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JP2007258197A - Tape carrier for semiconductor device and manufacturing method thereof - Google Patents

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JP2007258197A JP2006076542A JP2006076542A JP2007258197A JP 2007258197 A JP2007258197 A JP 2007258197A JP 2006076542 A JP2006076542 A JP 2006076542A JP 2006076542 A JP2006076542 A JP 2006076542A JP 2007258197 A JP2007258197 A JP 2007258197A
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layer
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Masahiko Saeki
雅彦 佐伯
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Hitachi Cable Ltd
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Abstract

【課題】テープキャリアが有する可撓性等の本来の特性を損なうことなく、放熱性に優れた半導体装置用テープキャリア及びその製造方法を提供する。
【解決手段】50μmの厚さと35mmの幅を有するポリイミドテープ1の表面に、配線用接着剤2を介して、厚さが25μmの電解銅箔からなる配線層3を形成し、更に、配線層3上に、銅箔用接着剤4aを介して銅箔4bを形成して保護層4とする。
【選択図】図1
The present invention provides a tape carrier for a semiconductor device excellent in heat dissipation without impairing the original characteristics such as flexibility of the tape carrier, and a method for manufacturing the same.
A wiring layer 3 made of an electrolytic copper foil having a thickness of 25 μm is formed on a surface of a polyimide tape 1 having a thickness of 50 μm and a width of 35 mm with a wiring adhesive 2 interposed therebetween. The copper foil 4b is formed on the copper foil 4a through the copper foil adhesive 4a to form the protective layer 4.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、テープキャリアが有する可撓性等の本来の特性を損なうことなく、放熱性に優れた半導体装置用テープキャリア及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a tape carrier for a semiconductor device excellent in heat dissipation without impairing the original properties such as flexibility of the tape carrier and a method for manufacturing the same.

半導体装置用テープキャリアは、LCD用ドライバーICやプリンター用インク制御ICなどの半導体チップを搭載する基板として欠かせない存在となっている。   Semiconductor device tape carriers are indispensable as substrates on which semiconductor chips such as LCD driver ICs and printer ink control ICs are mounted.

図2は、従来の半導体装置用テープキャリアの構造を示したものであり、(a)は平面図、(b)は(a)の長手方向所定面の断面図である。   2A and 2B show the structure of a conventional tape carrier for a semiconductor device, where FIG. 2A is a plan view and FIG. 2B is a sectional view of a predetermined surface in the longitudinal direction of FIG.

この半導体装置用テープキャリア20は、絶縁性樹脂のポリイミドテープ1の表面に、配線用接着剤2を介して、銅からなる配線層3が形成されており、この配線層3は半導体チップ7の搭載を可能にするインナーリード部3a、外部電極との接続を可能にするアウターリード3b、及び配線部3cを有している。配線部3cには保護層としてソルダーレジスト8が被覆されている。ソルダーレジスト8は、多くの場合、エポキシ樹脂系の液状ソルダーレジスト材を印刷塗布した後、これに加熱硬化処理を施して形成される。また、インナーリード部3aとアウターリード部3bの銅表面は、SnあるいはAu等のめっきが施されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2000−332064号公報
In this tape carrier 20 for a semiconductor device, a wiring layer 3 made of copper is formed on the surface of an insulating resin polyimide tape 1 with a wiring adhesive 2 interposed therebetween. It has an inner lead portion 3a that enables mounting, an outer lead 3b that enables connection to an external electrode, and a wiring portion 3c. The wiring part 3c is covered with a solder resist 8 as a protective layer. In many cases, the solder resist 8 is formed by printing and applying an epoxy resin liquid solder resist material, followed by heat curing. Further, the copper surfaces of the inner lead portion 3a and the outer lead portion 3b are plated with Sn or Au (for example, see Patent Document 1).
JP 2000-332064 A

しかしながら、上記の半導体装置用テープキャリア20の構成では、半導体チップの高密度化・高集積化に伴って、半導体装置を駆動した際にチップや電源用配線などから発生する熱量が大きくなり、この発熱により半導体装置が高温になり、本来の機能に支障をきたすという問題があった。   However, in the configuration of the tape carrier 20 for a semiconductor device described above, the amount of heat generated from the chip and power supply wiring when the semiconductor device is driven increases as the density and integration of the semiconductor chip increase. There was a problem that the semiconductor device became high temperature due to heat generation, which hindered its original function.

従って、本発明の目的は、テープキャリアが有する可撓性等の本来の特性を損なうことなく、放熱性に優れた半導体装置用テープキャリア及びその製造方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a tape carrier for a semiconductor device excellent in heat dissipation and a manufacturing method thereof without impairing the original properties such as flexibility of the tape carrier.

上記目的を達成するため、本発明の半導体装置用テープキャリアは、絶縁性樹脂フィルムの少なくとも一方の面に導体配線層を形成し、当該導体配線層の所定の箇所に半導体チップ搭載部を形成すると共に、当該導体配線層の所定の部分に保護層を被覆した半導体装置用テープキャリアにおいて、前記保護層の一部が金属で形成されていることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the tape carrier for a semiconductor device of the present invention forms a conductor wiring layer on at least one surface of an insulating resin film, and forms a semiconductor chip mounting portion at a predetermined position of the conductor wiring layer. In addition, in the tape carrier for a semiconductor device in which a predetermined portion of the conductor wiring layer is covered with a protective layer, a part of the protective layer is formed of metal.

前記保護層を金属層と絶縁性接着剤とし、前記金属層を、絶縁性接着剤を介して前記導体配線層に貼付けることができる。   The protective layer may be a metal layer and an insulating adhesive, and the metal layer may be attached to the conductor wiring layer via an insulating adhesive.

前記金属層の厚さを、30μm以下とすることが好ましい。   The thickness of the metal layer is preferably 30 μm or less.

前記半導体チップ搭載部はデバイスホールを有するものとし、前記絶縁性樹脂フィルムの所定の箇所に形成することができる。   The said semiconductor chip mounting part shall have a device hole, and can be formed in the predetermined location of the said insulating resin film.

前記半導体チップ搭載部はデバイスホールを有しないものとし、前記絶縁性樹脂フィルムの所定の箇所に形成することもできる。   The semiconductor chip mounting portion does not have a device hole, and can be formed at a predetermined location of the insulating resin film.

前記導体配線層を前記絶縁性樹脂フィルムの両面に形成し、それぞれの導体配線層に前記保護層を被覆することもできる。   The conductor wiring layer may be formed on both surfaces of the insulating resin film, and the protective layer may be covered on each conductor wiring layer.

上記目的を達成するため、本発明の半導体装置用テープキャリアの製造方法は、予め半導体チップ搭載部を形成した絶縁性樹脂フィルムの少なくとも一方の面に、導体配線層を形成する工程と、前記絶縁性樹脂フィルム上で、絶縁性接着剤が塗布された金属層を、前記絶縁性接着剤を下面にして打抜きプレスでパンチングすることにより、前記導体配線層の所定の部分に、パンチング動作と連続した動作で前記金属層を接着する工程と、を備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a method of manufacturing a tape carrier for a semiconductor device according to the present invention includes a step of forming a conductor wiring layer on at least one surface of an insulating resin film in which a semiconductor chip mounting portion is previously formed, and the insulation On the conductive resin film, the metal layer coated with the insulating adhesive is punched with a punching press with the insulating adhesive as the bottom surface, thereby continuing a punching operation to a predetermined portion of the conductor wiring layer. Adhering the metal layer by operation.

更に、所定の温度で加熱処理を施すことにより前記絶縁性接着剤を硬化させ、前記導体配線層上に前記金属層を接着させる工程を備えることが好ましい。   Furthermore, it is preferable to include a step of curing the insulating adhesive by performing a heat treatment at a predetermined temperature and bonding the metal layer on the conductor wiring layer.

本発明によれば、テープキャリアが有する可撓性等の本来の特性を損なうことなく、放熱性に優れた半導体装置用テープキャリアを提供することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the tape carrier for semiconductor devices excellent in heat dissipation, without impairing original characteristics, such as flexibility which a tape carrier has.

(テープキャリアの構成)
図1は、本発明による半導体装置用テープキャリアの一実施形態を示したものであり、(a)は平面図、(b)は(a)の長手方向所定面の断面図である。
(Configuration of tape carrier)
1A and 1B show an embodiment of a tape carrier for a semiconductor device according to the present invention. FIG. 1A is a plan view and FIG. 1B is a cross-sectional view of a predetermined surface in the longitudinal direction of FIG.

この半導体装置用テープキャリア10は、50μmの厚さと35mmの幅を有するポリイミドテープ1の表面に、配線用接着剤2を介して、厚さが25μmの電解銅箔からなる配線層3が形成されており、この配線層3は半導体チップ7の搭載を可能にするインナーリード部3a、外部電極との接続を可能にするアウターリード3b、及び配線部3cを有している。なお、ポリイミドテープ1の所定の箇所には、半導体チップ7を搭載するためのデバイスホール5及び送り孔6が設けられている。   In this tape carrier 10 for a semiconductor device, a wiring layer 3 made of an electrolytic copper foil having a thickness of 25 μm is formed on the surface of a polyimide tape 1 having a thickness of 50 μm and a width of 35 mm via a wiring adhesive 2. The wiring layer 3 includes an inner lead portion 3a that enables mounting of the semiconductor chip 7, an outer lead 3b that enables connection to an external electrode, and a wiring portion 3c. A device hole 5 and a feed hole 6 for mounting the semiconductor chip 7 are provided at predetermined locations on the polyimide tape 1.

更に、この半導体装置用テープキャリア10の特徴部分として、配線部3cに、保護層4が形成されている。保護層4は、図1(b)に示すように、配線層3上に、銅箔用接着剤4aを介して、銅箔4bが形成された構造となっている。銅箔4bの厚さは、半導体装置用テープキャリア10の可撓性を損なわないように、30μm以下とすることが好ましい。銅箔用接着剤4aとしては、例えば、熱硬化性エポキシ系樹脂を用いることができ、配線層3を十分に被覆するために、配線層3の厚さよりも厚く形成することが好ましい。   Further, as a characteristic part of the tape carrier 10 for a semiconductor device, a protective layer 4 is formed on the wiring part 3c. As shown in FIG. 1B, the protective layer 4 has a structure in which a copper foil 4b is formed on the wiring layer 3 via a copper foil adhesive 4a. The thickness of the copper foil 4b is preferably 30 μm or less so as not to impair the flexibility of the semiconductor device tape carrier 10. As the copper foil adhesive 4a, for example, a thermosetting epoxy resin can be used, and in order to sufficiently cover the wiring layer 3, it is preferably formed thicker than the wiring layer 3.

また、保護層4より露出したインナーリード3a及びアウターリード3bは、それぞれ、半導体チップ7、外部電極(図示せず)との接続を容易にするために、0.5μm厚のNiめっきを下地とした0.5μm厚のAuめっきが施されている。   Further, the inner lead 3a and the outer lead 3b exposed from the protective layer 4 are formed with Ni plating having a thickness of 0.5 μm as a base for facilitating connection with the semiconductor chip 7 and external electrodes (not shown), respectively. A 0.5 μm thick Au plating is applied.

(製造方法)
この半導体装置用テープキャリア10を製造するには、まず、予め50μmの厚さと35mmの幅を有するポリイミドテープ1の所定の箇所に、半導体チップ7を搭載するためのデバイスホール5及び送り孔6を形成しておき、このポリイミドテープ1の表面に、配線用接着剤2を介して厚さが25μmの電解銅箔を接着する。
(Production method)
In order to manufacture the tape carrier 10 for a semiconductor device, first, a device hole 5 and a feed hole 6 for mounting the semiconductor chip 7 are previously formed in a predetermined portion of the polyimide tape 1 having a thickness of 50 μm and a width of 35 mm. An electrolytic copper foil having a thickness of 25 μm is bonded to the surface of the polyimide tape 1 via a wiring adhesive 2.

次に、当該電解銅箔をエッチングしてインナーリード部3a、アウターリード部3b、及び配線部3cを有する所定のパターンの配線層3を形成する。   Next, the electrolytic copper foil is etched to form the wiring layer 3 having a predetermined pattern having the inner lead portion 3a, the outer lead portion 3b, and the wiring portion 3c.

更に、9μmの厚さの銅箔4bの片面に厚さ40μmの熱硬化性エポキシ系樹脂の接着剤4aを塗布した保護層4を、接着剤4aを下面にして打抜きプレスで所定の形状にパンチングして、インナーリード部3aとアウターリード部3b以外の配線層3cの部分に連続した動作で接着する。   Further, a protective layer 4 in which a 40 μm thick thermosetting epoxy resin adhesive 4a is applied to one side of a 9 μm thick copper foil 4b is punched into a predetermined shape by a punching press with the adhesive 4a as the bottom surface. Then, it adheres to the portion of the wiring layer 3c other than the inner lead portion 3a and the outer lead portion 3b by a continuous operation.

最後に、保護層4に180℃の加熱処理を施すことにより、接着剤4aを硬化させ、これにより配線層3を覆うように接着させる。   Finally, the protective layer 4 is heated at 180 ° C. to cure the adhesive 4 a, thereby bonding the wiring layer 3 so as to cover it.

(本実施形態の効果)
本実施形態の半導体装置用テープキャリア10によれば、配線部3cの表面に形成された保護層4の表面が銅箔4bで構成されているので、従来の樹脂単体あるいは樹脂と有機フィルムとで構成される保護層と比較して、半導体チップ7や導体配線から発生する熱の放熱性が良好になり、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能になる。
(Effect of this embodiment)
According to the tape carrier 10 for a semiconductor device of the present embodiment, the surface of the protective layer 4 formed on the surface of the wiring portion 3c is composed of the copper foil 4b. Compared with the protective layer that is configured, the heat dissipation of the heat generated from the semiconductor chip 7 and the conductor wiring is improved, and a highly reliable semiconductor device can be provided.

即ち、半導体チップは、駆動時にそれ自体の温度が100℃以下であることが一般的に好ましいとされている。ここで、図2で示すような熱硬化エポキシ樹脂のソルダーレジスト8を保護層とした半導体装置用テープキャリア20に、LCD用ドライバーICを搭載して実際に駆動させると、半導体チップ自体の到達最高温度は120℃となってしまう。これに対して、本実施形態の半導体装置用テープキャリア10のように、保護層4の表面に銅箔4bを有したテープキャリアに前記LCD用ドライバーICを搭載した場合は、半導体チップ自体の到達最高温度を100℃にすることが可能となった。   That is, it is generally preferred that the semiconductor chip has a temperature of 100 ° C. or lower when driven. Here, when an LCD driver IC is mounted on a tape carrier 20 for a semiconductor device using a solder resist 8 of a thermosetting epoxy resin as a protective layer as shown in FIG. The temperature will be 120 ° C. On the other hand, when the LCD driver IC is mounted on a tape carrier having the copper foil 4b on the surface of the protective layer 4 as in the semiconductor device tape carrier 10 of the present embodiment, the semiconductor chip itself arrives. It became possible to make the maximum temperature 100 ° C.

また、本実施形態の半導体装置用テープキャリア10では、銅箔4bの厚さを30μm以下としているので、テープキャリアが有する可撓性を損なうことがない。   Moreover, in the tape carrier 10 for semiconductor devices of this embodiment, since the thickness of the copper foil 4b is 30 micrometers or less, the flexibility which a tape carrier has is not impaired.

また、本実施形態の製造方法によれば、保護層4はフィルム状の原材をプレスによって打ち抜くことによって形成されるので、打ち抜きパンチの打ち抜き動作の延長においてそのまま配線層3に貼り付けることができる。このため、製造工程の簡略化が可能になる。   Further, according to the manufacturing method of the present embodiment, the protective layer 4 is formed by punching a film-like raw material with a press. . For this reason, the manufacturing process can be simplified.

[他の実施形態]
上記実施形態では、保護層4の表面を銅箔4bで構成したが、他にAl等の熱伝導率の良好な金属箔を用いても良い。
[Other Embodiments]
In the said embodiment, although the surface of the protective layer 4 was comprised with the copper foil 4b, you may use metal foil with favorable heat conductivity, such as Al, besides.

また、上記実施形態では、絶縁性樹脂フィルムであるポリイミドテープ1の片面にのみ、配線層3を形成した例を示したが、ポリイミドテープ1の両面に配線層3を形成することもできる。この場合は、両面の配線層3に保護層4を形成することが好ましい。   Moreover, although the example which formed the wiring layer 3 only in the single side | surface of the polyimide tape 1 which is an insulating resin film was shown in the said embodiment, the wiring layer 3 can also be formed in both surfaces of the polyimide tape 1. FIG. In this case, it is preferable to form the protective layer 4 on the wiring layers 3 on both sides.

また、上記実施形態では、半導体チップ搭載部としてデバイスホール5を形成した例を示したが、適用される半導体装置の構成に応じて、デバイスホール5を省略することもできる。   Moreover, although the example which formed the device hole 5 as a semiconductor chip mounting part was shown in the said embodiment, the device hole 5 can also be abbreviate | omitted according to the structure of the semiconductor device applied.

本発明の半導体装置用テープキャリアの一実施形態を示すもので、(a)は平面図、(b)は(a)の長手方向所定面の断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS One Embodiment of the tape carrier for semiconductor devices of this invention is shown, (a) is a top view, (b) is sectional drawing of the longitudinal direction predetermined surface of (a). 従来の半導体装置用テープキャリアの構成を示すもので、(a)は平面図、(b)は(a)の長手方向所定面の断面図である。The structure of the conventional tape carrier for semiconductor devices is shown, (a) is a top view, (b) is sectional drawing of the longitudinal direction predetermined surface of (a).

符号の説明Explanation of symbols

1 ポリイミドテープ(絶縁性樹脂フィルム)
2 配線用接着剤
3 配線層
3a インナーリード部
3b アウターリード部
3c 配線部
4 保護層
4a 銅箔用接着剤(絶縁性接着剤)
4b 銅箔(金属層)
5 デバイスホール(半導体チップ搭載部)
6 送り孔
7 半導体チップ
8 ソルダーレジスト
1 Polyimide tape (insulating resin film)
2 Wiring adhesive 3 Wiring layer 3a Inner lead 3b Outer lead 3c Wiring 4 Protective layer 4a Copper foil adhesive (insulating adhesive)
4b Copper foil (metal layer)
5 Device hole (semiconductor chip mounting part)
6 Feed hole 7 Semiconductor chip 8 Solder resist

Claims (8)

絶縁性樹脂フィルムの少なくとも一方の面に導体配線層を形成し、当該導体配線層の所定の箇所に半導体チップ搭載部を形成すると共に、当該導体配線層の所定の部分に保護層を被覆した半導体装置用テープキャリアにおいて、
前記保護層の一部が金属で形成されていることを特徴とする半導体装置用テープキャリア。
A semiconductor in which a conductor wiring layer is formed on at least one surface of an insulating resin film, a semiconductor chip mounting portion is formed at a predetermined portion of the conductor wiring layer, and a protective layer is coated on a predetermined portion of the conductor wiring layer In the tape carrier for equipment,
A tape carrier for a semiconductor device, wherein a part of the protective layer is made of metal.
前記保護層は、金属層と絶縁性接着剤とからなり、前記金属層は、絶縁性接着剤を介して前記導体配線層に貼付けられていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置用テープキャリア。   2. The semiconductor device according to claim 1, wherein the protective layer includes a metal layer and an insulating adhesive, and the metal layer is attached to the conductor wiring layer via an insulating adhesive. Tape carrier. 前記金属層の厚さは、30μm以下であることを特徴とする請求項2記載の半導体装置用テープキャリア。   The tape carrier for a semiconductor device according to claim 2, wherein the metal layer has a thickness of 30 μm or less. 前記半導体チップ搭載部は、デバイスホールを有し、前記絶縁性樹脂フィルムの所定の箇所に形成されていることを特徴とする請求項1項記載の半導体装置用テープキャリア。   2. The tape carrier for a semiconductor device according to claim 1, wherein the semiconductor chip mounting portion has a device hole and is formed at a predetermined location of the insulating resin film. 前記半導体チップ搭載部は、デバイスホールを有することなく、前記絶縁性樹脂フィルムの所定の箇所に形成されていることを特徴とする請求項1項記載の半導体装置用テープキャリア。   2. The tape carrier for a semiconductor device according to claim 1, wherein the semiconductor chip mounting portion is formed at a predetermined location of the insulating resin film without having a device hole. 前記導体配線層が前記絶縁性樹脂フィルムの両面に形成され、それぞれの導体配線層に前記保護層が被覆されていることを特徴とする請求項1項記載の半導体装置用テープキャリア。   2. The tape carrier for a semiconductor device according to claim 1, wherein the conductor wiring layer is formed on both surfaces of the insulating resin film, and the protective layer is coated on each conductor wiring layer. 予め半導体チップ搭載部を形成した絶縁性樹脂フィルムの少なくとも一方の面に、導体配線層を形成する工程と、
前記絶縁性樹脂フィルム上で、絶縁性接着剤が塗布された金属層を、前記絶縁性接着剤を下面にして打抜きプレスでパンチングすることにより、前記導体配線層の所定の部分に、パンチング動作と連続した動作で前記金属層を接着する工程と、
を備えることを特徴とする半導体装置用テープキャリアの製造方法。
Forming a conductive wiring layer on at least one surface of the insulating resin film in which the semiconductor chip mounting portion is formed in advance;
On the insulating resin film, a punching operation is performed on a predetermined portion of the conductor wiring layer by punching a metal layer coated with an insulating adhesive with a punching press with the insulating adhesive as a lower surface. Bonding the metal layer in a continuous motion;
A method for producing a tape carrier for a semiconductor device.
更に、所定の温度で加熱処理を施すことにより前記絶縁性接着剤を硬化させ、前記導体配線層上に前記金属層を接着させる工程を備えることを特徴とする請求項7記載の半導体装置用テープキャリアの製造方法。   8. The tape for a semiconductor device according to claim 7, further comprising a step of curing the insulating adhesive by performing a heat treatment at a predetermined temperature and bonding the metal layer onto the conductor wiring layer. Carrier manufacturing method.
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