JP2008143088A - ノズルプレートの製造方法、液体吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 くびれ形状のノズルを精度よく形成すること。
【解決手段】 （Ａ）多孔質基板２２上にレジストからなる感光層２４１を形成する工程と、（Ｂ），（Ｃ）感光層２４１上に非透光性材料からなりＲ形状開口部５１ｂを有するＲ形状開口層３２を形成する工程と、（Ｄ）感光層２４１のＲ形状開口層３２が形成されている側の面に対して斜め方向から露光用の光を入射させつつ、多孔質基板２２を回転させて、Ｒ形状開口層３２を露光マスクとして用いて感光層２４１を露光することにより、感光層２４１中にテーパ形状感光部２５ａを形成する工程と、現像してテーパ形状感光部２５ａを残し非感光部を除去する工程と、テーパ形状感光部２５ａを型として用いて、Ｒ形状開口部５１ｂに連結したテーパ形状開口部を有するテーパ形状開口層を形成する工程と、テーパ形状感光部２５ａおよび多孔質基板２２を除去する工程を備えた。
【選択図】 図１２

Description

本発明はノズルプレートの製造方法に係り、特に、インクジェットヘッドに代表される液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートの製造方法、及びこれにより製造されるノズルプレートを備える液体吐出ヘッド並びに画像形成装置に関する。

インクジェット記録装置は、液体吐出ヘッドの微細なノズル（液体吐出口）からインクを吐出して記録媒体上に画像を形成する方式であるため、ノズルが形成されるノズルプレートは、インクの吐出性能を決める非常に重要な部材の一つである。ノズルの形状等によりインクの吐出性能が大きく異なるとともに、多数のノズルについて吐出性能の均一化のために高い寸法精度が要求される。

特に、近年インクジェット記録の分野においては、高速高画質化の必要性が一段と高まり、高粘度インクを用いたワンパス記録（ページワイドの液体吐出ヘッドによる１副走査送りの記録）のシステムが開発されているが、液体吐出ヘッドのノズル部分には、流路抵抗を下げるための薄肉広角化が求められ、また、画像の濃度ムラを低減するための高精度化、ページワイドの広幅記録を実現するための多ノズル化、安定稼働のための高信頼化が求められている。

ノズルプレートの製造技術に関し、特許文献１には、基板の表裏から両面露光を行うことにより、高アスペクト比のザグリ付き金属テーパノズルを形成する技術が開示されている。テーパ形状の開口部の形成には、拡散板を用いて拡散光による露光を行う例のほか、基板を傾斜回転させて露光を行う例が記載されている。

特許文献２には、ノズル撥液部を表面に向って開口が大きくなるようなラウンド形状にすることで、ワイピング性や噴射安定性を改善する技術が開示されている。撥液材はディスペンサにより塗布される。

特許文献３には、所謂「くびれ」形状のノズルを形成し、着弾誤差を改善する技術が開示されている。「くびれ」形状の例として、ノズルプレートの厚さ方向において液体流入側から液体吐出側に向かって狭くなる順テーパ形状部と、この順テーパ形状部に連結し、ノズルプレートの厚さ方向において液体流入側から液体吐出側に向かって広くなる逆テーパ形状部とにより構成されたものが記載されている。
特開平７−３２９３０４号公報 特開２００６−５１８０８号公報 特開２００１−１８７４５１号公報

ノズルが直線状である場合には、メニスカス位置が安定しないという課題がある。また、ノズルの液体吐出面と成す角部が鋭いとワイピング部材の摺動や記録用紙のジャミングに因る損傷を受け易いという問題もある。また、ノズルの液体流入側は、ノズルへの液体のリフィル性の観点から、液体流入側に向けて広角で開いた形状であることが、好ましい。したがって、ノズルの液体流入側が順テーパ形状（ノズルプレートの厚さ方向において液体流入側から液体吐出側に向かって狭くなる形状）であって液体吐出側が逆テーパ形状（ノズルプレートの厚さ方向において液体流入側から液体吐出側に向かって広くなる形状）である、所謂「くびれ」形状のノズルが求められている。

しかしながら、「くびれ」形状の広角ノズルを精度よく一括して形成することは困難である。

特許文献１に開示された発明は、基板の表裏から両面露光を行うので、加工時のハンドリングが容易でないだけでなく、基板の表側と裏側とでノズルの軸線ズレが生じ易い。また、拡散光による露光では、形状制御が困難であり、形状バラツキも生じやすい。

特許文献２に開示された発明は、撥液材をディスペンサで塗布して自ずと曲面形状を形成する方式であるため、形状バラツキが生じやすい。

また、特許文献３に開示された発明は、ケラー照明系を利用した比較的ＮＡ（開口数）の大きな露光により、１２°程度のテーパを形成しているが、ＮＡを大きくするには限界があり、例えば、粘度１０〜２０ｍＰａ・ｓの高粘度液を２０〜４０ｋＨｚの高吐出周波数で高速吐出するために必要と見込まれる２０〜４０°の広角テーパの形成は難しい。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、メニスカス位置が安定する「くびれ」形状の広角ノズルを精度よく一括形成できるノズルプレートの製造方法を提供することを目的とし、併せて、かかる製造方法により製造されるノズルプレートを用いた液体吐出ヘッド、並びにこれを用いた画像形成装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、所定の基板の一方の面に感光性材料からなる感光層を形成する工程と、前記感光層上に、露光用の光を透過しない非透光性材料からなり、周縁が曲面状の曲面付き開口部を有する曲面付き開口層を形成する曲面付き開口層形成工程と、前記感光層の前記曲面付き開口層が形成されている側の面に対して斜め方向から露光用の光を入射させつつ、前記基板を回転させて、前記曲面付き開口層を露光マスクとして用いて前記感光層を露光することにより、前記感光層中にテーパ形状感光部を形成する露光工程と、前記感光層を現像して、前記感光層のうちで前記テーパ形状感光部を残し非感光部を除去する現像工程と、前記テーパ形状感光部を型として用いて、前記曲面付き開口部に連結したテーパ形状開口部を有するテーパ形状開口層を形成するテーパ形状開口層形成工程と、前記テーパ形状感光部および前記基板を除去する除去工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

このような製造方法によって得られたノズルプレートは、テーパ形状開口層を液体流入側に配置して曲面付き開口層を液体吐出側に配置した場合には、ノズルプレートの厚さ方向において液体流入側から液体吐出側に向けて狭くなるテーパ形状開口部と、このテーパ形状開口部に連結し、ノズルプレートの厚さ方向において液体流入側から液体吐出側に向けて広くなる曲面付き開口部とによって、「くびれ」形状のノズルが構成される。

その一方で、曲面付き開口層を液体流入側に配置してテーパ形状開口層を液体吐出側に配置することにより、ノズルプレートの厚さ方向において液体流入側から液体吐出側に向けて狭くなる曲面付き開口部と、この曲面付き開口部に連結し、ノズルプレートの厚さ方向において液体流入側から液体吐出側に向けて広くなるテーパ形状開口部とによって、「くびれ」形状のノズルを構成してもよい。

この発明によれば、曲面付き開口層を露光マスクとして用い、感光層の曲面付き開口層が形成されている面に対して斜め方向から露光用の光を入射させつつ基板を回転させる露光（いわゆる傾斜回転露光）を行うことによりテーパ形状開口部の型としてのテーパ形状感光部を形成し、このテーパ形状感光部を型として用いて曲面付きの開口部に連結したテーパ形状開口部を形成するので、表裏両面から露光する従来技術を用いる場合や、曲面付き開口層を別ピースとして形成する場合などと比較して、曲面付き開口部の軸線とテーパ形状開口部の軸線とをズレないようにでき、しかも加工時のハンドリング性がよい。このように軸対称の「くびれ」形状ノズルを加工時のハンドリング性よく形成できるので、メニスカス位置が安定するだけでなく飛翔曲がりが解消されることにより着弾位置バラツキが少なく、ワイピング耐性も良い、高品質のノズルプレートを、容易に、提供できることになる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記曲面付き開口層形成工程は、非導電性の前記感光層上に、開口パターンを有する第１の導電膜を形成するパターニング工程と、前記第１の導電膜を電極として用いて電鋳を行い、前記第１の導電膜上を覆うとともに前記第１の導電膜の開口縁からオーバハングした非透光性の第２の導電膜を形成するオーバハング電鋳工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、開口パターンを有する第１の導電膜を電極として用いて電鋳を行い、該第１の導電膜の開口縁からその内壁へ向けてオーバハングした第２の導電膜（オーバハング金属膜）を形成するので、第２の導電膜を薄膜にしてその膜厚に応じた高い曲率を有する高精細なＲ形状（曲面状）を、容易に、一括形成できることになる。すなわち、比較的剛性の高い金属材料を用いて、２次元マトリックスなどのノズル配置の高密度化に適した高精細な「くびれ」形状のノズル有するノズルプレートを容易に提供できることになる。例えば、ポリイミドからなる板状部材にレーザ穿孔する場合と比較して、高剛性、高精度に一括形成可能である。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記オーバハング電鋳工程は、金属材料および撥液性材料を含む電鋳液を用い、該電鋳液中の撥液性材料を金属材料とともに前記第２の導電膜として共析させることを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、金属材料および撥液性材料を含む電鋳液を用いて、撥液性材料を金属材料とともに第２の導電膜として共析させることにより、液体吐出側の撥液部（曲面付き開口部）と液体流入側の非撥液部（テーパ形状開口部）との境界が、くびれ位置と一致することになるので、メニスカス位置が更に安定し、吐出安定性が更に向上することになる。また、吐出面に撥液性を有するのでインクの付着やワイピング性も向上する。

請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３の何れか１項に記載の発明において、前記基板は、多孔質材料によって構成され、前記テーパ形状開口層形成工程は、前記曲面付き開口層を電極として用いた電鋳により行うことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、多孔質部材を有する基板を介して電鋳液および電流を速やかに流すことができるので、基板と曲面付き開口層との間に電鋳液を十分に供給しつつテーパ形状開口層を均質且つ速やかに成長させることができる。

請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４の何れか１項に記載の発明において、前記曲面付き開口層形成工程よりも前に、前記感光層の一部を露光して前記感光層を厚さ方向に貫通するまで前記感光層を感光させることにより、形成しようとする前記テーパ形状感光部の周囲に位置させ且つ前記基板と前記曲面付き開口層との間に介在させる支持材を形成する支持材形成工程を更に備えたことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、基板と曲面付き開口層との間にブリッジとして介在する支持材を容易に形成でき、テーパ形状開口層を安定して電鋳形成できる。また、支持材を型として用いてノズルプレートの液体流入面に溝部を容易に形成することもできる。このように形成された液体流入面の溝部は、ノズルプレートを他の流路構造体と接着する時の温度変化や稼働時の温度変化に因る熱応力を緩和させる機能を有し、液体吐出における更なる信頼性向上の効果を期待できる。

請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５の何れか１項に記載の発明において、前記曲面付き開口層形成工程よりも後であって前記現像工程よりも前に、前記曲面付き開口層の前記感光層が形成されている側とは反対側の面に感光性材料を付着させるとともに、該感光性材料のうちで一部を前記現像工程で除去しないで型として用いることにより、前記曲面付き開口部に連結する凹形状のザグリ部、および、前記曲面付き開口部の周囲に位置する凹形状の溝部のうちで少なくとも一方を形成することを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、曲面付き開口層の両面に付着させた感光性材料により曲面付き開口層のノズル部分の剛性が向上することによりテーパ形状開口層が安定して形成されるとともに、液体吐出面にザグリ部および溝部の少なくとも一方が形成される。曲面付き開口部に連結したザグリ部は、液体吐出面のワイピング時や被吐出媒体のジャミング時にノズルを保護する機能を有し、液体吐出の信頼性を向上させる効果を期待できる。また、曲面付き開口部の周囲に位置した溝部は、液体吐出面の余剰インクをトラップする機能を有し、液体吐出面におけるインク汚れを軽減する効果を期待できる。また、液体吐出面の溝部を、例えば液体吐出面のワイピング方向に沿って配設し、液体吐出面の溝部にワイピング性向上の機能を持たせてもよい。

請求項７に記載の発明は、露光用の光の入射角度の大小に応じて前記露光用の光の透過率が変化する特性を有する光干渉膜を有する露光マスク、または、前記光干渉膜と前記露光用の光を透過させない光遮断膜とからなる露光マスク、または、前記光遮断膜を有する露光マスクを用意し、所定の基板の一方の面に感光性材料からなる感光層を形成する工程と、前記感光層上に、前記露光用の光を透過しない非透光性材料からなり、周縁が曲面状の曲面付き開口部を有する曲面付き開口層を形成する曲面付き開口層形成工程と、前記感光層の前記曲面付き開口層が形成されている側の面に対して略垂直に前記露光用の光を入射させて、少なくとも前記曲面付き開口層を用いて前記感光層を露光する第１露光工程と、前記感光層の前記曲面付き開口層が形成されている面に対して斜め方向から露光用の光を入射させつつ前記基板を回転させて、前記曲面付き開口層および前記露光マスクを用いて、前記感光層を露光する第２露光工程と、前記感光層を現像して、前記感光層の非感光部を除去する現像工程と、前記感光層の感光部を型として用いて、前記曲面付き開口部に連結したストレート形状開口部と該ストレート形状開口部に連結したテーパ形状開口部とを有するテーパ形状開口層を形成するテーパ形状開口層形成工程と、前記感光層の感光部および前記基板を除去する除去工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、曲面付き開口部とテーパ形状開口部との間にストレート形状開口部が形成されるので、一層滑らかな「くびれ」形状が形成されることになる。

請求項８に記載の発明は、請求項１乃至７の何れか１項に記載のノズルプレートの製造方法により製造されたノズルプレートを有することを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。

請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする画像形成装置を提供する。

請求項９に記載の画像形成装置の一態様としてのインクジェット記録装置は、ドットを形成するためのインク液滴を吐出するためのノズル及び吐出圧を発生させる圧力発生素子（圧電アクチュエータ）を含む液体吐出素子を高密度に多数配置した液体吐出ヘッドを備えるとともに、入力画像から生成されたインク吐出用データ（ドット画像データ）に基づいて前記液体吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する吐出制御手段とを備え、ノズルから吐出した液滴によって記録媒体上に画像を形成する。

例えば、画像入力手段を介して入力された画像データ（印字データ）に基づいて色変換やハーフトーニング処理が行われ、インク色に応じたインク吐出データが生成される。このインク吐出データに基づいて、液体吐出ヘッドの各ノズルに対応する圧力発生素子の駆動が制御され、ノズルからインク滴が吐出される。

高解像度の画像出力を実現するためには、インク液を吐出するノズル（吐出口）と、該ノズルに対応した圧力室及び圧力発生素子とを含んで構成される液滴吐出素子（インク室ユニット）を高密度に多数配置した液体吐出ヘッドを用いる態様が好ましい。

かかる印字用の液体吐出ヘッドの構成例として、記録媒体の全幅に対応する長さにわたって複数の吐出口（ノズル）を配列させたノズル列を有するフルライン型のヘッドを用いることができる。この場合、記録媒体の全幅に対応する長さに満たないノズル列を有する比較的短尺の吐出ヘッドモジュールを複数個組み合わせ、これらを繋ぎ合わせることで全体として記録媒体の全幅に対応する長さのノズル列を構成する態様がある。

フルライン型のヘッドは、通常、記録媒体の相対的な送り方向（相対的搬送方向）と直交する方向に沿って配置されるが、搬送方向と直交する方向に対して、ある所定の角度を持たせた斜め方向に沿ってヘッドを配置する態様もあり得る。

「記録媒体」は、液体吐出ヘッドの吐出口から吐出されるインクの付着を受ける媒体（印字媒体、被画像形成媒体、被記録媒体、受像媒体、被吐出媒体など呼ばれ得るもの）であり、連続用紙、カット紙、シール用紙、ＯＨＰシート等の樹脂シート、フイルム、布、配線パターン等が形成されるプリント基板、中間転写媒体、その他材質や形状を問わず、様々な媒体を含む。

記録媒体と液体吐出ヘッドを相対的に移動させる搬送手段は、停止した（固定された）ヘッドに対して記録媒体を搬送する態様、停止した記録媒体に対してヘッドを移動させる態様、或いは、ヘッドと記録媒体の両方を移動させる態様の何れをも含む。なお、インクジェット方式の印字ヘッドを用いてカラー画像を形成する場合は、複数色のインク（記録液）の色別に印字ヘッドを配置してもよいし、１つの印字ヘッドから複数色のインクを吐出可能な構成としてもよい。

本発明によれば、メニスカス位置が安定する「くびれ」形状の広角ノズルを精度よく一括形成できる。

以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。

［露光装置］
まず、本発明の実施形態に係るノズルプレートの製造方法に用いられる傾斜回転型露光装置の構成例について概説する。

図１は露光装置の一例を示す構成図である。この露光装置１０は、主として、光源１２、照射光学系１４、液浸容器１６、透過補正板１８及びステージ２０から構成され、光源１２から出た光を、照射光学系１４によって図の下方に平行光として導き、露光マスク４０を介して、傾斜回転しているステージ２０上のレジスト（感光性材料）２４に照射して、レジスト２４を感光させる構成となっている。レジスト２４は、ステージ２０上の多孔質基板２２に付着されている。

ステージ２０は、液浸容器１６の中に配設されており、液浸容器１６に液体（例えば、純水）を導入して液体中で露光を行う液浸露光と、気体中で露光を行う通常（ドライ）露光とを切り替えることが可能である。

また、ステージ２０は、テーブル面２０ａの面内回転が可能な回転機構と、テーブル面２０ａの傾斜角（水平面に対する傾斜角、つまり、照射光の入射角度）の調節が可能な傾斜機構とを備えた傾斜回転ステージとなっている。

すなわち、ステージ２０は、テーブル面２０ａに垂直な回転軸２１（第１回転軸）に取り付けられており、該回転軸２１を中心に回転可能である。また、ステージ２０の回転軸２１は、テーブル面２０ａに直交する鉛直面内で揺動し得る機構となっており、ステージ２０の回転軸２１の揺動位置によってテーブル面２０ａの傾斜角を可変できる。さらに、ステージ２０の回転軸２１、ステージ２０および液浸容器１６の全体は、鉛直軸Ａ（第２回転軸）を中心に、鉛直軸Ａと平行な水平面内で回転可能となっている。なお、ステージ２０を傾斜回転させる機構の具体的構造については後述する。

図２（Ａ）は、図１の露光マスク４０の一例を示す要部拡大図である。図２（Ａ）において、レジスト２４の上に、図１の露光マスク４０として、形成しようとするノズルプレートの一部３２（Ｒ形状開口層）が形成されており、この露光マスク４０を介してレジスト２４に露光用の光が照射される。露光マスク４０であるノズルプレートの一部３２には、ノズルの一部５１ｂ（Ｒ形状開口部）が形成されており、このノズルの一部５１ｂを通過させた光によりレジスト２４を感光させる。

図２（Ｂ）は、図１の露光マスク４０として、光遮断膜４１および光干渉膜４２を用いた例を示す。

光遮断膜４１は、露光用の光を透過させない非透光性を有するとともに、レジスト２４を感光させるための開口４１０を有する。光遮断膜４１は、例えば、クロム（Ｃｒ）または酸化クロムからなり、スパッタリングや真空蒸着等の方法により形成される。

光干渉膜４２は、光の入射角度によって光透過率が変化する入射角度依存性を有するとともに、レジスト２４を感光させるための開口４２０を有する。光干渉膜４２は、高屈折率材料と低屈折率材料とを交互に積層形成した誘電体多層膜からなり、高屈折率材料および低屈折率材料の膜厚を調整することにより、所定の波長に対して所望の光透過率を得ることができる。また、光干渉膜４２の光透過率の入射角度依存性を利用して、レジスト２４の感光領域が制御される。

なお、露光マスク４０は、図２（Ｂ）に示したように光遮断膜４１および光干渉膜４２の両方を露光マスク４０として用いる場合に特に限定されず、光遮断膜４１のみを露光マスク４０として用いる場合もある。また、光干渉膜４２とともに、形成しようとするノズルプレートの一部（図２（Ａ）の３２）を露光マスクとして用いる場合もある。

多孔質基板２２、レジスト２４および露光マスク４０をステージ２０上に固定した状態でレジスト２４（感光層）の裏面側に空隙部４３が形成されるように、ステージ２０のテーブル面２０ａには凹部４４が形成されている。ドライ露光時には、この空隙部４３が気体で満たされて気体層が形成される。一方、液浸露光時にはこの空隙部４３が液体で満たされて液体層が形成される。また、凹部４４には、反射防止膜４６が形成されている。

また、図２（Ａ）および（Ｂ）に示したとおり、このステージ２０には、露光用の光を受光可能な受光センサ４８が埋設されており、該受光センサ４８によって露光用の光をモニタしながら露光量（すなわち、光の照射時間、または照射強度、もしくはこれらの組み合わせ）が制御される。なお、受光センサ４８が露光用の光を直接受光する場合を例に示したが、好ましくは、レジスト２４を透過した光を受光センサ４８が受光し、受光センサ４８によってレジスト２４を透過した光をモニタしながら露光量を制御する構成としてもよい。

図３は、ステージ２０に埋設されている受光センサ４８の配置例を示す平面透視図である。なお、図３では、ステージ２０上に（具体的には図１の多孔質基板２２上に）、４つのノズルプレート形成部５０が設けられた例が示されている。

なお、ノズルプレート形成部５０や受光センサ４８の形状、配置数、配置位置については、多様な形態が可能であり、図３の例に限定されない。

図４は、図１に示した露光装置１０に用いられる光源１２及び照射光学系１４の構成図である。図４に示すように、本例の露光装置１０に用いられる照明ユニット６０は、超高圧水銀ランプ６１を光源とするものである。超高圧水銀ランプ６１より発せられた光は、楕円集光ミラー６２により集光され、平面反射ミラー６３によって水平方向に光路を曲げられた後、インテグレーターレンズ６４に入射する。

インテグレーターレンズ６４によって照度分布が均一化された光は、光源フィルタ６５によって透過波長域が選択された後、平面反射ミラー６６によって鉛直方向に光路が曲げられ、コリメーターレンズ６７に入射する。コリメーターレンズ６７により平行光とされた光は、照度分布が均一な平行照射光として照射面６８に向けて照射される。

なお、本例では、図５に示す超高圧水銀ランプ６１の光源スペクトルのうち、主としてｉ線（波長＝３６５ｎｍ）及びその近傍の波長域を利用するものとし、図４で説明した光学フィルタ６５には、超高圧水銀ランプ６１の光源スペクトルのうち、ｊ線（３１３ｎｍ）や３３４ｎｍなど、ｉ線よりも短波長側の光をカットするフィルタが用いられる。

使用する光源の種類や波長は、上記の例に限定されず、使用するフォトレジストの感光特性との関係で適切な光源（波長）が選択される。本発明の実施に際し、照明用の光源として、固体レーザや半導体レーザ（例えば、波長：３５５ｎｍ、３７５ｎｍ、４０５ｎｍ）などを用いる態様も可能である。

図６は本例の露光マスク４０で用いられる光干渉膜４２における透過率の分光特性の一例を示すグラフである。横軸は波長、縦軸は透過率を示し、光の入射角度が０度、１５度、３０度、４５度の場合の特性が示されている。図６に示されているとおり、光の入射角度が大きくなるにつれて（光が斜めから照射されると）、透過波長帯域が短波長側にシフトする特性を有する。

既述のとおり、本実施例では、露光用の光源として、超高圧水銀ランプ６１のｉ線（波長＝３６５ｎｍ）が主として用いられる（図４、図５参照）。図６において波長３６５ｎｍ（ｉ線）に注目すると、入射角度が３５度以上であるときには、略０％の透過率を示し、入射角度が小さくなるにつれて透過率が次第に上昇し、入射角度が０度（垂直入射）のときには透過率が最大（本例では３０％程度）になる。このような入射角度の大小に応じて光の透過率が変化する特性を利用して、入射角度を切り替えながら露光が行われる。

次に、入射角度を可変する手段の構成について説明する。

図７は、本例の露光装置１０におけるステージの傾斜回転機構及びその周辺の構成図である。なお、液浸容器１６に液体を満たした液浸露光の場合を例に図示したが、ドライ露光時には液浸容器１６に期待が満たされる。

ステージ２０の回転軸２１は、液浸容器１６の底面を貫通する状態で取り付けられるが、この液浸容器１６を貫く接続部分には、液浸容器１６内の液体（例えば、純水７０）がこの部分より漏れないように、防水加工が施されており、また、回転軸２１の回転及び傾き角の調節（揺動）が可能なように、球面軸受７２が設けられている。

すなわち、ステージ２０の回転軸２１は、液浸容器１６の底面に取り付けられた球面軸受７２を介して液浸容器１６を貫いた状態で支持されており、回転軸２１の下端は自由継手７４を介してモータ７６（「ステージ回転モータ」という）の出力軸７８と連結されている。このステージ回転モータ７６は、直動ガイド８０に沿って摺動するスライダ８２に固定されており、モータ（「傾斜揺動モータ」という）８４の駆動によりスライダ８２と共にステージ回転モータ７６を直動ガイド８０に沿って移動させることができる。

傾斜揺動モータ８４の駆動によってスライダ８２上のステージ回転モータ７６を図７の左右方向に移動させることにより、球面軸受７２における固定点８６を中心にステージ２０の回転軸２１を揺動させることが可能であり、その揺動位置によって回転軸２１の傾斜角（すなわち、テーブル面の傾斜角）を調節できる。これにより、露光マスク４０に対する光の入射角度を変更できる。

また、ステージ回転モータ７６の駆動によって出力軸７８が回転することで、その回転力は自在継手７４を介して回転軸２１に伝達され、ステージ２０が回転する。

ステージ２０が収容される液浸容器１６には、液体ポンプ８８が設けられており、この液体ポンプ８８により液浸用液体（ここでは純水７０）の供給、排出が可能となっている。

液浸露光時には液体ポンプ８８を介して液浸容器１６内に純水７０が導入され、液浸容器１６内が純水７０で満たされる。通常露光（ドライ露光時）には液浸容器１６内から純水７０が排出され、液浸容器１６内が気体（例えば、空気）で置換される。

なお、液浸用の液体としては、純水７０の他にも露光装置に用いることを意図して調合されてなる専用の液浸用液体があり、場合によっては、このような専用液を用いることも可能である。

液浸露光を行う場合、露光マスクの周囲を覆う液体による露光光の吸収が生じる。液面に対して光を垂直に入射させ、かつ露光マスク４０に対し略垂直に光を照射する場合（垂直露光又は狭角入射露光の場合）は、液体中を進む光について露光マスク４０に到達するまでの距離（光路長）が露光マスク４０の各位置において概ね一定であるため、液体による露光光の吸収は、露光マスク４０上の各位置について光量が均一（実質的に均一と見做せる範囲の分布を有する略均一も含む）に減衰する等の問題が生じるのみである。

しかしながら、液面に対して光を垂直に入射させ、かつ露光マスク４０に対して入射角度が比較的大きい傾斜露光を行う場合では、露光光が液面に対し垂直に入射するため、液体中を進む光について露光マスク４０に到達するまでの距離（光路長）が露光マスク４０の各々の位置において場所によって異なる。この光路長の違いによる光吸収量の差によって露光マスク４０上では光量分布が生じ、これによりレジスト２４の露光が不均一となる。

具体的には、露光光が液体に入射した後、露光マスク４０の表面に到達するまでの距離（光路長）が短い領域では、露光光の減衰は少ないため、露光マスク４０の表面に到達する露光光の光量は比較的多く、露光マスク４０裏面に塗布されたフォトレジストを充分感光することができるが、露光光が液体に入射した後、露光マスク４０の表面に到達するまでの距離（光路長）が長い領域では、露光光の減衰は大きいため、露光マスク４０の表面に到達する露光光の光量は光路長が短い場合に比べ少なく、同じ露光時間ではフォトレジストを充分感光することができない。一方、光路長の長い領域において、充分に露光が行われるような露光時間で露光を行うならば、光路長の短い領域において露光オーバーとなり、光路長の長い領域と同じ状態でフォトレジストが感光しないため、フォトレジストの感光が不均一となる。

このため、本実施形態では、液体中の傾斜露光時に露光マスク４０上で均一な光量分布が得られるように、透過率分布を補正するための透過補正板１８が用いられる。この透過補正板１８は、液体に入射した光が露光マスク４０に到達するまでの距離（光路長）に対応させた透過率分布を有する透過率傾斜基板であり、液体に入射した後、露光マスク４０に到達するまでの距離（光路長）が長い領域では透過率が高く、液体に入射した後、露光マスク４０に到達するまでの距離（光路長）が短い領域では透過率が低くなるように構成されている。

この透過補正板１８は、液浸容器１６の上部に開閉ヒンジ９０を介して取り付けられており、当該透過補正板１８は開閉ヒンジ９０によって液浸容器１６の天面を封止する位置及び天面から退避した露光領域外の位置に移動可能である。

本実施の形態では、垂直露光の際、又は入射角度が比較的小さい傾斜露光（「狭角傾斜回転露光工程」という。）の際には、透過補正板１８を露光領域外に移動させ、入射角度が比較的大きい傾斜露光（「広角傾斜回転露光工程」という。）の際には透過補正板１８を露光領域内である液浸容器１６上の上部（天面を封止する位置）に移動させる。

厳密に言えば、垂直露光時又は狭角傾斜回転露光工程のときには、照度分布を生じることになるが、狭角テーパ状には、殆ど影響を与えず、実用上支障がない。なお、狭角傾斜露光工程のときも含めて、傾斜露光時の光の入射角度に対応して、それぞれ適切な透過補正板を複数種類用意しておき、傾斜露光時の光の入射角度に応じて、透過補正板を切り替えて使用する態様も可能である。

このような透過補正板１８を用いることにより、照明ユニット６０から入射した露光光が当該透過補正板１８及び液浸用の液体である純水７０を介し、露光マスク４０に到達した際、露光マスク４０上で露光光の光量が全面にわたり均一になる。こうして、傾斜回転中の光軸距離に応じた照度変化や、面内での照度分布も補正可能なため、比較的大きなサイズ（長尺）のノズルプレートを作製する場合でも、バラツキの少ない安定したノズル形成が可能となる。

また、液浸用液体である純水７０の表面、即ち空気と接する境界の面と接するように透過補正板１８を配置し、液体を充満した状態で露光を行うことにより、液体の波打ちや気泡の巻き込みなど液浸露光に特有の弊害を防止することができる。

液浸傾斜露光時に露光マスク４０上での光量を均一化するための他の方法として、露光マスク４０と液浸に用いられる液体の液面とを平行にする方法も考えられるが、液面と露光マスク４０とを常に平行の状態に保つことは、そのための装置等が必要となりコストアップに繋がる。さらに、液面に対して大きな入射角度で光を入射させると（露光マスク４０に対する露光光の入射角度が大きい場合）、露光光が液面で全反射してしまい、露光マスクに露光光が到達しないという問題もある。

具体的には、屈折率１．４４の純水の場合、液面に対し４５度前後の角度で光を入射させた場合、全反射してしまうため、これより大きな入射角度で光を入射させることはできない。よって、露光装置の構成上からも液面に対し垂直に露光光を入射させることが望ましく、液浸露光装置により傾斜露光により広角のテーパを形成する場合には、上記のような透過補正板を用いる態様が好ましい。

また、液浸容器１６内には受光センサ９２が設けられており、露光光が露光マスク４０により反射された光の光量を測定することができる構成となっている。これにより、露光マスク４０の取り付け位置やステージ２０の傾斜角が所定の位置や角度に設置されているか否かを確認することができる。露光マスク４０がステージ２０に対して浮いている場合には、ステージ２０の回転により反射光の照射の方向が変動するため、受光センサ９２が検出する露光マスク４０からの反射光量は、ステージ２０の回転に伴い変化する。よって、この反射光量の変動により、露光マスク４０がステージ２０に確実に固定されているか否かを検出することができる。また、ステージ２０の傾斜角度が所定の傾斜角度で設置されていない場合には、所定の傾斜角度となるように、受光センサ９２における反射光量に基づき、ステージ２０の傾斜角を調整することが可能である。

更に、本例では、上述のとおり、ステージ２０の回転軸２１、自在継手７４、ステージ回転モータ７６、直動ガイド８０、スライダ８２、及び傾斜揺動モータ８４等によって傾斜機構部９４が構成されているが、この傾斜機構部９４とこれに支持されている液浸容器１６及びステージ２０を含む全体を露光光の光軸に平行な軸を中心として、水平面内で回転させることが可能な光軸回転モータ９６が設けられている。光軸回転モータ９６により、全体が光軸回りに回転する構成になっているため、光量分布の均一性をより一層高めることができる。

［ノズルプレートおよびノズルプレートの製造方法］
次に、本発明に係るノズルプレートの製造方法によって製造される各種のノズルプレートについて、その製造方法とともに、各実施形態に分けて、詳細に説明する。

（第１実施形態）
図８は、第１実施形態に係るノズルプレートの一例を示す断面図である。図面中の矢印Ｅは液体の吐出方向を示す。図８では、図示の便宜上、ノズル５１が２つのみ描かれているが、ノズル５１の数は特に限定されない。

図８において、ノズルプレート３０ａは、液体流入面３０２に開口したテーパ形状の複数のテーパ形状開口部５１ａを有するテーパ形状開口層３１と、液体吐出面３０１に開口したＲ形状（曲面状）の複数のＲ形状開口部５１ｂを有するＲ形状開口層３２とを備える。

テーパ形状開口部５１ａは、ノズルプレート３０ａの厚さ方向において液体流入面３０２から液体吐出面３０１へ向って開口面積が狭くなる形状を有する。Ｒ形状開口部５１ｂは、ノズルプレート３０ａの厚さ方向において液体流入面３０２から液体吐出面３０１へ向って開口面積が広くなる形状を有する。これらのテーパ形状開口部５１ａおよびＲ形状開口部５１ｂは、互いに連結しており、いわゆる「くびれ」形状のノズル５１を構成している。

ここで、Ｒ形状開口部５１ｂは、少なくとも液体吐出面３０１側の周縁（エッジ）が曲面状となっている。言い換えると、Ｒ形状開口部５１ｂは、液体吐出面３０１に連続する液体吐出側端部が丸みを有する形状となっている。

Ｒ形状開口層３２は、ノズル５１の配置パターンに対応する開口３２０が形成されている金属の薄膜からなる金属パターン膜３２１（第１の導電膜）と、金属パターン膜３２１のテーパ形状開口層３１に接する面とは反対側（液体吐出側）の全面を覆うとともに、金属パターン膜３２１の開口３２０の縁から開口３２０の内壁面へオーバハングした金属の薄膜からなるオーバハング金属膜３２２（第２の導電膜）とによって構成されている。

このようなＲ形状開口層３２のうちで少なくともオーバハング金属膜３２２は、露光用の光を透過しない非透光性を有している。

また、オーバハング金属膜３２２は、吐出液体に対して撥液性の材料を含む一方で、テーパ形状開口層３１は、撥液性の材料を含まず、オーバハング金属膜３２２よりも撥液性を低く設定してある。すなわち、オーバハング金属膜３２２に対する液体の接触角は、テーパ形状開口層３１に対する液体の接触角よりも、大きい。

言い換えると、テーパ形状開口部５１ａとＲ形状開口部５１ｂとの境界（以下「くびれ位置」と称する）と、ノズル５１内の撥液性領域と親液性領域との境界とを一致させた構造になっている。

図９は、図８のノズル５１を拡大して示す拡大断面図である。図９において、テーパ形状開口部５１ａは、液体流入面３０２側から液体吐出面３０１側へ向けて開口幅（流路幅）が直線状に小さくなる形状（円錐台形状）を有している。Ｒ形状開口部５１ｂは、液体流入面３０２側から液体吐出面３０１側へ向けて開口幅（流路幅）が曲線状に大きくなるＲ形状を有している。

なお、図９に示すテーパ形状開口部５１ａは、直線状に開口幅が小さくなる円錐台形状となっているが、図１０に示すテーパ形状開口部５１ａ’は、曲線状に開口幅が小さくなる形状（ドーム形状）となっている。このようなテーパ形状開口部５１ａ’は、そのテーパ形状開口部５１ａ’を形成するときの露光光の波長を短波化（例えば３００ｎｍ以下）することにより得られる。

図９に示す円錐台形状のテーパ形状開口部５１ａを有するノズル５１は、液体流入側に向けてテーパ形状開口部５１ａを広角化でき且つテーパ形状開口部５１ａが液体流入側において直線状なので、液体の流入性能及び吐出性能において優れている。一方で、図１０に示すドーム形状のテーパ形状開口部５１ａ’を有するノズル５１は、液体流入側の開口面積を極小化する際に有利である。

金属パターン膜３２１の一例の平面図を図１１に示す。図１１において、金属パターン膜３２１の開口３２０は、ノズル５１の配置パターン（例えば図３３（ａ）に示すような２次元配列）と同じ配置パターンで形成されている。本例の金属パターン膜３２１の開口３２０は略円形状であり、開口３２０の半径は、ノズル５１の「くびれ位置」の開口半径よりも、オーバハング金属膜３２２の膜厚だけ大きい。なお、ノズル５１の開口および金属パターン膜３２１の開口３２０の形状は、本発明において、円形状に特に限定されない。

図１２（Ａ）〜（Ｆ）および図１３（Ｇ）〜（Ｉ）は、図８のノズルプレート３０ａの製造処理例の説明に用いる工程図である。

まず、図１２（Ａ）に示すように、多数の孔を有する所謂ロータス（蓮根）型の多孔質基板２２の一方の面の全面に、ドライフイルムレジスト（ＤＦＲ）を貼り合わせてラミネートすることにより、ネガタイプのレジスト２４を付着させて、感光層２４１を形成する。レジスト２４の膜厚は、例えば２０〜６０μｍとする。

多孔質基板２２の材料としては、シリコン、セラミック、樹脂材料等が挙げられる。多孔質基板２２の形成方法としては、シリコンの異方性エッチング、セラミック焼成、樹脂形成等が挙げられる。

多孔質基板２２の構造としては、図１４（Ａ）に模式的に示すように、多孔質基板２２の全体が多数の孔２２０を有する材料からなる蓮根形状の構造が一例として挙げられる。図１４（Ｂ）に模式的に示すように、多数の微細孔を有する微細多孔質膜２２１を表面に付与した構造でもよい。

レジスト２４は、所定の波長を有する露光用の光が照射されると現像時に除去されずに残るネガタイプの感光性を有するとともに、後述の共析電鋳で共析電鋳液中の導電性材料をほとんど析出させない程度の抵抗（非導電性）を有する。

なお、ドライフイルムレジスト（ＤＦＲ）のラミネートによる付着に代えて、スピンコートやスキージ塗布を行ってもよい。

次に、多孔質基板２２に付着させたレジスト２４に対してベークを行う。

次に、図１２（Ｂ）に示すように、多孔質基板２２の感光層２４１が形成されている面に、リフトオフ法を用いて、ニッケル（Ｎｉ）の薄膜からなる金属パターン膜３２１を形成する。

金属パターン膜３２１の材料は、後述の共析電鋳の電極として使用可能な導電性材料であれば、ニッケルに特に限定されない。

金属パターン膜３２１の開口３２０の開口幅は、形成しようとするノズル５１の「くびれ」位置（図８のテーパ形状開口部５１ａおよびＲ形状開口部５１ｂの境界）の開口幅よりも、オーバハング金属膜３２２の膜厚（例えば１〜５μｍ）の略２倍だけ、大きい。

金属パターン膜３２１の形成は、リフトオフ法に特に限定されず、例えばトリミングやペースト印刷により行ってもよい。

次に、図１２（Ｃ）に示すように、金属パターン膜３２１を一方の電極とし、電鋳成長側に対向電極を配置して、ニッケル（Ｎｉ）およびＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）を含有する電鋳液（メッキ液）を用いて共析電鋳を行い、金属パターン膜３２１の感光層２４１形成側とは反対側の面（図中の上面）を覆うとともに、金属パターン膜３２１の開口３２０の縁からその開口３２０の内壁へオーバハングしたオーバハング金属膜３２２を形成する。ここで、共析電鋳は、オーバハング金属膜３２２が所定の膜厚（例えば１〜５μｍ）になるまで行う。

電鋳では、導電性材料である金属部分のみ析出が生じるので、金属パターン膜３２１の上面および開口３２０の内壁が、ニッケルおよび撥液性材料のＰＴＦＥを含有する薄膜のオーバハング金属膜３２２によって均一の膜厚で覆われ、金属パターン膜３２１の開口３２０の縁ではＲ形状（曲面形状）となる。Ｒ形状の曲率は、薄膜のオーバハング金属膜３２２の膜厚によって決まる。すなわち、高精細なＲ形状を有するオーバハング金属膜３２２が形成される。

また、共析電鋳により、撥液性材料のＰＴＦＥがニッケルとともにオーバハング金属膜３２２として共に析出するので、オーバハング金属膜３２２が導電性だけでなく撥液性を有することになる。

なお、共析電鋳用の電鋳液は、ニッケルおよびＰＴＦＥを含有する場合に特に限定されず、露光マスクとして使用可能且つ後述の電鋳の電極として使用可能な非透光性の導電性材料と、吐出液体に対して撥液性を有する撥液性材料とを含有し、これらの導電性材料および撥液性材料が共析される液体であればよい。

次に、図１２（Ｄ）に示すように、感光層２４１のＲ形状開口層３２が形成されている面に対して、斜め方向から露光用の光を照射させつつ、多孔質基板２２を回転させて、Ｒ形状開口層３２を露光マスク（図１の４０）として用いて感光層２４１を感光させる露光（以下「傾斜回転露光」という）を行うことにより、Ｒ形状開口部５１ｂのみに光を通過させて、レジスト２４中にテーパ形状感光部２５ａを形成する。

このような傾斜回転露光は、図１の露光装置１０のステージ２０上に、図２（Ａ）に示すように、多孔質基板２２、レジスト２４およびＲ形状開口層３２からなる構造体を載置して行う。

次に、図１２（Ｅ）に示すように、Ｒ形状開口部５１ｂ内にネガタイプのレジスト２４を塗布し、Ｒ形状開口部５１ｂを封止する。

次に、Ｒ形状開口部５１ｂ内のレジスト２４に対してベークを行う。

次に、図１２（Ｆ）に示すように、Ｒ形状開口層３２に対して、露光用の光を垂直に照射し、Ｒ形状開口部５１ｂ内のレジスト２４を感光させて、逆テーパ形状感光部２５ｂを形成する。このような逆テーパ形状感光部２５ｂによりテーパ形状感光部２５ａが補強される。

なお、図１２（Ｅ）の工程でＲ形状開口部５１ｂ内にネガタイプのレジスト２４を塗布し、このネガタイプのレジスト２４を図１２（Ｆ）の露光工程で感光させる場合を例に説明したが、図１２（Ｅ）の工程でＲ形状開口部５１ｂ内にポジタイプのレジストを塗布し、図１２（Ｆ）の露光工程を省略するようにしてもよい。また、レジスト以外の封止材料でＲ形状開口部５１ｂを封止してもよい。

次に、現像を行って、感光層２４１の非感光部を除去する。そうすると、図１３（Ｇ）に示すように、形成しようとするテーパ形状開口部（図８の５１ａ）の型となるテーパ形状感光部２５ａと、Ｒ形状開口部５１ｂを封止している逆テーパ形状感光部２５ｂとが残る。

次に、テーパ形状感光部２５ａおよび逆テーパ形状感光部２５ｂに対してベークを行う。

次に、図１３（Ｈ）に示すように、テーパ形状感光部２５ａを型として用いるとともに、Ｒ形状開口層３２（金属パターン膜３２１およびオーバハング金属膜３２２）を一方の電極とし、電鋳成長側に対向電極を配置して、ニッケルを含有する電鋳液で電鋳（ニッケル電鋳）を行い、テーパ形状開口部５１ａを有するテーパ形状開口層３１を、Ｒ形状開口層３２に接合させるようにして堆積する。テーパ形状開口層３１の厚さは、例えば１０〜５０μｍとする。

この電鋳時に、多孔質基板２２を介して電鋳液や電流を速やかに流すことができる。多孔質基板２２の側面側から電鋳液を循環させる手段も有効である。

次に、図１３（Ｉ）に示すように、テーパ形状感光部２５ａおよび逆テーパ形状感光部２５ｂを有機溶媒により除去するとともに、多孔質基板２２を剥離する。図中の点線で示すようにテーパ形状開口層３１の表面を研磨してもよい。

なお、図１２（Ａ）〜（Ｆ）を用いて２回の露光（図１２（Ｄ）の傾斜回転露光および図１２（Ｆ）の垂直露光）によりテーパ形状感光部２５ａおよび逆テーパ形状感光部２５ｂを形成する場合を例に説明したが、このような場合に特に限定されない。

図１５（Ａ）〜（Ｅ）を用いて、一回の露光（傾斜回転露光のみ）でテーパ形状感光部２５ａおよび逆テーパ形状感光部２５ｂを形成する場合について、説明する。

なお、図１５（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ図１２（Ａ）〜（Ｃ）と同じである。図１５（Ｃ）に示すように多孔質基板２２、感光層２４１およびＲ形状開口層３２が積層形成された状態で、図１５（Ｄ）に示すように、Ｒ形状開口部５１ｂ内にネガタイプのレジスト２４を塗布し、Ｒ形状開口部５１ｂを封止する。次に、Ｒ形状開口部５１ｂ内のレジスト２４に対してベークを行う。次に、図１５（Ｅ）に示すように、傾斜回転露光によりテーパ形状感光部２５ａおよび逆テーパ形状感光部２５ｂを一括形成する。傾斜回転露光については図１２（Ｄ）を用いて既に説明し、また、その後の工程は図１３（Ｇ）〜（Ｉ）を用いて既に説明した通りなので、ここではそれらの説明を省略する。

（第２実施形態）
図１６は、第２実施形態に係るノズルプレートの一例を示す断面図である。図面中の矢印Ｅは液体の吐出方向を示す。図１６では、図示の便宜上、ノズル５１が２つのみ描かれているが、ノズル５１の数は特に限定されない。なお、図１６において、図８に示した第１実施形態のノズルプレート３０ａと同じ構成要素には、同じ符号を付してあり、既に説明した内容については、ここではその説明を省略する。

図１６に示すように、本実施形態のノズルプレート３０ｂは、液体吐出面３０１に、複数の凹形状のザグリ部３３が形成されている。

図１６のノズルプレート３０ｂの液体吐出面３０１を見た底面図を図１７に示す。図１７の１６Ｖ―１６Ｖ線に沿った断面図が図１６になっている。

図１６および図１７に示すように、本実施形態のノズルプレート３０ｂは、テーパ形状開口層３１と、Ｒ形状開口層３２（金属パターン膜３２１およびオーバハング電鋳膜３２２）と、液体吐出面層３２３とからなる。液体吐出面層３２３には、ザグリ部３３が形成されている。

ザグリ部３３は、ノズルプレート３０ｂの液体吐出面３０１に開口している一方で、ノズル５１のＲ形状開口部５１ｂに連結している。言い換えると、液体吐出面３０１に開口しているザグリ部３３の底面にＲ形状開口部５１ｂが連結している。ザグリ部２８の開口面積は、ノズル５１の液体吐出側端部の開口面積（Ｒ形状開口部５１ｂの液体吐出側端部の開口面積である）よりも大きい。このようなザグリ部３３は、ワイピング時やジャミング時にノズル５１を保護する作用を有する。

図１８（Ａ）〜（Ｆ）および図１９（Ｇ）〜（Ｊ）は、図１６のノズルプレート３０ｂの製造処理例の説明に用いる工程図である。

図１８（Ａ）〜（Ｄ）に示す工程は、それぞれ図１２（Ａ）〜（Ｄ）に示す第１実施形態の各工程と同じであり、ここでは簡単に説明しておくと、図１８（Ａ）に示すように、多孔質基板２２の一方の面の全面にネガタイプのレジスト２４を付着させて第１感光層２４１を形成し、図１８（Ｂ）および（Ｃ）に示すように、Ｒ形状開口層３２（金属パターン膜３２１およびオーバハング電鋳膜３２２）を形成し、図１８（Ｄ）に示すように、傾斜回転露光によりテーパ形状感光部２５ａを形成する。

次に、図１８（Ｅ）に示すように、Ｒ形状開口層３２の第１感光層２４１が形成されている側とは反対側の面の全面に、さらにレジスト２４を付着させて、第２感光層２４２を形成する。ここで、Ｒ形状開口部５１ｂ内にもレジストが充填される。

次に、レジスト２４に対してベークを行う。

次に、図１８（Ｆ）に示すように、形成しようとするザグリ部（図１６の３３）と同じ開口面積の開口４１０ａを有する光遮断膜４１ａを露光マスク（図１の４０）として用い、第２感光層２４２に対して略垂直に露光用の光を入射させる垂直露光を行い、形成しようとするザグリ部（図１６の３３）の型となる液体吐出面感光部２５ｃを形成する。

なお、図１８（Ｆ）では、光遮断膜４１ａを第２感光層２４２から離間して設けた場合を示しているが、このような場合に特に限定されず、光遮断膜４１ａを第２感光層２４２上に形成し、垂直露光後に除去するようにしてもよい。

次に、現像を行って、第１感光層２４１および第２感光層２４２の非感光部を除去する。そうすると、図１９（Ｇ）に示すように、形成しようとするテーパ形状開口部（図１６の５１ａ）の型となるテーパ形状感光部２５ａと、形成しようとするザグリ部（図１６の３３）の型となる液体吐出面感光部２５ｃとが、除去されないで残る。

次に、テーパ形状感光部２５ａ、液体吐出面感光部２５ｃに対してベークを行う。

次に、図１９（Ｈ）に示すように、テーパ形状感光部２５ａを型として用い、ニッケル電鋳によりテーパ形状開口層３１を形成する。この工程は第１実施形態の図１３（Ｈ）に示した工程と同じであり、詳細な説明は省略する。テーパ形状開口層３１の厚さは、例えば１０〜５０μｍとする。

なお、前述の現像工程で除去されなかった液体吐出面感光部２５ｃは、ザグリ部３３の型として機能するだけでなく、Ｒ形状開口層３２、テーパ形状感光部２５ａおよび多孔質基板２２からなる構造体の剛性を向上させる機能も有し、これにより電鋳品質が安定する。

次に、図１９（Ｉ）に示すように、液体吐出面感光部２５ｃを型として用い、ニッケルおよびＰＴＦＥを含有する電鋳液を用いて共析電鋳を行い、ザグリ部３３を有する液体吐出面層３２３を形成する。ここで、共析電鋳は、液体吐出面層３２３が所定の膜厚（例えば１〜５μｍ）になるまで行う。

次に、図１９（Ｊ）に示すように、テーパ形状感光部２５ａおよび液体吐出面感光部２５ｃを有機溶媒により除去するとともに、多孔質基板２２を剥離する。テーパ形状開口層３１の表面を研磨してもよい。

なお、図１６〜図１９を用いて液体吐出面３０１にザグリ部３３を形成した場合を例に説明したが、このような場合に特に限定されない。液体吐出面３０１にＲ形状開口部５１ｂの周囲に位置する凹形状の溝部（図２４の３５）を形成するようにしてもよい。液体吐出面３０１にザグリ部３３および溝部の両方を形成してもよいし、溝部のみを形成するようにしてもよい。

（第３実施形態）
図２０は、第３実施形態に係るノズルプレートの一例を示す断面図である。図面中の矢印Ｅは液体の吐出方向を示す。図２０では、図示の便宜上、ノズル５１が２つのみ描かれているが、ノズル５１の数は特に限定されない。なお、図２０において、図８に示した第１実施形態のノズルプレート３０ａと同じ構成要素には、同じ符号を付してあり、既に説明した内容については、ここではその説明を省略する。

図２０に示すように、本実施形態のノズルプレート３０ｃは、液体流入面３０２に、複数の凹形状の溝部３４（凹部）が形成されている。

ノズルプレート３０ｃの液体流入面３０２を見た拡大平面図を図２１に示す。図２１の２０Ｖ―２０Ｖ線に沿った断面図が図２０になっている。

液体流入面３０２の溝部３４は、各ノズル５０の周囲に、ノズル５０の中心軸線を中心に対称に形成されている。なお、図２１には弧形状の溝部３４が一例として示されているが、液体流入面３０２の溝部３４の形状は特に限定されない。

溝部３４は、ノズルプレート３０ｃと他の流路構成部材（例えば図３４の１５６）との接合時や、環境温度の変化時に、ノズルプレート３０ｃに発生する熱応力を緩和する作用がある。

図２２（Ａ）〜（Ｅ）および図２３（Ｆ）〜（Ｈ）は、図２０のノズルプレート３０ｃの製造処理例の説明に用いる工程図である。

まず、図２２（Ａ）に示すように、多孔質基板２２の一方の面の全面に、ドライフイルムレジスト（ＤＦＲ）を貼り合わせてラミネートすることにより、ネガタイプのレジスト２４を付着させて感光層２４１を形成する。レジスト２４の膜厚は、例えば２０〜６０μｍとする。

次に、感光層２４１に対してベークを行う。

次に、図２２（Ｂ）に示すように、形成しようとする溝部（図２０の３４）と同じ開口面積の開口４１０ｂを有する光遮断膜４１ｂを露光マスク（図１の４０）として用いて、この光遮断膜４１ｂを介して感光層２４１を垂直露光することにより、後の工程（図２２（Ｅ）に示す）で形成しようとするテーパ形状感光部２５ａを支持する支持感光部２５ｄ（支持材）を形成する。ここで、垂直露光は、感光層２４１に対して垂直に（すなわち入射角度を０度にして）露光用の光を入射させつつ、且つ、感光層２４１の露光された部分が感光層２４１の厚さ方向に貫通するまで感光層２４１を感光させる。

次に、光遮断膜４１ｂを有機溶媒により除去する。

図２２（Ｃ）〜（Ｅ）に示す工程は、それぞれ図１２（Ｂ）〜（Ｄ）に示した第１実施形態の各工程と同じであり、既に説明したので、ここでは詳細な説明を省略する。簡単に説明しておくと、図２２（Ｃ）および図２２（Ｄ）に示すように、Ｒ形状開口層３２（金属パターン膜３２１およびオーバハング金属膜３２２）を形成し、図２２（Ｅ）に示すように、傾斜回転露光により、Ｒ形状開口層３２を露光マスク（図１の４０）として用いてＲ形状開口部５１ｂのみに光を通過させて、感光層２４１中にテーパ形状感光部２５ａを形成する。

次に、現像を行って、感光層２４１の非感光部を除去する。そうすると、図２３（Ｆ）に示すように、形成しようとするテーパ形状開口部（図２０の５１ａ）の型となるテーパ形状感光部２５ａと、テーパ形状感光部２５ａを支持する支持感光部２５ｄとが残る。支持感光部２５ｄは、Ｒ形状開口層３２（具体的には金属パターン膜３２１）と多孔質基板２２との間に介在する。

また、支持感光部２５ｄは、図２０および図２１に示す溝部３４の型となる。支持感光部２５ｄは、テーパ形状感光部２５ａの周囲に位置し、テーパ形状感光部２５ａの中心軸線（すなわちノズル５１の中心軸線）を中心に対称に形成される。詳細には、テーパ形状感光部２５ａの中心軸線を中心に対称に支持感光部２５ｄが配置されるとともに、テーパ形状感光部２５ａの中心軸線を中心に対称な形状で支持感光部２５ｄが形成される。

次に、図２３（Ｇ）に示すように、テーパ形状感光部２５ａおよび支持感光部２５ｄを型として用いるとともに、Ｒ形状開口層３２（金属パターン膜３２１およびオーバハング金属膜３２２）を電極として用いて、ニッケルを含有する電鋳液で電鋳（ニッケル電鋳）を行い、テーパ形状開口部５１ａおよび溝部３４を有するテーパ形状開口層３１を堆積する。テーパ形状開口層３１の厚さは、例えば１０〜５０μｍとする。

次に、図２３（Ｈ）に示すように、テーパ形状感光部２５ａおよび支持感光部２５ｄを有機溶媒により除去するとともに、多孔質基板２２を剥離する。なお、テーパ形状開口層３１の表面を研磨してもよい。

（第４実施形態）
図２４は、第４実施形態に係るノズルプレートの一例を示す断面図である。図面中の矢印Ｅは液体の吐出方向を示す。図２４では、図示の便宜上、ノズル５１が２つのみ描かれているが、ノズル５１の数は特に限定されない。なお、図２４において、図１６に示した第２実施形態のザグリ部３３付きノズルプレート３０ｂと同じ構成要素には、同じ符号を付してあり、既に説明した内容については、ここではその説明を省略する。

図２４に示すように、本実施形態のノズルプレート３０ｄは、液体流入面３０２に、複数の凹形状の溝部３４が形成されているとともに、液体吐出面３０１に複数の凹形状の溝部３５および複数の凹形状のザグリ部３３が形成されている。

図２４のノズルプレート３０ｄの液体吐出面３０１を見た底面図を図２５に示す。図２５の２４Ｖ―２４Ｖ線に沿った断面図が図２４になっている。

図２５において、液体吐出面３０１の溝３５は、ノズル５１列間に配設されている。

図２４および図２５に示すように、本実施形態のノズルプレート３０は、テーパ形状開口層３１と、Ｒ形状開口層３２（金属パターン膜３２１およびオーバハング電鋳膜３２２）と、液体吐出面層３２４とからなる。液体吐出面層３２４には、溝部３５およびザグリ部３３が形成されている。

なお、図２５には帯状の溝部３５が一例として示されているが、液体吐出面３０１の溝部３５の形状は特に限定されない。

図２２（Ａ）〜（Ｅ）および図２６（Ｆ）〜（Ｈ）は、図２４のノズルプレート３０ｄの製造処理例の説明に用いる工程図である。

なお、図２２（Ａ）〜（Ｅ）に示す工程は、第３実施形態と同じであり、既に説明したので、ここではその説明を省略する。

図２２（Ｅ）に示す傾斜回転露光によりテーパ形状感光部２５ａを形成した後、図２６（Ｆ）に示すように、Ｒ形状開口層３２の第１感光層２４１が形成されている側とは反対側の面の全面に、さらにレジスト２４を付着させて第２感光層２４２を形成する。ここで、Ｒ形状開口部５１ｂ内にもレジストが充填される。

次に、レジスト２４に対してベークを行う。

次に、図２６（Ｇ）に示すように、形成しようとする液体吐出面３０１側の溝部（図２４の３５）と同じ幅の開口４１０ｃと、形成しようとするザグリ部（図２４の３３）と同じ開口面積の開口４１０ａとを有する光遮断膜４１ｃを露光マスク（図１の４０）として用い、第２感光層２４２に対して略垂直に露光用の光を入射させる垂直露光を行い、形成しようとする溝部３５およびザグリ部３３の型となる液体吐出面感光部２５ｅを形成する。

なお、図２６（Ｇ）では、光遮断膜４１ｃを第２感光層２４２から離間して設けた場合を示しているが、このような場合に特に限定されず、光遮断膜４１ｃを第２感光層２４２上に形成し、垂直露光後に除去するようにしてもよい。

次に、現像を行って、第１感光層２４１および第２感光層２４２の非感光部を除去する。そうすると、図２６（Ｈ）に示すように、形成しようとするテーパ形状開口部（図２４の５１ａ）の型となるテーパ形状感光部２５ａと、形成しようとする溝部（図２４の３５）およびザグリ部（図２４の３３）の型となる液体吐出面感光部２５ｅとが除去されないで残る。

次に、テーパ形状感光部２５ａおよび液体吐出面感光部２５ｅに対してベークを行う。

次に、図２６（Ｉ）に示すように、テーパ形状感光部２５ａを型として用い、ニッケル電鋳によりテーパ形状開口層３１を形成する。この工程は第１実施形態の図１３（Ｈ）に示した工程と同じであり、詳細な説明は省略する。テーパ形状開口層３１の厚さは、例えば１０〜５０μｍとする。

なお、前述の現像工程で除去されなかった液体吐出面感光部２５ｅは、液体吐出面３０１の溝部３５およびザグリ部３３の型として機能するだけでなく、Ｒ形状開口層３２、テーパ形状感光部２５ａおよび多孔質基板２２からなる構造体の剛性を向上させる機能も有し、この機能により電鋳品質が安定する。

次に、図２６（Ｊ）に示すように、液体吐出面感光部２５ｅを型として用い、ニッケルおよびＰＴＦＥを含有する電鋳液を用いて共析電鋳を行い、ザグリ部３３および溝部３５を有する液体吐出面層３２４を形成する。ここで、共析電鋳は、液体吐出面層３２４が所定の膜厚（例えば１〜５μｍ）になるまで行う。

次に、図２６（Ｋ）に示すように、テーパ形状感光部２５ａおよび液体吐出面感光部２５ｅを有機溶媒により除去するとともに、多孔質基板２２を剥離する。テーパ形状開口層３１の表面を研磨してもよい。

（第５実施形態）
図２７は、第５実施形態に係るノズルプレートの一例を示す断面図である。図面中の矢印Ｅは液体の吐出方向を示す。図２７では、図示の便宜上、ノズル５１が２つのみ描かれているが、ノズル５１の数は特に限定されない。図２８は、ひとつのノズル５１を拡大して示す拡大断面図である。なお、図２７、図２８において、図８の第１実施形態のノズルプレート３０ａと同じ構成要素、図１６の第２実施形態のノズルプレート３０ｂと同じ構成要素、図２０の第３実施形態のノズルプレート３０ｃ、および、図２４の第４実施形態のノズルプレート３０ｄと同じ構成要素には、同じ符号を付してあり、既に説明した内容については、ここではその説明を省略する。

図２７および図２８に示すように、本実施形態のノズルプレート３０ｅのノズル５１は、テーパ形状開口部５１ａと、テーパ形状開口部５１ａに連続するストレート形状開口部５１ｃと、ストレート形状開口部５１ｃに連続するＲ形状開口部５１ｂとからなる。テーパ形状開口部５１ａは、ノズルプレート３０ｅの厚さ方向において液体流入面３０２から液体吐出面３０１に向って開口面積が狭くなる形状を有している。ストレート形状開口部５１ｃは、ノズルプレート３０ｅの厚さ方向において開口面積が等しい形状を有している。Ｒ形状開口部５１ｂは、ノズルプレート３０ｅの厚さ方向において液体流入面３０２から液体吐出面３０１に向って開口面積が広くなる形状を有している。

また、本実施形態のノズルプレート３０ｅは、液体吐出面３０１に複数の凹形状のザグリ部３３が形成されており、液体流入面３０２に複数の凹形状の溝３４が形成されている。ザグリ部３３は、図２４に示した第４実施形態のノズルプレート３０ｄのものと同じであり、液体流入面３０２の溝３４は、図２４に示した第４実施形態のノズルプレート３０ｄのものと同じであり、既に説明したので、ここではその説明を省略する。

図２７および図２８に示すように、本実施形態のノズルプレート３０ｅは、テーパ形状開口部５１ａおよびストレート形状開口部５１ｃが形成されているテーパ形状開口層３１と、Ｒ形状開口部５１ｂが形成されているＲ形状開口層３２（金属パターン膜３２１およびオーバハング電鋳膜３２２）と、液体吐出面層３２３からなる。また、テーパ形状開口層３１には溝３４が形成されており、液体吐出面層３２３には、ザグリ部３３が形成されている。

なお、図２７には、液体流入面３０２のみに溝３４が形成されている場合を示しているが、このような場合に特に限定されず、図２４に示した第４実施形態のノズルプレート３０ｄのように、液体吐出面３０１にも溝３５が形成されていてもよい。

図２９（Ａ）〜（Ｇ）および図３０（Ｈ）〜（Ｋ）は、図２７のノズルプレート３０ｅの製造処理例の説明に用いる工程図である。

図２９（Ａ）〜（Ｄ）に示す工程は、それぞれ図２２（Ａ）〜（Ｄ）に示す第３実施形態における各工程と同じであり、ここでは簡単に説明しておくと、図２９（Ａ）に示すように、多孔質基板２２の一方の面の全面にネガタイプのレジスト２４を付着させて第１感光層２４１を形成し、図２９（Ｂ）に示すように、支持感光部２５ｄを形成し、図２９（Ｃ）および（Ｄ）に示すように、Ｒ形状開口部５１ｂを有するＲ形状開口層３２（金属パターン膜３２１およびオーバハング電鋳膜３２２）を形成する。

次に、図２９（Ｅ）に示すように、Ｒ形状開口層３２の第１感光層２４１が形成されている側とは反対側の面の全面に、さらにネガタイプのレジスト２４を付着させて第２感光層２４２を形成する。ここで、Ｒ形状開口部５１ｂ内にもレジスト２４が充填され、第１感光層２４１と第２感光層２４２とがＲ形状開口部５１ｂを介して連結する。

次に、レジスト２４に対してベークを行う。

次に、図２９（Ｆ）に示すように、第１感光層２４１のＲ形状開口層３２が形成されている側の面（本例では第２感光層２４２が形成されている面である）に対して、略垂直に露光用の光を入射させる垂直露光を行い、光遮断膜４１ａと光干渉膜４２とを積層形成した露光マスク４０およびＲ形状開口層３２を用いて、第１感光層２４１および第２感光層２４２を感光させる。

ここで、光遮断膜４１ａは、図１８（Ｆ）に示す第２実施形態で用いた光遮断膜４１ａと同じである。すなわち、光遮断膜４１ａは、露光用の光を透過しない材料からなり、形成しようとするザグリ部（図２７の３３）の開口面積と同じ開口面積の開口４１０ａを有する。

なお、本例では、図２７に示すように液体吐出面３０１にザグリ部３３を形成するための光遮断膜４１ａを用いるが、図２４に示す第４実施形態のノズルプレート３０ｄと同様に、液体吐出面３０１にザグリ部３３とともに溝部（図２４の３５）を形成しようとする場合には、図２６（Ｇ）に示す光遮断膜４１ｃを用いる。

光干渉膜４２は、露光用の光の入射角度の大小に応じて露光用の光の透過率が変化する特性を有する。また、光干渉膜４２は、形成しようとするストレート形状開口部（図２７の５１ｃ）の開口面積よりも小さい開口面積の開口４２０を有する。

本例の光干渉膜４２は、露光用の光の入射角度が大きくなるにつれて透過率が減少する。例えば、図６に示すように、露光用の光として、ｉ線（波長＝３６５ｎｍ）を用い、光干渉膜４２として、入射角度が例えば３５度であるときには略０％の透過率を示し、入射角度が０度（垂直入射）のときには透過率が最大（本例では３０％以上）になる特性を有するものを用いる。なお、露光に用いる光の波長や、利用する入射角度に応じて異なる特性の光干渉膜を用いてもよい。

図２９（Ｆ）の露光工程では、第１感光層２４１および第２感光層２４２に対する光の入射角度が０度であり、光干渉膜４２を露光用の光が透過して、第１感光層２４１および第２感光層２４２中にビス形状感光部２５ｆが形成される。このビス形状感光部２５ｆは、Ｒ形状開口部（図２７の５１ｂ）に対応する周状側面２６ｂ（Ｒ形状側面）と、ストレート形状開口部（図２７の５１ｃ）に対応する周状側面２６ｃ（ストレート形状側面）を有する。ストレート形状側面２６ｃは、Ｒ形状側面２６ｂに連続している。

次に、図２９（Ｇ）に示すように、第１感光層２４１のＲ形状開口層３２が形成されている側の面（本例では第２感光層２４２が形成されている面である）に対して、斜め方向から露光用の光を入射させつつ多孔質基板２２を回転させる傾斜回転露光を行い、光遮断膜４１ｄおよび光干渉膜４２を積層形成した露光マスク４０を用い、第１感光層２４１を感光させる。

図２９（Ｇ）に示す傾斜回転露光では、光干渉膜４２を露光用の光が透過せず、図２９（Ｆ）に示すビス形状感光部２５ｆが図２９（Ｇ）に示す鼓形状感光部２４ｇに変形する。この鼓形状感光部２５ｇは、Ｒ形状開口部（図２７の５１ｂ）に対応する周状側面２６ｂ（Ｒ形状側面）と、ストレート形状開口部（図２７の５１ｃ）に対応する周状側面２６ｃ（ストレート形状側面）と、テーパ形状開口部（図２７の５１ａ）に対応する周状側面２６ａ（テーパ形状側面）を有する。テーパ形状側面２６ａは、ストレート形状側面２６ｃに連続している。

言い換えると、図２９（Ｆ）の垂直露光によって、Ｒ形状側面２６ｂおよびストレート形状側面２６ｃが形成され、図２９（Ｇ）の傾斜回転露光によって、テーパ形状側面２６ａが形成される。

なお、図２９（Ｆ）および（Ｇ）では、光遮断膜４１ａおよび光干渉膜４２からなる露光マスク４０を第２感光層２４２から離間して設けた場合を示しているが、このような場合に限定されず、露光マスク４０を第２感光層２４２上に形成し、垂直露光後に除去するようにしてもよい。

次に、現像を行って、第１感光層２４１および第２感光層２４２の非感光部を除去する。そうすると、図３０（Ａ）に示すように、鼓形状感光部２５ｇと、支持感光部２５ｄとが残る。

次に、鼓形状感光部２５ｇおよび支持感光部２５ｄに対してベークを行う。

次に、図３０（Ｉ）に示すように、鼓形状感光部２５ｇおよび支持感光部２５ｄを型として用いるとともに、Ｒ形状開口層３２（金属パターン膜３２１およびオーバハング金属膜３２２）を電極として用いて、ニッケルを含有する電鋳液で電鋳（ニッケル電鋳）を行い、多孔質基板２２とＲ形状開口層３２との間に、テーパ形状開口部５１ａおよびストレート形状開口部５１ｃを有するテーパ形状開口層３１を堆積する。テーパ形状開口層３１の厚さは、例えば１０〜５０μｍとする。

次に、図３０（Ｊ）に示すように、鼓形状感光部２５ｇを型として用いるとともに、Ｒ形状開口層３２（主としてオーバハング金属膜３２２）を電極として用いて、ニッケルおよびＰＴＦＥを含有する電鋳液で共析電鋳を行い、Ｒ形状開口層３２のオーバハング金属膜３２２上に、ザグリ部３３としての開口を有する撥液性の液体吐出面層３２３を形成する。

次に、図３０（Ｋ）に示すように、鼓形状感光部２５ｇおよび支持感光部２５ｄを有機溶媒により除去するとともに、多孔質基板２２を剥離する。テーパ形状開口層３１の表面を研磨してもよい。

なお、液体吐出面３０１にザグリ部３３を形成する場合を例に説明したが、液体吐出面３０１に溝部（図２４の３５）を形成するようにしてもよい。液体吐出面３０１にザグリ部３３および溝部３５の両方を形成してもよい。

また、液体吐出面３０１にザグリ部３３も溝部３５も形成しない場合には、図２９（Ｅ）に示す第２感光層２４２を省略するとともに、図２９（Ｆ）に示す垂直露光工程において、光遮断膜および光干渉膜からなる露光マスク４０を用いないでＲ形状開口層３２のみを用いて垂直露光を行ってもよく、また、図２９（Ｆ）に示す傾斜回転露光工程において、形成しようとするストレート形状開口部（図２７の５１ｃ）の開口面積よりも小さい開口面積の開口４２０を有する光遮断膜（図示省略）を用いて傾斜回転露光を行ってもよい。

〔インクジェット記録装置の全体構成〕
次に、本発明の実施形態に係るノズルプレートの製造方法によって製造されたノズルプレートを用いたインクジェットヘッドを備えるインクジェット記録装置の例について説明する。

図３１は、本発明の実施形態に係る画像形成装置であるインクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。図３１に示すように、このインクジェット記録装置２１０は、インクの色毎に設けられた複数の液体吐出ヘッド（以下、単に「ヘッド」と称する場合あり）２１２Ｋ、２１２Ｃ、２１２Ｍ、２１２Ｙを有する印字部２１２と、各ヘッド２１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部２１４と、記録紙２１６を供給する給紙部２１８と、記録紙２１６のカールを除去するデカール処理部２２０と、ヘッド２１２Ｋ、２１２Ｃ、２１２Ｍ、２１２Ｙのノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙２１６（記録媒体）の平面性を保持しながら記録紙２１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２２と、印字部２１２による印字結果を読み取る印字検出部２２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２２６を備えている。

インク貯蔵／装填部２１４は、各ヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するインクタンクを有し、各タンクは所要の管路を介してヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部２１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。

図２６では、給紙部２１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。

複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。

給紙部２１８から送り出される記録紙２１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム２３０で記録紙２１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。

デカール処理後、カッター２２８によって、所定のサイズにカットされた記録紙２１６は、吸着ベルト搬送部２２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２２は、ローラ２３１、２３２間に無端状のベルト２３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくともヘッド２１２Ｋ、２１２Ｃ、２１２Ｍ、２１２Ｙのノズル面及び印字検出部２２４のセンサ面に対向する部分が平面をなすように構成されている。

ベルト２３３は、記録紙２１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（不図示）が形成されている。図３１に示したとおり、ローラ２３１、２３２間に掛け渡されたベルト２３３の内側において印字部２１２のノズル面及び印字検出部２２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー２３４が設けられており、この吸着チャンバー２３４をファン２３５で吸引して負圧にすることによってベルト２３３上の記録紙２１６が吸着保持される。

ベルト２３３が巻かれているローラ２３１、２３２の少なくとも一方にモータ（不図示）の動力が伝達されることにより、ベルト２３３は図３１において、時計回り方向に駆動され、ベルト２３３上に保持された記録紙２１６は、図３１の左から右へと搬送される。なお、吸引吸着方式に代えて、静電吸着方式の搬送機構を用いる態様も可能である。

縁無しプリント等を印字するとベルト２３３上にもインクが付着するので、ベルト２３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部２３６が設けられている。ベルト清掃部２３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラ線速度を変えると清掃効果が大きい。

吸着ベルト搬送部２２２により形成される用紙搬送路上において印字部２１２の上流側には、加熱ファン２４０が設けられている。加熱ファン２４０は、印字前の記録紙２１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙２１６を加熱する。印字直前に記録紙２１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。

印字部２１２の各ヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙは、当該インクジェット記録装置２１０が対象とする記録紙２１６の最大紙幅に対応する長さを有し、そのノズル面には最大サイズの記録媒体の少なくとも一辺を超える長さ（描画可能範囲の全幅）にわたりインク吐出用のノズルが複数配列されたフルライン型のヘッドとなっている（図３２参照）。

ヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙは、記録紙２１６の送り方向に沿って上流側から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の色順に配置され、それぞれのヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙが記録紙２１６の搬送方向と略直交する方向に沿って延在するように固定設置される。

吸着ベルト搬送部２２２により記録紙２１６を搬送しつつ各ヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙからそれぞれ異色のインクを吐出することにより記録紙２１６上にカラー画像を形成し得る。

このように、紙幅の全域をカバーするノズル列を有するフルライン型のヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙを色別に設ける構成によれば、紙送り方向（副走査方向）について記録紙２１６と印字部２１２を相対的に移動させる動作を１回行うだけで（すなわち１回の副走査で）、記録紙２１６の全面に画像を記録することができる。これにより、記録ヘッドが紙搬送方向と直交する方向に往復動作するシリアルスキャン型（シャトル型）ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。

本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組合せについては本実施形態に限定されず、必要に応じて淡インク、濃インク、特別色インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタなどのライト系インクを吐出するインクジェットヘッドを追加する構成も可能である。また、各色ヘッドの配置順序も特に限定はない。

図３１に示した印字検出部２２４は、印字部２１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ又はエリアセンサ）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像から、ノズルの目詰まりや着弾位置ずれなどの吐出不良をチェックする手段として機能する。各色のヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙにより印字されたテストパターン又は実技画像が印字検出部２２４により読み取られ、各ヘッドの吐出判定が行われる。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定などで構成される。

印字検出部２２４の後段には後乾燥部２４２が設けられている。後乾燥部２４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。

後乾燥部２４２の後段には、加熱・加圧部２４４が設けられている。加熱・加圧部２４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラ２４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。

こうして生成されたプリント物は排紙部２２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置２１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２２６Ａ、２２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える不図示の選別手段が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）２４８によってテスト印字の部分を切り離す。また、図２６には示さないが、本画像の排出部２２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられる。

〔ヘッドの構造〕
次に、ヘッドの構造について説明する。色別の各ヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号２５０によってヘッドを示すものとする。

図３３（ａ）はヘッド２５０の構造例を示す平面透視図である。図３３（ａ）に示すように、本例のヘッド２５０は、インク滴の吐出口であるノズル５１と、各ノズル５１に対応する圧力室２５２等からなるインク室ユニット（１ノズルに対応した記録素子単位となる液滴吐出素子）２５３を千鳥でマトリクス状に（２次元的に）配置させた構造を有し、これにより、ヘッド長手方向（紙送り方向と直交する方向）に沿って並ぶように投影される実質的なノズル間隔（投影ノズルピッチ）の高密度化を達成している。なお、ノズル５１は、図８、図１６、図２０、図２４、図２７等において符号５１で説明したノズルである。

なお、記録媒体２１６の送り方向（矢印Ｓ方向；副走査方向）と略直交する方向（矢印Ｍ方向；主走査方向）に、記録媒体２１６の全幅に対応する長さ以上のノズル列を構成する形態は本例に限定されない。例えば、図３３（ａ）の構成に代えて、図３３（ｂ）に示すように、複数のノズル５１が２次元に配列された短尺のヘッドユニット２５０’を千鳥状に配列して繋ぎ合わせることで長尺化し、記録媒体２１６の全幅に対応する長さのノズル列を有するラインヘッドを構成してもよい。

各ノズル５１に対応して設けられている圧力室２５２は、その平面形状が概略正方形となっており、対角線上の両隅部にノズル５１への流出口と供給インクの流入口（供給口）２５４が設けられている。なお、圧力室２５２の形状は、本例に限定されず、平面形状が四角形（菱形、長方形など）、五角形、六角形その他の多角形、円形、楕円形など、多様な形態があり得る。また、ノズル５１や供給口２５４の配置も図３３（ａ）、（ｂ）に示す配置に限定されず、例えば、圧力室２５２の略中央部にノズル５１を配置してもよいし、圧力室２５２の側壁側に供給口２５４を配置してもよい。

図３４は１チャンネル分の液滴吐出素子（１つのノズル５１に対応したインク室ユニット２５３）の立体的構成を示す断面図である。図３４では、図２０で説明した第３実施形態のノズルプレート３０ｃを備えたヘッド２５０の例を示したが、他の実施形態のノズルプレート（図８の３０ａ、図１６の３０ｂ、図２４の３０ｄ、図２７の３０ｅ）を採用する構成も可能である。

図３４に示すように、ヘッド２５０は、ノズルプレート３０、連通板１５６、共通流路形成プレート２６０、絞り板２６２、圧力室形成プレート２６４、振動板２６６及び圧電素子２６８を積層接合した構造から成る。

連通板１５６は、圧力室２５２からノズル５１へと繋がる連通路（ノズル流路）２７０の一部を形成するとともに、各圧力室２５２にインクを供給するための共通流路２７２の床面を形成する部材である。共通流路形成プレート２６０は、共通流路２７２の側壁部となる部分を形成するとともに、連通路２７０の一部を形成する流路形成部材である。

絞り板２６２は、共通流路２７２から圧力室２５２にインクを導く個別供給路の絞り部（最狭窄部）としてのインク供給口２５４を形成するとともに、連通路２７０の一部を形成する流路形成部材である。圧力室形成プレート２６４は、圧力室２５２の側壁部となる部分を形成する流路形成部材である。

振動板２６６は、圧力室２５２の一部の面（図２９おいて天面）を構成する部材であるとともに、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などの導電性材料から成り、各圧力室２５２に対応して配置される複数の圧電素子２６８の共通電極を兼ねる。なお、樹脂などの非導電性材料によって振動板を形成する態様も可能であり、この場合は、振動板部材の表面に金属などの導電材料による共通電極層が形成される。

振動板２６６の圧力室２５２側と反対側（図３４において上側）の表面には、各圧力室２５２に対応する位置に、圧電体２７４が設けられており、該圧電体２７４の上面（共通電極を兼ねる振動板２６６に接する面と反対側の面）に個別電極２７５が形成されている。この個別電極２７５と、これに対向する共通電極（ここでは振動板２６６が兼ねる）と、これら電極間に挟まれるように介在する圧電体２７４とで圧電素子（「アクチュエータ」に相当）２６８が構成される。圧電体２７４には、チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸バリウムなどの圧電材料が好適に用いられる。

図３４の構成において、共通流路２７２はインク供給源たるインクタンク（図３４中不図示、図３１においてインク貯留／装填部２１４と等価なもの）と連通しており、インクタンクから供給されるインクは図３４の共通流路２７２を介して各圧力室２５２に供給される。

圧力室２５２にインクを充填した状態で、個別電極２７５と共通電極（振動板２６６で兼用）と間に駆動電圧を印加することによって圧電素子２６８が変形して圧力室２５２の容積が変化し、これに伴う圧力変化によりノズル５１からインクが吐出される。インク吐出後、圧電素子２６８の変位が元に戻る際に、共通流路２７２からインク供給口２５４を通って新しいインクが圧力室２５２に再充填される。

なお、図３４に示すように、テーパ形状開口層３１を液体流入側に配置し、Ｒ形状開口層３２を液体吐出側に配置した場合について説明してきたが、図３５に示すように、テーパ形状開口層３１を液体吐出側に配置し、Ｒ形状開口層３２を液体流入側に配置するようにしてもよい。そうすると、液体流入側には、流路抵抗が小さいＲ形状開口部５１ｂが配置され、このＲ形状開口部５１ｂを有するＲ形状開口層３２を薄くしても、液体吐出側には、広角のテーパ形状開口部５１ａを有するとともにＲ形状開口層３２よりも厚いテーパ形状開口層３１がＲ形状開口層３２の補強層として配置されることになる。すなわち、ノズル開口付近の剛性を低下させずに、液体流入側のノズル抵抗を一層低下させることが可能となる。

図３５では、図２０で説明した第３実施形態のノズルプレート３０ｃを備えたヘッド２５０の例を示したが、他の実施形態のノズルプレート（図８の３０ａ）を採用する構成も可能である。

図３６は、インクジェット記録装置２１０におけるインク供給系及び吐出回復装置（メンテナンスユニット）の構成を示した概要図である。インクタンク２９０はヘッド２５０にインクを供給するための基タンクであり、図３１で説明したインク貯蔵／装填部２１４に設置される。インクタンク２９０の形態には、インク残量が少なくなった場合に、補充口（図示省略）からインクを補充する方式と、タンクごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインク種類を替える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類情報をバーコード等で識別して、インク種類に応じて吐出制御を行うことが好ましい。

図３６に示したように、インクタンク２９０とヘッド２５０を繋ぐ管路の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルタ２９２が設けられている。フィルタ・メッシュサイズはヘッド２５０のノズル径と同等若しくはノズル径以下（一般的には、２０μｍ程度）とすることが好ましい。

なお、図３６には示さないが、ヘッド２５０の近傍又はヘッド２５０と一体にサブタンクを設ける構成も好ましい。サブタンクは、ヘッドの内圧変動を防止するダンパー効果及びリフィルを改善する機能を有する。

また、インクジェット記録装置２１０には、ノズルの乾燥防止又はノズル近傍のインク粘度上昇を防止するための手段としてのキャップ２９４と、ノズル面２５０Ａの清掃手段としてのクリーニングブレード２９６とが設けられている。

これらキャップ２９４及びクリーニングブレード２９６を含むメンテナンスユニットは、図示を省略した移動機構によってヘッド２５０に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置からヘッド２５０下方のメンテナンス位置に移動されるようになっている。

キャップ２９４は、図示しない昇降機構によってヘッド２５０に対して相対的に昇降変位される。昇降機構は、電源ＯＦＦ時や印刷待機時にキャップ２９４を所定の上昇位置まで上昇させ、ヘッド２５０に密着させることにより、ノズル面２５０Ａのノズル領域をキャップ２９４で覆うようになっている。また、このキャップ２９４は、ノズル吸引のための吸引手段として機能するとともに、予備吐出のインク受けとしても機能し得る。

クリーニングブレード２９６は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示を省略したブレード移動機構によりヘッド２５０のインク吐出面（ノズル面２５０Ａ）に摺動可能である。ノズル面２５０Ａにインク液滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード２９６をノズル面２５０Ａに摺動させることでノズル面２５０Ａを拭き取り、ノズル面２５０Ａを清浄化するようになっている。

印字中又は待機中において、特定のノズル５１の使用頻度が低くなり、そのノズル５１近傍のインク粘度が上昇した場合、粘度が上昇して劣化したインクを排出すべく、キャップ２９４に向かって予備吐出が行われる。

すなわち、ヘッド２５０は、ある時間以上吐出しない状態が続くと、ノズル近傍のインク溶媒が蒸発してノズル近傍のインクの粘度が高くなってしまい、吐出駆動用のアクチュエータ（圧電素子２６８）が動作してもノズル５１からインクが吐出しなくなる。したがって、この様な状態になる手前で（圧電素子２６８の動作によってインク吐出が可能な粘度の範囲内で）、インク受けに向かって圧電素子２６８を動作させ、粘度が上昇したノズル近傍のインクを吐出させる「予備吐出」が行われる。また、ノズル面２５０Ａの清掃手段として設けられているクリーニングブレード２９６等のワイパーによってノズル面２５０Ａの汚れを清掃した後に、このワイパー摺擦動作によってノズル５１内に異物が混入するのを防止するためにも予備吐出が行われる。なお、予備吐出は、「空吐出」、「パージ」、「唾吐き」などと呼ばれる場合もある。

また、ヘッド２５０内のインク（圧力室２５２内のインク）に気泡が混入した場合、ヘッド２５０にキャップ２９４を当て、吸引ポンプ２９７で圧力室２５２内のインク（気泡が混入したインク）を吸引により除去し、吸引除去したインクを回収タンク２９８へ送液する。この吸引動作は、初期のインクのヘッドへの装填時、或いは長時間の停止後の使用開始時にも行われ、粘度が上昇して固化した劣化インクが吸い出され除去される。

具体的には、ノズル５１や圧力室２５２内に気泡が混入したり、ノズル５１内のインクの粘度上昇があるレベルを超えたりすると、圧電素子２６８を動作させる予備吐出ではノズル５１からインクを吐出できなくなる。このような場合、ヘッド２５０のノズル面２５０Ａに、キャップ２９４を当てて圧力室２５２内の気泡が混入したインク又は増粘インクをポンプ２９７で吸引する動作が行われる。

ただし、上記の吸引動作は、圧力室２５２内のインク全体に対して行われるためインク消費量が大きい。したがって、粘度上昇が少ない場合はなるべく予備吐出を行うことが好ましい。また、好ましくは、キャップ２９４の内側が仕切壁によってノズル列に対応した複数のエリアに分割されており、これら仕切られた各エリアをセレクタ等によって選択的に吸引できる構成とする。

なお、本実施形態ではフルラインヘッドを例示したが、本発明の適用範囲はこれに限定されず、記録媒体の幅よりも短い長さのノズル列を有する短尺のヘッドを記録媒体の幅方向に走査させながら、記録媒体の幅方向の印字を行うシリアル型（シャトルスキャン型）ヘッドにも適用可能である。

また、上述の実施形態においては、インクジェットヘッドのノズルプレートを製造する方法について説明したが、本発明に係るノズルプレートの製造方法により製造されるノズルプレートの適用範囲は上述したインクジェト記録装置に限らず、工業用の精密塗布装置、レジスト印刷装置、電子回路基板の配線描画装置、染色加工装置など、液体を吐出（噴射）する各種の液滴吐出装置に用いられる液滴吐出ヘッドに適用可能である。

本発明は、本明細書において説明した例や図面に図示された例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の設計変更や改良を行ってよいのはもちろんである。

本発明の実施形態に係るノズルプレートの製造方法に用いられる露光装置の一例を示す構成図 露光装置の露光部の拡大図 ステージに取り付けられた受光センサの配置例を示す平面図 露光装置に用いられる照明ユニットの構成図 光源スペクトルの一例を示す図 光干渉膜の一例の透過率特性（入射角度依存性）を示すグラフ 露光装置における傾斜回転機構の例を示す構成図 第１実施形態のノズルプレートの一例を示す断面図 図８のノズルの拡大断面図 他のノズルの拡大断面図 図８のノズルプレートの金属パターン膜の一例を示す平面図 第１実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第１実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 多孔質基板の例を示す説明図 第１実施形態のノズルプレートの他の例の製造方法の説明に用いる工程図 第２実施形態のノズルプレートの一例を示す断面図 図１６のノズルプレートの液体吐出側の面を示す底面図 第２実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第２実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第３実施形態のノズルプレートの一例を示す断面図 図２０のノズルプレートの液体流入側の面を示す平面図 第３実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第３実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第４実施形態のノズルプレートの一例を示す断面図 図２４のノズルプレートの液体吐出側の面を示す底面図 第４実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第５実施形態のノズルプレートの一例を示す断面図 図８のノズルの拡大断面図 第５実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第５実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 本発明に係る画像形成装置の一例としてのインクジェット記録装置の全体構成図 図３１のインクジェット記録装置の印字部周辺の要部平面図 本発明係る液体吐出ヘッドの一例の構造例を示す平面透視図 液体吐出ヘッドの内部構造の一例を示す断面図 液体吐出ヘッドの内部構造の他の例を示す断面図 インクジェット記録装置におけるインク供給系の概略構成図

符号の説明

１０…露光装置、１２…光源、１４…照射光学系、１６…液浸容器、１８…透過補正板、２０…ステージ、２２…多孔質基板、２４…レジスト、２５ａ…テーパ形状感光部、２５ｂ…逆テーパ形状感光部、２５ｃ、２５ｅ…液体吐出面感光部、２５ｄ…支持感光部、２５ｆ…ビス形状感光部、２５ｇ…鼓形状感光部、３０（３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅ）…ノズルプレート、３１…テーパ形状開口層、３２…Ｒ形状開口層（曲面付き開口層）、３３…ザグリ部、３４、３５…溝部、４０…露光マスク、４１（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ）…光遮断膜、４２…光干渉膜、５１…ノズル、５１ａ…テーパ形状開口部、５１ｂ…Ｒ形状開口部（曲面付き開口部）、５１ｃ…ストレート形状開口部、２４１…第１感光層、２４２…第２感光層、３０１…液体吐出面、３０２…液体流入面、３２１…金属パターン膜、３２２…オーバハング電鋳膜、３２３、３２４…液体吐出面層

Claims (9)

1. 所定の基板の一方の面に感光性材料からなる感光層を形成する工程と、
   前記感光層上に、露光用の光を透過しない非透光性材料からなり、周縁が曲面状の曲面付き開口部を有する曲面付き開口層を形成する曲面付き開口層形成工程と、
   前記感光層の前記曲面付き開口層が形成されている側の面に対して斜め方向から露光用の光を入射させつつ、前記基板を回転させて、前記曲面付き開口層を露光マスクとして用いて前記感光層を露光することにより、前記感光層中にテーパ形状感光部を形成する露光工程と、
   前記感光層を現像して、前記感光層のうちで前記テーパ形状感光部を残し非感光部を除去する現像工程と、
   前記テーパ形状感光部を型として用いて、前記曲面付き開口部に連結したテーパ形状開口部を有するテーパ形状開口層を形成するテーパ形状開口層形成工程と、
   前記テーパ形状感光部および前記基板を除去する除去工程と、
   を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
2. 前記曲面付き開口層形成工程は、
   非導電性の前記感光層上に、開口パターンを有する第１の導電膜を形成するパターニング工程と、
   前記第１の導電膜を電極として用いて電鋳を行い、前記第１の導電膜上を覆うとともに前記第１の導電膜の開口縁からオーバハングした非透光性の第２の導電膜を形成するオーバハング電鋳工程と、
   を含むことを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造方法。
3. 前記オーバハング電鋳工程は、金属材料および撥液性材料を含む電鋳液を用い、該電鋳液中の撥液性材料を金属材料とともに前記第２の導電膜として共析させることを特徴とする請求項２に記載のノズルプレートの製造方法。
4. 前記基板は、多孔質材料によって構成され、
   前記テーパ形状開口層形成工程は、前記曲面付き開口層を電極として用いた電鋳により行うことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のノズルプレートの製造方法。
5. 前記曲面付き開口層形成工程よりも前に、前記感光層の一部を露光して前記感光層を厚さ方向に貫通するまで前記感光層を感光させることにより、形成しようとする前記テーパ形状感光部の周囲に位置させ且つ前記基板と前記曲面付き開口層との間に介在させる支持材を形成する支持材形成工程を更に備えたことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のノズルプレートの製造方法。
6. 前記曲面付き開口層形成工程よりも後であって前記現像工程よりも前に、前記曲面付き開口層の前記感光層が形成されている側とは反対側の面に感光性材料を付着させるとともに、該感光性材料のうちで一部を前記現像工程で除去しないで型として用いることにより、前記曲面付き開口部に連結する凹形状のザグリ部、および、前記曲面付き開口部の周囲に位置する凹形状の溝部のうちで少なくとも一方を形成することを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載のノズルプレートの製造方法。
7. 露光用の光の入射角度の大小に応じて前記露光用の光の透過率が変化する特性を有する光干渉膜を有する露光マスク、または、前記光干渉膜と前記露光用の光を透過させない光遮断膜とからなる露光マスク、または、前記光遮断膜を有する露光マスクを用意し、
   所定の基板の一方の面に感光性材料からなる感光層を形成する工程と、
   前記感光層上に、前記露光用の光を透過しない非透光性材料からなり、周縁が曲面状の曲面付き開口部を有する曲面付き開口層を形成する曲面付き開口層形成工程と、
   前記感光層の前記曲面付き開口層が形成されている側の面に対して略垂直に前記露光用の光を入射させて、少なくとも前記曲面付き開口層を用いて、前記感光層を露光する第１露光工程と、
   前記感光層の前記曲面付き開口層が形成されている側の面に対して斜め方向から露光用の光を入射させつつ前記基板を回転させて、前記曲面付き開口層および前記露光マスクを用いて、前記感光層を露光する第２露光工程と、
   前記感光層を現像して、前記感光層の非感光部を除去する現像工程と、
   前記感光層の感光部を型として用いて、前記曲面付き開口部に連結したストレート形状開口部と該ストレート形状開口部に連結したテーパ形状開口部とを有するテーパ形状開口層を形成するテーパ形状開口層形成工程と、
   前記感光層の感光部および前記基板を除去する除去工程と、
   を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
8. 請求項１乃至７の何れか１項に記載のノズルプレートの製造方法により製造されたノズルプレートを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
9. 請求項８に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする画像形成装置。

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