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JP2008108355A - 強誘電体半導体記憶装置及び強誘電体半導体記憶装置の読み出し方法 - Google Patents

強誘電体半導体記憶装置及び強誘電体半導体記憶装置の読み出し方法 Download PDF

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JP2008108355A JP2006289973A JP2006289973A JP2008108355A JP 2008108355 A JP2008108355 A JP 2008108355A JP 2006289973 A JP2006289973 A JP 2006289973A JP 2006289973 A JP2006289973 A JP 2006289973A JP 2008108355 A JP2008108355 A JP 2008108355A
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秀裕 滋賀
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Abstract

【課題】安定した読み出しが可能な強誘電体半導体記憶装置を得る。
【解決手段】強誘電体キャパシタとトランジスタからなる相補的に1つの情報を記憶する第1強誘電体メモリセル及び第2強誘電体メモリセルと、第1強誘電体メモリセル及び第2強誘電体メモリセルが共有するワード線と、第1強誘電体メモリセルに接続された第1プレート線と、第2強誘電体メモリセルに接続された第2プレート線と、一方の端が第1強誘電体メモリセル及び第2強誘電体メモリセルにともに接続され、他方の端がビット線と接続された1つの選択トランジスタを備え、選択トランジスタのゲートに印加する電圧と、ワード線に印加する電圧を制御することにより、記憶されている前記情報を読み出す。
【選択図】図1

Description

本発明は、強誘電体半導体記憶装置及び強誘電体半導体記憶装置の読み出し方法に関するものであり、特に、強誘電体キャパシタとそれに接続されたトランジスタからなる強誘電体メモリセルを複数有した強誘電体半導体記憶装置及びこの強誘電体半導体記憶装置に書き込まれている情報の読み出し方法に関するものである。
半導体記憶装置の一つとして、TC並列ユニット直列接続型強誘電体メモリ(「Chain型FeRAM」とも呼ぶ。)と呼ばれる強誘電体メモリが存在している。このChain型FeRAMは、強誘電体キャパシタとそれに接続されたトランジスタからなる複数の強誘電体メモリセルから構成されているものである。
従来、この強誘電体メモリであるChain型FeRAMの構成としては、特許文献1等に記載されているような1T1C方式のものや、2T2C方式のものが提案されている。これらの方式では、複数の強誘電体メモリセルにおいて、プレート線を共有することが可能となるため高集積化が可能である。
一方、1T1C方式や、2T2C方式以外の方式として、非特許文献1に記載されているような1T2C方式が提案されている。この方式では、読み出し時の参照電圧がVcc/2〔V〕となるので、センス部分の回路設計が容易となり、また安定した読み出しが可能となる。
特開平9−120700号公報 「1998 symposium on VLSI technology digest of technical papers」,P.124−125
本発明は、強誘電体キャパシタとそれに接続されたトランジスタからなる強誘電体メモリセルを複数有している半導体記憶装置において、高集積化が可能で、かつ、センス部分の回路設計が容易であり、安定した情報の読み出しが可能な強誘電体半導体記憶装置を提供する。
本発明の一態様に係る強誘電体半導体記憶装置は、電荷を保持するための強誘電体キャパシタと、前記強誘電体キャパシタの両端に並列に接続されたトランジスタからなり、相補的に1つの情報を記憶する第1強誘電体メモリセル及び第2強誘電体メモリセルと、前記第1強誘電体メモリセル及び前記第2強誘電体メモリセルが共有するワード線と、前記第1強誘電体メモリセルに接続された第1プレート線と、前記第2強誘電体メモリセルに接続された第2プレート線と、一方の端が、前記第1強誘電体メモリセル及び前記第2強誘電体メモリセルにともに接続され、他方の端がビット線と接続された1つの選択トランジスタと、を備え、前記選択トランジスタのゲートに印加する電圧と、前記ワード線に印加する電圧を制御することにより、記憶されている前記情報を読み出すことを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る強誘電体半導体記憶装置の読み出し方法は、電荷を保持するための強誘電体キャパシタと前記強誘電体キャパシタの両端に並列に接続されたトランジスタからなる複数の強誘電体メモリセルを直列に接続することにより形成した第1セルブロック及び第2セルブロックと、相補的に1つの情報を記憶する前記第1セルブロックにおける強誘電体メモリセル及び前記第2セルブロックにおける強誘電体メモリセルが共有するワード線と、前記第1セルブロックに接続された第1プレート線と、前記第2セルブロックに接続された第2プレート線と、一方の端が、前記第1セルブロック及び前記第2セルブロックに共に接続され、他方の端がビット線と接続された1つの選択トランジスタと、を備え、前記ビット線にVcc/2〔V〕の電圧を印加した後、前記ビット線をフローティング状態とし、情報を読み出す強誘電体メモリセルに接続されているワード線に0〔V〕の電圧を印加し、前記第1プレート線にはVcc〔V〕の電圧を印加し、前記第2プレート線には0〔V〕の電圧を印加して、前記強誘電体メモリセルの情報を読み出すことを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る強誘電体半導体記憶装置の読み出し方法は、電荷を保持するための強誘電体キャパシタと前記強誘電体キャパシタの両端に並列に接続されたトランジスタからなる複数の強誘電体メモリセルを直列に接続することにより形成した第1セルブロック及び第2セルブロックと、相補的に1つの情報を記憶する前記第1セルブロックにおける強誘電体メモリセル及び前記第2セルブロックにおける強誘電体メモリセルが共有するワード線と、前記第1セルブロックに接続された第1プレート線と、前記第2セルブロックに接続された第2プレート線と、一方の端が、前記第1セルブロック及び前記第2セルブロックに共に接続され、他方の端がビット線と接続された1つの選択トランジスタと、を備え、前記第1プレート線、前記第2プレート線及び前記ビット線の電圧をVcc/2〔V〕とした後、前記ビット線をフローティング状態とし、情報を読み出す強誘電体メモリセルに接続されているワード線に0〔V〕の電圧を印加し、前記第1プレート線にはVcc〔V〕の電圧を印加し、前記第2プレート線には0〔V〕の電圧を印加して、前記強誘電体メモリセルの情報を読み出すことを特徴とする。
本発明によれば、強誘電体メモリセルを複数有している半導体記憶装置において、高集積化が可能で、かつ、センス部分の回路設計が容易であり、安定した情報の読み出しが可能となる。
〔第1の実施の形態〕
本発明における一実施の形態を以下に記載する。
図1に本実施の形態における強誘電体半導体記憶装置であるChain型FeRAMの構成を示す。図に示すように、強誘電体メモリセル21は、強誘電体キャパシタ22とトランジスタ23を並列に接続することにより構成されている。本実施の形態においては、この強誘電体メモリセル21と同様の構成の強誘電体メモリセル11を複数直列に接続した構造の第1セルブロック14及び、強誘電体メモリセル21を複数直列に接続した構造の第2セルブロック24により、メモリセルアレイ19が形成されている。第1セルブロック14、第2セルブロック24における各々の一方の端は、各々第1プレート線(PL1)18、第2プレート線(PL2)28と接続されている。情報の記憶は、ワード線WL0を共有する第2セルブロック24における強誘電体メモリセル21と、相補的な第1セルブロック14における強誘電体メモリセル11の2つの強誘電体メモリセルを1つの単位として1つの情報が記憶される。
メモリセルアレイ19内には、同様の構成によるワード線WL1、WL2、WL3、WL4、WL5、WL6、WL7を共有する強誘電体メモリセルが設けられており、同様に情報の記憶がなされる。
記憶されている情報を読み出す際には、読み出す情報が記憶されているワード線WL0〜7、第1プレート線(PL1)18及び、第2プレート線(PL2)28に所定の電圧を印加する。具体的な読み出し方法については後述する。
又、第1セルブロック14、第2セルブロック24における各々の他方の端は、ともに選択トランジスタ(BS)15のソースと接続されており、選択トランジスタ(BS)15のドレインはビット線(BL)17及び、センスアンプ16に接続されている。この選択トランジスタ(BS)15におけるゲート電圧を制御することにより、第1セルブロック14及び第2セルブロック24とセンスアンプ16とを接続することができ、ワード線WL0〜7より選択された強誘電体メモリセルに書き込まれている情報をセンスアンプ16より読み出すことができる。尚、センスアンプ16には、書き込まれている情報を読み出す際の参照電圧として、Vcc/2〔V〕の電圧が印加されている。
次に、本実施の形態における読み出し方法について説明する。
図2は、図1に示した強誘電体半導体記憶装置において、書き込まれている情報を再生する際のタイムチャートを示す。図に示すように、最初、第1プレート線(PL1)18、第2プレート線(PL2)28は、0〔V〕の電圧が、強誘電体メモリセルに接続されたワード線WL0〜7にはVcc〔V〕の電圧が、選択トランジスタ(BS)15のゲートには0〔V〕の電圧が印加され、ビット線(BL)17には、0〔V〕の電圧が印加されている。
その後、ビット線(BL)17の電圧をVcc/2〔V〕とした後フローティング状態とし、読み出される強誘電体メモリセル11、21に接続されているワード線WL0に0〔V〕の電圧を印加した後、第1プレート線(PL1)18にVcc〔V〕の電圧を印加することにより、ワード線WL0と接続されている強誘電体メモリセル11、21に書き込まれている情報が読み出される。この際、選択トランジスタ(BS)15のゲートには、Vcc〔V〕の電圧が印加されており、センスアンプ16と接続される。このとき、ビット線(BL)17における電圧は、読み出される強誘電体メモリセルの強誘電体キャパシタの電荷に応じた電圧となる。具体的には、共通のワード線WL0に接続されている強誘電体メモリセル11、21に「1」の情報が記憶されていた場合には、ビット線(BL)17の電圧は、Vcc/2〔V〕よりも高い電位となり、共通のワード線WL0に接続されている強誘電体メモリセル11、21に「0」の情報が書き込まれていた場合には、ビット線(BL)17の電圧は、Vcc/2〔V〕よりも低い電位となる。このビット線(BL)17における電圧に応じて、センスアンプ16を介し、強誘電体メモリセルに書き込まれていた情報を読み出すことができる。尚、ビット線(BL)17の電圧をVcc/2〔V〕とした後フローティング状態とするタイミングと、読み出される強誘電体メモリセル11、21に接続されているワード線WL0に0〔V〕の電圧を印加するタイミングは、第1プレート線(PL1)18にVcc〔V〕の電圧が印加される前であればどちらが前後してもよい。本実施の形態では、強誘電体メモリセル11、21に「1」の情報が記憶されている場合とは、具体的には、強誘電体メモリセル11の分極方向が、図中の選択トランジスタ(BS)15から第1プレート線(PL1)18に向かう方向であり、強誘電体メモリセル21の分極方向が、図中の選択トランジスタ(BS)15から第2プレート線(PL2)28に向かう方向である場合を意味する。
この後、第1プレート線(PL1)18の電圧を0〔V〕とし、第2プレート線(PL2)28の電圧をVcc〔V〕とすることにより、読み出された情報を再び書き込むことができる。上記強誘電体メモリセルでは、情報の読み出しを行なうことにより、書き込まれていた情報が破壊されてしまうため、読み出した情報について再度書き込みを行なうことにより、読み出した情報を強誘電体半導体記憶装置内に保持することができる。
この後、選択トランジスタ(BS)15のゲートに印加される電圧を0〔V〕とした後、第2プレート線(PL2)28及び、ビット線(BL)17に印加する電圧を0〔V〕とし、その後、ワード線WL0の電圧をVcc〔V〕にする。
以上により、ワード線WL0により選択された強誘電体メモリセルに記憶されている情報の読み出し、及び読み出した情報の書き込みが完了する。
同様の方法により、ワード線WL1〜7に接続されている強誘電体メモリセルに記憶されている情報についても、読み出し及び読み出した情報の書き込みを行なうことができる。
これにより本実施の形態に係る強誘電体半導体記憶装置に記憶されている情報を順次読み出すことができる。
以上、1つのセルブロック内に複数の強誘電体メモリセルが含まれる場合について説明したが、図3に示すように、1つのセルブロック内に1つの強誘電体メモリセルが設けられた構成であってもよい。具体的には、強誘電体キャパシタ112と、その両端に接続されたトランジスタ113からなる第1強誘電体メモリセル111の一方の端が、第1プレート線(PL1)118と接続されており、また、強誘電体キャパシタ122と、その両端に接続されたトランジスタ123からなる第2強誘電体メモリセル121の一方の端が、第2プレート線(PL2)128と接続され、第1強誘電体メモリセル111及び第2強誘電体メモリセル121における他方の端が、ともに選択トランジスタ(BS)115におけるソースと接続されている構成のものである。このように構成されたものについて、ワード線WL及び、プレート線PL1、プレート線PL2に所定の電圧を印加することにより読み出された情報を選択トランジスタ(BS)115のゲート電圧を制御することにより、センスアンプ116を介し読み出すことができる。
このような構成の強誘電体半導体記憶装置では、1ブロック内に強誘電体メモリセルを複数個設けたものと比較して集積度には、限界があるものの強誘電体キャパシタ22の両端はトランジスタ23と接続されているため、強誘電体キャパシタ22に予期せぬ電圧が印加されてデータが書き換わってしまうディスターブ(disturb)現象が発生しない効果を有している。
また、図4に、図1に示したメモリセルアレイ19を複数配置した場合のレイアウトの一例を示す。
図に示すようにメモリセルアレイ219(図1のメモリセルアレイ19と同等)は、一方の端が、第1プレート線PL1と接続され、他方の端は選択トランジスタBS1のソースと接続されている。選択トランジスタBS1のドレインは、ビット線BL1と接続されるとともに、トランジスタT1を介し、センスアンプ216と接続されている。一方、メモリセルアレイ229(図1のメモリセルアレイ19と同等)は、一方の端が、第2プレート線PL2と接続され、他方の端は選択トランジスタBS2のソースと接続されている。選択トランジスタBS2のドレインは、ビット線BL2と接続されるとともに、トランジスタT2を介し、センスアンプ216と接続されている。このような構成において、トランジスタT1、T2を制御することにより、メモリセルアレイ219、229を選択してセンスアンプ216と接続し、選択されたメモリセルアレイ219、229における強誘電体メモリセルに書き込まれている情報を読み出すことができる。このような構成とすることにより、folded bitline構成のレイアウトが可能となる。
〔本実施形態の原理〕
次に、本実施形態の強誘電体半導体記憶装置における原理について説明する。
図5に、1T1C方式或いは2T2C方式におけるChain型FeRAMにおけるビット線容量とビット線電位の関係を示す。図に示すように、書き込まれている「1」又は「0」の情報に対応して、異なるビット線電位を示すが、書き込まれている「1」又は「0」の情報はともに、ビット線容量が大きくなるに従い、ビット線電位が低下する傾向にある。書き込まれている情報の「1」における電位と「0」における電位の差はセンスマージンとなるが、このセンスマージンは、ビット線容量が小さいときや大きいときは、小さくなるため情報の読み取りの際に誤りが生じやすくなる。従って、ビット線マージンを十分に確保しようとすると、ビット線容量の値は限られた範囲の値とする必要があり、回路設計を行なう際には、この点を考慮する必要があることから、回路設計における負担は大きくなる。更に、この範囲においては、ビット線容量のばらつきによるビット線電位の変化が大きいことから、異なるビット線同士において、書き込まれている「1」と「0」におけるビット線電位が極めて近い値となったり、場合によっては、「1」と「0」のビット線電位が逆転してしまう場合がある。このような場合では、書き込まれている情報を正確に読み出すことができなくなってしまう。
次に、図6に1T2C方式におけるChain型FeRAMにおけるビット線容量とビット線電位の関係を示す。図に示すように、ビット線容量が小さいほど、センスマージンを大きくとることができるため、強誘電体半導体記憶装置の回路設計を行なう際の設計がしやすい。また、異なるビット線において、ビット線容量にばらつきがあっても、書き込まれている「1」と「0」の情報におけるビット線電位が逆転することはないため、書き込まれている情報を正確に読み出すことができる。即ち、書き込まれている情報「1」のビット線電位は、ビット線容量が大きくなっても、Vcc/2〔V〕以下になることはなく、また、書き込まれている情報の「0」におけるビット線電位は、ビット線容量が大きくなっても、Vcc/2〔V〕以上になることはないため、読み出されるビット線が異なっていても、書き込まれている情報「1」、「0」において、ビット線電位が逆転することはない。従って、書き込まれている情報を正確に読み取ることができるのである。
本発明に係る強誘電体半導体記憶装置は、図1及び図3に示すような1T2C方式に基づいた構成のFeRAMであるため、安定したデータの読み出しが可能となる。
〔第2の実施の形態〕
第2の実施の形態は、本発明における読み出し方法における別の実施の形態である。
図7に、図1に示す第1の実施の形態に記載された強誘電体半導体記憶装置において、書き込まれている情報を再生する際の本実施の形態におけるタイムチャートを示す。
図に示すように、最初、第1プレート線(PL1)18、第2プレート線(PL2)28は、Vcc/2〔V〕の電圧が、強誘電体メモリセルに接続されたワード線WL0〜7にはVcc〔V〕の電圧が、選択トランジスタ(BS)15のゲートには0〔V〕の電圧が印加されている。ビット線(BL)17では、Vcc/2〔V〕の電圧を印加した後、ビット線(BL)17をフローティング状態とし、読み出される強誘電体メモリセルに接続されているワード線WL0に0〔V〕の電圧を印加した後、第1プレート線(PL1)18にVcc〔V〕の電圧を印加し、第2プレート線(PL2)28に0〔V〕の電圧を印加することにより、ワード線WL0に接続されている強誘電体メモリセルに書き込まれている情報が読み出される。この際、選択トランジスタ(BS)15のゲートには、Vcc〔V〕の電圧が印加されており、センスアンプ16と接続される。このとき、ビット線(BL)17における電圧は、読み出された強誘電体メモリセルの強誘電体キャパシタの電荷に応じた電圧となる。具体的には、強誘電体メモリセルに「1」の情報が記憶されていた場合には、ビット線(BL)17の電圧はVcc/2〔V〕よりも高い電位となり、強誘電体メモリセルに「0」の情報が書き込まれていた場合には、ビット線(BL)17の電圧はVcc/2〔V〕よりも低い電位となる。このビット線(BL)17における電圧に応じて、センスアンプ16を介し、強誘電体メモリセルに書き込まれていた情報を読み出すことができる。尚、ビット線(BL)17の電圧をVcc/2〔V〕とした後フローティング状態とするタイミングと、読み出される強誘電体メモリセル11、21に接続されているワード線WL0に0〔V〕の電圧を印加するタイミングは、第1プレート線(PL1)18にVcc〔V〕の電圧が印加される前であればどちらが前後してもよい。
この後、第1プレート線(PL1)18の電圧を0〔V〕とし、第2プレート線(PL2)28の電圧をVcc〔V〕とすることにより、読み出された情報を再び書き込むことができる。上記強誘電体メモリセルでは、情報の読み出しを行なうことにより、書き込まれていた情報が破壊されてしまうため、読み出した情報について再度書き込みを行なうことにより、読み出した情報を強誘電体半導体記憶装置内に保持することができる。
この後、選択トランジスタ(BS)15のゲートに印加される電圧を0〔V〕とした後、第1プレート線(PL1)18及び第2プレート線(PL2)28にVcc/2〔V〕の電圧を印加するとともに、ビット線(BL)17にVcc/2〔V〕の電圧を印加する。尚、ビット線(BL)17、第1プレート線(PL1)18、及び第2プレート線(PL2)を一時的にフローティング状態とすることにより、他の容量等に蓄えられている電荷により充電することが可能である。これにより消費電力を低減することが可能であり、これをチャージリサイクル(charge recycle)と呼ぶ。
その後、ワード線WL0の電圧をVcc〔V〕とすることにより、ワード線WL0に接続されている強誘電体メモリセルに記憶されていた情報の読み出し、及び読み出した情報の書き込みは終了する。
この後、上記と同様の方法により、ワード線WL1〜7に接続されている強誘電体メモリセルに書き込まれている情報についても読み出すことができる。
以上により、本実施の携帯における強誘電体半導体記憶装置における情報を順次読み出すことができるのである。
本実施の形態においては、前述したチャージリサイクル(charge recycle)されるため、情報を読み出す際の消費電力を低く抑えることができる。即ち、ビット線(BL)17や第1プレート線(PL1)18、第2プレート線(PL2)28において電圧を印加する際、直接電源からの電力供給を受けるのではなく、他の強誘電体キャパシタ等に蓄えられた電荷を利用して中間的な電位まで充電することができるため、消費電力を低減させることができるのである。
以上、実施の形態において本発明における半導体記憶装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、これ以外の形態をとることが可能である。
本発明の第1の実施の形態の強誘電体半導体記憶装置の構成図 第1の実施の形態における強誘電体半導体記憶装置の読み出しの際のタイムチャート 本実施の形態における別の強誘電体半導体記憶装置の構成図 本実施の形態における強誘電体半導体記憶装置を高集積化させた構成図 1T1C/2T2C方式におけるビット線容量とビット線電圧の相関図 1T2C方式におけるビット線容量とビット線電圧との相関図 第2の実施の形態における強誘電体半導体記憶装置の読み出しの際のタイムチャート
符号の説明
11、21・・・強誘電体メモリセル、 14・・・第1セルブロック、15・・・選択トランジスタ(BS)、 16・・・センスアンプ、 17・・・ビット線(BL)、 18・・・第1プレート線(PL1)、 19・・・メモリセルアレイ、 22・・・強誘電体キャパシタ、 23・・・トランジスタ、 24・・・第2セルブロック、 28・・・第2プレート線(PL2)、 WL0、WL1、WL2、WL3、WL4、WL5、WL6、WL7・・・ワード線

Claims (5)

  1. 電荷を保持するための強誘電体キャパシタと、前記強誘電体キャパシタの両端に並列に接続されたトランジスタからなり、相補的に1つの情報を記憶する第1強誘電体メモリセル及び第2強誘電体メモリセルと、
    前記第1強誘電体メモリセル及び前記第2強誘電体メモリセルが共有するワード線と、
    前記第1強誘電体メモリセルに接続された第1プレート線と、
    前記第2強誘電体メモリセルに接続された第2プレート線と、
    一方の端が、前記第1強誘電体メモリセル及び前記第2強誘電体メモリセルにともに接続され、他方の端がビット線と接続された1つの選択トランジスタと、を備え、
    前記選択トランジスタのゲートに印加する電圧と、前記ワード線に印加する電圧を制御することにより、記憶されている前記情報を読み出すことを特徴とする強誘電体半導体記憶装置。
  2. 直列接続された複数の前記第1強誘電体メモリセルが第1ブロックを成し、
    直列接続された複数の前記第2強誘電体メモリセルが第2ブロックを成し、
    前記ワード線を共有する前記第1強誘電体メモリセルと前記第2強誘電体メモリセルは相補的に1つの情報を記憶するものであることを特徴とする請求項1に記載の強誘電体半導体記憶装置。
  3. 電荷を保持するための強誘電体キャパシタと前記強誘電体キャパシタの両端に並列に接続されたトランジスタからなる複数の強誘電体メモリセルを直列に接続することにより形成した第1セルブロック及び第2セルブロックと、
    相補的に1つの情報を記憶する前記第1セルブロックにおける強誘電体メモリセル及び前記第2セルブロックにおける強誘電体メモリセルが共有するワード線と、
    前記第1セルブロックに接続された第1プレート線と、
    前記第2セルブロックに接続された第2プレート線と、
    一方の端が、前記第1セルブロック及び前記第2セルブロックに共に接続され、他方の端がビット線と接続された1つの選択トランジスタと、を備え、
    前記ビット線にVcc/2〔V〕の電圧を印加した後、前記ビット線をフローティング状態とし、情報を読み出す強誘電体メモリセルに接続されているワード線に0〔V〕の電圧を印加し、
    前記第1プレート線にはVcc〔V〕の電圧を印加し、前記第2プレート線には0〔V〕の電圧を印加して、前記強誘電体メモリセルの情報を読み出すことを特徴とする強誘電体半導体記憶装置の読み出し方法。
  4. 電荷を保持するための強誘電体キャパシタと前記強誘電体キャパシタの両端に並列に接続されたトランジスタからなる複数の強誘電体メモリセルを直列に接続することにより形成した第1セルブロック及び第2セルブロックと、
    相補的に1つの情報を記憶する前記第1セルブロックにおける強誘電体メモリセル及び前記第2セルブロックにおける強誘電体メモリセルが共有するワード線と、
    前記第1セルブロックに接続された第1プレート線と、
    前記第2セルブロックに接続された第2プレート線と、
    一方の端が、前記第1セルブロック及び前記第2セルブロックに共に接続され、他方の端がビット線と接続された1つの選択トランジスタと、を備え、
    前記第1プレート線、前記第2プレート線及び前記ビット線の電圧をVcc/2〔V〕とした後、前記ビット線をフローティング状態とし、情報を読み出す強誘電体メモリセルに接続されているワード線に0〔V〕の電圧を印加し、
    前記第1プレート線にはVcc〔V〕の電圧を印加し、前記第2プレート線には0〔V〕の電圧を印加して、前記強誘電体メモリセルの情報を読み出すことを特徴とする強誘電体半導体記憶装置の読み出し方法。
  5. 前記第1プレート線にVcc〔V〕の電圧を印加し、前記第2プレート線には0〔V〕の電圧を印加して、前記強誘電体メモリセルの情報を読み出した後、
    前記第1プレート線に0〔V〕の電圧を印加し、前記第2プレート線にVcc〔V〕の電圧を印加して、前記強誘電体メモリセルに前記読み出された情報を再度書き込むことを特徴とする請求項3又は4に記載の強誘電体半導体記憶装置の読み出し方法。
JP2006289973A 2006-10-25 2006-10-25 強誘電体半導体記憶装置及び強誘電体半導体記憶装置の読み出し方法 Pending JP2008108355A (ja)

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