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JP2008170757A - Display device and electronic equipment equipped therewith - Google Patents

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JP2008170757A
JP2008170757A JP2007004311A JP2007004311A JP2008170757A JP 2008170757 A JP2008170757 A JP 2008170757A JP 2007004311 A JP2007004311 A JP 2007004311A JP 2007004311 A JP2007004311 A JP 2007004311A JP 2008170757 A JP2008170757 A JP 2008170757A
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JP
Japan
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substrate
capacitor
display
power supply
display device
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Withdrawn
Application number
JP2007004311A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yutaka Kobashi
裕 小橋
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Epson Imaging Devices Corp
Original Assignee
Epson Imaging Devices Corp
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a liquid crystal display device which does not increase a peripheral edge area while containing a condenser necessary for a power source circuit in a glass substrate. <P>SOLUTION: The liquid crystal display device 910 is equipped with a display panel 911 which composed of an active matrix substrate 101 and a counter substrate 912 arranged to face the substrate, a power source circuit 304 which is arranged on the display panel for generating the prescribed power source potential from the power source potential inputted from an external power source circuit 784, and a plug-in capacitor 501 connected to the power source circuit or a bypass condenser 502. The active matrix substrate 101 has an overhang part 927 which protrudes from the portion where the active matrix substrate 101 faces the counter substrate 912. The condenser connected to the power source circuit is formed in the overhang part 927. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、表示装置に関し、特に、対向配置された2枚の基板から構成された表示装置であって、該基板に電源回路を形成した表示装置とこれを搭載した電子機器に関する。   The present invention relates to a display device, and more particularly, to a display device including two substrates disposed opposite to each other, and to a display device in which a power supply circuit is formed on the substrate and an electronic apparatus equipped with the display device.

近年、低温ポリシリコン薄膜形成技術を用いてガラス基板上に薄膜トランジスタ(TFT)回路を形成する、いわゆるSystem On Glass(SOG)技術がさかんに開発されており、量産されつつあるが、表示装置においてガラス基板上に内蔵することでメリットの大きい回路としてDCDCコンバータ回路があげられる。すなわち、外部回路からは比較的低電圧(例えば5V未満)の電源及び信号のみをガラス基板上の回路にあたえ、ガラス基板上のDCDCコンバータ回路によって比較的高電圧(例えば8V以上)の電源を生成し、ガラス基板上の回路に供給するのである。このような構成によって外部回路を構成するICを中低耐圧プロセスで製造することができるのでコストが安くなる。   In recent years, so-called System On Glass (SOG) technology for forming a thin film transistor (TFT) circuit on a glass substrate using a low-temperature polysilicon thin film forming technology has been developed and is being mass-produced. A DC / DC converter circuit can be cited as a circuit having great merit by being built in the substrate. That is, only a relatively low voltage (eg, less than 5V) power supply and signal are applied to the circuit on the glass substrate from the external circuit, and a relatively high voltage (eg, 8V or more) power supply is generated by the DCDC converter circuit on the glass substrate. Then, it is supplied to the circuit on the glass substrate. With such a configuration, an IC constituting an external circuit can be manufactured by a medium and low withstand voltage process, so that the cost is reduced.

DCDCコンバータ回路としては現在、チャージポンプ回路が最もよく用いられている。チャージポンプ回路はポンピングパルス信号で駆動されるフライングキャパシタと出力電源を安定化させるバイパスコンデンサの2種類のコンデンサを必要とするが、これらのコンデンサは、従来、外付け部品としてガラス基板の外部に実装されていた。このような構成例として特許文献1などがあげられる。   At present, a charge pump circuit is most often used as a DCDC converter circuit. The charge pump circuit requires two types of capacitors: a flying capacitor driven by a pumping pulse signal and a bypass capacitor that stabilizes the output power supply. These capacitors are conventionally mounted outside the glass substrate as external components. It had been. Patent document 1 etc. are mention | raise | lifted as such a structural example.

特開2004−226786号公報JP 2004-226786 A

コンデンサをガラス基板外に外付けすることは部品点数の増加および実装工数の増加などによるコストアップに繋がり、また、実装端子数も増えることから信頼性上も好ましくない。   Externally attaching the capacitor to the outside of the glass substrate leads to an increase in cost due to an increase in the number of components and an increase in the number of mounting steps, and the number of mounting terminals also increases, which is not preferable in terms of reliability.

しかしながら、DCDCコンバータ回路が安定してかつ効率的に動作するためにはフライングキャパシタ及びバイパスコンデンサの容量は一定以上必要であって、消費電力等により異なるが少なくとも数10pFから多い場合は数μFの容量が必要になる。このように大きなサイズのコンデンサをSOG技術によりガラス基板上の周縁部に形成すると非常に大きな面積が必要となるため、表示装置の周縁部のサイズが増大するという問題を従来の技術では有していた。   However, in order for the DCDC converter circuit to operate stably and efficiently, the capacitances of the flying capacitor and the bypass capacitor are required to be above a certain level, and differ depending on the power consumption etc. Is required. When a capacitor having such a large size is formed on the periphery of the glass substrate by the SOG technique, a very large area is required, and the conventional technology has a problem that the size of the periphery of the display device increases. It was.

また、バイパスコンデンサは出力電圧安定化のため大きな容量を必要とする一方で周波数特性はさほど要求されないが、フライングキャパシタはポンピングパルス信号によって駆動されるため周波数特性が重要であるため、この2種類のコンデンサを、互いの要求を同時に満たして同じガラス基板上に形成することが困難であった。   The bypass capacitor requires a large capacity for stabilizing the output voltage, but the frequency characteristic is not so much required. However, since the flying capacitor is driven by the pumping pulse signal, the frequency characteristic is important. It was difficult to form the capacitors on the same glass substrate while satisfying each other's requirements at the same time.

本発明のある態様の表示装置によれば、表示用第1基板(アクティブマトリクス基板101)と、前記表示用第1基板に対向して配置された表示用第2基板(対向基板912)からなる表示パネル(表示パネル911)と、前記表示パネルに配置され、該パネル外部(外部電源回路784)から入力された電源電位から所定の電源電位を生成する電源回路(電源回路304)と、前記電源回路に接続されるコンデンサ(フライングキャパシタ501及び又はバイパスコンデンサ502)とを備えた表示装置(液晶表示装置910)であって、前記表示用第1基板は、前記表示用第2基板が対向配置された部分から突出した張り出し部(張り出し部927)を有し、前記電源回路に接続されるコンデンサは、前記張り出し部に形成されている。   According to the display device of an aspect of the present invention, the display device includes the first display substrate (active matrix substrate 101) and the second display substrate (counter substrate 912) disposed to face the first display substrate. A display panel (display panel 911), a power supply circuit (power supply circuit 304) that is disposed on the display panel and generates a predetermined power supply potential from a power supply potential input from outside the panel (external power supply circuit 784), and the power supply A display device (liquid crystal display device 910) including a capacitor (flying capacitor 501 and / or bypass capacitor 502) connected to a circuit, wherein the first substrate for display is arranged so that the second substrate for display is opposed to the display device. And a capacitor connected to the power supply circuit is formed on the protruding portion.

表示用第2基板が邪魔にならないために実装端子(第1の実装端子320−1)やマーク類(パネル番号マーク部510及び又は位置合わせ用アライメントマーク511,511B)が配置される張り出し部にコンデンサを配置すれば、表示装置の周縁部を増大させること無くコンデンサを表示用第1基板上に形成できる。   Since the second substrate for display does not get in the way, the overhanging portion where the mounting terminal (first mounting terminal 320-1) and marks (panel number mark portion 510 and / or alignment mark 511, 511B for alignment) are arranged If the capacitor is arranged, the capacitor can be formed on the first substrate for display without increasing the peripheral edge of the display device.

より具体的には前記張り出し部(張り出し部927)にはICもしくは可撓性基板(FPC(可撓性基板)928)を実装するための実装端子(信号入力端子(実装端子群)320B)を備え、前記コンデンサ(第5のフライングキャパシタ501B−1〜第8のフライングキャパシタ501B−4及び又は第3のバイパスコンデンサ502B−1、第4のバイパスコンデンサ502B−2)は前記実装端子(第5の実装端子320B−3〜第8の実装端子320B−6及び又は第3の実装端子320B−1、第4の実装端子320B−2)と平面的に重なった領域に形成されてなる。またあるいは、前記張り出し部には個別識別のためのパネル番号マーク(パネル番号マーク部510)を備え、前記コンデンサ(第1のバイパスコンデンサ502−1、第2のバイパスコンデンサ502−2)は前記パネル番号マーク(パネル番号マーク部510、除去部510A)と平面的に重なった領域に形成されてなる。またあるいは、光学的にアライメントをとるためのアライメントマーク(位置合わせ用アライメントマーク511,511B)を備え、前記コンデンサ(第1のフライングキャパシタ501−1)は前記アライメントマーク(位置合わせ用アライメントマーク511,511B)と平面的に重なった領域に形成されてなる。さらに具体的にはアライメントマークとは前記張り出し部にはICもしくは可撓性基板を実装する際の合わせマークである。   More specifically, a mounting terminal (signal input terminal (mounting terminal group) 320B) for mounting an IC or a flexible substrate (FPC (flexible substrate) 928) is provided on the projecting portion (projecting portion 927). The capacitors (the fifth flying capacitor 501B-1 to the eighth flying capacitor 501B-4 and / or the third bypass capacitor 502B-1 and the fourth bypass capacitor 502B-2) are connected to the mounting terminal (the fifth The mounting terminals 320B-3 to the eighth mounting terminal 320B-6 and / or the third mounting terminal 320B-1 and the fourth mounting terminal 320B-2) are formed in a region overlapping in plan view. Alternatively, the overhanging portion is provided with a panel number mark (panel number mark portion 510) for individual identification, and the capacitors (first bypass capacitor 502-1 and second bypass capacitor 502-2) are arranged on the panel. It is formed in a region that overlaps with the number mark (panel number mark portion 510, removal portion 510A) in a plane. Alternatively, an alignment mark (alignment alignment mark 511, 511B) for optical alignment is provided, and the capacitor (first flying capacitor 501-1) includes the alignment mark (alignment alignment mark 511, 511B) is formed in a region overlapping with the plane. More specifically, the alignment mark is an alignment mark when an IC or a flexible substrate is mounted on the projecting portion.

このような構成により、張り出し部の面積増大を抑えつつ、コンデンサを表示用第1基板上に形成できるのである。また、実装端子部とコンデンサを重ねて配置する場合、コンデンサの配線が必要なく、あるいは最小経路で済むために電源回路の効率が高くなるというメリットも有す。   With such a configuration, the capacitor can be formed on the first substrate for display while suppressing an increase in the area of the projecting portion. Further, when the mounting terminal portion and the capacitor are arranged in an overlapping manner, there is an advantage that the wiring of the capacitor is not required or the efficiency of the power supply circuit is increased because a minimum path is sufficient.

また本発明の他の態様の表示装置によれば、表示用第1基板と、前記表示用第1基板に対向して配置された表示用第2基板からなる表示パネルと、前記表示パネルに配置され、周期的に両端の電位が変動するフライングコンデンサをポンピング動作(ポンピングパルス信号PCLK)することで外部から入力された電源電位から所定の電源電位を生成するチャージポンプ回路からなる電源回路と、前記電源回路からの出力電源電位に接続され、前記出力電源電位を安定させるためのバイパスコンデンサと、前記表示用第1基板と表示用第2基板とが対向配置された部分から突出した前記表示用第1基板の張り出し部とを備えた表示装置であって、前記フライングコンデンサおよびバイパスコンデンサは、前記表示用第1基板上に前記低温ポリシリコン薄膜形成技術により積層形成され、前記フライングコンデンサと前記バイパスコンデンサは、互いに異なった層を導電膜(上層配線501B(データ線202を構成するアルミ・ネオジウム合金薄膜(AlNd)と同一の膜)、下層配線501A(容量線203を構成するモリブデン薄膜(Mo)と同一の膜)、上層配線502B(走査線201及び容量線203を構成するモリブデン薄膜(Mo)と同一の膜)、下層配線502A(画素スイッチング素子401−n−mを構成するシリコンアイランド602と同一の膜))およびまたは絶縁膜(容量絶縁膜501C(層間絶縁膜と同一の膜)、容量絶縁膜502C(ゲート絶縁膜と同一の膜))としたものである。   According to another aspect of the display device of the present invention, a display panel including a first display substrate, a second display substrate disposed to face the first display substrate, and the display panel. A power supply circuit comprising a charge pump circuit that generates a predetermined power supply potential from a power supply potential input from the outside by pumping a flying capacitor (pumping pulse signal PCLK) whose potential at both ends periodically varies; A display capacitor connected to an output power supply potential from a power supply circuit and protruding from a portion where a bypass capacitor for stabilizing the output power supply potential and the first substrate for display and the second substrate for display are arranged to face each other. And a flying capacitor and a bypass capacitor on the first substrate for display. The flying capacitor and the bypass capacitor are stacked by a recon thin film forming technique, and the flying capacitor and the bypass capacitor are formed of different conductive layers (upper layer wiring 501B (the same film as the aluminum neodymium alloy thin film (AlNd) constituting the data line 202), Lower layer wiring 501A (the same film as the molybdenum thin film (Mo) constituting the capacitor line 203), upper layer wiring 502B (the same film as the molybdenum thin film (Mo) constituting the scanning line 201 and the capacitor line 203), lower layer wiring 502A ( And the insulating film (capacitor insulating film 501C (the same film as the interlayer insulating film)) and the capacitive insulating film 502C (the same as the gate insulating film). Membrane)).

このような構成により、バイパスコンデンサ(バイパスコンデンサ502)を構成する絶縁膜(容量絶縁膜502C)は一般的に100nm以下と極めて薄いトランジスタのゲート絶縁膜と同一の膜を用いることができるために容量を増大させることが容易である一方、フライングキャパシタ(フライングキャパシタ501)の電極を構成する膜は全て金属膜(上層配線501B(モリブデン薄膜(Mo))、下層配線501A(アルミ・ネオジウム合金薄膜(AlNd)))で構成できるため、周波数特性が良好になり、それぞれの特性に最適なコンデンサを形成することができるのである。   With such a configuration, the insulating film (capacitor insulating film 502C) constituting the bypass capacitor (bypass capacitor 502) can generally use the same film as the gate insulating film of an extremely thin transistor of 100 nm or less. However, all of the films constituting the electrodes of the flying capacitor (flying capacitor 501) are metal films (upper layer wiring 501B (molybdenum thin film (Mo)), lower layer wiring 501A (aluminum / neodymium alloy thin film (AlNd)). ))), The frequency characteristics are improved, and an optimum capacitor can be formed for each characteristic.

以下、本発明を具体化した各実施形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments embodying the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は本実施例に係る透過型の液晶表示装置910の斜視構成図(一部断面図)である。液晶表示装置910は、アクティブマトリクス基板101(表示用第1基板)と対向基板912(表示用第2基板)とをシール材923により一定の間隔で貼り合わせ、ネマティック相の液晶材料922を挟持してなる表示パネル911を含む。アクティブマトリクス基板101上には図示しないがポリイミドなどからなる配向材料が塗布されラビング処理されて配向膜が形成されている。また、対向基板912は、図示しないが画素に対応したカラーフィルタと、光抜けを防止し、コントラストを向上させるためのブラックマトリクスと、アクティブマトリクス基板101上の対向導通部330と短絡され、コモン電位が供給されるITO膜からなる対向電極930(電極パッド部)が形成される。液晶材料922と接触する面にはポリイミドなどからなる配向材料が塗布され、アクティブマトリクス基板101の配向膜のラビング処理の方向とは直交する方向にラビング処理されている。   FIG. 1 is a perspective configuration diagram (partially sectional view) of a transmissive liquid crystal display device 910 according to the present embodiment. In the liquid crystal display device 910, the active matrix substrate 101 (first substrate for display) and the counter substrate 912 (second substrate for display) are bonded to each other with a sealant 923 at a predetermined interval, and a liquid crystal material 922 in a nematic phase is sandwiched. A display panel 911. Although not shown, an alignment material made of polyimide or the like is applied onto the active matrix substrate 101 and rubbed to form an alignment film. Further, the counter substrate 912 is short-circuited with a color filter corresponding to a pixel (not shown), a black matrix for preventing light leakage and improving contrast, and a counter conductive portion 330 on the active matrix substrate 101, so that the common potential is reduced. A counter electrode 930 (electrode pad portion) made of an ITO film is supplied. An alignment material made of polyimide or the like is applied to a surface in contact with the liquid crystal material 922, and is rubbed in a direction orthogonal to the rubbing direction of the alignment film of the active matrix substrate 101.

さらに対向基板912の外側には、上偏光板924を、アクティブマトリクス基板101の外側には、下偏光板925を各々互いの偏光方向が直交するよう(クロスニコル状)に配置する。さらに下偏光板925下には、面光源を成すバックライトユニット926が配置される。バックライトユニット926は、冷陰極管やLEDに導光板や散乱板をとりつけたものでも良いし、EL素子によって全面発光するユニットでもよい。バックライトユニット926はコネクタ929を通じて電子機器本体に接続され、電源及び制御信号を供給される。図示しないが、さらに必要に応じて、周囲を外殻で覆っても良いし、あるいは上偏光板924のさらに上に保護用のガラスやアクリル板を取り付けても良いし、視野角改善のため光学補償フィルムを貼っても良い。   Further, an upper polarizing plate 924 is arranged outside the counter substrate 912, and a lower polarizing plate 925 is arranged outside the active matrix substrate 101 so that their polarization directions are orthogonal to each other (crossed Nicols). Further, a backlight unit 926 forming a surface light source is disposed below the lower polarizing plate 925. The backlight unit 926 may be a cold cathode tube or LED with a light guide plate or a scattering plate attached thereto, or may be a unit that emits light entirely from an EL element. The backlight unit 926 is connected to the electronic device main body through the connector 929, and is supplied with power and a control signal. Although not shown, if necessary, the periphery may be covered with an outer shell, or a protective glass or acrylic plate may be attached further above the upper polarizing plate 924, and optical for improving the viewing angle. A compensation film may be attached.

また、アクティブマトリクス基板101は、対向基板912から張り出す張り出し部927が設けられ、その張り出し部927にある信号入力端子(実装端子群)320には、FPC(可撓性基板)928が実装され電気的に接続されている。FPC(可撓性基板)928は電子機器本体に接続され、必要な電源、制御信号等を供給される。   In addition, the active matrix substrate 101 is provided with a protruding portion 927 that extends from the counter substrate 912, and an FPC (flexible substrate) 928 is mounted on the signal input terminal (mounting terminal group) 320 in the protruding portion 927. Electrically connected. An FPC (flexible substrate) 928 is connected to the main body of the electronic device and supplied with necessary power, control signals, and the like.

従来例ではFPC(可撓性基板)928上にコンデンサ部品、例えばセラミック・コンデンサが複数個実装されていたが、本実施例ではコンデンサをアクティブマトリクス基板101の上に、低温ポリシリコン技術を用いて表示パネルを構成するガラス基板上に回路集積を行なうシステム・オン・グラス(SOG)技術により形成する。コンデンサをガラス基板上に形成しているのでFPC(可撓性基板)928上にコンデンサは不要である。これにより、半導体部品点数の削減、組立の簡便化ができ、外部回路基板も縮小でき、全体として小型・軽量化・低コスト化を実現することができる。   In the conventional example, a plurality of capacitor components, for example, ceramic capacitors, are mounted on an FPC (flexible substrate) 928. However, in this embodiment, the capacitors are formed on the active matrix substrate 101 by using low-temperature polysilicon technology. It is formed by a system on glass (SOG) technique for circuit integration on a glass substrate constituting a display panel. Since the capacitor is formed on the glass substrate, the capacitor is not necessary on the FPC (flexible substrate) 928. As a result, the number of semiconductor components can be reduced, the assembly can be simplified, the external circuit board can be reduced, and the overall reduction in size, weight, and cost can be realized.

図2はアクティブマトリクス基板101のブロック図である。アクティブマトリクス基板101上には、480本の走査線201,201−1〜201−480と1920本のデータ線202,202−1〜202−1920が直交して形成されており、480本の容量線203,203−1〜203−480は走査線201−1〜201−480と並行に配置されている。容量線203−1〜203−480は相互に短絡され、対向導通部330に接続され、共通電位電源回路306から適切な共通電位を与えられる。   FIG. 2 is a block diagram of the active matrix substrate 101. On the active matrix substrate 101, 480 scanning lines 201, 201-1 to 201-480 and 1920 data lines 202, 202-1 to 202-1920 are formed orthogonally, and 480 capacitors. The lines 203, 203-1 to 203-480 are arranged in parallel with the scanning lines 201-1 to 201-480. The capacitor lines 203-1 to 203-480 are short-circuited to each other, connected to the opposing conductive portion 330, and given an appropriate common potential from the common potential power supply circuit 306.

走査線201−1〜201−480は走査線駆動回路301に接続されて駆動信号を与えられる。また、データ線202−1〜202−1920はデータ線駆動回路302に接続されて映像信号を与えられる。共通電位電源回路306、走査線駆動回路301、データ線駆動回路302、信号回路305は電源回路304から必要な電位(例えば+9V、−4V電源等)を供給される。また走査線駆動回路301、データ線駆動回路302、電源回路304は信号回路305から必要な信号(例えばSP、CLK信号等)を供給される。データ線駆動回路302は信号入力端子(実装端子群)320から映像信号D0〜D17も与えられる。また信号回路305も信号入力端子(実装端子群)320から必要な信号(マスタークロック、SYNC信号など)を与えられ、電源回路304も一次電源(例えば+5V電源)を与えられる。ここで信号入力端子(実装端子群)320は張り出し部927上に配置される。一方、走査線駆動回路301、データ線駆動回路302、電源回路304、信号回路305、共通電位電源回路306などはアクティブマトリクス基板101上の対向基板912と重なる基板領域上にSOG技術より形成され配置される。第1の実装端子320−1は信号入力端子(実装端子群)320の一つで右端に配置される端子であって、第2の実装端子320−2は同じく信号入力端子(実装端子群)320の一つで第1の実装端子320−1の左隣の端子であるが、詳細は図8にて説明する。   The scanning lines 201-1 to 201-480 are connected to the scanning line driving circuit 301 and supplied with driving signals. Further, the data lines 202-1 to 202-1920 are connected to the data line driving circuit 302 and supplied with video signals. The common potential power supply circuit 306, the scanning line drive circuit 301, the data line drive circuit 302, and the signal circuit 305 are supplied with necessary potentials (for example, +9 V, −4 V power supply, etc.) from the power supply circuit 304. The scanning line driver circuit 301, the data line driver circuit 302, and the power supply circuit 304 are supplied with necessary signals (for example, SP, CLK signal, etc.) from the signal circuit 305. The data line driving circuit 302 also receives video signals D0 to D17 from a signal input terminal (mounting terminal group) 320. The signal circuit 305 is also supplied with necessary signals (master clock, SYNC signal, etc.) from a signal input terminal (mounting terminal group) 320, and the power supply circuit 304 is also supplied with a primary power supply (for example, + 5V power supply). Here, the signal input terminal (mounting terminal group) 320 is disposed on the overhanging portion 927. On the other hand, the scanning line driving circuit 301, the data line driving circuit 302, the power supply circuit 304, the signal circuit 305, the common potential power supply circuit 306, and the like are formed and disposed on the substrate region overlapping the counter substrate 912 on the active matrix substrate 101 by the SOG technique. Is done. The first mounting terminal 320-1 is one of the signal input terminals (mounting terminal group) 320 and is arranged at the right end, and the second mounting terminal 320-2 is also a signal input terminal (mounting terminal group). One of the terminals 320 is a terminal adjacent to the left side of the first mounting terminal 320-1, and the details will be described with reference to FIG.

張り出し部927にはパネル番号マーク部510が配置される。このパネル番号マーク部510は品質管理及びトレーサビリティ確保のためにパネル番号が二次元コードでマークされており、光学的に読み取り可能なようになっている。   A panel number mark portion 510 is disposed on the overhang portion 927. In the panel number mark portion 510, the panel number is marked with a two-dimensional code for quality control and traceability ensuring, so that it can be read optically.

さらに電源回路304には4個の第1のフライングキャパシタ501−1〜第4のフライングキャパシタ501−4及び2個の第1のバイパスコンデンサ502−1、第2のバイパスコンデンサ502−2が接続される(図2では第1のフライングキャパシタ501−1及び第1のバイパスコンデンサ502−1のみ図示するが、第2のフライングキャパシタ501−2〜第4のフライングキャパシタ501−4は第1のフライングキャパシタ501−1と同様、第2のバイパスコンデンサ502−2は第1のバイパスコンデンサ502−1と同様に接続される)。第1のフライングキャパシタ501−1〜第4のフライングキャパシタ501−4及び2個の第1のバイパスコンデンサ502−1、第2のバイパスコンデンサ502−2はいずれも張り出し部927上に配置される。第1のバイパスコンデンサ502−1とパネル番号マーク部510とは重畳されて配置され、張り出し部927の面積拡大を抑えている。   Furthermore, four first flying capacitors 501-1 to 501-4, two first bypass capacitors 502-1 and second bypass capacitors 502-2 are connected to the power supply circuit 304. (In FIG. 2, only the first flying capacitor 501-1 and the first bypass capacitor 502-1 are shown, but the second flying capacitor 501-2 to the fourth flying capacitor 501-4 are the first flying capacitor. As with 501-1, the second bypass capacitor 502-2 is connected in the same manner as the first bypass capacitor 502-1). The first flying capacitor 501-1 to the fourth flying capacitor 501-4, the two first bypass capacitors 502-1 and the second bypass capacitor 502-2 are all disposed on the overhanging portion 927. The first bypass capacitor 502-1 and the panel number mark portion 510 are arranged so as to overlap each other, and the area of the overhang portion 927 is prevented from being enlarged.

走査線駆動回路301、データ線駆動回路302、電源回路304、信号回路305、共通電位電源回路306はSOG技術によりアクティブマトリクス基板上にポリシリコン薄膜トランジスタを回路集積することで形成されており、後述する画素スイッチング素子401−n−mと同一工程で製造される、いわゆる駆動回路内蔵型の液晶表示装置となっている。   The scanning line driving circuit 301, the data line driving circuit 302, the power supply circuit 304, the signal circuit 305, and the common potential power supply circuit 306 are formed by circuit integration of polysilicon thin film transistors on an active matrix substrate by SOG technology, which will be described later. This is a so-called drive circuit built-in type liquid crystal display device manufactured in the same process as the pixel switching element 401-nm.

図3は図2の点線310部で示す画素表示領域中のm番目のデータ線202−mとn番目の走査線201−nの交差部付近の回路図である。走査線201−nとデータ線202−mの各交点にはNチャネル型電界効果ポリシリコン薄膜トランジスタよりなる画素スイッチング素子401−n−mが形成されており、そのゲート電極は走査線201−nに、ソース電極とドレイン電極はそれぞれデータ線202−mと画素電極402−n−mに接続されている。画素電極402−n−m及び同一電位に短絡される電極は容量線203−nと補助容量コンデンサ403−n−mを形成し、また表示パネル911として組み立てられた際には液晶素子をはさんでコモン(COM)電極としての対向電極930とやはりコンデンサを形成する。   FIG. 3 is a circuit diagram near the intersection of the mth data line 202-m and the nth scanning line 201-n in the pixel display area indicated by the dotted line 310 in FIG. A pixel switching element 401-n-m made of an N-channel field effect polysilicon thin film transistor is formed at each intersection of the scanning line 201-n and the data line 202-m, and its gate electrode is connected to the scanning line 201-n. The source electrode and the drain electrode are connected to the data line 202-m and the pixel electrode 402-nm, respectively. The pixel electrode 402-nm and the electrode that is short-circuited to the same potential form a capacitance line 203-n and an auxiliary capacitance capacitor 403-nm, and when assembled as the display panel 911, the liquid crystal element is sandwiched. Then, a capacitor is formed with the counter electrode 930 as a common (COM) electrode.

図4は本実施例での電子機器の具体的な構成を示すブロック図である。液晶表示装置910は図1で説明した液晶表示装置であって、外部電源回路784、映像処理回路780がFPC(可撓性基板)928およびコネクタ929を通じて必要な信号と電源を液晶表示装置910に供給する。中央演算回路781は外部I/F回路782を介して入出力機器783からの入力データを取得する。ここで入出力機器783とは例えばキーボード、マウス、トラックボール、LED、スピーカー、アンテナなどである。中央演算回路781は外部からのデータをもとに各種演算処理を行い、結果をコマンドとして映像処理回路780あるいは外部I/F回路782へ転送する。映像処理回路780は中央演算回路761からのコマンドに基づき映像情報を更新し、液晶表示装置910への信号を変更することで、液晶表示装置910の表示映像が変化する。ここで電子機器とは具体的にはモニター、TV、ノートパソコン、PDA、デジタルカメラ、ビデオカメラ、携帯電話、携帯フォトビューワー、携帯ビデオプレイヤー、携帯DVDプレイヤー、携帯オーディオプレイヤーなどである。   FIG. 4 is a block diagram showing a specific configuration of the electronic apparatus in this embodiment. The liquid crystal display device 910 is the liquid crystal display device described in FIG. 1, and the external power supply circuit 784 and the video processing circuit 780 send necessary signals and power to the liquid crystal display device 910 through an FPC (flexible substrate) 928 and a connector 929. Supply. The central processing circuit 781 acquires input data from the input / output device 783 via the external I / F circuit 782. Here, the input / output device 783 is, for example, a keyboard, a mouse, a trackball, an LED, a speaker, an antenna, or the like. The central processing circuit 781 performs various arithmetic processing based on data from the outside, and transfers the result to the video processing circuit 780 or the external I / F circuit 782 as a command. The video processing circuit 780 updates the video information based on the command from the central processing circuit 761 and changes the signal to the liquid crystal display device 910, whereby the display video of the liquid crystal display device 910 changes. Specifically, the electronic device includes a monitor, a TV, a notebook computer, a PDA, a digital camera, a video camera, a mobile phone, a mobile photo viewer, a mobile video player, a mobile DVD player, a mobile audio player, and the like.

図5は図3で示した画素表示領域310の回路図の実際の構成を示す平面図である。図5の凡例に示す通り、各網掛けの異なる部位はそれぞれ異なる材料配線であることを示し、同じ網掛けで示した部位は同じ材料配線であることを示す。ポリシリコン薄膜(Poly−Si)、モリブデン薄膜(Mo)、アルミ・ネオジウム合金薄膜(AlNd)、酸化インディウム・錫薄膜(Indium Tin Oxiced=ITO)の4層薄膜より構成されてなり、それぞれの層間には酸化シリコン、窒化シリコン、有機絶縁膜のいずれかあるいはそれらを積層した絶縁膜が形成される。具体的にはポリシリコン薄膜(Poly−Si)は膜厚50nm、モリブデン薄膜(Mo)は膜厚200nm、アルミ・ネオジウム合金薄膜(AlNd)は膜厚500nm、酸化インディウム・錫薄膜(ITO)は膜厚100nmとする。また、ポリシリコン薄膜(Poly−Si)とモリブデン薄膜(Mo)の間には100nmの酸化シリコン膜からなるゲート絶縁膜が形成され、モリブデン薄膜(Mo)とアルミ・ネオジウム合金薄膜(AlNd)の間には200nmの窒化シリコン膜と500nmの酸化シリコン膜を積層した層間絶縁膜が形成され、アルミ・ネオジウム合金薄膜(AlNd)と酸化インディウム・錫薄膜(ITO)の間には200nmの窒化シリコン膜と平均1μmの有機平坦化膜を積層した保護絶縁膜が形成され、互いの配線間を絶縁しており、適切な位置にコンタクトホールを開口することで互いに接続される。   FIG. 5 is a plan view showing an actual configuration of the circuit diagram of the pixel display region 310 shown in FIG. As shown in the legend of FIG. 5, different shaded parts indicate different material wirings, and the same shaded parts indicate the same material wiring. It consists of four layers of polysilicon thin film (Poly-Si), molybdenum thin film (Mo), aluminum / neodymium alloy thin film (AlNd), and indium tin oxide thin film (Indium Tin Oxiced = ITO). In this case, any one of silicon oxide, silicon nitride, and an organic insulating film or an insulating film formed by stacking them is formed. Specifically, a polysilicon thin film (Poly-Si) is 50 nm thick, a molybdenum thin film (Mo) is 200 nm thick, an aluminum / neodymium alloy thin film (AlNd) is 500 nm thick, and an indium oxide / tin thin film (ITO) is The film thickness is 100 nm. Further, a gate insulating film made of a 100 nm silicon oxide film is formed between the polysilicon thin film (Poly-Si) and the molybdenum thin film (Mo), and between the molybdenum thin film (Mo) and the aluminum-neodymium alloy thin film (AlNd). An interlayer insulating film in which a 200 nm silicon nitride film and a 500 nm silicon oxide film are stacked is formed, and a 200 nm silicon nitride film is formed between an aluminum / neodymium alloy thin film (AlNd) and an indium oxide / tin thin film (ITO). A protective insulating film is formed by laminating an organic planarizing film having an average of 1 μm, insulates the wirings from each other, and is connected to each other by opening contact holes at appropriate positions.

図5で示すように、データ線202−mはアルミ・ネオジウム合金薄膜(AlNd)により形成され、コンタクトホールを介して画素スイッチング素子401−n−mのソース電極に接続される。走査線201−nはモリブデン薄膜(Mo)で構成され、画素スイッチング素子401−n−mのゲート電極を兼用する。容量線203−nは走査線201−nと同じ配線材料から構成され、画素電極402−n−mは酸化インディウム・錫薄膜よりなり、画素スイッチング素子401−n−mのドレイン電極にコンタクトホールを通じて接続される。また、画素スイッチング素子401−n−mのドレイン電極はリンを高濃度ドープされたn+型ポリシリコン薄膜よりなる容量部電極605にも接続され、容量線203−nと平面的に重なって補助容量コンデンサ403−n−mを構成する。   As shown in FIG. 5, the data line 202-m is formed of an aluminum-neodymium alloy thin film (AlNd) and is connected to the source electrode of the pixel switching element 401-nm through a contact hole. The scanning line 201-n is composed of a molybdenum thin film (Mo) and also serves as the gate electrode of the pixel switching element 401-nm. The capacitor line 203-n is made of the same wiring material as the scanning line 201-n, the pixel electrode 402-nm is made of an indium oxide / tin thin film, and a contact hole is formed in the drain electrode of the pixel switching element 401-nm. Connected through. Further, the drain electrode of the pixel switching element 401-nm is also connected to a capacitor electrode 605 made of an n + type polysilicon thin film heavily doped with phosphorus, and overlaps the capacitor line 203-n in plan view to form an auxiliary capacitor. The capacitor 403-nm is configured.

図6は図5のA−A'線部における画素スイッチング素子401−n−mの断面構造を示す図である。なお、図を見やすくするために縮尺は一定でない。アクティブマトリクス基板101は無アルカリガラスよりなる厚さ0.6mmの絶縁基板であって、その上に200nmの窒化シリコン膜と300nmの酸化シリコン膜を積層した下地絶縁膜601を介してポリシリコン薄膜よりなるシリコンアイランド602が配置され、走査線201−nはシリコンアイランド602と前述のゲート絶縁膜606を挟んで上方に配置される。走査線201−nとオーバーラップする領域ではシリコンアイランド602はリンイオンが全く、あるいはごく低濃度しかドープされていない真性半導体領域602Iであり、その左右にリンイオンが低濃度にドープされた比抵抗20kΩ程度のn−領域602Lが存在し、さらにその左右にリンイオンが高濃度にドープされた比抵抗1kΩ程度のn+領域602Nが存在する、LDD(Lightly Doped Drain)構造である。左右のn+領域602Nはコンタクトホールを介してソース電極603、ドレイン電極604と接続しており、ソース電極603はデータ線202−mと、ドレイン電極604は画素電極402−n−mとそれぞれ接続している。   FIG. 6 is a diagram showing a cross-sectional structure of the pixel switching element 401-nm in the AA ′ line portion of FIG. Note that the scale is not constant in order to make the drawing easier to see. The active matrix substrate 101 is an insulating substrate made of alkali-free glass and having a thickness of 0.6 mm. The active matrix substrate 101 is made of a polysilicon thin film through a base insulating film 601 in which a 200 nm silicon nitride film and a 300 nm silicon oxide film are stacked. The silicon island 602 is disposed, and the scanning line 201-n is disposed above the silicon island 602 and the gate insulating film 606 described above. In the region overlapping with the scanning line 201-n, the silicon island 602 is an intrinsic semiconductor region 602I in which phosphorus ions are not doped at all or only in a very low concentration, and a specific resistance of about 20 kΩ in which phosphorus ions are lightly doped on the left and right sides thereof. This is an LDD (Lightly Doped Drain) structure in which there are n-regions 602L and n + regions 602N having a specific resistance of about 1 kΩ doped with phosphorus ions at high concentrations on both sides thereof. The left and right n + regions 602N are connected to the source electrode 603 and the drain electrode 604 through contact holes, the source electrode 603 is connected to the data line 202-m, and the drain electrode 604 is connected to the pixel electrode 402-nm. ing.

図7は図5のB−B'線部における補助容量コンデンサ403−n−mの部分断面図であり、ドレイン電極604と繋がる容量部電極605と容量線203−nがゲート絶縁膜606を挟んで重畳することで蓄積容量を形成している。   FIG. 7 is a partial cross-sectional view of the auxiliary capacitor 403-nm in the BB ′ line portion of FIG. 5, in which the capacitor electrode 605 connected to the drain electrode 604 and the capacitor line 203-n sandwich the gate insulating film 606. The storage capacitor is formed by superimposing at.

図8はアクティブマトリクス基板101上の張り出し部927の右端部の拡大平面図である。なお、凡例は図5と同じであるが、図を見やすくするために縮尺は一定でない。第1の実装端子320−1及び第2の実装端子320−2はFPC(可撓性基板)928と繋がって外部回路より電源及び信号の供給を受ける信号入力端子(実装端子群)320の右端の2つであり、第1の実装端子320−1は0V(GND)、第2の実装端子320−2は+5Vの電源と接続され、電源回路304へとガラス基板上で配線が接続されている。その右側には4個の第1のフライングキャパシタ501−1〜第4のフライングキャパシタ501−4が、さらにその右側には2個の第1のバイパスコンデンサ502−1、第2のバイパスコンデンサ502−2が、それぞれ配置される。さらに第1のバイパスコンデンサ502−1はパネル番号マーク部510と重なって配置されている。さらに第1のフライングキャパシタ501−1〜第4のフライングキャパシタ501−4及び第1のバイパスコンデンサ502−1、第2のバイパスコンデンサ502−2上には画素電極402−n−mと同じ膜で構成されるシールド配線520が配置されており、外部回路やFPC(可撓性基板)928からのノイズから第1のフライングキャパシタ501−1〜第4のフライングキャパシタ501−4及び第1のバイパスコンデンサ502−1、第2のバイパスコンデンサ502−2をシールドしている。シールド配線520は本実施例では電位に接続せず、フローティング状態となっており、第1のフライングキャパシタ501−1〜第4のフライングキャパシタ501−4が駆動された時に容量分割で電位が低下することを防止している。また、シールド配線520は画素電極402−n−mと同じ酸化インディウム・錫薄膜(ITO)であり、この膜は蓚酸や王水などによるウェットエッチングで加工するため、この際に保護絶縁膜のカバレッジが悪いなどの原因で除去部下の電極、特にアルミ・ネオジウム合金薄膜(AlNd)が腐食されやすく、歩留り低下の原因となるが、本実施例のようにコンデンサ上にシールド配線520として残すことでこのような不良を無くすことができる。   FIG. 8 is an enlarged plan view of the right end portion of the overhang portion 927 on the active matrix substrate 101. The legend is the same as in FIG. 5, but the scale is not constant for easy viewing of the figure. The first mounting terminal 320-1 and the second mounting terminal 320-2 are connected to an FPC (flexible substrate) 928 and receive the supply of power and signals from an external circuit to the right end of the signal input terminal (mounting terminal group) 320. The first mounting terminal 320-1 is connected to a power supply of 0V (GND), the second mounting terminal 320-2 is connected to a power supply of + 5V, and wiring is connected to the power supply circuit 304 on the glass substrate. Yes. Four first flying capacitors 501-1 to 501-4 are on the right side, and two first bypass capacitors 502-1 and second bypass capacitor 502- are on the right side. 2 are arranged respectively. Further, the first bypass capacitor 502-1 is disposed so as to overlap the panel number mark portion 510. Further, the same film as the pixel electrode 402-nm is formed on the first flying capacitor 501-1 to the fourth flying capacitor 501-4, the first bypass capacitor 502-1 and the second bypass capacitor 502-2. The shield wiring 520 is disposed, and the first flying capacitor 501-1 to the fourth flying capacitor 501-4 and the first bypass capacitor are detected from noise from an external circuit or FPC (flexible substrate) 928. 502-1 and the second bypass capacitor 502-2 are shielded. In this embodiment, the shield wiring 520 is not connected to a potential and is in a floating state, and the potential is lowered by capacitive division when the first flying capacitor 501-1 to the fourth flying capacitor 501-4 are driven. To prevent that. Further, the shield wiring 520 is the same indium oxide / tin thin film (ITO) as the pixel electrode 402-nm, and this film is processed by wet etching with oxalic acid or aqua regia. The electrode under the removal portion, particularly the aluminum / neodymium alloy thin film (AlNd), is easily corroded due to poor coverage or the like, which causes a decrease in yield. However, by leaving the shield wiring 520 on the capacitor as in this embodiment, Such a defect can be eliminated.

図9は図8のC−C'線部における第2の実装端子320−2の部分断面図である。第2の実装端子320−2は、アルミ・ネオジウム合金(AlNd)と酸化インジウム・錫薄膜(ITO)の配線層が積層され、互いにコンタクトホールを介して接続している。FPC(可撓性基板)928が実装される際は酸化インジウム・錫薄膜(ITO)とFPC(可撓性基板)928上の配線がACF(AnisotroPic Conductive Film)を介して接続され、アルミ・ネオジウム合金(AlNd)と接続するパネル内配線303と導通する。   FIG. 9 is a partial cross-sectional view of the second mounting terminal 320-2 in the CC ′ line portion of FIG. The second mounting terminal 320-2 is formed by laminating wiring layers of aluminum / neodymium alloy (AlNd) and indium oxide / tin thin film (ITO), and is connected to each other through a contact hole. When the FPC (flexible substrate) 928 is mounted, the indium oxide / tin thin film (ITO) and the wiring on the FPC (flexible substrate) 928 are connected via an ACF (AnisotroPic Conductive Film), and aluminum neodymium Conduction with the in-panel wiring 303 connected to the alloy (AlNd).

図10は図8のD−D'線部における第4のフライングキャパシタ501−4および第1のバイパスコンデンサ502−1の部分断面図である。第4のフライングキャパシタ501−4は走査線201及び容量線203を構成するモリブデン薄膜(Mo)と同一の膜で構成される下層配線501A、データ線202を構成するアルミ・ネオジウム合金薄膜(AlNd)と同一の膜で構成される上層配線501Bおよびそれらの間に層間絶縁膜と同一の膜で形成された容量絶縁膜501Cをはさんで構成され、下層配線501Aと上層配線501Bの間でキャパシタを構成する。   FIG. 10 is a partial cross-sectional view of the fourth flying capacitor 501-4 and the first bypass capacitor 502-1 at the line DD ′ in FIG. The fourth flying capacitor 501-4 is composed of a lower layer wiring 501 </ b> A composed of the same film as the molybdenum thin film (Mo) constituting the scanning line 201 and the capacitance line 203, and an aluminum-neodymium alloy thin film (AlNd) constituting the data line 202. And a capacitor insulating film 501C formed of the same film as the interlayer insulating film between them, and a capacitor is interposed between the lower layer wiring 501A and the upper layer wiring 501B. Constitute.

第1のバイパスコンデンサ502−1は画素スイッチング素子401−n−mを構成するシリコンアイランド602と同一の膜で構成され、リンを高濃度でドーズされて比抵抗1kΩとなったn+シリコン薄膜である下層配線502A、走査線201及び容量線203を構成するモリブデン薄膜(Mo)と同一の膜で構成される上層配線502Bおよびそれらの間にゲート絶縁膜と同一の膜で構成される容量絶縁膜502Cをはさんで構成される。上層配線502Bにはパネル番号マーク部510を構成する複数の除去部510Aが存在し、この除去部510Aが二次元的に配置されることで二次元コードとなり、パネル番号マーク部510を構成している。このパネル番号マーク部510の二次元コード部には製造番号を含む情報が格納されており、対応する製造番号の製造情報が保管される。これにより、出荷前検査や出荷後に何らかの不具合が生じたときにパネル番号マーク部510を光学式リーダーで読み、対応する製造情報を容易に検索することができるため、品質管理水準が高くなり、歩留りをあげることが容易になる。   The first bypass capacitor 502-1 is an n + silicon thin film made of the same film as the silicon island 602 constituting the pixel switching element 401-nm, and having a specific resistance of 1 kΩ by phosphorous being doped at a high concentration. Upper layer wiring 502B composed of the same film as the molybdenum thin film (Mo) constituting the lower layer wiring 502A, the scanning line 201 and the capacitance line 203, and the capacitive insulating film 502C composed of the same film as the gate insulating film therebetween. It is composed of The upper layer wiring 502B has a plurality of removal units 510A constituting the panel number mark unit 510, and the removal unit 510A is two-dimensionally arranged to form a two-dimensional code. Yes. Information including a production number is stored in the two-dimensional code portion of the panel number mark portion 510, and the production information of the corresponding production number is stored. As a result, the panel number mark portion 510 can be read with an optical reader and any corresponding manufacturing information can be easily searched when a problem occurs after inspection before shipment or after shipment, resulting in a higher quality control level and higher yield. It becomes easy to raise.

二次元コードは光学的に読み込み、画像認識でデコードする必要があるため、パネル番号マーク部510は数mm角の面積を必要とする。本実施例ではこのパネル番号マーク部510とバイパスコンデンサ502を同一の平面上に配置することで張り出し部927の面積が増大することを防ぎながら電源回路304に必要なコンデンサを内蔵しているため、コストが安く、装置を小型化できるのである。   Since the two-dimensional code needs to be optically read and decoded by image recognition, the panel number mark portion 510 needs an area of several mm square. In this embodiment, since the panel number mark portion 510 and the bypass capacitor 502 are arranged on the same plane, a necessary capacitor is built in the power supply circuit 304 while preventing the area of the overhang portion 927 from increasing. The cost is low and the device can be miniaturized.

また、本実施例では図5、図6、図7で示した画素表示領域310と同一の導電膜、絶縁膜を用いてフライングキャパシタ501とバイパスコンデンサ502を基板上に形成しているので、外付けコンデンサ部品の削減および組立の簡便化ができ、また、外部回路基板も縮小でき、全体として小型・軽量化・低コスト化を実現することができる。   In this embodiment, the flying capacitor 501 and the bypass capacitor 502 are formed on the substrate using the same conductive film and insulating film as the pixel display region 310 shown in FIGS. Capacitor parts can be reduced and the assembly can be simplified, and the external circuit board can be reduced. As a whole, a reduction in size, weight, and cost can be realized.

また、さらに、本実施例ではフライングキャパシタ501をモリブデン薄膜(Mo)とアルミ・ネオジウム合金薄膜(AlNd)で形成する一方、バイパスコンデンサ502をモリブデン薄膜(Mo)とポリシリコン(Poly−Si)で形成している。フライングキャパシタ501はポンピングパルス信号によって駆動されるため、使用する周波数範囲で十分なフラットな周波数特性を有する必要がある。比抵抗が数100Ω〜数kΩと高いポリシリコンを用いると数100k〜数MHz程度で周波数特性が急速に悪化するので、フライングキャパシタ501は金属配線を積層することで形成している。一方、バイパスコンデンサ502は周波数特性に厳しい要求はないが、出力波形の安定のためにはフライングキャパシタ501に比べ大きな容量を必要とする。   Further, in this embodiment, the flying capacitor 501 is formed of a molybdenum thin film (Mo) and an aluminum neodymium alloy thin film (AlNd), while the bypass capacitor 502 is formed of a molybdenum thin film (Mo) and polysilicon (Poly-Si). is doing. Since the flying capacitor 501 is driven by a pumping pulse signal, the flying capacitor 501 needs to have a sufficiently flat frequency characteristic in a frequency range to be used. When polysilicon having a high specific resistance of several hundred Ω to several kΩ is used, the frequency characteristics rapidly deteriorate at about several hundreds k to several MHz. Therefore, the flying capacitor 501 is formed by laminating metal wirings. On the other hand, the bypass capacitor 502 is not strictly required for frequency characteristics, but requires a larger capacity than the flying capacitor 501 in order to stabilize the output waveform.

バイパスコンデンサ502を構成する容量絶縁膜502Cはゲート絶縁膜606と同一膜であって、その厚みはおおよそ100nm以下と極めて薄い、他方、フライングキャパシタ501を構成する容量絶縁膜(層間絶縁膜と同一膜)は、おおよそ700nm(200nmの窒化シリコン膜と500nmの酸化シリコン膜を積層した)と厚い。このように、バイパスコンデンサ502を構成する容量絶縁膜502Cを薄いゲート絶縁膜と同一の膜を用いることで、バイパスコンデンサ502を構成する両極間(上層配線502Bと下層配線502A)の距離を小さくして、容量を大きくすることができる。本実施例ではバイパスコンデンサ502の面積あたりの容量はフライングキャパシタ501の面積あたりの容量の約6倍となり、面積を大きくすることなく容量を増やすことができる。このようにフライングキャパシタ501とバイパスコンデンサ502の要求される特性の差に応じてコンデンサを構成する膜種を変えているのである。   The capacitive insulating film 502C constituting the bypass capacitor 502 is the same film as the gate insulating film 606, and its thickness is extremely thin, approximately 100 nm or less. On the other hand, the capacitive insulating film constituting the flying capacitor 501 (the same film as the interlayer insulating film) ) Is as thick as approximately 700 nm (stacked with a 200 nm silicon nitride film and a 500 nm silicon oxide film). In this way, by using the same film as the thin gate insulating film for the capacitor insulating film 502C constituting the bypass capacitor 502, the distance between both electrodes (upper layer wiring 502B and lower layer wiring 502A) constituting the bypass capacitor 502 is reduced. The capacity can be increased. In this embodiment, the capacity per area of the bypass capacitor 502 is about 6 times the capacity per area of the flying capacitor 501, and the capacity can be increased without increasing the area. In this way, the film type constituting the capacitor is changed in accordance with the required difference in characteristics between the flying capacitor 501 and the bypass capacitor 502.

なお、ここではバイパスコンデンサ502を構成する上層配線502Bに除去部510Aを設けることでパネル番号マーク部510を形成したが、下層配線502Aに除去部510Aを設けても良いし、別の金属膜、例えばデータ線202を構成するアルミ・ネオジウム合金(AlNd)と同一の薄膜を上層配線502Bのより上層に形成してこの膜に除去部510Aを設けてもよい。この場合、アルミ・ネオジウム合金(AlNd)と同一の薄膜と下層配線502Aとをコンタクトホールを介して互いに接続することでさらに容量を増大させることも可能である。   Here, the panel number mark portion 510 is formed by providing the removal portion 510A in the upper layer wiring 502B constituting the bypass capacitor 502. However, the removal portion 510A may be provided in the lower layer wiring 502A, or another metal film, For example, a thin film identical to the aluminum-neodymium alloy (AlNd) constituting the data line 202 may be formed in an upper layer of the upper wiring 502B, and the removal portion 510A may be provided in this film. In this case, the capacitance can be further increased by connecting the same thin film as the aluminum-neodymium alloy (AlNd) and the lower layer wiring 502A to each other through a contact hole.

また、本実施例では電源回路304で必要とする全ての容量を張り出し部927に形成したが、このうち一部は張り出し部927以外のアクティブマトリクス基板101上に構成しても良いし、外部部品として実装しても良い。   Further, in this embodiment, all the capacitances required for the power supply circuit 304 are formed in the overhanging portion 927. However, some of them may be configured on the active matrix substrate 101 other than the overhanging portion 927, or external components. May be implemented as

図11は電源回路304の回路図である。信号回路305より供給されたポンピングパルス信号PCLKは第1インバーター回路521A、第2インバーター回路522A、第4インバーター回路521B、第5インバーター回路522Bにそれぞれ入力される。第2インバーター回路522Aの出力は第3インバーター回路523Aに、第5インバーター回路522Bの出力は第6インバーター回路523Bに接続される。第1インバーター回路521Aの出力は第1のフライングキャパシタ501−1の一端に接続され、同様に第3インバーター回路523A、第4インバーター回路521B、第6インバーター回路523Bの出力はそれぞれ第2のフライングキャパシタ501−2、第3のフライングキャパシタ501−3、第4のフライングキャパシタ501−4の一端にそれぞれ接続される。第1インバーター回路521A、第2インバーター回路522A、第3インバーター回路523A、第4インバーター回路521B、第5インバーター回路522B、第6インバーター回路523Bの電源はLow側が第1の実装端子320−1に接続されてFPC(可撓性基板)928を通じてGND電位(±0V)を供給され、High側は第2の実装端子320−2に接続されてFPC(可撓性基板)928を通じて+5V電位を供給される。   FIG. 11 is a circuit diagram of the power supply circuit 304. The pumping pulse signal PCLK supplied from the signal circuit 305 is input to the first inverter circuit 521A, the second inverter circuit 522A, the fourth inverter circuit 521B, and the fifth inverter circuit 522B, respectively. The output of the second inverter circuit 522A is connected to the third inverter circuit 523A, and the output of the fifth inverter circuit 522B is connected to the sixth inverter circuit 523B. The output of the first inverter circuit 521A is connected to one end of the first flying capacitor 501-1. Similarly, the outputs of the third inverter circuit 523A, the fourth inverter circuit 521B, and the sixth inverter circuit 523B are respectively the second flying capacitor. 501-2, the third flying capacitor 501-3, and the fourth flying capacitor 501-4 are respectively connected to one end. The power supply of the first inverter circuit 521A, the second inverter circuit 522A, the third inverter circuit 523A, the fourth inverter circuit 521B, the fifth inverter circuit 522B, and the sixth inverter circuit 523B is connected to the first mounting terminal 320-1 on the Low side. The GND potential (± 0V) is supplied through the FPC (flexible substrate) 928, and the High side is connected to the second mounting terminal 320-2 and the + 5V potential is supplied through the FPC (flexible substrate) 928. The

第1のフライングキャパシタ501−1の他端のノード1Aは第1p型スイッチングトランジスタ531Aのドレイン電極と第1n型スイッチングトランジスタTFT533Aのドレイン電極と第2p型スイッチングトランジスタ532Aのゲート電極と第2n型スイッチングトランジスタTFT534Aのゲート電極にそれぞれ接続される。第2のフライングキャパシタ501−2の他端のノード2Aは第2p型スイッチングトランジスタ532Aのドレイン電極と第2n型スイッチングトランジスタTFT534Aのドレイン電極と第1p型スイッチングトランジスタ531Aのゲート電極と第1n型スイッチングトランジスタTFT533Aのゲート電極にそれぞれ接続される。第3のフライングキャパシタ501−3の他端のノード1Bは第3n型スイッチングトランジスタ531Bのドレイン電極と第3p型スイッチングトランジスタTFT533Bのドレイン電極と第4n型スイッチングトランジスタ532Bのゲート電極と第4p型スイッチングトランジスタTFT534Bのゲート電極にそれぞれ接続される。第4のフライングキャパシタ501−4の他端のノード2Bは第4n型スイッチングトランジスタ532Bのドレイン電極と第4p型スイッチングトランジスタTFT534Bのドレイン電極と第3n型スイッチングトランジスタ531Bのゲート電極と第3p型スイッチングトランジスタTFT533Bのゲート電極にそれぞれ接続される。第1p型スイッチングトランジスタ531Aと第2p型スイッチングトランジスタ532Aのソース電極は第1の実装端子320−1に接続され、FPC(可撓性基板)928を通じてGND電位(±0V)を供給される。第3n型スイッチングトランジスタ531Bと第4n型スイッチングトランジスタ532Bのソース電極は第2の実装端子320−2に接続され、FPC(可撓性基板)928を通じて+5V電位を供給される。第1n型スイッチングトランジスタTFT533Aと第2n型スイッチングトランジスタTFT534Aのソース電極は第1のバイパスコンデンサ502−1の一端に接続され(ノード3Aとする)、さらに走査線駆動回路301に接続されて−4V電源を供給する。第3p型スイッチングトランジスタTFT533Bと第4p型スイッチングトランジスタTFT534Bのソース電極は第2のバイパスコンデンサ502−2の一端に接続され(ノード3Bとする)、さらに走査線駆動回路301、データ線駆動回路302、信号回路305、共通電位電源回路306に接続されて各回路に+9V電源を供給する。   The node 1A at the other end of the first flying capacitor 501-1 has a drain electrode of the first p-type switching transistor 531A, a drain electrode of the first n-type switching transistor TFT 533A, a gate electrode of the second p-type switching transistor 532A, and a second n-type switching transistor. Each is connected to the gate electrode of the TFT 534A. The node 2A at the other end of the second flying capacitor 501-2 includes the drain electrode of the second p-type switching transistor 532A, the drain electrode of the second n-type switching transistor TFT 534A, the gate electrode of the first p-type switching transistor 531A, and the first n-type switching transistor. Each is connected to the gate electrode of the TFT 533A. The node 1B at the other end of the third flying capacitor 501-3 includes the drain electrode of the third n-type switching transistor 531B, the drain electrode of the third p-type switching transistor TFT 533B, the gate electrode of the fourth n-type switching transistor 532B, and the fourth p-type switching transistor. Each is connected to the gate electrode of the TFT 534B. The node 2B at the other end of the fourth flying capacitor 501-4 includes the drain electrode of the fourth n-type switching transistor 532B, the drain electrode of the fourth p-type switching transistor TFT 534B, the gate electrode of the third n-type switching transistor 531B, and the third p-type switching transistor. Each is connected to the gate electrode of the TFT 533B. The source electrodes of the first p-type switching transistor 531A and the second p-type switching transistor 532A are connected to the first mounting terminal 320-1, and are supplied with a GND potential (± 0 V) through an FPC (flexible substrate) 928. The source electrodes of the third n-type switching transistor 531B and the fourth n-type switching transistor 532B are connected to the second mounting terminal 320-2 and supplied with a + 5V potential through an FPC (flexible substrate) 928. The source electrodes of the first n-type switching transistor TFT 533A and the second n-type switching transistor TFT 534A are connected to one end of the first bypass capacitor 502-1 (referred to as node 3A), and further connected to the scanning line driving circuit 301 to be -4V power supply. Supply. The source electrodes of the third p-type switching transistor TFT 533B and the fourth p-type switching transistor TFT 534B are connected to one end of the second bypass capacitor 502-2 (referred to as a node 3B), and further, the scanning line driving circuit 301, the data line driving circuit 302, Connected to the signal circuit 305 and the common potential power supply circuit 306, + 9V power is supplied to each circuit.

このように構成することで、ポンピングパルス信号PCLKがHigh(5V)の場合、第1インバーター回路521A及び第4インバーター回路521Bからの出力はLow(0V)で、第3インバーター回路523A及び第6インバーター回路523Bからの出力はHigh(5V)であって、ノード1Aの電位は−5+ΔV1A、ノード2Aの電位は0+ΔV2A、ノード1Bの電位は5−ΔV1B、ノード2Bの電位は10−ΔV2Bとなり、第1p型スイッチングトランジスタ531Aと第2n型スイッチングトランジスタTFT534Aと第4n型スイッチングトランジスタ532Bと第3p型スイッチングトランジスタTFT533BがOFFし、第2p型スイッチングトランジスタ532Aと第1n型スイッチングトランジスタTFT533Aと第3n型スイッチングトランジスタ531Bと第4p型スイッチングトランジスタTFT534BがONする。ここでノード1Aからノード3Aへ電位−5+ΔV1A+ΔV1が供給され、ノード2Bからノード3Bへ電位10−ΔV2B−ΔV2が供給される。   With this configuration, when the pumping pulse signal PCLK is High (5 V), the outputs from the first inverter circuit 521A and the fourth inverter circuit 521B are Low (0 V), and the third inverter circuit 523A and the sixth inverter The output from the circuit 523B is High (5V), the potential of the node 1A is −5 + ΔV1A, the potential of the node 2A is 0 + ΔV2A, the potential of the node 1B is 5-ΔV1B, the potential of the node 2B is 10−ΔV2B, and the first p Type switching transistor 531A, second n-type switching transistor TFT 534A, fourth n-type switching transistor 532B and third p-type switching transistor TFT 533B are turned OFF, and second p-type switching transistor 532A and first n-type switching transistor are turned off. TFT533A a first 3n-type switching transistor 531B and the 4p-type switching transistor TFT534B is turned ON. Here, the potential −5 + ΔV1A + ΔV1 is supplied from the node 1A to the node 3A, and the potential 10−ΔV2B−ΔV2 is supplied from the node 2B to the node 3B.

ポンピングパルス信号PCLKがLow(5V)になると第1インバーター回路521A及び第4インバーター回路521Bからの出力はHigh(5V)で、第3インバーター回路523A及び第6インバーター回路523Bからの出力はLow(0V)であって、ノード1Aの電位は0+ΔV1A'、ノード2Aの電位は−5+ΔV2A'、ノード1Bの電位は10−ΔV1B'、ノード2Bの電位は5−ΔV2B'となり、第1p型スイッチングトランジスタ531Aと第2n型スイッチングトランジスタTFT534Aと第4n型スイッチングトランジスタ532Bと第3p型スイッチングトランジスタTFT533BがONし、第2p型スイッチングトランジスタ532Aと第1n型スイッチングトランジスタTFT533Aと第3n型スイッチングトランジスタ531Bと第4p型スイッチングトランジスタTFT534BがOFFする。ここでノード2Aからノード3Aへ電位−5+ΔV2A+ΔV1'が供給され、ノード1Bからノード3Bへ電位10−ΔV1B−ΔV2'が供給される。   When the pumping pulse signal PCLK becomes Low (5V), the outputs from the first inverter circuit 521A and the fourth inverter circuit 521B are High (5V), and the outputs from the third inverter circuit 523A and the sixth inverter circuit 523B are Low (0V). ), The potential of the node 1A is 0 + ΔV1A ′, the potential of the node 2A is −5 + ΔV2A ′, the potential of the node 1B is 10−ΔV1B ′, the potential of the node 2B is 5-ΔV2B ′, and the first p-type switching transistor 531A The second n-type switching transistor TFT 534A, the fourth n-type switching transistor 532B, and the third p-type switching transistor TFT 533B are turned ON, and the second p-type switching transistor 532A, the first n-type switching transistor TFT 533A, and the third n-type switching transistor are turned on. Tsu quenching transistor 531B and the 4p-type switching transistor TFT534B is turned OFF. Here, the potential −5 + ΔV2A + ΔV1 ′ is supplied from the node 2A to the node 3A, and the potential 10−ΔV1B−ΔV2 ′ is supplied from the node 1B to the node 3B.

ここでΔV1A,ΔV1B,ΔV2A,ΔV2B,ΔV1A',ΔV1B',ΔV2A',ΔV2B',ΔV1,ΔV2,ΔV1',ΔV2'は第1のフライングキャパシタ501−1〜第4のフライングキャパシタ501−4及び第1のバイパスコンデンサ502−1、第2のバイパスコンデンサ502−2の容量が十分大きく、ポンピングパルス信号PCLKが十分早く、ノード1Aとノード2A間及びノード1Bとノード2B間の位相ズレが無視できる場合は各スイッチングトランジスタ及びインバーター回路を構成するトランジスタのチャネル抵抗、実装抵抗、配線抵抗等による電圧ドロップ分であって、本実施例では全て同じ0.5Vになるように設計している。すなわち、ポンピングパルス信号PCLKがHighであってもLowであっても、ノード3Aには−4Vが、ノード3Bには+9Vが供給され、DCDCコンバータとして機能することになる。   Here, ΔV1A, ΔV1B, ΔV2A, ΔV2B, ΔV1A ′, ΔV1B ′, ΔV2A ′, ΔV2B ′, ΔV1, ΔV2, ΔV1 ′, ΔV2 ′ are the first flying capacitor 501-1 to the fourth flying capacitor 501-4 and The capacity of the first bypass capacitor 502-1 and the second bypass capacitor 502-2 is sufficiently large, the pumping pulse signal PCLK is sufficiently fast, and the phase shift between the node 1A and the node 2A and between the node 1B and the node 2B can be ignored. In this case, the voltage drop is caused by the channel resistance, mounting resistance, wiring resistance, etc. of each switching transistor and the transistors constituting the inverter circuit, and in this embodiment, all are designed to be the same 0.5V. That is, regardless of whether the pumping pulse signal PCLK is High or Low, -4V is supplied to the node 3A and + 9V is supplied to the node 3B, thereby functioning as a DCDC converter.

図11で説明した各スイッチングトランジスタ及びインバーター回路を構成するトランジスタはポリシリコンを用いた薄膜トランジスタであって、画素スイッチング素子401−n−mと同一の膜で構成され、同一の製造工程で製造される。ただし、p型トランジスタに関してはポリシリコンにドープされるイオン種が異なる。   Each of the switching transistors and the transistors constituting the inverter circuit described in FIG. 11 is a thin film transistor using polysilicon, which is composed of the same film as the pixel switching element 401-nm and is manufactured in the same manufacturing process. . However, with respect to the p-type transistor, the ion species doped in the polysilicon is different.

なお、DCDCコンバータの構成は本実施例の構成に限定されるものではなく、既知のあらゆるDCDCコンバータの構成と組み合わせて差し支えない。DCDCコンバータとしてチャージポンプ型でなく、インダクタ型を用いる場合であっても、バイパスコンデンサを使用する場合は本実施例と同様にバイパスコンデンサを張り出し部927に配置し、パネル番号マーク部510などのマークと重ねることによって同様の効果を得ることができる。   The configuration of the DCDC converter is not limited to the configuration of this embodiment, and may be combined with any known configuration of the DCDC converter. Even when an inductor type is used instead of a charge pump type as a DCDC converter, when a bypass capacitor is used, the bypass capacitor is disposed on the overhanging portion 927 as in the present embodiment, and a mark such as a panel number mark portion 510 is provided. The same effect can be obtained by superimposing and.

また本実施例では第1のバイパスコンデンサ502−1をパネル番号マーク部510と重ねたが、複数の第1のバイパスコンデンサ502−1、第2のバイパスコンデンサ502−2、複数の第1のフライングキャパシタ501−1〜第4のフライングキャパシタ501−4のうち、1ないし複数の任意のコンデンサをパネル番号マーク部510と重ねて差し支えない。パネル番号マーク部510のサイズと各コンデンサの必要な容量に応じて決めれば良い。またさらに、パネル番号マーク部510のみならず、張り出し部927に配置されるあらゆる種類のマークと各コンデンサを重ねて差し支えない。例えばFPC実装用アライメントマーク、スクライブ・ブレーク用アライメントマーク、外観検査用アライメントマーク等である。このような実施例として図12を示す。図12は図8に代わるアクティブマトリクス基板101上の張り出し部927の右端部の拡大平面図である。図8と相違する点として、第1のバイパスコンデンサ502−1のみならず第2のバイパスコンデンサ502−2部もパネル番号マーク部510'と重ねており、パネル番号マーク部510'の面積が増大しているため、二次元コードの情報量がさらに大きくなっており、さらに精密な品質管理が可能である。また、第1のフライングキャパシタ501−1を形成する下層配線501Aが十字形状をなしており、信号入力端子(実装端子群)320へFPC(可撓性基板)928を貼り付ける際の位置合わせ用アライメントマーク511と兼用になっており、より張り出し部927の面積が縮小できる。また、本実施例ではシールド配線520'は第1の実装端子320−1と短絡しており、GND電位を与えられている。このように構成すると、図8のシールド配線520の構成に比べてシールド能力は格段に高まるが、第1のフライングキャパシタ501−1〜第4のフライングキャパシタ501−4が駆動された際に容量分割による電位振幅低下が発生する。どちらを選ぶかはプロセス及び設計の要請に応じてそれぞれのメリット・デメリットを勘案した上で決めればよい。図12その他の部位については図8と同じであるので、同一の記号を与えることで説明は省略する。   In the present embodiment, the first bypass capacitor 502-1 is overlapped with the panel number mark portion 510. However, a plurality of first bypass capacitors 502-1, a second bypass capacitor 502-2, and a plurality of first flying components are used. One or a plurality of arbitrary capacitors among the capacitors 501-1 to 501-4 may be overlapped with the panel number mark portion 510. What is necessary is just to determine according to the size of the panel number mark part 510, and the required capacity | capacitance of each capacitor | condenser. Furthermore, not only the panel number mark portion 510 but also all kinds of marks arranged on the projecting portion 927 and each capacitor may be overlapped. For example, an FPC mounting alignment mark, a scribing / breaking alignment mark, an appearance inspection alignment mark, and the like. FIG. 12 shows such an embodiment. FIG. 12 is an enlarged plan view of the right end portion of the overhang portion 927 on the active matrix substrate 101 instead of FIG. 8 differs from FIG. 8 in that not only the first bypass capacitor 502-1 but also the second bypass capacitor 502-2 overlaps the panel number mark portion 510 ′, and the area of the panel number mark portion 510 ′ increases. Therefore, the amount of information of the two-dimensional code is further increased, and more precise quality control is possible. Further, the lower layer wiring 501A forming the first flying capacitor 501-1 has a cross shape, and is used for alignment when an FPC (flexible substrate) 928 is attached to the signal input terminals (mounting terminal group) 320. The alignment mark 511 is also used, and the area of the overhang portion 927 can be further reduced. In this embodiment, the shield wiring 520 ′ is short-circuited to the first mounting terminal 320-1, and is given a GND potential. With this configuration, the shielding capability is remarkably enhanced as compared with the configuration of the shield wiring 520 in FIG. 8, but capacitance division is performed when the first flying capacitor 501-1 to the fourth flying capacitor 501-4 are driven. A potential amplitude drop occurs due to. Which one should be selected can be determined after considering the advantages and disadvantages of each process and design. Since other parts in FIG. 12 are the same as those in FIG. 8, the description is omitted by giving the same symbols.

図13は本実施例に係るアクティブマトリクス基板101Bのブロック図であって第1の実施例(実施例1)における図2に相当する図である。以下、図2との差異を中心に説明する。図13では図2の第1のバイパスコンデンサ502−1及び第2のバイパスコンデンサ502−2にかわる第3のバイパスコンデンサ502B−1及び第4のバイパスコンデンサ502B−2が配置される。第4のバイパスコンデンサ502B−2は信号入力端子(実装端子群)320の一つで右端に位置する第3の実装端子320B−1(図2の第1の実装端子320−1に相当)と平面的に重なっている。また、第3のバイパスコンデンサ502B−1は信号入力端子(実装端子群)320の一つで第3の実装端子320B−1の左隣に位置する第4の実装端子320B−2(図2の第2の実装端子320−2に相当)と平面的に重なっている。   FIG. 13 is a block diagram of the active matrix substrate 101B according to the present embodiment, which corresponds to FIG. 2 in the first embodiment (embodiment 1). Hereinafter, the difference from FIG. 2 will be mainly described. In FIG. 13, a third bypass capacitor 502B-1 and a fourth bypass capacitor 502B-2 are arranged instead of the first bypass capacitor 502-1 and the second bypass capacitor 502-2 in FIG. The fourth bypass capacitor 502B-2 is one of the signal input terminals (mounting terminal group) 320 and a third mounting terminal 320B-1 (corresponding to the first mounting terminal 320-1 in FIG. 2) located at the right end. It overlaps in a plane. The third bypass capacitor 502B-1 is one of the signal input terminals (mounting terminal group) 320, and is a fourth mounting terminal 320B-2 (shown in FIG. 2) located on the left side of the third mounting terminal 320B-1. And the second mounting terminal 320-2).

また、図2の第1のフライングキャパシタ501−1〜第4のフライングキャパシタ501−4にかわる第5のフライングキャパシタ501B−1〜第8のフライングキャパシタ501B−4が配置される。第8のフライングキャパシタ501B−4は第4の実装端子320B−2の左隣にある第5の実装端子320B−3と平面的に重なっている。また、第7のフライングキャパシタ501B−3は第5の実装端子320B−3の左隣にある第6の実装端子320B−4と平面的に重なっている。また、第6のフライングキャパシタ501B−2は第6の実装端子320B−4の左隣にある第7の実装端子320B−5と平面的に重なっている。また、また、第5のフライングキャパシタ501B−1は第7の実装端子320B−5の左隣にある第8の実装端子320B−6と平面的に重なっている。なお、図13上には図面の見やすさを考慮し、第6のフライングキャパシタ501B−2および第7のフライングキャパシタ501B−3と第6の実装端子320B−4および第7の実装端子320B−5は省略しているが、第6のフライングキャパシタ501B−2および第7のフライングキャパシタ501B−3は第5のフライングキャパシタ501B−1及び第8のフライングキャパシタ501B−4と、第6の実装端子320B−4および第7の実装端子320B−5は第5の実装端子320B−3および第8の実装端子320B−6とそれぞれ同様である。   Also, a fifth flying capacitor 501B-1 to an eighth flying capacitor 501B-4 are arranged instead of the first flying capacitor 501-1 to the fourth flying capacitor 501-4 in FIG. The eighth flying capacitor 501B-4 overlaps the fifth mounting terminal 320B-3 on the left side of the fourth mounting terminal 320B-2 in plan view. The seventh flying capacitor 501B-3 overlaps the sixth mounting terminal 320B-4 on the left side of the fifth mounting terminal 320B-3 in plan view. The sixth flying capacitor 501B-2 overlaps the seventh mounting terminal 320B-5 on the left side of the sixth mounting terminal 320B-4 in a plan view. Further, the fifth flying capacitor 501B-1 overlaps the eighth mounting terminal 320B-6 on the left side of the seventh mounting terminal 320B-5 in plan view. Note that the sixth flying capacitor 501B-2, the seventh flying capacitor 501B-3, the sixth mounting terminal 320B-4, and the seventh mounting terminal 320B-5 are shown in FIG. 13 in consideration of the visibility of the drawing. Are omitted, the sixth flying capacitor 501B-2 and the seventh flying capacitor 501B-3 are the same as the fifth flying capacitor 501B-1 and the eighth flying capacitor 501B-4, and the sixth mounting terminal 320B. -4 and the seventh mounting terminal 320B-5 are the same as the fifth mounting terminal 320B-3 and the eighth mounting terminal 320B-6, respectively.

第3の実装端子320B−1〜第8の実装端子320B−6は信号入力端子(実装端子群)320Bの右端の一部であって、FPC(可撓性基板)928に接続されて外部から適切な電位もしくは信号を入力される。具体的には第3の実装端子320B−1にはGND電位(0V)が、第4の実装端子320B−2には+5V電位が、第5の実装端子320B−3にはポンピングパルス信号PCLK1が、第6の実装端子320B−4にはポンピングパルス信号XPCLK1が、第7の実装端子320B−5にはポンピングパルス信号PCLK2が、第8の実装端子320B−6にはポンピングパルス信号XPCLK2が入力される。ここでポンピングパルス信号PCLK1は30KHzの50%デューティー矩形波であって、ポンピングパルス信号PCLK2はポンピングパルス信号PCLK1と全く波形の同じ信号であり、ポンピングパルス信号XPCLK1はポンピングパルス信号PCLK1の逆相信号であり、ポンピングパルス信号XPCLK2はポンピングパルス信号PCLK2の逆相信号であり、これらの信号の電位振幅は0〜5Vである。   The third mounting terminal 320B-1 to the eighth mounting terminal 320B-6 are part of the right end of the signal input terminal (mounting terminal group) 320B, and are connected to an FPC (flexible substrate) 928 from the outside. Appropriate potential or signal is input. Specifically, the third mounting terminal 320B-1 has a GND potential (0V), the fourth mounting terminal 320B-2 has a + 5V potential, and the fifth mounting terminal 320B-3 has a pumping pulse signal PCLK1. The sixth mounting terminal 320B-4 receives the pumping pulse signal XPCLK1, the seventh mounting terminal 320B-5 receives the pumping pulse signal PCLK2, and the eighth mounting terminal 320B-6 receives the pumping pulse signal XPCLK2. The Here, the pumping pulse signal PCLK1 is a 50% duty rectangular wave of 30 KHz, the pumping pulse signal PCLK2 is a signal having the same waveform as the pumping pulse signal PCLK1, and the pumping pulse signal XPCLK1 is a reverse phase signal of the pumping pulse signal PCLK1. The pumping pulse signal XPCLK2 is a reverse phase signal of the pumping pulse signal PCLK2, and the potential amplitude of these signals is 0 to 5V.

説明した以外の点において、図13は図2と相違ないので同じ番号を付与することで説明を省略する。また、画素回路図に関しては第1実施例の図3、画素部の平面図に関しては第1実施例の図5、画素部の断面図は第1実施例の図6及び図7となんら相違ないのでこれも説明は省略する。   Except for what has been described, FIG. 13 is not different from FIG. Further, the pixel circuit diagram is the same as FIG. 3 of the first embodiment, the plan view of the pixel portion is FIG. 5 of the first embodiment, and the cross-sectional view of the pixel portion is no different from FIGS. 6 and 7 of the first embodiment. Therefore, the description thereof is also omitted.

図14はアクティブマトリクス基板101B上の張り出し部927の右端部の拡大平面図であり、第1の実施例における図8に相当する図であって、凡例も図8にならう。以下、図8との差異を中心に説明する。   FIG. 14 is an enlarged plan view of the right end portion of the overhanging portion 927 on the active matrix substrate 101B, corresponding to FIG. 8 in the first embodiment, and the legend also follows FIG. Hereinafter, the difference from FIG. 8 will be mainly described.

本構成では第8のフライングキャパシタ501B−4は第5の実装端子320B−3と、第7のフライングキャパシタ501B−3は第6の実装端子320B−4と、第6のフライングキャパシタ501B−2は第7の実装端子320B−5と、第5のフライングキャパシタ501B−1は第8の実装端子320B−6とそれぞれ平面的に重なっている。より具体的にはアルミ・ネオジウム合金(AlNd)とインジウム・錫合金(ITO)の配線層で第5の実装端子320B−3〜第8の実装端子320B−6を構成し、下層(よりアクティブマトリクス基板101Bに近い)のモリブデン薄膜(Mo)で第5のフライングキャパシタ501B−1〜第8のフライングキャパシタ501B−4を構成している。なお、図14上でも図13同様に図面の見やすさを考慮し、第6のフライングキャパシタ501B−2および第7のフライングキャパシタ501B−3と第6の実装端子320B−4および第7の実装端子320B−5は省略している。   In this configuration, the eighth flying capacitor 501B-4 is the fifth mounting terminal 320B-3, the seventh flying capacitor 501B-3 is the sixth mounting terminal 320B-4, and the sixth flying capacitor 501B-2 is The seventh mounting terminal 320B-5 and the fifth flying capacitor 501B-1 overlap with the eighth mounting terminal 320B-6 in a plane. More specifically, the fifth mounting terminal 320B-3 to the eighth mounting terminal 320B-6 are composed of wiring layers of aluminum / neodymium alloy (AlNd) and indium / tin alloy (ITO), and the lower layer (more active matrix). The fifth flying capacitor 501B-1 to eighth flying capacitor 501B-4 are composed of a molybdenum thin film (Mo) near the substrate 101B. In FIG. 14, the sixth flying capacitor 501B-2, the seventh flying capacitor 501B-3, the sixth mounting terminal 320B-4, and the seventh mounting terminal are considered in the same manner as in FIG. 320B-5 is omitted.

第4のバイパスコンデンサ502B−2は第3の実装端子320B−1と、第3のバイパスコンデンサ502B−1は第4の実装端子320B−2と、それぞれ平面的に重なって構成される。より具体的にはアルミ・ネオジウム合金(AlNd)と酸化インジウム・錫薄膜の配線層で第3の実装端子320B−1および第4の実装端子320B−2を構成し、その下層(よりアクティブマトリクス基板101Bに近い)のポリシリコンとモリブデン薄膜(Mo)で第3のバイパスコンデンサ502B−1および第4のバイパスコンデンサ502B−2を構成している。また、信号入力端子(実装端子群)320の右側には位置合わせ用アライメントマーク511B及びパネル番号マーク部510Bが構成されている。なお、本実施例では第1の実施例でのシールド配線520に相当する配線はない。また、第3の実装端子320B−1のさらに右側には位置合わせ用アライメントマーク511Bやパネル番号マーク部510Bが配置される。   The fourth bypass capacitor 502B-2 is configured to overlap with the third mounting terminal 320B-1, and the third bypass capacitor 502B-1 is configured to overlap with the fourth mounting terminal 320B-2. More specifically, the third mounting terminal 320B-1 and the fourth mounting terminal 320B-2 are composed of a wiring layer of aluminum / neodymium alloy (AlNd) and indium oxide / tin thin film, and the lower layer (more active matrix substrate). The third bypass capacitor 502B-1 and the fourth bypass capacitor 502B-2 are composed of polysilicon and a molybdenum thin film (Mo) close to 101B. An alignment mark 511B for alignment and a panel number mark portion 510B are formed on the right side of the signal input terminal (mounting terminal group) 320. In this embodiment, there is no wiring corresponding to the shield wiring 520 in the first embodiment. Further, an alignment mark 511B for alignment and a panel number mark portion 510B are arranged on the right side of the third mounting terminal 320B-1.

図15は図14のE−E'に沿った部分断面図である。画素電極402−n−mを構成する膜と同一膜である酸化インジウム・錫薄膜(ITO)及びデータ線202を構成する膜と同一膜であるアルミ・ネオジウム合金(AlNd)を積層して第5の実装端子320B−3を形成してなる。この第5の実装端子320B−3を構成するアルミ・ネオジウム合金(AlNd)が第8のフライングキャパシタ501B−4の上層配線501BBを兼用しており、層間絶縁膜と同一の膜で形成された容量絶縁膜501BCをはさんで配置される下層配線501BAの間に第8のフライングキャパシタ501B−4が形成されている。下層配線501BAは走査線201及び容量線203を構成する膜と同一膜であるモリブデン薄膜(Mo)よりなる。   FIG. 15 is a partial cross-sectional view taken along the line EE ′ of FIG. Indium oxide and tin thin film (ITO), which is the same film as the pixel electrode 402-nm, and aluminum / neodymium alloy (AlNd), which is the same film as the data line 202, are laminated to form a fifth layer. The mounting terminal 320B-3 is formed. The aluminum-neodymium alloy (AlNd) constituting the fifth mounting terminal 320B-3 also serves as the upper layer wiring 501BB of the eighth flying capacitor 501B-4, and is formed of the same film as the interlayer insulating film. An eighth flying capacitor 501B-4 is formed between the lower layer wiring 501BA disposed across the insulating film 501BC. The lower layer wiring 501BA is made of a molybdenum thin film (Mo) which is the same film as the film constituting the scanning line 201 and the capacitor line 203.

図16は図14のF−F'に沿った部分断面図である。画素電極402−n−mを構成する膜と同一膜である酸化インジウム・錫薄膜(ITO)及びデータ線202を構成する膜と同一膜であるアルミ・ネオジウム合金(AlNd)を積層して第3の実装端子320B−1を形成してなり、それと平面的に重なって第4のバイパスコンデンサ502B−2が形成されている。第4のバイパスコンデンサ502B−2は走査線201及び容量線203を構成する膜と同一膜であるモリブデン薄膜(Mo)よりなる上層配線502BBと、画素スイッチング素子401−n−mを構成するシリコンアイランド602と同一の膜で構成され、リンをドーズすることで比抵抗1kΩ程度に制御されたn+ポリシリコン薄膜よりなる下層配線502BAおよびゲート絶縁膜と同一の膜で構成される容量絶縁膜502BCをはさんで構成される。   FIG. 16 is a partial cross-sectional view taken along the line FF ′ of FIG. A third layer is formed by laminating an indium oxide and tin thin film (ITO) that is the same film as the pixel electrode 402-nm, and an aluminum and neodymium alloy (AlNd) that is the same film as the data line 202. Mounting terminal 320B-1 is formed, and a fourth bypass capacitor 502B-2 is formed so as to overlap with the mounting terminal 320B-1. The fourth bypass capacitor 502B-2 includes an upper layer wiring 502BB made of a molybdenum thin film (Mo) which is the same film as the film forming the scanning line 201 and the capacitor line 203, and a silicon island forming the pixel switching element 401-nm. A capacitive insulating film 502BC composed of the same film as the gate insulating film and the lower layer wiring 502BA composed of an n + polysilicon thin film composed of the same film as 602 and controlled to a specific resistance of about 1 kΩ by dosing phosphorus. Consists of.

本実施例に係る透過型液晶表示装置の斜視構成図は第1の実施例における図1と、本第2の実施例での電子機器の具体的な構成を示すブロック図は第1の実施例における図4とアクティブマトリクス基板101をアクティブマトリクス基板101Bに置き換える以外にそれぞれ相違ないので説明を省略する。   The perspective configuration diagram of the transmissive liquid crystal display device according to the present embodiment is FIG. 1 in the first embodiment, and the block diagram showing the specific configuration of the electronic device in the second embodiment is the first embodiment. 4 is the same as FIG. 4 except that the active matrix substrate 101B is replaced with the active matrix substrate 101B, and a description thereof will be omitted.

図17は電源回路304Bの回路図である。本実施例では第5の実装端子320B−3〜第8の実装端子320B−6を通じてポンピングパルス信号PCLK1,XPCLK1,PCLK2,XPCLK2が外部より入力されるため、第1の実施例における図11の第1インバーター回路521A、第2インバーター回路522A、第3インバーター回路523A、第4インバーター回路521B、第5インバーター回路522B、第6インバーター回路523Bは必要ない。この点を除けば第1のバイパスコンデンサ502−1、第2のバイパスコンデンサ502−2を第3のバイパスコンデンサ502B−1、第4のバイパスコンデンサ502B−2に、第1のフライングキャパシタ501−1〜第4のフライングキャパシタ501−4を第5のフライングキャパシタ501B−1〜第8のフライングキャパシタ501B−4に、第1の実装端子320−1、第2の実装端子320−2を第3の実装端子320B−1、第4の実装端子320B−2に、それぞれ置き換える以外は第1の実施例における図11となんら変わる点はないので同じ記号を与えることで説明は省略する。   FIG. 17 is a circuit diagram of the power supply circuit 304B. In this embodiment, the pumping pulse signals PCLK1, XPCLK1, PCLK2, and XPCLK2 are input from the outside through the fifth mounting terminal 320B-3 to the eighth mounting terminal 320B-6. The 1 inverter circuit 521A, the second inverter circuit 522A, the third inverter circuit 523A, the fourth inverter circuit 521B, the fifth inverter circuit 522B, and the sixth inverter circuit 523B are not necessary. Except this point, the first bypass capacitor 502-1 and the second bypass capacitor 502-2 are replaced with the third bypass capacitor 502B-1 and the fourth bypass capacitor 502B-2, and the first flying capacitor 501-1. To the fourth flying capacitor 501-4 to the fifth flying capacitor 501B-1 to the eighth flying capacitor 501B-4, and the first mounting terminal 320-1 and the second mounting terminal 320-2 to the third. Except for replacing the mounting terminal 320B-1 and the fourth mounting terminal 320B-2, respectively, there is no difference from FIG. 11 in the first embodiment.

このように本実施例では信号入力端子(実装端子群)320Bの一部と第3のバイパスコンデンサ502B−1、第4のバイパスコンデンサ502B−2及び第5のフライングキャパシタ501B−1〜第8のフライングキャパシタ501B−4を重ねて構成することで張り出し部927の面積が増大することを防ぎながら電源回路304に必要なコンデンサを内蔵しているため、コストが安く、装置を小型化できるのである。また、フライングキャパシタをポンピングパルス信号の実装端子部と、バイパスコンデンサを電源電位の実装端子部とそれぞれ重ねてあるために配線経路長が0もしくは最小になっており、配線の抵抗・容量が少ないために電源回路の効率が高くなるというメリットも有している。   Thus, in this embodiment, a part of the signal input terminal (mounting terminal group) 320B, the third bypass capacitor 502B-1, the fourth bypass capacitor 502B-2, and the fifth flying capacitor 501B-1 to eighth Since the capacitor necessary for the power supply circuit 304 is built in while preventing the increase in the area of the overhanging portion 927 by configuring the flying capacitors 501B-4 in an overlapping manner, the cost can be reduced and the apparatus can be downsized. Also, since the flying capacitor is overlapped with the mounting terminal part of the pumping pulse signal and the bypass capacitor is overlapped with the mounting terminal part of the power supply potential, the wiring path length is 0 or minimum, and the resistance / capacitance of the wiring is small. In addition, there is a merit that the efficiency of the power supply circuit is increased.

また、フライングキャパシタ501とバイパスコンデンサ502の要求される特性の差に応じてコンデンサを構成する膜種を変えている点は第1の実施例と同じである。   Further, the film type constituting the capacitor is changed according to the required difference in characteristics between the flying capacitor 501 and the bypass capacitor 502, which is the same as the first embodiment.

なお、本実施例では電源の端子部下にバイパスコンデンサを配置したが、駆動信号など、電源以外の端子部下に配置しても差し支えない。但し、一定電位でない信号線の端子部下にコンデンサを配置する場合は信号が変化した際にコンデンサにノイズがのるのでこれに関して留意して設計する必要がある。また、逆にフライングキャパシタをポンピングパルス信号ではなく電源や他信号の端子部下に配置しても差し支えない。但し、このように構成するとフライングキャパシタにノイズがのる、駆動振幅が低くなるなどの問題も生じるのでこれに関して留意して設計する必要がある。   In the present embodiment, the bypass capacitor is disposed under the terminal portion of the power supply. However, it may be disposed under the terminal portion other than the power supply such as a drive signal. However, when a capacitor is arranged under a terminal portion of a signal line that is not at a constant potential, noise must be generated in the capacitor when the signal changes, so that it is necessary to design with care in this regard. Conversely, the flying capacitor may be arranged under the power supply or other signal terminal instead of the pumping pulse signal. However, such a configuration also causes problems such as noise on the flying capacitor and low drive amplitude. Therefore, it is necessary to design with attention to this.

また、第1の実施例と組合せ、一部のバイパスコンデンサやフライングキャパシタは位置合わせ用アライメントマーク511Bやパネル番号マーク部510Bなどのマーク部に重ねて配置しても良い。   Further, in combination with the first embodiment, some bypass capacitors and flying capacitors may be arranged on mark portions such as alignment mark 511B for alignment and panel number mark portion 510B.

またさらに、本実施例では張り出し部にFPC(可撓性基板)のみが実装されるが、駆動IC等が張り出し部に実装される、いわゆるCOG(Chip On Glass)の表示装置であれば、駆動ICとの実装に用いられる信号入力端子(実装端子群)とバイパスコンデンサやフライングキャパシタを重ねて構成すればよい。   Furthermore, in this embodiment, only the FPC (flexible substrate) is mounted on the overhanging portion, but if it is a so-called COG (Chip On Glass) display device in which a driving IC or the like is mounted on the overhanging portion, driving is possible. What is necessary is just to comprise the signal input terminal (mounting terminal group) used for mounting with IC, a bypass capacitor, and a flying capacitor.

本発明は実施例の形態に限定されるものではなく、TNモードではなく垂直配向モード(VAモード)、横電界を利用したIPSモード、フリンジ電界を利用したFFSモードなどの液晶表示装置に利用しても構わない。また、全透過型のみならず全反射型、反射透過兼用型であっても構わない。   The present invention is not limited to the embodiments, and is used for liquid crystal display devices such as a vertical alignment mode (VA mode) instead of the TN mode, an IPS mode using a lateral electric field, and an FFS mode using a fringe electric field. It doesn't matter. Moreover, not only a total transmission type but also a total reflection type and a reflection / transmission combined type may be used.

また、液晶表示装置ではなく、有機ELディスプレイ、フィールドエミッション型ディスプレイに用いても良い。   Moreover, you may use for an organic electroluminescent display and a field emission type display instead of a liquid crystal display device.

本発明の実施例に係る液晶表示装置910の斜視図。The perspective view of the liquid crystal display device 910 which concerns on the Example of this invention. 本発明の第1の実施例に係るアクティブマトリクス基板101の構成図。1 is a configuration diagram of an active matrix substrate 101 according to a first embodiment of the present invention. 本発明の実施例に係るアクティブマトリクス基板101の画素回路図。1 is a pixel circuit diagram of an active matrix substrate 101 according to an embodiment of the present invention. 本発明の電子機器の実施例を示すブロック図。1 is a block diagram illustrating an embodiment of an electronic device of the present invention. 本発明の実施例に係る画素表示領域310の画素部の平面図。The top view of the pixel part of the pixel display area 310 which concerns on the Example of this invention. 図5A−A'に沿った部分断面図。FIG. 5A is a partial cross-sectional view along AA ′. 図5B−B'に沿った部分断面図。FIG. 5B is a partial cross-sectional view taken along the line BB ′. 本発明の第1の実施例に係る張り出し部927の平面図。The top view of the overhang | projection part 927 which concerns on the 1st Example of this invention. 図8C−C'に沿った部分断面図。FIG. 9 is a partial cross-sectional view taken along the line CC ′. 図8D−D'に沿った部分断面図。FIG. 8D is a partial cross-sectional view taken along the line DD ′. 本発明の第1の実施例に係る電源回路304の回路図。1 is a circuit diagram of a power supply circuit 304 according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施例の別実施形態に係る張り出し部927の平面図。The top view of the overhang | projection part 927 which concerns on another embodiment of the 1st Example of this invention. 本発明の第2の実施例に係るアクティブマトリクス基板101Bのブロック構成図。The block block diagram of the active matrix substrate 101B which concerns on the 2nd Example of this invention. 本発明の第2の実施例に係る張り出し部927の平面図。The top view of the overhang | projection part 927 which concerns on the 2nd Example of this invention. 図14E−E'に沿った部分断面図。FIG. 14E is a partial cross-sectional view taken along the line EE ′. 図14F−F'に沿った部分断面図。FIG. 14 is a partial cross-sectional view taken along line F-F ′. 本発明の第2の実施例に係る電源回路304Bの回路図。The circuit diagram of the power supply circuit 304B which concerns on the 2nd Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1A,1B,2A,2B,3A,3B…ノード、101,101B…アクティブマトリクス基板、201,201−1〜201−480,201−n…走査線、202,202−1〜202−1920,202−m…データ線、203,203−1〜203−480,203−n…容量線、301…走査線駆動回路、302…データ線駆動回路、303…パネル内配線、304,304B…電源回路、305…信号回路、306…共通電位電源回路、310…画素表示領域、320,320B…信号入力端子(実装端子群)、320−1…第1の実装端子、320−2…第2の実装端子、320B−1…第3の実装端子、320B−2…第4の実装端子、320B−3…第5の実装端子、320B−4…第6の実装端子、320B−5…第7の実装端子、320B−6…第8の実装端子、330…対向導通部、401−n−m…画素スイッチング素子、402−n−m…画素電極、403−n−m…補助容量コンデンサ、501…フライングキャパシタ、501−1…第1のフライングキャパシタ、501−2…第2のフライングキャパシタ、501−3…第3のフライングキャパシタ、501−4…第4のフライングキャパシタ、501A,501BA,502A,502BA…下層配線、501B,501BB,502B,502BB…上層配線、501B−1…第5のフライングキャパシタ、501B−2…第6のフライングキャパシタ、501B−3…第7のフライングキャパシタ、501B−4…第8のフライングキャパシタ、501BC,501C,502BC,502C…容量絶縁膜、502…バイパスコンデンサ、502−1…第1のバイパスコンデンサ、502−2…第2のバイパスコンデンサ、502B−1…第3のバイパスコンデンサ、502B−2…第4のバイパスコンデンサ、510',510,510B…パネル番号マーク部、510A…除去部、511,511B…位置合わせ用アライメントマーク、520',520…シールド配線、521A…第1インバーター回路、521B…第4インバーター回路、522A…第2インバーター回路、522B…第5インバーター回路、523A…第3インバーター回路、523B…第6インバーター回路、531A…第1p型スイッチングトランジスタ、531B…第3n型スイッチングトランジスタ、532A…第2p型スイッチングトランジスタ、532B…第4n型スイッチングトランジスタ、533A…第1n型スイッチングトランジスタTFT、533B…第3p型スイッチングトランジスタTFT、534A…第2n型スイッチングトランジスタTFT、534B…第4p型スイッチングトランジスタTFT、601…下地絶縁膜、602…シリコンアイランド、602I…真性半導体領域、602L…n−領域、602N…n+領域、603…ソース電極、604…ドレイン電極、605…容量部電極、606…ゲート絶縁膜、761,781…中央演算回路、780…映像処理回路、782…外部I/F回路、783…入出力機器、784…外部電源回路、910…液晶表示装置、911…表示パネル、912…対向基板、922…液晶材料、923…シール材、924…上偏光板、925…下偏光板、926…バックライトユニット、927…張り出し部、928…FPC(可撓性基板)、929…コネクタ、930…コモン(COM)電極としての対向電極、D0〜D17…映像信号、PCLK,PCLK1,PCLK2,XPCLK1,XPCLK2…ポンピングパルス信号。   1A, 1B, 2A, 2B, 3A, 3B ... nodes, 101, 101B ... active matrix substrates, 201, 201-1 to 201-480, 201-n ... scanning lines, 202, 202-1 to 202-1920, 202 -M ... data line, 203, 203-1 to 203-480, 203-n ... capacitance line, 301 ... scanning line drive circuit, 302 ... data line drive circuit, 303 ... in-panel wiring, 304, 304B ... power supply circuit, 305 ... Signal circuit, 306 ... Common potential power supply circuit, 310 ... Pixel display area, 320, 320B ... Signal input terminal (mounting terminal group), 320-1 ... First mounting terminal, 320-2 ... Second mounting terminal , 320B-1 ... third mounting terminal, 320B-2 ... fourth mounting terminal, 320B-3 ... fifth mounting terminal, 320B-4 ... sixth mounting terminal, 320B-5 ... seventh Mounting terminal, 320B-6 ... eighth mounting terminal, 330 ... opposing conductive part, 401-nm, pixel switching element, 402-nm, pixel electrode, 403-nm, auxiliary capacitor, 501 ... Flying capacitor, 501-1 ... first flying capacitor, 501-2 ... second flying capacitor, 501-3 ... third flying capacitor, 501-4 ... fourth flying capacitor, 501A, 501BA, 502A, 502BA ... lower layer wiring, 501B, 501BB, 502B, 502BB ... upper layer wiring, 501B-1 ... fifth flying capacitor, 501B-2 ... sixth flying capacitor, 501B-3 ... seventh flying capacitor, 501B-4 ... first 8 flying capacitors, 501BC, 501C, 502BC, 50 C: Capacitance insulating film, 502 ... Bypass capacitor, 502-1 ... First bypass capacitor, 502-2 ... Second bypass capacitor, 502B-1 ... Third bypass capacitor, 502B-2 ... Fourth bypass capacitor , 510 ', 510, 510B ... panel number mark portion, 510A ... removal portion, 511, 511B ... alignment mark for alignment, 520', 520 ... shield wiring, 521A ... first inverter circuit, 521B ... fourth inverter circuit, 522A ... 2nd inverter circuit, 522B ... 5th inverter circuit, 523A ... 3rd inverter circuit, 523B ... 6th inverter circuit, 531A ... 1st p-type switching transistor, 531B ... 3n-type switching transistor, 532A ... 2nd p-type switching Transis 532B: Fourth n-type switching transistor, 533A: First n-type switching transistor TFT, 533B: Third p-type switching transistor TFT, 534A: Second n-type switching transistor TFT, 534B: Fourth p-type switching transistor TFT, 601: Base insulating film 602 ... Silicon island, 602I ... Intrinsic semiconductor region, 602L ... n- region, 602N ... n + region, 603 ... Source electrode, 604 ... Drain electrode, 605 ... Capacitor electrode, 606 ... Gate insulating film, 761, 781 ... Center Arithmetic circuit, 780 ... Video processing circuit, 782 ... External I / F circuit, 783 ... Input / output device, 784 ... External power supply circuit, 910 ... Liquid crystal display device, 911 ... Display panel, 912 ... Counter substrate, 922 ... Liquid crystal material, 923 ... Sealing material, 924 Upper polarizing plate, 925 ... Lower polarizing plate, 926 ... Backlight unit, 927 ... Overhang, 928 ... FPC (flexible substrate), 929 ... Connector, 930 ... Counter electrode as common (COM) electrode, D0 to D17 ... Video signal, PCLK, PCLK1, PCLK2, XPCLK1, XPCLK2 ... Pumping pulse signal.

Claims (10)

表示用第1基板と、前記表示用第1基板に対向して配置された表示用第2基板からなる表示パネルと、
前記表示パネルに配置され、該パネル外部から入力された電源電位から所定の電源電位を生成する電源回路と、
前記電源回路に接続されるコンデンサを備えた表示装置であって、
前記表示用第1基板は、前記表示用第2基板が対向配置された部分から突出した張り出し部を有し、
前記電源回路に接続されるコンデンサは、前記張り出し部に形成されたことを特徴とする表示装置。
A display panel comprising a first substrate for display and a second substrate for display disposed opposite to the first substrate for display;
A power supply circuit disposed on the display panel and generating a predetermined power supply potential from a power supply potential input from outside the panel;
A display device comprising a capacitor connected to the power supply circuit,
The first display substrate has an overhanging portion protruding from a portion where the second display substrate is opposed to the display substrate,
The display device, wherein the capacitor connected to the power supply circuit is formed in the projecting portion.
表示用第1基板と、前記表示用第1基板に対向して配置された表示用第2基板と、前記表示用第1基板および前記表示用第2基板によって挟持された液晶とを備えた表示パネルと、
前記表示パネルに配置され、外部から入力された電源電位から所定の電源電位を生成する電源回路と、
前記電源回路に接続されるコンデンサを備えた表示装置であって、
前記表示用第1基板は、前記液晶が挟持された部分から突出した張り出し部を有し、
前記電源回路に接続されるコンデンサは、前記張り出し部に形成されたことを特徴とする表示装置。
A display comprising: a first display substrate; a second display substrate disposed opposite to the first display substrate; and a liquid crystal sandwiched between the first display substrate and the second display substrate. A panel,
A power supply circuit disposed on the display panel and generating a predetermined power supply potential from a power supply potential input from the outside;
A display device comprising a capacitor connected to the power supply circuit,
The first substrate for display has a protruding portion protruding from a portion where the liquid crystal is sandwiched,
The display device, wherein the capacitor connected to the power supply circuit is formed in the projecting portion.
前記張り出し部にはICもしくは可撓性基板を実装するための実装端子を備え、
前記コンデンサは前記実装端子と重畳した領域に形成されたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の表示装置。
The overhanging portion includes a mounting terminal for mounting an IC or a flexible substrate,
The display device according to claim 1, wherein the capacitor is formed in a region overlapping with the mounting terminal.
前記張り出し部には個別識別のためのパネル番号マークを備え、
前記コンデンサは前記パネル番号マークと重畳した領域に形成されたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の表示装置。
The overhang part is provided with a panel number mark for individual identification,
The display device according to claim 1, wherein the capacitor is formed in a region overlapping with the panel number mark.
前記張り出し部には光学的にアライメントをとるためのアライメントマークを備え、
前記コンデンサは前記アライメントマークと重畳した領域に形成されたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の表示装置。
The overhang portion includes an alignment mark for optical alignment,
The display device according to claim 1, wherein the capacitor is formed in a region overlapping with the alignment mark.
前記アライメントマークは、前記張り出し部にICもしくは可撓性基板を実装する際の合わせマークであることを特徴とする請求項5に記載の表示装置。   The display device according to claim 5, wherein the alignment mark is an alignment mark when an IC or a flexible substrate is mounted on the projecting portion. 前記コンデンサは透明電極に覆われていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein the capacitor is covered with a transparent electrode. 低温ポリシリコン薄膜形成技術により基板上に薄膜トランジスタ等の回路が積層形成された表示用第1基板と、前記表示用第1基板に対向して配置された表示用第2基板からなる表示パネルと、
前記表示用第1基板に配置され、周期的に両端の電位が変動するフライングコンデンサをポンピング動作することで外部から入力された電源電位から所定の電源電位を生成するチャージポンプ回路からなる電源回路と、
前記電源回路からの出力電源電位に接続され、前記出力電源電位を安定させるためのバイパスコンデンサと、
前記表示用第1基板と前記表示用第2基板とが対向配置された部分から突出した前記表示用第1基板の張り出し部とを備えた表示装置であって、
前記フライングコンデンサおよびバイパスコンデンサは、前記表示用第1基板上に前記低温ポリシリコン薄膜形成技術により積層形成され、前記フライングコンデンサと前記バイパスコンデンサは、互いに異なった層を導電膜またはおよび絶縁膜としたことを特徴とする表示装置。
A first display substrate in which circuits such as thin film transistors are laminated on a substrate by a low-temperature polysilicon thin film formation technique, and a display panel comprising a second display substrate disposed to face the first display substrate;
A power supply circuit comprising a charge pump circuit which is disposed on the first substrate for display and generates a predetermined power supply potential from a power supply potential input from the outside by pumping a flying capacitor whose potential at both ends periodically fluctuates; ,
A bypass capacitor connected to the output power supply potential from the power supply circuit and for stabilizing the output power supply potential;
A display device comprising: a protruding portion of the first display substrate that protrudes from a portion where the first display substrate and the second display substrate are arranged to face each other;
The flying capacitor and the bypass capacitor are stacked on the first substrate for display by the low-temperature polysilicon thin film forming technique, and the flying capacitor and the bypass capacitor have different layers as a conductive film and / or an insulating film. A display device characterized by that.
前記バイパスコンデンサを構成する導電膜の少なくとも一方のみがポリシリコン膜であることを特徴とする請求項8に記載の表示装置。   9. The display device according to claim 8, wherein only at least one of the conductive films constituting the bypass capacitor is a polysilicon film. 請求項1乃至請求項9ののいずれか一項に記載の表示装置を備えたことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the display device according to any one of claims 1 to 9.
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