JP2008071681A - Letterpress for printing and method for producing letterpress for printing - Google Patents
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Abstract
【課題】有機EL素子における有機機能層のような非常に高い印刷精度を必要とされる印刷パターンを、インキの混色やパターンずれなどの印刷不良なく凸版印刷法で形成するための新規な高精細印刷用凸版及びその製造方法。
【解決手段】基材上の金属からなる凸状パターンと、その金属凸状パターンの凸部表面に平滑性のある感光性樹脂膜を供え、凸部と高さと幅の比が1以上であり、さらには版深が30μm以上ある凸版を用いて印刷物の製造を行う。
【選択図】図1A novel high-definition method for forming a printing pattern such as an organic functional layer in an organic EL element that requires very high printing accuracy by a relief printing method without printing defects such as ink color mixing or pattern shift Letterpress for printing and method for producing the same.
A convex pattern made of metal on a substrate and a photosensitive resin film having smoothness on the surface of the convex part of the metal convex pattern are provided, and the ratio of the convex part to the height and width is 1 or more. Further, a printed material is manufactured using a relief plate having a plate depth of 30 μm or more.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、凸版印刷法に用いられる高精細印刷用凸版及び高精細印刷用凸版を用い製造される印刷物に関するものである。 The present invention relates to a high-definition printing relief plate used in a relief printing method and a printed matter produced using the high-definition printing relief plate.
有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子とする)は、二つの対向する電極の間に有機発光材料からなる有機発光層を形成し、有機発光層に電流を流すことで発光させるものであるが、効率良く発光させるには発光層の膜厚が重要であり、100nm程度の薄膜にする必要がある。さらに、これをカラー表示可能なディスプレイとするには有機EL素子を高精細にパターニングする必要がある。 An organic electroluminescence element (hereinafter referred to as an organic EL element) is an element in which an organic light emitting layer made of an organic light emitting material is formed between two opposing electrodes, and light is emitted by passing a current through the organic light emitting layer. In order to emit light efficiently, the thickness of the light emitting layer is important, and it is necessary to form a thin film of about 100 nm. Furthermore, in order to make this a display capable of color display, it is necessary to pattern the organic EL element with high definition.
有機発光材料には、低分子材料と高分子材料があり、一般に低分子材料は抵抗加熱蒸着法等により薄膜形成し、このときに微細パターンのマスクを用いてパターニングするが、この方法では基板が大型化すればするほどパターニング精度が出にくいという問題がある。 Organic light-emitting materials include low-molecular materials and high-molecular materials. In general, low-molecular materials are formed into thin films by resistance heating vapor deposition or the like, and then patterned using a fine pattern mask. There is a problem that the patterning accuracy is less likely to increase as the size increases.
そこで、最近では有機発光材料に高分子材料を用い、有機発光材料を溶媒に溶かして塗工液にし、これをウェットコーティング法や印刷法にて薄膜形成する方法が試みられるようになってきている。薄膜形成するためのウェットコーティング法としては、スピンコート法、バーコート法、突出コート法、ディップコート法等があるが、高精細にパターニングしたりRGB3色に塗り分けしたりするためには、これらのウェットコーティング法では難しい。よって、塗り分けパターニングを得意とする印刷法による薄膜形成が有効である。 Therefore, recently, a method of using a polymer material as an organic light emitting material, dissolving the organic light emitting material in a solvent to form a coating liquid, and forming a thin film by a wet coating method or a printing method has been tried. . As the wet coating method for forming a thin film, there are a spin coating method, a bar coating method, a protruding coating method, a dip coating method, and the like. It is difficult with the wet coating method. Therefore, it is effective to form a thin film by a printing method that is good at coating patterning.
さらに各種印刷法の中でも、有機EL素子やディスプレイでは、基板としてガラス基板を用いることが多いため、グラビア印刷法等のように金属製の印刷版等の硬い版を用いる方法は不向きであり、弾性を有するゴム版を用いたオフセット印刷法や、ゴムやその他の樹脂を主成分とした感光性樹脂版を用いる凸版印刷法が最適である。これらの印刷法の試みとして、オフセット印刷による方法(特許文献1)、凸版印刷による方法(特許文献2)などが提案されている。 Furthermore, among various printing methods, organic EL elements and displays often use a glass substrate as a substrate, and therefore methods such as gravure printing that use hard plates such as metal printing plates are unsuitable and elastic. An offset printing method using a rubber plate having the above and a relief printing method using a photosensitive resin plate mainly composed of rubber or other resin are optimal. As attempts of these printing methods, a method by offset printing (Patent Document 1), a method by letterpress printing (Patent Document 2), and the like have been proposed.
有機EL素子における有機発光層のパターンは、テレビ用途の大型ディスプレイの場合、例えば体格40インチのワイドディスプレイではライン幅が100μm、画素ピッチが500μmとなる。また、携帯電話などの小型ディスプレイの場合、例えば対角2インチで主流のQVGA(320×240画素)では画素ピッチは120μm、各色要素のサブピクセルの幅は40μmとなる。このような高精細なディスプレイの素子を凸版印刷法により形成しようとした場合、5μm以下という非常に高い印刷パターンの精度が要求される。 The pattern of the organic light emitting layer in the organic EL element has a line width of 100 μm and a pixel pitch of 500 μm in a wide display of 40 inches, for example, in a large display for television use. In the case of a small display such as a mobile phone, for example, in a mainstream QVGA (320 × 240 pixels) with a diagonal size of 2 inches, the pixel pitch is 120 μm, and the width of the sub-pixel of each color element is 40 μm. When such a high-definition display element is to be formed by the relief printing method, a very high printing pattern accuracy of 5 μm or less is required.
しかし例えば精細度200ppiのディスプレイを製作するためには、サブピクセルあたり約40μmピッチのラインとスペースが必要となるために、パターン精度が悪いと電極層および正孔輸送層もしくは電子輸送層の接触による短絡や、隣り合う有機発光層が混じり混色が発生してしまう。このような問題のために、従来の樹脂凸版では十分な品質の高精細印刷パターンは形成できなかった。 However, for example, in order to produce a display with a resolution of 200 ppi, lines and spaces with a pitch of about 40 μm are required per sub-pixel. Therefore, if the pattern accuracy is poor, it is caused by contact between the electrode layer and the hole transport layer or the electron transport layer. Short circuit and adjacent organic light emitting layers are mixed and color mixing occurs. Due to such a problem, a high-definition printing pattern with sufficient quality could not be formed with a conventional resin relief printing plate.
そこで本発明では、例えば有機EL素子における有機機能層のような非常に高い印刷精度を必要とされる印刷パターンを、凸版印刷法で形成するための新規な高精細印刷用凸版を提供することを課題とする。 Accordingly, the present invention provides a new relief printing plate for high-definition printing for forming a printing pattern that requires a very high printing accuracy, such as an organic functional layer in an organic EL element, by the relief printing method. Let it be an issue.
上記課題を解決するためになされた請求項1に係る発明は、凸状パターンの凸部が金属からなり、その凸部の頭頂部が樹脂膜によって覆われていることを特徴とし、さらに前記頭頂部の平面の縦と横の長さのうち狭い方の幅aと前記頭頂部から底辺までの高さdの比d/aが1以上であることを特徴とする高精細印刷用凸版である。 The invention according to claim 1 made to solve the above-mentioned problem is characterized in that the convex portion of the convex pattern is made of metal, and the top of the convex portion is covered with a resin film, and further, the head A high-definition relief printing plate characterized in that a ratio d / a of a narrower width a to a height d from the top to the bottom of the vertical and horizontal lengths of the top plane is 1 or more. .
請求項2に係る発明は、凸状パターンの凸部が金属からなり、その凸部の頭頂部及び側面、さらに基材表面の露出部が樹脂膜によって覆われていることを特徴とし、さらに前記頭頂部の幅aと前記頭頂部から底辺までの高さdの比a/dが1以上であることを特徴とする高精細印刷用凸版である。 The invention according to claim 2 is characterized in that the convex portion of the convex pattern is made of metal, the top and side surfaces of the convex portion, and the exposed portion of the base material surface are covered with a resin film, The high-definition relief printing plate is characterized in that a ratio a / d between a width a of the top and a height d from the top to the bottom is 1 or more.
請求項3に係る発明は、請求項1または2に記載の高精細印刷用凸版において、凸部の幅aと凹部の幅bの和が60μm以下であり、凸状パターン凸部の頭頂部から底辺までの高さdが30μm以上であることを特徴とする凸版である。 The invention according to claim 3 is the relief printing plate according to claim 1 or 2, wherein the sum of the width a of the convex portion and the width b of the concave portion is 60 μm or less, and from the top of the convex pattern convex portion. The relief printing plate is characterized in that the height d to the bottom is 30 μm or more.
請求項4に係る発明は、高精細パターンの印刷に用いる凸版の製造方法において、基材上にフォトリソグラフィー法を用いて第一の感光性樹脂の凸状パターンを形成する工程と、次にその第一の感光性樹脂パターン間に金属パターンを堆積させる工程と、前記金属パターン及び第一の感光性樹脂上に金属層を形成する工程と、フォトリソグラフィー法によりその基材上の金属パターンの上部にのみ第二の感光性樹脂パターンを形成する工程と、その第二の感光性樹脂パターンによって保護された部分以外の前記金属層を除去する工程と、第一の感光性樹脂パターンを除去する工程と、を少なくとも含むことを特徴とする印刷用凸版の製造方法である。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method for producing a relief printing plate for use in printing a high-definition pattern, the step of forming a convex pattern of a first photosensitive resin on a substrate using a photolithography method, and then Depositing a metal pattern between the first photosensitive resin patterns; forming a metal layer on the metal pattern and the first photosensitive resin; and an upper portion of the metal pattern on the substrate by photolithography. Forming the second photosensitive resin pattern only, removing the metal layer other than the portion protected by the second photosensitive resin pattern, and removing the first photosensitive resin pattern And a method for producing a relief printing plate.
請求項5に係る発明は、高精細パターンの印刷に用いる凸版の製造方法において、基材上にフォトリソグラフィー法を用いて第一の感光性樹脂の凸状パターンを形成する工程と、次にその第一の感光性樹脂パターン間に金属パターンを堆積させる工程と、前記金属パターン及び第一の感光性樹脂上に金属層を形成する工程と、フォトリソグラフィー法によりその基材上の金属パターンの上部にのみ第二の感光性樹脂パターンを形成する工程と、第三の感光性樹脂の層を基材上に形成し、フォトリソグラフィー法により第二感光性樹脂パターン上に第三感光性樹脂のパターンを形成する工程と、その第三の感光性樹脂パターンによって保護された部分以外の前記金属層を除去する工程と、第一の感光性樹脂パターン及び第三の感光性樹脂パターンを除去する工程と、を少なくとも含むことを特徴とする印刷用凸版の製造方法である。 According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method for producing a relief printing plate for use in printing a high-definition pattern, the step of forming a convex pattern of a first photosensitive resin on a substrate using a photolithography method, and then Depositing a metal pattern between the first photosensitive resin patterns; forming a metal layer on the metal pattern and the first photosensitive resin; and an upper portion of the metal pattern on the substrate by photolithography. Forming a second photosensitive resin pattern only on the substrate, forming a layer of the third photosensitive resin on the substrate, and patterning the third photosensitive resin on the second photosensitive resin pattern by photolithography. Forming the metal layer, removing the metal layer other than the portion protected by the third photosensitive resin pattern, the first photosensitive resin pattern and the third photosensitive resin pattern A method for producing a relief printing plate, which comprises at least a step of removing.
請求項6に係る発明は、第一の感光性樹脂のパターンを除去した後、金属からなる凸状パターン側面の金属表面ないし基材表面の露出部に樹脂膜を被覆する工程を含むことを特徴とする請求項4または5に記載の印刷用凸版の製造方法である。 The invention according to claim 6 includes a step of coating a resin film on a metal surface of a convex pattern side surface made of metal or an exposed portion of a substrate surface after removing the pattern of the first photosensitive resin. It is a manufacturing method of the relief printing plate of Claim 4 or 5.
請求項7に係る発明は、前記請求項6に記載の発明において、凸状パターン側面の金属表面ないし基材表面の露出部に樹脂膜を被覆する工程に電着法を用いることを特徴とする印刷用凸版の製造方法である。 The invention according to claim 7 is characterized in that, in the invention according to claim 6, an electrodeposition method is used in the step of coating the resin surface on the metal surface on the side surface of the convex pattern or the exposed portion of the substrate surface. It is a manufacturing method of a letterpress for printing.
請求項8に係る発明は、基材上に金属層を形成する工程に電鋳法を用いることを特徴とする、請求項4から7のいずれかに記載の印刷用凸版の製造方法である。 The invention according to claim 8 is the method for producing a relief printing plate according to any one of claims 4 to 7, wherein an electroforming method is used in the step of forming the metal layer on the substrate.
請求項9に係る発明は、前記第二の感光性樹脂層形成工程において、塗工前に塗工液にフィルタリング処理と、脱泡処理とを施してあることを特徴とする請求項4から8に記載の印刷用凸版の製造方法である。 The invention according to claim 9 is characterized in that, in the second photosensitive resin layer forming step, a filtering process and a defoaming process are performed on the coating solution before coating. The method for producing a relief printing plate as described in 1. above.
請求項10に係る発明は、インキ供給体からから請求項1から3のいずれかに記載の凸版の凸状パターン上にインキを供給する工程と、その凸状パターン上のインキを被印刷体に転写し、インキパターンを形成する工程と、を少なくとも含むことを特徴とする印刷物の製造方法である。 The invention according to claim 10 is a step of supplying ink from the ink supply body onto the convex pattern of the relief printing plate according to any one of claims 1 to 3, and the ink on the convex pattern to the printing medium. And a step of transferring and forming an ink pattern.
請求項11に係る発明は、少なくとも第一電極、一層以上の有機発光媒体層、第二電極からなる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、有機発光媒体層のうち少なくとも一層を請求項10に記載の方法を用いて形成することを特長とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。 The invention according to claim 11 is the method for producing an organic electroluminescence device comprising at least a first electrode, one or more organic light emitting medium layers, and a second electrode, wherein at least one of the organic light emitting medium layers is according to claim 10. It is the manufacturing method of the organic electroluminescent element characterized by forming using a method.
請求項1に係る発明の凸版によって、凸版の凸部が金属からなることによって、版の変形が抑えられ、また凸部の頭頂部が樹脂で覆われていることによって、樹脂版と同様の印刷時の柔軟性を示すことで、ガラス基板のような硬い基板に対しても損傷することなく印刷でき、さらに版のアスペクト比d/aが1以上であることによって頭頂部から溢れ出たインキによってインキが混じりあうことがなくなった。結果として、印刷パターンのずれやインキの混色などによる印刷不良の少ない印刷が可能となった。 According to the relief plate of the invention according to claim 1, the convex portion of the relief plate is made of metal, so that deformation of the plate is suppressed, and the top portion of the convex portion is covered with resin, so that the printing similar to that of the resin plate is performed. By showing the flexibility at the time, it is possible to print on a hard substrate such as a glass substrate without damaging it, and further, by the ink overflowing from the top of the head when the aspect ratio d / a of the plate is 1 or more Ink no longer mixes. As a result, printing with fewer printing defects due to misalignment of printing patterns or color mixing of inks can be performed.
請求項2に係る発明の凸版によって、請求項1に係る発明にさらに凸部側面ないし基材の露出面に樹脂を供えることによって、インキが金属面あるいは基材露出面に接触することによる影響をなくすことができるために、インキの特性に合わせた印刷不良の少ない印刷が可能になった。 According to the relief plate of the invention according to claim 2, by further providing the resin to the side surface of the convex part or the exposed surface of the base material according to the invention according to claim 1, the effect of the ink contacting the metal surface or the exposed surface of the base material is affected. Since it can be eliminated, it is possible to perform printing with less printing defects in accordance with the characteristics of the ink.
請求項3に係る発明の凸版によって、凸部の幅aと凹部の幅bの和が60μm以下であり、版深が30μm以上であることにより、高精細なパターンの形成に際しても、凹部に流入したインキによって、混色等の影響を受けることなく、印刷不良の少ない印刷が可能となった。 With the relief printing plate of the invention according to claim 3, the sum of the width a of the projections and the width b of the depressions is 60 μm or less, and the plate depth is 30 μm or more. The ink thus produced enables printing with less printing defects without being affected by color mixing.
請求項4に係る発明によって、まず第一の感光性樹脂をリソグラフィー法によりパターンを形成することにより、加工の容易な感光性樹脂によって型を作製し金属の凸状パターンを形成でき、さらに、そこに金属膜を積層することにより平坦性の良い版面を形成できる。その上にさらにリソグラフィー法により第二感光性樹脂層を積層することにより、有機機能層の印刷に適したインキ接触面の形成ができた。結果として、版の変形や、インキの混色などによる印刷不良がない印刷を可能とする、高アスペクトで柔軟性と硬性を併せ持つ凸版が製造できた。 According to the invention according to claim 4, by first forming a pattern of the first photosensitive resin by a lithography method, a mold can be formed by a photosensitive resin that can be easily processed to form a metal convex pattern. A plate surface with good flatness can be formed by laminating a metal film. An ink contact surface suitable for printing an organic functional layer could be formed by further laminating a second photosensitive resin layer thereon by a lithography method. As a result, it was possible to produce a relief plate having both high aspect ratio flexibility and hardness that enables printing without printing defects due to deformation of the plate or color mixing of inks.
請求項5に係る発明によって、請求項4に係る発明の凸版製造方法において、第二感光性樹脂層を第三の感光性樹脂層で保護し、金属膜のエッチングを行うことにより、より良好なインキ接触面の形成が可能となった。 According to the invention according to claim 5, in the relief printing method of the invention according to claim 4, the second photosensitive resin layer is protected by the third photosensitive resin layer, and the metal film is etched, so that the better The ink contact surface can be formed.
請求項6及び7に係る発明によって、請求項4及び5に係る発明の凸版の製造方法にさらに凸部側面ないし基材の露出面に樹脂を形成する工程を含むことによって、インキが金属面あるいは基材露出面に接触することによる影響をなくすことができるために、インキの特性に合わせた印刷不良の少ない印刷が可能となった。 According to the inventions according to claims 6 and 7, the method for producing a relief printing plate according to the inventions according to claims 4 and 5 further includes a step of forming a resin on the side surface of the convex part or the exposed surface of the substrate, so that the ink is a metal surface or Since the influence due to the contact with the exposed surface of the substrate can be eliminated, it is possible to perform printing with few printing defects according to the characteristics of the ink.
請求項8に係る発明によって、電鋳法により、第一感光性樹脂パターンの間隙に隙間なく金属を積層することが容易にできた。結果として、版の変形や、インキの混色などによる印刷不良がない印刷を可能とする、高アスペクトで柔軟性と硬性を併せ持つ高精細な凸版が容易に製造できた。 With the invention according to claim 8, it is possible to easily stack the metal without gaps in the gaps of the first photosensitive resin pattern by electroforming. As a result, it was possible to easily produce a high-definition relief plate having a high aspect ratio, flexibility and hardness, and capable of printing without printing defects due to plate deformation or ink color mixing.
請求項9に係る発明によって、第二の感光性樹脂の異物除去及び脱泡処理により、インキ接触面である第二感光性樹脂層の平滑性が向上し、結果として、印刷ムラ、版の変形や、インキの混色などによる印刷不良がなく、さらに高精細な印刷物の製造を可能とする、高アスペクトで柔軟性と硬性を併せ持つ凸版が製造できた。 According to the ninth aspect of the invention, the smoothness of the second photosensitive resin layer, which is the ink contact surface, is improved by the foreign substance removal and defoaming treatment of the second photosensitive resin, resulting in uneven printing and deformation of the plate. In addition, a relief printing plate with high aspect ratio, flexibility and hardness, which can produce high-definition printed matter without printing defects due to ink color mixing, etc., was produced.
請求項10に係る発明によって、版の変形やインキの混色などによる印刷不良がなく、さらに高精細な印刷物の製造が可能となった。 According to the invention of claim 10, there is no printing failure due to deformation of the plate or color mixing of inks, and it becomes possible to produce a printed material with higher definition.
請求項11に係る発明によって、隣り合う発光層同士の混色や、印刷不良のない高精細な有機EL素子の製造が可能となった。 The invention according to claim 11 makes it possible to manufacture a high-definition organic EL element free from color mixing between adjacent light-emitting layers and printing defects.
<凸版>
図1に本発明の印刷用凸版の一例を図1に示す。
<Letterpress>
FIG. 1 shows an example of a relief printing plate according to the present invention.
図1(a)は本発明の印刷用凸版版面のパターン形状の例である。有機EL素子等の有機機能性素子やカラーフィルター等のディスプレイ用素子の製造に用いられる版のパターンとしては、ライン形状や、ドット形状のものが用いられる。図示されているようにこの版面凸部100のライン幅あるいはパターン幅をaとし、隣り合う凸部パターンの間隔をbとする。 Fig.1 (a) is an example of the pattern shape of the relief printing plate surface of this invention. As a pattern of a plate used for manufacturing an organic functional element such as an organic EL element or a display element such as a color filter, a line pattern or a dot pattern is used. As shown in the figure, the line width or pattern width of the plate surface convex portion 100 is a, and the interval between adjacent convex portion patterns is b.
図1(b)は図1(a)をPのラインで切った時の断面図である。基材102の材料としては製造方法の説明で述べるように種々の材料を用いることができる。また後述のように版の製造に電鋳法を用いる場合には、基材に金属を用いるか、基材上に金属膜を設ける必要がある。 FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line P in FIG. Various materials can be used as the material of the substrate 102 as described in the description of the manufacturing method. In addition, when an electroforming method is used for plate production as described later, it is necessary to use a metal for the base material or to provide a metal film on the base material.
基材上には凸状パターン103が形成されている。この凸状パターンは金属でできているために、凸状パターンの頭頂部から底部までの版深をdとすると、従来は高精細な印刷パターンを印刷する場合には、印刷時に頭頂部から溢れ出たインキが凹部に浸出し、隣り合う凸部からのインキと混色したインキが、被印刷体に転移しまい、印刷不良となる場合があった。本発明では版の幅と版深のアスペクト比a/dは1以上とすることにより、この問題を解決した。しかし、このような高アスペクト比の凸状パターンを樹脂により形成すると、強度が不足するために、版が変形したり、損傷したりして印刷不良が生じてしまう。また、高粘度の樹脂塗工液が必要となるために、樹脂内部の気泡や異物の除去が困難であり、塗工時に版面が不均一になってしまうという問題があった。 A convex pattern 103 is formed on the substrate. Since this convex pattern is made of metal, assuming that the plate depth from the top to the bottom of the convex pattern is d, conventionally, when printing a high-definition print pattern, it overflows from the top during printing. The ink that has come out oozes into the concave portions, and the ink mixed with the ink from the adjacent convex portions may be transferred to the substrate to be printed, resulting in poor printing. In the present invention, this problem is solved by setting the aspect ratio a / d of the plate width and plate depth to 1 or more. However, when such a convex pattern having a high aspect ratio is formed of resin, the strength is insufficient, so that the plate is deformed or damaged, resulting in printing failure. Further, since a highly viscous resin coating solution is required, it is difficult to remove bubbles and foreign matters inside the resin, and there is a problem that the plate surface becomes non-uniform during coating.
そこで本発明では、パターンの凸部を金属とすることにより解決した。凸部が金属からなることによって、高アスペクト比であっても、版が変形して印刷パターンが崩れてしまうことがない。 Therefore, in the present invention, the problem is solved by using a metal for the convex portion of the pattern. By forming the protrusions from metal, the printing pattern does not collapse due to deformation of the plate even if the aspect ratio is high.
さらに、有機ELのように精細な有機薄膜の印刷パターンを印刷するためには、インキの混色を防ぐためにインキの種類にも依るが60μm以下の凸状パターンのパターン幅にたいして版深は30μm以上、より好ましくは50μm以上の版深があることが好ましい。凸部パターンが60μm以下と微細になってくると、凸部表面にインキを塗布した際に表面張力によって、平面上に塗布した場合よりもインキ膜厚が高くなり、このインキが印刷時に版の凹部に流れ込むため、30μm以下の版深では流入したインキが溢れ混色や、印刷のパターンずれを起こす可能性があるためである。 Furthermore, in order to print a fine organic thin film print pattern such as organic EL, the plate depth is 30 μm or more with respect to the pattern width of the convex pattern of 60 μm or less, depending on the type of ink in order to prevent color mixing of the ink. More preferably, there is a plate depth of 50 μm or more. When the convex pattern becomes as fine as 60 μm or less, the ink film thickness becomes higher than when applied on a flat surface due to surface tension when ink is applied to the surface of the convex part. This is because the ink that has flowed into the concave portion has a depth of 30 μm or less, so that the ink that has flowed in may overflow and cause color mixing or misalignment of the printing pattern.
凸状パターンの頭頂部には樹脂層104が設けられている。これにより、ガラス基板などの損傷しやすい被印刷物に印刷する場合にも損傷させずにパターンを印刷することができる。この樹脂層は印刷時に被印刷基板を損傷させないために1μm以上であることが好ましい。また、樹脂層が厚くなりすぎると、印刷時に樹脂層の変形や膨潤などが起こり、印刷ムラ等が発生する恐れがあるので、10μm以下であることが望ましい。 A resin layer 104 is provided on the top of the convex pattern. Thereby, a pattern can be printed without being damaged even when printing on a substrate to be damaged such as a glass substrate. This resin layer is preferably 1 μm or more so as not to damage the substrate to be printed during printing. Further, if the resin layer becomes too thick, the resin layer may be deformed or swelled during printing, and printing unevenness may occur.
<凸版の製造>
次に本発明の凸版の製造方法を図2に基づいて説明する。
<Manufacture of letterpress>
Next, the manufacturing method of the relief printing plate of this invention is demonstrated based on FIG.
本発明における印刷用凸版の基材200としては、ガラスや石英、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアクリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシート、シリコンウェハや、ステンレス、インバー材などのニッケル鉄合金、スーパーインバーなどのニッケルコバルト鉄合金の板を用いることができる。 As the relief printing base material 200 in the present invention, a plastic film such as glass, quartz, polypropylene, polyethersulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyacrylate, polyamide, polymethylmethacrylate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, Sheets, silicon wafers, nickel iron alloys such as stainless steel and invar materials, and nickel cobalt iron alloy plates such as super invar can be used.
また、例えば電鋳法を用いる場合には形成部分にクロムやアルミニウムといった金属膜を形成しておいてもよい。あるいは、金属基材上の非形成部分に金属酸化物、金属窒化物、金属酸窒化膜、高分子樹脂膜などの絶縁膜を形成してもよい。さらには金属板の裏面にプラスチックフィルムをラミネートするなどしてもよい。エッチング法を用いる場合にも同様に、除去したくない部分を保護するために金属酸化物、金属窒化物、金属酸窒化膜、高分子樹脂膜などの絶縁膜や、金属膜、プラスチック膜を形成してもよい。 In addition, for example, when an electroforming method is used, a metal film such as chromium or aluminum may be formed on the formation portion. Alternatively, an insulating film such as a metal oxide, a metal nitride, a metal oxynitride film, or a polymer resin film may be formed on a non-formed portion on the metal substrate. Furthermore, a plastic film may be laminated on the back surface of the metal plate. Similarly, when using an etching method, an insulating film such as a metal oxide, metal nitride, metal oxynitride film, or polymer resin film, a metal film, or a plastic film is formed to protect a portion that is not desired to be removed. May be.
上記基材において、特に大型基板に高精細のパターンを位置精度良く形成するためは、熱膨張係数が50×10−7/℃以下、より好ましくは、20×10−7/℃以下の基材を選択することが良い。さらには、印刷ロールに巻きつけ可能な可とう性を有することがより好ましい。このような基材101の例としては、インバー材やスーパーインバー材といった低熱膨張係数を有する金属シートを用いることが好ましい。金属シートの厚みとしては、印刷の版銅に巻きつけるのに十分な可とう性を有し、熱や衝撃により変形しない強度を有していれば良く、0.5mm以下、より好ましくは0.3mm以下が好適に用いることができる。 In the above-mentioned base material, in order to form a high-definition pattern with high positional accuracy particularly on a large substrate, the base material having a thermal expansion coefficient of 50 × 10 −7 / ° C. or lower, more preferably 20 × 10 −7 / ° C. or lower. It is good to choose. Furthermore, it is more preferable to have flexibility that can be wound around a printing roll. As an example of such a base material 101, it is preferable to use a metal sheet having a low thermal expansion coefficient such as Invar material or Super Invar material. As the thickness of the metal sheet, it is sufficient that the metal sheet has sufficient flexibility to be wound around a printing plate copper and has a strength that does not deform due to heat or impact, and is preferably 0.5 mm or less, more preferably 0.8 mm. 3 mm or less can be used suitably.
まず始めに基材200上に、第一感光性樹脂を積層した後にフォトリソグラフィー法を用いて、不要部を除去して複数の凸状パターン202を形成する(図2(b))。このとき形成する凸状パターンは最終的に製造する凸版の凸状パターンに対して反転したパターンである。 First, after laminating the first photosensitive resin on the substrate 200, unnecessary portions are removed using a photolithography method to form a plurality of convex patterns 202 (FIG. 2B). The convex pattern formed at this time is a pattern that is inverted with respect to the convex pattern of the relief plate that is finally produced.
第一感光性樹脂層201の材料としては、特に制限はないが、後述するめっき液やエッチング液に対して耐性があり、この第一感光性樹脂の凸状パターンによって後述の印刷用凸版の金属土台の形状が左右されるために、高精細、高アスペクト比のパターニングが可能であることが必要である。さらには、有機溶媒やアルカリ水溶液などで容易に除去できるものを選択することが好ましい。アクリル、エポキシ、ナイロン、ポリエステル、ウレタン、シリコーン、ポリビニルアルコール、ポリイミド、ノボラックなどの樹脂を用途に応じて用いることができる。厚みとしては、少なくとも印刷用凸版の版深として必要な30μm以上であることが好ましく、より好ましくは50μm以上である。このような厚膜の樹脂を大面積基板に形成する好適な手段として、ネガ型のアクリルやエポキシ系の市販ドライフィルムレジストを使用することができる。 Although there is no restriction | limiting in particular as a material of the 1st photosensitive resin layer 201, it has tolerance with respect to the plating solution and etching liquid which are mentioned later, The metal of the letterpress for printing mentioned later by this convex pattern of this 1st photosensitive resin Since the shape of the base is influenced, it is necessary that patterning with high definition and high aspect ratio is possible. Furthermore, it is preferable to select one that can be easily removed with an organic solvent or an aqueous alkali solution. Resins such as acrylic, epoxy, nylon, polyester, urethane, silicone, polyvinyl alcohol, polyimide, and novolac can be used depending on the application. The thickness is preferably 30 μm or more, and more preferably 50 μm or more, which is necessary as at least the plate depth of the relief printing plate. As a suitable means for forming such a thick resin on a large-area substrate, a negative acrylic or epoxy-based commercially available dry film resist can be used.
次に、第一感光性樹脂の凸状パターン202の間隙凹部に金属203を埋め込む(図2(c))。次に凹部だけでなく凸状パターン上部にも金属を積層して金属ベース膜204を形成する(図2(d))。金属203および金属ベース膜204としては、印刷時の印圧耐性があり、また後述のエッチング加工が可能であれば特に制限はなく、例えば、ニッケル、クロム、銅、金、アルミ、銀などを用いることができる。 Next, the metal 203 is embedded in the gap recesses of the convex pattern 202 of the first photosensitive resin (FIG. 2C). Next, a metal base film 204 is formed by laminating metal not only on the concave portions but also on the convex pattern (FIG. 2D). The metal 203 and the metal base film 204 are not particularly limited as long as they have printing pressure resistance during printing and can be etched as described later. For example, nickel, chromium, copper, gold, aluminum, silver, or the like is used. be able to.
金属203および金属ベース膜204の形成方法としては、電鋳法、ウェットコーティング法、CVD法、スパッタ法、蒸着法、イオンプレーティング法を必要に応じて使用することができる。金属203の堆積には特に、凹部に隙間なく均一に埋め込み可能である電鋳法を用いることが好ましい。この場合は前述したように金属の基材あるいは金属膜を表面に形成した基材を用いる。 As a method for forming the metal 203 and the metal base film 204, an electroforming method, a wet coating method, a CVD method, a sputtering method, a vapor deposition method, or an ion plating method can be used as necessary. For depositing the metal 203, it is particularly preferable to use an electroforming method that can be uniformly embedded in the recess without a gap. In this case, as described above, a metal substrate or a substrate on which a metal film is formed is used.
金属ベース膜203を形成する工程を省いて印刷用凸版として用いることも可能であるが、第一感光性樹脂パターン202の高さと金属203の高さを完全に合わせることが困難であるために、この状態で、印刷用凸版のインキ接触面となる第二感光性樹脂を形成すると、頭頂部が平坦な印刷用凸版が形成できない、あるいは面内で樹脂膜厚がばらつく等の問題が生じる。そこで、さらに凹部と凸状パターン上部にも金属を積層して金属ベース膜204を形成することが好ましい。金属ベース膜の膜厚としては、後述するエッチング工程において、エッチング処理は金属ベース膜を等方的にエッチングされてしまうので、精細な版を形成するためには印刷用凸版の第一感光性樹脂層のパターン幅以下の膜厚であることが好ましい。 Although it is possible to omit the process of forming the metal base film 203 and use it as a relief printing plate, it is difficult to perfectly match the height of the first photosensitive resin pattern 202 and the height of the metal 203. If the second photosensitive resin that forms the ink contact surface of the printing relief printing plate is formed in this state, a printing relief printing plate having a flat top cannot be formed or the resin film thickness varies within the surface. Therefore, it is preferable to form a metal base film 204 by further laminating a metal on the concave and convex patterns. Regarding the film thickness of the metal base film, in the etching process to be described later, since the metal base film is isotropically etched in the etching process described later, the first photosensitive resin of the relief printing plate is used to form a fine plate. The film thickness is preferably less than the pattern width of the layer.
次に、金属ベース204上に、第二感光性樹脂を積層した後に、フォトリソグラフィー法を用いて、第一感光性樹脂の凹部の直上に、第二感光性樹脂凸状パターン206を形成する(図2(f))。 Next, after laminating the second photosensitive resin on the metal base 204, the second photosensitive resin convex pattern 206 is formed directly on the concave portion of the first photosensitive resin by using a photolithography method ( FIG. 2 (f)).
第二感光性樹脂層205の形成方法としては、スリットコート、スピンコート、スクリーン印刷、ロールコート、ブレードコート、ナイフコート、ダイコート、スプレーコートなどの公知の塗布方法を用いることができる。また、第二感光性樹脂パターン206は、第一感光性樹脂パターン202と反転したパターンになっている。このようなパターン形成するためには、例えば第一感光性樹脂パターン形成時と同じマスクを用いて、第一感光性樹脂材料がネガ型の場合にはポジ型の第二感光性樹脂の材料を用いるか、あるいはいずれもネガ型の感光性樹脂材料を用いた場合には反転したパターンのマスクを用いて露光を行えばよい。マスクを第一感光性樹脂パターン形成時と同様の位置に合わせるようにすることにより、所望の位置にパターン形成することができる。 As a method for forming the second photosensitive resin layer 205, known coating methods such as slit coating, spin coating, screen printing, roll coating, blade coating, knife coating, die coating, and spray coating can be used. Further, the second photosensitive resin pattern 206 is a pattern that is reversed from the first photosensitive resin pattern 202. In order to form such a pattern, for example, using the same mask as that used for forming the first photosensitive resin pattern, if the first photosensitive resin material is a negative type, a positive type second photosensitive resin material is used. In the case where a negative photosensitive resin material is used, exposure may be performed using a mask having an inverted pattern. By aligning the mask with the same position as when forming the first photosensitive resin pattern, the pattern can be formed at a desired position.
第二感光性樹脂の材料としては、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂などの感光性樹脂を用いることができる。版全体が感光性樹脂層で構成されている場合では、感光性樹脂の塗工液の粘度を非常に高くする必要がある。一方、第二感光性樹脂層206は1〜5μm程度と薄くすることができるために、粘度の少ない感光性樹脂の塗工液を用いることが可能となる。 As the material of the second photosensitive resin, a photosensitive resin such as a polyimide resin, an epoxy resin, or an acrylic resin can be used. When the entire plate is composed of a photosensitive resin layer, the viscosity of the photosensitive resin coating solution needs to be very high. On the other hand, since the second photosensitive resin layer 206 can be thinned to about 1 to 5 μm, it is possible to use a photosensitive resin coating liquid having a low viscosity.
第二感光性樹脂の塗工液としては、5μm以上、より好ましくは1μm以上の粒径の異物を除去するフィルタリング処理と脱泡処理を適用できるものが好ましい。具体的には、粘度が200mPa・s以下、より好ましくは100mPa・s以下の塗工液であることが好ましい。脱泡処理は、自公転式の脱泡装置や真空脱泡装置を用いることができる。これら処理によって、インキ接触面の平滑性が向上し、印刷不良の少ない印刷が可能となる。 The coating liquid for the second photosensitive resin is preferably one that can apply filtering treatment and defoaming treatment for removing foreign matters having a particle diameter of 5 μm or more, more preferably 1 μm or more. Specifically, it is preferable that the coating liquid has a viscosity of 200 mPa · s or less, more preferably 100 mPa · s or less. For the defoaming treatment, a self-revolving defoaming device or a vacuum defoaming device can be used. By these treatments, the smoothness of the ink contact surface is improved, and printing with few printing defects becomes possible.
第二感光性樹脂パターン206は、後述のエッチング工程および、第一感光性樹脂パターン202の剥離工程によるダメージを抑制するために、ポストベーク処理を行うことがより好ましい。さらにはエッチング前に、第二感光性樹脂パターン206上に第一感光性樹脂と同じ感光性樹脂(第三感光性樹脂)を用いて第二感光性樹脂パターンを被覆し、保護用の感光性樹脂膜をパターン形成するとよい。この場合には第一感光性樹脂パターン形成時のマスクに対して反転したパターンのマスクを用いて、第一感光性樹脂及び第二感光性樹脂のパターン形成時と同じ位置に合わせるようにすることにより、所望の位置に第三の感光性樹脂層をパターン形成することができる。 The second photosensitive resin pattern 206 is more preferably subjected to a post-bake treatment in order to suppress damage due to an etching process described later and a peeling process of the first photosensitive resin pattern 202. Further, before etching, the second photosensitive resin pattern 206 is coated on the second photosensitive resin pattern 206 with the same photosensitive resin (third photosensitive resin) as the first photosensitive resin, so that the photosensitive resin for protection is used. A resin film may be patterned. In this case, use a mask having a pattern reversed with respect to the mask at the time of forming the first photosensitive resin pattern so that it is aligned with the same position as at the time of forming the pattern of the first photosensitive resin and the second photosensitive resin. Thus, the third photosensitive resin layer can be patterned at a desired position.
次に、第二感光性樹脂パターン206に被覆されていない部分の金属ベース膜をエッチングし、第一感光性樹脂202の凸部を露出させる(図2(g))。エッチング液としては、金属ベース膜の材料に応じて、塩化第二鉄、硝酸セリウムアンモンなどの既存のエッチング液から選択することができる。 Next, the portion of the metal base film not covered with the second photosensitive resin pattern 206 is etched to expose the convex portions of the first photosensitive resin 202 (FIG. 2G). The etching solution can be selected from existing etching solutions such as ferric chloride and cerium ammonium nitrate depending on the material of the metal base film.
次に、第一感光性樹脂パターン202を除去する(図2(h))。第一感光性樹脂の除去法としては、第一感光性樹脂の材料にもよるが、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウムなどのアルカリ水溶液や、トルエンやアセトンなどの有機溶媒を用いることができるが、第二感光性樹脂になるべくダメージの無い方法を選択することが望ましい。保護用の感光性樹脂を第二感光性樹脂パターン上に形成した場合にはこれも同時に除去する。 Next, the first photosensitive resin pattern 202 is removed (FIG. 2H). As a method for removing the first photosensitive resin, although depending on the material of the first photosensitive resin, an alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide or sodium carbonate or an organic solvent such as toluene or acetone can be used. It is desirable to select a method having as little damage as possible for the two-photosensitive resin. When the protective photosensitive resin is formed on the second photosensitive resin pattern, it is also removed at the same time.
以上により、金属部207と、樹脂膜208を備えた本発明の印刷用凸版が完成する(図2(f))。さらに、印刷のインキの特性に合わせて、金属部207ないし基材200の表面を樹脂等でコーティングして用いることも可能である。この場合には例えば電着法を用いて、アクリル、エポキシ、シリコーン、フッ素樹脂、ポリイミドなどの樹脂を被覆することができる。 Thus, the relief printing plate of the present invention provided with the metal portion 207 and the resin film 208 is completed (FIG. 2F). Furthermore, the surface of the metal part 207 or the substrate 200 can be coated with a resin or the like according to the characteristics of the printing ink. In this case, for example, an electrodeposition method can be used to coat a resin such as acrylic, epoxy, silicone, fluororesin, or polyimide.
<印刷物の製造>
次に、本発明の印刷用凸版を用い、凸版印刷法により被印刷基板表面にインキパターンを形成する印刷物の製造方法について示す。図3に本発明の印刷物の製造に用いられる凸版印刷装置の概略図を示した。ステージ300には被印刷基板301が固定されており、印刷用凸版302は版胴303に固定され、印刷用凸版はインキ供給体であるアニロックスロール304と接しており、アニロックスロールはインキ補充装置305とドクター306を備えている。
<Manufacture of printed matter>
Next, the manufacturing method of the printed matter which forms an ink pattern on the to-be-printed substrate surface by a relief printing method using the relief printing plate of this invention is shown. FIG. 3 shows a schematic diagram of a relief printing apparatus used for producing the printed matter of the present invention. A printing substrate 301 is fixed to the stage 300, a printing relief plate 302 is fixed to a plate cylinder 303, and the printing relief plate is in contact with an anilox roll 304 as an ink supply body. The anilox roll is an ink replenishing device 305. And a doctor 306.
まず、インキ補充装置305からアニロックスロール304へインキを補充し、アニロックスロールに供給されたインキ307のうち余分なインキは、ドクター306により除去される。インキ補充装置には、滴下型のインキ補充装置、ファウンテンロール、スリットコータ、ダイコータ、キャップコータなどのコータやそれらを組み合わせたものなどを用いることもできる。ドクターにはドクターブレードの他にドクターロールといった公知の物を用いることもできる。また、アニロックスロールは、クロム製やセラミックス製のものを用いることができる。また、印刷用凸版へのインキ供給体としてシリンダー状のアニロックスロールではなく、平版のアニロックス版を用いることも可能である。平版のアニロックス版は、例えば、被印刷基板301の位置に配置され、インキ補充装置によりアニロックス版全面にインキを補充した後、版胴を回転させることにより被印刷基板へのインキの供給をおこなうことができる。 First, ink is replenished from the ink replenishing device 305 to the anilox roll 304, and excess ink in the ink 307 supplied to the anilox roll is removed by the doctor 306. As the ink replenishing device, a dripping type ink replenishing device, a fountain roll, a slit coater, a die coater, a cap coater such as a cap coater, or a combination thereof may be used. As the doctor, a known object such as a doctor roll can be used in addition to the doctor blade. The anilox roll can be made of chromium or ceramics. Further, it is also possible to use a lithographic anilox plate instead of a cylindrical anilox roll as an ink supply to the printing relief plate. The lithographic anilox plate is disposed, for example, at the position of the substrate to be printed 301. After the ink is replenished to the entire surface of the anilox plate by an ink replenishing device, the plate cylinder is rotated to supply ink to the substrate to be printed Can do.
印刷用凸版へのインキ供給体であるアニロックスロール304表面にドクター306によって均一に保持されたインキは、版胴303に取り付けられた印刷用凸版302の凸部パターンに転移、供給される。そして、版胴の回転に合わせて印刷用凸版の凸部パターンと被印刷基板301は接しながら相対的に移動し、インキ307はステージ300上にある被印刷基板の所定位置に転移し、被印刷基板上にインキパターン308を形成する。被印刷基板にインキパターンが設けられた後は、必要に応じてオーブンなどによる乾燥工程を設けることができる。 The ink uniformly held by the doctor 306 on the surface of the anilox roll 304 which is an ink supply body to the printing relief plate is transferred and supplied to the projection pattern of the printing relief plate 302 attached to the plate cylinder 303. As the plate cylinder rotates, the convex pattern of the printing relief plate and the printing substrate 301 move relatively in contact with each other, and the ink 307 is transferred to a predetermined position on the printing substrate on the stage 300 to be printed. An ink pattern 308 is formed on the substrate. After the ink pattern is provided on the substrate to be printed, a drying step using an oven or the like can be provided as necessary.
なお、印刷用凸版302上にあるインキを被印刷基板301に印刷するときにおいては、版胴303の回転にあわせ被印刷基板が固定されたステージ300を移動させる方式であってもよいし、図3上部の版胴305、印刷用凸版、アニロックスロール304、インキ補充装置305からなる印刷ユニットを版胴の回転に合わせ移動させる方式であってもよい。また、本発明の印刷用凸版は版胴303上に樹脂層を形成し、直接製版し、凸部パターンを形成してもよい。 When printing the ink on the printing relief plate 302 on the printing substrate 301, a method of moving the stage 300 on which the printing substrate is fixed in accordance with the rotation of the plate cylinder 303 may be used. 3 A printing unit comprising an upper plate cylinder 305, a printing relief plate, an anilox roll 304, and an ink replenishing device 305 may be moved in accordance with the rotation of the plate cylinder. The printing relief plate of the present invention may be formed by forming a resin layer on the plate cylinder 303 and directly making a plate to form a convex pattern.
なお、図3は1枚毎に被印刷基板にインキパターンを形成する枚葉式の凸版印刷装置であるが、本発明の印刷物の製造方法にあって被印刷基板がウェブ状で巻き取り可能である場合には、ロール・ツゥー・ロール方式の凸版印刷装置を用いることもできる。ロール・ツゥー・ロール方式の凸版印刷装置を用いた場合には連続してインキパターンを形成することが可能となり、製造コストを低くすることが可能となる。 Note that FIG. 3 shows a sheet-fed relief printing apparatus that forms an ink pattern on a substrate to be printed one by one, but the substrate to be printed can be wound up in a web shape in the method for producing printed matter of the present invention. In some cases, a roll-to-roll relief printing apparatus can be used. When a roll-to-roll type letterpress printing apparatus is used, it is possible to continuously form an ink pattern and to reduce the manufacturing cost.
本発明の印刷用凸版によれば、金属部分を備えていることで形成時に版の凸部が破損、あるいは変形してしまうことがなく、インキ接触面には樹脂層が設けられていることでガラス基板のような硬質な基板においても損傷することなく印刷することが可能である。 According to the relief printing plate of the present invention, by providing a metal portion, the projection of the plate is not damaged or deformed at the time of formation, and the resin contact layer is provided on the ink contact surface. Even a hard substrate such as a glass substrate can be printed without being damaged.
<有機EL素子の製造>
次に、本発明での凸版を用いた印刷物の製造方法の一例として、有機EL素子の製造方法について説明する。図4に有機EL素子の一例を示した。有機EL素子の駆動方法としては、パッシブマトリックス方式とアクティブマトリックス方式があるが、本発明の製造方法はパッシブマトリックス方式の有機EL素子、アクティブマトリックス方式の有機EL素子のどちらにも適用可能である。
<Manufacture of organic EL elements>
Next, a method for producing an organic EL element will be described as an example of a method for producing a printed material using a relief plate in the present invention. FIG. 4 shows an example of the organic EL element. As a method for driving the organic EL element, there are a passive matrix type and an active matrix type. However, the manufacturing method of the present invention can be applied to both a passive matrix type organic EL element and an active matrix type organic EL element.
パッシブマトリックス方式とはストライプ状の電極を直交させるように対向させ、その交点を発光させる方式であるのに対し、アクティブマトリックス方式は画素毎にトランジスタを形成した、いわゆる薄膜トランジスタ(TFT)基板を用いることにより、画素毎に独立して発光する方式である。 The passive matrix method is a method in which stripe-shaped electrodes are opposed to each other so as to be orthogonal to each other, and light is emitted at the intersection, whereas the active matrix method uses a so-called thin film transistor (TFT) substrate in which a transistor is formed for each pixel. Thus, the light is emitted independently for each pixel.
図4に示すように、本発明の有機EL素子は、基板401の上に、陽極としてストライプ状に第一電極402を有している。隔壁403は第一電極間に設けられ、第一電極端部のバリ等よるショートを防ぐことを目的として第一電極端部を覆うことがましい。 As shown in FIG. 4, the organic EL element of the present invention has a first electrode 402 in a stripe shape as an anode on a substrate 401. The partition wall 403 is provided between the first electrodes, and preferably covers the first electrode end portion for the purpose of preventing a short circuit due to burrs or the like at the first electrode end portion.
そして、本発明の有機EL素子は、第一電極402上であって、隔壁403で区画された領域に有機発光層及び発光補助層からなる有機発光媒体層を有している。電極間に挟まれる有機発光媒体層は、有機発光層単独から構成されたものであってもよいし、有機発光層と発光補助層との積層構造から構成されたものでもよい。発光補助層としては正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層が挙げられる。図4では発光補助層である正孔輸送層404と有機発光層405との積層構造からなる構成を示している。ディスプレイを製造する場合には、第一電極上に正孔輸送層404が設けられ、正孔輸送層上に赤色(R)有機発光層、緑色(G)有機発光層、青色(B)有機発光層を各画素にそれぞれ設ければよい。 The organic EL device of the present invention has an organic light emitting medium layer composed of an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer in a region on the first electrode 402 and partitioned by the partition 403. The organic light emitting medium layer sandwiched between the electrodes may be composed of an organic light emitting layer alone, or may be composed of a laminated structure of an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer. Examples of the light emission auxiliary layer include a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and a charge generation layer. FIG. 4 shows a configuration having a laminated structure of a hole transport layer 404 that is a light emission auxiliary layer and an organic light emitting layer 405. In the case of manufacturing a display, a hole transport layer 404 is provided on the first electrode, and a red (R) organic light emitting layer, a green (G) organic light emitting layer, and a blue (B) organic light emitting are formed on the hole transport layer. A layer may be provided for each pixel.
次に、有機発光媒体層上に陽極である第一電極402と対向するように陰極として第二電極406が配置される。パッシブマトリックス方式の場合、ストライプ状を有する第一電極と直交する形で第二電極はストライプ状に設けられる。アクティブマトリックス方式の場合、第二電極は、有機EL素子全面に形成される。更に、図示していないが、環境中の水分、酸素の第一電極、有機発光層、発光補助層、第二電極への侵入を防ぐために有効画素全面に対してガラスキャップ等による封止体が設けられ、接着剤を介して基板と貼りあわされる。 Next, a second electrode 406 is disposed as a cathode on the organic light emitting medium layer so as to face the first electrode 402 as an anode. In the case of the passive matrix method, the second electrode is provided in a stripe shape so as to be orthogonal to the first electrode having a stripe shape. In the case of the active matrix method, the second electrode is formed on the entire surface of the organic EL element. Further, although not shown, a sealing body such as a glass cap is provided on the entire effective pixel in order to prevent moisture and oxygen in the environment from entering the first electrode, the organic light emitting layer, the light emitting auxiliary layer, and the second electrode. It is provided and bonded to the substrate via an adhesive.
本発明製造方法による有機EL素子は、少なくとも基板と、当該基板に支持されたパターン状の第一電極と、有機発光層と、第二電極を具備する。本発明の有機EL素子は、図4とは逆に、第一電極を陰極、第二電極を陽極とする構造であっても良い。また、ガラスキャップ等の封止体の代わりに有機発光媒体層や電極を外部の酸素や水分の浸入から保護するためにパッシベーション層や外部応力から保護する保護層、あるいはその両方の機能備えた封止基材を備えてもよい。 The organic EL device according to the production method of the present invention includes at least a substrate, a patterned first electrode supported by the substrate, an organic light emitting layer, and a second electrode. Contrary to FIG. 4, the organic EL element of the present invention may have a structure in which the first electrode is a cathode and the second electrode is an anode. In addition, in order to protect the organic light emitting medium layer and the electrode from the ingress of external oxygen and moisture in place of a sealing body such as a glass cap, a sealing layer having a function of a passivation layer and a protective layer for protecting from external stress, or both, is provided. You may provide a stop base material.
次に、素子の製造方法について説明する。本発明にかかる基板としては、絶縁性を有する基板であればいかなる基板も使用することができる。この基板側から光を取り出すボトムエミッション方式の有機EL素子とする場合には、基板として透明なものを使用する必要がある。例えば、基板としてはガラス基板や石英基板が使用できる。また、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアクリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシートであっても良い。これらプラスチックフィルムあるいはシートに、有機発光媒体層への水分の侵入を防ぐことを目的として、金属酸化物薄膜、金属弗化物薄膜、金属窒化物薄膜、金属酸窒化膜薄膜、あるいは高分子樹脂膜を積層したものを基板として利用してもよい。また、これらの基板は、あらかじめ加熱処理を行うことにより、基板内部や表面に吸着した水分を極力低減することがより好ましい。また、基板上に積層される材料に応じて、密着性を向上させるために、超音波洗浄処理、コロナ放電処理、プラズマ処理、UVオゾン処理などの表面処理を施してから使用することが好ましい。 Next, a method for manufacturing the element will be described. As the substrate according to the present invention, any substrate can be used as long as it has an insulating property. In the case of a bottom emission type organic EL element that extracts light from the substrate side, it is necessary to use a transparent substrate. For example, a glass substrate or a quartz substrate can be used as the substrate. Further, it may be a plastic film or sheet such as polypropylene, polyethersulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyacrylate, polyamide, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, or polyethylene naphthalate. These plastic films or sheets are coated with metal oxide thin films, metal fluoride thin films, metal nitride thin films, metal oxynitride thin films, or polymer resin films for the purpose of preventing moisture from entering the organic light emitting medium layer. A laminate may be used as the substrate. In addition, it is more preferable to reduce the moisture adsorbed on the inside or the surface of the substrate as much as possible by performing a heat treatment on these substrates in advance. Further, in order to improve the adhesion depending on the material to be laminated on the substrate, it is preferable to use after performing surface treatment such as ultrasonic cleaning treatment, corona discharge treatment, plasma treatment, UV ozone treatment.
また、これらに薄膜トランジスタ(TFT)を形成して、アクティブマトリックス方式の有機EL素子用の基板とすることが可能である。本発明の有機EL素子基板とする場合には、TFT上に、平坦化層が形成してあるとともに、平坦化層上に有機EL素子の下部電極が設けられており、かつ、TFTと下部電極とが平坦化層に設けたコンタクトホールを介して電気接続してあることが好ましい。このように構成することにより、TFTと、有機EL素子との間で、優れた電気絶縁性を得ることができる。TFTや、その上方に構成される有機EL素子は支持体で支持される。支持体としては機械的強度や、寸法安定性に優れていることが好ましく、具体的には先に基板として述べた材料を用いることができる。 Further, a thin film transistor (TFT) can be formed on these to form a substrate for an active matrix organic EL element. In the case of the organic EL element substrate of the present invention, a planarization layer is formed on the TFT, and the lower electrode of the organic EL element is provided on the planarization layer, and the TFT and the lower electrode are provided. Are preferably electrically connected through a contact hole provided in the planarization layer. By comprising in this way, the outstanding electrical insulation can be obtained between TFT and an organic EL element. The TFT and the organic EL element formed above the TFT are supported by a support. The support is preferably excellent in mechanical strength and dimensional stability. Specifically, the materials described above as the substrate can be used.
第一電極を陽極とした場合、その材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)、IZO(インジウム亜鉛複合酸化物)、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、亜鉛アルミニウム複合酸化物等の金属複合酸化物や金、白金、クロムなどの金属材料を単層または積層したものをいずれも使用できる。第一電極の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の乾式成膜法を用いることができる。なお、低抵抗であること、溶剤耐性があること、また、ボトムミッション方式としたときには透明性が高いことなどからITOが好ましく使用できる。ITOはスパッタ法によりガラス基板上に形成され、フォトリソ法によりパターニングされて第一電極2となる。 When the first electrode is used as an anode, the material is a metal composite such as ITO (indium tin composite oxide), IZO (indium zinc composite oxide), tin oxide, zinc oxide, indium oxide, zinc aluminum composite oxide. A single layer or a stacked layer of metal materials such as oxide, gold, platinum, and chromium can be used. As a method for forming the first electrode, a dry film forming method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used. In addition, ITO is preferably used because of its low resistance, solvent resistance, and high transparency when the bottom mission method is adopted. ITO is formed on the glass substrate by sputtering, and is patterned by photolithography to form the first electrode 2.
第一電極302を形成後、第一電極縁部を覆うようにして隔壁303が形成される。隔壁303は絶縁性を有する必要があり、感光性材料等を用いることができる。感光性材料としては、ポジ型であってもネガ型であってもよく、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、あるいはアクリロニトリル成分を含有する共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、ポリイミド樹脂、およびシアノエチルプルラン等を用いることができる。また、隔壁形成材料として、SiO2、TiO2等を用いることもできる。隔壁形成材料が感光性材料の場合、形成材料溶液をスリットコート法やスピンコート法により全面コーティングしたあと、露光、現像といったフォトリソ法によりパターニングがおこなわれる。スピンコート法の場合、隔壁の高さは、スピンコートするときの回転数等の条件でコントロールできるが、1回のコーティングでは限界の高さがあり、それ以上高くするときは複数回スピンコートを繰り返す手法を用いる。感光性材料を用いてフォトリソ法により隔壁を形成する場合、その形状は露光条件や現像条件により制御可能である。例えば、ネガ型の感光性樹脂を塗布し、露光・現像した後、ポストベークして、隔壁を得るときに、隔壁端部の形状を順テーパー形状としたい場合には、この現像条件である現像液の種類、濃度、温度、あるいは現像時間を制御すればよい。現像条件を穏やかなものとすれば、隔壁端部は順テーパー形状となり、現像条件を過酷にすれば、隔壁端部は逆テーパー形状となる。また、隔壁形成材料がSiO2、TiO2の場合、スパッタリング法、CVD法といった乾式成膜法で形成可能である。この場合、隔壁のパターニングはマスクやフォトリソ法により行うことができる。 After forming the first electrode 302, a partition wall 303 is formed so as to cover the edge of the first electrode. The partition 303 needs to have insulating properties, and a photosensitive material or the like can be used. The photosensitive material may be a positive type or a negative type, a photo-curing resin of a photo radical polymerization system, a photo cationic polymerization system, or a copolymer containing an acrylonitrile component, polyvinyl phenol, polyvinyl alcohol. , Novolac resin, polyimide resin, cyanoethyl pullulan, and the like can be used. Moreover, SiO2, TiO2, etc. can also be used as a partition wall forming material. When the partition wall forming material is a photosensitive material, the entire surface of the forming material solution is coated by a slit coating method or a spin coating method, and then patterning is performed by a photolithography method such as exposure and development. In the case of the spin coating method, the height of the partition wall can be controlled by conditions such as the number of rotations when spin coating, but there is a limit height in one coating, and if it is higher than that, multiple spin coatings are performed. Use an iterative approach. When the barrier rib is formed by a photolithography method using a photosensitive material, its shape can be controlled by exposure conditions and development conditions. For example, when a negative photosensitive resin is applied, exposed and developed, and then post-baked to obtain a partition wall, if the shape of the partition wall end portion is to have a forward tapered shape, development under this development condition The type, concentration, temperature, or development time of the liquid may be controlled. If the development conditions are mild, the partition wall ends have a forward taper shape, and if the development conditions are severe, the partition wall ends have a reverse taper shape. Further, when the partition wall forming material is SiO 2 or TiO 2, it can be formed by a dry film forming method such as a sputtering method or a CVD method. In this case, patterning of the partition walls can be performed by a mask or a photolithography method.
次に、有機発光層及び発光補助層からなる有機発光媒体層を形成する。電極間に挟まれる有機発光媒体層としては、有機発光層単独から構成されたものでもよいし、有機発光層と正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層といった発光を補助するための発光補助層との積層構造としてもよい。なお、正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層は必要に応じて適宜選択される。 Next, an organic light emitting medium layer composed of an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer is formed. The organic light emitting medium layer sandwiched between the electrodes may be composed of an organic light emitting layer alone, or an organic light emitting layer and a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, a charge generation layer. Such a laminated structure with a light emission auxiliary layer for assisting light emission. The hole transport layer, hole injection layer, electron transport layer, electron injection layer, and charge generation layer are appropriately selected as necessary.
そして、本発明は有機発光層や正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層といった発光補助層からなる有機発光媒体層のうち少なくとも1層を、有機発光媒体層材料を溶媒に溶解または分散させたインキを用い、本発明の印刷用凸版を用いた凸版印刷法により、前記第一電極の上方に印刷して形成する際に適用することができる。以降、本発明において、有機発光材料を溶媒に溶解、または分散させた有機発光インキを用いた場合について示す。 In the present invention, at least one of the organic light emitting medium layers composed of a light emitting auxiliary layer such as an organic light emitting layer, a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and a charge generation layer is used. It can be applied when forming by printing above the first electrode by a relief printing method using a relief printing plate of the present invention using an ink in which a layer material is dissolved or dispersed in a solvent. Hereinafter, in the present invention, a case where an organic light emitting ink in which an organic light emitting material is dissolved or dispersed in a solvent is used will be described.
有機発光層は電流を流すことにより発光する層である。有機発光層の形成する有機発光材料としては、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−シアノー8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス[8−(パラ−トシル)アミノキノリン]亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ポリ−2,5−ジヘプチルオキシ−パラ−フェニレンビニレンなどの低分子系発光材料が使用できる。 The organic light emitting layer is a layer that emits light when an electric current is passed. Organic light-emitting materials formed by the organic light-emitting layer include 9,10-diarylanthracene derivatives, pyrene, coronene, perylene, rubrene, 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene, tris (8-quinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-8-quinolato) aluminum complex, bis (8-quinolato) zinc complex, tris (4-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-5-cyano-) 8-quinolate) aluminum complex, bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolate) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolate) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, Lis (8-quinolinolato) scandium complex, bis [8- (para-tosyl) aminoquinoline] zinc complex and cadmium complex, 1,2,3,4-tetraphenylcyclopentadiene, poly-2,5-diheptyloxy- A low molecular weight light emitting material such as para-phenylene vinylene can be used.
また、クマリン系蛍光体、ペリレン系蛍光体、ピラン系蛍光体、アンスロン系蛍光体、ポリフィリン系蛍光体、キナクリドン系蛍光体、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系蛍光体、ナフタルイミド系蛍光体、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系蛍光体等、Ir錯体等の燐光性発光体などの低分子系発光材料を、高分子中に分散させたものが使用できる。高分子としてはポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等が使用できる。 Further, coumarin phosphors, perylene phosphors, pyran phosphors, anthrone phosphors, polyphyrin phosphors, quinacridone phosphors, N, N′-dialkyl-substituted quinacridone phosphors, naphthalimide phosphors, A material obtained by dispersing a low molecular weight light emitting material such as an N, N′-diaryl-substituted pyrrolopyrrole fluorescent material or a phosphorescent light emitting material such as an Ir complex in a polymer can be used. As the polymer, polystyrene, polymethyl methacrylate, polyvinyl carbazole and the like can be used.
また、ポリ(2−デシルオキシ−1,4−フェニレン)(DO−PPP)やポリ[2,5−ビス−[2−(N,N,N−トリエチルアンモニウム)エトキシ]−1,4−フェニル−アルト−1,4−フェニルレン]ジブロマイドなどのPPP誘導体、ポリ[2−(2’−エチルヘキシルオキシ)−5−メトキシ−1,4−フェニレンビニレン](MEH−PPV)、ポリ[5−メトキシ−(2−プロパノキシサルフォニド)−1,4−フェニレンビニレン](MPS−PPV)、ポリ[2,5−ビス−(ヘキシルオキシ)−1,4−フェニレン−(1−シアノビニレン)](CN−PPV)、ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン)(PDAF)、ポリスピロフルオレンなどの高分子発光材料であってもよい。PPV前駆体、PPP前駆体などの高分子前駆体が挙げられる。また、その他既存の発光材料を用いることもできる。 Further, poly (2-decyloxy-1,4-phenylene) (DO-PPP) and poly [2,5-bis- [2- (N, N, N-triethylammonium) ethoxy] -1,4-phenyl- PPP derivatives such as alto-1,4-phenylylene] dibromide, poly [2- (2′-ethylhexyloxy) -5-methoxy-1,4-phenylenevinylene] (MEH-PPV), poly [5-methoxy -(2-propanoxysulfonide) -1,4-phenylenevinylene] (MPS-PPV), poly [2,5-bis- (hexyloxy) -1,4-phenylene- (1-cyanovinylene)] ( CN-PPV), poly (9,9-dioctylfluorene) (PDAF), and polyspirofluorene may be used. Examples thereof include polymer precursors such as a PPV precursor and a PPP precursor. Other existing light emitting materials can also be used.
正孔輸送層を形成する正孔輸送材料としては、銅フタロシアニン、テトラ(t−ブチル)銅フタロシアニン等の金属フタロシアニン類及び無金属フタロシアニン類、キナクリドン化合物、1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン等の芳香族アミン系低分子正孔注入輸送材料や、ポリアニ
リン、ポリチオフェン、ポリビニルカルバゾール、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物などの高分子正孔輸送材料、チオフェンオリゴマー材料、その他既存の正孔輸送材料の中から選ぶことができる。
Examples of the hole transport material for forming the hole transport layer include metal phthalocyanines and metal-free phthalocyanines such as copper phthalocyanine and tetra (t-butyl) copper phthalocyanine, quinacridone compounds, 1,1-bis (4-di-p -Tolylaminophenyl) cyclohexane, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, N, N′-di (1- Naphthyl) -N, N′-diphenyl-1,1′-biphenyl-4,4′-diamine and other aromatic amine-based low-molecular hole injection / transport materials, polyaniline, polythiophene, polyvinylcarbazole, poly (3,4 -Polymeric hole transport materials such as a mixture of ethylenedioxythiophene) and polystyrene sulfonic acid, thiophene oligomer materials, and other existing hole transport materials It is possible to choose from in.
また、電子輸送層を形成する電子輸送材料としては、2−(4−ビフィニルイル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、オキサジアゾール誘導体やビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリノラート)ベリリウム錯体、トリアゾール化合物等を用いることができる。 Examples of the electron transport material for forming the electron transport layer include 2- (4-bifinylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2,5-bis (1 -Naphtyl) -1,3,4-oxadiazole, oxadiazole derivatives, bis (10-hydroxybenzo [h] quinolinolato) beryllium complexes, triazole compounds, and the like can be used.
有機発光材料を溶解または分散する溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、ヘキサン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、2−メチル−(t−ブチル)ベンゼン、1,2,3,4−テトラメチルベンゼン、ペンチルベンゼン、1,3,5−トリエチルベンゼン、シクロヘキシルベンゼン、1,3,5−トリ−イソプロピルベンゼン等を単独又は混合して用いることができる。また、有機発光インキには、必要に応じて、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等が添加されてもよい。 Solvents that dissolve or disperse the organic light emitting material include toluene, xylene, acetone, hexane, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, 2-methyl- (t-butyl) Benzene, 1,2,3,4-tetramethylbenzene, pentylbenzene, 1,3,5-triethylbenzene, cyclohexylbenzene, 1,3,5-tri-isopropylbenzene and the like can be used alone or in combination. . Moreover, surfactant, antioxidant, a viscosity modifier, a ultraviolet absorber, etc. may be added to organic luminescent ink as needed.
正孔輸送材料、電子輸送材料を溶解または分散させる溶媒としては、例えば、トルエン、キシレン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、水等の単独またはこれらの混合溶剤などが挙げられる。特に、正孔輸送材料をインキ化する場合には水またはアルコール類が好適である。 Examples of the solvent for dissolving or dispersing the hole transport material and the electron transport material include, for example, toluene, xylene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, water and the like Alternatively, a mixed solvent thereof can be used. In particular, water or alcohols are suitable when forming a hole transport material into an ink.
有機発光媒体層は湿式成膜法により形成される。なお、これらの層が積層構造から構成される場合には、その各層の全てを湿式成膜法により形成する必要はない。湿式成膜法としては、スピンコート法、ダイコート法、ディップコート法、吐出コート法、プレコート法、ロールコート法、バーコート法等の塗布法と、凸版印刷法、インクジェット印刷法、オフセット印刷法、グラビア印刷法等の印刷法が挙げられる。特に、RGB三色の有機発光層をパターン形成する場合、印刷法によって画素部に選択的に形成することができ、カラー表示のできる有機EL素子を製造することが可能となる。有機発光媒体層の膜厚は、単層又は積層により形成する場合においても1000nm以下であり、好ましくは50nm〜150nmである。 The organic light emitting medium layer is formed by a wet film forming method. Note that in the case where these layers have a laminated structure, it is not necessary to form all of the layers by a wet film formation method. As the wet film forming method, spin coating method, die coating method, dip coating method, discharge coating method, pre-coating method, roll coating method, bar coating method and the like, relief printing method, inkjet printing method, offset printing method, Examples of the printing method include a gravure printing method. In particular, when patterning organic light emitting layers of three colors of RGB, it can be selectively formed on the pixel portion by a printing method, and an organic EL element capable of color display can be manufactured. The film thickness of the organic light emitting medium layer is 1000 nm or less, preferably 50 nm to 150 nm, even when formed by a single layer or stacked layers.
次に、第二電極を形成する。第二電極を陰極とした場合その材料としては電子注入効率の高い物質を用いる。具体的にはMg、Al、Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体と接する界面にLiや酸化Li、LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いる。または電子注入効率と安定性を両立させるため、低仕事関数なLi、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb等の金属1種以上と、安定なAg、Al、Cu等の金属元素との合金系が用いられる。具体的にはMgAg、AlLi,CuLi等の合金が使用できる。また、トップエミッション方式の有機EL素子とする場合は、陰極は透明性を有する必要があり、例えば、これら金属とITO等の透明導電層の組み合わせによる透明化が可能となる。 Next, a second electrode is formed. When the second electrode is a cathode, a material having high electron injection efficiency is used as the material. Specifically, a single metal such as Mg, Al, or Yb is used, or a compound such as Li, oxidized Li, or LiF is sandwiched by about 1 nm at the interface in contact with the light emitting medium, and Al or Cu having high stability and conductivity is laminated. And use. Or, in order to achieve both electron injection efficiency and stability, one or more metals such as Li, Mg, Ca, Sr, La, Ce, Er, Eu, Sc, Y, Yb, etc., which have low work function, and stable Ag, Al An alloy system with a metal element such as Cu is used. Specifically, alloys such as MgAg, AlLi, and CuLi can be used. Further, in the case of a top emission type organic EL device, the cathode needs to have transparency, and for example, transparency can be achieved by a combination of these metals and a transparent conductive layer such as ITO.
第二電極の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の乾式成膜法を用いることができる。また、第二電極をパターンとする必要がある場合には、マスク等によりパターニングすることができる。第二電極の厚さは10nm〜1000nmが好ましい。なお、本発明では第一の電極を陰極、第二の電極を陽極とすることも可能である。 As a method for forming the second electrode, a dry film formation method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used. Moreover, when it is necessary to make a 2nd electrode into a pattern, it can pattern by a mask etc. The thickness of the second electrode is preferably 10 nm to 1000 nm. In the present invention, the first electrode can be a cathode and the second electrode can be an anode.
有機EL素子としては電極間に有機発光層を挟み、電流を流すことで発光させることが可能であるが、有機発光材料や発光補助層形成材料、電極形成材料の一部は大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまうため通常は外部と遮断するための封止体を設ける。 As an organic EL element, it is possible to emit light by sandwiching an organic light emitting layer between electrodes and passing an electric current. However, some of the organic light emitting material, the light emission auxiliary layer forming material, and the electrode forming material contain moisture in the atmosphere. Since it is easily deteriorated by oxygen, a sealing body is usually provided for shielding from the outside.
封止体は、例えば第一電極、有機発光層、発光補助層、第二電極が形成された基板に対して、凹部を有するガラスキャップ、金属キャップを用いて、第一電極、有機発光媒体層、第二電極上空に凹部があたるようにして、その周辺部についてキャップと基板を接着剤を介して接着させることにより封止がおこなわれる。 For example, the sealing body includes a first electrode, an organic light emitting layer, a light emitting auxiliary layer, and a substrate on which the second electrode is formed. Then, sealing is performed by adhering the cap and the substrate with an adhesive around the peripheral portion so that the concave portion hits the second electrode.
また、封止体は、例えば第一電極、有機発光層、発光補助層、第二電極が形成された基板に対して、封止材上に樹脂層を設け、該樹脂層により封止材と基板を貼りあわせることによりおこなうことも可能である。 In addition, the sealing body is provided with a resin layer on a sealing material with respect to the substrate on which, for example, the first electrode, the organic light emitting layer, the light emission auxiliary layer, and the second electrode are formed. It is also possible to carry out by bonding the substrates.
このとき封止材としては、水分や酸素の透過性が低い基材である必要がある。また、材料の一例として、アルミナ、窒化ケイ素、窒化ホウ素等のセラミックス、無アルカリガラス、アルカリガラス等のガラス、石英、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、耐湿性フィルムなどを挙げることができる。耐湿性フィルムの例として、プラスチック基材の両面にSiOxをCVD法で形成したフィルムや、透過性の小さいフィルムと吸水性のあるフィルムまたは吸水剤を塗布した重合体フィルムなどがあり、耐湿性フィルムの水蒸気透
過率は、10−6g/m2/day以下であることが好ましい。
At this time, the sealing material needs to be a base material having low moisture and oxygen permeability. Examples of the material include ceramics such as alumina, silicon nitride, and boron nitride, glass such as alkali-free glass and alkali glass, metal foil such as quartz, aluminum, and stainless steel, and moisture-resistant film. Examples of moisture-resistant films include films formed by CVD of SiOx on both sides of plastic substrates, films with low permeability and water-absorbing films, or polymer films coated with a water-absorbing agent. The water vapor transmission rate is preferably 10 −6 g / m 2 / day or less.
樹脂層としては、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン樹脂などからなる光硬化型接着性樹脂、熱硬化型接着性樹脂、2液硬化型接着性樹脂や、エチレンエチルアクリレート(EEA)ポリマー等のアクリル系樹脂、エチレンビニルアセテート(EVA)等のビニル系樹脂、ポリアミド、合成ゴム等の熱可塑性樹脂や、ポリエチレンやポリプロピレンの酸変性物などの熱可塑性接着性樹脂を挙げることができる。樹脂層を封止材の上に形成する方法の一例として、溶剤溶液法、押出ラミ法、溶融・ホットメルト法、カレンダー法、ノズル塗布法、スクリーン印刷法、真空ラミネート法、熱ロールラミネート法などを挙げることができる。必要に応じて吸湿性や吸酸素性を有する材料を含有させることもできる。封止材上に形成する樹脂層の厚みは、封止する有機EL素子の大きさや形状により任意に決定されるが、5〜500μm程度が望ましい。 Examples of the resin layer include a photo-curing adhesive resin made of an epoxy resin, an acrylic resin, a silicone resin, a thermosetting adhesive resin, a two-component curable adhesive resin, and an ethylene ethyl acrylate (EEA) polymer. Examples thereof include acrylic resins, vinyl resins such as ethylene vinyl acetate (EVA), thermoplastic resins such as polyamide and synthetic rubber, and thermoplastic adhesive resins such as acid-modified products of polyethylene and polypropylene. Examples of methods for forming a resin layer on a sealing material include solvent solution method, extrusion lamination method, melting / hot melt method, calendar method, nozzle coating method, screen printing method, vacuum laminating method, hot roll laminating method, etc. Can be mentioned. A material having a hygroscopic property or an oxygen absorbing property may be contained as necessary. Although the thickness of the resin layer formed on a sealing material is arbitrarily determined by the magnitude | size and shape of the organic EL element to seal, about 5-500 micrometers is desirable.
第一電極、有機発光層、発光補助層、第二電極が形成された基板と封止体の貼り合わせは封止室でおこなわれる。封止体を、封止材と樹脂層の2層構造とし、樹脂層に熱可塑性樹脂を使用した場合は、加熱したロールで圧着のみ行うことが好ましい。熱硬化型接着樹脂を使用した場合は、加熱したロールで圧着した後、さらに硬化温度で加熱硬化を行うことが好ましい。光硬化性接着樹脂を使用した場合は、ロールで圧着した後、さらに光を照射することで硬化を行うことができる。なお、ここでは封止材上に樹脂層を形成したが、基板上に樹脂層を形成して封止材と貼りあわせることも可能である。 The substrate on which the first electrode, the organic light emitting layer, the light emission auxiliary layer, and the second electrode are formed and the sealing body are bonded together in a sealing chamber. When the sealing body has a two-layer structure of a sealing material and a resin layer, and a thermoplastic resin is used for the resin layer, it is preferable to perform only the pressure bonding with a heated roll. When a thermosetting adhesive resin is used, it is preferable to perform heat curing at a curing temperature after pressure bonding with a heated roll. In the case where a photocurable adhesive resin is used, curing can be performed by further irradiating light after pressure bonding with a roll. Note that although the resin layer is formed over the sealing material here, the resin layer can be formed over the substrate and bonded to the sealing material.
封止体を用いて封止を行う前やその代わりに、例えばパッシベーション膜として、CVD法を用いて、窒化珪素膜を150nm成膜するなど、無機薄膜による封止体とすることも可能であり、また、これらを組み合わせることも可能である。 Before or instead of sealing with a sealing body, for example, as a passivation film, it is also possible to form a sealing body with an inorganic thin film, such as a silicon nitride film having a thickness of 150 nm using a CVD method. It is also possible to combine these.
前述したように、有機発光媒体層のうち、任意のものを本発明の印刷用凸版を用いて形成することができる。また、形成方法としては印刷物の製造方法の項で述べた工程を用いることができる。本発明の印刷用凸版を用いることで、形状が高アスペクト比であることから版面の凹部からインキが溢れるなどして有機発光媒体層各層のインキが混色してしまい短絡したり、発光ムラが発生したりするようなことがなく、印刷不良のない精細な有機発光媒体層の形成が可能であり、ひいては高精細な有機EL素子の製造が可能となる。 As described above, any organic light emitting medium layer can be formed using the relief printing plate of the present invention. Further, as the forming method, the steps described in the section of the printed material manufacturing method can be used. By using the relief printing plate of the present invention, the ink is overflowing from the concave portion of the plate surface because the shape is a high aspect ratio, and the ink of each layer of the organic light emitting medium layer is mixed and short-circuited or uneven light emission occurs. Therefore, it is possible to form a fine organic light-emitting medium layer that does not have a printing defect, and as a result, it is possible to manufacture a high-definition organic EL element.
以下に、実施例および比較例について示す。 Below, it shows about an example and a comparative example.
<実施例1>
(被印刷基板の作製)
ガラス基板上に、スパッタ法を用いてITO膜を形成し、フォトリソ法と酸溶液によるエッチングでITO膜をストライプ状にパターニングした。陽極であるITOのラインパターンは、線幅25μm、スペース25μmで、ラインが192ラインで形成されるパターンした。次に感光性のポリイミド樹脂(厚2μm)を用いて、陽極ラインの端部を被覆することにより、被印刷基板を作製した。
<Example 1>
(Preparation of printed substrate)
An ITO film was formed on a glass substrate by sputtering, and the ITO film was patterned in a stripe shape by photolithography and etching with an acid solution. The ITO line pattern as the anode was a pattern in which the line width was 25 μm, the space was 25 μm, and the line was formed with 192 lines. Next, a substrate to be printed was prepared by covering the end of the anode line with a photosensitive polyimide resin (thickness 2 μm).
(印刷用凸版の作製)
0.3mm厚のインバー材の片面にポリエステル保護フィルムを貼り、もう片面には第一感光性樹脂としてアクリル系ネガ型のドライフィルム(日立化成HM4056:56μm厚)をラミネートした。フォトリソ法を用いて、被印刷基板のITOラインパターンのネガパターンとなるストライプ凸状パターンを形成した。次に凸状パターンの凹部に、電鋳法を用いて銅を第一感光性樹脂とほぼ同等の高さまで形成した後に、さらに凸状パターンの上部も被覆するように銅膜を積層し、約10μm厚の金属ベース膜を形成した。
(Preparation of printing letterpress)
A polyester protective film was pasted on one side of a 0.3 mm thick invar material, and an acrylic negative dry film (Hitachi Kasei HM4056: 56 μm thickness) was laminated as the first photosensitive resin on the other side. Using a photolithography method, a stripe convex pattern was formed which was a negative pattern of the ITO line pattern of the substrate to be printed. Next, after forming copper to the same height as the first photosensitive resin in the concave portion of the convex pattern using electroforming, a copper film is laminated so as to cover the upper portion of the convex pattern, and about A 10 μm thick metal base film was formed.
次に、この金属ベース膜上に、第二感光性樹脂として、ネガ型の感光性ポリイミド樹脂を10μmのフィルタに通し、自公転式の脱泡装置を通した後に、スリットコート法を用いて5μmの厚みで塗工した。このポリイミド膜をフォトリソ法によりパターニングし、第一感光性樹脂凸状パターンの凹部金属パターン上に形成した。次に、塩化第二鉄に浸漬することにより、第二感光性樹脂の開口部に露出した銅膜を、第一感光性樹脂が露出するまでエッチングした。 Next, on the metal base film, a negative photosensitive polyimide resin as a second photosensitive resin is passed through a 10 μm filter, passed through a self-revolving defoaming device, and then 5 μm using a slit coat method. The coating was made with a thickness of. This polyimide film was patterned by a photolithographic method and formed on the concave metal pattern of the first photosensitive resin convex pattern. Next, the copper film exposed to the opening of the second photosensitive resin by being immersed in ferric chloride was etched until the first photosensitive resin was exposed.
最後に、水酸化ナトリウム水溶液に浸漬して、第一感光性樹脂を剥離することにより、金属基材上に、金属凸状パターンとその頭頂部の樹脂層からなり、版深が71μm、パターン幅が25μmの印刷用凸版を作製した。 Finally, it is immersed in an aqueous sodium hydroxide solution, and the first photosensitive resin is peeled off to form a metal convex pattern and a resin layer at the top of the metal substrate, with a plate depth of 71 μm, pattern width Produced a relief printing plate having a thickness of 25 μm.
(有機EL素子の作製)
上記高精細印刷用凸版を枚葉式の印刷機のシリンダーに固定した。正孔輸送層の材料として、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物を水系の溶媒に分散させたインキを、印刷用凸版の第二感光性樹脂層の表面にインキングし、これを被印刷基板に転写させ、192ライン一括でストライプ状に印刷した。印刷後に200℃で30分乾燥させた。この時形成した正孔輸送パターンの乾燥後の膜厚は50nmであった。この正孔輸送層の上に、スピンコート法を用いて、ポリフルオレン系の緑色発光インキを塗布した後に、窒素雰囲気下で130℃15分加熱を行った。この時形成した発光層の膜厚は80nmであった。次に、発光層上に第二電極として、第一電極と垂直方向にラインを形成した。陰極材料ついては、カルシウム(10nm)と銀(150nm)の積層膜を真空蒸着法で形成した。最後にガラスキャップを用い封止をおこない本発明の有機EL素子を作製した。この有機EL素子の発光特性を見たところ、パターン箇所内全面において5Vで1000cd/m2の均一な発光が得られた。また、凸版印刷法で形成した正孔輸送層が隣接ラインと接することがなかったため、ライン間のリークが生じず、良好な192×192ドットマトリクスディスプレイを作製できた。
(Production of organic EL element)
The relief printing plate for high-definition printing was fixed to a cylinder of a sheet-fed printing press. As a material for the hole transport layer, an ink in which a mixture of poly (3,4-ethylenedioxythiophene) and polystyrene sulfonic acid is dispersed in an aqueous solvent is applied to the surface of the second photosensitive resin layer of the relief printing plate. The ink was inked, transferred to a substrate to be printed, and printed in a striped form in a lump of 192 lines. After printing, it was dried at 200 ° C. for 30 minutes. The film thickness after drying of the hole transport pattern formed at this time was 50 nm. A polyfluorene-based green light-emitting ink was applied onto the hole transport layer by spin coating, and then heated at 130 ° C. for 15 minutes in a nitrogen atmosphere. The thickness of the light emitting layer formed at this time was 80 nm. Next, a line was formed on the light emitting layer as a second electrode in a direction perpendicular to the first electrode. As for the cathode material, a laminated film of calcium (10 nm) and silver (150 nm) was formed by a vacuum deposition method. Finally, sealing was performed using a glass cap to produce the organic EL device of the present invention. When the light emission characteristics of the organic EL element were observed, uniform light emission of 1000 cd / m 2 was obtained at 5 V over the entire surface in the pattern portion. In addition, since the hole transport layer formed by the relief printing method did not contact the adjacent lines, no leakage between the lines occurred, and a good 192 × 192 dot matrix display could be produced.
<比較例1>
比較例1として、水系インキの印刷に用いることができる市販のフレキソ版(旭化成AWP版)を用いて、L/S=25/25μmの印刷用凸版を形成した。その結果、凸版の版深の深さは5μm程度であった。この版を用いた以外は実施例1と同様の製造工程で、有機EL素子を作製した。その結果、正孔輸送インキのほとんどが印刷凸版上ではなく凹版内に流れこんでしまいこのインキが被印刷基板に転写されたために、パターン形成ができず、さらに192ライン全てにおいて短絡箇所が生じていた。また正孔輸送層の膜厚均一性は±30%と不均一であった。5Vで100〜500cd/m2程度であり、発光は不均一で発光ムラは±30%以上であった。
<Comparative Example 1>
As Comparative Example 1, a letterpress printing plate with L / S = 25/25 μm was formed using a commercially available flexographic plate (Asahi Kasei AWP plate) that can be used for water-based ink printing. As a result, the depth of the relief printing plate was about 5 μm. An organic EL element was produced in the same production process as in Example 1 except that this plate was used. As a result, most of the hole transport ink flowed into the intaglio, not on the printing relief plate, and this ink was transferred to the substrate to be printed, so that pattern formation was not possible, and in addition, a short-circuited portion occurred in all 192 lines. It was. Further, the film thickness uniformity of the hole transport layer was non-uniform as ± 30%. The voltage was about 100 to 500 cd / m 2 at 5 V, the light emission was nonuniform, and the light emission unevenness was ± 30% or more.
<比較例2>
比較例2として、基材上にアクリル系ネガ型感光性樹脂をスリットコート法を用いて塗布し、第一感光性樹脂膜とした以外は実施例1と同様の工程で印刷用凸版を作製した。これにより金属基材上に、金属凸状パターンとその頭頂部の樹脂層からなり、版深が20μm、パターン幅が25μmの印刷用凸版を作製できた。
<Comparative example 2>
As Comparative Example 2, a printing relief plate was prepared in the same manner as in Example 1 except that an acrylic negative photosensitive resin was applied on a substrate using a slit coating method to form a first photosensitive resin film. . As a result, a printing relief plate having a metal convex pattern and a resin layer at the top of the metal substrate, a plate depth of 20 μm, and a pattern width of 25 μm was produced on the metal substrate.
有機EL素子についても実施例1と同様の工程で作製した。その結果、正孔輸送インキが凹版内に流れこんでしまい、このインキが被印刷基板に転写されたためにラインの所々で印刷のパターンずれ及び短絡箇所が生じていた。5Vで300〜600cd/m2程度であり、発光は不均一で発光ムラは±30%以上であった。 An organic EL element was produced in the same process as in Example 1. As a result, the hole transporting ink flowed into the intaglio, and this ink was transferred to the substrate to be printed, resulting in printing pattern shifts and short-circuited parts in the lines. The voltage was about 300 to 600 cd / m 2 at 5 V, the light emission was nonuniform, and the light emission unevenness was ± 30% or more.
<比較例3>
比較例3として、0.3mm厚のインバー材上に第一感光性樹脂としてアクリル系ネガ型のドライフィルム(日立化成HM4056:56μm厚)をラミネートした。フォトリソ法を用いて、被印刷基板のITOラインパターンと同じパターンの凸状ストライプパターンを形成し、版深56μm、パターン幅が25μmの印刷用凸版を作製した。実施例1と同様の工程で有機ELを作製したところ、版の著しい変形及び損傷によって、全てのラインが印刷不良となり、ほとんどのパターンは有機EL素子として形成することができなかった。
<Comparative Example 3>
As Comparative Example 3, an acrylic negative dry film (Hitachi Kasei HM4056: 56 μm thickness) was laminated as a first photosensitive resin on an invar material having a thickness of 0.3 mm. Using a photolithography method, a convex stripe pattern having the same pattern as the ITO line pattern of the substrate to be printed was formed, and a printing relief plate having a plate depth of 56 μm and a pattern width of 25 μm was produced. When an organic EL was produced by the same process as in Example 1, due to the remarkable deformation and damage of the plate, all lines were poorly printed, and most patterns could not be formed as organic EL elements.
100:版面凸部
101:版面凹部
102:基材
103:凸状パターン
104:樹脂層
200:基材
201:第一感光性樹脂層
202:第一感光性樹脂パターン
203:金属
204:金属ベース膜
205:第二感光性樹脂層
206:第二感光性樹脂パターン
207:金属部
208:樹脂層
300:ステージ
301:被印刷基板
302:印刷用凸版
303:版銅
304:アニロックスロール
305:インキ補充装置
306:ドクター
307:インキ
308:インキパターン
401:基板
402:隔壁
403:第一電極
404:正孔輸送層
405:有機発光層
406:第二電極
100: Plate surface convex portion 101: Plate surface concave portion 102: Base material 103: Convex pattern 104: Resin layer 200: Base material 201: First photosensitive resin layer 202: First photosensitive resin pattern 203: Metal 204: Metal base film 205: Second photosensitive resin layer 206: Second photosensitive resin pattern 207: Metal part 208: Resin layer 300: Stage 301: Printed substrate 302: Printing relief plate 303: Plate copper 304: Anilox roll 305: Ink replenisher 306: Doctor 307: Ink 308: Ink pattern 401: Substrate 402: Partition wall 403: First electrode 404: Hole transport layer 405: Organic light emitting layer 406: Second electrode
Claims (11)
前記凸版の凸状パターンが金属からなり、
前記凸状パターンの頭頂部が樹脂膜によって覆われ、
前記凸状パターンの幅aと前記頭頂部から底辺までの高さdの比d/aが1以上であることを特徴とする印刷用凸版。 A letterpress used for printing high-definition patterns,
The convex pattern of the relief plate is made of metal,
The top of the convex pattern is covered with a resin film,
A printing relief printing plate, wherein a ratio d / a of a width a of the convex pattern and a height d from the top to the bottom is 1 or more.
前記凸版の凸状パターンが金属からなり、
前記凸状パターンの頭頂部及び側面、さらに基材表面の露出部が樹脂膜によって覆われ、
前記凸状パターンの幅aと前記頭頂部から底辺までの高さdの比d/aが1以上であることを特徴とする印刷用凸版。 A letterpress used for printing high-definition patterns,
The convex pattern of the relief plate is made of metal,
The top and side surfaces of the convex pattern and the exposed portion of the substrate surface are covered with a resin film,
A printing relief printing plate, wherein a ratio d / a of a width a of the convex pattern and a height d from the top to the bottom is 1 or more.
前記凸部の頭頂部から底辺までの高さdが30μm以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の高精細印刷用凸版。 The sum a + b of the convex portion width a and the concave portion width b of the relief pattern is 60 μm or less,
3. The relief printing plate for high-definition printing according to claim 1, wherein a height d from the top to the bottom of the convex portion is 30 μm or more.
基材上に第一の感光性樹脂の層を形成する工程と、
フォトリソグラフィー法を用いて第一の感光性樹脂の凸状パターンを形成する工程と、
前記第一の感光性樹脂のパターンの間隙に金属パターンを堆積させる工程と、
前記金属パターン及び第一の感光性樹脂上に金属層を形成する工程と、
前記金属層上に第二の感光性樹脂の層を形成する工程と、
フォトリソグラフィー法により前記金属パターンの直上部にのみ前期第二の感光性樹脂を残し、第二感光性樹脂パターンを形成する工程と、
前記第二の感光性樹脂パターンによって保護された部分以外の前記金属層を除去する工程と、
前記第一の感光性樹脂のパターンを除去する工程と、
を少なくとも含むことを特徴とする印刷用凸版の製造方法。 In a method for producing a relief plate used for printing a high-definition pattern,
Forming a first photosensitive resin layer on the substrate;
Forming a convex pattern of the first photosensitive resin using a photolithography method;
Depositing a metal pattern in the gap between the patterns of the first photosensitive resin;
Forming a metal layer on the metal pattern and the first photosensitive resin;
Forming a second photosensitive resin layer on the metal layer;
Leaving the second photosensitive resin in the previous period only on the metal pattern by photolithography, and forming a second photosensitive resin pattern;
Removing the metal layer other than the portion protected by the second photosensitive resin pattern;
Removing the pattern of the first photosensitive resin;
A method for producing a relief printing plate, comprising:
基材上に第一の感光性樹脂の層を形成する工程と、
フォトリソグラフィー法を用いて第一の感光性樹脂の凸状パターンを形成する工程と、
前記第一の感光性樹脂のパターンの間隙に金属パターンを堆積させる工程と、
前記金属パターン及び第一の感光性樹脂上に金属層を形成する工程と、
前記金属層上に第二の感光性樹脂の層を形成する工程と、
フォトリソグラフィー法により前記金属パターンの直上部にのみ前期第二の感光性樹脂を残し、第二感光性樹脂パターンを形成する工程と、
第三の感光性樹脂の層を前記第二感光性樹脂パターン上に形成する工程と、
前記第三の感光性樹脂のパターンによって保護された部分以外の前記金属層を除去する工程と、
前記第一の感光性樹脂のパターン及び前記第三の感光性樹脂のパターンを除去する工程と、
を少なくとも含むことを特徴とする印刷用凸版の製造方法。 In a method for producing a relief plate used for printing a high-definition pattern,
Forming a first photosensitive resin layer on the substrate;
Forming a convex pattern of the first photosensitive resin using a photolithography method;
Depositing a metal pattern in the gap between the patterns of the first photosensitive resin;
Forming a metal layer on the metal pattern and the first photosensitive resin;
Forming a second photosensitive resin layer on the metal layer;
Leaving the second photosensitive resin in the previous period only on the metal pattern by photolithography, and forming a second photosensitive resin pattern;
Forming a layer of a third photosensitive resin on the second photosensitive resin pattern;
Removing the metal layer other than the portion protected by the pattern of the third photosensitive resin;
Removing the pattern of the first photosensitive resin and the pattern of the third photosensitive resin;
A method for producing a relief printing plate, comprising:
金属からなる凸状パターン側面の金属表面ないし前記基材表面の露出部に樹脂膜を被覆する工程を含むことを特徴とする請求項4または5に記載の印刷用凸版の製造方法。 After removing the pattern of the first photosensitive resin,
6. The method for producing a relief printing plate according to claim 4, further comprising a step of coating a metal film on a side surface of the convex pattern made of metal or an exposed portion of the surface of the base material with a resin film.
凸状パターン側面の金属表面ないし基材表面の露出部に樹脂膜を被覆する工程に電着法を用いることを特徴とする印刷用凸版の製造方法。 The relief printing method according to claim 6, wherein
A method for producing a relief printing plate, comprising using an electrodeposition method in a step of coating a resin film on a metal surface on a side surface of a convex pattern or an exposed portion of a substrate surface.
請求項4から7のいずれかに記載の印刷用凸版の製造方法。 The electroforming method is used for the step of forming the metal layer on the substrate,
The manufacturing method of the relief printing plate in any one of Claim 4 to 7.
前記第二の感光性樹脂の塗工液を塗布することによって前記層を形成し、
前記塗工液に、
フィルタリング処理と、
脱泡処理と、
を施すことを特徴とする請求項4から8のいずれかに記載の印刷用凸版の製造方法。 In the step of forming the second photosensitive resin layer,
Forming the layer by applying a coating solution of the second photosensitive resin,
In the coating solution,
Filtering process,
Defoaming treatment,
The method for producing a relief printing plate according to any one of claims 4 to 8, wherein:
次に前記凸部表面上のインキを被印刷体に転写し、インキパターンを形成する工程と、
を少なくとも含むことを特徴とする印刷物の製造方法。 Supplying ink from the ink supply to the convex surface of the relief printing plate according to any one of claims 1 to 3,
Next, the step of transferring the ink on the surface of the convex portion to the printing material and forming an ink pattern;
A method for producing a printed material, comprising at least
有機発光媒体層のうち少なくとも一層を請求項10に記載の印刷物の製造方法を用いて印刷形成することを特長とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 In the method for producing an organic electroluminescence device comprising at least a first electrode, one or more organic light emitting medium layers, and a second electrode,
A method for producing an organic electroluminescent element, wherein at least one layer of the organic light emitting medium layer is formed by printing using the method for producing a printed matter according to claim 10.
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