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JP2008037671A - Glass plate with infrared shielding film - Google Patents

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JP2008037671A
JP2008037671A JP2006210678A JP2006210678A JP2008037671A JP 2008037671 A JP2008037671 A JP 2008037671A JP 2006210678 A JP2006210678 A JP 2006210678A JP 2006210678 A JP2006210678 A JP 2006210678A JP 2008037671 A JP2008037671 A JP 2008037671A
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JP
Japan
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infrared shielding
shielding film
glass plate
film
layer
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Withdrawn
Application number
JP2006210678A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuya Yaoita
和也 矢尾板
Yukio Kimura
幸雄 木村
Yoshihito Katayama
佳人 片山
Hiroyuki Tomonaga
浩之 朝長
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AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
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Publication date
Application filed by Asahi Glass Co Ltd filed Critical Asahi Glass Co Ltd
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Abstract

【課題】可視光透過率、赤外線透過率、電波透過性および機械的耐久性に優れ、かつ、日射エネルギーの吸収を抑制することができる赤外線遮蔽膜付きガラス板の提供。
【解決手段】ガラス板と、第1の赤外線遮蔽膜と、第2の赤外線遮蔽膜とを有し、第1の赤外線遮蔽膜が、高屈折率無機質材料からなる被膜(1)と低屈折率無機質材料からなる被膜(2)とが交互に積層された積層被膜(X)を有し、被膜(1)の数と被膜(2)の数の合計が3以上であり、被膜(1)の幾何学的厚さが70〜150nmであり、被膜(2)の幾何学的厚さが100〜200nmである赤外線遮蔽膜であり、第2の赤外線遮蔽膜が、酸化ケイ素を主体とするマトリックス中に、平均一次粒子径100nm以下のスズドープ酸化インジウム微粒子が分散した構成を有し、幾何学的厚さが0.2〜12μmである赤外線遮蔽膜である、赤外線遮蔽膜付きガラス板。
【選択図】図1
An object of the present invention is to provide a glass plate with an infrared shielding film that is excellent in visible light transmittance, infrared transmittance, radio wave permeability and mechanical durability, and capable of suppressing the absorption of solar energy.
A glass plate, a first infrared shielding film, and a second infrared shielding film, wherein the first infrared shielding film comprises a coating (1) made of a high refractive index inorganic material and a low refractive index. It has a laminated film (X) in which films (2) made of an inorganic material are alternately laminated, and the total of the number of films (1) and the number of films (2) is 3 or more. An infrared shielding film having a geometric thickness of 70 to 150 nm and a geometrical thickness of the coating (2) of 100 to 200 nm. The second infrared shielding film is in a matrix mainly composed of silicon oxide. A glass plate with an infrared shielding film, which is an infrared shielding film having a configuration in which tin-doped indium oxide fine particles having an average primary particle diameter of 100 nm or less are dispersed and having a geometric thickness of 0.2 to 12 μm.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、赤外線遮蔽膜付きガラス板に関する。   The present invention relates to a glass plate with an infrared shielding film.

近年、車両用ガラスや建築用ガラスを通して車内や建物内に流入する赤外線を遮蔽し、車内や建物内の温度上昇、冷房負荷を軽減する目的から赤外線遮蔽膜付きガラス板が採用されている(例えば、特許文献1参照。)。また、車両用ガラスや建築用ガラスでは、安全性や視界を確保するため、可視光透過率が高いことが要求される場合も多い。
ガラス板に赤外線遮蔽性能を付加させて熱線遮蔽性を高める手法は、これまでにも数多く提案されている。例えば、ガラス板に赤外線吸収性のイオンを加えることによりガラス板自体に赤外線遮蔽性能を付加しようとしたもの、ガラス板表面に導電膜を形成することにより赤外線遮蔽性能を付加しようとしたものが提案され、実際に使用されてきている。
In recent years, a glass plate with an infrared shielding film has been adopted for the purpose of shielding infrared rays flowing into a vehicle or building through vehicle glass or architectural glass, and reducing the temperature rise and cooling load in the vehicle or building (for example, , See Patent Document 1). In addition, vehicle glass and architectural glass are often required to have high visible light transmittance in order to ensure safety and visibility.
Many methods have been proposed so far in which infrared ray shielding performance is added to a glass plate to enhance heat ray shielding. For example, those that tried to add infrared shielding performance to the glass plate itself by adding infrared absorbing ions to the glass plate, and those that tried to add infrared shielding performance by forming a conductive film on the glass plate surface were proposed. Has been used in practice.

しかし、ガラス板に赤外線吸収性のイオンを加える手法では、可視光透過率を高く保ったまま赤外線吸収性を高めること、特に、波長1.5〜2.7μmの中波長赤外線の遮蔽性を高めることが、困難であった。
また、ガラス板表面に導電膜を形成する手法では、導電膜のために電波がガラスを透過することができず、近年の移動体通信の普及に伴って開口部の電波透過性が要求されるようになってきていることから、不都合が生じることがあった。
このように、透明性、赤外線遮蔽性および電波透過性を同時に有するガラス板を製造することは極めて困難であった。
However, in the method of adding infrared absorbing ions to the glass plate, the infrared absorbing property is increased while keeping the visible light transmittance high, and in particular, the shielding property of the medium wavelength infrared ray having a wavelength of 1.5 to 2.7 μm is increased. It was difficult.
Further, in the method of forming a conductive film on the surface of the glass plate, radio waves cannot pass through the glass because of the conductive film, and the radio transmission of the opening is required with the recent spread of mobile communication. As a result, inconvenience may occur.
Thus, it has been extremely difficult to produce a glass plate having transparency, infrared shielding properties and radio wave transmission properties at the same time.

以上のような問題を解決するために、高い赤外線遮蔽性を発現する、スズドープ酸化インジウム微粒子(以下「ITO微粒子」ともいう。)をバインダに分散させた被膜をガラス板表面に塗布し、赤外線遮蔽膜付きガラス板とする方法が提案されてきている(特許文献2および3参照。)。この方法であれば、比較的高い可視光線透過率を維持したまま赤外線遮蔽性を付与できるとともに、膜としての導電性もバインダの存在によって抑制されるため、電波透過性を付与させることも可能となる。
この系に用いられるバインダは、通常、有機系バインダまたは無機系バインダであるが、有機系バインダでは得られる被膜の機械的耐久性が乏しく、例えば、自動車用ドアガラス板等の機械的耐久性を要求される部位には使用することができないという問題があった。一方、無機系バインダとして、ゾルゲル法を初めとする材料が用いられることが多いが、それでも上記のような機械的耐久性が要求される部位で使用することができるほどに耐久性の優れた被膜を製造するためには、比較的高い温度、例えば、400℃以上、好ましくは500℃以上の温度で熱処理をする必要があった。
In order to solve the above-described problems, a coating film in which tin-doped indium oxide fine particles (hereinafter also referred to as “ITO fine particles”) exhibiting high infrared shielding properties are dispersed in a binder is applied to the surface of the glass plate to shield the infrared rays. A method of forming a glass plate with a film has been proposed (see Patent Documents 2 and 3). With this method, it is possible to impart infrared ray shielding properties while maintaining a relatively high visible light transmittance, and it is also possible to impart radio wave permeability because conductivity as a film is suppressed by the presence of a binder. Become.
The binder used in this system is usually an organic binder or an inorganic binder, but the organic binder has a poor mechanical durability of the obtained film, for example, a mechanical durability such as an automotive door glass plate. There was a problem that it could not be used for the required part. On the other hand, a material such as a sol-gel method is often used as an inorganic binder, but the coating is so durable that it can still be used in parts where mechanical durability is required. In order to manufacture, it was necessary to heat-treat at a relatively high temperature, for example, 400 ° C. or higher, preferably 500 ° C. or higher.

しかしながら、スズドープ酸化インジウム導電体は酸素欠損型の半導体であるため、酸素の存在下で300℃以上の温度におかれると、自由電子が酸化によって失われてしまい、赤外線遮蔽性が消失してしまう。このため、赤外線遮蔽性を保ち、機械的耐久性に優れた被膜を製造するためには、コスト面で圧倒的に不利な非酸化性雰囲気下での熱処理を行うか、赤外線遮蔽性を有する被膜の表面に、更にスズドープ酸化インジウム酸化防止層を被覆するか、高価なITO微粒子を被膜中に多量に含有させるかの必要があり、非経済的であった。   However, since the tin-doped indium oxide conductor is an oxygen-deficient semiconductor, free electrons are lost due to oxidation and the infrared shielding property is lost when the conductor is placed at a temperature of 300 ° C. or higher in the presence of oxygen. . For this reason, in order to produce a coating film that maintains infrared shielding properties and excellent mechanical durability, heat treatment is performed in a non-oxidizing atmosphere, which is overwhelmingly disadvantageous in terms of cost, or a coating film having infrared shielding properties. Further, it is necessary to coat a tin-doped indium oxide anti-oxidation layer on the surface of the film or to contain a large amount of expensive ITO fine particles in the film, which is uneconomical.

特開平10−279329号公報JP-A-10-279329 特開平7−70482号公報JP-A-7-70482 特開平8−41441号公報Japanese Patent Laid-Open No. 8-41441

本発明者は、鋭意研究した結果、酸化ケイ素を主体とし、かつ、Siに対して2原子%以上の窒素を含むマトリックス中に、平均一次粒子径100nm以下のITO微粒子が分散している構成の、厚さ200〜3000nmの赤外線遮蔽膜をガラス板の表面上に設けることにより、可視光透過率が高く、赤外線透過率が低く、電波透過性が高く、自動車用窓ガラス板等の機械的耐久性が高度に要求される部位へも適用が可能となることを見出した。
本発明者は、上記の赤外線遮蔽膜を設けた場合に、ITO微粒子による赤外線吸収が起こるため、吸収された日射エネルギーが再放射されることを見出した。この場合、例えば、上記の赤外線遮蔽膜付きガラス板を自動車用窓ガラスとして用いたときや建築用窓ガラスとして用いたときに、車内側や室内側に日射エネルギーが再放射されると問題となることがある。
そこで、本発明は、可視光透過率が高く、赤外線透過率が低く、電波透過性が高く、機械的耐久性に優れ、かつ、日射エネルギーの吸収を抑制することができる赤外線遮蔽膜付きガラス板を提供することを目的とする。
As a result of earnest research, the inventor has a structure in which ITO fine particles having an average primary particle diameter of 100 nm or less are dispersed in a matrix mainly composed of silicon oxide and containing 2 atomic% or more of nitrogen with respect to Si. By providing an infrared shielding film having a thickness of 200 to 3000 nm on the surface of the glass plate, the visible light transmittance is high, the infrared transmittance is low, the radio wave transmittance is high, and the mechanical durability of a window glass plate for automobiles, etc. It has been found that it can also be applied to sites where high sex is required.
The present inventor has found that when the infrared shielding film is provided, infrared absorption by the ITO fine particles occurs, so that the absorbed solar energy is re-radiated. In this case, for example, when the above-mentioned glass plate with an infrared shielding film is used as a window glass for automobiles or when used as a window glass for buildings, it becomes a problem if solar radiation energy is re-radiated to the vehicle interior or indoor side. Sometimes.
Therefore, the present invention provides a glass plate with an infrared shielding film having a high visible light transmittance, a low infrared transmittance, a high radio wave transmittance, excellent mechanical durability, and suppression of absorption of solar energy. The purpose is to provide.

本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意研究した結果、上記赤外線遮蔽膜付きガラス板に、更に、特定の赤外線反射性能を有する赤外線遮蔽膜を設けることにより、可視光透過率が高く、赤外線透過率が低く、電波透過性が高く、機械的耐久性に優れ、かつ、日射エネルギーの吸収を抑制することができる赤外線遮蔽膜付きガラス板を実現することができることを見出し、本発明を完成させた。   As a result of earnest research to achieve the above object, the inventor of the present invention has a high visible light transmittance by providing an infrared shielding film having a specific infrared reflecting performance on the glass plate with an infrared shielding film. It was found that a glass plate with an infrared shielding film having low transmittance, high radio wave permeability, excellent mechanical durability, and capable of suppressing the absorption of solar radiation energy, and completed the present invention. It was.

すなわち、本発明は、以下の(i)〜(ix)を提供する。
(i)ガラス板と、第1の赤外線遮蔽膜と、第2の赤外線遮蔽膜とを有する赤外線遮蔽膜付きガラス板であって、
前記第1の赤外線遮蔽膜が、屈折率が1.90以上の高屈折率無機質材料からなる被膜(1)と屈折率が1.56以下の低屈折率無機質材料からなる被膜(2)とが交互に積層された積層被膜(X)を有し、前記被膜(1)の数と前記被膜(2)の数の合計が3以上であり、前記被膜(1)の幾何学的厚さが70〜150nmであり、前記被膜(2)の幾何学的厚さが100〜200nmである赤外線遮蔽膜であり、
前記第2の赤外線遮蔽膜が、酸化ケイ素を主体とするマトリックス中に、平均一次粒子径100nm以下のスズドープ酸化インジウム微粒子が分散した構成を有し、幾何学的厚さが0.2〜12μmである赤外線遮蔽膜である、赤外線遮蔽膜付きガラス板。
(ii)前記被膜(1)の少なくとも一つが、酸化チタンまたは酸窒化チタンの単層膜(1a)である、上記(i)に記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。
(iii)前記被膜(1)の少なくとも一つが、異なる種類の高屈折率無機質材料からなる2層以上の多層構造からなる高屈折多層膜(1b)であり、前記高屈折多層膜(1b)の少なくとも一つの層が酸化チタンまたは酸窒化チタンの層である、上記(i)に記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。
(iv)前記高屈折多層膜(1b)の少なくとも一つの層が酸化チタンまたは酸窒化チタンの層であり、前記高屈折多層膜(1b)の他の少なくとも一つの層が酸化ジルコニウムの層である、上記(iii)に記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。
(v)前記積層被膜(X)が、酸化ジルコニウムの層と酸化チタンまたは酸窒化チタンの層とを含む幾何学的厚さの合計が70〜150nmの高屈折率多層被膜(1b−1)の二つと、二つの前記高屈折率多層被膜(1b−1)の間に存在する前記被膜(2)とからなる、上記(i)に記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。
(vi)前記被膜(2)が酸化ケイ素の層である、上記(i)〜(v)のいずれかに記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。
That is, the present invention provides the following (i) to (ix).
(I) A glass plate with an infrared shielding film having a glass plate, a first infrared shielding film, and a second infrared shielding film,
The first infrared shielding film includes a film (1) made of a high refractive index inorganic material having a refractive index of 1.90 or more and a film (2) made of a low refractive index inorganic material having a refractive index of 1.56 or less. The film has alternating laminated films (X), the total number of the films (1) and the films (2) is 3 or more, and the geometric thickness of the film (1) is 70. An infrared shielding film having a thickness of ˜150 nm and a geometric thickness of the coating (2) of 100 to 200 nm;
The second infrared shielding film has a configuration in which tin-doped indium oxide fine particles having an average primary particle diameter of 100 nm or less are dispersed in a matrix mainly composed of silicon oxide, and has a geometric thickness of 0.2 to 12 μm. A glass plate with an infrared shielding film, which is an infrared shielding film.
(Ii) The glass plate with an infrared shielding film according to (i), wherein at least one of the coating films (1) is a single layer film (1a) of titanium oxide or titanium oxynitride.
(Iii) At least one of the films (1) is a high refractive multilayer film (1b) having a multilayer structure of two or more layers made of different types of high refractive index inorganic materials, and the high refractive multilayer film (1b) The glass plate with an infrared shielding film according to (i) above, wherein at least one layer is a layer of titanium oxide or titanium oxynitride.
(Iv) At least one layer of the high refractive multilayer film (1b) is a layer of titanium oxide or titanium oxynitride, and at least one other layer of the high refractive multilayer film (1b) is a layer of zirconium oxide. The glass plate with an infrared shielding film according to (iii) above.
(V) The multilayer coating (X) is a high refractive index multilayer coating (1b-1) having a total geometric thickness of 70 to 150 nm including a zirconium oxide layer and a titanium oxide or titanium oxynitride layer. The glass plate with an infrared shielding film according to (i) above, comprising two and the coating (2) existing between the two high refractive index multilayer coatings (1b-1).
(Vi) The glass plate with an infrared shielding film according to any one of (i) to (v), wherein the coating (2) is a silicon oxide layer.

(vii)前記第2の赤外線遮蔽膜が、前記ガラス板または前記ガラス板の上の前記第1の赤外線遮蔽膜の表面上に、平均一次粒子径が100nm以下であるスズドープ酸化インジウム微粒子と、酸化ケイ素ゲルを形成しうるケイ素化合物と、有機溶媒とを含有し、前記スズドープ酸化インジウム微粒子の含有量が1〜10質量%である分散液を塗布して、前記ケイ素化合物および/または前記ケイ素化合物のゲル化物を含有するスズドープ酸化インジウム微粒子分散層を形成させ、ついで、前記ガラス板の温度が300℃以下となる温度で加熱することにより、前記スズドープ酸化インジウム微粒子分散層中の前記ケイ素化合物および/または前記ケイ素化合物のゲル化物を硬化させて形成された赤外線遮蔽膜である、上記(i)〜(vi)のいずれかに記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。
(viii)前記ケイ素化合物がポリシラザンである、上記(vii)に記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。
(ix)JIS R3212:1998に規定されている可視光透過率が70%以上である、上記(i)〜(viii)のいずれかに記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。
(Vii) The second infrared shielding film is tin-doped indium oxide fine particles having an average primary particle diameter of 100 nm or less on the glass plate or the surface of the first infrared shielding film on the glass plate, and oxidized. A silicon compound that can form a silicon gel and an organic solvent, and a dispersion liquid containing 1 to 10% by mass of the tin-doped indium oxide fine particles is applied to the silicon compound and / or the silicon compound. By forming a tin-doped indium oxide fine particle dispersion layer containing a gelled product, and then heating the glass plate at a temperature of 300 ° C. or less, the silicon compound in the tin-doped indium oxide fine particle dispersion layer and / or (I) to (vi), which are infrared shielding films formed by curing the gelled product of the silicon compound. Infrared shielding film-coated glass plate according to any one of.
(Viii) The glass plate with an infrared shielding film according to (vii), wherein the silicon compound is polysilazane.
(Ix) The glass plate with an infrared shielding film according to any one of (i) to (viii), wherein the visible light transmittance defined in JIS R3212: 1998 is 70% or more.

本発明の赤外線遮蔽膜付きガラス板は、可視光透過率が高く、赤外線透過率が低く、電波透過性が高く、機械的耐久性に優れ、かつ、日射エネルギーの吸収が抑制されている。   The glass plate with an infrared shielding film of the present invention has high visible light transmittance, low infrared transmittance, high radio wave permeability, excellent mechanical durability, and suppression of solar energy.

以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の赤外線遮蔽膜付きガラス板は、ガラス板と、第1の赤外線遮蔽膜と、第2の赤外線遮蔽膜とを有する赤外線遮蔽膜付きガラス板であって、前記第1の赤外線遮蔽膜が、屈折率が1.90以上の高屈折率無機質材料からなる被膜(1)と屈折率が1.56以下の低屈折率無機質材料からなる被膜(2)とが交互に積層された積層被膜(X)を有し、前記被膜(1)の数と前記被膜(2)の数の合計が3以上であり、前記被膜(1)の幾何学的厚さが70〜150nmであり、前記被膜(2)の幾何学的厚さが100〜200nmである赤外線遮蔽膜であり、前記第2の赤外線遮蔽膜が、酸化ケイ素を主体とするマトリックス中に、平均一次粒子径100nm以下のスズドープ酸化インジウム微粒子が分散した構成を有し、幾何学的厚さが200〜3000nmである赤外線遮蔽膜である、赤外線遮蔽膜付きガラス板である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The glass plate with an infrared shielding film of the present invention is a glass plate with an infrared shielding film having a glass plate, a first infrared shielding film, and a second infrared shielding film, wherein the first infrared shielding film is a glass plate. A laminated film (1) made of a high refractive index inorganic material having a refractive index of 1.90 or more and a film (2) made of a low refractive index inorganic material having a refractive index of 1.56 or less are alternately laminated ( X), the sum of the number of the coating films (1) and the number of the coating films (2) is 3 or more, the geometric thickness of the coating film (1) is 70 to 150 nm, 2) An infrared shielding film having a geometric thickness of 100 to 200 nm, wherein the second infrared shielding film is a tin-doped indium oxide fine particle having an average primary particle diameter of 100 nm or less in a matrix mainly composed of silicon oxide. Has a distributed configuration and geometric thickness An infrared shielding film is 200~3000Nm, an infrared shielding film-coated glass plate.

本発明の赤外線遮蔽膜付きガラス板は、ガラス板と、第1の赤外線遮蔽膜と、第2の赤外線遮蔽膜とを有する。ガラス板と第1の赤外線遮蔽膜と第2の赤外線遮蔽膜とが積層される順序は、特に限定されない。すなわち、ガラス板、第1の赤外線遮蔽膜、第2の赤外線遮蔽膜の順、第1の赤外線遮蔽膜、ガラス板、第2の赤外線遮蔽膜の順および第1の赤外線遮蔽膜、第2の赤外線遮蔽膜、ガラスの順のいずれであってもよい。   The glass plate with an infrared shielding film of the present invention includes a glass plate, a first infrared shielding film, and a second infrared shielding film. The order in which the glass plate, the first infrared shielding film, and the second infrared shielding film are laminated is not particularly limited. That is, the order of the glass plate, the first infrared shielding film, the second infrared shielding film, the first infrared shielding film, the glass plate, the order of the second infrared shielding film, the first infrared shielding film, the second Any of the order of an infrared shielding film and glass may be sufficient.

図1は、本発明の赤外線遮蔽膜付きガラス板の種々の例を示す概略断面図である。
図1(A)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板1は、ガラス板10の一方の面に第1の赤外線遮蔽膜12を有し、第1の赤外線遮蔽膜12の上に第2の赤外線遮蔽膜14を有している。
図1(B)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板2は、ガラス板10の一方の面に第1の赤外線遮蔽膜12を有し、ガラス板10の他方の面に第2の赤外線遮蔽膜14を有している。
図1(C)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板3は、ガラス板10の一方の面に第2の赤外線遮蔽膜14を有し、第2の赤外線遮蔽膜14の上に第1の赤外線遮蔽膜12を有している。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing various examples of the glass plate with an infrared shielding film of the present invention.
A glass plate 1 with an infrared shielding film shown in FIG. 1A has a first infrared shielding film 12 on one surface of a glass plate 10, and a second infrared ray on the first infrared shielding film 12. A shielding film 14 is provided.
A glass plate 2 with an infrared shielding film shown in FIG. 1B has a first infrared shielding film 12 on one surface of the glass plate 10, and a second infrared shielding film on the other surface of the glass plate 10. 14.
The glass plate 3 with an infrared shielding film shown in FIG. 1C has a second infrared shielding film 14 on one surface of the glass plate 10, and the first infrared ray is on the second infrared shielding film 14. A shielding film 12 is provided.

図1(A)〜図1(C)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板1〜3は、いずれも、自動車用窓ガラス、建築用窓ガラス等として用いる場合には、第2の赤外線遮蔽膜14より外側に第1の赤外線遮蔽膜12が位置するような配置(図1中、上側が外側となるような配置)で用いられるのが好ましい。このように配置すると、外側から入射する赤外線が、まず第1の赤外線遮蔽膜12により反射されるため、第2の赤外線遮蔽膜14に到達する赤外線の量が少なくなり、結果として、第2の赤外線遮蔽膜14により吸収され、再放射される日射エネルギーの量を抑制することができる。   The glass plates 1 to 3 with an infrared shielding film shown in FIGS. 1 (A) to 1 (C) are all second infrared shielding films when used as window glass for automobiles, window glass for construction, and the like. It is preferable that the first infrared shielding film 12 is positioned outside 14 (an arrangement in which the upper side is the outside in FIG. 1). With this arrangement, since the infrared rays incident from the outside are first reflected by the first infrared shielding film 12, the amount of infrared rays reaching the second infrared shielding film 14 is reduced, and as a result, the second The amount of solar radiation energy absorbed and re-radiated by the infrared shielding film 14 can be suppressed.

図1(A)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板1は、ガラス板10と第2の赤外線遮蔽膜14とにより両面が構成されているので、耐擦傷性に優れるという利点がある。
図1(B)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板2および図1(C)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板3は、いずれも、日射エネルギーが赤外線遮蔽膜付きガラス板に入射する前に外側に反射させることができるので、内側への日射透過率を小さくすることができるという利点がある。さらに、内側への日射透過率が小さいことから、ガラス板10として赤外線を吸収する有色透明ガラスを用いることもでき、この場合には、内側(車両窓として用いる場合、車内)への赤外線の侵入を大きく抑制することができる。
The glass plate 1 with an infrared shielding film shown in FIG. 1 (A) has an advantage of being excellent in scratch resistance because both sides are constituted by the glass plate 10 and the second infrared shielding film 14.
Both the glass plate 2 with an infrared shielding film shown in FIG. 1 (B) and the glass plate 3 with an infrared shielding film shown in FIG. 1 (C) before the solar energy enters the glass plate with an infrared shielding film. Since it can be reflected to the outside, there is an advantage that the solar radiation transmittance to the inside can be reduced. Furthermore, since the solar radiation transmittance to the inside is small, colored transparent glass that absorbs infrared rays can be used as the glass plate 10, and in this case, the penetration of infrared rays into the inside (when used as a vehicle window) Can be greatly suppressed.

<ガラス板>
ガラス板は、特に限定されず、例えば、無機系のガラス材料からなるガラス板、有機系のガラス材料からなるガラス板が挙げられる。自動車用窓ガラス、特に、ウインドシールドや摺動窓に用いる場合には、無機系のガラス材料からなるガラス板を用いるのが好ましい。無機系のガラス材料としては、例えば、通常のソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス、石英ガラスが挙げられる。
無機系のガラス材料として、紫外線や赤外線を吸収するガラスを用いることもできる。
中でも、JIS R3212:1998に規定されている可視光透過率が70%以上であり、波長1μmの光の透過率が30%以下であり、かつ、波長2μmの光の透過率が40〜70%である無機系のガラス材料からなるガラス板が好ましい。
<Glass plate>
The glass plate is not particularly limited, and examples thereof include a glass plate made of an inorganic glass material and a glass plate made of an organic glass material. When used for window glass for automobiles, particularly windshields and sliding windows, it is preferable to use a glass plate made of an inorganic glass material. Examples of the inorganic glass material include ordinary soda lime glass, borosilicate glass, alkali-free glass, and quartz glass.
As the inorganic glass material, glass that absorbs ultraviolet rays or infrared rays can also be used.
Among them, the visible light transmittance defined in JIS R3212: 1998 is 70% or more, the transmittance of light having a wavelength of 1 μm is 30% or less, and the transmittance of light having a wavelength of 2 μm is 40 to 70%. A glass plate made of an inorganic glass material is preferred.

<第1の赤外線遮蔽膜>
第1の赤外線遮蔽膜は、屈折率が1.90以上の高屈折率無機質材料からなる被膜(1)と屈折率が1.56以下の低屈折率無機質材料からなる被膜(2)とが交互に積層された積層被膜(X)を有し、前記被膜(1)の数と前記被膜(2)の数の合計が3以上であり、前記被膜(1)の幾何学的厚さが70〜150nmであり、前記被膜(2)の幾何学的厚さが100〜200nmである、赤外線反射性能を有する赤外線遮蔽膜である。
<First infrared shielding film>
The first infrared shielding film has a film (1) made of a high refractive index inorganic material having a refractive index of 1.90 or more and a film (2) made of a low refractive index inorganic material having a refractive index of 1.56 or less alternately. The total number of the coating films (1) and the coating films (2) is 3 or more, and the geometric thickness of the coating film (1) is 70 to It is an infrared shielding film having infrared reflection performance, having a thickness of 150 nm and a geometric thickness of the coating film (2) of 100 to 200 nm.

本発明において、高屈折率無機質材料とは、ガラス板の屈折率よりも高い屈折率を有する無機質の材料である。その屈折率の値は、1.90以上であり、2.00〜2.60であるのが好ましく、2.20〜2.60であるのがより好ましい(なお、屈折率の値は、波長550nmにおける値である。以下同様。)。
高屈折率無機質材料としては、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ、酸化スズ、窒化チタン、窒化ケイ素、窒化ジルコニウム、窒化アルミニウム、酸窒化チタン、酸窒化スズ等が好適に挙げられる。
In the present invention, the high refractive index inorganic material is an inorganic material having a refractive index higher than that of the glass plate. The refractive index value is 1.90 or more, preferably 2.00 to 2.60, more preferably 2.20 to 2.60 (note that the refractive index value is a wavelength). This is the value at 550 nm, and so on.)
Preferred examples of the high refractive index inorganic material include titanium oxide, zinc oxide, tantalum oxide, zirconium oxide, niobium oxide, tin oxide, titanium nitride, silicon nitride, zirconium nitride, aluminum nitride, titanium oxynitride, and tin oxynitride. It is done.

本発明において、低屈折率無機質材料とは、前記高屈折率無機質材料よりも屈折率が低い無機質の材料である。屈折率の値は1.56以下であり、1.40〜1.56であるのが好ましく、1.45〜1.56であるのがより好ましい。
低屈折率無機質材料としては、酸化ケイ素、MgF2、酸化ケイ素と他の材料(Al、F、C、B、P等)との複合酸化物等が好適に挙げられる。中でも、酸化ケイ素、酸化ケイ素とAlとの複合酸化物が好ましく、酸化ケイ素がより好ましい。
In the present invention, the low refractive index inorganic material is an inorganic material having a refractive index lower than that of the high refractive index inorganic material. The value of the refractive index is 1.56 or less, preferably 1.40 to 1.56, and more preferably 1.45 to 1.56.
Preferred examples of the low refractive index inorganic material include silicon oxide, MgF 2 , and composite oxides of silicon oxide and other materials (Al, F, C, B, P, etc.). Among these, silicon oxide, a composite oxide of silicon oxide and Al is preferable, and silicon oxide is more preferable.

本発明において被膜(1)の幾何学的厚さ(被膜(1)が多層膜である場合は各層の幾何学的厚さの合計)は、70〜150nmであり、90〜150nmであるのが好ましく、100〜140nmであるのがより好ましい。
被膜(2)の幾何学的厚さ(被膜(2)が多層膜である場合は各層の幾何学的厚さの合計)は、120〜220nmであり、150〜220nmであるのが好ましく、170〜200nmであるのがより好ましい。
被膜(1)を構成する高屈折率無機質材料の屈折率の値と、被膜(2)を構成する低屈折率無機質材料の屈折率の値とを考慮すると、被膜(1)の幾何学的厚さおよび被膜(2)の幾何学的厚さが上記範囲であると、各被膜の光学的厚さが赤外線の波長の約4分の1になり、被膜(1)と被膜(2)とを交互に積層した積層被膜(X)の干渉作用により赤外線を効率的に反射させることができる。
In the present invention, the geometric thickness of the coating film (1) (when the coating film (1) is a multilayer film, the total geometric thickness of each layer) is 70 to 150 nm, and 90 to 150 nm. Preferably, it is 100-140 nm.
The geometric thickness of the coating (2) (when the coating (2) is a multilayer film, the total geometric thickness of each layer) is 120 to 220 nm, preferably 150 to 220 nm, and 170 More preferably, it is -200 nm.
Considering the value of the refractive index of the high refractive index inorganic material constituting the film (1) and the value of the refractive index of the low refractive index inorganic material constituting the film (2), the geometric thickness of the film (1) When the thickness and the geometric thickness of the coating (2) are within the above range, the optical thickness of each coating is about one-fourth of the wavelength of infrared rays, and the coating (1) and the coating (2) Infrared rays can be efficiently reflected by the interference action of the laminated coatings (X) laminated alternately.

被膜(1)と被膜(2)との積層順序は、自動車用窓ガラス、建築用窓ガラス等として用いる場合に、最も外側に被膜(1)が位置するのが好ましい。
例えば、図1(A)〜図1(C)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板1〜3が、第2の赤外線遮蔽膜14より外側に第1の赤外線遮蔽膜12が位置するような配置(図1中、上側が外側となるような配置)で用いられる場合には、図1(A)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板1においては、ガラス板10側から、被膜(1)、被膜(2)、被膜(1)・・・と交互に積層されるのが好ましく、また、図1(B)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板2および図1(C)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板3においては、ガラス板10と反対の側から、被膜(1)、被膜(2)、被膜(1)・・・と交互に積層されるのが好ましい。
The order of laminating the film (1) and the film (2) is preferably such that the film (1) is positioned on the outermost side when used as an automotive window glass, an architectural window glass, or the like.
For example, the glass plates 1 to 3 with the infrared shielding film shown in FIGS. 1A to 1C are arranged such that the first infrared shielding film 12 is positioned outside the second infrared shielding film 14. In the case of being used in (an arrangement in which the upper side is the outside in FIG. 1), in the glass plate 1 with an infrared shielding film shown in FIG. 1 (A), from the glass plate 10 side, the coating (1), The film (2), the film (1),... Are preferably laminated alternately, and the glass plate 2 with an infrared shielding film shown in FIG. 1 (B) and the infrared shielding shown in FIG. 1 (C). In the glass plate 3 with a film, it is preferable to laminate | stack alternately with a film (1), a film (2), a film (1) ... from the opposite side to the glass plate 10.

積層被膜(X)においては、被膜(1)の数と被膜(2)の数の合計が3以上である。したがって、少なくとも二つの被膜(1)が存在するが、これらは、それぞれ同じ材料からなる被膜であってもよく、異なる材料からなる被膜であってもよい。被膜(2)についても同様であり、第1の赤外線遮蔽膜中に被膜(2)が2以上存在する場合、それぞれ同じ材料からなる被膜であってもよく、異なる材料からなる被膜であってもよい。   In the laminated coating (X), the total number of coatings (1) and coatings (2) is 3 or more. Accordingly, there are at least two coatings (1), which may be coatings made of the same material or coatings made of different materials. The same applies to the coating (2). When two or more coatings (2) are present in the first infrared shielding film, they may be coatings made of the same material or coatings made of different materials. Good.

被膜(1)(複数あるうちの各被膜(1))は、単独の高屈折率無機質材料からなる単層膜であってもよく、異なる種類の高屈折率無機質材料からなる2層以上の多層構造からなる高屈折率多層膜(1b)であってもよい。
被膜(1)が単層膜である場合、酸化チタンまたは酸窒化チタンの単層膜(1a)であるのが好ましい。酸化チタンは、透明であり、高屈折率無機質材料の中でも特に屈折率が高いため、膜厚を小さくすることができるという利点がある。また、酸窒化チタンも、高い屈折率を有するので有利である。酸窒化チタン層の単層膜は、酸窒化チタン(TiOxy)層のみからなる膜である。被膜(1)の材料として酸窒化チタンを使用する場合、反射率、透過率等の光学特性をより良好にできるため、チタンに対する窒素の量が0.1〜20%であるのが好ましい。
The coating (1) (each of the coatings (1)) may be a single-layer film made of a single high-refractive index inorganic material, or two or more layers made of different types of high-refractive index inorganic materials. It may be a high refractive index multilayer film (1b) having a structure.
When the film (1) is a single layer film, it is preferably a single layer film (1a) of titanium oxide or titanium oxynitride. Titanium oxide is transparent and has an advantage that the film thickness can be reduced because the refractive index is particularly high among high refractive index inorganic materials. Titanium oxynitride is also advantageous because it has a high refractive index. The single-layer film of the titanium oxynitride layer is a film made of only a titanium oxynitride (TiO x N y ) layer. When titanium oxynitride is used as the material for the coating (1), the optical properties such as reflectance and transmittance can be improved, so that the amount of nitrogen relative to titanium is preferably 0.1 to 20%.

高屈折率多層膜(1b)は、高屈折率多層膜(1b)を構成する少なくとも一つの層が酸化チタンまたは酸窒化チタンの層であるのが好ましい。
酸化チタンまたは酸窒化チタンの層以外の他の層としては、例えば、酸化ジルコニウムの層、酸化スズの層、酸化タンタルの層、酸化亜鉛の層、酸化ニオブの層が挙げられる。中でも、酸化ジルコニウムの層が好ましい。
In the high refractive index multilayer film (1b), it is preferable that at least one layer constituting the high refractive index multilayer film (1b) is a layer of titanium oxide or titanium oxynitride.
Examples of the layer other than the titanium oxide or titanium oxynitride layer include a zirconium oxide layer, a tin oxide layer, a tantalum oxide layer, a zinc oxide layer, and a niobium oxide layer. Of these, a zirconium oxide layer is preferable.

高屈折率多層膜(1b)としては、酸化ジルコニウムの層と酸化チタンまたは酸窒化チタンの層とからなる高屈折率多層膜(1b−1)が好ましい。酸化ジルコニウム層と、酸化チタンまたは酸窒化チタンの層との積層順は特に限定されず、外側から酸化ジルコニウムの層、酸化チタンまたは酸窒化チタンの層の順に積層する態様、外側から酸化チタンまたは酸窒化チタンの層、酸化ジルコニウムの層の順に積層する態様挙げられるが、外側から酸化ジルコニウムの層、酸化チタンまたは酸窒化チタンの層の順に積層する態様が、熱処理時のクラック発生をより効果的に抑制できる点で好ましい。   The high refractive index multilayer film (1b) is preferably a high refractive index multilayer film (1b-1) comprising a zirconium oxide layer and a titanium oxide or titanium oxynitride layer. The stacking order of the zirconium oxide layer and the titanium oxide or titanium oxynitride layer is not particularly limited. An embodiment in which the zirconium oxide layer and the titanium oxide or titanium oxynitride layer are stacked in this order from the outside, the titanium oxide or acid from the outside Examples include stacking the titanium nitride layer and the zirconium oxide layer in this order, but the stacking of the zirconium oxide layer, the titanium oxide layer, and the titanium oxynitride layer in this order from the outside more effectively generates cracks during heat treatment. It is preferable in that it can be suppressed.

積層被膜(X)は、酸化ジルコニウムの層と酸化チタンまたは酸窒化チタンの層とを含む幾何学的厚さの合計が70〜150nmの高屈折率多層被膜(1b−1)の二つと、二つの高屈折率多層被膜(1b−1)の間に存在する被膜(2)とからなるのが好ましい。   The multilayer coating (X) includes two high refractive index multilayer coatings (1b-1) having a total geometric thickness of 70 to 150 nm including a zirconium oxide layer and a titanium oxide or titanium oxynitride layer; It is preferable to consist of the film (2) which exists between two high refractive index multilayer films (1b-1).

被膜(1)として、前記のように酸窒化チタンの単層膜や、酸化ジルコニウムの層と酸化チタンまたは酸窒化チタンの層とからなる高屈折率多層膜(1b−1)を用いるのが好ましいのは、以下の理由によるものである。
ガラス板またはガラス板の上の第2の赤外線遮蔽膜に第1の赤外線遮蔽膜を設けた後、曲げ加工や強化加工等の熱処理を施すことがある。被膜の材料によっては曲げ加工や強化加工の際の熱処理によって、第1の赤外線遮蔽膜にクラックが発生するおそれがある。特に、第1の赤外線遮蔽膜全体の幾何学的厚さが大きい場合(例えば、300nm以上である場合)には、クラックの発生について大きな懸念がある。クラックの発生は、主に熱処理時の結晶化による膜の体積収縮に起因すると考えられる。よって、結晶化速度が遅い材料からなる被膜を用いたり、異なる材料を積層した多層膜を用いることにより体積収縮を抑制したりするなどの手法によりクラックの発生を抑制することができる。
酸窒化チタンは、酸化チタンに比べて熱処理時に結晶化が進行しにくい。よって、被膜(1)の構成材料として酸窒化チタンを採用すれば、クラックの発生を抑制することができる。
また、クラック発生を抑制するためには、被膜(1)を多層膜とすることも有用であり、特に、酸化ジルコニウムの層と酸化チタンまたは酸窒化チタンの層とを含む多層膜とするのが好ましい。
酸化ジルコニウム層は、成膜時に大部分が単斜晶化する。また、酸化ジルコニウム層は酸化チタン層と結晶格子の大きさが同程度であり、格子マッチングがおきやすい。このような酸化ジルコニウム層が隣接することによって、熱処理時に酸化チタン層の内部で格子が再配列して結晶化することが抑制されるため、熱処理時に収縮が起こりにくい(すなわち、結晶化しにくい)ことが考えられる。よって、酸化ジルコニウム層と酸化チタン層とを積層することによってクラック発生を抑制することができる。
酸化ジルコニウムの層と酸窒化チタンの層との多層被膜とすると、これら両方の効果が得られるため、より好ましい。
As the coating (1), it is preferable to use a single layer film of titanium oxynitride or a high refractive index multilayer film (1b-1) composed of a zirconium oxide layer and a titanium oxide or titanium oxynitride layer as described above. The reason is as follows.
After the first infrared shielding film is provided on the glass plate or the second infrared shielding film on the glass plate, heat treatment such as bending or strengthening may be performed. Depending on the material of the coating, there is a risk of cracks occurring in the first infrared shielding film due to heat treatment during bending or strengthening. In particular, when the geometric thickness of the entire first infrared shielding film is large (for example, 300 nm or more), there is a great concern about the occurrence of cracks. The occurrence of cracks is considered to be mainly due to the volumetric shrinkage of the film due to crystallization during heat treatment. Therefore, the occurrence of cracks can be suppressed by a technique such as using a film made of a material having a low crystallization rate or suppressing volume shrinkage by using a multilayer film in which different materials are laminated.
Titanium oxynitride is less prone to crystallization during heat treatment than titanium oxide. Therefore, if titanium oxynitride is employed as the constituent material of the coating (1), the occurrence of cracks can be suppressed.
In order to suppress the occurrence of cracks, it is also useful to make the coating (1) a multilayer film, and in particular, it is a multilayer film including a zirconium oxide layer and a titanium oxide or titanium oxynitride layer. preferable.
Most of the zirconium oxide layer is monoclinic during film formation. In addition, the zirconium oxide layer has the same crystal lattice size as the titanium oxide layer, and lattice matching is easy to occur. Since such zirconium oxide layers are adjacent to each other, the lattice is prevented from rearranging and crystallizing inside the titanium oxide layer during heat treatment, so that shrinkage hardly occurs during heat treatment (that is, difficult to crystallize). Can be considered. Therefore, the occurrence of cracks can be suppressed by stacking the zirconium oxide layer and the titanium oxide layer.
A multilayer coating of a zirconium oxide layer and a titanium oxynitride layer is more preferable because both effects can be obtained.

被膜(2)(複数ある場合は、各被膜(2))は、単独の低屈折率無機質材料からなる単層膜であってもよく、異なる種類の低屈折率無機質材料からなる2層以上の多層構造からなる低屈折率多層膜であってもよい。被膜(2)は、単独の低屈折率無機質材料からなる単層膜であるのが好ましく、酸化ケイ素からなる単層膜であるのがより好ましい。   The coating (2) (in the case where there are a plurality of coatings (2)) may be a single layer film made of a single low refractive index inorganic material, or two or more layers made of different types of low refractive index inorganic materials. It may be a low refractive index multilayer film having a multilayer structure. The film (2) is preferably a single layer film made of a single low refractive index inorganic material, and more preferably a single layer film made of silicon oxide.

第1の赤外線遮蔽膜は、高屈折率無機質材料からなる被膜(1)と低屈折率無機質材料からなる被膜(2)とが交互に積層された積層被膜(X)を有し、被膜(1)の数と被膜(2)の数との合計が3以上である。合計数は、3以上であれば特に限定されないが、多くなりすぎると合計膜厚が厚くなりすぎ、膜の耐久性が劣化するおそれがあり、また、コスト面でも不利になるので、7以下であるのが好ましい。
被膜(1)の数と被膜(2)の数との合計は、奇数であっても偶数であってもよく、赤外線遮蔽膜付きガラス板が使用される状況に応じて、適宜決定することができるが、奇数であるのが好ましく、3、5、7がより好ましく、3または5が更に好ましい。
The first infrared shielding film has a laminated film (X) in which a film (1) made of a high refractive index inorganic material and a film (2) made of a low refractive index inorganic material are alternately laminated. ) And the number of coatings (2) are 3 or more. The total number is not particularly limited as long as it is 3 or more, but if it is too large, the total film thickness becomes too thick, the durability of the film may be deteriorated, and it is disadvantageous in terms of cost. Preferably there is.
The total of the number of coating films (1) and the number of coating films (2) may be an odd number or an even number, and can be appropriately determined according to the situation in which the glass plate with an infrared shielding film is used. Although it is possible, it is preferably an odd number, more preferably 3, 5, 7 and even more preferably 3 or 5.

第1の赤外線遮蔽膜全体の幾何学的厚さ(総膜厚)は、耐久性を良好にする観点から、200〜700nmであるのが好ましく、300〜500nmであるのがより好ましい。   From the viewpoint of improving durability, the geometric thickness (total film thickness) of the entire first infrared shielding film is preferably 200 to 700 nm, and more preferably 300 to 500 nm.

第1の赤外線遮蔽膜は、積層被膜(X)のガラス板側およびその反対側の一方または両方に、無機質の材料からなる薄膜(Y)を有していてもよい。
薄膜(Y)においては、薄膜(Y)を構成する各層の幾何学的厚さは、いずれも70nm未満である。薄膜(Y)は、単層構造であっても多層構造であってもよい。
薄膜(Y)は、赤外線反射性能を付与するための主たる膜ではないが、赤外線反射性能に影響を与えることがある。また、反射色、可視光透過率等を決定付ける役割を果たすため、薄膜(Y)が積層されている場合は、薄膜(Y)を含めたすべての膜が光学特性に関与する。
The first infrared shielding film may have a thin film (Y) made of an inorganic material on one or both of the laminated film (X) on the glass plate side and the opposite side.
In the thin film (Y), the geometric thickness of each layer constituting the thin film (Y) is less than 70 nm. The thin film (Y) may have a single layer structure or a multilayer structure.
The thin film (Y) is not a main film for imparting infrared reflection performance, but may affect the infrared reflection performance. Moreover, since it plays the role which determines a reflective color, visible light transmittance, etc., when the thin film (Y) is laminated | stacked, all the films | membranes including a thin film (Y) participate in an optical characteristic.

薄膜(Y)としては、例えば、本発明の赤外線遮蔽膜付きガラス板の反射色等を調整する膜が挙げられる。
赤外線反射機能を付与するにあたり、高屈折率無機質材料からなる被膜(1)と低屈折率無機質材料からなる被膜(2)とを単純に順次積層することで所望の光学特性を得るためには、積層する膜の数を多くするほどその選択肢が広がるが、上述したように、多く積層して総膜厚が厚くなるほど、膜の耐久性が劣化しやすいため、適度な膜構成にする必要がある。
一方で、多くの選択肢の中には、波長400〜800nm、特に400〜600nmの領域の反射スペクトルに極大極小の波(以下「リップル」という。)を生じる場合がある。リップルを生じると、面内の膜厚変動(ムラ)により反射(透過)極大の波長がずれ、反射(透過)色の光彩、すなわち、色ムラ(iridescence)となって目に感知されることになり、反射色に分布が発生したり、赤外線反射性能が低下するおそれがある。
そこで、積層被膜(X)の内側ガラス側に、薄膜(Y)を形成することにより、良好な光学特性を得ることができ、日射反射率(Re)を40%程度以下に維持しながら、反射スペクトルにおけるリップルを抑制することができ、外観の良好な赤外線遮蔽膜付きガラス板とすることができる。
As a thin film (Y), the film | membrane which adjusts the reflective color etc. of the glass plate with an infrared shielding film of this invention is mentioned, for example.
In order to obtain the desired optical characteristics by simply laminating the coating (1) made of a high refractive index inorganic material and the coating (2) made of a low refractive index inorganic material in order to impart an infrared reflection function, As the number of films to be stacked increases, the options expand. However, as described above, as the total film thickness increases by stacking many films, the durability of the film tends to deteriorate, so an appropriate film configuration is required. .
On the other hand, among many options, there may be a case where a maximum and minimum wave (hereinafter referred to as “ripple”) is generated in the reflection spectrum in the wavelength region of 400 to 800 nm, particularly 400 to 600 nm. When ripple occurs, the wavelength of the reflection (transmission) maximum shifts due to in-plane film thickness variation (unevenness), and the reflected (transmitted) color, i.e., color unevenness (irradiance), is detected by the eyes. As a result, the reflected color may be distributed and the infrared reflection performance may be deteriorated.
Therefore, by forming a thin film (Y) on the inner glass side of the laminated coating (X), it is possible to obtain good optical characteristics, while maintaining the solar reflectance (Re) at about 40% or less. A ripple in the spectrum can be suppressed, and a glass plate with an infrared shielding film having a good appearance can be obtained.

この目的で形成する薄膜(Y)は、干渉作用を有するのが好ましいことから、多層構造であるのが好ましく、互いに接する薄膜(Y)の層と積層被膜(X)の被膜との屈折率差が0.3以上であるのが好ましく、0.5以上であるのがより好ましい。具体的には、屈折率が1.90以上の高屈折率無機質材料からなる幾何学的厚さが5〜40nmの高屈折率層(c)と屈折率が1.56以下の低屈折率無機質材料からなる幾何学的厚さ5〜40nmの低屈折率層(d)とが交互に積層された、合計層数が偶数であり、積層被膜(X)の被膜(1)に接する層が低屈折率層(d)であるのが好ましい。
高屈折率層(c)としては、例えば、酸化チタンの層、酸窒化チタンの層、酸化スズの層、酸化亜鉛の層が挙げられる。中でも、酸化チタンの層が好ましい。低屈折率層(d)としては、酸化ケイ素の層、MgF2、酸化ケイ素と他の材料(Al、F、C、B、P等)との複合酸化物等が好適に挙げられる。中でも、酸化ケイ素、酸化ケイ素とAlとの複合酸化物が好ましく、酸化ケイ素がより好ましい。
Since the thin film (Y) formed for this purpose preferably has an interference action, it preferably has a multilayer structure, and the difference in refractive index between the thin film (Y) layer and the laminated film (X) that are in contact with each other. Is preferably 0.3 or more, and more preferably 0.5 or more. Specifically, a high refractive index layer (c) having a geometric thickness of 5 to 40 nm made of a high refractive index inorganic material having a refractive index of 1.90 or more and a low refractive index inorganic material having a refractive index of 1.56 or less. A low refractive index layer (d) having a geometric thickness of 5 to 40 nm made of a material is alternately laminated, the total number of layers is an even number, and the layer in contact with the film (1) of the laminated film (X) is low. The refractive index layer (d) is preferred.
Examples of the high refractive index layer (c) include a titanium oxide layer, a titanium oxynitride layer, a tin oxide layer, and a zinc oxide layer. Among these, a titanium oxide layer is preferable. Preferable examples of the low refractive index layer (d) include a silicon oxide layer, MgF 2 , composite oxides of silicon oxide and other materials (Al, F, C, B, P, etc.). Among these, silicon oxide, a composite oxide of silicon oxide and Al is preferable, and silicon oxide is more preferable.

第1の赤外線遮蔽膜としては、以下に示す[1]〜[8]の態様が好適に挙げられる。中でも、リップルを効果的に抑制しつつ、膜の耐久性を維持できる点で[2]〜[4]および[6]〜[8]の態様が好ましく、[2]および[3]の態様がより好ましく、[3]の態様が更に好ましい。なお、以下の例示においては、積層被膜(X)における高屈折率無機質材料からなる被膜(1)をHで表し、低屈折率無機質材料からなる被膜(2)をLで表す。また、薄膜(Y)における高屈折率層をH′で表し、低屈折率層をL′で表す。さらに、外側からの積層順序を添え字で表す。   As the first infrared shielding film, the following embodiments [1] to [8] are preferably exemplified. Especially, the aspect of [2]-[4] and [6]-[8] are preferable at the point which can maintain the durability of a film | membrane, suppressing a ripple effectively, The aspect of [2] and [3] is preferable. More preferred is the embodiment [3]. In the following examples, the coating (1) made of a high refractive index inorganic material in the laminated coating (X) is represented by H, and the coating (2) made of a low refractive index inorganic material is represented by L. The high refractive index layer in the thin film (Y) is represented by H ′, and the low refractive index layer is represented by L ′. Furthermore, the stacking order from the outside is represented by a subscript.

[1]:(外側)[積層被膜(X)(H1/L2/H3)](内側)
[2]:(外側)[薄膜(Y)(H′1/L′2)]/[積層被膜(X)(H3/L4/H5)](内側)
[3]:(外側)[積層被膜(X)(H1/L2/H3)]/[薄膜(Y)(L′4/H′5)](内側)
[4]:(外側)[薄膜(Y)(H′1/L′2)]/[積層被膜(X)(H3/L4/H5)](内側)
[5]:(外側)[積層被膜(X)(H1/L2/H3/L4/H5)](内側)
[6]:(外側)[薄膜(Y)(H′1/L′2)]/[積層被膜(X)(H3/L4/H5/L6/H7)](内側)
[7]:(外側)[積層被膜(X)(H1/L2/H3/L4/H5)]/[薄膜(Y)(L′6/H′7)](内側)
[8]:(外側)[薄膜(Y)(H′1/L′2)]/[積層被膜(X)(H3/L4/H5/L6/H7)]/[薄膜(Y)(L′8/H′9)](内側)
[1]: outer) [multilayer coating (X) (H 1 / L 2 / H 3)] ( inside)
[2]: (Outside) [Thin film (Y) (H ′ 1 / L ′ 2 )] / [Laminated coating (X) (H 3 / L 4 / H 5 )] (Inside)
[3]: outer) [multilayer coating (X) (H 1 / L 2 / H 3)] / [ film (Y) (L '4 / H' 5)] ( inside)
[4]: (Outside) [Thin film (Y) (H ′ 1 / L ′ 2 )] / [Laminated coating (X) (H 3 / L 4 / H 5 )] (Inside)
[5]: outer) [multilayer coating (X) (H 1 / L 2 / H 3 / L 4 / H 5)] ( inside)
[6]: (outside) [thin film (Y) (H ′ 1 / L ′ 2 )] / [laminated coating (X) (H 3 / L 4 / H 5 / L 6 / H 7 )] (inside)
[7]: outer) [multilayer coating (X) (H 1 / L 2 / H 3 / L 4 / H 5)] / [ film (Y) (L '6 / H' 7)] ( inside)
[8]: (Outside) [Thin film (Y) (H ′ 1 / L ′ 2 )] / [Laminated coating (X) (H 3 / L 4 / H 5 / L 6 / H 7 )] / [Thin film ( Y) (L '8 / H ' 9)] ( inside)

第1の赤外線遮蔽膜を上記構成にすることにより、本発明の赤外線遮蔽膜付きガラス板の電波透過性を確保しつつ、日射反射率を大きく、かつ、日射透過率を小さくすることができ、耐久性にも優れる。   By configuring the first infrared shielding film as described above, while ensuring the radio wave transmission of the glass plate with the infrared shielding film of the present invention, it is possible to increase the solar reflectance and reduce the solar transmittance, Excellent durability.

第1の赤外線遮蔽膜は、本発明の赤外線遮蔽膜付きガラス板が車両窓に好適に用いられることから電波透過性が十分に確保されているのが好ましい。
具体的には、第1の赤外線遮蔽膜のシート抵抗値が1kΩ/□以上であるのが好ましい。シート抵抗値は大きいほどよいことから、その上限は特に限定されない。また、上記第1の赤外線遮蔽膜を形成する材料は、熱処理を受けると、材料の酸化が進むため、熱処理前のシート抵抗値よりも大きなシート抵抗値を有することとなる。
The first infrared shielding film preferably has sufficient radio wave permeability since the glass plate with the infrared shielding film of the present invention is suitably used for a vehicle window.
Specifically, it is preferable that the sheet resistance value of the first infrared shielding film is 1 kΩ / □ or more. Since the larger the sheet resistance value, the better, the upper limit is not particularly limited. Further, the material forming the first infrared shielding film has a sheet resistance value larger than the sheet resistance value before the heat treatment because the oxidation of the material proceeds when the material is subjected to the heat treatment.

ガラス板またはガラス板の上の第2の赤外線遮蔽膜に第1の赤外線遮蔽膜を設けた後、曲げ加工や強化加工等の熱処理を施すことがある。熱処理は、通常の曲げ加工や強化加工において採用される条件によって行うことができる。例えば、設定温度650℃、熱処理時間15分間の条件で行われる。
ガラス板またはガラス板の上の第2の赤外線遮蔽膜に第1の赤外線遮蔽膜を設ける方法は、特に限定されず、例えば、公知の方法により、被膜(1)と被膜(2)とをこの順に交互に積層して積層被膜(X)を形成させ、必要に応じて積層被膜(X)のガラス板側およびその反対側の一方または両方に薄膜(Y)を積層する方法が挙げられる。公知の方法は、特に限定されないが、スパッタリング法が好ましい。
After the first infrared shielding film is provided on the glass plate or the second infrared shielding film on the glass plate, heat treatment such as bending or strengthening may be performed. The heat treatment can be performed according to conditions employed in normal bending and strengthening. For example, it is performed under conditions of a set temperature of 650 ° C. and a heat treatment time of 15 minutes.
The method of providing the first infrared shielding film on the glass plate or the second infrared shielding film on the glass plate is not particularly limited. For example, the coating (1) and the coating (2) can be formed by a known method. A method of laminating alternately in order to form a laminated film (X), and laminating a thin film (Y) on one or both of the glass sheet side and the opposite side of the laminated film (X) as needed. Although a well-known method is not specifically limited, Sputtering method is preferable.

熱処理を行う場合、熱処理前の構成は熱処理後の構成と同様であるのが好ましい。ただし、酸窒化チタンは、熱処理を受けると、材料中の窒素原子が窒素ガス等のガスとして膜から放出される。よって、通常、熱処理前の被膜(1)中の酸窒化チタンの層の窒素含有率は、熱処理後の被膜(1)の窒素含有率より大きく、チタンに対する窒素の量が0.1〜80%であるのが好ましく、2〜40%であるのがより好ましく、3〜40%であるのが更に好ましい。チタンに対する窒素の量が上記範囲であると、熱処理前後における屈折率変化が小さく、かつ、熱処理時におけるクラックの発生を抑制する効果が大きくなる。   When heat treatment is performed, the structure before the heat treatment is preferably the same as the structure after the heat treatment. However, when titanium oxynitride is subjected to heat treatment, nitrogen atoms in the material are released from the film as a gas such as nitrogen gas. Therefore, the nitrogen content of the titanium oxynitride layer in the coating (1) before heat treatment is usually larger than the nitrogen content of the coating (1) after heat treatment, and the amount of nitrogen relative to titanium is 0.1 to 80%. It is preferable that it is 2 to 40%, more preferably 3 to 40%. When the amount of nitrogen with respect to titanium is in the above range, the refractive index change before and after the heat treatment is small, and the effect of suppressing the generation of cracks during the heat treatment becomes large.

スパッタリング法は、例えば、DC(直流)スパッタリング方式、AC(交流)スパッタリング方式、高周波スパッタリング方式、マグネトロンスパッタリング方式が挙げられる。中でも、プロセスが安定しており、大面積への成膜が容易であるという利点があるので、DCマグネトロンスパッタリング法、ACマグネトロンスパッタリング法が好ましい。
ターゲットの材質やスパッタガスの組成は、成膜する膜の種類によって適宜選択される。また、スパッタリングの条件(圧力、温度等)は、成膜する膜の種類、厚さ等により適宜決定される。スパッタガスの全圧は、グロー放電が安定に行われる圧力であればよい。
Examples of the sputtering method include a DC (direct current) sputtering method, an AC (alternating current) sputtering method, a high frequency sputtering method, and a magnetron sputtering method. Among them, the DC magnetron sputtering method and the AC magnetron sputtering method are preferable because the process is stable and the film can be easily formed on a large area.
The material of the target and the composition of the sputtering gas are appropriately selected depending on the type of film to be formed. Further, the sputtering conditions (pressure, temperature, etc.) are appropriately determined depending on the type and thickness of the film to be formed. The total pressure of the sputtering gas may be a pressure at which glow discharge is stably performed.

<第2の赤外線遮蔽膜>
第2の赤外線遮蔽膜は、酸化ケイ素を主体とするマトリックス中に、平均一次粒子径100nm以下のITO微粒子が分散した構成を有し、幾何学的厚さが0.2〜12μmである赤外線遮蔽膜である。
<Second infrared shielding film>
The second infrared shielding film has a configuration in which ITO fine particles having an average primary particle diameter of 100 nm or less are dispersed in a matrix mainly composed of silicon oxide, and has a geometric thickness of 0.2 to 12 μm. It is a membrane.

第2の赤外線遮蔽膜に用いられるITO微粒子は、赤外線遮蔽膜付きガラス板に赤外線遮蔽性を付与する。
ITO微粒子は、平均一次粒子径が100nm以下である。上記範囲であると、第2の赤外線遮蔽膜を成膜した際に散乱による曇り(曇価、ヘイズ)が生じにくい。ITO微粒子の平均一次粒子径は、透明性維持の点で、5〜65nmであるのが好ましい。
ITO微粒子における酸化スズと酸化インジウムとの混合比率は、スズ原子数に対するインジウム原子数(In/Sn)が2〜20であるのが好ましく、3〜10であるのがより好ましい。
The ITO fine particles used for the second infrared shielding film impart infrared shielding properties to the glass plate with the infrared shielding film.
The ITO fine particles have an average primary particle diameter of 100 nm or less. Within the above range, clouding (cloudiness value, haze) due to scattering is less likely to occur when the second infrared shielding film is formed. The average primary particle diameter of the ITO fine particles is preferably 5 to 65 nm in terms of maintaining transparency.
As for the mixing ratio of tin oxide and indium oxide in the ITO fine particles, the number of indium atoms relative to the number of tin atoms (In / Sn) is preferably 2 to 20, and more preferably 3 to 10.

第2の赤外線遮蔽膜に用いられるマトリックスは、酸化ケイ素を主体とするマトリックス(以下「酸化ケイ素マトリックス」ともいう。)である。ここで、酸化ケイ素マトリックスは、酸化ケイ素を50モル%以上含むマトリックスである。酸化ケイ素マトリックスは、上述したITO微粒子の結合剤として働いて被膜硬度を高め、第2の赤外線遮蔽膜のガラス板またはガラス板の上の第1の赤外線遮蔽膜に対する密着性を付与する働きを有する。
中でも、酸化ケイ素マトリックス中に窒素を含むのが好ましい。窒素原子は、ITO微粒子の膜中での還元作用を有している可能性もあり、その結果、ITO微粒子の使用量が少なくても高い赤外線遮蔽性を奏するのであると、本発明者は推測している。
酸化ケイ素マトリックス中に窒素を含む場合における窒素原子の含有量は、酸化ケイ素中のケイ素原子に対して、2原子%以上であるのが好ましく、3原子%以上であるのがより好ましく、5原子%以上であるのが更に好ましい。
また、酸化ケイ素マトリックスにおける窒素原子の含有量は、酸化ケイ素中のケイ素原子に対して、20原子%以下であるのが、第2の赤外線遮蔽膜のガラス板またはガラス板の上の第1の赤外線遮蔽膜に対する密着性が優れたものになる点で好ましい。
The matrix used for the second infrared shielding film is a matrix mainly composed of silicon oxide (hereinafter also referred to as “silicon oxide matrix”). Here, the silicon oxide matrix is a matrix containing 50 mol% or more of silicon oxide. The silicon oxide matrix functions as a binder for the above-mentioned ITO fine particles to increase the film hardness, and has a function of imparting adhesion to the glass plate of the second infrared shielding film or the first infrared shielding film on the glass plate. .
Among these, it is preferable that nitrogen is contained in the silicon oxide matrix. The present inventor speculates that nitrogen atoms may have a reducing action in the ITO fine particle film, and as a result, even if the amount of ITO fine particles used is small, high infrared shielding properties are achieved. is doing.
When nitrogen is contained in the silicon oxide matrix, the content of nitrogen atoms is preferably 2 atom% or more, more preferably 3 atom% or more, and more preferably 5 atoms relative to the silicon atoms in the silicon oxide. % Or more is more preferable.
In addition, the content of nitrogen atoms in the silicon oxide matrix is 20 atomic% or less with respect to the silicon atoms in the silicon oxide. This is preferable in that the adhesion to the infrared shielding film is excellent.

ITO微粒子が第2の赤外線遮蔽膜内で連続的に密着すると、ITO微粒子自体が導電性に優れるため、第2の赤外線遮蔽膜自体が導電性を発現し、電波透過性に悪影響を与える。酸化ケイ素マトリックスは、ITO微粒子を分散させて、ITO微粒子同士の接触を抑制し、第2の赤外線遮蔽膜が導電膜となることを防止する効果を奏する。
酸化ケイ素マトリックスは、Si−O−Si結合を含むマトリックス材料であればよい。酸化ケイ素マトリックス中に窒素を含む場合、例えば、一部の窒素原子がITO微粒子の表面に偏在していてもよい。また、マトリックス材料中にはケイ素原子に結合した窒素原子が含まれていてもよい。すなわち、マトリックス材料中の酸化ケイ素の一部が酸窒化ケイ素となっていてもよい。
When the ITO fine particles are continuously adhered in the second infrared shielding film, the ITO fine particles themselves are excellent in conductivity, so that the second infrared shielding film itself develops conductivity and adversely affects radio wave transmission. The silicon oxide matrix has the effect of dispersing the ITO fine particles, suppressing the contact between the ITO fine particles, and preventing the second infrared shielding film from becoming a conductive film.
The silicon oxide matrix may be a matrix material containing Si—O—Si bonds. When nitrogen is contained in the silicon oxide matrix, for example, some nitrogen atoms may be unevenly distributed on the surface of the ITO fine particles. The matrix material may contain nitrogen atoms bonded to silicon atoms. That is, a part of silicon oxide in the matrix material may be silicon oxynitride.

さらに、マトリックス材料中の酸化ケイ素の一部が酸化チタンに置換されていてもよい。酸化チタンは、第2の赤外線遮蔽膜の低温での硬化を助ける働きがあり、マトリックス材料中の酸化ケイ素の50モル%程度以下を酸化チタンに置換することが可能である。ここで、「酸化チタン」は、厳密な意味でTiO2になっている必要はなく、Ti−O−Ti結合またはSi−O−Ti結合を含むマトリックス材料を形成しているのが好ましい。また、一部の酸化チタンがITO微粒子の表面に偏在していてもよい。また、マトリックス材料中にはチタン原子に結合した窒素原子が含まれていてもよい。 Furthermore, a part of silicon oxide in the matrix material may be replaced with titanium oxide. Titanium oxide serves to help cure the second infrared shielding film at a low temperature, and about 50 mol% or less of silicon oxide in the matrix material can be replaced with titanium oxide. Here, “titanium oxide” does not need to be TiO 2 in a strict sense, and preferably forms a matrix material containing a Ti—O—Ti bond or a Si—O—Ti bond. A part of the titanium oxide may be unevenly distributed on the surface of the ITO fine particles. Further, the matrix material may contain nitrogen atoms bonded to titanium atoms.

さらに、マトリックス材料中には、5質量%程度以下の少量成分、例えば、C、Sn、Zr、Al、B、P、Nb、Ta等の元素が含まれていてもよい。   Further, the matrix material may contain a minor component of about 5% by mass or less, for example, elements such as C, Sn, Zr, Al, B, P, Nb, and Ta.

第2の赤外線遮蔽膜中のITO微粒子の量は、0.2g/m2以上であるのが好ましい。上記範囲であると、赤外線遮蔽性能が優れたものになる。
また、第2の赤外線遮蔽膜中のITO微粒子の量は、1.0g/m2以下であるのが好ましく、0.7g/m2以下であるのがより好ましい。上記範囲であると、赤外線遮蔽性能および透明性を損なうことなく、安価にすることができる。
The amount of the ITO fine particles in the second infrared shielding film is preferably 0.2 g / m 2 or more. Within the above range, the infrared shielding performance is excellent.
The amount of ITO fine particles in the second infrared shielding film is preferably 1.0 g / m 2 or less, more preferably 0.7 g / m 2 or less. Within the above range, the cost can be reduced without impairing the infrared shielding performance and transparency.

第2の赤外線遮蔽膜中のITO微粒子とマトリックスとの含有比率([ITO微粒子]/[マトリックス])は、質量比で、10/90以上であるのが好ましく、20/80以上であるのがより好ましい。上記範囲であると、赤外線遮蔽性が優れたものになる。
また、第2の赤外線遮蔽膜中のITO微粒子とマトリックスとの含有比率は、質量比で、45/55以下であるのが好ましく、40/60以下であるのがより好ましい。上記範囲であると、第2の赤外線遮蔽膜の密着性や硬度を保ちつつ、電波透過性を維持しやすくなる。
The content ratio ([ITO fine particles] / [matrix]) of the ITO fine particles and the matrix in the second infrared shielding film is preferably 10/90 or more, and more preferably 20/80 or more in terms of mass ratio. More preferred. Within the above range, the infrared shielding properties are excellent.
The content ratio between the ITO fine particles and the matrix in the second infrared shielding film is preferably 45/55 or less, and more preferably 40/60 or less in terms of mass ratio. Within the above range, it is easy to maintain radio wave permeability while maintaining the adhesion and hardness of the second infrared shielding film.

第2の赤外線遮蔽膜の幾何学的厚さは、0.2μm以上であり、0.4μm以上であるのが好ましく、0.5μm以上であるのがより好ましい。上記範囲であると、赤外線遮蔽性が優れたものになる。
また、第2の赤外線遮蔽膜の幾何学的厚さは、12μm以下であり、10μm以下であるのが好ましい。上記範囲であると、第2の赤外線遮蔽膜を形成する際にクラックが入りにくく、また、可視光透過率が低下するおそれがない。
この幾何学的厚さは、例えば、走査型電子顕微鏡により第2の赤外線遮蔽膜の断面観察を行うことにより、測定することができる。
The geometric thickness of the second infrared shielding film is 0.2 μm or more, preferably 0.4 μm or more, and more preferably 0.5 μm or more. Within the above range, the infrared shielding properties are excellent.
The geometric thickness of the second infrared shielding film is 12 μm or less, and preferably 10 μm or less. Within the above range, cracks are unlikely to form when the second infrared shielding film is formed, and the visible light transmittance does not decrease.
This geometric thickness can be measured, for example, by observing a cross section of the second infrared shielding film with a scanning electron microscope.

ガラス板またはガラス板の上の第1の赤外線遮蔽膜に第2の赤外線遮蔽膜を設ける方法は、特に限定されないが、以下に好適な製造方法を例示する。
すなわち、まず、ガラス板またはガラス板の上の第1の赤外線遮蔽膜の表面上に、平均一次粒子径が100nm以下であるITO微粒子と、酸化ケイ素ゲルを形成しうるケイ素化合物(以下、単に「ケイ素化合物」ともいう。)と、有機溶媒とを含有し、前記ITO微粒子の含有量が1〜10質量%である分散液を塗布して、前記ケイ素化合物および/または前記ケイ素化合物のゲル化物を含有するITO微粒子分散層を形成させ、ついで、前記ガラス板の温度が300℃以下となる温度で加熱することにより、前記ITO微粒子分散層中の前記ケイ素化合物および/または前記ケイ素化合物のゲル化物を硬化させて、第2の赤外線遮蔽膜を形成させる方法である。
The method of providing the second infrared shielding film on the glass plate or the first infrared shielding film on the glass plate is not particularly limited, but a suitable production method is exemplified below.
That is, first, on the glass plate or the surface of the first infrared shielding film on the glass plate, ITO fine particles having an average primary particle diameter of 100 nm or less and a silicon compound capable of forming a silicon oxide gel (hereinafter simply referred to as “ A dispersion containing 1 to 10% by mass of the ITO fine particles, and coating the silicon compound and / or the gelled product of the silicon compound. The ITO fine particle dispersion layer is formed, and then the glass plate is heated at a temperature of 300 ° C. or less, whereby the silicon compound and / or the gel compound of the silicon compound in the ITO fine particle dispersion layer is obtained. This is a method of forming a second infrared shielding film by curing.

ITO微粒子分散層を硬化させて得られる第2の赤外線遮蔽膜におけるITO微粒子の凝集状態は、分散液中での凝集状態を反映するため、第2の赤外線遮蔽膜の透明性や電波透過性を維持するためには、ITO微粒子は分散液中で高度に分散されているのが好ましい。
分散状態としては、ITO微粒子の凝集体の数平均粒子径が、500nm以下であるのが好ましく、200nm以下であるのがより好ましく、100nm以下(ほぼ単分散状態)であるのが更に好ましい。
分散媒となる有機溶媒の種類は、ケイ素化合物を溶解させることができるものであれば特に限定されない。具体的には、例えば、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、ケトン類、エステル類、エーテル類、ハロゲン化炭化水素類が挙げられる。これら有機溶媒は、単独でまたは混合して用いられる。
分散させるための方法は、特に限定されず、例えば、公知の方法を利用することができる。具体的には、例えば、超音波照射、ホモジナイザー、ボールミル、ビーズミル、サンドミル、メディアミル(例えば、ペイントシェーカー)、高圧衝撃ミル(例えば、ジェットミル、ナノマイザー)が挙げられる。
Since the aggregation state of the ITO fine particles in the second infrared shielding film obtained by curing the ITO fine particle dispersion layer reflects the aggregation state in the dispersion liquid, the transparency and radio wave transmittance of the second infrared shielding film are improved. In order to maintain, it is preferable that the ITO fine particles are highly dispersed in the dispersion.
As the dispersion state, the number average particle diameter of the aggregates of ITO fine particles is preferably 500 nm or less, more preferably 200 nm or less, and even more preferably 100 nm or less (substantially monodispersed state).
The type of the organic solvent that serves as the dispersion medium is not particularly limited as long as it can dissolve the silicon compound. Specific examples include aliphatic hydrocarbons, aromatic hydrocarbons, ketones, esters, ethers, and halogenated hydrocarbons. These organic solvents are used alone or in combination.
The method for dispersing is not particularly limited, and for example, a known method can be used. Specific examples include ultrasonic irradiation, a homogenizer, a ball mill, a bead mill, a sand mill, a media mill (for example, a paint shaker), and a high-pressure impact mill (for example, a jet mill and a nanomizer).

ここで、分散液中のITO微粒子としては、公知のものを用いることができる。ITO微粒子の結晶系は、通常の立方晶に限られず、一般に赤外線遮蔽性に劣るといわれている六方晶を使用することもできる。
分散液は、ITO微粒子を1〜10質量%含有する。ITO微粒子を分散液の1質量%以上含有することで、1回の成膜プロセスにより所望の赤外線遮蔽性能を有する第2の赤外線遮蔽膜を得やすくなる。また、分散液のITO微粒子の含有量が10質量%以下であると、分散液の安定性に優れる。
Here, as the ITO fine particles in the dispersion, known ones can be used. The crystal system of the ITO fine particles is not limited to ordinary cubic crystals, and hexagonal crystals that are generally said to be inferior in infrared shielding properties can also be used.
The dispersion contains 1 to 10% by mass of ITO fine particles. By containing 1% by mass or more of the ITO fine particles in the dispersion liquid, a second infrared shielding film having a desired infrared shielding performance can be easily obtained by a single film forming process. Further, when the content of ITO fine particles in the dispersion is 10% by mass or less, the stability of the dispersion is excellent.

ケイ素化合物は、加熱によってシロキサン結合を有する酸化ケイ素マトリックスとなりうる成分(以下「シロキサンマトリックス材料」ともいう。)である。
具体的には、例えば、ゾルゲル法で利用されるアルコキシシラン類またはその部分加水分解物もしくは部分加水分解縮合物、水ガラス、シリコーンが挙げられる。また、酸化ケイ素マトリックス中に窒素を含有させる場合には、ポリシラザン、含窒素シリコーン樹脂、含窒素シランカップリング剤(例えば、アミノシラン)、それらの部分加水分解物が挙げられる。中でも、第2の赤外線遮蔽膜の耐久性を高度に高められることから、ポリシラザンが好ましい。
The silicon compound is a component (hereinafter also referred to as “siloxane matrix material”) that can be converted into a silicon oxide matrix having a siloxane bond by heating.
Specifically, for example, alkoxysilanes used in the sol-gel method, or a partially hydrolyzed product or partially hydrolyzed condensate thereof, water glass, and silicone can be used. Moreover, when nitrogen is contained in the silicon oxide matrix, polysilazane, nitrogen-containing silicone resin, nitrogen-containing silane coupling agent (for example, aminosilane), and partial hydrolysates thereof can be used. Among these, polysilazane is preferable because the durability of the second infrared shielding film can be enhanced to a high degree.

ポリシラザンは、化学式:−SiR1 2−NR2−SiR1 2−(式中、R1およびR2は、それぞれ独立に、水素原子または炭化水素基を表す。)で表される構造を有する線状または環状の化合物の総称である。ポリシラザンは、加熱または水分との反応によってSi−NR2−Si結合が分解してSi−O−Siネットワークを形成する材料である。
テトラアルコキシシラン等から得られる酸化ケイ素系被膜と比較して、ポリシラザンから得られる酸化ケイ素系被膜は高い機械的耐久性やガスバリヤ性を有する。なお、上記反応は通常300℃程度までの加熱では完全に進行するわけではなく、膜中にSi−N−Si結合または他の結合形態で窒素が残り、少なくとも一部に酸窒化ケイ素が生成していると考えられる。また、このような窒素原子を含む酸化ケイ素についての質量比(後述する質量比[ITO微粒子]/[SiO2]等)は、ケイ素原子のすべてが酸化ケイ素のケイ素原子であるとして計算した数値(酸化ケイ素に換算した数値)をいう。
ポリシラザンとしては、上記化学式中、R1およびR2がいずれも水素原子であるペルヒドロポリシラザン、上記化学式中、R1がメチル基等の炭化水素基であり、R2が水素原子である部分有機化ポリシラザン、これらの混合物が好ましい。これらのポリシラザンを用いると、第2の赤外線遮蔽膜の機械的強度および酸素バリヤ性が高くなる。中でも、ペルヒドロポリシラザンが好ましい。
Polysilazane is a line having a structure represented by the chemical formula: —SiR 1 2 —NR 2 —SiR 1 2 — (wherein R 1 and R 2 each independently represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group). It is a general term for a shape or a cyclic compound. Polysilazane is a material in which Si—NR 2 —Si bonds are decomposed by heating or reaction with moisture to form a Si—O—Si network.
Compared to a silicon oxide-based film obtained from tetraalkoxysilane or the like, a silicon oxide-based film obtained from polysilazane has higher mechanical durability and gas barrier properties. Note that the above reaction usually does not proceed completely when heated to about 300 ° C., and nitrogen remains in the film in a Si—N—Si bond or other bond form, and at least a portion of silicon oxynitride is generated. It is thought that. Further, the mass ratio (such as mass ratio [ITO fine particles] / [SiO 2 ] described later) of silicon oxide containing nitrogen atoms is a numerical value calculated assuming that all silicon atoms are silicon atoms of silicon oxide ( (Numerical value converted to silicon oxide).
The polysilazane is a perhydropolysilazane in which R 1 and R 2 are both hydrogen atoms in the above chemical formula, and a partial organic in which R 1 is a hydrocarbon group such as a methyl group in the above chemical formula, and R 2 is a hydrogen atom. Polysilazane and mixtures thereof are preferred. When these polysilazanes are used, the mechanical strength and oxygen barrier properties of the second infrared shielding film are increased. Of these, perhydropolysilazane is preferable.

分散液におけるITO微粒子とケイ素化合物との含有比率([ITO微粒子]/[SiO2])は、質量比で、10/90〜45/55であるのが好ましい。上記含有比率が10/90以上であると、1回の成膜プロセスにより所望の赤外線遮蔽性能を有する第2の赤外線遮蔽膜を得やすくなる。一方、上記含有比率が45/55以下であると、第2の赤外線遮蔽膜中のITO微粒子の分散性を高められ、かつ、低コスト化が可能となる。 The content ratio of the ITO fine particles to the silicon compound ([ITO fine particles] / [SiO 2 ]) in the dispersion is preferably 10/90 to 45/55 by mass ratio. When the content ratio is 10/90 or more, it is easy to obtain a second infrared shielding film having a desired infrared shielding performance by a single film formation process. On the other hand, when the content ratio is 45/55 or less, the dispersibility of the ITO fine particles in the second infrared shielding film can be enhanced, and the cost can be reduced.

分散液は、酸化チタンゲルを形成しうるチタン化合物を含んでいてもよい。チタン化合物としては、有機チタン化合物が好ましい。有機チタン化合物は、後述する硬化工程において、ケイ素化合物の硬化を促進させる働きがあり、より低温での硬化で、機械的強度を発現させることができる。
有機チタン化合物としては、例えば、テトラアルコキシチタン化合物、チタンキレート化合物、チタンアシレート化合物、チタネート系カップリング剤が挙げられる。中でも、テトラアルコキシチタン化合物、チタンキレート化合物が好ましい。
テトラアルコキシチタン化合物としては、一般式:Ti(OR′)4(式中、R′は炭素原子数1〜8の炭化水素基を表す。)で表される化合物が好ましい。具体的には、例えば、テトラ−n−ブトキシチタン、テトライソプロポキシチタン、テトラメトキシチタン、テトラエトキシチタン、テトラキス(2−エチルヘキシルオキシ)チタンが挙げられる。
チタンキレート化合物としては、チタンアルコキシドのキレート化合物が好ましい。具体的には、ジイソプロポキシビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−n−ブトキシビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジイソプロポキシビス(アセチルアセトナト)チタン、ジ−n−ブトキシビス(アセチルアセトナト)チタン、テトラアセチルアセトネートチタンが挙げられる。
チタン化合物としては、取扱い性の点で、ジイソプロポキシビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−n−ブトキシビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジイソプロポキシビス(アセチルアセトナト)チタン、ジ−n−ブトキシビス(アセチルアセトナト)チタンが好ましい。なお、チタン化合物は、分散液の作製後に添加してもよいし、分散液を作製する段階で添加してもよい。
The dispersion may contain a titanium compound that can form a titanium oxide gel. As the titanium compound, an organic titanium compound is preferable. The organic titanium compound has a function of accelerating the curing of the silicon compound in the curing step described later, and can exhibit mechanical strength by curing at a lower temperature.
Examples of the organic titanium compound include a tetraalkoxy titanium compound, a titanium chelate compound, a titanium acylate compound, and a titanate coupling agent. Among these, a tetraalkoxy titanium compound and a titanium chelate compound are preferable.
As the tetraalkoxytitanium compound, a compound represented by the general formula: Ti (OR ′) 4 (wherein R ′ represents a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms) is preferable. Specific examples include tetra-n-butoxy titanium, tetraisopropoxy titanium, tetramethoxy titanium, tetraethoxy titanium, and tetrakis (2-ethylhexyloxy) titanium.
As the titanium chelate compound, a chelate compound of titanium alkoxide is preferable. Specifically, diisopropoxybis (ethylacetoacetate) titanium, di-n-butoxybis (ethylacetoacetate) titanium, diisopropoxybis (acetylacetonato) titanium, di-n-butoxybis (acetylacetonato) titanium And tetraacetylacetonate titanium.
Titanium compounds include diisopropoxybis (ethylacetoacetate) titanium, di-n-butoxybis (ethylacetoacetate) titanium, diisopropoxybis (acetylacetonato) titanium, di-n-butoxybis in terms of handling. (Acetylacetonato) titanium is preferred. The titanium compound may be added after the preparation of the dispersion, or may be added at the stage of preparing the dispersion.

上記のようにして得られた分散液を、ガラス板またはガラス板の上の第1の赤外線遮蔽膜の表面上に塗布してITO微粒子分散層とする。
塗布方法は、特に限定されず、例えば、ディップコート法、スピンコート法、スプレーコート法、フレキソ印刷法、スクリーン印刷法、グラビア印刷法、ロールコート法、メニスカスコート法、ダイコート法が挙げられる。
塗布後、後述する加熱硬化工程を行う前に、200℃以下の温度で塗膜を乾燥させるのが好ましい。この乾燥工程では、塗膜中の溶媒成分等を除去するのが主目的であり、200℃を超えて温度を上げてもそれほど効果はないため、非経済的となる。乾燥時間は、30秒〜2時間程度であるのが好ましい。乾燥時の雰囲気は、大気下であっても、非酸化性雰囲気であってもよいが、非酸化性雰囲気を用いることによる効果は特には期待することができない。なお、この乾燥工程を減圧下で行うことも可能である。その場合、到達真空度は0.10〜10kN/m2程度であるのが好ましく、処理時間は10秒〜30分であるのが好ましい。
この乾燥工程を経ずに加熱硬化工程を行ってもよく、次に示す加熱硬化工程において、硬化と同時に塗膜を乾燥させてもよい。
The dispersion obtained as described above is coated on the glass plate or the surface of the first infrared shielding film on the glass plate to form an ITO fine particle dispersion layer.
The application method is not particularly limited, and examples thereof include dip coating, spin coating, spray coating, flexographic printing, screen printing, gravure printing, roll coating, meniscus coating, and die coating.
After coating, it is preferable to dry the coating film at a temperature of 200 ° C. or lower before performing the heat curing step described later. In this drying step, the main purpose is to remove the solvent component and the like in the coating film, and even if the temperature is raised above 200 ° C., it is not so effective, so it becomes uneconomical. The drying time is preferably about 30 seconds to 2 hours. The atmosphere during drying may be in the air or a non-oxidizing atmosphere, but the effect of using the non-oxidizing atmosphere cannot be particularly expected. In addition, it is also possible to perform this drying process under reduced pressure. In that case, the ultimate vacuum is preferably about 0.10 to 10 kN / m 2 , and the treatment time is preferably 10 seconds to 30 minutes.
The heat curing step may be performed without going through this drying step, and in the heat curing step shown below, the coating film may be dried simultaneously with the curing.

上述したようにしてITO微粒子分散層を形成させた後、ガラス板の温度が300℃以下となる温度で加熱し、ケイ素化合物を硬化させて第2の赤外線遮蔽膜を形成させる。硬化時間は、通常、30秒〜10時間程度である。
また、ケイ素化合物としてポリシラザンを用いた場合には、加熱処理以外に、雰囲気中の水分による硬化も可能である。すなわち、約80%以上の湿度下に10分から数日間、または、40〜80%の湿度下に数日間から数週間保持することで硬化が進行し、十分な強度を持った第2の赤外線遮蔽膜を形成させることができる。
After the ITO fine particle dispersed layer is formed as described above, the glass plate is heated at a temperature of 300 ° C. or lower to cure the silicon compound and form the second infrared shielding film. The curing time is usually about 30 seconds to 10 hours.
When polysilazane is used as the silicon compound, curing with moisture in the atmosphere is possible in addition to the heat treatment. That is, curing proceeds by holding for 10 minutes to several days at a humidity of about 80% or more, or for several days to several weeks at a humidity of 40 to 80%, and the second infrared shielding with sufficient strength. A film can be formed.

上述した好適な製造方法によれば、高温での焼成を行うことなく、高い耐久性を有する第2の赤外線遮蔽膜をガラス板上または第1の赤外線遮蔽膜上に効率よく、経済的に製造することができる。このとき、無機系のガラス材料からなるガラス板を大気中、650〜700℃近い温度まで昇温し、急冷して強化処理を行って得られる強化ガラス上に第2の赤外線遮蔽膜を設ければ、高い耐久性を備えた赤外線遮蔽膜付きガラス板を効率よく、経済的に製造することができるため、図1(B)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板2および図1(C)に示される赤外線遮蔽膜付きガラス板3を作製する際に好適である。   According to the preferred manufacturing method described above, the second infrared shielding film having high durability can be efficiently and economically produced on the glass plate or the first infrared shielding film without firing at a high temperature. can do. At this time, a second infrared shielding film can be provided on the tempered glass obtained by heating the glass plate made of an inorganic glass material to a temperature close to 650 to 700 ° C. in the atmosphere, quenching it, and performing a tempering treatment. For example, a glass plate with an infrared shielding film having high durability can be efficiently and economically manufactured. Therefore, the glass plate with an infrared shielding film 2 shown in FIG. 1 (B) and FIG. 1 (C). It is suitable when producing the shown glass plate 3 with an infrared shielding film.

<赤外線遮蔽膜付きガラス板>
本発明の赤外線遮蔽膜付きガラス板は、上述したガラス板上に、上述した第1の赤外線遮蔽膜と上述した第2の赤外線遮蔽膜とを上述した方法により積層することにより得ることができる。
<Glass plate with infrared shielding film>
The glass plate with an infrared shielding film of the present invention can be obtained by laminating the above-described first infrared shielding film and the above-described second infrared shielding film on the above-described glass plate by the above-described method.

本発明の赤外線遮蔽膜付きガラス板は、自動車用窓ガラス板として使用する際には、部位によっては高い可視光透過率が要求される場合があるが、そのためには、JIS R3212:1998に規定されている可視光透過率が、赤外線遮蔽膜付きガラス板として、70%以上であるのが好ましい。
また、自動車用窓ガラス板のみならず、通常の窓ガラス板として用いる場合にも、透明性は重要である。そのためには、本発明の赤外線遮蔽膜付きガラス板は、赤外線遮蔽膜付きガラス板として、ヘイズ値が1.0%未満であるのが好ましい。
When the glass plate with an infrared shielding film of the present invention is used as a window glass plate for automobiles, a high visible light transmittance may be required depending on the part. For that purpose, it is specified in JIS R3212: 1998. The visible light transmittance of the glass plate with an infrared shielding film is preferably 70% or more.
Moreover, transparency is important not only for automobile window glass plates but also for ordinary window glass plates. For this purpose, the glass plate with an infrared shielding film of the present invention preferably has a haze value of less than 1.0% as a glass plate with an infrared shielding film.

本発明の赤外線遮蔽膜付きガラス板は、用途を特に限定されず、広範な用途に用いることができる。例えば、自動車窓(例えば、ウインドシールド、ルーフ窓、昇降窓、側部固定窓、バックライト、ルーフ窓)、鉄道車両窓等の車両窓;建築窓が挙げられる。   The use of the glass plate with an infrared shielding film of the present invention is not particularly limited, and can be used for a wide range of uses. For example, automobile windows (for example, windshields, roof windows, elevating windows, side fixed windows, backlights, roof windows), vehicle windows such as railway vehicle windows; architectural windows.

下記例のように作製される赤外線遮蔽膜付きガラス板について、シミュレーションにより光学特性を得た結果を、以下に説明する。ただし、本発明はこれらに限られるものではない。
1.例1および2(図1(A)に示す構成の赤外線遮蔽膜付きガラス板の例)
(1)ガラス板10
ガラス板10としては、以下に示されるFL3を用いる。
・FL3:無色透明ソーダライムシリカガラス、旭硝子(株)製、厚さ3.0mm、縦100mm×横100mm
The result of having obtained the optical characteristic by simulation about the glass plate with an infrared shielding film produced like the following example is demonstrated below. However, the present invention is not limited to these.
1. Examples 1 and 2 (Example of glass plate with infrared shielding film having the structure shown in FIG. 1A)
(1) Glass plate 10
As the glass plate 10, FL3 shown below is used.
FL3: colorless and transparent soda lime silica glass, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., thickness 3.0 mm, length 100 mm × width 100 mm

(2)第1の赤外線遮蔽膜12
ガラス板10側から、次に示す構成の第1の赤外線遮蔽膜12(第1膜例1または第1膜例2)を形成する。なお、かっこ内の数値は各層の幾何学的厚さを示す。
・第1膜例1:(ガラス板)/ZrO2(15nm)/TiOxy(105nm)/SiO2(185nm)/ZrO2(15nm)/TiOxy(105nm)/SiO2(30nm)/TiO2(10nm)
・第1膜例2:(ガラス板)/ZrO2(15nm)/TiOxy(95nm)/SiO2(130nm)/ZrO2(15nm)/TiOxy(95nm)
(2) First infrared shielding film 12
A first infrared shielding film 12 (first film example 1 or first film example 2) having the following configuration is formed from the glass plate 10 side. In addition, the numerical value in parenthesis shows the geometric thickness of each layer.
First film example 1: (glass plate) / ZrO 2 (15 nm) / TiO x N y (105 nm) / SiO 2 (185 nm) / ZrO 2 (15 nm) / TiO x N y (105 nm) / SiO 2 (30 nm ) / TiO 2 (10 nm)
First film example 2: (glass plate) / ZrO 2 (15 nm) / TiO x N y (95 nm) / SiO 2 (130 nm) / ZrO 2 (15 nm) / TiO x N y (95 nm)

各層の形成は、以下のようにして行うことができる。なお、最初のZrO2層の形成においては、被処理体はガラス板10であり、以後の各層の形成においては、被処理体はそれまでに形成された層を有するガラス板である。 Each layer can be formed as follows. In the formation of the first ZrO 2 layer, the object to be processed is the glass plate 10, and in the subsequent formation of each layer, the object to be processed is a glass plate having the layers formed so far.

<ZrO2層>
真空槽内にZrターゲットをスパッタターゲットとしてカソード上に設置し、真空槽を2.0×10-3Pa以下となるまで排気する。ついで、スパッタガスとして酸素ガス60sccmとアルゴンガス140sccmとを導入する。このとき、圧力は3.0×10-1Paとなる。この状態で、DCパルス電源を用いて反応性スパッタリング法を行い、真空槽内に設置した被処理体の上に、ZrO2層を形成させる。
<ZrO 2 layer>
A Zr target is placed on the cathode as a sputtering target in the vacuum chamber, and the vacuum chamber is evacuated to 2.0 × 10 −3 Pa or less. Then, oxygen gas 60 sccm and argon gas 140 sccm are introduced as sputtering gas. At this time, the pressure is 3.0 × 10 −1 Pa. In this state, a reactive sputtering method is performed using a DC pulse power source to form a ZrO 2 layer on the object to be processed installed in the vacuum chamber.

<TiOxy層>
真空槽内にTiOx(1<x<2)ターゲットをスパッタターゲットとしてカソード上に設置し、真空槽を2.0×10-3Pa以下となるまで排気する。ついで、スパッタガスとしてアルゴンガス270sccmと窒素ガス20sccmと酸素ガス12sccmとを導入する。このとき、圧力は4.2×10-1Paとなる。この状態で、AC電源を用いて反応性スパッタリング法を行い、真空槽内に設置した被処理体の上に、TiOxy層を形成させる。
<TiO x N y layer>
A TiO x (1 <x <2) target is placed on the cathode as a sputtering target in the vacuum chamber, and the vacuum chamber is evacuated to 2.0 × 10 −3 Pa or less. Then, argon gas 270 sccm, nitrogen gas 20 sccm, and oxygen gas 12 sccm are introduced as sputtering gases. At this time, the pressure is 4.2 × 10 −1 Pa. In this state, a reactive sputtering method is performed using an AC power source to form a TiO x N y layer on the object to be processed installed in the vacuum chamber.

<SiO2層>
真空槽内にSiAl(Al:10%)ターゲットをスパッタターゲットとしてカソード上に設置し、真空槽を2.0×10-3Pa以下となるまで排気する。ついで、スパッタガスとしてアルゴンガス210sccmと酸素ガス190sccmとを導入する。このとき、圧力は3.4×10-1Paとなる。この状態で、AC電源を用いて反応性スパッタリング法を行い、真空槽内に設置した被処理体の上に、SiO2層を形成させる。
<SiO 2 layer>
A SiAl (Al: 10%) target is placed on the cathode as a sputtering target in the vacuum chamber, and the vacuum chamber is evacuated to 2.0 × 10 −3 Pa or less. Then, argon gas 210 sccm and oxygen gas 190 sccm are introduced as sputtering gas. At this time, the pressure is 3.4 × 10 −1 Pa. In this state, a reactive sputtering method is performed using an AC power source to form a SiO 2 layer on the object to be processed installed in the vacuum chamber.

<TiO2層>
真空槽内にTiOx(1<x<2)ターゲットをスパッタターゲットとしてカソード上に設置し、真空槽を2.0×10-3Pa以下となるまで排気する。ついで、スパッタガスとしてアルゴンガス280sccmと酸素ガス20sccmとを導入する。このとき、圧力は4.3×10-1Paとなる。この状態で、AC電源を用いて反応性スパッタリング法を行い、真空槽内に設置した被処理体の上に、TiO2層を形成させる。
<TiO 2 layer>
A TiO x (1 <x <2) target is placed on the cathode as a sputtering target in the vacuum chamber, and the vacuum chamber is evacuated to 2.0 × 10 −3 Pa or less. Then, argon gas 280 sccm and oxygen gas 20 sccm are introduced as sputtering gas. At this time, the pressure is 4.3 × 10 −1 Pa. In this state, a reactive sputtering method is performed using an AC power source to form a TiO 2 layer on the object to be processed installed in the vacuum chamber.

以下、各層を構成する材料の屈折率を第1表に示す。この値は波長550nmにおける値である。   Hereinafter, the refractive indexes of the materials constituting each layer are shown in Table 1. This value is a value at a wavelength of 550 nm.

Figure 2008037671
Figure 2008037671

上記で得られた第1の赤外線遮蔽膜付きガラス板を小型のベルト炉に設置し、設定温度650℃、熱処理時間15分間の条件で熱処理を行う。   The glass plate with the first infrared shielding film obtained above is placed in a small belt furnace, and heat treatment is performed under conditions of a set temperature of 650 ° C. and a heat treatment time of 15 minutes.

(3)第2の赤外線遮蔽膜14
このようにして得られる第1の赤外線遮蔽膜付きガラス板の第1の赤外線遮蔽膜12の上に、下記の方法により第2の赤外線遮蔽膜を作製する。
一次粒子径が40nmである立方晶ITO微粒子(富士チタン工業社製)が30質量%分散されたキシレン分散液Aを0.71g、20質量%のペルヒドロポリシラザン(AZ−エレクトロニックマテリアルズ社製、商品名:アクアミカNP−110)を含むキシレン溶液Bを2.15g秤量し、これらを室温で混合した後、10分間かくはんして塗布液Cを得る。
得られた塗布液Cを、上記により得られた第1の赤外線遮蔽膜付きガラス板の第1の赤外線遮蔽膜上にスピンコート法によって塗布し、大気中、100℃で10分間乾燥させた後、210℃に保ったオーブン中で30分間硬化させて第2の赤外線遮蔽膜(第2膜例1)を得る。10μmの幾何学的厚さを有する第2の赤外線遮蔽膜にするために、複数回、これらの工程を繰り返す。
このようにして、図1(A)に示す構成の赤外線遮蔽膜付きガラス板を得る。
(3) Second infrared shielding film 14
On the 1st infrared shielding film 12 of the glass plate with a 1st infrared shielding film obtained in this way, a 2nd infrared shielding film is produced with the following method.
0.71 g of xylene dispersion A in which 30% by mass of cubic ITO fine particles having a primary particle size of 40 nm (manufactured by Fuji Titanium Industry Co., Ltd.) are dispersed, 20% by mass of perhydropolysilazane (manufactured by AZ-Electronic Materials, 2.15 g of xylene solution B containing trade name: Aquamica NP-110) is weighed, mixed at room temperature, and stirred for 10 minutes to obtain coating solution C.
The obtained coating liquid C is applied on the first infrared shielding film of the glass plate with the first infrared shielding film obtained as described above by spin coating, and dried in the atmosphere at 100 ° C. for 10 minutes. And curing for 30 minutes in an oven maintained at 210 ° C. to obtain a second infrared shielding film (second film example 1). These steps are repeated several times to obtain a second infrared shielding film having a geometric thickness of 10 μm.
In this way, a glass plate with an infrared shielding film having the structure shown in FIG.

例1および2の赤外線遮蔽膜付きガラス板の構成は以下のとおりである。
・例1:(外側)FL3/第1膜例1/第2膜例1(内側)
・例2:(外側)FL3/第1膜例2/第2膜例1(内側)
The structure of the glass plate with an infrared shielding film of Examples 1 and 2 is as follows.
Example 1: (outside) FL3 / first film example 1 / second film example 1 (inside)
Example 2: (Outside) FL3 / first film example 2 / second film example 1 (inside)

2.例3〜6(図1(B)に示す構成の赤外線遮蔽膜付きガラス板の例)
(1)ガラス板10
ガラス板10としては、以下に示されるUVFL3を用いる。
・UVFL3:グリーン系有色透明ソーダライムシリカガラス、旭硝子(株)製、厚さ3.0mm、縦100mm×横100mm
2. Examples 3 to 6 (examples of glass plates with an infrared shielding film having the structure shown in FIG. 1B)
(1) Glass plate 10
As the glass plate 10, UVFL3 shown below is used.
UVFL3: Green colored transparent soda lime silica glass, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., thickness 3.0 mm, length 100 mm × width 100 mm

(2)第1の赤外線遮蔽膜12
例1の方法と同様にして、ガラス板10側から、次に示す構成の第1の赤外線遮蔽膜12(第1膜例3および第1膜例4)を形成する。なお、かっこ内の数値は各層の幾何学的厚さを示す。
・第1膜例3:(ガラス板)/TiO2(10nm)/SiO2(30nm)/ZrO2(15nm)/TiOxy(105nm)/SiO2(185nm)/ZrO2(15nm)/TiOxy(105nm)/SiO2(500nm)
・第1膜例4:(ガラス板)/ZrO2(15nm)/TiOxy(95nm)/SiO2(130nm)/ZrO2(15nm)/TiOxy(95nm)/SiO2(23nm)
(2) First infrared shielding film 12
In the same manner as in Example 1, the first infrared shielding film 12 (first film example 3 and first film example 4) having the following configuration is formed from the glass plate 10 side. In addition, the numerical value in parenthesis shows the geometric thickness of each layer.
First film example 3: (glass plate) / TiO 2 (10 nm) / SiO 2 (30 nm) / ZrO 2 (15 nm) / TiO x N y (105 nm) / SiO 2 (185 nm) / ZrO 2 (15 nm) / TiO x N y (105 nm) / SiO 2 (500 nm)
First film example 4: (glass plate) / ZrO 2 (15 nm) / TiO x N y (95 nm) / SiO 2 (130 nm) / ZrO 2 (15 nm) / TiO x N y (95 nm) / SiO 2 (23 nm )

(3)第2の赤外線遮蔽膜14
ガラス板10の第1の赤外線遮蔽膜12と反対側の面に、例1の方法に比べ塗布液Cの塗布回数を減らして0.25μmの厚さの第2の赤外線遮蔽膜14(第2膜例2)または1μmの厚さの第2の赤外線遮蔽膜14(第2膜例3)を設ける。
このようにして、図1(B)に示す構成の赤外線遮蔽膜付きガラス板を得る。
(3) Second infrared shielding film 14
On the surface of the glass plate 10 opposite to the first infrared shielding film 12, the number of times of application of the coating liquid C is reduced compared to the method of Example 1, and the second infrared shielding film 14 (second A film example 2) or a second infrared shielding film 14 (second film example 3) having a thickness of 1 μm is provided.
In this way, a glass plate with an infrared shielding film having the structure shown in FIG. 1B is obtained.

例3〜6の赤外線遮蔽膜付きガラス板の構成は以下のとおりである。
・例3:(外側)第1膜例3/UVFL3/第2膜例2(内側)
・例4:(外側)第1膜例3/UVFL3/第2膜例3(内側)
・例5:(外側)第1膜例4/UVFL3/第2膜例2(内側)
・例6:(外側)第1膜例4/UVFL3/第2膜例3(内側)
The structure of the glass plate with an infrared shielding film of Examples 3 to 6 is as follows.
Example 3: (Outside) first film example 3 / UVFL3 / second film example 2 (inside)
Example 4: (Outside) first film example 3 / UVFL3 / second film example 3 (inside)
Example 5: (Outside) first film example 4 / UVFL3 / second film example 2 (inside)
Example 6: (Outside) first film example 4 / UVFL3 / second film example 3 (inside)

3.例7〜10(図1(C)に示す構成の赤外線遮蔽膜付きガラス板の例)
(1)ガラス板10
ガラス板10としては、例3〜6と同様のUVFL3を用いる。
3. Examples 7 to 10 (example of glass plate with infrared shielding film having the structure shown in FIG. 1C)
(1) Glass plate 10
As the glass plate 10, the same UVFL3 as in Examples 3 to 6 is used.

(2)第2の赤外線遮蔽膜14
ガラス板10の上に、例3〜6の方法と同様にして0.25μmの厚さの第2の赤外線遮蔽膜14(第2膜例2)または1μmの厚さの第2の赤外線遮蔽膜14(第2膜例3)を設ける。
(2) Second infrared shielding film 14
A second infrared shielding film 14 (second film example 2) having a thickness of 0.25 μm or a second infrared shielding film having a thickness of 1 μm is formed on the glass plate 10 in the same manner as in Examples 3 to 6. 14 (second film example 3) is provided.

(3)第1の赤外線遮蔽膜12
最初のZrO2層の形成における被処理体をガラス板10に設けられる第2の赤外線遮蔽膜14とした以外は、例3〜6と同様にして、第1の赤外線遮蔽膜12(第1膜例3または第1膜例4)を形成する。
このようにして、図1(C)に示す構成の赤外線遮蔽膜付きガラス板を得る。
(3) First infrared shielding film 12
The first infrared shielding film 12 (first film) is the same as in Examples 3 to 6 except that the object to be processed in the formation of the first ZrO 2 layer is the second infrared shielding film 14 provided on the glass plate 10. Example 3 or first film example 4) is formed.
In this way, a glass plate with an infrared shielding film having the structure shown in FIG. 1C is obtained.

例7〜10の赤外線遮蔽膜付きガラス板の構成は以下のとおりである。
・例7:(外側)第1膜例3/第2膜例2/UVFL3(内側)
・例8:(外側)第1膜例3/第2膜例3/UVFL3(内側)
・例9:(外側)第1膜例4/第2膜例2/UVFL3(内側)
・例10:(外側)第1膜例4/第2膜例3/UVFL3(内側)
The structure of the glass plate with an infrared shielding film of Examples 7 to 10 is as follows.
Example 7: (outside) first film example 3 / second film example 2 / UVFL3 (inside)
Example 8: (outside) first film example 3 / second film example 3 / UVFL3 (inside)
Example 9: (outside) first film example 4 / second film example 2 / UVFL3 (inside)
Example 10: (outside) first film example 4 / second film example 3 / UVFL3 (inside)

4.赤外線遮蔽膜付きガラス板の光学特性
このようにして得られる赤外線遮蔽膜付きガラス板(例1〜10)について、JIS R3106:1998の規定に準じたシミュレーションにより、(1)可視光透過率(Tv)、(2)上面日射反射率(上面Re)、(3)日射透過率(Te)および(4)日射吸収率(Ae)を求めた。
なお、Aeは、上記により得られた各波長におけるTeおよび上面Reから、各波長におけるAeを、Ae=1−(Re+Te)とみなして算出した。厳密には、合わせガラスに入射する光は「反射」「吸収」「透過」の他に「散乱」があるが、ガラス物品の場合「散乱」によるロスはきわめて小さいため、Aeを1−(Re+Te)とみなすことは妥当である。この点は、各波長における吸収率も同様である。
4). Optical Properties of Glass Plate with Infrared Shielding Film For the glass plates with infrared shielding film (Examples 1 to 10) obtained in this way, (1) Visible light transmittance (Tv) by simulation according to the provisions of JIS R3106: 1998 ), (2) top surface solar reflectance (top surface Re), (3) solar radiation transmittance (Te), and (4) solar radiation absorption rate (Ae).
Ae was calculated from Te obtained at the above wavelengths and the upper surface Re, assuming that Ae at each wavelength was Ae = 1− (Re + Te). Strictly speaking, the light incident on the laminated glass has “scattering” in addition to “reflection”, “absorption”, and “transmission”. However, in the case of a glass article, loss due to “scattering” is extremely small, so Ae is 1− (Re + Te ) Is reasonable. This also applies to the absorptance at each wavelength.

Figure 2008037671
Figure 2008037671

第2表から明らかなように、第1の赤外線遮蔽膜および第2の赤外線遮蔽膜を有するガラス板(例1および2)は、無色透明のソーダライムシリカガラスを用いても、Teを60%以下にすることができ、さらにこの場合のAeを低く抑えることができる。
また、グリーン系有色透明ソーダライムシリカガラスを用いた例3〜10の赤外線遮蔽膜付きガラス板は、赤外線吸収性能の高いガラス板を使用しているにもかかわらず、Reを20%以上にすることができ、かつAeを35%以下にすることができる。特に、例5および9の赤外線遮蔽膜付きガラス板は、Teを40%前後にしつつ、Aeを30%以下にすることができ、直接の日射投下と赤外線遮蔽膜付きガラス板からの内側(車両窓として用いる場合、車内)への熱の再放射を効果的に防止することができる。
As is apparent from Table 2, the glass plate (Examples 1 and 2) having the first infrared shielding film and the second infrared shielding film, even when a colorless and transparent soda lime silica glass is used, has a Te content of 60%. The Ae in this case can be kept low.
Moreover, the glass plate with an infrared shielding film of Examples 3 to 10 using a green colored transparent soda lime silica glass has a Re of 20% or more even though a glass plate with high infrared absorption performance is used. And Ae can be 35% or less. In particular, the glass plates with infrared shielding films of Examples 5 and 9 can reduce Te to around 40% and Ae to 30% or less. When used as a window, it is possible to effectively prevent re-radiation of heat into the vehicle).

本発明の赤外線遮蔽膜付きガラス板の種々の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the various examples of the glass plate with an infrared shielding film of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1、2、3 赤外線遮蔽膜付きガラス板
10 ガラス板
12 第1の赤外線遮蔽膜
14 第2の赤外線遮蔽膜
1, 2, 3 Glass plate with infrared shielding film 10 Glass plate 12 First infrared shielding film 14 Second infrared shielding film

Claims (9)

ガラス板と、第1の赤外線遮蔽膜と、第2の赤外線遮蔽膜とを有する赤外線遮蔽膜付きガラス板であって、
前記第1の赤外線遮蔽膜が、屈折率が1.90以上の高屈折率無機質材料からなる被膜(1)と屈折率が1.56以下の低屈折率無機質材料からなる被膜(2)とが交互に積層された積層被膜(X)を有し、前記被膜(1)の数と前記被膜(2)の数の合計が3以上であり、前記被膜(1)の幾何学的厚さが70〜150nmであり、前記被膜(2)の幾何学的厚さが100〜200nmである赤外線遮蔽膜であり、
前記第2の赤外線遮蔽膜が、酸化ケイ素を主体とするマトリックス中に、平均一次粒子径100nm以下のスズドープ酸化インジウム微粒子が分散した構成を有し、幾何学的厚さが0.2〜12μmである赤外線遮蔽膜である、赤外線遮蔽膜付きガラス板。
A glass plate with an infrared shielding film having a glass plate, a first infrared shielding film, and a second infrared shielding film,
The first infrared shielding film includes a film (1) made of a high refractive index inorganic material having a refractive index of 1.90 or more and a film (2) made of a low refractive index inorganic material having a refractive index of 1.56 or less. The film has alternating laminated films (X), the total number of the films (1) and the films (2) is 3 or more, and the geometric thickness of the film (1) is 70. An infrared shielding film having a thickness of ˜150 nm and a geometric thickness of the coating (2) of 100 to 200 nm;
The second infrared shielding film has a configuration in which tin-doped indium oxide fine particles having an average primary particle diameter of 100 nm or less are dispersed in a matrix mainly composed of silicon oxide, and has a geometric thickness of 0.2 to 12 μm. A glass plate with an infrared shielding film, which is an infrared shielding film.
前記被膜(1)の少なくとも一つが、酸化チタンまたは酸窒化チタンの単層膜(1a)である、請求項1に記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。   The glass plate with an infrared shielding film according to claim 1, wherein at least one of the coating films (1) is a single layer film (1a) of titanium oxide or titanium oxynitride. 前記被膜(1)の少なくとも一つが、異なる種類の高屈折率無機質材料からなる2層以上の多層構造からなる高屈折多層膜(1b)であり、前記高屈折多層膜(1b)の少なくとも一つの層が酸化チタンまたは酸窒化チタンの層である、請求項1に記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。   At least one of the films (1) is a high refractive multilayer film (1b) having a multilayer structure of two or more layers made of different types of high refractive index inorganic materials, and at least one of the high refractive multilayer films (1b) The glass plate with an infrared shielding film according to claim 1, wherein the layer is a layer of titanium oxide or titanium oxynitride. 前記高屈折多層膜(1b)の少なくとも一つの層が酸化チタンまたは酸窒化チタンの層であり、前記高屈折多層膜(1b)の他の少なくとも一つの層が酸化ジルコニウムの層である、請求項3に記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。   The at least one layer of the high refractive multilayer film (1b) is a layer of titanium oxide or titanium oxynitride, and the other at least one layer of the high refractive multilayer film (1b) is a layer of zirconium oxide. 3. A glass plate with an infrared shielding film as described in 3. 前記積層被膜(X)が、酸化ジルコニウムの層と酸化チタンまたは酸窒化チタンの層とを含む幾何学的厚さの合計が70〜150nmの高屈折率多層被膜(1b−1)の二つと、二つの前記高屈折率多層被膜(1b−1)の間に存在する前記被膜(2)とからなる、請求項1に記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。   The multilayer coating (X) includes two high refractive index multilayer coatings (1b-1) having a total geometric thickness of 70 to 150 nm including a zirconium oxide layer and a titanium oxide or titanium oxynitride layer; The glass plate with an infrared shielding film according to claim 1, comprising the coating film (2) present between the two high-refractive-index multilayer coating films (1 b-1). 前記被膜(2)が酸化ケイ素の層である、請求項1〜5のいずれかに記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。   The glass plate with an infrared shielding film according to any one of claims 1 to 5, wherein the coating (2) is a layer of silicon oxide. 前記第2の赤外線遮蔽膜が、前記ガラス板または前記ガラス板の上の前記第1の赤外線遮蔽膜の表面上に、平均一次粒子径が100nm以下であるスズドープ酸化インジウム微粒子と、酸化ケイ素ゲルを形成しうるケイ素化合物と、有機溶媒とを含有し、前記スズドープ酸化インジウム微粒子の含有量が1〜10質量%である分散液を塗布して、前記ケイ素化合物および/または前記ケイ素化合物のゲル化物を含有するスズドープ酸化インジウム微粒子分散層を形成させ、ついで、前記ガラス板の温度が300℃以下となる温度で加熱することにより、前記スズドープ酸化インジウム微粒子分散層中の前記ケイ素化合物および/または前記ケイ素化合物のゲル化物を硬化させて形成された赤外線遮蔽膜である、請求項1〜6のいずれかに記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。   On the surface of the first infrared shielding film on the glass plate or the glass plate, the second infrared shielding film comprises tin-doped indium oxide fine particles having an average primary particle diameter of 100 nm or less, and a silicon oxide gel. Applying a dispersion containing a silicon compound that can be formed and an organic solvent, wherein the content of the tin-doped indium oxide fine particles is 1 to 10% by mass, The tin-doped indium oxide fine particle dispersion layer is formed, and then heated at a temperature at which the glass plate has a temperature of 300 ° C. or less, whereby the silicon compound and / or the silicon compound in the tin-doped indium oxide fine particle dispersion layer is heated. It is an infrared shielding film formed by hardening | curing the gelled material of any one of Claims 1-6. Infrared shielding film-coated glass plate. 前記ケイ素化合物がポリシラザンである、請求項7に記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。   The glass plate with an infrared shielding film according to claim 7, wherein the silicon compound is polysilazane. JIS R3212:1998に規定されている可視光透過率が70%以上である、請求項1〜8のいずれかに記載の赤外線遮蔽膜付きガラス板。   The glass plate with an infrared shielding film according to any one of claims 1 to 8, wherein a visible light transmittance defined in JIS R3212: 1998 is 70% or more.
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