JP2008014849A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. 被検査物体を移動させ、
   前記被検査物体の照明スポットに光を照射し、
   前記照明スポットからの光を検出して電気信号に変換し、
   前記電気信号をデジタルデータに変換し、
   前記変換されたデジタルデータに対応する時刻に被検査物体上の位置を検査座標データとして検出し、
   前記電気信号または前記デジタルデータから被検査物体上に存在する異物や欠陥の存在を判定し、
   前記デジタルデータから前記判定された異物や欠陥の大きさを算出し、
   前記検査座標データに基づいて前記異物や欠陥の被検査物体上における位置座標を算出することを特徴とする異物・欠陥検出方法。
2. 請求項１に記載の異物・欠陥検出方法において、
   時間間隔で連続的に前記電気信号をサンプリングし、
   複数の前記デジタルデータをデジタルデータテーブルに保存し、
   前記被検査物体上の前記照明スポット内の照明光の、二次元直交座標系における相対照度分布を、二次元マトリックスデータとして記憶・保存する照明スポット照度分布データテーブルに保存し、
   前記デジタルデータテーブルと前記照明スポット照度分布データテーブルを比較した結果を用いて前記判定された異物や欠陥の、位置座標を算出することを特徴とする異物・欠陥検出方法。
3. 請求項２記載の異物・欠陥検出方法において、
   前記デジタルデータテーブルと前記照明スポット照度分布データテーブルを比較した結果を用いて、前記異物や欠陥の大きさを算出することを特徴とする異物・欠陥検出方法。
4. 請求項２記載の異物・欠陥検出方法において、
   前記電気信号をしきい値と比較することによって前記異物や欠陥の存在の判定を行うことを特徴とする異物・欠陥検出方法。
5. 請求項２記載の異物・欠陥検出方法において、
   前記異物・欠陥判定手段は前記Ａ／Ｄ変換手段からのデジタルデータまたは前記デジタルデータテーブルに記憶されたデジタルデータを用いて前記異物や欠陥の存在の判定を行うことを特徴とする異物・欠陥検出方法。
6. 請求項２記載の異物・欠陥検出方法において、
   前記電気信号をしきい値と比較し、
   前記電気信号が前記しきい値を超えた場合に異物または欠陥が検出されたと判定することを特徴とする異物・欠陥検出方法。
7. 請求項２記載の異物・欠陥検出方法において、
   前記Ａ／Ｄ変換したデジタルデータをしきい値と比較し、
   前記デジタルデータが前記しきい値を超えた場合に異物または欠陥が検出されたと判定することを特徴とする異物・欠陥検出方法。
8. 請求項２記載の異物・欠陥検出方法において、
   前記デジタルデータテーブルに記憶・保存されるデータは、
   前記しきい値を超えたと判断された時刻に対応するデジタルデータの少なくとも１サンプリング間隔以上前から少なくとも１サンプリング間隔以上後までのデジタルデータと、
   前記デジタルデータに対応する前記検査座標データとを含むものであることを特徴とする異物・欠陥検出方法。
9. 被検査物体移動ステージと、
   光源と、
   光源からの光を被検査物体上の照明スポットに照射する照明光学系と、
   前記照明スポットからの光を検出して電気信号に変換する光検出系と、
   前記電気信号をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器と、
   前記変換されたデジタルデータに対応する時刻に検査中の被検査物体表面上の位置を検査座標データとして検出する検査座標検出機構と、
   前記電気信号または前記デジタルデータから異物や欠陥の存在を判定する異物・欠陥判定機構と、
   前記デジタルデータから前記判定された異物や欠陥の大きさを算出する粒径算出機構と、
   検査座標検出手段からの情報に基づいて前記異物や欠陥の被検査物体上における位置座標値を算出する異物・欠陥座標算出機構と、
   前記Ａ／Ｄ変換器は時間間隔で連続的に前記電気信号をサンプリングし、複数の前記デジタルデータを記憶・保存するデジタルデータテーブルと、
   前記被検査物体表面上の前記照明スポット内の照明光の、二次元直交座標系における相対照度分布を、二次元マトリックスデータとして記憶・保存する照明スポット照度分布データテーブルと有し、
   前記異物・欠陥座標算出機構は、前記デジタルデータテーブルと前記照明スポット照度分布データテーブルを比較した結果を用いて前記判定された異物や欠陥の、位置座標を算出することを特徴とする異物・欠陥検査装置。
10. 請求項９記載の異物・欠陥検査装置において、
    前記粒径算出機構は、前記デジタルデータテーブルと前記照明スポット照度分布データテーブルを比較した結果を用いて、前記異物や欠陥の大きさを算出することを特徴とする異物・欠陥検査装置。
11. 請求項９記載の異物・欠陥検査装置において、
    前記異物・欠陥判定機構は前記電気信号をしきい値と比較することによって前記異物や欠陥の存在の判定を行うことを特徴とする異物・欠陥検査装置。
12. 請求項９記載の異物・欠陥検査装置において、
    前記異物・欠陥判定機構は前記Ａ／Ｄ変換器からのデジタルデータまたは前記デジタルデータテーブルに記憶されたデジタルデータを用いて前記異物や欠陥の存在の判定を行うことを特徴とする異物・欠陥検査装置。
13. 被検査物体移動ステージと、
    光源と、
    光源からの光を被検査物体上の照明スポットに照射する照明光学系と、
    前記照明スポットからの光を検出して電気信号に変換する光検出系と、
    前記電気信号をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器と、
    前記変換されたデジタルデータに対応する時刻に検査中の被検査物体上の位置を検査座標データとして検出する検査座標検出機構と、
    前記電気信号または前記デジタルデータから異物や欠陥の存在を判定する異物・欠陥判定機構と、
    前記デジタルデータから前記判定された異物や欠陥の大きさを算出する粒径算出機構と、
    検査座標検出手段からの情報に基づいて前記異物や欠陥の被検査物体上における位置座標値を算出する異物・欠陥座標算出機構と、
    前記Ａ／Ｄ変換器は時間間隔で連続的に前記電気信号をサンプリングし、 複数の前記デジタルデータのうち、前記異物・欠陥判定手段からの情報に基づいて抽出した部分データを記憶・保存するデジタルデータテーブルと、
    前記被検査物体上の前記照明スポット内の照明光の、二次元直交座標系における相対照度分布を、二次元マトリックスデータとして記憶・保存する照明スポット照度分布データテーブルと、
    前記異物・欠陥座標算出機構は、前記デジタルデータテーブルと前記照明スポット照度分布データテーブルを比較した結果を用いて前記判定された異物や欠陥の、位置座標を算出することを特徴とする異物・欠陥検査装置。
14. 請求項１３記載の異物・欠陥検査装置において、
    前記粒径算出機構は、前記デジタルデータテーブルと前記照明スポット照度分布データテーブルを比較した結果を用いて、前記異物や欠陥の大きさを算出することを特徴とする異物・欠陥検査装置。
15. 請求項１３または１４記載の異物・欠陥検査装置において、
    前記異物・欠陥判定機構は前記電気信号をしきい値と比較する比較回路を備え、
    前記電気信号が前記しきい値を超えた場合に異物または欠陥が検出されたと判定し、
    前記デジタルデータテーブルに記憶・保存される前記部分データは、
    前記異物・欠陥判定機構において前記しきい値を超えたと判断された時刻に対応するデジタルデータの少なくとも１サンプリング間隔以上前から少なくとも１サンプリング間隔以上後までのデジタルデータと前記デジタルデータに対応する前記検査座標データを含むものであることを特徴とする異物・欠陥検査装置。
16. 請求項１３または１４記載の異物・欠陥検査装置において、
    前記異物・欠陥判定機構は、
    前記Ａ／Ｄ変換器からのデジタルデータをしきい値と比較する機構を備え、
    前記デジタルデータが前記しきい値を超えた場合に異物または欠陥が検出されたと判定するように構成され、
    前記デジタルデータテーブルに記憶・保存される前記部分データは、
    前記異物・欠陥判定機構において前記しきい値を超えたと判断された前記デジタルデータに対応する時刻の少なくとも１サンプリング間隔以上前から少なくとも１サンプリング間隔以上後までのデジタルデータと前記デジタルデータに対応する前記検査座標データを含むものであることを特徴とする異物・欠陥検査装置。
17. 光源からの光を被検査物体表面上の照明スポットに照射し、前記照明スポットにおいて
    前記照射光が散乱された光、回折された光及び反射された光のうちの少なくとも一つの光
    を検出して電気信号に変換し、前記電気信号をデジタルデータに変換し、前記変換された
    デジタルデータに対応する被検査物体表面上の位置を検査座標データとして検出し、前記
    電気信号または前記デジタルデータに基づいて被検査物体表面上または表面近傍内部に存
    在する検出対象の存在を判定し、前記デジタルデータに基づいて前記判定された検出対象
    の大きさを算出し、検査座標データに基づいて前記検出対象の被検査物体表面上における
    位置座標値を算出し、
    前記位置座標値は、前記デジタルデータと前記照明スポット内の照度分布データとに基
    づいて算出することを特徴とする検出方法。
18. 請求項１７において、前記照明スポット内の照度分布データは、検出対象の検査中又は
    検査前又は検査後に測定することを特徴とする検出方法。
19. 請求項１７又は１８において、前記検出対象が、異物又は欠陥であることを特徴とする
    検出方法。
20. 被検査物体を移動する被検査物体移動ステージと、光源と、光源からの光を被検査物体
    表面上へ照明スポットとして照射する照明光学系と、前記照明スポットにおいて前記照射
    光が散乱された光、回折された光及び反射された光のうちの少なくとも一つの光を検出し
    て電気信号に変換する光検出系と、前記電気信号をデジタルデータに変換する変換器と、
    前記変換されたデジタルデータに対応する被検査物体表面上の位置を検査座標データとし
    て検出する検査座標検出機構と、前記電気信号または前記デジタルデータから検出対象の
    存在を判定する検出対象判定機構と、前記デジタルデータから前記判定された検出対象の
    大きさを算出する粒径算出機構と、検査座標検出手段からの情報に基づいて前記検出対象
    の被検査物体表面上における位置座標値を算出する検出対象座標算出機構とを備え、
    前記変換器は前記電気信号をサンプリングして得られる前記デジタルデータと、前記被
    検査物体表面上の前記照明スポット内の照明光の照度分布データとを記憶するメモリを有
    し、前記検出対象座標算出機構は、前記デジタルデータと前記照度分布データとに基づい
    て検出対象の位置座標を算出することを特徴とする検査装置。
21. 請求項２０において、前記メモリは、検出対象検査中又は検査前に測定された前記照明
    スポット内の照度分布データを記憶することを特徴とする検査装置。
22. 請求項２０又２１において、前記検出対象が、異物又は欠陥であることを特徴とする検
    査装置。