JP2008063130A

JP2008063130A - 基板検査装置

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Publication number: JP2008063130A
Application number: JP2006245739A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Fujimori; 洋志藤森
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2006-09-11
Filing date: 2006-09-11
Publication date: 2008-03-21
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Abstract

【課題】基板検査装置において、搬送路が長くなっても、基板が変形することなく、しかも良好な精度で基板を搬送することができるようにする。
【解決手段】被検体である薄板状の基板４を搬送するための浮上ステージ１Ａ、２Ａ、３Ａと、これら浮上ステージの搬送方向に直交する方向のいずれかの側方に配置され、基板４の端部を保持して基板４に搬送力を付勢する吸着搬送部５、６、７を備え、これら吸着搬送部の間で、基板４を順次受け渡すことにより基板４の搬送を行うようにする。
【選択図】図１

Description

本発明は基板検査装置に関する。例えば、液晶ガラス基板などのような薄板状の基板を水平搬送して表面欠陥を検査する基板検査装置に関する。

近年、液晶ディスプレイの大型化に伴い、液晶ガラス基板も大型化している。そのため、このような薄板状の基板の表面欠陥を検査する基板検査装置は、製造工程にある基板をガス浮上ステージなどの搬送ステージに移載し、基板の端部を例えば吸着保持するなどして検査部に搬送し、検査部において基板を水平移動することで基板表面の検査を行うものが多い。それにより、基板移動のための時間、エネルギーロス、および搬送による基板へのダメージなどを低減している。
例えば、特許文献１には、基板を浮上させる浮上ブロックと、浮上ブロック上の基板の両端を吸着保持して一方向に基板を搬送する基板搬送部を備える基板搬送装置が記載されている。
また、特許文献２には、ころ搬送部の片側に搬送方向に沿ってＹテーブルが設けられ基板の片側を把持機構により厚さ方向に把持して搬送するフラットパネル検査装置が記載されている。
特開２００４−２７９３３５号公報（図１）特開２０００−９６６１号公報（図１〜３）

しかしながら、上記のような従来の基板検査装置には、以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術では、基板搬送部により、基板の両端を吸着保持して搬送するので、基板の大型化に伴いたわみやすくなっている薄板状の基板では、基板搬送部の平行度の狂いなどにより基板が変形しやすくなり、基板が歪むことで検査精度に影響するといった問題がある。
また、特許文献１に記載の基板検査装置では、浮上ブロックに対して、共通の基板搬送部を設けているが、搬送路のレイアウトや検査部の数などによっては複数の浮上ブロックを配列して長大な搬送路を形成するとともに、搬送路中に複数の製造装置や検査装置を配置する必要がある場合がある。このような場合、複数の浮上ブロックと各装置に共通する両端保持の基板搬送部を設けるには、互いの配置精度を高精度にする必要があるため、基板検査装置の設置の手間や組立コストが増大してしまうという問題がある。特に基板検査装置は、外部からの振動を遮断するために除振台に載せられている。このように除振台に載せられた装置の場合、基板の移動にともない除振台に載せられた浮上ブロックの上面が傾いたり、外部からの振動により複雑な動きを行うため、共通の基板搬送部を設けることができないという問題がある。
後者の問題を回避するため、基板搬送部を浮上ブロックごとに分割して設けることも考えられるが、一方の基板搬送部から他方の基板搬送部に載せ替えるための搬送ロボットなどが必要となり、装置構成が複雑となってしまうという問題がある。
また、特許文献２に記載の技術では、基板を下流側の搬送部に受け渡す場合に基板を一度離す必要がある。このとき、基板は水平方向の拘束がなくなるので、基準位置にアライメントされた基板の位置決め状態が損なわれてしまう。そのため、受け渡し後に再度アライメント調整を行わなければならないという問題がある。

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、搬送路が長くなっても、基板が変形することなく、しかも良好な精度で基板を搬送することができる基板検査装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明の基板検査装置は、被検体である薄板状の基板を搬送するための搬送ステージと、該搬送ステージの、搬送方向に直交する方向のいずれかの側方に配置され、前記基板の端部を保持して該基板に搬送力を付勢する複数の片側搬送部とを備え、該複数の片側搬送部の間で前記基板を順次受け渡すことにより、該基板の搬送を行うようにしたことを特徴とする。

本発明の基板検査装置によれば、複数の片側搬送部の間で基板を受け渡して搬送するので、搬送長さが長くなっても、基板が変形することなく、しかも良好な精度で基板を搬送することができるという効果を奏する。

以下では、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。

［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す平面図である。図２（ａ）は、図１のＡ部の部分拡大図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＢ視正面図である。

本実施形態は、例えば液晶ガラス基板などからなる薄板状の基板４を被検体とし、基板４を水平方向に、浮上させながら搬送して、基板４の表面を検査する基板検査装置１００に適用したものである。
基板検査装置１００の概略構成は、図１に示すように、基板搬入部１、検査部２、および基板搬出部３が、搬送方向に沿ってこの順に配置されてなる。
基板４の平面視形状は、搬送方向の長さがＬ、搬送方向に直交する方向（以下、搬送幅方向と略称する）の幅がＷの略矩形状であるとして説明する。

基板搬入部１は、装置外部から、例えば搬送ロボットなどにより搬送された基板４を複数のリフトピンを備えたリフタにより受け取り、浮上ステージ１Ａに載置し、浮上ステージ１Ａ上に浮上した基板４を、水平面内で搬送方向および搬送幅方向に位置決めする基準ピン８ａ、８ａ、８ｂと押付けピン８ｃ、８ｃからなる基板位置決め機構を備え、さらに、浮上ステージ１Ａおよび吸着搬送部５（片側搬送部）を備える。
浮上ステージ１Ａは、基板４を水平方向に載置して水平方向に移動自在とし、基板４を低荷重で一定方向に搬送するための搬送ステージである。本実施形態では、不図示のエア供給源に接続されたエア噴射孔Ｎがステージ表面に多数設けられ、これらエア噴射孔Ｎからエアを噴射することで、基板４を浮上支持するガス浮上ステージにより構成されている。
浮上ステージ１Ａの大きさは、搬送方向の長さが、基板４の搬送方向長Ｌよりも長く、搬送幅方向の幅が、基板４の幅Ｗよりわずかに狭い設定とされる。

基準ピン８ａ、８ａは、基板４の搬送幅方向側の端部に突き当てることで、搬送幅方向の位置決めを行うための係止部材であり、浮上ステージ１Ａの搬送方向に向かって右側（図１の下側、以下、搬送方向右側と略称する）の固定配置で、基板４の載置面に対して上下方向に出没可能に設けられている。
基準ピン８ｂは、基板４の搬送方向側の端部に突き当てることで、搬送方向の位置決めを行うための係止部材であり、浮上ステージ１Ａの搬送方向下流側において、基板４の載置面に対して上下方向に出没可能に設けられている。
なお、図１は模式図のため大きさなどが誇張されている結果、基準ピン８ｂがスライドガイド９と干渉するような位置関係に描かれているが、基準ピン８ｂは、スライドガイド９から少し離れた位置に設けられ、さらにスライダ１０と干渉しないように基板４の位置決め後に下降して後述する吸着搬送部５と干渉しない位置に退避できるように構成される。
押付けピン８ｃは、基板４を押圧して基準位置に設置された基準ピン８ａ、８ａ、８ｂ側に付勢するための押圧部材であり、浮上ステージ１Ａの搬送方向に向かって左側（図１の上側、以下、搬送方向左側と略称する）と浮上ステージ１Ａの搬送方向上流側において、基板４に向けて移動可能に設けられている。

なお、基準ピン８ａ、８ｂ、押付けピン８ｃは、基板４の端部を傷つけることなく当接することができる係止部材であれば、ピン状部材には限定されず、例えばブロック状の部材であってもよい。また、押圧部材は、表面が緩衝材などに覆われていてもよい。

吸着搬送部５は、浮上ステージ１Ａの搬送方向右側に沿って配置され、浮上ステージ１Ａ上に浮上支持された基板４の搬送方向右側の裏面側を吸着保持し、搬送方向に搬送力を付勢するものである。
吸着搬送部５の概略構成は、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、スライドガイド９、スライダ１０、昇降機構１１、昇降ベース１２、吸着ベース１３、および吸着ブロック１４からなる。

スライドガイド９およびスライダ１０は、スライドガイド９をガイド部材として、スライダ１０を一定の直線上で往復移動せしめる移動機構であり、本実施形態では、リニアモータを採用しているが、ボールネジなどを用いた１軸駆動機構を採用することもできる。
吸着搬送部５のスライドガイド９は、図１に示すように、浮上ステージ１Ａの搬送方向右側に沿って配置され、浮上ステージ１Ａにおける基準位置決め領域Ｐ_１の中間部から、浮上ステージ２Ａの上流側の基板受渡し領域Ｐ_２の中間部まで延ばされている。

昇降機構１１は、スライダ１０上に固定され、基板４を搬送する際に吸着ベース１３を上昇させ、基板４を受渡して、元の位置に戻る際に基板４に干渉しないように下降させるものである。
昇降ベース１２は、昇降機構１１の上端面に設けられた吸着ベース１３を保持する保持部材である。
吸着ベース１３は、複数の吸着ブロック１４を上面側に固定するために設けられた、基板４の搬送方向長さＬよりわずかに短い長さの矩形状の支持部材であり、長手方向が浮上ステージ１Ａの端面に平行となる状態で昇降ベース１２上に固定されている。
吸着ブロック１４は、その上端面で、基板４の搬送方向右側の端部を裏面側から吸着するための吸着パッドであり、各上端面が平面上に整列した状態で、吸着ベース１３上に適宜間隔をあけて複数設けられている。本実施形態では、基板４の搬送方向幅方向の端部の全長Ｌを略等分割する位置に６個設けられ、片側の端部が全体的に吸着されている。
吸着ブロック１４の構成としては、例えば、平面視矩形状の吸着面に凹部１４ａと、この凹部１４ａの中央に、吸引源により真空吸引を行う吸引孔１４ｂが設けられた構成を採用することができる。

検査部２は、基板搬入部１から搬送された基板４を検査し、基板搬出部３に受け渡すものである。
検査部２は、不図示のベース上に固定された門型のガントリー２ａと、このガントリー２ａの水平アームに移動可能に設けられた顕微鏡等の検査ヘッド２ｂと、浮上ステージ２Ａおよび吸着搬送部６からなる。検査部２は、検査時に外部振動の影響を受けないように、除振台上に設置されることが好ましい。

浮上ステージ２Ａは、基板４を水平方向に載置して一定方向に搬送するための搬送ステージであり、本実施形態では、浮上ステージ１Ａと同様のガス浮上ステージを採用している。ただし、検査部２の浮上ステージ２Ａの大きさは、搬送幅方向の幅は浮上ステージ１Ａと同幅としているが、搬送方向の長さは２・Ｌ以上に設定している。そのため、浮上ステージ２Ａの基板受渡し領域Ｐ_２の下流側に、検査領域Ｐ_３を設ける場合、浮上ステージ２Ａ上の基板受渡し領域Ｐ_２で基板４を吸着搬送部５から吸着搬送部６に受渡した状態で、検査ヘッド２ａにより基板４の全面を検査できるように基板４を検査ヘッド２ａの検査ラインに対して搬送方向の先端から後端まで移動させることができる長さが確保されていればよい。
検査部２は、基板４を基板搬入部１から搬入する際、除振台をロックして浮上ステージ２Ａを浮上ステージ１Ａと同高さとすることが好ましい。

吸着搬送部６は、図２（ｂ）に示された吸着搬送部５の構成と同様の構成を備え、図１に示すように、吸着搬送部５と反対側の浮上ステージ２Ａの搬送方向左側に沿って配置され、基準位置に位置決めされた状態で、吸着搬送部５から基板４を受け取って浮上搬送させるものである。
吸着搬送部６は、複数の吸着ブロック１４によって、基板４の搬送方向左側の裏面を吸着し、基板４に搬送力を付勢できるようになっている。
検査部２のスライドガイド９は、図１に示すように浮上ステージ２Ａの搬送方向左側に沿って配置され、浮上ステージ２Ａの上流側が基板受渡し領域Ｐ_２の中間部から下流側の基板受渡し領域（検査領域）Ｐ_３の中間部まで延ばされている。このスライドガイド９の長さは、隣り合う２つの基板受渡し領域Ｐ_２、Ｐ_３でスライダ１０が浮上ステージ２Ａの搬送方向長さの範囲を往復移動できる長さであればよく、浮上ステージ２Ａの搬送方向長さと略同じ長さでもよい。
したがって、平面視において、吸着搬送部５のスライドガイド９と、吸着搬送部６のスライドガイド９とが浮上ステージ２Ａを挟んで互いに平行に対向している。対向配置された吸着搬送部５、６は、基板受渡し領域Ｐ_２で基板４の受渡しができればスライダ１０が必ずしも基板受渡し領域Ｐ_２の中間（Ｌ／２）でなくともよいが、位置決めされた基板を正確、かつ安定に搬送するためにはそれぞれのスライダ１０を基板受渡し領域Ｐ_２の中間（Ｌ／２）に移動させるとよい。
本実施形態では、吸着搬送部５で吸着搬送された基板４を浮上ステージ２Ａ上の基板搬送領域Ｐ_２で吸着搬送部６に受け渡すことができるように設定する。すなわち、図２に示すように基板４の搬送幅方向の端部全体を、吸着搬送部５の各吸着ブロック１４、吸着搬送部６の各吸着ブロック１４により吸着保持できるようにしているため、吸着搬送部５のスライダ１０の移動範囲を基準位置決め領域Ｐ_１と基板受渡し領域Ｐ_２のそれぞれの中間位置に設定されている。
同様に吸着搬送部６のスライダ１０の移動範囲は、基板受渡し領域Ｐ_２、Ｐ_３のそれぞれの中間位置に設定されている。

基板搬出部３は、検査部２での検査が終了した基板４を、例えば搬送ロボットにより装置外部に搬出するためのものであり、浮上ステージ３Ａと吸着搬送部７とを備える。
浮上ステージ３Ａ、吸着搬送部７は、それぞれ、浮上ステージ１Ａ、吸着搬送部５と同様な構成を備え、吸着搬送部６と反対側の浮上ステージ３Ａの搬送方向右側に沿って配置されている。ただし、吸着搬送部７のスライドガイド９は、浮上ステージ２Ａの下流側の基板受渡し領域Ｐ_３の中間部から浮上ステージ３Ａの基板搬出領域Ｐ_４の中間部まで延出されている。
したがって、吸着搬送部６のスライドガイド９と、吸着搬送部７のスライドガイド９とのそれぞれの一部が浮上ステージ２Ａの基板受渡し領域Ｐ_３を挟んで互いに平行に対向しているため、吸着搬送部６で吸着搬送された基板４を浮上ステージ２Ａの上流側の浮上ステージ３Ａに隣接する基板受渡し領域Ｐ_３で吸着搬送部７に受け渡すことができるようになっている。

このように、本実施形態の基板検査装置１００では、浮上ステージ１Ａ、２Ａ、３Ａが、搬送方向に順次隣接して延ばされ、その搬送方向の左右に、吸着搬送部５、６、７が千鳥状に配置することにより、浮上ステージ１Ａと浮上ステージ２Ａ、浮上ステージ２Ａと浮上ステージ３Ａとの間で基板４の受渡しを行うそれぞれの基板受渡し領域Ｐ_２、Ｐ_３で基板受渡し位置となる位置決めされた基板４を吸着搬送部５から吸着搬送部６へ、また、吸着搬送部６から吸着搬送部７へそれぞれ順次受け渡して搬送することができる構成となっている。

次に、本実施形態の基板検査装置１００の動作について、基板４の搬送動作を中心に説明する。
図３、４は、本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の動作について説明する平面図である。

まず、図１の図示左端側に示すように、吸着搬送部５のスライダ１０を搬送開始側に移動させる。このとき、昇降機構１１の高さを調整し、吸着ブロック１４の上端面が、基板４の裏面の浮上高さより低い状態にしておく。
そして、不図示の搬送ロボットなどによって、検査を行う基板４を浮上ステージ１Ａ上より突出したリフタの各リフトピン上に移載する。リフタは、搬送ロボットから基板４を受け取った後、下降して基板４を浮上ステージ１Ａ上に載置する。浮上ステージ１Ａ上に移載された基板４は浮上ステージ１Ａから上方に噴射されるエアにより所定高さに浮上される。

次に、押付けピン８ｃ、８ｃを移動して、浮上状態の基板４を基準ピン８ａ、８ａ、８ｂに押し付けて基準位置に位置決めを行う。
これらの動作により、浮上ステージ１Ａ上に浮上した基板４の２辺が基準ピン８ａ、８ａ、８ｂに押し付けられることで、平面視の位置が搬送幅方向、搬送方向の基準位置に対してそれぞれ位置決めされる。基板４は、浮上ステージ１Ａ上に浮上されているので、平面方向の移動が自由となっており、基板４のサイズが大きくてもわずかの負荷で移動できる（図１左端側参照）。

この状態で、昇降機構１１を駆動して、吸着ブロック１４を基板４の裏面の高さまで上昇させ、基板４を真空吸着する（図２（ａ）参照）。
真空吸着が完了した後、基準ピン８ｂを下降あるいは退避させる。
そして、吸着搬送部５のスライダ１０を搬送方向に移動し、基板４を検査部２の基板受渡し領域Ｐ_２まで搬送する。
このとき、吸着搬送部６のスライダ１０は、昇降機構１１を下降させ、吸着ブロック１４の上端面が、基板４の裏面の高さより低くなるようにして、浮上ステージ１Ａの基板受渡し領域Ｐ_２まで移動し待機する（図３参照）。

この結果、図３に示すように、浮上ステージ２Ａ上の基板受渡し領域Ｐ_２に移動した基板４の下面には、吸着搬送部５、６の各スライダ１０が、互いに対向する位置に配置される。この状態で、吸着搬送部６の吸着ブロック１４の上端面が基板４の裏面に当接するまで昇降機構１１を上昇させる。そして基板４を吸着搬送部５の吸着ブロック１４で吸着保持した状態で、吸着搬送部６により真空吸着する。このとき、搬送幅方向に対向する基板４の端部がそれぞれ吸着搬送部５、６の各吸着ブロック１４により略全長にわたって吸着保持されている。
吸着終了後、吸着搬送部５の吸着を解除し、吸着搬送部５の昇降機構１１を下降させる。吸着搬送部５は、基板搬入部１の基板位置決め領域Ｐ_１に移動され、上記の搬送開始時の状態に復帰し、次の基板４を搬送に備える。
これにより、基板位置決め機構で位置決めされた基板４は、位置決めされた状態で搬送方向右側の吸着搬送部５から、搬送方向左側の吸着搬送部６に受け渡される。
このように、吸着搬送部５により搬送された基板４の反対側を吸着搬送部６で吸着保持した状態で吸着搬送部５の吸着を解除することにより、基板４の平面方向の基準位置は不変であり、基板４は基板位置決め機構により基準位置が維持された状態で対向する吸着搬送部６に受け渡すことができる。

次に、吸着搬送部６のスライダ１０を検査領域Ｐ_３に移動し、浮上ステージ２Ａ上において、浮上ステージ３Ａ側に向けて基板４を搬送する（図４参照）。このとき、検査部２での検査の必要に応じて予め設定された一定速度で搬送したり、所定の速度変化をつけて搬送したり、所定の位置移動を行って搬送したりする。本実施形態では、基板４上の各欠陥の座標データに基づいて、指定された欠陥が検査ヘッド２ｂの検査ラインに一致するように基板４を搬送して停止させるとともに、検査ヘッド２ｂの光軸が欠陥に一致するように検査ヘッド２ｂをガントリー２ａに沿って移動させる。このようにして基板４と検査ヘッド２ｂを相対的にＸＹ移動させることで基板４の任意の位置を検査することができる。
このとき、吸着搬送部７のスライダ１０は、昇降機構１１を下降させ、吸着ブロック１４の上端面が、基板４の裏面の高さより低くなるようにして、浮上ステージ２Ａの基板受渡し領域Ｐ_３まで移動し待機する。
そして、基板４が浮上ステージ２Ａの搬送方向の端部に移動されると、基板４の下面には、吸着搬送部６、７のスライダ１０が対向して配置される。この状態で、吸着搬送部７の昇降機構１１を駆動し、吸着搬送部７の吸着ブロック１４の上端面が基板４の裏面に当接するまで上昇させる。そして基板４を吸着搬送部６の吸着ブロック１４で吸着保持した状態で吸着搬送部７により真空吸着する。このとき、搬送幅方向に対向する基板４の端部がそれぞれ吸着搬送部６、７の各吸着ブロック１４により略全長にわたって吸着保持されている。
吸着搬送部７の吸着終了後、吸着搬送部６の吸着を解除し、吸着搬送部６の昇降機構１１を下降させる。吸着搬送部６は、基板位置決め領域Ｐ_１に移動され、上記の基板受け取り時の状態に復帰し、次の基板４の受け取りに備える。

次に、吸着搬送部７のスライダ１０を移動して、基板４を浮上ステージ３Ａ上に搬送する。そして、不図示の搬送ロボットなどに基板４を受け渡すとともに、吸着搬送部７の吸着を解除し、次の基板４を受け取るため、吸着搬送部７のスライダ１０を基板受渡し領域Ｐ_３に復帰させる。
このようにして、基板４の受入、検査、搬出が終了する。

このように、本実施形態の基板検査装置１００によれば、基板４の搬送幅方向の片方の端部を吸着搬送部５、６、７によりそれぞれ保持して、基板４を浮上ステージ１Ａ、２Ａ、３Ａ上を順次搬送することができる。このように片側搬送を行うことにより、基板４の搬送時には、吸着搬送部５、６、７により基板４の一方端部のみが吸着保持されるため、両側を保持して搬送する場合のようなストレスを基板４に与えなくて済むので、検査時に基板４が歪んだり、たわんだりしないようにして、搬送することができる。
また、各片側搬送部の配置精度を緩くしたり、必要に応じて、搬送方向を搬送ステージごとに切り替えたりすることが可能となる。
また、浮上ステージ１Ａから浮上ステージ２Ａへの移行、浮上ステージ２Ａから浮上ステージ３Ａへの移行する際に、浮上ステージ２Ａの基板受渡し領域Ｐ_２、Ｐ_３に基板４を配置した状態で、吸着搬送部５、６、および吸着搬送部６、７により搬送幅方向の両端部を吸着して、基板４の受け渡しを行うため、浮上ステージ１Ａ上で位置決めした状態を維持して搬送することができる。これにより受け渡しのたびに位置調整などを行う手間を省くことができ、基板検査装置１００の調整機構を簡素化することができるとともに、検査効率を向上することができる。
また、基板４の位置決め状態を維持しながら基板搬出領域Ｐ_４まで搬送できるため、基板４を搬送ロボットに正確に受け渡すことができるため、搬送ロボットにより基板４がカセットの側壁にぶつかることなく基板４をカセット内に搬送することができる。

次に、本実施形態の変形例について説明する。
図５は、本発明の第１の実施形態の変形例の基板検査装置の概略構成を示す平面図である。

本変形例の基板検査装置１１０は、図５に示すように、上記第１の実施形態の基板検査装置１００の吸着搬送部５、７に代えて、吸着搬送部１５（片側搬送部）を備えたものである。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
吸着搬送部１５は、吸着搬送部５のスライドガイド９を、吸着搬送部７のスライドガイド９の位置まで延長したスライドガイド１６に代えるとともに、吸着搬送部５のスライダ１０に代えて、同様の構成からなる２つのスライダ１０Ａ、１０Ｂをスライドガイド１６上で移動可能に設けたものである。
なお、スライダ１０Ａ、１０Ｂの上部には、図２（ｂ）に示すように、昇降機構１１、昇降ベース１２、吸着ベース１３、および吸着ブロック１４を備える。
すなわち、上記第１の実施形態の吸着搬送部５、７をそれぞれのスライドガイド９を接続して一体化した場合の構成に相当している。

本変形例の基板検査装置１１０によれば、上記第１の実施形態の吸着搬送部５のスライダ１０と、吸着搬送部６のスライダ１０とを、それぞれ吸着搬送部１５のスライダ１０Ａ、１０Ｂに代えることにより、まったく同様の動作を行うことができる。そのため、上記第１の実施形態と同様の作用効果を備える。
さらに、本変形例によれば、吸着搬送部５、７が吸着搬送部１５として一体化されるので、部品点数を低減することができる。また、スライダ１０Ａ、１０Ｂが、浮上ステージ２Ａ側の任意の位置に移動することができるので、基板４の長さＬが変わった場合でも容易に対応できるとともに、浮上ステージ２Ａの基板受渡し領域Ｐ_２、Ｐ_３の位置を容易に変更することができるという利点がある。

［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態に係る基板検査装置について説明する。
図６は、本発明の第２の実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す平面図である。

本実施形態の基板検査装置１２０は、図６に示すように、上記第１の実施形態の基板検査装置１００の吸着搬送部５、６に代えて、吸着搬送部１７、１９（片側搬送部）を備え、吸着搬送部７を削除したものである。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
吸着搬送部１７は、基板検査装置１００の吸着搬送部５のスライドガイド９を浮上ステージ２Ａ側に延長し、浮上ステージ２Ａの搬送方向の略全長の範囲で、スライダ１０を移動できるようにしたスライドガイド１８に代えたものである。
吸着搬送部１９は、吸着搬送部６のスライドガイド９を浮上ステージ３Ａ側に延長し、吸着搬送部７のスライドガイド９の可動範囲に、スライダ１０を移動できるようにしたものである。

このような構成により、吸着搬送部１７により基板搬入部１と検査部２との範囲で、また、吸着搬送部１９により検査部２と基板搬出部３との範囲で、それぞれ基板４を搬送することができる。そして、吸着搬送部１７、１９の搬送範囲が共有される浮上ステージ２Ａ上の任意の位置で、基板４を吸着搬送部１７から吸着搬送部１９に受け渡すことができる。すなわち、浮上ステージ２Ａ上の受け渡し位置は、浮上ステージ２Ａの浮上ステージ１Ａ側、浮上ステージ３Ａ側、あるいは、それらの中間位置など任意の位置に、必要に応じて選択することができる。

このように、本実施形態は、３つの搬送ステージに対して、２つの片側搬送部を配置することにより、各片側搬送部の間で基板を受け渡して搬送する構成を実現した例となっている。これは、本発明において、３つの搬送ステージに対して最小限の片側搬送部を備える構成例である。
本実施形態によれば、片側搬送部の数を第１の実施形態に比べて低減することができる。
また、本実施形態では、吸着搬送部１７、１９が、浮上ステージ２Ａの搬送方向の略全長の搬送範囲を共有しているため、検査部２内で、吸着保持する端部を左右交代させることができる。そのため、例えば、吸着ブロック１４が検査の障害となるような検査、例えば、図１に示すように検査ヘッド２ｂを基板４の搬送幅方向に走査する場合あっても、検査ヘッド２ｂが基板４を吸着保持している側の吸着ブロック１４と干渉する場合には、反対側の吸着ブロック１４により基板４を持ち替えることにより、それぞれの端部での検査が可能となる。

［第３の実施形態］
本発明の第３の実施形態に係る基板検査装置について説明する。
図７は、本発明の第３の実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す平面図である。

本実施形態の基板検査装置１３０は、図７に示すように、上記第１の実施形態の基板検査装置１００の検査部２に代えて、検査部２ａ、２ｂを複数備え、それに応じて吸着搬送部６に代えて吸着搬送部６ａ、６ｂ（片側搬送部）を複数備え、さらに各検査部２ａ、２ｂの間に吸着搬送部７０（片側搬送部）を追加したものである。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。

検査部２ａ、２ｂは、それぞれ異なる検査を行うためのもので、特に図示しないが、それぞれの検査に応じて異なる検査部分を備える。検査部分以外の構成は、検査部２ａは、浮上ステージ２Ａと吸着搬送部６ａ、検査部２ｂは、浮上ステージ２Ａと吸着搬送部６ｂとを備える。
そして、基板搬入部１と検査部２ａの隣接位置近傍では、第１の実施形態と同様の位置関係に吸着搬送部５が配置されている。
また、吸着搬送部７０のスライドガイドは、検査部２ａ、２ｂの隣接する検査領域Ｐ３と基板受渡し領域Ｐ２の中間部まで延出されている。吸着搬送部７０の構成は、スライドガイド９０の長さが異なるのみで、他の構成は吸着搬送部７と同様である。
また、検査部２ｂと基板搬出部３との隣接位置近傍では、第１の実施形態と同様の位置関係に吸着搬送部７が配置されている。

このような構成により、第１の実施形態と同様にして、基板搬入部１で位置決めされた基板４を吸着搬送部６ａに受け渡すことができる。そして、検査部２ａでの検査後、吸着搬送部６ａと吸着搬送部７０との間で搬送範囲が共有された浮上ステージ２Ａの検査領域Ｐ_３で、基板４を吸着搬送部７０に受け渡すことができる。
吸着搬送部７０に吸着保持された基板４は、同様にして、隣の検査部２ｂの基板受渡し領域Ｐ_２まで搬送され、吸着搬送部６ｂに基板を受け渡すことができる。
そして、検査部２ｂで検査終了した基板４は、吸着搬送部６ａにより、下流側の基板受渡し領域Ｐ_３に搬送され、この基板受渡し領域Ｐ_３で、基板４を吸着搬送部７に受け渡し、基板搬出部３の吸着搬送部７により基板搬出領域Ｐ_４まで搬送して図示しない搬送ロボットにより装置外部に搬送することができる。

このように、本実施形態は、検査部を複数設けた場合の例となっている。このように、本発明では、基板搬入部１と基板搬出部３との間に、複数の検査部２を増設することができる。
したがって、それぞれの搬送ステージ、片側搬送部の搬送距離が短くても、それらを隣接して配列することで、全体の搬送距離を伸ばすことができる。

［第４の実施形態］
本発明の第４の実施形態に係る基板検査装置について説明する。
図８は、本発明の第４の実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す平面図である。

本実施形態の基板検査装置１４０は、図８に示すように、上記第１の実施形態の基板検査装置１００の浮上ステージ１Ａ、２Ａ、３Ａに代えて、ローラステージ１Ｂ、２Ｂ、３Ｂ（搬送ステージ）を備えるものである。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。

ローラステージ１Ｂ、２Ｂ、３Ｂは、平面視でそれぞれ浮上ステージ１Ａ、２Ａ、２Ｂと同様大きさの矩形状のステージ面上に、一定高さで基板４を水平方向に搬送する搬送ローラ３０が適宜間隔で多数配列されたものである。
搬送ローラ３０としては、例えば、ローラステージ１Ｂ、２Ｂ、３Ｂの水平面内で３６０°方向に回転自在に支持された円筒ローラや、球状のローラなどを採用することができる。
このような構成によれば、基板４が、搬送ローラ３０上でローラ搬送される点を除いて、上記第１の実施形態と同様の動作を行うことができるので、上記第１の実施形態と同様の作用効果を有する。

なお、上記の説明では、搬送ステージが複数隣接して配置された場合の例で説明したが、１つの搬送ステージが搬送方向に延設され、複数の片側搬送部が、搬送方向に直交する方向のいずれかの側方に配置され、それら複数の片側搬送部の間で、基板を受け渡して搬送する構成としてもよい。例えば、上記各実施形態、変形例において、浮上ステージ１Ａ、２Ａ、３Ａや、ローラステージ１Ｂ、２Ｂ、３Ｂなどをそれぞれ一体の搬送ステージとするように変形した構成としてもよい。
この場合、基板搬送精度を決定する片側搬送部を搬送方向にわたって複数に分けることができるので、例えば、搬送精度が必要な１つの検査部分ごとに片側搬送部を分割することにより、搬送路全長にわたって高精度な搬送を行う片側搬送部を１つ設ける場合に比べて、簡素かつ安価な構成とすることができる。

また、上記の説明では、搬送ステージが複数に分割されている場合において、基板の受け渡し位置が、隣接する搬送ステージの一方の端部側に位置する場合の例で説明したが、搬送ステージの段差が十分小さい場合には、図５、６に示すように、基板が隣接する搬送ステージの両方に跨る位置で、基板受け渡しを行う構成としてもよい。

また、上記の説明では、複数の片側搬送部が、基板の受け渡し位置で搬送ステージを挟んで対向可能となる位置に設けられた例で説明したが、基板の受け渡しが可能であれば、複数の片側搬送部を、搬送ステージの同方向側の側方で、搬送方向に直交する方向に対向可能となる位置に設けてもよい。

また、上記の説明では、検査部２が除振台に保持されることが好ましいとしたが、必要に応じて、いずれの搬送ステージ、片側搬送部を除振台上に配置してもよい。本発明によれば、このような除振台は、搬送ステージごと、片側搬送部ごとに個別に設置することもできるので、装置の設置が容易になるという利点がある。

また、上記に説明した各実施形態、変形例の各構成要素は、技術的に可能であれば、本発明の技術的思想の範囲内で適宜組み合わせて実施してもよい。

本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す平面図である。図１のＡ部の部分拡大図、およびそのＢ視正面図である。本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の動作について説明する平面図である。本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の動作について説明する平面図である。本発明の第１の実施形態の変形例の基板検査装置の概略構成を示す平面図である。本発明の第２の実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す平面図である。本発明の第３の実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す平面図である。本発明の第４の実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す平面図である。

符号の説明

１基板搬入部
１Ａ、２Ａ、３Ａ浮上ステージ（搬送ステージ）
１Ｂ、２Ｂ、３Ｂローラステージ（搬送ステージ）
２検査部
３搬出部
４基板
５、６、７、１５、１７、１９吸着搬送部（片側搬送部）
８ａ、８ｂ基準ピン
８ｃ押付けピン
１４吸着ブロック
３０搬送ローラ
１００、１１０、１２０、１３０、１４０基板検査装置

Claims

被検体である薄板状の基板を搬送するための搬送ステージと、
該搬送ステージの、搬送方向に直交する方向のいずれかの側方に配置され、前記基板の端部を保持して該基板に搬送力を付勢する複数の片側搬送部とを備え、
該複数の片側搬送部の間で前記基板を順次受け渡すことにより、該基板の搬送を行うようにしたことを特徴とする基板検査装置。
前記搬送ステージが、前記搬送方向に隣接して複数配置されるとともに、
前記各搬送ステージの隣接位置において、
前記隣接する搬送ステージのいずれか一方の端部に前記基板が位置する状態で、
前記複数の片側搬送部の１つが前記複数の片側搬送部の他の１つに前記基板を受け渡すことができるように、前記複数の片側搬送部が配置されたことを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
前記複数の片側搬送部の１つと、前記複数の片側搬送部の他の１つとが、前記基板の受け渡し位置で前記搬送ステージを挟んで対向する位置に設けられたことを特徴とする請求項２に記載の基板検査装置。
前記搬送ステージが、前記基板をガス噴射で浮上させるガス浮上ステージからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板検査装置。