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JP2008074630A - Method for producing perovskite compound powder and ceramic electronic component using the perovskite compound powder - Google Patents

Method for producing perovskite compound powder and ceramic electronic component using the perovskite compound powder Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a perovskite compound powder by which permittivity is improved. <P>SOLUTION: When the general formula of a perovskite compound is represented by ABO<SB>3</SB>(wherein A and B each represent an element, and O represents oxygen), the method comprises mixing a compound α which comprises at least element A and element B, the number of moles of element A being larger than the number of moles of element B, and a compound β which comprises at least element B, followed by heat-treating the resulting mixture. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ペロブスカイト化合物粉末の製造方法およびこのペロブスカイト化合物粉末を用いたセラミック電子部品に関する。   The present invention relates to a method for producing a perovskite compound powder and a ceramic electronic component using the perovskite compound powder.

従来のペロブスカイト化合物粉末の製造方法について、ペロブスカイト化合物粉末としてチタン酸バリウムを用いたときの製造方法を説明する。   Regarding a conventional method for producing a perovskite compound powder, a production method when barium titanate is used as the perovskite compound powder will be described.

まず、炭酸バリウムと酸化チタンをそれぞれ用意し、これら炭酸バリウムと酸化チタンを混合して混合粉を作製する。次にこの混合粉を仮焼することによりチタン酸バリウムを作製している。   First, barium carbonate and titanium oxide are prepared, and mixed powder is prepared by mixing these barium carbonate and titanium oxide. Next, this mixed powder is calcined to produce barium titanate.

こうして作製されたチタン酸バリウムは、バインダ、可塑剤等とともに溶媒中に添加されてスラリーにして、ベースフィルム上に塗布することでグリーンシートを作製し、このグリーンシートを、例えば、電極層と交互に積層し焼成することで積層セラミック電子部品を作製している。   The barium titanate thus prepared is added to a solvent together with a binder, a plasticizer and the like to form a slurry, which is applied onto a base film to produce a green sheet. This green sheet is alternately formed with, for example, an electrode layer. A multilayer ceramic electronic component is manufactured by laminating and firing.

近年の電子部品の高性能化の流れに伴い積層セラミック電子部品にも高性能化が求められており、この要望に応えるため材料面からも様々な検討が行われている。   Along with the trend toward higher performance of electronic components in recent years, higher performance is also demanded for multilayer ceramic electronic components, and various studies have been conducted from the viewpoint of materials to meet this demand.

なお、本発明に関連する先行技術文献情報としては特許文献1が知られている。
特許第3780851号公報
Patent Document 1 is known as prior art document information related to the present invention.
Japanese Patent No. 3780851

上述した従来の方法にてチタン酸バリウムを作製した場合、このチタン酸バリウムには不純物である炭酸バリウムが残留しており、この炭酸バリウムがチタン酸バリウムとしての様々な特性、例えば、誘電率に悪影響を及ぼしてしまう。   When barium titanate is produced by the above-described conventional method, barium carbonate, which is an impurity, remains in the barium titanate, and this barium carbonate has various characteristics as barium titanate, such as dielectric constant. It will have an adverse effect.

この不純物である炭酸バリウムの残存量を低減する方法としては仮焼温度を上げることが考えられるが、仮焼温度を上げることでチタン酸バリウムの粒子間焼結が所々で発生して粒子が大きくなってしまい、その結果、粒子径の不揃いなチタン酸バリウムとなってしまう。そこで、仮焼温度を上げることで大きくなったチタン酸バリウムの粒子を小さくするために粉砕処理を行ったとしても粒子の結晶性が低下してしまい、結果的に誘電率が低下してしまう。   As a method of reducing the residual amount of barium carbonate, which is an impurity, it is conceivable to raise the calcining temperature, but by increasing the calcining temperature, interparticle sintering of barium titanate occurs in some places, resulting in large particles. As a result, it becomes barium titanate with irregular particle diameters. Therefore, even if a pulverization process is performed to reduce the size of the barium titanate particles that have been increased by raising the calcination temperature, the crystallinity of the particles is lowered, and as a result, the dielectric constant is lowered.

そこで本発明は、誘電率を向上させるペロブスカイト化合物粉末の製造方法を提供することを目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the manufacturing method of the perovskite compound powder which improves a dielectric constant.

この目的を達成するために、本発明は、ペロブスカイト化合物の一般式をABO3(A、Bは元素、Oは酸素をそれぞれ示す)としたとき、少なくとも元素Aと元素Bからなるとともに元素Aのモル数が元素Bのモル数よりも大きい化合物αと、少なくとも元素Bを含む化合物βとを混合して熱処理することとしたものである。 In order to achieve this object, the present invention provides a perovskite compound having a general formula of ABO 3 (A and B are elements, and O is oxygen, respectively). The compound α having a larger number of moles than the number of moles of the element B and the compound β containing at least the element B are mixed and heat-treated.

本発明の、ペロブスカイト化合物粉末の製造方法によれば、不純物の残留量を低減することができるとともに粒子の小さいペロブスカイト化合物粉末を得ることができ、その結果、これを用いた誘電体層の誘電率を向上させることができる。   According to the method for producing a perovskite compound powder of the present invention, a residual amount of impurities can be reduced and a perovskite compound powder with small particles can be obtained. As a result, the dielectric constant of a dielectric layer using the same can be obtained. Can be improved.

また、粒子の小さいペロブスカイト化合物粉末を得ることができるので、これを用いた誘電体層を薄層化することができる。   Moreover, since the perovskite compound powder with small particles can be obtained, the dielectric layer using this can be thinned.

また、粒子径の不均一を低減することができるので、これを用いた誘電体層における電界集中を抑制することができ、その結果、信頼性を向上させることができる。   Further, since nonuniformity of the particle diameter can be reduced, electric field concentration in the dielectric layer using the particle diameter can be suppressed, and as a result, reliability can be improved.

以下、一実施の形態および図面を用いて、本発明の、ペロブスカイト化合物粉末の製造方法およびこのペロブスカイト化合物粉末を用いたセラミック電子部品について説明する。   Hereinafter, a method for producing a perovskite compound powder and a ceramic electronic component using the perovskite compound powder according to the present invention will be described with reference to an embodiment and drawings.

なお、ペロブスカイト化合物(ABO3)としてチタン酸バリウム(BaTiO3)を用いて説明する。ここで、元素AはBa、元素BはTiである。 Incidentally, it is described with reference to barium titanate (BaTiO 3) as a perovskite compound (ABO 3). Here, the element A is Ba and the element B is Ti.

図1は、チタン酸バリウム(BaTiO3)粉末およびこれを用いたセラミックスの製造方法を示したステップ図、図2は、同製造工程における概念図である。 FIG. 1 is a step diagram showing a method for producing barium titanate (BaTiO 3 ) powder and ceramics using the same, and FIG. 2 is a conceptual diagram in the production process.

まず、少なくとも元素Aと元素Bからなるとともに元素Aのモル数が元素Bのモル数よりも大きい化合物αとしてチタン酸二バリウム(Ba2TiO4)を作製するため、炭酸バリウム(BaCO3)と酸化チタン(TiO2)を混合し仮焼する(図1A)。このとき仮焼温度を高く、例えば、1000℃程度に設定することによりチタン酸二バリウムに残留する不純物、すなわち、炭酸バリウムの残存量を低減することができる。仮焼温度を高くすることで仮に粒子間焼結による粒子成長が発生したとしても、この直後の工程で粉砕処理をしてチタン酸二バリウム粒子を小さくすることも可能である。この粉砕処理は、チタン酸二バリウム粒子に対してなされるものであり、ここでの粉砕処理は最終的に得られるチタン酸バリウムの結晶性に悪影響を及ぼすことはないものである。 First, in order to produce dibarium titanate (Ba 2 TiO 4 ) as a compound α composed of at least element A and element B, and the number of moles of element A being larger than the number of moles of element B, barium carbonate (BaCO 3 ) Titanium oxide (TiO 2 ) is mixed and calcined (FIG. 1A). At this time, by setting the calcining temperature high, for example, about 1000 ° C., impurities remaining in dibarium titanate, that is, the remaining amount of barium carbonate can be reduced. Even if particle growth due to inter-particle sintering occurs by raising the calcination temperature, it is possible to reduce the dibarium titanate particles by pulverization in the immediately subsequent step. This pulverization is performed on the dibarium titanate particles, and the pulverization here does not adversely affect the crystallinity of the finally obtained barium titanate.

次に、図2(a)に示すように、作製した化合物αであるチタン酸二バリウム1と、少なくとも元素Bを含む化合物βとして酸化チタン2を混合し仮焼して、図2(b)に示すようにチタン酸バリウム3を得る(図1B)。このときの仮焼温度は上述のチタン酸二バリウムを作製するための仮焼温度よりも低く設定できる。したがって、粒子間焼結による粒子成長を抑制でき、その結果、粒子の小さいチタン酸バリウムを得ることができる。   Next, as shown in FIG. 2 (a), the prepared compound α, dibarium titanate 1, and titanium oxide 2 as a compound β containing at least element B are mixed and calcined, and FIG. 2 (b). To obtain barium titanate 3 (FIG. 1B). The calcining temperature at this time can be set lower than the calcining temperature for producing the above-mentioned dibarium titanate. Therefore, particle growth due to interparticle sintering can be suppressed, and as a result, barium titanate having small particles can be obtained.

次に、溶媒中に、得られたチタン酸バリウム3、バインダ、可塑剤等を分散させてスラリーを作製しこれをベースフィルム上に塗布して、図2(c)に示すようにグリーンシート4を作製する(図1C)。   Next, the obtained barium titanate 3, binder, plasticizer and the like are dispersed in a solvent to prepare a slurry, which is applied onto a base film, and as shown in FIG. (FIG. 1C).

このグリーンシート4を、例えば、電極層と交互に積層した積層体を作製して脱バインダ、焼成してセラミックス5を作製する(図1D)。   For example, a laminate in which the green sheets 4 are alternately laminated with electrode layers is produced, and the binder 5 is fired to produce the ceramic 5 (FIG. 1D).

作製したセラミックスは図2(d)に示すように、粒径が均一で小さく、誘電率が高いものになっている。   As shown in FIG. 2D, the produced ceramic has a uniform and small particle size and a high dielectric constant.

上述した酸化チタン2は、形状として針状、板状、柱状等の形状を有する、いわゆる、異方性形状を有するものであってもよい。以下、図3を用いて説明する。図3は、チタン酸バリウム粉末およびこれを用いたセラミックスの製造工程における概念図である。   The titanium oxide 2 described above may have a so-called anisotropic shape having a shape such as a needle shape, a plate shape, or a column shape. Hereinafter, a description will be given with reference to FIG. FIG. 3 is a conceptual diagram in the production process of barium titanate powder and ceramics using the same.

図3(a)に示す異方性形状の酸化チタン6とチタン酸二バリウム1を混合し仮焼することにより、図3(b)に示す異方性形状のチタン酸バリウム7を含有するチタン酸バリウム3を作製することができる。このようにして得られた異方性形状を含有するチタン酸バリウム7を含有するチタン酸バリウム3をスラリー化して図3(c)に示すグリーンシート8を作製する。このときグリーンシート8の作製時スラリーに剪断応力をかけて成形することによりグリーンシート8の厚み方向にチタン酸バリウム3、7の短軸方向を揃えることができる。これにより、セラミックスとしての厚み方向の信頼性を向上させることができる。   Titanium containing anisotropic shape barium titanate 7 shown in FIG. 3B by mixing and calcining the anisotropic shape titanium oxide 6 and dibarium titanate 1 shown in FIG. Barium acid 3 can be produced. The barium titanate 3 containing the barium titanate 7 containing the anisotropic shape thus obtained is slurried to produce the green sheet 8 shown in FIG. At this time, the short axis direction of the barium titanates 3 and 7 can be aligned with the thickness direction of the green sheet 8 by forming the slurry at the time of production of the green sheet 8 by applying shear stress. Thereby, the reliability of the thickness direction as ceramics can be improved.

このグリーンシート8を焼成することで、図3(d)に示すように、配向性を有するセラミックス9を得ることができる。   By firing the green sheet 8, as shown in FIG. 3D, a ceramic 9 having orientation can be obtained.

チタン酸二バリウムも同様に異方性形状を有するものを用いる場合も上述と同様の作用効果を得ることができる。   In the case where dibarium titanate having an anisotropic shape is also used, the same effect as described above can be obtained.

また、酸化チタンとチタン酸二バリウムをともに異方性形状を有するものを用いることで、さらにセラミックスとしての厚み方向の信頼性を向上させることができる。以下、図4を用いて説明する。図4は、チタン酸バリウム粉末およびこれを用いたセラミックスの製造工程における概念図である。   Further, by using both titanium oxide and dibarium titanate having an anisotropic shape, the reliability in the thickness direction as ceramics can be further improved. Hereinafter, a description will be given with reference to FIG. FIG. 4 is a conceptual diagram in the production process of barium titanate powder and ceramics using the same.

図4(a)に示す異方性形状の、酸化チタン6とチタン酸二バリウム10を混合し仮焼することにより、図4(b)に示す異方性形状のチタン酸バリウム11を作製することができる。このようにして得られた異方性形状のチタン酸バリウム11をスラリー化して図4(c)に示すグリーンシート12を作製する。このときグリーンシート12の作製時スラリーに剪断応力をかけて成形することによりグリーンシート12の厚み方向にチタン酸バリウム11の短軸方向を揃えることができる。これにより、セラミックスとしての厚み方向の信頼性を向上させることができる。   The anisotropic shape barium titanate 11 shown in FIG. 4B is produced by mixing and calcining the titanium oxide 6 and dibarium titanate 10 having the anisotropic shape shown in FIG. 4A. be able to. The anisotropically-shaped barium titanate 11 thus obtained is slurried to produce a green sheet 12 shown in FIG. At this time, the minor axis direction of the barium titanate 11 can be aligned with the thickness direction of the green sheet 12 by forming the slurry at the time of producing the green sheet 12 by applying shear stress. Thereby, the reliability of the thickness direction as ceramics can be improved.

このグリーンシート12を焼成することで、図4(d)に示すように、高配向性を有するセラミックス13を得ることができる。   By firing the green sheet 12, as shown in FIG. 4D, a ceramic 13 having high orientation can be obtained.

なお、上述した本発明のペロブスカイト化合物の製造方法により作製したペロブスカイト化合物を用いてセラミック電子部品、例えば、積層セラミックコンデンサを作製する場合は、図1Cに示したグリーンシートの作製後、電極層を交互に積層して積層体を作製し、この積層体を、脱バインダ、仮焼、焼成の工程を経ることにより作製することができる。このとき電極層は従来から用いられている材料、例えば、ニッケル、銀、パラジウム等を用いることができる。   When a ceramic electronic component, for example, a multilayer ceramic capacitor, is manufactured using the perovskite compound manufactured by the method for manufacturing a perovskite compound of the present invention described above, the electrode layers are alternately formed after the green sheet shown in FIG. 1C is manufactured. It is possible to produce a laminated body by laminating, and to produce the laminated body through steps of binder removal, calcination, and firing. At this time, a conventionally used material such as nickel, silver, palladium, or the like can be used for the electrode layer.

本発明のペロブスカイト化合物の製造方法により作製したペロブスカイト化合物を用いることでセラミック電子部品は誘電率が向上するとともに、誘電体層の薄層化による薄型化を実現することができる。   By using the perovskite compound produced by the method for producing a perovskite compound of the present invention, the dielectric constant of the ceramic electronic component can be improved and the thinning of the dielectric layer can be realized.

また、ペロブスカイト化合物の粒子径の不均一を低減できるので、セラミック電子部品としての信頼性も向上させることができる。   Moreover, since the nonuniformity of the particle diameter of a perovskite compound can be reduced, the reliability as a ceramic electronic component can also be improved.

加えて、異方性形状の酸化チタン、または、チタン酸二バリウムを用いることでセラミックスとしての厚み方向の信頼性を向上させることができ、セラミック電子部品としても信頼性を向上させることができる。酸化チタンとチタン酸二バリウムをともに異方性形状のものを用いた場合にセラミック電子部品としても誘電率、信頼性をより向上させることができる。   In addition, by using anisotropic titanium oxide or dibarium titanate, the reliability in the thickness direction of the ceramic can be improved, and the reliability of the ceramic electronic component can also be improved. When both titanium oxide and dibarium titanate have an anisotropic shape, the dielectric constant and reliability can be further improved as a ceramic electronic component.

本発明のペロブスカイト化合物の製造方法により作製したペロブスカイト化合物を用いることのできるセラミック電子部品としては、上述したセラミックコンデンサの他に、圧電センサ、積層アクチュエータ、圧電発振子、圧電フィルタに代表される圧電電子部品、積層インダクタ、ノイズフィルタに代表される磁性電子部品、バンドパスフィルタ、アンテナスイッチモジュール、ワイヤレスランモジュール、ブルートゥースモジュールに代表される高周波モジュール、サーミスタ用電子部品、またはこれらの複合部品が挙げられる。   Ceramic electronic parts that can use the perovskite compound produced by the method for producing a perovskite compound of the present invention include, in addition to the ceramic capacitor described above, piezoelectric sensors represented by piezoelectric sensors, laminated actuators, piezoelectric oscillators, and piezoelectric filters. Examples thereof include a component, a multilayer inductor, a magnetic electronic component typified by a noise filter, a bandpass filter, an antenna switch module, a wireless run module, a high-frequency module typified by a Bluetooth module, an electronic component for a thermistor, or a composite component thereof.

なお、本一実施の形態においては、元素AとしてBaを用いたが、Ca、Srを用いることも可能である。   In the present embodiment, Ba is used as the element A, but Ca and Sr can also be used.

本発明は、高誘電率化に適したペロブスカイト化合物粉末を得ることができるという特徴を有し、特に、高性能化、小型化、高信頼性が要求されるセラミック電子部品等に有用である。   The present invention is characterized in that a perovskite compound powder suitable for increasing the dielectric constant can be obtained, and is particularly useful for ceramic electronic parts and the like that require high performance, downsizing, and high reliability.

本発明の一実施の形態におけるチタン酸バリウム粉末およびこれを用いたセラミックスの製造方法を示したステップ図The step figure which showed the manufacturing method of the barium titanate powder and ceramics using the same in one embodiment of the present invention 同製造工程における概念図Conceptual diagram in the same manufacturing process 同概念図Conceptual diagram 同概念図Conceptual diagram

符号の説明Explanation of symbols

1 チタン酸二バリウム
2 酸化チタン
3 チタン酸バリウム
4 グリーンシート
5 セラミックス
6 酸化チタン
7 チタン酸バリウム
8 グリーンシート
9 セラミックス
10 チタン酸二バリウム
11 チタン酸バリウム
12 グリーンシート
13 セラミックス
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dibarium titanate 2 Titanium oxide 3 Barium titanate 4 Green sheet 5 Ceramics 6 Titanium oxide 7 Barium titanate 8 Green sheet 9 Ceramics 10 Dibarium titanate 11 Barium titanate 12 Green sheet 13 Ceramics

Claims (8)

ペロブスカイト化合物の一般式をABO3(A、Bは元素、Oは酸素をそれぞれ示す)としたとき、少なくとも元素Aと元素Bからなるとともに元素Aのモル数が元素Bのモル数よりも大きい化合物αと、少なくとも元素Bを含む化合物βとを混合して熱処理することを特徴とするペロブスカイト化合物粉末の製造方法。 When the general formula of the perovskite compound is ABO 3 (A and B are elements and O is oxygen, respectively), the compound is composed of at least element A and element B, and the number of moles of element A is larger than the number of moles of element B A method for producing a perovskite compound powder, wherein α and a compound β containing at least element B are mixed and heat-treated. 元素Aは、Ca、Sr、Baから選ばれる請求項1記載のペロブスカイト化合物粉末の製造方法。 The process for producing a perovskite compound powder according to claim 1, wherein the element A is selected from Ca, Sr, and Ba. 元素Bは、Tiであり、化合物βはTiO2である請求項2記載のペロブスカイト化合物粉末の製造方法。 The method for producing a perovskite compound powder according to claim 2 , wherein the element B is Ti and the compound β is TiO 2 . 元素Aは、Baである請求項3記載のペロブスカイト化合物粉末の製造方法。 The method for producing a perovskite compound powder according to claim 3, wherein the element A is Ba. 化合物αは、Ba2TiO4である請求項4記載のペロブスカイト化合物粉末の製造方法。 The method for producing a perovskite compound powder according to claim 4 , wherein the compound α is Ba 2 TiO 4 . Ba2TiO4は、異方性形状である請求項5記載のペロブスカイト化合物粉末の製造方法。 The method for producing a perovskite compound powder according to claim 5, wherein Ba 2 TiO 4 has an anisotropic shape. TiO2は、異方性形状である請求項3記載のペロブスカイト化合物粉末の製造方法。 The method for producing a perovskite compound powder according to claim 3, wherein TiO 2 has an anisotropic shape. 請求項1〜7のいずれか一つに記載のペロブスカイト化合物粉末の製造方法にて作製されたペロブスカイト化合物粉末を誘電体層に用いたセラミック電子部品。 The ceramic electronic component which used the perovskite compound powder produced with the manufacturing method of the perovskite compound powder as described in any one of Claims 1-7 for the dielectric material layer.
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