[go: up one dir, main page]

JP2007309881A - Wavelength sweep light source and optical tomographic imaging apparatus - Google Patents

Wavelength sweep light source and optical tomographic imaging apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2007309881A
JP2007309881A JP2006141570A JP2006141570A JP2007309881A JP 2007309881 A JP2007309881 A JP 2007309881A JP 2006141570 A JP2006141570 A JP 2006141570A JP 2006141570 A JP2006141570 A JP 2006141570A JP 2007309881 A JP2007309881 A JP 2007309881A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
wavelength
optical
light source
dispersed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Abandoned
Application number
JP2006141570A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Hiiro
宏之 日色
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2006141570A priority Critical patent/JP2007309881A/en
Publication of JP2007309881A publication Critical patent/JP2007309881A/en
Abandoned legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

【課題】良好な発振効率で発振する波長掃引光源を実現する
【解決手段】半導体レーザ媒質211から射出した光は、コリメートレンズ212により平行光に変換され、ポリゴンミラー213において反射され、リレーレンズ217aおよび217bによりリレーされ、回折格子214に入射する。回折格子214により分散された光のうち、共役反射光学系221により反射された戻り光は、再度回折格子214に入射し、半導体レーザ媒質211 へ帰還する。ポリゴンミラー213が回転し、戻り光の波長が時間の経過に伴って一定の周期で変化するため、光源ユニット210からは、一定の周期で波長掃引されたレーザ光Laが射出される。ポリゴンミラー213に面倒れが生じ、回折格子214により分散される光の方向がポリゴンミラー213の回転軸方向へずれてしまっても、共役反射光学系221により、入射方向と並行かつ逆方向へ反射され、半導体レーザ媒質211へ帰還する。
【選択図】図6
A wavelength swept light source that oscillates with good oscillation efficiency is realized. Light emitted from a semiconductor laser medium 211 is converted into parallel light by a collimator lens 212, reflected by a polygon mirror 213, and relay lens 217a. And 217b to enter the diffraction grating 214. Of the light dispersed by the diffraction grating 214, the return light reflected by the conjugate reflection optical system 221 is incident on the diffraction grating 214 again and returns to the semiconductor laser medium 211. Since the polygon mirror 213 rotates and the wavelength of the return light changes at a constant period with time, the light source unit 210 emits the laser light La that has been swept at a constant period. Even if the surface of the polygon mirror 213 is tilted and the direction of the light dispersed by the diffraction grating 214 is deviated in the direction of the rotation axis of the polygon mirror 213, it is reflected by the conjugate reflective optical system 221 in the direction opposite to the incident direction. Then, it returns to the semiconductor laser medium 211.
[Selection] Figure 6

Description

本発明は、発振波長が掃引される波長掃引光源および該波長掃引光源を用いて測定対象の光断層画像を取得する光断層画像化装置に関する。   The present invention relates to a wavelength swept light source in which an oscillation wavelength is swept and an optical tomographic imaging apparatus that acquires an optical tomographic image of a measurement target using the wavelength swept light source.

従来、波長掃引型の光源としてはリトロー型と呼ばれる外部共振器型の波長掃引光源が知られている。このリトロー型の光源は、基本的に示す構造を有している。   Conventionally, as a wavelength swept type light source, an external resonator type wavelength swept light source called a Littrow type is known. This Littrow-type light source has a structure basically shown.

図1に示した波長掃引光源は、半導体レーザ媒質101の低反射面からの出射光をコリメートレンズ102によって平行光に変換して、光を回折する回折格子103の回折面へ入射し、回折格子103により回折された回折光を半導体レーザ媒質101に戻すことにより、発振波長を選択している。   The wavelength swept light source shown in FIG. 1 converts the light emitted from the low reflection surface of the semiconductor laser medium 101 into parallel light by the collimator lens 102 and enters the diffraction surface of the diffraction grating 103 that diffracts the light. The oscillation wavelength is selected by returning the diffracted light diffracted by 103 to the semiconductor laser medium 101.

この構造の波長掃引光源では、半導体レーザ媒質101から出射され回折格子103で回折された光の波長成分のうち、特定の波長成分のみが半導体レーザ媒質101に戻る。半導体レーザ媒質101は、その戻ってきた特定波長の光に誘導されて定在波をつくり、その特定波長(以下発振波長と記載)の光を出射する。   In the wavelength swept light source having this structure, only a specific wavelength component returns to the semiconductor laser medium 101 among the wavelength components of the light emitted from the semiconductor laser medium 101 and diffracted by the diffraction grating 103. The semiconductor laser medium 101 generates a standing wave by being guided by the returned light having a specific wavelength, and emits light having the specific wavelength (hereinafter referred to as an oscillation wavelength).

この発振波長は、半導体レーザ媒質101から射出された光の光軸と回折格子103とのなす角度および回折格子103の格子周期の両者で規定されるため、光の光軸に対して、回折格子103を回転させることで発振波長を連続的に掃引すること、すなわち発振波長を掃引することができる。   This oscillation wavelength is defined by both the angle between the optical axis of the light emitted from the semiconductor laser medium 101 and the diffraction grating 103 and the grating period of the diffraction grating 103. By rotating 103, the oscillation wavelength can be swept continuously, that is, the oscillation wavelength can be swept.

一方、生体組織等の測定対象の断層画像を取得する方法の一つとして、光源から射出されたコヒーレンス光を測定光と参照光とに分割した後、測定光が測定対象に照射されたときの反射光と参照光とを合波し、反射光と参照光との干渉光の強度に基づいて光断層画像を取得する方法が知られている。この方法の一つとして光源から射出される光の周波数を時間的に変化させながら干渉光の検出を行うOCT装置が提案されている(たとえば特許文献1参照)。このOCT装置においては、マイケルソン型干渉計を用いて、光源から射出されるレーザ光の周波数を時間的に変化させながら反射光と参照光との干渉が行われるようになっている。そして、光周波数領域のインターフェログラムから所定の測定対象の深さ位置における反射強度を検出し、これを用いて断層画像を生成するようになっている。このようなOCT装置により光断層画像を取得するためには、光源における波長掃引を高速で繰り返し行う必要がある。   On the other hand, as one method for acquiring a tomographic image of a measurement target such as a biological tissue, the measurement light is irradiated when the measurement light is irradiated after the coherence light emitted from the light source is divided into the measurement light and the reference light. A method is known in which reflected light and reference light are combined and an optical tomographic image is acquired based on the intensity of interference light between the reflected light and the reference light. As one of the methods, there has been proposed an OCT apparatus that detects interference light while temporally changing the frequency of light emitted from a light source (see, for example, Patent Document 1). In this OCT apparatus, a Michelson interferometer is used to cause interference between reflected light and reference light while temporally changing the frequency of laser light emitted from a light source. Then, the reflection intensity at the depth position of the predetermined measurement target is detected from the interferogram in the optical frequency domain, and a tomographic image is generated using this. In order to acquire an optical tomographic image with such an OCT apparatus, it is necessary to repeat wavelength sweeping at a light source at high speed.

また、特許文献2にも、波長掃引を高速で繰り返し行うことのできる波長掃引光源が記載されている。この波長掃引光源110は、図2に示すように、レーザ媒質111 と、コリメートレンズ112 と、ポリゴンミラー113 と、回折格子114を備えている。レーザ媒質111から射出した光は、コリメートレンズ112により平行光に変換され、ポリゴンミラー113において反射され、回折格子114に入射する。回折格子114により分散された光のうち、入射方向へ分散された光(以下戻り光と記載)は、ポリゴンミラー113において反射され、レーザ媒質111 へ帰還する。レーザ媒質111の射出端面111aおよび回折格子114により、共振器が構成され、レーザ媒質111の射出端面111aから、レーザ光Lが射出される。なお、この際、レーザ光Lの波長は、戻り光の波長である。   Patent Document 2 also describes a wavelength sweep light source that can repeatedly perform wavelength sweep at high speed. As shown in FIG. 2, the wavelength swept light source 110 includes a laser medium 111, a collimator lens 112, a polygon mirror 113, and a diffraction grating 114. Light emitted from the laser medium 111 is converted into parallel light by the collimator lens 112, reflected by the polygon mirror 113, and incident on the diffraction grating 114. Of the light dispersed by the diffraction grating 114, the light dispersed in the incident direction (hereinafter referred to as return light) is reflected by the polygon mirror 113 and returns to the laser medium 111. A resonator is constituted by the emission end face 111a of the laser medium 111 and the diffraction grating 114, and the laser light L is emitted from the emission end face 111a of the laser medium 111. At this time, the wavelength of the laser light L is the wavelength of the return light.

ここで、ポリゴンミラー113は矢印R1方向に回転するものであって、各反射面において、反射角度が連続的に変化するようになっている。これにより、回折格子114に入射する光の角度が連続的に変化し、発振波長も連続的に変化することとなる。   Here, the polygon mirror 113 is rotated in the direction of the arrow R1, and the reflection angle continuously changes on each reflection surface. As a result, the angle of light incident on the diffraction grating 114 changes continuously, and the oscillation wavelength also changes continuously.

また、ポリゴンミラー113が矢印R1方向に等速で回転したとき、戻り光の波長は、時間の経過に伴って一定の周期で変化することになる。このため、波長掃引光源110からは、一定の周期で波長掃引されたレーザ光Lが射出される。   Further, when the polygon mirror 113 rotates at a constant speed in the direction of the arrow R1, the wavelength of the return light changes with a constant period as time passes. For this reason, the wavelength-swept light source 110 emits laser light L that has been wavelength-swept at a constant period.

また、本発明者は、特願2005−374519において、より小型な回折格子を用いて波長を掃引可能である波長掃引光源を提案している。この波長掃引光源120は、図3に示すように、レーザ媒質111 と、コリメートレンズ112 と、ポリゴンミラー113 と、リレーレンズ121aおよび121bと、回折格子114を備えている。半導体レーザ媒質111の端面111bから射出した光は、コリメートレンズ112により平行光に変換され、ポリゴンミラー113において反射され、リレーレンズ121aおよび121bによりリレーされ、回折格子114に入射する。回折格子114により分散された光のうち、入射方向へ分散された光(以下戻り光と記載)は、リレーレンズ121bおよび121aを通り、ポリゴンミラー113において反射され、半導体レーザ媒質111 へ帰還する。半導体レーザ媒質111の射出端面111aおよび回折格子114により、共振器が構成され、半導体レーザ媒質111の射出端面111aから、レーザ光Laが射出される。なお、この際、レーザ光Laの波長は、戻り光の波長である。   In addition, in the Japanese Patent Application No. 2005-374519, the present inventor has proposed a wavelength swept light source capable of sweeping a wavelength using a smaller diffraction grating. As shown in FIG. 3, the wavelength swept light source 120 includes a laser medium 111, a collimator lens 112, a polygon mirror 113, relay lenses 121a and 121b, and a diffraction grating 114. Light emitted from the end surface 111b of the semiconductor laser medium 111 is converted into parallel light by the collimator lens 112, reflected by the polygon mirror 113, relayed by the relay lenses 121a and 121b, and incident on the diffraction grating 114. Of the light dispersed by the diffraction grating 114, the light dispersed in the incident direction (hereinafter referred to as return light) passes through the relay lenses 121b and 121a, is reflected by the polygon mirror 113, and returns to the semiconductor laser medium 111. The emission end face 111a of the semiconductor laser medium 111 and the diffraction grating 114 constitute a resonator, and the laser light La is emitted from the emission end face 111a of the semiconductor laser medium 111. At this time, the wavelength of the laser beam La is the wavelength of the return light.

ここで、ポリゴンミラー113は矢印R1方向に回転するものであって、各反射面において、反射角度がリレーレンズ121aおよび121bの光軸に対して連続的に変化するようになっている。これにより、回折格子114に入射する光の角度も、連続的に変化する。このため、発振波長も連続的に変化する。
US2005/0035295 A1 US4601036号公報
Here, the polygon mirror 113 is rotated in the direction of the arrow R1, and the reflection angle continuously changes with respect to the optical axes of the relay lenses 121a and 121b on each reflection surface. Thereby, the angle of the light incident on the diffraction grating 114 also changes continuously. For this reason, the oscillation wavelength also changes continuously.
US2005 / 0035295 A1 US4601036

しかしながら、図3に示す波長掃引光源においては、レーザ媒質111の端面111bと共振器の端部にあたる回折格子114とが、共役な配置となっていないため、例えばポリゴンミラー113に面倒れが生じた場合には、レーザ媒質111の端面111bにおける戻り光の焦点が、端面111bに沿って移動してしまい、良好な発振状態が得られないおそれがある。   However, in the wavelength swept light source shown in FIG. 3, since the end face 111b of the laser medium 111 and the diffraction grating 114 corresponding to the end of the resonator are not conjugated, for example, the polygon mirror 113 is tilted. In this case, the focal point of the return light on the end surface 111b of the laser medium 111 may move along the end surface 111b, and a good oscillation state may not be obtained.

このため、本発明者は、図4に示すような、シリンドリカルレンズ131を備え、ポリゴンミラー113の反射面および回折格子114上において、光をライン状に集光させることにより、面倒れの影響を抑制できる波長掃引光源130について検討した。しかしながら、この場合には回折格子114上において、光が集光するのはライン中心部のみであり、ライン端においては、集光位置からずれてしまう。このため、レーザ媒質111の端面111bにおける戻り光の焦点が、端面111bと垂直な方向へばらついてしまい、いわゆる焦点ボケが生じ、やはり良好な発振状態が得られないという問題がある。   For this reason, the present inventor has a cylindrical lens 131 as shown in FIG. 4, and condenses the light in a line shape on the reflection surface of the polygon mirror 113 and the diffraction grating 114, thereby affecting the influence of the surface tilt. The wavelength swept light source 130 that can be suppressed was studied. However, in this case, on the diffraction grating 114, the light is collected only at the center of the line, and at the end of the line, it is deviated from the light collecting position. For this reason, the focus of the return light on the end surface 111b of the laser medium 111 varies in a direction perpendicular to the end surface 111b, so-called defocusing occurs, and there is a problem that a good oscillation state cannot be obtained.

本発明はこの問題を鑑みなされたもので、光増幅手段と、該光増幅手段から射出された光を偏向する回転型の光偏向手段と、該光偏向手段により偏向された光を分散させる光分散手段とを備えた波長掃引光源において、面倒れの影響を抑制でき、かつ光増幅手段の端面における焦点ボケをも抑制可能で、良好な発振状態を得ることができる波長掃引光源および該波長掃引光源を用いた光断層画像化装置を実現することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of this problem. An optical amplifying unit, a rotary optical deflecting unit that deflects light emitted from the optical amplifying unit, and a light that disperses light deflected by the optical deflecting unit. A wavelength-swept light source including a dispersion unit and a wavelength-swept light source capable of suppressing the influence of surface tilt and also capable of suppressing defocusing on the end surface of the optical amplification unit and obtaining a good oscillation state, and the wavelength-swept light source An object of the present invention is to realize an optical tomographic imaging apparatus using a light source.

本発明の波長掃引光源は、光増幅手段と、
該光増幅手段から射出された光を偏向する回転型の光偏向手段と、
該光偏向手段により偏向された光を波長分散させる光分散手段と、
前記光偏向手段により偏向された光を略平行光として前記光分散手段へ入射させる第1の光学手段と、
前記光分散手段で分散された光の内、所定の方向へ分散した光を前記光分散手段へ反射する第2の光学手段とを有する波長掃引光源において、
前記第2の光学手段が、前記所定の方向へ分散した光を共役的に反射する共役反射光学系であることを特徴とするものである。
The wavelength swept light source of the present invention comprises an optical amplification means,
A rotating light deflecting means for deflecting the light emitted from the light amplifying means;
Light dispersion means for wavelength-dispersing the light deflected by the light deflection means;
First optical means for causing the light deflected by the light deflecting means to enter the light dispersing means as substantially parallel light;
A wavelength swept light source having second optical means for reflecting light dispersed in a predetermined direction out of the light dispersed by the light dispersing means to the light dispersing means,
The second optical means is a conjugate reflection optical system that conjugately reflects light dispersed in the predetermined direction.

なお、「共役的に反射する」とは、光の入射方向と平行な方向へ反射することを意味している。   Note that “conjugate reflection” means reflection in a direction parallel to the incident direction of light.

なお、ここで「光分散手段」とは、例えば回折格子、プリズムまたはグリズム等である。また、「光偏向手段」とは、例えばポリゴンミラー、回転ミラー、ガルバノまたはリゾナントスキャナー等である。   Here, the “light dispersion means” is, for example, a diffraction grating, a prism, or a grism. The “light deflecting means” is, for example, a polygon mirror, a rotating mirror, a galvano or a resonant scanner, or the like.

また、前記光分散手段が、前記光偏向手段により偏向された光を前記光偏向手段の回転軸に対して垂直な平面内において波長分散するものであれば、
前記共役反射光学系は、前記所定の方向へ分散した光が、前記光偏向手段の回転軸と垂直な平面に対して角度を有する光であっても、共役的に反射するものであってもよい。
In addition, if the light dispersion unit scatters the light deflected by the light deflection unit in a plane perpendicular to the rotation axis of the light deflection unit,
The conjugate reflection optical system may be configured such that light dispersed in the predetermined direction is light that has an angle with respect to a plane perpendicular to the rotation axis of the light deflecting means or is conjugately reflected. Good.

前記共役反射光学系は、集光レンズと、該集光レンズの焦点位置に配置され、前記光偏向手段の回転軸方向へ延びた線状ミラーとを有するものであってもよい。あるいは、シリンドリカルレンズと、該シリンドリカルレンズの焦点位置に配置されたミラーとを有するものであってもよい。また、レトロリフレクタを有するものであってもよい。   The conjugate reflection optical system may include a condensing lens and a linear mirror that is disposed at a focal position of the condensing lens and extends in the rotation axis direction of the light deflecting unit. Or you may have a cylindrical lens and the mirror arrange | positioned in the focal position of this cylindrical lens. Moreover, you may have a retro reflector.

前記光分散手段が複数の光分散部を有するものであれば、各光分散部に対応して前記共役反射光学系が設けられていることが好ましい。   If the light dispersion means has a plurality of light dispersion portions, it is preferable that the conjugate reflection optical system is provided corresponding to each light dispersion portion.

本波長掃引光源は、前記光偏向手段と前記光分散手段との間に配置された、前記光増幅手段から射出された光を前記光偏向手段の回転中心の方向へ偏向し、かつ前記光偏向手段により偏向され、前記光分散手段により分散され、前記共役反射光学系により反射された光を前記光増幅手段へ帰還させる光偏向・帰還手段を備えるものであってもよい。   The wavelength swept light source is disposed between the light deflecting unit and the light dispersing unit, deflects the light emitted from the light amplifying unit, and deflects the light in the direction of the rotation center of the light deflecting unit. There may be provided a light deflection / feedback means for returning the light deflected by the means, dispersed by the light dispersion means, and reflected by the conjugate reflection optical system to the light amplification means.

また、前記光偏向・帰還手段は、偏光ビームスプリッタおよび1/4波長位相シフタから構成されているものであってもよい。   The optical deflection / feedback means may be composed of a polarization beam splitter and a quarter wavelength phase shifter.

本発明の光断層画像化装置は、波長を一定の周期で掃引させながらコヒーレント光を射出する光源と、
該光源から射出された前記コヒーレント光を測定光と参照光とに分割する光分割手段と、
前記測定光が測定対象に照射されたときの該測定対象からの反射光と前記参照光とを合波する合波手段と、
該合波手段により合波された前記反射光と前記参照光との干渉光の周波数および強度に基づいて、前記測定対象の各深さ位置における前記反射光の強度を検出する干渉光検出手段と、
該干渉光検出手段により検出された前記各深さ位置における前記干渉光の強度を用いて前記測定対象の断層画像を取得する画像取得手段とを有する光断層画像化装置において、
前記光源が、光増幅手段と、
該光増幅手段から射出された光を偏向する回転型の光偏向手段と、
該光偏向手段の回転軸に対して垂直な面内において光を分散させるように配置された光分散手段と、
前記光偏向手段により偏向された光を略平行光として前記光分散手段へ入射させる第1の光学手段と、
前記光分散手段で分散された光の内、所定の方向へ分散した光を前記光分散手段へ反射する第2の光学手段とを有する波長掃引光源であって、
前記第2の光学手段が、所定の方向へ分散した光を共役的に反射する共役反射光学系であることを特徴とするものである。
An optical tomographic imaging apparatus of the present invention includes a light source that emits coherent light while sweeping a wavelength at a constant period;
Light splitting means for splitting the coherent light emitted from the light source into measurement light and reference light;
A multiplexing means for multiplexing the reflected light from the measurement object and the reference light when the measurement light is irradiated to the measurement object;
Interference light detection means for detecting the intensity of the reflected light at each depth position of the measurement object based on the frequency and intensity of the interference light between the reflected light and the reference light combined by the multiplexing means; ,
In an optical tomographic imaging apparatus comprising: an image acquisition unit configured to acquire a tomographic image of the measurement target using the intensity of the interference light at each depth position detected by the interference light detection unit;
The light source comprises light amplifying means;
A rotating light deflecting means for deflecting the light emitted from the light amplifying means;
A light dispersion means arranged to disperse light in a plane perpendicular to the rotation axis of the light deflection means;
First optical means for causing the light deflected by the light deflecting means to enter the light dispersing means as substantially parallel light;
A wavelength swept light source having second optical means for reflecting light dispersed in a predetermined direction out of the light dispersed by the light dispersion means, to the light dispersion means,
The second optical means is a conjugate reflection optical system that conjugately reflects light dispersed in a predetermined direction.

本発明の波長掃引光源は、光分散手段で分散された光の内、所定の方向へ分散した光を光分散手段へ反射する第2の光学手段を有し、この第2の光学手段が、所定の方向へ分散した光が、前記光偏向手段に面倒れが生じていない場合に前記光が前記光分散手段により波長分散される平面に対して角度を有する光であっても、共役的に反射する、すなわち光の入射方向に対して平行に反射するため、光は入射光路とほぼ同じ光路を戻ることになり、戻り光の多くが光増幅手段に帰還するので、安定した良好な発振状態を得ることができる。また、光増幅手段の端面における焦点ボケが生じることもない。   The wavelength swept light source of the present invention has second optical means for reflecting light dispersed in a predetermined direction out of the light dispersed by the light dispersing means to the light dispersing means, and the second optical means comprises: Even if the light dispersed in a predetermined direction is light having an angle with respect to a plane in which the light is wavelength-dispersed by the light dispersing means when the light deflecting means is not tilted, it is conjugate. Reflected, that is, reflected in parallel to the incident direction of light, the light returns almost the same optical path as the incident optical path, and most of the return light returns to the optical amplifying means, so a stable and good oscillation state Can be obtained. Further, there will be no out-of-focus on the end face of the optical amplification means.

また、本発明の光断層画像化装置は、光分散手段で分散された光の内、所定の方向へ分散した光を光分散手段へ反射する第2の光学手段を有し、この第2の光学手段が、所定の方向へ分散した光が、前記光偏向手段に面倒れが生じていない場合に前記光が前記光分散手段により波長分散される平面に対して角度を有する光であっても、共役的に反射する、すなわち光の入射方向に対して平行に反射するため安定な発振状態を得ることができる波長掃引光源を有しているため、出力が安定しているコヒーレンス光を用いて、良好な光断層画像を取得できる。   The optical tomographic imaging apparatus of the present invention has a second optical means for reflecting the light dispersed in a predetermined direction out of the light dispersed by the light dispersion means to the light dispersion means. Even if the optical means disperses light in a predetermined direction, the light deflecting means is light having an angle with respect to a plane on which wavelength dispersion is performed by the light dispersing means when the light deflecting means is not tilted. Because it has a wavelength swept light source that can conjugately reflect, that is, reflect in parallel to the incident direction of light, and can obtain a stable oscillation state, it uses coherence light with a stable output. A good optical tomographic image can be acquired.

以下、本発明の具体的な第1の実施形態である光断層画像化装置について図5を参照して説明する。図5は本発明の第1の実施の形態である光断層画像化装置の概略構成図である。   The optical tomographic imaging apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 5 is a schematic configuration diagram of the optical tomographic imaging apparatus according to the first embodiment of the present invention.

図5に示す光断層画像化装置200は、例えば体腔内の生体組織や細胞等の測定対象の断層画像を前述のSS−OCT計測により取得するものであって、発振波長を一定の周期で掃引させながらレーザ光Laを射出する光源ユニット210と、光源ユニット210から射出されたレーザ光Laを測定光L1と参照光L2とに分割する光分割手段3と、光分割手段3により分割された参照光L2の光路長を調整する光路長調整手段220と、光分割手段3により分割された測定光L1を測定対象Sbに照射する光プローブ230と、こうして測定対象Sbに測定光L1が照射されたとき該測定対象Sbで反射した反射光L3と参照光L2とを合波する合波手段4と、合波された反射光L3と参照光L2との間の干渉光L4を検出する干渉光検出手段240と、該干渉光検出手段240の検出結果に基づいて、測定対象の光断層画像を生成する画像取得部241と、この光断層画像を表示する表示装置242とを有している。   An optical tomographic imaging apparatus 200 shown in FIG. 5 acquires, for example, a tomographic image of a measurement target such as a living tissue or a cell in a body cavity by the above-described SS-OCT measurement, and sweeps an oscillation wavelength at a constant cycle. The light source unit 210 that emits the laser light La, the light dividing means 3 that divides the laser light La emitted from the light source unit 210 into the measuring light L1 and the reference light L2, and the reference divided by the light dividing means 3 The optical path length adjusting means 220 for adjusting the optical path length of the light L2, the optical probe 230 for irradiating the measuring object Sb with the measuring light L1 divided by the light dividing means 3, and thus the measuring light S1 is applied to the measuring object Sb. Sometimes, the combining means 4 for combining the reflected light L3 reflected by the measurement object Sb and the reference light L2, and the interference light detection for detecting the interference light L4 between the combined reflected light L3 and the reference light L2. Means 240 and interference light detection Based on the detection result of the step 240 has an image acquisition unit 241 for generating an optical tomographic image of the measurement object, and a display device 242 for displaying the tomographic image.

光源ユニット210は、発振波長λcが950nm〜1150nmの範囲になるように、発振波長を一定の周期で掃引させながらレーザ光Laを射出する波長掃引レーザ装置であり、光増幅手段としては、半導体レーザに使用される半導体レーザ媒質が使用されている。なお、光源ユニット210についての詳細は後述する。   The light source unit 210 is a wavelength sweep laser device that emits laser light La while sweeping the oscillation wavelength at a constant period so that the oscillation wavelength λc is in the range of 950 nm to 1150 nm. The semiconductor laser medium used in the above is used. Details of the light source unit 210 will be described later.

光分割手段3は、例えば2×2の光ファイバカプラから構成されており、光源ユニット210から光ファイバFB1を介して導波した光Laを測定光L1と参照光L2とに分割する。この光分割手段3は、2本の光ファイバFB2、FB3にそれぞれ光学的に接続されており、測定光L1は光ファイバFB2を導波し、参照光L2は光ファイバFB3を導波する。なお、本例におけるこの光分割手段3は、合波手段4としても機能するものである。   The light splitting means 3 is composed of, for example, a 2 × 2 optical fiber coupler, and splits the light La guided from the light source unit 210 through the optical fiber FB1 into the measurement light L1 and the reference light L2. The light splitting means 3 is optically connected to the two optical fibers FB2 and FB3, respectively. The measurement light L1 is guided through the optical fiber FB2, and the reference light L2 is guided through the optical fiber FB3. The light splitting means 3 in this example also functions as the multiplexing means 4.

光ファイバFB2には、光プローブ230が光学的に接続されており、測定光L1は光ファイバFB2から光プローブ230へ導波する。光プローブ230は、例えば鉗子口から鉗子チャンネルを介して体腔内に挿入されるものであって、光学コネクタ31により光ファイバFB2に対して着脱可能に取り付けられている。   An optical probe 230 is optically connected to the optical fiber FB2, and the measurement light L1 is guided from the optical fiber FB2 to the optical probe 230. The optical probe 230 is inserted into a body cavity from a forceps opening through a forceps channel, for example, and is detachably attached to the optical fiber FB2 by an optical connector 31.

光プローブ230は、先端が閉じられた円筒状のプローブ外筒15と、このプローブ外筒15の内部空間に、該外筒15の軸方向に延びる状態に配設された1本の光ファイバ13と、光ファイバ13の先端から出射した光Lをプローブ外筒15の周方向に偏向させるプリズムミラー17と、光ファイバ13の先端から出射した光L1を、プローブ外筒15の周外方に配された被走査体としての測定対象Sbにおいて収束するように集光するロッドレンズ18と、光ファイバ13を該光ファイバ13の光軸を回転軸として回転させるモータ14とを備えている。なお、ロッドレンズ18およびプリズムミラー17は、光ファイバ13とともに回転するように配設されている。   The optical probe 230 includes a cylindrical probe outer cylinder 15 having a closed tip, and one optical fiber 13 disposed in an inner space of the probe outer cylinder 15 so as to extend in the axial direction of the outer cylinder 15. And a prism mirror 17 that deflects the light L emitted from the tip of the optical fiber 13 in the circumferential direction of the probe outer cylinder 15 and the light L1 emitted from the tip of the optical fiber 13 are arranged on the outer circumference of the probe outer cylinder 15. A rod lens 18 that condenses light to converge on the measurement target Sb as a scanned body, and a motor 14 that rotates the optical fiber 13 about the optical axis of the optical fiber 13 as a rotation axis. The rod lens 18 and the prism mirror 17 are disposed so as to rotate together with the optical fiber 13.

一方、光ファイバFB3の参照光L2の射出側には光路長調整手段220が配置されている。光路長調整手段220は、断層画像の取得を開始する位置を調整するために、参照光L2の光路長を変更するものであって、光ファイバFB3から射出された参照光L2を反射させる反射ミラー22と、反射ミラー22と光ファイバFB3との間に配置された第1光学レンズ21aと、第1光学レンズ21aと反射ミラー22との間に配置された第2光学レンズ21bとを有している。   On the other hand, optical path length adjusting means 220 is arranged on the side of the optical fiber FB3 from which the reference light L2 is emitted. The optical path length adjusting unit 220 changes the optical path length of the reference light L2 in order to adjust the position where the tomographic image acquisition is started, and reflects the reference light L2 emitted from the optical fiber FB3. 22, a first optical lens 21 a disposed between the reflection mirror 22 and the optical fiber FB 3, and a second optical lens 21 b disposed between the first optical lens 21 a and the reflection mirror 22. Yes.

第1光学レンズ21aは、光ファイバFB3のコアから射出された参照光L2を平行光にするとともに、反射ミラー22により反射された参照光L2を光ファイバFB3のコアに集光する機能を有している。また、第2光学レンズ21bは、第1光学レンズ21aにより平行光にされた参照光L2を反射ミラー22上に集光するとともに、反射ミラー22により反射された参照光L2を平行光にする機能を有している。つまり、第1光学レンズ21aと第2光学レンズ21bとにより共焦点光学系が形成されている。   The first optical lens 21a has a function of converting the reference light L2 emitted from the core of the optical fiber FB3 into parallel light and condensing the reference light L2 reflected by the reflection mirror 22 onto the core of the optical fiber FB3. ing. The second optical lens 21b condenses the reference light L2 converted into parallel light by the first optical lens 21a on the reflection mirror 22, and also converts the reference light L2 reflected by the reflection mirror 22 into parallel light. have. That is, the first optical lens 21a and the second optical lens 21b form a confocal optical system.

したがって、光ファイバFB3から射出した参照光L2は、第1光学レンズ21aにより平行光になり、第2光学レンズ21bにより反射ミラー22上に集光される。その後、反射ミラー22により反射された参照光L2は、第2光学レンズ21bにより平行光になり、第1光学レンズ21aにより光ファイバFB3のコアに集光される。   Accordingly, the reference light L2 emitted from the optical fiber FB3 is converted into parallel light by the first optical lens 21a and is condensed on the reflection mirror 22 by the second optical lens 21b. Thereafter, the reference light L2 reflected by the reflecting mirror 22 becomes parallel light by the second optical lens 21b, and is condensed on the core of the optical fiber FB3 by the first optical lens 21a.

さらに光路長調整手段220は、第2光学レンズ21bと反射ミラー22とを固定した基台23と、該基台23を第1光学レンズ21aの光軸方向に移動させるミラー移動手段24とを有している。そして基台23が矢印A方向に移動することにより、参照光L2の光路長が変えられるようになっている。   Further, the optical path length adjusting means 220 has a base 23 on which the second optical lens 21b and the reflecting mirror 22 are fixed, and a mirror moving means 24 for moving the base 23 in the optical axis direction of the first optical lens 21a. is doing. When the base 23 moves in the direction of arrow A, the optical path length of the reference light L2 can be changed.

また合波手段4は、前述の通り2×2の光ファイバカプラからなり、光路長調整手段220により光路長が変更された参照光L2と、測定対象Sbからの反射光L3とを合波し、光ファイバFB4を介して干渉光検出手段240側に射出するように構成されている。   The multiplexing means 4 is composed of a 2 × 2 optical fiber coupler as described above, and combines the reference light L2 whose optical path length has been changed by the optical path length adjusting means 220 and the reflected light L3 from the measuring object Sb. The light is emitted to the interference light detection means 240 side through the optical fiber FB4.

干渉光検出手段240は、合波手段4により合波された反射光L3と参照光L2との干渉光L4を検出する。なお本例の装置においては、干渉光L4を光ファイバカプラ3で二分した光を光検出器40aと40bに導き、演算手段41においてバランス検波を行う機構を有している。   The interference light detection unit 240 detects the interference light L4 between the reflected light L3 combined by the combining unit 4 and the reference light L2. Note that the apparatus of this example has a mechanism in which light obtained by dividing the interference light L4 into two by the optical fiber coupler 3 is guided to the photodetectors 40a and 40b, and the calculation means 41 performs balance detection.

画像取得手段241は、干渉光検出手段240により検出された干渉光L4をフーリエ変換することにより、測定対象Sbの各深さ位置における反射光L3の強度を検出し、測定対象Sbの断層画像を取得する。この断像画像は表示装置242に表示される。   The image acquisition unit 241 detects the intensity of the reflected light L3 at each depth position of the measurement target Sb by performing Fourier transform on the interference light L4 detected by the interference light detection unit 240, and obtains a tomographic image of the measurement target Sb. get. This broken image is displayed on the display device 242.

以下、上記構成を有する光断層画像化装置200の作用について説明する。断層画像を取得する際には、まず基台23を矢印A方向に移動させることにより、測定可能領域内に測定対象Sbが位置するように光路長の調整が行われる。その後、光源ユニット210から光Laが射出され、この光Laは光分割手段3により測定光L1と参照光L2とに分割される。測定光L1は光プローブ230から体腔内に向けて射出され、測定対象Sbに照射される。このとき、前述したように作動する該光プローブ230により、そこから出射した測定光L1が測定対象Sbを1次元に走査する。そして、測定対象Sbからの反射光L3が反射ミラー22において反射した参照光L2と合波され、反射光L3と参照光L2との干渉光L4が干渉光検出手段240によって検出される。   The operation of the optical tomographic imaging apparatus 200 having the above configuration will be described below. When acquiring a tomographic image, the optical path length is adjusted so that the measurement target Sb is positioned within the measurable region by first moving the base 23 in the direction of arrow A. Thereafter, light La is emitted from the light source unit 210, and this light La is split by the light splitting means 3 into the measurement light L1 and the reference light L2. The measurement light L1 is emitted from the optical probe 230 toward the body cavity and irradiated on the measurement target Sb. At this time, the measurement light L1 emitted from the optical probe 230 operating as described above scans the measurement target Sb in one dimension. Then, the reflected light L3 from the measuring object Sb is combined with the reference light L2 reflected by the reflecting mirror 22, and the interference light L4 between the reflected light L3 and the reference light L2 is detected by the interference light detection means 240.

ここで、干渉光検出手段240および画像取得手段241における干渉光L4の検出および画像の生成について簡単に説明する。なお、この点の詳細については「武田 光夫、「光周波数走査スペクトル干渉顕微鏡」、光技術コンタクト、2003、Vol.41、No.7、p426−p432」に詳しい記載がなされている。   Here, the detection of the interference light L4 and the generation of the image in the interference light detection means 240 and the image acquisition means 241 will be briefly described. Details of this point are described in “Mitsuo Takeda,“ Optical Frequency Scanning Spectrum Interference Microscope ”, Optical Technology Contact, 2003, Vol. 41, No. 7, p426-p432”.

測定光L1が測定対象Sbに照射されたとき、測定対象Sbの各深さからの反射光L3と参照光L2とがいろいろな光路長差をもって干渉しあう際の各光路長差lに対する干渉縞の光強度をS(l)とすると、干渉光検出手段240において検出される光強度I(k)は、
I(k)=∫ S(l)[1+cos(kl)]dl
で表される。ここで、kは波数、lは光路長差である。上式は波数k=ω/cを変数とする光周波数領域のインターフェログラムとして与えられていると考えることができる。このため、画像取得手段241において、干渉光検出手段240が検出したスペクトル干渉縞をフーリエ変換し、干渉光L4の光強度S(l)を決定することにより、測定対象Sbの測定開始位置からの距離情報と反射強度情報とを取得し、断層画像を生成することができる。この断層画像は表示装置242に表示される。
Interference fringes with respect to each optical path length difference l when the reflected light L3 and the reference light L2 from each depth of the measurement object Sb interfere with each other with various optical path length differences when the measurement object Lb is irradiated with the measurement light S1. S (l) is the light intensity I (k) detected by the interference light detection means 240,
I (k) = ∫ 0 S (l) [1 + cos (kl)] dl
It is represented by Here, k is the wave number, and l is the optical path length difference. It can be considered that the above equation is given as an interferogram in the optical frequency domain with the wave number k = ω / c as a variable. For this reason, the image acquisition unit 241 performs Fourier transform on the spectral interference fringes detected by the interference light detection unit 240, and determines the light intensity S (l) of the interference light L4, thereby measuring the measurement target Sb from the measurement start position. Distance information and reflection intensity information can be acquired and a tomographic image can be generated. This tomographic image is displayed on the display device 242.

以下光源ユニット210について、その詳細を説明する。この光源ユニット210は、図6に示すように、半導体レーザ媒質211 と、コリメートレンズ212 と、ポリゴンミラー213 と、回折格子214と、偏光ビームスプリッタ215と、1/4波長板216と、リレーレンズ217aおよび217bと、集光レンズ218および該集光レンズ218の焦点位置に配置され、ポリゴンミラー213の回転軸方向へ延びた線状ミラー219からなる共役反射光学系221とを備えている。なお、線状ミラー219は、不図示のホルダーにより保持されている。このホルダーには無反射コーティングが施されていることが好ましい。また、1/4波長板216の代わりに、1/4波長だけ偏光が変化するファラデーローテータを用いることもできる。   Details of the light source unit 210 will be described below. As shown in FIG. 6, the light source unit 210 includes a semiconductor laser medium 211, a collimating lens 212, a polygon mirror 213, a diffraction grating 214, a polarization beam splitter 215, a quarter wavelength plate 216, a relay lens. 217a and 217b, and a condensing reflection optical system 221 including a condensing lens 218 and a linear mirror 219 which is disposed at the focal position of the condensing lens 218 and extends in the rotation axis direction of the polygon mirror 213. The linear mirror 219 is held by a holder (not shown). This holder is preferably provided with an anti-reflective coating. Further, instead of the quarter wavelength plate 216, a Faraday rotator whose polarization changes by a quarter wavelength can be used.

また、半導体レーザ媒質211は、直線偏光された光を射出するものであり、半導体レーザ媒質211から射出された光が、偏光ビームスプリッタ215へs偏光として入射するように配置されている。   The semiconductor laser medium 211 emits linearly polarized light, and is arranged so that the light emitted from the semiconductor laser medium 211 enters the polarization beam splitter 215 as s-polarized light.

偏光ビームスプリッタ215および1/4波長板216は、ポリゴンミラー213と回折格子214との間に配置されている。また、偏光ビームスプリッタ215は、p偏光は透過し、s偏光は直角に反射するものである。半導体レーザ媒質211から射出され、コリメートレンズ212により平行光に変換された光はポリゴンミラー213の回転軸と平行な角度で偏光ビームスプリッタ215へ入射し、該偏光ビームスプリッタ215で直角に反射されたs偏光はポリゴンミラー213に対し、回転中心方向へ入射するように、半導体レーザ媒質211、コリメートレンズ212、偏光ビームスプリッタ215およびポリゴンミラー213は配置されている。   The polarization beam splitter 215 and the quarter wavelength plate 216 are disposed between the polygon mirror 213 and the diffraction grating 214. The polarization beam splitter 215 transmits p-polarized light and reflects s-polarized light at a right angle. The light emitted from the semiconductor laser medium 211 and converted into parallel light by the collimator lens 212 is incident on the polarization beam splitter 215 at an angle parallel to the rotation axis of the polygon mirror 213 and is reflected by the polarization beam splitter 215 at a right angle. The semiconductor laser medium 211, the collimator lens 212, the polarization beam splitter 215, and the polygon mirror 213 are arranged so that the s-polarized light is incident on the polygon mirror 213 in the direction of the rotation center.

まず、半導体レーザ媒質211から射出した光は、コリメートレンズ212により平行光に変換され、偏光ビームスプリッタ215の面215aへ入射する。偏光ビームスプリッタ215では、入射した光の内、p偏光は透過され、s偏光は直角に反射されて、面215bから射出される。このs偏光は、1/4波長板216を透過して円偏光となる。この円偏光は、ポリゴンミラー213へ対して、回転中心方向へ入射する。ポリゴンミラー213において反射された光は、再度1/4波長板216を透過してp偏光となる。このp偏光は偏光ビームスプリッタ215を透過して、リレーレンズ217aおよび217bによりリレーされ、回折格子214に入射する。   First, light emitted from the semiconductor laser medium 211 is converted into parallel light by the collimator lens 212 and is incident on the surface 215 a of the polarization beam splitter 215. In the polarization beam splitter 215, p-polarized light is transmitted among the incident light, and s-polarized light is reflected at a right angle and is emitted from the surface 215b. This s-polarized light passes through the quarter-wave plate 216 and becomes circularly polarized light. This circularly polarized light is incident on the polygon mirror 213 toward the center of rotation. The light reflected by the polygon mirror 213 passes through the quarter wavelength plate 216 again and becomes p-polarized light. The p-polarized light passes through the polarization beam splitter 215, is relayed by the relay lenses 217a and 217b, and enters the diffraction grating 214.

回折格子214により分散されたp偏光のうち、集光レンズ218により集光され、線状ミラー219により反射された光(以下戻り光と記載)は、再度回折格子214に入射する。なお共役反射光学系221における作用の詳細は後述する。回折格子214により偏光ビームスプリッタ215の方へ分散された光は、偏光ビームスプリッタ215を透過して、さらに1/4波長板216を透過して円偏光となる。この円偏光は、ポリゴンミラー213において反射され、再度1/4波長板216を透過してs偏光となる。このs偏光は、偏光ビームスプリッタ215の面215bへ入射し、直角に反射されて、面215aから射出され、半導体レーザ媒質211 へ帰還する。半導体レーザ媒質211の射出端面211aおよび回折格子214により、共振器が構成され、半導体レーザ媒質211の射出端面211aから、レーザ光Laが射出される。なお、この際、レーザ光Laの波長は、戻り光の波長である。   Of the p-polarized light dispersed by the diffraction grating 214, the light condensed by the condenser lens 218 and reflected by the linear mirror 219 (hereinafter referred to as return light) is incident on the diffraction grating 214 again. Details of the operation of the conjugate reflection optical system 221 will be described later. The light dispersed toward the polarizing beam splitter 215 by the diffraction grating 214 is transmitted through the polarizing beam splitter 215 and further transmitted through the quarter-wave plate 216 to become circularly polarized light. This circularly polarized light is reflected by the polygon mirror 213, passes through the quarter wavelength plate 216 again, and becomes s-polarized light. The s-polarized light enters the surface 215b of the polarization beam splitter 215, is reflected at a right angle, is emitted from the surface 215a, and returns to the semiconductor laser medium 211. The emission end face 211a of the semiconductor laser medium 211 and the diffraction grating 214 constitute a resonator, and the laser light La is emitted from the emission end face 211a of the semiconductor laser medium 211. At this time, the wavelength of the laser beam La is the wavelength of the return light.

ここで、ポリゴンミラー213は矢印R1方向に回転するものであって、各反射面において、反射角度が連続的に変化するようになっている。これにより、回折格子214に入射する光の角度も、連続的に変化する。分散された光のうち入射方向へ戻る戻り光の波長をλ、回折格子の溝周期をG、回折格子214 への入射光の入射角度をθとすると、戻り光が1次回折光である場合には、これらの関係は次式で表すことができる。   Here, the polygon mirror 213 rotates in the direction of the arrow R1, and the reflection angle continuously changes on each reflection surface. As a result, the angle of light incident on the diffraction grating 214 also changes continuously. When the wavelength of the return light returning to the incident direction of the dispersed light is λ, the groove period of the diffraction grating is G, and the incident angle of the incident light to the diffraction grating 214 is θ, the return light is the first-order diffracted light. These relationships can be expressed by the following equation.

2Sinθ=λ/G (1)
したがって、回折格子214 への入射光の入射角度θが連続的に変化した場合には、発振波長も連続的に変化することとなる。また、ポリゴンミラー213が矢印R1方向に等速で回転したとき、戻り光の波長は、時間の経過に伴って一定の周期で変化することになる。このため、光源ユニット210からは、一定の周期で波長掃引されたレーザ光Laが、光ファイバFB1側に射出される。
2Sinθ = λ / G (1)
Therefore, when the incident angle θ of the incident light on the diffraction grating 214 changes continuously, the oscillation wavelength also changes continuously. Further, when the polygon mirror 213 rotates at a constant speed in the direction of the arrow R1, the wavelength of the return light changes at a constant period with the passage of time. Therefore, from the light source unit 210, the laser light La swept at a constant cycle is emitted to the optical fiber FB1 side.

以下、共役反射光学系221について詳細に説明する。共役反射光学系221の上面図を図7(A)に、側面図を図7(B)に示す。回折格子214により分散された光は、集光レンズ218により集光されるが、線状ミラー219において反射された分散光のみが、回折格子214に戻る。すなわち、図7(A)に示すように、回折格子214における波長の分散方向においては、線状ミラー219に集光する方向である集光レンズ218の光軸方向と平行な方向、すなわち図7(A)におけるX方向へ分散した光のみが、回折格子214へ戻る。これは、共役反射光学系221の代わりに通常のミラーが配置されている場合と同様であり、波長選択機能が働く。   Hereinafter, the conjugate reflection optical system 221 will be described in detail. FIG. 7A shows a top view of the conjugate reflective optical system 221 and FIG. 7B shows a side view thereof. The light dispersed by the diffraction grating 214 is collected by the condenser lens 218, but only the dispersed light reflected by the linear mirror 219 returns to the diffraction grating 214. That is, as shown in FIG. 7A, in the wavelength dispersion direction in the diffraction grating 214, the direction parallel to the optical axis direction of the condensing lens 218, which is the direction of focusing on the linear mirror 219, that is, FIG. Only the light dispersed in the X direction in (A) returns to the diffraction grating 214. This is the same as the case where a normal mirror is arranged instead of the conjugate reflection optical system 221, and the wavelength selection function works.

一方、ポリゴンミラー213に面倒れが生じた場合、回折格子214により分散される光の方向がポリゴンミラー213の回転軸方向、すなわち図7(B)におけるY方向へずれてしまうことがある。このように分散方向がずれた場合であっても、図7(B)に示すように、共役反射光学系221に入射した光は、入射方向と並行かつ逆方向へ反射される。このため、この光は、入射した光路とほぼ同じ光路を逆にたどって、半導体レーザ媒質211へ帰還する。このため、ポリゴンミラー213の面倒れの影響を受けにくくなる。なお、光が線状ミラー219に対して大きくY方向へ傾いて入射した場合には、入射した光路と反射光路は異なるものとなるが、通常の場合ポリゴンミラー213の面倒れの角度は微小な角度であり、共役反射光学系221において、光が反射された場合には、入射光路と反射光路の大部分は重なるため、反射した光の大部分は半導体レーザ媒質211へ帰還する。このため、ポリゴンミラー213の面倒れが生じた場合であっても、安定した発振が可能となる。  On the other hand, when the surface of the polygon mirror 213 is tilted, the direction of the light dispersed by the diffraction grating 214 may be shifted in the rotation axis direction of the polygon mirror 213, that is, the Y direction in FIG. Even when the dispersion direction is deviated in this way, as shown in FIG. 7B, the light incident on the conjugate reflection optical system 221 is reflected in the direction opposite to and parallel to the incident direction. For this reason, this light returns to the semiconductor laser medium 211 by following the almost same optical path as the incident optical path. For this reason, it becomes difficult to be affected by the surface tilt of the polygon mirror 213. When light is incident on the linear mirror 219 with a large inclination in the Y direction, the incident light path and the reflected light path are different, but the angle of surface tilt of the polygon mirror 213 is usually small. When the light is reflected by the conjugate reflective optical system 221, most of the incident light path and the reflected light path overlap, so that most of the reflected light returns to the semiconductor laser medium 211. For this reason, even when the surface of the polygon mirror 213 is tilted, stable oscillation is possible.

なお、光源210においては、半導体レーザ媒質211から射出された光は、偏光ビームスプリッタ215により偏向され、ポリゴンミラー213の回転中心に向かって入射する。このため例えば反射面が入射光の光軸に対して垂直である場合に、光の入射面積は光の断面積と略等しくなり、最小面積となる。即ち、常に光がポリゴンミラー213に斜めに入射するように構成されている従来の光源に比べ、ポリゴンミラー213の反射面における回転方向における入射幅小さくなり、その結果ポリゴンミラー213の回転角度を有効に使用することができ、広い波長帯域で波長を掃引することができる。   In the light source 210, the light emitted from the semiconductor laser medium 211 is deflected by the polarization beam splitter 215 and is incident toward the rotation center of the polygon mirror 213. For this reason, for example, when the reflecting surface is perpendicular to the optical axis of the incident light, the incident area of the light is substantially equal to the cross-sectional area of the light and becomes the minimum area. That is, the incident width in the rotation direction on the reflection surface of the polygon mirror 213 is smaller than the conventional light source configured so that the light always enters the polygon mirror 213 obliquely, and as a result, the rotation angle of the polygon mirror 213 is effective. The wavelength can be swept in a wide wavelength band.

なお、共役反射光学系としては、図8(A)に上面図を、図8(B)に側面図を示すように、Y方向(ポリゴンミラー213の回転軸方向)およびX方向と直交する方向に線状に光を集光するように配置されたシリンドリカルレンズ251および該シリンドリカルレンズ251の焦点位置に配置されたミラー252からなる共役反射光学系253を用いることもできる。この場合にも図8(A)に示すように、回折格子214の波長分散方向においてはミラー252のみが配置されている場合と同様に波長選択機能が働く。また図8(B)に示すように、回折格子214により分散される光の方向がポリゴンミラー213の回転軸方向、すなわち図8(B)におけるY方向へずれた場合であって、共役反射光学系253に入射した光は、入射方向と並行かつ逆方向へ反射される。   As the conjugate reflection optical system, as shown in a top view in FIG. 8A and a side view in FIG. 8B, a direction orthogonal to the Y direction (rotational axis direction of the polygon mirror 213) and the X direction. It is also possible to use a conjugate reflection optical system 253 including a cylindrical lens 251 disposed so as to collect light linearly and a mirror 252 disposed at the focal position of the cylindrical lens 251. Also in this case, as shown in FIG. 8A, the wavelength selection function works in the same way as when only the mirror 252 is arranged in the wavelength dispersion direction of the diffraction grating 214. Further, as shown in FIG. 8B, the direction of the light dispersed by the diffraction grating 214 is shifted in the rotational axis direction of the polygon mirror 213, that is, the Y direction in FIG. The light incident on the system 253 is reflected in the direction opposite to the incident direction.

さらに、共役反射光学系としては、図9(A)に上面図を図9(B)に側面図を示すように配置されたレトロリフレクタ254を用いることもできる。この場合にも図9(A)に示すように、回折格子214の波長分散方向においてはミラーが配置されている場合と同様に波長選択機能が働く。また図9(B)に示すように、回折格子214により分散される光の方向がポリゴンミラー213の回転軸方向、すなわち図9(B)におけるY方向へずれた場合であって、レトロリフレクタ254に入射した光は、入射方向と並行かつ逆方向へ反射される。   Further, as the conjugate reflection optical system, a retroreflector 254 arranged as shown in a top view in FIG. 9A and a side view in FIG. 9B can be used. Also in this case, as shown in FIG. 9A, the wavelength selection function works in the wavelength dispersion direction of the diffraction grating 214 as in the case where the mirror is arranged. As shown in FIG. 9B, the direction of the light dispersed by the diffraction grating 214 is shifted in the rotational axis direction of the polygon mirror 213, that is, the Y direction in FIG. The light incident on is reflected in the direction opposite to and parallel to the incident direction.

以上の説明で明らかなように、本発明の波長掃引光源は、回折格子214で分散された光を選択的に反射する共役反射光学系を有し、この共役反射光学系が、回折格子214で分散された光がポリゴンミラー213に面倒れが生じていない場合に光が回折格子214により波長分散される平面に対して角度を有する光であっても、共役的に反射する、すなわち光の入射方向に対して平行に反射するため、共役反射光学系で反射された光は、入射光路とほぼ同じ光路を戻ることになり、戻り光の多くが半導体レーザ媒質211へ帰還するので、安定な発振状態を得ることができる。また、半導体レーザ媒質211の端面における焦点ボケが生じることもない。   As is clear from the above description, the wavelength swept light source of the present invention has a conjugate reflection optical system that selectively reflects the light dispersed by the diffraction grating 214, and this conjugate reflection optical system is formed by the diffraction grating 214. When the dispersed light is not tilted on the polygon mirror 213, even if the light has an angle with respect to the plane wavelength-dispersed by the diffraction grating 214, it is conjugately reflected, that is, the light is incident. Because the light is reflected parallel to the direction, the light reflected by the conjugate reflection optical system returns almost the same optical path as the incident optical path, and most of the return light returns to the semiconductor laser medium 211, so stable oscillation. The state can be obtained. Further, the focal blur on the end face of the semiconductor laser medium 211 does not occur.

また、本発明の光断層画像化装置は、安定な発振状態を得ることができる波長掃引光源を有しているため、出力が安定しているコヒーレンス光を用いて、良好な光断層画像を取得できる。   In addition, since the optical tomographic imaging apparatus of the present invention has a wavelength swept light source capable of obtaining a stable oscillation state, a good optical tomographic image is obtained using coherence light whose output is stable. it can.

また、光源ユニット210の代わりに、図10に示すように、半導体レーザ媒質211 と、コリメートレンズ212 と、ポリゴンミラー213 と、リレーレンズ217aおよび217bと、回折格子214と、共役反射光学系221とを備えた光源ユニット260を用いることもできる。   Further, instead of the light source unit 210, as shown in FIG. 10, a semiconductor laser medium 211, a collimator lens 212, a polygon mirror 213, relay lenses 217a and 217b, a diffraction grating 214, a conjugate reflection optical system 221, It is also possible to use a light source unit 260 provided with

さらに、図11に示すように、ポリゴンミラー213の反射面1枚に対して、2回の波長掃引が可能となる光源ユニット270を用いることもできる。   Furthermore, as shown in FIG. 11, a light source unit 270 that can perform two wavelength sweeps on one reflecting surface of the polygon mirror 213 can be used.

光源ユニット270は、リレーレンズ271aおよび271bと、該リレーレンズ271aおよび271bの間に異なる角度で配置されたミラー272aおよび272bと、異なる角度で配置された2枚の同形状の回折格子273aおよび273bと、ポリゴンミラー213に面倒れが生じていない場合に各回折格子において光が波長分散される平面に対して角度を有する光であっても、共役的に反射する共役反射光学系274aおよび274bとを備えている。   The light source unit 270 includes relay lenses 271a and 271b, mirrors 272a and 272b disposed at different angles between the relay lenses 271a and 271b, and two identically shaped diffraction gratings 273a and 273b disposed at different angles. And conjugate reflection optical systems 274a and 274b that conjugately reflect even light having an angle with respect to a plane on which light is wavelength-dispersed in each diffraction grating when the polygon mirror 213 is not tilted. It has.

共役反射光学系274aは、集光レンズ275aと、該集光レンズ275aの焦点位置に配置され、ポリゴンミラー213に面倒れが生じていない場合に回折格子273aにおいて光が波長分散される平面に対して垂直な方向へ延びた線状ミラー276aとを備えている。また、同様に、共役反射光学系274bは、集光レンズ275bと、該集光レンズ275bの焦点位置に配置され、ポリゴンミラー213に面倒れが生じていない場合に回折格子273bにおいて光が波長分散される平面に対して垂直な方向へ延びた線状ミラー276bとを備えている
図11に示すように、ミラー272aおよびリレーレンズ271bは、ポリゴンミラー213の回転に伴って、リレーレンズ271aの図11における上半分を通る光が、回折格子273aへ入射するように、光の光路を変更するものである。またミラー272bおよびリレーレンズ271bは、リレーレンズ271aの図11における下半分を通る光が、回折格子273bへ入射するように、光の光路を変更するものである。なお、リレーレンズ271aおよび271bと、ミラー272aおよび272bと、回折格子273aおよび273bとは、リレーレンズ271aの上半分を通る光が回折格子273aへ入射する入射角度の範囲と、リレーレンズ271aの下半分を通る光が回折格子273bへ入射する入射角度の範囲とが等しくなるように、配置されている。
The conjugate reflection optical system 274a is disposed at the focal position of the condenser lens 275a and the condenser lens 275a, and with respect to a plane on which light is wavelength-dispersed in the diffraction grating 273a when the polygon mirror 213 is not tilted And a linear mirror 276a extending in a vertical direction. Similarly, the conjugate reflection optical system 274b is disposed at the focal point of the condenser lens 275b and the condenser lens 275b, and when the polygon mirror 213 is not tilted, light is wavelength-dispersed in the diffraction grating 273b. As shown in FIG. 11, the mirror 272a and the relay lens 271b are shown in the diagram of the relay lens 271a as the polygon mirror 213 rotates. The light path of the light is changed so that the light passing through the upper half in 11 enters the diffraction grating 273a. Further, the mirror 272b and the relay lens 271b change the optical path of the light so that the light passing through the lower half in FIG. 11 of the relay lens 271a enters the diffraction grating 273b. The relay lenses 271a and 271b, the mirrors 272a and 272b, and the diffraction gratings 273a and 273b are a range of incident angles where light passing through the upper half of the relay lens 271a is incident on the diffraction grating 273a and below the relay lens 271a. They are arranged so that the range of incident angles at which light passing through the half is incident on the diffraction grating 273b is equal.

光源ユニット270では、まず、図11に点線で示すように、半導体レーザ媒質211から射出した光は、コリメートレンズ212により平行光に変換され、偏光ビームスプリッタ215によりs偏光とp偏光へ分岐され、s偏光はポリゴンミラー213において反射され、リレーレンズ271aおよび271bによりリレーされ、かつミラー272aにより光路を変更されて、回折格子273aに入射する。回折格子273aにより分散された光のうち、共役反射光学系274aにより反射され、再度回折格子273aにより分散された光である戻り光は、入射の場合と逆の光路を通り、半導体レーザ媒質211 へ帰還する。光源ユニット210と同様に、半導体レーザ媒質211の射出端面211aおよびミラー276aにより、共振器が構成され、半導体レーザ媒質211の射出端面211aから、レーザ光Laが射出される。ポリゴンミラー213が回転すると、回折格子273aへ入射する光の入射角は連続的に変化し、戻り光の波長も連続的に変化し、レーザ光Laの波長が掃引される。   In the light source unit 270, first, as indicated by a dotted line in FIG. 11, the light emitted from the semiconductor laser medium 211 is converted into parallel light by the collimator lens 212, and branched into s-polarized light and p-polarized light by the polarization beam splitter 215, The s-polarized light is reflected by the polygon mirror 213, relayed by the relay lenses 271a and 271b, the optical path is changed by the mirror 272a, and enters the diffraction grating 273a. Of the light dispersed by the diffraction grating 273a, the return light that is reflected by the conjugate reflection optical system 274a and dispersed again by the diffraction grating 273a passes through the optical path opposite to that of the incident light to the semiconductor laser medium 211. Return. Similarly to the light source unit 210, the emission end face 211a of the semiconductor laser medium 211 and the mirror 276a constitute a resonator, and the laser light La is emitted from the emission end face 211a of the semiconductor laser medium 211. When the polygon mirror 213 rotates, the incident angle of light incident on the diffraction grating 273a changes continuously, the wavelength of the return light also changes continuously, and the wavelength of the laser light La is swept.

なお、ポリゴンミラー213が、さらに回転すると、半導体レーザ媒質211から射出した光は、リレーレンズ271aの図11における下半分を通り、回折格子273bへ入射する。上記と同様に、回折格子273bへ入射する光の入射角が連続的に変化し、戻り光の波長も連続的に変化し、レーザ光Laの波長が掃引される。   When the polygon mirror 213 further rotates, the light emitted from the semiconductor laser medium 211 passes through the lower half of the relay lens 271a in FIG. 11 and enters the diffraction grating 273b. Similarly to the above, the incident angle of the light incident on the diffraction grating 273b is continuously changed, the wavelength of the return light is also continuously changed, and the wavelength of the laser light La is swept.

このため、ポリゴンミラー213の反射面1枚に対して、2回の波長掃引が可能となり、従来使用されているポリゴンミラー213を使用して、高い繰り返し周期で波長を掃引することができる。   For this reason, the wavelength can be swept twice with respect to one reflecting surface of the polygon mirror 213, and the wavelength can be swept with a high repetition period by using the polygon mirror 213 conventionally used.

なお、光源ユニット260および270においても、共役反射光学系として、図8に示すシリンドリカルレンズおよび該シリンドリカルレンズの焦点位置に配置されたミラーからなる共役反射光学系や、図9に示すレトロリフレクタを用いることができる。   Also in the light source units 260 and 270, as the conjugate reflection optical system, the conjugate reflection optical system including the cylindrical lens shown in FIG. 8 and a mirror disposed at the focal position of the cylindrical lens, or the retro reflector shown in FIG. 9 is used. be able to.

なお、各実施の形態において、光増幅手段として半導体レーザ媒質211を用いたが、光増幅手段は光増幅機能を有するものであれば如何なるものであってもよく、例えば色素レーザを構成する色素や、ファイバレーザを構成するファイバなどであってもよい。   In each embodiment, the semiconductor laser medium 211 is used as the optical amplifying unit. However, the optical amplifying unit may be any unit as long as it has an optical amplifying function. Or a fiber constituting a fiber laser.

従来の波長掃引光源の該略図Schematic diagram of a conventional wavelength swept light source 従来の波長掃引光源の該略図Schematic diagram of a conventional wavelength swept light source 従来の波長掃引光源の該略図Schematic diagram of a conventional wavelength swept light source 従来の波長掃引光源の該略図Schematic diagram of a conventional wavelength swept light source 本発明の第1の実施形態である光断層画像化装置の概略構成図1 is a schematic configuration diagram of an optical tomographic imaging apparatus according to a first embodiment of the present invention. 光源ユニットの概略構成図Schematic configuration diagram of the light source unit 共役反射光学系の概略構成図Schematic configuration diagram of conjugate reflective optical system 他の共役反射光学系の概略構成図Schematic configuration diagram of another conjugate reflective optical system レトロリフレクタの概略構成図Schematic configuration diagram of retro reflector 他の光源ユニットの概略構成図Schematic configuration diagram of another light source unit 他の光源ユニットの概略構成図Schematic configuration diagram of another light source unit

符号の説明Explanation of symbols

3 光分割手段
4 合波手段
210,260,270 光源ユニット
211 半導体レーザ媒質
212 コリメートレンズ
213 ポリゴンミラー
214 回折格子
217a,217b リレーレンズ
218 集光レンズ
219 線状ミラー
220 光路長調整手段
221,253 共役反射光学系
230 光プローブ
240 干渉光検出手段
241 画像取得手段
242 表示装置
251 シリンドリカルミラー
252 ミラー
254 レトロリフレクタ
3 Light splitting means
4 multiplexing means
210,260,270 Light source unit
211 Semiconductor laser medium
212 Collimating lens
213 polygon mirror
214 diffraction grating
217a, 217b Relay lens
218 condenser lens
219 linear mirror
220 Optical path length adjustment means
221,253 Conjugate reflection optics
230 Optical probe
240 Interference light detection means
241 Image acquisition means
242 display device
251 Cylindrical mirror
252 mirror
254 Retro Reflector

Claims (9)

光増幅手段と、
該光増幅手段から射出された光を偏向する回転型の光偏向手段と、
該光偏向手段により偏向された光を波長分散させる光分散手段と、
前記光偏向手段により偏向された光を略平行光として前記光分散手段へ入射させる第1の光学手段と、
前記光分散手段で分散された光の内、所定の方向へ分散した光を前記光分散手段へ反射する第2の光学手段とを有する波長掃引光源において、
前記第2の光学手段が、前記所定の方向へ分散した光を共役的に反射する共役反射光学系であることを特徴とする波長掃引光源。
Optical amplification means;
A rotating light deflecting means for deflecting the light emitted from the light amplifying means;
Light dispersion means for wavelength-dispersing the light deflected by the light deflection means;
First optical means for causing the light deflected by the light deflecting means to enter the light dispersing means as substantially parallel light;
A wavelength swept light source having second optical means for reflecting light dispersed in a predetermined direction out of the light dispersed by the light dispersing means to the light dispersing means,
2. A wavelength-swept light source, wherein the second optical means is a conjugate reflection optical system that conjugately reflects light dispersed in the predetermined direction.
前記光分散手段が、前記光偏向手段により偏向された光を前記光偏向手段の回転軸に対して垂直な平面内において波長分散するものであり、
前記共役反射光学系が、前記所定の方向へ分散した光が、前記光偏向手段の回転軸と垂直な平面に対して角度を有する光であっても、共役的に反射するものである事を特徴とする請求項1記載の波長掃引光源。
The light dispersion means wavelength-disperses the light deflected by the light deflection means in a plane perpendicular to the rotation axis of the light deflection means;
The conjugate reflective optical system reflects light conjugately even if the light dispersed in the predetermined direction is light having an angle with respect to a plane perpendicular to the rotation axis of the light deflector. The wavelength-swept light source according to claim 1, wherein:
前記共役反射光学系が、集光レンズと、該集光レンズの焦点位置に配置された線状ミラーとを有することを特徴とする請求項1または2記載の波長掃引光源。   The wavelength swept light source according to claim 1, wherein the conjugate reflection optical system includes a condensing lens and a linear mirror disposed at a focal position of the condensing lens. 前記共役反射光学系が、シリンドリカルレンズと、該シリンドリカルレンズの焦点位置に配置されたミラーとを有することを特徴とする請求項1または2記載の波長掃引光源。   The wavelength swept light source according to claim 1 or 2, wherein the conjugate reflection optical system includes a cylindrical lens and a mirror disposed at a focal position of the cylindrical lens. 前記共役反射光学系が、レトロリフレクタを有することを特徴とする請求項1または2記載の波長掃引光源。   The wavelength swept light source according to claim 1, wherein the conjugate reflection optical system includes a retroreflector. 前記光分散手段が複数の光分散部を有するものであり、各光分散部に対応して前記共役反射光学系が設けられていることを特徴とする請求項1から5いずれか1項記載の波長掃引光源。   The said light dispersion means has a some light dispersion part, and the said conjugate reflective optical system is provided corresponding to each light dispersion part, The Claim 1 characterized by the above-mentioned. Wavelength swept light source. 前記光偏向手段と前記光分散手段との間に配置された、前記光増幅手段から射出された光を前記光偏向手段の回転中心の方向へ偏向し、かつ前記光偏向手段により偏向され、前記光分散手段により分散され、前記共役反射光学系により反射された光を前記光増幅手段へ帰還させる光偏向・帰還手段を備えることを特徴とする請求項1から6いずれか1項記の波長掃引光源。   The light emitted from the light amplifying means disposed between the light deflecting means and the light dispersing means is deflected in the direction of the rotation center of the light deflecting means, and is deflected by the light deflecting means, 7. The wavelength sweep according to claim 1, further comprising: an optical deflection / feedback unit that feeds back the light dispersed by the light dispersion unit and reflected by the conjugate reflection optical system to the optical amplification unit. light source. 前記光偏向・帰還手段が、偏光ビームスプリッタおよび1/4波長位相シフタから構成されているものであることを特徴とする請求項7記載の波長掃引光源。   8. The wavelength swept light source according to claim 7, wherein the light deflecting / feedback means comprises a polarizing beam splitter and a quarter wavelength phase shifter. 波長を一定の周期で掃引させながらコヒーレント光を射出する光源と、
該光源から射出された前記コヒーレント光を測定光と参照光とに分割する光分割手段と、
前記測定光が測定対象に照射されたときの該測定対象からの反射光と前記参照光とを合波する合波手段と、
該合波手段により合波された前記反射光と前記参照光との干渉光の周波数および強度に基づいて、前記測定対象の各深さ位置における前記反射光の強度を検出する干渉光検出手段と、
該干渉光検出手段により検出された前記各深さ位置における前記干渉光の強度を用いて前記測定対象の断層画像を取得する画像取得手段とを有する光断層画像化装置において、
前記光源が、光増幅手段と、
該光増幅手段から射出された光を偏向する回転型の光偏向手段と、
該光偏向手段により偏向された光を分散させる光分散手段と、
前記光偏向手段により偏向された光を略平行光として前記光分散手段へ入射させる第1の光学手段と、
前記光分散手段で分散された光の内、所定の方向へ分散した光を前記光分散手段へ反射する第2の光学手段とを有する波長掃引光源であって、
前記第2の光学手段が、所定の方向へ分散した光を共役的に反射する共役反射光学系であることを特徴とする光断層画像化装置。
A light source that emits coherent light while sweeping the wavelength at a constant period;
Light splitting means for splitting the coherent light emitted from the light source into measurement light and reference light;
A multiplexing means for multiplexing the reflected light from the measurement object and the reference light when the measurement light is irradiated to the measurement object;
Interference light detection means for detecting the intensity of the reflected light at each depth position of the measurement object based on the frequency and intensity of the interference light between the reflected light and the reference light combined by the multiplexing means; ,
In an optical tomographic imaging apparatus comprising: an image acquisition unit configured to acquire a tomographic image of the measurement target using the intensity of the interference light at each depth position detected by the interference light detection unit;
The light source comprises light amplifying means;
A rotating light deflecting means for deflecting the light emitted from the light amplifying means;
A light dispersion means for dispersing the light deflected by the light deflection means;
First optical means for causing the light deflected by the light deflecting means to enter the light dispersing means as substantially parallel light;
A wavelength swept light source having second optical means for reflecting light dispersed in a predetermined direction out of the light dispersed by the light dispersion means, to the light dispersion means,
An optical tomographic imaging apparatus characterized in that the second optical means is a conjugate reflection optical system that conjugately reflects light dispersed in a predetermined direction.
JP2006141570A 2006-05-22 2006-05-22 Wavelength sweep light source and optical tomographic imaging apparatus Abandoned JP2007309881A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006141570A JP2007309881A (en) 2006-05-22 2006-05-22 Wavelength sweep light source and optical tomographic imaging apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006141570A JP2007309881A (en) 2006-05-22 2006-05-22 Wavelength sweep light source and optical tomographic imaging apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007309881A true JP2007309881A (en) 2007-11-29

Family

ID=38842858

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006141570A Abandoned JP2007309881A (en) 2006-05-22 2006-05-22 Wavelength sweep light source and optical tomographic imaging apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007309881A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111538222A (en) * 2019-02-07 2020-08-14 株式会社岛津制作所 Light source device and holographic observation device
CN112352186A (en) * 2018-06-25 2021-02-09 川崎重工业株式会社 Light guide device and laser processing device

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57193085A (en) * 1981-05-22 1982-11-27 Takumi Tomijima Controller for oscillation wavelength and wavelength width of semiconductor laser
JPS5984487A (en) * 1982-09-30 1984-05-16 ハネウエル・インコ−ポレ−テツド Method of tuning rapidly laser and rapid tuning laser
JPH02176716A (en) * 1988-12-28 1990-07-09 Fuji Photo Film Co Ltd Laser beam scanning optical system
JPH06165784A (en) * 1992-11-30 1994-06-14 Olympus Optical Co Ltd Optical laminagraphic imaging device
JP2000164980A (en) * 1998-11-25 2000-06-16 Ando Electric Co Ltd External resonator type variable wavelength semiconductor laser light source
JP2004134704A (en) * 2002-10-15 2004-04-30 Aisin Seiki Co Ltd Short pulse optical amplifier
JP2004172230A (en) * 2002-11-18 2004-06-17 Communication Research Laboratory Laser device using two laser media
WO2005001401A2 (en) * 2003-06-06 2005-01-06 The General Hospital Corporation Process and apparatus for a wavelength tuning source
JP2006024876A (en) * 2004-06-07 2006-01-26 Sun Tec Kk Wavelength scanning fiber laser light source
JP2006080384A (en) * 2004-09-10 2006-03-23 Sun Tec Kk Wavelength scanning fiber laser light source
JP2006522341A (en) * 2003-03-31 2006-09-28 ザ・ジェネラル・ホスピタル・コーポレイション Speckle reduction in optically interfering tomography by combining light of different angles with varying path length
JP2007178169A (en) * 2005-12-27 2007-07-12 Fujifilm Corp Optical tomographic imaging system

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57193085A (en) * 1981-05-22 1982-11-27 Takumi Tomijima Controller for oscillation wavelength and wavelength width of semiconductor laser
JPS5984487A (en) * 1982-09-30 1984-05-16 ハネウエル・インコ−ポレ−テツド Method of tuning rapidly laser and rapid tuning laser
JPH02176716A (en) * 1988-12-28 1990-07-09 Fuji Photo Film Co Ltd Laser beam scanning optical system
JPH06165784A (en) * 1992-11-30 1994-06-14 Olympus Optical Co Ltd Optical laminagraphic imaging device
JP2000164980A (en) * 1998-11-25 2000-06-16 Ando Electric Co Ltd External resonator type variable wavelength semiconductor laser light source
JP2004134704A (en) * 2002-10-15 2004-04-30 Aisin Seiki Co Ltd Short pulse optical amplifier
JP2004172230A (en) * 2002-11-18 2004-06-17 Communication Research Laboratory Laser device using two laser media
JP2006522341A (en) * 2003-03-31 2006-09-28 ザ・ジェネラル・ホスピタル・コーポレイション Speckle reduction in optically interfering tomography by combining light of different angles with varying path length
WO2005001401A2 (en) * 2003-06-06 2005-01-06 The General Hospital Corporation Process and apparatus for a wavelength tuning source
JP2006024876A (en) * 2004-06-07 2006-01-26 Sun Tec Kk Wavelength scanning fiber laser light source
JP2006080384A (en) * 2004-09-10 2006-03-23 Sun Tec Kk Wavelength scanning fiber laser light source
JP2007178169A (en) * 2005-12-27 2007-07-12 Fujifilm Corp Optical tomographic imaging system

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112352186A (en) * 2018-06-25 2021-02-09 川崎重工业株式会社 Light guide device and laser processing device
CN112352186B (en) * 2018-06-25 2022-08-19 川崎重工业株式会社 Light guide device and laser processing device
CN111538222A (en) * 2019-02-07 2020-08-14 株式会社岛津制作所 Light source device and holographic observation device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7002407B2 (en) Wavelength tuning source device
US7633623B2 (en) Optical tomography system
US8570525B2 (en) Apparatus for optical frequency domain tomography with adjusting system
JP4999147B2 (en) Wavelength sweep light source and optical tomographic imaging apparatus
WO2005047813A1 (en) Method and apparatus for performing optical imaging using frequency-domain interferometry
JP2007242747A (en) Tunable laser device and optical tomographic imaging apparatus
JP2011007775A (en) Imaging apparatus and imaging method
JP2011212432A (en) Ophthalmologic photographing apparatus
JP2007117723A (en) Optical tomographic imaging system
US8786862B2 (en) Spectral optical coherence tomography
JP7339447B2 (en) Apparatus and method for line scanning microscopy
JP2013025252A (en) Light source device and imaging apparatus using the same
JP2007309881A (en) Wavelength sweep light source and optical tomographic imaging apparatus
JP4642653B2 (en) Optical tomographic imaging system
JP2007309880A (en) Wavelength sweep light source and optical tomographic imaging apparatus
JP2007309882A (en) Wavelength sweep light source and optical tomographic imaging apparatus
JP4804977B2 (en) Tunable laser device and optical tomographic imaging apparatus
JP2008047730A (en) Tunable light source and optical tomographic imaging apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090217

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101214

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110208

A762 Written abandonment of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762

Effective date: 20110401