JP2007219020A - 樹脂積層体及びその製造方法、表示装置用材料、並びに表示装置及び液晶表示装置 - Google Patents

Abstract

【課題】同一基板上に複数の感光性転写材料（ウェブ）を転写する場合のウェブ間の合わせ部における染み出し量を抑制する。
【解決手段】仮支持体の直上に感光性樹脂層が形成された複数の感光性転写材料を送り出す送出機構と送り出された複数の感光性転写材料を同一基板に接合する接合機構とを少なくとも備えた転写装置を用いて、複数の感光性転写材料の各感光性樹脂層を同一基板上に転写する。
【選択図】なし

Description

本発明は、感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用いて転写法により樹脂構造物を作製するのに好適な樹脂積層体及びその製造方法、並びにこの樹脂積層体を用いた表示装置用材料並びに表示装置及び液晶表示装置に関する。

ガラス基板や硬質樹脂基板などの基板の上に感光性樹脂層などの感光材料層を積層した感光性積層材料は、プリント配線基板やカラーフィルタの作製に用いる樹脂積層体として利用されている。このような樹脂積層体の用途として、液晶パネルがあるが、液晶パネルの課題の一つに製造コストの低減がある。とりわけ、カラーフィルタは、液晶パネルに占めるコストの比率が高く、カラーフィルタの歩留まりを上げることが液晶パネルのコストダウンに大きく寄与する。

感光性転写材料を用いて樹脂積層体を形成する製造方法において、転写エリア幅より狭い幅の感光性転写材料を複数枚並列に供給できるラミネータ（以下、２丁ラミネータと略称するが、２丁に限定されるものではない。）を用いて感光性転写材料の塗布幅に依存することなく、広い幅のラミネートが可能になることが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、複数の狭幅の転写材料を組み合わせることで、材料の利用効率をも高めることができる。
特開２００４−３３３６１６号公報

ところが、同一基板上に長尺状の複数の転写材料を転写しようとすると、基板上の転写エリア内に非転写領域となる合わせ部が形成されてしまい、画像表示の可能な有効エリアが制約されてしまうことになる。基板を有効に利用するためには、この合わせ部を最小限に抑えることが重要であるが、転写に用いる長尺状の転写材料（以下、単にウェブともいう。）の端部に、熱可塑性樹脂などの樹脂成分が露出し、ラミネート時の加熱、加圧によって、樹脂成分が仮支持体で覆われた領域を超えて基板上に染み出し、基板面を汚染する一因となる。

すなわち、例えば２つのウェブを交差しないように並べて配置し、ともに同一基板上にラミネートする２丁ラミネートの場合に、有効エリアを増すために合わせ部の間隔を小さくしていくと、２つのウェブの双方からウェブ間の狭い合わせ部に染み出しが起こり、その相乗効果によって大きな染み出し領域が形成されることがある。この場合には、染み出しがその後の露光プロセスでカラーフィルタの欠陥の原因となり、安定製造の妨げとなっていた。

本発明は、上記に鑑み成されたものであり、同一基板上に複数の感光性転写材料（ウェブ）を転写する場合のウェブ間の合わせ部への染み出し量が抑えられた樹脂積層体及びその製造方法、並びに、異物付着による画像欠陥が少なく、良好な画像表示が可能な表示装置用材料（カラーフィルタを含む。）、表示品位の良好な表示装置及び液晶表示装置を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。

前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞ 長尺状の複数の感光性転写材料を送り出す送出機構と送り出された前記複数の感光性転写材料を同一基板に接合する接合機構とを少なくとも備えた転写装置を用いて、前記複数の感光性転写材料の各感光性樹脂層を互いに交差しないように同一基板上に転写する樹脂積層体の製造方法であって、前記感光性転写材料が、仮支持体の直上に感光性樹脂層を形成して構成されたことを特徴とする樹脂積層体の製造方法である。
＜２＞ 前記接合機構がラミネートロールを有し、前記ラミネートロールの外径が１００ｍｍ以下であることを特徴とする前記＜１＞に記載の樹脂積層体の製造方法である。
＜３＞ 前記基板の表面における段差が０．５μｍ以下であることを特徴とする前記＜１＞又は＜２＞に記載の樹脂積層体の製造方法である。

＜４＞ 前記＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の樹脂積層体の製造方法により得られた樹脂積層体である。
＜５＞ 前記＜４＞に記載の樹脂積層体を露光し、現像してなる表示装置用材料である。
＜６＞ 前記＜５＞に記載の表示装置用材料を備えた表示装置である。
＜７＞ 前記＜５＞に記載の表示装置用材料を備えた液晶表示装置である。

本発明によれば、同一基板上に複数の感光性転写材料（ウェブ）を転写する場合のウェブ間の合わせ部への染み出し量が抑えられた樹脂積層体及びその製造方法、並びに、異物付着による画像欠陥が少なく、良好な画像表示が可能な表示装置用材料（カラーフィルタを含む。）、表示品位の良好な表示装置及び液晶表示装置を提供することができる。

以下、本発明の樹脂積層体及びその製造方法について詳細に説明すると共に、本発明の樹脂積層体を用いて構成される本発明の表示装置用材料、表示装置、及び液晶表示装置についても詳述することにする。

＜樹脂積層体及びその製造方法＞
本発明の樹脂積層体の製造方法においては、転写装置として、複数の長尺状の感光性転写材料を送り出す送出機構と、送り出された複数の感光性転写材料を互いに交差しないように同一基板に接合する接合機構とを少なくとも備えた装置を用い、同一基板上に、複数の感光性転写材料の各々を構成する各感光性樹脂層を所定の間隙（合わせ目）を有して転写する。このとき、本発明においては特に転写材料として、特に転写時にクッション性を付与するための熱可塑性樹脂層などの樹脂層を仮支持体／感光性樹脂層間に設けずに、仮支持体の直上に感光性樹脂層を形成した転写材料を用いる。

ここで、直上とは、仮支持体の表面に直接、感光性樹脂層を形成するか、あるいは仮支持体上に、感光性樹脂層と同等の厚みもしくは同等の厚み以下の薄い中間層（酸素遮断層）を介して感光性樹脂層を形成するか、のいずれかの形態をさす。

２つ以上のウェブ状の転写材料を同一基板上に接合、転写するラミネート（多丁ラミネート）では、通常、同一基板の中央付近に複数の転写材料の間隙に合わせ目ができる。ラミネートする際に、この合わせ目の部分で材料中から樹脂成分の一部が染み出し、染み出した樹脂成分がラミネートロールに堆積し、ラミネート後の過程でこれが基板側に転写したり基板面を汚染する等して、形成されるカラーフィルタ等の表示装置用材料の画像欠陥の原因になる。本発明においては、例えば熱可塑性樹脂層など主として樹脂成分で構成されたあるいは樹脂成分を多く含む樹脂層を有さず、樹脂成分の染み出しの少ない、仮支持体の直上に感光性樹脂層を設けて構成された転写材料を選択的に用いるようにすることで、合わせ目の部分での染み出しを抑制でき、ひいては、露光工程でのマスクへの転写、現像工程での異物付着による欠陥の発生などを防止することができる。これにより、画像欠陥が少なく画像表示した際の表示品位に優れた表示装置用材料（カラーフィルタを含む。）、及び表示装置、液晶表示装置を提供することができる。

〜転写装置〜
本発明における転写装置は、少なくとも、複数の長尺状の感光性転写材料を送り出す送出機構と、送り出された複数の感光性転写材料を互いに交差しないように同一基板に接合する接合機構とを少なくとも設けて構成された装置であり、同一基板上に複数の感光性転写材料の各々を構成する各感光性樹脂層を重なりが生じないように所定の間隙（合わせ目）を有して転写する。必要に応じて更に、加工機構、転写搬送機構を設けて構成することができる。
以下、具体的に説明する。

転写装置としては、特開２００４−３３３６１６号公報に記載の、複数の転写材料を１枚の基板に転写可能なラミネータが好適である。中でも、長尺の複数の感光性転写材料を送り出す送出機構と、ラミネートロール対及び各ラミネートロールと当接する２つのバックアップロールを有し、送り出された複数の感光性転写材料の感光性樹脂層を同一基板に（好ましくは一体的、並列的に）接合する接合機構とを備えた装置が好ましく、特に２枚の感光性転写材料（以下、単に「転写材料」ともいう。）を用いる装置が好ましい。
ここで、上記の一体的、並列的に接合する接合機構とは、所定の間隙（合わせ目）を保って複数の転写材料を同一方向に同一速度で搬送し、複数の転写プロセスを安定的に行なうための機構全般をさし、具体的にはフレーム本体、調整機構などをさす。

複数の転写材料を用いて同一基板上に形成された感光性樹脂層間の間隙（合わせ目）としては、染み出し防止と合わせ目の部分の縮小（有効転写エリアの拡大）の観点から、それぞれ独立に、１〜２０ｍｍであることが好ましく、１〜１０ｍｍであることがより好ましく、３〜８ｍｍが特に好ましい。

転写装置の接合機構を構成するラミネートロールの外径は、熱可塑性樹脂を用いた層（いわゆるクッション層）が設けられていない本発明に係る転写材料を用いて感光性樹脂層を転写形成する場合に、ラミネート時における泡（ラミ泡）の混入を効果的に防止する観点から、１００ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは５０〜８０ｍｍである。
さらに、ラミ泡や段ムラ防止の点で、ラミネートロールの硬度は４０〜８０度が好ましく、５０〜７０度がより好ましい。

また、転写装置の接合機構を構成するバックアップロールの外径は、幅方向ラミネート圧力の均一化の観点から、５０〜３００ｍｍが好ましく、より好ましくは１００〜２００ｍｍである。このバックアップロールは、クラウンロール化されていることが好ましい。クラウンロールにおけるクラウン量、すなわちラミネートロール端とラミネートロール中央部とにおける直径の差が３ｍｍ以下であるのが好ましく、０．１〜３．０ｍｍであるのがより好ましく、０．１〜２ｍｍであるのがさらに好ましく、０．５〜２ｍｍであるのが特に好ましい。

転写プロセスの条件については、基板予備加熱装置による基板の加熱温度は６０〜１４０℃が好ましい。また、転写プロセスのその他の条件として、ゴムローラ温度は８０〜１４０℃の範囲が、ラミネート圧力（線圧）は５０〜２００Ｎ／ｃｍの範囲が、搬送速度は１〜５ｍ／分の範囲が好ましい。ゴムローラ温度については、１４０℃を超えると転写材料にシワが入りやすくなり、８０℃未満であると感光性樹脂層の密着が弱くなることがある。

本発明における転写装置を構成する送出機構は、複数の感光性転写材料を送り出す機構であり、複数の感光性転写材料を取り付ける取付け軸を設けて構成されたものである。
また、加工機構は、基板の長さに合わせて感光性転写材料の感光性樹脂層及びカバーフィルムにハーフカットを入れるハーフカッター部、及びカバーフィルムを剥離する剥離機構より構成されるものである。転写搬送機構は、圧着部（ラミネート部）前の感光性転写材料の搬送を安定化させる機構、すなわちバックテンションコントローラを有するテンション調節機構、フィルム位置制御装置と転写後のベースフィルム（仮支持体）の剥離部より構成されるものである。
上記の送出機構、加工機構、及び転写搬送機構は、複数、一体的、並列的に配置して構成することができる。

本発明における転写装置について、２枚の転写材料を用いて同一基板に接合、転写（２丁ラミネート）する装置を例に図１〜７を参照して具体的に説明する。図１は、本発明における転写装置の一例の全体の概要を示す概略図である。

本発明の樹脂積層体の製造方法では、基板上の転写エリアの幅よりも狭い幅の転写材料を複数枚並列に供給して、前記転写エリアの略全面に感光性樹脂層を転写する。
図１及び図３に示すように、転写装置２は、基板供給部１０、予備加熱部１１、接合機構（熱圧着部）１２、冷却部１３、基板取り出し部１５、転写材料送出機構１６（転写材料取り付け軸３７、３８）、加工機構３９〜４２、転写搬送機構（剥離部１４、フィルム位置制御装置５７、テンション調節機構４３，４４）を設けて構成されている。
これらのうち、基板供給部１０、予備加熱部１１、接合機構（熱圧着部）１２、冷却部１３、基板取り出し部１５は一式を示すが、これらも複数、並列的に配置し、複数の基板を同時並列的にラミネートしてもよい。

転写材料送出機構１６は、転写材料取り付け軸３７，３８を有し、この転写材料取り付け軸３７，３８には、それぞれ長尺の転写材料１７ａ，１７ｂをロール状に巻いた転写材料ロール１８ａ，１８ｂがセットされる（図３参照）。転写材料送出機構１６は、それぞれ転写材料ロール１８ａ，１８ｂからそれぞれの転写材料１７ａ，１７ｂを引き出して、搬送路に並列に供給する。

各転写材料１７ａ，１７ｂは、図２に示すように、仮支持体１９の直上に直接、カラーフィルタを構成するための感光性樹脂層２０を層設したものであり、感光性樹脂層２０の上層には感光性樹脂層２０を保護するカバーフィルム２１が設けられている。カラーディスプレイのパネルを製造する場合には、Ｒ（レッド），Ｇ（グリーン），Ｂ（ブルー）の３色のカラーフィルタに対応するＲ用，Ｇ用，Ｂ用の３色の転写材料１７ａ，１７ｂが、基板２２上に面順次に転写される。このように、本発明では、クッション層など主として樹脂成分で構成されたあるいは樹脂成分を多く含む層を有しない転写材料を並列に供給して同一基板上に２丁同時転写を行なうようにするので、転写材料間の合わせ目での樹脂成分の染み出し量が抑えられる。

例えば、まず、Ｒ用の転写材料ロール１８ａ，１８ｂがセットされて、Ｒ用の感光性樹脂層がガラス基板２２に転写される。この転写の後、フォトリソグラフィ法により、転写された感光性樹脂層に対して露光，現像が行われてフィルタパターンが形成される。フィルタパターンが形成された感光性樹脂層は、ベークされて基板上に固定される。
このベーク後、Ｒ用のフィルタが形成されたガラス基板２２は、再び転写装置２に戻される。そして、Ｇ用の転写材料ロール１８ａ，１８ｂがセットされて、Ｇ用の感光性樹脂層がガラス基板２２のＲ用のフィルタ形成面にさらに転写される。転写されたＧ用の感光性樹脂層は、Ｒ用の感光性樹脂層と同様に、フィルタパターンが形成され、ベークにより固定される。Ｇ用のフィルタが形成された後、同様に、Ｂ用の感光性樹脂層が転写されて、Ｂ用のフィルタが形成される。これら３色のカラーフィルタを形成した後、それらの隙間を埋めるために、Ｋ（ブラック）用の感光性樹脂層が転写される。

図１において、基板２２は、基板供給部１０のロボットハンド２３によって、一定間隔で転写面を下側に向けた状態で予備加熱部１１に供給される。この基板２２は、例えば、４枚分のパネルを含む大きさであり、カラーフィルタが形成された後、４分割される。

予備加熱部１１は、基板搬送装置２４とヒータ２５，２６とから構成されている。基板搬送装置２４は、エアー浮上プレート２７と送りローラ２８とで構成されている。エアー浮上プレート２７は、基板２２の転写面側に対面するように配置されており、転写面に向けてクリーンなエアーを吹き出して、基板２２を浮上させるようになっている。

送りローラ２８は、浮上した基板２２の転写面の両側縁部に接触し、回転することで基板２２を接合機構（熱圧着部）１２へ向けて搬送する。基板２２の転写面の両側縁部には感光性樹脂層２０は転写されず、送りローラ２８の周面が感光性樹脂層２０に接触することはない。この送りローラ２８はつば付きローラで構成されており、図示しないつばが基板２２のガイドとして機能し、基板２２の幅方向を位置決めするようになっている。

ヒータ２５，２６は、基板搬送装置２４の基板２２の搬送路を挟むように上下に複数個配置されており、基板２２を例えば５０〜１１０℃の温度に加熱する。予備加熱部１１で加熱された基板２２は、送りローラ２８により接合機構（熱圧着部）１２に送り出される。

接合機構（熱圧着部）１２は、ラミロール対２９とバックアップローラ３０とから構成されている。ラミロール対２９は、基板２２に接触するラミロール２９ａと、転写材料１７に接触する２９ｂとから構成されている。ラミロール２９ａ，２９ｂ及びバックアップローラ３０にはヒータが内蔵されている。ラミロール対２９は、基板２２と転写材料１７とを挟持して搬送することにより、転写材料１７を基板２２に熱圧着して貼り付ける。バックアップローラ３０は、ラミロール２９ａ、２９ｂに接触して従動回転し、ラミロール２９ａ、２９ｂの撓みを抑えて、均一な力による熱圧着を可能にするものである。

接合機構（熱圧着部）１２は、後述するハーフカッター４５のハーフカット線が所定の位置を通過すると、基板搬送装置２４に送り込み開始信号を送出する。これにより、ハーフカット線と基板２２との位置合わせが行なわれた状態で、転写材料１７の感光性樹脂層２０が基板２２に転写される。このとき、仮支持体１９も基板２２の移動に伴いラミロール対２９の送り方向下流側に送られる。

冷却部１３は、冷却風吹き出しボード３１と、搬送ローラ３２とから構成される。冷却風吹き出しボード３１は、ＨＥＰＡフィルタを通過したクリーンな冷却風を基板２２に向けて吹き出し、搬送ローラ３２で搬送される基板２２の温度をほぼ室温（３０℃以下）に冷却する。

転写搬送機構の一部である剥離部１４は、剥離ローラ３３及びベースフィルム巻取り機構３４で構成されており、基板２２から仮支持体１９を連続的に剥離し、この仮支持体１９を回収軸３４ａにロール状に巻き取る。回収軸３４ａは、図示しない巻取りモータによって回転駆動されるようになっている。この巻取りモータは、トルク制御されており、ラミロール対２９以降の仮支持体１９の張力を一定に保持して、仮支持体１９に撓みが発生しないようにしている。

剥離部１４の下流側には、エアー浮上プレート３５からなる基板取り出し部１５が設けられている。このエアー浮上プレート３５は、予備加熱部１１のエアー浮上プレート２７と同様に構成されている。剥離部１４から基板取り出し部１５に送り出された基板２２は、ロボットハンド３６によってその上側面を吸着されて取り出される。

図３に示すように、転写装置２は、加工機構として、カッター部３９，４０と、カバーフィルム剥離機構４１，４２とを備え、転写搬送機構として、前記剥離部の他に、バックテンションローラを有するテンション調節機構４３，４４とフィルム位置制御装置５７とを独立に備えている。
転写材料ロール１８ａ，１８ｂは、転写材料取り付け軸３７，３８にそれぞれセットされる。

カッター部３９，４０は、それぞれの転写材料１７ａ，１７ｂの仮支持体１９ａ，１９ｂを残して、基板２２の転写エリア２２ａの長さ（図４参照）に合わせて感光性樹脂層２０ａ，２０ｂ及びカバーフィルム２１ａ， ２１ｂに切れ目を入れるハーフカッター４５を備えている。ハーフカッター４５は、その長手方向が各転写材料１７ａ，１７ｂの幅方向に沿って延びた２枚の刃からなる。２枚の刃の間隔は、複数の基板２２が連続的に搬送される間隔に対応している。すなわち、２枚の刃の間隔は、１枚の基板２２の転写エリア２２ａの後端と、次の基板２２の転写エリア２２ａの前端との間隔に対応しており、２枚の刃を同時に１回動作させることにより、それらの位置に同時に切れ目が入れられる。

カバーフィルム剥離機構４１，４２は、カットされた各感光性樹脂層２０ａ，２０ｂの上層のカバーフィルム２１ａ，２１ｂを各転写材料１７ａ，１７ｂから剥離する。このカバーフィルム剥離機構４１，４２は、粘着テープロール４６から引き出された粘着テープ４７を、押さえローラ４８によりカバーフィルム２１へ貼り付け、このカバーフィルム２１が貼り付いた粘着テープ４７をテープ巻取り軸４９に巻き取って回収する。

転写搬送機構のテンション調節機構４３，４４は、バックテンションローラ５０，５１、モータ５２，５３、及びテンションセンサ５４，５５で構成されている。バックテンションローラ５０，５１は、テンションセンサ５４，５５から検出される張力値に基づいて、ラミロール対２９以前の転写材料１７ａ，１７ｂの張力を一定に保持して、転写材料１７ａ，１７ｂに撓みが発生しないようにしている。テンションセンサ５４，５５で検出された張力値は、コントローラ５６（図５参照）に送られて、モータ５２，５３の回転速度や回転量が制御され、これによりテンションが調節されるようになっている。

転写搬送機構のフィルム位置制御装置５７は、並列に搬送される２枚の転写材料１７ａ，１７ｂの間の距離を所定間隔に保持して、転写材料１７ａ，１７ｂの搬送を安定させる。なお、フィルム位置制御装置５７を随所に設置して転写材料１７ａ，１７ｂを精度よく搬送するようにしてもよい。

図４に示すように、各転写材料１７ａ，１７ｂの幅Ｗ２は、基板２２上の転写エリア２２ａの全幅Ｗ１よりも狭く、例えばＷ２≦１／２・Ｗ１である。こうした転写材料１７ａ，１７ｂが並列に供給されることで、転写エリア２２ａの略全面に感光性樹脂層２０が転写される。このように、基板上の転写エリアよりも幅が狭い転写材料を複数枚並列に供給することにより、転写材料を幅広化することなく、幅広の転写エリアの略全面に感光性樹脂層を転写することができる。
ここで、Ｗ１−２・Ｗ２は、複数の感光性転写材料の間隙（合わせ目）を表す。

図５に示すように、テンション調節機構４３，４４におけるバックテンションローラ５０，５１は、同軸上に設けられている。各バックテンションローラ５０，５１は、それぞれ別々のモータ５２，５３で駆動されるようになっている。コントローラ５６は、これらのモータ５２，５３を独立に制御することで、各転写材料の張力をそれぞれ独立に調節する。複数の転写材料を１つのバックテンションローラに引っかけて搬送しようとすると、いずれかの転写材料に滑りが生じるため、各転写材料の張力を一定に保持することができない。そこで、本発明における転写装置では、各転写材料に対して、テンション調節機構を設けて、これらを独立に制御することで、各転写材料の張力が一定に保持されるようにしている。

本発明の樹脂積層体の製造方法においては、上記した転写装置を用いて以下のようにして樹脂積層体を作製することができる。
図１に示すように、基板供給部１０のロボットハンド２３によって基板２２が予備加熱部１１に供給されると、予備加熱部１１に供給された基板２２は、ヒータ２５，２６によって加熱されて接合機構（熱圧着部）１２に送り出される。そして、接合機構（熱圧着部）１２に送り出された基板２２に対して、転写材料送出機構１６から、仮支持体の直上に感光性樹脂層が形成された転写材料１７ａ，１７ｂが所定の間隙（合わせ目）を有して並列に供給される。
この転写材料１７ａ，１７ｂは、仮支持体の直上に、特に転写時にクッション性を付与するための熱可塑性樹脂層などの樹脂層を仮支持体／感光性樹脂層間に設けずに、感光性樹脂層を形成してなるものである。

各転写材料１７ａ，１７ｂが接合機構（熱圧着部）１２に供給される以前には、コントローラ５６が転写材料送出機構１６を独立に制御して、転写材料１７ａ，１７ｂに対して各転写材料ロール１８ａ，１８ｂ各部の処理を実行する。転写材料１７ａ，１７ｂは、各カット部３９，４０のハーフカッター４５によって基板２２の転写エリア２２ａの長さに合わせて切れ目を入れられて、各カバーフィルム剥離機構４１， ４２に送られる。各カバーフィルム剥離機構４１，４２では、カットされた各感光性樹脂層２０ａ， ２０ｂの上層のカバーフィルム２１ａ， ２１ｂが転写材料１７ａ，１７ｂから剥離される。各カバーフィルム剥離機構４１， ４２を通過した転写材料１７ａ，１７ｂは、各テンション調整機構４３，４４によって転写材料１７ａ，１７ｂの張力が一定に保持された状態で、接合機構（熱圧着部）１２に供給される。

各転写材料送出機構１６から供給された転写材料１７ａ，１７ｂは、基板２２の転写エリア２２ａに位置合わせされた状態で、接合機構（熱圧着部）１２のラミネートロール対２９の間を搬送されて、基板２２の転写エリア２２ａ（図４参照）に転写材料１７ａ，１７ｂの各感光性樹脂層２０ａ，２０ｂが転写される。その後、各転写材料１７ａ，１７ｂの感光性樹脂層２０ａ，２０ｂが転写された基板２２は、冷却部１３に送られて、冷却風吹き出しボード３１からの冷却風を受けて冷却された後、剥離部１４に送られる。剥離部１４では、各転写材料１７ａ，１７ｂの仮支持体が回収軸３４ａに巻き取られて剥離される。各転写材料１７ａ，１７ｂの仮支持体が剥離された後の基板２２は、基板取り出し部１５に送り出され、ロボットハンド３６によってその上側面を吸着されて取り出される。

上述したように、基板２２の転写エリア２２ａの幅よりも狭い幅の転写材料１７ａ，１７ｂを並列に供給する転写材料送出機構１６を備えることにより、装置の搬送系を幅広化する必要がないから、装置の改造費用が抑えられるとともに、幅広の基板の全面に感光性樹脂層を転写することができる。また、狭い幅の転写材料が使用されるから、しわが発生しにくく、転写材料の取り扱い性を損なうことがない。

上記の例では、各転写材料送出機構から、同じ色用の感光材料を供給する例で説明したが、図６に示すように、転写材料送出機構の第１供給部からＲ用の感光材料を供給し、他方の第２供給部からＧ用の感光材料を供給する等、異なる色の感光材料を供給するようにしてもよい。また、上記の例では、転写材料供給部を２つ設けた例で説明したが、２つ以上設けてもよい。
また、上記の例では、各転写材料供給部が供給する各転写材料の幅を、転写エリアの１／２以下として、それぞれを同じ幅とした例で説明したが、一方が転写エリアの１／３の幅を持ち、他方が２／３の幅を持つというように、各転写材料の幅は同じでなくてもよいし、転写エリアの１／２以下でなくてもよい。このように、各転写材料の幅を変更すれば、転写材料の製造工程で発生する端尺幅の転写材料を有効に活用することもできる。

図７は、中央に位置する第２供給部からＲ用の転写材料を供給し、その両側に位置する第１及び第３供給部からアライメントマークを転写するためのＫ用の転写材料を供給する例である。アライメントマークは、各色の転写位置を合わせるための位置決めマークである。

〜転写材料〜
次に、転写材料について詳細に説明する。
本発明においては、転写時にクッション性を付与するための熱可塑性樹脂層など主として樹脂成分で構成されたあるいは樹脂成分を多く含む層を仮支持体／感光性樹脂層間に設けずに、仮支持体の直上に感光性樹脂層を形成した転写材料を用いる。

本発明における転写材料は、仮支持体／感光性樹脂層を基本構成とし、下記(1)〜(4)のいずれの構成であってもよい。
(1) 仮支持体／感光性樹脂層
(2) 仮支持体／感光性樹脂層／保護フィルム
(3) 仮支持体／中間層（酸素遮断層）／感光性樹脂層
(4) 仮支持体／中間層（酸素遮断層）／感光性樹脂層／保護フィルム
これらの構成では、ラミネートする際に泡（ラミ泡）が混入しやすいため、本発明の転写装置においては下記構成とすることが好ましい。
(a) 接合機構を構成するラミネートロールの外径を１００ｍｍ以下とする。ラミネートロールの外径については既述の通りである。
(b) 基板の表面における段差を０．５μｍ以下とする。基板表面に存在する段差が前記範囲内であると、ラミネートする際に泡の混入を効果的に低減することができる。段差の測定方法、並びに段差を前記範囲内にする方法については後述する。

また、公知のラミネート方法、例えば、特開平６−３３３８０８号公報、特開平７−１２５０７１号公報に記載の真空ラミネート、減圧ラミネートと組み合わせてもよい。

〈仮支持体〉
仮支持体としては、可撓性を有し、加圧下又は、加圧及び加熱下において著しい変形、収縮もしくは伸びを生じないものを選択して用いることができる。具体例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリエステル等を挙げることができ、中でも２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。

仮支持体の構造としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、単層構造、積層構造のいずれであってもよい。また、仮支持体には、感光性樹脂層又は中間層との間に良好な剥離性を確保する観点から、グロー放電等の表面処理を行なわないことが好ましく、ゼラチン等の下塗り層は設けることもできるが設けないことが好ましい。

仮支持体としては、その少なくとも一方の表面に導電性層を有する、あるいは仮支持体自体が導電性を有してもよい。仮支持体が導電性を有する構成であると、仮支持体を備えた転写材料を被転写体上に密着させた後に仮支持体を剥離する場合に、該仮支持体や該被転写体等が帯電して周囲のゴミ等を引き寄せることがなく、その結果、該仮支持体を剥離した後も感光性樹脂層上にゴミ等が付着せず、その後の露光過程で余分な未露光部ができることに伴なうピンホールの形成を効果的に防止することができる。仮支持体上の導電性層又は導電性を有する仮支持体の表面における表面電気抵抗としては、１０¹³Ω以下が好ましい。

導電性を有する仮支持体は、仮支持体中に導電性物質を含有することで得られる。導電性物質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、金属酸化物、帯電防止剤などが挙げられる。
前記金属酸化物としては、例えば、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化錫、酸化アルミニウム、酸化インジウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化バリウム、酸化モリブデンなどが挙げられる。これらは１種単独で用いる以外に２種以上を併用してもよい。また、金属酸化物の形態としては、結晶微粒子、複合微粒子などが挙げられる。また、前記帯電防止剤としては、例えば、エレクトロストリッパーＡ（花王（株）製）、エレノンＮｏ．１９（第一工業製薬（株）製）等のアルキル燐酸塩系アニオン界面活性剤、アモーゲンＫ（第一工業製薬（株）製）等のベタイン系両性界面活性剤、ニッサンノニオンＬ（日本油脂（株）製）等のポリオキシエチレン脂肪酸エステル系非イオン界面活性剤、エマルゲン１０６、同１２０、同１４７、同４２０、同２２０、同９０５、同９１０（花王（株）製）やニッサンノニオンＥ（日本油脂（株）製）等のポリオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性剤、ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル系、多価アルコール脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンアルキルアミン系等のその他の非イオン系界面活性剤が挙げられる。これらは１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
前記導電性層は、公知の導電性物質を用いた構成の中から適宜選択して形成することができ、該導電性物質としては、湿度環境に影響されず安定した導電効果が得られる点で、例えば、ＺｎＯ、ＴｉＯ₂、ＳｎＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｉｎ₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂、ＭｇＯ、ＢａＯ、ＭｏＯ₃などが好ましい。これらは、１種単独で用いる以外に２種以上を併用してもよい。
前記金属酸化物又は前記導電性物質の体積抵抗値としては、１０⁷Ω・ｃｍ以下が好ましく、１０⁵Ω・ｃｍ以下がより好ましい。また、前記金属酸化物又は前記導電性物質の粒子径としては、０．０１〜０．７μｍが好ましく、０．０２〜０．５μｍがより好ましい。

前記導電性層には、バインダーとして、例えば、ゼラチン、セルロースナイトレート、セルローストリアセテート、セルロースジアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート等のセルロースエステル、塩化ビニリデン、塩化ビニル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビニル、炭素数１〜４のアルキルアクリレート、ビニルピロリドン等を含むホモポリマー又はコポリマー、可溶性ポリエステル、ポリカーボネート、可溶性ポリアミド、などを使用することができる。

仮支持体の厚さとしては、特に制限はなく、５〜３００μｍの範囲が一般的であり、特に１０〜１５０μｍの範囲内が取り扱い易さ、汎用性などの点で好ましい。厚みが、５μｍ未満であると仮支持体を剥離する際に破れやすくなる傾向があり、また、仮支持体を介して露光する場合において、３００μｍを超えると解像度が低下する傾向がある。
また、仮支持体は、透明性でもよいし、染料化ケイ素、アルミナゾル、クロム塩、ジルコニウム塩などを含有していてもよいが、仮支持体を介して露光する場合には、透明性を有するものが好ましい。

〈感光性樹脂層〉
感光性樹脂層は、カラーフィルタを構成する着色画素（色材）、スペーサ、ブラックマトリクス（黒材）、配向制御材等の樹脂構造物を構成する層である。
感光性樹脂層は、少なくとも高分子物質と重合性モノマーと光重合開始剤とを含む感光性樹脂組成物を用いて形成することができ、さらに必要に応じて着色剤や他の成分を用いて構成することができる。着色剤を含有する場合には、カラーフィルタを構成する着色画素、ブラックマトリクスなどを形成することができる。

（高分子物質）
高分子物質は、スペーサや着色画素等の樹脂構造物を形成する場合に、バインダー成分として機能するものであり、例えば、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアセタール樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリイミド、ポリエチレン、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂（ＥＶＡ）、エチレンエチルアクリレート共重合体樹脂（ＥＥＡ）、エチレンメタアクリレート共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート樹脂、メタクリル樹脂、ポリプロピレン、ポリスチレン、ユリア樹脂、エポキシ樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ＰＲＯ ＮＯＲＹＬ樹脂、アイオノマー樹脂などが挙げられ、具体的には、「高分子材料便覧」（コロナ社発行、社団法人高分子学会編集、昭和４８年２月２０日発行）、１０２頁表１・１に記載の樹脂や、１０３頁表１・２に記載の樹脂や、側鎖にカルボン酸基、カルボン酸塩基などの極性基を有するポリマー、それ自体重合性を持つ光重合可能なアリル基を有する高分子樹脂が好ましい例として挙げられる。

高分子物質は、目的に応じて適宜選択した単量体の単独重合体、複数の単量体からなる共重合体のいずれであってもよく、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。

前記「側鎖にカルボン酸基、カルボン酸塩基などの極性基を有するポリマー」の例としては、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報、及び特開昭５９−７１０４８号公報に記載のメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また、側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも挙げることができる。
また、特に好ましい例として、米国特許第４１３９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸との共重合体や、ベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。
また、前記「アリル基を有する高分子樹脂」の単量体としては、特開２００３−１３１３７９号公報の段落番号［００３１］〜［００５４］に記載の樹脂が好適なものとして挙げられる。

前記高分子物質の質量平均分子量としては、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）測定値のポリスチレン換算値で、５，０００〜１００，０００が好ましく、８，０００〜５０，０００がより好ましい。該質量平均分子量が前記範囲内であると、膜強度を良化する。

高分子物質の感光性樹脂層中における含有量としては、該層の全固形分に対して、１５〜９５質量％が好ましく、３０〜８５質量％がより好ましく、４０〜７５質量％が更に好ましい。

（重合性モノマー）
重合性モノマーとしては、少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有するものであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、エステル化合物、アミド化合物、並びにその他の化合物が挙げられる。

前記エステル化合物としては、例えば、単官能（メタ）アクリル酸エステル、多官能（メタ）アクリル酸エステル、イタコン酸エステル、クロトン酸エステル、イソクロトン酸エステル、マレイン酸エステル、その他のエステル化合物、などが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよいが、これらの中でも、単官能（メタ）アクリル酸エステル、多官能（メタ）アクリル酸エステル等が好ましい。

前記単官能（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチルモノ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
前記多官能（メタ）アクリル酸エステルしては、例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレート、ソルビトールトリ（メタ）アクリレート、ソルビトールテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。中でも特に、ジペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレートが好ましい。
さらに他の例として、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号公報、特公昭５０−６０３４号公報、特開昭５１−３７１９３号公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報、及び特公昭５２−３０４９０号公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載の（メタ）アクリル酸エステルやウレタン（メタ）アクリレートやビニルエステル、などが挙げられる。
また、前記「その他のエステル化合物」としては、例えば、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．７，第３００〜３０８頁に記載の光硬化性モノマー及びオリゴマー、などが挙げられる。

前記アミド化合物としては、例えば、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド（モノマー）などが挙げられ、具体的には、メチレンビス−（メタ）アクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−（メタ）アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス（メタ）アクリルアミド、キシリレンビス（メタ）アクリルアミド、などが挙げられ、また、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載の（メタ）アクリル酸アミド、などが挙げられる。

前記「その他の化合物」としては、例えば、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載のアリル化合物、などが挙げられる。

重合性モノマーは、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。
重合性モノマーの感光性樹脂層中における含有量としては、該層の全固形分に対して、１０〜６０質量％が好ましく、２０〜５０質量％がより好ましい。

本発明においては、感光性樹脂層中における、前記高分子物質の含有量Ａ（質量％）と前記重合性モノマーの含有量（質量％）Ｂとの比Ｂ／Ａとしては、０．３〜１．２が好ましい。この比Ｂ／Ａを前記範囲にすることで、より効果的にレチキュレーションの発生を抑止でき、アルカリ現像に長時間要することもない。また、より好ましい比Ｂ／Ａの範囲は０．３〜０．９である。

（光重合開始剤）
光重合開始剤としては、およそ３００〜５００ｎｍの波長領域に約５０以上の分子吸光係数を有する成分を少なくとも１種含有しているものが好ましく、例えば、特開平２−４８６６４号公報、特開平１−１５２４４９号公報、及び特開平２−１５３３５３号公報に記載の芳香族ケトン類、ロフィン２量体、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類、ポリハロゲン類、ハロゲン化炭化水素誘導体、ケトン化合物、ケトオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、などが挙げられる。

上記の中でも、４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンと２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体との組合せ、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ'−ジ（エトキシカルボニルメチル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン〕、２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４'−（Ｎ，Ｎ'−ジビスエトキシカルボニルメチルアミノ）−３'−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジンなどが好ましい。

光重合開始剤は、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。
光重合開始剤の含有量としては、前記重合性モノマーの量に対して、０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１０質量％がより好ましい。

本発明に係る感光性樹脂層には、上記した高分子物質、重合性モノマー、及び光重合開始剤のほか、染料、顔料等の着色剤を含有してもよい。好ましい顔料の種類、サイズ等については、例えば特開平１１−１４９００８号公報の記載から適宜選択することができる。顔料等の着色剤を含有させた場合は、着色画素を形成することができる。また、必要に応じて界面活性剤等の添加剤を添加することもできる。

（着色剤）
着色剤としては、一般に顔料を用いることができ、例えば顔料を分散したレジスト材料に通常用いられる有機顔料又は無機顔料が使用できる。

前記無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩のような金属化合物が挙げられ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属の酸化物又は複合金属酸化物が挙げられる。また、前記有機顔料及び無機顔料として具体的には、カラーインデックス（Ｃｏｌｏｕｒ Ｉｎｄｅｘ）（Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ 出版）で、ピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分類されている化合物が挙げられる。より具体的には、以下のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号の化合物が挙げられるが、これらに限定されるものではない。

例えば、ビクトリア・ピュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー １、３、１２、１３、１４、５、１６、１７、２０、２４、３１、５５、６０、６１、６５、７１、７３、７４、８１、８３、９３、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１６、１１７、１１９、１２０、１２６、１２７、１２８、１２９、１３８、１３９、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６６、１６８、１７５、１８０、１８５；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ １、５、１３、１４、１６、１７、２４、３４、３６、３８、４０、４３、４６、４９、５１、６１、６３、６４、７１、７３；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット １、１９、２３、２９、３２、３６、３８；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド １、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、３０、３１、３２、３７、３８、４０、４１、４２、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５３：１、５７、５７：１、５７：２、５８：２、５８：４、６０：１、６３：１、６３：２、６４：１、８１：１、８３、８８、９０：１、９７、１０１、１０２、１０４、１０５、１０６、１０８、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５１、１６６、１６８、１７０、１７１、１７２、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８０、１８５、１８７、１８８、１９０、１９３、１９４、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１５、２１６、２２０、２２４、２２６、２４２、２４３、２４５、２５４、２５５、２６４、２６５；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー １５、１５：３、１５：４、１５：６、６０；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン ７、３６；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラウン ２３、２５；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック １、７；
等が挙げられる。

前記顔料は、分散液として使用することが望ましい。この分散液は、顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒（又はビヒクル）に添加して分散させることによって調製することができる。ビビクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分（バインダー）と、これを溶解希釈する成分（有機溶媒）とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、２０００年、４３８頁に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献３１０頁記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。

（界面活性剤）
感光性樹脂層には、塗布ムラ（膜厚変動によるムラ）を効果的に防止するという観点から、界面活性剤を含有させることが好ましい。界面活性剤は、特開２００３−３３７４２４号公報の段落番号［００１５］〜［００２４］、特開２００３−１７７５２２号公報の段落番号［００１２］〜［００１７］、特開２００３−１７７５２３号公報の段落番号［００１２］〜［００１５］、特開２００３−１７７５２１号公報の段落番号［００１０］〜［００１３］、特開２００３−１７７５１９号公報の段落番号［００１０］〜［００１３］、特開２００３−１７７５２０号公報の段落番号［００１２］〜［００１５］、特開平１１−１３３６００号公報の段落番号［００３４］〜［００３５］、特開平６−１６６８４号公報に記載の界面活性剤が好適なものとして挙げられる。より高い効果を得るためには、フッ素系界面活性剤及び／又はシリコン系界面活性剤（フッ素系界面活性剤、又は、シリコン系界面活性剤、フッ素原子とケイ素原子の両方を含有する界面活性剤）のいずれか、あるいは２種以上を含有することが好ましく、フッ素系界面活性剤が最も好ましい。

また、下記市販の界面活性剤をそのまま用いることもできる。使用できる市販の界面活性剤としては、例えば、エフトップＥＦ３０１、同ＥＦ３０３（新秋田化成（株）製）、フロラードＦＣ４３０、同４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファックＦ１７１、同Ｆ１７３、同Ｆ１７６、同Ｆ１８９、同Ｒ０８（大日本インキ（株）製）、サーフロンＳ−３８２、同ＳＣ１０１、同１０２、同１０３、同１０４、同１０５、同１０６（旭硝子（株）製）等のフッ素系界面活性剤、又はシリコン系界面活性剤を挙げることができる。また、ポリシロキサンポリマーＫＰ−３４１（信越化学工業（株）製）、トロイゾルＳ−３６６（トロイケミカル（株）製）もシリコン系界面活性剤として用いることができる。

フッ素系界面活性剤を用いる場合、界面活性剤分子中のフッ素含有置換基のフッ素原子数は１〜３８が好ましく、５〜２５がより好ましく、７〜２０が最も好ましい。フッ素原子数が前記範囲内であると、溶媒に対する溶解性が良好であり、ムラの改善効果の点でも有効である。

（熱重合防止剤）
感光性樹脂層は、熱重合防止剤を含有することが好ましい。熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４'−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２'−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
感光性樹脂層の全固形分に対する熱重合防止剤の含有量は、０．０１〜１質量％が一般的であり、０．０２〜０．７質量％が好ましく、０．０５〜０．５質量％が特に好ましい。

〈保護フィルム〉
感光性樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護する目的で、薄い保護フィルムを設けることが好ましい。
保護フィルムは、仮支持体と同一又は類似の材料からなるものでもよいが、感光性樹脂層から容易に分離させることができるものを選択することが望ましく、材料の例としては、シリコン紙、ポリオレフィン、ポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。

〈中間層〉
上記以外に、露光時の感度を上げる目的で、さらに中間層を設けることができる。
中間層としては、特開平５−７２７２４号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断膜を設けることができる。この場合、露光感度が向上し、露光機の時間負荷が減り、生産性が向上する。

酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらのうち、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組み合わせである。
中間層（酸素遮断膜）の厚みとしては、０．５〜３．０μｍが好ましい。

〜感光性転写材料の作製方法〜
感光性転写材料は、例えば、仮支持体上に感光性樹脂層形成用の溶液を塗布、乾燥して感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層の表面に保護フィルムを密着させることにより作製することができる。なお、感光性樹脂層を複数積層するときには、感光性樹脂層間に中間層を設けてもよい。

上記以外に、仮支持体上及び、保護フィルム上に感光性樹脂層（及び必要に応じて中間層）を設けたシートを用意し、仮支持体と感光性樹脂層とが接するように相互に貼り合わせることによっても、感光性転写材料を作製することができる。

感光性樹脂層の層厚としては、１．０〜５．０μｍが好ましく、１．０〜４．０μｍがより好ましく、１．０〜３．０μｍが特に好ましい。該層厚が前記範囲内であると、製造時にピンホールの発生のない塗布膜が得られ、現像時に未露光部を良好に除去することができる。
また、感光性樹脂層以外の他の各層の好ましい厚みについては、特に限定はないが、中間層では０．５〜３．０μｍが、保護フィルムでは４〜４０μｍが一般に好ましい。

前記塗布は、公知の塗布装置等を用いて行なうことができるが、本発明においては、スリット状ノズルを用いた塗布装置（スリットコータ）によって行なうことが好ましい。
スリット状ノズルを用いた塗布装置（スリットコータ）は、液が吐出する部分にスリット状の穴を有するスリット状ノズルによって塗布する塗布装置であり、具体的には、特開２００４−８９８５１号公報、特開２００４−１７０４３号公報、特開２００３−１７００９８号公報、特開２００３−１６４７８７号公報、特開２００３−１０７６７号公報、特開２００２−７９１６３号公報、特開２００１−３１０１４７号公報等に記載のスリット状ノズル、及びスリットコーターが好適である。

〈基板〉
基板としては、特に制限されるものではないが、好ましくは透明基板が用いられる。具体的な例としては、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、あるいはプラスチックフィルム等を挙げることができる。

基板は、その表面の段差が０．５μｍ以下であることが好ましい。基板表面に存在する段差が前記範囲内であると、ラミネートする際に泡の混入を効果的に低減することができる。前記段差としては、０．２μｍ以下がより好ましい。段差の値は、表面粗さ計Ｐ−１０（ＴＥＮＣＯＲ社製）を用いて測定されるものである。
また、基板上の段差を前記範囲内にする方法として、基板面を平坦化する平坦化膜を形成する方法、段差を公知の研磨機を用いて研磨する方法等が好適である。
基板は、予め黒着色されて平坦性を有している場合はそのまま用いることができる。

また、基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、転写材料との密着を良好にすることができる。カップリング処理としては、特開２０００−３９０３３号公報に記載の方法が好適である。なお、基板の膜厚としては、特に限定はないが、７００〜１２００μｍが一般に好ましい。

＜表示装置用材料＞
本発明の表示装置用材料は、既述の本発明の樹脂積層体を露光し、現像してなるものである。本発明の樹脂積層体を用いて構成されるので、異物付着によって生じる画像欠陥が少なく、良好な画像表示が可能である。

本発明の表示装置用材料は、基板上に感光性樹脂層が転写形成された本発明の樹脂積層体を用い、感光性樹脂層を露光し、さらに現像する操作を色相数（色パターンの数）だけ繰り返して行なう等の公知の方法によって作製することができる。

露光は、樹脂積層体の基板上に形成された感光性樹脂層の上方（感光性樹脂層の基板のある側と逆の側）に所定のマスクを配置し、該マスクの更に上方に光源を配置し、マスク（及び場合により中間層及び／又は仮支持体）を介してマスク上方から光を照射することにより行なうことができる。このとき、マスクを通過した光により感光性樹脂層をパターン露光することが可能である。

前記光源としては、感光性樹脂層を硬化し得る波長域の光（例えば３６５ｎｍ、４０５ｎｍなど）を照射できるものから適宜選択することができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。
露光量としては、通常５〜３００ｍＪ／ｃｍ²程度であり、好ましくは１０〜１００ｍＪ／ｃｍ²程度である。

現像は、露光後に現像液を用いて行なうことができる。
現像液としては、特に制約はなく、特開平５−７２７２４号公報に記載のものなど、公知の現像液を使用することができる。なお、現像液は、感光性樹脂層が溶解型の現像挙動を示すものが好ましく、例えば、ｐＫａ＝７〜１３の化合物を０．０５〜５ｍｏｌ／Ｌの濃度で含むものが好ましいが、更に水と混和性を有する有機溶剤を少量添加してもよい。

水と混和性を有する有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン等を挙げることができる。有機溶剤の濃度は、０．１〜３０質量％が好ましい。

現像液には、更に公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は０．０１〜１０質量％が好ましい。

現像の方式としては、パドル現像、シャワー現像、シャワー＆スピン現像、ディップ現像等の公知の方法を用いることができる。

ここで、前記シャワー現像について説明する。露光後の感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。なお、現像の前には、感光性樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、予め中間層などを除去しておくことが好ましい。また、現像の後に、洗浄液などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。

前記洗浄液としては、公知のものを使用できるが、富士写真フィルム（株）製のＴ−ＳＤ１（燐酸塩、珪酸塩、ノニオン界面活性剤、消泡剤及び安定剤含有）、あるいは富士写真フィルム（株）製のＴ−ＳＤ２（炭酸ナトリウム及びフェノキシオキシエチレン系界面活性剤含有）が好ましい。
現像液の液温度は、２０〜４０℃が好ましく、また、現像液のｐＨは８〜１３が好ましい。

本発明の表示装置用材料には、液晶表示装置、ＰＤＰ、ＥＬなどを構成するカラーフィルタ〔カラー画像（いわゆる画素）、ブラックマトリクス、スペーサ、及び液晶配向制御用突起等の構造物全てを包含するもの。）等が含まれる。

本発明の表示装置用材料がカラーフィルタである場合においては、既述の本発明の樹脂積層体を上記のように露光し、現像してカラーフィルタを作製し、作製されたカラーフィルタの上に透明電極を形成し、更に分割配向用の突起を重ねることでスペーサを形成することができる。この場合、コスト低減が可能である。

＜表示装置、液晶表示装置＞
本発明の表示装置は、既述の本発明の樹脂積層体を露光し、現像してなる表示装置用材料（本発明の表示装置用材料）を設けて構成されたものである。本発明の樹脂積層体を用いて構成されるので、画像欠陥が少なく、表示品位の良好な画像表示が可能である。

本発明の表示装置としては、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、ＥＬ表示装置、ＣＲＴ表示装置などの表示装置などが含まれる。表示装置の定義や各表示装置の説明については、例えば「電子ディスプレイデバイス」（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）、「ディスプレイデバイス」（伊吹順章著、産業図書（株）、平成元年発行）などに記載されている。
上記のうち、液晶表示装置が特に好ましい。

本発明の液晶表示装置とは、既述の本発明の樹脂積層体を露光し、現像してなる表示装置用材料（本発明の表示装置用材料）を設けて構成されたものであり、さらに偏光板を有する形態が好ましい。本発明の液晶表示装置は上記同様に、画像欠陥が少なく、表示品位の良好な画像表示が可能である。

液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術」（内田龍男編集、（株）工業調査会、１９９４年発行）に記載されている。液晶表示装置には、特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。例えば、ＥＣＢ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ ）、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）、ＦＬＣ（Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ）、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌｌｙ Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｏｒｙ Ｂｅｎｄ）、ＳＴＮ（Ｓｕｐｐｅｒ Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）、ＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌｌｙ Ａｌｉｇｎｅｄ）、ＨＡＮ（Ｈｙｂｒｉｄ Ａｌｉｇｎｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）、ＧＨ（Ｇｕｅｓｔ Ｈｏｓｔ）等の様々な表示モードが採用できる。これらの表示モードの中でも、特に高い表示品位の表示装置を提供できるＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌｌｙ Ａｌｉｇｎｅｄ）表示モードが好ましい。

これらの中でも、特にカラーＴＦＴ方式の液晶表示装置が有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については、例えば「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ」（共立出版（株）、１９９６年発行）に記載されている。
さらに、ＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については、例えば「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−」（東レリサーチセンター調査研究部門、４３ページ、２００１年発行）に記載されている。
また、ノートパソコン用ディスプレイやテレビモニター等の大画面の液晶表示装置等にも好適に用いることができる。

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。

（実施例１）
−感光性転写材料の作製−
（１）厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体（ＰＥＴ仮支持体）の表面に直接、スリット状ノズルを用いて、下記表１に記載の組成よりなる着色感光性樹脂組成物Ｋ１を塗布し、乾燥させて黒色感光性樹脂層を塗設した。そして、黒色感光性樹脂層の表面に保護フィルム（厚さ１２μｍポリプロピレンフィルム）を圧着し、感光性転写材料を作製した。以下、これを感光性転写材料Ｋ１と称する。

（２）次に、前記感光性転写材料Ｋ１の作製に用いた着色感光性樹脂組成物Ｋ１を、下記表１に記載の組成よりなる着色感光性樹脂組成物Ｒ１、Ｇ１、又はＢ１に代えたこと以外は、上記の感光性転写材料Ｋ１の作製と同様にして、感光性転写材料Ｒ１、Ｇ１、及びＢ１を作製した。
なお、着色感光性樹脂組成物Ｋ１、Ｒ１、Ｇ１、及びＢ１の詳細については後述する。

次いで、以下に示すように、樹脂積層体を作製し、露光、現像する操作を複数回繰り返し行なってカラーフィルタを作製した。

−ブラック（Ｋ）画像の形成−
無アルカリガラス基板（以下、単に「ガラス基板」という。）を、２５℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより２０秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液（Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン０．３質量％水溶液、商品名：ＫＢＭ６０３、信越化学工業（株）製）をシャワーにより２０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置を用いて１００℃で２分間加熱した。

次いで、感光性転写材料Ｋ１の保護フィルムを剥離後、下記の転写装置を用いて、１００℃で２分間加熱したガラス基板に、ゴムローラ温度１２０℃、線圧１００Ｎ／ｃｍ、搬送速度２．２ｍ／分の条件でラミネートした。ここで、洗浄、加熱後の前記ガラス基板には形成物はなく、基板表面の段差としては０μｍである。

転写装置は、図１並びに図３〜図４に示すように構成され、ウェブ幅５２０ｍｍ×２丁、ウェブ間隔５ｍｍ、ラミネートロールの外径８０ｍｍ、ラミネートロールの硬度７０度、バックアップロール径２５０ｍｍ、クラウン量２ｍｍ（ロール中央と端部の直径の差）とした（中央が太い）２丁ラミネータを用いた。

仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティ型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）で、基板とマスク（画像パターンを有す石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、マスク面と感光性樹脂層との間の距離を２００μｍに設定し、露光量７０ｍＪ／ｃｍ²でパターン露光した。

次に、炭酸Ｎａ系現像液（０．３８モル／リットルの炭酸水素ナトリウム、０．４７モル／リットルの炭酸ナトリウム、５質量％のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有、商品名：Ｔ−ＣＤ１、富士写真フィルム（株）製）を用い、２９℃で３０秒間、コーン型ノズルにより圧力０．１５ＭＰａでシャワー現像し、黒色感光性樹脂層を現像除去し、パターニングした。

次いで、洗浄剤（燐酸塩、珪酸塩、ノニオン界面活性剤、消泡剤及び安定剤含有、商品名：Ｔ−ＳＤ１、富士写真フィルム（株）製）を純水で１０倍に希釈して用い、３３℃で２０秒間、コーン型ノズルにより圧力０．０２ＭＰａでシャワーとナイロン毛を有す回転ブラシにより残渣除去を行ない、高さ２．４μｍのブラック（Ｋ）画像を得た。その後さらに、このガラス基板に対して、Ｋ画像が形成されている側から超高圧水銀灯により５００ｍＪ／ｃｍ²の光をポスト露光した後、２２０℃で１５分間さらに熱処理した。

Ｋ画像が形成されたガラス基板を再び、上記のようにしてブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置により１００℃で２分間加熱した。

−レッド（Ｒ）画素の形成−
次に、感光性転写材料Ｒ１を用い、ブラック（Ｋ）画像が形成されたガラス基板のＫ画像形成面に、前記感光性転写材料Ｋ１を用いた場合と同様の方法により、レッド（Ｒ）画素と２８×２８μｍの角形のレッド（Ｒ）パターンを形成した。但し、露光量は４０ｍＪ／ｃｍ²とし、炭酸Ｎａ系現像液による現像は３５℃、３５秒間とした。
ここで、レッド（Ｒ）画素の層厚は２．０μｍであり、顔料Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７の塗布量はそれぞれ０．８８ｇ／ｍ²、０．２２ｇ／ｍ²とした。

その後、Ｒ画素が形成されたガラス基板を再び、上記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置により１００℃で２分間加熱した。

−グリーン（Ｇ）画素の形成−
次に、感光性転写材料Ｇ１を用い、前記Ｋ画像及びＲ画素が形成されたガラス基板のＫ画像等形成面に、前記感光性転写材料Ｋ１を用いた場合と同様の方法により、グリーン（Ｇ）画素を形成すると共に、Ｒパターン上に該Ｒパターン全体を覆うようにしてグリーン（Ｇ）パターンを形成した。但し、露光量は４０ｍＪ／ｃｍ²とし、炭酸Ｎａ系現像液による現像は３４℃、４５秒間とした。
ここで、グリーン（Ｇ）画素の層厚は２．０μｍであり、顔料Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０の塗布量はそれぞれ１．１２ｇ／ｍ²、０．４８ｇ／ｍ²とした。

その後、Ｋ画像並びにＲ画素及びＧ画素が形成されたガラス基板を再び、上記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置により１００℃で２分間加熱した。

−ブルー（Ｂ）画素の形成−
次に、感光性転写材料Ｂ１を用い、前記Ｋ画像並びにＲ画素及びＧ画素が形成されたガラス基板のＫ画像等形成面に、感光性転写材料Ｋ１を用いた場合と同様の方法により、ブルー（Ｂ）画素を形成した。但し、露光量は３０ｍＪ／ｃｍ²とし、炭酸Ｎａ系現像液による現像は３６℃、４０秒間とした。
ここで、ブルー（Ｂ）画素の層厚は２．０μｍであり、顔料Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３の塗布量はそれぞれ０．６３ｇ／ｍ²、０．０７ｇ／ｍ²とした。

その後、Ｋ画像並びにＲ画素、Ｇ画素及びＢ画素が形成されたガラス基板を２４０℃で５０分間ベーク処理し、本発明のカラーフィルタを作製した。以下、これを「カラーフィルタ側基板」という。

ここで、前記表１に記載の着色感光性樹脂組成物Ｋ１、Ｒ１、Ｇ１、及びＢ１の調製について説明する。

着色感光性樹脂組成物Ｋ１は、まず前記表１に記載の量のＫ顔料分散物１、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒ.ｐ.ｍ.で１０分間攪拌し、次いで、前記表１に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー１、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ＤＰＨＡ液、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチル）アミノ−３’−プロモフェニル］−ｓ−トリアジン、及び界面活性剤１をはかり取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加して、温度４０℃（±２℃）で１５０ｒ.ｐ.ｍ.で３０分間攪拌することによって得られたものである。

なお、前記表１に記載の組成物Ｋ１中の各組成の詳細は以下の通りである。
＊Ｋ顔料分散物１
・カーボンブラック…１３．１部
（デグッサ社製、商品名Ｓｐｅｃｉａｌ Ｂｌａｃｋ ２５０）
・５−［３−オキソ−２−［４−［３，５−ビス（３−ジエチルアミノプロピルアミノカルボニル）フェニル］アミノカルボニル］フェニルアゾ］−ブチロイルアミノベンズイミダゾロン…０．６５部
・ポリマー〔ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７２／２８[モル比]）のランダム共重合物（質量平均分子量３７，０００）〕…６．７２部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート…７９．５３部

＊バインダー１
・ポリマー〔ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７８／２２[モル比]）のランダム共重合物（質量平均分子量４０，０００）〕…２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート…７３部

＊ＤＰＨＡ液
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（重合禁止剤ＭＥＨＱを５００ｐｐｍ含有、商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ、日本化薬（株）製）…７６部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ−ト…２４部

＊界面活性剤１
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業（株）製）
〔組成〕・Ｃ₆Ｆ₁₃ＣＨ₂ＣＨ₂ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ₂４０部とＨ（ＯＣＨ（ＣＨ₃）ＣＨ₂）₇ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ₂５５部とＨ（ＯＣＨ₂ＣＨ₂）₇ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ₂５部との共重合体、質量平均分子量３万〕…３０部
・メチルエチルケトン…７０部

着色感光性樹脂組成物Ｒ１は、まず前記表１に記載の量のＲ顔料分散物１、Ｒ顔料分散物２、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒ.ｐ.ｍ.で１０分間攪拌し、次いで、表１に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー２、ＤＰＨＡ液、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチル）アミノ−３’−プロモフェニル］−ｓ−トリアジン、フェノチアジンをはかり取り、温度２４℃（±２℃）でこの順に添加して１５０ｒ.ｐ.ｍ.で１０分間攪拌し、次いで、前記表１に記載の量の添加剤１をはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒ.ｐ.ｍ.で２０分間攪拌し、更に前記表１に記載の量の界面活性剤１をはかり取り、温度２４℃（±２℃）で添加して３０ｒ.ｐ.ｍ.で３０分間攪拌し、ナイロンメッシュ＃２００で濾過することによって得られたものである。

なお、前記表１に記載の組成物Ｒ１中の各組成の詳細は以下の通りである。
＊Ｒ顔料分散物１
・Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４（商品名：Ｉｒｇａｐｈｏｒ Ｒｅｄ Ｂ−ＣＦ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）…８．０部
・５−［３−オキソ−２−［４−［３，５−ビス（３−ジエチルアミノプロピルアミノカルボニル）フェニル］アミノカルボニル］フェニルアゾ］−ブチロイルアミノベンズイミダゾロン…０．８部
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７２／２８[モル比]）のランダム共重合物、質量平均分子量３．７万）…８．０部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート…８３．２部
＊Ｒ顔料分散物２
・Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７（商品名：Ｃｒｏｍｏｐｈｔａｌ Ｒｅｄ Ａ２Ｂ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）…１８部
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７２／２８[モル比]）のランダム共重合物、質量平均分子量３．７万）…１２部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート…７０部
＊バインダー２
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／メチルメタクリレート（＝３８／２５／３７[モル比]）のランダム共重合物、分子量：３万）…２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート…７３部
＊添加剤１
ＨＩＰＬＡＡＤ ＥＤ１５２（楠本化成（株）製；燐酸エステル系特殊活性剤）

着色感光性樹脂組成物Ｇ１は、まず前記表１に記載の量のＧ顔料分散物１、Ｙ顔料分散物１、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒ.ｐ.ｍ.１０分間攪拌し、次いで、前記表１に記載の量のメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、バインダー１、ＤＰＨＡ液、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチル）アミノ−３’−プロモフェニル］−ｓ−トリアジン、フェノチアジンをはかり取り、温度２４℃（±２℃）でこの順に添加して１５０ｒ.ｐ.ｍ.３０分間攪拌し、更に前記表１に記載の量の界面活性剤１をはかり取り、温度２４℃（±２℃）で添加して３０ｒ.ｐ.ｍ.で５分間攪拌し、ナイロンメッシュ＃２００で濾過することによって得られたものである。

なお、前記表１に記載の組成物Ｇ１中の各組成の詳細は以下の通りである。
＊Ｇ顔料分散物１
商品名：ＧＴ−２（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）
＊Ｙ顔料分散物１
商品名：ＣＦエローＥＸ３３９３（御国色素（株）製）

着色感光性樹脂組成物Ｂ１は、まず前記表１に記載の量のＢ顔料分散物１、Ｂ顔料分散物２、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒ.ｐ.ｍ.で１０分間攪拌し、次いで、前記表１に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー３、ＤＰＨＡ液、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、フェノチアジンをはかり取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加して、温度４０℃（±２℃）で１５０ｒ.ｐ.ｍ.で３０分間攪拌し、更に前記表１に記載の量の界面活性剤１をはかり取り、温度２４℃（±２℃）で添加して３０ｒ.ｐ.ｍ.で５分間攪拌し、ナイロンメッシュ＃２００で濾過することによって得られたものである。

なお、前記表１に記載の組成物Ｂ１中の各組成の詳細は以下の通りである。
＊Ｂ顔料分散物１
商品名：ＣＦブルーＥＸ３３５７（御国色素（株）製）
＊Ｂ顔料分散物２
商品名：ＣＦブルーＥＸ３３８３（御国色素（株）製）
＊バインダー３の組成は、
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／メチルメタクリレート（＝３６／２２／４２[モル比]）のランダム共重合物（質量平均分子量３万）…２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート…７３部

−ＭＶＡ用液晶表示装置の作製−
上記で得たカラーフィルタ上に、透明電極としてＩＴＯ膜（Indium Tin Oxide）をスパッタリングにより形成した。

次に、以下のようにして、液晶配向制御用突起を形成した。
前記感光性転写材料Ｋ１の作製に用いた着色感光性樹脂組成物Ｋ１を、下記の処方Ａ１よりなるポジ型感光性樹脂層用塗布液に代えたこと以外は、上記の感光性転写材料Ｋ１の作製と同様にして、感光性転写材料Ａ１を作製した。そして、作製した感光性転写材料Ａ１を用いて、既設のＩＴＯ透明電極上に液晶配向制御用突起を形成した。このとき、露光、現像、及びベーク工程は以下に示す方法で行なった。

所定のフォトマスクが感光性樹脂層の表面から１００μｍの距離となるようにプロキシミティ露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング（株）製）を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー１５０ｍＪ／ｃｍ²でプロキシミティ露光した。
続いて、２．３８％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて３３℃で３０秒間基板に噴霧しながら現像した。こうして、感光性樹脂層の不要部（露光部）を現像除去することにより、カラーフィルタ側基板上に、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板を得た。次いで、液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板を２３０℃下で３０分間ベークすることにより、液晶表示装置用基板上に硬化された液晶配向制御用突起を形成した。

<ポジ型感光性樹脂層用塗布液の処方Ａ１>
・ポジ型レジスト液 …５３．３部
（ＦＨ−２４１３Ｆ、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）
・メチルエチルケトン …４６．７部
・メガファックＦ−７８０Ｆ（大日本インキ化学工業（株）製）… ０．０４部

続いて、上記で得られた液晶表示装置用基板上にポリイミドの配向膜を設けた後、カラーフィルタを構成する画素群の周囲に設けられたブラックマトリックスの外枠に相当する位置に、スペーサ粒子を含有するエポキシ樹脂のシール剤を印刷し、カラーフィルタ基板を別途用意した対向基板（ＴＦＴ基板）と貼り合わせた。次いで、貼り合わされたガラス基板を熱処理し、シール剤を硬化させて２枚のガラス基板の積層体を得た。この積層体を真空下で脱気し、その後大気圧に戻して２枚のガラス基板の間隙にＭＶＡモード用の液晶を注入した。注入終了後、注入口部分を接着剤を用い紫外線照射して封止し、液晶セルを得た。この液晶セルの両面に偏光板（（株）サンリツ製、ＨＬＣ２−２５１８）を貼り付けて３波長冷陰極管光源（東芝ライテック（株）製のＦＷＬ１８ＥＸ−Ｎ）のバックライトを構成し、液晶表示装置とした。

−評価−
上記の「ブラック（Ｋ）画像の形成」において、感光性転写材料Ｋ１を２丁ラミネートしたときの樹脂の染み出し、泡の混入の程度を下記のようにして評価した。評価結果は下記表２に示す。

（1）染み出し
並列に供給された感光性転写材料Ｋ１を２丁ラミネートしている際に、感光性転写材料間の合わせ目の部分に染み出している幅（転写材料の側端からの距離）を計測し、平均値を求めて染み出し幅（μｍ）とし、下記評価基準にしたがって評価した。
［評価基準］
○：染み出し幅が１００未満であった。
△：染み出し幅が１００以上１２０未満であった。
×：染み出し幅が１２０以上であった。

（2）泡混入
並列に供給された感光性転写材料Ｋ１を２丁ラミネートしている際の泡の巻き込みを目視により観察し、下記評価基準にしたがって評価した。
［評価基準］
○：泡の巻き込みの発生はなかった。
△：泡の巻き込みが少し発生したが、画素領域での発生はなく、実用上許容範囲内であった。
×：泡の巻き込みが発生した。

（実施例２）
実施例１において、ブラック（Ｋ）画像の高さを２．４μｍから３．０μｍに変更すると共に、ＩＴＯ膜の形成後に更に、既設のＫ画像の上方に下記フォトスペーサー用感光性転写材料を用いて以下のようにしてフォトスペーサーを形成したこと以外、実施例１と同様にして、カラーフィルタ側基板を作製し、液晶表示装置を作製した。なお、本発明では、実施例１のＲパターンとＧパターンとを積層してなるスペーサ構造は形成しなかった。
また、下記の「フォトスペーサーの形成」の際に、フォトスペーサー用感光性転写材料を２丁ラミネートしたときの樹脂の染み出し、泡の混入の程度を実施例１と同様の方法により評価した。評価結果は下記表２に示す。なお、フォトスペーサー形成前は、ガラス基板上の既設のＫ画像とＲ画素、Ｇ画素及びＢ画素とで基板表面の段差は１μｍになっている。

−スペーサの形成−
（１）フォトスペーサー用感光性転写材料ＰＨ１の作製
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体（ＰＥＴ仮支持体）上に、下記処方からなる感光性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させて、乾燥層厚４．１μｍの感光性樹脂層を積層した。その後、感光性樹脂層の表面にカバーフィルムとして厚み１２μｍのポリプロピレン製フィルムを加熱・加圧して貼り付け、スペーサ用感光性転写材料ＰＨ１を作製した。

〈処方〉
・コロイダルシリカ分散物 …１４０．９部
（コロイダルシリカ：３０部、メチルイソブチルケトン：７０部、日産化学工業（株）製、ＭＩＢＫｓｔ）
・１−メトキシ−２−プロピルアセテート …３４７．６部
・メタクリル酸／アリルメタクリレート（＝２０／８０[モル比]）共重合体（質量平均分子量＝３．６万） … ９３．４３部
・ＤＰＨＡ液 … ９２．２０部
（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）
・ハイドロキノンモノメチルエーテル … ０．０３６部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６’−［４−（Ｎ，Ｎ’−ビスエトキシカルボニルメチル）−３’−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン … ２．２９７部
・ビクトリア・ピュアーブルーＢＯＨＭ … １．０２７部
（保土ヶ谷化学工業（株）製）
・メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業（株）製）… ０．３２３部
・メチルエチルケトン …３００．６部
・メタノール … １９．５０部

（２）フォトスペーサーの形成
得られたスペーサ用感光性転写材料ＰＨ１のカバーフィルムを剥離し、露出した感光性樹脂層の表面を、上記で作製したＩＴＯ膜がスパッタ形成されたカラーフィルタ基板のＩＴＯ膜上に重ね合わせ、ラミネートロールの外径を６０ｍｍに変更した以外は実施例１と同様に構成された２丁ラミネータ（転写装置）を用いて、実施例１と同様にしてラミネートし、ＰＥＴ仮支持体の剥離、露光、現像を行なってパターン（スペーサーパターン）を得た。
得られたスペーサーパターンは、直径１６μｍ、平均高さ３．７μｍの柱状であった。

（実施例３）
実施例１において、ブラック（Ｋ）画像の高さを２．４μｍから２．５μｍに変更すると共に、ＩＴＯ膜の形成後に更に、既設のＫ画像の上方に実施例２と同様のフォトスペーサー用感光性転写材料ＰＨ１を用いて実施例２と同様にフォトスペーサーを形成したこと以外、実施例１と同様にして、カラーフィルタ側基板を作製し、液晶表示装置を作製した。
また、下記の「フォトスペーサーの形成」の際に、フォトスペーサー用感光性転写材料を２丁ラミネートしたときの樹脂の染み出し、泡の混入の程度を実施例１と同様の方法により評価した。評価結果は下記表２に示す。なお、フォトスペーサー形成前は、ガラス基板上の既設のＫ画像とＲ画素、Ｇ画素及びＢ画素とで基板表面の段差は０．５μｍになっている。

（比較例１）
実施例１において、感光性転写材料Ｋ１を、下記のようにクッション層と中間層とをさらに設けた感光性転写材料Ｋ２に代えたこと以外、実施例１と同様にして、カラーフィルタ側基板を作製し、液晶表示装置を作製すると共に、実施例１と同様の評価を行なった。評価結果は下記表２に示す。なお、形成したブラック（Ｋ）画像の高さは、２．４μｍであった。

−感光性樹脂転写材料Ｋ２の作製−
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体（ＰＥＴ仮支持体）の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方Ｈ１からなるクッション層用塗布液を塗布し、乾燥させてクッション層を形成し、形成されたクッション層上に下記処方Ｐ１からなる中間層用塗布液を塗布し、乾燥させて中間層を積層した。その後、この中間層上に更に、実施例１と同様の着色感光性樹脂組成物Ｋ１を塗布し、乾燥させ、仮支持体上に乾燥膜厚が３μｍのクッション層と乾燥膜厚が１．６μｍの中間層と黒色感光性樹脂層を塗設した。そして、黒色感光性樹脂層の表面に保護フィルム（厚さ１２μｍポリプロピレンフィルム）を圧着した。
このようにして仮支持体／クッション層／中間層（酸素遮断膜）／黒色感光性樹脂層／保護フィルムの積層構造に構成された感光性樹脂転写材料Ｋ２を作製した。

<クッション層用塗布液の処方Ｈ１>
・メタノール …１１．１部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート … ６．４部
・メチルエチルケトン …５２．４部
・メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合比（モル比）＝５５／１１．７／４．５／２８．８、質量平均分子量１０万、Ｔｇ≒７０℃） … ５．８３部
・スチレン／アクリル酸共重合体（共重合比（モル比）＝６３／３７、質量平均分子量＝１万、Ｔｇ≒１００℃） …１３．６部
・２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン（新中村化学（株）製） … ９．１部
・前記界面活性剤１ … ０．５４部

<中間層用塗布液の処方Ｐ１>
・ポリビニルアルコール … ２．１部
（ＰＶＡ−２０５（鹸化率＝８８％）；（株）クラレ製）
・ポリビニルピロリドン … ０．９５部
（ＰＶＰ、Ｋ−３０；アイエスピー・ジャパン(株)製）
・メタノール …４４部
・蒸留水 …５３部

（比較例２）
実施例２において、スペーサ用感光性転写材料ＰＨ１を、下記のようにクッション層と中間層とをさらに設けたスペーサ用感光性転写材料ＰＨ２に代えたこと以外、実施例２と同様（但し、ラミネートロールの外径を８０ｍｍとした。）にして、カラーフィルタ側基板を作製し、液晶表示装置を作製すると共に、実施例２と同様の評価を行なった。評価結果は下記表２に示す。なお、形成したフォトスペーサーの高さは、４．１μｍであった。

−スペーサ用感光性転写材料ＰＨ２の作製−
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体（ＰＥＴ仮支持体）上に、比較例１と同様の処方Ｈ１からなるクッション層用塗布液を塗布し、乾燥させて乾燥層厚６．０μｍのクッション層を形成し、形成されたクッション層上に比較例１と同様の処方Ｐ１からなる中間層用塗布液を塗布し、乾燥させて乾燥層厚１．５μｍの中間層を積層した。その後、この中間層上に更に、実施例２と同様の感光性樹脂層用塗布液を塗布し、乾燥させて、感光性樹脂層を積層した。そして、黒色感光性樹脂層の表面に保護フィルム（厚さ１２μｍポリプロピレンフィルム）を圧着した。
このようにしてＰＥＴ仮支持体／クッション層／中間層（酸素遮断膜）／感光性樹脂層／保護フィルムの積層構造に構成されたスペーサ用感光性転写材料ＰＨ２を作製した。

前記表２示すように、実施例では、表示装置用材料であるカラーフィルタ及びスペーサは、転写時に染み出しや泡混入などの発生がなく、あるいは若干発生はあっても実用上許容できる範囲であり、安定的に液晶表示装置を作製することができた。特に、平坦なガラス基板の表面にラミネートを行なった実施例１では、泡の混入が抑えられ、ラミネート性を良好に確保しながら樹脂成分の染み出しをも効果的に解消することができた。
これに対し、比較例１〜２では、合わせ部における転写時の感光性樹脂層からの樹脂成分の染み出しによる欠陥が見られ、安定した製造が行なえなかった。
また、作製した液晶表示装置のうち、本発明の転写材料を用いて作製されたカラーフィルタでは異物付着による画像欠陥が少なく、このカラーフィルタを備えた液晶表示装置では、いずれの画面にも欠陥がなく表示画像は良好であった。これに対し、比較の転写材料を用いて作製されたカラーフィルタを備えた液晶表示装置では、画像欠陥の影響により表示画像は劣っていた。

本発明における転写装置の一例の全体を示す概略構成図である。 感光性転写材料の層構成を示す概略断面図である。 転写材料送り出し機構、加工機構、及び転写搬送機構の概略構成を示す拡大図である。 基板上の転写エリアを説明するための説明図である。 ２つの感光性転写材料のテンション調節機構の設置位置を示す斜視図である。 感光性転写材料の転写パターンを示す図である。 感光性転写材料の他の転写パターンを示す図である。

符号の説明

２…転写装置
１２…接合機構（熱圧着部）
１４…剥離部（転写搬送機構）
１６…転写材料送り出し機構
１７ａ，１７ｂ…感光性転写材料
２０ａ，２０ｂ…感光性樹脂層
２１…カバーフィルム
２２…基板
２２ａ… 転写エリア
２９…ラミロール対
３０…バックアップロール
３７，３８…転写材料取り付け軸（転写材料送り出し機構）
３９，４０…カッター部(加工機構）
４１，４２…カバーフィルム剥離機構（加工機構）
４３，４４…テンション調整機構（転写搬送機構）
５７…フィルム位置制御装置（転写搬送機構）

Claims (7)

1. 長尺状の複数の感光性転写材料を送り出す送出機構と送り出された前記複数の感光性転写材料を同一基板に接合する接合機構とを少なくとも備えた転写装置を用いて、前記複数の感光性転写材料の各感光性樹脂層を互いに交差しないように同一基板上に転写する樹脂積層体の製造方法であって、前記感光性転写材料が、仮支持体の直上に感光性樹脂層を形成して構成されたことを特徴とする樹脂積層体の製造方法。
2. 前記接合機構がラミネートロールを有し、前記ラミネートロールの外径が１００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の樹脂積層体の製造方法。
3. 前記基板の表面における段差が０．５μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の樹脂積層体の製造方法。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の樹脂積層体の製造方法により得られた樹脂積層体。
5. 請求項４に記載の樹脂積層体を露光し、現像してなる表示装置用材料。
6. 請求項５に記載の表示装置用材料を備えた表示装置。
7. 請求項５に記載の表示装置用材料を備えた液晶表示装置。

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