JP2008093970A - 微細形状転写用金型および微細形状転写シートの製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】微細凹凸形状転写用金型から、該細凹凸形状が転写され賦形成形された樹脂フィルム等のシート状基材を、金型から容易に離型できる微細形状転写シートの製造装置の提供。
【解決手段】金型賦形面の周縁部付近での加圧力を低下させまたは／および転写率を低下させることにより、金型賦形面の端部においてシート状基材４と金型３の密着力を低減させ、シート状基材の金型からの離型の開始を容易にさせるようにしたものであり、賦形面内の周縁部に相当する部分の金型厚さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次小さくなっている金型２１あるいは賦形面内の周縁部に相当する部分に形成された金型の微細凹凸形状の高さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次低くなっている金型２２、あるいは、金型と加圧板の距離が最周縁部方向に向かって漸次大きくなるように構成されているか、金型と加圧板の間に小さな中間板が配設されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、微細形状転写用金型と微細形状転写シートの製造装置に関する。

更に詳しくは、微細凹凸形状転写用金型から該微細形状が転写され賦形成形された樹脂フィルムなどのシート状の基材を、該金型から容易に離型することを可能にする微細形状転写用金型と、該金型を用いた微細形状転写シートの製造装置に関するものである。

導光板、光拡散板、レンズ等の光学フィルムを製造する手段として、フィルムに表面に金型表面に設けた微細凹凸形状を転写する方法が従来から知られており、例えば、ロール状の長尺のフィルムに対して、間欠的に微細凹凸形状を形成する装置及び方法が提案されている（特許文献１、特許文献２）。

これらの装置および方法では、巻出ロールからプレス装置内へと供給したフィルムを微細凹凸形状付き金型にプレスして該微細凹凸形状を転写することにより、フィルム表面に微細凹凸形状を形成する。プレスして転写させるときは、一般に金型をフィルムのガラス転移点以上の温度まで加熱しておく。転写完了後は、プレスを継続しながら、金型を一定条件下で冷却する。フィルムのガラス転移点以下まで冷却が進めば、プレス圧力を開放するとともに、フィルムに一定の張力を付加するだけで金型より離型する。

しかし、この離型を行う際に、適用する樹脂の特性や、金型表面の離型材の消耗により、金型にフィルムが貼り付いたまま剥がれないという問題が発生することがある。さらに、無理に引き剥がすと、フィルムを破損したり、フィルム転写面に傷のような離型跡を残すことや、金型を破損するというような問題が発生する。

離型性を容易にするために、あらかじめ金型の微細凹凸面側を曲面（反り）を呈して形成せしめ、金型への圧力を開放すると同時に、成形体自身が平坦に復元しようとする弾性力により自動的に離型させるという方法が提案されており、具体的には、Ｓｉウエハー等の基板とスタンパー（型）間の離型に関して、微細凹凸形状を崩すことなく高精度かつ容易に離型させる方法として、弾性体を介してスタンパーと支持体を接続し、支持体を引き上げたときの弾性体の回復力で離型させること、また、スタンパーを湾曲させ、転写された基板の復元力で離型を容易にさせることが提案されている（特許文献３）。

しかし、かかる特許文献３に記載された方法では、適用ができる成形体が弾性特性により限定され、例えば、厚さ０．３ｍｍ以下などの非常に薄い樹脂フィルムでは弾性力が不十分であるために採用することは困難なものであった。
特開２００５−１９９４５５号公報 特開２００５−３１０２８６号公報 特開２００４−２８８８４５号公報

本発明の目的は、上述したような点に鑑み、微細凹凸形状転写用金型から、該微細形状が転写され賦形成形された樹脂フィルムなどのシート状の基材を、該金型から容易に離型することを可能にして、微細凹凸形状が、相当の賦形面積がある場合でも均一かつ精度良く転写された優れた微細凹凸形状転写シート状基材を製造することのできる微細形状転写用金型と微細形状転写シートの製造装置を提供することにある。

特に、図４に示した離型開始時の状態を示したモデルのように、厚さが数１０μｍ以上かつ１ｍｍ以下などの非常に薄くかつ転写面積が広く、可撓性も高い樹脂フィルムなどのシート状物４を、転写後に金型３から離型するに際しては、特に、金型の端部からスタートする離型の開始時において、離型に要する力Ｆが過度にかからないようにすることが重要であり、もし、該力Ｆが過度にかかるようであれば、せっかく成形した微細凹凸形状に、その時点で、変形などのダメージを与えたり、シート状物自体を破損してしまうことなどの事態も起き得るのである。

上述した目的を達成する本発明の微細形状転写用金型は、以下の（１）の構成からなる。

（１）シート状の基材表面に微細凹凸形状を賦形するための微細凹凸形状転写用金型において、賦形面内の周縁部に相当する部分の金型厚さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次小さくなっていることを特徴とする微細形状転写用金型。

また、かかる本発明の微細形状転写用金型において、好ましくは、以下の（２）の具体的構成からなるものである。

（２）賦形面の形状が実質的に矩形状であり、該矩形状の少なくとも１辺の部分において、該部分の金型厚さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次小さくなっていることを特徴とする上記（１）記載の微細形状転写用金型。

また、上述した目的を達成する本発明の他の微細形状転写用金型は、以下の（３）の構成からなる。

（３）シート状の基材表面に微細凹凸形状を賦形するための微細凹凸形状転写用金型において、賦形面内の周縁部に相当する部分に形成された金型の微細凹凸形状の高さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次低くなっていることを特徴とする微細形状転写用金型。

また、かかる本発明の他の微細形状転写用金型において、好ましくは、以下の（４）の具体的構成からなるものである。

（４）賦形面の形状が実質的に矩形状であり、該矩形状の少なくとも１辺の部分において、該部分の金型の微細凹凸形状の高さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次低くなっていることを特徴とする上記（３）記載の微細形状転写用金型。

また、上述した目的を達成する本発明の微細形状転写シートの製造装置は、以下の（５）の構成からなる。

（５）シート状の基材表面に微細凹凸形状を備えた金型によって前記微細凹凸形状を間欠的に賦形する微細形状転写シートの製造装置において、前記金型と該金型を支持する加圧板が接触する面の周縁部で、該金型と該加圧板の距離が最周縁部方向に向かって漸次大きくなるように構成されてなることを特徴とする微細形状転写シートの製造装置。

また、上述した目的を達成する本発明の他の微細形状転写シートの製造装置は、以下の（６）の構成からなる。

（６）シート状の基材表面に微細凹凸形状を備えた金型によって前記微細凹凸形状を間欠的に賦形する微細形状転写シートの製造装置において、前記金型と前記加圧板の間に金型よりも小さい面積の中間板が配設されてなることを特徴とする微細形状転写シートの製造装置。

また、上記（６）の本発明の微細形状転写シートの製造装置において、好ましくは、以下の（７）または（８）の具体的構成からなるものである。

（７）前記中間板が、前記金型よりも圧縮弾性率の低い材質のもので形成されてなることを特徴とする上記（６）記載の微細形状転写シートの製造装置。

（８）前記中間板の圧縮弾性率が、１．０×１０⁶ 〜２００×１０⁹ Ｐａの範囲であることを特徴とする上記（６）または（７）記載の微細形状転写シートの製造装置。

請求項１、３にかかる本発明の微細形状転写用金型、また、請求項５、６にかかる本発明の微細形状転写シートの製造装置によれば、金型賦形面の周縁部付近での加圧力を低下させまたは／および転写率を低下させることにより、金型賦形面の端部においてシート状基材と金型の密着力を低減させ、離型の開始を容易にさせることができる。

本発明によれば、賦形面の周縁部の加圧力が弱い部分は、最終製品としての微細形状転写シートの範囲からは除外されることになるが、最終製品部分の微細形状は精度の良い優れたものとして製造することができる。

以下、更に詳しく本発明について、説明する。
本発明の微細形状転写用金型、微細形状転写シートの製造装置における技術思想は、金型賦形面の周縁部付近での加圧力を低下させまたは／および転写率を低下させることにより、金型賦形面の端部においてシート状基材と金型の密着力を低減させ、その結果として、シート状基材の金型からの離型の開始を容易にさせるように構成したものである。ここで、シート状基材の金型からの離型の開始を容易にさせるとは、具体的現象としては、より少ない力でスムースに金型からのシート状基材の離型を進めていくこと、特に、賦形面の周縁部付近での離型スタート初期時での離型を進めていくことができるようにすることである。本発明において、「転写率」とは「シート状基材表面に転写された微細形状の凹凸高さ（深さ）÷金型における微細形状の凹凸高さ（深さ）×１００」で求められる値であり、微細形状の転写度合いを示すものである。

そのような構成として、本発明では、特に金型回りの形状・形態等を以下のような特異なものにした。

まず、本発明の第一である微細形状転写用金型は、図１の（ａ）にモデル的に示したように、シート状の基材４表面に微細凹凸形状を賦形するための微細凹凸形状転写用金型３において、賦形面内の周縁部に相当する部分の金型厚さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次小さくなっている周縁部テーパー加工金型２１である。このようにすることにより、周縁部での加圧力が低くなり、その部分での転写率が小さくなる。すなわち、フィルムの微細形状凹凸への入り込みが小さくなり、フィルムと金型の密着が低減され、離型をスムーズに開始することが可能となる。いったん、離型が開始されれば、離型点で屈曲しているフィルムの復元力等により離型は安定して行われる。また、最周縁部においては、エッジでの応力集中等により加圧力が高くなる場合があっても、成型時にフィルムが金型側周面に回り込むことがなく、最周縁部での密着を低減でき離型をスムーズに開始することができる。図１において、１１は微細凹部形状、１２は微細凸部形状である。

ここで、「賦形面の最周縁部」とは、金型の最端部、すなわち側周面に相当する部分のことをいい、「賦形面内の周縁部に相当する部分」とは、最周縁部を含む近傍範囲で賦形面内側のことをいう。

また、「漸次小さくなっている」とは、厳密に、最周縁部に向かい整然と均斉な状態で小さくなっているものである必要は必ずしもなく、該部分を全体的に見て、金型厚さが最周縁部方向に向かうにつれ小さくなっていると認識できる程度であればよく、実質的に多少の階段状や多段状を呈しているものなどでもよい。

また、テーパー加工がされている周縁部は、全周縁部に対応して設けられている必要はなく、通常、離型力は特定な一方向から加えられるものなので、その離型力の加わる方向に対向している部分においてテーパー加工部分が設けられていればよい。通常は、賦形面の形状は、長方形状などの実質的に矩形状である場合が一般的であり、該矩形状の場合、少なくとも該矩形の１辺の部分において、該部分の金型厚さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次小さくなっているように構成すればよい。

本発明の第二である微細形状転写用金型は、図１の（ｂ）にモデル的に示したように、シート状の基材４表面に微細凹凸形状を賦形するための微細凹凸形状転写用金型３において、賦形面内の周縁部に相当する部分に形成された金型の微細凹凸形状の高さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次低くなっている（小さくなっている）周縁部低溝形状金型２２である。このようにすることにより、転写率は１００％でも周縁部でフィルムの微細形状凹凸への入り込みそのものが小さくなり、フィルムと金型の密着が低減され、離型をスムーズに開始することが可能となる。いったん離型が開始されれば、離型点で屈曲しているフィルムの復元力等により離型は安定して行われる。

また、低溝形状にされている周縁部は、全周縁部に対応して設けられている必要はなく、通常、離型力は特定な一方向から加えられるものなので、その離型力の加わる方向に対向している部分において低溝形状部分が設けられていればよい。通常は、賦形面の形状は、長方形状などの実質的に矩形状である場合が一般的であり、該矩形状の場合、少なくとも該矩形の１辺の部分において、該部分の金型の微細凹凸形状の高さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次低くなっているように構成すればよい。

また、「漸次小さくなっている」とは、厳密に、最周縁部に向かい整然と均斉な状態で小さくなっているものである必要は必ずしもなく、該部分を全体的に見て、凹凸形状の高さが最周縁部方向に向かうにつれ小さくなっていると認識できる程度であればよく、実質的に多少の階段状や多段状を呈しているものなどでもよいものである。

また、本発明の第三である微細形状転写シートの製造装置は、図２にモデル的に示したように、シート状の基材４の表面に微細凹凸形状を備えた金型３によって微細凹凸形状を間欠的に賦形する微細形状転写シートの製造装置において、金型３と該金型を支持する加圧板が周縁部段付き加圧プレート８とされていて、該周縁部段付き加圧プレート８が接触する面の周縁部で、該金型と該加圧板の距離が最周縁部方向に向かって漸次大きくなっていく部分１３が形成されるように構成したものである。このようにすることにより、プレス時の周縁部における金型の変形により加圧力が小さくなること、または金型と上部加圧板との距離が大きくなっていくことになり、従って、周縁部での加圧力・転写率は小さいものとなり、離型の開始をスムーズに行うことができる。図２において、１は微細形状転写シートの製造装置、２はプレス装置、３は金型、５は上温調プレート、６は下温調プレートである。

また、本発明の第四である微細形状転写シートの製造装置は、図３にモデル的に示したように、シート状の基材４の表面に微細凹凸形状を備えた金型３によって微細凹凸形状を間欠的に賦形する微細形状転写シートの製造装置において、金型３と加圧板の間に金型３よりも小さい面積の中間板７が配設されてなるものである。このようにすることにより、プレス時の周縁部における金型の変形により加圧力が小さくなること、または金型と上部加圧板との距離が大きくなっていくことになり、従って、周縁部で加圧力が小さくなる部分１４が形成され、該部分においての加圧力・転写率は小さいものとなり、ひいては、金型とシート状の基材との密着力が弱くなり、離型の開始をスムーズに行うことができる。

この第四の発明の微細形状転写シートの製造装置においては、加圧力を金型に正確に伝えることができるように、該中間板７は、金型３よりも圧縮弾性率の低い材質のもので形成されてなることが好ましい。中間板の圧縮弾性率は金型材質にもよるが、プレス成形時の圧力において、１．０×１０⁶ 〜２００×１０⁹ Ｐａの範囲であることが好ましく、さらに好ましくは１．０×１０⁶ 〜２００×１０⁶ Ｐａ程度が良い。材質の好ましい形態としては、金型をステンレスや銅系の材質で製作した場合は、中間板としてシリコーン系やフッ素系等のゴム材質を用いることが良く、温度条件によっては、ＥＰＤＭ（エチレン・プロピレン・ジエン）ゴム等を用いてもよい。

本発明を実施する場合、上述した第一から第四の各発明を適宜に組み合わせて使用することも可能であり、そのような組合せ使用によれば、周縁部におけるより繊細な加圧力・転写率の漸減状態を実現できる。

また、フィルムを離型する方法としては、手動でもよいし、ロール等に抱きつかせて離型してもよい。また、クリップ等で端部を把持し張力をかけて離型することや、フィルムと金型が離型する境界にエアーを吹き付ける等をしてもよい。

上述した本発明のそれぞれにおいて、加圧力・転写率を小さくすることが有効な面積は、本発明者らの各種知見によれば、一般の光学フィルムの製造の場合などでは、全最周縁部面積に対して１％〜１５％程度とすることが好ましく、より好ましくは、３％〜１０％程度である。

また、本発明の金型、装置は、賦形面積によらず効果を発揮するものであるが、中でも好ましくは、近年、光学フィルムの用途として携帯電話、パソコン、テレビなどがあるが、これらの携帯電話用などの比較的小さく非常に薄いような光学フィルム、あるいは大型テレビ用などの特に大きくかつ全面で非常に高精度かつ均一な特性の要求される光学フィルムの製造などにおいてそれぞれに最適なものであり、具体的には、賦形面積が画面サイズで１インチ〜１００インチ向けなどの光学フィルムの製造に好適なものである。

本発明に用いられる金型３について説明する。金型の転写面は、微細なパターンを有するものであり、金型に該パターンを形成する方法としては、機械加工、レーザー加工、フォトリソグラフィ、電子線描画方法などがある。金型の材質としては、所望のプレス時の強度、パターン加工精度、フィルムの離型性が得られるもであればよく、例えば、ステンレス、ニッケル、銅等を含んだ金属材料、シリコーン、ガラス、セラミックス、樹脂、もしくは、これらの表面に離型性を向上させるための有機膜を皮膜させたものが好ましく用いられる。該金型の微細なパターンは、シート表面に付与したい微細な凹凸パターンに対応して形成されているものである。

また、本発明に適用されるフィルムなどのシート状の基材の好ましい厚さ（厚み、膜厚）としては０．０１〜５ｍｍの範囲であり、より好ましくは、０．０１〜１ｍｍの範囲内にあることである。０．０１ｍｍ未満では、成形するのに十分な厚みがない点で難しく、また、５ｍｍよりも大きいものでは剛性が大きく、金型から剥がしていくという本発明の企図する離型方法の実現がむずかしいのである。

本発明に適用されるシート状の基材は、代表的には、熱可塑性樹脂を主たる成分としたフィルムであり、より具体的には、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２、６−ナフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリエステルアミド系樹脂、ポリエーテルエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、あるいはポリ塩化ビニル系樹脂などからなるものである。

これらの中で共重合するモノマー種が多様であり、かつ、そのことによって材料物性の調整が容易であるなどの理由から、特にポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂またはこれらの混合物から選ばれる熱可塑性樹脂から主として形成されていることが好ましく、上述の熱可塑性樹脂が５０重量％以上からなることがさらに好ましい。

また、該フィルムは、上述の樹脂の単体からなるフィルムであってもかまわないし、複数の樹脂層からなる積層体であってもよい。

以下の（１）〜（８）（実施例１）、（１）〜（１０）（実施例２）の仕様、条件で微細形状転写シートを製造した。

実施例１
（１）金型サイズ：５００ｍｍ（フィルム幅方向）×８００ｍｍ（フィルム走行（送り）方向）×２０ｍｍ（厚み）。

（２）金型材質：銅。
（３）微細形状：ピッチ５０μｍ、凸部幅２５μｍ、凸部高さ５０μｍで、フィルム走行方向（送り方向）から見たときの断面が矩形形状のものである。

（４）金型周縁部：図１（ａ）にモデルを示したものであり、最外周より２０ｍｍ内側の線から最外周に向かって、金型厚さが１００μｍ薄いもの（最外周位置）になっていくテーパー処理を実施した。

（５）プレス装置：最大３０００ｋＮまで加圧できるもので、加圧は油圧ポンプによってされる。プレス装置内には、アルミ合金製でサイズが７００ｍｍ（フィルム幅方向）×１０００ｍｍ（フィルム走行方向）の温調プレートが上下に２枚取り付けられ、それぞれ、加熱装置、冷却装置に連結されている。なお、金型は下側の温調プレートに取り付けられている。加熱装置は熱媒循環装置で、熱媒はバーレルサーム＃４００（松村石油株式会社製）で、１５０℃に加熱したものを１００Ｌ／ｍｉｎの流量で流す。また、冷却装置は冷却水循環装置で、２０℃に冷却された水を１５０Ｌ／ｍｉｎの流量で流すものである。

（６）フィルム：ポリエチレンテレフタレートからなり、厚みが１００μｍ（厚みむら：±１０μｍ）、幅は５２０ｍｍである。

（７）動作方法：上記の装置を用い、以下のように成型を行った。あらかじめ、フィルムを金型上に設置しておく。次に、温調プレートが上下ともに１１０℃となるまで加熱した後、上側プレートを下降させてフィルムのプレスを開始する。プレスは金型表面で５ＭＰａで、３０秒実施した。その後、プレスを継続したまま、温調プレートを上下ともに冷却する。各温調プレートが６０℃になったときに冷却を停止する。上下ともに冷却が完了すれば、プレスを開放する。上側プレートを上限まで上昇させ、フィルムを離型する。

（８）上記の動作を繰り返し、１０枚の成型フィルムを作成した。離型は手動にて端部から開始した。いずれも、金型端部へのフィルムの貼り付き、粘着等はなく、均一かつ高精度に容易に離型できた。

実施例２
（１）金型サイズ：５００ｍｍ（フィルム幅方向）×８００ｍｍ（フィルム走行方向）×２０ｍｍ（厚み）。

（２）金型材質：銅。
（３）微細形状：ピッチ５０μｍ、凸部幅２５μｍ、凸部高さ５０μｍで、フィルム走行方向から見たときの断面が矩形形状のものを用いた。

（４）金型周縁部：図１（ｂ）にモデルを示したものであり、最外周より１０ｍｍ内側の線から最外周に向かって微細形状の凸部高さを段階的に小さくし、最終的に凸部高さを１０μｍになるように周縁部の微細形状を加工した。

（５）プレス装置：最大３０００ｋＮまで加圧できるもので、加圧は油圧ポンプによってされる。プレス装置内にはアルミ合金製でサイズが７００ｍｍ（フィルム幅方向）×１０００ｍｍ（フィルム走行方向）の温調プレートが上下に２枚取り付けられ、それぞれ、加熱装置、冷却装置に連結されている。なお、金型は下側の温調プレートに取り付けられている。加熱装置は熱媒循環装置で、熱媒はバーレルサーム＃４００（松村石油株式会社製）で、１５０℃に加熱したものを１００Ｌ／ｍｉｎの流量で流す。また、冷却装置は冷却水循環装置で、２０℃に冷却された水を１５０Ｌ／ｍｉｎの流量で流すものである。

（６）フィルム：ポリエチレンテレフタレートからなり、厚みが１００μｍ（厚みむら：±１０μｍ）、幅は５２０ｍｍである。

（７）動作方法：上記の装置を用い、以下のようにして成型を行った。予め、フィルムを金型上に設置しておく。次に、温調プレートが上下ともに１１０℃となるまで加熱した後、上側プレートを下降させてフィルムのプレスを開始する。プレスは金型表面で５ＭＰａで３０秒実施した。その後、プレスを継続したまま、温調プレートを上下ともに冷却する。各温調プレートが６０℃になったときに冷却を停止する。上下ともに冷却が完了すれば、プレスを解放する。上側プレートを上限まで上昇させフィルムを離型する。

（８）上記の動作を繰り返し、１０枚の成型フィルムを作成した。離型はフィルムを抱きつかせるロールを用いて行った。ロールは外径が１５０ｍｍで表面にはゴム硬度（ＪＩＳ Ｋ６２５３）が６０のシリコーンゴムを設けたものを用いた。ロールには、サーボモーターからなる駆動ユニットを設け、フィルムを自動で離型した。いずれも金型端部へのフィルムの貼り付き、粘着等はなく、均一かつ高精度に容易に離型できた。

図１（ａ）、（ｂ）は、それぞれ本発明にかかる微細形状転写用金型の一実施態様例をモデル的に説明する概略正面図である。 図２は、本発明にかかる微細形状転写シートの製造装置の一実施態様例をモデル的に説明する概略正面図である。 図３は、本発明にかかる微細形状転写シートの製造装置の他の実施態様例をモデル的に説明する概略正面図である。 図４は、微細凹凸形状転写用金型を使用して、薄くかつ転写面積が広く可撓性も高い樹脂フィルムなどのシート状物に転写成形をした後に、該樹脂フィルムなどのシート状物を金型から離型させて行くに際しての離型開始時の状態を示したモデル図である。

符号の説明

１：微細形状転写シートの製造装置
２：プレス装置
３：金型
４：シート状基材
５：上温調プレート
６：下温調プレート
７：中間板
８：周縁部段付き加圧プレート
１１：微細凹部形状
１２：微細凸部形状
１３：加圧板が最周縁部方向に向かって金型から漸次離れていく部分
１４：加圧力が小さくなる部分
２１：周縁部テーパー加工金型
２２：周縁部低溝形状金型
Ｆ：金型端部からスタートする離型開始時においてシート状基材の離型に要する力

Claims (8)

1. シート状の基材表面に微細凹凸形状を賦形するための微細凹凸形状転写用金型において、賦形面内の周縁部に相当する部分の金型厚さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次小さくなっていることを特徴とする微細形状転写用金型。
2. 賦形面の形状が実質的に矩形状であり、該矩形状の少なくとも１辺の部分において、該部分の金型厚さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次小さくなっていることを特徴とする請求項１記載の微細形状転写用金型。
3. シート状の基材表面に微細凹凸形状を賦形するための微細凹凸形状転写用金型において、賦形面内の周縁部に相当する部分に形成された金型の微細凹凸形状の高さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次低くなっていることを特徴とする微細形状転写用金型。
4. 賦形面の形状が実質的に矩形状であり、該矩形状の少なくとも１辺の部分において、該部分の金型の微細凹凸形状の高さが賦形面の最周縁部方向に向かって漸次低くなっていることを特徴とする請求項３記載の微細形状転写用金型。
5. シート状の基材表面に微細凹凸形状を備えた金型によって前記微細凹凸形状を間欠的に賦形する微細形状転写シートの製造装置において、前記金型と該金型を支持する加圧板が接触する面の周縁部で、該金型と該加圧板の距離が最周縁部方向に向かって漸次大きくなるように構成されてなることを特徴とする微細形状転写シートの製造装置。
6. シート状の基材表面に微細凹凸形状を備えた金型によって前記微細凹凸形状を間欠的に賦形する微細形状転写シートの製造装置において、前記金型と前記加圧板の間に金型よりも小さい面積の中間板が配設されてなることを特徴とする微細形状転写シートの製造装置。
7. 前記中間板が、前記金型よりも圧縮弾性率の低い材質のもので形成されてなることを特徴とする請求項６に記載の微細形状転写シートの製造装置。
8. 前記中間板の圧縮弾性率が、１．０×１０⁶ 〜２００×１０⁹ Ｐａの範囲であることを特徴とする請求項６または７記載の微細形状転写シートの製造装置。

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