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JP2008155146A - Reaction apparatus and reaction system - Google Patents

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JP2008155146A
JP2008155146A JP2006347757A JP2006347757A JP2008155146A JP 2008155146 A JP2008155146 A JP 2008155146A JP 2006347757 A JP2006347757 A JP 2006347757A JP 2006347757 A JP2006347757 A JP 2006347757A JP 2008155146 A JP2008155146 A JP 2008155146A
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JP
Japan
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supply pipe
reactor
discharge pipe
pipe
reaction
Prior art date
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Application number
JP2006347757A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshihiro Hashimoto
利弘 橋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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Abstract

【課題】反応器の供給管及び排出管と、パッケージの対応する供給管及び排出管とをそれぞれ気密接合させて、反応装置の外部から反応器への流体の供給及び反応器から反応装置の外部への流体の排出を円滑に行なうことができる反応装置を提供する。
【解決手段】 反応装置1は、一方が反応前の流体を導入するために用いられ、他方が反応後の流体を送り出すために用いられる2つの第1管6,7が表面に設けられた反応器2と、反応器2を収容するパッケージ3と、パッケージ3に設けられ、対応する第1管6,7にそれぞれ接続される2つの第2管8,9とを備え、第1管6,7と第2管8,9の接続部の少なくとも一方において、第1管6,7及び第2管8,9の一方の先端部が他方の先端部に挿入され、第1管6,7及び第2管8,9の一方の外面は、他方の内面の内側に位置する。
【選択図】図1
A supply pipe and a discharge pipe of a reactor and a corresponding supply pipe and a discharge pipe of a package are hermetically joined, respectively, to supply fluid from the outside of the reactor to the reactor and from the reactor to the outside of the reactor. Provided is a reaction apparatus that can smoothly discharge a fluid to the tank.
SOLUTION: A reaction apparatus 1 is used for introducing a fluid before reaction, and a reaction apparatus having two first tubes 6 and 7 provided on the surface, the other being used for sending out a fluid after reaction. A reactor 2, a package 3 for accommodating the reactor 2, and two second tubes 8 and 9 provided in the package 3 and connected to the corresponding first tubes 6 and 7, respectively. 7 and at least one of the connecting portions of the second pipes 8 and 9, the first ends of the first tubes 6 and 7 and the second tubes 8 and 9 are inserted into the other ends, and the first tubes 6 and 7 and One outer surface of the second pipes 8 and 9 is located inside the other inner surface.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、供給された物質を別の物質に変換し出力する機能を有する燃料改質器等の反応装置、及びその反応装置を用いた反応システムに関するものである。   The present invention relates to a reaction apparatus such as a fuel reformer having a function of converting a supplied substance into another substance and outputting the substance, and a reaction system using the reaction apparatus.

近年、精密加工技術の進歩発展により、マイクロテクノロジーとよばれる新しい概念が登場してきた。すなわち、マイクロな微小空間を活用して、液体や気体を高速、高精度で制御し反応させるマイクロ化学システムは、反応・分析の効率化・高速化のための革新的な技術としてだけでなく、新反応系の場としても注目を集めている。特に、マイクロ化学プラントは従来の工業的物質生産の方式を変革するものとして、化学産業だけでなく関連する医療、製薬、バイオ関連、食品産業などからも大きな期待が寄せられている。   In recent years, a new concept called microtechnology has appeared due to the advancement and development of precision processing technology. In other words, microchemical systems that use microscopic microspaces to control and react with liquids and gases at high speed and with high accuracy are not only innovative technologies for increasing the efficiency and speed of reactions and analyses, It is also attracting attention as a place for new reaction systems. In particular, the micro chemical plant is expected to change not only the chemical industry but also the related medical, pharmaceutical, bio-related, and food industries as a change in conventional industrial material production methods.

なお、携帯機器用のシステムについては、真空状態にされたパッケージ内部に、反応器が収容された反応装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。このような反応装置によって、反応の際に発生した熱がパッケージ外部に伝わることを低減し、発電損失を低減させることができる。
特開2003−2602号公報
As a system for portable devices, a reaction apparatus in which a reactor is accommodated in a vacuum package has been proposed (see, for example, Patent Document 1). With such a reactor, it is possible to reduce the heat generated during the reaction from being transmitted to the outside of the package, and to reduce power generation loss.
JP 2003-2602 A

しかしながら、反応器がセラミックから成る場合、セラミック焼成時の収縮率が大きいために、例えば、セラミック上に形成されためっきパターンのピッチ精度が低く、セラミック反応器に対する原料の供給管及び反応生成物の排出管の取付けの位置精度が低くなる可能性があった。その結果、パッケージに設けられた供給管及び排出管と、セラミック反応器に取り付けられた供給管及び排出管との位置がずれてしまい、気密接合が困難となることがあった。また、反応器に設けた供給管及び排出管の長さの不揃いが発生した際に、気密接合が困難となることがあった。これにより、反応装置外部から反応器への流体の供給及び反応器から反応装置外部への流体の排出がうまくいかず、反応装置としての機能が損なわれる可能性があるという問題があった。   However, when the reactor is made of ceramic, since the shrinkage rate during ceramic firing is large, for example, the pitch accuracy of the plating pattern formed on the ceramic is low, and the raw material supply pipe and the reaction product of the ceramic reactor are low. There was a possibility that the position accuracy of the installation of the discharge pipe would be lowered. As a result, the positions of the supply pipe and the discharge pipe provided in the package and the supply pipe and the discharge pipe attached to the ceramic reactor are shifted, and airtight joining sometimes becomes difficult. In addition, when the lengths of the supply pipe and the discharge pipe provided in the reactor are uneven, airtight joining sometimes becomes difficult. As a result, there has been a problem that the supply of fluid to the reactor from the outside of the reactor and the discharge of fluid from the reactor to the outside of the reactor may not be successful, and the function as the reactor may be impaired.

本発明は、上記従来の技術における問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、反応器の供給管及び排出管とパッケージの供給管及び排出管とを気密接合させて、パッケージの外部から反応器への流体の供給及び反応器からパッケージの外部への流体の排出を円滑に行なうことができる反応装置、及びその反応装置を用いた反応システムを提供することである。   The present invention has been completed in view of the above-mentioned problems in the prior art, and an object thereof is to hermetically join the supply pipe and discharge pipe of the reactor to the supply pipe and discharge pipe of the package, thereby It is an object of the present invention to provide a reaction apparatus capable of smoothly supplying fluid from the outside to the reactor and discharging fluid from the reactor to the outside of the package, and a reaction system using the reaction apparatus.

本発明の反応装置は、一方が反応前の流体を導入するために用いられ、他方が反応後の流体を送り出すために用いられる2つの第1管が表面に設けられた反応器と、前記の反応器を収容するパッケージと、前記のパッケージに設けられ、前記の2つの第1管にそれぞれ接続される2つの第2管とを備え、前記の第1管と前記の第2管の接続部の少なくとも一方において、前記の第1管及び前記の第2管の一方の先端部が他方の先端部に挿入され、前記の一方の先端部の外面は、前記の他方の先端部の内面の内側に位置する。この反応装置を、「第1の反応装置」という。   The reactor according to the present invention includes a reactor having two first tubes provided on the surface, one of which is used for introducing a fluid before reaction, and the other of which is used for sending out a fluid after reaction. A package containing the reactor; and two second pipes provided in the package and connected to the two first pipes, respectively, and a connection portion between the first pipe and the second pipe At least one of the first tube and the second tube is inserted into the other tip, and the outer surface of the one tip is inside the inner surface of the other tip. Located in. This reactor is referred to as a “first reactor”.

上記第1の反応装置において、好ましくは、前記の第1管と前記の第2管の接続部の少なくとも一方において、前記の第1管及び前記の第2管の前記の一方の先端部の外径は、前記の他方の先端部の内径よりも小さい。この反応装置を、「第2の反応装置」という。   In the first reaction apparatus, preferably, at least one of the connection portions of the first tube and the second tube is outside the tip of the one of the first tube and the second tube. The diameter is smaller than the inner diameter of the other tip. This reactor is referred to as a “second reactor”.

上記第2の反応装置において、好ましくは、前記の第1管及び前記の第2管の前記の一方は、その先端部の内径が、他の部分の内径よりも小さい。この反応装置を、「第3の反応装置」という。   In the second reaction apparatus, preferably, the one of the first tube and the second tube has an inner diameter at a tip portion smaller than an inner diameter of the other portion. This reactor is referred to as a “third reactor”.

上記第1から第3のいずれかの反応装置において、好ましくは、前記の第1管及び前記の第2管の前記の他方の先端部は、前記の一方の先端部を収容する凹部を有している。この反応装置を、「第4の反応装置」という。   In any one of the first to third reaction apparatuses, preferably, the other tip portion of the first tube and the second tube has a recess for accommodating the one tip portion. ing. This reactor is referred to as a “fourth reactor”.

上記第1から第4のいずれかの反応装置において、好ましくは、前記の第1管及び前記の第2管の前記の一方の先端部の外面と、前記の他方の先端部の内面との間に接合材が充填されている。この反応装置を、「第5の反応装置」という。   In any one of the first to fourth reactors, preferably, the gap between the outer surface of the one tip portion of the first tube and the second tube and the inner surface of the other tip portion. Is filled with a bonding material. This reactor is referred to as a “fifth reactor”.

上記第1から第5のいずれかの反応装置において、好ましくは、前記のパッケージの内部において、前記の第1管の外面は、複数の溝がそれぞれ形成されている。この反応装置を、「第6の反応装置」という。   In any one of the first to fifth reactors, preferably, in the inside of the package, a plurality of grooves are formed on the outer surface of the first tube. This reactor is referred to as a “sixth reactor”.

上記第1から第6のいずれかの反応装置において、好ましくは、前記の反応器は、セラミックから成る。この反応装置を、「第7の反応装置」という。   In any one of the first to sixth reactors, preferably, the reactor is made of ceramic. This reactor is referred to as a “seventh reactor”.

本発明の反応システムは、上記第1から第7のいずれかの反応装置と、前記の反応前の流体を貯蔵する貯蔵部と、前記の貯蔵部から前記の反応装置に流体を流体供給手段とを備える。   The reaction system of the present invention includes any one of the first to seventh reaction devices, a storage unit that stores the fluid before the reaction, and a fluid supply unit that supplies fluid from the storage unit to the reaction device. Is provided.

本発明の反応装置は、一方が反応前の流体を導入するために用いられ、他方が反応後の流体を送り出すために用いられる2つの第1管が表面に設けられた反応器と、反応器を収容するパッケージと、パッケージに設けられ、2つの第1管にそれぞれ接続される2つの第2管とを備え、第1管と第2管の接続部の少なくとも一方において、第1管及び第2管の一方の先端部が他方の先端部に挿入され、一方の先端部の外面は、他方の先端部の内面の内側に位置することから、反応器に備えた供給管と排出管のピッチ精度が低い場合や、反応器に設けた入力管と出力管の長さに不揃いが生じた場合でも、反応器の供給管及び排出管と、パッケージに設けられた対応する供給管及び排出管とをそれぞれ気密接合させることができ、パッケージの外部から反応器への流体の供給及び反応器からパッケージの外部への流体の排出を円滑に行なうことができる。   The reaction apparatus of the present invention includes a reactor having two first tubes provided on the surface, one of which is used for introducing a fluid before reaction and the other of which is used for sending out a fluid after reaction. And a second pipe provided in the package and connected to the two first pipes, respectively, and at least one of the connection portion of the first pipe and the second pipe, Since one tip of the two tubes is inserted into the other tip, and the outer surface of one tip is located inside the inner surface of the other tip, the pitch between the supply tube and the discharge tube provided in the reactor Even if the accuracy is low or the lengths of the input and output pipes provided in the reactor are uneven, the supply and discharge pipes of the reactor and the corresponding supply and discharge pipes provided in the package Each can be hermetically bonded, outside the package It can be smoothly discharged fluid to the outside of the package from the feed and the reactor of the fluid into et reactor.

本発明の反応システムは、上述の反応装置と、反応前の流体を貯蔵する貯蔵部と、貯蔵部から反応装置に流体を流体供給手段とを備えることから、反応装置に反応前の流体を安定して供給することができ、その結果、反応後の流体を安定して得ることが可能になる。   The reaction system of the present invention includes the above-described reaction device, a storage unit that stores the fluid before the reaction, and a fluid supply unit that supplies the fluid from the storage unit to the reaction device. As a result, it is possible to stably obtain the fluid after the reaction.

本発明の反応装置の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。   Embodiments of the reaction apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1による反応装置の構成例を示す断面図である。図1に示されるように、本実施の形態による反応装置1は、反応器2と反応器2を収容するパッケージ3とを備える。パッケージ3は、凹部を有する基体4とその凹部を覆うように取り付けられる蓋体5とを備える。反応器2には、その表面に、反応前の流体が導入される第1供給管6及び反応後の流体が送り出される第1排出管7がそれぞれ設けられている。また、基体4には、第1供給管6に接続される第2供給管8、及び第1排出管7に接続される第2排出管9がそれぞれ設けられている。さらに、基体3には、貫通孔が設けられ、その貫通孔に、リード端子10が、断熱性を有する絶縁封止材11により封止固定されている。リード端子10は、ボンディングワイヤ12を介して、反応器2の表面上に設けられた電極13に接続されている。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration example of a reaction apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. As shown in FIG. 1, the reaction apparatus 1 according to the present embodiment includes a reactor 2 and a package 3 that accommodates the reactor 2. The package 3 includes a base body 4 having a recess and a lid 5 attached so as to cover the recess. The reactor 2 is provided on its surface with a first supply pipe 6 into which a fluid before reaction is introduced and a first discharge pipe 7 into which a fluid after reaction is sent out. The base 4 is provided with a second supply pipe 8 connected to the first supply pipe 6 and a second discharge pipe 9 connected to the first discharge pipe 7. Further, the base 3 is provided with a through hole, and the lead terminal 10 is sealed and fixed in the through hole with an insulating sealing material 11 having heat insulation properties. The lead terminal 10 is connected to an electrode 13 provided on the surface of the reactor 2 through a bonding wire 12.

図2は、図1に示した第2供給管8及び第2排出管9の先端部を拡大した断面図である。図1及び図2に示されるように、反応器2に設けられた第1供給管6及び第1排出管7、並びにパッケージ3に設けられた第2供給管8及び第2排出管9は、それぞれ円筒状であり、第1供給管6及び第1排出管7の先端部は、対応する第2供給管8及び第2排出管9の先端部にそれぞれ挿入され、第1供給管6及び第1排出管7の各先端部の外径は、対応する第2供給管8及び第2排出管9の各先端部の内径よりも小さい。すなわち、第1供給管6及び第1排出管7の各先端部の外面は、対応する第2供給管8及び第2排出管9の各先端部の内面の内側に位置している。   FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the distal ends of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 shown in FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 provided in the reactor 2, and the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 provided in the package 3, Each of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 has a cylindrical shape, and the distal ends of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 are inserted into the corresponding distal ends of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9, respectively. The outer diameter of each tip of one discharge pipe 7 is smaller than the inner diameter of each tip of the corresponding second supply pipe 8 and second discharge pipe 9. In other words, the outer surfaces of the distal ends of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 are located inside the inner surfaces of the corresponding distal ends of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9.

ここで、図2に示されるように、第1供給管6と第2供給管8、及び第1排出管7と第2排出管9は、それぞれAu−Sn合金,Au−Si合金,Au−Ge合金,Ag−Cu合金等の各種ロウ材14で接合されている。すなわち、第2供給管8及び第2排出管9の各先端部に、対応する第1供給管6及び第1排出管7の先端部が挿入され、第2供給管8の内面と第1供給管6の外面との隙間、及び第2排出管9の内面と第1排出管8の外面との隙間に、それぞれロウ材14が充填される。ロウ材14は、図2に示されるようにフィレット形状を形成するように選択されることが好ましく、この場合には、第2供給管8と第1供給管6及び第2排出管9と第1排出管7の各接続部において、良好な接続強度が得られる。   Here, as shown in FIG. 2, the first supply pipe 6 and the second supply pipe 8, and the first discharge pipe 7 and the second discharge pipe 9 are made of Au—Sn alloy, Au—Si alloy, Au—, respectively. Joined by various brazing materials 14 such as Ge alloy and Ag-Cu alloy. That is, the front ends of the corresponding first supply pipe 6 and first discharge pipe 7 are inserted into the front ends of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9, and the inner surface of the second supply pipe 8 and the first supply are supplied. The brazing material 14 is filled in the gap between the outer surface of the pipe 6 and the gap between the inner surface of the second discharge pipe 9 and the outer surface of the first discharge pipe 8. The brazing material 14 is preferably selected to form a fillet shape as shown in FIG. 2, and in this case, the second supply pipe 8, the first supply pipe 6, the second discharge pipe 9, and the first Good connection strength is obtained at each connection portion of the 1 discharge pipe 7.

以上のように、第2供給管8と第1供給管6、及び第2排出管9と第1排出管7をそれぞれロウ材14を用いて接続する場合、例えば、以下のような方法を採ればよい。図3は、第2供給管8と第1供給管6、及び第2排出管9と第1排出管7とをそれぞれロウ材14を用いて接続する場合の接続方法の一例を説明する図である。例えば、図3に示されるように、反応器2をパッケージ3内で治具15を用いて所定の高さに保持しつつ、第2供給管8の内面と第1供給管6の外面との隙間、及び第2排出管9の内面と第1排出管8の外面との隙間に、それぞれロウ材14を充填し、そのロウ材14が固まってからその治具15を取り外せばよい。   As described above, when the second supply pipe 8 and the first supply pipe 6 and the second discharge pipe 9 and the first discharge pipe 7 are connected using the brazing material 14, for example, the following method can be adopted. That's fine. FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a connection method in the case where the second supply pipe 8 and the first supply pipe 6 and the second discharge pipe 9 and the first discharge pipe 7 are connected using the brazing material 14, respectively. is there. For example, as shown in FIG. 3, while the reactor 2 is held at a predetermined height in the package 3 using a jig 15, the inner surface of the second supply pipe 8 and the outer surface of the first supply pipe 6 are The brazing material 14 is filled into the gap and the gap between the inner surface of the second discharge pipe 9 and the outer surface of the first discharge pipe 8, and the jig 15 is removed after the brazing material 14 is solidified.

図1に示した反応装置1において、反応器2はセラミックスからなり、反応前の流体が導入される供給口(図示せず)と、反応後の流体が送り出される排出口(図示せず)とを有している。供給口には、第1の供給管6が接続され、排出口には、第1の排出管7が接続されている。   In the reaction apparatus 1 shown in FIG. 1, the reactor 2 is made of ceramics, and includes a supply port (not shown) through which a fluid before reaction is introduced, and a discharge port (not shown) through which a fluid after reaction is sent out. have. A first supply pipe 6 is connected to the supply port, and a first discharge pipe 7 is connected to the discharge port.

反応器2が、例えば相対密度95%以上の緻密質の酸化アルミニウム質焼結体で形成されている場合は、例えば、まず酸化アルミニウム粉末に希土類酸化物粉末や酸化アルミニウム粉末等の焼結助剤を添加,混合して、酸化アルミニウム質焼結体の原料粉末を調製する。次いで、この原料粉末に有機バインダ及び分散媒を添加,混合してペースト化し、このペーストをドクターブレード法によって、あるいは原料粉末に有機バインダを加え、プレス成形,圧延成形等によって、所定の厚みのグリーンシートを作製する。その後、所定枚数のシート状成形体を位置合わせして積層圧着した後、この積層体を、例えば非酸化性雰囲気中、焼成最高温度が1200〜1500℃の温度で焼成して、目的とするセラミック製の反応器2を得る。また、成形は粉末成形プレス法であっても良い。   When the reactor 2 is formed of, for example, a dense aluminum oxide sintered body having a relative density of 95% or more, for example, a sintering aid such as rare earth oxide powder or aluminum oxide powder is first added to the aluminum oxide powder. Are added and mixed to prepare the raw material powder of the aluminum oxide sintered body. Next, an organic binder and a dispersion medium are added to this raw material powder, mixed to form a paste, and this paste is green by a doctor blade method, or an organic binder is added to the raw material powder, and press forming, rolling forming, etc. A sheet is produced. Then, after aligning and laminating and pressing a predetermined number of sheet-shaped molded bodies, the laminated body is fired at a firing maximum temperature of 1200 to 1500 ° C. in a non-oxidizing atmosphere, for example. A reactor 2 is obtained. Further, the molding may be a powder molding press method.

また、グリーンシートを作製する際に所定形状の貫通部を設け、次いで他のグリーンシートと積層圧着することで反応器2内部に反応する物質を流通させる溝部を形成することができる。溝部側面となる部分には物質を反応させるための触媒が担持されてもよい。   Further, when a green sheet is produced, a through portion having a predetermined shape is provided, and then a groove portion through which a reacting substance is circulated can be formed by laminating and pressing with another green sheet. A catalyst for causing a substance to react may be supported on a portion serving as a side surface of the groove.

反応器2に導入される物質の反応が吸熱反応の場合、反応器2内には、温度調節機構、例えば、抵抗層等から成る薄膜ヒーター(図示せず)や厚膜ヒーター(図示せず)が形成されており、表面にはこのヒーターへ電力を供給する端子として電極13が形成されている。この温度調節機構により、反応器2内を物質の反応条件に相当する200〜800℃程度の温度条件に調整することで、物質反応を良好に促進することができる。   When the reaction of the substance introduced into the reactor 2 is an endothermic reaction, a thin film heater (not shown) or a thick film heater (not shown) comprising a temperature control mechanism such as a resistance layer is provided in the reactor 2. The electrode 13 is formed on the surface as a terminal for supplying power to the heater. By adjusting the inside of the reactor 2 to a temperature condition of about 200 to 800 ° C. corresponding to the reaction condition of the substance by this temperature adjusting mechanism, the substance reaction can be favorably promoted.

このようなヒーターは、触媒が担持され物質反応をおこなう溝部内や空隙内、あるいはその近傍に配置される。このような構成により、ヒーターから発生する熱を効率的に物質反応に用いることができる。   Such a heater is disposed in or near a groove or a space where a catalyst is supported and performs a material reaction. With such a configuration, the heat generated from the heater can be efficiently used for the material reaction.

反応器2に設けられた第1供給管6と基体4に設けられた第2供給管8は、原料となる流体の供給路であり、反応器2に設けられた第1排出管7と基体4に設けられた第2排出管9は、反応器2内の反応によって生成された流体の排出路である。これらは、例えば、SUS系金属材料、Fe−Ni合金,Fe−Ni−Co合金,Al質焼結体,3Al・2SiO質焼結体,SiC質焼結体,AlN質焼結体,Si質焼結体,ガラスセラミック焼結体等のセラミック材料、ポリイミド等の高耐熱の樹脂材料、または、ガラスで形成されている。好ましくは、反応ガスに含まれる物質により脆化などしにくいものであるのがよい。このような材料としては、Fe合金、セラミックス、ガラスが挙げられる。 A first supply pipe 6 provided in the reactor 2 and a second supply pipe 8 provided in the base 4 are supply paths for a fluid as a raw material. The first discharge pipe 7 provided in the reactor 2 and the base are provided. The second discharge pipe 9 provided in 4 is a discharge path for the fluid generated by the reaction in the reactor 2. These include, for example, SUS-based metal material, Fe-Ni alloy, Fe-Ni-Co alloy, Al 2 O 3 sintered material, 3Al 2 O 3 · 2SiO 2 sintered material, SiC sintered material, AlN It is made of a ceramic material such as a sintered material, a Si 3 N 4 material, a glass ceramic sintered material, a highly heat resistant resin material such as polyimide, or glass. Preferably, it is difficult to be embrittled by a substance contained in the reaction gas. Such materials include Fe alloys, ceramics, and glass.

第1及び第2の供給管6,8及び第1及び第2の排出管7,9が金属材料から成る場合は、切削法,プレス法,MIM(Metal Injection Mold)法等により所定の形状に形成される。   When the first and second supply pipes 6 and 8 and the first and second discharge pipes 7 and 9 are made of a metal material, they are formed into a predetermined shape by a cutting method, a press method, a MIM (Metal Injection Mold) method, or the like. It is formed.

また、第1及び第2の各供給管6,8及び第1及び第2の各排出管7,9が金属材料から成る場合には、腐食を防止するために、その表面は、例えばAu,Niのめっき処理や、ポリイミド等の樹脂コーティング等の被覆コーティング処理が行なわれることが望ましい。例えばAuめっき処理の場合であれば、その厚さは0.1〜5μm程度であることが望ましい。   When the first and second supply pipes 6 and 8 and the first and second discharge pipes 7 and 9 are made of a metal material, the surface thereof is, for example, Au, to prevent corrosion. It is desirable to perform a coating process such as a Ni plating process or a resin coating such as polyimide. For example, in the case of Au plating treatment, the thickness is desirably about 0.1 to 5 μm.

また、第1及び第2の各供給管6,8及び第1及び第2の各排出管7,9が、例えば相対密度95%以上の緻密質の酸化アルミニウム質焼結体で形成されている場合は、まず酸化アルミニウム粉末に希土類酸化物粉末や酸化アルミニウム粉末等の焼結助剤を添加,混合して、酸化アルミニウム質焼結体の原料粉末を調製する。次いで、この原料粉末に有機バインダ及び分散媒を添加,混合してペースト化し、このペーストをドクターブレード法によって、あるいは原料粉末に有機バインダを加え、プレス成形,圧延成形等によって、所定の厚みのグリーンシートを作製する。その後、所定枚数のシート状成形体を位置合わせして積層圧着した後、この積層体を、例えば非酸化性雰囲気中、焼成最高温度が1200〜1500℃の温度で焼成して、目的とするセラミック製の第1及び第2の供給管6,8及び第1及び第2の排出管7,9を得る。なお、第1及び第2の供給管6,8及び第1及び第2の排出管7,9の成形は粉末成形プレス法であっても良い。   The first and second supply pipes 6 and 8 and the first and second discharge pipes 7 and 9 are formed of a dense aluminum oxide sintered body having a relative density of 95% or more, for example. In this case, first, a sintering aid such as rare earth oxide powder or aluminum oxide powder is added to and mixed with the aluminum oxide powder to prepare a raw material powder for the aluminum oxide sintered body. Next, an organic binder and a dispersion medium are added to this raw material powder, mixed to form a paste, and this paste is green by a doctor blade method, or an organic binder is added to the raw material powder, and press forming, rolling forming, etc. A sheet is produced. Then, after aligning and laminating and pressing a predetermined number of sheet-shaped molded bodies, the laminated body is fired at a firing maximum temperature of 1200 to 1500 ° C. in a non-oxidizing atmosphere, for example. First and second supply pipes 6 and 8 and first and second discharge pipes 7 and 9 are obtained. The first and second supply pipes 6 and 8 and the first and second discharge pipes 7 and 9 may be molded by a powder molding press method.

また、基体4に備えた第2供給管8及び第2排出管9のピッチと、反応器2に備えた第1供給管6及び第1排出管7のピッチとは同一寸法に設計されている。   In addition, the pitch of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 provided in the substrate 4 and the pitch of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 provided in the reactor 2 are designed to have the same dimensions. .

パッケージ4は、基体4及び蓋体5からなる。基体4及び蓋体5は、ともに反応器2を収容する容器としての役割を有する。基体4及び蓋体5は、例えば、SUS,Fe−Ni−Co合金,Fe−Ni合金等のFe系合金や、無酸素銅の金属材料や、酸化アルミニウム(Al)質焼結体,ムライト(3Al・2SiO)質焼結体,炭化珪素(SiC)質焼結体,窒化アルミニウム(AlN)質焼結体,窒化珪素(Si)質焼結体,ガラスセラミックス等のセラミック材料や、ポリイミド等の高耐熱の樹脂材料で形成されている。 The package 4 includes a base body 4 and a lid body 5. Both the substrate 4 and the lid 5 have a role as a container for accommodating the reactor 2. The base 4 and the lid 5 are, for example, Fe-based alloys such as SUS, Fe—Ni—Co alloys, Fe—Ni alloys, oxygen-free copper metal materials, and aluminum oxide (Al 2 O 3 ) -based sintered bodies. , mullite (3Al 2 O 3 · 2SiO 2 ) sintered material, silicon carbide (SiC) sintered material, aluminum nitride (AlN) sintered material, silicon nitride (Si 3 N 4) sintered material, glass It is formed of a ceramic material such as ceramics or a highly heat-resistant resin material such as polyimide.

なお、基体4及び蓋体5に適用可能なガラスセラミックスは、ガラス成分とフィラー成分とから成る。そのガラス成分としては、例えばSiO−B系,SiO−B−Al系,SiO−B−Al−MO系(但し、MはCa,Sr,Mg,BaまたはZnを示す),SiO−Al−MO−MO系(但し、M及びMは同一または異なってCa,Sr,Mg,BaまたはZnを示す),SiO−B−Al−MO−MO系(但し、M及びMは前記と同じである),SiO−B−M O系(但し、MはLi,NaまたはKを示す),SiO−B−Al−M3O系(但し、Mは前記と同じである),Pb系ガラス,Bi系ガラス等が挙げられる。 Glass ceramics applicable to the substrate 4 and the lid 5 are composed of a glass component and a filler component. As the glass component, for example, SiO 2 —B 2 O 3 system, SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 system, SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 —MO system (where M is Ca, Sr, Mg, Ba or Zn), SiO 2 —Al 2 O 3 —M 1 O—M 2 O system (where M 1 and M 2 are the same or different and Ca, Sr, Mg, Ba or Zn represents), SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 —M 1 O—M 2 O (where M 1 and M 2 are the same as above), SiO 2 —B 2 O 3 — M 3 2 O system (where M 3 represents Li, Na or K), SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 —M3 2 O system (where M 3 is the same as above), Pb glass, Bi glass, etc. are mentioned.

また、フィラー成分としては、例えばAl,SiO,ZrOとアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物、TiOとアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物、Al及びSiOから選ばれる少なくとも1種を含む複合酸化物(例えばスピネル,ムライト,コージェライト)等が挙げられる。 Examples of the filler component include a composite oxide of Al 2 O 3 , SiO 2 , ZrO 2 and an alkaline earth metal oxide, a composite oxide of TiO 2 and an alkaline earth metal oxide, Al 2 O 3. And composite oxides containing at least one selected from SiO 2 (for example, spinel, mullite, cordierite) and the like.

また、基体4及び蓋体5が、例えば相対密度95%以上の緻密質の酸化アルミニウム質焼結体で形成されている場合は、例えば、まず酸化アルミニウム粉末に希土類酸化物粉末や酸化アルミニウム粉末等の焼結助剤を添加,混合して、酸化アルミニウム質焼結体の原料粉末を調製する。次いで、この原料粉末に有機バインダ及び分散媒を添加,混合してペースト化し、このペーストをドクターブレード法によって、あるいは原料粉末に有機バインダを加え、プレス成形,圧延成形等によって、所定の厚みのグリーンシートを作製する。その後、所定枚数のシート状成形体を位置合わせして積層圧着した後、この積層体を、例えば非酸化性雰囲気中、焼成最高温度が1200〜1500℃の温度で焼成して、目的とするセラミック製の基体4及び蓋体5を得る。なお、基体4及び蓋体5の成形は粉末成形プレス法であっても良い。   Further, when the base 4 and the lid 5 are formed of a dense aluminum oxide sintered body having a relative density of 95% or more, for example, first, rare earth oxide powder, aluminum oxide powder, etc. are added to the aluminum oxide powder. The raw material powder of the aluminum oxide sintered body is prepared by adding and mixing the sintering aid. Next, an organic binder and a dispersion medium are added to this raw material powder, mixed to form a paste, and this paste is green by a doctor blade method, or an organic binder is added to the raw material powder, and press forming, rolling forming, etc. A sheet is produced. Then, after aligning and laminating and pressing a predetermined number of sheet-shaped molded bodies, the laminated body is fired at a firing maximum temperature of 1200 to 1500 ° C. in a non-oxidizing atmosphere, for example. A base 4 and a lid 5 are obtained. The base 4 and the lid 5 may be molded by a powder molding press method.

また、基体4及び蓋体5が金属材料から成る場合は、切削法,プレス法,MIM(Metal Injection Mold)法等により所定の形状に形成される。   When the base 4 and the lid 5 are made of a metal material, they are formed into a predetermined shape by a cutting method, a press method, a MIM (Metal Injection Mold) method, or the like.

また、基体4及び蓋体5が金属材料から成る場合には、腐食を防止するためにその表面は、例えばAu,Niのめっき処理や、ポリイミド等の樹脂コーティング等の被覆コーティング処理が行なわれることが望ましい。例えばAuめっき処理の場合であれば、その厚さは0.1〜5μm程度であることが望ましい。   In addition, when the base 4 and the lid 5 are made of a metal material, the surface thereof is subjected to a coating treatment such as Au or Ni plating or a resin coating such as polyimide to prevent corrosion. Is desirable. For example, in the case of Au plating treatment, the thickness is desirably about 0.1 to 5 μm.

また、基体4及び蓋体5で構成される収容容器の少なくとも内側表面をAuやAlのめっき処理膜で覆うことにより、収容された反応器2で発生する輻射熱を効率良く防ぐことができ、反応装置1の昇温を抑制することが可能となる。   In addition, by covering at least the inner surface of the container composed of the substrate 4 and the lid 5 with a plating film of Au or Al, the radiant heat generated in the accommodated reactor 2 can be efficiently prevented, and the reaction It becomes possible to suppress the temperature rise of the apparatus 1.

以上のような基体4及び蓋体5は、反応装置1の小型化,低背化を可能とするためには厚さを薄くすべきであるが、機械的強度である曲げ強度は200MPa以上であることが好ましい。   The base 4 and the lid 5 as described above should be thin in order to make the reactor 1 small and low in profile, but the bending strength, which is mechanical strength, is 200 MPa or more. Preferably there is.

リード端子10は、基体4及び蓋体5の熱膨張係数と同一または近似した金属が用いられるのがよく、例えば、Fe−Ni合金,Fe−Ni−Co合金よりなるものが、実用時の温度変化に対して熱歪の発生を防止できる。また、それらの材料から成るリード端子10は、リード端子10と基体4との良好な封着性が得られるとともに、ボンディング性に優れ、実装時に必要な強度と良好なはんだ付性や溶接性を確保できる。   The lead terminal 10 is preferably made of a metal having the same or approximate thermal expansion coefficient as that of the base 4 and the lid 5. For example, the lead terminal 10 made of an Fe—Ni alloy or an Fe—Ni—Co alloy has a practical temperature. It is possible to prevent the occurrence of thermal distortion with respect to the change. In addition, the lead terminal 10 made of these materials can provide a good sealing property between the lead terminal 10 and the substrate 4 and has excellent bonding properties, and has the strength necessary for mounting and good solderability and weldability. It can be secured.

反応器2がセラミックから成る場合、反応器2に設けられた供給口(図示せず)と第1供給管6との接合、及び反応器2に設けられた排出口(図示せず)と第1排出管7との接合には、Au−Sn合金,Au−Si合金,Au−Ge合金,Ag−Cu合金等の各種ロウ材、石英ガラス,ホウ珪酸ガラス等のガラスや各種セラミックス,無機ポリマーを含む無機接着剤、ポリイミドアミド等の高耐熱性有機材料を含む接着剤、並びにシリコーンゴムや珪素樹脂等の有機珪素化合物から成る接着剤等の接合材が適用でき、これにより燃料ガスや排出ガスの漏れを有効に防止して、反応装置1の内部を長期にわたり良好に気密性を維持できる。また、これは、第2供給管8及び第2排出管9と対応する第1供給管6及び第1排出管7との接合においても同様である。なお、工程上、反応器2の供給口及び排出口と、対応する第1供給管6,第1排出管7とを先に接合する方が望ましい。   When the reactor 2 is made of ceramic, the supply port (not shown) provided in the reactor 2 and the first supply pipe 6 are joined, and the discharge port (not shown) provided in the reactor 2 is connected to the first supply pipe 6. 1 For joining to the discharge pipe 7, various brazing materials such as Au-Sn alloy, Au-Si alloy, Au-Ge alloy, Ag-Cu alloy, glass such as quartz glass and borosilicate glass, various ceramics, and inorganic polymer Adhesives such as inorganic adhesives containing high heat-resistant organic materials such as polyimide amide, and adhesives made of organic silicon compounds such as silicone rubber and silicon resin can be applied. Thus, the inside of the reactor 1 can be kept well sealed for a long time. The same applies to the joining of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 corresponding to the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9. In the process, it is desirable to join the supply port and the discharge port of the reactor 2 and the corresponding first supply pipe 6 and first discharge pipe 7 first.

リード端子10は、断熱性を有する絶縁封止材11により、基体4の貫通孔に絶縁され、封止固定されている。絶縁封止材11は、例えば、硼珪酸ガラス,アルカリガラス,鉛を主成分とする絶縁ガラス等のガラス材料や酸化アルミニウム等のセラミック材料等から成り、基体4に形成された貫通孔でこの絶縁封止材11によって基体4とリード端子10とが電気的に絶縁されてリード端子10が封止固定されている。基体4に形成されたリード端子10が挿通される貫通孔は、基体4とリード端子10とが接触して電気的に導通することがない大きさが必要であり、具体的にはリード端子10から基体4までの間隔が0.1mm以上確保できる内径が必要である。 The lead terminal 10 is insulated and sealed and fixed to the through hole of the base 4 by an insulating sealing material 11 having heat insulation. The insulating sealing material 11 is made of, for example, a glass material such as borosilicate glass, alkali glass, or insulating glass mainly composed of lead, or a ceramic material such as aluminum oxide. The base 4 and the lead terminal 10 are electrically insulated by the sealing material 11 and the lead terminal 10 is sealed and fixed. The through-hole through which the lead terminal 10 formed in the base body 4 is inserted needs to have a size that prevents the base body 4 and the lead terminal 10 from coming into electrical contact with each other. An inner diameter that can ensure a distance of 0.1 mm or more from the base 4 to the base 4 is required.

なお、絶縁封止材11が、酸化アルミニウム等のセラミック材料からなる場合、リード端子10を基体4の貫通孔に例えば筒状のセラミック材料から成る絶縁封止材11を介して挿入し、絶縁封止材11と基体4との接続及び絶縁封止材11とリード端子10との接続をAu−GeやAg−Cu等のロウ材により行なうことができる。   When the insulating sealing material 11 is made of a ceramic material such as aluminum oxide, the lead terminal 10 is inserted into the through hole of the base 4 via the insulating sealing material 11 made of, for example, a cylindrical ceramic material, and the insulating sealing material 11 is sealed. The connection between the stopper 11 and the base 4 and the insulation sealing material 11 and the lead terminal 10 can be made with a brazing material such as Au-Ge or Ag-Cu.

また、リード端子10は、反応器2上の電極13にボンディングワイヤ12を介して電気的に接続される。さらに蓋体5を用いて基体4のキャビティを封止することによって、基体4のキャビティ内に収容した反応器2を気密に封止した反応装置1が形成される。   The lead terminal 10 is electrically connected to the electrode 13 on the reactor 2 through the bonding wire 12. Further, by sealing the cavity of the substrate 4 using the lid 5, the reaction apparatus 1 in which the reactor 2 accommodated in the cavity of the substrate 4 is hermetically sealed is formed.

本実施の形態による反応装置1に収容される反応器2は、物質を反応するための装置であり、その内部に物質を反応させる触媒が担持された溝あるいは空隙を有する。   The reactor 2 accommodated in the reaction apparatus 1 according to the present embodiment is an apparatus for reacting a substance, and has a groove or a gap in which a catalyst for reacting the substance is supported.

この反応器2は、蓋体5がAu合金,Ag合金,Al合金等の金属ロウ材やガラス材による接合やシームウェルド法等により基体4にそのキャビティを覆って取着されることによって、パッケージ3内に収容される。   In this reactor 2, the cover 5 is attached to the substrate 4 so as to cover the cavity by bonding with a metal brazing material such as Au alloy, Ag alloy, Al alloy, or a glass material, or by a seam weld method. 3 is accommodated.

例えば、基体4と蓋体5とをAu−Snロウ材により接合する場合は、蓋体5に予めAu−Snロウ材を溶着させておくか、あるいは金型等を用いて打ち抜き加工等で枠状に形成したAu−Snロウ材を基体4と蓋体5との間に載置した後、封止炉あるいはシームウェルダーで蓋体5を基体4に接合することにより、反応装置1の内部に反応器2を封止することができる。   For example, when the base body 4 and the lid body 5 are joined with the Au—Sn brazing material, the Au—Sn brazing material is welded to the lid body 5 in advance, or the frame is formed by punching using a mold or the like. After the Au—Sn brazing material formed in the shape is placed between the base 4 and the lid 5, the lid 5 is joined to the base 4 by a sealing furnace or a seam welder, so The reactor 2 can be sealed.

また、反応器2上の電極13がボンディングワイヤ12を介して基体4に設けたリード端子10に電気的に接続される。これにより、電極13を通じて反応器2の表面や内部に形成されたヒーターを加熱することができる。その結果、反応器2において反応温度の維持が可能となり物質の反応を安定させることができる。   Further, the electrode 13 on the reactor 2 is electrically connected to the lead terminal 10 provided on the substrate 4 through the bonding wire 12. Thereby, the heater formed on the surface or inside of the reactor 2 can be heated through the electrode 13. As a result, the reaction temperature can be maintained in the reactor 2 and the reaction of the substance can be stabilized.

また、反応装置1内の断熱性を得るためには、パッケージ3内を真空にすることが必要となる。このためには、反応器2を封止する際、真空炉でのロウ材による封止や真空チャンバー内でのシームウェルド法などで行なえば良い。   Moreover, in order to obtain the heat insulation in the reaction apparatus 1, the inside of the package 3 needs to be evacuated. For this purpose, when the reactor 2 is sealed, it may be sealed by a brazing material in a vacuum furnace or a seam weld method in a vacuum chamber.

また、第1供給管6及び第1排出管7の外面は、パッケージ3の内部において、それぞれ複数の溝が形成されているのがよい。これにより、第1供給管6及び第1排出管7から第2供給管8及び第2排出管9への熱伝導を低下させて反応器2から基体4や蓋体5への熱伝導をより有効に抑制できるとともに、第1供給管6や第1排出管7が適度に変形することが可能となり、第1供給管6や第1排出管7の変形による応力を緩和することができ、第1供給管6及び第1排出管7と反応器2との接合部、及び、第2供給管8及び第2排出管9と基体4または蓋体5との接合部の接合を良好に維持することができる。なお、第1供給管6の外面及び第1排出管7の外面の両方に溝を形成することが好ましいが、一方の外面だけに溝を形成しても、対応する第2供給管8又は第2排出管9への熱伝導を低下させることができる。   In addition, the outer surfaces of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 may each have a plurality of grooves formed inside the package 3. As a result, the heat conduction from the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 to the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 is reduced, so that the heat conduction from the reactor 2 to the substrate 4 and the lid 5 is further improved. In addition to being able to be effectively suppressed, the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 can be appropriately deformed, the stress due to the deformation of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 can be relieved, The junction between the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 and the reactor 2 and the junction between the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 and the base body 4 or the lid 5 are favorably maintained. be able to. Although it is preferable to form grooves on both the outer surface of the first supply pipe 6 and the outer surface of the first discharge pipe 7, even if the groove is formed only on one outer surface, the corresponding second supply pipe 8 or second 2 Heat conduction to the discharge pipe 9 can be reduced.

上述のように、本実施の形態による反応装置1では、反応器2に取り付けられた第1供給管6及び第1排出管7の間隔とパッケージ3に取り付けられた第2供給管8及び第2排出管9の間隔がずれている場合でも、第2供給管8及び第2排出管9の先端部の内径が、対応する第1供給管6及び第1排出管7の先端部の外径よりも大きいためにその位置ずれが調整されることから、第1供給管6と第2供給管8の接続部及び第1排出管7と第2排出管9の接続部において、第2供給管8の内面と第1供給管6の外面との隙間、及び第2排出管9の内面と第1排出管8の外面との隙間にそれぞれ接合材を充填することによって、第1供給管6及び第1排出管7と、対応する第2供給管8及び第2排出管9との気密接合が可能になる。例えば、図4(a)に示されるように、第1供給管6及び第1供給管7の間隔が狭く、第2供給管8及び第2排出管9の間隔が広い場合であっても、第2供給管8及び第2排出管9の内径が、対応する第1供給管6及び第1排出管7の外径よりも大きいことから、その間隔の差を吸収することができる。同じく、図4(b)に示されるように、第1供給管6及び第1供給管7の間隔が広く、第2供給管8及び第2排出管9の間隔が狭い場合であっても、その間隔の差を吸収することができる。   As described above, in the reaction apparatus 1 according to the present embodiment, the distance between the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 attached to the reactor 2 and the second supply pipe 8 and the second supply pipe attached to the package 3. Even when the interval between the discharge pipes 9 is shifted, the inner diameters of the distal ends of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 are larger than the outer diameters of the corresponding first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7. Therefore, the displacement of the second supply pipe 8 is adjusted at the connection portion between the first supply pipe 6 and the second supply pipe 8 and the connection portion between the first discharge pipe 7 and the second discharge pipe 9. By filling the gap between the inner surface of the first supply pipe 6 and the outer surface of the first supply pipe 6 and the gap between the inner face of the second discharge pipe 9 and the outer surface of the first discharge pipe 8, respectively, The airtight joining of one discharge pipe 7 and the corresponding second supply pipe 8 and second discharge pipe 9 becomes possible. For example, as shown in FIG. 4A, even when the distance between the first supply pipe 6 and the first supply pipe 7 is narrow and the distance between the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 is wide, Since the inner diameters of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 are larger than the outer diameters of the corresponding first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7, the difference in the interval can be absorbed. Similarly, as shown in FIG. 4B, even when the distance between the first supply pipe 6 and the first supply pipe 7 is wide and the distance between the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 is narrow, The difference in the distance can be absorbed.

さらに、反応器2の表面から延在する第1供給管6の長さと第1排出管7との長さとが不揃いである場合、及びパッケージ3の内部においてパッケージ3の表面から延在する第2供給管8の長さと第2排出管9の長さとが不揃いである場合であっても、第2供給管8及び第2排出管9の各先端部の深さ方向にその差は吸収される。   Furthermore, when the length of the first supply pipe 6 extending from the surface of the reactor 2 and the length of the first discharge pipe 7 are uneven, and the second extending from the surface of the package 3 inside the package 3. Even when the length of the supply pipe 8 and the length of the second discharge pipe 9 are uneven, the difference is absorbed in the depth direction of the respective distal end portions of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9. .

従って、反応器2及びパッケージ3の製造時に第1及び第2の各供給管6,8を接続する供給口及び第1及び第2の各排出管7,9を接続する排出口の寸法及び配置がずれてしまった場合でも、第1供給管6及び第1排出管7と対応する第2供給管8及び第2排出管9とを気密接合させることができるため、反応装置1の外部から反応器2への流体の供給及び反応器2から反応装置1の外部への流体の排出を円滑に行なうことができる。   Accordingly, the dimensions and arrangement of the supply ports for connecting the first and second supply pipes 6 and 8 and the discharge ports for connecting the first and second discharge pipes 7 and 9 when the reactor 2 and the package 3 are manufactured. Even if they are shifted, the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 corresponding to the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 can be hermetically joined. It is possible to smoothly supply the fluid to the reactor 2 and discharge the fluid from the reactor 2 to the outside of the reactor 1.

なお、本実施の形態による反応装置1では、第2供給管8及び第2排出管9の内径は、対応する第1供給管6及び第1排出管7の外径よりも大きい構成としたが、第1供給管6及び第1排出管7の内径が、第2供給管8及び第2排出管9の外径よりも大きい構成、すなわち、第1供給管6及び第1排出管7の各先端部に、対応する第2供給管8及び第2排出管9の各先端部がそれぞれ挿入される構成としてもよい。また、本実施の形態による反応装置1では、反応器2に設けられた第1供給管6及び第1排出管7、並びにパッケージ3に設けられた第2供給管8及び第2排出管9を、それぞれ円筒状としたが、角柱状のように軸方向に沿って軸方向に垂直な断面の形状及び寸法が同じである他の形状であってもよく、さらに、軸方向に沿って軸方向に垂直な断面の形状及び寸法が異なる他の形状であってもよい。さらに、本実施の形態による反応装置1では、第1供給管6、第1排出管7、第2供給管8、及び第2排出管9を全て同じ形状としたが、必ずしもそうである必要はなく、少なくとも1つが異なる形状であってもよい。   In the reaction apparatus 1 according to the present embodiment, the inner diameters of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 are larger than the outer diameters of the corresponding first supply pipe 6 and first discharge pipe 7. The inner diameter of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 is larger than the outer diameter of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9, that is, each of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 It is good also as a structure by which each front-end | tip part of the corresponding 2nd supply pipe | tube 8 and the 2nd discharge pipe | tube 9 is each inserted in a front-end | tip part. In the reaction apparatus 1 according to the present embodiment, the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 provided in the reactor 2 and the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 provided in the package 3 are provided. , Each of which has a cylindrical shape, but may have other shapes having the same cross-sectional shape and dimensions perpendicular to the axial direction along the axial direction, such as a prismatic shape, and further axially along the axial direction. Other shapes having different cross-sectional shapes and dimensions perpendicular to the shape may be used. Furthermore, in the reaction apparatus 1 according to the present embodiment, the first supply pipe 6, the first discharge pipe 7, the second supply pipe 8, and the second discharge pipe 9 are all formed in the same shape. Alternatively, at least one of the shapes may be different.

また、本実施の形態による反応装置1では、第1供給管6及び第1排出管7の各先端部の外面が、対応する第2供給管8及び第2排出管9の各先端部の内面の内側に位置していたが、第1供給管6及び第1排出管7の少なくとも1つの先端部の外面が、対応する第2供給管8及び第2排出管9の先端部の少なくとも1つの内面の内側に位置していていてもよい。ここで、反応器2に設けられた第1供給管6及び第1排出管7を区別せずに「第1管」とし、パッケージ3に設けられた第2供給管8及び第2排出管9を区別せずに「第2管」とすると、第1管と第2管の接続部の少なくとも一方において、第1管及び第2管の一方の先端部の外面が、他方の先端部の内面の内側に位置するように構成すれば、2つの第1管間のピッチと、2つの第2管間のピッチとの差を吸収でき、反応装置の外部から反応器への流体の供給及び反応器から反応装置の外部への流体の排出を円滑に行なうことができる。   Further, in the reaction apparatus 1 according to the present embodiment, the outer surfaces of the distal ends of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 are the inner surfaces of the distal ends of the corresponding second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9. The outer surface of at least one tip of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 is at least one of the tip of the corresponding second supply pipe 8 and second discharge pipe 9. It may be located inside the inner surface. Here, the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 provided in the reactor 2 are referred to as “first pipe” without distinction, and the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 provided in the package 3 are used. If it is referred to as a “second tube” without distinguishing between the first tube and the second tube, at least one of the connection portions of the first tube and the second tube, the outer surface of one of the first tube and the second tube is the inner surface of the other tube. If it is configured so as to be located inside, the difference between the pitch between the two first tubes and the pitch between the two second tubes can be absorbed, and the supply of the fluid to the reactor from the outside of the reactor and the reaction The fluid can be smoothly discharged from the reactor to the outside of the reaction apparatus.

(実施の形態2)
次に、本発明の実施の形態2による反応装置について説明する。図5は、実施の形態2による反応装置の構成例を示す断面図である。図5において、図1に示した反応装置1の構成と同一の構成には同じ符号を付し、説明を省略する。本実施の形態による反応装置21が、実施の形態1による反応装置1と異なる点は、第2供給管8及び第2排出管9の各先端部が、対応する第1供給管6及び第1排出管7の各先端部を収容する凹部をそれぞれ有している点である。
(Embodiment 2)
Next, a reaction apparatus according to Embodiment 2 of the present invention will be described. FIG. 5 is a cross-sectional view showing a configuration example of the reaction apparatus according to the second embodiment. In FIG. 5, the same components as those of the reactor 1 shown in FIG. The reaction device 21 according to the present embodiment is different from the reaction device 1 according to the first embodiment in that the distal ends of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 correspond to the corresponding first supply pipe 6 and the first supply pipe. It is a point which has the recessed part which accommodates each front-end | tip part of the discharge pipe 7, respectively.

図6は、図5に示した第2供給管8の先端部を拡大した図であり、(a)は断面図、(b)は上面図である。なお、第2排出管9の先端部も第2供給管8の先端部と同様の構成であるが、図6では、第2供給管8の先端部のみを示した。図5及び図6に示されるように、第2供給管8及び第2排出管9は、反応器2に設けられた対応する第1供給管6及び第1排出管7の各先端部と接合する部分に、第1供給管6及び第1排出管7の各先端部を収容する凹部を備えている。すなわち、第2供給管8の凹部は、第1供給管6の先端部を、該凹部と第1供給管6の先端部との隙間を保持しつつ収容可能であり、第2排出管9の凹部は、第1排出管7の先端部を、該凹部と第1排出管7の先端部との隙間を保持しつつ収容可能である。   6 is an enlarged view of the distal end portion of the second supply pipe 8 shown in FIG. 5, wherein (a) is a cross-sectional view and (b) is a top view. The tip of the second discharge pipe 9 has the same configuration as the tip of the second supply pipe 8, but only the tip of the second supply pipe 8 is shown in FIG. As shown in FIGS. 5 and 6, the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 are joined to the respective front ends of the corresponding first supply pipe 6 and first discharge pipe 7 provided in the reactor 2. The portion to be provided is provided with a recess for accommodating the respective leading end portions of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7. That is, the recess of the second supply pipe 8 can accommodate the tip of the first supply pipe 6 while maintaining a gap between the recess and the tip of the first supply pipe 6. The recess can accommodate the tip of the first discharge pipe 7 while maintaining a gap between the recess and the tip of the first discharge pipe 7.

図7は、第1供給管6と第2供給管8との接続部、又は第1排出管7と第2排出管9との接続部を示した図である。ここで、第1供給管6と第2供給管8、及び第1排出管7と第2排出管9は、それぞれAu−Sn合金,Au−Si合金,Au−Ge合金,Ag−Cu合金等の各種ロウ材14で接合される。すなわち、第2供給管8及び第2排出管9の凹部内に、対応する第1供給管6及び第1排出管7の先端部が挿入され、第2供給管8の凹部と第1供給管6の先端部との隙間、及び第2排出管9の凹部と第1排出管8の先端部との隙間に、それぞれロウ材14が充填される。   FIG. 7 is a view showing a connection part between the first supply pipe 6 and the second supply pipe 8 or a connection part between the first discharge pipe 7 and the second discharge pipe 9. Here, the 1st supply pipe 6 and the 2nd supply pipe 8, and the 1st discharge pipe 7 and the 2nd discharge pipe 9 are Au-Sn alloy, Au-Si alloy, Au-Ge alloy, Ag-Cu alloy, etc., respectively. The various brazing materials 14 are joined. That is, the front ends of the corresponding first supply pipe 6 and first discharge pipe 7 are inserted into the recesses of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9, and the recesses of the second supply pipe 8 and the first supply pipe are inserted. 6 and the gap between the recess of the second discharge pipe 9 and the tip of the first discharge pipe 8 are filled with the brazing material 14, respectively.

なお、第2供給管8と第2排出管9の凹部の内径は、第1供給管6及び第1排出管7の先端部の外径よりも大きく、その差は、0.01mm以上0.20mm以下が望ましい。0.01mm以上であると、第1供給管6、第1排出管7、第2供給管8、及び第2排出管9にNiめっきやAuめっき処理を施した後、ロウ材14によって接合する際に、第1供給管6及び第1排出管7の対応する凹部への挿入がより容易になる。また、0.20mm以下であると、各凹部に第1供給管6及び第1排出管7を挿入した後、ロウ材14で接合する際、ロウ材14が第1供給管6及び第1排出管7の各先端部と対応する各凹部との隙間を十分に充填することができ、より確実に気密を行うことができる。すなわち、第2供給管8及び第2排出管9の各凹部の内径寸法と、対応する第1供給管6及び第1排出管7の各先端部の外径寸法との差が、それぞれ0.01mm以上0.20mm以下であると、第1供給管6及び第1排出管7の対応する各凹部への挿入がスムーズに行え、併せてそれらの凹部と第1供給管6及び第1排出管7の各先端部との隙間を十分に充填することが可能となり、第1供給管6の先端部の外面と第2供給管8の凹部内面との隙間、及び第1排出管7の先端部の外面と第2排出管9の凹部内面との隙間に接合材の良好なメニスカスを形成することが可能となり、接合強度を向上させることができる。   The inner diameters of the recesses of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 are larger than the outer diameters of the distal ends of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7, and the difference is 0.01 mm or more and 0.0. 20 mm or less is desirable. When the thickness is 0.01 mm or more, the first supply pipe 6, the first discharge pipe 7, the second supply pipe 8, and the second discharge pipe 9 are subjected to Ni plating or Au plating treatment, and then joined by the brazing material 14. In this case, the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 can be more easily inserted into the corresponding recesses. Moreover, when it is 0.20 mm or less, when the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 are inserted into each recess and then joined with the brazing material 14, the brazing material 14 is connected to the first supply pipe 6 and the first discharge pipe. The gaps between the respective distal end portions of the tube 7 and the corresponding concave portions can be sufficiently filled, and airtightness can be more reliably performed. That is, the difference between the inner diameter of each recess of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 and the outer diameter of each tip of the corresponding first supply pipe 6 and first discharge pipe 7 is 0. If it is 01 mm or more and 0.20 mm or less, the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 can be smoothly inserted into the corresponding recesses, and the recesses, the first supply pipe 6 and the first discharge pipe are also inserted. 7 can be sufficiently filled with gaps between the respective distal end portions, the gap between the outer surface of the distal end portion of the first supply pipe 6 and the inner surface of the concave portion of the second supply pipe 8, and the distal end portion of the first discharge pipe 7. It becomes possible to form a good meniscus of the bonding material in the gap between the outer surface of the second discharge pipe 9 and the inner surface of the concave portion of the second discharge pipe 9, and the bonding strength can be improved.

また、第2供給管8と第2排出管9の凹部の深さは0.20mm以上が望ましい。0.20mm以上であると、第1供給管6及び第1排出管7と対応する凹部とをロウ材14で接合する際に、第1供給管6及び第1排出管7の凹部への挿入がより容易になる。上限深さは、第1供給管6と第2供給管8、及び第1排出管7と第2排出管9の先端部の不揃い具合にもよるが、第1供給管6及び第1排出管7の対応する各凹部への挿入を確実に行うことができ、また挿入した後にロウ材14が隙間を十分に充填する深さを有していればよい。第2供給管8と第2排出管9の各凹部の深さが0.20mm以上であると、第1供給管6及び第1排出管7の対応する各凹部への挿入がスムーズに行え、併せてそれらの凹部と第1供給管6及び第1排出管7の各先端部との隙間を十分に充填することが可能となり、第1供給管6の先端部の外面と第2供給管8の凹部内面との隙間、及び第1排出管7の先端部の外面と第2排出管9の凹部内面との隙間に接合材の良好なメニスカスを形成することが可能となり、接合強度を向上させることができる。   The depth of the recesses of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 is preferably 0.20 mm or more. When it is 0.20 mm or more, the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 are inserted into the recesses when the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 are joined to the corresponding recesses by the brazing material 14. Becomes easier. The upper limit depth depends on the unevenness of the first supply pipe 6 and the second supply pipe 8, and the first discharge pipe 7 and the second discharge pipe 9, but the first supply pipe 6 and the first discharge pipe. 7 can be reliably inserted into the corresponding recesses, and it is sufficient that the brazing material 14 has a depth enough to fill the gap after the insertion. When the depth of each recess of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 is 0.20 mm or more, the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 can be smoothly inserted into the corresponding recesses, At the same time, it is possible to sufficiently fill the gaps between the recesses and the tip portions of the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7, and the outer surface of the tip part of the first supply pipe 6 and the second supply pipe 8. It becomes possible to form a good meniscus of the bonding material in the gap between the inner surface of the concave portion and the outer surface of the tip portion of the first discharge pipe 7 and the inner surface of the concave portion of the second discharge pipe 9, thereby improving the bonding strength. be able to.

第2供給管8及び第2排出管9の各凹部の外径と内径との差は、0.15mm以上が望ましい。0.15mm以上であると、凹部内面と凹部外面との間の厚みが十分であり、第1供給管6又は第1排出管7を挿入する際に変形や破壊を起こす可能性が低減される。第2供給管8及び第2排出管9の各凹部の厚み、すなわち、各凹部の内面と外面との間の距離は、反応器2の大きさや第1供給管6及び第1排出管7のピッチ寸法により様々であるが、0.10mm程度の厚みを有するものであれば、第1供給管6又は第1排出管7を挿入しても変形や破壊などを起こす危険性は低い。   The difference between the outer diameter and the inner diameter of each recess of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 is preferably 0.15 mm or more. If the thickness is 0.15 mm or more, the thickness between the inner surface of the recess and the outer surface of the recess is sufficient, and the possibility of causing deformation or breakage when the first supply pipe 6 or the first discharge pipe 7 is inserted is reduced. . The thickness of each concave portion of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9, that is, the distance between the inner surface and the outer surface of each concave portion is determined by the size of the reactor 2 and the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7. Although it varies depending on the pitch dimension, if it has a thickness of about 0.10 mm, the risk of deformation or breakage is low even if the first supply pipe 6 or the first discharge pipe 7 is inserted.

上述のように、本実施の形態による反応装置1では、反応器2に取り付けられた第1供給管6及び第1排出管7の間隔とパッケージ3に取り付けられた第2供給管8及び第2排出管9の間隔がずれている場合でも、第2供給管8及び第2排出管9の凹部によってその位置ずれが調整されるため、第1供給管6及び第1排出管7と、対応する第2供給管8及び第2排出管9の気密接合が可能になる。例えば、図8(a)に示されるように、第1供給管6及び第1供給管7の間隔が狭く、第2供給管8及び第2排出管9の間隔が広い場合であっても、第2供給管8及び第2排出管9の各先端部に設けられた凹部によって、その間隔の差が吸収される。同じく、図8(b)に示されるように、第1供給管6及び第1供給管7の間隔が広く、第2供給管8及び第2排出管9の間隔が狭い場合であっても、その間隔の差が吸収される。   As described above, in the reaction apparatus 1 according to the present embodiment, the distance between the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7 attached to the reactor 2 and the second supply pipe 8 and the second supply pipe attached to the package 3. Even when the interval between the discharge pipes 9 is deviated, the positional deviation is adjusted by the recesses of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9, so that it corresponds to the first supply pipe 6 and the first discharge pipe 7. The second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 can be hermetically joined. For example, as shown in FIG. 8A, even when the interval between the first supply pipe 6 and the first supply pipe 7 is narrow and the interval between the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 is wide, Differences in the gaps are absorbed by the concave portions provided at the tip portions of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9. Similarly, as shown in FIG. 8B, even when the distance between the first supply pipe 6 and the first supply pipe 7 is wide and the distance between the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 is narrow, The gap difference is absorbed.

さらに、反応器2の表面から延在する第1供給管6の長さと第1排出管7との長さとが不揃いである場合、及びパッケージ3の内部においてパッケージ3の表面から延在する第2供給管8の長さと第2排出管9の長さとが不揃いである場合であっても、第2供給管8及び第2排出管9の各先端部に設けられた凹部によって、その凹部の深さ方向にその差は吸収される。   Furthermore, when the length of the first supply pipe 6 extending from the surface of the reactor 2 and the length of the first discharge pipe 7 are uneven, and the second extending from the surface of the package 3 inside the package 3. Even when the length of the supply pipe 8 and the length of the second discharge pipe 9 are uneven, the depths of the recesses are reduced by the recesses provided at the respective distal ends of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9. The difference is absorbed in the vertical direction.

従って、反応器2及びパッケージ3の製造時に第1及び第2の各供給管6,8を接続する供給口及び第1及び第2の各排出管7,9を接続する排出口の寸法及び配置がずれてしまった場合でも、第1供給管6及び第1排出管7と対応する第2供給管8及び第2排出管9とを気密接合させることができるため、反応装置の外部から反応器への流体の供給及び反応器から反応装置の外部への流体の排出を円滑に行なうことができる。   Accordingly, the dimensions and arrangement of the supply ports for connecting the first and second supply pipes 6 and 8 and the discharge ports for connecting the first and second discharge pipes 7 and 9 when the reactor 2 and the package 3 are manufactured. Even when the first and second discharge pipes 6 and 7 correspond to the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9, the reactor can be externally connected to the reactor. The fluid can be smoothly supplied to and discharged from the reactor to the outside of the reactor.

なお、図5に示した例においては、基体3側に備えた第2供給管8や第2排出管9の各先端が凹部を有しているが、反応器2に備えた第1供給管6及び第1排出管7の各先端に凹部をそれぞれ有しても良い。また、凹部を有する先端部は円形ではなく楕円形や角形でも良い。   In the example shown in FIG. 5, each tip of the second supply pipe 8 and the second discharge pipe 9 provided on the substrate 3 side has a recess, but the first supply pipe provided in the reactor 2 6 and the first discharge pipe 7 may have a recess at each end. Further, the tip portion having the recess may be oval or square instead of circular.

なお、上述の反応装置1,21と、反応前の流体を貯蔵する貯蔵部と、貯蔵部から反応装置1、21に流体を供給する、例えばポンプ等の流体供給手段と備えた流体システムを構成することができる。この反応システムでは、反応装置1,21に反応前の流体を安定して供給することができ、その結果、反応後の流体を安定して得ることができる。   In addition, a fluid system including the above-described reaction devices 1 and 21, a storage unit that stores the fluid before the reaction, and a fluid supply unit such as a pump that supplies fluid from the storage unit to the reaction devices 1 and 21 is configured. can do. In this reaction system, the fluid before the reaction can be stably supplied to the reactors 1 and 21, and as a result, the fluid after the reaction can be stably obtained.

なお、上述の反応装置1,21は、メタノール等の燃料を反応させて水素ガスを生成する燃料改質器として用いることができ、その場合には、反応装置から排出された水素ガスを燃料とする燃料電池と組み合わせることにより、燃料電池システムを構成することができる。上述の反応装置を用いた燃料電池システムでは、パッケージの外部から反応器への流体の供給及び反応器からパッケージの外部への流体の排出を円滑に行なうことができるため、発電を効率よく安定して行なうことができる燃料電池システムを実現することができる。   The reactors 1 and 21 described above can be used as a fuel reformer that generates hydrogen gas by reacting a fuel such as methanol. In that case, the hydrogen gas discharged from the reactor is used as fuel. By combining with a fuel cell, a fuel cell system can be configured. In the fuel cell system using the reactor described above, the fluid can be smoothly supplied from the outside of the package to the reactor and the fluid can be smoothly discharged from the reactor to the outside of the package. Thus, a fuel cell system that can be carried out can be realized.

なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることは何ら差し支えない。   In addition, this invention is not limited to the example of the above embodiment, A various change may be added in the range which does not deviate from the summary of this invention.

本発明の実施の形態1による反応装置の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structural example of the reaction apparatus by Embodiment 1 of this invention. 第1供給管と第2供給管との接続部、及び第1排出管と第2排出管との接続部の拡大図である。It is an enlarged view of the connection part of a 1st supply pipe and a 2nd supply pipe, and the connection part of a 1st discharge pipe and a 2nd discharge pipe. 第2供給管と第1供給管、及び第2排出管と第1排出管とをそれぞれロウ材を用いて接続する場合の接続方法の一例を説明する図である。It is a figure explaining an example of the connection method in the case of connecting a 2nd supply pipe, a 1st supply pipe, and a 2nd discharge pipe and a 1st discharge pipe using brazing material, respectively. (a)は、第1供給管及び第1供給管の間隔が狭い場合の、第1供給管と第2供給管との接続部、及び第1排出管と第2排出管との接続部を示す図であり、(b)は、第1供給管及び第1供給管の間隔が広い場合の、第1供給管と第2供給管との接続部、及び第1排出管と第2排出管との接続部を示す図である。(A) shows a connection part between the first supply pipe and the second supply pipe and a connection part between the first discharge pipe and the second discharge pipe when the distance between the first supply pipe and the first supply pipe is narrow. (B) is a view showing the connection between the first supply pipe and the second supply pipe, and the first discharge pipe and the second discharge pipe when the distance between the first supply pipe and the first supply pipe is wide. It is a figure which shows a connection part. 本発明の実施の形態2による反応装置の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structural example of the reaction apparatus by Embodiment 2 of this invention. (a)は、図5に示した第2供給管及び第2排出管の先端部の断面図であり、(b)は、図1に示した第2供給管及び第2排出管の先端部の上面図である。(A) is sectional drawing of the front-end | tip part of the 2nd supply pipe and 2nd discharge pipe shown in FIG. 5, (b) is the front-end | tip part of the 2nd supply pipe and 2nd discharge pipe shown in FIG. FIG. 第1供給管と第2供給管との接続部、及び第1排出管と第2排出管との接続部の拡大図である。It is an enlarged view of the connection part of a 1st supply pipe and a 2nd supply pipe, and the connection part of a 1st discharge pipe and a 2nd discharge pipe. (a)は、第1供給管及び第1供給管の間隔が狭い場合の、第1供給管と第2供給管との接続部、及び第1排出管と第2排出管との接続部を示す図であり、(b)は、第1供給管及び第1供給管の間隔が広い場合の、第1供給管と第2供給管との接続部、及び第1排出管と第2排出管との接続部を示す図である。(A) shows a connection part between the first supply pipe and the second supply pipe and a connection part between the first discharge pipe and the second discharge pipe when the distance between the first supply pipe and the first supply pipe is narrow. (B) is a view showing the connection between the first supply pipe and the second supply pipe, and the first discharge pipe and the second discharge pipe when the distance between the first supply pipe and the first supply pipe is wide. It is a figure which shows a connection part.

符号の説明Explanation of symbols

1,21 反応装置
2 反応器
3 パッケージ
4 基体
5 蓋体
6 第1供給管
7 第1排出管
8 第2供給管
9 第2排出管
10 リード端子
11 絶縁封止材
12 ワイヤボンディング
13 電極
14 接合材
15 治具
1, 21 Reactor 2 Reactor 3 Package 4 Base 5 Lid 6 First supply pipe 7 First discharge pipe 8 Second supply pipe 9 Second discharge pipe 10 Lead terminal 11 Insulating sealing material 12 Wire bonding 13 Electrode 14 Bonding Material 15 Jig

Claims (8)

一方が反応前の流体を導入するために用いられ、他方が反応後の流体を送り出すために用いられる2つの第1管が表面に設けられた反応器と、
前記反応器を収容するパッケージと、
前記パッケージに設けられ、前記2つの第1管にそれぞれ接続される2つの第2管と
を備え、
前記第1管と前記第2管の接続部の少なくとも一方において、前記第1管及び前記第2管の一方の先端部が他方の先端部に挿入され、前記一方の先端部の外面は、前記他方の先端部の内面の内側に位置することを特徴とする反応装置。
A reactor provided on the surface with two first tubes, one used for introducing the pre-reaction fluid and the other used for delivering the post-reaction fluid;
A package containing the reactor;
Two second pipes provided in the package and respectively connected to the two first pipes;
In at least one of the connection portions of the first tube and the second tube, one tip portion of the first tube and the second tube is inserted into the other tip portion, and the outer surface of the one tip portion is A reaction apparatus which is located inside the inner surface of the other tip.
前記第1管と前記第2管の接続部の少なくとも一方において、前記第1管及び前記第2管の前記一方の先端部の外径が、前記他方の先端部の内径よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の反応装置。   In at least one of the connection portions of the first tube and the second tube, the outer diameter of the one tip portion of the first tube and the second tube is smaller than the inner diameter of the other tip portion. The reaction apparatus according to claim 1. 前記第1管及び前記第2管の前記一方は、その先端部の内径が、他の部分の内径よりも小さいことを特徴とする請求項2に記載の反応装置。   The reaction apparatus according to claim 2, wherein the one of the first tube and the second tube has an inner diameter at a tip portion smaller than an inner diameter of another portion. 前記第1管及び前記第2管の前記他方の先端部は、前記一方の先端部を収容する凹部を有していることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の反応装置。   The reaction apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the other tip portion of the first tube and the second tube has a concave portion that accommodates the one tip portion. 前記第1管及び前記第2管の前記一方の先端部の外面と、前記他方の先端部の内面との間に接合材が充填されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の反応装置。   5. The bonding material is filled between an outer surface of the one tip portion of the first pipe and the second tube and an inner surface of the other tip portion. A reactor according to 1. 前記パッケージの内部において、前記第1管の外面は、複数の溝がそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の反応装置。 6. The reaction apparatus according to claim 1, wherein a plurality of grooves are respectively formed on an outer surface of the first tube inside the package. 前記反応器は、セラミックから成ることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の反応装置。 The reaction apparatus according to claim 1, wherein the reactor is made of ceramic. 請求項1から7のいずれかに記載の反応装置と、
前記反応前の流体を貯蔵する貯蔵部と、
前記貯蔵部から前記反応装置に流体を流体供給手段と
を備えることを特徴とする反応システム。
A reaction apparatus according to any one of claims 1 to 7;
A reservoir for storing the fluid before the reaction;
A reaction system comprising fluid supply means for supplying fluid from the storage unit to the reaction device.
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