JP2008134613A - カラーフィルタ用着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(a)エチレン性不飽和二重結合を少なくとも1個有する化合物、(b)光重合開始剤、及び(c)着色剤を含み、(b)光重合開始剤は(A)ビイミダゾール系化合物、(B)増感色素、及び(C)メルカプト化合物を含有し、(A)+(B)+(C)の含有量がカラーフィルタ用着色硬化性組成物の総固形分に対して質量%で5%以上15%以下であることを特徴とするカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
【選択図】なし
Description
液晶ディスプレイは、表示装置としてCRTと比較すると、コンパクトであり、且つ、性能面では同等以上であることから、テレビ画面、パソコン画面、その他の表示装置としてCRTに置き換わりつつある。また、近年では、液晶ディスプレイの開発の動向は、画面が比較的小面積であった従来のモニター用途から、画面が大型で高度な画質が求められるTV用途に向かいつつある。
また連鎖移動剤の適性量を規定することで顔料が高濃度でもパターン形成性が良い着色硬化性組成物が提案されている(特許文献2参照)が、高感度化を達成すべく、硬化性組成物における最適な組成・比率を提案しているとは言えない。
すなわち、本発明の目的は、カラーフィルタ用の良好な着色パターンを形成することができ,優れたプロセス適性を有する硬化性組成物を提供することにある。
さらに、本発明の他の目的は、本発明の硬化性組成物を用いてなる、良好な着色パターン,該着色パターンを備えるカラーフィルタ、及び該カラーフィルタを高い生産性で製造しうる製造方法を提供することにある。
<2>さらに(d)アルカリ可溶性樹脂を含むことを特徴とする前記<1>に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<3>前記(b)光重合開始剤における(A)+(B)の含有量がカラーフィルタ用着色硬化性組成物の総固形分に対して質量%で2%以上10%以下であることを特徴とする前記<1>または<2>に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<4>前記(b)光重合開始剤における(A)+(B)の総和に対する(C)の含有量が質量%で10%以上30%以下であることを特徴とする前記<1>または<2>に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<6>前記(c)着色剤の含有量が、カラーフィルタ用着色硬化性組成物の総固形分に対して質量%で35%以上70%以下であることを特徴とする前記<1>乃至<5>のいずれかに記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<7>前記(C)メルカプト化合物が下記一般式(I)で表される化合物であることを特徴とする前記<1>乃至<6>のいずれかに記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<9>基板上に、前記<1>乃至<7>のいずれかに記載の着色硬化性組成物を塗布して着色硬化性組成物層を形成する工程と、前記着色硬化性組成物をマスクを介して露光する工程と、露光後の前記着色硬化性組成物層を現像して着色パターンを形成する工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
さらに、本発明によれば、本発明の硬化性組成物を用いてなる、良好な着色パターン,該着色パターンを備えるカラーフィルタ、及び該カラーフィルタを高い生産性で製造しうる製造方法を提供することができる。
本発明のカラーフィルタ用着色硬化性組成物は、(a)エチレン性不飽和二重結合を少なくとも1個有する化合物(以下適宜、特定重合性化合物と称する場合がある。)、(b)光重合開始剤、及び(c)着色剤を含み、(b)光重合開始剤は(A)ビイミダゾール系化合物、(B)増感色素、及び(C)メルカプト化合物を含有し、(A)+(B)+(C)の含有量がカラーフィルタ用着色硬化性組成物の総固形分に対して質量%で5%以上15%以下であることを特徴とする。
以下、本発明のカラーフィルタ用着色硬化性組成物(以下、単に「硬化性組成物」と称する場合がある。)に含有される各成分について順次説明する。
本発明に用いることができる(a)特定重合性化合物は、少なくとも一個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2〜6個、より好ましくは4〜6個有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定無く用いることができる。また特定重合性化合物は、単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。
また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
(ただし、一般式(A)中、R4及びR5は、H又はCH3を示す。)
感度の点では1分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、2官能以上が好ましい。また、硬化膜の強度を高くするためには、3官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基(例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物)のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。
また、硬化性組成物に含有される他の成分(例えば、光重合開始剤、着色剤(顔料、染料)等、バインダーポリマー等)との相溶性、分散性に対しても、付加重合化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や、2種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、基板等との密着性を向上させる目的で特定の構造を選択することもあり得る。
本発明の光重合開始剤は、(A)ビイミダゾール系化合物、(B)増感色素、及び(C)メルカプト化合物を含有する光重合開始系をさす。
光重合開始剤において、(A)+(B)+(C)の含有量がカラーフィルタ用着色硬化性組成物の総固形分に対して質量%で5%以上15%以下であり、より好ましくは5%以上12%以下であり、特に好ましくは5%以上10%以下である。
上記範囲内とすることで、本発明の硬化性組成物は高感度で硬化し、良好なパターン形成性を有する。また、未露光部のアルカリ溶解速度が速く、現像残渣が抑制される。
上記範囲内とすることで、本発明の硬化性組成物は高感度で硬化し、良好なパターン形成性を有する。また、未露光部のアルカリ溶解速度が速く、現像残渣が抑制される。
上記範囲内とすることで、本発明の硬化性組成物は高感度で硬化し、良好なパターン形成性を有する。また、未露光部のアルカリ溶解速度が速く、現像残渣が抑制される。
本発明の光重合開始系における光重合開始剤は、光により分解し、前述の重合性化合物の重合を開始、促進する化合物であり、波長300〜500nmの領域に吸収を有するものであることが好ましい。
ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、特公平6−29285号公報、米国特許第3,479,185号、同第4,311,783号、同第4,622,286号、特公昭45−37377号、特公昭44−86516号記載のロフィンダイマー類、具体的には、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ブロモフェニル))4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(m−メトキシフェニル)ビイジダゾール、2,2’−ビス(o,o’−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ニトロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−トリフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。なかでも、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾールが特に好ましい。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の1つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。
本発明に用いることができる増感色素としては、ラジカル開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。
本発明に用いることができる増感色素としては、以下に列挙する化合物類に属しており、且つ300nm〜450nmの波長領域に吸収波長を有するものが挙げられる。
好ましい増感色素の例としては、以下の化合物類に属しており、かつ330nmから450nm域に吸収波長を有するものを挙げることができる。
より好ましい増感色素の例としては、下記一般式(B−1)〜(B−4)で表される化合物が挙げられる。
なお、本明細書においては、化学式は簡略構造式により記載することもあり、特に元素や置換基の明示がない実線等は、炭化水素基を表す。また、下記具体例において、Meはメチル基を、Etはエチル基を、Buはブチル基を、n−Buはn−ブチル基を、Phはフェニル基を表す。
本発明におけるメルカプト化合物は、増感色素や重合開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する共増感剤である。
本発明のメルカプト化合物は、下記一般式(I)で表される化合物であることが好ましい。
前記アルキル基としては、炭素原子数が1から20までの直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基を挙げることができ、炭素原子数1から12までの直鎖状、炭素原子数3から12までの分岐状、並びに炭素原子数5から10までの環状のアルキル基がより好ましい。
その具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、ヘキサデシル基、オクタデシル基、エイコシル基、イソプロピル基、イソブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、1−メチルブチル基、イソヘキシル基、2−エチルヘキシル基、2−メチルヘキシル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、2−ノルボルニル基等を挙げることができる。
この原子団を構成する原子としては、炭素原子、窒素原子、水素原子、硫黄原子、セレン原子等が挙げられる。
なお、AとN=C−Nとで形成されるヘテロ環は、更に置換基を有していてもよく、導入しうる置換基としては、上記アルキル基やアリール基に導入可能な置換基と同様のものが挙げられる。
なかでも、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−4(3H)−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン等のメルカプト化合物が好ましい。
また、一般式(II)及び(III)におけるアリール基は、一般式(I)のRで表されるアリール基と同義であり、その好ましい範囲も同様である。
本発明の硬化性組成物は着色剤を含有する。
本発明の硬化性組成物に含有される着色剤には特に制限はなく、従来公知の種々の染料や顔料を1種又は2種以上混合して用いることができる。該着色剤としては、耐光性の観点から、顔料であることが好ましい。
C.I.ピグメント イエロー 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199, ;
C.I.ピグメント オレンジ36, 38, 43, 71;
C.I.ピグメント レッド81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177,209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32, 39;
C.I.ピグメント ブルー 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;
C.I.ピグメント グリーン 7, 36, 37;
C.I.ピグメント ブラウン 25, 28;
C.I.ピグメント ブラック 1, 7;
カーボンブラック等を挙げることができる。
C.I.ピグメント オレンジ36, 71,
C.I.ピグメント レッド 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32,
C.I.ピグメント ブルー 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66,
C.I.ピグメント グリーン 7, 36, 37,
C.I.ピグメント ブラック 1
本発明の硬化性組成物に含有される着色剤として使用できる染料は、特に制限はなく、従来カラーフィルタ用として公知の染料が使用できる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報、特開平8−211599号公報、特開平4−249549号公報、特開平10−123316号公報、特開平11−302283号公報、特開平7−286107号公報、特開2001−4823号公報、特開平8−15522号公報、特開平8−29771号公報、特開平8−146215号公報、特開平11−343437号公報、特開平8−62416号公報、特開2002−14220号公報、特開2002−14221号公報、特開2002−14222号公報、特開2002−14223号公報、特開平8−302224号公報、特開平8−73758号公報、特開平8−179120号公報、特開平8−151531号公報等に開示されている色素が使用できる。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、および/または、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
以下に酸性染料の具体例を挙げるが、これらに限定されるものではない。例えば、
acid alizarin violet N;acid black 1,2,24,48;acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,45,62,70,74,80,83,86,87,90,92,103,112,113,120,129,138,147,158,171,182,192,243,324:1;acid chrome violet K;acid Fuchsin;acid green 1,3,5,9,16,25,27,50;acid orange 6,7,8,10,12,50,51,52,56,63,74,95;acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,183,198,211,215,216,217,249,252,257,260,266,274;acid violet 6B,7,9,17,19;acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,42,54,72,73,76,79,98,99,111,112,114,116,184,243;Food Yellow 3;およびこれらの染料の誘導体が挙げられる。
また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44、38;C.I.Solvent orange 45;Rhodamine B、Rhodamine 110等の酸性染料およびこれらの染料の誘導体も好ましく用いられる。
また、本発明において使用しうる顔料の二次粒子の粒径分布(以下、単に「粒径分布」という。)は、(平均粒径±100)nmに入る二次粒子が全体の70質量%以上、好ましくは80質量%以上であることが望ましい。
上記範囲とすることで,適度な色度が得られやすく、光硬化が進み,膜強度やアルカリ現像ラチチュードが広くなりやすい。
本発明における硬化性組成物は、アルカリ可溶性樹脂(以下、「本発明に係るバインダー」ともいう。)の少なくとも一種を含有することが好ましい。本発明に係るバインダーとしては、アルカリ可溶性であれば特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
このような「線状有機ポリマー」としては、公知のものを任意に使用できる。好ましくは水現像あるいは弱アルカリ水現像を可能とするために、水あるいは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、皮膜形成剤としてだけでなく、水、弱アルカリ水あるいは有機溶剤現像剤としての用途に応じて選択使用される。
例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。このような線状有機ポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭54−92723号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独あるいは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独あるいは共重合させ酸無水物ユニットを加水分解もしくはハーフエステル化もしくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸および酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、4−カルボキシルスチレン等があげられ、酸無水物を有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。
また同様に側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体がある。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたものなどが有用である。
(2)アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸2-エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルアクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、ビニルアクリレート、2−フェニルビニルアクリレート、1−プロペニルアクリレート、アリルアクリレート、2−アリロキシエチルアクリレート、プロパルギルアクリレート等のアルキルアクリレート。
(4)アクリルアミド、メタクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−エチルアクリルアミド、N−ヘキシルメタクリルアミド、N−シクロヘキシルアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−フェニルアクリルアミド、N−ニトロフェニルアクリルアミド、N−エチル−N−フェニルアクリルアミド、ビニルアクリルアミド、ビニルメタクリルアミド、N,N−ジアリルアクリルアミド、N,N−ジアリルメタクリルアミド、アリルアクリルアミド、アリルメタクリルアミド等のアクリルアミド若しくはメタクリルアミド。
(6)ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビニルブチレート、安息香酸ビニル等のビニルエステル類。
(7)スチレン、α−メチルスチレン、メチルスチレン、クロロメチルスチレン、p−アセトキシスチレン等のスチレン類。
(8)メチルビニルケトン、エチルビニルケトン、プロピルビニルケトン、フェニルビニルケトン等のビニルケトン類。
(9)エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン類。
(11)マレイミド、N−アクリロイルアクリルアミド、N−アセチルメタクリルアミド、N−プロピオニルメタクリルアミド、N−(p−クロロベンゾイル)メタクリルアミド等の不飽和イミド。
(12)α位にヘテロ原子が結合したメタクリル酸系モノマー。例えば、特願2001−115595号明細書、特願2001−115598号明細書等に記載されている化合物を挙げる事ができる。
また、欧州特許993966、欧州特許1204000、特開2001−318463等に記載の酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダーポリマーは、膜強度、現像性のバランスに優れており、好適である。
さらにこの他に水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド等が有用である。また硬化皮膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロロヒドリンのポリエーテル等も有用である。
本発明において用いうるアルカリ可溶性樹脂を合成する際に用いられるラジカル重合開始剤としては、アゾ系開始剤、過酸化物開始剤等公知の化合物が挙げられる。
また、これらのアルカリ可溶性樹脂は、ランダムポリマー、ブロックポリマー、グラフトポリマー等いずれでもよい。
<溶剤>
本発明の硬化性組成物は、少なくとも1種類の溶剤を含有することができる。
具体的には、前記溶剤は、グリコールエーテル系溶剤、アルコール系溶剤、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、アミド系溶剤及び塩素含有溶剤から選ばれることが好ましい。
て15〜60質量%が好ましく、20〜50質量%がより好ましく、30〜40質量%が特に好ましい。該含有量が前記範囲内であると、組成物中の着色剤の溶解性、溶解後の保存時における経時安定性を効果的に向上させることができる。
また、本発明の硬化性組成物においては、上記溶剤を単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
本発明の硬化性組成物が(c)着色剤として顔料を含有する場合、該顔料の分散性を向上させる観点から、分散剤を添加することが好ましい。
高分子分散剤は、その構造からさらに直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その使用量としては、顔料に対して、5〜100質量%の範囲が好ましく、10〜80質量%の範囲がより好ましい。また、顔料誘導体を使用する場合であれば、その使用量としては、顔料に対し1〜30質量%の範囲にあることが好ましく、3〜20質量%の範囲にあることがより好ましく、5〜15質量%の範囲にあることが特に好ましい。
本発明においては、硬化性組成物の製造中あるいは保存中において重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の不要な熱重合を阻止するために少量の熱重合防止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる熱重合防止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
本発明においては、基材である硬質表面(基板)との密着性を向上させるために、密着向上剤を添加することもできる。密着向上剤としては、シラン系カップリング剤、チタンカップリング剤等が挙げられる。
中でもγ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、が好ましく、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが最も好ましい。
次に、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明のカラーフィルタは、支持体上に、本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とする。
以下、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法(本発明のカラーフィルタの製造方法)を通じて詳述する。
以下、本発明の製造方法における各工程について説明する。
着色硬化性組成物層形成工程では、支持体上に、本発明の硬化性組成物を塗布して着色硬化性組成物層を形成する。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
露光工程では、前記着色硬化性組成物層形成工程において形成された着色硬化性組成物層をマスクを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させる。
露光は放射線の照射により行うことが好ましく、露光に際して用いることができる放射線としては、特に、g線、i線等の紫外線が好ましく用いられ、高圧水銀灯がより好まれる。照射強度は5mJ〜1500mJが好ましく10mJ〜800mJがより好ましく、10mJ〜500mJが最も好ましい。
露光工程に次いで、アルカリ現像処理(現像工程)を行い、露光工程における光未照射部分をアルカリ水溶液に溶出させる。これにより、光硬化した部分だけが残る。
現像温度としては通常20℃〜30℃であり、現像時間は20〜90秒である。
該硬化性組成物は、特に着色剤として、顔料濃度が高く且つI線透過率の低いグリーンを用いた場合において有効である。
さらに、本発明の硬化性組成物を用いてなる、高色再現性を有し、形状が良好な着色パターンを有するカラーフィルタ、及び該カラーフィルタを高い生産性で製造しうる製造方法を提供することができる。
<実施例1>
1−1.顔料分散液の調製
顔料としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー150との30/70(質量比)混合物40質量部、分散剤としてBYK2001(Disperbyk :ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)10質量部(固形分換算約4.51質量部)、および溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル150質量部からなる混合液を、ビーズミルにより15時間混合・分散して、顔料分散液(P1)を調製した。
顔料分散液(P1)について、顔料の平均粒径を動的光散乱法により測定したところ、200nmであった。
・顔料分散液P1(c) 66.6質量部
・アルカリ可溶性樹脂(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、mol比:70/30、Mw:5000)(d) 1.5質量部
・多官能性単量体ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(a) 4.4質量部
・2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール((A)ビイミダゾール系化合物) 1.0質量部
・4,4−ビスジエチルアミノベンゾフェノン((B)増感色素) 0.3質量部
・化合物C2(下記式)((C)メルカプト化合物) 0.3質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 10.5質量部
・エチルエトキシプロピオネート 15.4質量部
2−1.硬化性組成物層の形成
上記顔料を含有する硬化性組成物をレジスト溶液として、550mm×650mmのガラス基板に下記条件でスリット塗布した後、10分間そのままの状態で待機させ、新しいガラス基板に塗布し、真空乾燥とプレベーク(prebake)(100℃80秒)を施して硬化性組成物塗膜(硬化性組成物層)を形成した。
(スリット塗布条件)
塗布ヘッド先端の開口部の間隙:50μm
塗布速度:100mm/秒
基板と塗布ヘッドとのクリヤランス:150μm
塗布厚(乾燥厚):2μm
塗布温度:23℃
プリベーク 100℃×80秒
その後、2.5kwの超高圧水銀灯を用いて50mj/cm2 20mWの条件にて光硬化性塗布膜をパターン状に露光し、露光後、塗布膜の全面を現像液(商品名:CDK−1富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1%水溶液をシャワー状に噴霧して、60秒間現像処理した。
静止後、純水をシャワー状に噴射して現像液を洗い流し、かかる光硬化処理及び現像処理を施した塗布膜を230℃のオーブンにて0.5時間加熱した(ポストベーク)。これにより、ガラス基板上に着色樹脂皮膜(カラーフィルタ)を形成した。
上記で調整された着色硬化性組成物を用いてガラス基板上に形成された硬化性組成物塗布膜(着色層)のパターン形成性、基板密着性、マスク太り量、さらに現像残渣を下記のごとく評価した。結果を表1〜2に示す。
形成されたパターンの断面形状を走査電子顕微鏡(SEM)にて観察した。パターン断面形状は順テーパーが最も好ましく、矩形が次に好ましい。アンダーカットは好ましくない。
<パターン形成性>
○順テーパー: 基板の平面と形成する角度が75度未満のもの
△矩形: 基板の平面と形成する角度が90度未満のもの
×逆テーパー: 基板の平面と形成する角度が90度を超えるもの
基板密着性の評価として、パターン欠損が発生しているか否かを観察した。本評価項目については、下記基準に基づいて評価を行った。
<基板密着性>
○:パターン欠損がまったく観察されなかった。
△:パターン欠損がほとんど観察されなかったが、一部分欠損が観察された。
×:パターン欠損が著しく観察された。
形成されたパターンの寸法を、寸法計測器(ICRON オリンパス(株)製)にて測定した。本評価項目については、下記基準に基づいて評価を行った。
<マスク太り量>
○:マスクに対し+5μm以上の太り幅。
△:マスクに対し+2μm以上、5μm未満の太り幅。
×:マスクに対し+2μm未満の太り幅。
露光工程において、光が照射されなかった領域(未露光部)の残渣の有無を観察し、現像性を評価した。
<現像残渣>
○:未露光部には、残渣がまったく確認されなかった。
△:未露光部に、残渣がわずかに確認されたが、実用上問題のない程度であった。
×:未露光部に、残渣が著しく確認された。
比較例3の硬化性組成物は、(b)成分の含有量が好ましい範囲から外れており、実施例5〜8の硬化性組成物と比べて、すべての評価項目において劣っていることがわかる。また実施例7および8の硬化性組成物は、(b)成分の数値が最適な範囲であり、実施例5および6の硬化性組成物に比べて優れていることがわかる。
Claims (9)
- (a)エチレン性不飽和二重結合を少なくとも1個有する化合物、(b)光重合開始剤、及び(c)着色剤を含み、(b)光重合開始剤は(A)ビイミダゾール系化合物、(B)増感色素、及び(C)メルカプト化合物を含有し、(A)+(B)+(C)の含有量がカラーフィルタ用着色硬化性組成物の総固形分に対して質量%で5%以上15%以下であることを特徴とするカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- さらに(d)アルカリ可溶性樹脂を含むことを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 前記(b)光重合開始剤における(A)+(B)の含有量がカラーフィルタ用着色硬化性組成物の総固形分に対して質量%で2%以上10%以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 前記(b)光重合開始剤における(A)+(B)の総和に対する(C)の含有量が質量%で10%以上30%以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 前記(a)エチレン性不飽和二重結合を少なくとも1個有する化合物と、前記(b)光重合開始剤との質量比(b)/(a)が0.1以上2.0以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 前記(c)着色剤の含有量が、カラーフィルタ用着色硬化性組成物の総固形分に対して質量%で35%以上70%以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 基板上に、請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の着色硬化性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とするカラーフィルタ。
- 基板上に、請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の着色硬化性組成物を塗布して着色硬化性組成物層を形成する工程と、前記着色硬化性組成物をマスクを介して露光する工程と、露光後の前記着色硬化性組成物層を現像して着色パターンを形成する工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008133011A1 (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Fujifilm Corporation | カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置 |
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Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5546801B2 (ja) * | 2008-06-10 | 2014-07-09 | 富士フイルム株式会社 | 紫外光レーザー露光用感光性樹脂組成物、パターン形成方法、その方法を用いて製造したカラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法および液晶表示装置 |
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| KR101453771B1 (ko) * | 2010-11-08 | 2014-10-23 | 제일모직 주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
| EP2677364A4 (en) * | 2011-02-18 | 2015-05-13 | Adeka Corp | LIGHT-SENSITIVE COLOR COMPOSITION |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000221675A (ja) * | 1999-02-01 | 2000-08-11 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物 |
| JP2000310707A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ |
| JP2003330183A (ja) * | 2002-05-10 | 2003-11-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性転写材料、画像形成方法及びカラーフィルタ |
| JP2004205862A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Jsr Corp | 感放射線性組成物、ブラックマトリクス、カラーフィルタおよびカラー液晶表示装置 |
| JP2005300994A (ja) * | 2004-04-13 | 2005-10-27 | Jsr Corp | 着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示パネル |
Family Cites Families (1)
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000221675A (ja) * | 1999-02-01 | 2000-08-11 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物 |
| JP2000310707A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ |
| JP2003330183A (ja) * | 2002-05-10 | 2003-11-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性転写材料、画像形成方法及びカラーフィルタ |
| JP2004205862A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Jsr Corp | 感放射線性組成物、ブラックマトリクス、カラーフィルタおよびカラー液晶表示装置 |
| JP2005300994A (ja) * | 2004-04-13 | 2005-10-27 | Jsr Corp | 着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示パネル |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008133011A1 (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Fujifilm Corporation | カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置 |
| US9023558B2 (en) | 2012-05-14 | 2015-05-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Photoresist composition and method of forming a color filter using the same |
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