JP2008151865A - 顕微鏡システム - Google Patents

Abstract

【課題】観察状態の切り替えを容易にして顕微鏡の操作性を向上させる。
【解決手段】視野絞り４、開口絞り５、観察法切り替えユニット６に取り付けられている各種のキューブ、レボルバ７に取り付けられている対物レンズ９、ＤＩＣプリズムユニット８、アナライザユニット１３などの光学部材は、電動により光路に対して挿脱し又は開閉することができる。この挿脱又は開閉の状態はセンサにより検出される。操作部１０４は各種の指示を取得する。制御部１０２にはメモリが備えられており、当該メモリは、観察状態の記録要求の指示を操作部１０４が取得したときにセンサで検出されていた光学部材の光路に対する挿脱又は開閉の状態を観察状態として複数記録する。制御回路１０２は、観察状態の設定要求の指示を操作部１０４が取得する度に当該挿脱又は開閉を制御して、観察状態を当該メモリに記録されている観察状態のいずれかへと切り替える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、顕微鏡の技術に関し、特に、顕微鏡の操作性を向上させる技術に関する。

顕微鏡やこれを用いた光学検査装置は、医学・生物分野における細胞や生体組織などの観察や、工業分野においても半導体ウエハ、ＦＰＤ（フラットパネル・ディスプレイ）用ガラス基板、磁気ヘッド等の検査、金属組織や新素材の研究開発など、種々の目的で使用されるものであり、ユーザのニーズに応じるための種々の装置が存在する。

これらの顕微鏡によって標本を観察する際には、顕微鏡に搭載されている各種ユニット（例えば、各種照明、開口絞り、視野絞り、レボルバ、自動焦準機構、レンズやフィルタ等の光学素子切り替え機構など）をそれぞれ観察条件に応じて操作する必要がある。

所望の検鏡法を実現する場合、各種光学部材の組合せが適切でなければ良好な顕微鏡観察を行うことはできない。観察対象と検出すべき観察対象の特徴とにより、様々な検鏡法を使用することもあり、各種光学部材を適切に組み合わせるための、優れた操作性が顕微鏡に望まれている。

また、顕微鏡の工業用途や病理において、特定の形状や特性を有する観察対象を、決まった手順にて検鏡法を変えて観察し、これを一群の観察対象に対して繰り返すルーチン検査のような使用状況もある。このような場合には、前述した検鏡法の切り替えを含む観察状態の切り替えの操作性は、作業効率に多大な影響を及ぼすことになる。

顕微鏡の操作性を向上させる技術に関し、例えば特許文献１には、光学部材の挿抜状態や撮影条件をＩＣカードのような記憶媒体に保存するようにし、これを後に復元できるようにして、普段余り使用していない顕微鏡を使用する場合や、１台の顕微鏡を複数人で共用している状況でも、自分の設定したい観察状態を簡単に再現できるようにするという技術が開示されている。
特開平８−６８９４６号公報

顕微鏡の各種ユニットを一定の手順にて切り替えて検鏡法等を変更しながら観察を繰り返すという、前述したルーチン検査に顕微鏡を使用する場合、作業効率を上げるためには、観察状態切り替えの操作性を向上させる必要がある。

上掲した特許文献１に開示されている技術は、観察時の設定等、ある一つの状態を再現し、観察をするのには適している。しかしながら、観察状態を切り替える場合には、顕微鏡システムの動作モードを切り替えのための専用のものへ一旦移行させ、その上でＩＣカードに記録してある観察状態を日付やコメント等を元にして選択するという手順をユーザが踏む必要がある。つまり、この技術は、観察状態の切り替えには必ずしも操作性が高いといえるものではなく、とりわけルーチン検査を行う際には問題であった。

本発明は上述した問題に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、観察状態の切り替えを容易にして顕微鏡の操作性を向上させることである。

本発明の態様のひとつである顕微鏡システムは、電動により光学部材を制御する電動手段と、光路上の該光学部材の制御情報を観察状態として検出する検出手段と、各種の指示を取得する指示取得手段と、該指示取得手段が観察状態の記録を要求する指示を取得したときに該検出手段が検出していた観察状態を複数記録する記録手段と、該指示取得手段が観察状態を設定する要求の指示を取得する度に該電動手段を制御して、該観察状態を該記録手段に記録されている観察状態のいずれかへと切り替える制御手段と、を有することを特徴とするものであり、この特徴によって前述した課題を解決する。

なお、上述した本発明に係る顕微鏡システムにおいて、該指示取得手段は、観察状態を設定する要求の指示を取得する設定要求指示取得手段を複数有しており、該記録手段は、該観察状態の各々を該設定要求指示取得手段のうちのいずれかに対応付けて記録し、該制御手段は、該設定要求指示取得手段が観察状態を設定する要求の指示を取得したときに該電動手段を制御して、該観察状態を、該指示を取得した設定要求指示取得手段に対応付けられて該記録手段に記録されている観察状態へと切り替える、ように構成することができる。

また、前述した本発明に係る顕微鏡システムにおいて、該指示取得手段は、観察状態を設定する要求の指示を取得する設定要求指示取得手段を１つのみ有しており、該制御手段は、該設定要求指示取得手段が観察状態を設定する要求の指示を取得する度に該電動手段を制御して、該観察状態が、該記録手段に記録されている観察状態のうちのいずれかへと順次切り替える、ように構成することもできる。

また、前述した本発明に係る顕微鏡システムにおいて、該指示取得手段は、観察状態を設定する要求の指示を取得する設定要求指示取得手段を２つ有しており、該記録手段は、該観察状態の各々に順序を付して該観察状態を記録し、該制御手段は、該設定要求指示取得手段が観察状態を設定する要求の指示を取得する度に該電動手段を制御して行う、該観察状態の該記録手段に記録されている観察状態のいずれかへの切り替えを、該順序における、該指示を取得したものが２つの設定要求指示取得手段のうちのどちらであるかに応じて定まる昇順又は降順に従って行う、ように構成することもできる。

また、前述した本発明に係る顕微鏡システムにおいて、該記録手段は、１つ以上の該光学部材の各々についての該挿脱又は開閉の状態を１つの観察状態として纏めた上で複数の該観察状態を記録するものであって、且つ、該複数の観察状態からなる観察状態の組を複数組記録し、該指示取得手段が観察状態の組を選択する要求の指示を取得したときに、該記録手段に記録されている複数組の観察状態の組から１組を選択する選択手段を更に有し、該制御手段は、該電動手段を制御して、該観察状態を、該記録手段に記録されている観察状態のうち該選択手段により選択された組に含まれているもののいずれかへと切り替える、ように構成することもできる。

なお、前述した本発明に係る顕微鏡システムにおいて、設定要求指示取得手段を１つのみ有する場合には、設定要求指示取得手段は、該顕微鏡システムとは別体の操作部として備えるように構成することもできる。

また、前述した本発明に係る顕微鏡システムにおいて、設定要求指示取得手段を２つ有する場合には、２つの該設定要求指示取得手段を、該顕微鏡システムとは別体である１つの操作部として備えるように構成することもできる。

また、前述した本発明に係る顕微鏡システムにおいて、該指示取得手段として備えられている操作部のうち観察状態を設定する要求の指示の取得のために設けられている操作部の機能を切り替える機能切り替え手段を更に有するように構成することもできる。

本発明によれば、以上のようにすることにより、観察状態の切り替えが容易になり、顕微鏡の操作性が向上するという効果を奏する。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
まず図１について説明する。同図は、本発明を実施する顕微鏡システムの構成を示している。

まず、図１に示す顕微鏡システムにおける顕微鏡本体１に備えられている光学系を説明する。
ハロゲンランプ等からなる落射照明用光源２から発せられる照明光は、光照明系レンズ３、視野絞り４、及び開口絞り５を経て、観察法切り替えユニット６のうち選択されているもの（ここではハーフミラーを備えたもの）に入射する。その後、この照明光は、レボルバ７に挿入されているＤＩＣ（Differential Interference Contrast：微分干渉観察）プリズムユニット８と、レボルバ７にて選択可能な対物レンズ９とを経て、ステージ１０へ置かれた試料１１を照射する。

試料１１からの反射光は、対物レンズ９とＤＩＣプリズムユニット８とを経て、観察法切り替えユニット６のハーフミラーを透過する。そして、この反射光は、ＡＦユニット１２、アナライザユニット１３、及び結像レンズ１４を経た後に、ミラー１５によって反射されて鏡筒双眼部１６に入射し、結像位置１７で結像する。

次に、顕微鏡本体１に備えられている電動部について説明する。
視野絞り４は、照明光が観察視野のみを照らすように調節するためのものであり、モータを駆動することで開閉制御されて、絞り径が調整可能に構成されている電動部である。また、開口絞り５は、コントラスト、明るさ、焦点深度を調節するためのものである。これもモータを駆動することで開閉制御されて、対物レンズ９の開口率ごとに適切な大きさに絞り径が調整可能に構成されている電動部である。

観察法切り替えユニット６には、本実施形態においては６ａ〜６ｃなる不図示の３個のキューブユニット、より具体的には、明視野観察用キューブ６ａ（ＢＦ）、暗視野観察用キューブ６ｂ（ＤＦ）、微分干渉観察用キューブ６ｃ（ＤＩＣ）が取り付けられている。観察法切り替えユニット６は、観察法に応じてモータを駆動することにより、光路上に配置されるキューブユニットを切り替えることができるように構成されている電動部である。

レボルバ７には、種類の異なる対物レンズ９が複数取り付けられている。レボルバ７は倍率や観察法などに応じてモータを駆動して回転させることで、光路上に配置される対物レンズ９を切り替えることができるように構成されている電動部である。

ＤＩＣプリズムユニット８及びアナライザユニット１３は、微分干渉観察に必要なユニットである。詳細は割愛するが、微分干渉観察では、通常観察にて変化を見出すことの難しい、ごく小さい段差を色の違いとして観察することができる。また、ＤＩＣプリズムユニット８を微調整すると、この色合いが変化する。本実施形態においては、ＤＩＣプリズムユニット８はレボルバ６に挿入されるように構成されており、モータを駆動することにより、その挿脱と挿入後のプリズム位置の微調整とを行うことができるように構成されている電動部である。また、アナライザユニット１３は、モータを駆動することで光路に対しての挿脱を行えるように構成されている電動部である。

以上の各電動部は、駆動機構１０１が各モータを駆動することで動作する。駆動機構１０１は、制御回路１０２から送られてくる制御信号に従って各モータを駆動する。制御回路１０２は、操作部１０４に対する操作によって示される操作者からの指示、若しくは、コンピュータ１０６が所定の制御プログラムを実行することでモニタ１０５に表示されるＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフェース）画面を利用して示される操作者からの指示を受け取ると、この指示に対応する制御信号を駆動機構１０１へ送る動作を行う。

ステージ１０は、焦準移動機構１０３がモータを駆動することで移動する電動部である。制御回路１０２は、前述した他の電動部の動作と同様に、操作者からの指示を上述したようにして受け取ると、この指示に対応する制御信号を焦準移動機構１０３へ送る。焦準移動機構１０３は、この制御信号に従ってモータを駆動してステージ１０を移動させる。なお、制御回路１０２は、対物レンズ９の焦点位置に対する試料１１の合焦状態を示すＡＦユニット１２からの信号を受け取ると、この信号に応じた制御信号を焦準移動機構１０３へ送る。焦準移動機構１０３は、この制御信号に従ってモータを駆動してステージ１０を移動させ、試料１１を対物レンズ９の焦点位置に移動して合焦させる。つまり、ＡＦユニット１２、制御回路１０２、及び焦準移動機構１０３により、自動焦点位置合わせ機構としての自動合焦動作が提供される。

なお、これらの電動部は各々にセンサを検出手段として備えており、これにより各ユニットにおける各部材の光路に対する挿脱や開閉等の状態を制御回路１０２が把握できる。また、この他に、センサ論理の組合せや、センサからの位置、初期状態からの変化等を制御回路１０２内のＲＡＭ（Random Access Memory）に保存しておくことにより、制御回路１０２は、ユニットの現在の状態を把握することができる。また、制御回路１０２は、落射照明用光源２の点灯状態（明るさ）の制御も行う。

なお、本実施形態における制御回路１０２は、ＭＰＵ（マイクロプロセッサ）等の演算処理装置と、制御回路１０２が各種の制御処理を実現するために演算処理装置が実行する制御プログラムが格納されているＲＯＭ（Read Only Memory）と、演算処理装置が該制御プログラムの実行の際に必要に応じて各種のデータを一時保持するために作業用記憶領域として使用する上述したＲＡＭと、顕微鏡システムを構成している各ユニットの状態の設定を記憶して保持する不揮発性メモリ（例えばフラッシュメモリ）と、図１の顕微鏡システムの各構成要素と演算処理装置との間で行われる各種のデータの授受を管理するインタフェース部とを備えて構成されている。

また、コンピュータ１０６は、ごく標準的な構成のコンピュータ、すなわち、制御プログラムの実行によってコンピュータ１０６全体の動作制御を司るＭＰＵ等の演算処理装置と、この演算処理装置が必要に応じてワークメモリとして使用するメインメモリと、各種のプログラムや制御データなどを記憶して保存しておく例えばハードディスク装置などの記憶装置と、制御回路１０２との間で行われる各種のデータの授受を管理するインタフェース部と、操作に対応付けられて示される操作者からの指示を取得する入力部と、モニタ１０５での各種の画面や情報の表示を管理する出力部と、を有しているコンピュータ、を利用することができる。

以下、この図１に示した顕微鏡システムでの本発明の実施例を幾つか説明する。

まず、図２について説明する。同図は、図１に示した顕微鏡システムにおける操作部１０４の第一の構成例を示している。
本実施例においては、図２に示した操作部１０４に配置されている各種のボタンに対する操作者による押下操作を制御回路１０２が検出すると、その操作に対応付けられている処理が制御回路１０２により行われる。なお、この代わりに、画像表示部と当該画像表示部に重ねて配置されるタッチパネルとを用いて操作部１０４を構成し、画像表示部に表示したボタン表示に従って操作者が行うタッチパネルに対するタッチ操作を制御回路１０２が検出し、そのタッチ操作に対応付けられている処理を制御回路１０２が行うようにしてもよい。また、操作部１０４を用いて操作者からの各種の指示を取得する代わりに、コンピュータ１０６が所定の制御プログラムを実行することでモニタ１０５に表示されるＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフェース）画面を利用して示される操作者からの指示をコンピュータ１０６が受け取り、制御回路１０２がその指示をコンピュータ１０６から受け取るようにしてもよい。

図２において、キューブ切り替えボタン２０１は観察法切り替えユニット６において光路に挿入されるキューブユニット６ａ〜６ｃの切り替えの指示を取得する。なお、本実施例においては、６ｃのＤＩＣ（微分干渉観察）が操作された場合には、微分干渉観察用キューブ６ｃと共にＤＩＣプリズムユニット８及びアナライザユニット１３も光路へ挿入する制御信号を制御回路１０２が出力するものとする。なお、ＤＩＣプリズムユニット８やアナライザユニット１３の挿脱を微分干渉観察用キューブ６ｃとは別個に指示できるように、ボタンを操作部１０４に追加してもよい。

ランプ調整ボタン２０２は落射照明用光源２から発せられる照明光の明るさを調節する指示を取得する。
ステージ駆動ボタン２０３は、ステージ１０を移動させる指示を取得するボタンであり、焦準移動ハンドル２１３も、ステージ１０を移動させる指示を取得するハンドルである。ここで、ステージ駆動ボタン２０３はステージ１０に対する粗動指示のためのものであり、焦準移動ハンドル２１３はステージ１０に対する微動指示のためのものである。

開口絞り調整ボタン２０４は、開口絞り５の絞り量を、開く方向若しくは絞る方向に調節する指示を取得する。
レボルバ切り替えボタン２０５は、レボルバ７を右回り若しくは左回りに回転させて対物レンズ９を１つずつ切り替える指示を取得する。

ＡＦボタン２０６は、前述した自動焦点位置合わせ機構による自動合焦動作についての指示を取得する。ここで、「ＯＮ／ＯＦＦ」のボタンに対する操作により、合焦状態を維持する動作と通常観察（自動合焦動作の機能停止）との切り替えの指示を取得する。一方、「ＯＮＥ ＳＨＯＴ」のボタンに対する操作により、試料１１が合焦位置となるようにステージ１０の位置を一旦移動させ、その後に通常観察に移行するという動作の指示を取得する。

ＤＩＣプリズム調整ボタン２０７はＤＩＣプリズムユニット８の微調整の指示を取得する。
観察状態切り替えボタン２０８は、顕微鏡システムの観察状態を、予め設定しておいたものへ切り替える指示を取得するためのボタンである。

操作部１０４に設けられている他のボタン（設定ボタン２０９、設定消去ボタン２１０、設定切り替えボタン２１１、及び状態切り替えボタン２１２）については後述する。
ここで、本実施例における顕微鏡システムの観察状態の設定について説明する。

図３及び図４について説明する。これらはどちらもモニタ１０５に表示される表示画面である。なお、これらの画面をＧＵＩ画面として利用し、制御回路１０２は、この画面を利用して示される操作者からの指示を受け取るようにしてもよい。また、これらの画面をモニタ１０５に表示する代わりに、タッチパネルを用いて操作部１０４を構成して該タッチパネルにこれらの画面を表示し、制御回路１０２は、操作者によるタッチパネルに対するタッチ操作を検出することで操作者からの指示を受け取るようにしてもよい。

図３に示した観察状態設定表示画面１０７の画面例は、既に設定を終えた観察状態の一覧を表示する画面である。
図３において、観察状態番号３０３は操作部１０４の観察状態切り替えボタン２０８に対応する番号（本実施例においては番号「１」から番号「６」まで）である。観察状態表示部３０２は、各観察状態における各ユニットの状態（電動部の駆動状態）を示している。また、設定画面切り替えボタン３０１は、上述した各番号についての観察状態設定画面へのモニタ１０５での表示切り替えの指示に用いるボタン表示である。

図４に示した観察状態設定画面１０８の画面例は、観察状態番号３０３における番号「１」に対する観察状態の設定に用いる画面である。なお、本実施例においては、観察状態番号３０３における各番号に応じ、同様の観察状態設定画面１０８が６つ用意されている。

図４における選択状態表示部３０４及び観察状態番号３０５は、図３における選択状態表示部３０２及び観察状態番号３０３と同様のものである。
キューブ切り替えボタン３０６、ランプ調整ボタン３０７、ステージ駆動ボタン３０８、開口絞り調整ボタン３０９、ＡＦボタン３１０、レボルバ切り替えボタン３１１、及びＤＩＣプリズム調整ボタン３１２は、それぞれ、図２に示した操作部１０４における、キューブ切り替えボタン２０１、ランプ調整ボタン２０２、ステージ駆動ボタン２０３、開口絞り調整ボタン２０４、ＡＦボタン２０６、レボルバ切り替えボタン２０５、及びＤＩＣプリズム調整ボタン２０７によるものと同一内容の指示に用いるボタン表示である。また、この観察状態設定画面１０８には、ＤＩＣプリズムユニット８の挿脱の指示に用いる「ＯＮ／ＯＦＦ」のボタン表示がＤＩＣプリズム調整ボタン３１２として設けられており、更に、アナライザユニット１３の挿脱の指示に用いるボタン表示としてアナライザ切り替えボタン３１３が設けられている。

以上のように、これらの操作ボタン表示は、操作部１０４に設けられている各ボタンと同様、顕微鏡システムを構成する各ユニットの状態の指示に用いるものである。従って、操作部１０４を顕微鏡本体１に接続している場合には、操作部１０４に設けられている各ボタンを代用することで、これらのボタン表示を観察状態設定画面１０８から削除してもよい。

設定ボタン３１６は、上述した各ボタン表示を利用して行われた各ユニットの現在の状態を、観察状態としてユニット毎に選択する指示を行うために用いられるボタン表示である。また、設定消去ボタン３１７は、設定ボタン３１６を用いて選択された観察状態を消去する指示を行うために用いられるボタン表示である。

設定完了ボタン３１４は、元々設定してあった観察状態番号３０５（図４の例では番号「１」）の観察状態を、観察状態設定画面１０８にて新たに設定したものに更新した後に、モニタ１０５での表示画面を図３に示した観察状態設定表示画面１０７に戻す指示を行うために用いられるボタン表示である。また、設定取り消しボタン３１５は、観察状態番号３０５（図４の例では番号「１」）の観察状態を更新することなく、モニタ１０５での表示画面を図３に示した観察状態設定表示画面１０７に戻す指示を行うために用いられるボタン表示である。

次に図５について説明する。同図は、制御回路１０２によって行われる制御処理のひとつである、観察状態設定制御処理の処理内容をフローチャートで示したものである。制御回路１０２では、ＲＯＭに格納されている所定の制御プログラムを演算処理装置が読み出して実行することによって、この観察状態設定制御処理が制御回路１０２によって行えるようになる。

観察状態設定制御処理が開始されると、まず、Ｓ１０１では、不図示の観察状態設定表示ボタンに対する押下操作が検出されたか否かを判定する処理が行われ、この押下操作が検出されるまで（判定結果がＹｅｓとなるまで）Ｓ１０１の処理が繰り返される。なお、観察状態設定表示ボタンは、例えば操作部１０４に備えられている。

Ｓ１０２では、コンピュータ１０６に指示を与えて、図３に例示した観察状態設定表示画面１０７をモニタ１０５に表示させる処理が行われる。
Ｓ１０３では、操作部１０４に設けられている観察状態切り替えボタン２０８に対する押下操作が検出されたか否かを判定する処理が行われ、この押下操作が検出されるまで（判定結果がＹｅｓとなるまで）Ｓ１０３の処理が繰り返される。

なお、このＳ１０３の処理において、観察状態設定表示画面１０７に設けられている設定画面切り替えボタン３０１に対する押下操作（例えば、コンピュータ１０６が入力部として備えているマウス装置等を操作してモニタ１０５に重畳表示されているカーソルを移動させ、当該カーソルが対応するボタン表示上に位置したときに行われるクリック操作）が検出されたか否かを判定する処理を並行して行うようにしてもよい。

Ｓ１０４では、コンピュータ１０６に指示を与えて、モニタ１０５での表示画面を図４に例示した観察状態設定画面１０８に切り替えさせると共に、押下操作がされた設定画面切り替えボタン３０１に対応する観察状態番号３０３について設定されている各ユニットの状態を選択状態表示部３０４に表示させる処理が行われる。

Ｓ１０５では、設定消去ボタン３１７に対する押下操作が検出されたか否かを判定する処理が行われ、この押下操作が検出されたとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１０６に処理を進め、検出されなかったとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１０７に処理を進める。

Ｓ１０６では、選択状態表示部３０４に表示されている各ユニットの状態についての表示をクリア（消去）する処理が行われ、その後はＳ１０５へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

Ｓ１０７では、操作部１０４若しくは観察状態設定画面１０８に設けられている、各ユニットの駆動指示を行うためのいずれかの操作ボタンに対する押下操作が検出されたか否かを判定する処理が行われ、この押下操作が検出されたとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１０８に処理を進め、検出されなかったとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１０９に処理を進める。

Ｓ１０８では、Ｓ１０７の処理によって押下操作が検出された操作ボタンに対応するユニットを当該操作ボタンでの指示に応じるように駆動させるための制御信号を、駆動機構１０１若しくは焦準移動機構１０３に与える処理が行われ、その後はＳ１０５へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

Ｓ１０９では、設定ボタン３１６に対する押下操作が検出されたか否かを判定する処理が行われ、この押下操作が検出されたとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１１０に処理を進め、検出されなかったとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１１１に処理を進める。

Ｓ１１０では、Ｓ１０９の処理によって押下操作が検出された設定ボタン３１６に対応するユニットの現在の状態を取得し、その状態を示す情報を選択状態表示部３０４の所定箇所に表示させる処理が行われ、その後はＳ１０５へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

Ｓ１１１では、設定完了ボタン３１４に対する押下操作が検出されたか否かを判定する処理が行われ、この押下操作が検出されたとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１１２に処理を進め、検出されなかったとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１１５に処理を進める。

Ｓ１１２では、ユニットの現在の状態を示す情報が選択状態表示部３０４のいずれかに表示されているか否かを判定する処理が行われる。ここで、当該情報が表示されているユニットについては、Ｓ１１３において、当該情報を、観察状態番号３０５について設定されている当該ユニットの状態の設定値として制御回路１０２の不揮発性メモリに記憶させる処理が行われる。一方、当該情報が表示されていないユニットについては、Ｓ１１４において、観察状態番号３０５について設定されている当該ユニットの状態の設定値を未設定状態として制御回路１０２の不揮発性メモリに記憶させる処理が行われる。

以上のＳ１１３若しくはＳ１１４の処理を終えた後には、Ｓ１０２へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。
Ｓ１１５では、設定取り消しボタン３１５に対する押下操作が検出されたか否かを判定する処理が行われ、この押下操作が検出されたとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１０２へと処理を戻して上述した処理が繰り返され、検出されなかったとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１０５へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

以上までの処理が観察状態設定制御処理である。この処理を制御回路１０２が実行することにより、操作部１０４の設定完了ボタン３１４に対する押下操作が検出されたときに顕微鏡システムが備えている各電動部のセンサで検出していた観察状態が、観察状態番号３０５に対応付けられて不揮発性メモリに複数記録される。

次に、図１の顕微鏡システムに各ユニットの観察状態を設定し保存するために操作者が行う操作手順について、図６のフローチャートを用いて説明する。
まず、Ｓ２０１において、操作者は、前述した観察状態設定表示ボタンを押下操作して観察状態設定表示画面１０７をモニタ１０５に表示させる。このときモニタ１０５に表示される観察状態設定表示画面１０７における選択状態表示部３０２には、操作部１０４に複数（図２では６個）設けられている観察状態義理替えボタン２０８の各ボタン番号についての各ユニットの観察状態の設定値が一覧表示される。

次に、Ｓ２０２において、操作者は、観察状態切り替えボタン２０８（若しくは設定画面切り替えボタン３０１）のうち設定の変更を所望する観察状態番号３０３に対応する番号のものを押下操作して、モニタ１０５での表示を観察状態設定画面１０８へ移行させる。このときモニタ１０５に表示される観察状態設定画面１０８における選択状態表示部３０４には、選択された観察状態番号３０５について現在設定されている各ユニットの観察状態が表示される。

Ｓ２０３では、選択状態表示部３０４に現在表示されている観察状態の設定を消去する必要があるか否かを操作者が判断する。ここで、消去の必要があると判断した場合には、Ｓ２０４において、操作者は、設定消去ボタン３１７の押下操作を行う。すると、選択状態表示部３０２は全て空欄となる。

Ｓ２０５では、操作者は、操作部１０４若しくは観察状態設定画面１０８に設けられている、各ユニットの駆動指示を行うためのいずれかの操作ボタンに対して押下操作を行う。すると、押下操作された操作ボタンに対応するユニットが当該操作ボタンでの指示に応じるように動作して、当該ユニットの観察状態が変化する。

ここで、ユニットの観察状態が操作者の所望の状態になったときには、Ｓ２０６において、操作者は設定ボタン３１６のうち当該ユニットに対応するものを押下操作する。すると、当該ユニットのこのときの状態を示す情報が選択状態表示部３０４における当該ユニットに対応する欄に表示される。

Ｓ２０７では、選択された観察状態番号３０５についての各ユニットの観察状態の設定を完了したか否かを操作者が判断する。ここで、この設定を完了したと判断した場合にはＳ２０８に手順を進める。一方、この設定が未だ完了していないと判断した場合には、Ｓ２０３へ手順を戻して上述した手順を繰り返す。

Ｓ２０８では、操作者は、設定完了ボタン３１４を押下操作して、モニタ１０５での表示を観察状態設定表示画面１０７へ移行させる。このとき、選択状態表示部３０４に表示されていた各ユニットの状態を示す情報が、観察状態番号３０５と対応付けられて制御回路１０２の不揮発性メモリに格納され記憶される。

Ｓ２０９では、全ての観察状態番号３０３についての各ユニットの観察状態の設定を完了したか否かを操作者が判断する。ここで、全ての設定を完了したと判断した場合には、この図６に示した観察状態設定操作手順を終了する。一方、設定が完了していないものが残っていると判断した場合には、Ｓ２０２へ手順を戻して上述した手順を繰り返す。

以上の手順を操作者が行うことにより、顕微鏡システムの各ユニットの観察状態の設定及び保存が行われる。
次に、上述したように構成されている顕微鏡システムの使用法について説明する。

操作者があるサンプルの検査を行う場合を想定する。このとき、操作者は、まず、検査前に、図６に示した操作手順に従って顕微鏡システムを操作して、当該顕微鏡システムに各ユニットの観察状態を設定し保存する。

その後、サンプルの検査では、観察状態切り替えボタン２０８を順次選択して押下操作することで顕微鏡システムの観察状態を切り替えながらサンプルの観察を行う。その後、設定を保存したボタンの選択を全て終えると、そのサンプルに対する検査が終了する。

ここで図７について説明する。同図は、制御回路１０２によって行われる制御処理のひとつである、観察状態切り替え処理の第一の例の処理内容をフローチャートで示したものである。この処理は、図１に示した顕微鏡システムにおいて、観察状態切り替えボタン２０８の押下操作に応じた観察状態の切り替えを実現するための処理である。制御回路１０２では、ＲＯＭに格納されている所定の制御プログラムを演算処理装置が読み出して実行することによって、この観察状態切り替え処理が制御回路１０２によって行えるようになる。

図７において、まず、Ｓ３０１では、観察状態切り替えボタン２０８に対する押下操作が検出されたか否かを判定する処理が行われ、この押下操作が検出されるまで（判定結果がＹｅｓとなるまで）Ｓ３０１の処理が繰り返される。

Ｓ３０２では、押下操作が検出された観察状態切り替えボタン２０８に付されている番号を取得する処理が行われる。
Ｓ３０３では、取得された番号（観察状態番号）に対応付けられて記憶されている各ユニットの観察状態を示す情報を制御回路１０２の不揮発性メモリから読み出して取得する処理が行われる。

Ｓ３０４では、制御信号を駆動機構１０１若しくは焦準移動機構１０３に与えて、図１の顕微鏡システムの各ユニットの観察状態を取得した情報に従うように変化させる処理が行われ、その後はＳ３０１へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

以上までの処理が観察状態切り替え処理の第一の例である。この処理を制御回路１０２が実行することにより、操作部１０４の観察状態切り替えボタン２０８に対する押下操作が検出される度に顕微鏡システムが備えている各電動部を制御して、各ユニットの観察状態を、不揮発性メモリに記憶されているもののうち、押下操作の検出された観察状態切り替えボタン２０８の番号に対応するものへ切り替える動作が図１の顕微鏡システムにおいて行われる。

このように、本実施例によれば、図１に示した顕微鏡システムにおいて、観察手順を観察状態設定として前述したようにして保存しておくことにより、操作者は操作部１０４の観察状態切り替えボタン２０８を順次選択して押下操作するだけでサンプルの検査を進めることができる。これにより、従来は、操作者が観察手順を覚えておくようにして、若しくは手順書等を参照して、対物レンズや観察法を切り替え、付随するユニットを操作し、開口絞りの径やランプ等を調整していかなければならなかった煩雑な検査作業が容易になる結果、検査の効率が向上する。

また、図１に示した顕微鏡システムでは、例えばサンプルに欠陥を見つけた場合に行う別の検査手順を予め登録しておくようにしておけば、検査中にサンプルに欠陥を見つけた場合に、設定切り替えボタン２１１や設定切り替えボタン３１８を検査中に押下操作して観察状態の切り替えを行って観察することができるので、検査を容易に進めることができる。

以上のように、本実施例によれば。図１に示した顕微鏡システムにおいて、観察状態の切り替えを容易に行えるので、より簡単で、操作性が良く、効率的な観察が行える。
なお、以上までに説明した実施例では、設定消去ボタン３１７を観察状態設定画面１０８に１つのみ設けるようにしていた。この代わりに、設定ボタン３１６のように、各々のユニット毎に設定消去ボタン３１４を設けるようにし、ユニット毎に個別に観察状態の情報の表示を消去できるようにしてもよい。また、一旦設定情報を消去する指示を行う設定消去ボタン３１７を設ける代わりに、各ユニットの状態を設定しないことを指示するボタンを設けるようにしてもよい。

また、ユニットが顕微鏡本体１に対して着脱可能なものである場合には、当該ユニットが顕微鏡本体１に接続されたこと検出して制御回路１０２に通知するセンサを設けるようにし、制御回路１０２は、コンピュータ１０６に指示を与え、操作ボタンや選択状態表示部３０２等のうち、接続されていないユニットに関連するものについては観察状態設定表示画面１０７及び観察状態設定画面１０８に表示しないようにしてもよい。また、センサを設ける代わりに、予め使用するユニットを操作者が選択して制御回路１０２に指示するようにして、使用しないユニットに関連するものについては観察状態設定表示画面１０７及び観察状態設定画面１０８に表示しないようにしてもよい。

また、本実施例では、設定ボタン３１６を観察状態設定画面１０８にユニット毎に設けるようにしていた。この代わりに、設定消去ボタン３１７のように、観察状態設定画面１０８に設定ボタン３１６を１つのみ設けるようにし、全てのユニットの観察状態の情報の表示を一括して行うようにしてもよい。また、全てのユニットの観察状態の情報の表示を一括して行う代わりに、観察状態の情報を一括表示させるユニットをボタン等で選択できるようにし、選択されたユニットについての観察状態の情報のみが、設定ボタン３１６に対する押下操作に応じて選択状態表示部３０２に表示されるようにしてもよい。

また、本実施例では、設定ボタン３１６を押下操作すると、その時点における顕微鏡システムの各ユニットの観察状態を示す情報が選択状態表示部３０２に表示されるようにしていた。この代わりに、各ユニットの観察状態を示す情報を表示する表示部を、選択状態表示部３０２とは別個に観察状態設定画面１０８にもう１組設けるようにし、操作部１０４若しくは観察状態設定画面１０８に設けられている、各ユニットの駆動指示を行うためのいずれかの操作ボタンに対して押下操作を行ったときには、押下操作された操作ボタンに対応するユニットを動作させずに、新たに設けた表示部での表示情報が更新されるようにし、その後に設定ボタン３１６を押下操作すると、その時点での新たに設けた表示部での表示情報が選択状態表示部３０２に反映するようにしてもよい。

また、操作部１０４若しくは観察状態設定画面１０８に設けられている、各ユニットの駆動指示を行うためのいずれかの操作ボタンに対して押下操作を行ったときに、押下操作された操作ボタンに対応するユニットを動作させると共に、各ユニットの動作後の観察状態を示す情報が直ちに選択状態表示部３０２に表示されるようにして、設定ボタン３１６を観察状態設定画面１０８から削除するようにしてもよい。

また、本実施例では、各ユニットの観察状態の設定を、観察状態設定画面１０８に備えられている各種のボタン表示を利用して行うようにしていた。この代わりに、操作部１０４に設けられたボタンスイッチを利用して、この設定を行うようにしてもよい。例えば、図２に示した操作部１０４における設定ボタン２０９を押下操作した後に続けて観察状態切り替えボタン２０８の１つを押下操作すると、制御回路１０２が、押下操作したボタンの番号に対応する観察状態番号に、その時点における各ユニットの観察状態を示す情報を対応付けて記憶するようにし、設定消去ボタン２１０を押下操作した後に続けて観察状態切り替えボタン２０８の１つを押下操作すると、制御回路１０２が、押下操作したボタンの番号に対応する観察状態番号に対応付けて記憶していた各ユニットの観察状態を示す情報の記憶を消去するようにしてもよい。

また、本実施例では、図２に示した操作部１０４の観察状態切り替えボタン２０８の個数と、図３に示した観察状態設定表示画面１０７における観察状態番号３０３の数とをいずれも６個としていたが、これより少なくしても多くしてもよい。

また、本実施例では、各ユニットの観察状態の設定を制御回路１０２内の不揮発性メモリで記憶し保持するようにしていたが、この設定の記憶を制御回路１０２内のＲＡＭで行うようにしてもよく、あるいは、コンピュータ１０６が有している記憶装置で行うようにしてもよい。また、コンピュータ１０６に対して着脱可能なメモリカード等の可搬型の記憶媒体で記憶しておくようにしてもよい。

また、本実施例では、各ユニットの観察状態の設定を１組（６通り）保存できるようにしていた。この代わりに、各ユニットの観察状態の設定を制御回路１０２で複数組保存できるようにし、観察状態の設定を再現する場合に、複数組保存されている観察状態のうちから１組を選択して再現するようにしてもよい。なお、この場合には、操作部１０４における設定切り替えボタン２１１若しくは観察状態設定表示画面１０７における設定切り替えボタン３１８に対する押下操作に応じて、観察状態切り替えボタン２０８の番号（すなわち観察状態番号３０３）と組毎の各ユニットの観察状態の設定との対応関係の切り替えを行うようにするとよい。

以下、図１に示した顕微鏡システムを上述したように動作させるための構成について説明する。
まず、図８について説明する。同図は、制御回路１０２の有する不揮発性メモリのメモリマップの一部を示している。

このメモリマップは、各ユニットについての光路に対する挿脱又は開閉の状態を１つの観察状態として纏めた上で、観察状態番号に対応付けられている複数の観察状態が不揮発性メモリに記録されており、且つ、該複数の観察状態からなる観察状態の組が複数組不揮発性メモリに記録されて保存されていることを示している。

ここで図９について説明する。同図は、制御回路１０２によって行われる制御処理のひとつである、設定切り替え処理の処理内容をフローチャートで示したものである。この処理は、図１に示した顕微鏡システムにおいて、設定切り替えボタン２１１若しくは３１８に対する押下操作に応じて、複数組保存されている顕微鏡システムの各ユニットの観察状態から１組を選択するための処理である。制御回路１０２では、ＲＯＭに格納されている所定の制御プログラムを演算処理装置が読み出して実行することによって、この設定切り替え処理が制御回路１０２によって行えるようになる。

図９において、まず、Ｓ４０１では変数ｍに「１」を代入する処理が行われる。
Ｓ４０２では、設定切り替えボタン２１１若しくは３１８に対する押下操作が検出されたか否かを判定する処理が行われ、この押下操作が検出されるまで（判定結果がＹｅｓとなるまで）Ｓ４０２の処理が繰り返される。

Ｓ４０３では、押下操作が検出された設定切り替えボタン２１１若しくは３１８が、昇順の変更を示すもの（「ＮＥＸＴ」ボタン）であるか、降順の変更を示すもの（「ＢＡＣＫ」ボタン）であるかを判定する処理が行われ、昇順の変更を示すものであると判定されたときにはＳ４０４に処理を進め、降順の変更を示すものであると判定されたときにはＳ４０７に処理を進める。

Ｓ４０４では、変数ｍの現在の値に「１」を加算した結果を改めて変数ｍに代入する処理が行われる。
Ｓ４０５では、変数ｍの現在の値が、不揮発性メモリに記憶されている観察状態の総組数を超えたか否かを判定する処理が行われる。ここで、変数ｍの値が総組数を超えたと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ４０６に処理を進め、変数ｍの値が総組数以下であると判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ４１０に処理を進める。

Ｓ４０６では、変数ｍに改めて「１」を代入する処理が行われ、その後はＳ４１０に処理を進める。
Ｓ４０７では、変数ｍの現在の値から「１」を減算した結果を改めて変数ｍに代入する処理が行われる。

Ｓ４０８では、変数ｍの現在の値が、「１」未満となったか否かを判定する処理が行われる。ここで、変数ｍの値が「１」未満となったと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ４０９に処理を進め、変数ｍの値が「１」以上であると判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ４１０に処理を進める。

Ｓ４０９では、変数ｍに、不揮発性メモリに記憶されている観察状態の総組数を示す数値を代入する処理が行われる。
Ｓ４１０では、不揮発性メモリに第ｍ組のデータとして格納されている各ユニットの観察状態を示す情報を読み出して制御回路１０２内のＲＡＭに記憶させる処理が行われ、その後はＳ４０２へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

以上までの処理が設定切り替え処理である。なお、この処理を実行する場合には、図７に示した観察状態切り替え処理におけるＳ３０３の処理では、各ユニットの観察状態を示す情報を不揮発性メモリから読み出すのではなく、上述したＳ４１０の処理において各ユニットの観察状態を示す情報を記憶させたＲＡＭの記憶領域から読み出すようにする。この結果、顕微鏡システムが備えている各電動部を制御回路１０２が制御して、各ユニットの観察状態を、不揮発性メモリに記憶されているもののうち観察状態のうち設定切り替えボタン２１１若しくは３１８に対する押下操作により選択された組に含まれているもののいずれかへと切り替える動作が図１の顕微鏡システムにおいて行われる。

なお、上述したようにした各ユニットの観察状態についての複数組の設定を制御回路１０２で保存する代わりに、当該観察状態についての設定の複数組分を１つのグループとし、更に、使用者別あるいは試料別等で、複数グループの設定を制御回路１０２で保存できるようにしてもよい。

また、本実施例において、図１に示した顕微鏡システムの動作モードとして、観察状態の切り替えを行う動作モード（図７に示した観察状態切り替え処理を制御回路１０２が実行する動作モード）と、通常観察を行う動作モードとを簡単に切り替えて使用できるように構成してもよい。すなわち、例えば、図２に示す操作部１０４に設けられている状態切り替えボタン２１２に対する押下操作に応じて、制御回路２１２が上述した２つの動作モードを切り替えるようにしてもよい。

また、このようにした場合には、図２においては観察状態切り替えボタン２０８として機能していた、観察状態切り替え動作モードにおけるボタンが、通常観察動作モードにおいては、図１０に示すように、レボルバ７を回転させて行う対物レンズ９の選択の切り替えの指示を取得する対物レンズ切り替えボタン２１４として機能するようにしてもよい。このように、観察状態切り替えボタン２０８として操作部１０４に備えられているボタン群の機能を、状態切り替えボタン２１２に対する押下操作に応じて切り替えることができるようにすることにより、操作部１０４の構成部品点数を減らすことができる結果、操作部１０４のコストダウンと小型化に寄与する。

また、観察状態切り替え動作モードの場合には、モニタ１０５の表示画面を、図１１に示す観察状態切り替え画面の第一の例のような、観察状態切り替えボタン３１９のみの画面とし、このボタン表示に対する押下操作に応じて各ユニットの観察状態の切り替えを制御回路１０２が行うようにして、より簡単に検査手順を進めることができるようにしてもよい。なお、このとき、モニタ１０５の表示画面を図１１に示すものとする代わりに、操作部１０４をタッチパネルで構成するようにして、操作部１０４のボタンを観察状態切り替えボタンのみとするようにしてもよい。

また、観察状態切り替え動作モードと通常観察動作モードとの切り替えを、状態切り替えボタン２１２に対する押下操作に応じて行う代わりに、ステージ１０をある一定距離以上下方に移動させたときには観察状態切り替えモードから通常観察動作モードに移行させるようにしてもよい。また、この代わりに、ある一定時間以内に規定回数以上所定のボタンを押下操作する、若しくは、特定の２つのボタンを同時に押下操作する、又は、特定のボタンを規定時間以上ボタンを押下操作し続ける、等の特定の条件を満たす操作が行われることで、上述した２つの動作モードを切り替えるようにしてもよい。

まず、図１２について説明する。同図は、図１に示した顕微鏡システムにおける操作部１０４の第二の構成例を示している。
図１２に示した操作部１０４は、観察状態切り替えボタン２０８が１つである点のみにおいて、図２に示した第一の例と異なっている。

なお、本実施例における観察状態設定表示画面１０７及び観察状態設定表示画面１０８の構成は、それぞれ図３及び図４に示した実施例１におけるものと同様のものとする。従って、本実施例においても観察状態番号３０３は番号「１」から番号「６」まで存在する。

本実施例では、唯一つの観察状態切り替えボタン２０８に対する繰り返しの押下操作に応じて制御回路１０２が観察状態番号３０３の選択を昇順に順次切り替えるようにする。但し、その選択が最大の番号（ここでは「６」）に達した後に押下操作がされた場合には、制御回路１０２が観察状態番号３０３の選択を最小の番号（ここでは「１」）へと切り替えるようにすることで番号の選択の切り替えを循環させる。

このように構成されている顕微鏡システムの使用法について説明する。
操作者があるサンプルの検査を行う場合を想定する。このとき、操作者は、まず、検査前に、実施例１と同様、図６に示した操作手順に従って顕微鏡システムを操作して、当該顕微鏡システムに各ユニットの観察状態を設定し保存する。

その後、サンプルの検査では、観察状態切り替えボタン２０８を繰り返し押下操作することで顕微鏡システムの観察状態を順次切り替えながらサンプルの観察を行う。その後、設定を保存したボタンの選択を全て終えると、そのサンプルに対する検査が終了する。

ここで図１３について説明する。同図は、制御回路１０２によって行われる制御処理のひとつである、観察状態切り替え処理の第二の例の処理内容をフローチャートで示したものである。この処理は、図１に示した顕微鏡システムにおいて、図１２に示した操作部１０４の観察状態切り替えボタン２０８の押下操作に応じた観察状態の切り替えを実現するための処理である。制御回路１０２では、ＲＯＭに格納されている所定の制御プログラムを演算処理装置が読み出して実行することによって、この観察状態切り替え処理が制御回路１０２によって行えるようになる。

図１３において、まず、Ｓ５０１では変数ｎに「１」を代入する処理が行われる。
Ｓ５０２では、図１２に示した操作部１０４における観察状態切り替えボタン２０８に対する押下操作が検出されたか否かを判定する処理が行われ、この押下操作が検出されるまで（判定結果がＹｅｓとなるまで）Ｓ５０２の処理が繰り返される。

Ｓ５０３では、変数ｎの現在の値に「１」を加算した結果を改めて変数ｎに代入する処理が行われる。
Ｓ５０４では、変数ｎの現在の値が、観察状態番号３０３の最大値を超えたか否かを判定する処理が行われる。ここで、変数ｎの値が観察状態番号３０３の最大値を超えたと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ５０５に処理を進め、変数ｍの値が観察状態番号３０３の最大値以下であると判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ５０６に処理を進める。

Ｓ５０５では、変数ｎに改めて「１」を代入する処理が行われる。
Ｓ５０６では、観察状態番号３０３における番号ｎに対応付けられて記憶されている各ユニットの観察状態を示す情報を制御回路１０２の不揮発性メモリから読み出して取得する処理が行われる。

Ｓ５０７では、制御信号を駆動機構１０１若しくは焦準移動機構１０３に与えて、図１の顕微鏡システムの各ユニットの観察状態を取得した情報に従うように変化させる処理が行われ、その後はＳ５０２へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

以上までの処理が観察状態切り替え処理の第二の例である。この処理を制御回路１０２が実行することにより、操作部１０４に唯一つ設けられている観察状態切り替えボタン２０８に対する押下操作が検出される度に顕微鏡システムが備えている各電動部を制御して、各ユニットの観察状態を、不揮発性メモリに記憶されているもののうちのいずれかへ、観察状態番号３０３の番号順に従って順次切り替える動作が図１の顕微鏡システムにおいて行われる。

以上のように、本実施例によれば、図１に示した顕微鏡システムにおいて、観察状態の切り替えのための操作箇所をより少なくしたことにより、観察状態の切り替えが更に容易に行うことができ、操作者が操作部１０４に視線を移す回数を減らすことができる。従って、より簡単で、操作性が良く、効率的な観察が行える。

なお、本実施例においては、観察状態切り替えボタン２０８に対する繰り返しの押下操作に応じて制御回路１０２が観察状態番号３０３の選択の切り替えを循環させるようにしていた。この代わりに、観察状態番号３０３の選択が最大の番号に達した後に押下操作がされた場合には、制御回路１０２が、顕微鏡システムの動作モードを、観察状態切り替え動作モード（図１３に示した観察状態切り替え処理を制御回路１０２が実行する動作モード）から通常観察を行う動作モードへと移行させるようにしてもよい。

また、観察状態切り替えボタン２０８に対する繰り返しの押下操作に応じて観察状態番号３０３の選択を昇順に順次切り替える代わりに、その切り替え順を操作者が予め設定できるように構成してもよい。

また、観察状態切り替えボタン２０８に対する繰り返しの押下操作に応じて観察状態番号３０３の選択を順次切り替えるときに、各システムの観察状態の設定がされていない番号については、その選択の切り替え順から飛ばして切り替えを行うようにしてもよい。また、各システムの観察状態の設定がされている番号についても、操作者が予め設定しておくことにより、その選択の切り替え順から飛ばして切り替えを行うようにしてもよい。

また、本実施例においては、操作部１０４の観察状態切り替えボタン２０８を１つのみとしていた。この代わりに、図１に示した顕微鏡システムにおける操作部１０４の第三の構成例を示している図１４のように、操作部１０４に設ける観察状態切り替えボタン２０８を２つにし、その片方は観察状態番号３０３の選択を昇順に切り替える指示のためのものとし、もう片方は観察状態番号３０３の選択を降順に切り替える指示のためのものとしてもよい。このようにすることにより、観察状態切り替えボタン２０８の操作を誤って観察状態を切り替えてしまった場合や、既に済ませた観察をもう一度戻って確認したい場合等に、操作者は、使い勝手よく観察状態を切り替えることができるようになる。

ここで図１５について説明する。同図は、制御回路１０２によって行われる制御処理のひとつである、観察状態切り替え処理の第三の例の処理内容をフローチャートで示したものである。この処理は、図１に示した顕微鏡システムにおいて、図１４に示した操作部１０４の観察状態切り替えボタン２０８の押下操作に応じた観察状態の切り替えを実現するための処理である。制御回路１０２では、ＲＯＭに格納されている所定の制御プログラムを演算処理装置が読み出して実行することによって、この観察状態切り替え処理が制御回路１０２によって行えるようになる。

図１５において、まず、Ｓ６０１では変数ｎに「１」を代入する処理が行われる。
Ｓ６０２では、観察状態切り替えボタン２０８に対する押下操作が検出されたか否かを判定する処理が行われ、この押下操作が検出されるまで（判定結果がＹｅｓとなるまで）Ｓ６０２の処理が繰り返される。

Ｓ６０３では、押下操作が検出された観察状態切り替えボタン２０８が、昇順の変更を示すもの（「ＮＥＸＴ」ボタン）であるか、降順の変更を示すもの（「ＢＡＣＫ」ボタン）であるかを判定する処理が行われ、昇順の変更を示すものであると判定されたときにはＳ６０４に処理を進め、降順の変更を示すものであると判定されたときにはＳ６０７に処理を進める。

Ｓ６０４では、変数ｎの現在の値に「１」を加算した結果を改めて変数ｎに代入する処理が行われる。
Ｓ６０５では、変数ｎの現在の値が、観察状態番号３０３の最大値を超えたか否かを判定する処理が行われる。ここで、変数ｎの値が観察状態番号３０３の最大値を超えたと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ６０６に処理を進め、変数ｍの値が観察状態番号３０３の最大値以下であると判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ６１０に処理を進める。

Ｓ６０６では、変数ｎに改めて「１」を代入する処理が行われ、その後はＳ６１０に処理を進める。
Ｓ６０７では、変数ｎの現在の値から「１」を減算した結果を改めて変数ｎに代入する処理が行われる。

Ｓ６０８では、変数ｎの現在の値が、「１」未満となったか否かを判定する処理が行われる。ここで、変数ｎの値が「１」未満となったと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ６０９に処理を進め、変数ｎの値が「１」以上であると判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ６１０に処理を進める。

Ｓ６０９では、変数ｎに、観察状態番号３０３の最大値を代入する処理が行われる。
Ｓ６１０では、観察状態番号３０３における番号ｎに対応付けられて記憶されている各ユニットの観察状態を示す情報を制御回路１０２の不揮発性メモリから読み出して取得する処理が行われる。

Ｓ６１１では、制御信号を駆動機構１０１若しくは焦準移動機構１０３に与えて、図１の顕微鏡システムの各ユニットの観察状態を取得した情報に従うように変化させる処理が行われ、その後はＳ６０２へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

以上までの処理が観察状態切り替え処理の第三の例である。この処理を制御回路１０２が実行することにより、操作部１０４に２つ設けられている観察状態切り替えボタン２０８のいずれかに対する押下操作が検出される度に顕微鏡システムが備えている各電動部を制御して、各ユニットの観察状態を、不揮発性メモリに記憶されているもののうちのいずれかへ、観察状態番号３０３の番号順における昇順又は降順に順次切り替える動作が図１の顕微鏡システムにおいて行われる。

なお、本実施例においては、観察状態切り替えボタン２０８を操作部１０４に設けていた。この代わりに、モニタ１０５に表示させるＧＵＩ用の画面に設けて操作者からの観察状態の切り替え指示をＧＵＩにより受け取るようにしてもよく、また、操作部１０４と別個の専用のユニットに設けてもよい。また、観察状態の切り替え指示を操作者の音声を受け取って音声認識処理を施し、その処理結果に従って観察状態の選択の切り替え順（昇順、降順の識別）を識別するようにしてもよい。

まず、図１６について説明する。同図は、観察状態切り替え画面の第二の例を示している。コンピュータ１０６がモニタ１０５に表示させるこの画面の特徴は、画面全体が、予め設定し記憶させておいた顕微鏡システムの各ユニットの観察状態の切り替えの指示に用いるボタン表示である、観察状態切り替えボタン３２０となっている点にある。

なお、本実施例における観察状態設定表示画面１０７及び観察状態設定表示画面１０８の構成は、それぞれ図３及び図４に示した実施例１におけるものと同様のものとする。従って、本実施例においても観察状態番号３０３は番号「１」から番号「６」まで存在する。

本実施例では、観察状態切り替えボタン３２０に対する繰り返しの押下操作に応じて、実施例２と同様に、制御回路１０２が観察状態番号３０３の選択を昇順に順次切り替えるようにする。但し、その選択が最大の番号（ここでは「６」）に達した後に押下操作がされた場合には、制御回路１０２が観察状態番号３０３の選択を最小の番号（ここでは「１」）へと切り替えるようにすることで番号の選択の切り替えを循環させる。

このように構成されている顕微鏡システムの使用法について説明する。
操作者があるサンプルの検査を行う場合を想定する。このとき、操作者は、まず、検査前に、実施例１と同様、図６に示した操作手順に従って顕微鏡システムを操作して、当該顕微鏡システムに各ユニットの観察状態を設定し保存する。

その後、サンプルの検査では、観察状態切り替えボタン３２０を繰り返し押下操作することで顕微鏡システムの観察状態を順次切り替えながらサンプルの観察を行う。その後、設定を保存したボタンの選択を全て終えると、そのサンプルに対する検査が終了する。

観察状態切り替えボタン３２０の押下操作に応じた観察状態の切り替えを実現するには、図１３に処理内容を示した観察状態切り替え処理の第二の例を制御回路１０２に実行させるようにすればよい。但し、図１３のＳ５０２の処理では、操作部１０４における観察状態切り替えボタン２０８に対する押下操作が検出されたか否かを判定する代わりに、観察状態切り替えボタン３２０に対する押下操作が検出されたか否かを判定するようにする。

以上のように、本実施例によれば、顕微鏡システムとは別体である単独の操作部として観察状態切り替えボタン３２０をモニタ１０５での表示画面にボタン表示として設けるようにしたことにより、図１に示した顕微鏡システムの観察状態を切り替えるための操作箇所が当該画面内の任意の場所でよいので、操作者は、全く画面に視線を移すことなく、サンプルの観察を継続したまま観察状態を切り替えることができる。

なお、本実施例においては、画面上の観察状態切り替えボタン３２０を１つのみとした。この代わりに、顕微鏡システムとは別体である単独の操作部として２つの観察状態切り替えボタンをモニタ１０５での表示画面にボタン表示として設けるようにしもよい。すなわち、観察状態切り替え画面の第三の例を示している図１７のように、画面全体を２分割して観察状態切り替えボタン３２１及び３２２とし、観察状態切り替えボタン３２１は観察状態番号３０３の選択を昇順に切り替える指示のためのものとし、観察状態切り替えボタン３２２は観察状態番号３０３の選択を降順に切り替える指示のためのものとしてもよい。全体の画面をこの程度に分割して形成したボタン表示であれば、操作者は、全く画面に視線を移すことなく、サンプルの観察を継続したまま観察状態を切り替えることができ、しかも、ボタンの操作を誤って観察状態を切り替えてしまった場合や、既に済ませた観察をもう一度戻って確認したい場合等に、操作者は、使い勝手よく観察状態を切り替えることができるようになる。

観察状態切り替えボタン３２１若しくは３２２の押下操作に応じた観察状態の切り替えを実現するには、図１５に処理内容を示した観察状態切り替え処理の第三の例を制御回路１０２に実行させるようにすればよい。但し、図１５のＳ６０２の処理では、操作部１０４における観察状態切り替えボタン２０８に対する押下操作が検出されたか否かを判定する代わりに、観察状態切り替えボタン３２１若しくは３２２に対する押下操作が検出されたか否かを判定するようにする。

なお、図１７に示した画面例では、画面を左右に２等分して観察状態切り替えボタン３２１及び３２２を形成していた。この代わりに、観察状態切り替えボタン３２１及び３２２を形成するための画面全体の分割の仕方として、上下分割や対角線を境界とする分割などとしてもよい。また、画面分割の割合についても、例えば、昇順の選択切り替えの指示に用いる観察状態切り替えボタン３２１を画面の大半とし、降順の選択切り替えの指示に用いる観察状態切り替えボタン３２２については、画面隅の小さな領域とするようにしてもよい。

また、この他、図１６のような画面上に唯一つの観察状態切り替えボタン３２０又は図１７のような画面上に２つ設けられる観察状態切り替えボタン３２１及び３２２の各々を、画面全体に渡って形成する代わりに、画面の大半、例えば５０％以上等の大きさとして形成し、残りの領域に、操作部１０４に設けていた設定切り替えボタン２１１や状態切り替えボタン２１２に相当するボタン表示を小さく形成するようにしてもよい。

また、本実施例では、図１６及び図１７に示した観察状態切り替え画面をコンピュータ１０６がモニタ１０５に表示するようにしていた。この代わりに、画像表示部と当該画像表示部に重ねて配置されるタッチパネルとを用いて操作部１０４を構成し、画像表示部に表示した上述の観察状態切り替え画面に従って操作者が行うタッチパネルに対するタッチ操作を制御回路１０２が検出し、そのタッチ操作に対応付けられている処理を制御回路１０２が行うようにしてもよい。

その他、本発明は、上述した実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
例えば、上述した実施形態においては、電動により光路に対して挿脱され又は開閉される光学部材として、視野絞り４、開口絞り５、観察法切り替えユニット６に取り付けられている各種のキューブ、レボルバ７に取り付けられている対物レンズ９、ＤＩＣプリズムユニット８、アナライザユニット１３などが顕微鏡本体１に備えられていたが、この他のものでもよい。

本発明を実施する顕微鏡システムの構成を示す図である。 操作部の第一の構成例を示す図である。 観察状態設定表示画面の画面例を示す図である。 観察状態設定画面の画面例を示す図である。 観察状態設定制御処理の処理内容をフローチャートで示した図である。 各ユニットの観察状態を顕微鏡システムに設定し保存するために操作者が行う操作手順をフローチャートで示した図である。 観察状態切り替え処理の第一の例の処理内容をフローチャートで示した図である。 制御回路の要する不揮発性メモリのメモリマップの一部を示す図である。 設定切り替え処理の処理内容をフローチャートで示した図である。 図２に示した操作部に設けられているボタンの機能の変更を説明する図である。 観察状態切り替え画面の第一の例を示す図である。 操作部の第二の構成例を示す図である。 観察状態切り替え処理の第二の例の処理内容をフローチャートで示した図である。 操作部の第三の構成例を示す図である。 観察状態切り替え処理の第三の例の処理内容をフローチャートで示した図である。 観察状態切り替え画面の第二の例を示す図である。 観察状態切り替え画面の第三の例を示す図である。

符号の説明

１ 顕微鏡本体
２ 落射照明用光源
３ 光照明系レンズ
４ 視野絞り
５ 開口絞り
６ 観察法切り替えユニット
６ａ 明視野観察用キューブ
６ｂ 暗視野観察用キューブ
６ｃ 微分干渉観察用キューブ
７ レボルバ
８ ＤＩＣプリズムユニット
９ 対物レンズ
１０ ステージ
１１ 試料
１２ ＡＦユニット
１３ アナライザユニット
１４ 結像レンズ
１５ ミラー
１６ 鏡筒双眼部
１７ 結像位置
１０１ 駆動機構
１０２ 制御回路
１０３ 焦準移動機構
１０４ 操作部
１０５ モニタ
１０６ コンピュータ
１０７ 観察状態設定表示画面
１０８ 観察状態設定画面
２０１、３０６ キューブ切り替えボタン
２０２、３０７ ランプ調整ボタン
２０３、３０８ ステージ駆動ボタン
２０４、３０９ 開口絞り調整ボタン
２０５、３１１ レボルバ切り替えボタン
２０６、３１０ ＡＦボタン
２０７、３１２ ＤＩＣプリズム調整ボタン
２０８、３１９、３２０、３２１、３２２ 観察状態切り替えボタン
２０９ 設定ボタン
２１０ 設定消去ボタン
２１１ 設定切り替えボタン
２１２、 状態切り替えボタン
２１３ 焦準移動ハンドル
２１４ 対物レンズ切り替えボタン
３０１ 設定画面切り替えボタン
３０２、３０４ 選択状態表示部
３０３、３０５ 観察状態番号
３０６ キューブ切り替えボタン
３１３ アナライザ切り替えボタン
３１４ 設定完了ボタン
３１５ 設定取り消しボタン
３１６ 設定ボタン
３１７ 設定消去ボタン
３１８ 設定切り替えボタン

Claims (8)

1. 電動により光学部材を制御する電動手段と、
   光路上の前記光学部材の制御情報を観察状態として検出する検出手段と、
   各種の指示を取得する指示取得手段と、
   前記指示取得手段が観察状態の記録を要求する指示を取得したときに前記検出手段が検出していた観察状態を複数記録する記録手段と、
   前記指示取得手段が観察状態を設定する要求の指示を取得する度に前記電動手段を制御して、前記観察状態を前記記録手段に記録されている観察状態のいずれかへと切り替える制御手段と、
   を有することを特徴とする顕微鏡システム。
2. 前記指示取得手段は、観察状態を設定する要求の指示を取得する設定要求指示取得手段を複数有しており、
   前記記録手段は、前記観察状態の各々を前記設定要求指示取得手段のうちのいずれかに対応付けて記録し、
   前記制御手段は、前記設定要求指示取得手段が観察状態を設定する要求の指示を取得したときに前記電動手段を制御して、前記観察状態を、該指示を取得した設定要求指示取得手段に対応付けられて前記記録手段に記録されている観察状態へと切り替える、
   ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡システム。
3. 前記指示取得手段は、観察状態を設定する要求の指示を取得する設定要求指示取得手段を１つのみ有しており、
   前記制御手段は、前記設定要求指示取得手段が観察状態を設定する要求の指示を取得する度に前記電動手段を制御して、前記観察状態が、前記記録手段に記録されている観察状態のうちのいずれかへと順次切り替える、
   ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡システム。
4. 前記指示取得手段は、観察状態を設定する要求の指示を取得する設定要求指示取得手段を２つ有しており、
   前記記録手段は、前記観察状態の各々に順序を付して該観察状態を記録し、
   前記制御手段は、前記設定要求指示取得手段が観察状態を設定する要求の指示を取得する度に前記電動手段を制御して行う、前記観察状態の前記記録手段に記録されている観察状態のいずれかへの切り替えを、前記順序における、該指示を取得したものが２つの設定要求指示取得手段のうちのどちらであるかに応じて定まる昇順又は降順に従って行う、
   ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡システム。
5. 前記記録手段は、１つ以上の前記光学部材の各々についての前記挿脱又は開閉の状態を１つの観察状態として纏めた上で複数の該観察状態を記録するものであって、且つ、該複数の観察状態からなる観察状態の組を複数組記録し、
   前記指示取得手段が観察状態の組を選択する要求の指示を取得したときに、前記記録手段に記録されている複数組の観察状態の組から１組を選択する選択手段を更に有し、
   前記制御手段は、前記電動手段を制御して、前記観察状態を、前記記録手段に記録されている観察状態のうち前記選択手段により選択された組に含まれているもののいずれかへと切り替える、
   ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡システム。
6. 前記設定要求指示取得手段を、前記顕微鏡システムとは別体である単独の操作部として備えたことを特徴とする請求項３に記載の顕微鏡システム。
7. ２つの前記設定要求指示取得手段を、前記顕微鏡システムとは別体である単独の操作部として備えたことを特徴とする請求項４に記載の顕微鏡システム。
8. 前記指示取得手段として備えられている操作部のうち観察状態を設定する要求の指示の取得のために設けられている操作部の機能を切り替える機能切り替え手段を更に有することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡システム。