JP2008098971A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高速化と高画素化が両立され、画素加算を行う固体撮像装置およびその駆動方法を提供する。
【解決手段】増幅型固体撮像装置において、R、G、Bをベイヤー配列で配置する。Gは水平2、垂直4画素、B、Rは水平、垂直3画素を基本単位とし、それぞれのエリアでの同色の画素からの信号を加算して出力する。加算後の各画素グループの重心は、画素領域内で偏在することなく均一に配置される。
【選択図】図1
【解決手段】増幅型固体撮像装置において、R、G、Bをベイヤー配列で配置する。Gは水平2、垂直4画素、B、Rは水平、垂直3画素を基本単位とし、それぞれのエリアでの同色の画素からの信号を加算して出力する。加算後の各画素グループの重心は、画素領域内で偏在することなく均一に配置される。
【選択図】図1
Description
本発明は画素加算モードを備える固体撮像装置に関する。
デジタルスチルカメラなどの撮像装置は画質及び機能の更なる向上が要望されており、その撮像装置に搭載される固体撮像装置には、画素加算(画素混合)の手法により高速化を行うための技術が用いられている。そこで、図面を参照にしながら、特許文献1に示された従来技術の固体撮像装置について説明する。
図25は、特許文献1に示された従来技術の固体撮像装置の構成図である。
1011は、光電変換素子とその前面に装着されるカラーフィルタである。ここでは、カラーフィルタ配列を例えばベイヤー配列とする。ここで、GrとGbは実際には同色であるが、動作の説明の便宜上、水平両サイドをRフィルタで挟まれるフィルタ画素をGr、水平両サイドをBフィルタで挟まれるフィルタ画素をGbと表記している。1012はV1からV12で構成される12相の垂直転送段、1013はH1とH2で構成される2相の水平転送段、1014は出力アンプ、1015は前記V1からV12で構成される12相の垂直転送段1012の延長で、ゲートは独立配線されており、V13からV48で構成される垂直−水平転送制御部、1016はGrの画素加算エリアの基本単位、1017はBの画素加算エリアの基本単位、1018はGbの画素加算エリアの基本単位、1019はRの画素加算エリアの基本単位である。
また、光電変換素子からの信号電荷は垂直転送段1012に読み出され、各々同色の画素が3画素、垂直転送段1012内で加算される。また、垂直−水平転送制御部1015はV13からV48の全てのゲートを垂直転送段1012と同様に通常の6相モードで駆動することで、垂直−水平転送制御部1015内に前記3画素加算されたGr及びRの信号電荷が蓄積される。次に、垂直−水平転送制御部1015のV37〜V42とV19〜V24のみを通常の6相駆動で動作させることで、V42の列とV24の列の各々GrとRの信号電荷のみが水平転送段1013内へ転送される。次に、水平転送段1013を通常の2相駆動モードで、2段転送する。その後、垂直−水平転送制御部1015のV25〜V30とV43〜V48のみを通常の6相駆動で動作させることで、V30の列とV48の列の各々GrとRの信号電荷のみが水平転送段1013内へ転送され、水平転送段1013内の同色の信号電荷と加算され、水平転送段1013内で都合6画素の各々GrとRの信号電荷が加算される。更に、水平転送段1013を通常の2相駆動モードで、2段転送した後、垂直−水平転送制御部1015のV13〜V18とV31〜V36のみを通常の6相駆動で動作させることで、V18の列とV36の列の各々GrとRの信号電荷のみが水平転送段1013内へ転送され、水平転送段1013内の同色の信号電荷と加算され、水平転送段1013内で都合9画素の各々GrとRの信号電荷が加算される。その後水平転送段1013を通常の2相駆動で動作させ、出力アンプ1014を介して、固体撮像素子より9画素加算した各々GrとRの信号を出力する。
以上の一連の動作を繰り返すことにより次のラインでは、固体撮像素子より9画素加算した各々BとGbの信号を出力する。
また、従来技術として特許文献2には4画素加算(一部、2画素加算)を行う固体撮像装置が開示されている。
特開2004−312140号公報
特開2001−36920号公報
現在のデジタルスチルカメラ(コンパクトデジタルスチルカメラ)では、そのカメラに搭載される固体撮像装置で画素加算を行わない場合は静止画撮影モードであり、画素加算を行う場合は静止画を撮影するために被写体を描写する、いわゆる動画モニターモード、あるいは静止画よりも大きく解像度が落ちた状態で行う動画撮影モードとして用いられる場合が多い。また、固体撮像装置が搭載されるデジタルスチルカメラは、現在最も高画素の場合で1000万画素程度であり、この画素内で高速化と高画素化(高解像度)をさらに高い次元で両立させることが求められている、
しかし、特許文献1に示された9画素加算方式の固体撮像装置は、加算(混合)後の画素数の減少が大きいために、高速化と高画素化を高い次元での両立が求められる撮像装置(例えば、一眼レフデジタルスチルカメラ)には用いることができない場合があった。
しかし、特許文献1に示された9画素加算方式の固体撮像装置は、加算(混合)後の画素数の減少が大きいために、高速化と高画素化を高い次元での両立が求められる撮像装置(例えば、一眼レフデジタルスチルカメラ)には用いることができない場合があった。
また、特許文献2に示された固体撮像装置では、最も大事なG画素が2画素しか加算しておらず、さらに一方向の斜めにのみ加算されているので、感度が低い、右斜めと左斜めで解像度がことなるだけでなく偽解像(モアレ)の原因になる、という不具合を有していた。
前記課題に鑑み、本発明は高速化と高画素化(高解像度)が両立され、画素加算を行う固体撮像装置およびその駆動方法を提供する。
前記課題に鑑み、本発明の第1の固体撮像装置は、半導体基板上に行列状に配置した受光部を含む複数の画素を有し、緑、赤、青の信号を取り出す前記画素をそれぞれ緑画素、赤画素、青画素として、2つの前記緑画素と前記赤画素と前記青画素とがベイヤー配列で配置され、同色の前記画素からの信号同士を加算する駆動モードを備えた固体撮像装置であって、前記緑画素は水平2画素、垂直4画素が緑画素加算エリアの基本単位であり、前記青画素、赤画素は水平3画素、垂直3画素がそれぞれ青画素加算エリア、赤画素加算エリアの基本単位であり、前記緑画素加算エリア内の前記緑画素からの信号同士、前記青画素加算エリア内の前記青画素からの信号同士、前記赤画素加算エリア内の前記赤画素からの信号同士を加算することを特徴とするものである。
なお、本発明の第1の固体撮像装置は、緑画素加算エリアは第1緑画素加算エリアと第2緑画素加算エリアを備え、第1緑画素加算エリアと第2緑加算エリアは水平方向に2画素ずらして配置されることがより好ましい。
なお、本発明の第1の固体撮像装置は、ぞれぞれの第1緑画素加算エリアおよび第2緑画素加算エリアは、青画素加算エリアおよび赤画素加算エリアと重なるように配置されていることがより好ましい。
なお、本発明の第1の固体撮像装置は、第1緑画素加算エリアは青画素加算エリアおよび赤画素加算エリアと重なるように配置されており、第2緑画素加算エリアは赤画素加算エリアと重なるように配置されていることがより好ましい。
なお、本発明の第1の固体撮像装置は、緑画素加算エリアは第1緑加算エリアと第2緑画素加算エリアを備え、第1緑加算エリアと第2緑加算エリアは水平方向に同じ位置に配置されることであることがより好ましい。
なお、本発明の第1の固体撮像装置は、第1緑画素加算エリアは青画素加算エリアおよび赤画素加算エリアと重なるように配置されており、第2緑画素加算エリアは青画素加算エリアと重なるように配置されていることがより好ましい。
さらに、本発明の第2の固体撮像装置は、半導体基板上に行列状に配置した受光部を含む複数の画素を有し、緑、赤、青の信号を取り出す前記画素をそれぞれ緑画素、赤画素、青画素として、2つの前記緑画素と前記赤画素と前記青画素とがベイヤー配列で配置され、同色の前記画素からの信号同士を加算する駆動モードを備えた固体撮像装置であって、前記緑画素は水平2画素、垂直4画素が緑画素加算エリアの基本単位であり、前記青画素、赤画素は水平3画素、垂直3画素がそれぞれ青画素加算エリア、赤画素加算エリアの基本単位であり、前記緑画素加算エリア内の前記緑画素からの信号同士を加算し、前記青画素加算エリア内の一部の前記青画素からの信号同士を加算し、前記赤画素加算エリア内の一部の前記赤画素からの信号同士を加算することを特徴とするものである。
なお、本発明の第2の固体撮像装置は、緑画素加算エリアは第1緑加算エリアと第2緑画素加算エリアを備え、第1緑画素加算エリアと第2緑加算エリアは水平方向に2画素ずらして配置されることがより好ましい。
なお、本発明の第2の固体撮像装置は、ぞれぞれの第1緑画素加算エリアおよび第2緑画素加算エリアは、青画素加算エリアおよび赤画素加算エリアと重なるように配置されていることがより好ましい。
なお、本発明の第2の固体撮像装置は、緑の画素加算エリアは第1緑加算エリアと第2緑画素加算エリアを備え、第1緑加算エリアと第2緑加算エリアは水平方向に同じ位置に配置されることがより好ましい。
なお、本発明の第2の固体撮像装置は、ぞれぞれの第1緑画素加算エリアおよび第2緑画素加算エリアは、青画素加算エリアおよび赤画素加算エリアと重なるように配置されていることがより好ましい。
なお、本発明の第2の固体撮像装置は、ぞれぞれの第1緑画素加算エリアおよび第2緑画素加算エリアは、青画素加算エリアおよび赤画素加算エリアと重なるように配置されていることがより好ましい。
さらに、本発明の第1、第2の固体撮像装置は、固体撮像装置は、受光部と、転送手段と、増幅手段と、増幅手段からの信号を伝える垂直信号線と備え、垂直信号線の後段には4つの信号蓄積手段を備えていることがより好ましい。
さらに、本発明の第1、第2の固体撮像装置は、固体撮像装置は、受光部と、転送手段と、増幅手段と、増幅手段からの信号を伝える2本の垂直信号線と備え、垂直信号線は奇数列と偶数列に対応し、さらに、ぞれぞれの垂直信号線に対して2つの信号蓄積手段を備えていることがより好ましい。
さらに、本発明の第1、第2の固体撮像装置は、それぞれの垂直信号線に対して信号蓄積手段の後段に2つの選択手段が設けられていることがより好ましい。
本発明の固体撮像装置は高速化と高画素化(高解像度)をさらに高い次元で両立させることができ、偽解像(モアレ)の発生を防ぐことが出来る。
(第1の実施形態)
以下、図面を参照しながら本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。
以下、図面を参照しながら本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法の画素加算パターンを示したイメージ図である。
図1に示すように、カラーフィルタ配列は例えばベイヤー配列である。また、動作の説明の便宜上、水平両サイドをRフィルタで挟まれるフィルタ画素をGr、水平両サイドをBフィルタで挟まれるフィルタ画素をGbとしているが、実際にはGrとGbは同色である。
図1に示すように、カラーフィルタ配列は、緑(以下、Gと呼ぶ)G15、G26、G35、G46を第1のGグループ、G33、G44、G53、G64を第2のGグループ、赤(以下、Rと呼ぶ)R34、R54、R36、R56をRグループ、青(以下、Bと呼ぶ)B23、B25、B43、B45をBグループとして画素加算(4画素加算)を行う。
その画素加算により、第1のGグループの重心はG1重心11となり、Rグループの重心はR重心2となり、Bグループの重心はB重心3となり、第2のGグループの重心はG2重心4となる。
その画素加算により、第1のGグループの重心はG1重心11となり、Rグループの重心はR重心2となり、Bグループの重心はB重心3となり、第2のGグループの重心はG2重心4となる。
したがって、図1に示された本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は画素加算を行った場合、それぞれの重心(G1重心11、R重心2、B重心3、G2重心4)は、隣接するそれぞれの重心群(G1重心(図示せず)、R重心(図示せず)、B重心13、G2重心14)に対して、偏ることなく各々の重心を配置させることができる。
さらに、図1に示された本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は画素加算を行った場合、この4組の重心(G1重心11、R重心2、B重心3、G2重心4)の並び方を、加算前のベイヤー配列RG/GBに類似させることができる。
さらに、図1に示された本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は画素加算を行った場合、視覚的に解像度を決める緑の重心を、偏ることなく市松状に配置させることができる。
さらに、図1に示された本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は画素加算を行った場合、視覚的に解像度を決める緑の重心を、偏ることなく市松状に配置させることができる。
次に、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置の装置構成について説明する。なお、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は、後述する第1〜第4構造のいずれかを用いることができる。
まず、図5を用いて、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置であり、図1に示された画素加算を行う第1構造について説明する。
図5に示すように、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後に転送ゲート502を開けることにより、増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号が垂直信号線504に選択トランジスタ505を介して信号電圧として出力される。また、垂直信号線504に現れた信号電圧は信号振り分けトランジスタ群5を通り信号蓄積容量6−1−1,6−1−2・・・・6−n−1,6−n−2に一時蓄積される。その後、水平スイッチ7−1−1,7−1−2・・・・7−n−1,7−n−2を順次ONすることにより、水平信号線8−1、8−2から順次信号が読み出される。増幅トランジスタ503のゲート電極に転送された電荷は、リセットトランジスタ506をONすることにより排出される。
また、G11、R12、・・・とG31、R32、・・・・・の2つの行を同時に読み出すことにより、G11とG31、R12とR32、G13とG33、R14とR34の信号をそれぞれ加算したものを、信号振り分けトランジスタ群5のうちひとつの垂直信号線に設けられた2つのスイッチの左側のスイッチをONすることにより、信号蓄積容量6―1―1、6−2−1、6−3−1、6−4−1にそれぞれ蓄積する。
次に、水平スイッチ7−2−1、7−4−1を同時にONすることによりR12、R32、R14、R34を加算した信号が第2の水平信号線8―2より出力される。
次に、B21、G22、・・・・・とB41、G42、・・・・の2つの行を同時に読み出し、信号振り分けトランジスタ群5のうちひとつの垂直信号線に設けられた2つのスイッチの右側のスイッチをONする。これにより、B21とB41、G22とG42、B23とB43、G24とG44の信号をそれぞれ加算したものを、信号蓄積容量6―1―2、6−2−2、6−3−2、6−4−2にそれぞれ蓄積する。
次に、水平スイッチ7−1−2、7−3−2を同時にONすると、B21、B41、B23、B43を加算した信号が第2の水平信号線8―2より出力される。
次に、水平スイッチ7−1−1、7−2−2を同時にONすると、G11、G31、G22、G44を加算した信号が第1の水平信号線8―1から出力される。さらに水平スイッチ7−3−1、7−4−2を同時にONすると、G13、G33、G24、G44を加算した信号が第1の水平信号線8―1から出力される。
また、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置では、1回目のG11、R12,・・・とG31、R32、・・・・・の2つの行を同時に読み出す時に、信号蓄積容量6―1―1に蓄積したG11+G31の信号と、信号蓄積容量6―3―1に蓄積したG13+G33の信号を一旦読み出さずに、次のB21、G22、・・・・・とB41、G42、・・・・の2つの行を同時に読み出すことを行う。
この装置および駆動により、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は、次のGの信号(G22+G42とG24+G44)の信号が水平蓄積容量に蓄積されるのを待って読み出すことができ、G11+G31とG22+G42を加算して読み出すことができる。
なお、G13+G33とG24+G44の加算は、上述したG11+G31とG22+G42を加算させる駆動と同じように行う。
なお、この上述したG11+G31とG22+G42を加算させる駆動では、第1の読み出しで水平スイッチ7−2−1、7−4−1(R信号)をONとし、第2の読み出しで水平スイッチ7−1−2,7−3−2(B信号)、水平スイッチ7−1−1,7−2−2(G1信号)および水平スイッチ7−3−1,7−4−2(G2信号)をONし、これらを交互に繰り返すことになるが、このときに第1の読み出しと第2の読み出しで信号の数が異なる場合がある。その場合(第1の読み出しと第2の読み出しで信号の量が異なる場合)は、第1の読み出しで水平スイッチ7−2−1、7−4−1(R信号)、水平スイッチ7−1−1、7−2−2(G1信号)をONとし、第2の読み出しで水平スイッチ7−1−2、7−3−2(B信号)、水平スイッチ7−3−1、7−4−2(G2信号)をONし、これらを交互に繰り返す駆動にすれば、緑(G)画素の読み出しが2行ごとに上下に2画素分ずれるため、図1に示された読み出しの配列になる。
すなわち、第1の読み出しと第2の読み出しで信号の数が異なる場合は、第1の読み出しの水平スイッチ7―2―1、7―4−1(R信号)と第2の読み出しの水平スイッチ7−1−2,7−3−2(B信号)の読み出しを入れ替えれば、この問題を解決することができる。
また、RとBの画素は縦方向に2画素加算するだけなので、1回の縦方向の加算で読み出し、水平蓄積容量に蓄積した信号はすぐに水平スイッチをONすることにより、水平方向の加算をして読み出すことができる。
しかし、G画素は縦方向に4つの画素を加算するため、1回の縦方向の加算信号を蓄積容量に蓄積した後すぐに水平スイッチをONして読み出すことができない。すなわち、もう一度次の垂直加算の動作により信号蓄積容量に次の信号が来るまで待っていなければならない。すなわち、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は、そのG信号待ちの方法を隣接する2行ごとにずらすことにより4画素加算したG画素の重心を千鳥(市松)状に読み出すことができる。
具体的には1回目の読み出しに水平スイッチ7−2−1、7−4−1のみをONし、Bの4画素加算信号を読み出したが、このとき水平スイッチ7−3−1、7−4−2を同時にONしGの加算信号を読み出す。これにより、4画素加算になる。そして、2回目の読み出しのとき水平スイッチ7−1−1、7−2−2は同時にONすればG11+G13+G22+G42の4画素が加算されるが、水平スイッチ7−3−1、7−4−2はONしない。
さらに、その次の読み出しの際、水平スイッチ7−1−1、7−2−2はONしないで、水平スイッチ7−3−1、7−4−2はONする。このような読み出しで4画素加算された信号を千鳥(市松)状に読み出せる。
次に、図7を用いて本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置であり、図1に示された画素加算を行う第2構造について説明する。
図7に示すように、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後、転送ゲート502を開けることにより増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号が垂直信号線504に選択トランジスタ505を介して信号電圧として出力される。また、垂直信号線504に現れた信号電圧は、信号振り分けトランジスタ群5を通り、信号蓄積容量6−1−1、6−1−2・・・・6−n−1,6−n−2に一時蓄積される。その後、水平スイッチ7−1−1,7−1−2を順次ONすることにより、水平信号線8−1、8−2から順次信号が読み出される。増幅トランジスタ503のゲート電極に転送された電荷はリセットトランジスタ506をONすることにより排出される。すなわち、図5に示された第1構造とは、読み出す画素を列ごとに入れ替えたことが異なる。
この第2構造の場合、図1に示された画素構成と画素加算を行うと、行からの出力がG(緑)だけの行と、R(赤),B(青)の行とに分けることができるという長所がある。
次に、図21を用いて本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置であり、図1に示された画素加算を行う第3構造について説明する。
図10に示すように、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され、電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後、転送ゲート502を開けることにより、増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は垂直信号線51から信号電圧として出力される。
なお、図10には選択トランジスタの記載がないが、第3構造では選択トランジスタを設けていてもよい。
なお、選択トランジスタを設けていない場合の本実施形態の固体撮像装置について、図23を用いて説明する。図23は、本発明の第1の実施形態に係るMOS型イメージセンサにおける光電変換セルの回路構成図であり、同図において、201は光電変換を行なうPD部、202は光電変換後の電荷を蓄積するFD部、203はFD部202に電荷転送を行う転送ゲート、204はFD部202の電荷を掃き出すリセットゲート、205はFD部202の電荷検出を行う画素アンプ、206は画素アンプ205と共にソースフォロワアンプを形成するためのロードトランジスタ、207は光電変換セル部に共通電源電圧信号VDDCELを印加する共通電源線、208は転送ゲート203に読み出し信号READを印加する読み出しパルス線、209はFD部2の電荷を掃き出すリセット信号RESETが印加されるリセットパルス線、210は画素アンプ205で検出された画素信号VOを伝達する出力信号線、211はロードトランジスタ206のゲートにロードゲート信号LGCELを印加するロードゲート線、212はロードトランジスタ206に共通にソース電源電圧信号SCELを印加するソース共通電源線である。
また、図10に示すように、一つの行に対応して一つの垂直信号線51が設けられており、この出力線1本に対応して4つの信号蓄積容量群52が設けられている。
また、一つの垂直信号線51からの出力を、この4つの信号蓄積容量群52に信号を振り分けるのは、信号振り分けスイッチ群53である。また、行方向4画素の加算とともに、列方向の加算は水平マルチプレクサ54で行い、水平出力線群55に振り分られる。この構造からわかるように、垂直方向は4画素分信号を蓄積でき、水平方向は水平マルチプレクサで自由に信号を加算できる。したがって、本実施形態の画素加算が可能になる。
以上説明したように、第3の構造は、第1、第2の構造と比較して水平蓄積容量が2倍の数設けられており、一行ごとに順次読み出した信号をこの蓄積容量に順次蓄積していくことができるという理由から装置構造が簡単であり、このような簡単な構造でも図1に示された画素加算を行うことができるという長所を備えている。
次に、図15を用いて本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置であり、図1に示された画素加算を行う第4構造について説明する。
図15に示すように、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後、転送ゲート502を開けることにより増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は垂直信号線51−1、または52−2に信号電圧として出力される。また、奇数列と偶数列に対応する垂直信号線51−1,51−2を2本設けている。さらに、垂直信号線51−1,51−2に対してそれぞれ2つの水平蓄積容量と水平スイッチが設けられている。なお、一つの行に対して合計4つの水平蓄積容量と合計4つの水平スイッチが設けられていることは第3の構造と同じである。
また、行方向4画素の加算とともに、列方向の加算は水平マルチプレクサ54で行い、水平出力線群55に振り分られる。
以上説明したように、第4の構造は、隣接する2つの行を同時に選択し、動作させ、2つの垂直信号線を通して信号を読み出せるという理由から、他の構造よりも読み出し速度を向上させることができるという利点を備えている。
図面(図1、図5、図7、図10、図15)を用いて説明したように、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は、以下の優れた特性を備えている。
まず、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置はMOS型固体撮像装置であり、CCD(Charge Coupled Device)型固体撮像装置のように電荷転送による信号読出しではないために、画素加算を行わない同士を比較すれば、MOS型固体撮像装置はCCD型固体撮像装置よりも一般的には電荷信号の高速読出しを行うことができる。
従来技術(特許文献1)に示されたCCD型固体撮像装置では読出し速度の向上のために多くの画素を加算させる必要があり、具体的には9画素の加算により高速化を図っている。
一方、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は、図25に示す従来技術(特許文献1)と同様に画素加算により高速化を行うが、MOS型構造であるため、9画素加算よりも少ない画素加算(4画素加算)であっても従来技術(特許文献1)に示されたCCD型固体撮像装置よりも信号電荷の読出しを高速に行うことができる。
また、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は、図1に示したように画素加算として9画素加算よりも少ない画素加算(4画素加算)を行っているために、従来技術(特許文献1)に示された固体撮像装置よりも高い解像度を得ることができる。
したがって、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術(特許文献1)よりも高解像度特性と高速読出し特性を同時に得ることができる。さらに、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術(特許文献2)に示された固体撮像装置よりも、モアレ(偽解像)の小さい優れた画像特性を得ることができ、水平方向と垂直方向の画素サンプリング密度の不均衡により水平解像度に対し垂直解像度が著しく低下することを防ぐことができ、読み出さない行の画素の信号は廃棄されないため、実質的な感度が低下することを防ぐことができる。
なお、第1の実施形態に係る固体撮像装置は、同じ固体撮像装置で画素加算を行わない場合の画像(以下、第1の画像と呼ぶ)の出力、画素加算を行う場合の画像(以下、第2の画像と呼ぶ)の出力は、第1、第2の画像がともに静止画を出力することができる。なお、一眼レフデジタルスチルカメラは一般的に動画撮影を行わないため、この方法が特に有効である。
さらには、第1の実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像の出力、第2の画像の出力ともに動画として出力することもできる。また、第1の実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術と同様に、第1の画像を静止画として、第2の画像を動画としてそれぞれ出力することができる。さらに、第1の実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像が動画を、第2の画像が静止画を出力することができる。
なお、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置は、一例としてMOS型固体撮像装置を用いたが、CCD型固体撮像装置のように電荷転送により信号読出しを行わない固体撮像装置、例えば、BASIS、CMOSセンサ、SITセンサ、CMD(Charge Modulation Device)、AMI(Amplified MOS Imager)など、どのタイプのセンサなどでも実現することができる。
なお、第1の実施形態に係る固体撮像装置は、図1を用いて4画素加算の場合について説明したが、画素数が極めて多い固体撮像装置の場合(例えば、1000万画素以上)には、各色の重心位置が図1と同じような配置関係にすることによりに、4画素よりも多くの画素の加算(例えば、9画素加算)の場合にも用いることができる。
−第1の実施形態の変形例1−
以下、図面を参照しながら本発明の第1の実施形態の変形例1に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。なお、本変形例1に係る固体撮像装置の装置構造は、図5、図7、図10、図15に示された第1の実施形態の係る固体撮像装置の第1〜第4構造のいずれかを用いる。
以下、図面を参照しながら本発明の第1の実施形態の変形例1に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。なお、本変形例1に係る固体撮像装置の装置構造は、図5、図7、図10、図15に示された第1の実施形態の係る固体撮像装置の第1〜第4構造のいずれかを用いる。
図2は、本発明の第1の実施形態の変形例1に係る固体撮像装置およびその駆動方法の画素加算パターンを示したイメージ図である。
図2に示すように、カラーフィルタ配列は例えばベイヤー配列であり、動作の説明の便宜上、水平両サイドをRフィルタで挟まれるフィルタ画素をGr、水平両サイドをBフィルタで挟まれるフィルタ画素をGbとしているが、実際にはGrとGbは同色である。
図2に示すように、G11,G22,G31,G42を第1のGグループ、G33,G44.G53,G64を第2のGグループ、R12,R14,R32,R34をRグループ、B23,B25,B43,B45をBグループとして各グループごとに出力信号を加算する。この場合、第1のGグループの重心はG1重心1となる。Rグループの重心はR重心2となる。Bグループの重心はB重心3となる。第2のGグループの重心はG2重心4となる。それぞれの重心は隣接するそれぞれの重心群11、12、13、14から偏ることなく配置させることができ、さらに解像度への影響が大きい緑(G)が偏ることなく市松状に配列されることができる。
−第1の実施形態の変形例2−
以下、図面を参照しながら本発明の第1の実施形態の変形例2に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。なお、本発明の第1の実施形態の変形例2に係る固体撮像装置の装置構造は、図5、図7、図10、図15に示された本発明の第1の実施形態の係る固体撮像装置の第1〜第4構造のいずれかを用いる。
以下、図面を参照しながら本発明の第1の実施形態の変形例2に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。なお、本発明の第1の実施形態の変形例2に係る固体撮像装置の装置構造は、図5、図7、図10、図15に示された本発明の第1の実施形態の係る固体撮像装置の第1〜第4構造のいずれかを用いる。
図3は、本発明の第1の実施形態の変形例2に係る固体撮像装置およびその駆動方法の画素加算パターンを示したイメージ図である。
図3に示すように、カラーフィルタ配列を例えばベイヤー配列であり、動作の説明の便宜上、水平両サイドをRフィルタで挟まれるフィルタ画素をGr、水平両サイドをBフィルタで挟まれるフィルタ画素をGbとしているが、実際にはGrとGbは同色である。
図3に示すように、G11,G22,G31,G42を第1のGグループ、G33,G44,G53,G64を第2のGグループ、R32,R34,R52,R54をRグループ、B43,B45,B63,B65をBグループとし、グループごとに出力信号を加算する。
この場合はG1重心1と、G2重心4は図2に示した本発明の第1の実施形態の変形例1と同じとなり、また、R重心22とB重心23を2画素分下方にずらすことにより、解像度への影響が大きい緑(G)が偏ることなく千鳥状に配置させることができる。
(第2の実施形態)
以下、図面を参照しながら本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。
以下、図面を参照しながら本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。
図4は、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法の画素加算パターンを示したイメージ図である。同図に示すように、カラーフィルタ配列は例えばベイヤー配列であり、動作の説明の便宜上、水平両サイドをRフィルタで挟まれるフィルタ画素をGr、水平両サイドをBフィルタで挟まれるフィルタ画素をGbとしているが、実際にはGrとGbは同色である。
図4より、緑(以下、Gと呼ぶ)G11,G22,G31,G42を第1のGグループ、G13,G24,G33,G44を第2のGグループ、赤(以下、Rと呼ぶ)R32,R34,R52,R54をRグループ、青(以下、Bと呼ぶ)B43,B45,B63,B65をBグループとして、画素加算(4画素加算)を行う。
したがって、図4に示された本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、画素加算を行った場合、それぞれの重心(G1重心1、R重心22、B重心23、G2重心24)は、隣接するそれぞれの重心群に対して、偏ることなく各々の重心を配置させることができる。
さらに、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置よりも、G2重心24が2画素分上方にずれているため、横方向に対してさらに高い解像度を得ることができる。
なお、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、縦方向に関しては、R重心22、B重心23を用いて信号処理を行うことにより、縦方向の解像度を向上させることができる。
次に、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置の装置構成について説明する。なお、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、後述する第1〜第4構造のいずれかを用いることができる。
そこで、図6を用いて、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置であり、図4に示された画素加算を行う第1構造について説明する。
図6より、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後に転送ゲート502を開けることにより、増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は垂直信号線504に選択トランジスタ505を介して信号電圧として出力される。また、垂直信号線504に現れた信号電圧は信号振り分けトランジスタ群5を通り信号蓄積容量6−1−1,6−1−2・・・・6−n−1,6−n−2に一時蓄積される。その後、水平スイッチ7−1−1,7−1−2・・・・7−n−1,7−n−2を順次ONすることにより、水平信号線8−1、8−2から順次信号が読み出される。増幅トランジスタ503のゲート電極に転送された電荷はリセットトランジスタ506をONすることにより排出される。
また、G11、R12、・・・とG31、R32、・・・・・の2つの行を同時に読み出すことにより、G11とG31、R12とR32、G13とG33、R14とR34の信号をそれぞれ加算したものを信号振り分けトランジスタ群5のうちひとつの垂直信号線に設けられた2つのスイッチの左側のスイッチをONすることにより、信号蓄積容量6―1―1、6−2−1、6−3−1、6−4−1にそれぞれ蓄積する。
次に、水平スイッチ7−2−1、7−4−1を同時にONすることによりR12、R32、R14、R34を加算した信号が第2の水平信号線8―2より出力される。
次に、B21、G22、・・・・・とB41、G42、・・・・の2つの行を同時に読み出すことにより、B21とB41、G22とG42、B23とB43、G24とG44の信号をそれぞれ加算したものを信号振り分けトランジスタ群5のうちひとつの垂直信号線に設けられた2つのスイッチの右側のスイッチをONすることにより、信号蓄積容量6―1―2、6−2−2、6−3−2、6−4−2にそれぞれ蓄積する。
次に、水平スイッチ7−1−2、7−3−2を同時にONすると、B21、B41、B23,B43を加算した信号が第2の水平信号線8―2より出力される。
次に、水平スイッチ7−1−1、7−2−2を同時にONすると、G11、G31、G22、G44を加算した信号が第1の水平信号線8―1から出力される。さらに水平スイッチ7−3−1、7−4−2を同時にONすると、G13、G33、G24、G44を加算した信号が第1の水平信号線8―1から出力される。
また、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置では、1回目のG11、R12,・・・とG31、R32、・・・・・の2つの行を同時に読み出す時に、信号蓄積容量6―1―1に蓄積したG11+G31の信号と、信号蓄積容量6―3―1に蓄積したG13+G33の信号を一旦読み出さずに、次のB21、G22、・・・・・とB41、G42、・・・・の2つの行を同時に読み出すことを行う。
この装置および駆動により、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、次のGの信号(G22+G42とG24+G44)の信号が水平蓄積容量に蓄積されるのを待って読み出すことができ、G11+G31とG22+G42を加算して読み出すことができる。
なお、G13+G33とG24+G44の加算は、上述したG11+G31とG22+G42を加算させる駆動と同じように行う。
なお、この上述したG11+G31とG22+G42を加算させる駆動では、第1の読み出しで水平スイッチ7−2−1、7−4−1(R信号)をONとし、第2の読み出しで水平スイッチ7−1−2,7−3−2(B信号)、水平スイッチ7−1−1,7−2−2(G1信号)および水平スイッチ7−3−1,7−4−2(G2信号)をONし、これらを交互に繰り返すことになるが、このときに第1の読み出しと第2の読み出しで信号の量が異なる場合がある。
なお、G13+G33とG24+G44の加算は、上述したG11+G31とG22+G42を加算させる駆動と同じように行う。
なお、この上述したG11+G31とG22+G42を加算させる駆動では、第1の読み出しで水平スイッチ7−2−1、7−4−1(R信号)をONとし、第2の読み出しで水平スイッチ7−1−2,7−3−2(B信号)、水平スイッチ7−1−1,7−2−2(G1信号)および水平スイッチ7−3−1,7−4−2(G2信号)をONし、これらを交互に繰り返すことになるが、このときに第1の読み出しと第2の読み出しで信号の量が異なる場合がある。
その第1の読み出しと第2の読み出しで信号の量が異なる場合は、第1の読み出しで水平スイッチ7−2−1、7−4−1(R信号)、水平スイッチ7−1−1、7−2−2(G1信号)をONとし、第2の読み出しで水平スイッチ7−1−2、7−3−2(B信号)、水平スイッチ7−3−1、7−4−2(G2信号)をONし、これらを交互に繰り返す駆動にすれば、緑(G)画素の読み出しが2行ごとに上下に2画素分ずれるため、図4に示された読み出しの配列になる。
すなわち、第1の読み出しと第2の読み出しで信号の数が異なる場合は、第1の読み出しの水平スイッチ7―2―1、7―4−1(R信号)と第2の読み出しの水平スイッチ7−1−2,7−3−2(B信号)の読み出しを入れ替えれば、この問題を解決することができる。
RとBの画素は縦方向に2画素加算するだけなので、1回の縦方向の加算で読み出し、水平蓄積容量に蓄積した信号はすぐに水平スイッチをONすることにより(水平方向の加算し)読み出すことができる。
しかし、G画素は縦方向に4つの画素を加算するため、1回の縦方向の加算信号を蓄積容量に蓄積した後すぐに水平スイッチをONして読み出すことができない。すなわち、もう一度次の垂直加算の動作により信号蓄積容量に次の信号が来るまで待っていなければならない。
但し、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、G信号を千鳥(市松)状に読み出すために読み出す行を隣接する2行ごとにずらしてG信号待ちすることを必要としない。
また、RまたはBを水平方向にずらす必要があるが、R信号を読み出すとき水平スイッチ7−2−1、7−4−1を同時にONしていたものを、水平スイッチ7−4−1、7−6−1(図示せず)を同時にONすれば、簡単に実現することができる。
さらに、B信号を読み出すときに水平スイッチ7−1−2、7−3−2を同時にONしていたものを、水平スイッチ7−3−2、7−5−2(図示せず)を同時にONすればいい。
以上説明したように、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置の第1の構造では、水平スイッチの読み出しのタイミングと組み合わせを変えるだけで本発明のG4画素の組み合わせ、R4画素、B4画素の組み合わせが自由にできることができる。
次に、図8を用いて本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置であり、図4に示された画素加算を行う第2構造について説明する。
図8に示すように、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後、転送ゲート502を開けることにより増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は垂直信号線504に選択トランジスタ505を介して信号電圧として出力される。また、垂直信号線504に現れた信号電圧は、信号振り分けトランジスタ群5を通り、信号蓄積容量6−1−1、6−1−2・・・・6−n−1,6−n−2に一時蓄積される。その後、水平スイッチ7−1−1,7−1−2・・・・7−n−1,7−n−2を順次ONすることにより、水平信号線8−1、8−2から順次信号が読み出される。増幅トランジスタ503のゲート電極に転送された電荷はリセットトランジスタ506をONすることにより排出される。なお、図6に示された第1構造とは、読み出す画素を列ごとに入れ替えたことである。
この第2構造の場合、図4に示された画素構成と画素加算を行うと、行からの出力がG(緑)だけの行と、R(赤),B(青)の行とに分けることができるという長所がある。
次に、図11を用いて本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置であり、図4に示された画素加算を行う第3構造について説明する。
図11より、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、あらかじめ決められた時間蓄積された後、転送ゲート502を開けることにより、蓄積された電荷は増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号が垂直信号線51から信号電圧として出力される。
なお、図11には選択トランジスタの記載がないが、第3構造では選択トランジスタを設けていてもよい。
なお、選択トランジスタを備えていない場合の本実施形態の固体撮像装置について、図23を用いて説明する。図23は、本発明の第1の実施形態に係るMOS型イメージセンサにおける光電変換セルの回路構成図であり、同図において、201は光電変換を行なうPD部、202は光電変換後の電荷を蓄積するFD部、203はFD部202に電荷転送を行う転送ゲート、204はFD部202の電荷を掃き出すリセットゲート、205はFD部202の電荷検出を行う画素アンプ、206は画素アンプ205と共にソースフォロワアンプを形成するためのロードトランジスタ、207は光電変換セル部に共通電源電圧信号VDDCELを印加する共通電源線、208は転送ゲート203に読み出し信号READを印加する読み出しパルス線、209はFD部2の電荷を掃き出すリセット信号RESETが印加されるリセットパルス線、210は画素アンプ205で検出された画素信号VOを伝達する出力信号線、211はロードトランジスタ206のゲートにロードゲート信号LGCELを印加するロードゲート線、212はロードトランジスタ206に共通にソース電源電圧信号SCELを印加するソース共通電源線である。
また、図11に示すように、一つの行に対応して一つの垂直信号線51が設けられており、この出力線1本に対応して4つの信号蓄積容量群52を設けられている。また、一つの垂直信号線51からの出力を、この4つの信号蓄積容量群52に信号を振り分けるのは、信号振り分けスイッチ群53である。また、行方向4画素の加算とともに、列方向の加算は水平マルチプレクサ54で行い、水平出力線群55に振り分られる。
以上説明したように、第3の構造は、第1、第2の構造と比較すると、水平蓄積容量が2倍の数設けられており、一行ごとに順次読み出した信号をこの蓄積容量に順次蓄積していくことができるという理由から装置構造が簡単であり、このような簡単な構造でも図4に示された画素加算を行うことができるという長所を備えている。
さらに、第1および第2の構造の説明と同様に、水平スイッチを含む水平マルチプレクサの制御方法により、本実施形態のG4画素の組み合わせ、R4画素、B4画素の組み合わせを自由に行うことができる。
次に、図16を用いて本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置であり、図4に示された画素加算を行う第4構造について説明する。
図16に示すように、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後、転送ゲート502を開けることにより増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は垂直信号線51−1、または52−2に信号電圧として出力される。
また、奇数列と偶数列に対応する2本の垂直信号線が(51−1,51−2)設けられており、垂直信号線51−1,51−2に対して、それぞれ2つの水平蓄積容量と水平スイッチが設けられている。なお、一つの行に対して合計4つの水平蓄積容量と合計4つの水平スイッチが設けられていることは第3の構造と同じである。また、行方向4画素の加算とともに、列方向の加算は水平マルチプレクサ54で行い、水平出力線群55に振り分られる。
以上説明したように、第4の構造は隣接する2つの行を同時に選択し、動作させ、2つの垂直信号線を通して信号を読み出せるという理由から、他の構造よりも読み出し速度を向上させることができるという利点を備えている。
以上、図面(図4、図6、図8、図11、図16)を用いて説明したように、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、以下の優れた特性を備えている。
まず、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置はMOS型固体撮像装置であり、CCD型固体撮像装置のように電荷転送による信号読出しではないために、画素加算を行わない同士を比較すれば、MOS型固体撮像装置はCCD型固体撮像装置よりも一般的には電荷信号の読出しを高速に行うことができる。
このため、従来技術(特許文献1)に示されたCCD型固体撮像装置では多くの画素を加算させる必要があり、具体的には9画素の加算により高速化を図っていた。
一方、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、図4に示すように従来技術(特許文献1)と同様に画素加算により高速化を行うが、MOS型構造であるため、9画素加算よりも少ない画素加算(4画素加算)であっても従来技術(特許文献1)に示されたCCD型固体撮像装置よりも信号電荷の読出しを高速に行うことができる。
また、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、図4に示したように画素加算として9画素加算よりも少ない画素加算(4画素加算)を行っているために、従来技術(特許文献1)に示された固体撮像装置よりも高い解像度を得ることができる。
したがって、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術(特許文献1)よりも高解像度特性と高速読出し特性を同時に得ることができる。
さらに、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術(特許文献2)に示された固体撮像装置よりも、モアレ(偽解像)の小さい優れた画像特性を得ることができ、水平方向と垂直方向の画素サンプリング密度の不均衡により水平解像度に対し垂直解像度が著しく低下することを防ぐことができ、読み出さない行の画素の信号は廃棄されないため、実質的な感度が低下することを防ぐことができる。
なお、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、同じ固体撮像装置で画素加算を行わない場合の画像(以下、第1の画像と呼ぶ)、画素加算を行う場合の画像(以下、第2の画像と呼ぶ)をともに静止画として出力することができる。なお、一眼レフデジタルスチルカメラは一般的に動画撮影を行わないため、この方法が特に有効である。
さらには、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像、第2の画像をともに動画として出力することもできる。さらには、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術と同様に、第1の画像を静止画、第2の画像を動画として出力することもできる。同様に、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像を動画として、第2の画像を静止画として出力することができる。
なお、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、一例としてMOS型固体撮像装置を用いたが、CCD型固体撮像装置のように電荷転送により信号読出しを行わない固体撮像装置、例えば、BASIS、CMOSセンサ、SITセンサ、CMD、AMIなど、どのタイプのセンサでも実現することができる。
なお、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置は、図4を用いて4画素加算の場合について説明したが、画素数が極めて多い固体撮像装置の場合(例えば、1000万画素以上)には、各色の重心位置を図4と同じような配置関係にすることによって、4画素よりも多くの画素の加算(例えば、9画素加算)を行うこともできる。
(第3の実施形態)
以下、図面を参照しながら本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。
以下、図面を参照しながら本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。
図20は、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法の画素加算パターンを示したイメージ図である。同図に示すように、カラーフィルタ配列は例えばベイヤー配列であり、動作の説明の便宜上、水平両サイドをRフィルタで挟まれるフィルタ画素をGr、水平両サイドをBフィルタで挟まれるフィルタ画素をGbとしているが、GrとGbは実際には同色である。
図20に示すように、緑(以下、Gと呼ぶ)G11,G13,G31,G33をG1グループとし、そのうちG11,G13,G31のみを加算し、赤(以下、Rと呼ぶ)R12,R14,R32,R34をRグループとし、そのうちR12,R14,R34のみを加算し、G22,G24,G42,G44をG2グループとしてそのうちG24,G42,G44のみを加算を行い、青(以下、Bと呼ぶ)B21,B23,B41,B43をBグループとし、そのうちB21,B41,B43のみを加算する。本実施形態の固体撮像装置では、このような画素加算(3画素加算)を行う。その画素加算により、第1のGグループの重心はG1重心11となり、Rグループの重心はR重心2となり、Bグループの重心はB重心3となり、第2のGグループの重心はG2重心4となる。
したがって、図20に示された本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置において画素加算を行った場合、それぞれの重心(G1重心、R重心、B重心、G2重心)を、隣接するそれぞれの重心群に対して偏ることなく配置させることができる。
次に、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置の装置構成について説明する。なお、本実施形態に係る固体撮像装置は、後述する第1および第2構造のいずれかを用いることができる。図12を用いて、本実施形態に係る固体撮像装置であり、図20に示された画素加算を行う第1構造について説明する。
図12に示すように、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後に転送ゲート502を開けることにより増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は垂直信号線504に選択トランジスタを介して信号電圧として出力される。
すなわち、図12に示すように、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後、転送ゲート502を開けることにより、増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は垂直信号線51に信号電圧として出力される。
また、行に対応して一つの垂直信号線51が設けられており、この出力線1本に対応して4つの信号蓄積容量群52が設けられている。また、一つの垂直信号線51からの出力を、この4つの信号蓄積容量群52に振り分けるのは、信号振り分けスイッチ群53である。また、行方向4画素の加算とともに、列方向の加算は水平マルチプレクサ54で行い、加算された信号は水平出力線群55に振り分られる。この構造からわかるように、垂直方向は4画素分信号を蓄積でき、水平方向は水平マルチプレクサで自由に信号を加算できる。したがって本発明の画素加算が可能になる。
なお、図12には選択トランジスタの記載がないが、第3構造では選択トランジスタを設けていてもよい。
なお、選択トランジスタを設けていない場合の本実施形態の固体撮像装置について、図23を用いて説明する。図23は、第1の実施形態に係るMOS型イメージセンサにおける光電変換セルの回路構成図である。本実施形態の固体撮像装置は第1の実施形態と共通の構成を有している。図23において、201は光電変換を行なうPD部、202は光電変換後の電荷を蓄積するFD部、203はFD部202に電荷転送を行う転送ゲート、204はFD部202の電荷を掃き出すリセットゲート、205はFD部202の電荷検出を行う画素アンプ、206は画素アンプ205と共にソースフォロワアンプを形成するためのロードトランジスタ、207は光電変換セル部に共通電源電圧信号VDDCELを印加する共通電源線、208は転送ゲート203に読み出し信号READを印加する読み出しパルス線、209はFD部2の電荷を掃き出すリセット信号RESETが印加されるリセットパルス線、210は画素アンプ205で検出された画素信号VOを伝達する出力信号線、211はロードトランジスタ6のゲートにロードゲート信号LGCELを印加するロードゲート線、212はロードトランジスタ6に共通にソース電源電圧信号SCELを印加するソース共通電源線である。
以上説明したように、第1の構造は水平蓄積容量が2倍の数設けられており、一行ごとに順次読み出した信号をこの蓄積容量に順次蓄積していくことができるという理由から装置構造が簡単であり、このような簡単な構造でも図20に示された画素加算を行うことができるという長所を備えている。
次に、図20に示された本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置において第1構造を用いて画素加算である4画素のうち3画素のみを加算する方法について説明する。なお、ここではG11、G13,G31,G33の4画素のうちG33を除く3つの画素を加算するものとする。
まず、本実施形態の画素加算を行うのは3つの方法(第1、第2、第3の方法)がある。
第1の方法は、水平振り分けスイッチ群53を制御する方法である。具体的には、G33を画素から読み出して垂直信号線にその信号が伝わったときG33に対応するスイッチをONしないようにする。これにより、G33の信号は信号蓄積容量群52の中に伝わらない。したがってG33以外のG11、G13,G31、3つの信号のみが加算される。
第2の方法は、水平マルチプレクサ54で制御する方法である。水平マルチプレクサの内部には信号蓄積容量群52と接続されている水平スイッチが内蔵されている。そこで、G33が蓄積されている水平蓄積容量に接続している水平スイッチのみをONしないようにする。これにより、G33以外のG11、G13,G31、3つの信号のみが加算される。
さらに、第3の方法は、第1、第2の方法を併用する方法である。この理由は、信号振り分けスイッチを制御する方法はG33が蓄積される予定だった容量に実際はどのような信号が蓄積されているか認識することが難しい場合があり、さらには、ここに蓄積された電荷が雑音となる場合もある。したがって、水平マルチプレクサ54を制御する方法、または上述の2つの方法を併用するのがよいと考えられる。なお、R3画素、B3画素の加算方法もほぼ同等な方法(第1〜第3の方法)で行うことができる。なお、第1の構造は、後述する第2の構造と比較すると、構成が簡単で動作がわかりやすいと言う利点がある。
次に、図17を用いて本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置であり、図20に示された画素加算を行う第2構造について説明する。
図17より、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後に転送ゲート502を開けることにより増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は垂直信号線504に選択トランジスタを介して信号電圧として出力される。
すなわち、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後、転送ゲート502を開けることにより増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は垂直信号線51−1、または52−2に信号電圧として出力される。
また、奇数列と偶数列に対応する2本の垂直信号線51−1,51−2が設けられている。さらに、垂直信号線51−1,51−2に対してそれぞれ2つの水平蓄積容量と水平スイッチが設けられている。なお、一つの行に対して合計4つの水平蓄積容量と合計4つの水平スイッチが設けられていることは第3の構造と同じである。また、行方向4画素の加算とともに、列方向の加算は水平マルチプレクサ54で行い、加算された信号は、水平出力線群55に振り分けられる。
また、奇数列と偶数列に対応する2本の垂直信号線51−1,51−2が設けられている。さらに、垂直信号線51−1,51−2に対してそれぞれ2つの水平蓄積容量と水平スイッチが設けられている。なお、一つの行に対して合計4つの水平蓄積容量と合計4つの水平スイッチが設けられていることは第3の構造と同じである。また、行方向4画素の加算とともに、列方向の加算は水平マルチプレクサ54で行い、加算された信号は、水平出力線群55に振り分けられる。
以上説明したように、第2の構造は、隣接する2つの行を同時に選択し、動作させ、2つの垂直信号線を通して信号を読み出せるという理由から、他の構造よりも読み出し速度を向上させることができるという利点を備えている。
また、この構造で3画素の加算を行う方法は第1の構造と同様である。ここではG11、G13,G31,G33の4画素のうちG33を除く3つの画素を加算するものとする。
次に、図20に示された本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置において、第2構造を用いて画素加算である4画素のうち3画素のみを加算を行う方法について説明する。なお、ここではG11、G13,G31,G33の4画素のうちG33を除く3つの画素を加算するものとする。
まず、本実施形態の画素加算を行うのは3つの方法(第1、第2、第3の方法)がある。
第1の方法は、水平振り分けスイッチ群53を制御する方法である。具体的には、G33を画素から読み出して垂直信号線にその信号が伝わったときG33に対応するスイッチをONしないようにする。これにより、G33の信号は信号蓄積容量群52の中に伝わらない。したがって、G33以外のG11、G13,G31、3つの信号のみが加算される。
第2の方法は、水平マルチプレクサ54で制御する方法である。水平マルチプレクサの内部には信号蓄積容量群52と接続している水平スイッチが内蔵されている。そこで、G33が蓄積されている水平蓄積容量に接続している水平スイッチのみをONしないようにする。これにより、G33以外のG11、G13,G31、3つの信号のみが加算される。
さらに、第3の方法は、第1、第2の方法を併用する方法である。その理由は、信号振り分けスイッチを制御する方法はG33が蓄積される予定だった容量に実際はどのような信号が蓄積されているかを認識することが困難である場合があり、さらには、ここに蓄積された電荷が雑音となる場合がある。したがって、水平マルチプレクサ54を制御する方法、または2つの方法を併用するのがよいと考えられる。なお、R3画素、B3画素の加算方法もほぼ同等な方法(第1〜第3の方法)で行うことができる。
以上で説明したように、第2の構造は、垂直信号線を2本持っているので上下隣接2画素の信号を同時に扱えるという理由から、第1の構造よりも読み出し速度を向上させることができるという利点を備えている。
以上、図面(図20、図12、図17)を用いて説明したように、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置は、以下の優れた特性を備えている。
まず、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置はMOS型固体撮像装置であり、CCD型固体撮像装置のような電荷転送による信号読出しを行わないために、画素加算を行わない同士を比較すれば、MOS型固体撮像装置はCCD型固体撮像装置よりも一般的には電荷信号の読出しを高速に行うことができる。
このため、従来技術(特許文献1)に示されたCCD型固体撮像装置では多くの画素を加算させる必要があり、具体的には9画素の加算により読出しの高速化を図っている。
一方、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置は、図20に示したように従来技術(特許文献1)と同様に画素加算により高速化を行うが、MOS型構造であるため、9画素加算よりも少ない画素加算(3画素加算)であっても従来技術(特許文献1)に示されたCCD型固体撮像装置よりも信号電荷の読出しを高速に行うことができる。
一方、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置は、図20に示したように従来技術(特許文献1)と同様に画素加算により高速化を行うが、MOS型構造であるため、9画素加算よりも少ない画素加算(3画素加算)であっても従来技術(特許文献1)に示されたCCD型固体撮像装置よりも信号電荷の読出しを高速に行うことができる。
また、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置は、図20に示したように画素加算として9画素加算よりも少ない画素加算(3画素加算)を行っているために、従来技術(特許文献1)に示された固体撮像装置よりも高い解像度を得ることができる。
したがって、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置によれば、従来技術(特許文献1)よりも解像度特性を向上させるとともに、読出しの高速化を図ることができる。
さらに、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術(特許文献2)に示された固体撮像装置よりも、モアレ(偽解像)の小さい優れた画像特性を得ることができ、水平方向と垂直方向の画素サンプリング密度の不均衡により水平解像度に対し垂直解像度が著しく低下することを防ぐことができ、読み出さない行の画素の信号は廃棄されないため、実質的な感度が低下することを防ぐことができる。
なお、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置は、図12、図17に示す構成において、信号蓄積容量群52の容量の大きさをそれぞれ異ならせることにより、加算するときの重み付けをすることも可能である。
なお、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置は、同じ固体撮像装置で画素加算を行わない場合の画像(以下、第1の画像と呼ぶ)の出力、画素加算を行う場合の画像(以下、第2の画像と呼ぶ)の出力は、第1、第2の画像がともに静止画として出力することができる。なお、一眼レフデジタルスチルカメラは一般的に動画撮影を行わないため、この方法が特に有効である。
また、本実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像の出力、第2の画像をともに動画として出力することもできる。さらには、本実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術と同様に、第1の画像を静止画として、第2の画像を動画としてを出力することができる。さらには、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像を動画として、第2の画像を静止画として出力することもできる。
なお、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置は、一例としてMOS型固体撮像装置を用いたが、CCD型固体撮像装置のように電荷転送により信号読出しを行わない固体撮像装置、例えば、BASIS、CMOSセンサ、SITセンサ、CMD、AMIなど、どのタイプのセンサなどでも実現することができる。
なお、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置は、図20を用いて3画素加算の場合について説明したが、画素数が極めて多い固体撮像装置の場合(例えば、1000万画素以上)には、各色の重心位置を図20と同じような配置関係にして、4画素よりも多くの画素の加算(例えば、5画素加算)することもできる。
(第4の実施形態)
以下、図面を参照しながら本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。
以下、図面を参照しながら本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。
図21は本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法の画素加算パターンを示したイメージ図である。同図に示すように、カラーフィルタ配列は例えばベイヤー配列であり、動作の説明の便宜上、水平両サイドをRフィルタで挟まれるフィルタ画素をGr、水平両サイドをBフィルタで挟まれるフィルタ画素をGbとしているが、実際にはGr、Gbは同色である。
図21に示すように、本実施形態の駆動方法では、G13,G24,G33,G44をG1グループとして4画素すべての加算を行い、B21,B23,B41,B43をBグループとしてB21,B41,B23のみを加算を行い、G31,G42,G51,G62をG2グループとして4画素すべての加算を行い、R32,R52,R34,R54をRグループとしてR52,R34,R54のみを加算する。
その画素加算により、第1のGグループの重心はG1重心11となり、Rグループの重心はR重心2となり、Bグループの重心はB重心3となり、第2のGグループの重心はG2重心4となる。
したがって、図21に示された本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置において画素加算を行った場合、それぞれの重心(G1重心、R重心、B重心、G2重心)を、隣接するそれぞれの重心群に対して、偏ることなく配置させることができる。
さらに、画素加算後のG重心は市松配列になっており、RBの配列も配置の偏りが改善している。
次に、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置の装置構成について説明する。なお、本実施形態に係る固体撮像装置は、後述する第1または第2構造のいずれかを用いることができる。
まず、図13を用いて本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置であり、図21に示された画素加算を行う第1構造について説明する。
図13に示すように、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され、電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後に、転送ゲート502を開けることにより増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は、垂直信号線51に選択トランジスタを介して信号電圧として出力される。
また、行ごとに垂直信号線51が設けられ、1本の垂直信号線51に対して4つの信号蓄積容量群52が設けられている。なお、一つの垂直信号線51からの出力を、この4つの信号蓄積容量群52に信号を振り分けるのは、信号振り分けスイッチ群53である。また、行方向4画素の加算とともに、列方向の加算は水平マルチプレクサ54で行い、加算された信号は水平出力線群55に振り分けられる。この構造からわかるように、垂直方向は4画素分信号を蓄積でき、水平方向は水平マルチプレクサで自由に信号を加算できる。したがって本発明の画素加算が可能になる。
なお、図13には選択トランジスタの記載がないが、第1構造では選択トランジスタを設けることを設けていてもよい。
なお、選択トランジスタを設けていない場合の本実施形態の固体撮像装置について、図23を用いて説明する。第1構造の固体撮像装置は、第1の実施形態の固体撮像装置と共通の構造を有している。図23において、201は光電変換を行なうPD部、202は光電変換後の電荷を蓄積するFD部、203はFD部202に電荷転送を行う転送ゲート、204はFD部202の電荷を掃き出すリセットゲート、205はFD部202の電荷検出を行う画素アンプ、206は画素アンプ205と共にソースフォロワアンプを形成するためのロードトランジスタ、207は光電変換セル部に共通電源電圧信号VDDCELを印加する共通電源線、208は転送ゲート203に読み出し信号READを印加する読み出しパルス線、209はFD部2の電荷を掃き出すリセット信号RESETが印加されるリセットパルス線、210は画素アンプ205で検出された画素信号VOを伝達する出力信号線、211はロードトランジスタ6のゲートにロードゲート信号LGCELを印加するロードゲート線、212はロードトランジスタ6に共通にソース電源電圧信号SCELを印加するソース共通電源線である。
以上説明したように、第1の構造は水平蓄積容量が2倍の数設けられており、一行ごとに順次読み出した信号をこの蓄積容量に順次蓄積していくことができるという理由から装置構造が簡単であり、このような簡単な構造でも図21に示された画素加算を行うことができるという長所を備えている。
なお、G画素4画素の加算は第1、第2の実施形態でのG画素4画素の加算方法と同様にでき、R,B3画素の加算は第3の実施形態でのR,G3画素の加算と同様な方法で実現できる。
以上説明したように、第1の構造は水平蓄積容量が2倍の数設けられており、一行ごとに順次読み出した信号をこの蓄積容量に順次蓄積していくことができるという理由から装置構造が簡単であり、このような簡単な構造でも図21に示された画素加算を行うことができるという長所を備えている。
なお、G画素4画素の加算は第1、第2の実施形態でのG画素4画素の加算方法と同様にでき、R,B3画素の加算は第3の実施形態でのR,G3画素の加算と同様な方法で実現できる。
以上説明したように、第1の構造は、列ごとに設けられた垂直信号線の各々に対して4つの信号蓄積容量が設けられているため、垂直方向4画素の加算が自由にできる。また、装置構造が簡単であり、このような簡単な構造でも図21に示された画素加算を行うことができるという長所を備えている。
次に、図18を用いて本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置であり、図21に示された画素加算を行う第2構造について説明する。
図18に示すように、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後に転送ゲート502を開けることにより増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は、垂直信号線51−1,51−2に選択トランジスタを介して信号電圧として出力される。
また、奇数列と偶数列に対応する2本の垂直信号線51−1,51−2が設けられている。さらに、垂直信号線51−1,51−2に対してそれぞれ2つの水平蓄積容量と水平スイッチが設けられている。なお、一つの行に対して合計4つの水平蓄積容量と合計4つの水平スイッチが設けられていることは第3の構造と同じである。
また、行方向4画素の加算とともに、列方向の加算は水平マルチプレクサ54で行い、加算された信号は水平出力線群55に振り分けられる。
以上説明したように、第2の構造は、隣接する2つの行を同時に選択し、動作させ、2つの垂直信号線を通して信号を読み出せるという理由から、他の構造よりも読み出し速度を向上させることができるという利点を備えている。
また、信号の加算方法は第1の構造と同様であり、ここで、G画素4画素の加算は第1、第2の実施形態でのG画素4画素の加算方法と同様にできる。またR,B3画素の加算は第3の実施形態でのR,G3画素の加算と同様な方法で実現できる。
以上説明したように、第2の構造は、垂直信号線を2本持っているので上下隣接2画素の信号を同時に扱えるという理由から、第1の構造よりも読み出し速度を向上させることができるという利点を備えている。
以上、図面(図21、図13、図18)を用いて説明したように、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、以下の優れた特性を備えている。
まず、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置はMOS型固体撮像装置であり、CCD型固体撮像装置のように電荷転送による信号読出しを行わないために、画素加算を行わない同士を比較すれば、MOS型固体撮像装置はCCD型固体撮像装置よりも一般的には電荷信号の読出しを高速に行うことができる。
このため、従来技術(特許文献1)に示されたCCD型固体撮像装置では多くの画素を加算させる必要があり、具体的には9画素の加算により高速化を図っている。
一方、図21に示したように、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術(特許文献1)と同様に画素加算により高速化を行うが、MOS型構造であるため、9画素加算よりも少ない画素加算(4画素加算と3画素加算)であっても従来技術(特許文献1)に示されたCCD型固体撮像装置よりも信号電荷の読出しを高速に行うことができる。
また、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、図21に示したように画素加算として9画素加算よりも少ない画素加算(4画素加算と3画素加算)を行っているために、従来技術(特許文献1)に示された固体撮像装置よりも高い解像度を得ることができる。
したがって、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術(特許文献1)よりも解像度特性が向上しつつ、読出しを高速に行うことができる。
さらに、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術(特許文献2)に示された固体撮像装置よりも、モアレ(偽解像)の小さい優れた画像特性を得ることができ、水平方向と垂直方向の画素サンプリング密度の不均衡により水平解像度に対し垂直解像度が著しく低下することを防ぐことができ、読み出さない行の画素の信号は廃棄されないため、実質的な感度が低下することを防ぐことができる。
なお、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、図13、図18の構成において、信号蓄積容量群52の容量の大きさをそれぞれ異ならせることにより、加算するときの重み付けをすることも可能である。
なお、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、図13、図18の構成において、信号蓄積容量群52の容量の大きさをそれぞれ異ならせることにより、加算するときの重み付けをすることも可能である。
なお、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、同じ固体撮像装置で画素加算を行わない場合の画像(以下、第1の画像と呼ぶ)の出力、画素加算を行う場合の画像(以下、第2の画像と呼ぶ)の出力は、第1、第2の画像ともに静止画として出力することができる。なお、一眼レフデジタルスチルカメラは一般的に動画撮影を行わないため、この方法が特に有効である。
さらには、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像の出力、第2の画像がともに動画を出力することもできる。さらには、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術と同様に、第1の画像を静止画とし、第2の画像を動画として出力することができる。さらには、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像が動画、第2の画像を静止画として出力することができる。
さらには、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像の出力、第2の画像がともに動画を出力することもできる。さらには、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術と同様に、第1の画像を静止画とし、第2の画像を動画として出力することができる。さらには、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像が動画、第2の画像を静止画として出力することができる。
なお、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、一例としてMOS型固体撮像装置を用いたが、CCD型固体撮像装置のように電荷転送により信号読出しを行わない固体撮像装置、例えば、BASIS、CMOSセンサ、SITセンサ、CMD、AMIなど、どのタイプのセンサなどでも実現することができる。
なお、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置は、図21を用いて4画素加算と3画素加算とを併せて用いる場合について説明したが、画素数が極めて多い固体撮像装置の場合(例えば、1000万画素以上)には、各色の重心位置が図21と同じような配置関係にすることにより、多くの画素の加算(例えば、9画素加算と5画素加算の併用)の場合にも用いることができる。
(第5の実施形態)
以下、図面を参照しながら本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。
以下、図面を参照しながら本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法について説明する。
図22は、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置およびその駆動方法の画素加算パターンを示したイメージ図である。同図に示すように、カラーフィルタ配列は例えばベイヤー配列であり、動作の説明の便宜上、水平両サイドをRフィルタで挟まれるフィルタ画素をGr、水平両サイドをBフィルタで挟まれるフィルタ画素をGbとしているが、Gr、Gbは実際には同色である。
図22より、G11,G22,G31,G42をG1グループとし、4画素すべての加算を行い、B41,B43,B61,B63をBグループとし、B41,B43,B61のみを加算を行い、G13,G24,G33,G44をG2グループとし、4画素すべての加算を行い、R32,R34,R52,R54をRグループとし、R52,R34,R54のみを加算して、画素加算を行う。
すなわち、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置における画素加算は、第2の実施形態に係る固体撮像装置におけるGの4画素加算と、RとBの3画素加算とを併用したものである。
さらに、本実施形態の固体撮像装置は、RとBが3画素加算であるため4画素加算より感度は若干低下するものの、重心位置が正方格子に近いため画像処理が簡単という利点を備えている。さらに、第2の実施形態の特徴である水平解像度が高いという利点も併せて備えている。
次に、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置の装置構成について説明する。なお、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置は、後述する第1または第2構造のいずれかを用いることができる。
まず、図14を用いて、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置であり、図22に示された画素加算を行う第1構造について説明する。
図22に示すように、、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後に転送ゲート502を開けることにより増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は、垂直信号線51に選択トランジスタを介して信号電圧として出力される。
また、行に対応して一つ設けられた垂直信号線51一本に対応して4つの信号蓄積容量群52を設けられている。また、一つの垂直信号線51からの出力を、この4つの信号蓄積容量群52に信号を振り分けるのは、信号振り分けスイッチ群53である。また、行方向4画素の加算とともに、列方向の加算は水平マルチプレクサ54で行い、水平出力線群55に振り分けられる。
なお、図14には選択トランジスタの記載がないが、第1構造では選択トランジスタを設けていてもよい。
なお、選択トランジスタを設けていない場合の本実施形態の固体撮像装置について、図23を用いて説明する。図23は、本発明の第1の実施形態に係るMOS型イメージセンサにおける光電変換セルの回路構成図である。同図において、201は光電変換を行なうPD部、202は光電変換後の電荷を蓄積するFD部、203はFD部202に電荷転送を行う転送ゲート、204はFD部202の電荷を掃き出すリセットゲート、205はFD部202の電荷検出を行う画素アンプ、206は画素アンプ205と共にソースフォロワアンプを形成するためのロードトランジスタ、207は光電変換セル部に共通電源電圧信号VDDCELを印加する共通電源線、208は転送ゲート203に読み出し信号READを印加する読み出しパルス線、209はFD部2の電荷を掃き出すリセット信号RESETが印加されるリセットパルス線、210は画素アンプ205で検出された画素信号VOを伝達する出力信号線、211はロードトランジスタ6のゲートにロードゲート信号LGCELを印加するロードゲート線、212はロードトランジスタ6に共通にソース電源電圧信号SCELを印加するソース共通電源線である。
また、図14より、一つの行に対応して一つの垂直信号線51が設けられており、この出力線1本に対して4つの信号蓄積容量群52が設けられている。また、一つの垂直信号線51からの出力を、この4つの信号蓄積容量群52に信号を振り分けるのは、信号振り分けスイッチ群53である。また、行方向4画素の加算とともに、列方向の加算は水平マルチプレクサ54で行い、加算された信号は、水平出力線群55に振り分けられる。この構造からわかるように、垂直方向は4画素分信号を蓄積でき、水平方向は水平マルチプレクサで自由に信号を加算できる。したがって本実施形態の画素加算が可能になる。
以上説明したように、第1の構造は水平蓄積容量が2倍の数設けられており、一行ごとに順次読み出した信号をこの蓄積容量に順次蓄積していくことができるという理由から装置構造が簡単であり、このような簡単な構造でも図22に示された画素加算を行うことができるという長所を備えている。
ここで、G画素4画素の加算は、第1、第2の実施形態でのG画素4画素の加算方法と同様に行う。またR,B3画素の加算は第3の実施形態でのR,G3画素の加算と同様の方法で実現できる。
次に、図19を用いて、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置であり、図22に示された画素加算を行う第2構造について説明する。
図19に示すように、固体撮像装置は増幅型固体撮像装置であり、シリコン基板内部に設けられたフォトダイオード501に入射した光は光電変換され電荷として蓄積される。
また、電荷は、あらかじめ決められた時間蓄積された後に転送ゲート502を開けることにより増幅トランジスタ503のゲート電極に転送され、増幅された信号は垂直信号線51−1,51−2に選択トランジスタを介して信号電圧として出力される。
また、奇数列と偶数列に対応する2本の垂直信号線51−1,51−2が設けられている。さらに、垂直信号線51−1,51−2に対してそれぞれ2つの水平蓄積容量と水平スイッチが設けられている。なお、一つの行に対して合計4つの水平蓄積容量と合計4つの水平スイッチが設けられていることは第3の構造と同じである。
また、行方向4画素の加算とともに、列方向の加算は水平マルチプレクサ54で行い、水平出力線群55に振り分られる。
信号の加算方法は第1の構造と同様であり、ここで、G画素4画素の加算は第1、第2の実施形態でのG画素4画素の加算方法と同様にできる。また、R,B3画素の加算は第3の実施形態でのR,G3画素の加算と同様な方法で実現できる。
以上説明したように、第2の構造は、隣接する2つの行を同時に選択し、動作させ、2つの垂直信号線を通して信号を読み出せる。そのため、上下に隣接する2つの画素の信号を同時に扱えるという理由から、他の構造よりも読み出し速度を向上させることができるという利点を備えている。
以上、図面(図22、図14、図19)を用いて説明したように、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置は、以下の優れた特性を備えている。
まず、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置はMOS型固体撮像装置であり、CCD型固体撮像装置のような電荷転送による信号読出しを行わないため、画素加算を行わない同士を比較すれば、MOS型固体撮像装置はCCD型固体撮像装置よりも一般的には電荷信号の読出しを高速に行うことができる。
このため、従来技術(特許文献1)に示されたCCD型固体撮像装置では多くの画素を加算させる必要があり、具体的には、9画素の加算により高速化を図っている。
一方、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置は、図22に示したように従来技術(特許文献1)と同様に画素加算により高速化を行うが、MOS型構造であるため、9画素加算よりも少ない画素加算(4画素加算と一部を3画素加算)であっても従来技術(特許文献1)に示されたCCD型固体撮像装置よりも信号電荷の読出しを高速に行うことができる。
また、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置は、図22に示したように画素加算として9画素加算よりも少ない画素加算(4画素加算と3画素加算の併用)を行っているために、従来技術(特許文献1)に示された固体撮像装置よりも高い解像度を得ることができる。
したがって、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置では、従来技術(特許文献1)よりも解像度特性が向上し、且つ読出し速度が増大している。
さらに、本実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術(特許文献2)に示された固体撮像装置よりも、モアレ(偽解像)の小さい優れた画像特性を得ることができ、水平方向と垂直方向の画素サンプリング密度の不均衡により水平解像度に対し垂直解像度が著しく低下することを防ぐことができ、読み出さない行の画素の信号は廃棄されないため、実質的な感度が低下することを防ぐことができる。
なお、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置においては、図14、図19の構成において、信号蓄積容量群52の容量の大きさをそれぞれ異ならせることにより、加算するときの重み付けをすることも可能である。
なお、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置は、同じ固体撮像装置で画素加算を行わない場合の画像(以下、第1の画像と呼ぶ)、および画素加算を行う場合の画像(以下、第2の画像と呼ぶ)をともに静止画として出力することができる。なお、一眼レフデジタルスチルカメラは一般的に動画撮影を行わないため、この方法が特に有効である。
さらには、本実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像、第2の画像をともに動画として出力することもできる。さらには、本実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術と同様に、第1の画像を静止画として、第2の画像を動画として出力することができる。また、本実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像を動画として、第2の画像を静止画として出力することもできる。
さらには、本実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像、第2の画像をともに動画として出力することもできる。さらには、本実施形態に係る固体撮像装置は、従来技術と同様に、第1の画像を静止画として、第2の画像を動画として出力することができる。また、本実施形態に係る固体撮像装置は、第1の画像を動画として、第2の画像を静止画として出力することもできる。
なお、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置の一例としてMOS型固体撮像装置を示したが、CCD型固体撮像装置のように電荷転送により信号読出しを行わない固体撮像装置、例えば、BASIS、CMOSセンサ、SITセンサ、CMD、AMIなど、どのタイプのセンサでも本実施形態の駆動方法を実現することができる。
なお、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置は、図22を用いて4画素加算と3画素加算とを併用する場合について説明したが、画素数が極めて多い固体撮像装置の場合(例えば、1000万画素以上)には、各色の重心位置が図22と同じような配置関係にすることにより、さらに多くの画素の加算(例えば、9画素加算と5画素加算の併用)の場合にも用いることができる。
(第6の実施形態)
図24は、本発明の第6の実施形態に係る撮像装置を示す装置構成図である。なお、本実施形態に搭載される固体撮像装置は、本発明の第1〜第5の実施形態に示された固体撮像装置のいずれも用いることができる。
図24は、本発明の第6の実施形態に係る撮像装置を示す装置構成図である。なお、本実施形態に搭載される固体撮像装置は、本発明の第1〜第5の実施形態に示された固体撮像装置のいずれも用いることができる。
本実施形態の撮像装置は、光電変換を行う固体撮像装置と、外光を通す絞り羽31と、外光を集光するレンズ32と、レンズ32と固体撮像装置との間に配置されたフィルター群33と、タイミングジェネレータ(TG)38と、固体撮像装置の出力を受けるタイミング調整部37と、AGC(Auto Gain Control)40と、A/D変換器41と、カメラDSP(Digital Signal Processor)42と、DRAM43と、MPU44と、発振器39と、画像記録媒体48と、ビューファインダ47と、ビデオエンコーダ45と、CRT46とを備えている。固体撮像装置は、第1〜第5の実施形態の固体撮像装置のいずれか1つであり、撮像領域34と、Xアドレス選択部36と、Yアドレス選択部35とを有している。
本実施形態の撮像装置では、被写体からの光が絞り羽31を通り、レンズ32によりカラーフィルターを有した受光部が形成された領域(以下、撮像領域と呼ぶ)34へ結像されることで光電変換が行われる。ここで、フィルター群33は、モアレ等の発生を防ぐために、光の高域をカットする光学ローパスフィルター、色補正フィルター、及び赤外線カット用のフィルター等が組み合わされたものである。
撮像領域34で光電変換された光信号は、タイミングジェネレータ(TG)38からの信号によりXアドレス選択部36及びYアドレス選択部35で2次元で画素位置選択が行われ、タイミング調整部37に読み出される。このタイミング調整部37では撮像領域34からの出力(1〜複数本)のタイミング調整が行われる。そして、光電信号はAGC40により電圧を制御され、A/D変換器41でデジタル信号に変換される。
カメラDSP42は、変換されたデジタル信号に対し、動画または静止画の画像処理を行う。また、MPU(Micro Processing Unit)44は、この画像処理の際に使われるパラメータをカメラDSP42に設定したり、AE(自動露光),AF(自動焦点制御)処理を行ったりする。なお、画像処理する際の一時的な記憶領域としてDRAM43が用いられ、不揮発性の記憶領域として画像記録媒体48が用いられる。
この画像処理後の表示を行うためにビデオエンコーダ45、及びCRT46等が設けられている。また、ビューファインダ47は、例えぼLCDのようなもので画像記録媒体48に記憶する前に被写体を確認したりするために用いられる。これらの出力装置はCRT46及びビューファインダ47に限らずプリンタ等を用いてもよい。
本実施形態の撮像装置では、撮像領域34において、加算読み出しモードと全画素読み出しモードを切り替える場合には、MPU44がモードを判断し、出力装置(CRT46、ビューファインダ47)、力メラDSP42、画像記録媒体48、AGC40、TG38等にそれぞれのモードに対応した信号を送る構成を取る。ここでTG38には動画・静止画により出力信号のタイミングを切り替える。また、カメラDSP42においては、どちらのモードでも信号出力の順序を同じにできるので、モード別に処理そのものを変える必要がない。
なお、図24の例ではタイミングジェネレータ(TG)38、タイミング調整部37、AGC40、A/D変換器41、カメラDSP42、MPU44、カメラDSP42、DRAM43、ビデオエンコーダ45が固体撮像装置外にある、すなわち同一チップ外にあるが、それぞれが固体撮像装置内にある、すなわち同一チップ内にあってもよい。
−比較例−
図9を用いて本発明に係る比較例について説明する。
図9を用いて本発明に係る比較例について説明する。
図9に示す例では、上下に隣接する4画素を加算する。G11,G13,G31、G33を加算するとその重心はG1重心101となる。R12,R14,R32,R34を加算するとその重心はR重心102となる。B21,B23,B41,B43を加算すると、その重心はB重心103となる。G22,G24,G42,G44を加算するとその重心はG2重心104となる。すなわち、本比較例のように4画素加算をした場合には、重心101、102、103、104がそれぞれ隣接する重心101’,102’,103’,104’から離れており、それぞれの重心が局在するため、解像度が出ない、モアレが出る等の問題が出てくる。それに比べて本発明の固体撮像装置によれば、各色の画素を加算した後の重心が偏在しないため、画素加算を行っても十分に高い解像度が得られ、モアレなどの発生を抑えることができる。
本発明に係る固体撮像装置は、一眼レフデジタルスチルカメラやビデオカメラなどに用いられる。
1、11 G1の重心
2、12、22 Rの重心
3、13、23 Bの重心
4、14、104 画素加算(加算)後のG(緑)2の重心
5 信号振り分けトランジスタ群
6−1−1,6−1−2,・・・・6−n−1,6−n−2 信号蓄積容量
7−1−1,7−1−2,・・・・7−n−1,7−n−2 水平スイッチ
8−1,8−2 水平信号線
31 絞り羽
32 レンズ
33 フィルター群
34 撮像領域
35 Yアドレス選択部
36 Xアドレス選択部
37 タイミング調整部
38 TG
39 発振器
40 AGC
41 A/D変換器
42 カメラDSP
43 DRAM
44 MPU
45 ビデオエンコーダ
46 CRT
47 ビューファインダ
48 画像記録媒体
51、51−1,51−2 垂直信号線
52、 信号蓄積容量群
53 信号振り分けスイッチ群
54 水平マルチプレクサ
55 水平出力群
201 PD部
202 FD部
203 転送ゲート
204 リセットゲート
205 画素アンプ
206 ロードトランジスタ
207 共通電源線
208 パルス線
209 リセットパルス線
210 出力信号線
211 ロードゲート線
501 フォトダイオード
502 転送ゲート
503 増幅トランジスタ
504 垂直信号線
505 選択トランジスタ
506 リセットトランジスタ
2、12、22 Rの重心
3、13、23 Bの重心
4、14、104 画素加算(加算)後のG(緑)2の重心
5 信号振り分けトランジスタ群
6−1−1,6−1−2,・・・・6−n−1,6−n−2 信号蓄積容量
7−1−1,7−1−2,・・・・7−n−1,7−n−2 水平スイッチ
8−1,8−2 水平信号線
31 絞り羽
32 レンズ
33 フィルター群
34 撮像領域
35 Yアドレス選択部
36 Xアドレス選択部
37 タイミング調整部
38 TG
39 発振器
40 AGC
41 A/D変換器
42 カメラDSP
43 DRAM
44 MPU
45 ビデオエンコーダ
46 CRT
47 ビューファインダ
48 画像記録媒体
51、51−1,51−2 垂直信号線
52、 信号蓄積容量群
53 信号振り分けスイッチ群
54 水平マルチプレクサ
55 水平出力群
201 PD部
202 FD部
203 転送ゲート
204 リセットゲート
205 画素アンプ
206 ロードトランジスタ
207 共通電源線
208 パルス線
209 リセットパルス線
210 出力信号線
211 ロードゲート線
501 フォトダイオード
502 転送ゲート
503 増幅トランジスタ
504 垂直信号線
505 選択トランジスタ
506 リセットトランジスタ
Claims (14)
- 半導体基板上に行列状に配置した受光部を含む複数の画素を有し、
緑、赤、青の信号を取り出す前記画素をそれぞれ緑画素、赤画素、青画素として、
2つの前記緑画素と前記赤画素と前記青画素とがベイヤー配列で配置され、同色の前記画素からの信号同士を加算する駆動モードを備えた固体撮像装置であって、
前記緑画素は水平2画素、垂直4画素が緑画素加算エリアの基本単位であり、
前記青画素、赤画素は水平3画素、垂直3画素がそれぞれ青画素加算エリア、赤画素加算エリアの基本単位であり、
前記緑画素加算エリア内の前記緑画素からの信号同士、前記青画素加算エリア内の前記青画素からの信号同士、前記赤画素加算エリア内の前記赤画素からの信号同士を加算することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記緑画素加算エリアは第1緑画素加算エリアと第2緑画素加算エリアを備え、
前記第1緑画素加算エリアと第2緑加算エリアは水平方向に2画素ずらして配置されることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - ぞれぞれの前記第1緑画素加算エリアおよび前記第2緑画素加算エリアは、前記青画素加算エリアおよび前記赤画素加算エリアと重なるように配置されていることを特徴とする請求項2記載の固体撮像装置。
- 前記第1緑画素加算エリアは前記青画素加算エリアおよび前記赤画素加算エリアと重なるように配置されており、
前記第2緑画素加算エリアは前記赤画素加算エリアと重なるように配置されていることを特徴とする請求項2記載の固体撮像装置。 - 前記緑画素加算エリアは第1緑加算エリアと第2緑画素加算エリアを備え、
前記第1緑加算エリアと第2緑加算エリアは水平方向に同じ位置に配置されることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第1緑画素加算エリアは前記青画素加算エリアおよび前記赤画素加算エリアと重なるように配置されており、
前記第2緑画素加算エリアは前記青画素加算エリアと重なるように配置されていることを特徴とする請求項5記載の固体撮像装置。 - 半導体基板上に行列状に配置した受光部を含む複数の画素を有し、
緑、赤、青の信号を取り出す前記画素をそれぞれ緑画素、赤画素、青画素として、
2つの前記緑画素と前記赤画素と前記青画素とがベイヤー配列で配置され、同色の前記画素からの信号同士を加算する駆動モードを備えた固体撮像装置であって、
前記緑画素は水平2画素、垂直4画素が緑画素加算エリアの基本単位であり、
前記青画素、赤画素は水平3画素、垂直3画素がそれぞれ青画素加算エリア、赤画素加算エリアの基本単位であり、
前記緑画素加算エリア内の前記緑画素からの信号同士を加算し、前記青画素加算エリア内の一部の前記青画素からの信号同士を加算し、前記赤画素加算エリア内の一部の前記赤画素からの信号同士を加算することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記緑画素加算エリアは第1緑加算エリアと第2緑画素加算エリアを備え、
前記第1緑画素加算エリアと第2緑加算エリアは水平方向に2画素ずらして配置されることを特徴とする請求項7記載の固体撮像装置。 - ぞれぞれの前記第1緑画素加算エリアおよび前記第2緑画素加算エリアは、前記青画素加算エリアおよび前記赤画素加算エリアと重なるように配置されていることを特徴とする請求項8記載の固体撮像装置。
- 前記緑の画素加算エリアは第1緑加算エリアと第2緑画素加算エリアを備え、
前記第1緑加算エリアと第2緑加算エリアは水平方向に同じ位置に配置されることを特徴とする請求項7記載の固体撮像装置。 - ぞれぞれの前記第1緑画素加算エリアおよび前記第2緑画素加算エリアは、前記青画素加算エリアおよび前記赤画素加算エリアと重なるように配置されていることを特徴とする請求項10記載の固体撮像装置。
- 前記固体撮像装置は、前記受光部と、転送手段と、増幅手段と、前記増幅手段からの信号を伝える垂直信号線と備え、
前記垂直信号線の後段には4つの信号蓄積手段を備えたことを特徴とする請求項1〜11に記載の固体撮像装置。 - 前記固体撮像装置は、前記受光部と、転送手段と、増幅手段と、前記増幅手段からの信号を伝える2本の垂直信号線と備え、
前記垂直信号線は奇数列と偶数列に対応し、さらに、ぞれぞれの前記垂直信号線に対して2つの信号蓄積手段を備えたことを特徴とする請求項1〜11に記載の固体撮像装置 - それぞれの前記垂直信号線に対して前記信号蓄積手段の後段に2つの選択手段が設けられていることを特徴とする請求項13記載の固体撮像装置。
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