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JP2008128825A - 超音波流量計 - Google Patents

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JP2008128825A
JP2008128825A JP2006314338A JP2006314338A JP2008128825A JP 2008128825 A JP2008128825 A JP 2008128825A JP 2006314338 A JP2006314338 A JP 2006314338A JP 2006314338 A JP2006314338 A JP 2006314338A JP 2008128825 A JP2008128825 A JP 2008128825A
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JP2006314338A
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Tadanori Maoka
忠則 真岡
Yoshitomi Sameda
芳富 鮫田
Yukio Takahashi
幸夫 鷹箸
Kenji Nakano
健治 中野
Hiroto Uyama
浩人 宇山
Tatsuo Fujimoto
龍雄 藤本
Mamoru Suzuki
守 鈴木
Sachiko Kono
祥子 甲野
Nozomi Nagai
望 長井
Kenichiro Yuasa
健一郎 湯浅
Hiroshi Ishida
宏 石田
Toru Hiroyama
徹 廣山
Hiroshi Hattori
浩 服部
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Toshiba Corp
Tokyo Gas Co Ltd
Aichi Tokei Denki Co Ltd
Toho Gas Co Ltd
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Toshiba Corp
Tokyo Gas Co Ltd
Aichi Tokei Denki Co Ltd
Toho Gas Co Ltd
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Abstract

【課題】大幅な改造または煩雑な補正計算を行う電子回路を必要とすることなく、簡単な構造改良で脈動を吸収できる超音波流量計を提供する。
【解決手段】流体の流路11に配置された計測管6と、計測管の内部を、超音波が、該計測管の中心軸を通って斜めに横切って伝播するように配置された一対の超音波送受波器5とを備え、一対の超音波送受波器間で超音波を送受信して流体の流れの順方向および逆方向における超音波の伝播時間を計測し、計測された伝播時間の差に基づいて流体の流量を算出する超音波流量計において、計測管6の上流側の流路および下流側の流路の少なくとも1つに流体抵抗体10を備えたことを特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、超音波を用いて流体の流速や流量を計測する超音波流量計に関し、さらに詳しくは、流路内の流速を間欠的に計測して積算流量を推測する推量式流量計において、脈動(圧力変動、流速変動)の影響を低減する脈動吸収構造に関する。
一般に、超音波流量計においては、流体入口から導入されて流体導入路を通過した流体は計測管に導かれ、この計測管を通過した流体は、流体排出路を通過して流体出口から外部に排出される。計測管には、この計測管の軸を斜めに横切るように所定の角度θだけ傾斜し且つ一定の距離を隔てて、一対の超音波送受波器が対向するように設置されている。そして、一対の超音波送受波器の間の超音波の伝播時間または周波数が、被計測流体が流れる方向である順方向と、被計測流体の流れと逆の方向である逆方向とについて、それぞれ測定され、この測定結果に基づいて流体の速度が計測され、さらに、この計測された流体の速度に計測管の断面積を乗じて流量が算出される。
このような従来の超音波流量計においては、一対の超音波送受波器間で計測された流速に、測定管の断面積を乗じることにより流量が算出されるので、正確な流量を算出するためには、超音波送受波器の取り付け位置および流量にそれぞれ対応した補正係数を用いて補正することが必要になる。
ところが、この補正係数は、流体の流れが定常である場合には主として流量に応じて決定されるが、流体の流れが脈動流のような非定常の場合には流量の変化率によって流速分布が変化することから、流量に応じた補正係数を用いると、流速および流量の測定精度が低下するという問題が生じる。
この脈動流には、その発生源により、周期が一定で連続するもの(ガスエンジン駆動のヒートポンプエアコンのように比較的大きな圧力変動を発生する機器が近隣に設置された場合(5〜30Hz))や、交流信号(50〜60Hz)を重畳して燃焼弁を駆動する型の家庭用給湯器のように周期が必ずしも一定でないものがある。
このような脈動流に起因する問題を解消するために、特許文献1は、流体の流れが脈動流のような非定常なものである場合においても、流速および流量を高い測定精度で測定することのできる超音波流体計測装置を開示している。
この超音波流体計測装置は、被計測流体が流れる計測流路と、計測流路の被計測流体の流動方向に対し直交する幅方向を超音波が横切って伝播するように計測流路の上流側および下流側にそれぞれ配設された少なくとも一対の超音波送受信器と、被計測流体の流速の変化を検知する流速変化率検知手段と、超音波送受信器の送受信信号の伝播時間差と流速変化率検知手段の検知結果との両方に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備え、流速補正係数記憶部には流量の大小、被計測流体の流動方向および流速の変化率の少なくとも8通りの流速補正係数が記憶されている。計測流路内の流速分布が大きく変化する少なくとも3種類の流れ状態のみに基づいて最適な流速補正係数を選択して設定することができ、広範囲な流れ状態に対して効率的に計測精度を高めることができる。
また、特許文献2は、脈動流の影響を抑えつつ、且つ、計測中の状態変化にも左右されにくい超音波流量計を開示している。この超音波流量計は、脈動周期を検出する検出手段を備え、単位計測工程の実行周期と実行回数の積を周波数検出手段で検出した脈動周期の整数倍となるように、実行周期または実行回数を可変としているので、常に脈動周期の整数倍の時間にわたってサンプリングを実行でき、計測中に脈動周期の変化や温度変化が発生した場合も、その変動の影響を受けにくい流量計測を実現できる。
さらに、特許文献3は、配管内で圧力変動(脈動)が発生してもオリフィス効果によって下流側への脈動を大幅に減少させることができ、計測精度を向上できるとともに、小型で、コストダウンを図ることができる超音波流量計を開示している。この超音波流量計は、計測流路の上流側に、ガス流量がない時は磁気力によって閉弁し、ガス流量がある流量以上の時は上流側と下流側の差圧によって開弁する脈動抑制可動弁を有する可変絞り機構を設けることにより配管内で圧力変動(脈動)が発生してもオリフィス効果によって下流側への脈動を減少させ、計測精度を向上させる。
特開2004−20480号公報 特開2004−12333号公報 特開2004−37194号公報
しかしながら、上述した特許文献1〜3に開示された技術では、脈動の減衰、吸収または低減等は可能になるが、何れも大幅な構造的な改良や機器の新たな設置等が必要になるのでコストがかかる。また、正確な流量を算出するためには、超音波送受波器の取り付け位置および流量にそれぞれ対応した補正係数を用いて補正する必要があるので、複雑な補正計算を行うための煩雑な電子回路を必要とする。
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、その課題は、大幅な改造または煩雑な補正計算を行う電子回路を必要とすることなく、簡単な構造改良で脈動を吸収できる超音波流量計を提供することにある。
上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、流体の流路に配置された計測管と、計測管の内部を、超音波が、該計測管の中心軸を通って斜めに横切って伝播するように配置された一対の超音波送受波器とを備え、一対の超音波送受波器間で超音波を送受信して流体の流れの順方向および逆方向における超音波の伝播時間を計測し、該計測された伝播時間の差に基づいて流体の流量を算出する超音波流量計において、計測管の上流側の流路および下流側の流路の少なくとも1つに取り付けられた流体抵抗体を備えたことを特徴とする。
また、請求項5記載の発明は、流体の流路に配置された計測管と、計測管の内部を、超音波が、該計測管の中心軸を通って斜めに横切って伝播するように配置された一対の超音波送受波器とを備え、一対の超音波送受波器間で超音波を送受信して流体の流れの順方向および逆方向における超音波の伝播時間を計測し、該計測された伝播時間の差に基づいて流体の流量を算出する超音波流量計において、計測管の上流側の流路と下流側の流路とを連結する緩衝管を備え、緩衝管は、該緩衝管の内部を移動可能な流体不透過性の仕切り板を備えていることを特徴とする。
また、請求項11記載の発明は、流体の流路に配置された計測管と、計測管の内部を、超音波が、該計測管の中心軸を通って斜めに横切って伝播するように配置された一対の超音波送受波器とを備え、一対の超音波送受波器間で超音波を送受信して流体の流れの順方向および逆方向における超音波の伝播時間を計測し、該計測された伝播時間の差に基づいて流体の流量を算出する超音波流量計において、計測管の上流側の流路に並列に、流体を溜める流体溜め容器を備えたことを特徴とする。
また、請求項13記載の発明は、流体の流路に配置された計測管と、計測管の内部を、超音波が、該計測管の中心軸を通って斜めに横切って伝播するように配置された一対の超音波送受波器とを備え、一対の超音波送受波器間で超音波を送受信して流体の流れの順方向および逆方向における超音波の伝播時間を計測し、該計測された伝播時間の差に基づいて流体の流量を算出する超音波流量計において、計測管の上流側の流路および下流側の流路の少なくとも1つに取り付けられた羽根車と、計測管の上流側の流路と下流側の流路とを連結する緩衝管とを備え、緩衝管は、該緩衝管の内部を移動可能な流体不透過性の仕切り板を備えていることを特徴とする。
さらに、請求項14記載の発明は、流体の流路に配置された計測管と、計測管の内部を、超音波が、該計測管の中心軸を通って斜めに横切って伝播するように配置された一対の超音波送受波器とを備え、一対の超音波送受波器間で超音波を送受信して流体の流れの順方向および逆方向における超音波の伝播時間を計測し、該計測された伝播時間の差に基づいて流体の流量を算出する超音波流量計において、計測管の上流側の流路および下流側の流路の少なくとも1つに取り付けられた羽根車と、計測管の上流側の流路に並列に、流体を溜める流体溜め容器とを備えたことを特徴とする。
請求項1記載の発明によれば、流入される流体が流体抵抗体を通過することによって、その脈動が大幅に緩和され、平均化されるので、大幅な改造または煩雑な補正計算を行う電子回路を必要とすることなく、簡単な構造改良で脈動を吸収できる。
請求項5記載の発明によれば、流入する流体の流量が突発的に大きくなった時は、緩衝管内の仕切り板の移動により流体の圧力が下げられるので、大幅な改造または煩雑な補正計算を行う電子回路を必要とすることなく、簡単な構造改良で脈動を吸収できる。その結果、計測管においては平均化された流速が得られ、流速および流量を精度良く測定できる。
請求項11記載の発明によれば、流入する流体の流量が突発的に大きくなった時は、流体溜め容器に流体が流入して流体の圧力が下げられるので、大幅な改造または煩雑な補正計算を行う電子回路を必要とすることなく、簡単な構造改良で脈動を吸収できる。その結果、計測管においては平均化された流速が得られ、流速および流量を精度良く測定できる。
請求項13記載の発明によれば、請求項1および請求項5記載の各発明の効果が相乗された効果が得られる。また、請求項14記載の発明によれば、請求項1および請求項11記載の各発明の効果が相乗された効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態に係る超音波流量計を図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明の実施例1に係る超音波流量計の概略的な構造を示す図である。この超音波流量計には、流体入口1から導入された流体を流体出口8から排出する例えば矩形管によってU字状に屈曲した流路11が形成されている。この流路11の流体入口1の近傍には遮断弁2が設けられており、流路11を流れる流体を遮断できるように構成されている。
流路11の略中央には、その内壁に密着するように計測管6が配置されており、この計測管6の上流側(流体入口1側)には流体導入路3が形成され、下流側(流体出口8側)には流体排出路7が形成されている。計測管6は、所定の肉厚を有する長さLの管から構成されており、計測管6の長さ(計測流路長)Lは、後述する一対の超音波送受波器5の間で送受信される超音波の波長λの300倍以下となるように設定されている。
また、計測管6の入口側の開口部および出口側の開口部の構造は、計測管6の長手方向の中心軸Cに直交する面に対して対称になっている。このような構造は、計測管6として直管を用いることにより実現できる。また、計測管6の入口側の開口部および出口側の開口部には、計測管6の内壁から流路11の内壁に向けてテーパを有する庇4が形成されている。
また、計測管6の外側には、超音波が計測管6の内部を、中心軸Cを通って斜めに横切って伝播するように、一対の超音波送受波器5が対向して、中心軸Cに対して傾斜角θをもって配置されている。傾斜角θは、例えば5°以上とすることができる。この一対の超音波送受波器5は、超音波をガイドするように流路11の外側に突設されたガイド管9によって支持されている。
また、流体導入路3の上流側には、流体抵抗体としての羽根車10が取り付けられている。図2は、流体導入路3に羽根車10を取り付けた状態を示す立体斜視図である。なお、本発明の流体抵抗体としては、羽根車10に限らず、流体の流れの抵抗となる種々の構造物を用いることもできる。
羽根車10は、計測される流体(被測定流体)の流量に応じて、その重さが異なるものに取り替えることが可能になっている。例えば、大流量のガスを計測する場合は、通常は、5〜50gの羽根車10を用いることができる。また、小流量のガスを常時計測する場合は、10g以下の羽根車10を用いることができる。また、羽根車10の表面は、耐食性および撥水性の表面加工が施されている。
流体導入路3に羽根車10を取り付けることにより、流体入口1から流入する流体の流量が突発的に大きくなった時、例えば1000L/hの流量のガスが定常的に流れている状態で8000L/h程度の大きな流量のガスが突発的に入ってきた時は、この羽根車10によって流速の変動が緩和され、計測管6に入る流量が平均化される。
また、被測定流体の種類によって羽根車10の重さ(材質)を替えるように構成することもできる。この構成によれば、流速の変動を効果的に緩和させることができる。
さらに、羽根車10の材料としては、計測管6と同じ材料、例えばステンレス(SUS)または真鍮などを用いることができるが、流体による材料の損傷を低減させるために、耐食性を有する材料を用いるのが好ましく、さらに、材料の表面は撥水処理されていることが望ましい。流路11の配管および羽根車10の表面に耐食性および撥水性を付与するには、5〜30%のPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)などのテフロン(登録商標)系の撥水剤水溶液を表面にスプレー法等により塗布した後、空気中または不活性ガス中にて350℃(テフロン(登録商標)焼結温度以上)で15〜30分間焼成することにより行うことができる。
なお、この羽根車10は、上述した流体導入路3のみならず、流体排出路7にも取り付けるように構成できる。この構成によれば、脈動流を緩和させる効果をさらに増大させることができる。この際、流体排出路7に取り付ける羽根車の大きさを、流体導入路3に取り付ける羽根車10の大きさと異ならしめることにより、脈動流の吸収による流れの平滑化を、より促進することができる。
上記のように構成される超音波流量計においては、流体入口1から流路11内に導入された流体は、遮断弁2、羽根車10および流体導入路3を経由して計測管6に至り、この計測管6を通過した流体は、流体排出路7を経由して流体出口8から排出される。このように流体が流れている状態において、一対の超音波送受波器5は、計測回路12からの指示に応じて超音波を流体中で送受信し、受信した超音波を電気信号に変換し、受信信号として計測回路12に送る。
計測回路12は、一対の超音波送受波器5から送られてくる受信信号に基づき、超音波の順方向(流体の流れ方向)の伝播時間と逆方向(流体の流れと逆の方向)の伝播時間とを算出し、伝播時間の差に基づいて流体の流速を算出し、算出した流速に計測管6の断面積を乗じて体積流量を求め、求めた体積流量を流量に応じた補正係数で補正し、流体の流量として外部に出力する。なお、計測回路12は、一対の超音波送受波器5から送られてくる受信信号の周波数の差、つまり超音波を順方向に送受信したときの周波数と逆方向に送受信した時の周波数との差に基づいて流体の流速を算出しても良い。
図3(a)は、流路11に羽根車10を取り付けない場合の計測管6中の流速の時間的な変動を示し、図3(b)は、流路11に羽根車10を取り付けた場合の計測管6中の流速の時間的な変動を示す。図3を参照すると、羽根車10の取り付けの有無によって、流入される流体の脈動が、羽根車10を通過することによって大幅に緩和され、平均化されていることがわかる。
図4は、本発明の実施例2に係る超音波流量計の概略的な構造を示す図である。この実施例2に係る超音波流量計は、実施例1に係る超音波流量計から羽根車10を除去するとともに、流体導入路3と流体排出路7との間を結ぶ緩衝管13を追加して構成されている。緩衝管13の内部には、その軸方向に移動可能な流体不透性の仕切り板14が配置されている。この仕切り板14の流体導入路3側の表面には、圧力センサ15が取り付けられている。流体導入路3と流体排出路7との間に、移動可能な仕切り板10を有する緩衝管13を取り付けることにより、この緩衝管13によって流速の変動が緩和され、計測管6に入る流量が平均化される。
仕切り板14は、計測される流体(被測定流体)の流量に応じて、その重さが異なるものに取り替えることが可能になっている。また、羽根車10の表面は、耐食性および撥水性の表面加工が施されている。また、被測定流体の種類によって仕切り板14の重さ(材質)を替えるように構成することもできる。この構成によれば、流速の変動を効果的に緩和させることができる。
さらに、仕切り板14の材料としては、計測管6と同じ材料、例えばステンレス(SUS)または真鍮などを用いることができるが、流体による材料の損傷を低減させるために、耐食性を有する材料を用いるのが好ましく、さらに、材料の表面は撥水処理されていることが望ましい。流路11の配管および仕切り板14の表面に対する耐食性および撥水性の付与は、上述した実施例1と同じ方法で行うことができる。
このように構成される実施例2に係る超音波流量計においては、流体入口1から流入する流体の流量が突発的に大きくなった時は、圧力センサ15により仕切り板14の表面の圧力が検知され、図示しない制御回路に通知される。制御回路は、図示しない駆動機構を駆動して仕切り板14を流体導入路3から流体排出路7の方向に滑走させる。そして、圧力センサ15で検知された圧力が予め設定された圧力に戻った時に、制御回路は駆動機構による駆動を停止させる。これにより、仕切り板14の滑走は停止する。
以上の構成により、流体導入部(流体導入路およびその近傍)の容積が変動して流量の圧力が常に一定に保たれるため、脈動流が計測管6に直接に入ることがない。その結果、計測管6においては平均化された流速が得られるので、流速および流量を精度良く測定できる。
図5は、本発明の実施例3に係る超音波流量計の概略的な構造を示す図である。この実施例3に係る超音波流量計は、実施例2に係る超音波流量計から圧力センサ15を除去するとともに、仕切り板14の後方にバネ16およびバネ止め機構17を取り付けて構成されている。仕切り板14は、実施例2に係る超音波流量計で使用されるものと同じものを用いることができる。
この超音波流量計においては、流体導入部内の圧力が高くなった場合にバネ16が圧縮され、仕切り板14が流体導入路3から流体排出路7の方向に移動する。その結果、流体導入部内の容積が大きくなり、圧力上昇が緩和されて流量の変動が抑制される。
なお、圧縮されたバネ16はバネ止め機構17により押さえられているので、圧力が元に戻れば仕切り板14は元の位置に復帰する。したがって、圧力が元に戻れば通常の流量の測定が行われる。
図6は、本発明の実施例4に係る超音波流量計の概略的な構造を示す図である。この実施例4に係る超音波流量計は、実施例1に係る超音波流量計から羽根車10を除去するとともに、流体導入路3に並列に流体溜め容器18を追加して構成されている。流体導入路3の上流側と流体溜め容器18との間はバイパス管19によって接続され、バイパス管19と流体溜め容器18との間には、入口弁20が設けられている。また、流体導入路3の下流側と流体溜め容器18との間はバイパス管21によって接続され、バイパス管21と流体溜め容器18との間には、出口弁22が設けられている。
上記のように構成される超音波流量計においては、流体導入部内の流量が通常の時は、入口弁20および出口弁22は閉じられており、流体導入路3を通過した流体は計測管6に導かれる。
一方、流体入口1から流入する流体の流量が突発的に大きくなった時は、流体溜め容器18の上部の入口弁20が開き、バイパス管19を介して流体溜め容器18に流体がトラップされ、その後、流体溜め容器18の下部の出口弁22が開いて流体導入路3に導かれる。このように、流体入口1から流入する流体の流量が突発的に大きくなった場合は、バイパス管19、流体溜め容器18およびバイパス管21から成るバイパス通路と流体導入路3とを同時に流体が流れた後、計測管6に導かれるので、計測管6に導かれる流体の流速の変動が緩和され、計測管6に入る流量が平均化される。その結果、流速および流量を精度良く測定できる。
図7は、本発明の実施例5に係る超音波流量計の概略的な構造を示す図である。この実施例5に係る超音波流量計は、実施例1に係る超音波流量計と実施例2に係る超音波流量計とを組み合わせたものである。具体的には、実施例5に係る超音波流量計は、実施例2に係る超音波流量計の流体導入路3の、緩衝管13より下流側に羽根車10を取り付けて構成したものである。
この超音波流量計においては、流体入口1から流入する流体の流量が突発的に大きくなった時は、先ず、仕切り板14の移動により流体の流速の変動が緩和され、その後、羽根車10によって、さらに均一化された流速になる。このように、緩衝管13と羽根車10といった2つの機構を組み合わせることにより脈動流の吸収が段階的に行われ、結果として、計測管6中の流速がより均一化(平均化)される。
なお、この実施例5に係る超音波流量計は、実施例1に係る超音波流量計と実施例2に係る超音波流量計とを組み合わせて構成したが、実施例1に係る超音波流量計と実施例3に係る超音波流量計とを組み合わせるように変形できる。この場合も、上述した実施例5に係る超音波流量計と同様の効果を奏する。
図8は、本発明の実施例5に係る超音波流量計の概略的な構造を示す図である。この実施例6に係る超音波流量計は、実施例1に係る超音波流量計と実施例4に係る超音波流量計とを組み合わせたものである。具体的には、実施例6に係る超音波流量計は、実施例4に係る超音波流量計の流体導入路3の、流体溜め容器18より下流側に羽根車10を取り付けて構成したものである。
この超音波流量計においては、流体入口1から流入する流体の流量が突発的に大きくなった時は、先ず、流体が流体溜め容器18にトラップされることにより流体の流速の変動が緩和され、その後、羽根車10によって、さらに均一化された流速になる。このように、流体溜め容器18と羽根車10といった2つの機構を組み合わせることにより脈動流の吸収が段階的に行われ、結果として、計測管6中の流速がより均一化(平均化)される。
本発明は、ガスの流量を測定する超音波ガスメータや水の流量を測定する水道メータに適用可能である。
本発明の実施例1に係る超音波流量計の概略的な構造を示す図である。 本発明の実施例1に係る超音波流量計の流体導入路に羽根車を取り付けた状態を示す立体斜視図である。 本発明の実施例1に係る超音波流量計における流速の変動を従来の超音波流量計における流速の変動と比較して示す図である。 本発明の実施例2に係る超音波流量計の概略的な構造を示す図である。 本発明の実施例3に係る超音波流量計の概略的な構造を示す図である。 本発明の実施例4に係る超音波流量計の概略的な構造を示す図である。 本発明の実施例5に係る超音波流量計の概略的な構造を示す図である。 本発明の実施例6に係る超音波流量計の概略的な構造を示す図である。
符号の説明
1 流体入口
2 遮断弁
3 流体導入路
4 庇
5 超音波送受波器
6 計測管
7 流体排出路
8 流体出口
9 ガイド管
10 羽根車
11 流路
12 計測回路
13 緩衝管
14 仕切り板
15 圧力センサ
16 バネ
17 バネ止め機構
18 流体溜め容器
19、21 バイパス管
20 入口弁
22 出口弁

Claims (14)

  1. 流体の流路に配置された計測管と、
    前記計測管の内部を、超音波が、該計測管の中心軸を通って斜めに横切って伝播するように配置された一対の超音波送受波器とを備え、
    前記一対の超音波送受波器間で超音波を送受信して流体の流れの順方向および逆方向における超音波の伝播時間を計測し、計測された伝播時間の差に基づいて流体の流量を算出する超音波流量計において、
    前記計測管の上流側の流路および下流側の流路の少なくとも1つに取り付けられた流体抵抗体を備えたことを特徴とする超音波流量計。
  2. 前記流体抵抗体は羽根車から成り、計測される流量に応じて重さが異なることを特徴とする請求項1記載の超音波流量計。
  3. 前記流体抵抗体は羽根車から成り、該羽根車の材料は、前記流路を構成する配管の材料と同一であることを特徴とする請求項1記載の超音波流量計。
  4. 前記流体抵抗体は羽根車から成り、該羽根車の表面は、耐食性および撥水性の加工がなされていることを特徴とする請求項1記載の超音波流量計。
  5. 流体の流路に配置された計測管と、
    前記計測管の内部を、超音波が、該計測管の中心軸を通って斜めに横切って伝播するように配置された一対の超音波送受波器とを備え、
    前記一対の超音波送受波器間で超音波を送受信して流体の流れの順方向および逆方向における超音波の伝播時間を計測し、該計測された伝播時間の差に基づいて流体の流量を算出する超音波流量計において、
    前記計測管の上流側の流路と下流側の流路とを連結する緩衝管を備え、
    前記緩衝管は、該緩衝管の内部を移動可能な流体不透過性の仕切り板を備えている
    ことを特徴とする超音波流量計。
  6. 前記仕切り板の前記上流側の流路に対向する面に取り付けられた圧力センサを備え、
    前記仕切り板は、前記圧力センサで検出された圧力に応じて前記緩衝管の内部を移動することを特徴とする請求項5記載の超音波流量計。
  7. 前記仕切り板の前記下流側の流路に対向する面に取り付けられたバネを備えている
    ことを特徴とする請求項5記載の超音波流量計。
  8. 前記仕切り板は、計測される流量に応じて重さが異なることを特徴とする請求項5または請求項7記載の超音波流量計。
  9. 前記仕切り板の材料は、前記流路を構成する配管の材料と同一であることを特徴とする請求項5または請求項7記載の超音波流量計。
  10. 前記仕切り板の表面は、耐食性の加工がなされていることを特徴とする請求項5または請求項7記載の超音波流量計。
  11. 流体の流路に配置された計測管と、
    前記計測管の内部を、超音波が、該計測管の中心軸を通って斜めに横切って伝播するように配置された一対の超音波送受波器とを備え、
    前記一対の超音波送受波器間で超音波を送受信して流体の流れの順方向および逆方向における超音波の伝播時間を計測し、該計測された伝播時間の差に基づいて流体の流量を算出する超音波流量計において、
    前記計測管の上流側の流路に並列に、流体を溜める流体溜め容器を備えたことを特徴とする超音波流量計。
  12. 前記流体溜め容器と前記計測管の上流側の流路との接続部に取り付けられ、前記計測管の上流側の流路側から流体溜め容器の方向へ開く弁と、流体溜め容器側から前記計測管の上流側の流路側へ開く弁とを備えたことを特徴とする請求項11記載の超音波流量計。
  13. 流体の流路に配置された計測管と、
    前記計測管の内部を、超音波が該計測管の中心軸を通って斜めに横切って伝播するように配置された一対の超音波送受波器とを備え、
    前記一対の超音波送受波器間で超音波を送受信して流体の流れの順方向および逆方向における超音波の伝播時間を計測し、該計測された伝播時間の差に基づいて流体の流量を算出する超音波流量計において、
    前記計測管の上流側の流路および下流側の流路の少なくとも1つに取り付けられた羽根車と、
    前記計測管の上流側の流路と下流側の流路とを連結する緩衝管とを備え、
    前記緩衝管は、該緩衝管の内部を移動可能な流体不透過性の仕切り板を備えていることを特徴とする超音波流量計。
  14. 流体の流路に配置された計測管と、
    前記計測管の内部を、超音波が、該計測管の中心軸を通って斜めに横切って伝播するように配置された一対の超音波送受波器とを備え、
    前記一対の超音波送受波器間で超音波を送受信して流体の流れの順方向および逆方向における超音波の伝播時間を計測し、該計測された伝播時間の差に基づいて流体の流量を算出する超音波流量計において、
    前記計測管の上流側の流路および下流側の流路の少なくとも1つに取り付けられた羽根車と、
    前記計測管の上流側の流路に並列に、流体を溜める流体溜め容器と、
    を備えたことを特徴とする超音波流量計。
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