JP2008164570A - 試験チャンバ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】試験チャンバ装置において、被試験装置を設置する減圧空間の密閉性を維持し、減圧空間の正確な気圧制御を行う。
【解決手段】本発明の一実施形態において、減圧空間２０２と空間２０４とは、コネクト基板２０５によって仕切られている。コネクト基板２０５は、試験コンピュータ３００ａとＨＤＤ１００ａとの間の信号を伝送する。コネクト基板２０５は、減圧空間２０２と空間２０４とを画定する内壁２０８に固定されている。内壁２０８には開口２０７が形成されている。開口２０７よりも大きいコネクト基板２０５が、その開口２０７を塞いでいる。減圧空間２０２の気密性を維持するため、コネクト基板２０５はガスケット２０６を介して内壁２０８に固定されている。
【選択図】図３

Description

本発明は試験チャンバ装置に関し、特に被試験装置を設置する減圧空間を有する試験チャンバ装置に関する。

データ記憶装置として、光ディスクや磁気テープなどの様々な態様のメディアを使用する装置が知られている。その中で、ハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）は、コンピュータの記憶装置として広く普及し、現在のコンピュータ・システムにおいて欠かすことができない記憶装置の一つとなっている。さらに、コンピュータ・システムにとどまらず、動画像記録再生装置、カーナビゲーション・システム、携帯電話、あるいはデジタル・カメラなどで使用されるリムーバブルメモリなど、ＨＤＤの用途はその優れた特性により益々拡大している。

ＨＤＤは、データを記憶する磁気ディスクと、磁気ディスクへアクセスするヘッド・スライダとを備えている。ヘッド・スライダは、磁気ディスクとの間のデータ読み出し及び／もしくは書き込みを行うヘッド素子部と、ヘッド素子部がその上に形成されたスライダとを有している。ヘッド・スライダは、磁気ディスク上を一定のギャップを置いて浮上する。ＨＤＤは、さらに、ヘッド・スライダを磁気ディスク上の所望の位置に移動するアクチュエータを備えている。アクチュエータはボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）によって駆動され、回動軸を中心として回動することによって、回転する磁気ディスク上でヘッド・スライダを半径方向に移動する。これによって、ヘッド素子部が磁気ディスクに形成された所望のトラックにアクセスし、データの読み出し／書き込み処理を行うことができる。

ＨＤＤの設計及び製造工程において、ＨＤＤを減圧空間内に設置し、試験コンピュータに接続して動作試験や各種パラメータの設定、調整等が実施されている。ヘッド・スライダの浮上高は気圧によって変化するため、想定される使用環境として減圧状態での試験が必要とされる。ＨＤＤ及び試験コンピュータは、試験チャンバ装置内に設置され、その中でＨＤＤの試験を行う。試験チャンバ装置は、ＨＤＤを収納する空間を有しており、その空間内部の温度や気圧を調整可能となっている。

減圧状態におけるＨＤＤの試験において、ＨＤＤを収納する空間内部の密閉性がＨＤＤを試験する際のポイントの１つである。空間内部が適正に密閉されないと、空間内部を所望の気圧にすることができず、ＨＤＤの試験を適正に実施することができない。また、空間内部を所望の温度に保てず、同様にＨＤＤの試験が適正に実施されない。従来の技術においては、ＨＤＤを設置する部屋の壁に孔を設け、その孔にケーブルを通して樹脂部材によって封止し、減圧空間内のＨＤＤと減圧空間外部の試験コンピュータとを接続する方法や、ＨＤＤ及び試験コンピュータの双方を減圧空間内に設置して試験を行う方法が用いられていた。

尚、本発明とはその要旨を異にするが、空間内外の装置を接続する方法として、特許文献１は、密閉空間の壁に絶縁体を介して信号ピンを形成し、密閉空間の内外を電気的に接続する半導体検査システムを開示している。
特開平６−６６８８１号公報

上述のように、密閉空間の壁に設けられた孔にケーブルを通す方法においては、ケーブルの内部を空気が通ることによって、密閉空間の密閉性が損なわれてしまう場合がある。また、ケーブルを樹脂材料によって壁に固定するため、ケーブルが破損した場合や異なるタイプのＨＤＤの試験を行う場合にも、簡単にケーブルを交換することができなかった。また、上述の密閉空間内部にＨＤＤ及び試験コンピュータの双方を設置する方法は、減圧する空間体積が大きくなり、空間内の正確で微妙な気圧制御が困難となる。

本発明の一態様に係る試験チャンバ装置は、試験装置によって試験される被試験装置が設置される減圧空間と、前記減圧空間を画定する壁の一部として固定された基板と、前記基板の前記減圧空間に露出した面上に形成され、前記試験装置と前記被試験装置との間の信号を伝送する端子と、前記減圧空間に露出した面の反対面上に形成され、前記試験装置と前記被試験装置との間の信号を伝送する端子とを有するものである。これによって、減圧空間の密閉性を維持し、減圧空間の正確な気圧制御を可能とする。

好ましくは、前記基板は、前記減圧空間を画定する壁に形成され前記基板よりも小さい開口を塞ぐように、前記減圧空間を画定する壁にシーリング部材を介して着脱可能に固定されている。これによって、より確実に減圧空間の密閉性を維持することができる。

好ましくは、前記基板の前記減圧空間に露出した面上の端子に回路的に接続され前記被試験装置に物理的かつ電気的に接続されるコネクタを有する着脱可能な相互接続基板をさらに有する。これによって、被試験装置に応じて相互接続基板を容易に交換することができ、種々の被試験装置に対応することができる。同様に、さらに、前記基板の前記反対面上の端子に回路的に接続され、前記試験装置に物理的かつ電気的に接続されるコネクタを有する着脱可能な第２の相互接続基板をさらに有することが好ましい。

好ましくは、前記基板の前記減圧空間に露出した面上の端子に物理的かつ電気的に接続され、前記被試験装置に回路的に接続されるケーブルをさらに有する。これによって信号品質の劣化を抑制することができる。さらに、前記ケーブルは、その一端が前記基板に半田によって電気的かつ物理的に接続され、その他端にコネクタを有していることが好ましい。これによって信号品質の劣化を抑制すると共に、ケーブルに接続される部品の交換を容易とする。

あるいは、前記基板に回路的に接続され、前記被試験装置と電気的かつ物理的にコネクタによって接続される相互接続基板をさらに有し、前記ケーブルは、前記相互接続基板にコネクタによって電気的かつ物理的に接続され、前記基板に半田によって電気的かつ物理的に接続されていることが好ましい。さらに、前記ケーブルのコネクタは、前記相互接続基板上において、その中央よりも前記被試験装置に電気的かつ物理的に接続されるコネクタに近い位置に接続されることが好ましい。これによって信号品質の劣化を抑制することができる。

本発明によれば、試験チャンバ装置において、被試験装置を設置する減圧空間の密閉性を維持し、減圧空間の正確な気圧制御を可能とする。

以下に、本発明の好ましい実施の形態を説明する。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略されている。本実施形態は、被試験装置を空間内に収容し、減圧状態で被試験装置の試験を行う試験チャンバ装置の構造に特徴の一つを有している。本実施形態においては、被試験装置として、ハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）を例として説明する。そこで、まず、本形態に係る試験チャンバ装置において試験されるＨＤＤの構成を説明する。

図１は、ＨＤＤ１００の構成を模式的に示す平面図である。ＨＤＤ１００は、データを記録するディスクとしての磁気ディスク１０１を備えている。磁気ディスク１０１は、磁性層が磁化されることによってデータを記録する不揮発性メモリである。ＨＤＤ１００の各構成要素は、ベース１０２内に収容されている。ベース１０２は、ベース１０２の上部開口を塞ぐカバー（不図示）とガスケット（不図示）を介して固定されることによってディスク・エンクロージャ（筐体）を構成し、ＨＤＤ１００の各構成要素を収容することができる。

ヘッド・スライダ１０５は、ホスト（不図示）との間で入出力されるデータについて、磁気ディスク１０１への書き込み及び／又は読み出しを行うヘッド素子部と、そのヘッド素子部がその面上に形成されているスライダとを備えている。ヘッド素子部は、磁気ディスク１０１への記憶データに応じて電気信号を磁界に変換する記録素子及び／又は磁気ディスク１０１からの磁界を電気信号に変換する再生素子を有する

アクチュエータ１０６は、ヘッド・スライダ１０５を保持、移動する。アクチュエータ１０６は回動軸１０７に回動自在に保持されており、駆動機構としてのＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）１０９によって駆動される。アクチュエータ１０６は、ヘッド・スライダ１０５が配置された長手方向におけるその先端部から、サスペンション１１０、アーム１１１、コイル・サポート１１２及びフラットコイル１１３の順で結合された各構成部材を備えている。ＶＣＭ１０９は、フラットコイル１１３、上側ステータ・マグネット保持板１１４に固定されたステータ・マグネット（不図示）、及び下側ステータ・マグネット（不図示）から構成されている。

磁気ディスク１０１は、ベース１０２に固定されたスピンドル・モータ（ＳＰＭ）１０３に保持され、ＳＰＭ１０３により所定の速度で回転される。磁気ディスク１０１からのデータの読み取り／書き込みのため、アクチュエータ１０６は回転している磁気ディスク１０１表面のデータ領域上空にヘッド・スライダ１０５を移動する。磁気ディスク１０１に対向するスライダのＡＢＳ（Air Bearing Surface）面と回転している磁気ディスク１０１との間の空気の粘性による圧力が、サスペンション１１０によって磁気ディスク１０１方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッド・スライダ１０５は磁気ディスク１０１上を一定のギャップを置いて浮上する。

磁気ディスク１０１の回転が停止する等のときには、アクチュエータ１０６はヘッド・スライダ１０５をデータ領域からランプ１１５に退避させる。尚、ヘッド・スライダ１０５がデータ書き込み／読み出し処理を行わない場合に、磁気ディスク１０１の内周に配置されているゾーンに退避するＣＳＳ（Contact Start and Stop）方式に、本発明を適用することも可能である。また、上記の説明では、簡単のために磁気ディスク１０１が一枚構成で、片面記憶のハードディスク・ドライブを説明しているが、ＨＤＤ１００は、１もしくは複数枚の両面記憶磁気ディスクを備えることができる。

典型的なＨＤＤ１００の製造は、まず、ヘッド・スライダ１０５を製造する。また、ヘッド・スライダ１０５とは別に、サスペンション１１０を製造する。ヘッド・スライダ１０５をサスペンション１１０に固着してヘッド・ジンバル・アセンブリ（ＨＧＡ）を製造する。その後、ＨＧＡにアーム１１１及びＶＣＭコイルを固定して、アクチュエータ１０６とヘッド・スライダ１０５とのアセンブリであるヘッド・スタック・アセンブリ（ＨＳＡ）を製造する。製造されたＨＳＡの他、ＳＰＭ１０３、磁気ディスク１０１などをベース１０２内に実装して、トップ・カバーでベース１０２内空間を密封することによってヘッド・ディスク・アセンブリ（ＨＤＡ）が完成する。このＨＤＡに制御回路が実装された回路基板（不図示）を実装することによって、ＨＤＤ１００が完成する。

この様に組み立てられたＨＤＤ１００は、設計段階、あるいは製造段階における抜き取りテストなどにおいて、減圧空間内に設置され、専用の試験コンピュータに接続された上で、出荷前の動作試験や各種パラメータの設定、調整などが施される。図２は、本実施形態に係る試験チャンバ装置２００の外観及び内部に形成された空間の一部を模式的に示す斜視図である。

図２においては、試験チャンバ装置２００の一部を透過させて示している。図２に示すように、本実施形態に係る試験チャンバ装置２００は、外壁２０１によって囲まれ、そのなかに複数の部屋を有している。一つは、被試験装置としてのＨＤＤ１を設置する空間２０２である。空間２０２は、減圧状態に維持されるため、以下において、これを減圧空間２０２と呼ぶ。気圧のレベルは設計によって変化する。減圧空間２０２の入り口は開閉扉２０３ｃによって閉じられている。図２の例においては、４つの開閉扉２０３ａ−ｄが例示されている。

試験者は、開閉扉２０３ｃを開けて減圧空間２０２内にＨＤＤ１００を設置し、開閉扉２０３ｃを閉じた状態で減圧空間２０２を減圧状態に維持する。減圧空間２０２の奥、開閉扉２０３ｃの反対側には、減圧空間２０２と異なる部屋である空間２０４が存在する。空間２０４は、ＨＤＤ１００の試験を行う試験装置の一例である試験コンピュータを収容する。なお、図２は、開閉扉２０３ｃに対応した減圧空間２０２と空間２０４とを明示しているが、試験チャンバ装置２００は、他の開閉扉２０３ａ、２０３ｂ、２０３ｄに対応した減圧空間２０２と空間２０４とをもちろん有している。

図３は、減圧空間２０２と空間２０４のそれぞれに、ＨＤＤ１００ａ、１００ｂと、試験コンピュータ３００ａ、３００ｂとを設置した状態を示す断面図である。減圧空間２０２は、ポンプ（不図示）を使用して減圧状態に維持される。開閉扉２０３ｃは閉じており、減圧空間２０２の密閉性を維持する。図３の例においては、減圧空間２０２は二つのＨＤＤ１００ａ、１００ｂを収容し、空間２０４が二台の試験コンピュータ３００ａ、３００ｂを収容している。試験コンピュータ３００ａ、３００ｂは、試験チャンバ装置２００外部のホスト・コンピュータ（不図示）に接続されており、試験コンピュータ３００ａ、３００ｂは、ホスト・コンピュータからの指示に従ってＨＤＤ１００ａ、１００ｂの試験を開始すると共に、その試験結果をホスト・コンピュータに報告する。なお、図２では、減圧空間２０２に２台のＨＤＤを収容した場合を示しているが、２台に制限するものではなく、２台で１組と考え複数の組を収容することができる。

試験コンピュータ３００ａが回路的に接続されたＨＤＤ１００ａの試験を行い、試験コンピュータ３００ｂがＨＤＤ１００ｂの試験を行う。回路的接続とは、配線や端子あるいは他の回路を介して接続され、回路上の信号を授受できる状態で接続されていることをいう。試験コンピュータ３００ａ、３００ｂは、それぞれ、プロセッサが実装されたＩＣ３１２ａ、３１２ｂと、ＩＣ３１２ａ、３１２ｂが実装されたＣＰＵ基板３１１ａ、３１１ｂとを有している。さらに、ＨＤＤ１００ａ、ＨＤＤ１００ｂとの間の信号を生成するインターフェース基板２３１ａ、インターフェース基板２３１ｂとを有している。図３に示すように、試験コンピュータ３００ａとＨＤＤ１００ａの構成及び接続構成は、試験コンピュータ３００ｂとＨＤＤ１００ｂと同様である。従って、以下においては、試験コンピュータ３００ａとＨＤＤ１００ａについて説明を行い、試験コンピュータ３００ｂとＨＤＤ１００ｂについての説明を省略する。

減圧空間２０２と空間２０４とは、コネクト基板２０５によって仕切られている。コネクト基板２０５は、端子、配線及びコネクタを有しており、電源のほか、試験コンピュータ３００ａとＨＤＤ１００ａとの間の信号を伝送する。コネクト基板２０５は、減圧空間２０２と空間２０４とを画定する内壁２０８に固定されている。内壁２０８には開口２０７が形成されている。開口２０７よりも大きいコネクト基板２０５が、その開口２０７を塞いでいる。従って、コネクト基板２０５が減圧空間２０２の一部を画定する壁となる。減圧空間２０２の気密性を維持するため、コネクト基板２０５はガスケット２０６を介して内壁２０８に固定されている。

典型的には、ガスケット２０６は、シリコーン・ゴムなどの樹脂性部材である。ガスケット２０６は、内壁２０８とコネクト基板２０５との間で挟持され、シーリング部材として減圧空間２０２を封止する。図３の例においては、コネクト基板２０５は空間２０４内に設置され、内壁２０８の空間２０４側の面に固定されているが、減圧空間２０２側の面にコネクト基板２０５を固定してももちろんよい。

コネクト基板２０５はネジ２５１ａ、２５１ｂによって内壁２０８に着脱可能に固定されている。ネジを着脱することによって、コネクト基板２０５を容易に交換することができる。異なるＨＤＤ１００によって対応したコネクト基板２０５に交換し、あるいは、コネクト基板２０５が故障した場合などに容易に交換することができる。

ＨＤＤ１００ａは、相互接続基板としてのアダプタ基板２１１ａを介して、コネクト基板２０５に接続されている。従って、ＨＤＤ１００ａは、アダプタ基板２１１ａに回路的にも接続されている。ＨＤＤ１００ａは、コネクタ２１２ａによって、アダプタ基板２１１ａに物理的かつ電気的に接続されている。コネクタ２１２ａを使用することで、アダプタ基板２１１ａに対するＨＤＤ１００ａの着脱を容易に行うことができる。コネクタ２１２ａは、電源の他、試験において伝送される高速信号であるデータ、あるいはＨＤＤ１００ａが動作していることを示す低速な信号などを伝送する。

なお、コネクタは、通常、オスコネクタとメスコネクタの二つの部品から構成され、その一方が接続される一方の装置に、他方が接続される他方の装置に固定されている。本明細書においては、コネクタは、オスコネクタもしくはメスコネクタの一方のみ、あるいはその双方から構成されるアセンブリとしてのコネクタの全てを含む概念である。

コネクタ２１２ａの反対側において、アダプタ基板２１１ａはコネクタ２１３ａを介して、コネクト基板２０５に接続されている。アダプタ基板２１１ａは、コネクト基板２０５の減圧空間２０２に露出している面に固定されており、その面に垂直に立設し、延在している。本例において、コネクタ２１３ａは、コネクト基板２０５の減圧空間２０２に露出している面に形成された端子を含み、アダプタ基板２１１ａを物理的かつ電気的にコネクト基板２０５に接続している。従って、アダプタ基板２１１ａは、コネクト基板２０５に回路的にも接続されている。

本形態の試験チャンバ装置２００は、コネクト基板２０５とアダプタ基板２１１ａとを接続するケーブル２２１ａを有している。ケーブル２２１ａは、コネクト基板２０５の減圧空間２０２に露出している面に接続部２２３ａにおいて接続されている。接続部２２３ａにおいて、ケーブル２２１ａは、コネクト基板２０５の端子に半田付けによって電気的かつ物理的に接続されている。また、ケーブル２２１ａのコネクト基板２０５への物理的接続を強固にするため、接続部２２３ａはエポキシなどの樹脂材料によって固定されている。

ケーブル２２１ａの接続部２２３ａと反対側の端部は、コネクタ２２２ａによって、アダプタ基板２１１ａに物理的かつ電気的に接続されている。このように、アダプタ基板２１１ａはコネクタ２２２ａによってケーブル２２１ａと接続され、また、コネクタ２１３によってコネクト基板２０５に接続されている。これによって、試験を行うＨＤＤ１００に従ってアダプタ基板２１１ａを容易に交換することができ、あるいは、故障した場合などに容易に対応することができる。

ケーブル２２１ａは、インターフェース基板２３１ａとＨＤＤ１００ａとの間の高速（高周波）信号を伝送する。具体的には、ＨＤＤ１００ａの入出力データを伝送する。ケーブル２２１ａを使用することによって、基板内の配線で伝送する場合に比較して、信号品質の劣化を抑制することができる。また、ケーブル２２１ａは、コネクト基板２０５に半田によって接続されており、コネクタを使用していない。コネクタは信号品質を劣化させやすいため、交換の必要性が低いケーブル２２１ａをコネクト基板２０５に半田接続することで信号品質の劣化を抑制することができる。

一方、アダプタ基板２１１ａ上に形成されている配線は、電源やＨＤＤ１００ａが動作していることを示す信号など、ＨＤＤ１００ａのリード／ライトにおける実際の入出力データと異なる低速信号を伝送する。これによって、インターフェースに応じた規格品としてのケーブル２２１ａを使用することができる。また、上述のような低速な信号は信号劣化の恐れがないため、問題となることもない。

試験コンピュータ３００ａは、相互接続基板としてのインターフェース基板２３１ａを介して、コネクト基板２０５に接続されている。ＣＰＵ基板３１１ａは、コネクタ２３３ａによって、インターフェース基板２３１ａに物理的かつ電気的に接続されている。従って、ＣＰＵ基板３１１ａは、インターフェース基板２３１ａに回路的にも接続されている。コネクタ２３３ａを使用することで、インターフェース基板２３１ａに対するＣＰＵ基板３１１ａの着脱を容易に行うことができる。コネクタ２３３ａは、試験において伝送される高速信号であるデータ、あるいはＨＤＤ１００ａが動作していることを示す低速な信号などを伝送する。

コネクタ２３３ａの反対側において、インターフェース基板２３１ａはコネクタ２３２ａを介して、コネクト基板２０５に接続されている。インターフェース基板２３１ａは、コネクト基板２０５の空間２０４に露出している面に固定されており、その面に略垂直に立設し、延在している。本例において、コネクタ２３２ａは、コネクト基板２０５の空間２０４に露出している面に形成された端子を含み、インターフェース基板２３１ａを物理的かつ電気的にコネクト基板２０５に接続している。従って、インターフェース基板２３１ａは、コネクト基板２０５に回路的にも接続されている。

本形態の試験チャンバ装置２００は、コネクト基板２０５とインターフェース基板２３１ａとを接続するケーブル２４１ａを有している。ケーブル２４１ａは、コネクト基板２０５の減圧空間２０２に露出している面に接続部２４２ａにおいて接続されている。接続部２４２ａにおいて、ケーブル２４１ａは、コネクト基板２０５の端子に半田付けによって電気的かつ物理的に接続されている。また、ケーブル２４１ａのコネクト基板２０５への物理的接続を強固にするため、接続部２４２ａはエポキシなどの樹脂材料によって固定されている。

ケーブル２４１ａの接続部２４２ａと反対側の端部は、コネクタ２４３ａによって、インターフェース基板２３１ａに物理的かつ電気的に接続されている。このように、インターフェース基板２３１ａはコネクタ２４３ａによってケーブル２４１ａと接続され、また、コネクタ２３２ａによってコネクト基板２０５に接続されている。これによって、試験を行うＨＤＤ１００ａに従ってインターフェース基板２３１ａを容易に交換することができ、あるいは、故障した場合などに容易に対応することができる。

ケーブル２４１ａは、インターフェース基板２３１ａとＨＤＤ１００ａとの間の高速（高周波）信号を伝送する。具体的には、ＨＤＤ１００ａの入出力データを伝送する。ケーブル２４１ａを使用することによって、基板内の配線で伝送する場合に比較して、信号品質の劣化を抑制することができる。また、ケーブル２４１ａは、コネクト基板２０５に半田によって接続されており、コネクタによる信号品質の劣化を抑制することができる。一方、インターフェース基板２３１ａ上に形成されているコネクタ２３２ａからの配線は、ＨＤＤ１００ａのリード／ライトにおける実際の入出力データと異なる低速信号を伝送する。

図４は、減圧空間２０２側から見たコネクト基板２０５の設置状態を模式的に示す斜視図である。図４は、内壁２０８を透過してコネクト基板２０５を示している。また、図４は、コネクト基板２０５には、アダプタ基板２１１ａ、２１１ｂ及びケーブル２２１ａ、２１１ｂが接続されていない状態を示している。矩形状のコネクト基板２０５は、内壁２０８に４つのネジ２５１ａ−２５１ｄによって固定されている。ネジの数は、コネクト基板２０５を確実に固定できるように設計によって決められる。例えば、１つのネジのみでコネクト基板２０５を固定すること、あるいは、５以上のネジを使用してもよい。内壁２０８には、矩形状の開口２０７が形成されている。

コネクト基板２０５の内壁２０８に対向する面の面積は、開口２０７よりも大きく、コネクト基板２０５は開口２０７と完全に重なりそれを塞ぐように配置されている。コネクト基板２０５と内壁２０８との間には矩形リング状のガスケット２０６が設置されている。ガスケット２０６は、ガスケット２０６の径は開口２０７の径よりも大きく、ガスケット２０６は開口２０７の周囲を囲んでいる。ガスケット２０６は、コネクト基板２０５と内壁２０８との間において押圧された状態にあり、コネクト基板２０５と内壁２０８との間の空隙を塞ぎ、開口２０７を介して減圧空間２０２に空間２０４から空気が流入することを防止する。なお、開口２０７、ガスケット２０６そしてコネクト基板２０５の外形は、設計によって適切なものが選択される。例えば、内壁２０８がコネクタ２１３ａとコネクタ２１３ｂとの間を延びる部分を有し、その部分とコネクト基板２０５とをネジで固定してもよい。

図５は、図４に示したコネクト基板２０５に、アダプタ基板２１１ｂが接続された状態を模式的に示している。コネクト基板２０５とアダプタ基板２１１ｂとを接続する２本のケーブル２２１ｂ、２２１ｃが存在する。ケーブル２２１ｂ、２２１ｃの構造は、上述の２２１ａの構造と同様である。ＨＤＤ１００のインターフェースには、ＡＴＡ、ＳＣＳＩなどの種々のプロトコル知られており、図５は二つのポートを有するＳＡＳの例を示している。

上述のように、ケーブル２２１ｂ、２２１ｃの信号伝送によって、信号品質の劣化を抑制することが重要である。そのためには、信号を伝送するアダプタ基板２１１ｂ上の配線長を短くすることが好ましい。従って、ケーブル２２１ｂ、２２１ｃの各コネクタ２２２ｂ、２２２ｃは、アダプタ基板２１１ｂとＨＤＤ１００ｂとを接続するコネクタ２１２ｂの近傍にあることが好ましい。

具体的には、図５の点線及び矢印で示すように、アダプタ基板２１１ｂのコネクト基板２０５側の端からコネクタ２１２ｂ側の端への方向において、アダプタ基板２１１ｂの中央よりもコネクタ２１２ｂに近い位置において、ケーブル２２１ｂ、２２１ｃを接続することが好ましい。さらに好ましくは、アダプタ基板２１１ｂのコネクタ２１２ｂ側の端から、上記方向におけるアダプタ基板２１１ｂの１／３よりも近い位置において、ケーブル２２１ｂ、２２１ｃの各コネクタ２２２ｂ、２２２ｃを接続する。

なお、二つのケーブル２２１ｂ、２２１ｃの内の一方のみを上述の条件で接続しても相応の効果を得ることができるが、好ましくは双方のケーブル２２１ｂ、２２１ｃを上述の条件で接続する。また、インターフェース基板２３１ａ、２３１ｂとケーブル２４１ａ、２４１ｂとの接続についても、信号品質の低下を抑制するため、上述のような基板上の配線が短くなる条件に従うことが好ましい。

以上、本発明を好ましい実施形態を例として説明したが、本発明が上記の実施形態に限定されるものではない。当業者であれば、上記の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。例えば、本発明の試験チャンバ装置はＨＤＤの減圧状態における試験に特に有用であるが、他の装置の試験に使用することができる。上述の例は、アダプタ基板及びインターフェース基板をコネクト基板に直接に接続するが、アダプタ基板及びインターフェース基板とコネクト基板との間に他のインターポーザ基板を挿入してもよい。この場合、アダプタ基板あるいはインターフェース基板は、コネクト基板に物理的には直接接続されていないが、回路的に接続されている。また、ケーブルを各インターポーザ基板に接続し、インターポーザ基板とアダプタ基板、あるいはインターポーザ基板とインターフェース基板とはコネクタによって接続してもよい。

本実施形態に係る試験チャンバ装置の全体構成及びその内部空間の一部を模式的に示す斜視図である。 本実施形態に係る被試験装置としてのＨＤＤの内部構成を模式的に示す平面図である。 本実施形態に係る試験チャンバ装置内に、被試験装置としてのＨＤＤと試験用コンピュータが設置された状態を模式的に示す断面図である。 本実施形態おいて、減圧空間側から見たコネクト基板の設置状態を模式的に示す斜視図である。 本実施形態おいて、減圧空間側から見たコネクト基板の設置状態及びアダプタ基板の接続状態を模式的に示す斜視図である。

符号の説明

１００ａ、１００ｂ ＨＤＤ、１０１ 磁気ディスク、１０２ ベース、１０３ ＳＰＭ
１０５ ヘッド・スライダ、１０６ アクチュエータ、１０７ 回動軸、１０９ ＶＣＭ
１１０ サスペンション、１１１ アーム、１１２ コイル・サポート
１１３ フラットコイル、１１４ 上側ステータ・マグネット保持板、１１５ ランプ
２００ 試験チャンバ装置、２０１ 外壁、２０２ 減圧空間
２０３ａ−２０３ｄ 開閉扉、２０５ コネクト基板、２０６ ガスケット
２０７ 開口、２０８ 内壁、２１１ａ、２１１ｂ アダプタ基板
２１２ａ、２２２ｂ コネクタ、２１３ａ、２２２ｂ コネクタ
２２１ａ−２２１ｃ ケーブル、２２３ａ、２２３ｂ 接続部
２２２ａ−２２２ｃ コネクタ、２３１ａ、２３１ｂ インターフェース基板
２３３ａ、２３３ｂ コネクタ、２３２ａ、２３２ｂ コネクタ
２４１ａ、２４１ｂ ケーブル、２４２ａ、２４２ｂ 接続部
２４３ａ、２４３ｂ コネクタ、２５１ａ−２５１ｄ ネジ
３００ａ、３００ｂ 試験コンピュータ、３１２ａ、３１２ｂ ＩＣ
３１１ａ、３１１ｂ ＣＰＵ基板

Claims (8)

1. 試験装置によって試験される被試験装置が設置される減圧空間と、
   前記減圧空間を画定する壁の一部として固定された基板と、
   前記基板の前記減圧空間に露出した面上に形成され、前記試験装置と前記被試験装置との間の信号を伝送する端子と、
   前記減圧空間に露出した面の反対面上に形成され、前記試験装置と前記被試験装置との間の信号を伝送する端子と、
   を有する試験チャンバ装置。
2. 前記基板は、前記減圧空間を画定する壁に形成され前記基板よりも小さい開口を塞ぐように、前記減圧空間を画定する壁にシーリング部材を介して着脱可能に固定されている、
   請求項１に記載の試験チャンバ装置。
3. 前記基板の前記減圧空間に露出した面上の端子に回路的に接続され、前記被試験装置に物理的かつ電気的に接続されるコネクタを有する、着脱可能な相互接続基板をさらに有する、
   請求項１に記載の試験チャンバ装置。
4. 前記基板の前記反対面上の端子に回路的に接続され、前記試験装置に物理的かつ電気的に接続されるコネクタを有する、着脱可能な第２の相互接続基板をさらに有する、
   請求項３に記載の試験チャンバ装置。
5. 前記基板の前記減圧空間に露出した面上の端子に物理的かつ電気的に接続され、前記被試験装置に回路的に接続されるケーブルを、さらに有する、
   請求項１に記載の試験チャンバ装置。
6. 前記ケーブルは、その一端が前記基板に半田によって電気的かつ物理的に接続され、その他端にコネクタを有している、
   請求項５に記載の試験チャンバ装置。
7. 前記基板に回路的に接続され、前記被試験装置と電気的かつ物理的にコネクタによって接続される相互接続基板をさらに有し、
   前記ケーブルは、前記相互接続基板にコネクタによって電気的かつ物理的に接続され、前記基板に半田によって電気的かつ物理的に接続されている、
   請求項５に記載の試験チャンバ装置。
8. 前記ケーブルのコネクタは、前記相互接続基板上において、その中央よりも前記被試験装置に電気的かつ物理的に接続されるコネクタに近い位置に接続される、
   請求項７に記載の試験チャンバ装置。

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