JP2008108439A - 電界発光素子および電界発光パネル - Google Patents

Abstract

【課題】発光効率（光取り出し効率）を高めた電界発光素子（有機電界発光素子）を提供する。
【解決手段】支持基板１と、前記支持基板１上に、第１電極２、発光媒体３、第２電極４の順或いはその逆に積層されている発光部と、前記発光媒体３の少なくとも側方に、光散乱微粒子５ａ、又は光散乱微粒子及び蛍光性物質を内包し、前記支持基板１側より上方に向かって前記発光部中心からの距離が広がるテーパー形状を有する光散乱部５を有し、前記発光部において、第１電極２と第２電極４との間に通電することにより発光媒体３が発光し、前記発光媒体３から出射された光取り出し方向Ａとは異なる方向Ｂの光が前記光散乱部５に入射して光が散乱、または光吸収して発光・散乱することにより、前記光散乱部より前記方向Ａに光を取り出すことを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、発光効率（光取り出し効率）を高めた電界発光素子（有機電界発光素子、無機電界発光素子）および電界発光パネルに関する。

電界発光素子、特に有機エレクトロルミネッセント（ＥＬ）表示装置は、自己発光素子であるため、視野角が広く、応答速度が速いという特徴を有する。また、バックライトが不要であるため、薄型軽量化が可能である。これらの理由から、近年、有機ＥＬ表示装置は、液晶表示装置に代わる表示装置、さらには照明用途として注目されている。

有機ＥＬ表示装置の主要部である有機ＥＬ素子は、光透過性の前面電極と、これと対向した光反射性または光透過性の背面電極と、それらの間に介在される発光層を含んだ有機物層とで構成され、有機物層に電気を流すことにより発光する電荷注入型の自発光素子である。有機ＥＬ表示装置で表示を行うためには、発光媒体が放出する光を前面電極から出射させる必要があるが、発光媒体からの発光のうち、二つの電極に平行な方向へ伝搬する成分、及び光取り出し側の透明基板と空気との界面での全反射成分の光強度が大きいために、素子の正面方向に取り出される光強度がロスし、その損失量は全光量測定の結果から７０〜８０％に達する。

有機ＥＬ素子においてはその発光体の屈折率の影響のため、臨界角以上の出射角の光は全反射を起こし外部に取り出すことができない。このため発光量全体の２０％程度しか有効に利用できず、低効率とならざるをえない（非特許文献１）。発光量全体の５０％が薄膜伝播（透明電極：ガラス基板界面の反射）、３０％が基板伝播（ガラス基板：外界（空気）界面の反射）、外部光取り出しは２０％程度と低い（非特許文献２）。このため発光層で放出する光の多くを有機ＥＬ素子の外部に取り出すことができず光取り出し効率が低いという問題があった。

このようなことから、特許文献１には、素子内で前面側へと進行する光のうち、広角側へと進行する光を回折素子またはゾーンプレートを利用して屈折させて前面電極界面を通過させることが記載されている。この技術によれば、有機ＥＬ素子の光取り出し効率を高めることが可能である。しかしながら、特許文献１では回折素子またはゾーンプレートを構成するパターンに方向性があるため、取り出される光の指向性が方向によって異なり、有機ＥＬ表示装置としては画像表示が不適切な場合がある。また、回折素子またはゾーンプレートの微細形状はリソグラフィーなどにより形成する必要があり、コストが高くなるという問題もあった。そこで、光取り出し効率を高める手法として、例えば微粒子分散層を用いた方法（特許文献２）が提案されているが、透明基板、前面電極間に微粒子分散層が設けられているため、発光層で発光した光が両電極で反射し横方向へ伝播、さらに光取り出し方向に微粒子分散層が存在するため、正面方向に出射した光が散乱して臨界角以上になる成分が発生し出光率にロスが生じる。よって従来の微粒子分散層が設けられた素子の光の取り出し効率は十分に高くなってはいない。

そこで、光取り出し方向とは異なる横方向に矩形の蛍光膜を設ける方法（特許文献４）が提案されているが、発光部と蛍光膜の屈折率の影響や、蛍光膜の形状により発光部と蛍光膜間に空間が生じることによる伝播ロス、さらに蛍光膜と支持基板の屈折率の影響により支持基板界面で光が反射されるという問題があり、この場合にも光の取り出し効率は十分に高くなっていない。

特許文献５には、無機ＥＬ素子の発光層と実質的に同じ材料から成り、発光層と連続的に形成され、かつ発光層からの伝搬光を素子外に散乱させる光散乱手段を備える光伝搬層を有することを特徴とするＥＬ素子が記載されている。光散乱手段として散乱粒子を光伝搬層に分散させることを記載しているものの、散乱粒子をどのように光伝搬層に分散させるか開示されていない。

筒井哲夫「有機エレクトロルミネッセンスの現状と動向」、月刊ディスプレイ、ｖｏｌ．１、Ｎｏ．３、ｐ１１、１９９５年９月 Ｇ．Ｇｕ， Ｓ．Ｒ．Ｆｏｒｒｅｓｔ， Ｏｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔ．， ２２（１９９７） ３９６ 特開平１１−２８３７５１号公報 特開２００６−１０７７４４号公報 特開２００３−３０３６７７号公報 特開２００５−７１９２０号公報 特開平６−１５１０６１号公報

本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、その目的は、発光効率（光取り出し効率）を高めた電界発光素子（有機電界発光素子）を提供することである。

上記課題を解決する本発明は、支持基板と、前記支持基板上に、第１電極、発光媒体、第２電極の順に積層されている発光部と、前記発光媒体の少なくとも側方に、光散乱微粒子、又は光散乱微粒子及び蛍光性物質を内包し、前記支持基板側より上方に向かって拡大するテーパー形状を有する光散乱部を有し、前記発光部において、第１電極と第２電極との間に通電することにより発光媒体が発光し、前記発光媒体から出射された光取り出し方向Ａとは異なる方向の光が前記光散乱部に入射して光が散乱、または光吸収して発光・散乱することにより、前記光散乱部より前記方向Ａに光を取り出すことを特徴とする電界発光素子および電界発光パネルである。すなわち、本発明では、発光媒体の膜厚方向（縦方向）に光散乱媒体を設けるのではなく、発光媒体の横方向に光散乱媒体を設けたことを特徴とする。

本発明の電界発光素子においては、出射角の大きい発光成分を効率よく外部に取り出すことが可能となったため、光取り出し効率が向上した電界発光素子および電界発光パネルが得られた。

以下、図面を参照しつつ、本発明を詳細に説明する。

＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態になる発光素子の構成を説明する概念図である。図１では、光透過性の支持基板１上に、ストライプ状に形成した第１電極２が形成され、対向する第２電極４との間に発光媒体３が挟持されている。ここで、第１電極２から正孔を注入し、第２電極４から電子を注入することで、発光媒体３中で正孔と電子が再結合し、発光が得られる。発光光は、光透過性の第１電極２及び支持基板１を通してＡ方向の外部に取り出される。また、発光媒体３中での発光の一部はＢ方向にも放出され、また、支持基板１と空気の界面、支持基板１と第１電極２との界面でも反射され、発光媒体３の側方には光散乱微粒子５ａを内包する光散乱部５に入射する。本発明の特徴は、光散乱部５が光散乱微粒子５ａを少なくとも内包し、テーパー形状（台形状）に形成されている点にある。この時、光散乱部５に光散乱微粒子５ａが内包されている結果、Ｂ方向からの入射光が散乱されて光散乱部５においても光取り出し方向Ａへの取り出しが可能となる。又、本発明では、光散乱部５の形状をテーパー形状としていることで、光散乱部５の形成後に成膜される発光媒体３との間の空隙が無くなり、光散乱部５への導波効果に優れている。又、第１電極と直交する方向に各画素を跨って形成される第２電極についても、光散乱部５がテーパー形状に形成されていることで、断線することなく形成できるという効果もある。光散乱部５に、光散乱微粒子５ａのみを内包させた場合は、光発光媒体３での発光波長がそのまま光散乱部５より光取り出し方向Ａに取り出すことができる。又、光散乱部５には、光散乱微粒子５ａに加えて、蛍光性物質（５ｂ）を添加することもでき、その場合、光散乱部５に入射した光は、光散乱微粒子により散乱されると共に、蛍光性物質を励起して蛍光を発し、光取り出し方向Ａに光発光媒体３での発光波長とは異なる波長の光として取り出すことができる。

＜第２の実施形態＞
図２は、本発明の第２の実施形態になる発光素子の構成を説明する概念図である。図１に示した第１の実施形態と異なる点は、発光部が青色を発光する発光媒体３を含み、発光媒体３に対して方向Ｂの第１光散乱部５−１、方向Ｂの逆方向の方向Ｃに前記第１散乱部の蛍光性物質とは異なる蛍光性物質を用いた第２光散乱部５−２を有し、第１光散乱部５−１と第２光散乱部５−２とで発光色が異なることを特徴とし、発光部が青（Ｂ）、第１光散乱部５−１が緑（Ｇ）、第２光散乱部５−２が赤（Ｒ）の３種の画素からなることを特徴としている。この結果、発光部及び第１第２光散乱部の３画素構成（３原色）で発光した光の合成光が白色（Ｗ）となる。

上記第１及び第２の実施形態では、光取り出し方向Ａとして、支持基板１側から取り出す場合を例として説明したが、これに限定されず、支持基板１とは反対方向に取り出すことや、支持基板１側と反対方向側の両側から取り出すことも可能である。１方向から取り出す場合には、光取り出し側に設けられる材料を透明材料とし、反対側に光反射層を設けることが好ましい。光反射層としては、光取り出し側とは異なる側の電極を反射電極とすることが好ましく、より好ましくは、光散乱部側にも反射電極を延在させておくことが好ましい。特に好ましくは、台形形状の光散乱部の上端側を囲むように反射電極を形成し、光閉じこめ効果を高めることが望ましい。

上記の説明では、ストライプ状に形成される第１電極の間隙に光散乱部を同様にストライプ状に形成した例を示しているが、光散乱部は、前記特許文献４の蛍光膜と同様に、発光部を取り囲むように形成しても良い。図３では、第１の実施形態の変形例として、光散乱部５は発光部（発光媒体３）を取り囲むように形成される。発光媒体３と接触する内側にはテーパー面５’が形成されている。又、図４は、第２の実施形態の変形例として、発光部（発光媒体３）を取り囲むように第１光散乱部５−１と第２光散乱部５−２が形成され、それぞれの内側にテーパー面５−１'及び５−２’が形成されている。このように、発光部を取り囲むように光散乱部を形成することにより更に光取り出し効率に優れた発光素子が得られる。

又、発光素子の光取り出し側と大気雰囲気からなる外界との間及び／又は前記発光素子と接する位置に、微細加工された樹脂媒体８（図５参照）及び／又は光散乱媒体９（図６参照）を介在させるようにすることで、更に光取り出し効果を高めることができる。なお、図５，図６においては、第２電極４上に紫外線硬化樹脂などを用いた封止材料６とガラス基板などの保護基板７とを形成する例を併せて示している。又、これらの例では、支持基板１側に微細加工された樹脂媒体８，光散乱媒体９を設けているが、光取り出し方向が支持基板と逆の方向であれば、保護基板７側に設ければよい。

各画素の駆動方式としては、単純マトリクス方式や、各画素をスイッチするＴＦＴ等の能動素子を設けたアクティブマトリクス方式など従来公知の方式を採用できることはいうまでもない。全面に同色の発光を行う場合、例えば、照明器具やバックライトとして使用する場合には、第１電極又は第２電極のいずれかを共通電極として全面に形成することも可能である。

［製造方法］
図７を参照して、本発明の発光素子の製造方法の一例について説明する。まず、透明基板１上にＩＴＯ膜などの透明導電性材料を成膜し（工程(Ａ)）、ストライプ状にパターニングして第１電極２を形成する(工程（Ｂ）)。次に、全面に光散乱微粒子５ａ又は光散乱微粒子５ａ及び蛍光性物質５ｂを内包するバインダー材料を全面に塗布し（工程（Ｃ））、ストライプ状に形成した第１電極２上を開口するように、フォトリソグラフィー法にてパターン化する。本発明では、バインダー材料に光散乱粒子５ａが内包されているため、通常のフォトリソグラフィーにおけるような矩形のパターンとは異なる形状が得られやすい。ここでは、バインダー材料としてネガ型の感光性樹脂を使用し、フォトマスクＰＭを用いて露光し、その後、芳香族系有機溶剤にて現像する例を示している。この時、現像時間を調整することで、テーパー形状を制御することが可能である。つまり、上部側はマスクＰＭで規定される幅となるが、下部に行くに従って光が散乱し、いわゆる、裾引き状態となる。下部側ほど架橋密度が低下するため、現像時間を短めにすることで、露光面から下部（第１電極側）に向かって広がる順テーパー形状（台形状）となり、現像時間を長めにするほど、架橋密度の低い下部が除去されやすくなる。このように、現像時間を短めに設定することで順テーパー形状の光散乱部５が得られる（工程（Ｄ））。この後、バインダー材料として使用した感光性樹脂を更に硬化させるため、加熱処理を施すことが好ましい。光散乱部５を設けた基板は、ＵＶオゾン洗浄などにより第１電極２上を清浄化した後、光散乱部５上を蒸着マスクＤＭで遮蔽し、第１電極２上に発光媒体３を真空蒸着法などの手段により形成する（工程（Ｅ））。続いて、第２電極用のマスク（不図示）を介して第２電極用の金属を蒸着等の手段により第２電極形状に形成する（工程（Ｆ））。その後、不図示の封止材料による層及び基板等を積層し、電界発光素子が得られる。更に、各電極への電気的接続、制御回路、電源等を設けることで、電界発光パネルが完成する。上記例では、第１電極２を支持基板１上に形成する例を示したが、逆に第２電極４を支持基板１上に形成し、発光媒体３，第１電極２を形成しても良い。

具体的な構成としては、図８〜１０に示したような構成が挙げられる。図８では、図７に示す方法で製造される構成を示しており、第１電極２を透明電極とし、第２電極４を反射電極として形成し、支持基板１側を光取り出し方向Ａとしている。発光媒体３の形成される領域が発光部となる。発光部で発光した光は、主に直接光取り出し方向Ａに取り出されるものと、横方向のＢ方向に進行するものとに分けられ、Ｂ方向の光が光散乱部５に入射し、光散乱微粒子５ａで散乱され、或いは蛍光性物質５ｂで吸収され別波長の光としてＡ方向に取り出すことができる。さらに、第１電極２と支持基板１との界面、支持基板１と外界との界面、第２電極４表面などでの反射した光も光散乱部５に入射し、光取り出し方向Ａに取り出すことができる。

図９では、支持基板１とは逆の方向から光取り出しを行う形態を示しており、又、支持基板上に第２電極４を形成し、第１電極２を発光媒体３の上に形成している例を示している。この場合も、発光部からのＢ方向の光が光散乱部５で散乱乃至は別波長の光に変換されて光取り出し方向Ａから取り出される。

図１０では、図８において光散乱部５を覆って形成された第２電極４を光散乱部５上に電極を形成しない例を示している。又、光取り出し方向を支持基板側からのＡ₁方向と支持基板とは反対側のＡ₂方向の両面から行えるようにしている。

図８及び図９に示したように、光散乱部５にかかるように反射性電極を形成することが好ましく、特に図８に示すように台形形状の光散乱部の上端部を覆うように反射性電極を形成すると、光閉じこめ効果が高く、光散乱部５での光取り出し効果が高められるので好ましい。

［構成材料］
＜支持基板＞
支持基板は、発光部及び光散乱部を支持するための部材であり、そのため、機械的強度や、寸法安定性に優れた部材であることが好ましい。支持基板としては、無機材料或いは有機材料から選択され、無機材料としては、例えば、ガラス板、金属板、セラミック板が挙げられ、有機材料としては各種樹脂板が挙げられる。支持基板側から光取り出しを行う場合には、透明材料を使用する。

＜発光部＞
（第１電極）
第１電極は、主に正孔を発光媒体に注入する陽極としての役割を担うものであり、有機ＥＬ素子では、４．５ｅＶ以上の仕事関数を有するものが効果的である。例えば、酸化インジウムスズ合金（ＩＴＯ）、酸化スズ（ＮＥＳＡ）、金、銀、白金、銅等の金属又はその酸化物、並びにこれらの混合物が適用できる。支持基板側から光取り出しを行う場合は、ＩＴＯ等の光透過性の材料を使用する。

（第２電極）
第２電極は、主に電子を発光媒体に注入する陰極としての役割を担うものであり、有機ＥＬ素子では、仕事関数小さい材料が効果的である。例えば、インジウム、アルミニウム、マグネシウム、マグネシウム−インジウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金、アルミニウム−リチウム合金、アルミニウム−スカンジウム−リチウム合金、マグネシウム−銀合金、並びにこれらの混合物が使用できる。

（発光媒体）
発光媒体は、電子と正孔が再結合し、ＥＬ発光が可能な発光層を含む媒体であり、用いる材料により、有機系と無機系とに分けられる。ＥＬ素子の構成としては、例えば、以下の層構成が挙げられる。

（１） 第１電極／発光層／第２電極
（２） 第１電極／正孔輸送層／発光層／第２電極
（３） 第１電極／発光層／電子輸送層／第２電極
（４） 第１電極／正孔輸送層／発光層／電子輸送層／第２電極
また、発光層は異なる色をそれぞれ発光する複数の層から形成されていても良い。

有機ＥＬ素子に用いられる発光材料としては、特に限定されず、通常発光材料として使用されている化合物であれば何れも使用できる。例えば、トリス（８−キノリノール）アルミニウム錯体（Ａｌｑ３）、ビスジフェニルビニルビフェニル（ＢＤＰＶＢｉ）、１，３−ビス（ｐ−ｔ−ブチルフェニル−１，３，４−オキサジアゾイル）フェニル（ＯＸＤ−７）、Ｎ，Ｎ’−ビス（２，５−ジ−ｔ−ブチルフェニル）ペリレンテトラカルボン酸ジイミド（ＢＰＰＣ）、１，４−ビス（ｐ−トリル−ｐ−メチルスチリルフェニルアミノ）ナフタレンなどが挙げられる。

本発明に用いられる正孔輸送材料は特に限定されず、通常、正孔輸送材料として使用されている化合物であれば何れも使用しても良い。例えば、ビス（ジ（ｐ−トリル）アミノフェニル）−１，１−シクロヘキサン、４，４’−ビス（ｍ−トリルフェニルアミノ）ビフェニル（ＴＰＤ）、Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−ビス（１−ナフチル）−１，１’−ビフェニル）−４，４’−ジアミン（α−ＮＰＤ）等のトリフェニルジアミン類や、スターバースト型分子等が挙げられる。

本発明に用いられる電子輸送材料は特に限定されず、通常電子輸送材として使用されている化合物であれば何を使用してもよい。例えば、２−（４−ビフェニリル）−５−（４−ｔ−ブチルフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール（Ｂｕ−ＰＢＤ）、ＯＸＤ−７等のオキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、キノリノール系の金属錯体等が挙げられる。

一方、無機ＥＬ素子に使用される発光材料としては、特に限定されず、従来公知の材料が使用できる。例えば、セリウム（Ｃｅ)を添加したカルシウムチオガレート（ＣａＧａ₂Ｓ₄：Ｃｓ)、銅（Ｃｕ)を添加した硫化ストロンチウム（ＳｒＳ：Ｃｕ)等が挙げられる。

＜光散乱部＞
光散乱部は少なくとも１種の微粒子と少なくとも１種のバインダー材料からなり、前記微粒子は可視領域における光の光散乱能を有する微粒子（光散乱微粒子）が分散されており、蛍光性物質がバインダー材料中に分散又は溶解されている。前記光散乱部の屈折率は、少なくとも発光媒体、第１電極、第２電極のいずれかよりも高いことが好ましい。

光散乱部の膜厚は特に制限されるものではなく、少なくとも光発光部を蒸着等の手段により形成できる膜厚に形成すればよい。通常、０．１μｍ〜５０μｍの膜厚に形成する。前記光散乱部に含有される少なくとも１種の微粒子の含有量は０．１体積％〜８０体積％であることが好ましい。

前記微粒子はバインダー材料よりも高い屈折率を有することで、微粒子の含有濃度にて散乱部の屈折率を制御できる。光散乱微粒子は、可視領域の波長を散乱させれば特に材質の制限はないがＴｉＯ₂，ＺｒＯ₂，ＺｎＯ等の無機酸化物、無機窒化物、無機酸窒化物、またはＡｕ，Ｐｔ，Ａｇの金属微粒子であることが好ましく、平均粒径が１００〜４００ｎｍであることが好ましい。

蛍光性物質としては、発光部での発光光を吸収して蛍光発光できるものであれば何れのものも使用できる。蛍光性物質としては、有機蛍光性物質と無機蛍光性物質とに分けられるが、有機蛍光性物質は概して蛍光収率が高く、一方、無機蛍光性物質は耐久性に優れるという特徴を有する。蛍光性物質の蛍光波長としては、一般的に吸光波長（入射光）の長波長側に現れる。このため、発光媒体での発光光（可視領域の光以外に紫外領域の光が含まれることもある）を吸収して所望の波長の蛍光発光が得られるものを適宜選択する。

例えば、発光媒体での発光光に対して補色となる色の蛍光を発する蛍光性物質と組み合わせて白色発光を得たり、前記図２に示したように、発光媒体での発光光を青色とし、２つの異なる光散乱部での蛍光を赤色と緑色として、蛍光性物質の添加量を調整することにより白色光を含む様々な色の発光を得ることができる。

有機及び無機の蛍光性物質としては、特許文献４に記載のものが挙げられる。又、無機蛍光性物質は、微粒子状のものが好ましく使用でき、その場合、平均粒径５０〜１０μｍであることが好ましい。

前記バインダーは光透過性を有する無機化合物または有機化合物から選択することができる。無機化合物としては、無機酸化物、無機窒化物、無機酸窒化物などを挙げることができる。有機化合物としては、各種樹脂材料が挙げられるが、加工が容易であることから、感光性を有する樹脂材料が好ましい。感光性の樹脂材料としては、各種透光性レジスト材料が使用できる。また、バインダー材料自体が発光性を有していても良い。そのようなバインダー材料としては、高分子化合物の側鎖に発光性化合物残基を導入した樹脂材料が挙げられる。

本発明を実施例によって更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例の記載に限定されるものではない。なお、実施例及び比較例において、外部量子効率は、単位時間あたりにＥＬ素子に注入される電子数（Ｎｅ）とＥＬ素子から外部に放出される単位時間あたりのフォトン数（Ｎｐ）の比から、以下の式で求められる。
外部量子効率＝Ｎｐ／Ｎｅ

Ｎｐは、分光スペクトルの測定から求められるものであり、本発明では積分球中にて測定した。

（実施例１）
前記図７に示した工程に従って、電界発光素子を製造した。

（第１電極の形成）
支持基板として、縦横５０ｍｍ×５０ｍｍ、厚み０．７ｍｍの透明ガラス基板（ＮＨテクノグラス（株）製 無アルカリガラスＮＡ３５）を準備し、この透明ガラス基板をアセトン、純水で超音波洗浄したのち乾燥させた後、全面にＩＴＯ（インジウム−スズ酸化物）をスパッタして厚み１３０ｎｍの透明電極を形成した（工程（Ａ））。次いで、上記の透明電極上に感光性レジスト（東京応化工業（株）製ＯＦＰＲ−８００）を塗布し、マスク露光、現像（東京応化工業（株）製ＮＭＤ３（現像液）を使用）、エッチングを行って、第一電極を幅；７０μｍ、ピッチ；１００μｍでストライプのパターンに形成した（工程（Ｂ））。支持基板の屈折率は１．５、第１電極の屈折率は１．８であった。

（光散乱部の形成）
透明バインダー材料に平均粒径の異なるＴｉＯ₂の微粒子（屈折率２．７）を混合（重量比１００ｎｍ：２００ｎｍ：３００ｎｍ：４００ｎｍ＝１：１：２：２）し、混合した微粒子をバインダー材料に体積比３０％で分散させた。ここでは、透明バインダー材料として、東京応化工業株式会社製の感光性ネガ型フォトレジスト（イソプロピレンゴム系レジストで、商品名「ＯＭＲ」）を用い、一般的なスピンコート法により成膜した。このとき、スピンコートの回転数は１０００ｒｐｍとした。続いて、加熱オーブンにて感光性レジストの溶剤を除去し、幅１５μｍ、ピッチ１００μｍのフォトマスクを用いて露光し、５分間の現像処理を行なって、順テーパー構造を作製した。現像には、キシレンを用いて行なった。断面をＳＥＭにて観察すると、底部幅約３０μｍで、上部は約１５μｍの順テーパー型台形になっていることを確認した。現像後、酢酸ブチルを用いて洗浄した。最後に１５０℃、３０分で熱処理を行った。この光散乱部は高さ８μｍ、光散乱部の屈折率は１．９であった。

（発光媒体の形成）
支持基板上に第１電極、光散乱部を設けた基板をＵＶオゾン洗浄の後、上記の光散乱部をマスクで遮蔽し、第１電極上に真空蒸着法により正孔輸送層、黄色発光層、青色発光層、電子輸送層からなる発光媒体を形成した（工程（Ｆ））。

すなわち、正孔輸送層として正孔輸送材料α−ＮＰＤ（ケミプロ化成社製）を５０ｎｍ、黄色発光層としてα−ＮＰＤとルブレン（ケミプロ化成社製）を２元蒸着し、ルブレンの膜厚比５％で２０ｎｍ、青色発光層として昇華精製した９，１０−ジ（β−ナフチル）アントラセン［ＤＮＡ］（アルドリッチ（株）製）、昇華精製したペリレン（アルドリッチ（株）製）を２元蒸着しペリレンの膜厚比２％で３０ｎｍ、電子輸送層として電子輸送材料Ａｌｑ３（ケミプロ化成社製）を３０ｎｍ形成した。発光媒体の屈折率は平均１．７〜１．８であった。

（第２電極の形成）
最後に、光散乱部を遮蔽していたマスクを外し、第２電極形成の所定のマスクを用いて、発光媒体、光散乱部上にＭｇ−Ａｇ合金（Ｍｇ：Ａｇ＝１０：１）を厚さ１００ｎｍを蒸着し、さらにその上にＡｇを１００ｎｍ形成して第２電極を形成した。最後に別に用意したガラス板とＵＶ硬化樹脂により封止し、電界発光素子を作製した（工程（Ｇ））。

（結果）
得られた電界発光素子の第１電極、第２電極の間に８Ｖの電圧を印加した時、電界発光パネルからは白色光が得られ、その時の外部量子効率は約２．２％であった。

（比較例１）
光散乱部にＴｉＯ₂の微粒子を含有させず、また、フォトマスクとして幅３０μｍ、ピッチ１００μｍのマスクを用いて、実施例１と同様にして電界発光素子を作製した。光散乱部は幅３０μｍの矩形形状となった。この電界発光素子に８Ｖの電圧を印加した時、電界発光パネルからは白色光が得られ、その時の外部量子効率は約１．６％であった。実施例１の結果との比較から、光散乱能を有する微粒子を分散させた光散乱部を設けることにより光取出し効率が向上することが明らかになった。

（実施例２）
実施例１のＴｉＯ₂微粒子を含むバインダー材料に、赤色蛍光色素（アルドリッチ（株）製 ローダミン６Ｇ）を添加し、実施例１と同様の手順により光散乱部を形成した。その後、実施例１と同様の手順で黄色発光層を有さない正孔輸送層、青色発光層、電子輸送層からなる発光部を有する電界発光素子を作製した。青色発光層の厚みは５０ｎｍとした。この電界発光素子に８Ｖの電圧を印加した時、電界発光パネルからは白色光が得られ、その時の外部量子効率は約２．５％であった。

（比較例２）
光散乱部にＴｉＯ₂微粒子分散させず、また、フォトマスクとして幅３０μｍ、ピッチ１００μｍのマスクを用いて、実施例２と同様にして電界発光素子を作製した。光散乱部は幅３０μｍの矩形形状となった。この電界発光素子に８Ｖの電圧を印加した時、電界発光パネルからは白色光が得られ、その時の外部量子効率は約２．３％であった。実施例２との比較の結果から、蛍光性物質に加え光散乱能を有する微粒子を分散させることにより光取出し効率が向上することが明らかになった。

（比較例３）
フォトマスクとして幅３０μｍ、ピッチ１００μｍのマスクを用いて、現像時間を調整し、実施例２の光散乱部の形状を、高さ８μｍ、下部（支持基板側）の幅３０μｍ、上部の幅３０μｍとした以外は実施例２と同様にして電界発光素子を作製した。この電界発光素子に８Ｖの電圧を印加した時、電界発光パネルからは白色光が得られ、その時の外部量子効率は約２．４％であった。実施例２との比較から、光散乱部の形状は台形である方がより光取り出し効率が高いことが明らかになった。

（比較例４）
フォトマスクとして幅３０μｍ、ピッチ１００μｍのマスクを用いて、現像時間を調整し、実施例２の光散乱部の形状を、高さ８μｍ、下部（支持基板側）の幅１５μｍ、上部の幅３０μｍとした以外は実施例２と同様にして電界発光素子を作製した。この電界発光素子に８Ｖの電圧を印加した時、電界発光パネルからは白色光が得られ、その時の外部量子効率は約２．４％であった。この結果から、光散乱部を逆台形にしたことにより、第２電極の断裂、および発光媒体と光散乱部に空間を生じることとなり光散乱部への導波が減少するため光散乱部の形状は台形である方がより光取り出し効率が高いことが明らかになった。

（実施例３）
実施例１のＴｉＯ₂微粒子を含むバインダー材料に、赤色蛍光色素（アルドリッチ（株）製 ローダミン６Ｇ）を添加し、別にＴｉＯ₂微粒子を含むバインダー材料に緑色蛍光色素（アルドリッチ（株）製 クマリン６）を添加した溶液を用いて、ローダミン６Ｇを含む第１光散乱部、クマリン６を含む第２光散乱部が第１電極に対して交互に形成されるように実施例１と同様のフォトリソグラフィー工程の手順により第１光散乱部および第２光散乱部を形成した（図２）。その後、実施例２と同様の手順で青色発光する電界発光素子を作製した。この電界発光素子に８Ｖの電圧を印加した時、電界発光パネルからは白色光が得られ、その時の外部量子効率は約２．６％であった。この結果から、３原色発光とすることで光取出し効率がより向上することが明らかになった。

（実施例４）
実施例１のＴｉＯ₂微粒子を含むバインダー材料に、無機蛍光体微粒子（ＹＡＧ）を分散させ、実施例１と同様の手順により光散乱部を形成した。その後、実施例２と同様の手順で青色発光する電界発光素子を作製した。この電界発光素子に８Ｖの電圧を印加した時、電界発光パネルからは白色光が得られ、その時の外部量子効率は約２．４％であった。この結果、有機蛍光体よりも蛍光収率の低い無機蛍光体を使用しても、光散乱部に光散乱能を有する微粒子を分散させることにより光取出し効率が有機蛍光体のみを用いた場合（比較例２）と同程度となり、また連続駆動１０００時間経過時のＣＩＥ色度をみると実施例２の発光パネルに比べ、色度のズレ、輝度の低下が少なかった。この結果から無機蛍光体を用いることで色度変化、輝度低下の少ない耐久性の高い発光パネルが得られることが明らかになった。

（実施例５）
実施例２と同様に作製した電界発光素子の支持基板に、微細加工（頂角９０度、２０μｍピッチで４角錐）が施されたフィルムを張り合わせた(図５)。この電界発光素子に８Ｖの電圧を印加した時、電界発光パネルからは白色光が得られ、その時の外部量子効率は約２．８％であった。この結果から、さらに支持基板に微細加工処理されたフィルムを張り合わせることにより基板伝播する成分の光取出し効率が向上することが明らかになった。

（実施例６）
実施例１のＴｉＯ₂微粒子を含むバインダー材料に、赤色蛍光色素（アルドリッチ（株）製 ローダミン６Ｇ）を添加し、１００μｍピッチで１００μｍ角内に、外周１５μｍ幅の枠を残して７０μｍ角の開口部が得られるように光散乱部を形成した（図３）。その後、実施例２と同様の手順で青色発光する電界発光素子を作製した。この電界発光素子に８Ｖの電圧を印加した時、電界発光パネルからは白色光が得られ、その時の外部量子効率は約２．６％であった。この結果から、光散乱部に光散乱能を有する微粒子を分散させることにより光取出し効率が向上し、さらに発光媒体の外周に光散乱部を設けることで光取り出し効率がより向上することが明らかになった。

（実施例７）
実施例１のＴｉＯ₂微粒子を含むバインダー材料に、赤色蛍光色素（アルドリッチ（株）製 ローダミン６Ｇ）を添加し、実施例１と同様の手順により光散乱部を形成した。その後、光散乱部上に第２陰極を形成しない以外は、実施例２と同様の手順で青色発光する電界発光素子を作製した。この電界発光素子に８Ｖの電圧を印加した時、電界発光パネルからは白色光が得られ、その時の外部量子効率は約２．３％であった。この結果から、光散乱部上に反射電極となる第２電極を設けた場合（実施例２）の方が光の閉じ込め効果により、より光取り出し効果に優れることが明らかになった。

（実施例８）
発光媒体として発光中心の蛍光体がＣａＧａ₂Ｓ₄：Ｃｅからなる以外は実施例１と同様の光散乱部を設けた無機電界発光素子を作製した。この電界発光素子に８Ｖ、６０Ｈｚで駆動したところ、その時の外部量子効率は約０．８％であった。

（比較例５）
光散乱部にＴｉＯ₂の微粒子を含有させないで、実施例８と同様にして電界発光素子を作製した。この電界発光素子に８Ｖ、６０Ｈｚで駆動したところ、その時の外部量子効率は約０．６％であった。

実施例８及び比較例５の結果から、無機電界発光素子においても、光散乱部に光散乱能を有する微粒子を分散させることにより光取出し効率が向上することが明らかになった。

（実施例９）
第１電極を反射電極として支持基板上一面にＣｒ、第２電極を透明電極としてＩＴＯとした以外は実施例２と同様の手順で電界発光素子を作製した。この電界発光素子に８Ｖの電圧を印加した時、電界発光パネルからは白色光が得られ、その時の外部量子効率は約２．３％であった。実施例２との比較から、光散乱部の台形形状の上部側を囲むように反射性電極を設けた方が、より光取り出し効率が向上することが明らかになった。

本発明の電界発光素子および電界発光パネル、特に有機ＥＬ装置によれば、上述した本発明に係る有機ＥＬ素子を備えるので、光取り出し効率の向上が実現可能であり、しかも比較的容易に製造することが可能である。このような有機ＥＬ装置は、例えば、低消費電力で高輝度の照明光源やバックライト、高品質な画像表示を行うことが可能なテレビ、携帯電話、、電子手帳、ＰＤＡ、車載用モニタ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオレコーダー、テレビ電話、タッチパネルなど各種電子機器を実現できる。

本発明の電界発光素子の構造を説明する概念図である。 第１光散乱部、第２光散乱部を設けた電界発光素子の構造を説明する概念図である。 光散乱部を発光部の周囲に配した構成を示す平面図である。 第１光散乱部、第２光散乱部を発光部の周囲に配した構成を示す平面図である。 支持基板の外界との接触面に微細加工した樹脂媒体（フィルム）を貼り付けた電界発光素子の構成を示す概略断面図である。 支持基板の外界との接触面に光散乱媒体（微粒子分散層）を形成した電界発光素子の構成を示す概略断面図である。 本発明の電界発光素子の製造方法を説明する工程断面図である。 本発明の電界発光素子の一形態を示す部分断面図である。 本発明の電界発光素子の別の形態を示す部分断面図である。 本発明の電界発光素子の更に別の形態を示す部分断面図である。

符号の説明

１ 支持基板
２ 第１電極
３ 発光媒体
４ 第２電極
５ 光散乱部
５−１ 第１光散乱部
５−２ 第２光散乱部
５ａ 光分散微粒子
５ｂ 蛍光性物質
５’、５−１’、５−２’ テーパー部
６ 封止材料
７ 保護基板
８ 微細加工された樹脂媒体
９ 光散乱媒体

Claims (15)

1. 支持基板と、前記支持基板上に、第１電極、発光媒体、第２電極の順或いはその逆に積層されている発光部と、前記発光媒体の少なくとも側方に、光散乱微粒子、又は光散乱微粒子及び蛍光性物質を内包し、前記支持基板側より上方に向かって前記発光部中心からの距離が広がるテーパー形状を有する光散乱部を有し、前記発光部において、第１電極と第２電極との間に通電することにより発光媒体が発光し、前記発光媒体から出射された光取り出し方向Ａとは異なる方向の光が前記光散乱部に入射して光が散乱、または光吸収して発光・散乱することにより、前記光散乱部より前記方向Ａに光を取り出すことを特徴とする電界発光素子。
2. 前記発光媒体は、前記光散乱部のテーパー面に接して形成されている請求項１に記載の電界発光素子。
3. 前記光散乱部は、前記発光媒体をストライプ状に挟むように形成されている請求項１又は２に記載の電界発光素子。
4. 前記光散乱部は、前記発光媒体の周囲を囲むように形成されている請求項１又は２に記載の電界発光素子。
5. 前記光散乱微粒子は、無機酸化物微粒子、無機窒化物微粒子、無機酸窒化物微粒子或いは金属微粒子から選択される平均粒径１００〜４００ｎｍの微粒子である請求項１乃至４のいずれかに記載の電界発光素子。
6. 前記光散乱部は、光散乱微粒子のみをバインダー材料に分散させてなる請求項１乃至５のいずれかに記載の電界発光素子。
7. 前記光散乱部は、光散乱微粒子及び蛍光性物質をバインダー材料に分散させてなる請求項１乃至５のいずれかに記載の電界発光素子。
8. 前記発光媒体が青色発光媒体であり、前記光散乱部が、青色発光を吸収して緑色蛍光発光する蛍光性物質を含有する第１光散乱部と、青色発光を吸収して赤色蛍光発光する蛍光性物質を含有する第２光散乱部とからなる請求項７に記載の電界発光素子。
9. 第１光散乱部及び第２光散乱部が交互に発光媒体を挟むように形成されている請求項８に記載の電界発光素子。
10. 前記蛍光性物質は、無機蛍光体微粒子であることを特徴とする請求項７に記載の電界発光素子。
11. 第１電極及び第２電極のいずれか一方が透明電極であり、他方が反射電極であり、該反射電極は光取り出し方向Ａと対向する側で光散乱部に延在して形成されている請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の電界発光素子。
12. 前記光散乱部の頂部が発光媒体の上面より上に形成されており、発光媒体上部より上の光散乱部上部が反射電極で囲まれていることを特徴とする請求項１１に記載の電界発光素子。
13. 前記光取り出し方向Ａは、支持基板側から取り出される方向であり、前記支持基板と大気雰囲気からなる外界との間及び／又は前記支持基板と接する位置に、微細加工された樹脂媒体及び／又は光散乱媒体が介在していることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の電界発光素子。
14. 前記光取り出し方向Ａは、支持基板の反対側から取り出される方向であり、前記発光部及び光散乱部からなる電界発光素子上に、前記電界発光素子と大気雰囲気からなる外界との間に、微細加工された樹脂媒体及び／又は光散乱媒体が介在していることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の電界発光素子。
15. 請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の電界発光素子を含む電界発光パネル。

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