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JP2008046469A - Method for manufacturing diffractive optical element and resin discharging apparatus - Google Patents

Method for manufacturing diffractive optical element and resin discharging apparatus Download PDF

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JP2008046469A JP2006223191A JP2006223191A JP2008046469A JP 2008046469 A JP2008046469 A JP 2008046469A JP 2006223191 A JP2006223191 A JP 2006223191A JP 2006223191 A JP2006223191 A JP 2006223191A JP 2008046469 A JP2008046469 A JP 2008046469A
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optical material
material resin
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Takashi Hayasaka
崇 早坂
Satoshi Kurihara
聡 栗原
Shigeyoshi Shibazaki
成良 柴崎
Tadashi Horikawa
正 堀川
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Nikon Corp
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Abstract

【課題】 本発明は、光学部材に回折格子をなす樹脂層を設けた回折光学素子の製造方法および樹脂吐出装置に関し、回折光学素子の凹凸パターンへの気泡の混入を有効に防止することができるとともに、光学材料樹脂の膜厚ムラを少なくすることを目的とする。
【解決手段】 成形型に形成される輪帯状の凹凸パターンに未硬化の光学材料樹脂を吐出する樹脂吐出工程と、前記未硬化の光学材料樹脂に光学部材を押圧して前記光学材料樹脂を前記凹凸パターンに押し広げる押し広げ工程と、前記光学材料樹脂を硬化させる硬化工程とを有し、前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンの中心に対して対称となる位置に行うことを特徴とする。
【選択図】 図11
The present invention relates to a method of manufacturing a diffractive optical element in which a resin layer that forms a diffraction grating is provided on an optical member, and a resin discharge apparatus, and can effectively prevent air bubbles from being mixed into a concavo-convex pattern of the diffractive optical element. At the same time, it aims to reduce the film thickness unevenness of the optical material resin.
A resin discharge step of discharging an uncured optical material resin to a ring-shaped uneven pattern formed on a mold, and pressing the optical member against the uncured optical material resin to A spreading step of spreading on the concavo-convex pattern, and a curing step of curing the optical material resin, wherein the ejection of the optical material resin in the resin ejection step is symmetrical with respect to the center of the ring-shaped concavo-convex pattern It is characterized by being performed at a position.
[Selection] FIG.

Description

本発明は、光学部材に凹凸パターンをなす樹脂層を設けた回折光学素子の製造方法および樹脂吐出装置に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a diffractive optical element in which an optical member is provided with a resin layer having a concavo-convex pattern, and a resin ejection device.

従来、レンズ部材に凹凸パターンをなす樹脂層を設けた回折光学素子が知られている。このような回折光学素子は、例えば、凹凸パターンを有する部材の1箇所に未硬化の光学材料樹脂を吐出した後、未硬化の光学材料樹脂を凹凸パターンの全体に押し広げ、この状態で光学材料樹脂を硬化することにより製造される。
そして、未硬化の光学材料樹脂を凹凸パターンの全体に押し広げる時に、凹凸パターンの溝に気泡が混入しないように、凹凸パターンの溝方向に沿って光学材料樹脂を押し広げることが行われている。
特開2003−307608号公報
Conventionally, a diffractive optical element is known in which a lens member is provided with a resin layer forming an uneven pattern. Such a diffractive optical element, for example, discharges uncured optical material resin to one part of a member having a concavo-convex pattern and then spreads the uncured optical material resin over the entire concavo-convex pattern, and in this state the optical material Manufactured by curing resin.
Then, when the uncured optical material resin is spread over the entire concavo-convex pattern, the optical material resin is spread along the groove direction of the concavo-convex pattern so that bubbles are not mixed into the grooves of the concavo-convex pattern. .
Japanese Patent Laid-Open No. 2003-307608

従来の製造方法では、凹凸パターンの1箇所に光学材料樹脂を吐出し、光学材料樹脂を押し板により凹凸パターンの溝方向に押し広げているため、凹凸パターンの全体に光学材料樹脂を均等に分布させることが困難である。そのため、回折格子形状が形成される樹脂層の厚さが不均一になり易く、完成した光学素子の光学性能にバラツキが生じ易いという問題があった。   In the conventional manufacturing method, the optical material resin is discharged to one place of the concavo-convex pattern, and the optical material resin is spread in the groove direction of the concavo-convex pattern by the push plate, so the optical material resin is evenly distributed throughout the concavo-convex pattern. It is difficult to do. For this reason, there is a problem that the thickness of the resin layer on which the diffraction grating shape is formed tends to be non-uniform, and the optical performance of the completed optical element tends to vary.

本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、回折光学素子の凹凸パターンへの気泡の混入を有効に防止することができるとともに、光学材料樹脂の膜厚ムラを少なくすることができる回折光学素子の製造方法および樹脂吐出装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such a conventional problem, and can effectively prevent bubbles from being mixed into the concavo-convex pattern of the diffractive optical element and reduce the film thickness unevenness of the optical material resin. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a diffractive optical element and a resin discharge device.

第1の発明の回折光学素子の製造方法は、成形型に形成される輪帯状の凹凸パターンに未硬化の光学材料樹脂を吐出する樹脂吐出工程と、前記未硬化の光学材料樹脂に光学部材を押圧して前記光学材料樹脂を前記凹凸パターンに押し広げる押し広げ工程と、前記光学材料樹脂を硬化させる硬化工程とを有し、前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンの中心に対して対称となる位置に行うことを特徴とする。   According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a diffractive optical element comprising: a resin discharge step of discharging an uncured optical material resin onto a ring-shaped uneven pattern formed on a mold; Pressing and spreading the optical material resin on the concavo-convex pattern, and a curing step for curing the optical material resin, and discharging the optical material resin in the resin discharging step It is characterized in that it is performed at a position that is symmetric with respect to the center of the uneven pattern.

第2の発明の回折光学素子の製造方法は、第1の光学部材に形成される輪帯状の凹凸パターンに未硬化の光学材料樹脂を吐出する樹脂吐出工程と、前記未硬化の光学材料樹脂に第2の光学部材を押圧して前記光学材料樹脂を前記凹凸パターンに押し広げる押し広げ工程と、前記光学材料樹脂を硬化させる硬化工程とを有し、前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンの中心に対して対称となる位置に行うことを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a diffractive optical element comprising: a resin discharging step of discharging an uncured optical material resin onto a ring-shaped uneven pattern formed on a first optical member; and the uncured optical material resin A step of spreading and spreading the optical material resin on the concave-convex pattern by pressing a second optical member; and a curing step of curing the optical material resin, and discharging the optical material resin in the resin discharge step Is performed at a position that is symmetrical with respect to the center of the ring-shaped uneven pattern.

第3の発明の回折光学素子の製造方法は、第1または第2の発明の回折光学素子の製造方法において、前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンに対して十字状に行うことを特徴とする。
第4の発明の回折光学素子の製造方法は、第1ないし第3のいずれか1の発明の回折光学素子の製造方法において、前記光学部材は、レンズ部材であることを特徴とする。
A method for manufacturing a diffractive optical element according to a third aspect of the invention is the method for manufacturing a diffractive optical element according to the first or second aspect, wherein the optical material resin is discharged in the resin discharge step with respect to the ring-shaped uneven pattern. It is characterized by being performed in a cross shape.
A method for manufacturing a diffractive optical element according to a fourth aspect of the present invention is the method for manufacturing a diffractive optical element according to any one of the first to third aspects, wherein the optical member is a lens member.

第5の発明の樹脂吐出装置は、成形型または光学部材に形成される輪帯状の凹凸パターンに未硬化の光学材料樹脂を吐出する吐出ユニットと、前記吐出ユニットを前記輪帯状の凹凸パターンの径方向に移動する移動手段とを有することを特徴とする。
第6の発明の樹脂吐出装置は、第5の発明の樹脂吐出装置において、前記吐出ユニットが吐出する前記光学材料樹脂の吐出量を、前記吐出ユニットの位置に応じて制御する制御手段を有することを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a resin discharge device that discharges an uncured optical material resin to a ring-shaped uneven pattern formed on a molding die or an optical member, and the discharge unit has a diameter of the ring-shaped uneven pattern. And moving means for moving in the direction.
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the resin discharge device according to the fifth aspect, further comprising a control unit that controls the discharge amount of the optical material resin discharged by the discharge unit according to the position of the discharge unit. It is characterized by.

本発明では、回折光学素子の凹凸パターンへの気泡の混入を有効に防止することができるとともに、光学材料樹脂の膜厚ムラを少なくすることができる。   In the present invention, it is possible to effectively prevent bubbles from being mixed into the concavo-convex pattern of the diffractive optical element, and to reduce the film thickness unevenness of the optical material resin.

以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
図1は、本発明の製造対象である密着複層型の回折光学素子を示している。
この回折光学素子は、第1のレンズ部材11、第2のレンズ部材12、第1の樹脂層13および第2の樹脂層14を有している。
第1のレンズ部材11の全体形状は円形に形成されている。第1のレンズ部材11の一面側(図1での上側の面)には第1の樹脂層13が密着している。第1のレンズ部材11の他面(図1での下側の面)は球面または非球面に加工されてレンズ面を形成している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a multi-contact diffractive optical element that is a production target of the present invention.
The diffractive optical element includes a first lens member 11, a second lens member 12, a first resin layer 13, and a second resin layer 14.
The overall shape of the first lens member 11 is circular. The first resin layer 13 is in close contact with one surface side (the upper surface in FIG. 1) of the first lens member 11. The other surface (the lower surface in FIG. 1) of the first lens member 11 is processed into a spherical surface or an aspheric surface to form a lens surface.

第2のレンズ部材12は、第1のレンズ部材11より大径の円形に形成されている。第2のレンズ部材12の一面(図1での上側の面)は球面または非球面に加工されてレンズ面を形成している。第2のレンズ部材12の他面(図1での下側の面)は第1のレンズ部材11に対向する接合面をなしている。この接合面には第2の樹脂層14が密着している。   The second lens member 12 is formed in a circular shape having a larger diameter than the first lens member 11. One surface (the upper surface in FIG. 1) of the second lens member 12 is processed into a spherical surface or an aspheric surface to form a lens surface. The other surface (the lower surface in FIG. 1) of the second lens member 12 forms a bonding surface that faces the first lens member 11. The second resin layer 14 is in close contact with the joint surface.

第1の樹脂層13および第2の樹脂層14は、第1のレンズ部材11と第2のレンズ部材12との間に形成されている。第1の樹脂層13および第2の樹脂層14はそれぞれ屈折率と分散の傾向が異なる別の紫外線硬化型の光学材料樹脂で形成されている。第1の樹脂層13と第2の樹脂層14との境界面には、図2に示すように、所望の回折現象を生じさせる凹凸形状をなす同心円形輪帯状の凹凸パターン15が形成されている。なお、第1の樹脂層13および第2の樹脂層14は、第1のレンズ部材11と第2のレンズ部材12とを貼り合わせて一体化する役目も果たしている。   The first resin layer 13 and the second resin layer 14 are formed between the first lens member 11 and the second lens member 12. The first resin layer 13 and the second resin layer 14 are made of different ultraviolet curable optical material resins having different refractive indexes and different dispersion tendencies. On the boundary surface between the first resin layer 13 and the second resin layer 14, as shown in FIG. 2, a concentric circular ring-shaped uneven pattern 15 having an uneven shape that causes a desired diffraction phenomenon is formed. Yes. In addition, the 1st resin layer 13 and the 2nd resin layer 14 also play the role which bonds and integrates the 1st lens member 11 and the 2nd lens member 12. FIG.

図3は、上述した回折光学素子の製造に使用される製造装置を示している。
この製造装置は、基台16の側面に支持台17を有している。基台16には、成形ユニット18が配置されている。支持台17には、吐出ユニット19とチャックユニット20が配置されている。
支持台17は、垂直部17aと水平部17bとを有している。水平部17bには、Xステージ21が配置されている。Xステージ21は、図3のX方向(左右方向)に移動自在とされている。Xステージ21には、支持部材22を介してY,Zステージ23が配置されている。Y,Zステージ23は、図3のY方向(前後方向)およびZ方向(上下方向)に移動自在とされている。そして、Y,Zステージ23に吐出ユニット19が固定されている。Xステージ21には、吐出ユニット19に対して間隔を置いてチャックユニット20が配置されている。チャックユニット20は、支持部材24を介してXステージ21に固定されている。
FIG. 3 shows a manufacturing apparatus used for manufacturing the above-described diffractive optical element.
This manufacturing apparatus has a support base 17 on the side surface of the base 16. A molding unit 18 is disposed on the base 16. A discharge unit 19 and a chuck unit 20 are disposed on the support base 17.
The support base 17 has a vertical portion 17a and a horizontal portion 17b. An X stage 21 is disposed on the horizontal portion 17b. The X stage 21 is movable in the X direction (left-right direction) in FIG. On the X stage 21, Y and Z stages 23 are arranged via support members 22. The Y and Z stages 23 are movable in the Y direction (front-rear direction) and the Z direction (up-down direction) in FIG. The discharge unit 19 is fixed to the Y and Z stage 23. On the X stage 21, a chuck unit 20 is disposed at a distance from the discharge unit 19. The chuck unit 20 is fixed to the X stage 21 via a support member 24.

吐出ユニット19は、図4に示すように、本体部25内にシリンダ26を有している。シリンダ26の外側には、紫外線硬化樹脂31を加熱するための電気ヒータ27が配置されている。シリンダ26の先端には、紫外線硬化樹脂31を吐出するノズル部28が形成されている。シリンダ26内には、ピストン29およびピストンロッド30が配置されている。ピストンロッド30は、パルスモータ(不図示)により駆動を制御されており、ノズル部28からの紫外線硬化樹脂31の吐出量を高い精度で制御可能とされている。シリンダ26には、紫外線硬化樹脂31の供給部(不図示)からの紫外線硬化樹脂31が供給可能とされている。   As shown in FIG. 4, the discharge unit 19 has a cylinder 26 in the main body 25. An electric heater 27 for heating the ultraviolet curable resin 31 is disposed outside the cylinder 26. A nozzle portion 28 for discharging the ultraviolet curable resin 31 is formed at the tip of the cylinder 26. A piston 29 and a piston rod 30 are arranged in the cylinder 26. The driving of the piston rod 30 is controlled by a pulse motor (not shown), and the discharge amount of the ultraviolet curable resin 31 from the nozzle portion 28 can be controlled with high accuracy. An ultraviolet curable resin 31 can be supplied to the cylinder 26 from an ultraviolet curable resin 31 supply unit (not shown).

チャックユニット20は、図5に示すように、シリンダ32を有している。シリンダ32の下部には、チャック本体33が配置されている。チャック本体33の下端には開口部33aが形成されている。開口部33aには、Oリング34が配置されている。シリンダ32には、真空ポンプ(図1に示す)35からの吸引管路36が接続されている。シリンダ32の上部には、紫外線硬化樹脂31を硬化するための紫外線37を照射する紫外線光源38が配置されている。   As shown in FIG. 5, the chuck unit 20 has a cylinder 32. A chuck body 33 is disposed below the cylinder 32. An opening 33 a is formed at the lower end of the chuck body 33. An O-ring 34 is disposed in the opening 33a. A suction line 36 from a vacuum pump (shown in FIG. 1) 35 is connected to the cylinder 32. An ultraviolet light source 38 that irradiates ultraviolet rays 37 for curing the ultraviolet curable resin 31 is disposed on the cylinder 32.

成形ユニット18は、図6に示すように、基台16に形成される穴部39に配置されている。穴部39の上方の外側には可動台座41が配置されている。可動台座41は、円環状をしており、モータ42を用いた昇降機構43によりZ方向(上下方向)に移動可能とされている。穴部39の底部には、金型台44が配置されている。金型台44は、円柱状をしており、モータ45を用いた昇降機構46によりZ方向(上下方向)に移動可能とされている。金型台44上には、金型47が載置されている。なお、この実施形態では、後述するように2種類の成形ユニット18A,18Bが使用される。   As shown in FIG. 6, the molding unit 18 is disposed in a hole 39 formed in the base 16. A movable pedestal 41 is disposed on the outer side above the hole 39. The movable pedestal 41 has an annular shape and can be moved in the Z direction (vertical direction) by an elevating mechanism 43 using a motor 42. A mold base 44 is arranged at the bottom of the hole 39. The mold table 44 has a columnar shape and can be moved in the Z direction (vertical direction) by an elevating mechanism 46 using a motor 45. A mold 47 is placed on the mold table 44. In this embodiment, two types of molding units 18A and 18B are used as will be described later.

図3において符号48は制御ユニットを示している。制御ユニット48は、プログラミング制御により、Xステージ21、Y,Zステージ23を駆動制御する。また、吐出ユニット19からの紫外線硬化樹脂31の吐出量を吐出ユニット19の位置に応じて制御する。さらに、チャックユニット20の紫外線光源38のオン,オフおよび真空ポンプ35のオン,オフを制御する。また、制御ユニット48は、図6に示すように、可動台座41および金型台44の昇降機構43,46のモータ42,45を駆動制御する。   In FIG. 3, reference numeral 48 denotes a control unit. The control unit 48 drives and controls the X stage 21, Y, and Z stage 23 by programming control. Further, the discharge amount of the ultraviolet curable resin 31 from the discharge unit 19 is controlled according to the position of the discharge unit 19. Further, the ultraviolet light source 38 of the chuck unit 20 is turned on / off and the vacuum pump 35 is turned on / off. Further, as shown in FIG. 6, the control unit 48 drives and controls the motors 42 and 45 of the elevating mechanisms 43 and 46 of the movable base 41 and the mold base 44.

以下、上述した製造装置を用いた回折光学素子の製造方法を説明する。
図7は、この実施形態の製造方法を工程順に示す流れ図である。この製造方法では、工程を、ステップS1からステップS6までの第1工程と、ステップS7からステップS12までの第2工程とに大きく分けることができる。
(第1工程)
第1工程では、図8および図10に示すように、金型47Aと可動台座41Aとを有する第1の成形ユニット18Aを使用して、第1のレンズ部材11に第1の樹脂層13を形成する。
Hereinafter, a method for manufacturing a diffractive optical element using the above-described manufacturing apparatus will be described.
FIG. 7 is a flowchart showing the manufacturing method of this embodiment in the order of steps. In this manufacturing method, the process can be roughly divided into a first process from step S1 to step S6 and a second process from step S7 to step S12.
(First step)
In the first step, as shown in FIGS. 8 and 10, the first resin layer 13 is applied to the first lens member 11 using the first molding unit 18A having the mold 47A and the movable base 41A. Form.

ここで、第1の成形ユニット18Aの構成を簡単に説明する。図8の(a)に示すように、金型47Aの上面は、第1のレンズ部材11の外径よりも小さな円形をなしている。そして、金型47Aの上面の形状転写領域には、回折格子に対応した同心円形輪帯状の凹凸パターン15が形成されている。
一方、可動台座41Aは金型47Aの上面近傍に配置される。可動台座41Aは、金型47Aの側面を囲繞する環状に形成されており、金型47Aに対してその側面を上下方向に摺動可能に構成されている。また、可動台座41Aの内径は第1のレンズ部材11の外縁よりも小さく設定されている。したがって、可動台座41Aの上面には第1のレンズ部材11を載置できる。
Here, the configuration of the first molding unit 18A will be briefly described. As shown in FIG. 8A, the upper surface of the mold 47 </ b> A has a circular shape smaller than the outer diameter of the first lens member 11. In the shape transfer region on the upper surface of the mold 47A, a concentric circular ring-shaped uneven pattern 15 corresponding to the diffraction grating is formed.
On the other hand, the movable base 41A is disposed in the vicinity of the upper surface of the mold 47A. The movable pedestal 41A is formed in an annular shape surrounding the side surface of the mold 47A, and is configured to be slidable in the vertical direction with respect to the mold 47A. The inner diameter of the movable pedestal 41 </ b> A is set smaller than the outer edge of the first lens member 11. Therefore, the first lens member 11 can be placed on the upper surface of the movable base 41A.

以下、第1工程の内容を順次説明する。
ステップS1(吐出工程):制御ユニット48は、図8の(a)に示すように、可動台座41Aの位置の上面が金型47Aの位置よりも高くなるように制御する。また、吐出ユニット19のノズル部28の位置を、Xステージ21およびY,Zステージ23をプログラミング制御することにより制御する。そして、第1の成形ユニット18Aの金型47Aに紫外線硬化樹脂31Aを吐出する。
Hereinafter, the contents of the first step will be sequentially described.
Step S1 (Discharging process): As shown in FIG. 8A, the control unit 48 controls the upper surface of the position of the movable base 41A to be higher than the position of the mold 47A. Further, the position of the nozzle portion 28 of the discharge unit 19 is controlled by controlling the X stage 21 and the Y and Z stages 23. Then, the ultraviolet curable resin 31A is discharged to the mold 47A of the first molding unit 18A.

金型47Aの上面に紫外線硬化樹脂31Aを吐出する時には、図8の(a)に示すように、先ず、金型47Aの中央部より開始する。制御ユニット48は、紫外線硬化樹脂31Aの吐出を開始した後、予め定められた所定時間、吐出ユニット19の移動を停止する。すなわち、紫外線硬化樹脂31Aは粘性があるため、吐出量を正確に制御するためには、吐出開始から紫外線硬化樹脂31Aが金型47Aに接触するまでの時間、金型47Aの中央の上方(粘度にもよるが例えば5mm上方)で待機させる必要がある。この待機時間と吐出高さは紫外線硬化樹脂31Aの粘度により変わるため、事前に吐出実験等により金型47Aに接触するまでの時間と吐出高さが把握され、制御ユニット48によりプログラミング制御される。   When the ultraviolet curable resin 31A is discharged onto the upper surface of the mold 47A, first, as shown in FIG. 8A, the process starts from the center of the mold 47A. After starting the discharge of the ultraviolet curable resin 31A, the control unit 48 stops the movement of the discharge unit 19 for a predetermined time. That is, since the ultraviolet curable resin 31A is viscous, in order to accurately control the discharge amount, the time from the start of discharge until the ultraviolet curable resin 31A comes into contact with the mold 47A, the upper center of the mold 47A (viscosity However, it is necessary to wait for 5 mm, for example. Since the standby time and the discharge height vary depending on the viscosity of the ultraviolet curable resin 31A, the time until the contact with the mold 47A and the discharge height are ascertained beforehand by a discharge experiment or the like, and programming control is performed by the control unit 48.

制御ユニット48は、金型47Aの中央部に紫外線硬化樹脂31Aが接触した後、図8の(b)に示すように、紫外線硬化樹脂31Aを吐出しながら金型47Aの外周方向に吐出ユニット19を移動する。移動時の紫外線硬化樹脂31Aの粘度と気泡発生頻度との関係は、紫外線硬化樹脂31Aの粘度が低い方が移動速度が早くなり、移動が安定し気泡が発生しにくくなる。一方、粘度が低すぎると、紫外線硬化樹脂31Aが流れ出し望ましくない。そこで、気泡発生を低減するために、制御ユニット48は、電気ヒータ27により適正粘度になる温度まで紫外線硬化樹脂31Aを加熱し、所定の粘度まで下げた状態で紫外線硬化樹脂31Aを吐出する。   After the ultraviolet curable resin 31A contacts the central portion of the mold 47A, the control unit 48 discharges the ultraviolet curable resin 31A in the outer peripheral direction of the mold 47A as shown in FIG. 8B. To move. Regarding the relationship between the viscosity of the ultraviolet curable resin 31A during movement and the bubble generation frequency, the lower the viscosity of the ultraviolet curable resin 31A, the faster the moving speed, and the movement becomes stable and bubbles are less likely to be generated. On the other hand, if the viscosity is too low, the ultraviolet curable resin 31A flows out, which is not desirable. Therefore, in order to reduce the generation of bubbles, the control unit 48 heats the ultraviolet curable resin 31A to a temperature at which an appropriate viscosity is obtained by the electric heater 27, and discharges the ultraviolet curable resin 31A in a state of being lowered to a predetermined viscosity.

制御ユニット48は、紫外線硬化樹脂31Aの吐出を行ないながら、金型47Aの−X方向の外周側に吐出ユニット19を移動させる。金型47Aの外周側方向に指定距離まで移動した後、紫外線硬化樹脂31Aを吐出しながら、吐出してきた方向と逆の+方向に吐出ユニット19を移動させ、図8の(c)に示すように、金型47Aの中央部まで紫外線硬化樹脂31Aを吐出する。この動作を、図8の(d)、(e)、(f)に示すように、X方向、Y方向の順に行なう。   The control unit 48 moves the discharge unit 19 to the outer peripheral side in the −X direction of the mold 47A while discharging the ultraviolet curable resin 31A. After moving up to the specified distance in the outer peripheral side direction of the mold 47A, the discharging unit 19 is moved in the + direction opposite to the discharging direction while discharging the ultraviolet curable resin 31A, as shown in FIG. Then, the ultraviolet curable resin 31A is discharged to the center of the mold 47A. This operation is performed in the order of the X direction and the Y direction as shown in (d), (e), and (f) of FIG.

それぞれの方向での吐出において、制御ユニット48は、後述するステップS3の押し広げ工程の際に、紫外線硬化樹脂31Aが金型47Aの凹凸パターン15に所定の厚みで均等に広がるようにするため、紫外線硬化樹脂31Aの吐出量を正確にコントロールする。すなわち、成形後の第1の樹脂層13の膜厚を所定の値にし光学性能を確保するためには、紫外線硬化樹脂31Aの総吐出量を正確にコントロールする必要がある。また、成形後の第1の樹脂層13の膜厚ムラを無くして光学性能を確保するためには、±X,±Y方向でのそれぞれの総吐出量が一定であり、それぞれの吐出量分布も一定である必要がある。   In discharging in each direction, the control unit 48 causes the UV curable resin 31A to spread evenly with a predetermined thickness on the concave-convex pattern 15 of the mold 47A during a step S3 spreading process described later. The discharge amount of the ultraviolet curable resin 31A is accurately controlled. That is, in order to ensure the optical performance by setting the film thickness of the first resin layer 13 after molding to a predetermined value, it is necessary to accurately control the total discharge amount of the ultraviolet curable resin 31A. Further, in order to eliminate the film thickness unevenness of the first resin layer 13 after molding and ensure the optical performance, the total discharge amounts in the ± X and ± Y directions are constant, and the respective discharge amount distributions. Must also be constant.

図9(a)は吐出後の紫外線硬化樹脂31Aの金型面内での分布を示した図であり、同図(b)はその樹脂厚を示した図である。この実施形態では、制御ユニット48は、図9の(a)、(b)に示すように、金型47Aの凹凸パターン15の外周側に、より多くの紫外線硬化樹脂31Aを吐出する。このように外周側に紫外線硬化樹脂31Aを多く吐出することにより、後述するステップS3の押し広げ工程の際に、凹凸パターン15に沿って紫外線硬化樹脂31Aが流動した時に、外周側の紫外線硬化樹脂31Aが不足することを防止でき、紫外線硬化樹脂31Aを凹凸パターン15に所定の厚みで均等に広がるようにすることができる。   FIG. 9A is a diagram showing the distribution of the ultraviolet curable resin 31A after ejection in the mold surface, and FIG. 9B is a diagram showing the resin thickness. In this embodiment, as shown in FIGS. 9A and 9B, the control unit 48 discharges more UV curable resin 31A to the outer peripheral side of the concave / convex pattern 15 of the mold 47A. By discharging a large amount of the ultraviolet curable resin 31A to the outer peripheral side in this way, when the ultraviolet curable resin 31A flows along the concave / convex pattern 15 in the step of spreading in step S3 described later, the ultraviolet curable resin on the outer peripheral side is flown. The shortage of 31A can be prevented, and the ultraviolet curable resin 31A can be evenly spread over the uneven pattern 15 with a predetermined thickness.

制御ユニット48は、プログラミング制御により、吐出ユニット19を可能な限り金型47Aの凹凸パターン15の最外周まで移動し、なるべく全面に紫外線硬化樹脂31Aが広がるようにする。また、図8の(f)に示すように、吐出終了後、完全に金型47Aへの吐出が終了するまで金型47Aの中央部の上方で待機する。
ステップS2(チャック移動工程):制御ユニット48は、図10の(b)に示すように、チャックユニット20を駆動して第1のレンズ部材11を可動台座41Aの上方に搬送する。チャックユニット20への第1のレンズ部材11の取り付けは人手により行われる。なお、この実施形態では、図10の(a)に示すように、搬送する前に、第1のレンズ部材11の中央部に紫外線硬化樹脂31Aを少量吐出する。この方法により金型47Aに第1のレンズ部材11を押し当てる際に、金型47Aに吐出された紫外線硬化樹脂31Aとの親和性が増し、紫外線硬化樹脂31Aの接触時の気泡の発生を抑制することができる。
The control unit 48 moves the discharge unit 19 as much as possible to the outermost periphery of the concave / convex pattern 15 of the mold 47A by programming control so that the ultraviolet curable resin 31A spreads as much as possible. Further, as shown in FIG. 8 (f), after completion of the discharge, the apparatus waits above the central portion of the mold 47A until the discharge to the mold 47A is completely completed.
Step S2 (chuck moving step): As shown in FIG. 10B, the control unit 48 drives the chuck unit 20 to convey the first lens member 11 above the movable base 41A. The first lens member 11 is attached to the chuck unit 20 manually. In this embodiment, as shown in FIG. 10A, a small amount of the ultraviolet curable resin 31A is discharged to the central portion of the first lens member 11 before being conveyed. When the first lens member 11 is pressed against the mold 47A by this method, the affinity with the ultraviolet curable resin 31A discharged to the mold 47A is increased, and the generation of bubbles when contacting the ultraviolet curable resin 31A is suppressed. can do.

チャックユニット20は下側にチャック本体33を有している。このチャック本体33はOリング34を介して第1のレンズ部材11の上面と当接するとともに、第1のレンズ部材11を吊り下げた状態で吸着保持できる。Oリング34の内径は金型47Aの形状転写領域よりも大きく設定されている。また、Oリング34の外径は第1のレンズ部材11の周縁部よりも小さく設定されている。チャックユニット20の内側は、紫外線37を下方に照射可能とするために中空に形成されている。   The chuck unit 20 has a chuck body 33 on the lower side. The chuck body 33 is in contact with the upper surface of the first lens member 11 via the O-ring 34 and can be sucked and held in a state where the first lens member 11 is suspended. The inner diameter of the O-ring 34 is set larger than the shape transfer area of the mold 47A. The outer diameter of the O-ring 34 is set smaller than the peripheral edge of the first lens member 11. The inside of the chuck unit 20 is formed hollow so that the ultraviolet rays 37 can be irradiated downward.

制御ユニット48は、第1のレンズ部材11の光軸と金型47Aの中心軸とが一致するようにチャックユニット20を移動した後に、図10の(b)に示すように、可動台座41Aの上面に第1のレンズ部材11を載置する。このとき、第1のレンズ部材11はレンズ面を上にしておく。この状態では、第1のレンズ部材11の一面は可動台座41Aの上面とほぼ同一面で保持されることとなる。   The control unit 48 moves the chuck unit 20 so that the optical axis of the first lens member 11 coincides with the central axis of the mold 47A, and then, as shown in FIG. The first lens member 11 is placed on the upper surface. At this time, the first lens member 11 has the lens surface facing up. In this state, one surface of the first lens member 11 is held substantially flush with the upper surface of the movable pedestal 41A.

ステップS3(押し広げ工程):制御ユニット48は、チャックユニット20で第1のレンズ部材11を上から押さえた状態を維持しつつ、図10の(c)、(d)に示すように、可動台座41Aを徐々に下降させ所定の高さで停止させる。これにより、金型47Aと第1のレンズ部材11との相対間隔が小さくなって、金型47Aの紫外線硬化型樹脂31Aが押し広げられる。   Step S3 (pushing and spreading process): The control unit 48 is movable as shown in FIGS. 10C and 10D while maintaining the state where the chuck unit 20 holds the first lens member 11 from above. The base 41A is gradually lowered and stopped at a predetermined height. Thereby, the relative space | interval of the metal mold | die 47A and the 1st lens member 11 becomes small, and the ultraviolet curable resin 31A of the metal mold | die 47A is pushed open.

金型47Aの凹凸パターン15には、図11の(a)に示すように、紫外線硬化樹脂31Aが十字状に吐出されており、凹凸パターン15の溝15aの一部が紫外線硬化樹脂31Aの押し広げの前に濡れている。従って、押し広げの際には、図11の(b)に示すように、紫外線硬化樹脂31Aが凹凸パターン15の溝15aを通りながらスムーズに移動する。このため紫外線硬化樹脂31Aと凹凸パターン15の溝15aとの間に空間が生じることに起因する気泡の発生が抑えられる。また紫外線硬化樹脂31Aが均等に広がるまでの待ち時間が短くてすむため、紫外線硬化樹脂31Aの押し広げにかかる時間も短縮できる。   As shown in FIG. 11A, the ultraviolet curable resin 31A is discharged in a cross shape on the concave / convex pattern 15 of the mold 47A, and a part of the groove 15a of the concave / convex pattern 15 is pushed by the ultraviolet curable resin 31A. Wet before spreading. Therefore, when spreading, the ultraviolet curable resin 31A moves smoothly while passing through the groove 15a of the concave-convex pattern 15 as shown in FIG. For this reason, generation | occurrence | production of the bubble resulting from a space producing between the ultraviolet curable resin 31A and the groove | channel 15a of the uneven | corrugated pattern 15 is suppressed. In addition, since the waiting time until the ultraviolet curable resin 31A spreads evenly is short, the time required for spreading the ultraviolet curable resin 31A can be shortened.

そして、十字状に吐出された紫外線硬化樹脂31Aは、上述したように、それぞれの方向での吐出量が制御ユニット48により正確にコントロールされている。従って、押し広げの際には、紫外線硬化樹脂31Aが凹凸パターン15の溝15aを通りながら移動し、全体的に広がる。これにより、紫外線硬化樹脂31Aが金型47Aの凹凸パターン15に所定の厚みで均等に広がり、成形後の第1の樹脂層13の膜厚を所定の値にし光学性能を確保することができる。また、成形後の第1の樹脂層13の膜厚ムラを無くして光学性能を確保することができる。   As described above, the discharge amount in each direction of the ultraviolet curable resin 31 </ b> A discharged in a cross shape is accurately controlled by the control unit 48. Therefore, at the time of spreading, the ultraviolet curable resin 31A moves while passing through the groove 15a of the concavo-convex pattern 15, and spreads as a whole. Thereby, the ultraviolet curable resin 31A spreads evenly over the concave / convex pattern 15 of the mold 47A with a predetermined thickness, and the optical performance can be ensured by setting the thickness of the first resin layer 13 after molding to a predetermined value. Moreover, the optical performance can be ensured by eliminating the film thickness unevenness of the first resin layer 13 after molding.

特に、この実施形態では、図9に示したように、金型47Aの凹凸パターン15の外周側に、中心部の広がり面積と外周部の広がり面積とを計算して、より多くの紫外線硬化樹脂31Aを吐出するようにしたので、凹凸パターン15に沿って紫外線硬化樹脂31Aが流動した時に、外周側の紫外線硬化樹脂31Aが不足することがなくなり、紫外線硬化樹脂31Aを凹凸パターン15に所定の厚みで均等に広がるようにすることができる。   In particular, in this embodiment, as shown in FIG. 9, the spread area of the central portion and the spread area of the outer peripheral portion are calculated on the outer peripheral side of the concavo-convex pattern 15 of the mold 47 </ b> A. Since 31A is discharged, when the ultraviolet curable resin 31A flows along the concavo-convex pattern 15, the ultraviolet curable resin 31A on the outer peripheral side is not deficient, and the ultraviolet curable resin 31A has a predetermined thickness on the concavo-convex pattern 15. Can be spread evenly.

ステップS4(紫外線照射工程):制御ユニット48は、図10の(e)に示す状態で紫外線光源38をオンにし、第1のレンズ部材11に紫外線37を照射して紫外線硬化型樹脂31Aを硬化させる。これにより、第1のレンズ部材11の一面に回折格子をなす第1の樹脂層13が形成される。具体的には、まず、Oリング34によって第1のレンズ部材11を上から押さえた状態で、チャックユニット20の内側から紫外線37を照射する。そして、紫外線硬化型樹脂31Aが硬化した段階で、チャックユニット20を退避させる。   Step S4 (ultraviolet irradiation process): The control unit 48 turns on the ultraviolet light source 38 in the state shown in FIG. 10E and irradiates the first lens member 11 with the ultraviolet light 37 to cure the ultraviolet curable resin 31A. Let Thereby, the 1st resin layer 13 which makes a diffraction grating in one surface of the 1st lens member 11 is formed. Specifically, first, ultraviolet rays 37 are irradiated from the inside of the chuck unit 20 in a state where the first lens member 11 is pressed from above by the O-ring 34. Then, the chuck unit 20 is retracted when the ultraviolet curable resin 31A is cured.

ステップS5(離型工程):制御ユニット48は、図10の(f)に示すように、紫外線硬化型樹脂31Aの硬化後に可動台座41Aを上昇させる。これにより、第1の樹脂層13が形成された第1のレンズ部材11が金型47Aから離脱する。
ステップS6(レンズ取り出し工程):金型47Aから離脱した第1の樹脂層13が形成された第1のレンズ部材11を取り出す。この実施形態では、人手により取り出しが行われる。なお、チャックユニット20を用いて取り出すようにしても良い。
Step S5 (mold release step): As shown in FIG. 10F, the control unit 48 raises the movable base 41A after the ultraviolet curable resin 31A is cured. Thereby, the 1st lens member 11 in which the 1st resin layer 13 was formed separates from metallic mold 47A.
Step S6 (lens removal step): The first lens member 11 formed with the first resin layer 13 separated from the mold 47A is removed. In this embodiment, the removal is performed manually. Note that the chuck unit 20 may be used for removal.

これにより、第1の成形ユニット18Aを使用して、第1のレンズ部材11に第1の樹脂層13を形成する第1工程が終了する。
(第2工程)
第2工程では、第1の成形ユニット18Aとほぼ同様に構成された第2の成形ユニット18Bを使用して、第1のレンズ部材11と第2のレンズ部材12とを貼り合わせる。
Thus, the first step of forming the first resin layer 13 on the first lens member 11 using the first molding unit 18A is completed.
(Second step)
In the second step, the first lens member 11 and the second lens member 12 are bonded together by using a second molding unit 18B configured in substantially the same manner as the first molding unit 18A.

ここで、第2の成形ユニット18Bと第1の成形ユニット18Aとの相違点を簡単に説明する。第2の成形ユニット18Bでは、図12の(a)に示すように、金型47Bの上面が第1のレンズ部材11よりも若干大きな円形に形成されている。そして、金型47Bの上面には第1のレンズ部材11を載置する円環状の載置部47bが形成されている。
以下、第2工程の内容を順次説明する。
Here, a difference between the second molding unit 18B and the first molding unit 18A will be briefly described. In the second molding unit 18 </ b> B, as shown in FIG. 12A, the upper surface of the mold 47 </ b> B is formed in a slightly larger circle than the first lens member 11. An annular mounting portion 47b for mounting the first lens member 11 is formed on the upper surface of the mold 47B.
Hereinafter, the contents of the second step will be sequentially described.

ステップS7(金型交換工程):基台16に配置される第1の成形ユニット18Aを第2の成形ユニット18Bに交換する。
ステップS8(レンズ配置工程):制御ユニット48は、図12の(a)に示すように、第2の成形ユニット18Bの金型47Bの載置部47bに、第1のレンズ部材11を配置する。より具体的には、制御ユニット48は、チャックユニット20によって第1のレンズ部材11を第2の成形ユニット18Bの金型47Bの上方に搬送する。なお、チャックユニット20への第1のレンズ部材11の取り付けは人手により行われる。そして、第1のレンズ部材11の光軸と金型47Bの中心とを位置合わせした後に、金型47Bの載置部47bに第1のレンズ部材11を載置する。このとき、第1のレンズ部材11は第1の樹脂層13の形成面を上にしておく。
Step S7 (mold replacement step): The first molding unit 18A disposed on the base 16 is replaced with the second molding unit 18B.
Step S8 (lens arrangement step): As shown in FIG. 12A, the control unit 48 arranges the first lens member 11 on the mounting portion 47b of the mold 47B of the second molding unit 18B. . More specifically, the control unit 48 conveys the first lens member 11 by the chuck unit 20 above the mold 47B of the second molding unit 18B. The first lens member 11 is attached to the chuck unit 20 manually. Then, after aligning the optical axis of the first lens member 11 and the center of the mold 47B, the first lens member 11 is mounted on the mounting portion 47b of the mold 47B. At this time, the first lens member 11 has the formation surface of the first resin layer 13 facing upward.

ステップS9(吐出工程):制御ユニット48は、図12の(b)に示すように、第1の樹脂層13に紫外線硬化樹脂31Bを吐出する。吐出は、第1の樹脂層13の凹凸パターン15上に第1工程と同様にして−X,X、−Y,Y方向に順次紫外線硬化樹脂31Bを吐出することにより行われる。この吐出の説明は、上述した第1工程の吐出工程とほぼ共通するので説明を省略する。第2工程では、上記第1工程とは別の紫外線硬化樹脂31Bが使用される。なお、このとき、制御ユニット48は、第2の成形ユニット18Bの可動台座41Bの位置の上面が第1の樹脂層13の位置よりも高くなるように予め制御する。   Step S9 (Discharge process): The control unit 48 discharges the ultraviolet curable resin 31B to the first resin layer 13 as shown in FIG. The discharge is performed by sequentially discharging the ultraviolet curable resin 31B in the −X, X, −Y, and Y directions onto the concave / convex pattern 15 of the first resin layer 13 in the same manner as in the first step. Since the description of the discharge is substantially the same as the discharge process of the first process described above, the description is omitted. In the second step, an ultraviolet curable resin 31B different from the first step is used. At this time, the control unit 48 performs control in advance so that the upper surface of the movable base 41B of the second molding unit 18B is higher than the position of the first resin layer 13.

ステップS10(チャック移動工程):図12の(d)に示すように、チャックユニット20によって第2のレンズ部材12を可動台座41Bの上方に搬送する。チャックユニット20への第2のレンズ部材12の取り付けは人手により行われる。なお、この実施形態では、図12の(c)に示すように、搬送する前に、第2のレンズ部材12の中央部に紫外線硬化樹脂31Bを少量吐出する。この方法により第1のレンズ部材11の第1の樹脂層13に第2のレンズ部材12を押し当てる際に第1の樹脂層13に吐出された紫外線硬化樹脂31Bとの親和性が増し、紫外線硬化樹脂31Bの接触時の気泡の発生を抑制することができる。   Step S10 (chuck moving step): As shown in FIG. 12D, the second lens member 12 is conveyed above the movable base 41B by the chuck unit 20. The second lens member 12 is attached to the chuck unit 20 manually. In this embodiment, as shown in FIG. 12C, a small amount of the ultraviolet curable resin 31B is discharged to the central portion of the second lens member 12 before being transported. By this method, when the second lens member 12 is pressed against the first resin layer 13 of the first lens member 11, the affinity with the ultraviolet curable resin 31B discharged to the first resin layer 13 is increased, and ultraviolet rays are increased. It is possible to suppress the generation of bubbles when the cured resin 31B is in contact.

そして、制御ユニット48は、第1のレンズ部材11と第2のレンズ部材12との光軸を位置合わせした後に、図12の(e)に示すように、可動台座41Bの上面にレンズ面を上にして第2のレンズ部材12を載置する。この状態では、第2のレンズ部材12の外周が可動台座41Bの上面に引っ掛かるため、第2のレンズ部材12の金型47Bは可動台座41Bの上面と平行に保持される。   Then, after aligning the optical axes of the first lens member 11 and the second lens member 12, the control unit 48 places the lens surface on the upper surface of the movable base 41B as shown in FIG. The second lens member 12 is placed upward. In this state, since the outer periphery of the second lens member 12 is caught on the upper surface of the movable pedestal 41B, the mold 47B of the second lens member 12 is held in parallel with the upper surface of the movable pedestal 41B.

ステップS11(押し広げ工程):チャックユニット20で第2のレンズ部材12を上から押さえた状態を維持しつつ、図12の(f)、(g)に示すように、可動台座41Bを徐々に下降させ所定の高さで停止させる。これにより、第1のレンズ部材11と第2のレンズ部材12との相対間隔が小さくなって、紫外線硬化型樹脂31Bが押し広げられる。この押し広げの説明は、上述した第1工程の押し広げ工程とほぼ共通するので重複説明を省略する。   Step S11 (pushing and spreading step): While maintaining the state where the chuck unit 20 holds the second lens member 12 from above, as shown in FIGS. 12 (f) and 12 (g), the movable base 41B is gradually moved. Lower and stop at a predetermined height. Thereby, the relative space | interval of the 1st lens member 11 and the 2nd lens member 12 becomes small, and the ultraviolet curable resin 31B is expanded. Since the explanation of this expansion is almost the same as the above-described expansion process of the first process, a duplicate description is omitted.

ステップS12(紫外線照射工程):図12の(g)に示すように、第2のレンズ部材12に紫外線37を照射して紫外線硬化型樹脂31Bを硬化させる。この紫外線照射の説明は、上述した第1工程の場合とほぼ共通するので重複説明を省略する。
これにより、図12の(h)に示すように、第1のレンズ部材11と第2のレンズ部材12とが貼り合わされた光学素子が形成される。また、第2工程では、第1の樹脂層13の回折格子の凹凸パターン15が型材としての役目を果たす。そのため、レンズ部材の間にある第1の樹脂層13および第2の樹脂層14には、互いにかみあう形状の回折格子が形成される。
Step S12 (ultraviolet irradiation step): As shown in FIG. 12G, the second lens member 12 is irradiated with ultraviolet rays 37 to cure the ultraviolet curable resin 31B. Since the explanation of the ultraviolet irradiation is almost the same as that in the first step described above, the duplicate explanation is omitted.
Thereby, as shown in FIG. 12H, an optical element in which the first lens member 11 and the second lens member 12 are bonded together is formed. In the second step, the concave / convex pattern 15 of the diffraction grating of the first resin layer 13 serves as a mold material. Therefore, in the first resin layer 13 and the second resin layer 14 between the lens members, a diffraction grating having a shape that meshes with each other is formed.

上述した実施形態では、紫外線硬化樹脂31A,31Bの押し広げの際に、紫外線硬化樹脂31A,31Bが凹凸パターン15の溝15aを通りながら移動するため、回折光学素子の凹凸パターン15への気泡の混入を有効に防止することができる。また、紫外線硬化樹脂31A,31Bが凹凸パターン15の溝15aを通りながら移動し、X,Y軸に対して45度の位置で合体し、紫外線硬化樹脂31A,31Bが金型47Aまたは第1の樹脂層13の凹凸パターン15に所定の厚みで均等に広がるため、成形後の第1の樹脂層13および第2の樹脂層14の膜厚ムラを無くして光学性能を確保することができる。   In the above-described embodiment, when the ultraviolet curable resins 31A and 31B are spread, the ultraviolet curable resins 31A and 31B move while passing through the grooves 15a of the concavo-convex pattern 15, so that bubbles are formed on the concavo-convex pattern 15 of the diffractive optical element. Mixing can be effectively prevented. Further, the ultraviolet curable resins 31A and 31B move while passing through the grooves 15a of the concave / convex pattern 15 and merge at a position of 45 degrees with respect to the X and Y axes, and the ultraviolet curable resins 31A and 31B become the mold 47A or the first one. Since the uneven pattern 15 of the resin layer 13 spreads evenly with a predetermined thickness, the optical performance can be ensured by eliminating unevenness in the thickness of the first resin layer 13 and the second resin layer 14 after molding.

(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上記の実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に限定されるものではない。
(1)上述した実施形態では、第2工程において第1の成形ユニット18Aを第2の成形ユニット18Bに交換した例について説明したが、基台16に第1の成形ユニット18Aおよび第2の成形ユニット18Bの両者を設けることにより交換を無くすことができる。
(Supplementary items of the embodiment)
As mentioned above, although this invention has been demonstrated by said embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the said embodiment.
(1) In the above-described embodiment, the example in which the first molding unit 18A is replaced with the second molding unit 18B in the second step has been described. However, the first molding unit 18A and the second molding are formed on the base 16. By providing both units 18B, the exchange can be eliminated.

(2)上述した実施形態では、紫外線硬化樹脂31A,31Bを輪帯状の凹凸パターン15に対して十字状に吐出した例について説明したが、例えば、X方向またはY方向にのみ吐出しても良い。また、中心から120度の角度を置いてY字状に吐出しても良い。要は、中心から対称に吐出すれば良い。
(3)本発明の樹脂は紫外線硬化型樹脂31A,31Bに限定されることなく、例えば加熱硬化型樹脂であっても良い。
(2) In the above-described embodiment, the example in which the ultraviolet curable resins 31A and 31B are discharged in a cross shape with respect to the ring-shaped uneven pattern 15 has been described. However, for example, it may be discharged only in the X direction or the Y direction. . Further, it may be discharged in a Y shape at an angle of 120 degrees from the center. In short, it may be discharged symmetrically from the center.
(3) The resin of the present invention is not limited to the ultraviolet curable resins 31A and 31B, and may be, for example, a thermosetting resin.

(4)本発明での樹脂層の数は、上記実施形態のように2層に限定されるものではない。例えば、光学素子の樹脂層は1層だけであってもよく、あるいは樹脂層が3層以上積層されたものであっても良い。   (4) The number of resin layers in the present invention is not limited to two layers as in the above embodiment. For example, the optical element may have only one resin layer, or three or more resin layers may be laminated.

回折光学素子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a diffractive optical element. 図1の凹凸パターンを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the uneven | corrugated pattern of FIG. 図1の回折光学素子の製造装置を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the manufacturing apparatus of the diffractive optical element of FIG. 図3の吐出ユニットを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the discharge unit of FIG. 図3のチャックユニットを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the chuck | zipper unit of FIG. 図3の成形ユニットを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the shaping | molding unit of FIG. 図1の回折光学素子の製造工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the manufacturing process of the diffractive optical element of FIG. 図7の吐出工程等を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the discharge process of FIG. 凹凸パターンへの吐出方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the discharge method to an uneven | corrugated pattern. 図7の押し広げ工程等を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the expansion process etc. of FIG. 図7の押し広げ工程の作用を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the effect | action of the expansion process of FIG. 図7の第2工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the 2nd process of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

11…第1のレンズ部材、12…第2のレンズ部材、13…第1の樹脂層、14…第2の樹脂層、15…凹凸パターン、18…成形ユニット、19…吐出ユニット、20…チャックユニット、31A,31B…紫外線硬化樹脂、47A,47B…金型、48…制御ユニット。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... 1st lens member, 12 ... 2nd lens member, 13 ... 1st resin layer, 14 ... 2nd resin layer, 15 ... Uneven pattern, 18 ... Molding unit, 19 ... Discharge unit, 20 ... Chuck Units 31A, 31B ... UV curable resin, 47A, 47B ... mold, 48 ... control unit.

Claims (6)

成形型に形成される輪帯状の凹凸パターンに未硬化の光学材料樹脂を吐出する樹脂吐出工程と、
前記未硬化の光学材料樹脂に光学部材を押圧して前記光学材料樹脂を前記凹凸パターンに押し広げる押し広げ工程と、
前記光学材料樹脂を硬化させる硬化工程とを有し、
前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンの中心に対して対称となる位置に行うことを特徴とする回折光学素子の製造方法。
A resin discharge step of discharging an uncured optical material resin to a ring-shaped uneven pattern formed in the mold;
An unfolding step of pressing an optical member against the uncured optical material resin to spread the optical material resin on the uneven pattern;
A curing step of curing the optical material resin,
A method for producing a diffractive optical element, wherein the ejection of the optical material resin in the resin ejection step is performed at a position symmetric with respect to the center of the ring-shaped uneven pattern.
第1の光学部材に形成される輪帯状の凹凸パターンに未硬化の光学材料樹脂を吐出する樹脂吐出工程と、
前記未硬化の光学材料樹脂に第2の光学部材を押圧して前記光学材料樹脂を前記凹凸パターンに押し広げる押し広げ工程と、
前記光学材料樹脂を硬化させる硬化工程とを有し、
前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンの中心に対して対称となる位置に行うことを特徴とする回折光学素子の製造方法。
A resin discharge step of discharging an uncured optical material resin to a ring-shaped uneven pattern formed on the first optical member;
A step of spreading and spreading the optical material resin to the concavo-convex pattern by pressing a second optical member against the uncured optical material resin;
A curing step of curing the optical material resin,
A method for producing a diffractive optical element, wherein the ejection of the optical material resin in the resin ejection step is performed at a position symmetric with respect to the center of the ring-shaped uneven pattern.
請求項1または請求項2記載の回折光学素子の製造方法において、
前記樹脂吐出工程における前記光学材料樹脂の吐出を、前記輪帯状の凹凸パターンに対して十字状に行うことを特徴とする回折光学素子の製造方法。
In the manufacturing method of the diffractive optical element according to claim 1 or 2,
A method of manufacturing a diffractive optical element, wherein the optical material resin is discharged in a cross shape with respect to the ring-shaped uneven pattern in the resin discharging step.
請求項1ないし請求項3のいずれか1項記載の回折光学素子の製造方法において、
前記光学部材は、レンズ部材であることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
In the manufacturing method of the diffractive optical element according to any one of claims 1 to 3,
The method of manufacturing a diffractive optical element, wherein the optical member is a lens member.
成形型または光学部材に形成される輪帯状の凹凸パターンに未硬化の光学材料樹脂を吐出する吐出ユニットと、
前記吐出ユニットを前記輪帯状の凹凸パターンの径方向に移動する移動手段と、
を有することを特徴とする樹脂吐出装置。
A discharge unit that discharges uncured optical material resin to a ring-shaped uneven pattern formed on a mold or an optical member;
Moving means for moving the discharge unit in the radial direction of the ring-shaped uneven pattern;
A resin discharge device comprising:
請求項5記載の樹脂吐出装置において、
前記吐出ユニットが吐出する前記光学材料樹脂の吐出量を、前記吐出ユニットの位置に応じて制御する制御手段を有することを特徴とする樹脂吐出装置。
The resin discharge device according to claim 5,
A resin discharge apparatus comprising: a control unit that controls a discharge amount of the optical material resin discharged from the discharge unit according to a position of the discharge unit.
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