JP2008046469A - Method for manufacturing diffractive optical element and resin discharging apparatus - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明は、光学部材に回折格子をなす樹脂層を設けた回折光学素子の製造方法および樹脂吐出装置に関し、回折光学素子の凹凸パターンへの気泡の混入を有効に防止することができるとともに、光学材料樹脂の膜厚ムラを少なくすることを目的とする。
【解決手段】 成形型に形成される輪帯状の凹凸パターンに未硬化の光学材料樹脂を吐出する樹脂吐出工程と、前記未硬化の光学材料樹脂に光学部材を押圧して前記光学材料樹脂を前記凹凸パターンに押し広げる押し広げ工程と、前記光学材料樹脂を硬化させる硬化工程とを有し、前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンの中心に対して対称となる位置に行うことを特徴とする。
【選択図】 図11The present invention relates to a method of manufacturing a diffractive optical element in which a resin layer that forms a diffraction grating is provided on an optical member, and a resin discharge apparatus, and can effectively prevent air bubbles from being mixed into a concavo-convex pattern of the diffractive optical element. At the same time, it aims to reduce the film thickness unevenness of the optical material resin.
A resin discharge step of discharging an uncured optical material resin to a ring-shaped uneven pattern formed on a mold, and pressing the optical member against the uncured optical material resin to A spreading step of spreading on the concavo-convex pattern, and a curing step of curing the optical material resin, wherein the ejection of the optical material resin in the resin ejection step is symmetrical with respect to the center of the ring-shaped concavo-convex pattern It is characterized by being performed at a position.
[Selection] FIG.
Description
本発明は、光学部材に凹凸パターンをなす樹脂層を設けた回折光学素子の製造方法および樹脂吐出装置に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a diffractive optical element in which an optical member is provided with a resin layer having a concavo-convex pattern, and a resin ejection device.
従来、レンズ部材に凹凸パターンをなす樹脂層を設けた回折光学素子が知られている。このような回折光学素子は、例えば、凹凸パターンを有する部材の1箇所に未硬化の光学材料樹脂を吐出した後、未硬化の光学材料樹脂を凹凸パターンの全体に押し広げ、この状態で光学材料樹脂を硬化することにより製造される。
そして、未硬化の光学材料樹脂を凹凸パターンの全体に押し広げる時に、凹凸パターンの溝に気泡が混入しないように、凹凸パターンの溝方向に沿って光学材料樹脂を押し広げることが行われている。
Then, when the uncured optical material resin is spread over the entire concavo-convex pattern, the optical material resin is spread along the groove direction of the concavo-convex pattern so that bubbles are not mixed into the grooves of the concavo-convex pattern. .
従来の製造方法では、凹凸パターンの1箇所に光学材料樹脂を吐出し、光学材料樹脂を押し板により凹凸パターンの溝方向に押し広げているため、凹凸パターンの全体に光学材料樹脂を均等に分布させることが困難である。そのため、回折格子形状が形成される樹脂層の厚さが不均一になり易く、完成した光学素子の光学性能にバラツキが生じ易いという問題があった。 In the conventional manufacturing method, the optical material resin is discharged to one place of the concavo-convex pattern, and the optical material resin is spread in the groove direction of the concavo-convex pattern by the push plate, so the optical material resin is evenly distributed throughout the concavo-convex pattern. It is difficult to do. For this reason, there is a problem that the thickness of the resin layer on which the diffraction grating shape is formed tends to be non-uniform, and the optical performance of the completed optical element tends to vary.
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、回折光学素子の凹凸パターンへの気泡の混入を有効に防止することができるとともに、光学材料樹脂の膜厚ムラを少なくすることができる回折光学素子の製造方法および樹脂吐出装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve such a conventional problem, and can effectively prevent bubbles from being mixed into the concavo-convex pattern of the diffractive optical element and reduce the film thickness unevenness of the optical material resin. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a diffractive optical element and a resin discharge device.
第1の発明の回折光学素子の製造方法は、成形型に形成される輪帯状の凹凸パターンに未硬化の光学材料樹脂を吐出する樹脂吐出工程と、前記未硬化の光学材料樹脂に光学部材を押圧して前記光学材料樹脂を前記凹凸パターンに押し広げる押し広げ工程と、前記光学材料樹脂を硬化させる硬化工程とを有し、前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンの中心に対して対称となる位置に行うことを特徴とする。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a diffractive optical element comprising: a resin discharge step of discharging an uncured optical material resin onto a ring-shaped uneven pattern formed on a mold; Pressing and spreading the optical material resin on the concavo-convex pattern, and a curing step for curing the optical material resin, and discharging the optical material resin in the resin discharging step It is characterized in that it is performed at a position that is symmetric with respect to the center of the uneven pattern.
第2の発明の回折光学素子の製造方法は、第1の光学部材に形成される輪帯状の凹凸パターンに未硬化の光学材料樹脂を吐出する樹脂吐出工程と、前記未硬化の光学材料樹脂に第2の光学部材を押圧して前記光学材料樹脂を前記凹凸パターンに押し広げる押し広げ工程と、前記光学材料樹脂を硬化させる硬化工程とを有し、前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンの中心に対して対称となる位置に行うことを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a diffractive optical element comprising: a resin discharging step of discharging an uncured optical material resin onto a ring-shaped uneven pattern formed on a first optical member; and the uncured optical material resin A step of spreading and spreading the optical material resin on the concave-convex pattern by pressing a second optical member; and a curing step of curing the optical material resin, and discharging the optical material resin in the resin discharge step Is performed at a position that is symmetrical with respect to the center of the ring-shaped uneven pattern.
第3の発明の回折光学素子の製造方法は、第1または第2の発明の回折光学素子の製造方法において、前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンに対して十字状に行うことを特徴とする。
第4の発明の回折光学素子の製造方法は、第1ないし第3のいずれか1の発明の回折光学素子の製造方法において、前記光学部材は、レンズ部材であることを特徴とする。
A method for manufacturing a diffractive optical element according to a third aspect of the invention is the method for manufacturing a diffractive optical element according to the first or second aspect, wherein the optical material resin is discharged in the resin discharge step with respect to the ring-shaped uneven pattern. It is characterized by being performed in a cross shape.
A method for manufacturing a diffractive optical element according to a fourth aspect of the present invention is the method for manufacturing a diffractive optical element according to any one of the first to third aspects, wherein the optical member is a lens member.
第5の発明の樹脂吐出装置は、成形型または光学部材に形成される輪帯状の凹凸パターンに未硬化の光学材料樹脂を吐出する吐出ユニットと、前記吐出ユニットを前記輪帯状の凹凸パターンの径方向に移動する移動手段とを有することを特徴とする。
第6の発明の樹脂吐出装置は、第5の発明の樹脂吐出装置において、前記吐出ユニットが吐出する前記光学材料樹脂の吐出量を、前記吐出ユニットの位置に応じて制御する制御手段を有することを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a resin discharge device that discharges an uncured optical material resin to a ring-shaped uneven pattern formed on a molding die or an optical member, and the discharge unit has a diameter of the ring-shaped uneven pattern. And moving means for moving in the direction.
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the resin discharge device according to the fifth aspect, further comprising a control unit that controls the discharge amount of the optical material resin discharged by the discharge unit according to the position of the discharge unit. It is characterized by.
本発明では、回折光学素子の凹凸パターンへの気泡の混入を有効に防止することができるとともに、光学材料樹脂の膜厚ムラを少なくすることができる。 In the present invention, it is possible to effectively prevent bubbles from being mixed into the concavo-convex pattern of the diffractive optical element, and to reduce the film thickness unevenness of the optical material resin.
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
図1は、本発明の製造対象である密着複層型の回折光学素子を示している。
この回折光学素子は、第1のレンズ部材11、第2のレンズ部材12、第1の樹脂層13および第2の樹脂層14を有している。
第1のレンズ部材11の全体形状は円形に形成されている。第1のレンズ部材11の一面側(図1での上側の面)には第1の樹脂層13が密着している。第1のレンズ部材11の他面(図1での下側の面)は球面または非球面に加工されてレンズ面を形成している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a multi-contact diffractive optical element that is a production target of the present invention.
The diffractive optical element includes a first lens member 11, a second lens member 12, a
The overall shape of the first lens member 11 is circular. The
第2のレンズ部材12は、第1のレンズ部材11より大径の円形に形成されている。第2のレンズ部材12の一面(図1での上側の面)は球面または非球面に加工されてレンズ面を形成している。第2のレンズ部材12の他面(図1での下側の面)は第1のレンズ部材11に対向する接合面をなしている。この接合面には第2の樹脂層14が密着している。
The second lens member 12 is formed in a circular shape having a larger diameter than the first lens member 11. One surface (the upper surface in FIG. 1) of the second lens member 12 is processed into a spherical surface or an aspheric surface to form a lens surface. The other surface (the lower surface in FIG. 1) of the second lens member 12 forms a bonding surface that faces the first lens member 11. The
第1の樹脂層13および第2の樹脂層14は、第1のレンズ部材11と第2のレンズ部材12との間に形成されている。第1の樹脂層13および第2の樹脂層14はそれぞれ屈折率と分散の傾向が異なる別の紫外線硬化型の光学材料樹脂で形成されている。第1の樹脂層13と第2の樹脂層14との境界面には、図2に示すように、所望の回折現象を生じさせる凹凸形状をなす同心円形輪帯状の凹凸パターン15が形成されている。なお、第1の樹脂層13および第2の樹脂層14は、第1のレンズ部材11と第2のレンズ部材12とを貼り合わせて一体化する役目も果たしている。
The
図3は、上述した回折光学素子の製造に使用される製造装置を示している。
この製造装置は、基台16の側面に支持台17を有している。基台16には、成形ユニット18が配置されている。支持台17には、吐出ユニット19とチャックユニット20が配置されている。
支持台17は、垂直部17aと水平部17bとを有している。水平部17bには、Xステージ21が配置されている。Xステージ21は、図3のX方向(左右方向)に移動自在とされている。Xステージ21には、支持部材22を介してY,Zステージ23が配置されている。Y,Zステージ23は、図3のY方向(前後方向)およびZ方向(上下方向)に移動自在とされている。そして、Y,Zステージ23に吐出ユニット19が固定されている。Xステージ21には、吐出ユニット19に対して間隔を置いてチャックユニット20が配置されている。チャックユニット20は、支持部材24を介してXステージ21に固定されている。
FIG. 3 shows a manufacturing apparatus used for manufacturing the above-described diffractive optical element.
This manufacturing apparatus has a
The
吐出ユニット19は、図4に示すように、本体部25内にシリンダ26を有している。シリンダ26の外側には、紫外線硬化樹脂31を加熱するための電気ヒータ27が配置されている。シリンダ26の先端には、紫外線硬化樹脂31を吐出するノズル部28が形成されている。シリンダ26内には、ピストン29およびピストンロッド30が配置されている。ピストンロッド30は、パルスモータ(不図示)により駆動を制御されており、ノズル部28からの紫外線硬化樹脂31の吐出量を高い精度で制御可能とされている。シリンダ26には、紫外線硬化樹脂31の供給部(不図示)からの紫外線硬化樹脂31が供給可能とされている。
As shown in FIG. 4, the
チャックユニット20は、図5に示すように、シリンダ32を有している。シリンダ32の下部には、チャック本体33が配置されている。チャック本体33の下端には開口部33aが形成されている。開口部33aには、Oリング34が配置されている。シリンダ32には、真空ポンプ(図1に示す)35からの吸引管路36が接続されている。シリンダ32の上部には、紫外線硬化樹脂31を硬化するための紫外線37を照射する紫外線光源38が配置されている。
As shown in FIG. 5, the
成形ユニット18は、図6に示すように、基台16に形成される穴部39に配置されている。穴部39の上方の外側には可動台座41が配置されている。可動台座41は、円環状をしており、モータ42を用いた昇降機構43によりZ方向(上下方向)に移動可能とされている。穴部39の底部には、金型台44が配置されている。金型台44は、円柱状をしており、モータ45を用いた昇降機構46によりZ方向(上下方向)に移動可能とされている。金型台44上には、金型47が載置されている。なお、この実施形態では、後述するように2種類の成形ユニット18A,18Bが使用される。
As shown in FIG. 6, the
図3において符号48は制御ユニットを示している。制御ユニット48は、プログラミング制御により、Xステージ21、Y,Zステージ23を駆動制御する。また、吐出ユニット19からの紫外線硬化樹脂31の吐出量を吐出ユニット19の位置に応じて制御する。さらに、チャックユニット20の紫外線光源38のオン,オフおよび真空ポンプ35のオン,オフを制御する。また、制御ユニット48は、図6に示すように、可動台座41および金型台44の昇降機構43,46のモータ42,45を駆動制御する。
In FIG. 3, reference numeral 48 denotes a control unit. The control unit 48 drives and controls the X stage 21, Y, and Z stage 23 by programming control. Further, the discharge amount of the ultraviolet
以下、上述した製造装置を用いた回折光学素子の製造方法を説明する。
図7は、この実施形態の製造方法を工程順に示す流れ図である。この製造方法では、工程を、ステップS1からステップS6までの第1工程と、ステップS7からステップS12までの第2工程とに大きく分けることができる。
(第1工程)
第1工程では、図8および図10に示すように、金型47Aと可動台座41Aとを有する第1の成形ユニット18Aを使用して、第1のレンズ部材11に第1の樹脂層13を形成する。
Hereinafter, a method for manufacturing a diffractive optical element using the above-described manufacturing apparatus will be described.
FIG. 7 is a flowchart showing the manufacturing method of this embodiment in the order of steps. In this manufacturing method, the process can be roughly divided into a first process from step S1 to step S6 and a second process from step S7 to step S12.
(First step)
In the first step, as shown in FIGS. 8 and 10, the
ここで、第1の成形ユニット18Aの構成を簡単に説明する。図8の(a)に示すように、金型47Aの上面は、第1のレンズ部材11の外径よりも小さな円形をなしている。そして、金型47Aの上面の形状転写領域には、回折格子に対応した同心円形輪帯状の凹凸パターン15が形成されている。
一方、可動台座41Aは金型47Aの上面近傍に配置される。可動台座41Aは、金型47Aの側面を囲繞する環状に形成されており、金型47Aに対してその側面を上下方向に摺動可能に構成されている。また、可動台座41Aの内径は第1のレンズ部材11の外縁よりも小さく設定されている。したがって、可動台座41Aの上面には第1のレンズ部材11を載置できる。
Here, the configuration of the first molding unit 18A will be briefly described. As shown in FIG. 8A, the upper surface of the
On the other hand, the movable base 41A is disposed in the vicinity of the upper surface of the mold 47A. The movable pedestal 41A is formed in an annular shape surrounding the side surface of the mold 47A, and is configured to be slidable in the vertical direction with respect to the mold 47A. The inner diameter of the
以下、第1工程の内容を順次説明する。
ステップS1(吐出工程):制御ユニット48は、図8の(a)に示すように、可動台座41Aの位置の上面が金型47Aの位置よりも高くなるように制御する。また、吐出ユニット19のノズル部28の位置を、Xステージ21およびY,Zステージ23をプログラミング制御することにより制御する。そして、第1の成形ユニット18Aの金型47Aに紫外線硬化樹脂31Aを吐出する。
Hereinafter, the contents of the first step will be sequentially described.
Step S1 (Discharging process): As shown in FIG. 8A, the control unit 48 controls the upper surface of the position of the movable base 41A to be higher than the position of the mold 47A. Further, the position of the
金型47Aの上面に紫外線硬化樹脂31Aを吐出する時には、図8の(a)に示すように、先ず、金型47Aの中央部より開始する。制御ユニット48は、紫外線硬化樹脂31Aの吐出を開始した後、予め定められた所定時間、吐出ユニット19の移動を停止する。すなわち、紫外線硬化樹脂31Aは粘性があるため、吐出量を正確に制御するためには、吐出開始から紫外線硬化樹脂31Aが金型47Aに接触するまでの時間、金型47Aの中央の上方(粘度にもよるが例えば5mm上方)で待機させる必要がある。この待機時間と吐出高さは紫外線硬化樹脂31Aの粘度により変わるため、事前に吐出実験等により金型47Aに接触するまでの時間と吐出高さが把握され、制御ユニット48によりプログラミング制御される。
When the ultraviolet curable resin 31A is discharged onto the upper surface of the mold 47A, first, as shown in FIG. 8A, the process starts from the center of the mold 47A. After starting the discharge of the ultraviolet curable resin 31A, the control unit 48 stops the movement of the
制御ユニット48は、金型47Aの中央部に紫外線硬化樹脂31Aが接触した後、図8の(b)に示すように、紫外線硬化樹脂31Aを吐出しながら金型47Aの外周方向に吐出ユニット19を移動する。移動時の紫外線硬化樹脂31Aの粘度と気泡発生頻度との関係は、紫外線硬化樹脂31Aの粘度が低い方が移動速度が早くなり、移動が安定し気泡が発生しにくくなる。一方、粘度が低すぎると、紫外線硬化樹脂31Aが流れ出し望ましくない。そこで、気泡発生を低減するために、制御ユニット48は、電気ヒータ27により適正粘度になる温度まで紫外線硬化樹脂31Aを加熱し、所定の粘度まで下げた状態で紫外線硬化樹脂31Aを吐出する。
After the ultraviolet curable resin 31A contacts the central portion of the mold 47A, the control unit 48 discharges the ultraviolet curable resin 31A in the outer peripheral direction of the mold 47A as shown in FIG. 8B. To move. Regarding the relationship between the viscosity of the ultraviolet curable resin 31A during movement and the bubble generation frequency, the lower the viscosity of the ultraviolet curable resin 31A, the faster the moving speed, and the movement becomes stable and bubbles are less likely to be generated. On the other hand, if the viscosity is too low, the ultraviolet curable resin 31A flows out, which is not desirable. Therefore, in order to reduce the generation of bubbles, the control unit 48 heats the ultraviolet curable resin 31A to a temperature at which an appropriate viscosity is obtained by the
制御ユニット48は、紫外線硬化樹脂31Aの吐出を行ないながら、金型47Aの−X方向の外周側に吐出ユニット19を移動させる。金型47Aの外周側方向に指定距離まで移動した後、紫外線硬化樹脂31Aを吐出しながら、吐出してきた方向と逆の+方向に吐出ユニット19を移動させ、図8の(c)に示すように、金型47Aの中央部まで紫外線硬化樹脂31Aを吐出する。この動作を、図8の(d)、(e)、(f)に示すように、X方向、Y方向の順に行なう。
The control unit 48 moves the
それぞれの方向での吐出において、制御ユニット48は、後述するステップS3の押し広げ工程の際に、紫外線硬化樹脂31Aが金型47Aの凹凸パターン15に所定の厚みで均等に広がるようにするため、紫外線硬化樹脂31Aの吐出量を正確にコントロールする。すなわち、成形後の第1の樹脂層13の膜厚を所定の値にし光学性能を確保するためには、紫外線硬化樹脂31Aの総吐出量を正確にコントロールする必要がある。また、成形後の第1の樹脂層13の膜厚ムラを無くして光学性能を確保するためには、±X,±Y方向でのそれぞれの総吐出量が一定であり、それぞれの吐出量分布も一定である必要がある。
In discharging in each direction, the control unit 48 causes the UV curable resin 31A to spread evenly with a predetermined thickness on the concave-
図9(a)は吐出後の紫外線硬化樹脂31Aの金型面内での分布を示した図であり、同図(b)はその樹脂厚を示した図である。この実施形態では、制御ユニット48は、図9の(a)、(b)に示すように、金型47Aの凹凸パターン15の外周側に、より多くの紫外線硬化樹脂31Aを吐出する。このように外周側に紫外線硬化樹脂31Aを多く吐出することにより、後述するステップS3の押し広げ工程の際に、凹凸パターン15に沿って紫外線硬化樹脂31Aが流動した時に、外周側の紫外線硬化樹脂31Aが不足することを防止でき、紫外線硬化樹脂31Aを凹凸パターン15に所定の厚みで均等に広がるようにすることができる。
FIG. 9A is a diagram showing the distribution of the ultraviolet curable resin 31A after ejection in the mold surface, and FIG. 9B is a diagram showing the resin thickness. In this embodiment, as shown in FIGS. 9A and 9B, the control unit 48 discharges more UV curable resin 31A to the outer peripheral side of the concave /
制御ユニット48は、プログラミング制御により、吐出ユニット19を可能な限り金型47Aの凹凸パターン15の最外周まで移動し、なるべく全面に紫外線硬化樹脂31Aが広がるようにする。また、図8の(f)に示すように、吐出終了後、完全に金型47Aへの吐出が終了するまで金型47Aの中央部の上方で待機する。
ステップS2(チャック移動工程):制御ユニット48は、図10の(b)に示すように、チャックユニット20を駆動して第1のレンズ部材11を可動台座41Aの上方に搬送する。チャックユニット20への第1のレンズ部材11の取り付けは人手により行われる。なお、この実施形態では、図10の(a)に示すように、搬送する前に、第1のレンズ部材11の中央部に紫外線硬化樹脂31Aを少量吐出する。この方法により金型47Aに第1のレンズ部材11を押し当てる際に、金型47Aに吐出された紫外線硬化樹脂31Aとの親和性が増し、紫外線硬化樹脂31Aの接触時の気泡の発生を抑制することができる。
The control unit 48 moves the
Step S2 (chuck moving step): As shown in FIG. 10B, the control unit 48 drives the
チャックユニット20は下側にチャック本体33を有している。このチャック本体33はOリング34を介して第1のレンズ部材11の上面と当接するとともに、第1のレンズ部材11を吊り下げた状態で吸着保持できる。Oリング34の内径は金型47Aの形状転写領域よりも大きく設定されている。また、Oリング34の外径は第1のレンズ部材11の周縁部よりも小さく設定されている。チャックユニット20の内側は、紫外線37を下方に照射可能とするために中空に形成されている。
The
制御ユニット48は、第1のレンズ部材11の光軸と金型47Aの中心軸とが一致するようにチャックユニット20を移動した後に、図10の(b)に示すように、可動台座41Aの上面に第1のレンズ部材11を載置する。このとき、第1のレンズ部材11はレンズ面を上にしておく。この状態では、第1のレンズ部材11の一面は可動台座41Aの上面とほぼ同一面で保持されることとなる。
The control unit 48 moves the
ステップS3(押し広げ工程):制御ユニット48は、チャックユニット20で第1のレンズ部材11を上から押さえた状態を維持しつつ、図10の(c)、(d)に示すように、可動台座41Aを徐々に下降させ所定の高さで停止させる。これにより、金型47Aと第1のレンズ部材11との相対間隔が小さくなって、金型47Aの紫外線硬化型樹脂31Aが押し広げられる。
Step S3 (pushing and spreading process): The control unit 48 is movable as shown in FIGS. 10C and 10D while maintaining the state where the
金型47Aの凹凸パターン15には、図11の(a)に示すように、紫外線硬化樹脂31Aが十字状に吐出されており、凹凸パターン15の溝15aの一部が紫外線硬化樹脂31Aの押し広げの前に濡れている。従って、押し広げの際には、図11の(b)に示すように、紫外線硬化樹脂31Aが凹凸パターン15の溝15aを通りながらスムーズに移動する。このため紫外線硬化樹脂31Aと凹凸パターン15の溝15aとの間に空間が生じることに起因する気泡の発生が抑えられる。また紫外線硬化樹脂31Aが均等に広がるまでの待ち時間が短くてすむため、紫外線硬化樹脂31Aの押し広げにかかる時間も短縮できる。
As shown in FIG. 11A, the ultraviolet curable resin 31A is discharged in a cross shape on the concave /
そして、十字状に吐出された紫外線硬化樹脂31Aは、上述したように、それぞれの方向での吐出量が制御ユニット48により正確にコントロールされている。従って、押し広げの際には、紫外線硬化樹脂31Aが凹凸パターン15の溝15aを通りながら移動し、全体的に広がる。これにより、紫外線硬化樹脂31Aが金型47Aの凹凸パターン15に所定の厚みで均等に広がり、成形後の第1の樹脂層13の膜厚を所定の値にし光学性能を確保することができる。また、成形後の第1の樹脂層13の膜厚ムラを無くして光学性能を確保することができる。
As described above, the discharge amount in each direction of the ultraviolet
特に、この実施形態では、図9に示したように、金型47Aの凹凸パターン15の外周側に、中心部の広がり面積と外周部の広がり面積とを計算して、より多くの紫外線硬化樹脂31Aを吐出するようにしたので、凹凸パターン15に沿って紫外線硬化樹脂31Aが流動した時に、外周側の紫外線硬化樹脂31Aが不足することがなくなり、紫外線硬化樹脂31Aを凹凸パターン15に所定の厚みで均等に広がるようにすることができる。
In particular, in this embodiment, as shown in FIG. 9, the spread area of the central portion and the spread area of the outer peripheral portion are calculated on the outer peripheral side of the concavo-
ステップS4(紫外線照射工程):制御ユニット48は、図10の(e)に示す状態で紫外線光源38をオンにし、第1のレンズ部材11に紫外線37を照射して紫外線硬化型樹脂31Aを硬化させる。これにより、第1のレンズ部材11の一面に回折格子をなす第1の樹脂層13が形成される。具体的には、まず、Oリング34によって第1のレンズ部材11を上から押さえた状態で、チャックユニット20の内側から紫外線37を照射する。そして、紫外線硬化型樹脂31Aが硬化した段階で、チャックユニット20を退避させる。
Step S4 (ultraviolet irradiation process): The control unit 48 turns on the
ステップS5(離型工程):制御ユニット48は、図10の(f)に示すように、紫外線硬化型樹脂31Aの硬化後に可動台座41Aを上昇させる。これにより、第1の樹脂層13が形成された第1のレンズ部材11が金型47Aから離脱する。
ステップS6(レンズ取り出し工程):金型47Aから離脱した第1の樹脂層13が形成された第1のレンズ部材11を取り出す。この実施形態では、人手により取り出しが行われる。なお、チャックユニット20を用いて取り出すようにしても良い。
Step S5 (mold release step): As shown in FIG. 10F, the control unit 48 raises the movable base 41A after the ultraviolet curable resin 31A is cured. Thereby, the 1st lens member 11 in which the
Step S6 (lens removal step): The first lens member 11 formed with the
これにより、第1の成形ユニット18Aを使用して、第1のレンズ部材11に第1の樹脂層13を形成する第1工程が終了する。
(第2工程)
第2工程では、第1の成形ユニット18Aとほぼ同様に構成された第2の成形ユニット18Bを使用して、第1のレンズ部材11と第2のレンズ部材12とを貼り合わせる。
Thus, the first step of forming the
(Second step)
In the second step, the first lens member 11 and the second lens member 12 are bonded together by using a second molding unit 18B configured in substantially the same manner as the first molding unit 18A.
ここで、第2の成形ユニット18Bと第1の成形ユニット18Aとの相違点を簡単に説明する。第2の成形ユニット18Bでは、図12の(a)に示すように、金型47Bの上面が第1のレンズ部材11よりも若干大きな円形に形成されている。そして、金型47Bの上面には第1のレンズ部材11を載置する円環状の載置部47bが形成されている。
以下、第2工程の内容を順次説明する。
Here, a difference between the second molding unit 18B and the first molding unit 18A will be briefly described. In the
Hereinafter, the contents of the second step will be sequentially described.
ステップS7(金型交換工程):基台16に配置される第1の成形ユニット18Aを第2の成形ユニット18Bに交換する。
ステップS8(レンズ配置工程):制御ユニット48は、図12の(a)に示すように、第2の成形ユニット18Bの金型47Bの載置部47bに、第1のレンズ部材11を配置する。より具体的には、制御ユニット48は、チャックユニット20によって第1のレンズ部材11を第2の成形ユニット18Bの金型47Bの上方に搬送する。なお、チャックユニット20への第1のレンズ部材11の取り付けは人手により行われる。そして、第1のレンズ部材11の光軸と金型47Bの中心とを位置合わせした後に、金型47Bの載置部47bに第1のレンズ部材11を載置する。このとき、第1のレンズ部材11は第1の樹脂層13の形成面を上にしておく。
Step S7 (mold replacement step): The first molding unit 18A disposed on the base 16 is replaced with the second molding unit 18B.
Step S8 (lens arrangement step): As shown in FIG. 12A, the control unit 48 arranges the first lens member 11 on the mounting portion 47b of the mold 47B of the second molding unit 18B. . More specifically, the control unit 48 conveys the first lens member 11 by the
ステップS9(吐出工程):制御ユニット48は、図12の(b)に示すように、第1の樹脂層13に紫外線硬化樹脂31Bを吐出する。吐出は、第1の樹脂層13の凹凸パターン15上に第1工程と同様にして−X,X、−Y,Y方向に順次紫外線硬化樹脂31Bを吐出することにより行われる。この吐出の説明は、上述した第1工程の吐出工程とほぼ共通するので説明を省略する。第2工程では、上記第1工程とは別の紫外線硬化樹脂31Bが使用される。なお、このとき、制御ユニット48は、第2の成形ユニット18Bの可動台座41Bの位置の上面が第1の樹脂層13の位置よりも高くなるように予め制御する。
Step S9 (Discharge process): The control unit 48 discharges the ultraviolet curable resin 31B to the
ステップS10(チャック移動工程):図12の(d)に示すように、チャックユニット20によって第2のレンズ部材12を可動台座41Bの上方に搬送する。チャックユニット20への第2のレンズ部材12の取り付けは人手により行われる。なお、この実施形態では、図12の(c)に示すように、搬送する前に、第2のレンズ部材12の中央部に紫外線硬化樹脂31Bを少量吐出する。この方法により第1のレンズ部材11の第1の樹脂層13に第2のレンズ部材12を押し当てる際に第1の樹脂層13に吐出された紫外線硬化樹脂31Bとの親和性が増し、紫外線硬化樹脂31Bの接触時の気泡の発生を抑制することができる。
Step S10 (chuck moving step): As shown in FIG. 12D, the second lens member 12 is conveyed above the movable base 41B by the
そして、制御ユニット48は、第1のレンズ部材11と第2のレンズ部材12との光軸を位置合わせした後に、図12の(e)に示すように、可動台座41Bの上面にレンズ面を上にして第2のレンズ部材12を載置する。この状態では、第2のレンズ部材12の外周が可動台座41Bの上面に引っ掛かるため、第2のレンズ部材12の金型47Bは可動台座41Bの上面と平行に保持される。 Then, after aligning the optical axes of the first lens member 11 and the second lens member 12, the control unit 48 places the lens surface on the upper surface of the movable base 41B as shown in FIG. The second lens member 12 is placed upward. In this state, since the outer periphery of the second lens member 12 is caught on the upper surface of the movable pedestal 41B, the mold 47B of the second lens member 12 is held in parallel with the upper surface of the movable pedestal 41B.
ステップS11(押し広げ工程):チャックユニット20で第2のレンズ部材12を上から押さえた状態を維持しつつ、図12の(f)、(g)に示すように、可動台座41Bを徐々に下降させ所定の高さで停止させる。これにより、第1のレンズ部材11と第2のレンズ部材12との相対間隔が小さくなって、紫外線硬化型樹脂31Bが押し広げられる。この押し広げの説明は、上述した第1工程の押し広げ工程とほぼ共通するので重複説明を省略する。
Step S11 (pushing and spreading step): While maintaining the state where the
ステップS12(紫外線照射工程):図12の(g)に示すように、第2のレンズ部材12に紫外線37を照射して紫外線硬化型樹脂31Bを硬化させる。この紫外線照射の説明は、上述した第1工程の場合とほぼ共通するので重複説明を省略する。
これにより、図12の(h)に示すように、第1のレンズ部材11と第2のレンズ部材12とが貼り合わされた光学素子が形成される。また、第2工程では、第1の樹脂層13の回折格子の凹凸パターン15が型材としての役目を果たす。そのため、レンズ部材の間にある第1の樹脂層13および第2の樹脂層14には、互いにかみあう形状の回折格子が形成される。
Step S12 (ultraviolet irradiation step): As shown in FIG. 12G, the second lens member 12 is irradiated with
Thereby, as shown in FIG. 12H, an optical element in which the first lens member 11 and the second lens member 12 are bonded together is formed. In the second step, the concave /
上述した実施形態では、紫外線硬化樹脂31A,31Bの押し広げの際に、紫外線硬化樹脂31A,31Bが凹凸パターン15の溝15aを通りながら移動するため、回折光学素子の凹凸パターン15への気泡の混入を有効に防止することができる。また、紫外線硬化樹脂31A,31Bが凹凸パターン15の溝15aを通りながら移動し、X,Y軸に対して45度の位置で合体し、紫外線硬化樹脂31A,31Bが金型47Aまたは第1の樹脂層13の凹凸パターン15に所定の厚みで均等に広がるため、成形後の第1の樹脂層13および第2の樹脂層14の膜厚ムラを無くして光学性能を確保することができる。
In the above-described embodiment, when the ultraviolet curable resins 31A and 31B are spread, the ultraviolet curable resins 31A and 31B move while passing through the grooves 15a of the concavo-
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上記の実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に限定されるものではない。
(1)上述した実施形態では、第2工程において第1の成形ユニット18Aを第2の成形ユニット18Bに交換した例について説明したが、基台16に第1の成形ユニット18Aおよび第2の成形ユニット18Bの両者を設けることにより交換を無くすことができる。
(Supplementary items of the embodiment)
As mentioned above, although this invention has been demonstrated by said embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the said embodiment.
(1) In the above-described embodiment, the example in which the first molding unit 18A is replaced with the second molding unit 18B in the second step has been described. However, the first molding unit 18A and the second molding are formed on the base 16. By providing both units 18B, the exchange can be eliminated.
(2)上述した実施形態では、紫外線硬化樹脂31A,31Bを輪帯状の凹凸パターン15に対して十字状に吐出した例について説明したが、例えば、X方向またはY方向にのみ吐出しても良い。また、中心から120度の角度を置いてY字状に吐出しても良い。要は、中心から対称に吐出すれば良い。
(3)本発明の樹脂は紫外線硬化型樹脂31A,31Bに限定されることなく、例えば加熱硬化型樹脂であっても良い。
(2) In the above-described embodiment, the example in which the ultraviolet curable resins 31A and 31B are discharged in a cross shape with respect to the ring-shaped
(3) The resin of the present invention is not limited to the ultraviolet curable resins 31A and 31B, and may be, for example, a thermosetting resin.
(4)本発明での樹脂層の数は、上記実施形態のように2層に限定されるものではない。例えば、光学素子の樹脂層は1層だけであってもよく、あるいは樹脂層が3層以上積層されたものであっても良い。 (4) The number of resin layers in the present invention is not limited to two layers as in the above embodiment. For example, the optical element may have only one resin layer, or three or more resin layers may be laminated.
11…第1のレンズ部材、12…第2のレンズ部材、13…第1の樹脂層、14…第2の樹脂層、15…凹凸パターン、18…成形ユニット、19…吐出ユニット、20…チャックユニット、31A,31B…紫外線硬化樹脂、47A,47B…金型、48…制御ユニット。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... 1st lens member, 12 ... 2nd lens member, 13 ... 1st resin layer, 14 ... 2nd resin layer, 15 ... Uneven pattern, 18 ... Molding unit, 19 ... Discharge unit, 20 ... Chuck Units 31A, 31B ... UV curable resin, 47A, 47B ... mold, 48 ... control unit.
Claims (6)
前記未硬化の光学材料樹脂に光学部材を押圧して前記光学材料樹脂を前記凹凸パターンに押し広げる押し広げ工程と、
前記光学材料樹脂を硬化させる硬化工程とを有し、
前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンの中心に対して対称となる位置に行うことを特徴とする回折光学素子の製造方法。 A resin discharge step of discharging an uncured optical material resin to a ring-shaped uneven pattern formed in the mold;
An unfolding step of pressing an optical member against the uncured optical material resin to spread the optical material resin on the uneven pattern;
A curing step of curing the optical material resin,
A method for producing a diffractive optical element, wherein the ejection of the optical material resin in the resin ejection step is performed at a position symmetric with respect to the center of the ring-shaped uneven pattern.
前記未硬化の光学材料樹脂に第2の光学部材を押圧して前記光学材料樹脂を前記凹凸パターンに押し広げる押し広げ工程と、
前記光学材料樹脂を硬化させる硬化工程とを有し、
前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンの中心に対して対称となる位置に行うことを特徴とする回折光学素子の製造方法。 A resin discharge step of discharging an uncured optical material resin to a ring-shaped uneven pattern formed on the first optical member;
A step of spreading and spreading the optical material resin to the concavo-convex pattern by pressing a second optical member against the uncured optical material resin;
A curing step of curing the optical material resin,
A method for producing a diffractive optical element, wherein the ejection of the optical material resin in the resin ejection step is performed at a position symmetric with respect to the center of the ring-shaped uneven pattern.
前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンに対して十字状に行うことを特徴とする回折光学素子の製造方法。 In the manufacturing method of the diffractive optical element according to claim 1 or 2,
A method of manufacturing a diffractive optical element, wherein the optical material resin is discharged in a cross shape with respect to the ring-shaped uneven pattern in the resin discharging step.
前記光学部材は、レンズ部材であることを特徴とする回折光学素子の製造方法。 In the manufacturing method of the diffractive optical element according to any one of claims 1 to 3,
The method of manufacturing a diffractive optical element, wherein the optical member is a lens member.
前記吐出ユニットを前記輪帯状の凹凸パターンの径方向に移動する移動手段と、
を有することを特徴とする樹脂吐出装置。 A discharge unit that discharges uncured optical material resin to a ring-shaped uneven pattern formed on a mold or an optical member;
Moving means for moving the discharge unit in the radial direction of the ring-shaped uneven pattern;
A resin discharge device comprising:
前記吐出ユニットが吐出する前記光学材料樹脂の吐出量を、前記吐出ユニットの位置に応じて制御する制御手段を有することを特徴とする樹脂吐出装置。
The resin discharge device according to claim 5,
A resin discharge apparatus comprising: a control unit that controls a discharge amount of the optical material resin discharged from the discharge unit according to a position of the discharge unit.
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