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JP2007309770A - Oil-in-gas analyzer, transformer equipped with oil-in-gas analyzer, and oil-in-gas analysis method - Google Patents

Oil-in-gas analyzer, transformer equipped with oil-in-gas analyzer, and oil-in-gas analysis method Download PDF

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JP2007309770A
JP2007309770A JP2006138740A JP2006138740A JP2007309770A JP 2007309770 A JP2007309770 A JP 2007309770A JP 2006138740 A JP2006138740 A JP 2006138740A JP 2006138740 A JP2006138740 A JP 2006138740A JP 2007309770 A JP2007309770 A JP 2007309770A
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Japan
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gas
oil
concentration
sample
analyzer
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JP2006138740A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsuto Takahashi
克仁 高橋
Yasunori Hatta
恭典 八田
Hidenobu Koide
英延 小出
Kazumi Fujii
和美 藤井
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Hitachi Ltd
Japan AE Power Systems Corp
Original Assignee
Hitachi Ltd
Japan AE Power Systems Corp
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Publication date
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Abstract

【課題】本発明は、汎用の半導体センサを用いて再現性が高い各種ガスの濃度の検出を可能にした油中ガス分析装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の油中ガス分析装置は、内蔵されている油を機器から取り出すガス抽出器と、ガス抽出器に取り出した油に含まれる複数の成分ガスの濃度を検出する複数の半導体センサを有するガス検知部と、ガス抽出器に取り出した油から複数の成分ガスを採取し測定対象の試料ガスとしてガス検出部に供給する試料ガス供給系統と、半導体センサの検出値の基準となる基準ガスをガス検出部に供給する基準ガス供給系統と、この試料ガス供給系統と基準ガス供給系統とを切替てガス検知部に供給する切替え供給手段と、試料ガス及び基準ガスをガス検出部の複数の半導体センサによって夫々測定した各検出値をもとに油に溶存する複数の成分ガスの濃度を算出する演算装置を有する油中ガス分析装置を備えるように構成した。
【選択図】図1
An object of the present invention is to provide a gas-in-oil analyzer capable of detecting various gas concentrations with high reproducibility using a general-purpose semiconductor sensor.
A gas-in-oil analyzer according to the present invention includes a gas extractor for extracting a built-in oil from an apparatus, and a plurality of semiconductors for detecting concentrations of a plurality of component gases contained in the oil extracted by the gas extractor. A gas detection unit having a sensor, a sample gas supply system for collecting a plurality of component gases from oil taken out to a gas extractor and supplying the sample gas as a measurement target gas to the gas detection unit, and a reference for a detection value of a semiconductor sensor A reference gas supply system for supplying a reference gas to the gas detection unit, a switching supply means for switching the sample gas supply system and the reference gas supply system to supply the gas detection unit, and a sample gas and a reference gas for the gas detection unit. An in-oil gas analyzer having an arithmetic unit for calculating concentrations of a plurality of component gases dissolved in oil based on respective detection values respectively measured by a plurality of semiconductor sensors is provided.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、油が内蔵された変圧器等の機器の油中ガス分析装置、油中ガス分析装置を備えた変圧器、及び油が内蔵された変圧器等の機器の油中ガスの分析方法に関するものである。   The present invention relates to an oil-in-gas analyzer for a device such as a transformer with a built-in oil, a transformer provided with a gas-in-oil analyzer, and a method for analyzing a gas in oil of a device such as a transformer with a built-in oil. It is about.

油が封入、或いは内蔵された機器である変圧器の油に関する油中ガス分析装置の従来技術の一つとして、特開昭59−160745号公報には、ガス透過材を用いて絶縁油中のガスを分離し、分離したガスを数種類のガスに反応する半導体センサを複数個使用して検知し、ガス濃度と反応特性との関係を表した複数の演算式を多元連立方程式としてガス濃度について解くことにより、油中ガス中の水素、一酸化炭素、二酸化炭素メタン、エタン、エチレン、アセチレンの濃度を求める技術が開示されている。   As one of the prior arts of a gas-in-oil analyzer relating to oil in a transformer, which is a device in which oil is enclosed or built-in, JP-A-59-160745 discloses that a gas permeable material is used in insulating oil. Separates gases and detects them using multiple semiconductor sensors that react to the separated gases, and solves the gas concentration using multiple simultaneous equations that express the relationship between gas concentration and reaction characteristics. Thus, a technique for determining the concentration of hydrogen, carbon monoxide, carbon dioxide methane, ethane, ethylene, and acetylene in the gas in oil is disclosed.

また、油中ガス分析装置に関する従来技術の一つとして、特開平5−52787号公報には、各種ガス抽出法によって抽出した油中溶存ガスを単一ガスに分離せずに水素のみに反応するセンサ、アセチレンにのみに反応するセンサ等の半導体センサによって、夫々、水素、アセチレンを検知する技術が開示されている。   In addition, as one of the prior arts related to an in-oil gas analyzer, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-52787 reacts only with hydrogen without separating a dissolved gas in oil extracted by various gas extraction methods into a single gas. Techniques for detecting hydrogen and acetylene by semiconductor sensors such as sensors and sensors that react only to acetylene are disclosed.

同様に、油中ガス分析装置に関する従来技術の一つとして、特開平6−160329号公報には、各種ガス抽出法によって抽出した油中溶存ガスを単一ガスに分離せずに水素のみに反応するセンサ、一酸化炭素のみに反応するセンサ、水素、一酸化炭素、メタン、エタン、エチレン、アセチレン等の総可燃性ガスに反応するセンサ等の半導体センサによって、夫々、水素、一酸化炭素、総可燃性ガスを検知する技術が開示されている。   Similarly, as one of the prior arts related to an in-oil gas analyzer, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-160329 discloses that a dissolved gas in oil extracted by various gas extraction methods reacts only with hydrogen without being separated into a single gas. Sensors, sensors that react only to carbon monoxide, and sensors that react to total flammable gases such as hydrogen, carbon monoxide, methane, ethane, ethylene, and acetylene. Techniques for detecting flammable gases are disclosed.

また、油入の変圧器の内部で放電や過熱の発生や、封入或いは内蔵された絶縁油が劣化する等の異常が生じると、絶縁油が分解して油中にガスが発生する。変圧器の内部で生じる異常の種類によって油中で発生するガスの発生量やガスの発生パターンが異なる。よって、ガスの発生量やガス発生のパターンを調査して過去の事例と参照することにより、異常の種類や程度を判定することが可能である。そこで、従来より、油入変圧器の油の劣化や異常診断方法の1つとして、絶縁油中に溶存するガスの分析(以下、油中ガス分析と称する)が行なわれてきた。   Further, when an abnormality such as generation of discharge or overheating in the oil-filled transformer or deterioration of the enclosed or built-in insulating oil occurs, the insulating oil is decomposed and gas is generated in the oil. The amount of gas generated in oil and the gas generation pattern differ depending on the type of abnormality that occurs inside the transformer. Therefore, it is possible to determine the type and degree of abnormality by investigating the gas generation amount and gas generation pattern and referring to the past cases. Therefore, conventionally, analysis of gas dissolved in insulating oil (hereinafter referred to as oil-in-gas analysis) has been performed as one of methods for diagnosing deterioration and abnormality of oil-filled transformers.

特開昭59−160745号公報JP 59-160745 A 特開平5−52787号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-52787 特開平6−160329号公報JP-A-6-160329

ところで、各種ガス抽出法に基づき油中ガス分析装置でガスを検出する汎用の半導体センサである酸化スズ、酸化タングステン、酸化ジルコニウム等の金属酸化物からなる半導体センサは、各種ガスに反応するという特性がある反面、特定のガスの濃度を精度良く検出できないという問題がある。更に、半導体センサの特性として、濃度一定の特定のガスに対してもそのセンサの出力は一定とはならずにセンサ出力が変化してしまうという問題がある。これは、半導体センサ表面に付着した水分や汚染物質の影響が原因と考えられている。   By the way, a semiconductor sensor made of a metal oxide such as tin oxide, tungsten oxide, zirconium oxide, which is a general-purpose semiconductor sensor that detects gas with an in-oil gas analyzer based on various gas extraction methods, has a characteristic of reacting to various gases. However, there is a problem that the concentration of a specific gas cannot be detected with high accuracy. Further, as a characteristic of the semiconductor sensor, there is a problem that the output of the sensor does not become constant even for a specific gas having a constant concentration, and the sensor output changes. This is considered to be caused by the influence of moisture and contaminants attached to the semiconductor sensor surface.

特許文献1に記載のガスの検出方法では、絶縁油中のガスのみを半導体センサで測定しているが、それでもセンサ出力が一定とならずに測定再現性が得られないという問題がある。   In the gas detection method described in Patent Literature 1, only the gas in the insulating oil is measured by the semiconductor sensor, but there is still a problem that the sensor output is not constant and measurement reproducibility cannot be obtained.

特許文献2及び特許文献3に記載のガスの検出方法でも、絶縁油中のガスのみを半導体センサで測定しているが、センサ出力が一定とならずに測定再現性が得られない。   Even in the gas detection methods described in Patent Document 2 and Patent Document 3, only the gas in the insulating oil is measured by the semiconductor sensor, but the sensor output is not constant and measurement reproducibility cannot be obtained.

また、特許文献2、及び特許文献3によるガスの検出方法は、ガス選択性のある半導体センサを用いてガス濃度を求めるが、ガス選択性のある半導体センサは水素、一酸化炭素、アセチレンに対してだけ検出可能に留まっており、メタン、エタン、エチレンの各ガス成分濃度を検出することができない。   In addition, the gas detection methods according to Patent Document 2 and Patent Document 3 use a gas-selective semiconductor sensor to determine the gas concentration. The gas-selective semiconductor sensor detects hydrogen, carbon monoxide, and acetylene. Therefore, the gas component concentrations of methane, ethane, and ethylene cannot be detected.

本発明の目的は、汎用性のある半導体センサを用いて、検出の再現性が高い各種ガスの濃度の検出を可能にした、油中ガス分析装置、油中ガス分析装置を装備した変圧器、及び油中ガスの分析方法を提供することにある。   An object of the present invention is to enable detection of various gas concentrations with high reproducibility of detection using a versatile semiconductor sensor, a transformer equipped with an in-oil gas analyzer, And providing a method for analyzing gas in oil.

本発明の油中ガス分析装置は、機器に内蔵されている油を機器から取り出すガス抽出器と、このガス抽出器に取り出された油に含まれる複数の成分ガスから成分ガスの濃度を検出する複数の半導体センサを有するガス検知部と、ガス抽出器に取り出された油の中から含まれている複数の成分ガスを採取し測定対象の試料ガスとしてガス検出部に供給する試料ガスの供給系統と、半導体センサの検出値の基準となる基準ガスをガス検出部に供給する基準ガスの供給系統と、この試料ガスの供給系統と基準ガスの供給系統とを切替てガス検知部に供給する切替え供給手段と、ガス抽出器に取り出された油から採取した試料ガス及び基準ガスをガス検出部の複数の半導体センサによって夫々測定した各検出値をもとに油に溶存する複数の成分ガスの濃度を算出する演算装置を有する油中ガス分析装置を備えるように構成したことを特徴とする。   The gas-in-oil analyzer of the present invention detects a concentration of a component gas from a gas extractor that extracts oil contained in the device from the device and a plurality of component gases contained in the oil extracted by the gas extractor. A gas detection unit having a plurality of semiconductor sensors, and a sample gas supply system that collects a plurality of component gases contained in the oil extracted by the gas extractor and supplies them to the gas detection unit as a sample gas to be measured And a reference gas supply system that supplies a reference gas serving as a reference for the detection value of the semiconductor sensor to the gas detection unit, and a switching that supplies the sample gas supply system and the reference gas supply system to the gas detection unit. A plurality of component gases dissolved in the oil based on the detection values obtained by measuring the sample gas and the reference gas collected from the supply means and the oil extracted from the gas extractor by the plurality of semiconductor sensors of the gas detection unit, respectively. Characterized by being configured to include in-oil gas analyzer having a calculation unit for calculating a degree.

また、本発明の油中ガス分析装置を備えた変圧器は、変圧器に内蔵されている絶縁油を変圧器から取り出すガス抽出器と、このガス抽出器に取り出された絶縁油に含まれる複数の成分ガスから成分ガスの濃度を検出する複数の半導体センサを有するガス検知部と、ガス抽出器に取り出された絶縁油の中から含まれている複数の成分ガスを採取し測定対象の試料ガスとしてガス検出部に供給する試料ガスの供給系統と、半導体センサの検出値の基準となる基準ガスをガス検出部に供給する基準ガスの供給系統と、この試料ガスの供給系統と基準ガスの供給系統とを切替てガス検知部に供給する切替え供給手段と、ガス抽出器に取り出された絶縁油から採取した試料ガス及び基準ガスをガス検出部の複数の半導体センサによって夫々測定した各検出値をもとに絶縁油に溶存する複数の成分ガスの濃度を算出する演算装置を備えるように構成したことを特徴とする。   Moreover, the transformer provided with the gas-in-oil analyzer of the present invention includes a gas extractor that extracts the insulating oil incorporated in the transformer from the transformer, and a plurality of insulating oils extracted from the gas extractor. A gas detection unit having a plurality of semiconductor sensors for detecting the concentration of the component gas from the component gas, and a sample gas to be measured by collecting the plurality of component gases contained in the insulating oil taken out by the gas extractor As a sample gas supply system to be supplied to the gas detection unit, a reference gas supply system for supplying a reference gas serving as a reference for the detection value of the semiconductor sensor to the gas detection unit, and the sample gas supply system and the reference gas supply Switching supply means for switching the system to supply to the gas detection unit, and each of the detection gas samples and the reference gas collected from the insulating oil taken out by the gas extractor respectively measured by a plurality of semiconductor sensors of the gas detection unit. Characterized by being configured with an arithmetic unit for calculating the concentration of a plurality of gas components dissolved values based insulating oil.

また、本発明の油中ガスの分析方法は、機器に内蔵されている油を取り出してガス抽出器に供給し、ガス抽出器に取り出した油から油中に含まれている複数の成分ガスを採取し測定対象の試料ガスとして試料ガスの供給系統を通じてガス検出部に供給可能とし、ガス検知部に備えた複数の半導体センサの検出値の基準となる基準ガスを基準ガスの供給系統を通じてガス検出部に供給可能とし、試料ガスの供給系統を通じて供給される試料ガスと基準ガスの供給系統を通じて供給される基準ガスとを切替てガス検知部に選択して供給を行い、この試料ガスに含まれる複数の成分ガスから成分ガスの濃度及び基準ガスの濃度をガス検知部に備えた複数の半導体センサによって検出し、試料ガス及び基準ガスに対してガス検出部の複数の半導体センサによって夫々測定した各検出値をもとに試料ガスに含まれる複数の成分ガスの濃度を演算によって求めるように構成したことを特徴とする。   In the method for analyzing gas in oil of the present invention, the oil contained in the device is taken out and supplied to the gas extractor, and a plurality of component gases contained in the oil are extracted from the oil taken out to the gas extractor. The sample gas to be collected and measured can be supplied to the gas detector through the sample gas supply system, and the reference gas serving as the reference for the detection values of the multiple semiconductor sensors provided in the gas detector is detected through the reference gas supply system. The sample gas supplied through the sample gas supply system and the reference gas supplied through the reference gas supply system are switched to be selected and supplied to the gas detection unit. The concentration of the component gas and the concentration of the reference gas are detected from a plurality of component gases by a plurality of semiconductor sensors provided in the gas detection unit, and a plurality of semiconductor sensors of the gas detection unit are detected with respect to the sample gas and the reference gas. Characterized by being configured to determine by calculation the concentrations of multiple component gases contained in the original in the sample gas each detected values respectively measured by.

本発明によれば、汎用性のある半導体センサを使用して、検出の再現性が高い各種ガスの濃度の検出を可能にした、油中ガス分析装置、油中ガス分析装置を備えた変圧器、及び油中ガスの分析方法を実現することができる。   According to the present invention, an oil-in-gas analyzer and a transformer equipped with an in-oil gas analyzer capable of detecting concentrations of various gases with high reproducibility of detection using a versatile semiconductor sensor. And an analysis method of gas in oil can be realized.

次に本発明の実施例である油入変圧器に設置される油中ガス分析装置について図面を参照して説明する。   Next, an oil-in-gas analyzer installed in an oil-filled transformer according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

本発明の第1の実施例として、図1は本発明の一実施例である油入変圧器に設置される油中ガス分析装置20の構成を示すものであり、内部に絶縁油が封入或いは内蔵された変圧器に据え付けるタイプの油中ガス分析装置である。本実施例の油入変圧器に設置される油中ガス分析装置は、水素、一酸化炭素、アセチレン、エチレン、メタン、エタンについて油中ガス分析を行なう。   As a first embodiment of the present invention, FIG. 1 shows a configuration of an oil-in-gas analyzer 20 installed in an oil-filled transformer according to an embodiment of the present invention. This is an oil-in-gas analyzer that is installed on a built-in transformer. The oil-in-gas analyzer installed in the oil-filled transformer of the present embodiment performs gas-in-oil analysis for hydrogen, carbon monoxide, acetylene, ethylene, methane, and ethane.

図1において、油入変圧器1の内部には絶縁油2が充填されている。油中ガス分析装置20は、油入変圧器1とは配管25A及び配管25Bを通じて連通され、油入変圧器1から絶縁油2が流入、流出されるガス抽出器3を設置することにより、このガス抽出器3にてバブリング法により前記油入変圧器1の内部に封入或いは内蔵された絶縁油2の油中に発生するガスの抽出を行なう。   In FIG. 1, the oil-filled transformer 1 is filled with insulating oil 2. The oil-in-gas analyzer 20 is connected to the oil-filled transformer 1 through the pipe 25A and the pipe 25B, and the gas-extractor 3 into which the insulating oil 2 flows in and out from the oil-filled transformer 1 is installed. The gas extractor 3 extracts the gas generated in the oil of the insulating oil 2 enclosed or built in the oil-filled transformer 1 by a bubbling method.

ガス抽出器3の本体には開放弁4が設けられている。配管25A及び25Bには送油ポンプ5A及び5Bが夫々設置されており、送油ポンプ5Aは油入り変圧器1の絶縁油2をガス抽出器3に所定量だけ供給する。また、送油ポンプ5Bはガス抽出後の絶縁油2をガス抽出器3から油入り変圧器1に返還する。   An opening valve 4 is provided in the main body of the gas extractor 3. Oil supply pumps 5A and 5B are respectively installed in the pipes 25A and 25B. The oil supply pump 5A supplies the insulating oil 2 of the oil-filled transformer 1 to the gas extractor 3 by a predetermined amount. The oil feed pump 5B returns the insulating oil 2 after gas extraction from the gas extractor 3 to the oil-filled transformer 1.

窒素を供給する窒素ボンベ6が設置されており、窒素ボンベ6から窒素供給配管18Aを通じて窒素を後述する四方切替え弁10へ導いている。また、酸素を供給する酸素ボンベ7が設置されており、酸素ボンベ7から酸素供給配管18Bを通じて酸素を後述するガス調整装置13へ導いている。   A nitrogen cylinder 6 for supplying nitrogen is installed, and nitrogen is introduced from the nitrogen cylinder 6 to a four-way switching valve 10 described later through a nitrogen supply pipe 18A. Further, an oxygen cylinder 7 for supplying oxygen is installed, and oxygen is led from the oxygen cylinder 7 to a gas adjusting device 13 to be described later through an oxygen supply pipe 18B.

前記窒素供給配管18A及び酸素供給配管18Bにはレギュレータ8A及び8Bが夫々設置されており、窒素ボンベ6及び酸素ボンベ7から四方切替え弁10及びガス調整装置13に夫々供給される窒素及び酸素の圧力を調整するようになっている。   The nitrogen supply pipe 18A and the oxygen supply pipe 18B are provided with regulators 8A and 8B, respectively, and the pressures of nitrogen and oxygen supplied from the nitrogen cylinder 6 and the oxygen cylinder 7 to the four-way switching valve 10 and the gas regulator 13 respectively. To be adjusted.

同様に、前記窒素供給配管18A及び酸素供給配管18Bには流量計9A及び9Bが夫々設置されており、窒素ボンベ6及び酸素ボンベ7から四方切替え弁10及びガス調整装置13に夫々供給される窒素及び酸素の流量を計測している。   Similarly, flow meters 9A and 9B are installed in the nitrogen supply pipe 18A and the oxygen supply pipe 18B, respectively, and nitrogen supplied from the nitrogen cylinder 6 and the oxygen cylinder 7 to the four-way switching valve 10 and the gas regulator 13 respectively. And the flow rate of oxygen is measured.

四方切替え弁10は、窒素ボンベ6から窒素を供給する窒素供給配管18Aと、この窒素供給配管18Aを通じて供給される窒素をガス抽出器3に導くガス抽出系配管18C1とに接続するように構成されている。   The four-way switching valve 10 is configured to be connected to a nitrogen supply pipe 18A for supplying nitrogen from the nitrogen cylinder 6 and a gas extraction system pipe 18C1 for introducing nitrogen supplied through the nitrogen supply pipe 18A to the gas extractor 3. ing.

そして、この四方切替え弁10を切替え操作することにより、窒素ボンベ6から窒素供給配管18A及びガス抽出系配管18C1を通じて窒素ガスをガス抽出器3に供給する流路を形成する。   By switching the four-way switching valve 10, a flow path for supplying nitrogen gas to the gas extractor 3 from the nitrogen cylinder 6 through the nitrogen supply pipe 18A and the gas extraction system pipe 18C1 is formed.

また、四方切替え弁10は、油入変圧器1の内部に封入した絶縁油2の油中に発生した油中溶存ガス混合ガスをガス抽出器3から導出するガス抽出系配管18C2と、このガス抽出系配管18C2を通じて導かれた油中溶存ガス混合ガスをガス調整装置13に導く油中溶存ガス混合ガス供給配管18Dとに接続するように構成されている。   Further, the four-way switching valve 10 includes a gas extraction system pipe 18C2 for deriving from the gas extractor 3 a gas-extracted gas mixed gas generated in the oil of the insulating oil 2 sealed in the oil-filled transformer 1, and this gas. The oil-in-gas dissolved gas mixed gas led through the extraction system pipe 18C2 is connected to the oil-in-oil dissolved gas mixed gas supply pipe 18D that leads to the gas regulator 13.

そして、この四方切替え弁10を切替え操作することにより、ガス抽出器3からガス抽出系配管18C2及び油中溶存ガス混合ガス供給配管18Dを通じて油中溶存ガス混合ガスを後述するガス検出器15に供給する流路を形成する。   Then, by switching the four-way switching valve 10, the dissolved gas mixture in oil is supplied from the gas extractor 3 to the gas detector 15 to be described later through the gas extraction system pipe 18C2 and the dissolved gas mixed gas supply pipe 18D in oil. A flow path is formed.

前記ガス抽出系配管18C1にはエアポンプ11が配設されており、このエアポンプ11を稼動させることによりバブリングを行なうようになっている。そして、ガス抽出器3にはフィルタ12が設けられており、ガス抽出器3に導かれた油入変圧器1の内部に封入した絶縁油2の油中に発生した油中溶存ガス混合ガスをガス抽出系配管18C2を通じてガス抽出器3から四方切替え弁10に導出する際に、油中溶存ガス混合ガスに霧状となって混入した絶縁油を除去する。   An air pump 11 is disposed in the gas extraction system pipe 18C1, and bubbling is performed by operating the air pump 11. And the filter 12 is provided in the gas extractor 3, The dissolved gas mixed gas generated in the oil of the insulating oil 2 enclosed in the oil-filled transformer 1 led to the gas extractor 3 When the gas is extracted from the gas extractor 3 to the four-way switching valve 10 through the gas extraction system pipe 18C2, the insulating oil mixed in the mist form in the oil-dissolved gas mixed gas is removed.

ガス抽出器3に導かれた油入変圧器1の内部に封入した絶縁油2の油中に発生した油中溶存ガス混合ガスは、四方切替え弁10の切替え操作によりガス抽出系配管18C2、油中溶存ガス混合ガス供給配管18D及び試料ガス供給配管18Eを通じてガス検出器15に供給される。   The dissolved gas mixture in the oil generated in the oil of the insulating oil 2 sealed in the oil-filled transformer 1 led to the gas extractor 3 is converted into the gas extraction system pipe 18C2 by the switching operation of the four-way switching valve 10 and the oil. The gas is supplied to the gas detector 15 through the middle dissolved gas mixed gas supply pipe 18D and the sample gas supply pipe 18E.

油中溶存ガス混合ガス供給配管18D及び試料ガス供給配管18Eとの接続部にはガス調整装置13が設置されており、このガス調整装置13には、酸素ボンベ7から酸素を供給する酸素供給配管18Bが接続されている。   A gas adjusting device 13 is installed at a connecting portion between the dissolved gas mixed gas supply pipe 18D and the sample gas supply pipe 18E in the oil, and an oxygen supply pipe for supplying oxygen from the oxygen cylinder 7 to the gas adjusting device 13. 18B is connected.

そして、前記ガス調整装置13により、ガス検出器15に供給される油中溶存ガス混合ガスに酸素を所定の割合に混合して試料ガスを生成するようになっている。ガス調整装置13で生成した試料ガスは試料ガス供給配管18Eを通じて温度調節器14に供給され、窒素、酸素、及び油中溶存ガスをガス調整装置13で混合した混合ガスである試料ガスの温度をこの温度調節器14によって所定の温度に調整する。   The gas adjusting device 13 mixes oxygen in the oil-dissolved gas mixed gas supplied to the gas detector 15 at a predetermined ratio to generate a sample gas. The sample gas generated by the gas adjusting device 13 is supplied to the temperature controller 14 through the sample gas supply pipe 18E, and the temperature of the sample gas, which is a mixed gas obtained by mixing nitrogen, oxygen, and dissolved gas in oil by the gas adjusting device 13, is adjusted. The temperature adjuster 14 adjusts the temperature to a predetermined temperature.

前記ガス検出器15には酸化スズ、酸化タングステン、酸化ジルコニウム等の金属酸化物からなる半導体センサが設置されており、この半導体センサによって試料ガスである窒素と酸素との混合ガス、及び窒素と酸素と油中溶存ガスとの混合ガスを夫々測定して、それらの測定値を出力信号としてコンピュータ16に出力する。   The gas detector 15 is provided with a semiconductor sensor made of a metal oxide such as tin oxide, tungsten oxide, or zirconium oxide. By this semiconductor sensor, a mixed gas of nitrogen and oxygen, which is a sample gas, and nitrogen and oxygen And the gas dissolved in the oil are measured, and the measured values are output to the computer 16 as output signals.

コンピュータ16では、ガス検知部15に設置された半導体センサからの出力信号をもとに油中溶存ガスのガス成分濃度を演算により算出し、算出された油中溶存ガスのガス成分濃度等をモニタ等に表示する。   The computer 16 calculates the gas component concentration of the dissolved gas in oil based on the output signal from the semiconductor sensor installed in the gas detection unit 15, and monitors the calculated gas component concentration of the dissolved gas in oil. Etc.

また、コンピュータ16は、本発明の実施例の油入変圧器に設置される油中ガス分析装置を構成するポンプ類のON、OFFや、切替え弁、排気弁類の切替え操作や開閉操作を各要素に指示するように構成されている。   In addition, the computer 16 performs ON / OFF of pumps constituting the oil-in-gas analyzer installed in the oil-filled transformer according to the embodiment of the present invention, switching operation and switching operation of the switching valves and exhaust valves. Configured to instruct the element.

ガス検出器15に設置された半導体センサで検出された窒素、酸素、及び油中溶存ガスが混合した試料ガスのガス成分は、それらの各ガス成分濃度を検出後に排出配管18Gを通じて外部に排出されるが、この排出配管18Gには逆止弁17が設置されており、外部の気体がガス検出器15の内部に流入するのを防止している。   The gas components of the sample gas mixed with nitrogen, oxygen, and dissolved gas in oil detected by the semiconductor sensor installed in the gas detector 15 are discharged to the outside through the discharge pipe 18G after detecting the concentration of each gas component. However, a check valve 17 is installed in the discharge pipe 18G to prevent external gas from flowing into the gas detector 15.

上記した配管のうち、ガス抽出系配管18C1は、四方切替え弁10から該ガス抽出系配管18C1に設置したエアポンプ11、ガス抽出器3、該ガス抽出器3に設置したフィルタ12、ガス抽出系配管18C2を経由して、再び四方切替え弁10へ戻る配管である。   Among the pipes described above, the gas extraction system pipe 18C1 includes the air pump 11 installed in the gas extraction system pipe 18C1 from the four-way switching valve 10, the gas extractor 3, the filter 12 installed in the gas extractor 3, and the gas extraction system pipe. This pipe returns to the four-way switching valve 10 again via 18C2.

また、油中溶存ガス混合ガス供給配管18Dは、窒素と油中溶存ガスとの混合ガスを温度調節器14、ガス検出器15に導く配管である。試料ガス供給配管18Eは、ガス調整装置13にて生成した油中溶存ガスと窒素と酸素との混合ガスを温度調節器14、ガス検出器15へ導く配管である。   The oil-in-gas dissolved gas mixed gas supply pipe 18 </ b> D is a pipe that guides a mixed gas of nitrogen and dissolved gas in oil to the temperature controller 14 and the gas detector 15. The sample gas supply pipe 18 </ b> E is a pipe that guides the mixed gas of dissolved gas in oil, nitrogen, and oxygen generated by the gas regulator 13 to the temperature controller 14 and the gas detector 15.

次に、図1に示した本発明の一実施例である油入変圧器に設置される油中ガス分析装置について、その油中ガス分析の各手順を図2に示す。図2において、測定操作は、まず測定準備101の手順を行なう。   Next, with respect to the oil-in-gas analyzer installed in the oil-filled transformer according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 1, each procedure of the oil-in-gas analysis is shown in FIG. In FIG. 2, the measurement operation starts with the procedure of measurement preparation 101.

次に油中溶存ガス抽出102の手順を行なう。油中溶存ガス抽出102の手順と並行して、基準ガスである窒素酸素混合ガス測定103の手順を行なう。最後に試料ガス測定104の手順を行なう。窒素酸素混合ガス測定103の手順及び試料ガス測定104の手順の各測定結果をもとに各成分ガスの濃度を算出するガス濃度算出105の手順を行なう。また、測定操作の各手順は繰り返し行なう。   Next, the procedure of the dissolved gas extraction 102 in oil is performed. In parallel with the procedure of the dissolved gas extraction 102 in oil, the procedure of the nitrogen-oxygen mixed gas measurement 103 as the reference gas is performed. Finally, the procedure of the sample gas measurement 104 is performed. The procedure of the gas concentration calculation 105 for calculating the concentration of each component gas based on the measurement results of the procedure of the nitrogen-oxygen mixed gas measurement 103 and the procedure of the sample gas measurement 104 is performed. Each procedure of the measurement operation is repeated.

詳細に説明すると、測定準備101の手順では、四方切替え弁10を図1に示すように操作して、窒素ボンベ6から窒素を窒素供給配管18Aを通じて四方切替え弁10に供給する。供給された窒素は窒素供給配管18Aから四方切替え弁10を経由して、ガス抽出系配管18C1からガス抽出器3に流入する。   More specifically, in the procedure of the measurement preparation 101, the four-way switching valve 10 is operated as shown in FIG. 1 to supply nitrogen from the nitrogen cylinder 6 to the four-way switching valve 10 through the nitrogen supply pipe 18A. The supplied nitrogen flows into the gas extractor 3 from the gas extraction system pipe 18C1 via the four-way switching valve 10 from the nitrogen supply pipe 18A.

その後、窒素はこのガス抽出器3を経由してガス抽出系配管18C2及び油中溶存ガス混合ガス供給配管18Dを流下して、窒素供給配管18Aから油中溶存ガス混合ガス供給配管18Dに至るこれらの各機器及び流路内を窒素にて置換する。   Thereafter, the nitrogen flows down the gas extraction system pipe 18C2 and the dissolved gas mixed gas supply pipe 18D in the oil via the gas extractor 3, and reaches the dissolved gas mixed gas supply pipe 18D from the nitrogen supply pipe 18A. The inside of each device and the flow path is replaced with nitrogen.

また、酸素ボンベ7からは酸素供給配管18Bを通じて酸素がガス調整装置13に供給され、供給された酸素はガス調整装置13にて窒素ガスと混合して基準ガスとなる窒素酸素混合ガスを生成する。   Further, oxygen is supplied from the oxygen cylinder 7 to the gas regulator 13 through the oxygen supply pipe 18B, and the supplied oxygen is mixed with nitrogen gas by the gas regulator 13 to generate a nitrogen-oxygen mixed gas that becomes a reference gas. .

その後、このガス調整装置13で生成した基準ガスの窒素酸素混合ガスは試料ガス供給配管18Eを通じて温度調節器14及びガス検知器15に順次流下して、それらの各機器及び流路内を基準ガスの窒素酸素混合ガスにて置換する。   Thereafter, the nitrogen-oxygen mixed gas of the reference gas generated by the gas adjusting device 13 sequentially flows down to the temperature controller 14 and the gas detector 15 through the sample gas supply pipe 18E, and the reference gas is passed through each of these devices and the flow path. The nitrogen-oxygen mixed gas is substituted.

次に、油中溶存ガス抽出102の手順では、図3に示すように四方切替え弁10を操作して切替える。そして、この四方切替え弁10の切替えによって、ガス抽出系配管18C1、ガス抽出系配管18C2及びガス抽出器3とで閉じた系となるような流路Aと、窒素を窒素ボンベ6から窒素供給配管18A及び四方切替え弁10を経由してガス調整装置13に供給するような流路Bとを形成する。   Next, in the procedure for extracting the dissolved gas in oil 102, the four-way switching valve 10 is operated as shown in FIG. Then, by switching the four-way switching valve 10, the flow path A is a system closed by the gas extraction system pipe 18 C 1, the gas extraction system pipe 18 C 2 and the gas extractor 3, and nitrogen is supplied from the nitrogen cylinder 6 to the nitrogen supply pipe. A flow path B is formed so as to be supplied to the gas regulator 13 via 18A and the four-way switching valve 10.

そして、酸素を酸素ボンベ7からは酸素供給配管18Bを通じてガス調整装置13に供給することにより、ガス調整装置13にて流路Bを流下する窒素に酸素を混合させた基準ガスとなる窒素酸素混合ガスを生成し、この基準ガスの窒素酸素混合ガスを試料ガス供給配管18Eを通じて温度調節器14及びガス検知器15に供給する。   Then, by supplying oxygen from the oxygen cylinder 7 to the gas regulator 13 through the oxygen supply pipe 18B, the nitrogen-oxygen mixture serving as a reference gas in which oxygen is mixed with nitrogen flowing down the flow path B in the gas regulator 13 A gas is generated, and the nitrogen-oxygen mixed gas of the reference gas is supplied to the temperature controller 14 and the gas detector 15 through the sample gas supply pipe 18E.

前記流路Aではガス抽出操作を行なう。即ち、流路Aにおけるガス抽出の操作として、まず、ガス抽出器3に設けた開放弁4を開放した状態にしておき、配管25Aに設けた送油ポンプ5Aを稼動して油入り変圧器1の内部に封入されている絶縁油2をガス抽出器3に供給する。   In the flow path A, a gas extraction operation is performed. That is, as an operation of gas extraction in the flow path A, first, the open valve 4 provided in the gas extractor 3 is opened, the oil feed pump 5A provided in the pipe 25A is operated, and the oil-filled transformer 1 is operated. Is supplied to the gas extractor 3.

次に、ガス抽出器3への絶縁油2の注入が完了すると同時に開放弁4を閉じ、流路Aを形成するガス抽出系配管18C1に設けたエアポンプ11を稼動させて、流路A内の窒素を循環させてバブリングによりガス抽出器3に注入した絶縁油2に溶存している溶存ガスの採取を行なう。   Next, as soon as the injection of the insulating oil 2 into the gas extractor 3 is completed, the release valve 4 is closed, and the air pump 11 provided in the gas extraction system pipe 18C1 that forms the flow path A is operated. Nitrogen is circulated and the dissolved gas dissolved in the insulating oil 2 injected into the gas extractor 3 by bubbling is collected.

バブリングとは、密閉された系内で試料対象のガスが溶存する液体内に窒素等の不活性ガスを吹き込んで液体内の溶存ガスと液面上のガスを平衡させた後に、液面上のガスを採取する試料ガスの採取方式のことをいう。   Bubbling is a method in which an inert gas such as nitrogen is blown into a liquid in which a gas to be sampled is dissolved in a sealed system to equilibrate the dissolved gas in the liquid and the gas on the liquid surface, and then on the liquid surface. This refers to a sampling method for sampling gas.

バブリングを行なう不活性ガスに窒素を使用するのは、酸素が絶縁油中へ混入するのを防止するためである。変圧器1に封入された絶縁油2から溶存ガスを採取された後の絶縁油2はガス抽出器3から変圧器1に戻して再使用するが、絶縁油2に酸素が混入した場合、酸素による絶縁油2や絶縁紙の劣化が懸念される。そのため、バブリングには、窒素、或いはヘリウム、アルゴン等の不活性ガスを使用する。   The reason why nitrogen is used as an inert gas for bubbling is to prevent oxygen from being mixed into the insulating oil. The insulating oil 2 after the dissolved gas is collected from the insulating oil 2 sealed in the transformer 1 is returned to the transformer 1 from the gas extractor 3 and reused. There is concern about the deterioration of the insulating oil 2 and insulating paper due to the above. Therefore, an inert gas such as nitrogen or helium or argon is used for bubbling.

バブリングを行なう際には、バブリング時間と密閉された系内を循環する不活性ガスの窒素中のガス濃度との相関を事前に調査しておき、妥当なバブリング時間を選定しておく。   When bubbling is performed, the correlation between the bubbling time and the concentration of nitrogen in the inert gas circulating in the sealed system is investigated in advance, and an appropriate bubbling time is selected.

また、絶縁油2の溶存ガスの濃度とバブリングにより試料ガスとして抽出されるガスの濃度との関係はガス成分により異なる。よって、絶縁油中の溶存ガスの量とバブリングにより抽出されるガスの量との相関関係を予め求めておく。   Further, the relationship between the concentration of the dissolved gas in the insulating oil 2 and the concentration of the gas extracted as the sample gas by bubbling differs depending on the gas component. Therefore, the correlation between the amount of dissolved gas in the insulating oil and the amount of gas extracted by bubbling is obtained in advance.

次に、基準ガスである窒素酸素混合ガス測定103の手順では、四方切替え弁10の切替え操作によって形成される流路Bを通じて基準ガスとなる窒素酸素混合ガスに対する測定をガス検知器15にて行なう。   Next, in the procedure of measuring the nitrogen-oxygen mixed gas 103 as the reference gas, the gas detector 15 measures the nitrogen-oxygen mixed gas serving as the reference gas through the flow path B formed by the switching operation of the four-way switching valve 10. .

即ち、窒素ボンベ6から窒素を窒素供給配管18A及び四方切替え弁10を通じてガス調整装置13に供給し、酸素ボンベ7から酸素を酸素供給配管18Bを通じてガス調整装置13に供給し、このガス調整装置13にて両者の成分割合を調整した基準ガスの窒素酸素混合ガス(酸素20%、窒素80%)を試料ガス供給配管18E、温度調節器14を経由してガス検知器15に供給する。   That is, nitrogen is supplied from the nitrogen cylinder 6 to the gas regulator 13 through the nitrogen supply pipe 18A and the four-way switching valve 10, and oxygen is supplied from the oxygen cylinder 7 to the gas regulator 13 through the oxygen supply pipe 18B. The nitrogen-oxygen mixed gas (oxygen 20%, nitrogen 80%) of the reference gas adjusted for the ratio of the components is supplied to the gas detector 15 via the sample gas supply pipe 18E and the temperature controller 14.

ガス検出器15に設置された半導体センサS1−S7で検出される基準ガスの検出出力が安定したところで、その検出した出力を基準ガスである窒素酸素混合ガスに対するセンサ出力としてコンピュータ16に入力する。   When the detection output of the reference gas detected by the semiconductor sensors S1-S7 installed in the gas detector 15 is stabilized, the detected output is input to the computer 16 as a sensor output for the nitrogen-oxygen mixed gas that is the reference gas.

次に、試料ガス測定104の手順では、図4に示すように四方切替え弁10を切替え、窒素ボンベ6から窒素を窒素供給配管18A、四方切替え弁10、及びガス抽出系配管18C1を通じてガス抽出器3に供給し、供給された窒素をこのガス抽出器3からガス抽出系配管18C2及び油中溶存ガス混合ガス供給配管18Dを通じてガス調整装置13に流下させる。   Next, in the procedure of the sample gas measurement 104, the four-way switching valve 10 is switched as shown in FIG. 4, and nitrogen is supplied from the nitrogen cylinder 6 through the nitrogen supply pipe 18A, the four-way switching valve 10, and the gas extraction system pipe 18C1. 3 and the supplied nitrogen is caused to flow down from the gas extractor 3 to the gas regulator 13 through the gas extraction system pipe 18C2 and the dissolved gas mixed gas supply pipe 18D in oil.

これらの操作によって、流路A内の採取された油中溶存ガス混合ガスは窒素ボンベ6から供給された窒素により押し出されてガス調整装置13に導かれる。導かれた油中溶存ガス混合ガスは、酸素ボンベ7から酸素供給配管18Bを通じて供給された酸素をガス調整装置13にて添加して試料ガスを生成する。   By these operations, the gas-in-oil dissolved gas mixed gas collected in the flow path A is pushed out by nitrogen supplied from the nitrogen cylinder 6 and guided to the gas regulator 13. The introduced dissolved gas mixed gas in oil is added with oxygen supplied from the oxygen cylinder 7 through the oxygen supply pipe 18B by the gas regulator 13 to generate a sample gas.

そして、このガス調整装置13で生成した試料ガスをガス検知器15に供給して、試料ガスの成分濃度を検出することになる。ここで、ガス調整装置13で油中溶存ガス混合ガスに酸素を添加して試料ガスを生成するのは、ガス検知器15に設けられた半導体センサS1−S7による試料ガスの測定に酸素が必要なためである。   Then, the sample gas generated by the gas adjusting device 13 is supplied to the gas detector 15 to detect the component concentration of the sample gas. Here, the sample gas is generated by adding oxygen to the gas-in-oil mixed gas mixed gas by the gas adjusting device 13, and oxygen is required for measurement of the sample gas by the semiconductor sensors S <b> 1-S <b> 7 provided in the gas detector 15. This is because of this.

ガス検知器15に設けられた半導体センサS1−S7に供給される気体が基準ガスの窒素酸素混合ガスから試料ガスに切り替わることにより、半導体センサS1−S7で検出される試料ガスのセンサ出力は供給される気体の切替え前後で大きく変化する。センサ出力の変化後でセンサ出力がほぼ一定に安定したところで、これらのセンサ出力を試料ガスに対する半導体センサS1−S7の各センサ出力としてコンピュータ16に入力する。   When the gas supplied to the semiconductor sensors S1-S7 provided in the gas detector 15 is switched from the nitrogen-oxygen mixed gas of the reference gas to the sample gas, the sensor output of the sample gas detected by the semiconductor sensors S1-S7 is supplied. It changes greatly before and after the gas is switched. When the sensor output is stabilized to be substantially constant after the change of the sensor output, these sensor outputs are input to the computer 16 as the respective sensor outputs of the semiconductor sensors S1 to S7 with respect to the sample gas.

そして、試料ガスをガス検知器15の半導体センサS1−S7で測定した後は配管25Bに設けた送油ポンプ5Bを稼動しながら窒素ボンベ6から窒素をガス抽出器3に供給して、ガス抽出器3に供給した絶縁油2を油入変圧器1に戻す。これら一連の操作はコンピュータ16からの指示を受けて自動的に行なうようにしてある。   Then, after measuring the sample gas with the semiconductor sensors S1-S7 of the gas detector 15, nitrogen is supplied from the nitrogen cylinder 6 to the gas extractor 3 while operating the oil feed pump 5B provided in the pipe 25B, and gas extraction is performed. The insulating oil 2 supplied to the vessel 3 is returned to the oil-filled transformer 1. These series of operations are automatically performed in response to an instruction from the computer 16.

図5はガス検知器15に設けられた半導体センサS1−S7で検出されたガスのセンサ出力を模式的に示した図であり、横軸は時間t、縦軸は半導体センサS1−S7で検出されるセンサ出力の電気抵抗Rを示し、センサ出力は図中に曲線で表している。   FIG. 5 is a diagram schematically showing the sensor output of the gas detected by the semiconductor sensors S1-S7 provided in the gas detector 15, where the horizontal axis is time t and the vertical axis is detected by the semiconductor sensors S1-S7. The electric resistance R of the sensor output is shown, and the sensor output is represented by a curve in the figure.

図5において、時間t=t0からt=t1の測定期間は、基準ガスである窒素酸素混合ガス(酸素20%、窒素80%)を測定している時のセンサ出力を示している。   In FIG. 5, the measurement period from time t = t0 to t = t1 shows the sensor output when measuring the nitrogen-oxygen mixed gas (oxygen 20%, nitrogen 80%) as the reference gas.

また、時間t=t1からt=t2の測定期間は、試料ガスを測定している時のセンサ出力を示し、時間t=t2からt=t3の測定期間は、再び基準ガスである窒素酸素混合ガスを測定している時のセンサ出力を示している。   The measurement period from time t = t1 to t = t2 shows the sensor output when measuring the sample gas, and the measurement period from time t = t2 to t = t3 is again a mixture of nitrogen and oxygen as the reference gas The sensor output when measuring gas is shown.

まず、時間t=t0からt=t1の測定期間で、時間t=t1における基準ガスのセンサ出力である電気抵抗RはR0を示す。時間t=t0からt=t1にかけてセンサ出力が緩やかに変化しているのは、センサ出力がドリフトしているためである。   First, in the measurement period from time t = t0 to t = t1, the electric resistance R that is the sensor output of the reference gas at time t = t1 indicates R0. The reason why the sensor output gradually changes from time t = t0 to t = t1 is that the sensor output drifts.

時間t=t1からt=t2の測定期間は、四方切替え弁10の切替え操作によって基準ガスから切替て供給される試料ガスを測定している時のセンサ出力を示している。時間t=t1にて試料ガスの供給を開始して測定することにより、センサ出力は急激に減少した後に次第にセンサ出力の変化は緩やかになり、時間t=t2でセンサ出力は安定する。   The measurement period from time t = t1 to t = t2 indicates the sensor output when measuring the sample gas supplied by switching from the reference gas by the switching operation of the four-way switching valve 10. By starting the supply of the sample gas at time t = t1 and measuring, the sensor output gradually decreases after the sensor output rapidly decreases, and the sensor output becomes stable at time t = t2.

時間t=t2における試料ガスのセンサ出力である電気抵抗RはR1を示す。   The electric resistance R, which is the sensor output of the sample gas at time t = t2, indicates R1.

時間t=t2からt=t3の測定期間は、四方切替え弁10の切替え操作によって再び試料ガスから基準ガスに供給を切替て基準ガスの窒素酸素混合ガスを測定した時のセンサ出力を示している。時間t=t2にて基準ガスの窒素酸素混合ガスの供給を開始して測定することにより、センサ出力は急激に増加した後に次第にセンサ出力の変化は緩やかになり、時間t=t3でセンサ出力は安定する。   The measurement period from time t = t2 to t = t3 shows the sensor output when the nitrogen-oxygen mixed gas of the reference gas is measured by switching the supply from the sample gas to the reference gas again by the switching operation of the four-way switching valve 10. . By starting supply of the nitrogen-oxygen mixed gas of the reference gas at time t = t2, the sensor output gradually increases after the sensor output suddenly increases, and at time t = t3, the sensor output is Stabilize.

時間t=t3における基準ガスのセンサ出力である電気抵抗RはR2を示す。時間t=t3からt=t4に至るまでのセンサ出力はそれ程変化せず安定している状況を示している。   The electric resistance R which is the sensor output of the reference gas at time t = t3 indicates R2. The sensor output from time t = t3 to t = t4 does not change so much and shows a stable state.

ここで、基準ガスの窒素酸素混合ガスについて、半導体センサによるセンサ出力の電気抵抗R0を予め検出してコンピュータ16に登録しておく。また、試料ガスについては、分析対象のガス成分となる、例えば一酸化炭素のガスに関して、特定の濃度、例えばガス濃度10ppmの場合における半導体センサによるセンサ出力の電気抵抗R1となるRCO1を予め検出してコンピュータ16に登録しておく。同様に、検出対象となる他のガスである、水素、アセチレン、エチレン、メタン、エタンについても特定の濃度の場合における前記半導体センサによるセンサ出力の電気抵抗Rの値を予め検出してコンピュータ16に夫々登録しておく。   Here, for the nitrogen-oxygen mixed gas of the reference gas, the electrical resistance R0 of the sensor output from the semiconductor sensor is detected in advance and registered in the computer 16. As for the sample gas, for example, carbon monoxide gas, which is a gas component to be analyzed, is detected in advance as RCO1 serving as the electrical resistance R1 of the sensor output by the semiconductor sensor when the gas concentration is 10 ppm. Registered in the computer 16. Similarly, for other gases to be detected, such as hydrogen, acetylene, ethylene, methane, and ethane, the value of the electrical resistance R of the sensor output by the semiconductor sensor at a specific concentration is detected in advance and the computer 16 Register each one.

そして、上記のように基準ガスと試料ガスについてガス検知器15に設けた半導体センサS1−S7によって測定することにより、基準ガスに対するセンサ出力の電気抵抗R0と、試料ガスの中の測定対象ガス、例えば一酸化炭素のガスに対するセンサ出力の電気抵抗R1を計測して、この一酸化炭素のガスについてのセンサ出力の比R0/R1を計算する。   Then, by measuring the reference gas and the sample gas with the semiconductor sensors S1-S7 provided in the gas detector 15 as described above, the electrical resistance R0 of the sensor output with respect to the reference gas, the measurement target gas in the sample gas, For example, the electric resistance R1 of the sensor output for the carbon monoxide gas is measured, and the ratio R0 / R1 of the sensor output for the carbon monoxide gas is calculated.

そして、コンピュータ16に予め検出したガス濃度10ppmの一酸化炭素のガスの電気抵抗RCO1に基づくセンサ出力の比R0/RCO1を計算して前記のセンサ出力の比R0/R1と比較すれば、試料ガス中の一酸化炭素のガス濃度を正確に演算することができる。   Then, if the sensor output ratio R0 / RCO1 based on the electric resistance RCO1 of the carbon monoxide gas detected in advance by the computer 16 is calculated and compared with the sensor output ratio R0 / R1, the sample gas The gas concentration of carbon monoxide can be accurately calculated.

同様の手法によって、基準ガスと試料ガスについてガス検知器15に設けた半導体センサS1−S7によって測定することにより、試料ガス中の検出対象となる他のガスである、水素、アセチレン、エチレン、メタン、エタンについても前記のセンサ出力の比R0/R1を演算して比較すれば、試料ガス中の特定成分のガス濃度を正確に演算することができる。   By measuring the reference gas and the sample gas with the semiconductor sensors S1-S7 provided in the gas detector 15 by the same method, hydrogen, acetylene, ethylene, methane, which are other gases to be detected in the sample gas For ethane, the gas concentration of a specific component in the sample gas can be accurately calculated by calculating and comparing the sensor output ratio R0 / R1.

ここで、ドリフトによる測定の誤りを防止するために、基準ガスである窒素酸素混合ガスの測定値は、試料ガスに切替える直前の時間t=t1における基準ガスのセンサ出力であるR0や、再度、基準ガスの窒素酸素混合ガスに切替えた後の出力が安定した時間t=t3における基準ガスのセンサ出力R2を用いる。   Here, in order to prevent measurement errors due to drift, the measured value of the nitrogen-oxygen mixed gas that is the reference gas is R0 that is the sensor output of the reference gas at time t = t1 immediately before switching to the sample gas, and again, The sensor output R2 of the reference gas at the time t = t3 when the output after switching to the nitrogen-oxygen mixed gas of the reference gas is stable is used.

そして、試料ガスの測定値は、窒素酸素混合ガスへ切替える直前の時間t=t2における試料ガスのセンサ出力R1を用いれば、ドリフトによる測定の誤りを防止できる。この場合、算出するセンサ出力の比はR0/R1ではなく、出力の比R2/R1を演算すればよい。   If the sample gas sensor output R1 at the time t = t2 immediately before switching to the nitrogen-oxygen mixed gas is used as the measured value of the sample gas, measurement errors due to drift can be prevented. In this case, the calculated sensor output ratio is not R0 / R1, but the output ratio R2 / R1 may be calculated.

また、時間t=t1以降も基準ガスの窒素酸素混合ガスを測定し続けたと仮定して、時間t=t2における窒素酸素混合ガスに対するセンサ出力R0’を推定し、試料ガス中の検出対象のガス濃度に対応する出力を、センサ出力R0’/R1として算出しても良い。   Further, assuming that the measurement of the nitrogen-oxygen mixed gas of the reference gas is continued after time t = t1, the sensor output R0 ′ for the nitrogen-oxygen mixed gas at time t = t2 is estimated, and the gas to be detected in the sample gas The output corresponding to the density may be calculated as the sensor output R0 ′ / R1.

図6は図1乃至図5に示した本発明の第1の実施例の油中ガス分析装置におけるガス検出器15に設置された半導体センサS1−S7で検出した基準ガスと試料ガスに対するセンサ出力としてコンピュータ16に入力し、試料ガスに含まれる検出対象の各ガスのガス濃度を演算する場合の演算シーケンスを示す。   FIG. 6 shows sensor outputs for the reference gas and sample gas detected by the semiconductor sensors S1-S7 installed in the gas detector 15 in the gas-in-oil analyzer of the first embodiment of the present invention shown in FIGS. The calculation sequence in the case where the gas concentration of each gas to be detected included in the sample gas is calculated as shown in FIG.

前述したように、基準ガス、並びに検出対象の各種ガスに対応させて、予め、基準ガスと、特定の濃度における検出対象の各種ガスに対する半導体センサS1−S7のセンサ出力である電気抵抗Rを得ておく。   As described above, the electrical resistance R that is the sensor output of the semiconductor sensors S1-S7 with respect to the reference gas and various gases to be detected at a specific concentration is obtained in advance corresponding to the reference gas and various gases to be detected. Keep it.

図6において、基準ガスである窒素酸素混合ガスと試料ガスに対して特性が異なる複数の半導体センサS1−S7によって検出した出力をもとに、試料ガスに含まれる測定対象の各ガス成分の濃度をコンピュータ16に備えられた演算器201乃至演算器205によって算出する。使用する半導体センサは反応するガスの種類が少ない方が好ましい。   In FIG. 6, the concentration of each gas component to be measured contained in the sample gas based on the outputs detected by the plurality of semiconductor sensors S1-S7 having different characteristics from the nitrogen-oxygen mixed gas as the reference gas and the sample gas. Are calculated by the calculators 201 to 205 provided in the computer 16. It is preferable that the semiconductor sensor to be used has fewer types of reacting gases.

試料ガスに含まれる測定対象の各種ガスのガス濃度を算出する手順として、まず、半導体センサS1−S7のうち、少数の半導体センサで検出した出力によって濃度を求めることが可能なガス成分から先にガス濃度を求めていく。   As a procedure for calculating the gas concentration of various gases to be measured included in the sample gas, first, of the semiconductor sensors S1 to S7, the gas components whose concentrations can be obtained from the outputs detected by a small number of semiconductor sensors are firstly selected. Find the gas concentration.

次に、残りの半導体センサで検出した出力を用いて、反応特性とガス濃度との関係を表した計算式に、先に求めたガス成分の濃度を代入して未知のガス濃度を算出する。このような計算を繰り返して未知のガス濃度を求めていき、未知のガス濃度の数を計算により順次減らして最終的にすべてのガス成分の濃度を計算で求める。   Next, using the outputs detected by the remaining semiconductor sensors, the unknown gas concentration is calculated by substituting the previously determined gas component concentration into a calculation formula representing the relationship between the reaction characteristics and the gas concentration. Such calculation is repeated to obtain an unknown gas concentration, and the number of unknown gas concentrations is sequentially reduced by calculation to finally obtain the concentrations of all gas components by calculation.

本実施例では、水素、一酸化炭素、アセチレン、エチレン、メタン、エタンの順でその濃度を算出する。   In this embodiment, the concentrations are calculated in the order of hydrogen, carbon monoxide, acetylene, ethylene, methane, and ethane.

半導体センサS1−S7のうち、少数の半導体センサによって濃度を求めることが可能なガス成分から先にガス濃度を求めていくことにより、ガス濃度算出の計算量を減らすことができ、また、検出対象のガスに対する検出精度も向上する。   Of the semiconductor sensors S1 to S7, by calculating the gas concentration first from the gas components whose concentration can be determined by a small number of semiconductor sensors, the calculation amount of the gas concentration calculation can be reduced, and the detection target The detection accuracy for the gas is also improved.

また、図6に示したガス濃度を演算する演算シーケンスにおいて、演算器201乃至演算器205によって算出した試料ガスに含まれる検出対象の水素、一酸化炭素、アセチレン、エチレン、メタン、エタンの各ガス濃度の演算値を監視装置210に入力して常時監視することも可能である。   Further, in the calculation sequence for calculating the gas concentration shown in FIG. 6, hydrogen, carbon monoxide, acetylene, ethylene, methane, and ethane gases to be detected included in the sample gas calculated by the calculators 201 to 205. It is also possible to constantly monitor by inputting the calculated value of the concentration into the monitoring device 210.

この場合、前記検出対象の各ガス濃度の許容値を設定装置220から監視装置210に入力しておけば、これらの許容値を越えた検出対象の各ガス濃度に対して監視装置210にて警報を出すことも可能となる。また、表示装置230には前記検出対象の各ガス濃度と警報表示を監視装置210から表示させることも可能である。   In this case, if the permissible value of each gas concentration of the detection target is input from the setting device 220 to the monitoring device 210, the monitoring device 210 issues an alarm for each gas concentration of the detection target exceeding these permissible values. Can also be issued. Further, the display device 230 can display the gas concentration of each detection target and an alarm display from the monitoring device 210.

次に、本実施例において、検出対象のガス濃度と半導体センサの検出特性との間に線形性が成立する場合について、ガス濃度の算出方法を説明する。   Next, in this embodiment, a method for calculating the gas concentration will be described in the case where linearity is established between the gas concentration to be detected and the detection characteristics of the semiconductor sensor.

図6において、基準ガスである窒素酸素混合ガス及び試料ガスを検出する場合のガス濃度算出について説明する。まず、試料ガスから水素の濃度NH2を求める場合、センサS1が検出した出力G1と検出対象のガスである水素の濃度NH2についての検量線(検出濃度とセンサ出力の電気抵抗の比)は、演算器201に登録された関数式である(式1)で表わされる。   In FIG. 6, the gas concentration calculation in the case of detecting the nitrogen-oxygen mixed gas and the sample gas as the reference gas will be described. First, when obtaining the hydrogen concentration NH2 from the sample gas, the calibration curve (the ratio of the detected concentration to the electrical resistance of the sensor output) for the output G1 detected by the sensor S1 and the hydrogen concentration NH2 as the gas to be detected is calculated. It is expressed by (Expression 1) which is a function expression registered in the device 201.

G1=1+A11・(NH2)B11 ・・・(式1)
ここで、A11、B11はセンサS1によって水素と空気との混合ガスを測定して求めた定数である。
G1 = 1 + A11 ・ (NH2) B11 ... (Formula 1)
Here, A11 and B11 are constants obtained by measuring a mixed gas of hydrogen and air by the sensor S1.

センサS1が検出した出力を演算器201の(式1)におけるG1に代入することにより水素濃度NH2が演算により求められる。   By substituting the output detected by the sensor S1 into G1 in (Equation 1) of the calculator 201, the hydrogen concentration NH2 is obtained by calculation.

次に試料ガスから一酸化炭素の濃度NCOを求める場合、センサS2が検出した出力G2と水素の濃度NH2、一酸化炭素の濃度NCOについての検量線は、演算器202に登録された関数式である(式2)で表わされる。   Next, when obtaining the carbon monoxide concentration NCO from the sample gas, the calibration curves for the output G2 detected by the sensor S2, the hydrogen concentration NH2, and the carbon monoxide concentration NCO are expressed by a function equation registered in the calculator 202. (Expression 2)

G2=1+NH2/(NH2+NCO)・A21・(NH2)B21+NCO/(NH2+NCO)A22・(NCO)B22 ・・・(式2)
ここで、A21、A22、B21、B22はセンサS2により水素と空気の混合ガスおよび一酸化炭素と空気の混合ガスを測定して求めた定数である。
G2 = 1 + NH2 / (NH2 + NCO) ・ A21 ・ (NH2) B21 + NCO / (NH2 + NCO) A22 ・ (NCO) B22・ ・ ・ (Formula 2)
Here, A21, A22, B21, and B22 are constants obtained by measuring the mixed gas of hydrogen and air and the mixed gas of carbon monoxide and air by the sensor S2.

センサS2の出力を演算器202の(式2)におけるG2に、先に求めた水素濃度をNH2に代入して一酸化炭素濃度NCOが演算により求められる。   The carbon monoxide concentration NCO is calculated by substituting the output of the sensor S2 for G2 in (Equation 2) of the calculator 202 and the previously determined hydrogen concentration for NH2.

次に試料ガスからアセチレンの濃度NC2H2を求める場合、センサS3が検出した出力G3と一酸化炭素の濃度NCO、アセチレンの濃度NC2H2についての検量線は、演算器203に登録された関数式である(式3)で表わされる。   Next, when obtaining the acetylene concentration NC2H2 from the sample gas, the calibration curves for the output G3, the carbon monoxide concentration NCO, and the acetylene concentration NC2H2 detected by the sensor S3 are function equations registered in the calculator 203 ( It is expressed by equation 3).

G3=1+NCO/(NCO+NC2H2)・A31・(NCO)B31+NC2H2/(NCO+NC2H2)A32・(NC2H2)B32・・・(式3)
ここで、A31、A32、B31、B32はセンサS3により一酸化炭素と空気の混合ガスおよびアセチレンと空気の混合ガスを測定して求めた定数である。センサS3の出力を式のG3に、先に求めた一酸化炭素濃度をNCOに代入してアセチレン濃度NC2H2が演算により求められる。
G3 = 1 + NCO / (NCO + NC2H2) ・ A31 ・ (NCO) B31 + NC2H2 / (NCO + NC2H2) A32 ・ (NC2H2) B32・ ・ ・ (Formula 3)
Here, A31, A32, B31, and B32 are constants obtained by measuring the mixed gas of carbon monoxide and air and the mixed gas of acetylene and air by the sensor S3. The acetylene concentration NC2H2 is obtained by calculation by substituting the output of the sensor S3 for G3 in the equation and the previously obtained carbon monoxide concentration for NCO.

次に試料ガスからエチレンの濃度NC2H4を求める場合、センサS4の出力G4とアセチレンの濃度NC2H2、エチレンの濃度NC2H4についての検量線は、演算器204に登録された関数式である(式4)で表わされる。   Next, when determining the ethylene concentration NC2H4 from the sample gas, the calibration curves for the output G4 of the sensor S4, the acetylene concentration NC2H2, and the ethylene concentration NC2H4 are the function equations registered in the calculator 204 (Equation 4). Represented.

G4=1+NC2H2/(NC2H2+NC2H4)・A41・(NC2H2)B41+NC2H4/(NC2H2+NC2H4)A42・(NC2H4)B42
・・・(式4)
ここで、A41、A42、B41、B42はセンサS4によりアセチレンと空気の混合ガスおよびエチレンと空気の混合ガスを測定して求めた定数である。
G4 = 1 + NC2H2 / (NC2H2 + NC2H4) ・ A41 ・ (NC2H2) B41 + NC2H4 / (NC2H2 + NC2H4) A42 ・ (NC2H4) B42
... (Formula 4)
Here, A41, A42, B41, and B42 are constants obtained by measuring the mixed gas of acetylene and air and the mixed gas of ethylene and air by the sensor S4.

センサS4の出力を演算器204の(式4)におけるG4に、先に求めたアセチレン濃度をNC2H2に代入してエチレン濃度NC2H2が演算により求められる。   The ethylene concentration NC2H2 is calculated by substituting the output of the sensor S4 for G4 in (Equation 4) of the calculator 204 and the acetylene concentration determined previously for NC2H2.

次に試料ガスからメタンの濃度NCH4、エタンの濃度NC2H6を求める場合、センサS5の出力G5と水素の濃度NH2、一酸化炭素の濃度NCO、アセチレンの濃度NC2H2、エチレンの濃度NC2H4、メタンの濃度NCH4、エタンの濃度NC2H6についての検量線は、演算器205に登録された関数式である(式5)で表わされる。   Next, when obtaining the methane concentration NCH4 and ethane concentration NC2H6 from the sample gas, the output G5 of the sensor S5 and the hydrogen concentration NH2, the carbon monoxide concentration NCO, the acetylene concentration NC2H2, the ethylene concentration NC2H4, and the methane concentration NCH4 The calibration curve for the ethane concentration NC2H6 is expressed by (Equation 5), which is a function equation registered in the calculator 205.

G5= 1 + A51・NH2/(NH2+NCO+NC2H2+NC2H4+NC2H6+NCH4)・(NH2)B51
+ A52・NCO/(NH2+NCO+NC2H2+NC2H4+NC2H6+NCH4)・(NCO)B52
+ A53・NC2H2/(NH2+NCO+NC2H2+NC2H4+NC2H6+NCH4)・(NC2H2)B53
+ A54・NC2H4/(NH2+NCO+NC2H2+NC2H4+NC2H6+NCH4)・(NC2H4)B54
+ A55・NCH4/(NH2+NCO+NC2H2+NC2H4+NC2H6+NCH4)・(NCH4)B55
+ A56・NC2H6/(NH2+NCO+NC2H2+NC2H4+NC2H6+NCH4)・(NC2H6)B56
・・・(式5)
ここで、A51、A52、A53、A54、A55、A56、B51、B52、B53、B54、B55、B56はセンサS5により水素と空気の混合ガス、一酸化炭素と空気の混合ガス、アセチレンと空気の混合ガス、エチレンと空気の混合ガス、メタンと空気の混合ガス、エタンと空気の混合ガスを測定して求めた定数である。
G5 = 1 + A51 ・ NH2 / (NH2 + NCO + NC2H2 + NC2H4 + NC2H6 + NCH4) ・ (NH2) B51
+ A52 ・ NCO / (NH2 + NCO + NC2H2 + NC2H4 + NC2H6 + NCH4) ・ (NCO) B52
+ A53 ・ NC2H2 / (NH2 + NCO + NC2H2 + NC2H4 + NC2H6 + NCH4) ・ (NC2H2) B53
+ A54 ・ NC2H4 / (NH2 + NCO + NC2H2 + NC2H4 + NC2H6 + NCH4) ・ (NC2H4) B54
+ A55 ・ NCH4 / (NH2 + NCO + NC2H2 + NC2H4 + NC2H6 + NCH4) ・ (NCH4) B55
+ A56 · NC2H6 / (NH2 + NCO + NC2H2 + NC2H4 + NC2H6 + NCH4) · (NC2H6) B56
... (Formula 5)
Here, A51, A52, A53, A54, A55, A56, B51, B52, B53, B54, B55, B56 are detected by the sensor S5 as a mixed gas of hydrogen and air, mixed gas of carbon monoxide and air, acetylene and air. It is a constant obtained by measuring a mixed gas, a mixed gas of ethylene and air, a mixed gas of methane and air, and a mixed gas of ethane and air.

また、試料ガスからメタンの濃度NCH4、エタンの濃度NC2H6を求める場合、センサS6の出力G6と水素の濃度NH2、一酸化炭素の濃度NCO、アセチレンの濃度NC2H2、エチレンの濃度NC2H4、メタンの濃度NCH4、エタンの濃度NC2H6についての検量線は、演算器205に登録された別の関数式である(式6)で表わされる。   When obtaining the methane concentration NCH4 and ethane concentration NC2H6 from the sample gas, the output G6 of the sensor S6 and the hydrogen concentration NH2, the carbon monoxide concentration NCO, the acetylene concentration NC2H2, the ethylene concentration NC2H4, and the methane concentration NCH4 The calibration curve for the ethane concentration NC2H6 is represented by (Equation 6), which is another functional equation registered in the calculator 205.

G6= 1
+ A61・NH2/(NH2+NCO+NC2H2+NC2H4+NC2H6+NCH4)・(NH2)B61
+ A62・NCO/(NH2+NCO+NC2H2+NC2H4+NC2H6+NCH4)・(NCO)B62
+ A63・NC2H2/(NH2+NCO+NC2H2+NC2H4+NC2H6+NCH4)・(NC2H2)B63
+ A64・NC2H4/(NH2+NCO+NC2H2+NC2H4+NC2H6+NCH4)・(NC2H4)B64
+ A65・NCH4/(NH2+NCO+NC2H2+NC2H4+NC2H6+NCH4)・(NCH4)B65
+ A66・NC2H6/(NH2+NCO+NC2H2+NC2H4+NC2H6+NCH4)・(NC2H6)B66
・・・(式6)
ここで、A61、A62、A63、A64、A65、A66、B61、B62、B63、B64、B65、B66はセンサS6により水素と空気の混合ガス、一酸化炭素と空気の混合ガス、アセチレンと空気の混合ガス、エチレンと空気の混合ガス、メタンと空気の混合ガス、エタンと空気の混合ガスを測定して求めた定数である。
G6 = 1
+ A61 ・ NH2 / (NH2 + NCO + NC2H2 + NC2H4 + NC2H6 + NCH4) ・ (NH2) B61
+ A62 ・ NCO / (NH2 + NCO + NC2H2 + NC2H4 + NC2H6 + NCH4) ・ (NCO) B62
+ A63 ・ NC2H2 / (NH2 + NCO + NC2H2 + NC2H4 + NC2H6 + NCH4) ・ (NC2H2) B63
+ A64 ・ NC2H4 / (NH2 + NCO + NC2H2 + NC2H4 + NC2H6 + NCH4) ・ (NC2H4) B64
+ A65 ・ NCH4 / (NH2 + NCO + NC2H2 + NC2H4 + NC2H6 + NCH4) ・ (NCH4) B65
+ A66 ・ NC2H6 / (NH2 + NCO + NC2H2 + NC2H4 + NC2H6 + NCH4) ・ (NC2H6) B66
... (Formula 6)
Here, A61, A62, A63, A64, A65, A66, B61, B62, B63, B64, B65, and B66 are detected by a sensor S6 of hydrogen / air mixed gas, carbon monoxide / air mixed gas, acetylene / air mixed gas. It is a constant obtained by measuring a mixed gas, a mixed gas of ethylene and air, a mixed gas of methane and air, and a mixed gas of ethane and air.

センサS5、センサS6の出力をそれぞれ演算器205の(式5)におけるG5、並びに演算器205の(式6)におけるG6に、(式5)、(式6)のNH2、NCO、NC2H2、NC2H4に先に求めたガス濃度を代入して連立方程式とする。NCH4、NC2H6について解くことにより、メタンとエタンの濃度が演算により求められる。   The outputs of the sensors S5 and S6 are respectively converted into G5 in (Expression 5) of the calculator 205 and G6 in (Expression 6) of the calculator 205, and NH2, NCO, NC2H2, NC2H4 in (Expression 5) and (Expression 6). Substituting the previously obtained gas concentration for the simultaneous equations. By solving for NCH4 and NC2H6, the concentrations of methane and ethane can be calculated.

以上より、水素、一酸化炭素、メタン、エタン、エチレン、アセチレンの濃度が演算により夫々求められる。   From the above, the concentrations of hydrogen, carbon monoxide, methane, ethane, ethylene, and acetylene are obtained by calculation.

本発明の実施例によれば、汎用性のある半導体センサを使用して、検出の再現性が高い各種ガスの濃度の検出を可能にした、油中ガス分析装置、油中ガス分析装置を備えた変圧器、及び油中ガスの分析方法を実現することが可能となる。   According to an embodiment of the present invention, there is provided an in-oil gas analyzer and an in-oil gas analyzer that enable detection of various gas concentrations with high reproducibility of detection using a versatile semiconductor sensor. It is possible to realize a transformer and an analysis method for gas in oil.

本発明の第2の実施例として、図7は本発明の他の実施例である油中ガス分析装置の構成を示すものであり、内部に絶縁油が封入された機器に対応した可搬型の油中ガス分析装置である。本実施例の油中ガス分析装置は、水素およびアセチレンについて油中ガス分析を行なう。   As a second embodiment of the present invention, FIG. 7 shows the structure of an in-oil gas analyzer as another embodiment of the present invention, which is a portable type corresponding to a device in which insulating oil is enclosed. This is a gas analyzer in oil. The in-oil gas analyzer of this embodiment performs an in-oil gas analysis for hydrogen and acetylene.

図7に示した本実施例の油中ガス分析装置30は、図1、図3及び図4に示した第1の実施例と基本構成は共通であるので、共通の構成の部分についてはその説明を省略し、相違する部分について説明する。   The oil-in-gas analyzer 30 of the present embodiment shown in FIG. 7 has the same basic configuration as the first embodiment shown in FIGS. The description will be omitted, and different parts will be described.

図7において、可搬型の油中ガス分析装置は、油中ガスの分析が必要な図示していない分析対象の機器の内部には絶縁油2が充填されている。油中ガス分析装置30は絶縁油注入器501を備えており、弁503を備えた配管25Cを通じて絶縁油注入器501と連通したガス抽出器3を設置することにより、ガス抽出器3にてバブリング法により絶縁油注入器501で採取した絶縁油2の油中に発生するガスの抽出を行なう。   In FIG. 7, the portable oil-in-gas analyzer is filled with insulating oil 2 inside an analysis target device (not shown) that requires analysis of oil-in-gas. The oil-in-gas analyzer 30 includes an insulating oil injector 501, and the gas extractor 3 is bubbled by installing the gas extractor 3 communicating with the insulating oil injector 501 through a pipe 25 </ b> C having a valve 503. The gas generated in the oil 2 of the insulating oil 2 collected by the insulating oil injector 501 is extracted by the method.

この絶縁油注入器501はシリンダ形状で、油中ガスの分析対象の機器に封入されている絶縁油2を採取し、採取した絶縁油2をガス抽出器3に所定量だけ供給する。ガス抽出器3の底部には弁502を備えた油排出口504が設けられており、分析対象の油中ガスを抽出した後の絶縁油2を外部に排出する。   This insulating oil injector 501 has a cylinder shape, collects the insulating oil 2 sealed in the device to be analyzed for the gas in oil, and supplies the collected insulating oil 2 to the gas extractor 3 by a predetermined amount. An oil discharge port 504 provided with a valve 502 is provided at the bottom of the gas extractor 3, and the insulating oil 2 after extracting the gas in oil to be analyzed is discharged to the outside.

空気浄化装置31が設置されており、大気中より取り入れた空気から有機ガスを除去し、湿度を調整して空気を清浄にした基準ガスとなる清浄な空気を、空気供給配管18Fを通じて四方切替え弁10に導く。   An air purifying device 31 is installed, and a four-way switching valve is provided through the air supply pipe 18F to clean air that becomes a reference gas by removing organic gas from the air taken from the atmosphere and adjusting the humidity to clean the air. Lead to 10.

四方切替え弁10を切替え操作することにより、空気浄化装置31から空気供給配管18F及びガス抽出系配管18C1を通じて清浄な空気を不活性ガスとしてガス抽出器3に供給する流路を形成する。尚、空気浄化装置31の代わりに、清浄な空気を貯蔵した空気ボンベを使用しても良い。   By switching the four-way switching valve 10, a flow path for supplying clean air as an inert gas from the air purification device 31 to the gas extractor 3 through the air supply pipe 18F and the gas extraction system pipe 18C1 is formed. In place of the air purification device 31, an air cylinder storing clean air may be used.

また、四方切替え弁10は、絶縁油2の油中に発生した油中溶存ガス混合ガスをガス抽出器3から導出するガス抽出系配管18C2と、このガス抽出系配管18C2を通じて導かれた油中溶存ガス混合ガスをガス調整装置13に導く油中溶存ガス混合ガス供給配管18Dとに接続するように構成されている。   The four-way switching valve 10 includes a gas extraction system pipe 18C2 through which the gas-in-oil dissolved gas mixed gas generated in the oil of the insulating oil 2 is led out from the gas extractor 3, and the oil introduced through the gas extraction system pipe 18C2. The dissolved gas mixed gas is configured to be connected to an oil-in-oil dissolved gas mixed gas supply pipe 18 </ b> D that leads the gas adjusting device 13.

そして、この四方切替え弁10を切替え操作することにより、ガス抽出器3からガス抽出系配管18C2及び油中溶存ガス混合ガス供給配管18Dを通じて油中溶存ガス混合ガスを後述する温度調節器14に流下させて所定の温度に調整してガス検出器15に供給する流路を形成する。   Then, by switching this four-way switching valve 10, the dissolved gas mixture in the oil flows down from the gas extractor 3 to the temperature controller 14 described later through the gas extraction system pipe 18C2 and the dissolved oil mixed gas supply pipe 18D. Thus, a flow path that is adjusted to a predetermined temperature and supplied to the gas detector 15 is formed.

前記ガス抽出系配管18C1にはエアポンプ11が配設されており、このエアポンプ11を稼動させることにより前述した第1の実施例と同様にバブリングを行なうようになっている。   The gas extraction system pipe 18C1 is provided with an air pump 11. By operating the air pump 11, bubbling is performed in the same manner as in the first embodiment.

そして、ガス抽出器3にフィルタ12を設けて、絶縁油2の油中に発生した油中溶存ガス混合ガスをガス抽出器3から四方切替え弁10に導出する際に、油中溶存ガス混合ガスに霧状となって混入した絶縁油を除去している。   When the filter 12 is provided in the gas extractor 3 and the dissolved gas mixture in oil generated in the oil of the insulating oil 2 is led out from the gas extractor 3 to the four-way switching valve 10, the dissolved gas mixture in oil is used. The insulating oil mixed in the form of mist is removed.

前記ガス検出器15には酸化スズ、酸化タングステン、酸化ジルコニウム等の金属酸化物からなる半導体センサが設置されており、この半導体センサによって試料ガスである窒素と酸素との混合ガス、及び窒素と酸素と油中溶存ガスとの混合ガスを夫々測定して、それらの測定値を出力信号としてコンピュータ16に出力する。   The gas detector 15 is provided with a semiconductor sensor made of a metal oxide such as tin oxide, tungsten oxide, or zirconium oxide. By this semiconductor sensor, a mixed gas of nitrogen and oxygen, which is a sample gas, and nitrogen and oxygen And the gas dissolved in the oil are measured, and the measured values are output to the computer 16 as output signals.

コンピュータ16では、ガス検知部15に設置された半導体センサからの出力信号をもとに油中溶存ガスのガス成分濃度を演算により算出し、算出された油中溶存ガスのガス成分濃度等をモニタ等に表示する。このコンピュータ16は、本発明の実施例に設置される油中ガス分析装置を構成するポンプ類のON、OFFや、切替え弁、排気弁類の切替え操作や開閉操作を各要素に指示するように構成されている。   The computer 16 calculates the gas component concentration of the dissolved gas in oil based on the output signal from the semiconductor sensor installed in the gas detection unit 15, and monitors the calculated gas component concentration of the dissolved gas in oil. Etc. The computer 16 instructs each element to turn on and off the pumps constituting the in-oil gas analyzer installed in the embodiment of the present invention, and to switch and open / close the switching valves and exhaust valves. It is configured.

次に、図7に示した本発明の第2の実施例である可搬型の油中ガス分析装置について、その油中ガス分析の各手順を図8に示す。図8において、測定操作は、まず測定準備111の手順を行なう。   Next, in the portable oil-in-gas analyzer of the second embodiment of the present invention shown in FIG. 7, each procedure of the gas-in-oil analysis is shown in FIG. In FIG. 8, the measurement operation starts with the procedure of measurement preparation 111.

次に油中溶存ガス抽出112の手順を行なう。油中溶存ガス抽出112の手順と並行して、基準ガスである空気ガス測定113の手順を行なう。最後に試料ガス測定114の手順を行なう。空気ガス測定113の手順及び試料ガス測定104の手順の各測定結果をもとに各成分ガスの濃度を算出するガス濃度算出115の手順を行なう。また、測定操作の各手順は繰り返し行なう。   Next, the procedure of the dissolved gas extraction 112 in oil is performed. In parallel with the procedure for extracting dissolved gas in oil 112, the procedure for measuring air gas 113, which is the reference gas, is performed. Finally, the procedure of the sample gas measurement 114 is performed. The procedure of gas concentration calculation 115 for calculating the concentration of each component gas based on the measurement results of the air gas measurement 113 procedure and the sample gas measurement 104 procedure is performed. Each procedure of the measurement operation is repeated.

詳細に説明すると、測定準備111の手順では、四方切替え弁10を図7に示すように操作して、空気浄化装置31から清浄な空気を空気供給配管18Fを通じて四方切替え弁10に供給する。   More specifically, in the procedure of the measurement preparation 111, the four-way switching valve 10 is operated as shown in FIG. 7 to supply clean air from the air purification device 31 to the four-way switching valve 10 through the air supply pipe 18F.

供給された清浄な空気は空気供給配管18Fから四方切替え弁10を経由して、ガス抽出系配管18C1からガス抽出器3に流入する。その後、清浄な空気はこのガス抽出器3を経由してガス抽出系配管18C2及び油中溶存ガス混合ガス供給配管18Dを流下して、空気供給配管18Fから油中溶存ガス混合ガス供給配管18Dに至るこれらの各機器及び流路内を清浄な空気にて置換する。   The supplied clean air flows into the gas extractor 3 from the gas extraction system pipe 18C1 via the four-way switching valve 10 from the air supply pipe 18F. Thereafter, clean air flows down the gas extraction system pipe 18C2 and the dissolved gas mixed gas supply pipe 18D in the oil via the gas extractor 3, and then flows from the air supply pipe 18F to the dissolved gas mixed gas supply pipe 18D in the oil. Each of these devices and the flow path are replaced with clean air.

次に、油中溶存ガス抽出112の手順では、図9に示すように四方切替え弁10を操作して切替える。そして、この四方切替え弁10の切替えによって、ガス抽出系配管18C1、ガス抽出系配管18C2及びガス抽出器3とで閉じた系となるような流路Aを形成する。   Next, in the procedure for extracting the dissolved gas in oil 112, the four-way switching valve 10 is operated as shown in FIG. Then, by switching the four-way switching valve 10, a flow path A that forms a closed system with the gas extraction system pipe 18 C 1, the gas extraction system pipe 18 C 2, and the gas extractor 3 is formed.

また、四方切替え弁10の切替えによって、清浄な空気を空気浄化装置31から空気供給配管18F及び四方切替え弁10を経由して温度調節器14に供給するような流路Bを形成する。そして、温度調節器14にて流路Bを流下する清浄な空気を設定温度に調整して基準ガスとなる清浄な空気を生成し、この基準ガスの清浄な空気をガス検知器15に供給する。   Further, by switching the four-way switching valve 10, a flow path B is formed so that clean air is supplied from the air purification device 31 to the temperature controller 14 via the air supply pipe 18 </ b> F and the four-way switching valve 10. Then, the clean air flowing down the flow path B is adjusted to a set temperature by the temperature controller 14 to generate clean air as a reference gas, and the clean air of the reference gas is supplied to the gas detector 15. .

前記流路Aではガス抽出操作を行なう。流路Aにおけるガス抽出の操作として、まず、ガス抽出器3に設けた開放弁4を開放した状態にしておき、絶縁油注入器201にて絶縁油2をガス抽出器3に注入する。   In the flow path A, a gas extraction operation is performed. As an operation of gas extraction in the flow path A, first, the open valve 4 provided in the gas extractor 3 is opened, and the insulating oil injector 201 injects the insulating oil 2 into the gas extractor 3.

次に、ガス抽出器3への絶縁油2の注入が完了すると同時に開放弁4を閉じ、流路Aを形成するガス抽出系配管18C1に設けたエアポンプ11を稼動させて、流路A内の清浄な空気を循環させてバブリングによりガス抽出器3に注入した絶縁油2に溶存している溶存ガスを清浄な空気中に抽出して採取し、試料ガスを製造する。   Next, as soon as the injection of the insulating oil 2 into the gas extractor 3 is completed, the release valve 4 is closed, and the air pump 11 provided in the gas extraction system pipe 18C1 that forms the flow path A is operated. Circulating clean air and extracting the dissolved gas dissolved in the insulating oil 2 injected into the gas extractor 3 by bubbling into clean air and collecting it to produce a sample gas.

次に、基準ガスである空気ガス測定113の手順では、四方切替え弁10の切替え操作によって形成される流路Bを通じて空気浄化装置31から温度調節器14に供給されて温度を調整された基準ガスとなる清浄な空気に対する測定をガス検知器15にて行なう。   Next, in the procedure of air gas measurement 113 which is a reference gas, the reference gas whose temperature is adjusted by being supplied from the air purification device 31 to the temperature controller 14 through the flow path B formed by the switching operation of the four-way switching valve 10. Measurement with respect to clean air is performed by the gas detector 15.

即ち、空気浄化装置31から空気供給配管18F及び四方切替え弁10を通じて清浄な空気を温度調節器14に供給し、温度調節器14にて設定温度に調節した基準ガスとなる清浄な空気を生成してガス検知器15に供給する。ガス検出器15に設置された半導体センサS1−S7で検出される基準ガスの清浄な空気を検出した出力が安定したところで、その検出した出力を基準ガスである清浄な空気に対するセンサ出力としてコンピュータ16に入力する。   That is, clean air is supplied from the air purifying device 31 to the temperature controller 14 through the air supply pipe 18F and the four-way switching valve 10, and clean air that becomes the reference gas adjusted to the set temperature by the temperature controller 14 is generated. Supplied to the gas detector 15. When the output obtained by detecting the clean air of the reference gas detected by the semiconductor sensors S1-S7 installed in the gas detector 15 becomes stable, the detected output is used as a sensor output for the clean air that is the reference gas. To enter.

次に、試料ガス測定114の手順では、図10に示すように四方切替え弁10を切替え、空気浄化装置31から空気供給配管18F、四方切替え弁10、及びガス抽出系配管18C1を通じてガス抽出器3に供給し、供給された清浄な空気をこのガス抽出器3からガス抽出系配管18C2及び油中溶存ガス混合ガス供給配管18Dを通じて温度調節器14に流下させる。   Next, in the procedure of the sample gas measurement 114, the four-way switching valve 10 is switched as shown in FIG. 10, and the gas extractor 3 is switched from the air purifier 31 through the air supply pipe 18F, the four-way switching valve 10, and the gas extraction system pipe 18C1. The supplied clean air is caused to flow down from the gas extractor 3 to the temperature controller 14 through the gas extraction system pipe 18C2 and the dissolved gas mixed gas supply pipe 18D.

これらの操作によって、流路A内の採取された油中溶存ガス混合ガスは浄化装置31から供給された清浄な空気により押し出され、四方切替え弁10を経由して温度調節器14に導かれる。   By these operations, the gas-in-oil dissolved gas mixed gas collected in the flow path A is pushed out by the clean air supplied from the purification device 31 and guided to the temperature controller 14 via the four-way switching valve 10.

導かれた油中溶存ガス混合ガスは、温度調節器14にて設定温度に調節されて試料ガスを生成する。そして、この生成した試料ガスをガス検知器15に供給して、試料ガスの成分濃度を検出することになる。   The introduced dissolved gas mixed gas in oil is adjusted to a set temperature by the temperature controller 14 to generate a sample gas. Then, the generated sample gas is supplied to the gas detector 15 to detect the component concentration of the sample gas.

ガス検知器15に設けた半導体センサS1、S3、S4に供給される気体が基準ガスの空気から試料ガスに切り替わることにより、半導体センサS1、S3、S4で検出する試料ガスのセンサ出力は供給される気体の切替え前後で大きく変化する。   When the gas supplied to the semiconductor sensors S1, S3, and S4 provided in the gas detector 15 is switched from the reference gas air to the sample gas, the sensor output of the sample gas detected by the semiconductor sensors S1, S3, and S4 is supplied. It changes greatly before and after gas switching.

センサ出力の変化後でセンサ出力がほぼ一定に安定したところで、これらのセンサ出力を試料ガスに対する半導体センサS1、S3、S4の各センサ出力としてコンピュータ16に入力する。   When the sensor output stabilizes substantially constant after the change of the sensor output, these sensor outputs are input to the computer 16 as the respective sensor outputs of the semiconductor sensors S1, S3, S4 with respect to the sample gas.

このガス検知器15に設けた半導体センサS1、S3、S4で検出される基準ガス並びに試料ガスについてのセンサ出力は、図示を省略するが前述の図5と同様のものである。   Sensor outputs for the reference gas and the sample gas detected by the semiconductor sensors S1, S3, and S4 provided in the gas detector 15 are the same as those shown in FIG.

そして、これらの基準ガスに対するセンサ出力の電気抵抗R0と、試料ガスの中の測定対象ガスに対するセンサ出力の電気抵抗R1を計測して、コンプータ16にて両者のセンサ出力の比R0/R1を算出して比較すれば、試料ガス中の測定対象ガスのガス濃度を正確に演算することができる。   Then, the electrical resistance R0 of the sensor output with respect to these reference gases and the electrical resistance R1 of the sensor output with respect to the measurement target gas in the sample gas are measured, and the ratio R0 / R1 of both sensor outputs is calculated by the computer 16. Thus, the gas concentration of the measurement target gas in the sample gas can be accurately calculated.

図11は図7乃至図10に示した本発明の第2の実施例の油中ガス分析装置におけるガス検出器15に設置された半導体センサS1、S3、S4で検出した基準ガスと試料ガスに対するセンサ出力としてコンピュータ16に入力し、試料ガスに含まれる検出対象の各ガスのガス濃度を演算する場合の演算シーケンスを示す。   FIG. 11 shows the reference gas and sample gas detected by the semiconductor sensors S1, S3, and S4 installed in the gas detector 15 in the gas-in-oil analyzer of the second embodiment of the present invention shown in FIGS. A calculation sequence in the case of inputting the sensor output to the computer 16 and calculating the gas concentration of each gas to be detected included in the sample gas is shown.

第1の実施例の場合と同様に、基準ガス、並びに検出対象の各種ガスに対応させて、予め、基準ガスと、特定の濃度における検出対象の各種ガスに対する半導体センサS1、S3、S4のセンサ出力である電気抵抗Rを得ておく。   As in the case of the first embodiment, the sensors of the semiconductor sensors S1, S3, and S4 corresponding to the reference gas and various gases to be detected at a specific concentration in advance corresponding to the reference gas and various gases to be detected. An electric resistance R as an output is obtained.

図11において、基準ガスである清浄な空気及び試料ガスに対して特性が異なる複数の半導体センサS1、S3、S4によって検出した出力をもとに、試料ガスに含まれる測定対象の各ガス成分の濃度をコンピュータ16に備えられた演算器301、演算器303及び演算器304によって算出する。使用する半導体センサは反応するガスの種類が少ない方が好ましい。   In FIG. 11, based on outputs detected by a plurality of semiconductor sensors S1, S3, and S4 having different characteristics with respect to clean air and sample gas that are reference gases, each gas component to be measured included in the sample gas The density is calculated by a calculator 301, a calculator 303, and a calculator 304 provided in the computer 16. It is preferable that the semiconductor sensor to be used has fewer types of reacting gases.

試料ガスに含まれる測定対象の各種ガスのガス濃度を算出する手順として、まず、半導体センサS1、S3、S4のうち、少数の半導体センサで検出した出力によって濃度を求めることが可能なガス成分から先にガス濃度を求めていく。   As a procedure for calculating the gas concentration of various gases to be measured included in the sample gas, first, out of the semiconductor components S1, S3, and S4, from the gas component whose concentration can be obtained by the output detected by a small number of semiconductor sensors. Find the gas concentration first.

次に、残りの半導体センサで検出した出力を用いて、反応特性とガス濃度との関係を表した計算式に、先に求めたガス成分の濃度を代入して未知のガス濃度を算出する。このような計算を繰り返して未知のガス濃度を求めていき、未知のガス濃度の数を計算により順次減らして最終的にすべてのガス成分の濃度を計算で求める。本実施例では、水素、アセチレン、エチレンの順でその濃度を算出する。   Next, using the outputs detected by the remaining semiconductor sensors, the unknown gas concentration is calculated by substituting the previously determined gas component concentration into a calculation formula representing the relationship between the reaction characteristics and the gas concentration. Such calculation is repeated to obtain an unknown gas concentration, and the number of unknown gas concentrations is sequentially reduced by calculation to finally obtain the concentrations of all gas components by calculation. In this embodiment, the concentrations are calculated in the order of hydrogen, acetylene, and ethylene.

半導体センサS1、S3、S4のうち、少数の半導体センサによって濃度を求めることが可能なガス成分から先にガス濃度を求めていくことにより、ガス濃度算出の計算量を減らすことができ、また、検出対象のガスに対する検出精度も向上する。   Of the semiconductor sensors S1, S3, and S4, by calculating the gas concentration first from the gas components that can be determined by a small number of semiconductor sensors, the amount of calculation for calculating the gas concentration can be reduced. The detection accuracy for the detection target gas is also improved.

また、図11に示したガス濃度を演算する演算シーケンスにおいて、演算器301、演算器303及び至演算器304によって算出した試料ガスに含まれる検出対象の水素、アセチレン、エチレンの各ガス濃度の演算値を監視装置310に入力して常時監視することも可能である。   Further, in the calculation sequence for calculating the gas concentration shown in FIG. 11, calculation of gas concentrations of hydrogen, acetylene, and ethylene to be detected included in the sample gas calculated by the calculator 301, the calculator 303, and the convener 304. It is also possible to constantly monitor by inputting a value to the monitoring device 310.

この場合、前記検出対象の各ガス濃度の許容値を設定装置320から監視装置310に入力しておけば、これらの許容値を越えた検出対象の各ガス濃度に対して監視装置310にて警報を出すことも可能となる。また、表示装置330には前記検出対象の各ガス濃度と警報表示を監視装置310から表示させることも可能である。   In this case, if the permissible value of each gas concentration of the detection target is input from the setting device 320 to the monitoring device 310, the monitoring device 310 issues an alarm for each gas concentration of the detection target exceeding these permissible values. Can also be issued. Further, the display device 330 can display the gas concentration of each detection target and an alarm display from the monitoring device 310.

次に、本実施例において、検出対象のガス濃度と半導体センサの検出特性との間に線形性が成立する場合について、ガス濃度の算出方法を説明する。   Next, in this embodiment, a method for calculating the gas concentration will be described in the case where linearity is established between the gas concentration to be detected and the detection characteristics of the semiconductor sensor.

図11において、基準ガスである清浄な空気及び試料ガスを検出する場合のガス濃度算出について説明する。まず、試料ガスから水素の濃度NH2を求める場合、センサS1が検出した出力G1と検出対象のガスである水素の濃度NH2についての検量線(検出濃度とセンサ出力の電気抵抗の比)は、演算器301に登録された関数式である(式7)で表わされる。   In FIG. 11, gas concentration calculation in the case of detecting clean air and sample gas as reference gases will be described. First, when obtaining the hydrogen concentration NH2 from the sample gas, the calibration curve (the ratio of the detected concentration to the electrical resistance of the sensor output) for the output G1 detected by the sensor S1 and the hydrogen concentration NH2 as the gas to be detected is calculated. It is expressed by (Expression 7) which is a function expression registered in the device 301.

G1=1+A11・(NH2)B11 ・・・(式7)
ここで、A11、B11はセンサS1によって水素と空気との混合ガスを測定して求めた定数である。
G1 = 1 + A11 ・ (NH2) B11 ... (Formula 7)
Here, A11 and B11 are constants obtained by measuring a mixed gas of hydrogen and air by the sensor S1.

センサS1が検出した出力を演算器301の(式7)におけるG1に代入することにより水素濃度NH2が演算により求められる。   By substituting the output detected by the sensor S1 into G1 in (Equation 7) of the calculator 301, the hydrogen concentration NH2 is obtained by calculation.

次に試料ガスからアセチレンの濃度NC2H2を求める場合、センサS3が検出した出力G3とアセチレンの濃度NC2H2、エチレンの濃度NC2H4についての検量線は、演算器303に登録された関数式である(式8)で表わされる。   Next, when obtaining the acetylene concentration NC2H2 from the sample gas, the calibration curves for the output G3, the acetylene concentration NC2H2, and the ethylene concentration NC2H4 detected by the sensor S3 are function equations registered in the calculator 303 (Equation 8). ).

G3=1+NC2H2/(NC2H2+NC2H4)・A31・(NC2H2)B31+NC2H4/(NC2H2+NC2H4)A32・(NC2H4)B32 ・・・(式8)
ここで、A31、A32、B31、B32はセンサS3によりアセチレンと空気の混合ガスおよびエチレンと空気の混合ガスを測定して求めた定数である。
G3 = 1 + NC2H2 / (NC2H2 + NC2H4) ・ A31 ・ (NC2H2) B31 + NC2H4 / (NC2H2 + NC2H4) A32 ・ (NC2H4) B32・ ・ ・ (Formula 8)
Here, A31, A32, B31, and B32 are constants obtained by measuring the mixed gas of acetylene and air and the mixed gas of ethylene and air by the sensor S3.

また、センサS4の出力G4とアセチレンの濃度NC2H2、エチレンの濃度NC2H4についての検量線は、演算器304に登録された関数式である(式9)で表わされる。   Further, the calibration curves for the output G4 of the sensor S4, the acetylene concentration NC2H2, and the ethylene concentration NC2H4 are expressed by a function equation registered in the calculator 304 (Equation 9).

G4=1+NC2H2/(NC2H2+NC2H4)・A41・(NC2H2)B41+NC2H4/(NC2H2+NC2H4)A42・(NC2H4)B42 ・・・(式9)
ここで、A41、A42、B41、B42はセンサS4によりアセチレンと空気の混合ガスおよびエチレンと空気の混合ガスを測定して求めた定数である。
G4 = 1 + NC2H2 / (NC2H2 + NC2H4) ・ A41 ・ (NC2H2) B41 + NC2H4 / (NC2H2 + NC2H4) A42 ・ (NC2H4) B42・ ・ ・ (Formula 9)
Here, A41, A42, B41, and B42 are constants obtained by measuring the mixed gas of acetylene and air and the mixed gas of ethylene and air by the sensor S4.

センサS3、センサS4の各出力を演算器303の関数式である(式8)のG3、演算器304の関数式である(式9)のG4に夫々代入して連立方程式とする。NCH4、NC2H6について解くことにより、エチレンとアセチレンの濃度が演算により求められる。以上より、水素、アセチレンの濃度が演算により夫々求められる。   The respective outputs of the sensors S3 and S4 are respectively substituted into G3 of (Equation 8) which is a function expression of the computing unit 303 and G4 of (Equation 9) which is a function expression of the computing unit 304 to obtain simultaneous equations. By solving for NCH4 and NC2H6, the concentrations of ethylene and acetylene can be obtained by calculation. From the above, the concentrations of hydrogen and acetylene are obtained by calculation.

本発明の第3の実施例として、複数の油入変圧器を一括監視して油入変圧器に封入された油中ガスを分析して監視を行なう油入変圧器の監視システムについて説明する。   As a third embodiment of the present invention, a monitoring system for an oil-filled transformer will be described in which a plurality of oil-filled transformers are collectively monitored and the gas in the oil enclosed in the oil-filled transformer is analyzed and monitored.

図12は複数の油入変圧器1を一括監視している場合の監視システムの実施例を示す。通信手段付の油中ガス分析装置401、402、403と中央監視装置420は、電話回線430、携帯電話回線450、及び/或いは無線440を介して、交信することが可能である。   FIG. 12 shows an embodiment of a monitoring system when a plurality of oil-filled transformers 1 are collectively monitored. The oil-in-gas analyzers 401, 402, and 403 with the communication means and the central monitoring device 420 can communicate with each other via the telephone line 430, the mobile telephone line 450, and / or the radio 440.

通信装置付の夫々の油中ガス分析装置401、402、403には、油入変圧器1と、この油入変圧器1に封入された絶縁油2に含有される各種ガスを採取して分析する油中ガス分析装置20及び30と、この油中ガス分析装置20及び30で検出された各種ガスを監視する監視装置210及び310が複数組備えられている。   Each oil-in-gas analyzer 401, 402, 403 with a communication device collects and analyzes the oil-filled transformer 1 and various gases contained in the insulating oil 2 sealed in the oil-filled transformer 1. In-oil gas analyzers 20 and 30 and a plurality of monitoring devices 210 and 310 for monitoring various gases detected by the oil-in-gas analyzers 20 and 30 are provided.

そして、これらの通信装置付の油中ガス分析装置401、402、403をLANで結びHUBに集結して、油中ガス分析装置20及び30で採取し分析した各種ガスの濃度や監視結果のデータを中央監視装置420に送信するように構成されている。   These oil-in-gas analyzers 401, 402, and 403 with communication devices are connected by a LAN and concentrated in the HUB, and data of concentrations and monitoring results of various gases collected and analyzed by the oil-in-gas analyzers 20 and 30 are analyzed. Is transmitted to the central monitoring device 420.

送信されるデータの送受信は常時行なう必要はなく、定期的にデータを送受信すればよい。中央監視装置420は、送られてきたデータの再現性を確認したい場合や監視による診断結果を受けて監視を強化したい場合には、再測定をしたり、測定間隔を短くしたりして油中ガス分析の指示をすることができる。   Transmission / reception of transmitted data need not always be performed, and data may be transmitted / received periodically. If the central monitoring device 420 wants to confirm the reproducibility of the data sent or if it wants to strengthen the monitoring based on the diagnostic result of the monitoring, it remeasures or shortens the measurement interval in the oil. You can give instructions for gas analysis.

また、診断結果が異常であれば、より高精度なガス分析や油入変圧器の停止などの対策をとることもできる。また、中央監視装置420では、通信手段付の油中ガス分析装置401、402、403の動作の確認や、エアボンベの空気残量の確認をすることができるようになっている。   In addition, if the diagnosis result is abnormal, measures such as more accurate gas analysis and oil-filled transformer stoppage can be taken. Further, the central monitoring device 420 can confirm the operation of the oil-in-gas analyzers 401, 402, and 403 with communication means and confirm the remaining amount of air in the air cylinder.

このシステムは遠隔地に設置された油入変圧器や点在する油入変圧器を一括監して視するのに有効である。また、通信手段付の油中ガス分析装置401、402、403と中央監装置420をLANで直接結ぶシステムや、個々の通信手段付の油中ガス分析装置401、402、403が中央監視装置420と電話回線、携帯電話回線により直接交信するシステムを構築しても良い。   This system is effective for monitoring and supervising oil-filled transformers installed in remote locations and scattered oil-filled transformers. Further, a system for directly connecting the oil-in-gas analyzers 401, 402, 403 with communication means and the central supervisor 420 with a LAN, or the oil-in-gas analyzers 401, 402, 403 with individual communication means are the central monitor 420. A system for directly communicating with a telephone line or a mobile phone line may be constructed.

また、各種ガスのガス濃度を検出する各半導体センサの検出出力を中央監視装置420で受信して、中央監視装置420にて各種ガスのガス濃度の算出を行っても良い。   Alternatively, the central monitoring device 420 may receive the detection output of each semiconductor sensor that detects the gas concentration of various gases, and the central monitoring device 420 may calculate the gas concentrations of the various gases.

本発明の実施例によっても、汎用性のある半導体センサを使用して、検出の再現性が高い各種ガスの濃度の検出を可能にした、油中ガス分析装置、油中ガス分析装置を備えた変圧器、及び油中ガスの分析方法を実現することが可能となる。   Also according to the embodiment of the present invention, there is provided an in-oil gas analyzer and an in-oil gas analyzer capable of detecting various gas concentrations with high reproducibility of detection using a versatile semiconductor sensor. It becomes possible to realize a transformer and a method for analyzing gas in oil.

本発明は、油が内蔵された変圧器等の機器の油中ガス分析装置、油中ガス分析装置を備えた変圧器、及び油が内蔵された変圧器等の機器の油中ガスの分析方法に適用可能である。   The present invention relates to an oil-in-gas analyzer for a device such as a transformer with a built-in oil, a transformer provided with a gas-in-oil analyzer, and a method for analyzing a gas in oil of a device such as a transformer with a built-in oil. It is applicable to.

本発明の一実施例である油入変圧器に設置される油中ガス分析装置の構成を示す全体構成図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The whole block diagram which shows the structure of the gas analyzer in oil installed in the oil-filled transformer which is one Example of this invention. 図1に示した本発明の一実施例である油中ガス分析装置における油中ガス分析の手順を示すフロー図。The flowchart which shows the procedure of the gas analysis in oil in the gas analysis apparatus in oil which is one Example of this invention shown in FIG. 図1に示した本発明の一実施例である油中ガス分析装置において油中溶存ガス抽出時の四方弁の開閉状況を表す全体構成図。The whole block diagram showing the opening-and-closing situation of the four-way valve at the time of the dissolved gas extraction in oil in the gas analyzer in oil which is one example of the present invention shown in FIG. 図1に示した本発明の一実施例である油中ガス分析装置において試料ガス測定時の四方弁の開閉状況を表す全体構成図。The whole block diagram showing the opening-and-closing state of the four-way valve at the time of sample gas measurement in the gas analyzer in oil which is one example of the present invention shown in FIG. 図1に示した本発明の一実施例である油中ガス分析装置において溶存している各種ガスのガス濃度を検出する半導体センサの出力を模式的に表した特性図。The characteristic view which represented typically the output of the semiconductor sensor which detects the gas concentration of the various gas dissolved in the gas analyzer in oil which is one Example of this invention shown in FIG. 図1に示した本発明の一実施例である油中ガス分析装置の演算装置において溶存している各種ガスのガス濃度を算出するシーケンスを示す演算ブロック図。FIG. 2 is a calculation block diagram showing a sequence for calculating gas concentrations of various gases dissolved in the calculation device of the oil-in-gas analyzer according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 1. 本発明の他の実施例である可搬型の油中ガス分析装置の構成を示す全体構成図。The whole block diagram which shows the structure of the portable oil-in-gas analyzer which is the other Example of this invention. 図7に示した本発明の他の実施例である油中ガス分析装置における油中ガス分析の手順を示すフロー図。The flowchart which shows the procedure of the gas analysis in oil in the gas analyzer in oil which is another Example of this invention shown in FIG. 図7に示した本発明の他の実施例である油中ガス分析装置において、油中溶存ガス抽出時の四方弁の開閉状況を表す全体構成図。FIG. 8 is an overall configuration diagram showing an open / close state of a four-way valve during extraction of dissolved gas in oil in the in-oil gas analyzer according to another embodiment of the present invention shown in FIG. 7. 図7に示した本発明の他の実施例である油中ガス分析装置における試料ガス測定時の四方弁の開閉状況を表す全体構成図。The whole block diagram showing the opening-and-closing state of the four-way valve at the time of sample gas measurement in the gas analyzer in oil which is another example of the present invention shown in FIG. 図7に示した本発明の他の実施例である油中ガス分析装置におけるの演算装置において溶存している各種ガスのガス濃度を算出するシーケンスを示す演算ブロック図。The calculation block diagram which shows the sequence which calculates the gas concentration of the various gas dissolved in the calculating apparatus in the gas-in-oil analyzer which is another Example of this invention shown in FIG. 本発明の更に他の実施例である油中ガス分析装置を備えた変圧器の監視装置を示す全体構成図。The whole block diagram which shows the monitoring apparatus of the transformer provided with the gas-in-oil analyzer which is further another Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1:油入変圧器、2:絶縁油、3:ガス抽出器、4:開放弁、5A、5B:送油ポンプ、6:窒素ボンベ、7:酸素ボンベ、8A、8B:レギュレータ、9A、9B:流量計、10:四方切替え弁、11:エアポンプ、12:フィルタ、13:ガス調整装置、14:温度調節器、15:ガス検出器、16:コンピュータ、17:逆止弁、18A:窒素供給配管、18B:酸素供給配管、18C1:ガス抽出系配管、18C2:ガス抽出系配管、18D:油中溶存ガス混合ガス供給配管、18E:試料ガス供給配管、18F:空気供給配管、18G:排出配管、20、30:油中ガス分析装置、31:空気浄化装置、201、202、203、204、205:演算器、210:監視装置、220:設定装置、230:表示装置、301、302、303:演算器、310:監視装置、320:設定装置、330:表示装置、501:絶縁油注入器、502:油排出口、401、402、403:通信手段付の油中ガス分析装置、420:中央監視装置、430:電話回線、450:携帯電話回線、440:無線回線、S1、S2、S3、S4、S5、S6、S7:半導体センサ。 1: Oil-filled transformer, 2: Insulating oil, 3: Gas extractor, 4: Open valve, 5A, 5B: Oil pump, 6: Nitrogen cylinder, 7: Oxygen cylinder, 8A, 8B: Regulator, 9A, 9B : Flow meter, 10: four-way switching valve, 11: air pump, 12: filter, 13: gas regulator, 14: temperature regulator, 15: gas detector, 16: computer, 17: check valve, 18A: nitrogen supply Piping, 18B: oxygen supply piping, 18C1: gas extraction piping, 18C2: gas extraction piping, 18D: dissolved gas mixed gas supply piping in oil, 18E: sample gas supply piping, 18F: air supply piping, 18G: discharge piping 20, 30: Gas-in-oil analyzer, 31: Air purifier, 201, 202, 203, 204, 205: Calculator, 210: Monitoring device, 220: Setting device, 230: Display device, 301, 30 , 303: calculator, 310: monitoring device, 320: setting device, 330: display device, 501: insulating oil injector, 502: oil discharge port, 401, 402, 403: gas analyzer in oil with communication means, 420: Central monitoring device, 430: Telephone line, 450: Mobile phone line, 440: Wireless line, S1, S2, S3, S4, S5, S6, S7: Semiconductor sensor.

Claims (25)

機器に内蔵されている油を機器から取り出すガス抽出器と、このガス抽出器に取り出された油に含まれる複数の成分ガスから成分ガスの濃度を検出する複数の半導体センサを有するガス検知部と、ガス抽出器に取り出された油の中から含まれている複数の成分ガスを採取し測定対象の試料ガスとしてガス検出部に供給する試料ガスの供給系統と、半導体センサの検出値の基準となる基準ガスをガス検出部に供給する基準ガスの供給系統と、この試料ガスの供給系統と基準ガスの供給系統とを切替てガス検知部に供給する切替え供給手段と、ガス抽出器に取り出された油から採取した試料ガス及び基準ガスをガス検出部の複数の半導体センサによって夫々測定した各検出値をもとに油に溶存する複数の成分ガスの濃度を算出する演算装置を有する油中ガス分析装置を備えたことを特徴とする油中ガス分析装置。   A gas extractor for extracting oil contained in the device from the device, and a gas detection unit having a plurality of semiconductor sensors for detecting the concentration of the component gas from the plurality of component gases contained in the oil extracted by the gas extractor; A sample gas supply system that collects a plurality of component gases contained in the oil extracted from the gas extractor and supplies the sample gas to the gas detection unit as a sample gas to be measured; and a reference for the detection value of the semiconductor sensor A reference gas supply system for supplying the reference gas to the gas detection unit, a switching supply means for switching the sample gas supply system and the reference gas supply system to supply the gas detection unit, and a gas extractor. A calculation device that calculates the concentration of a plurality of component gases dissolved in the oil based on the detection values obtained by measuring the sample gas and the reference gas collected from the oil with a plurality of semiconductor sensors of the gas detection unit, respectively. Oil gas analysis apparatus characterized by comprising in-oil gas analyzer. 請求項1に記載の油中ガス分析装置において、前記演算装置は、複数の半導体センサで測定した試料ガスの検出値と、複数の半導体センサで測定した基準ガスの検出値に基づいて、試料ガスに含まれている各成分ガスの濃度を夫々演算によって求めるように構成されていることを特徴とする油中ガス分析装置。   2. The gas-in-oil analyzer according to claim 1, wherein the arithmetic unit is configured to detect a sample gas based on a detected value of the sample gas measured by the plurality of semiconductor sensors and a detected value of the reference gas measured by the plurality of semiconductor sensors. A gas-in-oil analyzer characterized in that the concentration of each component gas contained in the gas is obtained by calculation. 請求項2に記載の油中ガス分析装置において、前記演算装置は、複数の半導体センサで測定した試料ガスの検出値と基準ガスの検出値との比に基づいて、試料ガスに含まれている各成分ガスの濃度を算出することを特徴とする油中ガス分析装置。   3. The gas-in-oil analyzer according to claim 2, wherein the arithmetic unit is included in the sample gas based on a ratio of a detected value of the sample gas measured by a plurality of semiconductor sensors and a detected value of the reference gas. An oil-in-gas analyzer that calculates the concentration of each component gas. 請求項1又は請求項2に記載の油中ガス分析装置において、基準ガスの供給系統によって供給される基準ガスには、酸素と不活性ガスとの混合ガス、又は空気を用いていることを特徴とする油中ガス分析装置。   3. The oil-in-gas analyzer according to claim 1, wherein the reference gas supplied by the reference gas supply system is a mixed gas of oxygen and an inert gas, or air. An oil-in-gas analyzer. 請求項1又は請求項2に記載の油中ガス分析装置において、ガス抽出器の油の中から複数の成分ガスを採取して試料ガスとしてガス検出部に供給する試料ガスは、不活性ガスをガス抽出器の油中に導いてバブリングにより油中から採取した溶存ガスとこの不活性ガスとの混合ガスに酸素を添加するガス調整装置を設けて試料ガスを生成することを特徴とする油中ガス分析装置。   3. The gas-in-oil analyzer according to claim 1 or 2, wherein the sample gas sampled from the oil of the gas extractor and supplied to the gas detector as the sample gas is an inert gas. In the oil, characterized in that a sample gas is generated by providing a gas regulator for adding oxygen to a mixed gas of dissolved gas collected from the oil by bubbling and extracted from the oil in the gas extractor. Gas analyzer. 請求項1又は請求項2に記載の油中ガス分析装置において、試料ガス及び基準ガスの温度または湿度を所望の値に保持する調節器を備えたことを特徴とする油中ガス分析装置。   3. The oil-in-gas analyzer according to claim 1, further comprising a regulator for maintaining the temperature or humidity of the sample gas and the reference gas at desired values. 請求項1又は請求項2に記載の油中ガス分析装置において、前記演算装置は、ガス検知部に設置された複数の半導体センサの中の第1のセンサ群で検出された検出値から試料ガス中の或る特定の成分のガス濃度を算出し、次に複数の半導体センサの中の第2のセンサ群で検出された検出値と第1のセンサ群で検出して算出した特定の成分のガス濃度とから残りの他の成分のガスの濃度を求めて試料ガス中の複数の成分ガスの濃度を求めるように構成されていることを特徴とする油中ガス分析装置。   3. The gas-in-oil analyzer according to claim 1 or 2, wherein the arithmetic unit calculates a sample gas from a detection value detected by a first sensor group among a plurality of semiconductor sensors installed in a gas detection unit. The gas concentration of a specific component in the sensor is calculated, and then the detection value detected by the second sensor group of the plurality of semiconductor sensors and the specific component calculated by detection by the first sensor group are calculated. A gas-in-oil analyzer configured to obtain a concentration of a plurality of component gases in a sample gas by obtaining a concentration of a gas of other remaining components from a gas concentration. 請求項1又は請求項7に記載の油中ガス分析装置において、前記演算装置で算出した油に溶存する複数の成分ガスの濃度を監視する監視装置を備えたことを特徴とする油中ガス分析装置。   8. The oil-in-gas analyzer according to claim 1 or 7, further comprising a monitoring device that monitors concentrations of a plurality of component gases dissolved in the oil calculated by the arithmetic unit. apparatus. 変圧器に内蔵されている絶縁油を変圧器から取り出すガス抽出器と、このガス抽出器に取り出された絶縁油に含まれる複数の成分ガスから成分ガスの濃度を検出する複数の半導体センサを有するガス検知部と、ガス抽出器に取り出された絶縁油の中から含まれている複数の成分ガスを採取し測定対象の試料ガスとしてガス検出部に供給する試料ガスの供給系統と、半導体センサの検出値の基準となる基準ガスをガス検出部に供給する基準ガスの供給系統と、この試料ガスの供給系統と基準ガスの供給系統とを切替てガス検知部に供給する切替え供給手段と、ガス抽出器に取り出された絶縁油から採取した試料ガス及び基準ガスをガス検出部の複数の半導体センサによって夫々測定した各検出値をもとに絶縁油に溶存する複数の成分ガスの濃度を算出する演算装置を有することを特徴とする油中ガス分析装置を備えた変圧器。   A gas extractor that extracts the insulating oil contained in the transformer from the transformer, and a plurality of semiconductor sensors that detect the concentration of the component gas from the plurality of component gases contained in the insulating oil extracted by the gas extractor A gas detection unit, a sample gas supply system for collecting a plurality of component gases contained in the insulating oil taken out to the gas extractor and supplying the sample gas as a measurement target sample gas to the gas detection unit, and a semiconductor sensor A reference gas supply system for supplying a reference gas serving as a reference for the detection value to the gas detection unit, a switching supply means for switching the sample gas supply system and the reference gas supply system to supply to the gas detection unit, and a gas Concentrations of multiple component gases dissolved in insulating oil based on detection values obtained by measuring sample gas and reference gas collected from insulating oil taken out to extractor with multiple semiconductor sensors in gas detector Transformer with oil in the gas analyzer, characterized in that it comprises an arithmetic unit for calculating. 請求項9に記載の油中ガス分析装置を備えた変圧器において、前記演算装置は、複数の半導体センサで測定した試料ガスの検出値と、複数の半導体センサで測定した基準ガスの検出値に基づいて、試料ガスに含まれている各成分ガスの濃度を夫々演算によって求めるように構成されていることを特徴とする油中ガス分析装置を備えた変圧器。   The transformer including the gas-in-oil analyzer according to claim 9, wherein the arithmetic unit is configured to detect a detection value of the sample gas measured by a plurality of semiconductor sensors and a detection value of a reference gas measured by the plurality of semiconductor sensors. A transformer provided with an in-oil gas analyzer, characterized in that the concentration of each component gas contained in the sample gas is calculated by calculation. 請求項10に記載の油中ガス分析装置を備えた変圧器において、前記演算装置は、複数の半導体センサで測定した試料ガスの検出値と基準ガスの検出値との比に基づいて、試料ガスに含まれている各成分ガスの濃度を算出することを特徴とする油中ガス分析装置を備えた変圧器。   11. The transformer provided with the gas-in-oil analyzer according to claim 10, wherein the arithmetic unit is configured to generate a sample gas based on a ratio between a detected value of the sample gas measured by a plurality of semiconductor sensors and a detected value of the reference gas. The transformer provided with the gas-in-oil analyzer which calculates the density | concentration of each component gas contained in. 請求項9又は請求項10に記載の油中ガス分析装置を備えた変圧器において、基準ガスの供給系統によって供給される基準ガスには、酸素と不活性ガスとの混合ガス、又は空気を用いていることを特徴とする油中ガス分析装置を備えた変圧器。   The transformer provided with the gas-in-oil analyzer according to claim 9 or 10, wherein the reference gas supplied by the reference gas supply system is a mixed gas of oxygen and inert gas, or air. A transformer equipped with an in-oil gas analyzer. 請求項9又は請求項10に記載の油中ガス分析装置を備えた変圧器において、ガス抽出器の油の中から複数の成分ガスを採取して試料ガスとしてガス検出部に供給する試料ガスは、不活性ガスをガス抽出器の油中に導いてバブリングにより油中から採取した溶存ガスとこの不活性ガスとの混合ガスに酸素を添加するガス調整装置を設けて試料ガスを生成することを特徴とする油中ガス分析装置を備えた変圧器。   In the transformer provided with the gas-in-oil analyzer according to claim 9 or 10, the sample gas sampled from the oil of the gas extractor and supplied to the gas detector as a sample gas is The sample gas is generated by introducing an inert gas into the oil of the gas extractor and providing a gas adjusting device for adding oxygen to the mixed gas of the dissolved gas collected from the oil by bubbling and the inert gas. A transformer equipped with the gas-in-oil analyzer. 請求項9又は請求項10に記載の油中ガス分析装置を備えた変圧器において、試料ガス及び基準ガスの温度または湿度を所望の値に保持する調節器を備えたことを特徴とする油中ガス分析装置を備えた変圧器。   A transformer comprising the gas-in-oil analyzer according to claim 9 or 10, further comprising a regulator for maintaining the temperature or humidity of the sample gas and the reference gas at desired values. Transformer with gas analyzer. 請求項9又は請求項10に記載の油中ガス分析装置を備えた変圧器において、前記演算装置は、ガス検知部に設置された複数の半導体センサの中の第1のセンサ群で検出された検出値から試料ガス中の或る特定の成分のガス濃度を算出し、次に複数の半導体センサの中の第2のセンサ群で検出された検出値と第1のセンサ群で検出して算出した特定の成分のガス濃度とから残りの他の成分のガスの濃度を求めて試料ガス中の複数の成分ガスの濃度を求めるように構成されていることを特徴とする油中ガス分析装置を備えた変圧器。   The transformer provided with the gas-in-oil analyzer according to claim 9 or 10, wherein the arithmetic device is detected by a first sensor group among a plurality of semiconductor sensors installed in the gas detector. The gas concentration of a specific component in the sample gas is calculated from the detected value, and then detected and detected by the first sensor group and the detected value detected by the second sensor group among the plurality of semiconductor sensors. An oil-in-gas analyzer characterized in that a concentration of a plurality of component gases in a sample gas is obtained by obtaining the concentration of the gas of the remaining other components from the gas concentration of the specified component. Transformer provided. 請求項9又は請求項10に記載の油中ガス分析装置を備えた変圧器において、前記演算装置で算出した油に溶存する複数の成分ガスの濃度を監視する監視装置を備えたことを特徴とする油中ガス分析装置を備えた変圧器。   A transformer comprising the gas-in-oil analyzer according to claim 9 or 10, further comprising a monitoring device that monitors the concentration of a plurality of component gases dissolved in the oil calculated by the arithmetic unit. Transformer equipped with oil gas analyzer. 請求項16に記載の油中ガス分析装置を備えた変圧器において、監視装置における変圧器の絶縁油に溶存する複数の成分ガスの濃度に対する監視状況を外部に発信する通信手段を設置したことを特徴とする油中ガス分析装置を備えた変圧器。     A transformer provided with the gas-in-oil analyzer according to claim 16, wherein a communication means for transmitting monitoring statuses of the concentrations of a plurality of component gases dissolved in the insulating oil of the transformer in the monitoring device is installed. A transformer equipped with the gas-in-oil analyzer. 機器に内蔵されている油を取り出してガス抽出器に供給し、ガス抽出器に取り出した油から油中に含まれている複数の成分ガスを採取し測定対象の試料ガスとして試料ガスの供給系統を通じてガス検出部に供給可能とし、ガス検知部に備えた複数の半導体センサの検出値の基準となる基準ガスを基準ガスの供給系統を通じてガス検出部に供給可能とし、試料ガスの供給系統を通じて供給される試料ガスと基準ガスの供給系統を通じて供給される基準ガスとを切替てガス検知部に選択して供給を行い、この試料ガスに含まれる複数の成分ガスから成分ガスの濃度及び基準ガスの濃度をガス検知部に備えた複数の半導体センサによって検出し、試料ガス及び基準ガスに対してガス検出部の複数の半導体センサによって夫々測定した各検出値をもとに試料ガスに含まれる複数の成分ガスの濃度を演算によって求めることを特徴とする油中ガスの分析方法。   The oil contained in the equipment is taken out and supplied to the gas extractor, and multiple component gases contained in the oil are sampled from the oil taken out to the gas extractor, and the sample gas supply system is used as the sample gas to be measured. Can be supplied to the gas detector through the reference gas supply system, and the reference gas serving as a reference for the detection values of the semiconductor sensors provided in the gas detector can be supplied to the gas detector through the reference gas supply system. The sample gas and the reference gas supplied through the reference gas supply system are switched and selected and supplied to the gas detector, and the concentration of the component gas and the reference gas concentration are selected from the plurality of component gases contained in the sample gas. The concentration is detected by a plurality of semiconductor sensors provided in the gas detection unit, and based on each detected value measured by the plurality of semiconductor sensors of the gas detection unit with respect to the sample gas and the reference gas. Method for analyzing oil gas and obtaining a concentration of the plurality of component gases contained in the sample gas by the operation. 請求項18に記載の油中ガスの分析方法において、試料ガスに含まれる複数の成分ガスの濃度の演算は、複数の半導体センサで測定した試料ガスの検出値と、複数の半導体センサで測定した基準ガスの検出値に基づいて、試料ガスに含まれている各成分ガスの濃度を夫々演算によって求めるようにしたことを特徴とする油中ガスの分析方法。   19. The method for analyzing an in-oil gas according to claim 18, wherein the calculation of the concentration of the plurality of component gases contained in the sample gas is performed using the detected values of the sample gas measured by the plurality of semiconductor sensors and the plurality of semiconductor sensors. A method for analyzing an in-oil gas, wherein the concentration of each component gas contained in a sample gas is obtained by calculation based on a detected value of a reference gas. 請求項19に記載の油中ガスの分析方法において、試料ガスに含まれる複数の成分ガスの濃度の演算は、複数の半導体センサで測定した試料ガスの検出値と基準ガスの検出値との比に基づいて、試料ガスに含まれている各成分ガスの濃度を算出するようにしたことを特徴とする油中ガスの分析方法。   20. The method for analyzing an in-oil gas according to claim 19, wherein the calculation of the concentration of the plurality of component gases contained in the sample gas is a ratio between the detected value of the sample gas measured by the plurality of semiconductor sensors and the detected value of the reference gas. Based on the above, the concentration of each component gas contained in the sample gas is calculated. 請求項18又は請求項19に記載の油中ガスの分析方法において、基準ガスの供給系統を通じて供給される基準ガスには、酸素と不活性ガスとの混合ガス、又は空気を用いるようにしたことを特徴とする油中ガスの分析方法。   20. The method for analyzing gas in oil according to claim 18 or claim 19, wherein the reference gas supplied through the reference gas supply system is a mixed gas of oxygen and inert gas, or air. A method for analyzing gas in oil. 請求項18又は請求項19に記載の油中ガスの分析方法において、ガス抽出器の油の中から複数の成分ガスを採取してガス検出部に供給する試料ガスは、不活性ガスをガス抽出器の油中に導いてバブリングにより油中から採取した溶存ガスとこの不活性ガスとの混合ガスに酸素を添加して生成するようにしたことを特徴とする油中ガスの分析方法。   20. The method of analyzing gas in oil according to claim 18 or claim 19, wherein the sample gas obtained by collecting a plurality of component gases from the oil of the gas extractor and supplying the gas to the gas detector is a gas extraction of an inert gas. A method for analyzing an in-oil gas, characterized in that oxygen gas is added to a mixed gas of dissolved gas extracted from the oil by bubbling and introduced into the oil in the vessel. 請求項18又は請求項19に記載の油中ガスの分析方法において、試料ガス及び基準ガスの温度または湿度を所望の値の範囲に保持させて複数の半導体センサで検出するようにしたことを特徴とする油中ガスの分析方法。   20. The method for analyzing gas in oil according to claim 18 or claim 19, wherein the temperature or humidity of the sample gas and the reference gas is maintained within a desired value range and detected by a plurality of semiconductor sensors. Analysis method of gas in oil. 請求項18又は請求項19に記載の油中ガスの分析方法において、試料ガスに含まれる複数の成分ガスの濃度の演算は、ガス検知部に備えられた複数の半導体センサの中の第1のセンサ群で検出された検出値から試料ガス中の或る特定の成分のガス濃度を算出し、次に複数の半導体センサの中の第2のセンサ群で検出された検出値と第1のセンサ群で検出して算出した特定の成分のガス濃度とから残りの他の成分のガスの濃度を求めて試料ガス中の複数の成分ガスの濃度を求めるようにしたことを特徴とする油中ガスの分析方法。   20. The method for analyzing an in-oil gas according to claim 18 or claim 19, wherein the calculation of the concentrations of the plurality of component gases contained in the sample gas is a first of the plurality of semiconductor sensors provided in the gas detection unit. The gas concentration of a specific component in the sample gas is calculated from the detection value detected by the sensor group, and then the detection value detected by the second sensor group of the plurality of semiconductor sensors and the first sensor Gas in oil, characterized in that the concentration of a plurality of component gases in the sample gas is obtained by obtaining the concentration of the gas of the remaining other components from the gas concentration of the specific component detected and calculated by the group Analysis method. 請求項18又は請求項24に記載の油中ガスの分析方法において、試料ガスに含まれる複数の成分ガスの濃度について演算によって算出した複数の成分ガスの濃度を監視するようにしたことを特徴とする油中ガスの分析方法。   25. The method for analyzing an in-oil gas according to claim 18 or 24, wherein the concentration of the plurality of component gases calculated by calculation for the concentration of the plurality of component gases contained in the sample gas is monitored. To analyze gas in oil.
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