[go: up one dir, main page]

JP2008198730A - Surface mounting machine, screen printing device and mounting line - Google Patents

Surface mounting machine, screen printing device and mounting line Download PDF

Info

Publication number
JP2008198730A
JP2008198730A JP2007030975A JP2007030975A JP2008198730A JP 2008198730 A JP2008198730 A JP 2008198730A JP 2007030975 A JP2007030975 A JP 2007030975A JP 2007030975 A JP2007030975 A JP 2007030975A JP 2008198730 A JP2008198730 A JP 2008198730A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
printing
information
mounting
board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007030975A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Tsunoda
陽 角田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamaha Motor Co Ltd
Original Assignee
Yamaha Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamaha Motor Co Ltd filed Critical Yamaha Motor Co Ltd
Priority to JP2007030975A priority Critical patent/JP2008198730A/en
Publication of JP2008198730A publication Critical patent/JP2008198730A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve manufacturing quality in mounting process. <P>SOLUTION: According to this system (surface mounter Z3, solder printer Z2 and mounting line L), information (information about substrate inspection before printing) about inspection of a substrate P which has been executed before printing is utilized in a printing process and a mounting process. In this way, printing failure and a mounting failure of components can be reduced and the manufacturing quality can be improved in the mounting process. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、表面実装機、スクリーン印刷装置及び実装ラインに関する。   The present invention relates to a surface mounting machine, a screen printing apparatus, and a mounting line.

近年、電子部品の小型化や実装密度の高度化の要請があり、基板の電極に電子部品を実装する際の位置精度も高度化している。このように高密度で部品が実装された実装基板では、実装基板として完成した後に不良と判定されたものに対して補修作業を行うことがきわめて難しい。このため、実装完成後の検査によって不良と判定されたものの大部分は、廃棄処理を余儀なくされる場合が多く、高価な電子部品を無駄にすることとなっていた。この種の問題を回避するべく、下記特許文献において、基板上に部品を搭載する際に、半田位置データに基づいて補正処理を行なうことが提案されている。
特開2005−252290公報
In recent years, there has been a demand for miniaturization of electronic components and advancement of mounting density, and the positional accuracy when mounting electronic components on electrodes of a substrate has also been advanced. In such a mounting board on which components are mounted at a high density, it is extremely difficult to perform repair work on a board that has been determined to be defective after completion as a mounting board. For this reason, most of those determined to be defective by the inspection after the completion of mounting are often forced to be disposed of, so that expensive electronic components are wasted. In order to avoid this type of problem, in the following patent document, it is proposed to perform correction processing based on solder position data when a component is mounted on a substrate.
JP 2005-252290 A

上記特許文献の技術によれば、半田が塗布された位置に合わせて部品の搭載位置を修正するので、半田上に正しく部品を搭載することが出来る。しかし、基板上に塗布された半田が基板上の電極からずれている場合もあり、この点を考慮する必要があった。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、実装過程において製造品質の向上を図ることを目的とする。
According to the technique of the above-mentioned patent document, the mounting position of the component is corrected according to the position where the solder is applied, so that the component can be correctly mounted on the solder. However, there is a case where the solder applied on the substrate is displaced from the electrode on the substrate, and it is necessary to consider this point.
The present invention has been completed based on the above-described circumstances, and an object thereof is to improve manufacturing quality in the mounting process.

上記の目的を達成するための手段として、請求項1の発明(表面実装機)は、実装ヘッドと、前記実装ヘッドを駆動させるヘッド駆動手段とを備え、印刷が施された基板上の部品搭載位置まで前記実装ヘッドによって部品を移送させて実装する表面実装機であって、前記印刷が行われる前に基板検査した印刷前基板検査情報と、前記印刷の位置に関する印刷位置情報とに基づいて、前記部品搭載位置を補正する搭載位置補正手段と、前記補正後の部品搭載位置に基づいて前記ヘッド駆動手段を制御する第一制御手段とを備えたところに特徴を有する。   As a means for achieving the above object, the invention according to claim 1 (surface mounting machine) includes a mounting head and a head driving means for driving the mounting head, and mounting a component on a printed board. It is a surface mounter that moves and mounts components to the position by the mounting head, based on pre-printing board inspection information that has been subjected to board inspection before the printing is performed, and printing position information related to the printing position, It is characterized in that it includes a mounting position correcting unit that corrects the component mounting position and a first control unit that controls the head driving unit based on the corrected component mounting position.

この発明の実施態様として、以下の構成とすることが好ましい。
・印刷前基板検査情報を、基板上に形成される電極の位置情報とする。電極の位置を正確に把握した上で、部品搭載位置を設定(補正)してやれば、基板上における最適の位置に部品を搭載することが実現可能となる。
As an embodiment of the present invention, the following configuration is preferable.
The pre-printing board inspection information is the position information of the electrodes formed on the board. If the component mounting position is set (corrected) after accurately grasping the electrode position, it is possible to mount the component at the optimum position on the substrate.

上記の目的を達成するための手段として、請求項3の発明(スクリーン印刷装置)は、印刷用開口部をもつマスクと、被印刷物である基板を保持する保持手段と、これらマスクと保持手段とを相対的に移動させる相対駆動手段とを備え、前記駆動手段の作動により前記保持手段に保持された基板と前記マスクとを重装させつつ前記基板上に印刷を行うスクリーン印刷装置であって、前記基板に対する印刷位置を、前記印刷が行われる前に基板検査した印刷前基板検査情報に基づいて補正する印刷位置補正手段と、補正後の印刷位置に基づいて前記相対駆動手段を制御する第二制御手段とを備えるところに特徴を有する。   As means for achieving the above object, the invention of claim 3 (screen printing apparatus) comprises a mask having a printing opening, a holding means for holding a substrate which is a substrate, and the mask and holding means. A screen printing apparatus that performs printing on the substrate while overlapping the substrate held by the holding unit and the mask by the operation of the driving unit. A printing position correcting unit that corrects a printing position with respect to the substrate based on pre-printing substrate inspection information obtained by inspecting the substrate before the printing is performed, and a second that controls the relative driving unit based on the corrected printing position. And a control means.

この発明の実施態様として、以下の構成とすることが好ましい。
・印刷前基板検査情報を、基板上に形成される電極の位置情報とする。一般に、印刷は基板の電極上になされる。従って、電極の位置を正確に把握した上で、印刷位置を設定(補正)してやれば、基板上における最適の位置に印刷を実施できる。
・印刷位置補正手段に、電極の配置パターンが微細な領域を他の領域に比べて優先させて補正を行なわせる。
・印刷前基板検査情報に、基板上に付着される異物付着情報を含ませる。また、これに合わせて装置に異物を除去可能な異物除去手段を設ける構成とする。
As an embodiment of the present invention, the following configuration is preferable.
The pre-printing board inspection information is the position information of the electrodes formed on the board. Generally, printing is done on the electrodes of the substrate. Therefore, if the printing position is set (corrected) after accurately grasping the position of the electrode, printing can be performed at the optimum position on the substrate.
-The printing position correction means performs correction by giving priority to an area where the electrode arrangement pattern is fine as compared with other areas.
・ Include information on adhesion of foreign substances adhered on the substrate in the pre-printing substrate inspection information. In accordance with this, the apparatus is provided with foreign matter removing means capable of removing foreign matter.

上記の目的を達成するための手段として、請求項8の発明(実装ライン)は、撮像手段から得られる基板画像に基づいて印刷前基板検査情報を取得する基板検査情報取得手段を有する印刷前基板検査装置と、請求項3ないし請求項7のいずれか一項に記載のスクリーン印刷装置と、請求項1又は請求項2に記載の表面実装機と、を製造ラインに沿って順々に配置し、前記印刷前基板検査装置によって前記基板を検査した後、検査後の基板を前記スクリーン印刷装置に送って所定の印刷処理を施し、印刷処理の施された基板を前記表面実装機に送って部品を実装させる実装ラインであって、前記印刷前基板検査装置から前記スクリーン印刷装置並びに前記表面実装機に対して、直接的あるいは他を経由して間接的に前記印刷前基板情報が伝送され、前記スクリーン印刷装置から前記表面実装機に、直接的あるいは他を経由して間接的に前記補正後の印刷位置に関する印刷位置情報が伝送される構成としてあるところに特徴を有する。   As a means for achieving the above object, the invention according to claim 8 (mounting line) includes a pre-printing board having board inspection information obtaining means for obtaining pre-printing board inspection information based on a board image obtained from the imaging means. An inspection apparatus, the screen printing apparatus according to any one of claims 3 to 7, and the surface mounter according to claim 1 or 2 are sequentially arranged along a production line. After inspecting the substrate by the pre-printing board inspection apparatus, the inspected board is sent to the screen printing apparatus to perform a predetermined printing process, and the printed board is sent to the surface mounter. The pre-print board information is transmitted from the pre-print board inspection apparatus to the screen printing apparatus and the surface mount machine directly or indirectly via the other. , Characterized by the surface mounter from the screen printing device, where there is a configuration in which print position information about the print position after indirectly the correction via direct or others are transmitted.

この発明の実施態様として、以下の構成とすることが好ましい。
・ラインを構成する各装置間における情報の授受が固有情報と対応付けした態様で実行される構成とする。このような構成であれば、情報の管理を基板ごとに行うことができ、情報の利用に誤りがない。
・塗布装置をスクリーン印刷装置と表面実装機との間に配置して製造ラインを構築させる。
As an embodiment of the present invention, the following configuration is preferable.
-It is set as the structure by which the transmission / reception of information between each apparatus which comprises a line is performed in the aspect matched with specific information. With such a configuration, information management can be performed for each board, and there is no error in the use of information.
-A coating line is placed between the screen printing device and the surface mounter to build a production line.

本発明(表面実装機、スクリーン印刷装置、実装ライン)によれば、印刷前に実施した基板の検査情報(印刷前基板検査情報)を実装過程において活用することとした。このようにしてやれば印刷不良、部品の実装不良を低減させることができ、実装過程において製造品質が高まる。   According to the present invention (surface mounting machine, screen printing apparatus, mounting line), it is decided to use the inspection information (substrate inspection information before printing) performed before printing in the mounting process. In this way, printing defects and component mounting defects can be reduced, and manufacturing quality is increased in the mounting process.

<実施形態1>
本発明の実施形態1を図1ないし図14によって説明する。
1.実装ライン(製造ライン)Lの全体構成
図1は、本実施形態に適用された実装ラインLの一部構成を示す図である。同図に示す符号Z1は基板Pの良否を判定する印刷前基板検査装置、Z2は基板Pの表面に露出形成される電極の配置パターン(以下、単にパターンDと呼ぶ)上に半田ペースト(以下、単に半田と呼ぶ)をスクリーン印刷する半田印刷装置(本発明の「スクリーン印刷装置」の一例)、Z3は半田が印刷された基板P上に部品を実装させる表面実装機(以下、単に実装機と呼ぶ)である。
<Embodiment 1>
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
1. Overall Configuration of Mounting Line (Manufacturing Line) L FIG. 1 is a diagram showing a partial configuration of a mounting line L applied to this embodiment. In the figure, reference numeral Z1 denotes a pre-printing board inspection apparatus for determining the quality of the substrate P, and Z2 denotes a solder paste (hereinafter simply referred to as a pattern D) on an electrode arrangement pattern (hereinafter simply referred to as a pattern D) exposed on the surface of the substrate P. A solder printing apparatus (an example of the “screen printing apparatus” of the present invention) that screen-prints solder, Z3 is a surface mounter (hereinafter simply referred to as a “mounter”) that mounts components on a substrate P printed with solder. Called).

本実装ラインLは図1における左側がラインの上流、右側がラインに下流となっており、先頭の印刷前基板検査装置Z1で正しくパターンDが形成されているか否か、すなわち基板Pの良否について判定して、否と判定された不良基板を除く良基板Pをラインの下流に向けて搬送させつつ、各装置Z2、Z3で印刷処理、部品実装処理を行なうものである。   In this mounting line L, the left side in FIG. 1 is upstream of the line and the right side is downstream of the line, and whether or not the pattern D is correctly formed in the leading pre-printing board inspection apparatus Z1, that is, whether the board P is good or bad. The printing process and the component mounting process are performed by each of the devices Z2 and Z3 while conveying the good board P excluding the defective board judged and judged to be negative toward the downstream of the line.

本実施形態のものは、各基板Pにそれぞれ固有の識別番号(本発明の「固有情報」の一例であって、以下、ID情報と呼ぶ)が付されていて、各基板Pを個別管理出来るようになっている。また、各装置Z1〜Z3間が、双方向性の通信網によって接続されており、装置間において各種情報を授受出来るようになっている。   In this embodiment, each substrate P is assigned a unique identification number (an example of “unique information” of the present invention, hereinafter referred to as ID information), and each substrate P can be individually managed. It is like that. The devices Z1 to Z3 are connected by a bidirectional communication network so that various types of information can be exchanged between the devices.

そして、印刷前基板検査装置Z1においては、基板Pの良否情報に加えてパターンDの位置ずれ(詳細は後述)を検査する構成になっており、これらの印刷前基板検査情報がID情報とともに印刷前基板検査装置Z1から半田印刷装置Z2に送信されるように構成されている。   The pre-printing board inspection apparatus Z1 is configured to inspect misalignment (details will be described later) of the pattern D in addition to the pass / fail information of the board P. The pre-printing board inspection information is printed together with the ID information. It is configured to be transmitted from the front board inspection device Z1 to the solder printing device Z2.

そして、半田印刷装置Z2では、入力された印刷前基板検査情報に基づいて、基板Pへの半田印刷位置を補正する処理(詳細は、後に詳しく述べる)を行いつつ、基板Pに対する半田の印刷を実行する。   Then, the solder printing apparatus Z2 performs solder printing on the board P while performing a process of correcting the solder printing position on the board P (details will be described in detail later) based on the inputted pre-printing board inspection information. Execute.

その後、半田が印刷された基板Pは実装機Z3へと送られる。そして、半田印刷装置Z2から実装機Z3に、基板PのID情報とともに印刷前基板検査情報、印刷位置補正値が送信される。   Thereafter, the board P on which the solder is printed is sent to the mounting machine Z3. Then, the pre-printing board inspection information and the printing position correction value are transmitted together with the ID information of the board P from the solder printing apparatus Z2 to the mounting machine Z3.

そして、実装機Z3では、印刷前基板検査情報、印刷位置補正値に基づいて、基板Pに対する部品搭載位置を、次の設定となるように補正しつつ部品の実装動作を行う。   Then, the mounting machine Z3 performs a component mounting operation while correcting the component mounting position on the substrate P based on the pre-printing board inspection information and the printing position correction value so that the following setting is obtained.

図13の(c)に示すように基板Pのパターンの実位置(パターン現物の位置)と半田の印刷位置が丁度重なった領域上に、部品Bの端子B1、B2が載るように部品搭載位置が補正される。   As shown in FIG. 13C, the component mounting position so that the terminals B1 and B2 of the component B are placed on the area where the actual position of the pattern on the substrate P (position of the actual pattern) and the printing position of the solder overlap. Is corrected.

このように、本実施形態のものは、印刷前基板検査情報を実装過程(半田印刷処理、部品の実装処理)に反映させることで、基板P上の最善の位置に半田の印刷、部品を搭載することで製造品質の向上を図ったものである。   As described above, according to the present embodiment, the pre-printing board inspection information is reflected in the mounting process (solder printing process, component mounting process), so that solder printing and components are mounted at the best position on the board P. By doing so, the production quality is improved.

尚、本例では、印刷前検査情報、印刷位置補正値などの各情報を装置間において授受させているが、これら情報はID情報とともに送信され、各基板P単位でID管理されている。すなわち、ID情報を参照すれば、印刷前検査情報、印刷位置補正値が、どの基板Pの情報であったかを特定することが出来るようになっている。このようなデータ管理方法により、本発明の「実装ラインを構成する各装置間における情報(上記例では、印刷前基板検査情報、印刷位置補正値)の授受が、前記固有情報(上記例では、ID情報)と対応付けした態様で実行(上記例では、各種情報とID情報をセットにして送信)される」が実現されている。   In this example, information such as pre-printing inspection information and printing position correction values is exchanged between apparatuses. However, these information are transmitted together with ID information, and ID management is performed for each substrate P. That is, by referring to the ID information, it is possible to specify which substrate P the pre-printing inspection information and the printing position correction value are information about. By such a data management method, the “information between each device constituting the mounting line (in the above example, pre-printing board inspection information, printing position correction value) of the present invention is transferred to the unique information (in the above example, "Executed in a manner associated with (ID information)" (in the above example, various information and ID information are transmitted as a set).

以下、各装置の構成を具体的に説明してゆく。   Hereinafter, the configuration of each device will be specifically described.

2.印刷前基板検査装置
印刷前基板検査装置Z1は、基板Pを保持するための基板保持部(不図示)と、撮像手段としての撮像カメラ(不図示)と、撮像カメラを基板Pの上方領域においてXY方向に駆動させる駆動部(不図示)と、撮像カメラより得られる基板画像を解析する基板検査情報取得手段としての画像解析部(不図示)と、ID情報を読み取る読み取り装置(本発明の「読み取り手段」に相当:不図示)とから構成される。
2. Pre-Printing Substrate Inspection Device A pre-printing substrate inspection device Z1 includes a substrate holding unit (not shown) for holding the substrate P, an imaging camera (not shown) as an imaging means, and an imaging camera in the upper region of the substrate P. A drive unit (not shown) for driving in the XY directions, an image analysis unit (not shown) as a substrate inspection information acquisition unit for analyzing a substrate image obtained from the imaging camera, and a reading device for reading ID information (“ Corresponding to “reading means” (not shown).

印刷前基板検査装置Z1は、駆動部により基板の任意の位置に撮像カメラを移動させつつ基板画像、並びにID情報を取得する。その後、得られた基板画像を画像解析部により解析処理することにより、基板P上におけるパターンの欠損などが検査され、これにより基板Pの良否が判定(図2のステップ10、ステップ20の処理)されるとともに、以下の印刷基板検査情報が取得される。   The pre-printing board inspection apparatus Z1 acquires the board image and the ID information while moving the imaging camera to an arbitrary position on the board by the driving unit. Thereafter, the obtained image of the substrate is analyzed by an image analysis unit to inspect the pattern defect on the substrate P, thereby determining whether the substrate P is good or bad (the processing of Step 10 and Step 20 in FIG. 2). At the same time, the following printed circuit board inspection information is acquired.

本実施形態のものは、図3に示すように、基板Pの上部右隅とその対向位置に基準マーク(以下、フィデューシャルマーク)F1、F2が付されている。このフィデューシャルマークF1、F2は、基板Pの基準となるものであって、同マークF1、F2が付された位置を基準として各パターンDの位置が設計的に定められている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 3, reference marks (hereinafter referred to as fiducial marks) F <b> 1 and F <b> 2 are attached to the upper right corner of the substrate P and its opposing position. The fiducial marks F1 and F2 serve as a reference for the substrate P, and the positions of the patterns D are determined by design based on the positions where the marks F1 and F2 are attached.

そこで、本実施形態では、撮像カメラから得られる基板画像に基づいて、係るフィデューシャルマークF1、F2に対する各パターンDの実際の位置(以下、実位置:図3中のX1、Y1など)を検出し、これを設計的に定められた設計基準値(図3中のXo、Yoなど)と比較することで、設計基準値に対するパターンDの実位置のずれを検出することとしている。尚、図3の例では、寸法の引き出しを1箇所のみ示してあるが、実際には、各パターンDの四隅のデータが検出される。   Therefore, in this embodiment, based on the substrate image obtained from the imaging camera, the actual position of each pattern D with respect to the fiducial marks F1 and F2 (hereinafter, actual positions: X1, Y1, etc. in FIG. 3) is determined. The deviation of the actual position of the pattern D with respect to the design reference value is detected by detecting this and comparing it with a design reference value (Xo, Yo, etc. in FIG. 3) determined in terms of design. In the example of FIG. 3, only one dimension drawing is shown, but actually, data of four corners of each pattern D is detected.

係るパターンDの実位置のずれに関する情報が印刷前基板検査情報として、次述する半田印刷装置Z2に基板PのID情報と共に送られるようになっている(図2中のステップ30の処理)。そして、送られた各情報は半田印刷装置Z2により受信され、装置に設けられる記憶手段37に記憶される(図6参照)。   Information regarding the deviation of the actual position of the pattern D is sent as pre-printing board inspection information together with the ID information of the board P to the solder printing apparatus Z2, which will be described below (processing in step 30 in FIG. 2). The sent information is received by the solder printing apparatus Z2 and stored in the storage means 37 provided in the apparatus (see FIG. 6).

3.半田印刷装置Z2の構成
次に半田印刷装置Z2の構成について図4、図5を参照して説明する。図4は半田印刷装置の要部側断面図である。
3. Configuration of Solder Printing Device Z2 Next, the configuration of the solder printing device Z2 will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a cross-sectional side view of a main part of the solder printing apparatus.

半田印刷装置Z2は、基台1を有する印刷機本体2と、基板Pを位置決めした状態で保持する保持部4を有する基板支持ユニット3と、この基板支持ユニット3に対して基板Pを搬入/搬出するコンベア(図示省略)を備えている。   The solder printing apparatus Z2 includes a printing machine main body 2 having a base 1, a board support unit 3 having a holding unit 4 that holds the board P in a positioned state, and the board P is loaded into the board support unit 3. A carry-out conveyor (not shown) is provided.

基板支持ユニット3については、詳しく図示していないが、基板Pを昇降(Z軸方向の移動)および回転(Z軸回りの回転)可能に支持するRZステージ3Aと、このRZステージ3Aを基板の搬送方向(X軸方向;図4では紙面に直交する方向)及び、これに直交する方向(Y軸方向)に移動可能に支持するXYステージ3Bとから構成されており、これらステージ3A、3Bの相互動作により基板Pを移動させるように構成されている。   The substrate support unit 3 is not shown in detail, but an RZ stage 3A that supports the substrate P so that the substrate P can be moved up and down (moved in the Z-axis direction) and rotated (rotated around the Z axis), and the RZ stage 3A is supported on the substrate. An XY stage 3B that is movably supported in a conveying direction (X-axis direction; a direction orthogonal to the paper surface in FIG. 4) and a direction orthogonal to the conveyance direction (Y-axis direction). The substrate P is moved by the mutual operation.

印刷機本体2には、基台1上に立設された支柱2aにより支持されてフレーム2bが設置されている。そして、このフレーム2bに対して、後記するメタルマスクMが固定され、さらにメタルマスクMの上方にスキージユニット5が配置されている。なお、メタルマスクMは、その全周が枠部材8により保持されており、この枠部材8を介してフレーム2bに固定されている。   The printing machine main body 2 is provided with a frame 2b supported by a column 2a erected on the base 1. A metal mask M, which will be described later, is fixed to the frame 2b, and the squeegee unit 5 is disposed above the metal mask M. Note that the entire circumference of the metal mask M is held by the frame member 8 and is fixed to the frame 2b via the frame member 8.

スキージユニット5は、フレーム2b上に設けられるレール部材5aと、これらレール部材5aに沿ったY軸方向への進退動作が可能とされた可動部5bと、メタルマスクM上にクリーム半田を供給する半田供給装置(図示省略)とを備える。そして、可動部5bには一対のX軸方向に所定の長さを有するスキージ22と、両スキージ22を昇降駆動させる昇降手段10が設けられている。   The squeegee unit 5 supplies cream solder onto the rail member 5a provided on the frame 2b, the movable part 5b capable of moving back and forth in the Y-axis direction along the rail member 5a, and the metal mask M. A solder supply device (not shown). The movable portion 5b is provided with a pair of squeegees 22 having a predetermined length in the X-axis direction and lifting means 10 that drives the squeegees 22 to move up and down.

図5に示すように、メタルマスクMには、基板PのパターンDの形状に倣った印刷用開口部Kが形成されるとともに、マスク下面には基準マーク(以下、フィデューシャルマーク)F3、F4が設けられている。   As shown in FIG. 5, the metal mask M has a printing opening K that follows the shape of the pattern D of the substrate P, and a reference mark (hereinafter referred to as a fiducial mark) F3 on the lower surface of the mask. F4 is provided.

本実施形態では、マスク側のフィデューシャルマークF3、F4は、基板Pに形成されるフィデューシャルマークF1、F2に合わせて同じ配置に形成されている。そのため、マスク側のフィデューシャルマークF3、F4に基板P側のフィデューシャルマークF1、F2が一致するように、XYステージ3B、RZステージ3Aを駆動させつつ、メタルマスクMに対して基板Pを位置調整すると、設計的にはメタルマスクMの印刷用開口部Kと基板PのパターンDがほぼ一致するようになっている。   In the present embodiment, the fiducial marks F3 and F4 on the mask side are formed in the same arrangement in accordance with the fiducial marks F1 and F2 formed on the substrate P. Therefore, while driving the XY stage 3B and the RZ stage 3A so that the fiducial marks F1 and F2 on the substrate P side coincide with the fiducial marks F3 and F4 on the mask side, the substrate P with respect to the metal mask M is driven. Is adjusted so that the printing opening K of the metal mask M and the pattern D of the substrate P substantially coincide with each other.

尚、上記調整を行うには、基板P側のフィデューシャルマークF1、F2の位置と、メタルマスクM側のフィデューシャルマークF3、F4の位置を認識する必要があるが、この機能をマスク認識カメラ24、基板認識カメラ25が担っている。   In order to perform the above adjustment, it is necessary to recognize the positions of the fiducial marks F1 and F2 on the substrate P side and the positions of the fiducial marks F3 and F4 on the metal mask M side. The recognition camera 24 and the substrate recognition camera 25 are in charge.

各カメラ24、25の設置位置について簡単に説明しておくと、マスク認識カメラ24はRZステージ3Aの左側部にX軸方向に移動可能に設置されている。このマスク認識カメラ24は基板支持ユニット3と一体的にY軸方向に駆動されつつ、且つX軸方向に駆動され上記メタルマスクMの任意位置の画像(マスク下面の画像)を撮像出来る。   Briefly describing the installation positions of the cameras 24 and 25, the mask recognition camera 24 is installed on the left side of the RZ stage 3A so as to be movable in the X-axis direction. The mask recognition camera 24 is driven in the Y-axis direction integrally with the substrate support unit 3 and is driven in the X-axis direction so that an image at an arbitrary position of the metal mask M (image on the lower surface of the mask) can be taken.

基板認識カメラ25はカメラ支持部25aに沿ってX軸方向に移動可能とされ、カメラ支持部材25aはレール部材5aに沿ってY軸方向に移動可能とされる。基板支持ユニット3が図4の右側の位置(一点鎖線表示位置:基板搬送位置、撮像位置)にあって印刷済み基板Pを搬出するとともに、新たな基板Pが搬入されると、基板認識カメラ25がX軸方向更には、Y軸方向に移動してフィデューシャルマークF1、F2を撮像する。   The board recognition camera 25 is movable in the X axis direction along the camera support portion 25a, and the camera support member 25a is movable in the Y axis direction along the rail member 5a. When the substrate support unit 3 is at the position on the right side of FIG. 4 (dashed line display position: substrate transfer position, image pickup position) and the printed substrate P is unloaded, a new substrate P is loaded, and the substrate recognition camera 25 is loaded. Moves in the X-axis direction and further in the Y-axis direction to image fiducial marks F1 and F2.

その後、基板支持ユニット3が図4の左側の位置(実線表示位置:作業位置)へ向かってY軸移動する。更にマスク認識カメラ24がX軸方向に移動してマスクフィデューシャルマークF3、F4を撮像する。基板支持ユニット3がY軸方向所定箇所に停止した状態で、XYステージ3B、RZステージ3Aが駆動されて、メタルマスクMに対する基板Pの位置合わせがされつつ、メタルマスクMに基板Pの下方から接合する。   Thereafter, the substrate support unit 3 moves in the Y axis toward the left position (solid line display position: work position) in FIG. Further, the mask recognition camera 24 moves in the X-axis direction and images the mask fiducial marks F3 and F4. With the substrate support unit 3 stopped at a predetermined position in the Y-axis direction, the XY stage 3B and the RZ stage 3A are driven, and the substrate P is aligned with the metal mask M, and the metal mask M is moved from below the substrate P. Join.

図6は、半田印刷装置Z2の電気的構成を示すブロック図である。同図に符号30はコントローラであって、半田印刷装置Z2の全体を制御統括している。具体的に説明すると、コントローラ30はCPUより構成され演算/制御機能を担う主制御部31、スキージユニット制御部32、XYステージ制御部33、RZステージ制御部34、インターフェースとしての入出力部35、画像処理部36、及び記憶手段37より構成されている。また、図6に示す符号38は読み取り装置(本発明の「読み取り手段」の一例)である。この読み取り装置38は基板Pに付されたID情報を読み取る機能を担っている。   FIG. 6 is a block diagram showing an electrical configuration of the solder printing apparatus Z2. In the figure, reference numeral 30 denotes a controller that controls and controls the entire solder printing apparatus Z2. More specifically, the controller 30 is composed of a CPU, and is composed of a main control unit 31, a squeegee unit control unit 32, an XY stage control unit 33, an RZ stage control unit 34, an input / output unit 35 serving as an interface, The image processing unit 36 and storage means 37 are included. Reference numeral 38 shown in FIG. 6 denotes a reading device (an example of the “reading unit” in the present invention). The reading device 38 has a function of reading the ID information attached to the substrate P.

入出力部35には基板PのID情報、並びに印刷前基板検査情報が取り込まれ、また、画像処理部36にはマスク認識カメラ24から得られるマスク画像、並びに基板認識カメラ25より得られる基板画像がそれぞれ取り込まれるようになっている。   The input / output unit 35 receives the ID information of the substrate P and the pre-printing substrate inspection information, and the image processing unit 36 receives the mask image obtained from the mask recognition camera 24 and the substrate image obtained from the substrate recognition camera 25. Are to be captured.

係るコントローラ30の主制御部31は各装置32〜36を制御しつつ、必要な情報を記憶手段37から読み出し、図2に示すフローチャートに従ってメタルマスクMの良否判定処理、補正値の算出処理、並びに半田印刷処理などを行う。   The main control unit 31 of the controller 30 reads out necessary information from the storage unit 37 while controlling the devices 32 to 36, and performs a pass / fail judgment process for the metal mask M, a correction value calculation process, and a process according to the flowchart shown in FIG. Perform solder printing processing.

コントローラ30によって実行される処理には、ステップ50〜ステップ130の処理があるが、これらの処理のうち、ステップ60のマスク検査、ステップ70の判定処理は、実装ラインLに流す基板Pの品種を切り替える段取り替え作業時、並びに生産開始時点などにおいて実行される処理である。   The processes executed by the controller 30 include the processes of Step 50 to Step 130. Of these processes, the mask inspection of Step 60 and the determination process of Step 70 are performed by selecting the type of the substrate P to be flowed to the mounting line L. This is a process executed at the time of the changeover operation to be switched and at the start of production.

例えば、段取り替えにおいてメタルマスクMがセットされると、主制御部31がXYステージ制御部33に指定を与え、XYステージ3Bを駆動させる。すると、マスク認識カメラ24により、メタルマスクMの全域の画像が取得される。   For example, when the metal mask M is set in the setup change, the main control unit 31 gives designation to the XY stage control unit 33 and drives the XY stage 3B. Then, an image of the entire area of the metal mask M is acquired by the mask recognition camera 24.

そして、得られたマスク画像が画像処理部36に取り込まれて画像解析される。これにより、メタルマスクMのフィデューシャルマークF3、F4の位置が検出され、これと並行してメタルマスクMの検査(ステップ60)が行われる。   Then, the obtained mask image is taken into the image processing unit 36 and subjected to image analysis. Thereby, the positions of the fiducial marks F3 and F4 of the metal mask M are detected, and the metal mask M is inspected (step 60) in parallel with this.

メタルマスクMの検査では、設置されたマスクMに生産に使用できないような異常(割れ、クラックの有無、印刷用開口部Kの形状異常)があるか否かの検出がなされる他、フィデューシャルマークF3、F4に対する各印刷用開口部Kの実位置(図5中のX2、Y2など)が検出され、これを設計的に定められた設計基準値(図5中の、Xo、Yoなど)と比較することで、設計基準値に対する印刷用開口部Kの位置ずれが検出される。尚、図5の例では、寸法の引き出しを1箇所のみ示してあるが、実際には、各印刷用開口部Kの四隅のデータが検出される。そして、これらの検査情報は一旦、記憶手段37に記憶されるようになっている。   In the inspection of the metal mask M, in addition to detecting whether there is an abnormality that cannot be used for production in the installed mask M (crack, presence of crack, abnormal shape of the printing opening K), fiduciary The actual position of each printing opening K with respect to the char marks F3 and F4 (X2, Y2, etc. in FIG. 5) is detected, and this is designed based on design reference values (Xo, Yo, etc. in FIG. 5). ), The positional deviation of the printing opening K with respect to the design reference value is detected. In the example of FIG. 5, only one dimension drawing is shown, but actually, data at the four corners of each printing opening K is detected. These pieces of inspection information are temporarily stored in the storage means 37.

ステップ60の処理が完了すると、ステップ70に移行され、そこでメタルマスクMの使用可否について判定する処理が主制御部31により行われる。仮に、生産不可と判定された場合には、異常を報知するエラー処理が実行される。   When the process of step 60 is completed, the process proceeds to step 70 where the main control unit 31 performs a process of determining whether or not the metal mask M can be used. If it is determined that production is not possible, error processing for notifying abnormality is executed.

また、ステップ50のマスクフィデューシャルを認識する処理であるが、これは上述のマスク検査を実施する時にマスク検査と合わせて行われるとともに、更に半田印刷装置Z2を稼動させている際に有る程度(例えば、数時間に1度など)時間をあけて定期的に行われる。このようにメタルマスクMのフィデューシャルマークF3、F4の位置を検査する処理を定期的に行なうのは、稼動中に室温等の変化があると、メタルマスクMに熱伸縮が生じることがある。すると、メタルマスクM上に印されたフィデューシャルマークF3、F4も、その位置がいくらか変わってしまうので、その変化分を補正する必要があるからである。   The process of recognizing the mask fiducial in step 50 is performed in conjunction with the mask inspection when performing the above-described mask inspection, and to some extent when the solder printing apparatus Z2 is in operation. It is performed regularly (for example, once every few hours). The reason for periodically inspecting the positions of the fiducial marks F3 and F4 of the metal mask M is that the metal mask M may undergo thermal expansion and contraction if there is a change in room temperature or the like during operation. . Then, the fiducial marks F3 and F4 marked on the metal mask M also change their positions somewhat, and it is necessary to correct the change.

それでは、上記ステップ70で異常なしと判定されたメタルマスクMを使用して基板Pに印刷を行う印刷処理について順を追って説明する。   Now, a printing process for printing on the substrate P using the metal mask M determined to have no abnormality in step 70 will be described in order.

まず、印刷対象となる基板Pであるが、これは先に説明した印刷前基板検査装置Z1から搬出される。搬出された基板Pは、コンベアを介して半田印刷装置Z2へと送られる。やがて、基板Pは半田印刷装置Z2内に搬入され、図4において一点鎖線で示す基板搬送位置に待機する基板支持ユニット3に位置決めされた状態で保持される。   First, the substrate P to be printed is carried out from the pre-printing substrate inspection apparatus Z1 described above. The board | substrate P carried out is sent to the solder printing apparatus Z2 via a conveyor. Eventually, the substrate P is carried into the solder printing apparatus Z2, and is held in a state where it is positioned on the substrate support unit 3 that stands by at the substrate conveyance position indicated by the one-dot chain line in FIG.

その後、基板認識カメラ25がX軸、Y軸方向に駆動され、基板支持ユニット3上に保持された基板Pを撮影する。得られた基板画像は画像処理部36に取り込まれ、そこで画像解析がなされる。これにより、印刷対象となる基板PのフィデューシャルマークF1、F2の位置が検出されるとともに、これと合わせて基板PのID情報を読み取る処理が読み取り装置38により実行される(ステップ80)。   Thereafter, the substrate recognition camera 25 is driven in the X-axis and Y-axis directions to photograph the substrate P held on the substrate support unit 3. The obtained substrate image is taken into the image processing unit 36 where image analysis is performed. As a result, the positions of the fiducial marks F1 and F2 of the substrate P to be printed are detected, and a process for reading the ID information of the substrate P is executed by the reading device 38 in conjunction with this (step 80).

その後、基板搬送位置にあった基板支持ユニット3はY軸方向(図4に示す左方向)に駆動される。これにより印刷対象の基板PはメタルマスクM下方の作業位置(図4において実線で示す位置)に至る。このとき、必要に応じて、マスク認識カメラ24によりマスクメタルMを撮像する処理が行なわれ、得られたマスク画像よりメタルマスクMのフィデューシャルマークF3、F4の位置が検査される。   Thereafter, the substrate support unit 3 located at the substrate transport position is driven in the Y-axis direction (left direction shown in FIG. 4). As a result, the substrate P to be printed reaches the working position below the metal mask M (the position indicated by the solid line in FIG. 4). At this time, if necessary, the mask recognition camera 24 performs a process of imaging the mask metal M, and the positions of the fiducial marks F3 and F4 of the metal mask M are inspected from the obtained mask image.

そして、上記基板支持ユニット3の移動処理と並行して、ステップ90、ステップ100の処理が行われる。これにより、ステップ90で印刷前基板検査情報及び同基板検査情報に付加されたID情報が記憶手段37から読み出される。また、ステップ100で印刷用開口部Kの検査情報が記憶手段37から読み出される。   Then, in parallel with the movement process of the substrate support unit 3, the processes of Step 90 and Step 100 are performed. As a result, the pre-printing board inspection information and the ID information added to the board inspection information in step 90 are read from the storage unit 37. In step 100, the inspection information of the printing opening K is read from the storage unit 37.

かくして、各種情報の読み出しが完了すると、その後、処理はステップ110に移行される。ステップ110では、印刷対象となる基板PのID情報(ステップ80の処理で読み取ったID情報)と、印刷前基板検査情報に付加されたID情報とを照合する処理が実行される。そして、両ID情報が一致していれば、以下に示す4つの情報に基づいて印刷位置補正値を算出する処理が主制御部31によって実行される。   Thus, when the reading of various information is completed, the process proceeds to step 110 thereafter. In step 110, a process of collating the ID information of the substrate P to be printed (ID information read in the process of step 80) with the ID information added to the pre-printing board inspection information is executed. If the ID information matches, the main control unit 31 executes a process for calculating a print position correction value based on the following four pieces of information.

(1)印刷前基板検査情報
(2)印刷用開口部Kの検査情報
(3)基板のフィデューシャルマークF1、F2の位置情報
(4)マスクのフィデューシャルマークF3、F4の位置情報
(1) Pre-printing board inspection information (2) Inspection information of printing opening K (3) Position information of fiducial marks F1, F2 on the substrate (4) Position information of fiducial marks F3, F4 on the mask

さて、ここでいう、印刷位置補正値というのは、設計基準に対するメタルマスクM側の印刷用開口部Kの位置ずれ、基板P側のパターンDの位置ずれを見込んで、印刷位置に補正を加えてやるという意味である。すなわち、設計基準に対して印刷用開口部K及びパターンDがずれていなければ、両フィデューシャルマークF1〜F4を相互に一致させてやると、印刷用開口部KとパターンDとは整合する。   Now, the print position correction value here refers to the positional deviation of the printing opening K on the metal mask M side and the positional deviation of the pattern D on the substrate P side with respect to the design standard, and the print position is corrected. It means to do. That is, if the printing opening K and the pattern D are not deviated from the design standard, the printing opening K and the pattern D are matched if the fiducial marks F1 to F4 are made to coincide with each other. .

これに対して現実には、基板Pの歪みや、マスクMの歪みなどに起因して、メタルマスクM側、基板P側とも印刷用開口部K/パターンDの位置が設計基準からある程度ずれている。従って、図7に示すように、基板P側のフィデューシャルマークF1とマスクM側のフィデューシャルマークF3、及び基板P側のフィデューシャルマークF2とマスクM側のフィデューシャルマークF4を一致させても、基板PのパターンDと、マスクの印刷用開口部Kがずれた状態となる。   On the other hand, in reality, due to the distortion of the substrate P and the distortion of the mask M, the positions of the printing openings K / patterns D are deviated from the design standard to some extent on the metal mask M side and the substrate P side. Yes. Therefore, as shown in FIG. 7, the fiducial mark F1 on the substrate P side and the fiducial mark F3 on the mask M side, and the fiducial mark F2 on the substrate P side and the fiducial mark F4 on the mask M side are provided. Even if they match, the pattern D of the substrate P and the printing opening K of the mask are shifted.

従って、この印刷用開口部KとパターンDとの位置ずれが抑えられるように、メタルマスクMに対する基板Pの重装位置を微調整するべく、その調整量(印刷位置補正値)を決定するものである。   Accordingly, an adjustment amount (printing position correction value) is determined in order to finely adjust the overlapping position of the substrate P with respect to the metal mask M so that the positional deviation between the printing opening K and the pattern D can be suppressed. It is.

具体的に説明すると基板P、メタルマスクMは既に完成しており、パターンDや印刷用開口部Kの位置そのものを個別に調整することはできない。調整できるのは、あくまで基板PとメタルマスクMの相互位置関係(XY方向、Z軸を中心とする回転方向)に限定されている。   Specifically, the substrate P and the metal mask M have already been completed, and the position of the pattern D and the printing opening K itself cannot be individually adjusted. What can be adjusted is limited to the mutual positional relationship between the substrate P and the metal mask M (XY direction, rotation direction about the Z axis).

従って、印刷用開口部Kに対して位置ずれを起こしているパターンDが複数個ある場合には、どのパターンDを優先させて調整するか、優劣を付ける必要がある。   Accordingly, when there are a plurality of patterns D that are misaligned with respect to the printing opening K, it is necessary to give priority to which pattern D should be adjusted.

本実施形態では、パターンDが微細な領域を他の領域に比べて優先させて調整を行うこととしている。すなわち図7の例であれば、Aの領域が他の領域に比べて、パターンDが緻密であるので、このA領域を優先させ、以下の要領で調整を行うこととしている。   In the present embodiment, the adjustment is performed with priority given to the region where the pattern D is fine compared to other regions. That is, in the example of FIG. 7, since the area A is denser than the other areas, the area A is prioritized and adjustment is performed as follows.

図7の例では、メタルマスクMの印刷用開口部Kが、基板PのパターンDに対して、全体としてはR方向に位置ずれしている。従って、図7に示す基準印刷位置に対して、図8に示すように、マスクMと基板Pの相互位置を角度θ1だけ変えてやれば、移動前に比べ、マスクMの印刷用開口部Kと基板PのパターンDとの位置ずれが低減できる。従って、この場合であれば、印刷位置補正値はR方向に角度θ1と決定される。   In the example of FIG. 7, the printing opening K of the metal mask M is displaced in the R direction as a whole with respect to the pattern D of the substrate P. Therefore, if the mutual position of the mask M and the substrate P is changed by the angle θ1 as shown in FIG. 8 with respect to the reference printing position shown in FIG. 7, the printing opening K of the mask M is compared with that before the movement. And the pattern D of the substrate P can be reduced. Therefore, in this case, the print position correction value is determined as an angle θ1 in the R direction.

尚、主制御部31によって実行されるステップ110の処理により、本発明の「印刷位置補正手段」の果たす処理機能が実現されている。   The processing function performed by the “printing position correcting means” of the present invention is realized by the processing of step 110 executed by the main control unit 31.

かくして、ステップ110の処理が完了し印刷位置補正値が算出されると、ステップ120の処理が実行される。   Thus, when the process of step 110 is completed and the print position correction value is calculated, the process of step 120 is executed.

ステップ120では、主制御部31の指令により、作業位置にある基板支持ユニット3の位置調整が行われる。すなわちXYステージ3Bが駆動され、メタルマスクMの印刷用開口部Kと基板PのパターンDの位置関係が、図8に示す位置関係となるように基板Pの位置がセットされる。   In step 120, the position of the substrate support unit 3 at the work position is adjusted according to a command from the main control unit 31. That is, the XY stage 3B is driven, and the position of the substrate P is set so that the positional relationship between the printing opening K of the metal mask M and the pattern D of the substrate P becomes the positional relationship shown in FIG.

かくして、基板Pが所望位置にセットされると、主制御部31はRZステージ制御部34に指令を与えて、今度はRZステージ3Aを駆動させる。これにより、印刷対象となる基板PはメタルマスクMに対する位置関係(位置ずれが低減された図8の位置関係)を維持しつつ、装置上方に持ち上げられてゆく。やがて、印刷対象の基板PはメタルマスクMの下面に当接する。   Thus, when the substrate P is set at a desired position, the main control unit 31 gives a command to the RZ stage control unit 34, and this time drives the RZ stage 3A. As a result, the substrate P to be printed is lifted to the upper side of the apparatus while maintaining the positional relationship with respect to the metal mask M (the positional relationship in FIG. 8 in which the positional deviation is reduced). Eventually, the substrate P to be printed comes into contact with the lower surface of the metal mask M.

すると、主制御部31はスキージユニット制御部32に指令を与え、スキージユニット5を駆動させる。かくして、スキージユニット5がZ方向に下降し、スキージZがメタルマスクMに当接する。   Then, the main control unit 31 gives a command to the squeegee unit control unit 32 to drive the squeegee unit 5. Thus, the squeegee unit 5 is lowered in the Z direction, and the squeegee Z contacts the metal mask M.

その後、半田供給装置によってマスクメタルM上に供給された半田を、スキージ22がY軸方向に往復移動しつつ引き延ばす。これにより、印刷用開口部Kに半田が埋め込まれ、基板P上の所望位置に半田が印刷される。   Thereafter, the solder supplied onto the mask metal M by the solder supply device is stretched while the squeegee 22 reciprocates in the Y-axis direction. As a result, the solder is embedded in the printing opening K, and the solder is printed at a desired position on the substrate P.

かくして、基板PのパターンD上において、図8に示す位置に半田が印刷される。ここで仮に、図2に示すステップ100の補正処理を実行しないとすると、図7に示すように基板PのパターンDに対して半田の印刷位置がずれてしまい、基板P上のパターンDと半田の重複面積が狭くなる。この点上記構成であれば、基板P上のパターンDに対して位置ずれがほとんどない状態で半田を印刷することが出来、パターンDと半田の重複面積を広くとれる。   Thus, solder is printed on the pattern D of the substrate P at the position shown in FIG. If the correction process in step 100 shown in FIG. 2 is not executed, the solder printing position is shifted with respect to the pattern D on the substrate P as shown in FIG. The overlapping area becomes smaller. With this configuration, the solder can be printed with almost no positional deviation with respect to the pattern D on the substrate P, and the overlapping area between the pattern D and the solder can be increased.

そして、ステップ120で半田を印刷する処理が完了すると、半田印刷後の基板Pは、コンベアを介して、次述する実装機Z3へと搬送される。そして、係る基板Pの搬送処理を並行して、半田印刷装置Z2から実装機Z3に対して、次の3つの情報を送信する処理が行われる(ステップ130)。   When the solder printing process is completed in step 120, the board P after the solder printing is transferred to the mounting machine Z3 described below via the conveyor. In parallel with the transfer process of the board P, the following three pieces of information are transmitted from the solder printing apparatus Z2 to the mounting machine Z3 (step 130).

(1)ID情報
(2)印刷前基板検査情報
(3)印刷位置補正値(上記例では、R方向に角度θ1)
尚、この印刷位置補正値が、本発明の「補正後の印刷位置に関する印刷位置情報」の一例に相当する。
(1) ID information (2) Pre-printing board inspection information (3) Print position correction value (in the above example, angle θ1 in the R direction)
This print position correction value corresponds to an example of “print position information related to the corrected print position” of the present invention.

送信された情報は、次に説明する実装機Z3で受信される。すると、実装機Z3では、後述する記憶手段182に、これらID情報、印刷前検査情報及び印刷位置補正値を一旦記憶させる処理を行う。   The transmitted information is received by the mounting machine Z3 described below. Then, the mounting machine Z3 performs processing for temporarily storing the ID information, the pre-printing inspection information, and the print position correction value in the storage unit 182 described later.

4.実装機Z3の構成
次に、実装機Z3の構成について説明する。図9は実装機Z3の平面図である。
図9に示すように実装機Z3は、基板Pを搬送するコンベア120と、部品供給部130と、ヘッドユニット140と、モータ161〜164を駆動源とする各種サーボ機構(XYサーボ機構160、Z軸サーボ機構(不図示)、R軸サーボ機構(不図示))などから構成されている。
4). Configuration of Mounting Machine Z3 Next, the configuration of the mounting machine Z3 will be described. FIG. 9 is a plan view of the mounting machine Z3.
As shown in FIG. 9, the mounting machine Z3 includes a conveyor 120 that conveys the substrate P, a component supply unit 130, a head unit 140, and various servo mechanisms (XY servo mechanism 160, Z) using motors 161 to 164 as drive sources. An axis servo mechanism (not shown), an R axis servo mechanism (not shown), and the like are included.

尚、ヘッドユニット140及び、各種サーボ機構が本発明のヘッド駆動手段に相当するものである。   The head unit 140 and various servo mechanisms correspond to the head driving means of the present invention.

部品供給部130はプリント基板Pに実装される部品の供給場所であって、そこには、テープフィーダ等の部品供給装置150が複数並列して配置されている。   The component supply unit 130 is a supply location of components to be mounted on the printed circuit board P, and a plurality of component supply devices 150 such as tape feeders are arranged in parallel there.

ヘッドユニット140は、部品供給装置150から部品をピックアップして基板P上に移動させる機能を担うものであって、部品供給部130と基板P上の部品搭載位置とに渡る領域をXYサーボ機構160により移動可能となっている。   The head unit 140 has a function of picking up a component from the component supply device 150 and moving it onto the substrate P. The head unit 140 has an XY servo mechanism 160 in an area extending between the component supply unit 130 and the component mounting position on the substrate P. It can be moved by.

ヘッドユニット140には、図10に示すように吸着ヘッド(本発明の「実装ヘッド」の一例)141が一列状に配置されている。これら各吸着ヘッド141の先端には、部品を吸着して基板Pに装着するための吸着ノズル142が設けられている。各ノズル142は、部品吸着時には図外の負圧手段から負圧が供給されて、その負圧による吸引力で部品を吸着してピックアップするものである。   In the head unit 140, as shown in FIG. 10, suction heads (an example of the “mounting head” of the present invention) 141 are arranged in a line. At the tip of each of these suction heads 141, a suction nozzle 142 for sucking components and mounting them on the substrate P is provided. Each nozzle 142 is supplied with a negative pressure from a negative pressure means (not shown) at the time of component suction, and sucks and picks up the component with a suction force by the negative pressure.

各吸着ヘッド141はZ軸サーボ機構並びにR軸サーボ機構により、Z軸方向の移動およびR軸(ノズル中心軸)回りの回転が可能とされている。以上の構成により、各サーボ機構を作動させヘッドユニット140を駆動させることで、部品供給装置150から部品をピックアップし、又ピックアップした部品を所定の部品搭載位置(詳細は後述するが、補正後の部品搭載位置)に実装することが出来る。   Each suction head 141 can be moved in the Z-axis direction and rotated around the R-axis (nozzle center axis) by the Z-axis servo mechanism and the R-axis servo mechanism. With the above configuration, by operating each servo mechanism and driving the head unit 140, the component is picked up from the component supply device 150, and the picked-up component is placed in a predetermined component mounting position (details will be described later, but after correction) It can be mounted at the component mounting position.

また、実装機Z3には部品認識カメラ115、並びに基板認識カメラ145が設置されている。図9に示すように部品認識カメラ115は基台110上に設置されている。この部品認識カメラ115は、吸着ヘッド141で吸着された部品を撮像して、部品の吸着位置ずれを検査する機能を担っている。   In addition, the component recognition camera 115 and the board recognition camera 145 are installed in the mounting machine Z3. As shown in FIG. 9, the component recognition camera 115 is installed on the base 110. The component recognition camera 115 has a function of imaging the component sucked by the suction head 141 and inspecting the suction position shift of the component.

一方、基板認識カメラ145は、図10に示すようにヘッドユニット140に撮像面を下に向けた状態で固定されている。これにより、上述のヘッドユニット140をXY方向に駆動させることで、基板P上の任意の位置の画像を撮像することが出来る。そして、得られた基板画像に基づいて、基板Pに付されたフィデューシャルマークF1、F2の認識を行ったり、基板P上に実装された部品の実装状況などを検査する構成とされている。   On the other hand, the substrate recognition camera 145 is fixed to the head unit 140 with the imaging surface facing downward, as shown in FIG. Thereby, the image of the arbitrary positions on the board | substrate P can be imaged by driving the above-mentioned head unit 140 to XY direction. And based on the obtained board | substrate image, it is set as the structure which recognizes the fiducial marks F1 and F2 attached | subjected to the board | substrate P, or test | inspects the mounting condition etc. of the components mounted on the board | substrate P. .

次に、図11を参照して、実装機Z3の電気的構成を説明する。
実装機Z3は、コントローラ180により装置全体が制御統括されている。コントローラ180は、CPU等により構成され演算/制御機能を担う主制御部181を備える他、実装プログラム等の情報が記憶される記憶手段182、各種モーター161〜164を制御駆動させるモーター制御部183、インターフェースとしての入出力部184及び画像処理部185を設けている。また、図11に示す符号188は読み取り装置(本発明の「読み取り手段」の一例)である。読み取り装置188は基板Pに付されたID番号を読み取る機能を担っている。
Next, the electrical configuration of the mounting machine Z3 will be described with reference to FIG.
The entire mounting machine Z3 is controlled and controlled by a controller 180. The controller 180 includes a main control unit 181 configured by a CPU or the like and responsible for calculation / control functions, a storage unit 182 that stores information such as a mounting program, and a motor control unit 183 that controls and drives various motors 161 to 164. An input / output unit 184 and an image processing unit 185 are provided as interfaces. Reference numeral 188 shown in FIG. 11 is a reading device (an example of the “reading unit” in the present invention). The reading device 188 has a function of reading the ID number assigned to the substrate P.

入出力部35には基板PのID情報、並びに印刷前基板検査情報、印刷位置補正値が取り込まれ、また、画像処理部36には部品認識カメラ115から得られる部品画像、並びに基板認識カメラ145より得られる基板画像がそれぞれ取り込まれるようになっている。   The input / output unit 35 receives the ID information of the substrate P, the pre-printing substrate inspection information, and the print position correction value, and the image processing unit 36 receives the component image obtained from the component recognition camera 115 and the substrate recognition camera 145. Further obtained substrate images are captured.

係るコントローラ180の主制御部181は各装置183〜185を制御しつつ、必要な情報を記憶手段182から読み出し、図2に示すフローチャートに従って、半田が印刷された基板P上に部品を実装させる実装処理を行なう。   The main control unit 181 of the controller 180 reads out necessary information from the storage unit 182 while controlling the devices 183 to 185, and mounts components on the board P printed with solder according to the flowchart shown in FIG. Perform processing.

次に、実装機Z3において実行される部品実装処理について説明する。まず、部品実装の対象となる基板Pは半田印刷装置Z2を搬出された後、コンベア120を介して実装機Z3へと送られる。やがて、基板Pは実装機Z3内に搬入され、基板支持装置(不図示)によって保持される。   Next, a component mounting process executed in the mounting machine Z3 will be described. First, the board P to be mounted with components is unloaded from the solder printing apparatus Z2, and then sent to the mounting machine Z3 via the conveyor 120. Eventually, the substrate P is carried into the mounting machine Z3 and held by a substrate support device (not shown).

その後、主制御部181の指令により各サーボ機構が作動しヘッドユニット140が駆動される。これによりヘッドユニット140に設けられた基板認識カメラ145が基板Pの上方に移動し、基板Pの画像を撮影する。得られた基板画像は画像処理部185に取り込まれ、そこで画像解析がなされる。これにより、基板Pに付されたフィデューシャルマークF1、F2の位置が検出される。また、この基板画像の解析と合わせて、読み取り装置188により基板PのID情報が読み取られる(ステップ200)。   Thereafter, each servo mechanism is actuated by a command from the main controller 181 to drive the head unit 140. As a result, the substrate recognition camera 145 provided in the head unit 140 moves above the substrate P and takes an image of the substrate P. The obtained substrate image is taken into the image processing unit 185 where image analysis is performed. Thereby, the positions of fiducial marks F1, F2 attached to the substrate P are detected. In addition to the analysis of the substrate image, the reading device 188 reads the ID information of the substrate P (step 200).

かくして、基板Pの搬入及び、フィデューシャルマークF1、F2の位置が検出されると、次に、主制御部181の指令により各サーボ機構が作動しヘッドユニット140が、再び駆動される。これにより、ヘッドユニット140とともに吸着ヘッド141が、部品供給部130の部品供給装置150上に移送され、その位置で昇降される。   Thus, when the substrate P is carried in and the positions of the fiducial marks F1 and F2 are detected, each servo mechanism is actuated by the command of the main controller 181 and the head unit 140 is driven again. As a result, the suction head 141 together with the head unit 140 is transferred onto the component supply device 150 of the component supply unit 130 and is moved up and down at that position.

この昇降により、部品のピックアップ動作、すなわち吸着ヘッド141が実装対象の部品を負圧により吸着保持する。その後、ヘッドユニット140が再び駆動され、吸着ヘッド141は部品認識カメラ115上を通過する。このとき、部品認識カメラ115によって撮影が実行され、吸着された部品の部品画像が取得される。得られた部品画像は画像処理部185に取り込まれ、そこで画像解析がなされ、吸着ヘッド141に対する部品の吸着位置ずれが検査される(ステップ210)。   By this elevation, the component pick-up operation, that is, the suction head 141 sucks and holds the component to be mounted with a negative pressure. Thereafter, the head unit 140 is driven again, and the suction head 141 passes over the component recognition camera 115. At this time, imaging is executed by the component recognition camera 115, and a component image of the sucked component is acquired. The obtained component image is captured by the image processing unit 185, where image analysis is performed, and a component suction position shift with respect to the suction head 141 is inspected (step 210).

その後、吸着ヘッド141により吸着された部品は基板P上の部品搭載位置へと移送されるが、その過程で、以下に説明するステップ220、ステップ230の処理が順に実行される。   Thereafter, the component sucked by the suction head 141 is transferred to the component mounting position on the substrate P. In the process, the processes of Step 220 and Step 230 described below are executed in order.

まず、ステップ220では、記憶手段182からID情報、印刷前検査情報及び印刷位置補正値を読み出す処理が行われる。   First, in step 220, processing for reading out the ID information, the pre-printing inspection information, and the print position correction value from the storage unit 182 is performed.

情報の読み出しが完了すると、処理はステップ230に移行される。ステップ230では、基板PのID情報(ステップ200の処理で読み取ったID情報)と、印刷前基板検査情報に付加されたID情報とを照合する処理が実行される。そして、両ID情報が一致していれば、以下の4情報に基づいて部品搭載位置補正値を決定する処理が主制御部181によって実行される。   When the reading of information is completed, the process proceeds to step 230. In step 230, a process of comparing the ID information of the substrate P (ID information read in the process of step 200) with the ID information added to the pre-printing board inspection information is executed. And if both ID information corresponds, the process which determines a component mounting position correction value based on the following 4 information will be performed by the main control part 181. FIG.

(1)印刷前基板検査情報
(2)印刷位置補正値(上記例では、R方向に角度θ1)
(3)基板PのフィデューシャルマークF1、F2の位置
(4)部品の吸着位置のずれ
(1) Pre-printing board inspection information (2) Print position correction value (in the above example, angle θ1 in the R direction)
(3) Position of fiducial marks F1 and F2 on the substrate P (4) Deviation of the suction position of the component

具体的に説明すると、部品搭載位置は基板PのパターンDと印刷された半田とが重なり合った領域上に、部品Bの端子B1、B2が載るように定めるのが最適である。このように部品搭載位置が設定出来れば、パターンDと、半田と、端子B1、B2の3要素が共に重複する重複面積Sが最も広く確保できる(図12参照)。   Specifically, the component mounting position is optimally determined so that the terminals B1 and B2 of the component B are placed on the region where the pattern D of the substrate P and the printed solder overlap. If the component mounting position can be set in this way, the overlapping area S where the pattern D, the solder, and the three elements of the terminals B1 and B2 overlap can be secured most widely (see FIG. 12).

一方、基板P上に形成されるパターンDは設計的には、フィデューシャルマークF1、F2を基準に位置が定められ、半田の印刷位置も、基本的にはフィデューシャルマークF1、F2を基準に決められる。従って、従前では、このマークF1、F2を基準にして、部品搭載位置(図13の(a)参照)を定めていた。係る位置に部品Bを搭載すると、パターンDの実位置が設計基準に合致していれば、そのときには、上記重複面積Sがある程度広く確保できる。   On the other hand, the design of the pattern D formed on the substrate P is determined based on the fiducial marks F1 and F2, and the printing position of the solder is basically the fiducial marks F1 and F2. Determined by standards. Therefore, in the past, the component mounting position (see FIG. 13A) was determined based on the marks F1 and F2. When the component B is mounted at such a position, if the actual position of the pattern D matches the design standard, the overlapping area S can be secured to a certain extent.

しかし、半田印刷装置Z2のところで説明したように、基板P上のパターンDの実位置は、設計基準から位置ずれしている。また、本例ではこの位置ずれを見込んで、半田印刷を行うときに印刷位置を補正してある。従って、図13の(a)に示す基準部品搭載位置に部品Bを搭載しても、重複面積Sを十分に確保することが出来ない。   However, as described in the solder printing apparatus Z2, the actual position of the pattern D on the substrate P is displaced from the design standard. In this example, the printing position is corrected when performing solder printing in consideration of this positional deviation. Therefore, even if the component B is mounted at the reference component mounting position shown in FIG. 13A, the overlapping area S cannot be sufficiently secured.

そのため、係るステップ230の処理では、図13の(a)に示す基準部品搭載位置に対して、パターンDの実位置、半田の印刷位置に合わせた補正処理が加えられる。尚、部品の吸着位置ずれがあれば、この補正処理を行なう際に部品の吸着位置ずれも考慮される。   Therefore, in the process of step 230, a correction process is added to the reference component mounting position shown in FIG. 13A according to the actual position of the pattern D and the solder printing position. If there is a component adsorption position deviation, the component adsorption position deviation is also taken into account when performing this correction process.

図13の(c)には、本実施形態の補正例を示してある。図13の例では、パターンDの設計基準から見て、パターンDの実位置、並びに半田の印刷位置がいずれも図13において右方向に位置ずれしている。   FIG. 13C shows a correction example of this embodiment. In the example of FIG. 13, the actual position of the pattern D and the printing position of the solder are both shifted to the right in FIG.

従って、上記例であれば、同図中に示す距離d1が補正値とされ、図13の(a)の位置から距離d1だけ右方向に位置をずらした図13に示す(c)の位置が補正後の部品搭載位置とされる。この位置では基板PのパターンDと、印刷された半田の双方が丁度重なる領域上に部品Bの端子B1、B2が載せられており、パターンD、半田、端子B1、B2の3要素の重複面積Sが最も広く確保される。   Accordingly, in the above example, the distance d1 shown in FIG. 13 is a correction value, and the position shown in FIG. 13 (c) is shifted to the right by the distance d1 from the position shown in FIG. The corrected component mounting position. At this position, the terminals B1 and B2 of the component B are placed on a region where both the pattern D of the substrate P and the printed solder overlap, and the overlapping area of the three elements of the pattern D, solder, and terminals B1 and B2 S is secured most widely.

尚、本実施形態では基板PのパターンDの実位置を印刷前基板検査情報から得ることとし、半田の印刷位置については印刷位置補正値から得ることとしている。そして主制御部181によって実行されるステップ230の処理により、本発明の「搭載位置補正手段」の果たす処理機能が実現されている。   In the present embodiment, the actual position of the pattern D on the substrate P is obtained from the pre-printing board inspection information, and the printing position of the solder is obtained from the printing position correction value. The processing function performed by the “mounting position correcting means” of the present invention is realized by the processing of step 230 executed by the main control unit 181.

また、図13の(b)には、半田の印刷位置のみを考慮して部品搭載位置を補正した例を比較用として示してある。仮に、このように補正をしてしまうと、基板PのパターンDから部品Bの端子B1、B2が外れてしまい、重複面積Sが狭くなり、本実施形態の作用を得ることはできない。   FIG. 13B shows an example in which the component mounting position is corrected in consideration of only the solder printing position. If the correction is made in this way, the terminals B1 and B2 of the component B are removed from the pattern D of the substrate P, the overlapping area S is narrowed, and the operation of this embodiment cannot be obtained.

かくして、ステップ230における処理が完了すると、続いてステップ240に移行する。ステップ240では、上記ステップ230で算出された補正値分を反映させつつ、主制御部181がモーター制御部183に制御指令を与える。これにより、サーボ機構160が駆動され、基板P上において、補正後の部品搭載位置に部品が搭載される。   Thus, when the process in step 230 is completed, the process proceeds to step 240. In step 240, the main control unit 181 gives a control command to the motor control unit 183 while reflecting the correction value calculated in step 230. As a result, the servo mechanism 160 is driven, and the component is mounted on the substrate P at the corrected component mounting position.

係るステップ230の搭載位置を補正する処理は、基本的には各部品ごとにそれぞれ個別に実施される。その結果、図14に示す基板P上において各部品を搭載不良なく実装出来る。   The process of correcting the mounting position in step 230 is basically performed individually for each component. As a result, each component can be mounted on the substrate P shown in FIG. 14 without mounting defects.

このように、本実施形態では、印刷前に実施した基板の検査情報(印刷前基板検査情報)を実装過程において活用することとした。このようにしてやれば印刷不良、部品の実装不良を低減させることができ、実装過程において製造品質が高まる。   As described above, in this embodiment, the inspection information (substrate inspection information before printing) performed before printing is used in the mounting process. By doing so, printing defects and component mounting defects can be reduced, and the manufacturing quality is increased in the mounting process.

また、本実施形態では、実装機Z3で部品搭載位置補正値を算出する際に半田の印刷位置を加味しているが、これに理論値(印刷位置補正値)を用いている。本来的には、半田が現に印刷された印刷位置を検査し、その結果を実装機Z3に伝送させ、部品搭載位置補正値を算出する際のデータとしてやるのが、部品の搭載精度の面から見ると最良である。   In the present embodiment, the solder mounting position is taken into account when the component mounting position correction value is calculated by the mounting machine Z3. The theoretical value (printing position correction value) is used for this. Originally, from the aspect of component mounting accuracy, the printing position where the solder is actually printed is inspected, the result is transmitted to the mounting machine Z3, and the component mounting position correction value is calculated. It is best to see.

しかしながら、印刷位置の検査を各基板Pごとにそれぞれ行なうと、タクトタイムの短縮化の妨げとなる。この点、本実施形態では、印刷位置の検査結果を理論値(印刷位置補正値)によって代用している。従って、印刷位置の検査を行った場合にほぼ近い部品搭載精度を確保しつつ、タクトタイムの短縮化を図ることが可能となる。   However, if the inspection of the printing position is performed for each substrate P, the tact time is prevented from being shortened. In this respect, in the present embodiment, the inspection result of the printing position is substituted by a theoretical value (printing position correction value). Therefore, it is possible to shorten the tact time while securing the component mounting accuracy that is almost the same as when the print position is inspected.

<実施形態2>
次に、本発明の実施形態2を、図15を参照して説明する。
実施形態1では、印刷前検査装置Z1において、印刷前検査情報としてフィデューシャルマークF1、F2に対するパターンDの実位置のずれを検出することとしたが、実施形態2では、係るパターンDの実位置のずれに加えて、基板P上に付着する異物の有無を検出することとした。そして、印刷前基板検査装置Z1から半田印刷装置Z2に対して、パターンDの実位置のずれに関する情報、並びに異物付着情報を送信する構成とした。
<Embodiment 2>
Next, Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIG.
In the first embodiment, the pre-print inspection apparatus Z1 detects the displacement of the actual position of the pattern D with respect to the fiducial marks F1 and F2 as the pre-print inspection information. However, in the second embodiment, the actual pattern D is detected. In addition to the position shift, the presence or absence of foreign matter adhering to the substrate P is detected. And it was set as the structure which transmits the information regarding the shift | offset | difference of the actual position of the pattern D, and foreign material adhesion information from the board | substrate inspection apparatus Z1 before printing to the solder printing apparatus Z2.

一方、図15に示すように、半田印刷装置Z2には、実施形態1の構成に対して、新たに異物除去装置(本発明の「異物除去手段」に相当)39を設けた。異物除去装置39の構成については、基板P上に付着する異物をピックアップしつつ、これを除去する除去ヘッド(例えば、負圧による吸引力で部品を吸着する吸着ノズルなど)と、除去ヘッドを基板P上の任意の位置に移動させ、かつZ方向に昇降させる駆動手段(不図示)とから構成されてやればよい。   On the other hand, as shown in FIG. 15, the solder printing apparatus Z2 is newly provided with a foreign substance removing device (corresponding to “foreign substance removing means” of the present invention) 39 in addition to the configuration of the first embodiment. Concerning the configuration of the foreign matter removing device 39, a foreign substance adhering to the substrate P is picked up and removed while removing the foreign matter (for example, a suction nozzle for adsorbing parts with a suction force due to negative pressure) and the removal head as a substrate. What is necessary is just to be comprised from the drive means (not shown) which moves to the arbitrary positions on P and raises / lowers to a Z direction.

そして、印刷前基板検査装置Z1から半田印刷装置Z2に異物付着情報が送信された場合には、該当する基板P上の異物を先の異物除去装置39により除去することとした。このような構成であれば、基板Pに異物が付着した状態のまま半田の印刷、部品の実装が実施されるという事態を未然に回避出来るので、製造過程において不良品の発生個数を低減でき、又製造品質も高まる。   Then, when the foreign matter adhesion information is transmitted from the pre-printing board inspection apparatus Z1 to the solder printing apparatus Z2, the foreign substance on the corresponding board P is removed by the previous foreign substance removing apparatus 39. With such a configuration, it is possible to avoid the situation in which solder printing and component mounting are carried out with the foreign matter adhering to the substrate P, so the number of defective products generated in the manufacturing process can be reduced. In addition, manufacturing quality is increased.

<実施形態3>
次に、本発明の実施形態3を図16を参照して説明する。
実施形態1では、実装ラインLの一部を印刷前基板検査装置Z1、半田印刷装置Z2、表面実装機Z3より構成した。これに対して、実施形態3では半田印刷装置Z2、表面実装機Z3の2装置はそのままの残し、印刷前基板検査装置Z1については廃止することとした。
<Embodiment 3>
Next, Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to FIG.
In the first embodiment, a part of the mounting line L is configured by the pre-printing board inspection apparatus Z1, the solder printing apparatus Z2, and the surface mounting machine Z3. On the other hand, in the third embodiment, the solder printing device Z2 and the surface mounter Z3 are left as they are, and the pre-printing board inspection device Z1 is abolished.

このようなライン構成とできるのは、一般に実装ラインLに流される基板Pは部品として納入されるが、基板Pを製造する段階において、基板Pの製造後、基板Pを検査(基板の歪、パターンDの位置などの検査)することが行われる。そこで、係る基板製造時の検査データ、すなわち半田印刷前の基板検査情報をID情報とともにCD−ROMなどの記憶メディアCに記憶させておき、これを半田印刷装置Z2に読み込ませることで、印刷前の基板検査情報を半田印刷装置Z2に与えることが可能となる。   Generally, the board P that is flowed to the mounting line L is delivered as a component, but in the stage of manufacturing the board P, after the board P is manufactured, the board P is inspected (distortion of the board, The position of the pattern D is inspected). Accordingly, inspection data at the time of board manufacture, that is, board inspection information before solder printing is stored in a storage medium C such as a CD-ROM together with ID information, and this is read by the solder printing apparatus Z2 so as to be printed. The board inspection information can be given to the solder printing apparatus Z2.

このように、実装ラインLの先頭に印刷前基板検査装置Z1をわざわざ設置しなくても、印刷前の基板検査情報がありさえすれば、実施形態1と同様の効果、すなわち印刷前基板検査情報を、実装過程において活用することで、印刷不良、部品の実装不良を低減させることができ、実装過程における製造品質が高まる。   As described above, even if the pre-printing board inspection apparatus Z1 is not installed at the head of the mounting line L, as long as there is pre-printing board inspection information, the same effect as that of the first embodiment, that is, pre-printing board inspection information. Is utilized in the mounting process, printing defects and component mounting defects can be reduced, and the manufacturing quality in the mounting process is enhanced.

尚、既に説明してあるが、印刷の対象となる基板P並びに印刷前基板情報はいずれも、ID管理されており、個々の識別が出来るようになっている。従って、記憶メディアCに大量のデータを記憶させても、IDを参照してやれば、印刷の対象となる基板Pに対応する印刷前基板検査情報を誤りなく読み出すことが出来、データに混同が生じない。また、ここでは、印刷前基板検査情報、ID情報を記憶メディアCを通じて半田印刷装置Z2に提供させる構成を例示したが、この他にも、ネットワークを通じて提供させる構成であっても、無論よい。   As already described, the substrate P to be printed and the pre-printing substrate information are both managed by ID, and can be individually identified. Therefore, even if a large amount of data is stored in the storage medium C, if the ID is referred to, the pre-printing board inspection information corresponding to the board P to be printed can be read without error, and the data is not confused. . In addition, here, the configuration in which the pre-printing board inspection information and the ID information are provided to the solder printing apparatus Z2 through the storage medium C is exemplified, but other configurations may be provided through a network.

<実施形態4>
次に、本発明の実施形態4を図17ないし図21を参照して説明する。
実施形態1では、実装ラインLの一部を、印刷前基板検査装置Z1、半田印刷装置Z2、表面実装機Z3より構成した。これに対し実施形態4では、これら装置に接着剤塗布装置(本発明の「塗布装置」の一例)Z4を新たに追加して、印刷前基板検査装置Z1、半田印刷装置Z2、接着剤塗布装置Z4、表面実装機Z3の順に装置を配置して実装ラインLの一部を構成したものである。尚、接着剤(本発明の「塗布液」の一例)はリフロー炉で加熱されたときに固化して、基板Pと部品Bを接着固定するものであり、部品実装が行われる前の段階において、パターンDや部品Bの端子B1、B2などに干渉しない位置に塗布される(図18参照)。
<Embodiment 4>
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the first embodiment, a part of the mounting line L is configured by the pre-printing board inspection apparatus Z1, the solder printing apparatus Z2, and the surface mounting machine Z3. On the other hand, in the fourth embodiment, an adhesive coating device (an example of the “coating device” of the present invention) Z4 is newly added to these devices, and the pre-printing board inspection device Z1, the solder printing device Z2, and the adhesive coating device. A part of the mounting line L is configured by arranging devices in the order of Z4 and the surface mounting machine Z3. The adhesive (an example of the “coating liquid” of the present invention) is solidified when heated in a reflow furnace, and adheres and fixes the substrate P and the component B. In the stage before component mounting is performed. Then, it is applied at a position where it does not interfere with the pattern D, the terminals B1, B2, etc. of the component B (see FIG. 18).

図19には、接着剤塗布装置Z4の概観構成を示してある。接着剤塗布装置Z4は、実装機Z3に類似した構成を有しており、基台210上に、基板Pを搬送するためのコンベア220、並びにヘッドユニット240を設けている。ヘッドユニット240はXYサーボ機構250により、XY方向に駆動(移動)されるようになっている。そして、ヘッドユニット240にはディスペンサヘッド260が搭載されている(図20参照)。   FIG. 19 shows a general configuration of the adhesive application device Z4. The adhesive application device Z4 has a configuration similar to that of the mounting machine Z3, and a conveyor 220 for transporting the substrate P and a head unit 240 are provided on the base 210. The head unit 240 is driven (moved) in the XY directions by an XY servo mechanism 250. A dispenser head 260 is mounted on the head unit 240 (see FIG. 20).

ディスペンサヘッド260は、上記ヘッドユニット240のフレームに対しZ方向(上下方向)の移動及びR軸(鉛直軸)回りの回転が可能とされ、図示省略のZ軸サーボモータ及びR軸サーボモータによりそれぞれ駆動されるようになっている。   The dispenser head 260 can move in the Z direction (up and down direction) and rotate around the R axis (vertical axis) with respect to the frame of the head unit 240, and the Z axis servo motor and the R axis servo motor (not shown) respectively. It is designed to be driven.

上記構成により、ヘッドユニット240を基板Pに対して相対的に移動させながらディスペンサヘッド260を所定位置まで移送させ、その後、ディスペンサヘッド260を昇降させつつ、ディスペンサヘッド260の先端に設けられたノズル261の先端からペースト状の接着剤を押出すことで、基板P上に接着剤を塗布する。   With the above-described configuration, the nozzle unit 261 provided at the tip of the dispenser head 260 is moved while the dispenser head 260 is moved to a predetermined position while the head unit 240 is moved relative to the substrate P, and then the dispenser head 260 is moved up and down. The adhesive is applied onto the substrate P by extruding a paste adhesive from the tip of the substrate.

また、この接着剤塗布装置Z4のヘッドユニット240にも実装機Z3と同様に、基板Pに付されたフィデューシャルマークF1、F2を認識するための基板認識カメラ270が搭載されている。   Also, a substrate recognition camera 270 for recognizing fiducial marks F1 and F2 attached to the substrate P is mounted on the head unit 240 of the adhesive application device Z4 as in the mounting machine Z3.

これにより、接着剤の塗布動作に先立ち、基板P上のフィデューシャルマークF1、F2の位置を検出し、得られたフィデューシャルマークF1、F2の位置と、半田印刷装置Z2から送信される以下の3つの情報に基づいて、実施形態1で説明したのと同じ要領で、接着剤の塗布位置を補正することとしている(ステップ150、ステップ160)。   Accordingly, prior to the adhesive application operation, the positions of the fiducial marks F1 and F2 on the substrate P are detected, and the positions of the obtained fiducial marks F1 and F2 are transmitted from the solder printing apparatus Z2. Based on the following three pieces of information, the adhesive application position is corrected in the same manner as described in the first embodiment (step 150 and step 160).

(1)ID情報
(2)印刷前基板検査情報
(3)印刷位置補正値
(1) ID information (2) Pre-printing board inspection information (3) Print position correction value

このような構成とすることで、パターンDの位置ずれ、印刷位置補正値が接着剤の塗布に反映される結果、パターンD上、あるいは印刷位置上に接着剤が塗布されてしまうなどの不具合を未然に回避でき、又接着剤を基板P上の最適の位置に精度良く塗布することが出来る(ステップ170)。そして、接着剤の塗布が完了すると、ステップ180の処理が実行され、以下の4つの情報が、接着剤塗布装置Z4から実装機Z3に送信される。   By adopting such a configuration, the positional deviation of the pattern D and the printing position correction value are reflected in the application of the adhesive, and as a result, the adhesive is applied on the pattern D or the printing position. This can be avoided in advance, and the adhesive can be accurately applied to the optimum position on the substrate P (step 170). When the application of the adhesive is completed, the process of step 180 is executed, and the following four pieces of information are transmitted from the adhesive application device Z4 to the mounting machine Z3.

(1)ID情報
(2)印刷前基板検査情報
(3)印刷位置補正値
(4)接着剤塗布補正値
(1) ID information (2) Pre-printing board inspection information (3) Print position correction value (4) Adhesive application correction value

このように、ID情報、印刷前基板検査情報、印刷位置補正値に加えて、接着剤補正値についても実装機Z3に送信させてやれば、接着剤補正値も含めた部品搭載位置の補正が可能となるので、緻密な部品実装動作が実現できる。   As described above, if the adhesive correction value is transmitted to the mounting machine Z3 in addition to the ID information, the pre-printing board inspection information, and the printing position correction value, the component mounting position including the adhesive correction value is corrected. As a result, a precise component mounting operation can be realized.

<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
<Other embodiments>
The present invention is not limited to the embodiments described with reference to the above description and drawings. For example, the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention, and further, within the scope not departing from the gist of the invention other than the following. Various modifications can be made.

(1)実施形態1ないし実施形態4では、印刷前基板検査情報などの情報をいずれも、上流側の装置から下流側の装置に向けて順々に送信させてゆく構成をとった。しかし、印刷前基板検査情報、並びに他の装置において補正をした情報を、なんらかの方法でラインを構成する各装置が共有できるようにシステムが構築されていればよく、例えば、図22に示すように、ライン全体を監視する管理コンピュータ400を設置して、上記各情報を管理コンピュータ400によって集中的に管理するようにしてもよい。このようにシステムを構築したものが、本発明で言うところの、他を経由して間接的に情報を伝送させるに相当する。   (1) In the first to fourth embodiments, the information such as the pre-printing substrate inspection information is sequentially transmitted from the upstream device to the downstream device. However, it is only necessary that the system is constructed so that each apparatus constituting the line can share the pre-printing board inspection information and the information corrected in other apparatuses by some method. For example, as shown in FIG. Alternatively, a management computer 400 that monitors the entire line may be installed, and the above-described information may be centrally managed by the management computer 400. A system constructed in this way corresponds to the transmission of information indirectly through others, as used in the present invention.

(2)図23のものは、実施形態4の構成に対して半田検査装置Z5を追加し、半田の印刷位置を実測するようにしたものである。そして、実測された半田の印刷位置より設計基準に対する印刷位置のズレ量が算出され、これを接着剤塗布装置Z4ひいては、実装機Z3に送信するようにしたものである。このようにすれば、半田の実際の印刷位置を接着剤の塗布、部品の実装に反映させることが可能となる。   (2) The thing of FIG. 23 adds the solder test | inspection apparatus Z5 with respect to the structure of Embodiment 4, and measures the printing position of solder. Then, a deviation amount of the printing position with respect to the design standard is calculated from the actually measured printing position of the solder, and this is transmitted to the adhesive application device Z4 and, consequently, to the mounting machine Z3. In this way, the actual printing position of the solder can be reflected in the application of the adhesive and the mounting of the component.

実施形態1に適用された実装ラインのライン構成を示す図The figure which shows the line structure of the mounting line applied to Embodiment 1. FIG. ラインを構成する各装置で実行される処理の流れを示すフローチャート図The flowchart figure which shows the flow of the process performed with each apparatus which comprises a line 基板Pの平面図Plan view of substrate P 半田印刷装置の要部を示す断面図Sectional view showing the main parts of the solder printer 設計基準、基板、メタルマスクの平面図(基板P、マスクの歪を示す)Plan view of design standard, substrate, and metal mask (shows substrate P and mask distortion) 半田印刷装置の電気的構成を示すブロック図Block diagram showing the electrical configuration of the solder printer 基板とマスクをフィデューシャルマークを基準に重ねた状態を示す図The figure which shows the state which piled up the substrate and the mask on the basis of fiducial mark 図7に示す位置から、パターンと印刷用開口部のずれが小さくなるように位置調整した状態を示す図The figure which shows the state adjusted position so that the shift | offset | difference of a pattern and the opening part for printing may become small from the position shown in FIG. 実装機の平面図Top view of mounting machine ヘッドユニット、並びにその周辺部を拡大した図Enlarged view of the head unit and its surroundings 実装機の電気的構成を示すブロック図Block diagram showing the electrical configuration of the mounting machine 重複面積Sの説明図Illustration of overlapping area S (a)部品の搭載位置を示す図(基準) (b)部品の搭載位置を示す図(印刷位置のみ考慮した場合) (c)部品の搭載位置を示す図(印刷位置と、パターンの実位置の双方を考慮した場合)(A) Diagram showing component mounting position (reference) (b) Diagram showing component mounting position (when only printing position is considered) (c) Diagram showing component mounting position (print position and actual pattern position) When both are considered) 基板上に部品が搭載された状態を示す図The figure which shows the state where components are mounted on the board 実施形態2における、半田塗布装置の電気的構成を示すブロック図The block diagram which shows the electric constitution of the solder application apparatus in Embodiment 2. 実施形態3における、実装ラインのライン構成を示す図The figure which shows the line structure of the mounting line in Embodiment 3. 実施形態4における、実装ラインのライン構成を示す図The figure which shows the line structure of the mounting line in Embodiment 4. 接着剤の塗布位置を示す図Diagram showing adhesive application position 接着剤塗布装置の平面図Top view of adhesive applicator ヘッドユニット、並びにその周辺部の拡大図Enlarged view of the head unit and its surroundings 実装ラインを構成する各装置の処理の流れを示すフローチャート図The flowchart figure which shows the flow of a process of each apparatus which comprises a mounting line. 他の実施形態を示す図The figure which shows other embodiment 他の実施形態を示す図The figure which shows other embodiment

符号の説明Explanation of symbols

3…基板支持ユニット(本発明の「相対駆動手段」の一例)
4…保持部(本発明の「保持手段」の一例)
31…主制御部(本発明の「印刷位置補正手段」の一例、「第二制御手段」の一例)
141…実装ヘッド
180…コントローラ
181…主制御部(本発明の「搭載位置補正手段」の一例、「第一制御手段」の一例)
B…部品
D…パターン
P…基板
M…メタルマスク
L…実装ライン
Z1…印刷前基板検査装置
Z2…半田印刷装置(本発明の「スクリーン印刷装置」の一例)
Z3…実装機
Z4…接着剤塗布装置(本発明の「塗布装置」の一例)
3 ... Substrate support unit (an example of "relative drive means" of the present invention)
4 ... holding part (an example of the "holding means" of the present invention)
31... Main control section (an example of “printing position correction means” of the present invention, an example of “second control means”)
141... Mounting head 180... Controller 181... Main controller (an example of “mounting position correcting means” and an example of “first control means” in the present invention)
B ... Part D ... Pattern P ... Board M ... Metal mask L ... Mounting line Z1 ... Pre-printing board inspection device Z2 ... Solder printing device (an example of "screen printing device" of the present invention)
Z3 ... Mounting machine Z4 ... Adhesive coating device (an example of "coating device" of the present invention)

Claims (10)

実装ヘッドと、前記実装ヘッドを駆動させるヘッド駆動手段とを備え、印刷が施された基板上の部品搭載位置まで前記実装ヘッドによって部品を移送させて実装する表面実装機であって、
前記印刷が行われる前に基板検査した印刷前基板検査情報と、前記印刷の位置に関する印刷位置情報とに基づいて、前記部品搭載位置を補正する搭載位置補正手段と、
前記補正後の部品搭載位置に基づいて前記ヘッド駆動手段を制御する第一制御手段とを備えたことを特徴とする表面実装機。
A surface mounting machine comprising a mounting head and a head driving means for driving the mounting head, wherein the mounting head moves and mounts components to a component mounting position on a printed board,
A mounting position correcting means for correcting the component mounting position based on pre-printing board inspection information obtained by inspecting the board before the printing is performed, and printing position information relating to the printing position;
A surface mounter comprising: first control means for controlling the head driving means based on the corrected component mounting position.
前記印刷前基板検査情報は、基板上に形成される電極の位置情報であることを特徴とする請求項1に記載の表面実装機。 The surface mounting machine according to claim 1, wherein the pre-printing board inspection information is position information of electrodes formed on the board. 印刷用開口部をもつマスクと、被印刷物である基板を保持する保持手段と、これらマスクと保持手段とを相対的に移動させる相対駆動手段とを備え、前記相対駆動手段の作動により前記保持手段に保持された基板と前記マスクとを重装させつつ前記基板上に印刷を行うスクリーン印刷装置であって、
前記基板に対する印刷位置を、前記印刷が行われる前に基板検査した印刷前基板検査情報に基づいて補正する印刷位置補正手段と、
補正後の印刷位置に基づいて前記相対駆動手段を制御する第二制御手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
A mask having a printing opening; holding means for holding a substrate which is a substrate to be printed; and relative driving means for relatively moving the mask and the holding means. The holding means is operated by the operation of the relative driving means. A screen printing apparatus that performs printing on the substrate while stacking the substrate held on the substrate and the mask,
A printing position correcting unit that corrects the printing position with respect to the substrate based on pre-printing substrate inspection information obtained by inspecting the substrate before the printing is performed;
A screen printing apparatus comprising: a second control unit that controls the relative driving unit based on a corrected printing position.
前記印刷前基板検査情報は、基板上に形成される電極の位置情報であることを特徴とする請求項3に記載のスクリーン印刷装置。 The screen printing apparatus according to claim 3, wherein the pre-printing board inspection information is position information of electrodes formed on the board. 前記印刷位置補正手段は、前記電極の配置パターンが微細な領域を他の領域に比べて優先させて前記補正を行なうことを特徴とする請求項3又は請求項4に記載のスクリーン印刷装置。 5. The screen printing apparatus according to claim 3, wherein the printing position correction unit performs the correction by giving priority to a region in which the electrode arrangement pattern is fine as compared with other regions. 前記印刷前基板検査情報は、基板上に付着される異物付着情報であることを特徴とする請求項3ないし請求項5のいずれか一項に記載のスクリーン印刷装置。 6. The screen printing apparatus according to claim 3, wherein the pre-printing board inspection information is foreign matter adhesion information attached on a substrate. 前記基板上に付着される異物を除去する異物除去手段を備えることを特徴とする請求項6に記載のスクリーン印刷装置。 The screen printing apparatus according to claim 6, further comprising a foreign matter removing unit that removes the foreign matter attached to the substrate. 撮像手段から得られる基板画像に基づいて印刷前基板検査情報を取得する基板検査情報取得手段を有する印刷前基板検査装置と、
請求項3ないし請求項7のいずれか一項に記載のスクリーン印刷装置と、
請求項1又は請求項2に記載の表面実装機と、を製造ラインに沿って順々に配置し、
前記印刷前基板検査装置によって前記基板を検査した後、検査後の基板を前記スクリーン印刷装置に送って所定の印刷処理を施し、印刷処理の施された基板を前記表面実装機に送って部品を実装させる実装ラインであって、
前記印刷前基板検査装置から前記スクリーン印刷装置並びに前記表面実装機に対して、直接的あるいは他を経由して間接的に前記印刷前基板情報が伝送され、
前記スクリーン印刷装置から前記表面実装機に、直接的あるいは他を経由して間接的に前記補正後の印刷位置に関する印刷位置情報が伝送される構成としてあることを特徴とする実装ライン。
A pre-printing board inspection apparatus having board inspection information acquisition means for acquiring pre-printing board inspection information based on a substrate image obtained from an imaging means;
A screen printing apparatus according to any one of claims 3 to 7,
The surface mounter according to claim 1 or claim 2 is arranged in order along the production line,
After the substrate is inspected by the pre-printing substrate inspection apparatus, the inspected substrate is sent to the screen printing apparatus to perform a predetermined printing process, and the printed board is sent to the surface mounter. An implementation line to be implemented,
The pre-print board information is transmitted from the pre-print board inspection apparatus to the screen printing apparatus and the surface mounter, either directly or indirectly via another,
A mounting line characterized in that printing position information related to the corrected printing position is transmitted from the screen printing apparatus to the surface mounting machine directly or indirectly via another.
前記基板に読み取り可能であって、基板個々を識別するための固有情報が予め付与されたものにおいて、
前記印刷前基板検査装置、前記スクリーン印刷装置、前記表面実装機のそれぞれに前記固有情報を読み取り可能な読み取り手段を設置するとともに、実装ラインを構成する各装置間における情報の授受が、前記固有情報と対応付けした態様で実行される構成としたことを特徴とする請求項8に記載の実装ライン。
In what is readable to the substrate and is given in advance a unique information for identifying each substrate,
The pre-printing board inspection apparatus, the screen printing apparatus, and the surface mounter are each provided with reading means capable of reading the specific information, and information exchange between each apparatus constituting a mounting line is performed by the specific information. The mounting line according to claim 8, wherein the mounting line is configured to be executed in a manner associated with the mounting line.
塗布液を吐出するディスペンサヘッドと、前記ディスペンサヘッドを駆動させるヘッド駆動手段とを備え、印刷が施された基板上の塗布位置に前記ディスペンサヘッドを移送させて塗布液を塗布する塗布装置を、前記スクリーン印刷装置と前記表面実装機との間に配置して製造ラインを構築したことを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の実装ライン。 An applicator comprising: a dispenser head that discharges a coating liquid; and a head driving unit that drives the dispenser head; and a coating apparatus that applies the coating liquid by transferring the dispenser head to a coating position on a printed substrate. The mounting line according to claim 8 or 9, wherein a manufacturing line is constructed by arranging between a screen printing apparatus and the surface mounting machine.
JP2007030975A 2007-02-09 2007-02-09 Surface mounting machine, screen printing device and mounting line Pending JP2008198730A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007030975A JP2008198730A (en) 2007-02-09 2007-02-09 Surface mounting machine, screen printing device and mounting line

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007030975A JP2008198730A (en) 2007-02-09 2007-02-09 Surface mounting machine, screen printing device and mounting line

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008198730A true JP2008198730A (en) 2008-08-28

Family

ID=39757423

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007030975A Pending JP2008198730A (en) 2007-02-09 2007-02-09 Surface mounting machine, screen printing device and mounting line

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008198730A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010003824A (en) * 2008-06-19 2010-01-07 Fuji Mach Mfg Co Ltd Electronic circuit producing method and system
JP2010118388A (en) * 2008-11-11 2010-05-27 Yamaha Motor Co Ltd Component mounting method and system
JP2010118389A (en) * 2008-11-11 2010-05-27 Yamaha Motor Co Ltd Component mounting method and system
JP2011151222A (en) * 2010-01-22 2011-08-04 Yamaha Motor Co Ltd Printer and printing method
JP2012199476A (en) * 2011-03-23 2012-10-18 Panasonic Corp Adhesive applicator
WO2013046542A1 (en) * 2011-09-27 2013-04-04 パナソニック株式会社 Electronic component mounting system
JP2019209596A (en) * 2018-06-05 2019-12-12 ヤマハ発動機株式会社 Printer and method for use of printer

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0199286A (en) * 1987-10-13 1989-04-18 Mitsubishi Electric Corp Screen printing
JPH07263899A (en) * 1994-03-22 1995-10-13 Sanyo Electric Co Ltd Part assemblying device
JPH07321492A (en) * 1994-05-24 1995-12-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd Quality control method for component mounting equipment
JP2000233488A (en) * 1999-02-17 2000-08-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Substrate alignment method in screen printing
JP2005050840A (en) * 2003-07-29 2005-02-24 Hitachi Kokusai Electric Inc Component mounting method
JP2006319378A (en) * 2006-09-05 2006-11-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electronic component mounting system and electronic component mounting method

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0199286A (en) * 1987-10-13 1989-04-18 Mitsubishi Electric Corp Screen printing
JPH07263899A (en) * 1994-03-22 1995-10-13 Sanyo Electric Co Ltd Part assemblying device
JPH07321492A (en) * 1994-05-24 1995-12-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd Quality control method for component mounting equipment
JP2000233488A (en) * 1999-02-17 2000-08-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Substrate alignment method in screen printing
JP2005050840A (en) * 2003-07-29 2005-02-24 Hitachi Kokusai Electric Inc Component mounting method
JP2006319378A (en) * 2006-09-05 2006-11-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electronic component mounting system and electronic component mounting method

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010003824A (en) * 2008-06-19 2010-01-07 Fuji Mach Mfg Co Ltd Electronic circuit producing method and system
JP2010118388A (en) * 2008-11-11 2010-05-27 Yamaha Motor Co Ltd Component mounting method and system
JP2010118389A (en) * 2008-11-11 2010-05-27 Yamaha Motor Co Ltd Component mounting method and system
JP2011151222A (en) * 2010-01-22 2011-08-04 Yamaha Motor Co Ltd Printer and printing method
JP2012199476A (en) * 2011-03-23 2012-10-18 Panasonic Corp Adhesive applicator
WO2013046542A1 (en) * 2011-09-27 2013-04-04 パナソニック株式会社 Electronic component mounting system
US9332684B2 (en) 2011-09-27 2016-05-03 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Electronic component mounting system
JP2019209596A (en) * 2018-06-05 2019-12-12 ヤマハ発動機株式会社 Printer and method for use of printer
JP7082526B2 (en) 2018-06-05 2022-06-08 ヤマハ発動機株式会社 Printing equipment and how to use the printing equipment

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3965288B2 (en) Substrate work result inspection device
KR101260429B1 (en) Electronic component mounting system electronic component placing apparatus and electronic component mounting method
US7841079B2 (en) Electronic component mounting system and electronic component mounting method
JP5884015B2 (en) Electronic component mounting system
KR20080108421A (en) Electronic component mounting system, mounting condition inspection device and electronic component mounting method
JP5392303B2 (en) Electronic component mounting system and mounting board manufacturing method in electronic component mounting system
JP2008198730A (en) Surface mounting machine, screen printing device and mounting line
JP4898753B2 (en) Component mounting system, component mounting method, substrate sticking state detection device, operation condition data creation device, substrate sticking device, component mounting device, and inspection device
JP4353100B2 (en) Electronic component mounting system and electronic component mounting method
JP4871234B2 (en) Abnormality detection method and apparatus for component mounting apparatus
JP4629584B2 (en) Mounting system and electronic component mounting method
JP2006202804A (en) Electronic component mounting system, electronic component mounting apparatus, and electronic component mounting method
JP4237158B2 (en) Mounting board manufacturing apparatus and manufacturing method
JP4932684B2 (en) Processing machine and substrate production line
JP2006108200A (en) Solder printing system
JP2010118389A (en) Component mounting method and system
JP4379348B2 (en) Electronic component mounting system and electronic component mounting method
JP4685066B2 (en) Printing device
JP4852456B2 (en) Mounting line and mounting method
JP4364333B2 (en) Screen printing method
JP4995788B2 (en) Component mounting system, component mounting method, printing condition data creation device and printing machine
JP2009123891A (en) Board inspection apparatus and component mounting system
JP7233974B2 (en) Component mounting equipment and component mounting system
JP4781945B2 (en) Substrate processing method and component mounting system
CN113508652A (en) Component mounting device and component mounting method, mounting substrate manufacturing system and mounting substrate manufacturing method, and mounted component inspection device

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20091026

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20091026

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100125

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110819

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110825

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111017

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20120313