JP2008161619A

JP2008161619A - 低湿清浄庫

Info

Publication number: JP2008161619A
Application number: JP2006357472A
Authority: JP
Inventors: Tadaichi Ushida; 唯一牛田; Takao Yuasa; 孝雄湯浅
Original assignee: Toyo Living Co Ltd
Current assignee: Toyo Living Co Ltd
Priority date: 2006-12-26
Filing date: 2006-12-26
Publication date: 2008-07-17

Abstract

【課題】庫内の低湿と清浄を効率良く実現し、かつ従来方式とほぼ同じ構造体をユニット内に組込んだコンパクトな低湿清浄装置を提供する。
【解決手段】密閉式キャビネット８の一部に装着した乾燥剤３を再生する自動乾燥装置１内の庫内空気流動路間に光触媒作用を行う酸化チタンを担持した通気性素材１０を設け、その表面に２５０〜４５０ｎｍの光線を照射し、キャビネット内の湿度を低湿度に保つと共に空気中に浮遊している約０．１〜１０μｍの有機物を分解・除却する。
【選択図】図１

Description

本発明は低湿作用と清浄作用の相互相乗利用によりその効果を一層と高めた低湿清浄庫に関する。

従来庫内を低湿度に保つ方式として、タイマーによる自動制御で乾燥剤の加熱・再生を行い庫内湿度を１０％とか３０％に保つ方式は公知としてあり、また酸化チタンと紫外線による光触媒作用を行う方式も公知として知られる。

ただそれらを合体した相乗効果を利用して、本発明は低湿と清浄を最も効率の良い方式でかつ、従来方式とほぼ同じ構造体をユニット内に組込むコンパクト設計により、高機能機種としては実用的かつ進歩的なものである。

本発明は従来の除湿機能をする装置（以下除湿ユニットと称する）内の水蒸気分圧の差に起因する空気層の変化に着目して、この空気分圧の差を利用して有機不純物を吸引・分解・除去することにより、除湿ユニットの外形寸法・形状変化なしで小型低湿作用と清浄作用を両立したものである。

上述の課題を解決するための方法として、光触媒には、酸化チタンとアパタイトの混合、ナノ単位の微細化等公知の技術を活用するとともに低湿作用のもつ空気内の水蒸気分圧の差は乾燥剤のもつ吸湿作用により誘起されるので、その圧力差に着目して、空気流の移動により生じた変化、即ち水蒸気分圧差の流れを最大活用する除湿ユニット内に酸化チタンを主体する有機不純物の分解・除去作用を行う光触媒機能を配置したことが本発明の大きな特徴である。
水蒸気分圧の差とは一例を説明すれば、庫内温度２４℃、湿度６０％において水蒸気分圧は空気線図より明らかに１３．４ｍｍＨｇである。これに対し温度は同じく２４℃において乾燥剤表面の水蒸気分圧は湿度０．５％の場合（実際は更に低い）で０．５ｍｍＨｇであり、その差は１２．９ｍｍＨｇになる。この圧力差により水蒸気を含む空気層はゆるやかな移動を生じる。この空気層の流れを利用するのが本発明の特徴である。

即ち、本発明によれば庫内の空気中の水蒸気圧の差によって生じる空気中に酸化チタンベースの光触媒作用を導入するべく、各種酸化チタン担持の方法かつ空気流を阻害しない配置によって、低湿作用と清浄作用が相乗効果を促進させて、庫内の低湿・清浄の目的を達成したものである。

それによる効果として、民生用としてはカメラ・レンズのカビ防止が従来庫内湿度の低湿化（約３０〜４０％）で行われたが、光触媒作用効果により空気中に含まれている微細有機物（０．１〜数μｍ）を分解・除去する作用により、近時発達したデジタル１眼レフカメラのレンズと共に撮像素子（ＣＣＤ）の不純物の付着防止及び除去に効果的である。不純物質に対しては各カメラメーカーも対策として超音波振動等の特殊装置を必要とし、コスト面で不合理であった。これらを本発明低湿清浄庫によって問題である不純物のクリーン化に成功した。

また産業用分野においては、上記ＣＣＤの製造工程中の保管、またはカメラメーカー工程中の保管に必須なものである。

更に半導体工程、ウェハーの収納、またその搬送中にもクリーンルーム内においても、多数浮遊している有機不純物の除去対策として極めて有効である。

以下本発明の要旨を実施形式図面により具体的に説明する。

図１の本発明の側断図で示す如く、本装置ユニット１は密閉式扉付キャビネット８の背面側９に通常設けられる。ユニット１には、基本構成に除湿機能をもつため上部に排気口４′に設け、下部に吸気口７′を設けてある。その内部はほぼ中間にゼオラム・シリカゲル等で代表される吸湿剤３が設けられており、この吸湿剤は周囲を通気性ある小穴開孔容器２またはネット状容器で構成されている。これらはタイマー等（図省略）の制御によって、一定時間ごとに再成され排出水分は上４′吸気は下７′のシャッターより、吸排出され乾燥剤再成後は、バネ５により復元される。

一方上記シャッター４′、７′の閉じたときは、庫内側シャッター４．７が連動して開かれ、庫内空気の吸湿作用が行われる（約６時間）この時、活性化された乾燥剤３は吸湿作用を行い、庫内空気取り入れ口シャッター７から、水蒸気分圧の差により庫内空気が吸引され、乾燥剤３を経て、即ち脱湿作用を経て、水蒸気分圧差によって上方シャッターから庫内に流入する、これを６時間にわたり、連続して行われる。

この空気の流れの過程を図１の空気回路に酸化チタン担持のスクリーンを設ける、これにＬＥＤ１１の小型照明により酸化チタン表面層に対応して、２５０〜３５０ｎｍ波長の光、または可視光対応の４００〜４５０ｎｍ波長の光を照射して、光触媒作用を行うものである。

図１．本発明ユニットの構成を示す側断面図の各部品１．本発明除湿・清浄ユニット２．乾燥剤収納容器（透湿穴形式）３．乾燥剤４．上部庫内空気排出側シャッター４′上部庫外空気排出側シャッター５．引張りバネ６．上部シャッター開閉支点７．下部庫内空気吸入側シャッター７′下部庫外空気吸入側シャッター８．密封キャビネット９．同上背面１０．酸化チタン坦持通気性スクリーン１１．ＬＥＤ照明ランプ１２．下部シャッター開閉支点１３．本製造内側に酸化チタン層を配設図２．キャビネットに本発明ユニット装着の側断面図１４．キャビネット密閉用扉１５．キャビネット庫内棚１６．キャビネット下部棚

Claims

ゼオラムで代表される低湿時吸着能力の大きい乾燥剤の水蒸気分圧の差を利用し、乾燥剤と庫内流動空気相間に光触媒作用を行う、酸化チタン主体の触媒を乾燥剤容器表面、気相中間、上記を構成する製造の内層面にわたり光触媒酸化チタン層を設け、同時にＬＥＤ、水銀灯の如き２５０ｎｍ〜４５０ｎｍの波長をもつ光線を各酸化チタン層に照射する構成によるクリーン構造。
上記において、光触媒作用を効果的にするため、乾燥剤により、誘起される水蒸気分圧による空気移動の最も良い位置として、本ユニット装置内の庫内空気の吸入口と排気口との中間に酸化チタンによる触媒を配置し、それに前記光を照射する装置。