JP2007268521A - Pretreatment apparatus for coating film forming apparatus, pretreatment method for coating film forming apparatus, coating film forming apparatus, and coating film forming method - Google Patents
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Abstract
【課題】経済性及び保守性を著しく向上させることが可能な塗布膜形成装置用前処理装置を提供すること。
【解決手段】塗布膜形成装置用前処理装置10は、プライミングローラ16と、循環溶剤供給ノズル18と、掻取ドクターブレード20と、吸引手段120とを備える。プライミングローラ16には、塗布液供給ノズル100から塗布液110が吐出される。循環溶剤供給ノズル18は、プライミングローラ16上に吐出された塗布液110に対して溶剤を供給する。掻取ドクターブレード20は、その先端がプライミングローラ16に斜め下方から押しつけられて接触するように配置され、プライミングローラ16上の塗布液110及び溶剤を掻き取る。吸引手段120は、吸引口36及び真空ポンプ52を有し、掻取ドクターブレード20によって掻き取られた塗布液110及び溶剤を吸引ポンプ52によって吸引口36から吸引する。
【選択図】図1To provide a pretreatment apparatus for a coating film forming apparatus capable of remarkably improving economy and maintainability.
A pretreatment apparatus for a coating film forming apparatus includes a priming roller, a circulating solvent supply nozzle, a scraping doctor blade, and a suction means. The coating liquid 110 is discharged from the coating liquid supply nozzle 100 to the priming roller 16. The circulating solvent supply nozzle 18 supplies a solvent to the coating liquid 110 discharged onto the priming roller 16. The scraping doctor blade 20 is arranged so that the tip thereof is pressed against and contacted with the priming roller 16 from below and scrapes the coating liquid 110 and the solvent on the priming roller 16. The suction means 120 has a suction port 36 and a vacuum pump 52, and sucks the coating liquid 110 and the solvent scraped by the scraping doctor blade 20 from the suction port 36 by the suction pump 52.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、塗布膜形成装置用前処理装置及び塗布膜形成装置用前処理方法、並びに、塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法に関する。 The present invention relates to a pretreatment apparatus for a coating film forming apparatus, a pretreatment method for a coating film forming apparatus, a coating film forming apparatus, and a coating film forming method.
従来から、基板に対して均一に溶質と溶媒との混合物である塗布液を塗布するため、基板に塗布液の塗布を行う前にプライミングローラに塗布液を吐出して、塗布膜形成装置の塗布液供給ノズルからの塗布液の突出量を調整する塗布膜形成装置用前処理装置が知られている(例えば、特許文献1〜4参照)。
ところで、塗布膜形成装置用前処理装置では、前に吐出された塗布液がプライミングローラ上に残ってしまったり、残った塗布液が乾燥してその溶質が固化することで異物となってしまったりすると、ノズルからの塗布液の突出量を調整しようとした場合に正しく調整できなくなってしまうため、塗布液を確実にプライミングローラ上から除去することが要求される。そのため、上述した従来の塗布膜形成装置用前処理装置は、プライミングローラの回転方向の順に、プライミングローラ上の塗布液に対して溶剤を供給する溶剤供給ノズルと、プライミングローラ上の塗布液及び溶剤を掻き取るドクターブレードと、プライミングローラを洗浄するための溶剤が貯留された溶剤槽とを備えている。このように、ドクターブレード及び溶剤槽を経ているのは、ドクターブレードのみ又は溶剤槽のみではプライミングローラ上から完全に塗布液を除去することができないためである。なお、この溶剤供給ノズルでは、溶剤槽の溶剤を配管を介して循環させた循環溶剤をプライミングローラ上に供給している。 By the way, in the pretreatment device for the coating film forming apparatus, the coating liquid discharged before remains on the priming roller, or the remaining coating liquid dries and the solute solidifies to become foreign matter. Then, when it is going to adjust the protrusion amount of the coating liquid from a nozzle, it will become impossible to adjust correctly, Therefore It is requested | required that a coating liquid should be reliably removed from a priming roller. Therefore, the above-described conventional pretreatment device for a coating film forming apparatus includes a solvent supply nozzle that supplies a solvent to the coating liquid on the priming roller in order of the rotation direction of the priming roller, and a coating liquid and a solvent on the priming roller. And a solvent tank storing a solvent for cleaning the priming roller. Thus, the reason why the doctor blade and the solvent tank are passed through is that the coating liquid cannot be completely removed from the priming roller only by the doctor blade or the solvent tank alone. In this solvent supply nozzle, a circulating solvent obtained by circulating the solvent in the solvent tank through a pipe is supplied onto the priming roller.
しかしながら、従来の塗布膜形成装置用前処理装置では、ドクターブレードによって掻き取られなかった一部の塗布液がドクターブレードの裏へと回り込み、その塗布液がプライミングローラ上に大量に残ってしまうことがあった。そうすると、溶剤槽内の溶剤における塗布液中の溶質の濃度がすぐに高まってしまう。そのため、溶剤槽内の溶剤における塗布液中の溶質の濃度を希釈するために新たな溶剤を多量に補充する必要があり、経済性が悪化してしまうという問題があった。 However, in the conventional pretreatment device for a coating film forming apparatus, a part of the coating liquid that has not been scraped off by the doctor blade wraps around the back of the doctor blade, and a large amount of the coating liquid remains on the priming roller. was there. If it does so, the density | concentration of the solute in the coating liquid in the solvent in a solvent tank will increase immediately. Therefore, in order to dilute the concentration of the solute in the coating solution in the solvent in the solvent tank, it is necessary to replenish a new solvent in a large amount, and there is a problem that the economy is deteriorated.
また、同時に、ドクターブレードによって掻き取られた塗布液中の溶質が固化してドクターブレードの周囲の部材に付着するため、清掃やドクターブレードの交換といったメンテナンス作業を定期的に行う必要があるという問題があった。従って、ドクターブレードの周囲の部材に対する溶質の付着を抑制するために、循環溶剤を大量に使用する必要があった。そうすると、溶剤槽の液面が低下してしまうので、溶剤槽に新たな溶剤を供給する必要が生じ、更なる経済性の悪化を招いていた。この溶剤槽の液面の低下を防止するため、ドクターブレードによって掻き取られた塗布液を溶剤槽に戻すことも考えられるが、結局溶剤槽内の溶剤における塗布液中の溶質の濃度が高まってしまうから溶剤槽への新たな溶剤の供給が必要となり、経済性の悪化が避けられなかった。 At the same time, the solute in the coating liquid scraped off by the doctor blade solidifies and adheres to members around the doctor blade, so that maintenance work such as cleaning and replacement of the doctor blade must be performed regularly. was there. Therefore, it was necessary to use a large amount of circulating solvent in order to suppress adhesion of solutes to members around the doctor blade. If it does so, since the liquid level of a solvent tank will fall, it will be necessary to supply a new solvent to a solvent tank, and the further economical deterioration was caused. In order to prevent the liquid level in the solvent tank from being lowered, it may be possible to return the coating liquid scraped by the doctor blade to the solvent tank, but the concentration of the solute in the coating liquid in the solvent in the solvent tank eventually increases. Therefore, it was necessary to supply a new solvent to the solvent tank, and the economic efficiency was unavoidable.
本発明は、経済性及び保守性を著しく向上させることが可能な塗布膜形成装置用前処理装置及び塗布膜形成装置用前処理方法、並びに、塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法を提供することを目的とする。 The present invention provides a pretreatment apparatus for a coating film forming apparatus, a pretreatment method for a coating film forming apparatus, a coating film forming apparatus, and a coating film forming method capable of significantly improving economy and maintainability. With the goal.
本発明に係る塗布膜形成装置用前処理装置は、塗布膜形成装置の塗布液供給ノズルから塗布液が吐出されるプライミングローラと、プライミングローラ上に吐出された塗布液に対して溶剤を供給する溶剤供給手段と、プライミングローラと接触し、プライミングローラ上の塗布液及び溶剤を掻き取るドクターブレードと、ドクターブレードによって掻き取られた塗布液及び溶剤を吸引する吸引手段とを備える。 A pretreatment apparatus for a coating film forming apparatus according to the present invention supplies a solvent to a priming roller from which a coating liquid is discharged from a coating liquid supply nozzle of the coating film forming apparatus and the coating liquid discharged onto the priming roller. Solvent supply means, a doctor blade that contacts the priming roller and scrapes off the coating liquid and the solvent on the priming roller, and a suction means that sucks the coating liquid and the solvent scraped off by the doctor blade.
本発明に係る塗布膜形成装置用前処理装置では、溶剤供給手段によってプライミングローラ上の塗布液に溶剤を供給し、プライミングローラ上の塗布液及び溶剤をドクターブレードによって掻き取りながら、さらにその掻き取られた塗布液及び溶剤を吸引手段によって吸引している。そのため、掻き取られた塗布液及び溶剤がドクターブレードの裏に回り込みにくくなり、その溶液が続く溶剤槽に持ち越されることがほとんどなくなるから、溶剤槽内の溶剤における塗布液中の溶質の濃度を極めて低い状態に維持できる。その結果、溶剤の補充量を極めて少なくでき、著しく経済性が向上することとなる。また、同時に、掻き取られた塗布液中の溶質が固化してドクターブレードの周囲の部材に付着することがほとんどなくなるため、著しく保守性が向上することとなる。これにより、溶剤供給手段から供給される溶剤の量についても大幅に削減することができ、更なる経済性の向上が図られる。 In the pretreatment apparatus for a coating film forming apparatus according to the present invention, the solvent is supplied to the coating liquid on the priming roller by the solvent supply means, and the coating liquid and the solvent on the priming roller are scraped off by the doctor blade, and further removed. The applied coating liquid and solvent are sucked by a suction means. For this reason, the scraped coating solution and solvent are less likely to go around the back of the doctor blade, and the solution is hardly carried over to the subsequent solvent tank. Therefore, the concentration of the solute in the coating liquid in the solvent in the solvent tank is extremely low. Can be kept low. As a result, the replenishment amount of the solvent can be extremely reduced, and the economic efficiency is remarkably improved. At the same time, since the solute in the coating solution thus scraped off hardly solidifies and adheres to members around the doctor blade, the maintainability is remarkably improved. As a result, the amount of the solvent supplied from the solvent supply means can be greatly reduced, and further economic efficiency can be improved.
ここで、吸引手段は、プライミングローラの全長に亘って延在するドクターブレードと、塗布液が掻き取られる側のドクターブレードの面を覆うようにプライミングローラの全長に亘って延在する板状体とにより形成される吸引口を有することが好ましい。このようにすると、吸引口がドクターブレードと一体となっているから、吸引口の構造を簡単にすることができると共に、塗布液及び溶剤をドクターブレードによって掻き取りながら、掻き取られた塗布液及び溶剤を効率よくより確実に吸引手段によって吸引することができる。 Here, the suction means includes a doctor blade extending over the entire length of the priming roller and a plate-like body extending over the entire length of the priming roller so as to cover the surface of the doctor blade on the side where the coating liquid is scraped off. It is preferable to have a suction port formed by In this way, since the suction port is integrated with the doctor blade, the structure of the suction port can be simplified, and the coating solution and the The solvent can be efficiently and more reliably sucked by the suction means.
また、吸引手段は、吸引した塗布液及び溶剤を一時的に貯留する一時貯留手段を有しており、塗布膜形成装置用前処理装置は、一時貯留手段に一時的に貯留された塗布液及び溶剤を排出する排出手段を更に備えることが好ましい。 Further, the suction means has a temporary storage means for temporarily storing the sucked coating liquid and solvent, and the coating film forming apparatus pretreatment device includes the coating liquid temporarily stored in the temporary storage means and It is preferable to further include a discharging means for discharging the solvent.
一方、本発明に係る塗布膜形成装置用前処理方法は、塗布膜形成装置の塗布液供給ノズルから塗布液をプライミングローラに対して吐出する吐出工程と、プライミングローラ上に吐出された塗布液に対して溶剤を供給する溶剤供給工程と、プライミングローラ上の塗布液及び溶剤をプライミングローラと接触するドクターブレードによって掻き取ると共に、ドクターブレードによって掻き取られた塗布液及び溶剤を吸引する除去工程とを備える。 On the other hand, the pretreatment method for a coating film forming apparatus according to the present invention includes a discharging step of discharging the coating liquid from the coating liquid supply nozzle of the coating film forming apparatus to the priming roller, and a coating liquid discharged on the priming roller. In contrast, a solvent supplying process for supplying a solvent, and a removing process for removing the coating liquid and the solvent on the priming roller by the doctor blade contacting the priming roller and sucking the coating liquid and the solvent scraped by the doctor blade. Prepare.
本発明に係る塗布膜形成装置用前処理方法では、プライミングローラ上に吐出された塗布液に溶剤を供給し、プライミングローラ上の塗布液及び溶剤をドクターブレードによって掻き取った後、さらに掻き取られた塗布液及び溶剤を吸引している。そのため、掻き取られた塗布液及び溶剤がドクターブレードの裏に回り込みにくくなり、その溶液が続く溶剤槽に持ち越されることがほとんどなくなるから、溶剤槽内の溶剤における塗布液中の溶質の濃度を極めて低い状態に維持できる。その結果、溶剤の補充量を極めて少なくでき、著しく経済性が向上することとなる。また、同時に、掻き取られた塗布液中の溶質が固化してドクターブレードの周囲の部材に付着することがほとんどなくなるため、著しく保守性が向上することとなる。これにより、溶剤供給手段から供給される溶剤の量についても大幅に削減することができ、更なる経済性の向上が図られる。 In the pretreatment method for a coating film forming apparatus according to the present invention, a solvent is supplied to the coating liquid discharged onto the priming roller, and the coating liquid and the solvent on the priming roller are scraped off by a doctor blade, and then further scraped off. The applied coating solution and solvent are sucked. For this reason, the scraped coating solution and solvent are less likely to go around the back of the doctor blade, and the solution is hardly carried over to the subsequent solvent tank. Therefore, the concentration of the solute in the coating liquid in the solvent in the solvent tank is extremely low. Can be kept low. As a result, the replenishment amount of the solvent can be extremely reduced, and the economic efficiency is remarkably improved. At the same time, since the solute in the coating solution thus scraped off hardly solidifies and adheres to members around the doctor blade, the maintainability is remarkably improved. As a result, the amount of the solvent supplied from the solvent supply means can be greatly reduced, and further economic efficiency can be improved.
また、本発明に係る塗布膜形成装置は、塗布液が供給されるグラビアローラと、グラビアローラと接触し、グラビアローラ上の塗布液を掻き取るドクターブレードと、ドクターブレードによって掻き取られた塗布液を吸引する吸引手段とを備える。 The coating film forming apparatus according to the present invention includes a gravure roller to which a coating liquid is supplied, a doctor blade that contacts the gravure roller and scrapes the coating liquid on the gravure roller, and a coating liquid that is scraped off by the doctor blade And suction means for sucking.
本発明に係る塗布膜形成装置では、グラビアローラ上に供給された塗布液をドクターブレードによって掻き取りながら、さらにその掻き取られた塗布液を吸引手段によって吸引している。そのため、掻き取られた塗布液がドクターブレードの裏に回り込みにくくなり、その塗布液が持ち越されることがほとんどなくなる。また、同時に、掻き取られた塗布液中の溶質が固化してドクターブレードの周囲の部材に付着することがほとんどなくなるため、著しく保守性が向上することとなる。 In the coating film forming apparatus according to the present invention, the scraped coating liquid is sucked by the suction means while the coating liquid supplied onto the gravure roller is scraped by the doctor blade. Therefore, it becomes difficult for the scraped-off coating liquid to wrap around the back of the doctor blade, and the coating liquid is hardly carried over. At the same time, since the solute in the coating solution thus scraped off hardly solidifies and adheres to members around the doctor blade, the maintainability is remarkably improved.
ここで、吸引手段は、グラビアローラの全長に亘って延在するドクターブレードと、塗布液が掻き取られる側のドクターブレードの面を覆うようにグラビアローラの全長に亘って延在する板状体とにより形成される吸引口を有することが好ましい。このようにすると、吸引口がドクターブレードと一体となっているから、吸引口の構造を簡単にすることができると共に、塗布液をドクターブレードによって掻き取りながら、掻き取られた塗布液を効率よくより確実に吸引手段によって吸引することができる。 Here, the suction means includes a doctor blade extending over the entire length of the gravure roller and a plate-like body extending over the entire length of the gravure roller so as to cover the surface of the doctor blade on the side where the coating liquid is scraped off. It is preferable to have a suction port formed by In this way, since the suction port is integrated with the doctor blade, the structure of the suction port can be simplified, and the scraped coating liquid can be efficiently removed while scraping the coating liquid with the doctor blade. Suction can be performed more reliably by the suction means.
また、吸引手段は、吸引した塗布液を一時的に貯留する一時貯留手段を有しており、塗布膜形成装置は、一時貯留手段に一時的に貯留された塗布液を排出する排出手段を更に備えることが好ましい。 Further, the suction means has temporary storage means for temporarily storing the sucked application liquid, and the coating film forming apparatus further includes a discharge means for discharging the application liquid temporarily stored in the temporary storage means. It is preferable to provide.
一方、本発明に係る塗布膜形成方法は、塗布液をグラビアローラに対して供給する塗布液供給工程と、グラビアローラ上の塗布液をグラビアローラと接触するドクターブレードによって掻き取ると共に、ドクターブレードによって掻き取られた塗布液を吸引する除去工程とを備える。 On the other hand, in the coating film forming method according to the present invention, the coating liquid supply step for supplying the coating liquid to the gravure roller, the coating liquid on the gravure roller is scraped off by the doctor blade, and the doctor blade is used. And a removing step of sucking the scraped application liquid.
本発明に係る塗布膜形成方法では、グラビアローラ上に供給された塗布液をドクターブレードによって掻き取った後、さらに掻き取られた塗布液を吸引している。そのため、掻き取られた塗布液及び溶剤がドクターブレードの裏に回り込みにくくなり、その塗布液が持ち越されることがほとんどなくなる。また、同時に、掻き取られた塗布液中の溶質が固化してドクターブレードの周囲の部材に付着することがほとんどなくなるため、著しく保守性が向上することとなる。 In the coating film forming method according to the present invention, the coating liquid supplied onto the gravure roller is scraped by a doctor blade, and then the scraped coating liquid is sucked. For this reason, the scraped coating liquid and solvent are less likely to go around the back of the doctor blade, and the coating liquid is hardly carried over. At the same time, since the solute in the coating solution thus scraped off hardly solidifies and adheres to members around the doctor blade, the maintainability is remarkably improved.
本発明によれば、経済性及び保守性を著しく向上させることが可能な塗布膜形成装置用前処理装置及び塗布膜形成装置用前処理方法、並びに、塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法を提供することができる。 According to the present invention, there are provided a pretreatment apparatus for a coating film forming apparatus, a pretreatment method for a coating film forming apparatus, and a coating film forming apparatus and a coating film forming method capable of significantly improving economy and maintainability. can do.
本発明の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。 Preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that in the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and redundant description is omitted.
(塗布膜形成装置用前処理装置の構成)
図1及び図2を参照して、本実施形態に係る塗布膜形成装置用前処理装置10の構成について説明する。図1は、本実施形態に係る塗布膜形成装置用前処理装置の全体構成を示す概略図である。図2は、本実施形態に係る塗布膜形成装置用前処理装置の掻取ドクターブレード部分を拡大して示す図である。
(Configuration of pretreatment apparatus for coating film forming apparatus)
With reference to FIG.1 and FIG.2, the structure of the
塗布膜形成装置用前処理装置10は、塗布膜形成装置の塗布液供給ノズル100が図示しない基板上に移動し、その基板に対して塗布液110が塗布される前に、塗布膜形成装置の塗布液供給ノズル100からの塗布液110の突出量を調整する装置である。そのために、塗布膜形成装置用前処理装置10は、塗布液供給ノズル100から塗布液110が吐出される前処理装置本体12と、塗布液供給ノズル100から吐出された塗布液110を回収して廃棄するための廃液処理部14とを備えている。なお、本実施形態に用いられる塗布液110としては、溶質と溶媒との混合物であればよく、例えばブラックマトリクス形成用塗布液、パターニングレジスト形成用塗布液、着色樹脂領域形成用塗布液、スペーサ形成用塗布液、保護層形成用塗布液、酸素遮断膜形成用塗布液等の樹脂と溶媒との混合物等、種々の塗布液を用いることができる。
The
前処理装置本体12は、プライミングローラ16を中央部に備えており、このプライミングローラ16の回転方向(図1及び図2に示される矢印A方向)の順に、循環溶剤供給ノズル18(溶剤供給手段)、掻取ドクターブレード20、溶剤槽22、新溶剤供給ノズル24、液切ドクターブレード26及び乾燥用ガス噴射ノズル28を有している。
The pretreatment device
プライミングローラ16は、略円柱状の外形を有し、前処理装置本体12に対して図1及び図2に示される矢印A方向に回転可能に設けられている。プライミングローラ16は、塗布液供給ノズル100から吐出された塗布液110を回転しながら受け止めることで、塗布液供給ノズル100の先端部分における塗布液110の形状を整える。プライミングローラ16の全長は、塗布液供給ノズル100の全長よりもやや長いと好ましい。
The priming
循環溶剤供給ノズル18は、プライミングローラ16に吐出された塗布液110に対し、ポンプ30によって配管32,18a内を循環された溶剤槽22の溶剤(循環溶剤)を供給する。このように、循環溶剤供給ノズル18によって塗布液110に溶剤を供給することで、プライミングローラ16上に付着している塗布液110がプライミングローラ16から洗い流され、塗布液110の掻き取りが容易となると共に、後述する吸引口36内等において塗布液の溶質が固化して詰まることが防止される。なお、循環溶剤供給ノズル18では、溶剤の供給口18bがプライミングローラ16に近接しており、溶剤の蒸発が防がれている。
The circulating
掻取ドクターブレード20は、例えばポリエーテルエーテルケトン(PEEK:Poly Ether Ether Keton)やポリエチレン、ポリアセタール、ポリエステル、テフロン(登録商標)等の樹脂材料、又はステンレス、アルミニウム等の金属材料で形成された板状体であり、その先端がプライミングローラ16に斜め下方から押しつけられて接触するように配置されている。そのため、掻取ドクターブレード20は、プライミングローラ16の回転によって掻取ドクターブレード20に到達した塗布液110及び循環溶剤を掻き取ることができるようになっている。この掻取ドクターブレード20の厚さは、例えば500μm程度とすることができる。なお、掻取ドクターブレード20は、その先端がプライミングローラ16に水平方向又は斜め上方から押しつけられて接触するように配置してもよい。また、掻取ドクターブレード20をポリエチレンによって形成すると、掻取ドクターブレード20によって軟質でしなやかなドクターリング(掻き取り)をおこなうことができるため好ましい。
The scraping
掻取ドクターブレード20の先端の断面形状は、各種形状とすることができる。例えば、具体的には、図3(a)に示されるように先端に向けて漸次幅の狭まるベベル形状としてもよく、図3(b)に示されるように階段形状としてもよく、図3(c)に示されるように矩形状としてもよい。図3(a)〜(c)に示されるこれらの掻取ドクターブレード20では、塗布液110が掻き取られる側の面(掻取面)Sと反対側の面の先端における角部20Cが、プライミングローラ16と接触する。なお、掻取ドクターブレード20の先端をベベル形状としたときには、表面が鏡面加工されたプライミングローラ16に対して密着性が良いために、効率よく塗布液110及び溶剤を掻き取ることが可能となり好ましい。このとき、先端の傾斜角度θとしては、例えば15°程度とすることができる(図3(a)参照)。
The cross-sectional shape of the tip of the
また、掻取ドクターブレード20の上部には、塗布液110が掻き取られる側の掻取ドクターブレード20の面(掻取面)Sを覆うように、板状体34が設けられている。この板状体34は、その先端がプライミングローラ16と例えば0.3mm〜0.5mm程度離間し、掻取ドクターブレード20と例えば2mm程度離間するように配置されている。掻取ドクターブレード20と板状体34とは、後述する真空ポンプ52により塗布液110及び循環溶剤を吸引するためのスリット状の吸引口36を形成している(図2参照)。吸引口36は、配管40を経由して、後述するトラップタンク48へと接続されている。なお、掻取ドクターブレード20及び板状体34はプライミングローラ16の全長に亘って延在しており、その全長としては塗布液供給ノズル100の全長よりもやや長いと好ましい。
In addition, a plate-
溶剤槽22は、溶剤を貯留するための容体である。溶剤槽22には、プライミングローラ16の直径の約1/4が浸かる程度の溶剤が貯留されるようになっている。そのため、掻取ドクターブレード20によって掻き取られなかった塗布液110がプライミングローラ16上に残存していた場合には、プライミングローラ16が溶剤槽22の溶剤に浸かることでプライミングローラ16の濯ぎが行われ、プライミングローラ16上から塗布液110が除去されることとなる。
The
新溶剤供給ノズル24は、新たな溶剤をプライミングローラ16に対して供給する。そのため、プライミングローラ16の濯ぎが二重に行われることとなり、プライミングローラ16の表面がより浄化されることとなる。なお、新溶剤供給ノズル24によって供給された溶剤は、プライミングローラ16から流下して溶剤槽22に貯蔵される。ここで、新溶剤供給ノズル24では、溶剤槽22の溶剤がポンプ30により循環溶剤供給ノズル18に向けて吸引されて循環溶剤として使用されたときに新たな溶剤を供給しているため、溶剤槽22における溶剤の量が一定となるようなっている。また、新溶剤供給ノズル24から供給される溶剤としては、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、n−メチル−2−ピロリドン、シクロヘキサノン等が挙げられる。
The new
液切ドクターブレード26は、新溶剤供給ノズル24からプライミングローラ16に対して供給された溶剤の液切りを行う。また、乾燥用ガス噴射ノズル28は、外部から導入された乾燥用ガスをプライミングローラ16の表面に対して噴射して、プライミングローラ16の表面を乾燥する。
The liquid
ここで、新溶剤供給ノズル24及び液切ドクターブレード26についてもプライミングローラ16の全長に亘って延在しており、それらの全長が塗布液供給ノズル100の全長よりもやや長いと好ましい。
Here, the new
一方、廃液処理部14は、トラップタンク(一時貯留手段)48、廃液タンク50及び真空ポンプ52を有している。
On the other hand, the waste
トラップタンク48は、配管40及びバルブ54を介して吸引口36と接続されており、真空ポンプ52の動作により吸引口36から吸引された塗布液110及び循環溶剤(廃液)を一時的に貯留する。トラップタンク48は、配管55、バルブ56及びポンプ66を介して廃液タンク50と接続され、配管58及びバルブ60を介して大気と接続され、配管62及びバルブ64を介して真空ポンプ52と接続されている。
The
廃液タンク50は、配管55を通じてポンプ66によって回収されたトラップタンク48内の廃液を貯留する。なお、本実施形態においては、配管54、バルブ56及びポンプ66によって排出手段130が構成されている。
The
真空ポンプ52は、トラップタンク48に接続された配管62を介してトラップタンク48内に負圧を発生させる。そのため、真空ポンプ52が作動することにより、掻取ドクターブレード20によって掻き取られた塗布液110及び循環溶剤が吸引口36から配管40を通じて吸引され、トラップタンク48へと回収されることとなる。なお、真空ポンプ52によって、トラップタンク48内の圧力を例えば13.3kPa〜80.0kPa程度とすると好適である。また、本実施形態においては、吸引口36、トラップタンク48、配管40,62、バルブ54,64及び真空ポンプ52によって吸引手段120が構成されている。
The
(塗布膜形成装置用前処理装置の動作)
続いて、以上の構成を有する塗布膜形成装置用前処理装置10の動作について説明する。
(Operation of pretreatment device for coating film forming apparatus)
Next, the operation of the
塗布膜形成装置用前処理装置10では、塗布液供給ノズル100からプライミングローラ16に対して塗布液110が吐出されて一定時間(例えば、0.1秒〜0.5秒程度)が経過した後、プライミングローラ16の回転が開始される。プライミングローラ16の回転が開始されると、バルブ54,64が開放され他のバルブが閉鎖された状態で真空ポンプ52が作動し、循環溶剤供給ノズル18及び新溶剤供給ノズル24からプライミングローラ16上に対して溶剤の供給が行われる。塗布膜形成装置用前処理装置10によって塗布液供給ノズル100からの塗布液110の突出量が調整されると、塗布液供給ノズル100は図示しない基板等の塗布対象物上に移動し、塗布対象物に対して塗布液110の塗布を行う。
In the
一方、プライミングローラ16上に吐出された塗布液110は、プライミングローラ16の回転に伴い循環溶剤供給ノズル18から循環溶剤が供給された状態で、掻取ドクターブレード20に到達する。そして、塗布液110及び溶剤が掻取ドクターブレード20によってプライミングローラ16上から掻き取られて掻取面S上を進むと、真空ポンプ52の作用によって吸引口36から塗布液110と溶剤とがトラップタンク48へと吸引される。
On the other hand, the
吸引口36から吸引された塗布液110及び循環溶剤(廃液)がトラップタンク48に一時的に貯留されると、バルブ54,64が閉鎖される。続いて、バルブ60が開放され、トラップタンク48内の気圧を大気圧と等しくする。この状態でバルブ56を開放し、ポンプ66を動作させることで、トラップタンク48内に一時的に貯留された廃液が廃液タンク50に回収される。
When the
なお、掻取ドクターブレード20によって掻き取られず、プライミングローラ16上に僅かに残存した塗布液110については、溶剤槽22の溶剤及び新溶剤供給ノズル24から供給された溶剤によって、プライミングローラ16上から除去される。その後、液切ドクターブレード26による液切り及び乾燥用ガス噴射ノズル28による乾燥が行われて、プライミングローラ16の清掃が終了する。塗布膜形成装置用前処理装置10では、以上の工程が繰り返して行われる。
Note that the
ここで、本実施形態に係る塗布膜形成装置用前処理装置10において、経済性及び保守性の向上が図れることを確認するための試験を行った。試験としては、カラーフィルタ用のブラックマトリクス樹脂、赤色着色樹脂、緑色着色樹脂、青色着色樹脂及びオーバコート用樹脂をそれぞれ塗布膜形成装置の塗布液供給ノズル100から上述の塗布膜形成装置用前処理装置10のプライミングローラ16に吐出し、それぞれの樹脂について塗布液供給ノズル100からの突出量の調整を行った。その後、縦横が370mm×470mm、厚みが0.4〜0.7mmの各種透明基板上に、塗布液供給ノズル100からの突出量の調整が行われた樹脂をそれぞれ塗布した。このときに、塗布膜形成装置用前処理装置10において溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用い、以下に示す実施例及び比較例の条件で試験を行った。なお、カラーフィルタ用のブラックマトリクス樹脂、赤色着色樹脂、緑色着色樹脂及び青色着色樹脂としてはアクリル系の感光性樹脂を用い、オーバコート用樹脂としてはアクリル系熱硬化性樹脂を用い、各種透明基板としては無アルカリガラス又はソーダライムガラスを用いた。
Here, in the
(実施例)
実施例では、掻取ドクターブレード20において掻き取られた各樹脂及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを吸引手段120によってトラップタンク48内の圧力が13.3〜80.0kPa程度となるようにして吸引すると共に、プライミングローラ16の直径を100mm、プライミングローラ16の回転速度を40mm/secに設定して、プライミングローラ16の清掃を行った。
(Example)
In the embodiment, each resin and propylene glycol monomethyl ether acetate scraped by the scraping
(比較例)
比較例が実施例と異なる点は、吸引手段120が設けられておらず、掻取ドクターブレード20において掻き取られた各樹脂及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを吸引手段120によって吸引していない点である。
(Comparative example)
The difference between the comparative example and the example is that the suction means 120 is not provided and each resin and propylene glycol monomethyl ether acetate scraped by the scraping
(評価結果)
実施例及び比較例について、上記の各樹脂をプライミングローラ16上に1500回ずつ吐出したときの溶剤槽22におけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの着色状態を、目視により観察した。その結果、実施例においては、ブラックマトリクス樹脂、赤色着色樹脂、緑色着色樹脂及び青色着色樹脂の吐出1回あたりにおけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの使用量を13mlに設定し、オーバコート用樹脂の吐出1回あたりにおけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの使用量を27mlに設定したが、溶剤槽22におけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの着色はほとんど見られなかった。一方、比較例においては、ブラックマトリクス樹脂、赤色着色樹脂、緑色着色樹脂及び青色着色樹脂の吐出1回あたりにおけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの使用量を65mlに設定し、オーバコート用樹脂の吐出1回あたりにおけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの使用量を90mlに設定したが、溶剤槽22におけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの着色が著しいものであった。従って、溶剤槽22におけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの着色の度合いが高まることは溶剤槽22のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートにおける塗布液110中の溶質の濃度が高まったことを意味することから、本発明に係る実施例では、溶剤槽22内のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートにおける塗布液110中の溶質の濃度が極めて低い状態に維持されているものとなっていることが確認された。また、本発明に係る実施例では、比較例に比べてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの使用量が大きく減少しており、経済性が著しく向上していることが確認された。
(Evaluation results)
About the Example and the comparative example, the coloring state of the propylene glycol monomethyl ether acetate in the
また、実施例及び比較例について、上記の各樹脂をプライミングローラ16上に1500回ずつ吐出した後に、掻取ドクターブレード20及び液切ドクターブレード26の周囲の部材の様子を目視により確認した。その結果、実施例では、掻取ドクターブレード20及び液切ドクターブレード26の周囲の部材にほとんど樹脂の付着が見られなかった。一方、比較例では、掻取ドクターブレード20及び液切ドクターブレード26の周囲の部材に大量の樹脂が付着していた。従って、本発明に係る実施例では、比較例に比べて、掻取ドクターブレード20及び液切ドクターブレード26の部材の周囲に樹脂が付着することがほとんどなくなり、保守性が著しく向上していることが確認された。
Moreover, about the Example and the comparative example, after discharging each said resin on the priming
以上のように、本実施形態においては、循環溶剤供給ノズル18から溶剤が供給された塗布液110を、掻取ドクターブレード20によってプライミングローラ16上から掻き取っている。そして、掻取ドクターブレード20によって掻き取った塗布液110を循環溶剤と共に真空ポンプ52によって吸引口36から吸引し、トラップタンク48を経て廃液タンク50に回収している。そのため、掻き取られた塗布液110及び循環溶剤が掻取ドクターブレード20の掻取面Sの裏に回り込んで溶剤槽22に持ち越されることがほとんどなくなり、溶剤槽22内の溶剤における塗布液110中の溶質の濃度を極めて低い状態に維持できる。その結果、新溶剤供給ノズル24からの新たな溶剤の補充量を極めて少なくでき、著しく経済性が向上することとなる。また、同時に、掻き取られた塗布液110中の溶質が固化して掻取ドクターブレード20の周囲の部材に付着することがほとんどなくなるため、著しく保守性が向上することとなる。
As described above, in the present embodiment, the
また、本実施形態においては、掻取ドクターブレード20及び板状体34がプライミングローラ16の全長に亘って延在し、板状体34が掻取ドクターブレード20の掻取面Sを覆うように配設されて、吸引口36が形成されている。そして、真空ポンプ52によって、この吸引口36から廃液が吸引される。そのため、吸引口36が掻取ドクターブレード20と一体となっているから、吸引口36の構造を簡単にすることができると共に、塗布液110及び循環溶剤を掻取ドクターブレード20によって掻き取りながら、掻き取られた塗布液110及び循環溶剤を効率よくより確実に吸引手段120によって吸引することができる。
In the present embodiment, the scraping
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、真空ポンプ52を用いて吸引口36から掻き取られた塗布液110を吸引したが、塗布液110を溶剤と共に吸引できるものであれば他の装置についても用いることができる。具体的には、真空ポンプ52の代わりに工場の局所排気装置、ブロワ、エジェクタ等を接続して吸引を行ってもよく、これらの装置を用いて工場の排気ラインを転用するとさらに経済性を向上させることができるため好ましい。
Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiments. For example, although the
また、本実施形態では吸引口36を掻取ドクターブレード20と一体として構成したが、吸引口36と掻取ドクターブレード20とを別体としてもよい。
Further, in the present embodiment, the
また、液切ドクターブレード26についても、掻取ドクターブレード20と同様に板状体200を設けて吸引口210を形成すると共に吸引手段220を構成してもよい(図1参照)。この場合、より効率よくプライミングローラ16の液切りを行うことが可能となる。このときも、吸引口と液切ドクターブレード26とを別体としてもよい。
In addition, the liquid
また、図4及び図5に示されるように、塗布膜形成装置300に本発明を適用してもよい。具体的には、塗布膜形成装置300は、例えばグラビアコーターであって、ウエブWに塗布液110を塗布するためのグラビアコーター本体312と、廃液処理部14とを備えている。グラビアコーター本体312は、表面に一群のセル(図示せず)が形成されたグラビアローラ316を備えており、このグラビアローラ316の回転方向(図4に示される矢印B方向)の順に、塗布液槽322、塗布用ドクターブレード326及び掻取ドクターブレード20を有している。
Further, as shown in FIGS. 4 and 5, the present invention may be applied to a coating
グラビアローラ316は、略円柱状の外形を有し、グラビアコータ本体312に対して図4に示される矢印B方向に回転可能に設けられている。塗布液槽322は、塗布液110を貯留するための容体である。塗布液槽322には、その側面にグラビアローラ316の一部を受け入れる開口部322aを有している。開口部322aの上端はグラビアローラ316の表面と塗布用ドクターブレード326とによって封止されており、開口部322aの下端はグラビアローラ316の表面と掻取ドクターブレード20とによって封止されている。そのため、塗布液110は塗布液槽322の内部に密封され、塗布液槽322の内部に位置するグラビアローラ316の表面には塗布液110が供給されることとなる。
The
塗布用ドクターブレード326は、グラビアローラ316表面の余剰分の塗布液110を掻き落とすためのものである。そのため、ウエブWには、適量の塗布液110が塗布されることとなる。なお、ウエブWは、グラビアローラ316との接触部分において、グラビアローラ316の回転方向(図4に示される矢印B方向)とは反対方向(図4に示される矢印C方向)に送り出される。
The
掻取ドクターブレード20は、ウエブWに塗布液110を塗布した後にグラビアローラ316の表面に残っている残存塗布液110aを掻き取ることができるようになっている。掻取ドクターブレード20の上部には、残存塗布液110aが掻き取られる側の掻取ドクターブレード20の面(掻取面)Sを覆うように、板状体34が設けられている。掻取ドクターブレード20と板状体34とは、真空ポンプ52により残存塗布液110aを吸引するためのスリット状の吸引口36を形成している。吸引口36は、配管40を経由して、トラップタンク48へと接続されている(図5参照)。
The scraping
以上の構成を有する塗布膜形成装置300においては、残存塗布液110aを、掻取ドクターブレード20によってグラビアローラ316上から掻き取っている。そして、掻取ドクターブレード20によって掻き取った残存塗布液110aを真空ポンプ52によって吸引口36から吸引し、トラップタンク48を経て廃液タンク50に回収している。そのため、掻き取られた残存塗布液110aが掻取ドクターブレード20の掻取面Sの裏に回り込んで塗布液槽322に持ち越されることがほとんどなくなる。また、同時に、掻き取られた残存塗布液110a中の溶質が固化して掻取ドクターブレード20の周囲の部材に付着することがほとんどなくなるため、著しく保守性が向上することとなる。
In the coating
10…塗布膜形成装置用前処理装置、12…前処理装置本体、14…廃液処理部、16…プライミングローラ、18…循環溶剤供給ノズル(溶剤供給手段)、20…掻取ドクターブレード、34…板状体、36…吸引口、48…トラップタンク(一時貯留手段)、52…真空ポンプ、100…塗布液供給ノズル、110…塗布液、110a…残存塗布液、120…吸引手段、130…排出手段、300…塗布膜形成装置、312…グラビアコーター本体、316…グラビアローラ、322…塗布液槽、W…ウエブ。
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記プライミングローラ上に吐出された塗布液に対して溶剤を供給する溶剤供給手段と、
前記プライミングローラと接触し、前記プライミングローラ上の塗布液及び溶剤を掻き取るドクターブレードと、
前記ドクターブレードによって掻き取られた塗布液及び溶剤を吸引する吸引手段とを備える塗布膜形成装置用前処理装置。 A priming roller for discharging the coating liquid from the coating liquid supply nozzle of the coating film forming apparatus;
Solvent supply means for supplying a solvent to the coating liquid discharged on the priming roller;
A doctor blade that contacts the priming roller and scrapes off the coating liquid and solvent on the priming roller;
A pretreatment apparatus for a coating film forming apparatus, comprising: a suction unit that sucks a coating liquid and a solvent scraped by the doctor blade.
前記塗布膜形成装置用前処理装置は、前記一時貯留手段に一時的に貯留された塗布液及び溶剤を排出する排出手段を更に備える請求項1又は2に記載された塗布膜形成装置用前処理装置。 The suction means has a temporary storage means for temporarily storing the sucked coating liquid and solvent,
The pretreatment device for a coating film forming apparatus according to claim 1 or 2, further comprising a discharge means for discharging the coating liquid and the solvent temporarily stored in the temporary storage means. apparatus.
前記プライミングローラ上に吐出された塗布液に対して溶剤を供給する溶剤供給工程と、
前記プライミングローラ上の塗布液及び溶剤を前記プライミングローラと接触するドクターブレードによって掻き取ると共に、前記ドクターブレードによって掻き取られた塗布液及び溶剤を吸引する除去工程とを備える塗布膜形成装置用前処理方法。 A discharge step of discharging the coating liquid from the coating liquid supply nozzle of the coating film forming apparatus to the priming roller;
A solvent supply step of supplying a solvent to the coating liquid discharged on the priming roller;
A pretreatment for a coating film forming apparatus, comprising: removing a coating liquid and a solvent on the priming roller by a doctor blade in contact with the priming roller; and removing the coating liquid and the solvent scraped by the doctor blade. Method.
前記グラビアローラと接触し、前記グラビアローラ上の塗布液を掻き取るドクターブレードと、
前記ドクターブレードによって掻き取られた塗布液を吸引する吸引手段とを備える塗布膜形成装置。 A gravure roller to which a coating solution is supplied;
A doctor blade in contact with the gravure roller and scraping off the coating liquid on the gravure roller;
A coating film forming apparatus comprising: suction means for sucking the coating liquid scraped off by the doctor blade.
前記塗布膜形成装置は、前記一時貯留手段に一時的に貯留された塗布液を排出する排出手段を更に備える請求項5又は6に記載された塗布膜形成装置。 The suction means has a temporary storage means for temporarily storing the sucked coating liquid,
The said coating film forming apparatus is a coating film forming apparatus described in Claim 5 or 6 further provided with the discharge means which discharges | emits the coating liquid temporarily stored by the said temporary storage means.
前記グラビアローラ上の塗布液を前記グラビアローラと接触するドクターブレードによって掻き取ると共に、前記ドクターブレードによって掻き取られた塗布液を吸引する除去工程とを備える塗布膜形成方法。 A coating liquid supply process for supplying the coating liquid to the gravure roller;
A coating film forming method comprising: removing the coating liquid on the gravure roller with a doctor blade in contact with the gravure roller, and removing the coating liquid scraped off by the doctor blade.
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120918 |
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