JP2008151954A - Display device manufacturing method and display device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、互いに離間して一方向に配列されている複数N個の端子を有する表示デバイスの製造方法と、当該表示デバイスとに関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a display device having a plurality of N terminals arranged in one direction apart from each other, and the display device.
一般に、LCD(liquid crystal display)、有機LEDディスプレイ等の表示デバイス(以下、表示パネルという)は、各ドットを表示するための画素を2次元平面内で規則的に多数配列した有効画素領域を有する。有効画素領域の各画素は、能動素子(トランジスタ等)と受動素子(キャパシタ等)とを含む画素回路を有している。画素回路は、一般に「水平方向」と称される行(ロウ)方向に並ぶ複数の画素、または、「垂直方向」と称される列(カラム)方向に並ぶ複数の画素において、それぞれ決められた共通線により相互に接続されている。一般に、ロウ方向の共通線を「走査線」、カラム方向の共通線を「データ線(または、信号線あるいはソース線)」と称する。 Generally, a display device (hereinafter referred to as a display panel) such as an LCD (liquid crystal display) or an organic LED display has an effective pixel region in which a large number of pixels for displaying each dot are regularly arranged in a two-dimensional plane. . Each pixel in the effective pixel region has a pixel circuit including an active element (such as a transistor) and a passive element (such as a capacitor). The pixel circuits are respectively determined for a plurality of pixels arranged in a row direction called “horizontal direction” or a plurality of pixels arranged in a column direction called “vertical direction”. They are connected to each other by a common line. In general, the common line in the row direction is called a “scan line”, and the common line in the column direction is called a “data line (or signal line or source line)”.
表示パネルの有効表示領域を構成する各画素は、データ線駆動回路からデータ線によって供給される映像信号、および、走査線駆動回路から走査線によって供給される走査信号に基づいたタイミングと輝度で表示を行う。したがって、データ線または走査線にオープンあるいはショートなどの欠陥があると、欠陥があるデータ線または走査線に接続されている画素全てが表示欠陥となる。 Each pixel constituting the effective display area of the display panel is displayed with timing and luminance based on the video signal supplied from the data line driving circuit by the data line and the scanning signal supplied from the scanning line driving circuit by the scanning line. I do. Therefore, if the data line or scanning line has a defect such as an open or short circuit, all pixels connected to the defective data line or scanning line become display defects.
上記データ線駆動回路および上記走査線駆動回路等の駆動回路は、表示パネル内の上記有効画素領域の周辺領域に形成されることがある。ただし、この場合、能動素子として薄膜トランジスタが用いられるため回路性能バラツキが大きい。 Drive circuits such as the data line drive circuit and the scan line drive circuit may be formed in a peripheral region of the effective pixel region in the display panel. However, in this case, since the thin film transistor is used as the active element, the circuit performance variation is large.
回路性能の向上、その他の理由により、駆動回路を表示パネルとは別にICとして設け、両者をFPC(Flexible Printed Circuit(or Cable))等で接続する表示装置が知られている。
表示パネルに、複数の走査線、複数のデータ線、その他の電圧供給線の各々に対応して電気的に接続されている複数の端子が設けられる。
複数の端子は、四角形状を有する表示パネルの一辺、または、複数辺の各辺に沿った表示パネルの縁部に、等しいピッチ、等しい幅で配列される。ここで端子の幅とは、配列方向の端子サイズである。
For the improvement of circuit performance and other reasons, a display device is known in which a drive circuit is provided as an IC separately from a display panel, and both are connected by an FPC (Flexible Printed Circuit (or Cable)) or the like.
The display panel is provided with a plurality of terminals electrically connected to the plurality of scanning lines, the plurality of data lines, and the other voltage supply lines.
The plurality of terminals are arranged at an equal pitch and an equal width on one side of the display panel having a quadrangular shape or on the edge of the display panel along each side of the plurality of sides. Here, the terminal width is the terminal size in the arrangement direction.
このように表示パネルと駆動IC(さらには、制御IC)等がFPC等で接続されて組み立てられる形態では、不良部品を組み立てることによる材料の無駄を防止するため、組み立て前の部品の段階で当該部品の良否を検査する必要がある。とくに表示パネルについては、データ線または走査線にオープンあるいはショートなどの欠陥があると表示パネル全体が不良品扱いとなり、また表示パネルは部品としてコストが高いため、実際に表示パネル内の全画素を点灯させる検査が行われる。 Thus, in the form in which the display panel and the driving IC (and also the control IC) are connected by FPC or the like and assembled, in order to prevent waste of materials due to assembling defective parts, the relevant part is not in the stage before assembling. It is necessary to check the quality of parts. Especially for display panels, if the data lines or scanning lines have defects such as open or short, the entire display panel will be treated as defective, and the display panel is expensive as a part. An inspection to light up is performed.
近年の表示パネルは、テレビジョン受像機の用途では大型化、高精細化が進んでいるが、一方で、小型な表示パネルも益々高精細化している。例えば、携帯電話その他の携帯可能な電子機器に搭載される表示パネルは、サイズに対する有効表示領域の画素数が増大している。そのため、四角形状の表示パネルの一辺側に配置される端子群において、狭ピッチ化、端子幅の縮小が以前にも増して進展している。 In recent years, display panels have been increased in size and definition in television receiver applications, but on the other hand, small display panels have also been increasing in definition. For example, a display panel mounted on a mobile phone or other portable electronic device has an increased number of pixels in an effective display area with respect to size. Therefore, in the terminal group arranged on one side of the rectangular display panel, the narrowing of the pitch and the reduction of the terminal width are more advanced than before.
そこで、例えばLCDにおいて、画素回路が形成される駆動基板に、欠陥検出のための検査回路と、検査回路に対し検査信号を入出力する複数の端子を予め形成することが知られている(たとえば特許文献1、2および3参照)。
検査回路を用いた検査において、駆動基板に対向基板を貼り合わせる前に、検査信号の入出力端子にプローブを立ててデータ線や走査線のオープンあるいはショートの検査を行う。このときプローブはある程度太さを有するためプローブの配置ピッチに限界があり、プローブの配置ピッチよりも端子ピッチが小さいと検査が困難である。特許文献3に記載されているように、端子を例えば6画素に1つの割合で設け、検査回路として、制御ラインおよびスイッチで端子により検査される画素範囲を限定し、かつ、当該範囲を順次切り替え可能な構成が知られている。また、特許文献2には、一つ置きに長さ(形状)が異なる複数の端子部にプローブを位置的にずらして接触し、検査を行う端子配置と検査方法が開示されている。
Therefore, for example, in an LCD, it is known to previously form an inspection circuit for detecting a defect and a plurality of terminals for inputting / outputting inspection signals to / from the inspection circuit on a driving substrate on which a pixel circuit is formed (for example, (See
In the inspection using the inspection circuit, before attaching the counter substrate to the driving substrate, a probe is set up at the inspection signal input / output terminal to inspect the open or short of the data line or the scanning line. At this time, since the probe has a certain thickness, there is a limit to the arrangement pitch of the probe, and if the terminal pitch is smaller than the arrangement pitch of the probe, the inspection is difficult. As described in
検査回路を設ける上記背景技術に記載の方法では、検査回路によるエリアペナルティが大きく、表示パネルのコストが増大する。
よって、可能な限り検査回路を設けることなく検査をできるようにして表示パネルのコストを抑制したい場合がある。最近の小型の表示パネルに要求される端子のピッチは数十[μm]〜0.数[mm]と極めて小さく、端子ピッチに対応したピッチで配置可能なプローブを用いる必要がある。また、端子ピッチに対応したピッチでプローブを配置することができない場合は、特許文献2に記載されているようにプローブを位置的にずらすなど、端子やプローブの配置を工夫する必要がある。
In the method described in the background art that provides the inspection circuit, the area penalty due to the inspection circuit is large, and the cost of the display panel increases.
Therefore, there are cases where it is desired to reduce the cost of the display panel by enabling inspection without providing an inspection circuit as much as possible. The terminal pitch required for recent small display panels is extremely small, from several tens [μm] to several tens [mm], and it is necessary to use a probe that can be arranged at a pitch corresponding to the terminal pitch. Further, when the probes cannot be arranged at a pitch corresponding to the terminal pitch, it is necessary to devise the arrangement of the terminals and probes, such as shifting the probe in position as described in
いずれの場合でも、端子ピッチは極めて小さく、端子とプローブとの接触を行う作業(プロービング)において、端子に対するプローブ先端の位置ずれが生じやすい。また、この位置ずれは目視により確認しにくい。このため、高い精度のプロービングのためには、カメラ等で各端子に対するプローブの接触状態を拡大表示または拡大撮影するなどの方法が必要になってきている。
カメラ等で拡大する構成の場合、装置全体が大きくなるとともに高価になり、高価な装置を用いることの表示パネルの製造コストへの影響が無視できない。また、画像処理で位置ずれを判断するようにすると、ディスプレイを作業者が見て位置ずれの有無を確認する手間は省けるが、さらに装置が高価になる。
In either case, the terminal pitch is extremely small, and the probe tip is likely to be misaligned with respect to the terminal in the operation of performing contact (probing) between the terminal and the probe. Also, this positional deviation is difficult to confirm visually. For this reason, in order to perform probing with high accuracy, a method such as an enlarged display or enlarged photographing of the contact state of the probe with respect to each terminal with a camera or the like is required.
In the case of a configuration that is enlarged by a camera or the like, the entire apparatus becomes large and expensive, and the influence on the manufacturing cost of the display panel by using an expensive apparatus cannot be ignored. Further, if the position shift is determined by the image processing, it is possible to save time and labor for the operator to look at the display and confirm the presence or absence of the position shift, but the apparatus becomes more expensive.
本発明が解決しようとする課題は、端子とプローブとの位置ずれを容易かつ確実に検出可能な接触判定ステップを含む表示デバイスの製造方法と、当該検出が可能な構成を有する表示デバイスを提供することである。 A problem to be solved by the present invention is to provide a display device manufacturing method including a contact determination step capable of easily and surely detecting a positional deviation between a terminal and a probe, and a display device having a configuration capable of the detection. That is.
本発明に係る表示デバイスの第1の製造方法は、互いに離間して一方向に配列されている複数N個の端子を有する表示デバイスの製造方法であって、端子配列の両端に位置する第1端子および第N端子の配列方向での幅を、残りの(N−2)個の端子配列の1ピッチ以上に形成し、かつ、前記第1端子と前記第N端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線して前記表示デバイスを製造する製造ステップと、前記(N−2)個の端子配列のピッチと対応するピッチで一方向に並ぶN本のプローブと前記N個の端子との電気的接触を行う電気的接触ステップと、前記電気的接触を行ったときに、前記第1端子に対応する第1プローブと前記第N端子に対応する第Nプローブとの間で第1抵抗を測定し、当該第1抵抗の測定値に基づいて、前記N本のプローブの、前記N個の端子に対する接触位置ずれの有無を判定する接触判定ステップと、前記表示デバイスの検査を行う検査ステップと、を含む。 A first method for manufacturing a display device according to the present invention is a method for manufacturing a display device having a plurality of N terminals spaced apart from each other and arranged in one direction, and is a first device located at both ends of the terminal array. The width in the arrangement direction of the terminal and the Nth terminal is formed to be one pitch or more of the remaining (N−2) terminal arrangements, and the first terminal and the Nth terminal have a predetermined potential corresponding to the same potential. A manufacturing step of manufacturing the display device by internal connection so as to be equal to or less than a resistance value of N, N probes arranged in one direction at a pitch corresponding to the pitch of the (N-2) terminal array, and the N An electrical contact step for making electrical contact with a plurality of terminals, and between the first probe corresponding to the first terminal and the Nth probe corresponding to the Nth terminal when the electrical contact is made. Measure the first resistance with the measured value of the first resistance. And Zui includes the N number of probes, the N number of contact determination step whether a touch position displacement relative to the terminal, an inspection step for inspecting the display device, the.
本発明に係る表示デバイスの第2の製造方法は、互いに離間して一方向に配列されている複数N個の端子を有する表示デバイスの製造方法であって、端子配列の両端に位置する第1端子と第N端子にそれぞれ隣接して、残りの(N−2)個の端子配列のピッチと幅を有する2つのダミー端子を形成し、かつ、前記第1端子と一のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線し、前記第N端子と他のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線し、さらに、ダミー端子同士も同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線して前記表示デバイスを製造する製造ステップと、前記端子配列のピッチと対応するピッチで一方向に並ぶN本のプローブと前記N個の端子との電気的接触を行う電気的接触ステップと、前記電気的接触を行ったときに、前記第1端子に対応する第1プローブと前記第N端子に対応する第Nプローブとの間で第1抵抗を測定し、当該第1抵抗の測定値に基づいて、前記N本のプローブの、前記N個の端子に対する接触位置ずれの有無を判定する接触判定ステップと、前記表示デバイスの検査を行う検査ステップと、を含む。 A second method for manufacturing a display device according to the present invention is a method for manufacturing a display device having a plurality of N terminals spaced apart from each other and arranged in one direction, wherein the first device is located at both ends of the terminal array. Two dummy terminals having the pitch and width of the remaining (N−2) terminal arrays are formed adjacent to the terminal and the Nth terminal, respectively, and the first terminal and the one dummy terminal are the same. Internal connection is made so that the resistance value is equal to or less than a predetermined resistance value corresponding to the potential, and internal connection is made so that the Nth terminal and the other dummy terminal are equal to or less than a predetermined resistance value corresponding to the same potential. A manufacturing step for manufacturing the display device by internal connection so as to be equal to or less than a predetermined resistance value corresponding to the same potential, N probes arranged in one direction at a pitch corresponding to the pitch of the terminal array, and the N probes Electricity that makes electrical contact with the terminals When the contact step and the electrical contact are performed, a first resistance is measured between the first probe corresponding to the first terminal and the N-th probe corresponding to the N-th terminal, and the first resistance A contact determination step for determining whether or not the N probes are in contact with the N terminals based on the measured values, and an inspection step for inspecting the display device.
本発明に係る表示デバイスの第3の製造方法は、互いに離間して一方向に配列されている複数N個の端子を有し、奇数番目の端子群と、偶数番目の端子群とが、プローブ接触部が段違いとなる異なるパターンにて形成されている表示デバイスの製造方法であって、前記奇数番目の端子群または前記偶数番目の端子群のうち、一方の端子群の配列で両端に位置する2つの端子の配列方向での幅を、残りの(N−2)個の端子配列の端子ピッチに奇数番目と奇数番目の端子幅の差の半分を加えたもの以上に形成し、かつ、前記2つの端子が同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線される前記表示デバイスを製造する製造ステップと、前記端子ピッチと同じピッチで一方向に並ぶN本のプローブで前記N個の端子と電気的接触をとる電気的接触ステップと、前記電気的接触を行ったときに、前記第1端子に対応する第1プローブと、前記第N端子に対応する第Nプローブとでプローブ間抵抗を測定し、当該測定されたプローブ間抵抗が前記所定の抵抗値以下の場合に、前記N本のプローブが前記N個の端子に正しく接触していると判断する接触確認ステップと、前記N本のプローブの接触確認がとれた状態で前記表示デバイスの検査を行う検査ステップと、を含む。 A third manufacturing method of a display device according to the present invention has a plurality of N terminals spaced apart from each other and arranged in one direction, and an odd-numbered terminal group and an even-numbered terminal group include a probe A method of manufacturing a display device in which contact portions are formed in different patterns with different levels, wherein the odd-numbered terminal group or the even-numbered terminal group is positioned at both ends in the arrangement of one terminal group. The width in the arrangement direction of the two terminals is formed to be greater than or equal to the terminal pitch of the remaining (N−2) terminal arrangements plus half the difference between the odd and odd terminal widths, and A manufacturing step for manufacturing the display device in which two terminals are connected so as to be equal to or less than a predetermined resistance value corresponding to the same potential, and the N probes arranged in one direction at the same pitch as the terminal pitch. Electricity that makes electrical contact with other terminals When the electrical contact step and the electrical contact are performed, the inter-probe resistance is measured with the first probe corresponding to the first terminal and the N-th probe corresponding to the N-th terminal, and the measurement is performed. When the inter-probe resistance is less than or equal to the predetermined resistance value, a contact confirmation step for determining that the N probes are correctly in contact with the N terminals, and contact confirmation of the N probes were obtained. An inspection step of inspecting the display device in a state.
上記第1〜第3の製造方法では、製造ステップで両端の端子の抵抗変化によりピッチずれが検出可能に両端の2つの端子の幅拡大、ダミー端子による実質的な幅拡大を行う。そして、電気的接触ステップの良否を、つぎの接触判定ステップで判定する。このとき両端の端子(第1端子と第N端子)間の抵抗を測定し、その測定値に基づいてプローブ接触が正しく行われているかを判定する。プローブ接触が正しいなら次の検査ステップを行い、正しくない場合は再度電気的接触をやり直すとよい。 In the first to third manufacturing methods, the width of the two terminals at both ends and the substantial width expansion by the dummy terminals are performed so that the pitch shift can be detected by the resistance change of the terminals at both ends in the manufacturing step. Then, the quality of the electrical contact step is determined in the next contact determination step. At this time, the resistance between the terminals at both ends (the first terminal and the Nth terminal) is measured, and it is determined whether the probe contact is correctly performed based on the measured value. If the probe contact is correct, the next inspection step is performed. If the probe contact is not correct, the electrical contact is performed again.
本発明に係る第1の表示デバイスは、表示部と、前記表示部に接続された配線に接続され、互いに離間して一方向に配列されている複数N個の端子と、を有し、端子配列の両端に位置する第1端子および第N端子の配列方向での幅を、残りの(N−2)個の端子配列の1ピッチ以上に形成し、かつ、前記第1端子と前記第N端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線されている。 A first display device according to the present invention includes a display unit and a plurality of N terminals connected to a wiring connected to the display unit and arranged in one direction so as to be separated from each other. The width in the arrangement direction of the first terminal and the Nth terminal located at both ends of the arrangement is formed to be one pitch or more of the remaining (N−2) terminal arrangements, and the first terminal and the Nth terminal The terminal is internally connected so as to have a predetermined resistance value or less corresponding to the same potential.
本発明に係る第2の表示デバイスは、表示部と、前記表示部に接続された配線に接続され、互いに離間して一方向に配列されている複数N個の端子と、端子配列の両端に位置する第1端子と第N端子にそれぞれ隣接して、残りの(N−2)個の端子配列のピッチと幅を有する2つのダミー端子と、を有し、前記第1端子と一のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線され、前記第N端子と他のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線され、さらに、ダミー端子同士も同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線されている。 The second display device according to the present invention includes a display unit, a plurality of N terminals connected to the display unit and connected to the display unit, arranged in one direction apart from each other, and both ends of the terminal array. Two dummy terminals having a pitch and width of the remaining (N−2) terminal arrangements, which are adjacent to the first terminal and the Nth terminal, respectively, and one dummy with the first terminal The display unit is internally connected so that the terminal is equal to or less than a predetermined resistance value corresponding to the same potential, and the Nth terminal and the other dummy terminal are equal to or smaller than a predetermined resistance value corresponding to the same potential. The internal terminals are internally connected, and the dummy terminals are also internally connected in the display section so as to be equal to or lower than a predetermined resistance value corresponding to the same potential.
本発明に係る第3の表示デバイスは、表示部と、前記表示部に接続された配線に接続され、互いに離間して一方向に配列されている複数N個の端子と、を有し、前記N個の端子は、奇数番目の端子群と偶数番目の端子群とが、プローブ接触部が段違いとなる異なるパターンにて形成され、前記奇数番目の端子群または前記偶数番目の端子群のうち、一方の端子群の配列で両端に位置する2つの端子の配列方向での幅が、残りの(N−2)個の端子配列の端子ピッチに奇数番目と奇数番目の端子幅の差の半分を加えたもの以上に形成され、かつ、前記2つの端子が同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線されている。 A third display device according to the present invention includes a display unit and a plurality of N terminals connected to a wiring connected to the display unit and arranged in one direction apart from each other, The N terminals are formed with different patterns in which the odd-numbered terminal group and the even-numbered terminal group have different probe contact portions, and among the odd-numbered terminal group or the even-numbered terminal group, The width in the arrangement direction of the two terminals located at both ends in the arrangement of one terminal group is half the difference between the odd and odd terminal widths in the terminal pitch of the remaining (N−2) terminal arrangements. The two terminals are internally connected in the display section so that the two terminals have a predetermined resistance value or less equivalent to the same potential.
本発明によれば、端子とプローブとの位置ずれを容易かつ確実に検出できる。 According to the present invention, it is possible to easily and reliably detect the positional deviation between the terminal and the probe.
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
《第1実施形態》
図1に、本発明の実施形態に関わる検査システムの模式図を示す。
図解する検査システム1は、例えばLCDなどの表示デバイス(以下、表示パネルという)に対する検査を行うためのものである。
<< First Embodiment >>
FIG. 1 shows a schematic diagram of an inspection system according to an embodiment of the present invention.
The illustrated
図1における「被検査デバイス」としての表示パネル10は、液晶表示パネルである。液晶表示パネルは、液晶の配向状態を表示面内で画素を単位として変化させることによって画像または文字の情報を表示する。液晶表示パネルは、液晶が内部に封入され画素がマトリクス状に形成された矩形の表示部を有する。表示部において、液晶に電界を印加する駆動基板の一部に対向基板が重ねられ、当該2枚の基板間に液晶が封入されている。このとき対向基板の周縁側で駆動基板との間に隙間ができて、ここから液晶が漏れないように、駆動基板に予めスペーサをシール剤によって固定しておき、対向基板側にシール剤を塗布し、このスペーサを挟んで2つの基板を張り合わせた後、光または熱によりシール剤を硬化させる。その後、スペーサおよび2つの基板により形成されている表示部内の空間に液晶を封入する。
図1に示す表示パネル10は、一回り大きい(図では一方側に大きい)駆動基板11上に対向基板12が重ねられている様子を側面から示す。
A
The
図2(A)に表示パネル10の上面図を示し、図2(B1)と図2(B2)に図2(A)の一部拡大図を示す。
表示パネル10は、駆動基板11と対向基板12との重なり部分に有効画像表示領域10Aを有する。有効画像表示領域10Aの駆動基板11側に、特に図示しないが、一方向に所定間隔で繰り返し形成されている、水平画素数Fhと同じ本数のデータ線と、Fh本のデータ線に直交するように他方向に所定間隔で繰り返し形成されている、垂直画素数Fvと同じ本数の走査線とが形成されている。有効画像表示領域10A内で、このデータ線と走査線に区切られた微小領域の1つが1画素に対応する。
2A is a top view of the
The
駆動基板11は、対向基板12の一辺(本例では一方の長辺)のエッジより一定幅突出した帯状領域を有する。この駆動基板11の帯状領域は駆動基板11の長辺に沿って、図2(B1)および(B2)に一部拡大して示すように、複数N個の端子13(1),13(2),13(3),…,13(N-2),13(N-1),13(N)が配列され、これらの端子群が表面に露出している。
端子13(1)〜13(N)の各々は、Fh本のデータ線、Fv本の走査線、さらには電源電圧Vddまたはグランド電位GNDの電源線等の何れか1本の線と電気的に接続されている。よって、端子13(1)〜13(N)の個数Nは、N=Fh+Fv+α(α:電源線等の本数)となっている。
The
Each of the terminals 13 (1) to 13 (N) is electrically connected to any one of Fh data lines, Fv scanning lines, and a power supply line of the power supply voltage Vdd or the ground potential GND. It is connected. Therefore, the number N of the terminals 13 (1) to 13 (N) is N = Fh + Fv + α (α: the number of power supply lines or the like).
図1に示す検査システム1は、紙面と直交する向きに配列されたN本のプローブ2(1)〜2(N)を有する。N本のプローブ2(1)〜2(N)は上記N個の端子13(1)〜13(N)と1対1で対応する。図1ではN本のプローブを“プローブ2”により示す。
以下、一方端のプローブを第1プローブ2(1)、その隣のプローブを第2プローブ2(2)、さらに隣のプローブを第3プローブ2(3)という。同様に、第4プローブ以降が定義され、最後から3本目のプローブを第(N-2)プローブ2(N-2)、最後から2本目のプローブを第(N-1)プローブ2(N-1)、最後のプローブを第Nプローブ2(N)という。
また、図2(B1)および図2(B2)に示されているように、第1プローブ2(1)に対応する端子を第1端子13(1)、第2プローブ2(2)に対応する端子を第2端子13(2)、第3プローブ2(3)に対応する端子を第3端子13(3)という。同様に、第4端子以降が定義され、最後から3番目の端子を第(N-2)端子13(N-2)、最後から2番目の端子を第(N-1)端子13(N-1)、最後の端子を第N端子13(N)という。
The
Hereinafter, the probe at one end is referred to as a first probe 2 (1), the adjacent probe is referred to as a second probe 2 (2), and the adjacent probe is referred to as a third probe 2 (3). Similarly, the fourth and subsequent probes are defined, the third probe from the end is the (N-2) probe 2 (N-2), the second probe from the end is the (N-1) probe 2 (N- 1) The last probe is referred to as the Nth probe 2 (N).
Further, as shown in FIG. 2 (B1) and FIG. 2 (B2), the terminals corresponding to the first probe 2 (1) correspond to the first terminal 13 (1) and the second probe 2 (2). The terminal corresponding to the third probe 2 (3) is referred to as the second terminal 13 (2), and the terminal corresponding to the third probe 2 (3) is referred to as the third terminal 13 (3). Similarly, the fourth and subsequent terminals are defined, the third terminal from the last is the (N-2) th terminal 13 (N-2), and the second terminal from the last is the (N-1) th terminal 13 (N- 1) The last terminal is referred to as the Nth terminal 13 (N).
検査システム1は、図1に示すように、制御駆動部4を有する。制御駆動部4は、端子13(1)〜13(N)のそれぞれに接触されたプローブ2(1)〜2(N)のうち所定のプローブに所定の順序でバイアス(電源電圧等)を印加し、画素回路を動作させたときのオープンまたはショートのチェックを行うテスタの機能を有する。制御駆動部4内のテスタ部分がケーブル3によってプローブ2と接続されている。テスタ内には定電流源、定電圧源、電流計、電圧計等の機能があり、例えば、それらをプログラムにしたがって制御することにより所定のシーケンスでテストを実行する。
このシーケンスには、詳細は後述するが、テストの前にプローブの接触が正しく行われているかを電気的に検出し判定する接触判定の手順も含まれる。
As shown in FIG. 1, the
Although details will be described later, this sequence also includes a contact determination procedure that electrically detects and determines whether or not the probe contact is correctly performed before the test.
なお、制御駆動部4は、テスタ以外にも、検査システム1全体の電気的あるいは機械的な部分を制御または駆動する機能を有する。システムの機械的部分とは、特に図示していないが、表示パネル10の機械的位置合わせを行うために、例えばステージの移動、プローブ2を表示パネル10に対して位置あわせを行うプローブヘッダの移動を行うアーム等とその駆動部が該当する。
In addition to the tester, the control drive unit 4 has a function of controlling or driving an electrical or mechanical part of the
本実施形態の端子は、図2(B1)および図2(B2)に示すように、端子配列の両端に位置する第1端子13(1)および第N端子13(N)の配列方向での幅を、残りの(N−2)個の端子配列の1ピッチ以上に形成している。ここで第1端子13(1)および第N端子13(N)を除く、第2端子13(2)〜第(N-1)端子13(N-1)の(N−2)個の端子配列の1ピッチを“P”とすると、第1端子13(1)の幅W1および第N端子13(N)の幅Wnの各々がピッチPより大きく形成されている。
幅が大きい第1端子13(1)と第N端子13(N)は、図2(A)に示す駆動基板11と対向基板12が重なる領域内で内部結線されている(図4(A)参照)。このため、第1端子13(1)と第N端子13(N)は上記接触判定時には同電位相当と見なされる程度に小さい、所定の抵抗値Rs以下の端子間抵抗を示す。詳細は後述するが、本実施形態では、この所定の抵抗値Rsを一つの基準としてプローブ接触の良否(位置ずれの有無)を判定する。
As shown in FIG. 2 (B1) and FIG. 2 (B2), the terminals of this embodiment are arranged in the arrangement direction of the first terminal 13 (1) and the Nth terminal 13 (N) located at both ends of the terminal arrangement. The width is formed to be one pitch or more of the remaining (N-2) terminal arrangements. Here, (N-2) terminals from the second terminal 13 (2) to the (N-1) th terminal 13 (N-1) excluding the first terminal 13 (1) and the Nth terminal 13 (N). When one pitch of the arrangement is “P”, each of the width W1 of the first terminal 13 (1) and the width Wn of the Nth terminal 13 (N) is formed larger than the pitch P.
The first terminal 13 (1) and the Nth terminal 13 (N) having a large width are internally connected within a region where the driving
図3に、本実施形態に関わる表示パネル10の製造手順を示すフローチャートを示す。
ステップST1により示される「パネル製造」は、手順そのものは通常のLCDパネルの製造手順であり、ここでの詳細な説明を省略する。ただし、この製造では、図2に示すように第1端子13(1)と第N端子13(N)が他の(N−2)個の第2端子13(2)〜第(N-1)端子13(N-1)のピッチPより大きく形成され、かつ、接触抵抗を無視した場合の第1端子13(1)と第N端子13(N)の端子間抵抗、すなわち第1プローブ2(1)と第Nプローブ2(N)との間のプローブ間抵抗が、前述した抵抗値Rs以下となるようにパネル内の内部結線がなされるという条件に適合した製造パターンや製造プロセスが用いられる。
また、さらに望ましくは、第1端子13(1)と第2端子13(2)との抵抗値、ならびに、第(N-1)端子13(N-1)と第N端子13(N)との抵抗値は、上記抵抗値Rsより十分大きい。
FIG. 3 is a flowchart showing the manufacturing procedure of the
The “panel manufacturing” shown in step ST1 is a normal LCD panel manufacturing procedure, and a detailed description thereof is omitted here. However, in this manufacturing, as shown in FIG. 2, the first terminal 13 (1) and the Nth terminal 13 (N) are the other (N-2) second terminals 13 (2) to (N-1). ) The inter-terminal resistance of the first terminal 13 (1) and the Nth terminal 13 (N) when the contact resistance is ignored, which is formed larger than the pitch P of the terminal 13 (N-1), that is, the first probe 2 A manufacturing pattern or manufacturing process that conforms to the condition that the internal connection in the panel is made so that the inter-probe resistance between the (1) and the Nth probe 2 (N) is equal to or less than the above-described resistance value Rs is used. It is done.
More preferably, the resistance value of the first terminal 13 (1) and the second terminal 13 (2), and the (N-1) th terminal 13 (N-1) and the Nth terminal 13 (N) Is sufficiently larger than the resistance value Rs.
ステップST2では、端子13(1)〜13(N)に対しプローブ2(1)〜2(N)の接触(プロービング)を行う。そして、ステップST3において、接触が正しく行われているかを判定する。 In step ST2, the probes 2 (1) to 2 (N) are brought into contact (probing) with the terminals 13 (1) to 13 (N). In step ST3, it is determined whether or not the contact is correctly performed.
図4(A)の平面図にパネル内の内部結線14を示す。
内部結線14は実際の配線を示すものではなく、単に、同電位相当であることを電気的、かつ象徴的に示すに過ぎない。つまり、第1端子13(1)と第N端子13(N)は直接接続されていてもよいが、直接的に接続されていなくても少なくとも間接的に同電位相当でそれぞれの電位が保持される関係があればよい。たとえば、同じ信号や電圧が印加される配線が、第1端子13(1)と第N端子13(N)にそれぞれ接続されていればよい。
The
The
図4(B)にプローブ接触ずれが無い場合、図4(C)に当該ずれが有る場合を示す。
図2(B1)および図2(B2)で定義したように、両端以外の(N−2)個の第2端子13(2)〜第(N-1)端子13(N-1)のピッチを“P”、配列方向の幅を“W”とする。このとき、上記ずれの量をゼロから徐々に大きくすると、当該ずれ量が“P−W+W/2=P−W/2”に達すると、図4(C)に示すように、プローブ2(1)〜2(N)の殆どは、本来接触すべき端子から外れて隣の端子に接触する。ただし、ずれの向きによって一意に決まる第1プローブ2(1)または第Nプローブ2(N)(図示例では第Nプローブ2(N))は、第1端子13(1)または第N端子13(N)の幅がピッチPに形成されているため、ずれ無しの正常時と同じ端子に接触したままとなり、当該端子(図示例では第N端子13(N))には2本のプローブ、即ち第(N-1)プローブ2(N-1)と第Nプローブ2(N)が同時に接触している。
FIG. 4B shows a case where there is no probe contact deviation, and FIG. 4C shows a case where the deviation exists.
As defined in FIG. 2 (B1) and FIG. 2 (B2), the pitch of (N-2) second terminals 13 (2) to (N-1) terminals 13 (N-1) other than both ends. Is “P” and the width in the arrangement direction is “W”. At this time, when the amount of deviation is gradually increased from zero and the amount of deviation reaches “P−W + W / 2 = P−W / 2”, as shown in FIG. Most of) to 2 (N) come out of the terminal that should be contacted and contact the adjacent terminal. However, the first probe 2 (1) or the Nth probe 2 (N) (Nth probe 2 (N) in the illustrated example) that is uniquely determined by the direction of displacement is the first terminal 13 (1) or the
図3に示す接触判定(ステップST3)では、第1に、このようなずれの有無を電気的に検出するため、第1プローブ2(1)と第Nプローブ2(N)との間のプローブ間抵抗を測定する。両端のプローブ間抵抗の測定結果を“第1抵抗”という。 In the contact determination (step ST3) shown in FIG. 3, first, a probe between the first probe 2 (1) and the Nth probe 2 (N) is used to electrically detect the presence or absence of such a shift. Measure the inter-resistance. The measurement result of the resistance between the probes at both ends is referred to as “first resistance”.
第1抵抗R1が、図4(A)の内部結線14に相当する所定の抵抗値Rsと比較して大きければ(R1>Rs)“ずれ有り”、R1≦Rsであれば“ずれ無し”と、判断できる。つまり、図4(C)の場合、第Nプローブ2(N)は“ずれ無し”の場合の本来の第N端子13(N)と接触しているが、第1プローブ2(1)は“ずれ無し”の場合の本来の第1端子13(1)とは異なり隣の第2端子13(2)と接触している。よって、第1プローブ2(1)と第Nプローブ2(N)との間の第1抵抗R1は、上記抵抗値Rsより十分に大きな値を示し(R1>Rs)、これにより“ずれ有り”と判定できる。一方、R1≦Rsであれば、第1プローブ2(1)は第1端子13(1)に接触し、第Nプローブ2(N)は第N端子13(N)に接触しているとみなすことができるため“ずれ無し”と判定できる。
If the first resistance R1 is larger than the predetermined resistance value Rs corresponding to the
また、第1プローブ2(1)と第2プローブ2(2)との間、あるいは、第(N-1)プローブ2(N-1)と第Nプローブ2(N)との間の隣接するプローブ間抵抗(2つの第2抵抗)の値で、どちらの第2抵抗の値が同電位相当を表すほど小さいかによって、ずれの向きが判定できる。図示例では第(N-1)プローブ2(N-1)と第Nプローブ2(N)との間の第2抵抗R2nが同電位相当の小さい値を示す。よって、第Nプローブ2(N)が端子配列の外側に移動するような向きにずれが生じていることが分かる。 In addition, it is adjacent between the first probe 2 (1) and the second probe 2 (2) or between the (N-1) th probe 2 (N-1) and the Nth probe 2 (N). The direction of deviation can be determined by the value of the resistance between probes (two second resistances), which value of the second resistance is so small that it represents the same potential. In the illustrated example, the second resistance R2n between the (N-1) th probe 2 (N-1) and the Nth probe 2 (N) shows a small value corresponding to the same potential. Therefore, it can be seen that there is a deviation in the direction in which the Nth probe 2 (N) moves to the outside of the terminal array.
図4(C)よりさらにずれ量が大きくなると、ずれが生じていることは第1抵抗R1の値から判断できるが、第(N-1)プローブ2(N-1)と第Nプローブ2(N)が同電位相当でなくなるためずれの向きは判別できない。よって、第1端子13(1)および第N端子13(N)の幅が1ピッチPでは、ずれの向き判別の範囲が極めて狭い。
そこで、図4(C)の状態から更にWだけずれた場合でも第(N-1)プローブ2(N-1)と第Nプローブ2(N)が同じ第N端子13(N)に接触することが望ましい。それ以上は、現実的にずれが生じる確率が極めて小さく、また、接触端子が図4(C)の場合と異なるため、第2抵抗の値が変わってくる。
以上より、本実施形態では、第1端子13(1)および第N端子13(N)の幅を「1P以上、当該1Pに(N−2)個の端子で同一な配列方向の幅Wを加えた値以下」に設定することが望ましい。ただし、この幅の上限は、より大きくすることも可能である。
If the amount of deviation becomes larger than that in FIG. 4C, it can be judged from the value of the first resistor R1 that the deviation has occurred, but the (N-1) -th probe 2 (N-1) and the N-th probe 2 ( Since N) does not correspond to the same potential, the direction of deviation cannot be determined. Therefore, when the widths of the first terminal 13 (1) and the Nth terminal 13 (N) are 1 pitch P, the range of deviation direction determination is extremely narrow.
Therefore, even when the state further shifts by W from the state shown in FIG. 4C, the (N-1) -th probe 2 (N-1) and the N-th probe 2 (N) are in contact with the same N-th terminal 13 (N). It is desirable. Beyond that, the probability of actual deviation is extremely small, and the contact terminal is different from that in FIG. 4C, so the value of the second resistance changes.
As described above, in the present embodiment, the width of the first terminal 13 (1) and the Nth terminal 13 (N) is set to “1P or more, and the width W in the same arrangement direction is equal to (N−2) terminals in the 1P. It is desirable to set it to “below the added value”. However, the upper limit of this width can be made larger.
図3に示すステップST3にて接触判定を、以上の方法で行い、その結果、ずれがプローブと端子の対応関係が本来からずれている場合は、上記検出したずれの向きに基づいて、ずれ量を小さくする向きにプローブ位置または表示パネル位置を調整して再度コンタクトを行い(ステップST2)、接触判定(ステップST3)で正しい接触が得られるまで、この位置調整、コンタクト、接触判定を繰り返す。 In step ST3 shown in FIG. 3, the contact determination is performed by the above method. As a result, when the correspondence between the probe and the terminal is deviated from the original, the deviation amount is determined based on the detected deviation direction. The probe position or the display panel position is adjusted in a direction to decrease the contact, contact is made again (step ST2), and this position adjustment, contact, and contact determination are repeated until a correct contact is obtained in the contact determination (step ST3).
接触判定で「接触OK」の判定が下されると、次のステップST4にて良品と不良品とを分類して、処理フローが終了する。 When the “contact OK” determination is made in the contact determination, the non-defective product and the defective product are classified in the next step ST4, and the processing flow ends.
本実施形態によれば、N本の端子に対するN本のプローブのずれを電気的に検出し、ずれが許容できるか否かを判定可能である。
このとき、ずれ量が“P−W/2”以上有ると、テストの実行によって本来とは別の信号(または電源)を端子に印加することになり、パネルの損傷や装置の損傷の可能性がある。このようなズレが有る場合、両端の端子幅が端子配列のピッチP以上に拡大されているために、片側の2本のプローブが同じ端子上に接続される。したがって、この部分のショート(第2抵抗R2が同電位相当の抵抗以下であること)を確認することで、“P−W/2”以上のコンタクトズレが発生しているかを確認することができる。
According to this embodiment, it is possible to electrically detect the deviation of the N probes with respect to the N terminals and determine whether the deviation is acceptable.
At this time, if the deviation amount is “PW / 2” or more, a signal (or a power supply) different from the original is applied to the terminal by executing the test, and there is a possibility that the panel is damaged or the apparatus is damaged. There is. When there is such a deviation, since the terminal width at both ends is expanded to be equal to or larger than the pitch P of the terminal arrangement, two probes on one side are connected to the same terminal. Therefore, it is possible to confirm whether or not a contact displacement of “P−W / 2” or more has occurred by confirming a short circuit in this portion (the second resistance R2 is equal to or less than the resistance corresponding to the same potential). .
《第2実施形態》
図5(A)に本実施形態に関わる表示パネル10Aの上面図を示し、図5(B1)と図5(B2)に図5(A)の一部拡大図を示す。
本実施形態では、駆動基板11Aに形成されている端子13(1)〜13(N)が同一の幅Wを有し、さらに第1端子13(1)の外側にダミー端子13d1が配置され、第N端子13(N)の外側に他のダミー端子13d2が配置されている。ダミー端子13d1,13d2は、その隣の第1端子13(1)または第N端子13(N)とのピッチが、N個の端子13(1)〜13(N)と同じピッチPとなっている。また、ダミー端子13d1,13d2の幅も、上記他の端子の幅Wと同じに設定されている。
そしてダミー端子13d1と第1端子13(1)とは内部結線15(1)により接続され、ダミー端子13d2と第N端子13(N)は内部結線15(2)により接続されている。内部結線15(1),15(2)の意味は、図4(A)に示す内部結線14と同様であり、直接接続される場合と間接的に同電位相当と見なされる場合の双方を含む。
<< Second Embodiment >>
FIG. 5A shows a top view of the
In the present embodiment, the terminals 13 (1) to 13 (N) formed on the
The dummy terminal 13d1 and the first terminal 13 (1) are connected by an internal connection 15 (1), and the dummy terminal 13d2 and the Nth terminal 13 (N) are connected by an internal connection 15 (2). The meanings of the internal connections 15 (1) and 15 (2) are the same as those of the
図6(A)〜図6(D)は、“ずれ無し”から徐々にずれ量を大きくした場合の、第(N-1)端子13(N-1)、第N端子13(N)およびダミー端子13d2の模式図である。この図で第1プローブ2(1)、第(N-1)プローブ2(N-1)および第Nプローブ2(N)の頂点位置をそれぞれ矢印により示す。
図6(A)はずれ量ゼロ、図6(B)はずれ量が小の場合である。この図6(B)までは端子とプローブの接触関係が正常であり許容される。一方、図6(D)ではプローブが本来の端子と異なる端子に接触するため、このようなずれが生じているとテストの実行によってパネルの損傷の危険があるため許容できず、必ず検出しなければならない。図6(C)に示す程度のずれは許容できないが、この状態でテストを実行してもパネル損傷の危険はない。
6A to 6D show the (N-1) th terminal 13 (N-1), the Nth terminal 13 (N), and the
FIG. 6A shows the case where the amount of deviation is zero, and FIG. 6B shows the case where the amount of deviation is small. Up to FIG. 6B, the contact relationship between the terminal and the probe is normal and allowed. On the other hand, in FIG. 6D, since the probe contacts a terminal different from the original terminal, such a shift is not acceptable because there is a risk of damage to the panel due to the execution of the test, and it must be detected. I must. Although the deviation shown in FIG. 6C cannot be tolerated, there is no risk of panel damage even if the test is executed in this state.
図6(C)および図6(D)において、第1プローブ2(1)と第Nプローブ2(N)間の第1抵抗R1が抵抗値Rsより大きいオープン状態となる。そして図6(D)で初めて、隣接する2つのプローブ、即ち第(N-1)プローブ2(N-1)と第Nプローブ2(N)間の第2抵抗R2が同電位相当の十分小さい値になる。よって、第1抵抗R1と第2抵抗R2を観測することによって、第1実施形態と同様に、必ず防止したいずれである図6(D)の状態が判別でき、しかも、そのずれの方向も第2抵抗R2の変化が端子配列のどちらの端で生じているかに応じて判定できる。 6C and 6D, the first resistance R1 between the first probe 2 (1) and the Nth probe 2 (N) is in an open state that is larger than the resistance value Rs. For the first time in FIG. 6D, the second resistance R2 between two adjacent probes, that is, the (N-1) th probe 2 (N-1) and the Nth probe 2 (N) is sufficiently small corresponding to the same potential. Value. Therefore, by observing the first resistor R1 and the second resistor R2, as in the first embodiment, the state of FIG. 6D that is surely prevented can be determined, and the direction of the deviation is also the first. It can be determined according to which end of the terminal array the change of the two-resistance R2.
以上より、第1実施形態と同様に、N本の端子に対するN本のプローブのずれを電気的に検出し、ずれが許容できるか否かを判定可能である。
このとき、ずれ量が“P−W/2”以上有ると、テストの実行によって本来とは別の信号(または電源)を端子に印加することになり、パネルの損傷や装置の損傷の可能性がある。このようなズレが有る場合、N個の端子の両端側に1つずつ合計2つのダミー端子を設け、当該ダミー端子と隣接する端子を同電位相当に保持することによって、片側の2本のプローブが同電位の端子上で接続される。したがって、この部分のショート(第2抵抗R2が同電位相当の抵抗以下であること)を確認することで、“P−W/2”以上のコンタクトズレが発生しているかを確認することができる。
As described above, similarly to the first embodiment, it is possible to electrically detect the deviation of the N probes with respect to the N terminals and determine whether the deviation is acceptable.
At this time, if the deviation amount is “PW / 2” or more, a signal (or a power supply) different from the original is applied to the terminal by executing the test, and there is a possibility that the panel is damaged or the apparatus is damaged. There is. In the case where there is such a deviation, a total of two dummy terminals are provided on both ends of each of the N terminals, and the terminals adjacent to the dummy terminals are held at the same potential. Are connected on terminals of the same potential. Therefore, it is possible to confirm whether or not a contact displacement of “P−W / 2” or more has occurred by confirming a short circuit in this portion (the second resistance R2 is equal to or less than the resistance corresponding to the same potential). .
《第3実施形態》
本実施形態は、特許文献2と同様、プローブを交互に段違いの並びに配置する場合で本発明の適用例を示すものである。
図7(A)にずれ量ゼロの場合、図7(B)に端子とプローブの接触関係が正しくなくなる場合を示す。図7(B)までずれると、第2実施形態での図6(D)と同様にテストの実行によって表示パネルに損傷を与える危険性が高くなるため、この図7(B)を有効に検出しなければならない。
<< Third Embodiment >>
This embodiment shows an application example of the present invention in the case where probes are alternately arranged in the same manner as in
FIG. 7A shows a case where the displacement amount is zero, and FIG. 7B shows a case where the contact relationship between the terminal and the probe is not correct. If it shifts to FIG. 7B, the risk of damaging the display panel due to the execution of the test is increased as in FIG. 6D in the second embodiment, so that FIG. 7B is effectively detected. Must.
図7の両端の端子は第1実施形態と同様に第1端子13(1)と第N端子13(N)と捉えることもできるし、隣接端子間が同電位となっている点では第2実施形態におけるダミー端子と捉えることもできる。ここでは、第1端子13(1)と第N端子13(N)と捉え、それらの幅を若干大きくしている。
他の第2端子13(2)〜第(N-1)端子13(N-1)は、図7(A)のA−A線に沿って見ると、大きい幅W1と、小さい幅W2の2種類のパターンを交互に配置したものである。
第1端子13(1)と第2端子13(2)とは内部結線15(1)により接続され、第(N-1)端子13(N-1)と第N端子13(N)とは内部結線15(2)により接続されている。内部結線15(1),15(2)の意味は、図4(A)に示す内部結線14と同様であり、直接接続される場合と間接的に同電位相当と見なされる場合の双方を含む。
The terminals at both ends of FIG. 7 can be regarded as the first terminal 13 (1) and the Nth terminal 13 (N) as in the first embodiment, and the second is that the adjacent terminals have the same potential. It can also be regarded as a dummy terminal in the embodiment. Here, the first terminal 13 (1) and the Nth terminal 13 (N) are considered, and their widths are slightly increased.
The other second terminals 13 (2) to (N-1) th terminal 13 (N-1) have a large width W1 and a small width W2 when viewed along the line AA in FIG. Two types of patterns are alternately arranged.
The first terminal 13 (1) and the second terminal 13 (2) are connected by an internal connection 15 (1), and the (N-1) th terminal 13 (N-1) and the Nth terminal 13 (N) are They are connected by internal connection 15 (2). The meanings of the internal connections 15 (1) and 15 (2) are the same as those of the
図8は、図7(B)時のずれ量Sを計算するための拡大図である。また、図9は、図7(B)まではずれないが、第(N-1)プローブ2(N-1)が正しい端子に接触する限界を示す拡大図である。
図7(B)の場合におけるずれ量Sは、大きい幅W1の第(N-2)端子13(N-2)に対応する第(N-2)プローブ2(N-2)の先が第(N-1)端子13(N-1)のエッジに位置するまでずれた場合のずれ量であるから、図8に示すように、S=P−W2/2となる。
一方、このとき2Pだけ離れた第Nプローブ2(N)の先が第N端子13(N)に接触するための第N端子13(N)の最小幅W3は、図8に示すように、P+(W1−W2)/2となる。
一方、図7(B)まではずれ量が大きくない図9の場合、そのずれ量S´は、端子の大きい幅W1の半分(S´=W1/2)である。このずれ量S´より大きなずれが生じると、少なくとも正しいテストが行えないため、このようなずれは許容できない。
FIG. 8 is an enlarged view for calculating the shift amount S in FIG. FIG. 9 is an enlarged view showing the limit of the contact of the (N-1) -th probe 2 (N-1) with the correct terminal, which does not deviate from that shown in FIG. 7B.
The displacement amount S in the case of FIG. 7B is that the tip of the (N-2) probe 2 (N-2) corresponding to the (N-2) terminal 13 (N-2) having the large width W1 is first. (N-1) Since this is the amount of displacement when it is displaced until it is located at the edge of the terminal 13 (N-1), S = P−W2 / 2 as shown in FIG.
On the other hand, the minimum width W3 of the Nth terminal 13 (N) for the tip of the Nth probe 2 (N) separated by 2P to contact the Nth terminal 13 (N) at this time is as shown in FIG. P + (W1-W2) / 2.
On the other hand, in the case of FIG. 9 where the shift amount is not large until FIG. 7B, the shift amount S ′ is half of the large width W1 of the terminal (S ′ = W1 / 2). If a deviation larger than this deviation amount S ′ occurs, at least a correct test cannot be performed, and such a deviation is not allowed.
以上の構成を有するため、例えば以下の方法により、第1および第2実施形態と同様に、N本の端子に対するN本のプローブのずれを電気的に検出し、ずれが許容できるか否かを判定可能である。
まず、ずれ量が上記S´(図9)より大きいかどうかの判別のため、第(N-1)プローブ2(N-1)と第Nプローブ2(N)との間で抵抗を測定する。このときの抵抗が同電位相当の抵抗値より大きければ、第(N-1)プローブ2(N-1)が第(N-1)端子13(N-1)と非接触であることを検出することができる。
Because of the above configuration, for example, the following method is used to electrically detect the deviation of the N probes with respect to the N terminals in the same manner as in the first and second embodiments. Judgment is possible.
First, resistance is measured between the (N-1) th probe 2 (N-1) and the Nth probe 2 (N) in order to determine whether or not the shift amount is larger than the above S '(FIG. 9). . If the resistance at this time is larger than the resistance value corresponding to the same potential, it is detected that the (N-1) probe 2 (N-1) is not in contact with the (N-1) terminal 13 (N-1). can do.
つぎに、ずれ量が上記S(図8)のようになるまで大きいかどうかの判別のため、第(N-2)プローブ2(N-2)と第Nプローブ2(N)との間で抵抗を測定する。このときの抵抗が同電位相当以下であるときは、第(N-1)プローブ2(N-1)が、本来接触すべき第(N-2)端子13(N-2)ではなく、隣の第(N-1)端子13(N-1)に接触していることを検出することができる。なぜなら、第(N-1)端子13(N-1)と第N端子13(N)は内部結線15(2)により接続されており、その端子間抵抗は同電位相当となるためである。
このとき、図8に示すようにずれ量が“P−W2/2”以上有ることになり、テストの実行により本来とは別の信号(または電源)を端子に印加すると、パネルの損傷や装置の損傷が生ずる可能性がある。
Next, in order to determine whether or not the deviation amount is large until the above S (FIG. 8), the difference between the (N-2) probe 2 (N-2) and the Nth probe 2 (N). Measure resistance. If the resistance at this time is less than or equal to the same potential, the (N-1) probe 2 (N-1) is not the (N-2) terminal 13 (N-2) to be contacted, but the adjacent It is possible to detect contact with the (N-1) th terminal 13 (N-1). This is because the (N-1) th terminal 13 (N-1) and the Nth terminal 13 (N) are connected by an internal connection 15 (2), and the resistance between the terminals is equivalent to the same potential.
At this time, as shown in FIG. 8, the deviation amount is “P−W2 / 2” or more, and if a signal (or power supply) different from the original is applied to the terminal by the execution of the test, the panel damage or device Damage may occur.
本実施形態では、N個の端子のうち両端の端子の幅を拡大し(あるいは、両端側に1つずつ合計2つのダミー端子を設け)、両端の端子(当該ダミー端子)と隣接する端子を同電位相当に保持することによって、片側の2本のプローブが同電位の端子上で接続される。したがって、外側から数えて1番目と2番目の2つのプローブ間の抵抗が同電位相当の抵抗より大きいを確認することで、“W1/2”以上のコンタクトズレが発生しているかを確認し、さらに外側から1番目と3番目のプローブ間の抵抗が同電位相当以下であるかを確認することで、“P−W2/2”以上のコンタクトズレが発生しているかを確認することができる。 In the present embodiment, the width of the terminals at both ends of the N terminals is expanded (or two dummy terminals are provided on each of the both ends), and the terminals adjacent to the terminals at the both ends (the dummy terminals) are By maintaining the same potential, the two probes on one side are connected on the same potential terminal. Therefore, by confirming that the resistance between the first and second probes counted from the outside is larger than the resistance corresponding to the same potential, it is confirmed whether or not the contact deviation of “W1 / 2” or more has occurred. Further, by confirming whether the resistance between the first and third probes from the outside is equal to or less than the same potential, it is possible to confirm whether or not a contact shift of “P−W2 / 2” or more has occurred.
以上のように、本実施形態では、ダミー端子を設けるか、設けなくとも両端の端子の幅を大きくし、両端の各々で外側と次に外側の端子間を内部結線するだけで、正しいテストができない場合、さらにパネル損傷の可能性が場合のプローブの接触ずれを容易に検出できる。 As described above, in this embodiment, even if dummy terminals are provided or not provided, the width of the terminals at both ends is increased, and by simply connecting the outside and the outside terminals at each of both ends, a correct test can be performed. If this is not possible, the contact displacement of the probe can be easily detected when there is a possibility of panel damage.
以上の第1〜第3実施形態では、同電位相当の抵抗を基準としたが、接触抵抗のばらつきを考慮するならば、同電位相当の抵抗値とオープン相当の抵抗値との間に判定基準を設けることが望ましい。
また、上記3つの実施形態ではLCD表示パネルを前提としたが、たとえば有機LEDパネルであってもよい。その他、本発明を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
また、上記表示パネルに損傷を与えるようなずれを検出した場合は、テストそのものを禁止して誤ってテストが実行されないようにすることが可能である。
In the above first to third embodiments, the resistance corresponding to the same potential is used as a reference. However, if the variation in contact resistance is taken into consideration, the determination criterion is between the resistance value corresponding to the same potential and the resistance value corresponding to the open. It is desirable to provide.
In the above three embodiments, an LCD display panel is assumed. However, for example, an organic LED panel may be used. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
In addition, when a shift that damages the display panel is detected, the test itself can be prohibited so that the test is not erroneously executed.
1…検査システム、2,2(1)〜2(N)…プローブ、3…ケーブル、4…制御駆動部、10,10A,10B…表示パネル、11,11A,11B…駆動基板、12…対向基板、13(1)〜13(N)…端子、13d1,13d2…ダミー端子、14,15(1),15(2)…内部結線
DESCRIPTION OF
Claims (11)
端子配列の両端に位置する第1端子および第N端子の配列方向での幅を、残りの(N−2)個の端子配列の1ピッチ以上に形成し、かつ、前記第1端子と前記第N端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線して前記表示デバイスを製造する製造ステップと、
前記(N−2)個の端子配列のピッチと対応するピッチで一方向に並ぶN本のプローブと前記N個の端子との電気的接触を行う電気的接触ステップと、
前記電気的接触を行ったときに、前記第1端子に対応する第1プローブと前記第N端子に対応する第Nプローブとの間で第1抵抗を測定し、当該第1抵抗の測定値に基づいて、前記N本のプローブの、前記N個の端子に対する接触位置ずれの有無を判定する接触判定ステップと、
前記表示デバイスの検査を行う検査ステップと、
を含む表示デバイスの製造方法。 A method of manufacturing a display device having a plurality of N terminals arranged in one direction apart from each other,
The width in the arrangement direction of the first terminal and the Nth terminal located at both ends of the terminal arrangement is formed to be one pitch or more of the remaining (N−2) terminal arrangements, and the first terminal and the first terminal A manufacturing step of manufacturing the display device by internal connection so that the N terminal is equal to or less than a predetermined resistance value corresponding to the same potential;
An electrical contact step of making electrical contact between the N probes arranged in one direction at a pitch corresponding to the pitch of the (N-2) terminal array and the N terminals;
When the electrical contact is made, a first resistance is measured between the first probe corresponding to the first terminal and the N probe corresponding to the N terminal, and the measured value of the first resistance is obtained. A contact determination step for determining whether or not the N probes have contact position deviations with respect to the N terminals;
An inspection step of inspecting the display device;
A method for manufacturing a display device.
請求項1に記載の表示デバイスの製造方法。 In the manufacturing step, the width in the arrangement direction of the first terminal and the Nth terminal is set to one pitch or more of the remaining (N-2) terminal arrangements, and the (N-2) pieces in the one pitch. The manufacturing method of the display device according to claim 1, wherein the terminal width is equal to or less than a value obtained by adding terminal widths in the same arrangement direction.
請求項1に記載の表示デバイスの製造方法。 The display device manufacturing method according to claim 1, wherein in the contact determination step, it is determined that the contact is not correct when the first resistance is greater than a predetermined resistance value corresponding to the same potential.
請求項1に記載の表示デバイスの製造方法。 In the contact determination step, a second resistance is measured between the first probe or the Nth probe and another probe adjacent to the probe, and the first resistance is determined based on a predetermined resistance value corresponding to the same potential. The display device manufacturing method according to claim 1, wherein execution of the inspection step is prohibited when the second resistance is equal to or smaller than a predetermined resistance value corresponding to the same potential.
端子配列の両端に位置する第1端子と第N端子にそれぞれ隣接して、残りの(N−2)個の端子配列のピッチと幅を有する2つのダミー端子を形成し、かつ、前記第1端子と一のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線し、前記第N端子と他のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線し、さらに、ダミー端子同士も同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線して前記表示デバイスを製造する製造ステップと、
前記端子配列のピッチと対応するピッチで一方向に並ぶN本のプローブと前記N個の端子との電気的接触を行う電気的接触ステップと、
前記電気的接触を行ったときに、前記第1端子に対応する第1プローブと前記第N端子に対応する第Nプローブとの間で第1抵抗を測定し、当該第1抵抗の測定値に基づいて、前記N本のプローブの、前記N個の端子に対する接触位置ずれの有無を判定する接触判定ステップと、
前記表示デバイスの検査を行う検査ステップと、
を含む表示デバイスの製造方法。 A method of manufacturing a display device having a plurality of N terminals arranged in one direction apart from each other,
Two dummy terminals having the pitch and width of the remaining (N−2) terminal arrays are formed adjacent to the first terminal and the Nth terminal located at both ends of the terminal array, respectively, and the first terminal Internal connection is made so that the terminal and one dummy terminal are equal to or less than a predetermined resistance value corresponding to the same potential, and the Nth terminal and the other dummy terminal are internally equal to or less than a predetermined resistance value corresponding to the same potential. Further, a manufacturing step of manufacturing the display device by internally connecting the dummy terminals so that the dummy terminals have a predetermined resistance value or less corresponding to the same potential, and
An electrical contact step for performing electrical contact between the N probes arranged in one direction at a pitch corresponding to the pitch of the terminal arrangement and the N terminals;
When the electrical contact is made, a first resistance is measured between the first probe corresponding to the first terminal and the N probe corresponding to the N terminal, and the measured value of the first resistance is obtained. A contact determination step for determining whether or not the N probes have contact position deviations with respect to the N terminals;
An inspection step of inspecting the display device;
A method for manufacturing a display device.
請求項5に記載の表示デバイスの製造方法。 The method for manufacturing a display device according to claim 5, wherein in the contact determination step, it is determined that the contact is not correct when the first resistance is greater than a predetermined resistance value corresponding to the same potential.
請求項5に記載の表示デバイスの製造方法。 In the contact determination step, a second resistance is measured between the first probe or the Nth probe and another probe adjacent to the probe, and the first resistance is determined based on a predetermined resistance value corresponding to the same potential. The method for manufacturing a display device according to claim 5, wherein execution of the inspection step is prohibited when the second resistance is equal to or smaller than a predetermined resistance value corresponding to the same potential.
前記奇数番目の端子群または前記偶数番目の端子群のうち、一方の端子群の配列で両端に位置する2つの端子の配列方向での幅を、残りの(N−2)個の端子配列の端子ピッチに奇数番目と奇数番目の端子幅の差の半分を加えたもの以上に形成し、かつ、前記2つの端子が同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線される前記表示デバイスを製造する製造ステップと、
前記端子ピッチと同じピッチで一方向に並ぶN本のプローブで前記N個の端子と電気的接触をとる電気的接触ステップと、
前記電気的接触を行ったときに、前記第1端子に対応する第1プローブと、前記第N端子に対応する第Nプローブとでプローブ間抵抗を測定し、当該測定されたプローブ間抵抗が前記所定の抵抗値以下の場合に、前記N本のプローブが前記N個の端子に正しく接触していると判断する接触確認ステップと、
前記N本のプローブの接触確認がとれた状態で前記表示デバイスの検査を行う検査ステップと、
を含む表示デバイスの製造方法。 It has a plurality of N terminals that are spaced apart from each other and arranged in one direction, and the odd-numbered terminal groups and the even-numbered terminal groups are formed in different patterns in which the probe contact portions are stepped. A display device manufacturing method comprising:
Of the odd-numbered terminal group or the even-numbered terminal group, the width in the arrangement direction of two terminals located at both ends in the arrangement of one terminal group is set to the remaining (N−2) terminal arrangements. The display that is formed to be equal to or greater than the terminal pitch plus half of the difference between the odd and odd terminal widths, and is internally connected so that the two terminals have a predetermined resistance value or less equivalent to the same potential Manufacturing steps for manufacturing the device;
An electrical contact step of making electrical contact with the N terminals with N probes arranged in one direction at the same pitch as the terminal pitch;
When the electrical contact is made, the interprobe resistance is measured with the first probe corresponding to the first terminal and the Nth probe corresponding to the Nth terminal, and the measured interprobe resistance is A contact confirmation step of determining that the N probes are correctly in contact with the N terminals when the resistance value is equal to or less than a predetermined resistance value;
An inspection step of inspecting the display device in a state in which the contact confirmation of the N probes is taken;
A method for manufacturing a display device.
前記表示部に接続された配線に接続され、互いに離間して一方向に配列されている複数N個の端子と、
を有し、
端子配列の両端に位置する第1端子および第N端子の配列方向での幅を、残りの(N−2)個の端子配列の1ピッチ以上に形成し、かつ、前記第1端子と前記第N端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線されている
表示デバイス。 A display unit;
A plurality of N terminals connected to the wiring connected to the display unit and arranged in one direction apart from each other;
Have
The width in the arrangement direction of the first terminal and the Nth terminal located at both ends of the terminal arrangement is formed to be one pitch or more of the remaining (N−2) terminal arrangements, and the first terminal and the first terminal A display device that is internally connected in the display section such that the N terminal is equal to or less than a predetermined resistance value corresponding to the same potential.
前記表示部に接続された配線に接続され、互いに離間して一方向に配列されている複数N個の端子と、
端子配列の両端に位置する第1端子と第N端子にそれぞれ隣接して、残りの(N−2)個の端子配列のピッチと幅を有する2つのダミー端子と、
を有し、
前記第1端子と一のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線され、前記第N端子と他のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線され、さらに、ダミー端子同士も同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線されている
表示デバイス。 A display unit;
A plurality of N terminals connected to the wiring connected to the display unit and arranged in one direction apart from each other;
Two dummy terminals adjacent to the first terminal and the Nth terminal located at both ends of the terminal array, respectively, and having the pitch and width of the remaining (N-2) terminal arrays;
Have
The first terminal and one dummy terminal are internally connected in the display section so as to be equal to or less than a predetermined resistance value corresponding to the same potential, and the Nth terminal and another dummy terminal are predetermined resistance corresponding to the same potential. A display device that is internally connected in the display unit so as to be less than or equal to a value, and further, that dummy terminals are also internally connected in the display unit so as to be less than or equal to a predetermined resistance value corresponding to the same potential.
前記表示部に接続された配線に接続され、互いに離間して一方向に配列されている複数N個の端子と、
を有し、
前記N個の端子は、奇数番目の端子群と偶数番目の端子群とが、プローブ接触部が段違いとなる異なるパターンにて形成され、
前記奇数番目の端子群または前記偶数番目の端子群のうち、一方の端子群の配列で両端に位置する2つの端子の配列方向での幅が、残りの(N−2)個の端子配列の端子ピッチに奇数番目と奇数番目の端子幅の差の半分を加えたもの以上に形成され、かつ、前記2つの端子が同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線されている
表示デバイス。 A display unit;
A plurality of N terminals connected to the wiring connected to the display unit and arranged in one direction apart from each other;
Have
The N terminals are formed in different patterns in which the odd-numbered terminal group and the even-numbered terminal group have different probe contact portions,
Of the odd-numbered terminal group or the even-numbered terminal group, the width in the arrangement direction of two terminals located at both ends in the arrangement of one terminal group is the remaining (N−2) terminal arrangements. Internal connection within the display unit is formed so that the terminal pitch is equal to or greater than half of the difference between the odd and odd terminal widths, and the two terminals are equal to or less than a predetermined resistance value corresponding to the same potential. Display device.
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2006
- 2006-12-15 JP JP2006338867A patent/JP2008151954A/en active Pending
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