JP2008042124A - Semiconductor power module - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、パワー半導体素子をスイッチングさせることによって電力変換を行なうインバータや無停電電源装置(UPS)において、スイッチング動作に伴う高周波漏れ電流や、電磁ノイズを低減させる技術に関する。 The present invention relates to a technique for reducing high-frequency leakage current and electromagnetic noise associated with a switching operation in an inverter or uninterruptible power supply (UPS) that performs power conversion by switching a power semiconductor element.
インバータやUPSなどの電力変換装置は、パワーモジュールに内蔵されたパワー半導体素子を、数KHz〜数十KHzの周波数でスイッチングさせることにより、電力変換を行なっている。その電力変換装置の回路構成例を図7に示す。
図7は、多相電源として3相交流電源6に接続された代表的回路を示し、3相交流電源6はダイオードチップ71〜76からなるブリッジ回路部7で一旦直流電源(図では、直流平滑用電解コンデンサ1として示されている)に変換される。
Power conversion devices such as inverters and UPS perform power conversion by switching power semiconductor elements built in a power module at a frequency of several KHz to several tens KHz. An example of the circuit configuration of the power converter is shown in FIG.
FIG. 7 shows a typical circuit connected to a three-phase
整流された直流電源1を、パワー半導体素子としてのIGBT(絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ)81〜86により上下アームを交互にスイッチングすることにより、負荷であるモータ3に交流電力を供給しモータ3を可変周波数にて駆動する。なお、IGBT81〜86には逆並列に還流用ダイオード(FWD)91〜96が接続されており、IGBTオフ時にモータ電流を還流させる動作を行なう。
By switching the rectified
また、IGBTのスイッチングは一般に、PWM(パルス幅変調)方式で行なわれる。さらに、電力変換装置に適用されるパワーモジュールは、IGBTチップやFWDチップがモジュール容器2に収納されており、パワーチップの通電による熱は、モジュール容器2の底面に設置された金属ベース10を介し、冷却体5により冷却されるように構成されていることが多い。
Further, the switching of the IGBT is generally performed by a PWM (pulse width modulation) system. Furthermore, the power module applied to the power converter includes an IGBT chip and an FWD chip housed in the
図8はパワーモジュールの構造を示す断面図である。
ここでは、絶縁基板13の表面には回路パターン12a,12bが作製されており、パワーチップ71,81が半田などにより実装されている。また、パワーチップと回路パターンとは、アルミニウム・ワイヤ111などにより接続されている。絶縁基板13の裏面は、アースとなる金属ベース10と固着させるよう、ベタパターン12cとなっている。モジュール底面に設けられた金属ベース10は冷却体5へ取り付けられ、パワーチップが通電に伴って生じる電気的損失(=熱)は、絶縁基板13を介して金属ベース10、冷却体5へ伝導されて放熱される。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing the structure of the power module.
Here,
一方、回路パターン12a,12bと金属ベース10とは、セラミックなどの材質により構成される絶縁基板13にて電気的に絶縁される。すなわち、図7のように、モジュール2が取り付けられる冷却体5と、電気回路部7,8とは電気的に絶縁されており、冷却体5への接触による感電や地絡事故を防止するために、冷却体5は接地されている(図7の符号4を参照)。また、パワーモジュール2には端子2a〜2dが設けられており、外部に設置されたコンデンサ1や交流電源6,モータ3へ配線される。
On the other hand, the
図9はパワーモジュールの内部構造を示す上面図である。
すなわち、絶縁基板13の表面には、整流回路部7に相当する回路パターン12a、インバータ回路部に相当する回路パターン12bがそれぞれ形成されており、チップ71〜76,81〜86および91〜96は回路パターンとは半田やアルミニウム・ワイヤ112によってそれぞれ配線接続されている。
FIG. 9 is a top view showing the internal structure of the power module.
That is, a
上述のような構成では、IGBTなどのパワー半導体素子がスイッチングすることにより、高いdv/dt(電圧変化)が発生し、接地4と主電気回路7,8間に高周波のコモンモード電流が流れるという現象が生じる。これは、主回路と冷却体(接地)が、絶縁基板の容量により結合しているためである。
前述のように、電気回路7,8と接地4間は絶縁基板13により絶縁されているが、上記高周波の電流が流出することによって、当該電力変換装置近傍に設置されているラジオなどに通信障害を生じさせたり、同一電源装置に接続されている他装置に悪影響を与えたりするおそれがある。
In the configuration as described above, a high dv / dt (voltage change) is generated by switching a power semiconductor element such as an IGBT, and a high-frequency common mode current flows between the
As described above, the
上記のノイズ電流の経路を、図7に符号16で示す。インバータ側のパワーチップ81〜86,91〜96がスイッチングすることに伴い、接地4に対しインバータ回路部8は電位変動するため、記高周波の電流が接地線に流れ、この電流が他の装置に悪影響を及ぼしたり、電磁ノイズとして輻射されたりする。
図6にこの場合の等価回路を示す。同図において、134はパワーチップがスイッチングすることにより生じるコモンモード起電力、132はインバータ回路部8の接地に対する浮遊容量、すなわち絶縁基板の容量を示している。また、131は整流回路部7側の接地に対する浮遊容量C、133は整流回路−インバータ回路間の配線上に存在する浮遊インダクタンスLを示す。
The path of the noise current is indicated by
FIG. 6 shows an equivalent circuit in this case. In the figure,
ところで、図6のように流れるノイズ電流の抑制を目的とする先行技術として、例えば特許文献1のように、パワーモジュールの絶縁基板内に接地電極以外、すなわち主電気回路の電位の導電層を設け、ノイズ電流が接地ラインに流れないようにするもの、また、例えば特許文献2のように、冷却体を接地しなかったり、電位変動の小さい電極、例えば正極や負極電極を冷却体に接続したりして、伝導ノイズの低減を図るものがある。
しかし、特許文献1のものでは、主電気回路と接地ライン間の絶縁層膜の厚さが薄くなるため、回路と接地間の浮遊容量が増大し、接地ラインへの漏洩電流が増大してしまうという問題が生じる。
By the way, as a prior art for the purpose of suppressing the noise current flowing as shown in FIG. 6, for example, as in
However, in
一方、特許文献2のものでは、冷却体を接地しない場合は、冷却フィンへの接触などによる感電を防止するための構造的な配慮が別途必要になる。また、一般に主電気回路と接地ライン間の浮遊容量は数10pF〜数100pFであるのに対し、スイッチング素子の接合容量は1000pF以上である。したがって、スイッチング時に生じるノイズ起電力は前者の容量に印加され、デバイス側の浮遊容量はほぼショートとみなせる。よって、接地ラインに対しては正極・負極ラインでも安定しているとは言えず、出力端子と同様に変動することがある。
On the other hand, in the case of
そこで、出願人は、例えば特許文献3のように、インバータ装置1を整流器モジュールとインバータモジュールとに分離し、各モジュールには個別に放熱器を設け、これらの放熱器間をインピーダンス素子を介して接続することにより、ノイズを低減する方式を提案している(提案方式)。
しかし、上記提案方式は主として30MHz以上の周波数の放射性ノイズを低減するものであり、30MHz以下の周波数の伝導性ノイズを低減するものとは対象を異にするだけでなく、整流器モジュールと、インバータモジュールとに分離されたものにしか適用できないという問題がある。
従って、この発明の課題は、整流器回路とインバータ回路が一体的に構成されるモジュールにも適用できるようにし、特に30MHz以下の周波数の伝導ノイズを低減し得るようにすることにある。
However, the proposed method mainly reduces radiated noise at a frequency of 30 MHz or higher, and not only a target different from that for reducing conductive noise at a frequency of 30 MHz or lower, but also a rectifier module and an inverter module. There is a problem that it can be applied only to those separated.
Therefore, an object of the present invention is to make it applicable to a module in which a rectifier circuit and an inverter circuit are integrally formed, and particularly to reduce conduction noise at a frequency of 30 MHz or less.
このような課題を解決するため、請求項1の発明では、整流回路部とインバータ回路部とを一体的にパッケージ化した半導体モジュールに対し、前記整流回路部に対し絶縁された第1の金属ベース板と、前記インバータ回路部に対し絶縁された第2の金属ベース板とを個別に設け、第1の金属ベース板と第2の金属ベース板とを互いに絶縁することによりノイズを低減させることを特徴とする。
この請求項1の発明においては、前記第1の金属ベース板と、前記第2の金属ベース板との間を、インピーダンス素子を介して短絡することができる(請求項2の発明)。
In order to solve such a problem, according to the first aspect of the present invention, the first metal base insulated from the rectifier circuit unit is provided for the semiconductor module in which the rectifier circuit unit and the inverter circuit unit are integrally packaged. A plate and a second metal base plate insulated from the inverter circuit section are separately provided, and noise is reduced by insulating the first metal base plate and the second metal base plate from each other. Features.
In the invention of
また、上記請求項1の発明においては、前記第1の金属ベース板が取り付けられる第1の冷却体と、前記第2の金属ベース板が取り付けられる第2の冷却体とを、互いに分離することができる(請求項3の発明)。この請求項3の発明においては、前記第1の金属ベース板または前記第1の冷却体と、前記第2の金属ベース板または前記第2の冷却体との間を、インピーダンス素子を介して短絡することができる(請求項4の発明)。 In the first aspect of the invention, the first cooling body to which the first metal base plate is attached and the second cooling body to which the second metal base plate is attached are separated from each other. (Invention of claim 3). In the invention of claim 3, the first metal base plate or the first cooling body and the second metal base plate or the second cooling body are short-circuited via an impedance element. (Invention of claim 4).
この発明によれば、整流回路とインバータ回路が一体化されたパワーモジュールにおいて、これらパワー回路の冷却ベース板を分離することにより、特に伝導性ノイズを低減することが可能となる。その結果、ノイズフィルタを削減または軽減することができ、低コストにノイズ低減を図れるという利点が得られる。すなわち、低コスト化や省スペース化の観点から、パワーモジュールは一体化されることが多いが、この発明はこのような場合に適用して効果を奏するものと言える。 According to the present invention, in the power module in which the rectifier circuit and the inverter circuit are integrated, it is possible to particularly reduce the conductive noise by separating the cooling base plate of these power circuits. As a result, the noise filter can be reduced or reduced, and there is an advantage that noise can be reduced at a low cost. That is, the power module is often integrated from the viewpoint of cost reduction and space saving, but it can be said that the present invention is effective when applied to such a case.
図1はこの発明の実施の形態を示す構成図、図2は図1の断面図、図4は図1の上面図である。
図1,図2および図4に示すように、絶縁基板13の表面上に形成される回路パターン12a,12bやパワーチップ71〜76、81〜86、91〜96の配置は従来のパワーモジュールの構成と同じである。ここでは絶縁基板13の裏面のアースパターン、およびこれが固定される金属ベース部を、整流回路側10aおよびインバータ回路側10bに分割し、これらを1つのパワーモジュール2としてパッケージ化する構成にした点が特徴である。アースパターンは、図2のように12c,12dに分割されている。
また、このパワーモジュールが取り付けられる冷却体も、整流回路7用およびインバータ回路8用のそれぞれに対し5a,5bとして設置され、これらの冷却体5a,5b間にはフェライトコアや抵抗などからなるインピーダンス素子15が接続される。
1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of FIG. 1, and FIG. 4 is a top view of FIG.
As shown in FIGS. 1, 2 and 4, the
The cooling bodies to which the power modules are attached are also installed as 5a and 5b for the
図4に示すように、整流回路部7とインバータ回路部8は同一絶縁基板13上に配置されるとともに、金属ベース板は10a,10bに分割されてパッケージ化されている。また、整流回路7側の金属ベース10aが取り付けられる冷却体5aと、インバータ回路8側の金属ベース10bが取り付けられる冷却体5bとを分離して構成する。そして、冷却体5aと5bの間には抵抗やフェライトコア、非晶質金属薄膜(アモルファス)磁性体に代表される軟磁性体などのインピーダンス15が挿入されている。冷却体5a,5bのどちらか一方(図1では5aの方)は、感電防止のため接地(4)される。
ここで、インピーダンス15は、分割された金属ベース板10a−10b間に接続してもよいし、分割された冷却体5a−5b間に接続してもよい。あるいは、金属ベース10a−冷却体5b間,金属ベース10b−冷却体5a間に接続してもよい。
As shown in FIG. 4, the
Here, the
また、インピーダンス15を接続するに当たり、整流回路およびインバータ回路を構成する半導体素子(ダイオード,IGBT)の直下およびその近傍は、半導体素子の発熱のため高温となる。半導体素子→金属ベース板→冷却体の方向に前記発熱の放熱路となるため、この妨げとならない箇所にインピーダンス15を設けるとよい。
例えば、金属ベース板に抵抗素子を半田付けしてもよいし、冷却体にフェライトコアもしくはアモルファス磁性体をねじ留めしてもよい。
Further, when the
For example, a resistance element may be soldered to a metal base plate, or a ferrite core or an amorphous magnetic material may be screwed to the cooling body.
図1の等価回路を図5に示す。
図1のようにインピーダンス15が挿入されることにより、図5に符号16で示すノイズ電流は抑制,減衰されるため、図6に示す従来の場合よりも、ノイズを小さくすることができる。一方、フェライトやアモルファスは、低い周波数においてはインダクタンスであり、直流的には短絡とみなせるため、感電防止の観点からは望ましい。また、高い周波数においては等価的に抵抗と見なせるため、上記のようにノイズ電流の抑制効果を持つことになる。
The equivalent circuit of FIG. 1 is shown in FIG.
By inserting the
図3はこの発明の別の実施の形態を示す断面図である。
図1と比較すれば明らかなように、図1の絶縁基板13を整流回路用13aと、インバータ回路用13bに分離した場合を示す。冷却体も図示のように分離して構成されるが、ノイズ電流が問題にならない(小さい)場合には、冷却体を1つにまとめても良い。これにより、図1,図2と同様の効果を期待することができる。
FIG. 3 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.
As is clear from comparison with FIG. 1, the case where the insulating
1…平滑コンデンサ(直流電源)、2…モジュール容器、2a〜2d…端子、3…モータ(負荷)、4…接地、5a,5b…冷却体、6…3相交流電源、7…整流回路部、71〜76,81〜86,91〜96…半導体チップ、8…インバータ回路部、10a,10b…金属ベース板、111,112…ワイヤ、12a,12b…回路パターン、12c,12d…アースパターン、13,13a,13b…絶縁基板、131,132…浮遊容量、133…浮遊インダクタンス、134…コモンモード起電力、15…インピーダンス。
DESCRIPTION OF
Claims (4)
4. The short circuit between the first metal base plate or the first cooling body and the second metal base plate or the second cooling body via an impedance element. The semiconductor power module described in 1.
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