JP2008158116A

JP2008158116A - ペリクルフレーム

Info

Publication number: JP2008158116A
Application number: JP2006345102A
Authority: JP
Inventors: Yoshihisa Moriyama; 喜久森山
Original assignee: Asahi Kasei Electronics Co Ltd
Current assignee: Asahi Kasei Electronics Co Ltd
Priority date: 2006-12-22
Filing date: 2006-12-22
Publication date: 2008-07-10

Abstract

【課題】ペリクル製造後、ペリクルをマスクに粘着するまでの間、移送の際には、しっかりと収納容器に固定され、移送後の収納容器から取り出す際には容易に固定を解消することが可能で、かつ、マスクへの粘着の際には位置決めのために繰り返し貼り付け、取り外しが可能であり、かつ、位置決めが完了した後は、しっかりとマスクに粘着固定されるようなペリクルフレームを提供する。
【解決手段】ペリクルフレーム１のマスク粘着面４の内側及び外側に粘着材２，３が配置されており、該粘着材２，３の少なくとも一方が、弾性率４００kg/cm²〜９００kg/cm²、粘性係数１００００kg・s/cm²〜１１００００kg・s/cm²であることを特徴とする、マスク粘着面４に粘着材２，３が配置されたペリクルフレーム１である。
【選択図】図１

Description

本発明はＩＣ(集積回路）、ＬＳＩ(大規模集積回路)、ＴＦＴ型ＬＣＤ(薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ)等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルフレーム及びそれを用いたペリクルに関するものであり、特にＴＦＴ型ＬＣＤを製造するために好適な大型ペリクルフレーム体及び大型ペリクルに関するものである。

一般に、ペリクルとは、半導体回路パターン等の製造において、フォトマスクやレティクルの両面側に配置してフォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止するために用いるものである。

ペリクルの一般的な構造は、金属、セラミックス、あるいはポリマー製の枠体の片側にポリマー、或いはガラス等の透明な薄膜を貼付け、その反対側に、マスク等に貼り付けるための粘着材を設けたものが挙げられる。

例えば、ペリクルはフォトマスクやレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の一方の縁面に厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体等の透明な高分子膜からなるペリクル膜を展張して接着し、且つ枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクやレティクルの表面に貼着される。

ペリクルは上記のような構造により、ペリクルが配置されないフォトマスクやレティクルの表面に異物が付着した場合、その異物が半導体ウエハー上に形成されたフォトレジスト上に結像して回路パターン欠陥の原因となるが、フォトマスクやレティクルの少なくともパターン面にペリクルを配置した場合、ペリクルの表面に付着した異物はフォーカス位置がずれるために、半導体ウエハー上に形成されたフォトレジスト上に結像することがなく、回路パターンに欠陥を生じさせることなく回路パターンを製造することが可能となるのである。

ところで、ペリクルは、製造後、実際にマスク、レティクルに貼り付けられるまでの間、異物が付着することの無い様クリーンルームで取り扱われ、移送の際にも当然に、異物の付着することを避けるために特別な収納容器に保管された状態で移送される。

ペリクルにおける異物は、空気中に浮遊している場合はもちろん、ペリクルフレーム、収納容器といった物どうしがこすれて生じる粉塵も含められる。従って、例えば、ペリクルを収納容器に保管して移送する場合には、しっかりとペリクルを収納容器に固定すること（以下、「仮貼り」と称する）が必要であると同時に、収納容器から取り出してマスク、レティクルに貼り付けるための位置合わせの為に貼り付けを行い（この貼り付けも「仮貼り」と称する) 、最終的にエアパス等のないようにしっかりとマスク、レティクルに密着固定させなければならない（以下、「本貼り」と称する）。

即ち、製造してから最終的にマスク、レティクルに固定する本貼りの前に、移送時の収納容器、及び、マスク、レティクルへの本貼りの前の位置合わせのための仮貼りと、何度も、貼り付けと剥がす行為を繰り返しつつも、その都度、確実に固定されることが要求されている。

この要求に対して、ペリクルフレームのマスク等の粘着面に仮貼り用粘着材と、本貼り用粘着材とを分けて粘着材を塗布し、上記仮貼り用粘着材の粘着面からの高さを、本貼り用粘着材の粘着面からの高さよりも高くすることが検討されている（例えば特許文献１)。

特開２００６−１６３０３５号公報

しかしながら、特許文献１に具体的に開示されている粘着材は、ホットメルト型粘着材を仮貼り用粘着材に、発泡ポリエチレン基材の両面テープを本貼り用粘着材に用いるとあるのみで、本発明者がその後検討したところによればホットメルト型の粘着材には様々なタイプが存在し、あるタイプによっては、一度仮貼りをしてしまうと粘着材が押し潰されて変形してしまい、その後、取り剥がしをすることができず、仮に、取り剥がすことができても、変形していしまっているため、再度、貼り付けすることが困難であることが判明している。

本発明は、ペリクル製造後、ペリクルをマスクに粘着するまでの間、移送の際には、しっかりと収納容器に固定され、移送後の収納容器から取り出す際には容易に固定を解消することが可能で、かつ、マスクへの粘着の際には位置決めのために繰り返し貼り付け、取り外しが可能であり、かつ、位置決めが完了した後は、しっかりとマスクに粘着固定されるようなペリクルフレームを提供することにある。

本発明者は前記課題を解決する為に鋭意検討した結果、本発明を完成するにいたった。即ち、本発明の構成は以下の通りである。

（１）マスク粘着面に粘着材が配置されたペリクルフレームであって、前記ペリクルフレームのマスク粘着面の内側及び外側に粘着材が配置されており、該内側及び外側の粘着材の少なくとも一方が、弾性率４００kg/cm²〜９００kg/cm²、粘性係数１００００kg・s/cm²〜１１００００kg・s/cm²であることを特徴とするペリクルフレーム。

（２）前記ペリクルフレームのマスク粘着面に配置された弾性率４００kg/cm²〜９００kg/cm²、粘性係数１００００kg・s/cm²〜１１００００kg・s/cm²である内側及び外側の粘着材の一方の粘着材のマスク粘着面から該粘着材の最頂部までの長さが、他方の粘着材のマスク粘着面から該粘着材の最頂部までの長さよりも長いことを特徴とする上記（１）に記載のペリクルフレーム。

（３）弾性率４００kg/cm²〜９００kg/cm²、粘性係数１００００kg・s/cm²〜１１００００kg・s/cm²である粘着材が前記ペリクルフレームのマスク粘着面の外側に配置されており、且つ、内側の粘着材は該マスク粘着面に連続的に配置されていることを特徴とする上記（２）に記載のペリクルフレーム。

本発明のペリクルフレームを用いれば、ペリクル製造後、ペリクルをマスクに粘着するまでの間、移送の際には、しっかりと収納容器に固定され、移送後の収納容器から取り出す際には容易に固定を解消することが可能で、かつ、マスクへの粘着の際には位置決めのために繰り返し貼り付け、取り外しが可能であり、かつ、位置決めが完了した後は、しっかりとマスクに粘着固定されるため、ペリクルの品質を移送後も維持することが可能となる。

そして、本発明は、特に面積１０００cm²以上の大型ペリクルに対して効果がある。マスクサイズが大きくなるに従って、異物の検査範囲が広くなるために異物検査工程での異物の見逃しが多く、ペリクル貼付後に異物が発見されることが多いために、ペリクルを繰返し貼付け、取り外しが可能であることが有効となる。

以下、図１〜図３を用いて本発明に係るペリクルフレームの実施形態について具体的に説明する。図１は本発明に係るペリクルフレームの構成を示す平面説明図、図２は本発明に係るペリクルフレームの構成を示す模式断面図、図３は本発明に係るペリクルフレームの他の構成を示す平面説明図である。

図１及び図２において、先ず、本発明に係るペリクルフレーム１の粘着材２，３が塗布されるペリクルのマスク粘着面４について説明する。

ペリクルは、ペリクル膜がペリクルフレーム１に展張して張り付けられており、該ペリクルフレーム１のペリクル膜が張り付けられた面と反対側のマスク粘着面（マスク等の粘着面）４は、マスクやレティクルに貼着されてペリクル膜面の内側に異物が入り込まないよう連続的に、且つ、エアパスの生じないよう密着されるため、平坦性を求められる。

本発明は、そのようなマスク粘着面４に特定の構成で、特定の物性を有する粘着材２，３を配置することで上記課題を解決したものである。本発明では、粘着材２，３は少なくともマスク粘着面４の内側と外側の２カ所に配置されることを特徴とする。内側粘着材２と外側粘着材３の位置や幅については本発明の効果を奏する限り特に限定されるものではないが、図２に示すように、仮貼り用粘着材３における、マスクとの接着幅Ａとペリクルフレーム１との接着幅Ｂとは、Ａ＜Ｂなる関係が好ましい。

マスクとの接着幅Ａよりもペリクルフレーム１との接着幅Ｂが広い方が、仮貼り後の剥離時に仮貼り用粘着材３がペリクルフレーム１から剥がれることを防止することができるからである。特に、ＡとＢの関係においては、Ａ＜（２Ｂ／３）がより好ましく、特に好ましくはＡ＜（Ｂ／２）、最も好ましくはＡ＜（Ｂ／３）である。

また、図２に示すように、仮貼り用粘着材３のマスクとの接着幅Ａと、本貼り用粘着材２のマスクとの接着幅Ｃとは、Ａ＜Ｃなる関係が好ましい。仮貼り用粘着材３のマスクとの接着幅Ａよりも本貼り用粘着材２のマスクとの接着幅Ｃが広い方が、本貼り後、仮貼り用粘着材３とマスクとの接着力よりも本貼り用粘着材２とマスクとの接着力が高くなり、仮貼り用粘着材３の弾性回復力（反発力）に本貼り用粘着材２が対抗できるようになり、本貼り用粘着材２が剥がれることを防止することができるからである。

これにより、本貼り後の粘着効果を得やすく、且つ、エアパスの防止による、密閉部へ異物の侵入の防止効果を得ることができる。特に、ＡとＣの関係においては、Ａ＜（２Ｃ／３）がより好ましく、特に好ましくはＡ＜（Ｃ／２）、最も好ましくはＡ＜（Ｃ／３）である。

更に、本貼り後、仮貼り用粘着材３の弾性回復力（反発力）により本貼り用粘着材２が剥がれることを防止するためには、本貼り後、仮貼り用粘着材３を引き抜き除去することで、仮貼り用粘着材３の弾性回復力（反発力）を根本的になくすことも可能である。この場合、図２に示すように、仮貼り用粘着材３における、マスクとの接着幅Ａとペリクルフレーム１との接着幅Ｂ、本貼り用粘着材２における、マスクとの接着幅Ｃとペリクルフレーム１との接着幅Ｄは、Ａ＜Ｂ＜ＣかつＡ＜Ｂ＜Ｄなる関係が好ましい。

こうすることで、本貼り後、仮貼り用粘着材３を引き抜き除去時、本貼り用粘着材２がマスクおよびペリクルフレーム１から剥がれることを防止することができるからである。特に、ＡとＢとＣの関係においては、Ａ＜Ｂ＜（２Ｃ／３）かつＡ＜Ｂ＜（２Ｄ／３）がより好ましく、特に好ましくはＡ＜Ｂ＜（Ｃ／２）かつＡ＜Ｂ＜（Ｄ／２）、最も好ましくはＡ＜Ｂ＜（Ｃ／３）かつＡ＜Ｂ＜（Ｄ／３）である。

また、図２に示すように、当然にペリクルフレーム１のマスク粘着面４の幅Ｅと、仮貼り用粘着材３のペリクルフレーム１との接着幅Ｂ、本貼り用粘着材２のペリクルフレーム１との接着幅Ｄは、Ｅ≧Ｂ＋Ｄであることが好ましいが、使用時に粘着材２，３が押し潰されて幅が広がることを考慮するとＥ＞Ｂ＋Ｄであることが好ましい。粘着材２，３がペリクルフレーム１のマスク粘着面４よりはみ出すとペリクルの有効面積の減少に繋がったり、或いは、発塵の原因にも繋がったりするからである。

尚、図１に示すように、粘着材２，３を塗布するマスク粘着面４の内、ペリクルフレーム１の中心側に位置するものを内側粘着材２と称し、他方を外側粘着材３と称する。

内側粘着材２と外側粘着材３は、隣接して配置されても良いし、間隔をおいて配置されても構わないが、仮貼りや本貼りの際に粘着材２，３には、圧力がかけられて若干押し潰されることを考慮すると、内側粘着材２と外側粘着材３は、多少間隔をおいて配置されることが好ましい。ただし、仮貼り用粘着材３と本貼り用粘着材２が同一の場合には、一体化したものであっても良い。

尚、これらの幅、間隔は、塗布される粘着材２，３の量、即ち、上記の幅に加えて、マスク粘着面４からの高さによっても影響されるが、幅に関しては上記の条件に従って配置されることが好ましい。

そこで、次に最適な高さについて説明する。ペリクルフレーム１のマスク粘着面４の内側及び外側に粘着材２，３の少なくとも一方が、弾性率４００kg/cm²〜９００kg/cm²、粘性係数１００００kg・s/cm²〜１１００００kg・s/cm²で構成され、その一方の粘着材２，３のマスク粘着面４から該粘着材２，３の最頂部までの長さが、他方の粘着材２，３のマスク粘着面４から該粘着材２，３の最頂部までの長さよりも長くなるように構成される。

本発明では粘着材２，３の高さは、仮貼り時、本貼り時に対象物に対して、密着性良く接着できる限りにおいて高さに制限はないが、本貼りされるまでは、仮貼りに用いる粘着材３だけで対象物との接着脱着がなされることが必要であるため仮貼りに用いる粘着材３のマスク粘着面４からの高さは、本貼り用粘着材２のマスク粘着面４からの高さよりも高いことが必要であり、具体的には０mmより高く１．０mm以下、好ましくは０mmより高く０．５mm以下、更に好ましくは０mmより高く０．２mm以下である。

上記高さが０mmより高くないと仮貼り時に本貼り用粘着材２も粘着に用いられてしまい、用いる粘着材の種類によっては、仮貼り時に本貼り用粘着材２が変形してしまい、本貼り時、エアパス等が発生する可能性が生じるためである。

一方、高さの差は１．０mm以下である必要があるのは、本貼り時には、仮貼り用粘着材３も粘着効果を生じているが、本発明で用い得る仮貼り用粘着材３は、弾性率が４００kg/cm²以上、９００kg/cm²以下、粘性係数が１００００kg・s/cm²以上、１１００００kg・s/cm²以下であるため、仮貼り用粘着材３の有する反発力により本貼り用粘着材２の粘着の効果を低下させる可能性があるからである。

尚、本発明で用いる粘着材２，３は、仮貼り用粘着材３と本貼り用粘着材２とも本発明の効果を奏する限りにおいてどのようなものでも構わないが、仮貼り用粘着材３は、マスク、レティクルに本貼りされる前に収納容器、マスク等の位置決めのために仮貼りされ、貼り付け、取り剥がしを繰り返しても、その粘着性能は変化することはなく、最終的な本貼りの際には本貼りの粘着性能を低下させることなく、押し潰された状態を維持することが必要であることから、ペリクルフレーム１のマスク粘着面４の外側に配置される仮貼り用粘着材３の弾性率は４００kg/cm²以上、且つ９００kg/cm²以下、粘性係数は１００００kg・s/cm²以上、且つ１１００００kg・s/cm²以下であることが望ましい。

より詳細には、本発明の仮貼り用粘着材３は、弾性率が５００kg/cm²以上、好ましくは、６００kg/cm²以上であり、上限は９００kg/cm²以下、好ましくは８００kg/cm²以下であれば良く、粘性係数については、１００００kg・s/cm²以上、好ましくは、３００００kg・s/cm²以上であり、上限は１０００００kg・s/cm²以下、好ましくは８００００kg・s/cm²以下であれば良い。

粘性係数が１００００kg・s/cm²未満であると、一回或いは多くとも数回の粘着、取り外しによって粘着材自体が押し潰されてしまい、仮貼りの効果を得ることができなくなる。一方、粘性係数が１１００００kg・s/cm²より大きくなると、粘着材自体が押し潰されることはなくなるが、本貼りの際に仮貼り部分の粘着材３の反発により本貼りの粘着強度が十分に得られない場合が生じる。また、弾性率についても同様の理由が考えられる。

本発明に用いることが可能な上記の物性を有する仮貼り用粘着材３には具体的には、スチレンエチレンブチレンスチレン、スチレンエチレンプロピレンスチレン、オレフィン系等のホットメルト粘着材または、シリコーン系粘着材、発砲テープ品といったものを用いることが可能である。

一方、本発明で用いることが可能な本貼り用粘着材２は、マスクやレティクルとペリクルを密着性良く密着後も密閉空間内に異物の混入を防ぐことができる限りにおいて、制限されるものではない。従って、例えば、仮貼りと同一の粘着材を用いることも可能である。

本貼り用粘着材２は、その弾性率、粘性係数が仮貼り用粘着材３の数値よりも低いほうが好ましい。本貼り過程で、仮貼り粘着材３と本貼り粘着材２が同じ高さになった後に、弾性率、粘性係数が低いほうが押し潰され易く、反発力がないために、本貼り時の貼付圧力が弱くて済むからである。

次に、本発明の本貼り用粘着材２と仮貼り用粘着材３の配置状態について具体的に説明する。

本発明では、内側の本貼り用粘着材２は、図１に示すように、マスク粘着面４に連続的に配置されていることが好ましい。これは粘着性の向上と密閉性を高める為である。

一方、仮貼り用粘着材３は、本発明の目的を達成する限りにおいて、マスク粘着面４に連続的に配置される必要はなく、図３に示すように、部分的に配置されていても構わない。図１に示す３ａはマスク粘着面４上の外側の仮貼り用粘着材３が一部不連続となりエア抜き孔を構成するエア抜き部である。仮貼り用粘着材３は、ペリクル移送の間の収納容器への固定化と簡単な取り外し、本貼り前のマスク等への位置決めの際の固定化と簡単な取り外しが達成できれば良いからである。

上記の要件に合うような仮貼り用粘着材３を部分的にマスク粘着面４に配置する場合を塗布法を例に用いて説明する。尚、本発明に置いては配置する手段に塗布法を用いているが、テープのように貼付けても良いし、一旦、別の平板等に粘着材を配置した後、マスク粘着面４に転写しても構わない。しかしながら、特に大型ペリクルのペリクルフレーム１の配置する場合には生産性の点から塗布法を用いることが好ましい。

仮貼り用粘着材３を部分的に塗布する場合、図３に示すように、矩形のペリクルであれば４隅と４辺の中央部の計８箇所の中の、少なくとも２箇所に塗布されていれば良く、４隅の中から選ばれる２箇所であっても良く、４辺の中央部の中から選ばれる２箇所であっても良い。そして、塗布される長さについては、全周の長さの２０％以上であれば構わない。

本発明では、４隅の中から選ばれる２箇所以上に塗布されていることが、仮貼り後、取り剥がす際に剥がし易いので好ましい。

本発明では本貼り用粘着材２と仮貼り用粘着材３のいずれがマスク粘着面４の内側にあったとしても構わないが、ペリクルのマスク等への本貼り後の密閉部分への粉塵の発生可能性を考慮すると、図１及び図３に示すように、本貼り用粘着材２が内側、仮貼り用粘着材３が外側であることが好ましい。仮貼り用粘着材３が本貼り用粘着材２の内側にあると、仮貼り用粘着材３に仮貼り作業の中で混入、付着した異物による発塵が考えられるからである。また、外側だと、仮貼り後の剥離時、部分塗布部分に剥離治具等を挿入し易い。

また、本発明では、本貼り時に仮貼り用粘着材３の反発力を排除するために、本貼り時に仮貼り用粘着材３を剥がしてしまうことも可能であり、そのような処理をするためには、仮貼り用粘着材３は外側に配置されることが好ましい。

以上、本発明の粘着材２，３の塗布されたペリクルフレーム１について説明した。

次に、製造方法について説明する。

粘着材２，３の塗布は、通常のシリンジ等を用いる押出し塗布によって実施することができる。従って、内側粘着材２と外側粘着材３を同時に塗布することもできれば、別々に塗布することもできるし、用いる粘着材２，３が同一の場合には内側と外側を連続して塗布することもできる。

本発明では、仮貼り用粘着材３のマスク粘着面４からの高さは、本貼り用粘着材２のマスク粘着面４からの高さよりも高いことを特徴とするが、このような高さ調整は、例えば、押出しによる塗布方法を用いる場合、粘着材２，３の量(塗出圧力)の制御、塗出口の形状による制御によって行うこともできるし、塗布後に熱、圧力をかけながら平面板のような成型盤でプレス等行っても良く、該平面板自体に細工を施した成型盤を用いて行うこともできる。

このような成型盤を用いて高さ調整する場合、成型盤の形状の自由度が高いので高さ調整が容易になるので好ましい。具体的には、成型盤自体に段差を設けるほか、耐熱性の素材で段差を設けた上で、粘着材２，３に加熱押圧して高さ調整をする方法がある。

尚、本発明では、粘着材２，３の高さの調整を、該粘着材２，３の塗布されるマスク粘着面４に直接段差を施して行うことも可能である。

本発明の粘着材２，３の塗布されたペリクルフレーム１は、ペリクル膜がマスク粘着面４の反対側の面に展張されて貼り付けられた後に粘着材２，３の塗布工程をおこなっても良いし、粘着材２，３を塗布した後に、ペリクル膜を展張して貼り付けても構わない。

以下に、本発明を実施例により説明する。尚、本発明における弾性率と粘性係数は以下の手順により測定されたものである。

弾性率Ｅは、島津製作所製の引張り試験機において、幅：３．５mm〜４mm、長さ：２０mm、厚み：１．４mmの粘着材サンプルを平坦な定盤の上に設置し、室温条件下でストローク速度：０．５mm/minで厚み０．１mmまで平坦な石英ガラスジグで粘着材を圧縮した時の弾性率の値と定義する。

一方、粘性係数ηは、島津製作所製の引張り試験機において、幅：３．５mm〜4mm、長さ：２０mm、厚み：１．４mmの粘着材サンプルを平坦な定盤の上に設置し、室温条件下でストローク速度：０．５mm/minで厚み０．１mmまで引張り試験機に取り付けた石英ガラスジグで粘着材を圧縮した時点で、圧縮を停止させたときの応力緩和曲線から、マックスウェルモデル近似σ（t）＝σexp(−t/τ)、τ＝η/Eから導き出される、圧縮を停止した時点（t＝０）でのηの値と定義する。

サイズ：２９０mm×４３０mmで、厚み：５．６mm、幅：１２mmのペリクルフレーム１を用いて、スチレンエチレンブチレンスチレン系のホットメルト粘着材を内側と外側にフレーム接着幅がそれぞれ４mm，３．５mmとなるように塗布し、外側には弾性率８００kg/cm²、粘性係数１０００００kgs/cm²の粘着材３を塗布した。外側粘着材３は内側粘着材２のマスク接着幅の１／３になるように塗布し、内側粘着材２よりも１mm高くなるように成型した。（縦）３３０mm×（横）４５０mm×（厚さ）４．８mmのソーダライムガラスを用いて貼付を実施し、ペリクル全周に２kgの荷重をかけて仮貼付を実施した。仮貼付後、一日以上ペリクルが下向きになるようにして保管しても剥がれ落ちることなかった。剥離する際にペリクルを持上げることで剥離することが可能であった。また、貼付による仮貼り部の粘着材面の押し潰れは殆どなく、数回仮貼り→剥離を繰り返すことが可能であった。

上記のサイズのペリクルフレーム１を用いて、スチレンエチレンブチレンスチレン系のホットメルト粘着材を内側と外側にフレーム接着幅がそれぞれ４mm，３．５mmとなるように塗布し、外側には弾性率８００kg/cm²、粘性係数１０００００kgs/cm²の粘着材３を塗布した。外側粘着材３は内側粘着材２のマスク接着幅の１／２になるように塗布し、外側粘着材３は内側粘着材２よりも０．２mm高くなるように成型した。（縦）３３０mm×（横）４５０mm×（厚さ）４．８mmのソーダライムガラスを用いて貼付を実施し、ペリクル全周に２kgの荷重をかけて仮貼付を実施した。外側粘着材３のみ接着しており、内側粘着材２は全く接着していなかった。仮貼り後、ペリクル全周に６０kg×１０minの荷重をかけて本貼りを実施した。本貼り後、内側粘着材２は全周にわたり接着していた。本貼り後、外側粘着材３の反発を抑えるために、外側粘着材３のみ除去した。本貼り後、ペリクルが下向きになるようにして数ヶ月保管しても剥がれ落ちることはなく貼付状態は良好であった。

上記のサイズのフレームを用いて、スチレンエチレンブチレンスチレン系のホットメルト粘着材を内側と外側にフレーム接着幅がそれぞれ４mm，３．５mmとなるように塗布し、外側には弾性率８００kg/cm²、粘性係数１０００００kgs/cm²の粘着材３を塗布した。外側粘着材３は内側粘着材２のマスク接着幅の１／２になるように塗布し、外側粘着材３は全周の２０％となるように４コーナーのみ塗布し、内側粘着材２よりも０．２mm高くなるように成型した。（縦）３３０mm×（横）４５０mm×（厚さ）４．８mmのソーダライムガラスを用いて貼付を実施し、ペリクル全周に２kgの荷重をかけて仮貼付を実施した。仮貼付後、一日以上ペリクルが下向きになるようにして保管しても剥がれ落ちることなかった。剥離はコーナーをひとつずつ持上げながら、外側粘着材３の未塗布部分にジグを挿入ながらおこなうと剥離が容易であった。本貼りは、ペリクル全周に３０kg×１０minの荷重をかけることで、内側粘着材２は全周にわたり密着した。本貼り後、部分的に塗布された外側粘着材３が不要となったために、外側粘着材３のみ除去した。本貼り後、ペリクルは数ヶ月縦置き保管においても剥がれ落ちることはなく貼付状態は良好であった。

本発明のペリクルフレームは仮貼りを繰り返しても密着固定性が良く、しかも本貼り時の密着固定性も達成できるので、ペリクルの性能を保持した状態で製造現場から使用現場に移送することが可能となる。特に、大型ペリクルの場合に効力を発揮する。

本発明に係るペリクルフレームの構成を示す平面説明図である。本発明に係るペリクルフレームの構成を示す模式断面図である。本発明に係るペリクルフレームの他の構成を示す平面説明図である。

符号の説明

１…ペリクルフレーム
２，３…粘着材
３ａ…エア抜き部
４…マスク粘着面

Claims

マスク粘着面に粘着材が配置されたペリクルフレームであって、前記ペリクルフレームのマスク粘着面の内側及び外側に粘着材が配置されており、該内側及び外側の粘着材の少なくとも一方が、弾性率４００kg/cm²〜９００kg/cm²、粘性係数１００００kg・s/cm²〜１１００００kg・s/cm²であることを特徴とするペリクルフレーム。
前記ペリクルフレームのマスク粘着面に配置された弾性率４００kg/cm²〜９００kg/cm²、粘性係数１００００kg・s/cm²〜１１００００kg・s/cm²である内側及び外側の粘着材の一方の粘着材のマスク粘着面から該粘着材の最頂部までの長さが、他方の粘着材のマスク粘着面から該粘着材の最頂部までの長さよりも長いことを特徴とする請求項１に記載のペリクルフレーム。
弾性率４００kg/cm²〜９００kg/cm²、粘性係数１００００kg・s/cm²〜１１００００kg・s/cm²である粘着材が前記ペリクルフレームのマスク粘着面の外側に配置されており、且つ、内側の粘着材は該マスク粘着面に連続的に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のペリクルフレーム。