JP2007288191A - グループ内のデバイスのテスト結果を調整するためのテスト結果調整システムおよびテスト結果調整方法 - Google Patents

Abstract

【課題】グループ内のデバイスのテスト結果を調整するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコードと、ユーザが指定した開始点を受け取るためのコードと、第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコードとを含みうる。各デバイスには、第１のテスト実行のテスト結果および第２のテスト実行のテスト結果に対して同一の識別子が割り当てられる。一実施形態に係るテスト結果調整方法は、第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てることと、開始点を指定することと、第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てることとを含みうる。デバイス各々は、第１のテスト実行のテスト結果および第２のテスト実行のテスト結果に対して同一の識別子を割り当てられる。
【選択図】図１０

Description

本発明は、グループ内のデバイスのテスト結果を調整するためのシステムおよび方法に関する。

一般に、システムオンチップ（ＳＯＣ）デバイスは、それらを一意に識別するためのバーコード等の物理的属性を持たない。デバイスのグループをテストする場合には、個々のテスト結果をそれぞれサーチできるよう一意のデバイス識別子（ＩＤ）をテスタに入力することができる。例えば、ロット中のデバイスのテスト中には、自動的番号付けシステムを使用することができる。かかるシステムは、ロット中第１番目のデバイスにデバイスＩＤ１を割り当てることができる。その後に続くデバイスに対しては、システムはデバイスＩＤ２を割り当てることができる。後続デバイスはそれぞれ、予め定められた増分値に従い、３からＮ等のデバイスＩＤを割り当てられることになろう。ここで、Ｎはテスト対象デバイスの総数を示す。

デバイスグループのテスト中に問題が発生することがある。例えば、テスタの接続不良等が発生しうる。このような場合に、第１番目のデバイスまで戻ってデバイスロット全体をテストし直すことは望ましくない。ユーザは、問題の発生した時点からテストを再開するか、または、問題の発生直前の時点からテストを再開すると決定するだろう。しかし、また、ユーザは、デバイスロット全体のテスト結果を一つのファイルにしてレポートさせたいと望むかもしれない。また、ユーザは、当該グループ（またはグループの一部）について実行した第２のテスト処理の結果と、当該グループ（またはグループの一部）について実行した第１のテスト処理の結果とを関連付けたいと望むかもしれない。

本発明は、このような点に鑑みてなされたものであって、少なくとも上記の課題を解決することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、一実施形態として、グループ中のデバイスに対するテスト結果を調整するためのテスト結果調整システムを提供する。当該テスト結果調整システムは、第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコードと、前記デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための開始点として、前記識別子のうちユーザが指定した識別子を受け取るためのコードと、前記第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコードとを備え、前記第１のテスト実行のテスト結果に割り当てられる前記識別子各々は、前記デバイスの一つに対応し、前記第２のテスト実行のテスト結果に割り当てられる前記識別子各々は、前記デバイスの一部のうちの一つに対応し、前記第１のテスト実行および前記第２のテスト実行において対応するデバイスのテスト結果に対しては、同様の識別子が割り当てられる。

他の実施形態としては、グループ中のデバイスに対するテスト結果を調整するためのテスト結果調整方法を提供する。当該テスト結果調整方法は、第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てることと、前記デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための開始点として、前記識別子のうちユーザが指定した識別子を受け取ることと、前記第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てることとを含み、前記第１のテスト実行のテスト結果に割り当てられる前記識別子各々は、前記デバイスの一つに対応し、前記第２のテスト実行のテスト結果に割り当てられる前記識別子各々は、前記デバイスの一部のうちの一つに対応し、前記第１のテスト実行および前記第２のテスト実行において対応するデバイスのテスト結果に対しては、同様の識別子が割り当てられる。

上記以外の実施形態も開示する。

図１を参照し、第１列１０５、第２列１１０、及び第３列１１５を有する表１００を示す。第１列１０５は、グループ中の一連のデバイスを示す。第２列１１０は、グループ中のデバイスに対する第１のテスト実行のテスト結果に割り当てられるデバイスＩＤを示す。第３列１１５は、グループ中のテスト対象デバイスに対する第２のテスト実行のテスト結果に割り当てられるデバイスＩＤを示す。

通常、ユーザが初めてデバイスのロットをテストするとき、テストシステムは自動的にデバイスに１からＮの番号をつける。当該ロット中のデバイスの一部を再テストする場合には、システムは通常、テスト対象デバイスに１からＮの番号を再び振りなおす。図１に示すように、第１のテスト実行に対するデバイス識別子またはＩＤと、第２のテスト実行に対するデバイス識別子またはＩＤは、それぞれのテスト実行において異なるデバイスからテストが開始された場合には、互いに一致しない。

一実施形態において、ユーザは、整数等のＩＤ番号であるデバイス識別子を割り当てるための開始点をシステムに対して指示する。図２を参照し、第１列２０５、第２列２１０、および第３列２１５を有する表２００を示す。第１列２０５は、グループ中の一連のデバイスを示す。第２列２１０は、グループ中のテスト対象デバイスに対する第１のテスト実行のテスト結果に割り当てられるデバイス識別子またはＩＤを示す。第３列２１５は、グループ中のテスト対象デバイスに対する第２のテスト実行のテスト結果に割り当てられるデバイス識別子またはＩＤを示す。

再び図２を参照し、一実施形態において、ユーザは、第１のテスト実行と相関する結果を取得できるよう、「デバイス３」（列２０５中に図示）から第２のテスト実行を開始するため、「３」を第２のテスト実行のための開始デバイス識別子またはＩＤとして指定する。それに伴い、テスタが、第２のテスト実行を「デバイス３」から開始するときには、テスト結果には識別子「３」が割り当てられ、その後の「デバイス４」、「デバイス５」に対するテスト結果にはそれぞれ、識別子「４」、「５」が割り当てられ、第１のテスト実行と第２のテスト実行とを互いに関連付ける識別子が与えられる。

ユーザがデバイスグループの一部のみを再テストすることによって多大な時間の節約になることがわかるだろう。また、特定のデバイスグループに対する多数のテスト実行のテスト結果全てを関連付け、組み合わせることができる。

例えば、ここで開示するデバイステストの方法およびシステムの実施形態は、Ｎ個のデバイスのグループ３０５（図３）を備えるウェハ３００のテストに適用できるが、これに限定されるものではない。このデバイステストの方法およびシステムは、デバイスグループ４１０（図４）を備えるウェハ４０５のグループを備えるカセット４００のテストに適用できる。このデバイスのテスト方法およびシステムは、ウェハグループおよびデバイスグループを備えるカセット４００のグループを有するマガジン５００（図５）に適用できる。このデバイスのテスト方法およびシステムは、デバイスグループ６１０を備えるウェハグループ６０５を有するロット６００（図６）に適用できる。

一実施形態において、グループ中のデバイスのテスト結果を調整するためのシステム７００を提供する。システム７００は、デバイスに対して第１のテスト実行を行うためのコード７０５を備えることができる。また、システム７００は、第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード７１０を備えることができ、各識別子は、デバイスの一つに対応する。システム７００はさらに、デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための開始点として、ユーザに識別子の一つを指定させるためのコード７１５を備えることができる。システム７００は、開始点として指定された識別子の一つに対応するデバイスの一つからはじめて第２のテスト実行を行うためのコード７２０を備えることができる。システム７００は、第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード７２５を備えることができ、当該識別子各々はデバイスの一部のうち一つのデバイスに対応し、デバイス各々は、第１のテスト実行のテスト結果および第２のテスト実行のテスト結果について同一の識別子を割り当てられる。

図８の表８００に示すように、列８０５は、システム７００によってテストされるＮ個のデバイスのグループを示すことができる。前述のように、これらのデバイスは、ウェハ３００のデバイスグループ３０５（図３）として提供されることができる。これらのデバイスは、カセット４００中の複数のウェハ４０５上のデバイスグループ４１０（図４）として提供されることができる。これらのデバイスは、マガジン５００中のカセット４００のグループ上のデバイス（図５）として提供されることができる。これらのデバイスは、ロット６００中の複数のウェハ６０５上のデバイスグループ６１０（図６）として提供されることができる。これらのデバイスは、デバイスの他のグループから提供されることもできる。

再び図８を参照し、列８１０は、デバイスに対して第１のテスト実行を行うためのコード７０５と、第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード７１０とから生成されることができる。その後、コード７１５が、第２のテスト実行を行うための開始点として、この例ではデバイスＩＤ「１１」である、識別子の一つをユーザに指定させる。

再び図８を参照し、列８１５は、第２のテスト実行を行うためのコード７２０と、第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード７２５とから生成されることができる。図示するとおり、第２のテスト実行に対して割り当てられるデバイスＩＤは、第１のテスト実行に対して割り当てられるデバイスＩＤと関連付けられている。

図７を参照し、一実施形態においては、システム７００は任意に、第１のテスト実行のテスト結果と第２のテスト実行のテスト結果とを単一の出力ファイルに統合するためのコード７３０を含むことができる。例えば、単一の出力ファイルは、ＳＴＤＦ（標準テスト定義フォーマット）ファイル、ＡＳＣＩＩ（情報交換用米国標準コード）ファイル、ＸＭＬ（拡張マークアップ言語）ファイル、およびＥＤＬ（イベントデータロギング）ファイルでありうるが、これらに限定されない。

一実施形態においては、デバイスに対して第１のテスト実行を行うためのコード７０５および、開始点として指定された識別子の一つに対応するデバイスの一つからはじめて第２のテスト実行を行うためのコード７２０は、自動テスト装置を用いてデバイスのテストを実行することができる。自動テスト装置は、アジレント・システムまたはテラダイン・システムでありうるが、これらに限定されない。

他実施形態においては、デバイスに対して第１のテスト実行を行うためのコード７０５は、自動テスト装置の第１の組において実行され、デバイスに対して第２のテスト実行を行うためのコード７２０は、自動テスト装置の第２の組において実行される。一実施形態においては、自動テスト装置の第１の組および自動テスト装置の第２の組は、互いに異なるフォーマットを有してもよい。例えば、一実施形態においては、自動テスト装置の第１の組および自動テスト装置の第２の組のうちいずれかの組がアジレント・システムであってよい。そして、自動テスト装置のもう一方の組がテラダイン・システムであってよい。

一実施形態においては、第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード７１０は、デバイス一つ一つに整数を割り当て、かかる整数割り当てを１から開始して、順次各割り当てに際して割り当てる整数を１ずつ増加させる。他実施形態においては、第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード７１０および、第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード７２５は、デバイスに応じてテスト結果に整数を割り当てることを含む。通常、デバイスに対応してテスト結果に整数を割り当てるためのコード７１０／７２５は、順次テストされるデバイス各々に対して割り当てる整数を１ずつ増加させる。

また、デバイスに対応してテスト結果に整数を割り当てるためのコード７１０／７２５は、順次テストされるデバイス各々に対して割り当てる整数を所定の倍数によって増加させてもよい。例えば、所定の倍数１０を使用して、割り当てられる識別子を１０、２０、３０、４０、等々としてもよい。

他実施形態においては、各デバイスに、整数以外の識別子を割り当てても良い。例えば、整数以外の識別子は、ａｂｃ１、ａｂｃ２、ａｂｃ３、…、ａｂｃＮ等のアルファベットと数字を組み合わせた識別子を含んでも良い。

一実施形態においては、デバイスの一部に対する第２のテスト実行の実行終了点として識別子の一つを指定するためのコード７３５を任意に設けることができる。

例えば、図９の表９００に示すように、列９０５は、システム７００によりテストされるＮ個のデバイスのグループを示すことができる。上述のように、これらのデバイスは、ウェハ３００上のデバイスグループ３０５として提供されてもよい（図３）。また、これらのデバイスは、カセット４００中の複数のウェハ４０５上のデバイスグループ４１０として提供されてもよい（図４）。また、これらのデバイスは、マガジン５００中のカセット４００のグループ中のデバイスグループとして提供されてもよい（図５）。また、これらのデバイスは、ロット６００中の複数のウェハ６０５上のデバイスグループ６１０として提供されてもよい（図６）。これらのデバイスは、他のデバイスグループ中に設けられてもよい。

再び図９を参照し、列９１０は、デバイスに対して第１のテスト実行を行うためのコード７０５および第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード７１０により生成されることができる。次に、コード７１５は、第２のテスト実行を行うための開始点として、識別子の一つをユーザに指定させる。この例では、指定される識別子は、デバイスＩＤ「１１」である。さらに、コード７３５は、デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための終了点として識別子の一つをユーザに指定させる。この例では、指定される識別子は、デバイスＩＤ「２０」である。

再び図９を参照し、列９１５は、第２のテスト実行を行うためのコード７２０および第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード７２５により生成されることができる。図示するように、第２のテスト実行について割り当てられるデバイスＩＤは、第１のテスト実行について割り当てられるデバイスＩＤと相関する。

上述のように、コード７０５およびコード７２０は、デバイスのグループに対してテスト実行を行ってもよい。例えば、コード７０５は、第１のテスト実行を行うために設けられ、コード７２０は、ウェハ上に含まれるデバイスに対して第２のテスト実行を行うために設けられてもよい。また、コード７０５は、第１のテスト実行を行うために設けられ、コード７２０は、ロット中に含まれるデバイスに対して第２のテスト実行を行うために設けられてもよい。また、コード７０５は、第１のテスト実行を行うために設けられ、コード７２０は、ロット中の複数のウェハ内に含まれるデバイスに対して第２のテスト実行を行うために設けられてもよい。

コード７０５は、第１のテスト実行を行うために設けられ、コード７２０は、カセット中に含まれる複数のウェハ上に含まれるデバイスに対して、第２のテスト実行を行うために設けられてもよい。コード７０５は、第１のテスト実行を行うために設けられ、コード７２０は、マガジン中に含まれる複数のカセット上の複数のウェハ中のデバイスに対して第２のテスト実行を行うために設けられてもよい。

コード７０５は、第１のテスト実行を行うために設けられ、コード７２０は、識別用の印を持たないデバイスに対して、第２のテスト実行を行うために設けられてもよい。例えば、研究開発プロジェクトにおいて使用されるデバイスは、識別用の印を持たないことが多い。

一実施形態においては、第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード７１０および第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード７２５は、デバイス上に存在する物理的な印に対応する識別子を生成してもよい。第１のテスト実行を行うため、及び、第２のテスト実行を行うためのコード７０５／７２０は、デバイス上に存在するであろう物理的印を読み取ることができない自動テスト装置により実行されてもよい。

図７を参照し、他実施形態においては、デバイスの一部に対して第３のテスト実行を行うための開始点として識別子の一つを指定するために、任意にコード７４０を設けることができる。第３のテスト実行を行うためのコード７４０は、開始点として指定された識別子に対応するデバイスから開始される。また、第３のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるために、任意にコード７４５を設けることができる。各識別子は、デバイスの一つに対応する。各デバイスには、第１のテスト実行のテスト結果、第２のテスト実行のテスト結果、および第３のテスト実行のテスト結果について、同一の識別子が割り当てられる。

次に、図１０を参照し、グループ中のデバイスのテスト結果を調整するための方法１０００を示す。一実施形態においては、方法１０００は、デバイスに対して第１のテスト実行を行うこと１００５を含みうる。また、方法１０００は、識別子の各々がデバイスの一つに対応するように、第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てること１０１０を含みうる。また、方法１０００は、デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための開始点として識別子の一つを指定すること１０１５を含みうる。また、方法１０００は、開始点として指定された識別子の一つに対応するデバイスの一つから、第２のテスト実行を行うこと１０２０を含みうる。また、方法１０００は、識別子各々がデバイスの部分の一つに対応するように、第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てること１０２５を含むことができ、このとき、デバイス各々には、第１のテスト実行のテスト結果および第２のテスト実行のテスト結果について同一の識別子が割り当てられる。

任意に、第１のテスト実行を行うこと１００５および、第２のテスト実行を行うこと１０２０は、それぞれ、自動テスト装置によって実行されてよい。例えば、第１のテスト実行を行うこと１００５および第２のテスト実行を行うこと１０２０はそれぞれ、アジレント・システムまたはテラダイン・システムにより実行されてよい。

第１のテスト実行を行うこと１００５は、自動テスト装置の第１の組により実行されてよく、第２のテスト実行を行うこと１０２０は、自動テスト装置の第２の組により実行されてよい。自動テスト装置の第１の組および自動テスト装置の第２の組は、互いに異なるフォーマットを有してよい。例えば、自動テスト装置の第１の組および自動テスト装置の第２の組のいずれかがアジレント・システムであってよい。また、自動テスト装置の他の組がテラダイン・システム、またはアジレントが製造していない他のシステムであってよい。他実施形態においては、自動テスト装置の両組が、アジレントが製造しているシステム以外のシステムであってよい。

他実施形態においては、方法１０００は、第１のテスト実行のテスト結果と第２のテスト実行のテスト結果とを単一の出力ファイルにまとめること１０３０を任意に含んでよい。第１のテスト実行のテスト結果と第２のテスト実行のテスト結果とを単一の出力ファイルにまとめること１０３０は、ＳＴＤＦファイル、ＡＳＣＩＩファイル、ＸＭＬファイル、またはＥＤＬファイルを生成してよい。

第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てること１０１０は、整数割り当てを１から開始して１０４０、順次割り当てごとに整数割り当てを１増加させて１０４５、デバイス各々に整数を割り当てること１０３５を、任意に含んでよい。

第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てること１０１０と、第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てること１０２５は、デバイスに応じてテスト結果に整数を割り当てることを含んでもよい。デバイスに対応してテスト結果に整数を割り当てること１０３５は、順次テストされるデバイス各々に対して割り当てる整数を１ずつ増加させることを含んでもよい。

一実施形態においては、方法１０００は、デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための終了点として識別子の一つを指定すること１０５０を、任意に含んでよい。

一実施形態においては、第１のテスト実行を行うこと１００５および第２のテスト実行を行うこと１０２０は、各々、ウェハ上に含まれるデバイスをテストしてもよい。他実施形態においては、第１のテスト実行を行うこと１００５および第２のテスト実行を行うこと１０２０は、各々、ロット内に含まれるデバイスをテストしてもよい。一実施形態においては、第１のテスト実行を行うこと１００５および第２のテスト実行を行うこと１０２０は、ロット中の複数のウェハ上に含まれるデバイスをテストしてもよい。一実施形態においては、第１のテスト実行を行うこと１００５および第２のテスト実行を行うこと１０２０は、各々、カセット上に含まれる複数のウェハに含まれるデバイスをテストしてもよい。他実施形態においては、第１のテスト実行を行うこと１００５および第２のテスト実行を行うこと１０２０は、各々、マガジン内に含まれる複数のカセット上の複数のウェハ上のデバイスをテストしてもよい。

一実施形態においては、第１のテスト実行を行うこと１００５および第２のテスト実行を行うこと１０２０は、各々、識別用の印を持たないデバイスをテストしてもよい。他実施形態においては、第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てること１００５は、デバイスの物理的印に対応した識別子を生成してもよい。

テスト状況によっては、第１のテスト実行を行うこと１００５および第２のテスト実行を行うこと１０２０は、デバイス上に存在しうる物理的印を読み取ることができない自動テスト装置により実行されてもよい。例えば、開始点として識別子の一つを指定すること１０１５は、デバイス上に存在しうる物理的印に基づいてよく、これらの物理的印は、第２のテスト実行を行う１０２０自動テスト装置には読み取り不可能なものでもよい。

一実施形態においては、方法１０００は、デバイスの一部に対して第３のテスト実行を行うための開始点として識別子の一つを指定すること１０５５を、任意に含んでよい。方法１０００は、開始点として指定された識別子の一つに対応するデバイスの一つからはじめて第３のテスト実行を行うこと１０６０を、任意に含んでよい。方法１０００はまた、第３のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てること１０６５を、任意に含んでよい。通常、識別子各々は、デバイスの一つに対応する。各デバイスには、第１のテスト実行、第２のテスト実行、および第３のテスト実行のテスト結果に対して同一の識別子が割り当てられる。

以下、本願の付記を説明する。

（付記１）
グループ中のデバイスのテスト結果を調整するためのテスト結果調整システム７００であって、
識別子各々がデバイスの一つに対応するように、第１のテスト実行のテスト結果に前記識別子を割り当てるためのコード７１０と、
デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための開始点としてユーザが指定した識別子の一つを受け取るためのコード７１５と、
識別子各々がデバイスの一部の一つに対応するように、第２のテスト実行のテスト結果に前記識別子を割り当てるためのコード７２５とを含み、対応するデバイスの、第１のテスト実行のテスト結果および第２のテスト実行のテスト結果には同様の識別子が割り当てられることを特徴とする、テスト結果調整システム。

（付記２）
複数のデバイスに対して第１のテスト実行を行うためのコード７０５をさらに含むことを特徴とする付記１に記載のテスト結果調整システム。

（付記３）
前記開始点として指定された識別子の一つに対応するデバイスの一つからはじめて、第２のテスト実行を行うためのコード７２０をさらに含むことを特徴とする付記１に記載のテスト結果調整システム。

（付記４）
前記第１のテスト実行の前記テスト結果の少なくともいくつかと、前記第２のテスト実行の前記テスト結果の少なくともいくつかとを、単一の出力ファイルにまとめるためのコード７３０をさらに含むことを特徴とする付記１に記載のテスト結果調整システム。

（付記５）
前記デバイスに対して前記第１のテスト実行を行うためのコード７０５をさらに含み、前記開始点として指定された識別子の一つに対応するデバイスの一つからはじめて前記第２のテスト実行を行うためのコード７２０をさらに含み、前記第１のテスト実行を行うための前記コード７０５および前記第２のテスト実行を行うための前記コード７２０は、自動テスト装置を使用して前記デバイスに対してテストを実行することを特徴とする付記１に記載のテスト結果調整システム。

（付記６）
前記デバイスに対して前記第１のテスト実行を行うための前記コード７０５は、自動テスト装置の第１の組において実行され、前記デバイスに対して前記第２のテスト実行を行うための前記コード７２０は、自動テスト装置の第２の組において実行されることを特徴とする付記１に記載のテスト結果調整システム。

（付記７）
前記第１のテスト実行の前記テスト結果に識別子を割り当てるためのコード７１０、および、前記第２のテスト実行の前期テスト結果に識別子を割り当てるためのコード７２０は、デバイスに対応して前記テスト結果に整数を割り当て、前記デバイスに対応して前記テスト結果に整数を割り当てるための前記コード７２５は、順次テストされるデバイス各々につき前記整数を１ずつ増加させることを特徴とする付記１に記載のテスト結果調整システム。

（付記８）
グループ中のデバイスに対するテスト結果を調整するためのテスト結果調整方法１０００であって、
識別子各々がデバイスの一つに対応するように、第１のテスト実行のテスト結果に対して前記識別子を割り当てる１０１０と、
デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための開始点としてユーザが指定した識別子の一つを受け取る１０１５と、
識別子各々がデバイスの一部の一つに対応するように、第２のテスト実行のテスト結果に対して前記識別子を割り当てる１０２５とを含み、対応するデバイスの、第１のテスト実行のテスト結果および第２のテスト実行のテスト結果には同様の識別子が割り当てられることを特徴とする、テスト結果調整方法。

（付記９）
前記第１のテスト実行の前記テスト結果の少なくともいくつかと、前記第２のテスト実行の前記テスト結果の少なくともいくつかとを、単一の出力ファイルにまとめる１０３０をさらに含むことを特徴とする付記８に記載のテスト結果調整方法。

（付記１０）
前記第１のテスト実行の前記テスト結果に識別子を割り当てること１０１０、および、前記第２のテスト実行の前期テスト結果に識別子を割り当てることは、デバイスに対応して前記テスト結果に整数を割り当てること１０３５を含み、前記デバイスに対応して前記テスト結果に整数を割り当てること１０３５は、順次テストされるデバイス各々につき前記整数を１ずつ増加させることを特徴とする付記８に記載のテスト結果調整方法。

本発明にかかるテスト結果調整方法およびテスト結果調整システムは、デバイスのグループに対するテスト結果を調整するための方法およびシステムに適しておりこれらに有用である。

図１は、デバイスグループに対する第１のテスト実行のテスト結果に割り当てられるデバイス識別子の組および、デバイスグループの一部に対する第２のテスト実行のテスト結果に割り当てられるデバイス識別子の他の組の例示的表である。 図２は、デバイスグループに対する第１のテスト実行のテスト結果に割り当てられるデバイス識別子の組および、第１のテスト実行の識別子と相関するデバイスグループの一部に対する第２のテスト実行のテスト結果に割り当てられる、デバイス識別子の対応する組の例示的表である。 図３は、ウェハ上のデバイスグループを示す図である。 図４は、カセットに取り付けられた、複数のウェハ上のデバイスグループの図である。 図５は、マガジン中のカセットの組の図である。 図６は、各ウェハ上にデバイスが装着された、ウェハのロットの図である。 図７は、グループ中のデバイスに対するテスト結果に識別子を割り当てるためのシステムの例の図である。 図８は、デバイスグループに対する第１のテスト実行のテスト結果に割り当てられるデバイス識別子の組および、デバイス中から開始点として選択された１デバイスから第１のテスト実行によりテストされた最後のデバイスまでを含む、デバイスグループの一部に対する第２のテスト実行のテスト結果に割り当てられるデバイス識別子の対応する組の例示的表である。 図９は、デバイスグループに対する第１のテスト実行のテスト結果に割り当てられるデバイス識別子の１組および、開始点としてデバイスから選択された１デバイスから終了点としてデバイスから選択された１デバイスまでの、デバイスグループの一部に対する第２のテスト実行のテスト結果に割り当てられるデバイス識別子の対応する組を示す表である。 図１０は、グループ中のデバイスのテスト結果に識別子を割り当てる方法の例を示す図である。

符号の説明

１００、２００、８００、９００ 表
１０５、２０５ 第１列
１１０、２１０ 第２列
１１５、２１５ 第３列
３００、４０５ ウェハ
３０５、４１０、６１０ デバイスグループ
４００ カセット
５００ マガジン
６００ ロット
６０５ ウェハグループ
７００ テスト結果調整システム
７０５ デバイスに対して第１のテスト実行を行うためのコード
７１０ 第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード
７１５ デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための開始点として、ユーザに識別子の一つを指定させるためのコード
７２０ 開始点として指定された識別子の一つに対応するデバイスの一つからはじめて第２のテスト実行を行うためのコード
７２５ 第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード
７３０ 第１のテスト実行のテスト結果と第２のテスト実行のテスト結果とを単一の出力ファイルに統合するためのコード
７３５ デバイスの一部に対する第２のテスト実行の実行終了点として識別子の一つを指定するためのコード
７４０ デバイスの一部に対して第３のテスト実行を行うための開始点として識別子の一つを指定するためのコード
７４５ 第３のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコード
８０５、８１０、８１５、９０５、９１０、９１５ 列
１０００ テスト結果調整方法
１００５ デバイスに対して第１のテスト実行を行うこと
１０１０ 第１のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てること
１０１５ デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための開始点として識別子の一つを指定すること
１０２０ 開始点として指定された識別子の一つに対応するデバイスの一つから、第２のテスト実行を行うこと
１０２５ 第２のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てること
１０３０ 第１のテスト実行のテスト結果と第２のテスト実行のテスト結果とを単一の出力ファイルにまとめること
１０３５ デバイス各々に整数を割り当てること
１０４０ 整数割り当てを１から開始すること
１０４５ 順次割り当てごとに整数割り当てを１増加させること
１０５０ デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための終了点として識別子の一つを指定すること
１０５５ デバイスの一部に対して第３のテスト実行を行うための開始点として識別子の一つを指定すること
１０６０ 開始点として指定された識別子の一つに対応するデバイスの一つからはじめて第３のテスト実行を行うこと
１０６５ 第３のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てること

Claims (29)

1. グループ中のデバイスのテスト結果を調整するためのテスト結果調整システムであって、
   識別子各々がデバイスの一つに対応するように、第１のテスト実行のテスト結果に前記識別子を割り当てるためのコードと、
   デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための開始点としてユーザが指定した識別子の一つを受け取るためのコードと、
   識別子各々がデバイスの一部の一つに対応するように、第２のテスト実行のテスト結果に前記識別子を割り当てるためのコードとを含み、対応するデバイスの、第１のテスト実行のテスト結果および第２のテスト実行のテスト結果には同様の識別子が割り当てられることを特徴とする、テスト結果調整システム。
2. 複数のデバイスに対して第１のテスト実行を行うためのコードをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のテスト結果調整システム。
3. 前記開始点として指定された識別子の一つに対応するデバイスの一つからはじめて、第２のテスト実行を行うためのコードをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のテスト結果調整システム。
4. 前記第１のテスト実行の前記テスト結果の少なくともいくつかと、前記第２のテスト実行の前記テスト結果の少なくともいくつかとを、単一の出力ファイルにまとめるためのコードをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のテスト結果調整システム。
5. 前記単一の出力ファイルは、ＳＴＤＦファイル、ＡＳＣＩＩファイル、ＸＭＬファイル、およびＥＤＬファイルからなるグループから選択される１ファイルであることを特徴とする請求項２に記載のテスト結果調整システム。
6. 前記デバイスに対して前記第１のテスト実行を行うためのコードをさらに含み、前記開始点として指定された識別子の一つに対応するデバイスの一つからはじめて前記第２のテスト実行を行うためのコードをさらに含み、前記第１のテスト実行を行うための前記コードおよび前記第２のテスト実行を行うための前記コードは、自動テスト装置を使用して前記デバイスに対してテストを実行することを特徴とする請求項１に記載のテスト結果調整システム。
7. 前記デバイスに対して前記第１のテスト実行を行うための前記コードは、自動テスト装置の第１の組において実行され、前記デバイスに対して前記第２のテスト実行を行うための前記コードは、自動テスト装置の第２の組において実行されることを特徴とする請求項１に記載のテスト結果調整システム。
8. 前記自動テスト装置の第１の組および前記自動テスト装置の第２の組は、互いに異なるハードウェアフォーマットを有することを特徴とする請求項６に記載のテスト結果調整システム。
9. 前記第１のテスト実行の前記テスト結果に識別子を割り当てるためのコード、および、前記第２のテスト実行の前期テスト結果に識別子を割り当てるためのコードは、デバイスに対応して前記テスト結果に整数を割り当て、前記デバイスに対応して前記テスト結果に整数を割り当てるための前記コードは、順次テストされるデバイス各々につき前記整数を１ずつ増加させることを特徴とする請求項１に記載のテスト結果調整システム。
10. 前記デバイスの一部に対して前記第２のテスト実行を行うための終了点として、前記識別子の一つを指定するためのコードをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のテスト結果調整システム。
11. 前記第１のテスト実行を行うための前記コード、および、前記第２のテスト実行を行うための前記コードは、各々、半導体ウェハ上に含まれる前記デバイスをテストすることを特徴とする請求項１に記載のテスト結果調整システム。
12. 前記第１のテスト実行を行うための前記コード、および、前記第２のテスト実行を行うための前記コードは、各々、ロット中に含まれる前記デバイスをテストすることを特徴とする請求項１に記載のテスト結果調整システム。
13. 前記第１のテスト実行の前記テスト結果に前記識別子を割り当てるための前記コードは、前記デバイス上の物理的印に対応した識別子を生成することを特徴とする請求項１に記載のテスト結果調整システム。
14. 前記デバイスの一部に対して第３のテスト実行を行うための開始点として、前記識別子の一つを指定するためのコードと、前記開始点として指定された前記識別子の一つに対応する前記デバイスの一つからはじめて前記第３のテスト実行を行うためのコードと、前記第３のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てるためのコードとをさらに含み、前記識別子の各々は前記デバイスの一部の一つに対応し、前記デバイスの各々は、前記第１のテスト実行のテスト結果、前記第２のテスト実行のテスト結果、および前記第３のテスト実行のテスト結果にたいして同一の識別子を割り当てられることを特徴とする請求項１に記載のテスト結果調整システム。
15. グループ中のデバイスに対するテスト結果を調整するためのテスト結果調整方法であって、
    識別子各々がデバイスの一つに対応するように、第１のテスト実行のテスト結果に対して前記識別子を割り当てることと、
    デバイスの一部に対して第２のテスト実行を行うための開始点としてユーザが指定した識別子の一つを受け取ることと、
    識別子各々がデバイスの一部の一つに対応するように、第２のテスト実行のテスト結果に対して前記識別子を割り当てることとを含み、対応するデバイスの、第１のテスト実行のテスト結果および第２のテスト実行のテスト結果には同様の識別子が割り当てられることを特徴とする、テスト結果調整方法。
16. 複数のデバイスに対して第１のテスト実行を行うことをさらに含むことを特徴とする請求項１５に記載のテスト結果調整方法。
17. 前記開始点として指定された識別子の一つに対応するデバイスの一つからはじめて、第２のテスト実行を行うことをさらに含むことを特徴とする請求項１５に記載のテスト結果調整方法。
18. 前記第１のテスト実行を行うこと、および、前記第２のテスト実行を行うことは、各々、自動テスト装置により実行されることを特徴とする請求項１５に記載のテスト結果調整方法。
19. 前記第１のテスト実行を行うことは、自動テスト装置の第１の組により実行され、前記第２のテスト実行を行うことは、自動テスト装置の第２の組により実行されることを特徴とする請求項１５に記載のテスト結果調整方法。
20. 前記自動テスト装置の第１の組および前記自動テスト装置の第２の組は、互いに異なるハードウェアフォーマットを有することを特徴とする請求項１９に記載のテスト結果調整方法。
21. 前記第１のテスト実行の前記テスト結果の少なくともいくつかと、前記第２のテスト実行の前記テスト結果の少なくともいくつかとを、単一の出力ファイルにまとめることをさらに含むことを特徴とする請求項１５に記載のテスト結果調整方法。
22. 前記第１のテスト実行の前記テスト結果の少なくともいくつかと、前記第２のテスト実行の前記テスト結果の少なくともいくつかとを、単一の出力ファイルにまとめることは、ＳＴＤＦファイル、ＡＳＣＩＩファイル、ＸＭＬファイル、およびＥＤＬファイルからなるグループから選択される１ファイルを生成することを特徴とする請求項２１に記載のテスト結果調整方法。
23. 前記第１のテスト実行の前記テスト結果に識別子を割り当てること、および、前記第２のテスト実行の前期テスト結果に識別子を割り当てることは、デバイスに対応して前記テスト結果に整数を割り当て、前記デバイスに対応して前記テスト結果に整数を割り当てることは、順次テストされるデバイス各々につき前記整数を１ずつ増加させることを特徴とする請求項１５に記載のテスト結果調整方法。
24. 前記デバイスの一部に対して前記第２のテスト実行を行うための終了点として、前記識別子の一つを指定することをさらに含むことを特徴とする請求項１５に記載のテスト結果調整方法。
25. 前記第１のテスト実行を行うこと、および、前記第２のテスト実行を行うことは、各々、半導体ウェハ上に含まれる前記デバイスをテストすることを特徴とする請求項１５に記載のテスト結果調整方法。
26. 前記第１のテスト実行を行うこと、および、前記第２のテスト実行を行うことは、各々、ロット中に含まれる前記デバイスをテストすることを特徴とする請求項１５に記載のテスト結果調整方法。
27. 前記第１のテスト実行の前記テスト結果に前記識別子を割り当てることは、前記デバイス上の物理的印に対応した識別子を生成することを特徴とする請求項１５に記載のテスト結果調整方法。
28. ユーザは、前記デバイス上の物理的印に基づいて前記開始点として前記識別子の一つを指定し、前記物理的印は、前記第２のテスト実行を行う自動テスト装置には読み取り不可能であることを特徴とする請求項１５に記載のテスト結果調整方法。
29. 前記デバイスの一部に対して第３のテスト実行を行うための開始点として、前記識別子の一つを指定することと、前記開始点として指定された前記識別子の一つに対応する前記デバイスの一つからはじめて前記第３のテスト実行を行うことと、前記第３のテスト実行のテスト結果に識別子を割り当てることとをさらに含み、前記識別子の各々は前記デバイスの一部の一つに対応し、前記デバイスの各々は、前記第１のテスト実行のテスト結果、前記第２のテスト実行のテスト結果、および前記第３のテスト実行のテスト結果に対して同一の識別子を割り当てられることを特徴とする請求項１５に記載のテスト結果調整方法。

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