状ミラーに関する。   The present invention relates to a mirror driving method for deforming and driving a thin film mirror by electrostatic force and a deformable mirror.

従来、静電力によって薄膜ミラーを変形駆動させる技術としてはＭＥＭＳ（マイクロ電気機械システム）が知られている。このＭＥＭＳの技術を用いたものとしては例えば可変形状ミラーがある。例えば、複数の電極を有する薄膜ミラーをパッケージに密封してなる可変形状ミラーも知られている（例えば特許文献１参照）。   Conventionally, MEMS (micro electro mechanical system) is known as a technique for deforming and driving a thin film mirror by electrostatic force. For example, there is a deformable mirror that uses this MEMS technology. For example, a deformable mirror formed by sealing a thin film mirror having a plurality of electrodes in a package is also known (see, for example, Patent Document 1).

しかし、可変形状ミラーをパッケージ内に密封した構成のみでは、図８(a)，（ｂ）に示したように、可変形状ミラーが静電力により変形させられる際に、空気のダンピングのために可変形状ミラーの高速変形応答が難しいものであった。   However, with only the configuration in which the deformable mirror is sealed in the package, as shown in FIGS. 8 (a) and 8 (b), when the deformable mirror is deformed by electrostatic force, it is variable for air damping. The high-speed deformation response of the shape mirror was difficult.

この対策としては、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）などのＭＥＭＳでは、気密性封止部材の圧力を調整（減圧）することも知られている（例えば、特許文献２参照）。
特開２００５−２２１５７９号公報 特開２００５−２６６２１８号公報 As a countermeasure, it is also known to adjust (depressurize) the pressure of the hermetic sealing member in a MEMS such as a digital micromirror device (DMD) (see, for example, Patent Document 2).
JP 2005-221579 A JP 2005-266218 A

しかしながら、このＭＥＭＳでは、図７(a)，（ｂ）に示したように、可変形状ミラーに電圧を印加していない状態から約１５μm変形させた場合（上）、約１５μm変形させた状態から電圧をＯＦＦにした場合（下）、減圧することにより、立上がり、立下りの応答は大幅に改善されるが、リンギング（ぶれ）が発生するため、それが収まるまで時間がかかってしまう。なお、図７および図８は、図４に示すように、電圧データ通信終了後、可変形状ミラーの全電極に同時に電圧印加した場合の変位応答データである。   However, in this MEMS, as shown in FIGS. 7A and 7B, when the deformable mirror is deformed by about 15 μm from the state where no voltage is applied (top), the deformed state is about 15 μm. When the voltage is turned off (lower), the response of rising and falling is greatly improved by reducing the pressure. However, since ringing occurs, it takes time until it falls. 7 and 8 show displacement response data when voltage is simultaneously applied to all electrodes of the deformable mirror after completion of voltage data communication, as shown in FIG.

そこで、本発明では、薄膜ミラーの変形において、リンギングを抑制し静定までの時間を短縮することができるミラー駆動方法及びその方法を適用した可変形状ミラーを提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a mirror driving method capable of suppressing ringing and shortening the time until settling in the deformation of a thin film mirror, and a deformable mirror to which the method is applied.

この目的を達成するため、請求項１の発明は、薄膜ミラーと該薄膜ミラーに対向する複数の固定電極との間に順次電圧を印加することにより、前記薄膜ミラーを変形駆動させるミラー駆動方法であって、前記薄膜ミラーを密封され且つ減圧されたパッケージ内に配設した状態で、前記薄膜ミラーと前記固定電極との間に順次電圧を印加して、前記薄膜ミラーを変形駆動させるミラー駆動方法としたことを特徴とする。   In order to achieve this object, the invention according to claim 1 is a mirror driving method in which a voltage is sequentially applied between a thin film mirror and a plurality of fixed electrodes opposed to the thin film mirror to deform and drive the thin film mirror. A mirror driving method for deforming and driving the thin film mirror by sequentially applying a voltage between the thin film mirror and the fixed electrode in a state where the thin film mirror is disposed in a sealed and decompressed package. It is characterized by that.

また、上述した目的を達成するため、請求項２の発明は、薄膜ミラーと、前記薄膜ミラーに対向する複数の固定電極と、前記薄膜ミラーと前記複数の固定電極との間に順次電圧を印加する電圧供給部とを有する可変形状ミラーであって、前記薄膜ミラーを内部の密閉空間内に収容するパッケージと、前記パッケージ内の気圧を減圧するための減圧手段を備え、前記電圧供給部は、前記減圧手段により前記パッケージ内の気圧を減圧した状態で、前記薄膜ミラーと前記複数の固定電極との間に電圧を順次印加する可変形状ミラーとしたことを特徴とする。   In order to achieve the above-mentioned object, the invention of claim 2 applies a voltage sequentially between the thin film mirror, the plurality of fixed electrodes facing the thin film mirror, and the thin film mirror and the plurality of fixed electrodes. A deformable mirror having a voltage supply unit that includes a package that accommodates the thin film mirror in an internal sealed space, and a decompression unit for decompressing the atmospheric pressure in the package, and the voltage supply unit includes: The deformable mirror is configured to sequentially apply a voltage between the thin film mirror and the plurality of fixed electrodes in a state where the pressure in the package is reduced by the pressure reducing means.

この構成によれば、薄膜ミラーが変形駆動される際、薄膜ミラーのリンギングを抑制して、薄膜ミラーが静定までの時間を短縮することができる。   According to this configuration, when the thin film mirror is driven to be deformed, the ringing of the thin film mirror can be suppressed, and the time until the thin film mirror is stabilized can be shortened.

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は可変形状ミラーを概略的に示したものである。この可変形状ミラーは、中空で密封されたパッケージ１と、パッケージ１の密封室１ａ内に配設されたミラー組立体２を有する。   FIG. 1 schematically shows a deformable mirror. This deformable mirror has a package 1 that is hollow and sealed, and a mirror assembly 2 that is disposed in a sealed chamber 1 a of the package 1.

このパッケージ１は、筒状のパッケージ本体３と、パッケージ本体３の一端を閉成する板状の端板（前蓋）４を有する。また、パッケージ本体３の他端には、中心側に僅かに突出する環状の内方フランジ３ａが形成されている。そして、端板４には円形の窓穴４ａが形成され、内方フランジ３ａ内には開口３ｂが形成されているなお、開口３ｂは減圧されず、密封室１ａ部分のみ、減圧される。更に、パッケージ１は、周縁部が窓穴４ａに気密に固着された透明な窓ガラス６を有する。更に、内方フランジ３ａの外面には、電気接続するためのＰＣ板５を有し、ＰＣ板５には、図示を省略したコネクタ等により、駆動回路１６と接続されている。   The package 1 includes a cylindrical package body 3 and a plate-like end plate (front lid) 4 that closes one end of the package body 3. In addition, an annular inner flange 3 a that slightly protrudes toward the center is formed at the other end of the package body 3. A circular window hole 4a is formed in the end plate 4, and an opening 3b is formed in the inner flange 3a. Note that the opening 3b is not decompressed, and only the sealed chamber 1a is decompressed. Further, the package 1 has a transparent window glass 6 whose peripheral part is hermetically fixed to the window hole 4a. Further, a PC plate 5 for electrical connection is provided on the outer surface of the inner flange 3a. The PC plate 5 is connected to the drive circuit 16 by a connector or the like not shown.

また、ミラー組立体２は、周縁部が内方フランジ３ａの内面に気密に接着固定された電極基板７と、この電極基板７上に配設されたＳＯＩ基板（シリコン基板）８を有する。   Further, the mirror assembly 2 includes an electrode substrate 7 having a peripheral edge hermetically bonded and fixed to the inner surface of the inner flange 3a, and an SOI substrate (silicon substrate) 8 disposed on the electrode substrate 7.

このＳＯＩ基板８は、厚肉の環状部９と、環状部９の下端を閉成する薄膜ミラー１０を有する。この薄膜ミラー１０は、エッチング等により環状部９と一体に形成された薄膜変形部（可動薄膜電極部）１０ａと、環状部９内に位置させて薄膜変形部１０ａ上に形成された反射層１０ｂを有する。この反射層１０ｂはアルミニューム等を薄膜変形部１０ａ上に蒸着することにより形成したものである。   The SOI substrate 8 includes a thick annular portion 9 and a thin film mirror 10 that closes the lower end of the annular portion 9. The thin film mirror 10 includes a thin film deformed portion (movable thin film electrode portion) 10a integrally formed with the annular portion 9 by etching or the like, and a reflective layer 10b formed on the thin film deformed portion 10a so as to be positioned in the annular portion 9. Have The reflective layer 10b is formed by evaporating aluminum or the like on the thin film deformed portion 10a.

更に、ＳＯＩ基板８の環状部９と電極基板７との間にはボール状のスペーサ１１が配設されている。このスペーサ１１は、接着剤１２により環状部９と電極基板７に接着固定されている。   Further, a ball-shaped spacer 11 is disposed between the annular portion 9 of the SOI substrate 8 and the electrode substrate 7. The spacer 11 is bonded and fixed to the annular portion 9 and the electrode substrate 7 with an adhesive 12.

また、電極基板７の環状部９に対向する面には環状の固定電極１３が取り付けられ、この固定電極と環状部９との間には導電性接着剤９ａが介装されている。また、電極基板７の薄膜変形部１０ａに対向する面には多数の固定電極１４が設けられている。この多数の固定電極１４は、図２に示したように六角形状（多角形状）に形成されていると共に、蜂の巣状に微小間隔をおいて整列させられている。   An annular fixed electrode 13 is attached to the surface of the electrode substrate 7 facing the annular portion 9, and a conductive adhesive 9 a is interposed between the fixed electrode and the annular portion 9. A large number of fixed electrodes 14 are provided on the surface of the electrode substrate 7 facing the thin film deformed portion 10a. The plurality of fixed electrodes 14 are formed in a hexagonal shape (polygonal shape) as shown in FIG. 2, and are aligned in a honeycomb shape with a minute interval.

しかも、固定電極１３には電極基板７及びＰＣ板５を貫通する一つの端子１３ａが一体に設けられ、多数の固定電極１４には電極基板７及びＰＣ板５を貫通する端子１４ａが設けられている。この端子１３ａと多数の端子１４ａとの間には、パソコン１５により制御される駆動回路１６によって、後述するように電圧が印加されるようになっている。尚、端子１３ａはアース配線されている。   In addition, the fixed electrode 13 is integrally provided with a single terminal 13a penetrating the electrode substrate 7 and the PC plate 5, and the fixed electrodes 14 are provided with terminals 14a penetrating the electrode substrate 7 and the PC plate 5. Yes. A voltage is applied between the terminal 13a and a large number of terminals 14a by a drive circuit 16 controlled by the personal computer 15 as will be described later. The terminal 13a is grounded.

また、パッケージ本体３には、パイプ１７を介して真空ポンプ等の減圧手段（減圧装置）１８が接続されている。この減圧手段１８により、パッケージ１内は１０Ｐａに減圧されている。他の例として、減圧下にてパッケージ本体３と端板（前蓋）４を溶接することで、パッケージ１内は減圧封止される。この場合、パイプ１７と減圧手段（減圧装置）１８は、不要となる。   The package body 3 is connected to a decompression means (a decompression device) 18 such as a vacuum pump via a pipe 17. By this decompression means 18, the inside of the package 1 is decompressed to 10 Pa. As another example, the package 1 is sealed under reduced pressure by welding the package body 3 and the end plate (front cover) 4 under reduced pressure. In this case, the pipe 17 and the decompression means (decompression device) 18 are unnecessary.

また、パソコン１５は、薄膜ミラー１０の電圧データが入力されると、図４のステップＳ１で端子１３ａと多数の端子１４ａとの間に印加する電圧、即ち薄膜変形部１０ａと多数の固定電極１４との間に印加する電圧を計算して、ステップＳ２で計算した電圧を駆動回路１６に通信し、駆動回路１６を制御するようになっている。個々の電極の電圧データを通信しながら、電圧を印加していくようにする。   When the voltage data of the thin film mirror 10 is input to the personal computer 15, the voltage applied between the terminal 13a and the multiple terminals 14a in step S1 of FIG. 4, that is, the thin film deformed portion 10a and the multiple fixed electrodes 14 are applied. And the voltage applied in step S2 is communicated to the drive circuit 16, and the drive circuit 16 is controlled. The voltage is applied while communicating the voltage data of the individual electrodes.

そして、駆動回路１６は、ステップＳ３で通信された電圧に応じて、端子１３ａと多数の端子１４ａとの間に順次電圧を印加するようになっている。即ち、駆動回路１６は、薄膜変形部１０ａと多数の固定電極１４との間に、図３に数字「１，２，３・・・」で示したような順で螺旋状に外側に電圧を順次印加するようになっている。この電圧の印加は、パッケージ１内が１０Ｐａに減圧された状態で行われる。この電圧の印加により、薄膜ミラー１０は変形させられる。   And the drive circuit 16 applies a voltage sequentially between the terminal 13a and many terminals 14a according to the voltage communicated by step S3. That is, the drive circuit 16 applies a voltage between the thin film deformed portion 10a and the plurality of fixed electrodes 14 in a spiral manner in the order indicated by numerals “1, 2, 3,...” In FIG. They are applied sequentially. This voltage application is performed in a state where the inside of the package 1 is decompressed to 10 Pa. By applying this voltage, the thin film mirror 10 is deformed.

尚、このように、多数の固定電極１４への電圧の印加は、中央から、順次、外側へと行う方が良い。これは、薄膜ミラータイプの可変形状ミラーでは、周辺が固定されているため、電圧変化に対して中央部ほど変形量が大きいためである。   As described above, it is preferable to apply the voltage to the large number of fixed electrodes 14 sequentially from the center to the outside. This is because the deformable mirror of the thin film mirror type has a fixed periphery, so that the amount of deformation is larger at the central portion with respect to voltage change.

この駆動方法によると、図５(a)，（ｂ）に示したように減圧下（１０Ｐａ）でもリンギングが抑制でき、電圧データ通信開始から静定までの時間を短縮することができる。また、電圧を変化させる電極チャンネル（固定電極）のみに通信して電圧を印加すれば、さらに効果的である。   According to this driving method, as shown in FIGS. 5A and 5B, ringing can be suppressed even under reduced pressure (10 Pa), and the time from the start of voltage data communication to the stabilization can be shortened. Further, it is more effective to communicate with only the electrode channel (fixed electrode) for changing the voltage and apply the voltage.

尚、固定電極１４は、六角形に限らず、図６に示したように放射状に配列した構成としても良い。また、一例として１０Ｐａのデータを示したが、圧力はこれに限定されない。   Note that the fixed electrodes 14 are not limited to hexagons, and may be configured in a radial arrangement as shown in FIG. Moreover, although the data of 10 Pa were shown as an example, a pressure is not limited to this.

以上説明したように、この発明の実施の形態のミラー駆動方法は、薄膜ミラー１０と該薄膜ミラー１０に対向する複数の固定電極１４との間に順次電圧を印加することにより、前記薄膜ミラー１０を変形駆動させるようになっている。しかも、前記薄膜ミラー１０を密封され且つ減圧されたパッケージ１内に配設した状態で、前記薄膜ミラー１０と前記固定電極１４との間に順次電圧を印加して、前記薄膜ミラー１０を変形駆動させるミラー駆動方法としている。   As described above, in the mirror driving method according to the embodiment of the present invention, the thin film mirror 10 is applied by sequentially applying a voltage between the thin film mirror 10 and the plurality of fixed electrodes 14 facing the thin film mirror 10. Is driven to deform. In addition, in a state where the thin film mirror 10 is disposed in the sealed and decompressed package 1, a voltage is sequentially applied between the thin film mirror 10 and the fixed electrode 14 to drive the thin film mirror 10 to be deformed. This is a mirror driving method.

また、この発明の実施の形態の可変形状ミラーは、薄膜ミラー１０と、前記薄膜ミラー１０に対向する複数の固定電極１４と、前記薄膜ミラー１０と前記複数の固定電極１４との間に順次電圧を印加する電圧供給部（駆動回路１６）とを有する。しかも、前記薄膜ミラー１０を内部の密閉空間内に収容するパッケージ１と、前記パッケージ１内の気圧を減圧するための減圧手段１８を備えている。また、前記電圧供給部（駆動回路１６）は、前記減圧手段１８により前記パッケージ１内の気圧を減圧した状態で、前記薄膜ミラー１０と前記複数の固定電極１４との間に電圧を順次印加するようになっている。   The deformable mirror according to the embodiment of the present invention includes a thin film mirror 10, a plurality of fixed electrodes 14 facing the thin film mirror 10, and a voltage between the thin film mirror 10 and the plurality of fixed electrodes 14 sequentially. And a voltage supply unit (driving circuit 16) for applying. In addition, a package 1 for housing the thin film mirror 10 in an internal sealed space and a decompression means 18 for decompressing the air pressure in the package 1 are provided. The voltage supply unit (drive circuit 16) sequentially applies a voltage between the thin film mirror 10 and the plurality of fixed electrodes 14 in a state where the pressure in the package 1 is reduced by the pressure reducing means 18. It is like that.

この構成によれば、薄膜ミラー１０が変形駆動される際、薄膜ミラー１０のリンギングを抑制して、薄膜ミラー１０が静定までの時間を短縮することができる。   According to this configuration, when the thin film mirror 10 is driven to be deformed, the ringing of the thin film mirror 10 can be suppressed, and the time until the thin film mirror 10 is stabilized can be shortened.

この発明に係る可変形状ミラーの説明図である。It is explanatory drawing of the variable shape mirror which concerns on this invention. 図１の固定電極の配列パターンの説明図である。It is explanatory drawing of the arrangement pattern of the fixed electrode of FIG. 図２の固定電極への電圧印加順序の説明図である。It is explanatory drawing of the order of voltage application to the fixed electrode of FIG. 図１のパソコンによる制御動作の説明のフローチャートである。It is a flowchart of description of the control operation by the personal computer of FIG. （ａ），（ｂ）は、図１の薄膜ミラーの動作特性線図である。(A), (b) is an operating characteristic diagram of the thin film mirror of FIG. 図１の固定電極の配列パターンの変形例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the modification of the arrangement pattern of the fixed electrode of FIG. （ａ），（ｂ）は、従来の薄膜ミラーの動作特性線図である。(A), (b) is an operating characteristic diagram of the conventional thin film mirror. （ａ），（ｂ）は、従来の薄膜ミラーの動作特性線図である。(A), (b) is an operating characteristic diagram of the conventional thin film mirror.

符号の説明Explanation of symbols

１・・・パッケージ
１０・・・薄膜ミラー
１４・・・固定電極
１６・・・駆動回路（電圧供給部）
１８・・・減圧手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Package 10 ... Thin film mirror 14 ... Fixed electrode 16 ... Drive circuit (voltage supply part)
18 ... Pressure reduction means

Claims (2)

薄膜ミラーと該薄膜ミラーに対向する複数の固定電極との間に順次電圧を印加することにより、前記薄膜ミラーを変形駆動させるミラー駆動方法であって、
前記薄膜ミラーを密封され且つ減圧されたパッケージ内に配設した状態で、前記薄膜ミラーと前記固定電極との間に順次電圧を印加して、前記薄膜ミラーを変形駆動させることを特徴とするミラー駆動方法。 A mirror driving method for deforming and driving the thin film mirror by sequentially applying a voltage between the thin film mirror and a plurality of fixed electrodes facing the thin film mirror,
A mirror in which the thin film mirror is deformed and driven by sequentially applying a voltage between the thin film mirror and the fixed electrode in a state where the thin film mirror is disposed in a sealed and decompressed package. Driving method. 薄膜ミラーと、前記薄膜ミラーに対向する複数の固定電極と、前記薄膜ミラーと前記複数の固定電極との間に順次電圧を印加する電圧供給部とを有する可変形状ミラーであって、
前記薄膜ミラーを内部の密閉空間内に収容するパッケージと、前記パッケージ内の気圧を減圧するための減圧手段を備え、
前記電圧供給部は、前記減圧手段により前記パッケージ内の気圧を減圧した状態で、前記薄膜ミラーと前記複数の固定電極との間に電圧を順次印加することを特徴とする可変形状ミラー。 A deformable mirror having a thin film mirror, a plurality of fixed electrodes facing the thin film mirror, and a voltage supply unit that sequentially applies a voltage between the thin film mirror and the plurality of fixed electrodes,
A package that accommodates the thin film mirror in an internal sealed space; and a decompression means for decompressing the atmospheric pressure in the package;
The variable shape mirror, wherein the voltage supply unit sequentially applies a voltage between the thin film mirror and the plurality of fixed electrodes in a state where the pressure in the package is reduced by the pressure reducing means.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010113358A (en) * 2008-11-07 2010-05-20 Commiss Energ Atom Membrane deformable optical device having improved actuation
EP3028626A1 (en) * 2014-12-04 2016-06-08 Canon Kabushiki Kaisha Deformable mirror, optical system including the deformable mirror, and ophthalmologic apparatus
US9448176B2 (en) 2011-09-29 2016-09-20 Seiko Epson Corporation Variable wavelength interference filter, optical filter device, optical module, and electronic apparatus
CN110297323A (en) * 2018-03-22 2019-10-01 三美电机株式会社 Actuator and light scanning apparatus

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010113358A (en) * 2008-11-07 2010-05-20 Commiss Energ Atom Membrane deformable optical device having improved actuation
US9448176B2 (en) 2011-09-29 2016-09-20 Seiko Epson Corporation Variable wavelength interference filter, optical filter device, optical module, and electronic apparatus
EP3028626A1 (en) * 2014-12-04 2016-06-08 Canon Kabushiki Kaisha Deformable mirror, optical system including the deformable mirror, and ophthalmologic apparatus
CN110297323A (en) * 2018-03-22 2019-10-01 三美电机株式会社 Actuator and light scanning apparatus

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