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JP2008034792A - 熱電変換装置およびその製造方法 - Google Patents

熱電変換装置およびその製造方法 Download PDF

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彰夫 松岡
Yasuhiko Niimi
康彦 新美
Yuji Ito
裕司 伊藤
Isao Azeyanagi
功 畔柳
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Abstract

【課題】短絡およびマイグレーションの発生が防止された熱電変換装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】複数のP型熱電素子12と複数のN型熱電素子13とが複数の電極部25、35によって交互に電気的に直列接続されて構成される直列回路50と、複数の電極部25、35に直接接続されている複数の熱交換素子26、36と、これらの熱交換素子26、36を突出させるように保持する絶縁板21、31とを備えた熱電変換装置において、絶縁板21、31から突出する側の熱交換素子26、36の表面全体に絶縁用の絶縁層40を形成すると共に、熱交換素子26、36と絶縁板21、31とが接触し、且つ、熱交換素子26、36の熱媒体側に露出される部位42に対して、絶縁層40の外側から覆われる接着剤層27、37を設ける。
【選択図】図1

Description

本発明は、N型熱電素子、P型熱電素子からなる直列回路に直流電流を流通させることで吸熱、放熱が得られる熱電変換装置およびその製造方法に関するものである。
従来この種の熱電変換装置として、例えば特許文献1に示されるものが知られている。この熱電変換装置では、絶縁基板に交互に複数個配列されたN型熱電素子とP型熱電素子に対して、その片方の端面から突出するように複数の放熱電極部材が、他方の端面から突出するように複数の吸熱電極部材が接合されている。これらの放熱、吸熱電極部材の各々は、U字状に成形された金属板により構成されて、そのU字状の底部において隣接するN型熱電素子とP型熱電素子とに接合されて、これらの間を電気的に接続する電極部と、この電極部から突出する放熱部、吸熱部とを備えている。
このように、放熱部および吸熱部を、絶縁層を介することなく電極部と接合させて設けることにより、熱交換効率に優れた熱電変換装置を提供することができる。
特開2006−93437号公報
しかしながら、上記熱電変換装置では、N型熱電素子、P型熱電素子からなる直列回路に電圧を印加すると、絶縁されていない、あるいは絶縁が不十分である放熱/吸熱電極部材などの導電部位において短絡やマイグレーションが発生する場合がある。
本発明の目的は、上記問題に鑑み、短絡およびマイグレーションの発生が防止された熱電変換装置およびその製造方法を提供することにある。
本発明は上記目的を達成するために、以下の技術的手段を採用する。
請求項1に記載の発明では、複数のP型熱電素子(12)と複数のN型熱電素子(13)とが複数の電極部(25、35)によって交互に直列に接続されて構成される直列回路(50)と、複数の電極部(25、35)に直接接続されている複数の熱交換素子(26、36)と、複数の熱交換素子(26、36)を突出させるように保持すると共に複数の熱交換素子(26、36)間を電気的に絶縁させる絶縁板(21、31)とを備え、絶縁板(21、31)に対して、熱交換素子(26、36)の突出側を流通する熱媒体と熱交換素子(26、36)との間で熱交換を行う熱電変換装置において、熱交換素子(26、36)の少なくとも突出側の表面全体には、絶縁用の絶縁層(40)が形成されると共に、熱交換素子(26、36)と絶縁板(21、31)とが接触し、且つ、熱交換素子(26、36)の熱媒体側に露出される部位(42)に対して、絶縁層(40)の外側から覆われる接着剤層(27、37)が設けられたことを特徴としている。
熱交換素子(26、36)の表面全体に絶縁層(40)を形成することにより、隣り合う熱交換素子(26、36)の接触による短絡や、熱媒体の冷却時に結露して付着した水滴等によって発生するイオンマイグレーションを防止することができる。
また、熱交換素子(26、36)と絶縁板(21、31)とが接触し、且つ、熱交換素子(26、36)の熱媒体側に露出される部位(42)のように、絶縁層(40)の形成が困難な部位に対して、接着剤層(27、37)を設けることにより、絶縁機能を完全なものとすることができるので、短絡やイオンマイグレーションの発生を確実に防ぐことが可能となり、熱電変換装置(100)の信頼性を向上させることができる。
請求項1に記載の発明において、絶縁層(40)は、請求項2に記載の発明のように、電着塗装によって形成される電着塗装層とすることができる。これによれば、複雑な形状のものにでも均一な膜厚でピンホールのない絶縁層(40)を形成することが可能である。
また、絶縁層(40)は、請求項3、請求項4に記載の発明のように、蒸着によって形成される蒸着層としたり、絶縁性塗料の塗布によって形成される塗料塗布層としても良い。
接着剤層(27、37)は、請求項5に記載の発明のように、安価で、可撓性を有するエポキシ系接着剤、またはシリコン系接着剤を用いて好適である。
更に、請求項6に記載の発明では、接着剤層(27、37)は、熱交換素子(26、36)と絶縁板(21、31)との隙間をシールするように設けられたことを特徴としている。
これにより、熱媒体の冷却時に結露して熱交換素子(26、36)に付着した水滴が熱電素子(12、13)側に浸入することを確実に防止することができ、熱電素子(12、13)側で短絡およびイオンマイグレーションが発生することを防止することができる。
請求項7に記載の発明では、接着剤層(27、37)は、複数の熱交換素子(26、36)の突出側において絶縁板(21、31)の表面全体を覆っていることを特徴としている。
これにより、複数の熱交換素子(26、36)の熱媒体側に露出される部位(42)に対して、絶縁板(21、31)の表面全体に接着剤を流し込むことで、一箇所ずつ設けるような手間を不要として、一度に接着剤層(27、37)を設けることが可能となる。
請求項8に記載の発明では、絶縁板として、複数の熱交換素子(26、36)を複数の電極部(25、35)への接続側において保持する第1板(21、31)を備えることを特徴としている。
これにより、熱交換素子(26、36)に結露などにより付着した水滴が熱電素子(12、13)側に浸入することを確実に防止することができる。よって、このような水滴の浸入によって熱電素子(12、13)側で短絡およびマイグレーションが発生することを防止することができる。
絶縁板としては、上記請求項8に記載の発明のように、複数の熱交換素子(26、36)を複数の電極部(25、35)への接続側において保持する第1板(21、31)を備えるのに加えて、請求項9に記載の発明のように、複数の熱交換素子(26、36)を複数の電極部(25、35)への接続側の反対側において保持する第2板(23、33)を備えるように構成してもよい。あるいは、第1板(21、31)を備えることなく第2板(23、33)のみを備える構成とすることもできる。
このような第2板(23、33)を設けることで、熱交換素子(26、36)が電極部(25、35)への接続側の反対側、つまり熱交換素子(26、36)の先端側において、熱交換素子(26、36)間が接触することを防止して、これらの間を絶縁することができる。また、第2板(23、33)と熱交換素子(26、36)とが接触する部位で、熱交換素子(26、36)の熱媒体側に露出する部位(43)において、絶縁層(40)を形成することが困難である場合も、絶縁層(40)の外側から覆うように接着剤層(29、39)を設けることで、熱交換素子(26、36)の先端側における絶縁を完全なものとすることができる。
請求項10に記載の発明のように、熱交換素子(26、36)に接触させて、あるいは近傍に配設された温度センサ(70)、およびこの温度センサ(70)に接続された配線(71)を備えている場合には、配線(71)の表面全体に絶縁用の配線絶縁層(48)を形成するとよい。このような配線絶縁層(48)は、熱交換素子(26、36)の表面に絶縁層(40)を形成する際に、同時に形成することが可能であり、また、このような配線絶縁層(48)を形成することで、温度センサ(70)の配線(71)が被水した場合でも短絡およびマイグレーションの発生を防止することができる。
上記配線絶縁層(48)は、請求項11に記載の発明のように、電着塗装によって形成される電着塗装層とするのがよい。
また、本発明の熱電変換装置においては、請求項12に記載の発明のように、例えば、電極部(25、35)が熱交換素子(26,36)と一体に形成された構成とすることができる。これにより、熱交換素子(26、36)と別体の電極部材を備える場合に比較して、少ない部品数で熱電変換装置を構成することができる。
請求項13に記載の発明では、複数のP型熱電素子(12)と複数のN型熱電素子(13)とが複数の電極部(25、35)によって交互に直列に接続されて構成される直列回路(50)と、複数の電極部(25、35)に直接接続されている複数の熱交換素子(26、36)と、複数の熱交換素子(26、36)を突出させるように保持すると共に複数の熱交換素子(26、36)間を電気的に絶縁させる絶縁板(21、31)とを備え、絶縁板(21、31)に対して、熱交換素子(26、36)の突出側を流通する熱媒体と熱交換素子(26、36)との間で熱交換を行う熱電変換装置の製造方法において、絶縁板(21、31)に保持された複数の熱交換素子(26、36)に直接接続された複数の電極部(25、35)によって、複数のP型熱電素子(12)と複数のN型熱電素子(13)とが交互に直列に接続されて構成された直列回路(50)を有する熱電変換モジュール(200)を構成するモジュール構成工程と、熱交換素子(26、36)の少なくとも突出側の表面全体に、絶縁用の絶縁層(40)を形成する絶縁層形成工程と、熱交換素子(26、36)と絶縁板(21、31)とが接触し、且つ、熱交換素子(26、36)の熱媒体側に露出される部位(42)に対して、絶縁層(40)の外側から覆うように接着剤層(27、37)を設ける接着剤層形成工程とを備えたことを特徴としている。
これにより、請求項1に記載の熱電変換装置(100)を製造するための方法とすることができる。
請求項14に記載の発明では、絶縁層形成工程において、電着塗装によって絶縁層(40)を形成することを特徴としている。
モジュール構成工程において熱電変換モジュール(200)を構成してから、この熱電変換モジュール(200)に対して絶縁層形成工程において電着塗装を施すことにより、熱電変換モジュール(200)の直列回路(50)の両端に電圧を印加したときに電位が作用する熱交換素子(26、36)の表面に選択的に絶縁層(40)を形成することが可能であり、また、熱交換素子(26、36)の表面全体に一度で絶縁層(40)を形成することが可能である。これにより、熱交換素子(26、36)の形状に沿ってピンホールのない均一な絶縁層(40)を効率的に形成して、熱電変換装置(100)内部での導電部位における短絡およびマイグレーションの発生を防止することができる。
また、絶縁板(21、31)の表面には電着塗装の際に膜が形成されないため、絶縁板(21、31)と熱交換素子(26、36)とが接触し、且つ、熱媒体側に露出される部位(42)には電着塗装により絶縁層(40)を形成することが困難である。そこで、絶縁層形成工程の後に、接着剤層形成工程において絶縁板(21、31)と熱交換素子(26、36)とが接触し、且つ、熱媒体側に露出される部位(42)を絶縁層(40)の外側から覆うように接着剤層(27、37)を設けることにより、熱交換素子(26、36)の絶縁が完全となり、熱電変換装置(100)内部での短絡およびマイグレーションの発生を確実に防ぐことが可能となる。
なお、請求項15〜請求項24に記載の発明は、上記請求項3〜請求項12に記載の発明の熱電変換装置の製造方法に関するものであり、その技術的意義は上記請求項3〜請求項12に記載の熱電変換装置と本質的に同じである。
因みに、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態における熱電変換装置を図1〜図6に示し、まず、その構成について図1〜図5を用いて説明する。図1は熱電変換装置100の全体構成を示す模式図であり、図2は図1に示す矢印IIで示す方向から見た矢視図、図3は熱電変換装置100の主要部となる熱電変換モジュール200の構成を示す分解構成図、図4は熱電変換モジュール200の構成を示す図1中のIV−IV部における断面図、図5は図4におけるV部の詳細を示す拡大図である。
本熱電変換装置100は、図1に示すように、熱電素子基板10、吸熱電極基板20、放熱電極基板30を有する熱電変換モジュール200が、一対のケース部材28、38からなるケースに収納されて構成されている。
熱電素子基板10は、図1〜図4に示すように、保持板である第1絶縁基板11と、複数のP型熱電素子12、N型熱電素子13からなる熱電素子群とを有して、これらにより一体に構成されている。具体的には、平板状の絶縁材料(例えば、ガラスエポキシ、フェノール樹脂、PPS樹脂、LCP樹脂もしくはPET樹脂など)からなる第1絶縁基板11に、ほぼ碁盤目状に複数の嵌合孔が形成されて、この嵌合孔にP型熱電素子12とN型熱電素子13とが交互に配列されている。
P型熱電素子12はBi−Te系化合物からなるP型半導体により構成され、N型熱電素子13はBi−Te系化合物からなるN型半導体により構成された極小部品であって、これらは、その上端面、下端面が第1絶縁基板11よりも突き出すように構成されている。本実施形態においては、1.5mm角ほどの大きさのP型熱電素子12、N型熱電素子13(以下、両者を熱電素子12、13と表示する)が120組ほど第1絶縁基板11に保持されている。
つぎに、吸熱電極基板20は、図1、図3、および図4に示すように、複数個の吸熱電極部材22が平板状の絶縁材料(例えば、ガラスエポキシ、フェノール樹脂、PPS樹脂、LCP樹脂もしくはPET樹脂など)からなる保持板である第2絶縁基板21(本発明の絶縁板および第1板に対応)および固定板23(本発明の絶縁板および第2板に対応)に一体構成されたものであり、放熱電極基板30は、複数個の放熱電極部材32が平板状の絶縁材料(例えば、ガラスエポキシ、フェノール樹脂、PPS樹脂、LCP樹脂もしくはPET樹脂など)からなる保持板である第3絶縁基板31(本発明の絶縁板および第1板に対応)および固定板33(本発明における第2板に対応)に一体構成されたものである。
具体的には、第2絶縁基板21、固定板23、もしくは第3絶縁基板31、固定板33にほぼ碁盤目状に複数の嵌合孔が形成されて、この嵌合孔に吸熱電極部材22、放熱電極部材32(以下、両者を電極部材22、32と表示する)が保持されている。これにより、隣り合う電極部材22、32同士は、互いに電気的に絶縁するように、所定の隙間を設けてほぼ碁盤目状に配設されている。
電極部材22、32は、銅材などの導電性金属からなる薄肉の板材を用いて、図4に示すように、断面がほぼU字状となるように構成されている。U字状の底部は平面状の吸熱電極部25、放熱電極部35(本発明の電極部に対応し、以下、両者を電極部25、35と表示する)を形成しており、その電極部25、35から外方に延出された平面にルーバを備える熱交換部(吸熱部)26、熱交換部(放熱部)36(本発明の熱交換素子に対応し、以下、両者を熱交換部26、36と表示する)を形成している。この吸熱、放熱電極部材22、32を形成する板材として、板厚が0.2〜0.3mmであるものを選択すると、加工性の向上が図れるため望ましい。
電極部材22、32は、その電極部25、35において熱電素子基板10の熱電素子12、13にはんだ接合されている。具体的には、図1、図3および図4に示すように、吸熱電極部材22は熱電素子12、13の上端面に接合されており、放熱電極部材32は熱電素子12、13の下端面に接合されている。
電極部25、35は、熱電素子基板10に配列された熱電素子群のうち、隣接するP型熱電素子12とN型熱電素子13との間を電気的に接続する電極である。具体的には、吸熱電極部25は、図1に示すように、隣接するN型熱電素子13からP型熱電素子12に向けて電流が流れるように熱電素子13、12間を接続しており、放熱電極部35は、隣接するP型熱電素子12からN型熱電素子13に向けて電流が流れるように熱電素子12、13間を接続している。これにより、全ての熱電素子12、13が直列に接続されて、直列回路50が形成されている。
また、熱交換部26、36は、電極部25、35からの吸熱、放熱を伝えて、熱交換部(吸熱部)26に接触する流体から吸熱する、あるいは熱交換部(放熱部)36に接触する流体へ放熱するためのフィンであり、電極部25、35から延出する平面に切り起こしなどの成形加工により形成されている。このように、本実施形態においては、熱交換部26、36と電極部25、35とは、共に電極部材22、32の一部分として一体に形成されている。
なお、電極部材22、32は、その電極部25、35が、第2絶縁基板21、もしくは第3絶縁基板31(以下、両者を絶縁基板21、31と表示する)から熱電素子12、13側に僅かに突き出すように構成されており、従って、熱交換部26、36が熱電素子12、13側にはみ出さないようになっている。また、電極部材22、32は、その先端部において固定板23、もしくは固定板33(以下、両者を固定板23、33と表示する)に保持されており、電極部材22、32の先端が固定板23の上面あるいは固定板33の下面から僅かに突き出すように構成されている。
熱電素子12、13が電極部25、35によって接続されて形成される直列回路50において、その末端に配設される熱電素子12、13(図1および図3中における左右端の熱電素子12a、13a)には、それぞれ接続端子24a、24bが設けられ、この接続端子24a、24bには、図示しない直流電源の正側端子と負側端子とがそれぞれ接続されるようになっている。
以上のように構成された熱電変換モジュール200において、上記のように接続端子24aに電圧を印加すると、直流電流がP型熱電素子12aから放熱電極部35を介して隣接するN型熱電素子13に流れ、さらに、このN型熱電素子13から吸熱電極部25を介してP型熱電素子12に流れるというようにして、両端の熱電素子12a、13aの間の直列回路50に直流電流が流れる。
このときに、PN接合部に配設された放熱電極部35は、ペルチェ効果によって高温の状態となり、NP接合部に配設された吸熱電極部25は低温の状態となる。そして、放熱電極部35からの熱は放熱電極部材32の熱交換部36に伝わり、熱交換部36に接触される冷却流体(熱媒体であり、後述する空気)に対して放熱される。また、吸熱電極部25からの吸熱は吸熱電極部材22の熱交換部26に伝わり、熱交換部26に接触される被冷却流体(熱媒体であり、後述する空気)から吸熱される。
従って、図1に示すように、熱電素子基板10を区画壁として、ケース部材28、38により、熱電素子基板10の両側の吸熱電極部材22側と放熱電極部材32側とに送風通路をそれぞれ形成して、その送風通路に空気(熱媒体)を流通することで、熱交換部26、36と空気との間で熱交換され、これにより、吸熱電極部材22側通路を流通する空気が冷却され、放熱側電極部材32側通路を流通する空気が加熱される。
このとき、本熱電変換装置100においては、上記のように熱交換部26、36が、直列回路50の吸熱部位、放熱部位である電極部25、35と絶縁されることなく繋がっていることにより、高い熱交換効率を得ることができる。しかし、接続端子24a、24bに電圧が印加されたときには、熱電素子12、13によって形成される直列回路50に電位が作用するだけでなく、熱交換部26、36など、この直列回路50と絶縁されることなく接続されている導電部位全体に電位が作用する。
そこで、本熱電変換装置100においては、熱電変換モジュール200の接続端子24a、24bに電圧を印加したときに電位が作用する導電部位の表面全体に、図5に示すように、短絡の発生を防止するための絶縁膜40(本発明の絶縁層に対応)を形成している。この絶縁膜40は電着塗装によって形成されるもので、熱電変換装置100の外周部の隙間17を接着剤で封止する工程の前で電着塗装を実施することにより、電極部材22、32の熱交換部26、36の表面、熱電素子12、13の側面、電極部25,35と熱電素子12、13との間のはんだ接合部45の側面など、直列回路50と絶縁されることなく接続されている導電部位の露出している表面全体に、それらの形状に沿って万遍なく絶縁膜40が形成されている。また、熱電変換装置100の外周部の隙間17を接着剤で封止する工程の後に電着塗装を実施する場合には、電極部材22、32の熱交換部26、36の表面全体に、それらの形状に沿って万遍なく絶縁膜40が形成されることになるが、いずれの場合にも直列回路50と絶縁されることなく接続されている導電部位を絶縁することは可能である。本実施形態では、絶縁膜40はエポキシ樹脂系の塗料により形成されており、その膜厚は10〜20μmほどとなっている。
なお、図5では、吸熱電極基板20における第2絶縁基板21と吸熱電極部材22との接触部分の詳細を示しているが、放熱電極基板30における第3絶縁基板31と放熱電極部材32との接触部分についても同様の構成となっている。
さらに、絶縁基板21、31の熱電素子基板10と反対側の表面(以下、絶縁基板21、31の空気側表面と呼ぶ)には、図1、および図3〜図5に示すように、第1接着剤層27、第2接着剤層37(本発明の接着剤層に対応し、以下、両者を接着剤層27、37と表示する)がそれぞれ形成されており、これらの接着剤層27、37は、図4に示すように、電極部材22、32の絶縁基板21、31との嵌合部分の内側(電極部25、35の背面側)にまで渡って、第2絶縁基板21の熱交換部26側表面の全面、第3絶縁基板31の熱交換部36側表面の全面に形成されている。本実施形態では、接着剤層27、37はエポキシ樹脂系の接着剤より形成されており、厚さ0.5〜1mmほどの層となっている。
なお、接着剤層27、37が形成される前段階で見た場合に、絶縁基板21、31と、熱交換部26、36(電極部材22,33の根元部分)との接触部分で、且つ、熱交換部26、36の空気側に露出される露出部位42においては、図5に示すように、接着剤層27、37は絶縁膜40を外側から覆うように形成されており、これらの接着剤層27、37により、熱交換部26、36において電着塗装により絶縁膜40が形成されにくい絶縁基板21、31付近の露出部位42の絶縁が補強されて完全なものとなっている。また、接着剤層27、37は、絶縁基板21、31と、熱交換部26、36との間の隙間にも充填されて、シール材として熱電素子基板10側への水滴などの浸入を防止している。
つぎに、以上の構成による熱電変換装置100の製造方法について、図1、および図3〜図6に基づいて説明する。本製造方法は、モジュール構成工程、絶縁層形成工程、接着剤層形成工程を備えており、図3は主にモジュール構成工程を示しており、図6は絶縁層形成工程を示している。
モジュール構成工程においては、まず、第1絶縁基板11にほぼ碁盤目状に形成された複数の嵌合孔にP型熱電素子12とN型熱電素子13とを交互に配列して接着剤で固定し、これにより熱電素子基板10を構成する。このとき、第1絶縁基板11への熱電素子12、13の組み付けは、例えば、半導体、電子部品などを制御基板に組み付けるための製造装置であるマウンタ装置を用いて行うことができる。
一方、第2絶縁基板21にほぼ碁盤目状に形成された複数の嵌合孔に吸熱電極部材22の根元部分が保持されるように嵌合させ、さらに吸熱電極部材22の先端部を固定板23に形成された嵌合孔に嵌合させて、吸熱電極基板20を構成する。
同様に、第3絶縁基板31にほぼ碁盤目状に形成された複数の嵌合孔に放熱電極部材32の根元部分が保持されるように嵌合させ、さらに放熱電極部材32の先端部を固定板33に形成された嵌合孔に嵌合させて、放熱電極基板30を構成する。
このとき、電極部材22、32は、その電極部25、35が、絶縁基板21、31から僅かにはみ出すように構成される。また、電極部材22、32はその先端部において固定板23、33の嵌合孔に保持され、電極部材22、32の先端が固定板23の上面あるいは固定板33の下面とから僅かに突き出すように構成される。
なお、電極部材22、32は、例えば、平板状の金属板をプレス加工などによりほぼU字状に形成して、その底部に平面状からなる電極部25、35を形成し、さらに、その電極部25、35から外方に延出された平面をルーバ状に成形加工することにより、前もって構成される。
つぎに、図3に示すように、吸熱電極基板20と放熱電極基板30との間に熱電素子基板10を挟んで組み合わせることにより、熱電変換モジュール200を構成する。具体的には、電極部材22、32の電極部25、35を、その接合部において、熱電素子12、13の上端面もしくは下端面にはんだ付けにより接合することにより、電極部材22、32と熱電素子12、13の間を接合する。このとき、予め熱電素子12、13の上面もしくは下面にペーストハンダなどをスクリーン印刷で薄く均一に塗っておいて、電極部25、35をはんだ付けで接合する。
以上のようにして構成された熱電変換モジュール200に対して、絶縁層形成工程において、電着塗装を施すことより、接続端子24a、24bに電圧を印加した場合に電位が作用する導電部位の表面全体に絶縁膜40を形成する。具体的には、図6に示すように、エポキシ樹脂系塗料の溶液を入れた槽の中に熱電変換モジュール200を浸漬して、接続端子24a、24bのいずれか片方に陰極として電圧をかける。このようにして熱電変換モジュール200に塗料を塗布した後、これを180〜190度程度に加熱して、塗料を焼き付けることにより塗膜(絶縁膜)40を形成する。
これにより、図5に示すように、電極部材22、32の表面、熱電素子12、13の側面、はんだ接合部45の側面など、接続端子24a、24bに電圧を印加した場合に電位が作用する導電部位の表面に選択的に塗料が塗布されて、その結果、そのような導電部位の表面全体に渡って、それらの形状に沿って万遍なくピンホールのない絶縁膜40が形成される。本実施形態においては、上記のように、厚さ10〜20μmほどの絶縁膜40が形成される。
なお、本実施形態では、電着塗装の際に熱電変換モジュール200の接続端子24a、24bのいずれか片方に陰極として電圧を印加したが、これに限らず、熱電変換モジュール200の両端子24a、24bに電圧を印加した場合に電位が作用する導電部位であれば、どこに電圧を印加しても、同様に電着塗装が可能である。また、本実施形態においては、熱電変換モジュール200に陰極として電圧を印加して電着塗装を実施したが、用いる塗料などに応じて、陽極として電圧を印加する場合もある。
つぎに、接着剤層形成工程において、絶縁基板21、31の空気側の表面に、図1、図4および図5に示すような、接着剤層27、37を形成する。具体的には、エポキシ樹脂系の接着剤をディスペンサにより絶縁基板21、31上に注入し、高温槽に入れて接着剤を硬化させることにより、接着剤層27、37を形成する。本実施形態においては、上記のように、厚さ2〜3mmほどの接着剤層27、37が形成される。
さらに、図1および図4に示すように、絶縁基板21、31の外周部における熱電素子基板10との間の隙間17にも接着剤を塗布して、熱電素子基板10側への水滴などの浸入を防止するためのシールを完成させる。
最後に、熱電変換モジュール200の上方側、下方側にそれぞれケース部材28、38を組み付けて、空気が流通する送風通路を形成する。このとき、電極部材22、32の先端部(固定板23、33)とケース部材28、38との間の隙間には、図示しないパッキンが充填されて、これによりケース28、38内で熱電変換部モジュール200の位置が固定されている。
以上のように、本実施形態の熱電変換装置100においては、接続端子24a、24bに電圧を印加したときに電位が作用する導電部位の表面全体に電着塗装により絶縁膜40が形成されている。このような絶縁膜40は、熱電変換モジュール200をまず構成して、これに電着塗装を施すことで、絶縁が必要な導電部位に選択的に形成することが可能であり、また、そのような導電部位全体に一度に形成することが可能である。電着塗装によると、熱交換部26、36のような複雑な形状のものにも均一でピンホールのない絶縁膜40を形成することができ、これにより隣り合う熱交換部26、36の接触による短絡や、空気の冷却時に結露して付着した水滴等によって発生するイオンマイグレーションを防止することができる。
さらに、本実施形態の熱電変換装置100においては、電着塗装により絶縁膜40を形成することが困難となる熱交換部26、36における露出部位42付近においては、この露出部位42を絶縁層40の外側から覆うように接着剤層27、37を形成して、絶縁層40を補強している。これにより、本熱電変換装置100内において必要な導電部位の絶縁が完全となり、熱電変換装置100内部での短絡およびマイグレーションの発生を確実に防ぐことができる。
また、接着剤層27、37の形成に当たって、エポキシ樹脂系の接着剤を用いるようにしているので、安価な対応ができる。そして、エポキシ樹脂系の接着剤においては、可撓性を有するものを広く選定可能であり、接着剤層27、37に適したものとして対応が容易となる。
また、接着剤層27、37は、熱交換部26、36と絶縁基板21、31との隙間をシールするようにしているので、空気の冷却時に結露して熱交換部26、36に付着した水滴が熱電素子12、13側に浸入することを確実に防止することができ、熱電素子12、13側で短絡およびイオンマイグレーションが発生することを防止することができる。
また、接着剤層27、37が、絶縁基板21、31の空気側の表面全体を覆うように形成されるようにしている。これにより、複数の熱交換部26、36の空気側に露出される露出部位42に対して、絶縁基板21、31の表面全体に接着剤を流し込むことで、一箇所ずつ設けるような手間を不要として、一度に接着剤層27、37を設けることが可能となる。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態を図7および図8に示す。図7は本実施形態における熱電変換装置の主要部となる熱電変換モジュール200aの構成を示している。上記第1実施形態では電極部材22、32を根元部分でそれぞれ保持している絶縁基板21、31の表面に、それぞれ接着剤層27、37を設けたが、これに対して、本実施形態においては、図7に示すように、接着剤層27、37に加えて、電極部材22、32を先端部で保持している固定板23、33の表面にも、それぞれ第3接着剤層29、第4接着剤層39(本発明の接着剤層に対応し、以下、両者を接着剤層29、39と表示する)を設ける。
第3接着剤層29は、固定板23の熱交換部26側表面の全体に渡って形成されており、第4接着剤層39は、固定板33の熱交換部36側表面の全体に渡って形成されている。本実施形態においては、接着剤層29、39の厚さは0.5〜1mmほどとなっている。
図8は図7におけるVIII部の詳細を示す拡大図である。ここに示すように、接着剤層29、39が形成される前段階で見た場合に、熱交換部26の先端部分と固定板23との接触部分で、熱交換部26の空気側に露出される露出部位43に対して、第3接着剤層29は、絶縁膜40を外側から覆うようにして表面全体に形成されており、これにより、熱交換部26において電着塗装により絶縁膜40が形成されにくい部分の絶縁が補強されて完全なものとなっている。
なお、図8では、熱交換部26の露出部位43を示しているが、放熱部36側における露出部位43についても同様の構成となっている。
接着剤層29、39は、上記第1実施形態と同様の接着剤層形成工程において、接着剤層27、37が形成される際に、併せて形成される。具体的には、接着剤層29、39は、固定板23、33の表面にエポキシ樹脂系のシール剤を塗布して、これを硬化させることにより形成される。
本実施形態の熱電変換装置におけるその他の構成、およびその製造方法における上記以外の工程については、上記第1実施形態と同様である。
以上のように、本実施形態では、電極部材22、32をその先端側において保持する固定板23、33においても、その電極部材22、32側の表面全体に接着剤層29、39を設けることにより、電着塗装により絶縁層40が形成されにくい電極部材22、32先端部の固定板23、33との露出部位43付近における絶縁を補強して、電極部材22、32の先端側における絶縁を完全なものとすることができる。これにより、熱電変換装置内部での短絡およびイオンマイグレーションの発生をより確実に防ぐことができる。
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態における熱電変換装置の主要部となる熱電変換モジュール200bの構成を図9に示す。ここに示すように、本熱電変換装置では、上記第1実施形態と同様の構成の熱電変換装置に対して、その固定板23の吸熱電極部材22と反対側の表面上にサーミスタ70(本発明の温度センサに対応)を追加配設している。
サーミスタ70は、固定板23上において吸熱電極部材22の先端部と接触するように設けられており、さらに、このサーミスタ70を外部の制御装置(図示せず)と接続するためのリード71(本発明の配線に対応)が固定板23上に配設されている。このリード71は導電性金属の線材により構成されており、リード71の表面全体には、後述のように電着塗装により、絶縁膜48(本発明の配線絶縁層に対応)が形成されている。
サーミスタ70は、上記第1実施形態と同様のモジュール構成工程において、接着剤などによって固定板23上に固定され、また、リード71は固定板23上にはんだ付けされる。
そして、上記第1実施形態と同様の絶縁層形成工程において、熱電変換モジュール200bに絶縁膜40を形成する際に、熱電変換モジュール200bの接続端子(図示せず)の一方に陰極として電圧を印加するだけでなく、サーミスタ70のリード71にも陰極として電圧を印加して、電着塗装を実施することにより、熱電変換モジュール200bの導電部位に絶縁膜40を形成すると同時に、サーミスタ70のリード71にも上記絶縁膜48を同時に形成することができる。
なお、本実施形態の熱電変換装置におけるその他の構成、およびその製造方法における上記以外の工程については、上記第1実施形態と同様である。
また、本実施形態においては、サーミスタ70を吸熱電極部材22に接触させて配設したが、これに限らず、本熱電変換装置の用途に応じて、サーミスタ70を吸熱電極部材22の近傍に配設してもよいし、あるいは放熱電極部材32側に配設してもよい。
このように、熱電変換モジュール200bがサーミスタ70およびリード71を備えている場合には、熱電変換モジュール200b内の導電部位の表面全体に電着塗装により絶縁膜40を形成する際に、熱電変換モジュール200bに配設されているサーミスタ70のリード71にも同時に絶縁膜48を形成することが可能である。このようにしてサーミスタ70のリード71に絶縁膜48を形成することで、リード71が被水した場合でも、短絡およびイオンマイグレーションの発生を防止することができる。
(第4実施形態)
本発明の第4実施形態を図10および図11に示す。第4実施形態は、上記第1実施形態に対して、絶縁膜を変更したものである。
本実施形態の絶縁膜41は、熱電素子基板10、吸熱電極基板20、放熱電極基板30を熱電変換モジュール200cの形に組付けた状態で、この熱電変換モジュール200cの表面全体に蒸着により樹脂の皮膜をコーティングすることで形成されるようにしている。即ち、熱電変換モジュール200cを蒸着槽に入れ真空にした後に、例えばポリイミド樹脂等の蒸気を充填することで、ポリイミドの薄膜をコーティングして、絶縁膜41としている。
上記蒸着による絶縁膜41は、第1実施形態での電着塗装による絶縁膜40と同様に、熱電変換装置100の外周部をの隙間17を接着剤で封止する工程の前で蒸着を実施するか、封止した後の工程で蒸着を実施するかによって、熱電変換モジュール200cの内部側(熱電素子12、13の側面、はんだ接合部45の側面)に絶縁膜41が形成されるか、形成されないかが決まる。しかしながら、第1実施形態での電着塗装による絶縁膜40と異なり、絶縁基板21、31の空気側となる表面全体に絶縁膜41が形成され、直交するように熱交換部26、36の表面に連続して絶縁層41が形成される。
そして、第1実施形態と同様に絶縁膜41の外側に接着剤層27、37が形成されている。接着剤層27、37は、熱交換部26、36の露出部位42近傍を覆うようにして絶縁基板21、31の空気側となる表面全体、および熱交換部26、36の内側に形成されている。露出部位42は、第1実施形態と同様に、絶縁膜41、接着剤層27、37が形成される前段階で見た場合に、熱交換部26、36と、絶縁基板21、31とが接触して、且つ、熱交換部26、36が空気側に露出される部位を意味している。
上記のように絶縁基板21、31と熱交換部26、36との両者に連続して形成される絶縁膜41においては、熱電変換装置が使用される環境下での振動による応力や、温度変化に伴う冷熱繰り返しによる応力が露出部位42の近傍に発生し易く、クラックが発生するおそれがある。クラックが発生すると、熱交換部(吸熱部)26で生成された水滴が熱交換部26、更には熱電素子12、13に至り、短絡やイオンマイグレーションの発生原因となる。
しかしながら、本実施形態では、その露出部位42近傍を外側から覆うように接着剤層27、37を設けるようにしているので、絶縁膜41に対する補強を果たし、クラックの発生を防止して、短絡、イオンマイグレーションの発生を防止することができる。特に、接着剤層27,37を可撓性を有する接着剤で形成した場合に、クラックの発生防止効果が著しい。
(第5実施形態)
本発明の第5実施形態を図12および図13に示す。第5実施形態は、上記第1実施形態に対して、絶縁基板21、31と電極部材22、32との組付け方法を変更したものである。
吸熱電極基板20、および放熱電極基板30において、絶縁基板21、31と、電極部材22、32とは、インサート成形により一体的に形成されるようにしている。よって、絶縁基板21、31は、U字状に形成される電極部材22、32の内側にも入り込んで、電極部材22、32保持用の嵌合孔を有さない一枚の板のように形成されている。
絶縁膜40は、電着塗装によって、絶縁基板21、31の空気側で、電極部材22、32(熱交換部26、36)の表面全体に形成されている。上記のように、絶縁基板21、31と、電極部材22、32とがインサート成形によって一体的に形成されていることから、熱交換部26、36における露出部位42は、U字状の電極部材22、32の外側と内側とに形成される。
そして、絶縁基板21、31の空気側の表面全体に接着剤層27、37が形成されて、両露出部位42は、接着剤層27、37によって外側から覆われるようになっているため、接着剤層27、37により、熱交換部26、36において電着塗装により絶縁膜40が形成されにくい絶縁基板21、31付近の露出部位42の絶縁が補強されて完全なものとなっている。
なお、本実施形態では、絶縁基板21、31と、電極部材22、32とがインサート成形によって一体的に形成されており、絶縁基板(21、31)を形成する樹脂材料が電極部材22、32の表面にアンカー効果によって接着して、絶縁基板21、31と電極部材22、32との間のシールを行うので、接着剤によって両者(21、31、22、32)の間をシールする必要はない。
(その他の実施形態)
上記各実施形態においては、電極部材22、32の電極部25、35により直接、P型熱電素子12とN型熱電素子13との間を接続する構成であったが、これに代えて、図14に示すように、電極部材22、32とは別体の電極部材16(本発明の電極部に対応)を設けて、これにより隣接するP型熱電素子12とN型熱電素子13との間を接続する構成であってもよい。
この場合、この電極部材16に、電極部材22、32の電極部25、35が接合される。具体的には、上記第1実施形態と同様のモジュール構成工程において、まず熱電素子基板10の組み付けの際に、第1絶縁基板11に熱電素子12、13を組み付けた後に、熱電素子12、13の上端面および下端面に電極部材16をはんだ付けにより接合させて、熱電素子基板10を完成させる。そして、熱電素子基板10に吸熱電極基板20および放熱電極基板30を接合させて熱電変換モジュール200eを構成する際に、電極部材22、32の電極部25、35を電極部材16に接合させる。なお、電極部材16は、平板状の銅材などの導電性金属によって形成される。
このように構成された熱電変換モジュール200eに対して、上記第1実施形態の絶縁層形成工程と同様にして電着塗装を実施すると、熱交換部26、36の表面や熱電素子12、13の側面に絶縁膜40が形成されると共に、熱電素子12、13と電極部材16との間のはんだ接合部側面、電極部材16の側面、電極部材22、32の電極部25、35と電極部材16との間のはんだ接合部側面にも絶縁膜40が形成される。
このように電極部材22、32とは別体の電極部材16を設ける構成によると、熱電素子基板10を完成した段階において、熱電素子12、13が電極部材16によって接続されることにより直列回路50が形成されているため、熱電素子12、13と電極部材16との間における導通不良など、直列回路50の電気的な検査が、熱電変換モジュール200eを構成する前の熱電素子基板10のみ状態で容易に行なうことができる。
上記第1実施形態においては、電極部材22、32は、絶縁基板21、31と、固定板23、33とにより、根元部分と先端部分の両方において保持されていたが、これに限らず、固定板23、33を取り除いて、電極部材22、32は、その根元部分においてのみ絶縁基板21、31により保持されている構成としてもよい。あるいは、上記第2実施形態における絶縁基板21、31を取り除いて、電極部材22、32は、その先端部分においてのみ固定板23、33に保持されている構成とすることもできる。
上記各実施形態においては、複数の熱電素子12、13を保持板である第1絶縁基板11に保持して熱電素子基板10を形成していたが、これに代えて、熱電素子12、13を保持板に保持することなく、電極部材22、32のいずれか一方の電極部25、35に接合させるなどして、第1絶縁基板11を用いない構成としてもよい。
上記各実施形態においては、ほぼU字状の電極部材22、32において熱交換部26、36をルーバ状に形成したが、これに限らず、熱交換部26、36をオフセット状に形成してもよい。あるいは、熱交換部26、36として、櫛歯状に形成した電極部材22、32の内部に、波形に折り曲げた金属板によってコルゲートフィンを形成することもできる。
上記各実施形態では、図示しない直流電源の正側端子を接続端子24a側に、負側端子を接続端子24b側に接続する構成であったが、これに限らず、直流電源の正側端子を接続端子24b側に、負側端子を接続端子24a側に接続してもよい。ただし、このときには、上方側の電極部材22が放熱部を形成し、下方側の電極部材32が吸熱部を形成するようになる。
つまり、熱電素子12、13によって構成される直列回路50に流す電流の流れ方向を切り替えることで、吸熱側と放熱側を切り替えることができる。因みに、この種の熱電変換装置は、例えば、半導体や電気部品などの発熱部品の冷却用や空調装置などの冷却加熱用として用いられる。
また、絶縁膜として、電着塗装によって形成される絶縁膜40(電着塗装層)としたり、蒸着によって形成される絶縁膜41(蒸着層)として説明したが、その他に絶縁性塗料の中に熱電変換モジュールを浸漬し、その後に加熱乾燥することで、絶縁基板21、31、熱交換部26、36の表面に形成される絶縁膜(塗料塗布層)としても良い。
また、接着剤層27、37を形成する接着剤としては、エポキシ系のものに限らず、シリコン系のものを使用しても良い。
また、接着剤を絶縁基板21、31の表面全体を覆うようにして、接着剤層27、37を形成したが、それぞれの熱交換部26、36の露出部位42近傍にピンポイントで形成するようにしてもよい。
第1実施形態における熱電変換装置の全体構成を示す模式図である。 図1において矢印IIで示す方向から見た矢視図である。 第1実施形態における熱電変換装置の主要部の構成を示す分解構成図である。 図1中のIV−IV部における断面図である。 図4中のV部の詳細を示す拡大図である。 第1実施形態における電着塗装の実施方法を示す説明図である。 第2実施形態における熱電変換装置の主要部の構成を示す模式図である。 図7中のVIII部の詳細を示す拡大図である。 第3実施形態における熱電変換装置の主要部の構成を示す模式図である。 第4実施形態における熱電変換装置の主要部の構成を示す模式図である。 図10中のXI部の詳細を示す拡大図である。 第5実施形態における熱電変換装置の主要部の構成を示す模式図である。 図12中のXIII部の詳細を示す拡大図である。 その他の実施形態における熱電変換装置の主要部の構成を示す模式図である。
符号の説明
12 P型熱電素子(導電部位)
13 N型熱電素子(導電部位)
16 電極部材(電極部)
21 第2絶縁基板(絶縁板、第1板)
23 固定板(絶縁板、第2板)
25 吸熱電極部(電極部)
26 吸熱部(熱交換素子、導電部位)
27 第1接着剤層(接着剤層)
31 第3絶縁基板(絶縁板、第1板)
33 固定板(絶縁板、第2板)
35 放熱電極部(電極部)
36 放熱部(熱交換素子、導電部位)
37 第2接着剤層(接着剤層)
40 絶縁膜(絶縁層)
42 露出部位(熱媒体側に露出される部位)
48 配線絶縁膜
50 直列回路
70 サーミスタ(温度センサ)
71 リード(配線)
100 熱電変換装置
200、200a〜200e 熱電変換モジュール

Claims (24)

  1. 複数のP型熱電素子(12)と複数のN型熱電素子(13)とが複数の電極部(25、35)によって交互に直列に接続されて構成される直列回路(50)と、
    前記複数の電極部(25、35)に直接接続されている複数の熱交換素子(26、36)と、
    前記複数の熱交換素子(26、36)を突出させるように保持すると共に、前記複数の熱交換素子(26、36)間を電気的に絶縁させる絶縁板(21、31)とを備え、
    前記絶縁板(21、31)に対して、前記熱交換素子(26、36)の突出側を流通する熱媒体と前記熱交換素子(26、36)との間で熱交換を行う熱電変換装置において、
    前記熱交換素子(26、36)の少なくとも前記突出側の表面全体には、絶縁用の絶縁層(40)が形成されると共に、
    前記熱交換素子(26、36)と前記絶縁板(21、31)とが接触し、且つ、前記熱交換素子(26、36)の前記熱媒体側に露出される部位(42)に対して、前記絶縁層(40)の外側から覆われる接着剤層(27、37)が設けられたことを特徴とする熱電変換装置。
  2. 前記絶縁層(40)は、電着塗装によって形成される電着塗装層であることを特徴とする請求項1に記載の熱電変換装置。
  3. 前記絶縁層(40)は、蒸着によって形成される蒸着層であることを特徴とする請求項1に記載の熱電変換装置。
  4. 前記絶縁層(40)は、絶縁性塗料の塗布によって形成される塗料塗布層であることを特徴とする請求項1に記載の熱電変換装置。
  5. 前記接着剤層(27、37)は、エポキシ系接着剤、またはシリコン系接着剤で形成されたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1つに記載の熱電変換装置。
  6. 前記接着剤層(27、37)は、前記熱交換素子(26、36)と前記絶縁板(21、31)との隙間をシールするように設けられたことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1つに記載の熱電変換装置。
  7. 前記接着剤層(27、37)は、前記複数の熱交換素子(26、36)の突出側において前記絶縁板(21、31)の表面全体を覆っていることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1つに記載の熱電変換装置。
  8. 前記絶縁板として、前記複数の熱交換素子(26、36)を前記複数の電極部(25、35)への接続側において保持する第1板(21、31)を備えることを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか1つに記載の熱電変換装置。
  9. 前記絶縁板として、前記複数の熱交換素子(26、36)を前記複数の電極部(25、35)への接続側の反対側において保持する第2板(23、33)を備えることを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか1つに記載の熱電変換装置。
  10. 前記熱交換素子(26、36)に接触させて、あるいは近傍に配設された温度センサ(70)と、
    前記温度センサ(70)に接続された配線(71)とを備え、
    前記配線(71)の表面全体に、絶縁用の配線絶縁層(48)が形成されたことを特徴とする請求項1〜請求項9のいずれか1つに記載の熱電変換装置。
  11. 前記配線絶縁層(48)は、電着塗装によって形成される電着塗装層であることを特徴とする請求項10に記載の熱電変換装置。
  12. 前記複数の電極部(25、35)は、前記複数の熱交換素子(26、36)とそれぞれ一体に形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項11のいずれか1つに記載の熱電変換装置。
  13. 複数のP型熱電素子(12)と複数のN型熱電素子(13)とが複数の電極部(25、35)によって交互に直列に接続されて構成される直列回路(50)と、
    前記複数の電極部(25、35)に直接接続されている複数の熱交換素子(26、36)と、
    前記複数の熱交換素子(26、36)を突出させるように保持すると共に、前記複数の熱交換素子(26、36)間を電気的に絶縁させる絶縁板(21、31)とを備え、
    前記絶縁板(21、31)に対して、前記熱交換素子(26、36)の突出側を流通する熱媒体と前記熱交換素子(26、36)との間で熱交換を行う熱電変換装置の製造方法において、
    前記絶縁板(21、31)に保持された前記複数の熱交換素子(26、36)に直接接続された前記複数の電極部(25、35)によって、前記複数のP型熱電素子(12)と前記複数のN型熱電素子(13)とが交互に直列に接続されて構成された前記直列回路(50)を有する熱電変換モジュール(200)を構成するモジュール構成工程と、
    前記熱交換素子(26、36)の少なくとも前記突出側の表面全体に、絶縁用の絶縁層(40)を形成する絶縁層形成工程と、
    前記熱交換素子(26、36)と前記絶縁板(21、31)とが接触し、且つ、前記熱交換素子(26、36)の前記熱媒体側に露出される部位(42)に対して、前記絶縁層(40)の外側から覆うように接着剤層(27、37)を設ける接着剤層形成工程とを備えたことを特徴とする熱電変換装置の製造方法。
  14. 前記絶縁層形成工程において、電着塗装によって前記絶縁層(40)を形成することを特徴とする請求項13に記載の熱電変換装置の製造方法。
  15. 前記絶縁層形成工程において、蒸着によって前記絶縁層(40)を形成することを特徴とする請求項13に記載の熱電変換装置の製造方法。
  16. 前記絶縁層形成工程において、絶縁性塗料の塗布によって前記絶縁層(40)を形成することを特徴とする請求項13に記載の熱電変換装置の製造方法。
  17. 前記接着剤層形成工程において、前記接着剤層(27、37)としてエポキシ系接着剤、またはシリコン系接着剤を使用することを特徴とする請求項13〜請求項16のいずれか1つに記載の熱電変換装置の製造方法。
  18. 前記接着剤層形成工程において、前記熱交換素子(26、36)と前記絶縁板(21、31)との隙間をシールするように前記接着剤層(27、37)を設けることを特徴とする請求項13〜請求項18のいずれか1つに記載の熱電変換装置の製造方法。
  19. 前記接着剤層形成工程において、前記複数の熱交換素子(26、36)の突出側において前記絶縁板(21、31)の表面全体を覆うように前記接着剤層(27、37)を設けることを特徴とする請求項13〜請求項18のいずれか1つに記載の熱電変換装置の製造方法。
  20. 前記モジュール構成工程において、前記熱電変換モジュールとして、前記複数の熱交換素子(26、36)を前記複数の電極部(25、35)への接続側において保持する第1板(21、31)を前記絶縁板として備えたモジュール(200)を構成することを特徴とする請求項13〜請求項19のいずれか1つに記載の熱電変換装置の製造方法。
  21. 前記モジュール構成工程において、前記熱電変換モジュールとして、前記複数の熱交換素子(26、36)を前記複数の電極部(25、35)への接続側の反対側において保持する第2板(23、33)を前記絶縁板として備えたモジュール(200a)を構成することを特徴とする請求項13〜請求項20のいずれか1つに記載の熱電変換装置の製造方法。
  22. 前記モジュール構成工程において、前記熱電変換モジュールとして、前記熱交換素子(26、36)に接触させて、あるいは近傍に配設された温度センサ(70)と、前記温度センサ(70)に接続された配線(71)とを備えたモジュール(200b)を構成し、
    前記絶縁層形成工程において、前記絶縁層(40)の形成と併せて、前記配線(71)の表面全体に絶縁用の配線絶縁層(48)を形成することを特徴とする請求項13〜請求項21のいずれか1つに記載の熱電変換装置の製造方法。
  23. 前記絶縁層形成工程において、電着塗装によって前記配線絶縁層(48)を形成することを特徴とする請求項22に記載の熱電変換装置の製造方法。
  24. 前記複数の電極部(25、35)は、前記複数の熱交換素子(26、36)とそれぞれ一体に形成されていることを特徴とする請求項13〜請求項23のいずれか1つに記載の熱電変換装置の製造方法。
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