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JP2008168358A - 球体加工装置 - Google Patents

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JP2008168358A
JP2008168358A JP2007001152A JP2007001152A JP2008168358A JP 2008168358 A JP2008168358 A JP 2008168358A JP 2007001152 A JP2007001152 A JP 2007001152A JP 2007001152 A JP2007001152 A JP 2007001152A JP 2008168358 A JP2008168358 A JP 2008168358A
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Kei Kakinuma
圭 柿沼
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  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

【課題】ガラスやセラミックスなどのワークを安定的かつ高品質な球体に加工する。
【解決手段】球体加工装置10は、第1のモータ38と、第1のモータ38により回転駆動されてワーク33を載置する円板28と、円板28と同軸上に配置され該円板28とともに加工槽32を形成する円筒側壁30と、加工槽32に投入されたワーク33を衝突させてワーク33の移動方向を強制的に変更し、円筒側壁30との接触部位を変更させる方向変更部材34と、円板28と円筒側壁30との間に形成されて粉塵を排出する隙間空間31と、円板28及び円筒側壁30に付着されてワーク33を加工する砥粒とを備える。
【選択図】 図1

Description

本発明は、球体加工装置に係り、特にガラスやセラミックス等の脆性材料からなるワークを球状に加工する球体加工装置に関する。
従来、ガラスやセラミックスなどの脆性材料からなるワークを球状に加工する球体加工は、例えばバレル加工装置により行われていた。このバレル加工装置では、ブロック材などから切り出したキューブ形状の被加工物(以下、「ワーク」という)を球状に加工することが可能である。すなわち、このバレル加工装置は、ダイヤモンド等の砥粒を内面に付着させた容器内に多数のワークを投入し、この多数のワークを容器の回転に伴って転動させ、球体に加工するものである。
しかし、この加工方法では、ワークの転動軌跡が一様であるため加工作業に長時間を要していた。そこで、この時間的不利を克服するため、例えば特許文献1の加工技術が提案されている。
この特許文献1の加工装置は、ワークを投入する円筒状容器を備え、この円筒状容器の上面開口部を蓋で覆うとともに、その容器の底面及び側面にダイヤモンド等の砥粒を付着させている。また、蓋の中央部には、ワークの加工に伴い円筒状容器内に発生した粉塵を上方に吸引するためのバキュームノズルが接続されている。
そして、加工時には、円筒状容器内に多数のワークを投入し、蓋を閉めてから該円筒状容器を回転させる。このように、円筒状容器を回転させることで、投入された多数のワークが自転かつ公転する。このとき、内部のワーク同士、及びワークと円筒状側壁及び円筒底面が接触する。この接触により、ワークの角部が削り取られて該ワークの球体加工が行われる。また、円筒状容器内に発生する粉塵は、蓋の中央に接続されたバキュームノズルを通じて吸引除去される。
特開2006−35334号公報
しかしながら、特許文献1では、円筒状容器を低速で回転させたときに、投入されたワークの自転運動に偏りができてしまう。このため、ワークの同じ場所しか削られず、該ワークの球体形状が崩れてしまうという課題があった。また、加工中に発生する粉塵が、ワークに再付着することを防止するため、バキュームノズルで吸引しているが、円筒状容器の上部に粉塵の排気口が設けられているため、発生した粉塵を上方に舞い上げて吸引しなければならなかった。
また、加工中に発生した、ワークのワレ・欠けなどにより発生した比較的大きな破片は、舞い上がることができず、吸引によって排出することができない。そのため、その破片が他のワークに接触して新たなワレ・欠けを誘発することになっていた。
さらに、舞い上がってもすぐに落ちてしまうような大きさのガラス粉末も排出できないため、その粉末が砥粒面に残ってしまう。そして、この残った粉末が砥粒の目詰まりにつながり、安定した加工を行うことが困難であった。
本発明は、斯かる課題を解決するためになされたもので、ガラスやセラミックスなどの脆性材料を安定的かつ高品質な球体に加工することのできる球体加工装置を提供することを目的とする。
前記目的を達成するため、請求項1に係る発明は、
ガラスやセラミックス等の脆性材料からなるワークを球体に加工する球体加工装置において、
第1の駆動手段と、
該第1の駆動手段により回転駆動されて前記ワークを載置する円板と、
該円板と同軸上に配置され該円板とともに加工槽を形成する円筒側壁と、
前記加工槽に投入された前記ワークを衝突させて該ワークの移動方向を強制的に変更し、該ワークと前記円筒側壁との接触部位を変更させる移動方向変更手段と、
前記円板と前記円筒側壁との間に形成されて粉塵を排出する隙間空間と、
前記円板及び前記円筒側壁の少なくともいずれか一方に付着されて前記ワークを加工する砥粒と、を備えることを特徴とする。
請求項2に係る発明は、請求項1に記載の球体加工装置において、
前記移動方向変更手段は、前記円筒側壁に固定状態で取付けられていることを特徴とする。
請求項3に係る発明は、請求項1に記載の球体加工装置において、
前記移動方向変更手段を回転駆動する第2の駆動手段を備えていることを特徴とする。
請求項4に係る発明は、請求項3に記載の球体加工装置において、
前記移動方向変更手段は、前記円板の回転方向と逆方向に回転可能に配置されていることを特徴とする。
請求項5に係る発明は、請求項1に記載の球体加工装置において、
前記移動方向変更手段は、弾性体、板ばね、合成樹脂、又は金属棒のいずれかを有することを特徴とする。
請求項6に係る発明は、請求項1に記載の球体加工装置において、
前記円筒側壁は、前記円板に対して固定されていることを特徴とする。
請求項7に係る発明は、請求項1に記載の球体加工装置において、
前記円筒側壁を回転駆動する第3の駆動手段を備えていることを特徴とする。
請求項8に係る発明は、請求項7に記載の球体加工装置において、
前記円筒側壁は、前記円板の回転方向と逆方向に回転することを特徴とする。
請求項9に係る発明は、請求項1に記載の球体加工装置において、
前記隙間空間は、前記円板と前記円筒側壁との間の下方に形成された排気流路に連通していることを特徴とする。
請求項10に係る発明は、請求項1又は9に記載の球体加工装置において、
前記隙間空間は、前記ワークの加工により得られた球体の半径未満の寸法を有することを特徴とする。
請求項11に係る発明は、請求項9に記載の球体加工装置において、
前記排気流路は、排塵装置に接続されていることを特徴とする。
請求項12に係る発明は、請求項9又は11に記載の球体加工装置において、
前記排気流路は、前記円板と同軸状に形成された円環状の溝を有していることを特徴とする。
本発明によれば、ガラスやセラミックスなどの脆性材料を安定的かつ高品質な球体に加工することができる。
以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本実施の形態の球体加工装置の要部断面にハッチング処理をした要部断面正面図であり、図2は、そのII−II断面図である。
球体加工装置10は、枠体状の架台12上にベース板14が設置され、このベース板14の中央に鉛直方向に延びるスピンドル筒16、及び該スピンドル筒16の上端面にスピンドル蓋18が設けられている。このスピンドル筒16には、その両端開口部の内側に、ベアリング20、20が装着されている。このベアリング20、20により、鉛直方向に延びる段付きのシャフト22が回動可能に支持されている。また、スピンドル蓋18の内径部とシャフト22の外周部との間には、オイルシール24が介装されている。
また、ベース板14上には、スピンドル筒16と同軸状に、円筒状のベースブロック26が固定されており、その上部には円環状に溝26aが穿設されている。更に、シャフト22の上端部には、該シャフト22と同軸状に円板28が固定されている。そして、この円板28の外周部を周囲から囲むように、該円板28の外周面と所定間隙を隔てて、円筒状の円筒側壁30が載置され、その下端側がベースブロック26の上部に穿設された溝26a内に固定されている。そして、円板28の外周部側の下面は、溝26aの一部を覆っていて、その下面側に所定間隔よりも大きい隙間を形成している。なお、これら円板28と円筒側壁30とは、同軸状に配置されている。
こうして、円板28の上面と円筒側壁30の内面によって円筒形状の加工槽32が形成されている。加工時には、ワーク(被加工物)33が加工槽32内に投入されて加工される。また、円板28の外周部と円筒側壁30の内周部(内面)との間には、加工時に発生する粉塵を排出する隙間空間31が形成されている。
なお、ワーク33は、ガラスやセラミックス等の脆性材料からなり、ブロック材から切り出したキューブ形状(立方体、正六面体)、若しくは棒材から切り出した円柱形状等をなしている。
さらに、円板28の上面(ワーク載置面)及び円筒側壁30の内面には、ダイヤモンド等の不図示の砥粒が電着等により付着されている。なお、この砥粒は、円板28と円筒側壁30のいずれか一方に付着されていても良い。この砥粒の粗さは、ダイヤモンド砥粒の場合、例えば粗いもので♯60〜80、また密なもので♯400等が用いられる。また、円筒側壁30の内面には、移動方向変更手段としての方向変更部材34が、その上端部を円筒側壁30上面により支持された状態で上下方向に垂設されている。この方向変更部材34の下端は、円板28に対して接触しないようになっている。
この方向変更部材34は、例えばゴム等の弾性体、板ばね、合成樹脂、又は金属棒等からなっている。この方向変更部材34は、その断面形状が、例えば円形、四角形、三角形等に形成されている。ただし、特定の形状に限定されるものではない。この方向変更部材34は、加工槽32に投入されたワーク33が円板28の回転に伴って加工槽内で移動する際に、このワーク33を該方向変更部材34に衝突させてワーク33の移動方向を強制的に変更するものである。すなわち、方向変更部材34は、ワーク33と円筒側壁30との接触部位を変更させる役目をなす。
一方、ベース板14の下方には、第1の駆動手段としての第1のモータ38が固定されている。この第1のモータ38の出力軸38aには、プーリ36が固定されている。また、前述したシャフト22の下端には、プーリ40が固定されている。さらに、これら2つのプーリ36、40間にはタイミングベルト42が巻回されている。これにより、第1のモータ38が回転すると円板28が回転駆動される。
また、ベースブロック26には、円環状の排気流路44が円板28と同軸状に形成されている。この排気流路44は、断面略U字状に穿設された溝となっている。この排気流路44は、円板28の外周面と円筒側壁30の内面との間に形成された隙間空間31の下方位置に設けられている。
さらに、この隙間空間31の幅は、ワーク33が加工された後の球の半径未満の寸法に設定されている。隙間空間31の幅が、球の寸法よりも大きいと、この隙間空間31にワーク33が入り込んだり、挟まったりしてワーク33が移動困難となるためである。
また、排気流路44は環状流路となっており、図2に示すように、その接線上の位置にノズル46が固定されている。このノズル46は、不図示の排塵装置に接続されている。これにより、前述した隙間空間31から排気流路44に落下した加工粉塵は、この排塵装置により矢印A方向に吸引されて排塵される。
なお、図2では、装置本体に2つのノズル46を設けた場合を示しているが、その個数は限定されない。また、図1に示したように、排気流路44が形成されたベースブロック26の内側の壁26aの上面と、これに対向する円板28の下面との間には、不図示のラビリンスが形成されている。このラビリンスにより、加工槽32内で発生した加工粉塵がスピンドル筒16内に容易に入り込むのが防止される。
さらに、ベース板14には、大気開放孔48が形成されている。この大気開放孔48は、ベース板14とベースブロック26、及び円板28間に形成された空間49内の圧力を、大気圧と同じにするために設けられたものである。なお、図示しないが、装置の安全上の観点から、円筒側壁30の上端開口部を覆う蓋を取り付けても良い。また、その場合は、この蓋に方向変更部材34を固定することもできる。
次に、ワーク33の加工方法について説明する。
加工に際しては、加工槽32内に1個又は複数個のワーク33を投入し、第1のモータ38を駆動する。すると、第1のモータ38の駆動力は、プーリ36とタイミングベルト42を介してプーリ40に伝達され、シャフト22及び円板28が駆動される。
これにより、円板28上に載置されたワーク33は、該円板28の回転に伴い遠心力で外方へ移動し、円筒側壁30の内面とも接するようになる。この時、円板28と、静止している円筒側壁30との相対速度の差により、ワーク33は加工槽32内を自転かつ公転運動を行う。
この運動により、ワーク33は、円筒側壁30の内面及び円板28の上面(ワーク載置面)に付着されたダイヤモンド砥粒との接触、及び他のワーク33同士との接触により角部が削られていき、やがて球体に加工されていく。
さらに、自転かつ公転運動をしているワーク33は、方向変更部材34に衝突し、円筒側壁30の内面から一旦剥離させられる。続いて、この剥離したワーク33は、円板28の回転に伴う遠心力により再度円筒側壁30の内面に接するようになる。こうして、ワーク33の移動方向は強制的に変更され、ワーク33と円筒側壁30との接触部位がその都度変更させられる。
なお、加工中には、ワーク33が削られて加工槽32内にガラス粉塵が発生する。しかし、このガラス粉塵は、円筒側壁30と円板28との間の隙間空間31から排気流路44に吸い込まれ、不図示の排塵装置で回収される。
本実施形態では、例えば第1のモータ38を駆動するとき、又は第1のモータ38を駆動する前に、不図示の排塵装置も駆動させるようにする。すると、加工槽32内の空気は、円筒側壁30と円板28との間の隙間空間31を通って排気流路44へと流入し、排塵装置で吸引される。また、排塵装置が駆動した場合でも、ベース板14には大気開放孔48が形成されているので、内側の空間49は大気圧に保たれる。
また、ワーク33のワレや欠けによって発生した比較的大きい破片も、円筒側壁30と円板28との間の隙間空間31から吸い込まれ、排塵装置によって吸引される。
加工が終了したら、加工槽32からワーク33を取り出す。このとき、ワーク33の排出が終わるまで排塵装置は駆動させておくことが望ましい。これは、周囲の環境をクリーンに保つためである。
本実施形態によれば、円筒側壁30の内側に方向変更部材34を設けたことにより、加工槽32内に投入されたワーク33は、円板28の回転に伴い何度も円筒側壁30の内壁面から剥離させられる。このため、ワーク33は偏った自転及び公転運動にならず、毎回異なる軌道の運動をすることとなり、均一な球体に加工することができる。
また、円板28と円筒側壁30との間の隙間空間31から排塵可能とし、この排塵位置がワーク33の位置に近く、しかも下方に位置しているので、発生した粉塵を直ちに排出することができる。
さらに、円板28と円筒側壁30との間の隙間空間31が、加工槽32の断面積に比べて非常に小さいので、加工中のワーク33が接している隙間空間31近傍における砥粒付近の空気の流速は非常に速い。したがって、ダイヤモンド砥粒の隙間に入り込んだ粉塵も効率的に排出することができる。このため、砥粒の目詰まりを防止することができ、安定的な加工を行うことができる。
また、舞い上がり困難な大きな破片も、前述した隙間空間31から排出することができ、二次的なワーク33のワレや欠けを防止することができる。さらに、加工が終了し、ワーク33を取り出す際も、排塵装置を駆動させておくことで、加工槽32の外側にガラス粉塵が舞い上がるのを抑制することができる。これにより、周りの環境をクリーンに保つことができる。
(第2の実施の形態)
図3は、第2の実施の形態の球体加工装置の要部断面正面図である。なお、図3ではハッチング処理を省略している。本実施形態では、方向変更部材34の構成が、第1の実施形態と相違している。なお、第1の実施の形態と同一又は相当する部材には、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態では、円筒側壁30の上部にモータプレート50が一体的に取付けられている。また、このモータプレート50の略中央に、第2の駆動手段としての第2のモータ52が鉛直下向きに固定されている。この第2のモータ52の出力軸52aは、円板28と略同軸状に配置されている。この出力軸52aには、アーム54の一端が固定され、他端には方向変更部材34が固定されている。
そして、第2のモータ52が駆動すると、アーム54を介して方向変更部材34が円筒側壁30の内面に沿って回転する。本実施形態では、方向変更部材34は円板28の回転方向と逆方向に回転する。また、図3では、方向変更部材34は1つ設けられているが、その個数は限定されない。
次に、ワーク33の加工方法について説明する。
第2のモータ52は、第1のモータ38に連動して駆動するように制御される。そして、第2のモータ52が駆動されると、アーム54が回転し、方向変更部材34が円筒側壁30の内面に沿って円板28と逆方向に回転する。これにより、方向変更部材34とワーク33は、円筒側壁30の内面の様々な位置で衝突するようになる。しかも、その衝突回数は、第1の実施の形態の場合よりも多くなる。
本実施形態によれば、方向変更部材34自身も円板28と逆方向に回転するようにしたことで、円筒側壁30の内面の様々な位置で、方向変更部材34とワーク33とが衝突する。これにより、ワーク33の移動方向が強制的に変更され、円筒側壁30との接触部位が変更する。したがって、砥粒の磨耗を均一にすることができるとともに、ワーク33全体を均一に球体に加工することができる。
(第3の実施の形態)
図4は、第3の実施の形態における球体加工装置の要部断面正面図であり、図5は、その平面図である。本実施形態では、円筒側壁30と方向変更部材34の構成が、第1実施の形態と相違している。なお、第1の実施の形態と同一又は相当する部材には、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態では、円筒状のベースブロック26に、ベアリング58を介して円筒状の回転ベース56が回転可能に取付けられている。この回転ベース56には、円筒側壁30が一体的に固定されている。また、回転ベース56の外周部には、1つの駆動ローラ60と2つの案内ローラ62が接触状態で回転可能に配置されている(図5参照)。
回転ベース56には、駆動ローラ60から回転に十分な圧カが付与されている。この圧力を受けるため、シャフト22をはさんで駆動ローラ60の反対側に2つの案内ローラ62が設けられている。駆動ローラ60は、第3の駆動手段としての第3のモータ64の出力軸64aに連結されている。
これにより、第3のモータ64が駆動すると、出力軸64aを介して駆動ローラ60が駆動される。同時に、この駆動ローラ60に接触している回転ベース56が摩擦力で回転する。また、回転ベース56が回転すると、これと一体の円筒側壁30が回転する。本実施形態では、この円筒側壁30は、円板28の回転方向と逆方向に回転する。
一方、ベース板14には、ベースブロック26の外方側に支持軸66が立設されている。この支持軸66には、フレーム68の一端が水平方向に揺動自在に支持されている。また、フレーム68の他端側には、第2のモータ52が固定されている。第2のモータ52の出力軸52aは、円板28と略同軸状に配置されている。
なお、フレーム68は、支持軸66を中心として矢印B−B’方向(水平方向)に揺動可能に支持されている(図5参照)。これは、円筒側壁30又は円板28を交換する際、フレーム68が邪魔になるので、このフレーム68を退避可能としたものである。
また、第2の実施形態で説明したように、アーム54は、その一端を第2のモータ52の出力軸52aに固定され、他端は方向変更部材34に固定されている。そして、第2のモータ52が駆動すると、アーム54を介して方向変更部材34が円筒側壁30の内面に沿って回転する。この場合、方向変更部材34は円板28の回転方向と逆方向に回転する。
なお、図4では、方向変更部材34は1つ設けられているが、その個数は限定されない。
次に、ワーク33の加工方法について説明する。
第2のモータ52と第3のモータ64は、第1のモータ38に連動して動作するようになっている。そして、第2のモータ52の駆動によりアーム54が回転し、さらに方向変更部材34が同方向に回転する。この場合、方向変更部材34は、円筒側壁30の内面に沿って円板28の回転方向とは逆方向に回転制御される。
また、第3のモータ64が駆動されると、駆動ローラ60を介して回転ベース56が回転し、これと一体の円筒側壁30が回転する。この場合、円筒側壁30は、円板28の回転方向と逆方向に回転する。すなわち、本実施形態では、円筒側壁30及び方向変更部材34は、円板28と逆方向に回転するものである。また、円筒側壁30と方向変更部材34の回転速度は、同じでも良いし、また異なる速度で回転させても良い。
本実施形態によれば、円筒側壁30を円板28と逆方向に回転させることによって、これら円筒側壁30と円板28間の相対速度の差が大きくなる。こうして、円筒側壁30と円板28の両方に接しているワーク33に、より大きな運動量を与えることができ、ワーク33の加工時間を短縮することができる。
また、方向変更部材34も円板28と逆方向に回転させることで、円筒側壁30の内面の様々な位置で、方向変更部材34とワーク33とが衝突することになる。このため、ワーク33の移動方向を強制的に変更し、ワーク33と円筒側壁30との接触部位を変更させることができる。こうして、ダイヤモンド砥粒の磨耗を均一にしつつ、ワーク33を均一な球体に加工することができる。
第1の実施形態の球体加工装置の要部断面正面図である。 同上のII−IIに沿う断面を示す図である。 第2の実施形態の球体加工装置の要部断面正面図である。 第3の実施形態の球体加工装置の要部断面正面図である。 同上の平面図である。
符号の説明
10 球体加工装置
12 架台
14 ベース板
16 スピンドル筒
18 スピンドル蓋
20 ベアリング
22 シャフト
24 オイルシール
26 ベースブロック
26a 溝
28 円板
30 円筒側壁
31 隙間空間
32 加工槽
33 ワーク
34 方向変換部材(移動方向変換手段)
36 プーリ
38 第1のモータ(第1の駆動手段)
38a 出力軸
40 プーリ
42 タイミングベルト
44 排気流路
46 ノズル
48 大気開放孔
50 モータプレート
52 第2のモータ(第2の駆動手段)
52a 出力軸
54 アーム
56 回転ベース
58 ベアリング
60 駆動ローラ
62 案内ローラ
64 第3のモータ(第3の駆動手段)
64a 出力軸
66 支持軸
68 フレーム

Claims (12)

  1. ガラスやセラミックス等の脆性材料からなるワークを球体に加工する球体加工装置において、
    第1の駆動手段と、
    該第1の駆動手段により回転駆動されて前記ワークを載置する円板と、
    該円板と同軸上に配置され該円板とともに加工槽を形成する円筒側壁と、
    前記加工槽に投入された前記ワークを衝突させて該ワークの移動方向を強制的に変更し、該ワークと前記円筒側壁との接触部位を変更させる移動方向変更手段と、
    前記円板と前記円筒側壁との間に形成されて粉塵を排出する隙間空間と、
    前記円板及び前記円筒側壁の少なくともいずれか一方に付着されて前記ワークを加工する砥粒と、を備える
    ことを特徴とする球体加工装置。
  2. 前記移動方向変更手段は、前記円筒側壁に固定状態で取付けられている
    ことを特徴とする請求項1に記載の球体加工装置。
  3. 前記移動方向変更手段を回転駆動する第2の駆動手段を備えている
    ことを特徴とする請求項1に記載の球体加工装置。
  4. 前記移動方向変更手段は、前記円板の回転方向と逆方向に回転可能に配置されている
    ことを特徴とする請求項3に記載の球体加工装置。
  5. 前記移動方向変更手段は、弾性体、板ばね、合成樹脂、又は金属棒のいずれかを有する
    ことを特徴とする請求項1に記載の球体加工装置。
  6. 前記円筒側壁は、前記円板に対して固定されている
    ことを特徴とする請求項1に記載の球体加工装置。
  7. 前記円筒側壁を回転駆動する第3の駆動手段を備えている
    ことを特徴とする請求項1に記載の球体加工装置。
  8. 前記円筒側壁は、前記円板の回転方向と逆方向に回転する
    ことを特徴とする請求項7に記載の球体加工装置。
  9. 前記隙間空間は、前記円板と前記円筒側壁との間の下方に形成された排気流路に連通している
    ことを特徴とする請求項1に記載の球体加工装置。
  10. 前記隙間空間は、前記ワークの加工により得られた球体の半径未満の寸法を有する
    ことを特徴とする請求項1又は9に記載の球体加工装置。
  11. 前記排気流路は、排塵装置に接続されている
    ことを特徴とする請求項9に記載の球体加工装置。
  12. 前記排気流路は、前記円板と同軸状に形成された円環状の溝を有している
    ことを特徴とする請求項9又は11に記載の球体加工装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102275112A (zh) * 2011-07-29 2011-12-14 安庆机床有限公司 一种钢球光、磨机床上的料盘
JP2016078125A (ja) * 2014-10-09 2016-05-16 株式会社ケーヒン 基板切断装置の運転方法及び基板切断装置
JP6329709B1 (ja) * 2017-08-24 2018-05-23 創光科学株式会社 窒化物半導体紫外線発光素子の製造方法及び窒化物半導体紫外線発光素子
CN113814834A (zh) * 2021-10-11 2021-12-21 莱州文胜机械科技有限公司 新立式圆球磨光机
CN116330144A (zh) * 2023-04-06 2023-06-27 江苏大学 一种球体精密加工装置及加工方法
CN117961709A (zh) * 2024-03-05 2024-05-03 镇江天兆磨具有限责任公司 一种标准件生产加工的打磨设备

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102275112A (zh) * 2011-07-29 2011-12-14 安庆机床有限公司 一种钢球光、磨机床上的料盘
JP2016078125A (ja) * 2014-10-09 2016-05-16 株式会社ケーヒン 基板切断装置の運転方法及び基板切断装置
JP6329709B1 (ja) * 2017-08-24 2018-05-23 創光科学株式会社 窒化物半導体紫外線発光素子の製造方法及び窒化物半導体紫外線発光素子
WO2019038877A1 (ja) 2017-08-24 2019-02-28 創光科学株式会社 窒化物半導体紫外線発光素子の製造方法及び窒化物半導体紫外線発光素子
CN109791962A (zh) * 2017-08-24 2019-05-21 创光科学株式会社 氮化物半导体紫外线发光元件的制造方法和氮化物半导体紫外线发光元件
KR20190087957A (ko) * 2017-08-24 2019-07-25 소코 가가쿠 가부시키가이샤 질화물 반도체 자외선 발광 소자의 제조 방법 및 질화물 반도체 자외선 발광 소자
KR102054604B1 (ko) * 2017-08-24 2019-12-10 소코 가가쿠 가부시키가이샤 질화물 반도체 자외선 발광 소자의 제조 방법 및 질화물 반도체 자외선 발광 소자
US10505087B2 (en) 2017-08-24 2019-12-10 Soko Kagaku Co., Ltd. Method for manufacturing nitride semiconductor ultraviolet light-emitting element and nitride semiconductor ultraviolet light-emitting element
CN109791962B (zh) * 2017-08-24 2021-07-09 创光科学株式会社 氮化物半导体紫外线发光元件的制造方法和氮化物半导体紫外线发光元件
CN113814834A (zh) * 2021-10-11 2021-12-21 莱州文胜机械科技有限公司 新立式圆球磨光机
CN116330144A (zh) * 2023-04-06 2023-06-27 江苏大学 一种球体精密加工装置及加工方法
CN117961709A (zh) * 2024-03-05 2024-05-03 镇江天兆磨具有限责任公司 一种标准件生产加工的打磨设备

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