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JP2008016623A - Continuous furnace - Google Patents

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JP2008016623A
JP2008016623A JP2006185933A JP2006185933A JP2008016623A JP 2008016623 A JP2008016623 A JP 2008016623A JP 2006185933 A JP2006185933 A JP 2006185933A JP 2006185933 A JP2006185933 A JP 2006185933A JP 2008016623 A JP2008016623 A JP 2008016623A
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JP
Japan
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path
glass plate
unit
furnace
defective
Prior art date
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Pending
Application number
JP2006185933A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasushi Nagashima
靖 長嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JTEKT Thermo Systems Corp
Original Assignee
Koyo Thermo Systems Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Koyo Thermo Systems Co Ltd filed Critical Koyo Thermo Systems Co Ltd
Priority to JP2006185933A priority Critical patent/JP2008016623A/en
Publication of JP2008016623A publication Critical patent/JP2008016623A/en
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a continuous furnace capable of isolating a defective member to be heated from a nondefective member to be heated, without deteriorating its state. <P>SOLUTION: A continuous furnace 50 comprises a photographic unit 12, a control unit 30 and a route switching unit 14. The photographic unit 12 is arranged so that the image is made in a glass plate thermally treated by a thermal treatment unit 10. The control unit 30 determines the quality of the glass plate of a test object, by comparing a previously stored reference image of a normal glass plate with the image of the glass plate of the test object, which is photographed by the photographic unit. The route switching unit 14 transports a defective glass plate 20 to a first route extended, so that a transport pass in the furnace is extended and transports a nondefective glass plate 20 to another second route which is different from the first route, based on the result of the determination by the control unit 30. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ガラスプレート等の被加熱部材に対して熱処理を行なう連続炉に関する。   The present invention relates to a continuous furnace that performs heat treatment on a member to be heated such as a glass plate.

ガラスプレートのように熱処理時に破損し易い被加熱部材は、連続炉内を搬送される最中に割れを生じるおそれがある。被加熱部材に割れが生じた場合には、そのような被加熱部材は不良品であるため後続の工程へと搬送する必要はない。また、割れが生じた被加熱部材は、他の正常な被加熱部材の搬送に支障を来すおそれがあるため、搬送経路から取り除かれるべきである。   A member to be heated that is easily damaged during heat treatment, such as a glass plate, may be cracked while being conveyed in a continuous furnace. When a crack occurs in the member to be heated, such a member to be heated is a defective product, so it is not necessary to transport it to the subsequent process. In addition, the heated member that has cracked should be removed from the conveyance path because it may interfere with the conveyance of other normal heated members.

そこで、従来技術の中には、複数の透過型光学センサを用いて、被加熱部材(ガラスプレート)の割れを検出するガラス基板移載装置が開示されている(例えば、特許文献1参照。)。
特開2003−218187号公報
Therefore, in the prior art, there is disclosed a glass substrate transfer device that detects cracks in a heated member (glass plate) using a plurality of transmission optical sensors (see, for example, Patent Document 1). .
JP 2003-218187 A

しかしながら、特許文献1に記載のガラスプレート移載装置では、被加熱部材の割れは検出できるが、被加熱部材の微かなヒビや欠損や加熱ムラを検出することができない。ヒビや欠損や加熱ムラを有する被加熱部材も不良品であり、後続の工程に搬送すべきではない。また、不良品は、その後の搬送の仕方によっては、さらに状態が悪化し、搬送トラブルを引き起こすことがある。例えば、不良品が後続の搬送の際に分断されて破片となり、搬送ローラ間に詰まることによって、搬送路に立ちはだかることも考えられる。このため、被加熱部材の割れだけでなく、被加熱部材のヒビや欠損や加熱ムラについても確実に検出し、その状態を悪化させることなく良品の搬送経路から取り除くことが重要である。   However, in the glass plate transfer apparatus described in Patent Document 1, it is possible to detect cracks in the heated member, but it is not possible to detect minute cracks, defects, or heating unevenness of the heated member. A member to be heated having cracks, defects or uneven heating is also a defective product and should not be transported to subsequent processes. In addition, depending on the manner of subsequent conveyance, the defective product may be further deteriorated and cause a conveyance trouble. For example, it is conceivable that a defective product is divided during the subsequent conveyance to become a fragment and gets stuck in the conveyance path by clogging between the conveyance rollers. For this reason, it is important to detect not only cracks of the heated member but also cracks, defects and heating unevenness of the heated member, and remove them from the non-defective conveyance path without deteriorating the state.

この発明の目的は、不良品の被加熱部材をその状態を悪化させることなく、良品の被加熱部材から分離することが可能な連続炉を提供することである。   An object of the present invention is to provide a continuous furnace capable of separating a defective heated member from a non-defective heated member without deteriorating its state.

本発明に係る連続炉は、炉内搬送経路上を搬送される被加熱部材に対して熱処理を行なう熱処理部を備える。被加熱部材の代表例として、プラズマディスプレイや液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイに用いられるガラスプレートが挙げられるが、これに限定されるものではない。   The continuous furnace which concerns on this invention is equipped with the heat processing part which heat-processes with respect to the to-be-heated member conveyed on the conveyance path | route in a furnace. A typical example of the member to be heated includes a glass plate used in a flat panel display such as a plasma display or a liquid crystal display, but is not limited thereto.

連続炉は、撮像部、判定部、および経路切換部を備える。撮像部は、熱処理部によって熱処理がされた被加熱部材を撮像するように配置される。撮像部の配置位置の例として、熱処理部の出口付近や、次工程、例えば冷却工程等に被加熱部材を案内するリフターの上方が挙げられる。   The continuous furnace includes an imaging unit, a determination unit, and a path switching unit. The imaging unit is arranged to capture an image of the heated member that has been heat-treated by the heat-treating unit. Examples of the arrangement position of the imaging unit include the vicinity of the outlet of the heat treatment unit and the upper part of the lifter that guides the heated member to the next process, for example, the cooling process.

判定部は、予め記憶された正常な被加熱部材の像を表した参照画像データと、撮像部が撮像した被加熱部材の像を表した検査画像データとを比較することによって、検査対象の被加熱部材の良否を判定する。画像データの取得に際して、被加熱部材の上面を撮像することが好ましい。被加熱部材の良否判定を画像データの解析によって行なうことにより、被加熱部材に生じ得る様々な不良が検出される。不良の例として、割れ、ヒビ、加熱ムラによる変色、欠損などが挙げられる。   The determination unit compares the reference image data representing the normal image of the heated member stored in advance with the inspection image data representing the image of the heated member captured by the imaging unit, thereby obtaining the object to be inspected. The quality of the heating member is determined. When acquiring image data, it is preferable to image the upper surface of the heated member. By performing the quality determination of the heated member by analyzing the image data, various defects that can occur in the heated member are detected. Examples of defects include cracks, cracks, discoloration due to heating unevenness, and defects.

経路切換部は、判定部に不良品と判定された被加熱部材を、炉内搬送経路を延長するように配設された第1の経路に搬送する。第1の経路を炉内搬送経路の延長線上に配置するのは、不良品をそれまでと同じ搬送方法によって第1の経路に導くためである。また、経路切換部は、判定部に良品と判定された被加熱部材を、第1の経路とは別に配設された第2の経路に搬送する。第2の経路は、後続の工程へと被加熱部材を導くための経路である。   The path switching unit transports the heated member determined to be defective by the determination unit to a first path arranged to extend the in-furnace transport path. The reason why the first path is arranged on the extension line of the in-furnace transport path is to guide defective products to the first path by the same transport method as before. Further, the path switching unit conveys the heated member determined to be non-defective by the determination unit to a second path arranged separately from the first path. The second path is a path for guiding the member to be heated to the subsequent process.

本発明の連続炉において、熱処理部を通過したすべての被加熱部材が判定部によって良否が判定され、不良品が発見されると、その不良品は第1の経路へと搬送される。第1の経路は、炉内搬送経路の延長線上に配設されているため、炉内搬送経路から第1の経路に不良品がそのままの搬送状態で送り出される。この結果、炉内搬送経路から第1の経路に不良品を搬送する際に、不良品に対して外力が作用しにくく、その不良品の状態が悪化することが防止される。   In the continuous furnace of the present invention, when all the heated members that have passed through the heat treatment section are judged as good or bad by the judgment section and a defective product is found, the defective product is transported to the first path. Since the first path is arranged on the extension line of the in-furnace transport path, the defective product is sent out from the in-furnace transport path to the first path in the transport state as it is. As a result, when a defective product is transported from the in-furnace transport route to the first route, it is difficult for an external force to act on the defective product, and the state of the defective product is prevented from deteriorating.

本発明によれば、不良品の被加熱部材をその状態を悪化させることなく、良品の被加熱部材から分離できる。   According to the present invention, a defective heated member can be separated from a non-defective heated member without deteriorating its state.

以下、本発明の焼成炉の第1の実施形態であるローラハース式連続焼成炉(以下、焼成炉という。)50を説明する。焼成炉50は、フラットパネルディスプレイ(FPD)に用いられるガラスプレート20の熱処理に用いられる。以下の実施形態では、焼成炉50は、ペースト等が塗布されたガラスプレート20に対して焼成処理を行なう。   Hereinafter, a roller hearth type continuous firing furnace (hereinafter referred to as a firing furnace) 50 which is a first embodiment of the firing furnace of the present invention will be described. The firing furnace 50 is used for heat treatment of the glass plate 20 used in a flat panel display (FPD). In the following embodiments, the firing furnace 50 performs a firing process on the glass plate 20 to which a paste or the like is applied.

図1に示すように焼成炉50は、複数の搬送ローラ16、熱処理部10、撮像部12、および経路切換部14を備える。搬送ローラ16は、所定のピッチで水平方向に配列されており、ガラスプレート20を搬送する炉内搬送経路を構成する。熱処理部10は、ガラスプレート20に対して焼成処理を行なう。撮像部12は、熱処理部10を通過したガラスプレート20の上面の画像を取得する。本実施形態では、撮像部12は、CCDカメラおよびAD変換部を備える。AD変換部は、CCDカメラが取得した画像をディジタルデータに変換して、検査画像データとして制御部30に供給する。ただし、撮像部12の構成はこれに限定されるものではなく、CCDカメラに代えてCMOSカメラを採用することも可能である。   As shown in FIG. 1, the firing furnace 50 includes a plurality of transport rollers 16, a heat treatment unit 10, an imaging unit 12, and a path switching unit 14. The conveyance rollers 16 are arranged in a horizontal direction at a predetermined pitch and constitute an in-furnace conveyance path for conveying the glass plate 20. The heat treatment unit 10 performs a baking process on the glass plate 20. The imaging unit 12 acquires an image of the upper surface of the glass plate 20 that has passed through the heat treatment unit 10. In the present embodiment, the imaging unit 12 includes a CCD camera and an AD conversion unit. The AD conversion unit converts the image acquired by the CCD camera into digital data, and supplies the digital data to the control unit 30 as inspection image data. However, the configuration of the imaging unit 12 is not limited to this, and a CMOS camera may be employed instead of the CCD camera.

図2に示すように、経路切換部14は、ガラスプレート20を第1の経路142または第2の経路143のいずれかに搬送する。具体的には、経路切換部14は、不良品のガラスプレート20を、炉内搬送経路の延長線上に設けられた第1の経路に搬送する。これに対して、経路切換部14は、熱処理されたガラスプレート20のうちの良品だけを、搬送方向に直交する方向に配設された第2の経路143に案内する。第2の経路143は、後続の工程へと続く経路である。   As illustrated in FIG. 2, the path switching unit 14 conveys the glass plate 20 to either the first path 142 or the second path 143. Specifically, the path switching unit 14 transports the defective glass plate 20 to a first path provided on an extension line of the in-furnace transport path. On the other hand, the path switching unit 14 guides only the non-defective products among the heat-treated glass plates 20 to the second path 143 disposed in the direction orthogonal to the transport direction. The second path 143 is a path that continues to the subsequent process.

図3は、連続焼成炉の概略構成を示すブロック図である。図3に示すように、焼成炉50は、制御部30を備える。制御部30は、熱処理部10、撮像部12、および経路切換部14にそれぞれ接続されており、これらの各部の動作を制御する。また、制御部30は、搬送部22に接続される。搬送部22は、制御部30からの指示に基づいて搬送ローラ16を駆動する。さらに、制御部30は、画像記憶部301を備える。画像記憶部301は、後述のガラスプレート20の良否判定の際に用いられる参照画像データを記憶する。また、画像記憶部301を、検査画像データを一時的に記憶するために用いても良い。   FIG. 3 is a block diagram showing a schematic configuration of the continuous firing furnace. As shown in FIG. 3, the firing furnace 50 includes a control unit 30. The control unit 30 is connected to each of the heat treatment unit 10, the imaging unit 12, and the path switching unit 14, and controls operations of these units. The control unit 30 is connected to the transport unit 22. The transport unit 22 drives the transport roller 16 based on an instruction from the control unit 30. Further, the control unit 30 includes an image storage unit 301. The image storage unit 301 stores reference image data used when determining the quality of the glass plate 20 described later. Further, the image storage unit 301 may be used for temporarily storing inspection image data.

続いて、図4(A)および図4(B)を用いて、経路切換部14の概略構成を説明する。経路切換部14は、搬送コロ26および搬送コロ28を軸支するシャフト28を複数備える。各シャフト28は、シャフト昇降機構24に昇降自在に支持されている。シャフト昇降機構24は、制御部30からの信号に基づいて、各シャフト28の昇降制御および各搬送コロ28の回転駆動制御を実行する。具体的には、シャフト昇降機構24は、良品のガラスプレート20が搬送されてきたときのみ各シャフト28を上昇させる。この結果、図4(B)に示すように、搬送コロ26によって良品のガラスプレート20がわずかに持ち上げられる。この状態で搬送コロ26を回転駆動することにより、良品のガラスプレート20が搬送ローラ16で構成される炉内搬送経路から、後続の工程にガラスプレート20を搬送する搬送ローラ161へと移動する。なお、シャフト昇降機構24は、ガラスプレート20が搬送ローラ161に到達した時点で各搬送コロ26を停止させ、各シャフト28を下降させる。この結果、良品のガラスプレート20が搬送ローラ161上に適正に置かれ、搬送ローラ161によってガラスプレート20を後続の工程に導くことが可能になる。   Next, a schematic configuration of the route switching unit 14 will be described with reference to FIGS. 4 (A) and 4 (B). The path switching unit 14 includes a plurality of shafts 28 that support the conveyance rollers 26 and the conveyance rollers 28. Each shaft 28 is supported by the shaft elevating mechanism 24 so as to be movable up and down. The shaft elevating mechanism 24 performs elevating control of each shaft 28 and rotational drive control of each conveying roller 28 based on a signal from the control unit 30. Specifically, the shaft elevating mechanism 24 raises each shaft 28 only when the non-defective glass plate 20 has been conveyed. As a result, as shown in FIG. 4B, the non-defective glass plate 20 is slightly lifted by the transport roller 26. By rotating the transport roller 26 in this state, the non-defective glass plate 20 is moved from the in-furnace transport path constituted by the transport rollers 16 to the transport roller 161 for transporting the glass plate 20 to the subsequent process. The shaft elevating mechanism 24 stops each conveying roller 26 and lowers each shaft 28 when the glass plate 20 reaches the conveying roller 161. As a result, the non-defective glass plate 20 is properly placed on the conveyance roller 161, and the conveyance roller 161 can guide the glass plate 20 to the subsequent process.

一方、第1の経路142に搬送された不良品のガラスプレート20は、そのまま装置外部に引き出すか、回収容器に回収するか、または第1の経路の端部から下方に落下させると良い。   On the other hand, the defective glass plate 20 conveyed to the first path 142 may be pulled out of the apparatus as it is, recovered in a recovery container, or dropped downward from the end of the first path.

図5を用いて、第1の経路142に搬送された不良品の搬送を説明する。第1の経路142には、複数の搬送ローラが取り付けられた揺動フレーム149が設けられる。揺動フレーム149は、炉体に軸支されたシャフト146を有しており、シャフト146の回転に伴って揺動するように構成されている。また、経路切換部14は、シャフト146に接続された、正逆両方向に回転可能なモータ148を備える。モータ148は、制御部30から供給されるパルス信号に基づいて、正方向または逆方向に回転するように構成される。モータ148が回転することにより、揺動フレーム149が、図5において実線で示される第1の位置および破線で示される第2の位置の間で移動する。揺動フレーム149を第1の位置に配置しておけば、不良品のガラスプレート20を装置外部に引き出すことができる。一方、揺動フレーム149を第2の位置に配置しておけば、不良品のガラスプレート20をプレート回収容器18内に回収することができる。   The conveyance of the defective product conveyed to the first path 142 will be described with reference to FIG. The first path 142 is provided with a swing frame 149 to which a plurality of transport rollers are attached. The swing frame 149 includes a shaft 146 that is pivotally supported by the furnace body, and is configured to swing as the shaft 146 rotates. The path switching unit 14 includes a motor 148 connected to the shaft 146 and capable of rotating in both forward and reverse directions. The motor 148 is configured to rotate in the forward direction or the reverse direction based on the pulse signal supplied from the control unit 30. As the motor 148 rotates, the swing frame 149 moves between a first position indicated by a solid line and a second position indicated by a broken line in FIG. If the swing frame 149 is arranged at the first position, the defective glass plate 20 can be pulled out of the apparatus. On the other hand, if the swing frame 149 is arranged at the second position, the defective glass plate 20 can be collected in the plate collection container 18.

このように、第1の実施形態に係る連続炉50によれば、不良品のガラスプレート20を、その状態を悪化させることなく良品から分離して回収することが可能になる。また、不良品のガラスプレート20の回収にあたって大がかりな装置が必要でないため、連続炉50の構成を複雑化することもない。   Thus, according to the continuous furnace 50 which concerns on 1st Embodiment, it becomes possible to isolate | separate and collect the defective glass plate 20 from a good product, without deteriorating the state. In addition, since a large-scale apparatus is not required for collecting defective glass plates 20, the configuration of the continuous furnace 50 is not complicated.

図6は、ガラスプレート20の焼成処理時における制御部30の動作手順の一例を示すフローチャートである。ガラスプレート20に対して焼成処理を行なう際には、制御部30は、所定の温度プロファイルに設定され、熱処理部10を構成する炉体の内部を通過させる(S1)。続いて、制御部30は、熱処理部10を通過したガラスプレート20の上面を撮像部12に読み取らせ、検査画像データを取得する(S2)。続いて、制御部30は、画像記憶部301から参照画像データを読み出す(S3)。ここで、参照画像データとは、良好に熱処理された正常なガラスプレート20の上面の像を表した画像データをいう。この実施形態では、参照画像データは、正常なガラスプレート20の上面を予め撮像部12によって読み取り、その画像データを画像記憶部301に記憶することによって取得される。   FIG. 6 is a flowchart illustrating an example of an operation procedure of the control unit 30 during the baking process of the glass plate 20. When performing a baking process with respect to the glass plate 20, the control part 30 is set to the predetermined | prescribed temperature profile, and lets the inside of the furnace body which comprises the heat processing part 10 pass (S1). Subsequently, the control unit 30 causes the imaging unit 12 to read the upper surface of the glass plate 20 that has passed through the heat treatment unit 10, and acquires inspection image data (S2). Subsequently, the control unit 30 reads reference image data from the image storage unit 301 (S3). Here, the reference image data refers to image data representing an image of the upper surface of a normal glass plate 20 that has been well heat-treated. In this embodiment, the reference image data is acquired by reading the upper surface of a normal glass plate 20 in advance by the imaging unit 12 and storing the image data in the image storage unit 301.

続いて、制御部30は、検査対象のガラスプレート20に係る検査画像データに基づいて、そのガラスプレート20が良品であるか否かを判定する(S4)。具体的には、制御部30は、参照画像データおよび検査画像データが表すガラスプレート20の上面の像の形状、色彩、模様等の特徴が一致するか否かを判定する。参照画像データおよび検査画像データが表す特徴が一致するか否かを精度良く判定するためには、参照画像データについてノイズ除去処理を行なっておくとともに、検査画像データについてもノイズ除去処理を行なうことが好ましい。   Subsequently, the control unit 30 determines whether or not the glass plate 20 is a non-defective product based on the inspection image data related to the glass plate 20 to be inspected (S4). Specifically, the control unit 30 determines whether the features such as the shape, color, and pattern of the image on the upper surface of the glass plate 20 represented by the reference image data and the inspection image data match. In order to accurately determine whether or not the features represented by the reference image data and the inspection image data match, it is possible to perform noise removal processing on the reference image data and also perform noise removal processing on the inspection image data. preferable.

図7(A)は、参照画像データによって表される正常なガラスプレート20の上面の画像を示す。検査画像データが表すガラスプレート20の上面の画像が図7(A)に示す画像と一致する場合には、制御部30は、検査対象のガラスプレート20が良品であると判断する。   FIG. 7A shows an image of the upper surface of a normal glass plate 20 represented by the reference image data. When the image on the upper surface of the glass plate 20 represented by the inspection image data matches the image shown in FIG. 7A, the control unit 30 determines that the glass plate 20 to be inspected is a non-defective product.

図7(B)〜図7(E)は、不良品のガラスプレート20の画像の例を示す。図7(B)は、ガラスプレート20に割れ203が発生している状態を示す。図7(C)は、ガラスプレート20に細かなヒビ204が入った状態を示す。図7(D)は、ガラスプレート20に加熱ムラ205が発生した状態を示す。図7(E)は、ガラスプレート20の角に欠損206が生じた状態を示す。制御部30は、検査画像データが表す画像に、図7(B)〜図7(E)に示す特徴のいずれかが表れている場合に、不良品であると判断する。   FIG. 7B to FIG. 7E show examples of images of defective glass plates 20. FIG. 7B shows a state in which a crack 203 is generated in the glass plate 20. FIG. 7C shows a state in which fine cracks 204 have entered the glass plate 20. FIG. 7D shows a state where the heating unevenness 205 is generated on the glass plate 20. FIG. 7E shows a state in which a defect 206 is generated at the corner of the glass plate 20. The control unit 30 determines that the product is defective when any of the features shown in FIGS. 7B to 7E appears in the image represented by the inspection image data.

S4の判断工程において、検査対象のガラスプレート20が良品であると判断した場合には、制御部30は、経路切換部14を制御することによって、ガラスプレート20を第2の経路143を介して後続の工程へと搬送する(S5)。   In the determination step of S4, when it is determined that the glass plate 20 to be inspected is a non-defective product, the control unit 30 controls the path switching unit 14 to move the glass plate 20 through the second path 143. It conveys to a subsequent process (S5).

一方、S4の判断工程において、検査対象のガラスプレート20が不良品であると判断した場合には、制御部30は、経路切換部14を制御することによって、ガラスプレート20を第1の経路142へと搬送する(S6)。第1の経路142は炉内搬送経路を延長するように配置されているため、それまでと同じ搬送方法で、不良品のガラスプレート20を第1の経路142に搬送できる。この結果、炉内搬送経路から第1の経路142に不良品のガラスプレート20を搬送する際に、その状態が悪化しにくい。   On the other hand, in the determination step of S4, when it is determined that the glass plate 20 to be inspected is a defective product, the control unit 30 controls the path switching unit 14 to move the glass plate 20 to the first path 142. (S6). Since the first path 142 is arranged to extend the in-furnace transport path, the defective glass plate 20 can be transported to the first path 142 by the same transport method as before. As a result, when the defective glass plate 20 is transported from the in-furnace transport path to the first path 142, the state is unlikely to deteriorate.

続いて、図8を用いて、第2の実施形態における焼成炉502の概略構成を説明する。ここでも、第1の実施形態と同様の構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。焼成炉502は、熱処理部10に代えて熱処理部101を備える。熱処理部101は、焼成処理および徐冷処理を行なう炉体102および冷却処理を行なう炉体103を上下2段に配置して構成される。炉体102の出口近傍には、ガラスプレート20を炉体103に導くリフター32が配置される。   Next, a schematic configuration of the firing furnace 502 in the second embodiment will be described with reference to FIG. Here, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. The firing furnace 502 includes a heat treatment unit 101 instead of the heat treatment unit 10. The heat treatment unit 101 is configured by arranging a furnace body 102 for performing a firing process and a slow cooling process and a furnace body 103 for performing a cooling process in two upper and lower stages. A lifter 32 that guides the glass plate 20 to the furnace body 103 is disposed in the vicinity of the outlet of the furnace body 102.

また、第2の実施形態では、撮像部12に代えて、リフター32の上方に配置された撮像部121が設けられる。この実施形態では、良品のガラスプレート20は、リフター32によって炉体103へと搬送される。一方、不良品のガラスプレート20は、リフター32を通過して、取り出し口34の近傍まで搬送され、さらに、取り出し口34を介して、不良品のガラスプレート20を焼成炉502の外に取り出すことが可能である。なお、この実施形態において、取り出し口34に代えて、ガラスプレート20を下方に強制的に落下させる構成を採用しても良い。   In the second embodiment, an imaging unit 121 disposed above the lifter 32 is provided instead of the imaging unit 12. In this embodiment, the non-defective glass plate 20 is conveyed to the furnace body 103 by the lifter 32. On the other hand, the defective glass plate 20 passes through the lifter 32 and is transported to the vicinity of the take-out port 34, and the defective glass plate 20 is taken out of the firing furnace 502 through the take-out port 34. Is possible. In this embodiment, a configuration in which the glass plate 20 is forcibly dropped downward instead of the takeout port 34 may be employed.

上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The above description of the embodiment is to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above embodiments but by the claims. Furthermore, the scope of the present invention is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims.

連続焼成炉の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of a continuous baking furnace. 第1の実施形態における経路切換部の動作を示す図である。It is a figure which shows operation | movement of the path | route switching part in 1st Embodiment. 連続焼成炉の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of a continuous baking furnace. 第1の実施形態における経路切換部の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the path | route switching part in 1st Embodiment. 第1の経路におけるガラスプレートの搬送を説明する図である。It is a figure explaining conveyance of the glass plate in a 1st path | route. 焼成処理時における制御部の動作手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation | movement procedure of the control part at the time of a baking process. ガラスプレートの上面の画像の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the image of the upper surface of a glass plate. 第2の実施形態における経路切換部の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the path | route switching part in 2nd Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

10−熱処理部
12−撮像部
14−経路切換部
20−ガラスプレート
30−制御部
50−連続炉
10-heat treatment part 12-imaging part 14-path switching part 20-glass plate 30-control part 50-continuous furnace

Claims (3)

炉内搬送経路上を搬送される被加熱部材に対して熱処理を行なう熱処理部を備えた連続炉であって、
前記熱処理部によって熱処理がされた被加熱部材を撮像するように配置された撮像部と、
予め記憶された正常な被加熱部材の像を表した参照画像データと、前記撮像部が撮像した被加熱部材の像を表した検査画像データとを比較することによって、被加熱部材の良否を判定する判定部と、
前記判定部に不良品と判定された被加熱部材を、前記炉内搬送経路を延長するように配設された第1の経路に搬送するとともに、前記判定部に良品と判定された被加熱部材を、前記第1の経路とは別に配設された、後続の工程へと被加熱部材を導くための第2の経路に搬送する経路切換部と、
を備えたことを特徴とする連続炉。
It is a continuous furnace provided with a heat treatment part for performing heat treatment on a heated member conveyed on the in-furnace conveyance path,
An imaging unit arranged to image the heated member heat-treated by the heat treatment unit;
The quality of the heated member is determined by comparing the reference image data representing the normal heated member image stored in advance with the inspection image data representing the heated member image captured by the imaging unit. A determination unit to perform,
The heated member determined to be defective by the determination unit is transported to a first path arranged to extend the in-furnace transfer path, and the heated member determined to be non-defective by the determination unit A path switching unit that is disposed separately from the first path and transports the heated member to a second path for the subsequent process;
A continuous furnace characterized by comprising:
前記第2の経路は、前記炉内搬送経路に直交するように配設されることを特徴とする請求項1に記載の連続炉。   The continuous furnace according to claim 1, wherein the second path is disposed to be orthogonal to the in-furnace transport path. 前記第1の経路に搬送された被加熱部材を回収する回収手段をさらに備えた請求項1または2に記載の連続炉。   The continuous furnace according to claim 1, further comprising a recovery unit that recovers the member to be heated conveyed to the first path.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ITUD20090156A1 (en) * 2009-09-03 2011-03-04 Applied Materials Inc SUBSTRATI PROCESSING DEVICE INCLUDING A DEVICE FOR THE MANIPULATION OF DAMAGED SUBSTRATES
JP2011238731A (en) * 2010-05-10 2011-11-24 Amaya Corp Normal pressure vapor growth device
CN108438903A (en) * 2018-03-22 2018-08-24 昆山国显光电有限公司 A kind of base plate processing system

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10321564A (en) * 1997-05-20 1998-12-04 Tokyo Seimitsu Co Ltd Wafer collection device
JP2002261146A (en) * 2001-03-02 2002-09-13 Hitachi Ltd Semiconductor integrated circuit device manufacturing method and semiconductor manufacturing device
JP2003218187A (en) * 2002-01-23 2003-07-31 Nec Kagoshima Ltd Glass substrate transfer device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10321564A (en) * 1997-05-20 1998-12-04 Tokyo Seimitsu Co Ltd Wafer collection device
JP2002261146A (en) * 2001-03-02 2002-09-13 Hitachi Ltd Semiconductor integrated circuit device manufacturing method and semiconductor manufacturing device
JP2003218187A (en) * 2002-01-23 2003-07-31 Nec Kagoshima Ltd Glass substrate transfer device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ITUD20090156A1 (en) * 2009-09-03 2011-03-04 Applied Materials Inc SUBSTRATI PROCESSING DEVICE INCLUDING A DEVICE FOR THE MANIPULATION OF DAMAGED SUBSTRATES
JP2011238731A (en) * 2010-05-10 2011-11-24 Amaya Corp Normal pressure vapor growth device
CN108438903A (en) * 2018-03-22 2018-08-24 昆山国显光电有限公司 A kind of base plate processing system

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