JP2007191381A - セラミックス原料及びセラミックス成形体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】セラミックス粒子と樹脂成分とが均一に分散したセラミックス原料の製造方法、及びセラミックス成形体の製造方法を提供すること。
【解決手段】セラミックス粒子分散工程と樹脂成分分散工程と混合工程と乾燥工程とを有するセラミックス原料の製造方法である。セラミックス粒子分散工程においては、セラミックス粒子を水に混合してセラミックス粒子分散液を作製する。樹脂成分分散工程においては、樹脂成分を水に混合して樹脂成分分散液を作製する。混合工程においては、セラミックス粒子分散液と樹脂成分分散液とを混合して混合スラリーを作製する。乾燥工程においては、混合スラリーを凍結乾燥することにより、セラミックス原料を作製する。また、このセラミックス原料に水を加えて混練してなる混練物に、1〜50MPaの圧力を加えた状態で成形するセラミックス成形体の製造方法である。
【選択図】図1
【解決手段】セラミックス粒子分散工程と樹脂成分分散工程と混合工程と乾燥工程とを有するセラミックス原料の製造方法である。セラミックス粒子分散工程においては、セラミックス粒子を水に混合してセラミックス粒子分散液を作製する。樹脂成分分散工程においては、樹脂成分を水に混合して樹脂成分分散液を作製する。混合工程においては、セラミックス粒子分散液と樹脂成分分散液とを混合して混合スラリーを作製する。乾燥工程においては、混合スラリーを凍結乾燥することにより、セラミックス原料を作製する。また、このセラミックス原料に水を加えて混練してなる混練物に、1〜50MPaの圧力を加えた状態で成形するセラミックス成形体の製造方法である。
【選択図】図1
Description
本発明は、セラミックス粒子と樹脂成分とを含有するセラミックス原料の製造方法及び該セラミックス原料を成形してなるセラミックス成形体の製造方法に関する。
従来より、セラミックスコンデンサ、圧電素子、ハニカム構造体、ガスセンサ素子等の各種センサ素子等には、各種セラミックス材料の焼結体が用いられていた。
このようなセラミックスの焼結体は、セラミックスのスラリーを成形してなるセラミックス成形体を焼成することにより作製されていた。
セラミックス成形体は、セラミックス粒子とバインダー(樹脂成分)とを混合し、可塑剤等を加えて混練し、その後成形することにより作製されていた。
このようなセラミックスの焼結体は、セラミックスのスラリーを成形してなるセラミックス成形体を焼成することにより作製されていた。
セラミックス成形体は、セラミックス粒子とバインダー(樹脂成分)とを混合し、可塑剤等を加えて混練し、その後成形することにより作製されていた。
しかし、セラミックス粒子と樹脂成分とを混練し、成形する従来の成形体の製造方法においては、得られる成形体において樹脂成分の分布に偏りが生じるという問題があった。このような成形体を焼結させると、焼結体にボイドやポア等の空洞部が生じ、焼結体の強度が低下したり、各種セラミックスの特性が焼結体の部位によってばらついてしまうおそれがあった。
また、セラミックス粒子及び樹脂成分を溶媒としての有機溶剤に分散させてスラリーを作製し、ドクターブレード等に代表される工法によって、上記スラリーを加熱することにより溶媒を除去して乾燥させたセラミックス成形体を作製する方法が開発されている(特許文献1及び2参照)。
しかしながら、上記従来の方法においては、樹脂成分が上記スラリー中に充分に分散することができず、その結果、やはり上記セラミックス成形体中で樹脂成分の偏りが生じてしまうという問題があった。
即ち、上記スラリーにおいて、セラミックス粒子及び樹脂成分は、有機溶剤に溶解した樹脂成分がセラミックス粒子間に立体障害を形成することによって分散されるが、溶媒として用いる有機溶剤は、樹脂成分を溶解するため、分散に必要な水素結合力が弱く、充分に分散させることが困難になるおそれがあった。また、上記従来の方法においては、スラリーを加熱乾燥させている。そのため、この加熱乾燥時に、樹脂成分が凝集してしまうおそれがあった。その結果、乾燥体に樹脂成分のばらつきが発生するという問題があった。
即ち、上記スラリーにおいて、セラミックス粒子及び樹脂成分は、有機溶剤に溶解した樹脂成分がセラミックス粒子間に立体障害を形成することによって分散されるが、溶媒として用いる有機溶剤は、樹脂成分を溶解するため、分散に必要な水素結合力が弱く、充分に分散させることが困難になるおそれがあった。また、上記従来の方法においては、スラリーを加熱乾燥させている。そのため、この加熱乾燥時に、樹脂成分が凝集してしまうおそれがあった。その結果、乾燥体に樹脂成分のばらつきが発生するという問題があった。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたものであって、セラミックス粒子と樹脂成分とが均一に分散したセラミックス原料の製造方法、及びセラミックス成形体の製造方法に関する。
第1の発明は、少なくともセラミックス粒子と樹脂成分とを含有するセラミックス原料の製造方法において、
上記セラミックス粒子を水に混合することによりセラミックス粒子分散液を作製するセラミックス粒子分散工程と、
上記樹脂成分を水に混合することにより樹脂成分分散液を作製する樹脂成分分散工程と、
上記セラミックス粒子分散液と上記樹脂成分分散液とを混合することにより混合スラリーを作製する混合工程と、
上記混合スラリーを凍結乾燥することにより、上記セラミックス原料を作製する乾燥工程とを有することを特徴とするセラミックス原料の製造方法にある(請求項1)。
上記セラミックス粒子を水に混合することによりセラミックス粒子分散液を作製するセラミックス粒子分散工程と、
上記樹脂成分を水に混合することにより樹脂成分分散液を作製する樹脂成分分散工程と、
上記セラミックス粒子分散液と上記樹脂成分分散液とを混合することにより混合スラリーを作製する混合工程と、
上記混合スラリーを凍結乾燥することにより、上記セラミックス原料を作製する乾燥工程とを有することを特徴とするセラミックス原料の製造方法にある(請求項1)。
上記第1の発明においては、上記セラミックス粒子分散工程と上記樹脂成分分散工程と上記混合工程と上記乾燥工程とを行うことにより、上記セラミックス粒子と上記樹脂成分とを含有する上記セラミックス原料を作製する。
上記セラミックス粒子分散工程においては、上記セラミックス粒子を水に混合することによりセラミックス粒子分散液を作製する。また、上記樹脂成分分散工程においては、樹脂成分を水に混合することにより樹脂成分分散液を作製する。このように、上記セラミックス粒子分散工程及び上記樹脂成分分散工程においては、大きな水素結合力を有する水を溶媒として用い、さらに該溶媒中に上記セラミックス粒子及び上記樹脂成分を別々に分散させている。そのため、上記セラミックス粒子分散液及び上記樹脂成分分散液においては、それぞれ上記セラミックス粒子及び上記樹脂成分を充分均一に分散させることができる。
上記セラミックス粒子分散工程においては、上記セラミックス粒子を水に混合することによりセラミックス粒子分散液を作製する。また、上記樹脂成分分散工程においては、樹脂成分を水に混合することにより樹脂成分分散液を作製する。このように、上記セラミックス粒子分散工程及び上記樹脂成分分散工程においては、大きな水素結合力を有する水を溶媒として用い、さらに該溶媒中に上記セラミックス粒子及び上記樹脂成分を別々に分散させている。そのため、上記セラミックス粒子分散液及び上記樹脂成分分散液においては、それぞれ上記セラミックス粒子及び上記樹脂成分を充分均一に分散させることができる。
次いで、上記混合工程においては、上記セラミックス粒子分散液と上記樹脂成分分散液とを混合することにより上記混合スラリーを作製する。即ち、上記溶媒中に上記セラミックス粒子及び上記樹脂成分をそれぞれ別々に分散させることにより上記セラミックス粒子分散液及び上記樹脂成分分散液を作製した後、上記セラミックス粒子分散液と上記樹脂成分分散液とを混合することにより上記混合スラリーを作製している。そのため、上記セラミックス粒子及び上記樹脂成分を一度に同じ溶媒に分散させる場合に比べて、上記セラミックス粒子及び上記樹脂成分を上記混合スラリー中により充分均一に分散させることができる。
また、上記乾燥工程においては、上記混合スラリーを凍結乾燥させている。そのため、加熱による上記樹脂成分の凝集を防止することができる。その結果、上記セラミックス粒子と上記樹脂成分とが均一に分散された上記セラミックス原料を得ることができる。
第2の発明は、少なくともセラミックス粒子と樹脂成分とを含有するセラミックス原料を成形してなるセラミックス成形体の製造方法において、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の製造方法によって得られる上記セラミックス原料に水を加えて混練することにより混練物を作製し、該混練物に5〜50MPaの圧力を加えた状態で上記混練物を成形することを特徴とするセラミックス成形体の製造方法にある(請求項7)。
請求項1〜3のいずれか一項に記載の製造方法によって得られる上記セラミックス原料に水を加えて混練することにより混練物を作製し、該混練物に5〜50MPaの圧力を加えた状態で上記混練物を成形することを特徴とするセラミックス成形体の製造方法にある(請求項7)。
上記第2の発明においては、上記セラミックス粒子と上記樹脂成分が均一に分散された上記第1の発明の上記セラミックス原料を用いて成形を行っている。そのため、上記セラミックス粒子と上記樹脂成分とが均一に分散された上記セラミックス成形体を得ることができる。
また、上記セラミックス原料に水を加えて混練することにより上記混練物を作製し、該混練物に5〜50MPaの圧力を加えた状態で上記混練物を成形している。具体的には、例えば上記混練物を薄いスリットから押し出して押出成形を行うこと等により、上記混練物に5〜50MPaの圧力を加えた状態で成形することができる。そのため、成形時に、上記混練物中における上記樹脂成分の高濃度部分を潰すことができ、上記セラミックス成形体中における上記樹脂成分の偏りをより一層小さくすることができる。その結果、上記セラミックス粒子と上記樹脂成分とがより均一に分散された上記セラミックス成形体を得ることができる。
また、上記セラミックス原料に水を加えて混練することにより上記混練物を作製し、該混練物に5〜50MPaの圧力を加えた状態で上記混練物を成形している。具体的には、例えば上記混練物を薄いスリットから押し出して押出成形を行うこと等により、上記混練物に5〜50MPaの圧力を加えた状態で成形することができる。そのため、成形時に、上記混練物中における上記樹脂成分の高濃度部分を潰すことができ、上記セラミックス成形体中における上記樹脂成分の偏りをより一層小さくすることができる。その結果、上記セラミックス粒子と上記樹脂成分とがより均一に分散された上記セラミックス成形体を得ることができる。
上記セラミックス成形体は、焼成させることにより焼結体として用いることができる。上記のごとく、上記セラミックス成形体においては上記樹脂成分が均一に分散されているため、焼成後の焼結体の表面や内部に、ボイドやポア等の空洞部が発生することを抑制することができる。そのため、強度や各種セラミックス特性についての焼結体の部位によるばらつきがほとんどない焼結体を得ることができる。
次に、本発明の好ましい実施の形態について説明する。
上記セラミックス粒子分散工程においては、上記セラミックス粒子と水との合計量100重量部に対して、水の含有量が20〜80重量部となるように、上記セラミックス粒子と水とを混合することが好ましい。
水の含有量が20重量部未満の場合には、溶媒としての水中に充分にセラミックス粒子を分散させることが困難になるおそれがある。一方、80重量部を越える場合には、凍結乾燥を行う上記乾燥工程に長時間を要してしまうおそれがある。より好ましくは、水の含有量は35〜65重量部がよく、さらに好ましくは、45〜55重量部がよい。
上記セラミックス粒子分散工程においては、上記セラミックス粒子と水との合計量100重量部に対して、水の含有量が20〜80重量部となるように、上記セラミックス粒子と水とを混合することが好ましい。
水の含有量が20重量部未満の場合には、溶媒としての水中に充分にセラミックス粒子を分散させることが困難になるおそれがある。一方、80重量部を越える場合には、凍結乾燥を行う上記乾燥工程に長時間を要してしまうおそれがある。より好ましくは、水の含有量は35〜65重量部がよく、さらに好ましくは、45〜55重量部がよい。
上記セラミックス粒子としては、例えばチタン酸アルミニウム、ムライト、チタン酸カリウム、リチウムアルミノシリケート、コージェライト、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、酸化チタン、酸化スズ、ガリ砒素、炭化ケイ素、酸化クロム、ジルコニア、アルミナ、イットリア、窒化ケイ素、炭化繊維、ケイ酸カルシウム、結晶化ガラス、無定形炭素、炭化タングステン、炭化チタン、ケイ化鉄、黒鉛、チタニア、炭素繊維、シリカ、窒化アルミニウム、チタン酸バリウム、酸化亜鉛、硫化亜鉛、ガリウム燐、酸化タングステン、硫化カドミニウム、及びインジウム・スズ酸化物(ITO)から選ばれる1種以上からなるセラミックス粒子を用いることができる(請求項2)。
上記セラミックス粒子におけるセラミックスの種類は、用途に応じて適宜選択することができる。
例えばガスセンサ用のセラミックス原料を作製する場合には、例えばジルコニア、アルミナ、及びイットリア等から選ばれる1種以上のセラミックス成分からなるセラミックス粒子を用いることができる。
例えばガスセンサ用のセラミックス原料を作製する場合には、例えばジルコニア、アルミナ、及びイットリア等から選ばれる1種以上のセラミックス成分からなるセラミックス粒子を用いることができる。
また、上記セラミックス粒子分散液を濾過あるいは分級することにより、少なくとも粒径100μm以上のセラミックス粗大粒子を除去するセラミックス粒子分散液濾過・分級工程を行うことが好ましい(請求項4)。
この場合には、欠陥要因となりうる粗大粒子を除去して、粒径のばらつきが少ない高品質な上記セラミックス原料を得ることができる。
即ち、一般にセラミックス粒子は天然原料から生成されるために、ある確率で粗大な粒子が存在する。これらの粗大粒子は、セラミックス粒子の製造過程において、適切な寸法に解砕されないで残った未解砕分等である。
本発明の製造方法によって得られる上記セラミックス原料においても、少なくとも粒径100μm以上の粗大粒子が多く存在すると、該セラミックス原料から作製されるガスセンサ等の最終的なセラミックス製品において、粗大粒子が欠陥起点となるおそれがある。即ち、セラミックス製品に一定の応力や電圧等の市場ストレスが加わると、粗大粒子が起点となってクラック等の欠陥が発生するおそれがある。
そこで、上記のごとく、上記セラミックス粒子分散液濾過・分級工程を行って少なくとも粒径100μm以上のセラミックス粗大粒子を除去すれば、欠陥要因をほとんど含まない上記セラミックス原料を作製することができる。該セラミックス原料を用いて作製したセラミックス製品は、市場ストレスによる欠陥を発生し難くなる。
この場合には、欠陥要因となりうる粗大粒子を除去して、粒径のばらつきが少ない高品質な上記セラミックス原料を得ることができる。
即ち、一般にセラミックス粒子は天然原料から生成されるために、ある確率で粗大な粒子が存在する。これらの粗大粒子は、セラミックス粒子の製造過程において、適切な寸法に解砕されないで残った未解砕分等である。
本発明の製造方法によって得られる上記セラミックス原料においても、少なくとも粒径100μm以上の粗大粒子が多く存在すると、該セラミックス原料から作製されるガスセンサ等の最終的なセラミックス製品において、粗大粒子が欠陥起点となるおそれがある。即ち、セラミックス製品に一定の応力や電圧等の市場ストレスが加わると、粗大粒子が起点となってクラック等の欠陥が発生するおそれがある。
そこで、上記のごとく、上記セラミックス粒子分散液濾過・分級工程を行って少なくとも粒径100μm以上のセラミックス粗大粒子を除去すれば、欠陥要因をほとんど含まない上記セラミックス原料を作製することができる。該セラミックス原料を用いて作製したセラミックス製品は、市場ストレスによる欠陥を発生し難くなる。
より好ましくは、上記セラミックス粒子分散液濾過・分級工程においては、粒径5μm以上のセラミックス粗大粒子を除去することがよい。
この場合には、欠陥に発生をより一層防止することができ、ガスセンサ等の自動車部品に好適なセラミックス原料を得ることができる。
この場合には、欠陥に発生をより一層防止することができ、ガスセンサ等の自動車部品に好適なセラミックス原料を得ることができる。
また、上記樹脂成分分散工程においては、上記樹脂成分と水との合計量100重量部に対して、水の含有量が50〜99重量部となるように、上記樹脂成分と水とを混合することが好ましい。
水の含有量が50重量部未満の場合には、上記溶媒としての水中に上記樹脂成分を充分に分散させることが困難になるおそれがある。一方、99重量部を越える場合には、凍結乾燥を行う上記乾燥工程に長時間を要してしまうおそれがある。より好ましくは、水の含有量は85〜99重量部がよく、さらに好ましくは、97〜99重量部がよい。
水の含有量が50重量部未満の場合には、上記溶媒としての水中に上記樹脂成分を充分に分散させることが困難になるおそれがある。一方、99重量部を越える場合には、凍結乾燥を行う上記乾燥工程に長時間を要してしまうおそれがある。より好ましくは、水の含有量は85〜99重量部がよく、さらに好ましくは、97〜99重量部がよい。
上記樹脂成分としては、例えば親水性の樹脂を用いることができる。
具体的には、例えばメチルセルロース、ヒドロキシルプロピルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、澱粉、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキシド、ポリアクリル酸ソーダ、及びポリアクリルアミド等から選ばれる1種以上からなる樹脂成分を用いることができる(請求項3)。
具体的には、例えばメチルセルロース、ヒドロキシルプロピルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、澱粉、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキシド、ポリアクリル酸ソーダ、及びポリアクリルアミド等から選ばれる1種以上からなる樹脂成分を用いることができる(請求項3)。
また、上記樹脂成分分散液を濾過あるいは分級することにより、少なくとも粒径100μm以上の樹脂成分粗大粒子を除去する樹脂成分分散液濾過・分級工程を行うことが好ましい(請求項5)。
この場合にも、欠陥要因となりうる粗大粒子を除去して、粒径のばらつきが少ない高品質な上記セラミックス原料を得ることができる。
即ち、上述のセラミックス粒子と同様に、一般に樹脂成分も天然原料から生成され、同一加工条件で生成しても溶解性に乏しい組成が部分的に存在する。そのため、ある確率で未溶解分が生じて粗大粒子となる場合がある。この樹脂成分粗大粒子は、上記セラミックス粗大粒子と同様にセラミックス製品の欠陥起点となるおそれがある。
そこで、上記のごとく、上記樹脂成分分散液濾過・分級工程を行って少なくとも粒径100μm以上の樹脂成分粗大粒子を除去すれば、欠陥要因をほとんど含まない上記セラミックス原料を作製することができる。該セラミックス原料を用いて作製したセラミックス製品は、市場ストレスによる欠陥を発生し難くなる。
この場合にも、欠陥要因となりうる粗大粒子を除去して、粒径のばらつきが少ない高品質な上記セラミックス原料を得ることができる。
即ち、上述のセラミックス粒子と同様に、一般に樹脂成分も天然原料から生成され、同一加工条件で生成しても溶解性に乏しい組成が部分的に存在する。そのため、ある確率で未溶解分が生じて粗大粒子となる場合がある。この樹脂成分粗大粒子は、上記セラミックス粗大粒子と同様にセラミックス製品の欠陥起点となるおそれがある。
そこで、上記のごとく、上記樹脂成分分散液濾過・分級工程を行って少なくとも粒径100μm以上の樹脂成分粗大粒子を除去すれば、欠陥要因をほとんど含まない上記セラミックス原料を作製することができる。該セラミックス原料を用いて作製したセラミックス製品は、市場ストレスによる欠陥を発生し難くなる。
より好ましくは、上記セラミックス粒子分散液濾過・分級工程においては、粒径5μm以上の樹脂成分粗大粒子を除去することがよい。
この場合には、欠陥の発生をより一層防止することができ、ガスセンサ等の自動車部品に好適なセラミックス原料を得ることができる。
この場合には、欠陥の発生をより一層防止することができ、ガスセンサ等の自動車部品に好適なセラミックス原料を得ることができる。
また、上記樹脂成分分散液濾過・分級工程において、濾過によって上記樹脂成分粗大粒子を除去する場合には、除去しようとする上記樹脂成分粗大粒子の粒径の1/2の大きさの目開きのメッシュを用いることが好ましい。
即ち、例えば粒径100μm以上の樹脂成分粗大粒子を除去する場合には、目開き50μmのメッシュを用いて濾過を行うことが好ましい。
この場合には、濾過の際に上記樹脂成分粗大粒子が変形してもより確実に所望の粒径以上の上記樹脂成分粗大粒子を除去することができる。
即ち、例えば粒径100μm以上の樹脂成分粗大粒子を除去する場合には、目開き50μmのメッシュを用いて濾過を行うことが好ましい。
この場合には、濾過の際に上記樹脂成分粗大粒子が変形してもより確実に所望の粒径以上の上記樹脂成分粗大粒子を除去することができる。
また、上記混合工程においては、上記混合スラリーの固形成分比率を70〜99wt%にすることが好ましい。
固形成分比率が70wt%未満の場合には、凍結乾燥を行う上記乾燥工程に長時間を要してしまうおそれがある。一方、99wt%を越える場合には、上記混合スラリーの溶媒中に上記セラミックス粒子と上記樹脂成分とを充分に分散させることが困難になるおそれがある。より好ましくは75〜95wt%がよく、さらに好ましくは80〜90wt%がよい。
なお、固形成分比率は、上記混合スラリー中に含まれる固体成分の重量比を百分率で表したものである。
固形成分比率が70wt%未満の場合には、凍結乾燥を行う上記乾燥工程に長時間を要してしまうおそれがある。一方、99wt%を越える場合には、上記混合スラリーの溶媒中に上記セラミックス粒子と上記樹脂成分とを充分に分散させることが困難になるおそれがある。より好ましくは75〜95wt%がよく、さらに好ましくは80〜90wt%がよい。
なお、固形成分比率は、上記混合スラリー中に含まれる固体成分の重量比を百分率で表したものである。
また、上記混合スラリーを濾過あるいは分級することにより、少なくとも粒径100μm以上のセラミックス粗大粒子及び樹脂成分粗大粒子を除去する混合スラリー濾過・分級工程を行うことが好ましい(請求項6)。
この場合にも、上記セラミックス粒子分散液濾過・分級工程及び上記樹脂成分分散液濾過・分級工程と同様に、欠陥要因をほとんど含まない上記セラミックス原料を作製することができる。
より好ましくは、上記混合スラリー分散液濾過・分級工程においては、粒径5μm以上のセラミックス粗大粒子及び樹脂成分粗大粒子を除去することがよい。
この場合には、欠陥の発生をより一層防止することができ、ガスセンサ等の自動車部品に好適なセラミックス原料を得ることができる。
この場合にも、上記セラミックス粒子分散液濾過・分級工程及び上記樹脂成分分散液濾過・分級工程と同様に、欠陥要因をほとんど含まない上記セラミックス原料を作製することができる。
より好ましくは、上記混合スラリー分散液濾過・分級工程においては、粒径5μm以上のセラミックス粗大粒子及び樹脂成分粗大粒子を除去することがよい。
この場合には、欠陥の発生をより一層防止することができ、ガスセンサ等の自動車部品に好適なセラミックス原料を得ることができる。
また、上記乾燥工程においては、例えば上記混合スラリーを凍結させた凍結物を減圧条件下で加熱することにより、上記混合スラリーの凍結乾燥を行うことができる。
上記混合スラリーの凍結は、温度−200〜−5℃、凍結時間30〜240分間で行うことが好ましい。
凍結温度が−200℃未満の場合には、凍結温度を連続して保持するための凍結設備自体の導入コストやその運転コストが高価になり、その結果上記セラミックス原料の製造コストが増大するおそれがある。一方、−5℃を越える場合には、凍結までにかかる時間が長くなり、分散性が低下するおそれがある。より好ましくは、−50〜−20℃がよく、凍結速度と製造コストとのバランスという観点から、最も好ましくは−35℃がよい。
また、凍結温度が30分間未満の場合には、充分にスラリーを凍結させることができず、分散性が低下するおそれがある。一方、240分間を越えて凍結させても、要した時間に見合う効果が得られず、製造時間が長くなり、製造コストが増大してしまうおそれがある。より好ましくは、60〜180分がよく、さらに好ましくは90〜150分がよい。
上記混合スラリーの凍結は、温度−200〜−5℃、凍結時間30〜240分間で行うことが好ましい。
凍結温度が−200℃未満の場合には、凍結温度を連続して保持するための凍結設備自体の導入コストやその運転コストが高価になり、その結果上記セラミックス原料の製造コストが増大するおそれがある。一方、−5℃を越える場合には、凍結までにかかる時間が長くなり、分散性が低下するおそれがある。より好ましくは、−50〜−20℃がよく、凍結速度と製造コストとのバランスという観点から、最も好ましくは−35℃がよい。
また、凍結温度が30分間未満の場合には、充分にスラリーを凍結させることができず、分散性が低下するおそれがある。一方、240分間を越えて凍結させても、要した時間に見合う効果が得られず、製造時間が長くなり、製造コストが増大してしまうおそれがある。より好ましくは、60〜180分がよく、さらに好ましくは90〜150分がよい。
また、上記凍結物の乾燥は、真空度5〜50Torr、加熱温度20〜70℃、加熱時間4〜24時間で行うことが好ましい。
5Torr未満の場合には、真空状態を実現するための乾燥設備自体の導入コストやその運転コストが高価になるため、コスト的に高価が見合わなくなるおそれがある。一方、50Torrを越える場合には、凍結物中の水分が充分に昇華することができず、乾燥中に凍結物が溶融するおそれがある。より好ましくは、真空度は5〜20Torrがよい。
また、加熱温度が20℃未満の場合又は加熱時間が4時間未満の場合には、上記混合スラリーの凍結物から充分に水分を除去し、充分に乾燥させることが困難になるおそれがある。一方、70℃を越える場合には、上記樹脂成分の凝集が起こるおそれがある。また、24時間を超えて加熱しても、これに見合った効果はほとんど得られなくなる一方で、製造時間が長くなり、コストが増大してしまうおそれがある。加熱温度は30〜65℃がより好ましく、40〜65℃がさらにより好ましい。また、加熱時間は6〜20時間がより好ましくは、8〜18時間がさらにより好ましい。
5Torr未満の場合には、真空状態を実現するための乾燥設備自体の導入コストやその運転コストが高価になるため、コスト的に高価が見合わなくなるおそれがある。一方、50Torrを越える場合には、凍結物中の水分が充分に昇華することができず、乾燥中に凍結物が溶融するおそれがある。より好ましくは、真空度は5〜20Torrがよい。
また、加熱温度が20℃未満の場合又は加熱時間が4時間未満の場合には、上記混合スラリーの凍結物から充分に水分を除去し、充分に乾燥させることが困難になるおそれがある。一方、70℃を越える場合には、上記樹脂成分の凝集が起こるおそれがある。また、24時間を超えて加熱しても、これに見合った効果はほとんど得られなくなる一方で、製造時間が長くなり、コストが増大してしまうおそれがある。加熱温度は30〜65℃がより好ましく、40〜65℃がさらにより好ましい。また、加熱時間は6〜20時間がより好ましくは、8〜18時間がさらにより好ましい。
上記セラミックス原料は、該セラミックス原料を成形してセラミックス成形体を作製するために用いることができる。
具体的には、例えば上記セラミックス原料に水を加えて混練することにより混練物を作製し、該混練物に1〜50MPaの圧力を加えた状態で成形することによりセラミックス成形体を作製することができる。
上記混練物においては、上記セラミックス原料と水との合計量100重量部に対する水の含有量が1〜20重量部となるように、水を添加することが好ましい。
水が1重量部未満の場合には、水が少なすぎて充分に混練を行うことができないおそれがある。一方、20重量部を越える場合には、水が多すぎて樹脂成分が再度溶解してしまうおそれがある。より好ましくは、水の含有量は、2〜8重量部がよく、さらに好ましくは、4〜6重量部がよい。
具体的には、例えば上記セラミックス原料に水を加えて混練することにより混練物を作製し、該混練物に1〜50MPaの圧力を加えた状態で成形することによりセラミックス成形体を作製することができる。
上記混練物においては、上記セラミックス原料と水との合計量100重量部に対する水の含有量が1〜20重量部となるように、水を添加することが好ましい。
水が1重量部未満の場合には、水が少なすぎて充分に混練を行うことができないおそれがある。一方、20重量部を越える場合には、水が多すぎて樹脂成分が再度溶解してしまうおそれがある。より好ましくは、水の含有量は、2〜8重量部がよく、さらに好ましくは、4〜6重量部がよい。
また、成形時に上記混練物に加える圧力は1〜50MPaであることが好ましい。
この場合には、上記混練物に上記樹脂成分の偏りが残存していたとしても、上記樹脂成分が偏っている部分を潰すことができるため、上記セラミックス成形体中における上記樹脂成分の偏りをより一層小さくすることができる。圧力が1MPa未満の場合には、上記セラミックス原料中に残存していた樹脂成分の偏りを、充分に解消することができなくなるおそれがある。一方、圧力が50MPaを越える圧力を加えても、樹脂成分の偏りを小さくするという効果が飽和することが確認されている。より好ましくは、上記混練物に加える圧力は5〜30MPaがよく、さらに好ましくは5〜20MPaがよい。
この場合には、上記混練物に上記樹脂成分の偏りが残存していたとしても、上記樹脂成分が偏っている部分を潰すことができるため、上記セラミックス成形体中における上記樹脂成分の偏りをより一層小さくすることができる。圧力が1MPa未満の場合には、上記セラミックス原料中に残存していた樹脂成分の偏りを、充分に解消することができなくなるおそれがある。一方、圧力が50MPaを越える圧力を加えても、樹脂成分の偏りを小さくするという効果が飽和することが確認されている。より好ましくは、上記混練物に加える圧力は5〜30MPaがよく、さらに好ましくは5〜20MPaがよい。
また、上記セラミックス成形体は、ガスセンサに用いられることが好ましい(請求項8)。
この場合には、上記樹脂成分の偏りが少なく、空洞(ポア、ボイド)等が少ないという上記セラミックス成形体の優れた特性をより顕著に発揮させることができる。
即ち、ガスセンサにおいては、近年ますます小型化が進み、より高温の環境下で使用される。そのため、より高い強度や耐熱性が要求される。一方、樹脂成分の偏りが大きなセラミックス成形体を焼結させてガスセンサ素子(焼結体)を作製すると、ガスセンサ素子の表面や内部にポアやボイド等の空洞部が生じ、強度や耐熱性が劣化してしまうおそれがある。これに対し、本発明において、上記セラミックス成形体は、上記のごとく樹脂成分の偏りが少ないため、焼結させることによりポアやボイド等の空洞部をほとんど有さない焼結体を得ることができる。したがって、ガスセンサ素子に適用すれば、強度や耐熱性に優れたガスセンサを得ることができ、上記セラミックス成形体の優れた特性を顕著に発揮することができる。
この場合には、上記樹脂成分の偏りが少なく、空洞(ポア、ボイド)等が少ないという上記セラミックス成形体の優れた特性をより顕著に発揮させることができる。
即ち、ガスセンサにおいては、近年ますます小型化が進み、より高温の環境下で使用される。そのため、より高い強度や耐熱性が要求される。一方、樹脂成分の偏りが大きなセラミックス成形体を焼結させてガスセンサ素子(焼結体)を作製すると、ガスセンサ素子の表面や内部にポアやボイド等の空洞部が生じ、強度や耐熱性が劣化してしまうおそれがある。これに対し、本発明において、上記セラミックス成形体は、上記のごとく樹脂成分の偏りが少ないため、焼結させることによりポアやボイド等の空洞部をほとんど有さない焼結体を得ることができる。したがって、ガスセンサ素子に適用すれば、強度や耐熱性に優れたガスセンサを得ることができ、上記セラミックス成形体の優れた特性を顕著に発揮することができる。
(実施例1)
次に、本発明の実施例について図1〜図3を用いて説明する。
本例は、セラミックス粒子分散工程と、樹脂成分分散工程と、混合工程と、乾燥工程とを行うことにより、セラミックス粒子と樹脂成分とを含有するセラミックス原料を作製する例である。
セラミックス粒子分散工程においては、複数のセラミックス粒子を溶媒としての水に混合することによりセラミックス粒子分散液を作製する。また、樹脂成分分散工程においては、樹脂成分を溶媒としての水に混合することにより樹脂成分分散液を作製する。次いで、混合工程においては、セラミックス粒子分散液と樹脂成分分散液とを混合することにより、混合スラリーを作製する。乾燥工程においては、混合スラリーを凍結乾燥することにより、セラミックス原料を作製する。
次に、本発明の実施例について図1〜図3を用いて説明する。
本例は、セラミックス粒子分散工程と、樹脂成分分散工程と、混合工程と、乾燥工程とを行うことにより、セラミックス粒子と樹脂成分とを含有するセラミックス原料を作製する例である。
セラミックス粒子分散工程においては、複数のセラミックス粒子を溶媒としての水に混合することによりセラミックス粒子分散液を作製する。また、樹脂成分分散工程においては、樹脂成分を溶媒としての水に混合することにより樹脂成分分散液を作製する。次いで、混合工程においては、セラミックス粒子分散液と樹脂成分分散液とを混合することにより、混合スラリーを作製する。乾燥工程においては、混合スラリーを凍結乾燥することにより、セラミックス原料を作製する。
具体的には、まず、セラミックス粒子としてジルコニア粒子を準備し、このジルコニア粒子50重量部に対して水50重量部を添加して混合することにより、セラミックス粒子分散液を作製した。その一方で、樹脂成分としてメチルセルロースを準備し、このメチルセルロース2重量部に対して水98重量部を添加して混合することにより、樹脂成分分散液を作製した。
次いで、セラミックス粒子分散液と樹脂成分分散液とを混合することにより、混合スラリー(試験サンプルX)を作製した。この混合スラリーにおける固形分比率は約85wt%であった。
次いで、セラミックス粒子分散液と樹脂成分分散液とを混合することにより、混合スラリー(試験サンプルX)を作製した。この混合スラリーにおける固形分比率は約85wt%であった。
次に、混合スラリーの凍結乾燥を行い、昇華によって水を除去して乾燥させた。
具体的には、まず、混合スラリーを温度−35℃で、120分間凍結させた。次いで、真空乾燥機に入れ、真空度10Torrまで減圧させ、温度60℃で16時間加熱することにより乾燥させた。このようにしてセラミックス原料を作製した。これを試料E1とする。
具体的には、まず、混合スラリーを温度−35℃で、120分間凍結させた。次いで、真空乾燥機に入れ、真空度10Torrまで減圧させ、温度60℃で16時間加熱することにより乾燥させた。このようにしてセラミックス原料を作製した。これを試料E1とする。
また、本例においては、上記試料E1の比較用として、セラミックス粒子と樹脂成分とを一つの溶媒(水)に一度に分散させて作製したスラリーを用いて、セラミックス原料(試料C1)を作製した。
具体的には、まず、セラミックス粒子としてジルコニア粒子を準備し、また、樹脂成分としてメチルセルロースを準備し、これらのセラミックス粒子14.5重量部と樹脂成分
0.5重量部との混合物に対して水85重量部を添加して混合することにより、セラミックス粒子と樹脂成分とを含有するスラリー(試験サンプルY1)を作製した。次いで、このスラリーを用いて、上記試料E1の場合と同様にして凍結乾燥を行うことにより、セラミックス原料を作製した。これを試料C1とする。
具体的には、まず、セラミックス粒子としてジルコニア粒子を準備し、また、樹脂成分としてメチルセルロースを準備し、これらのセラミックス粒子14.5重量部と樹脂成分
0.5重量部との混合物に対して水85重量部を添加して混合することにより、セラミックス粒子と樹脂成分とを含有するスラリー(試験サンプルY1)を作製した。次いで、このスラリーを用いて、上記試料E1の場合と同様にして凍結乾燥を行うことにより、セラミックス原料を作製した。これを試料C1とする。
次に、試料E1及び試料C1におけるセラミックス粒子及び樹脂成分の分散状態を調べるために、上記試験サンプルX及び試験サンプルY1について粒度分布を調べた。
粒度分布は粒度分布測定装置(日機装株式会社製の「マイクロトラック」)を用いて測定した。その結果を図1及び図2に示す。図1は、試験サンプルXについての粒度分布の測定結果を示し、図2は、試験サンプルY1についての粒度分布の測定結果を示す。図1及び図2においては、粒度分布を棒グラフで示してあり、ある一定範囲の粒径を有する粒子を一つのグループとし、同一グループに属する粒子の頻度(%)を同一のバー(棒グラフ)で示してある。
粒度分布は粒度分布測定装置(日機装株式会社製の「マイクロトラック」)を用いて測定した。その結果を図1及び図2に示す。図1は、試験サンプルXについての粒度分布の測定結果を示し、図2は、試験サンプルY1についての粒度分布の測定結果を示す。図1及び図2においては、粒度分布を棒グラフで示してあり、ある一定範囲の粒径を有する粒子を一つのグループとし、同一グループに属する粒子の頻度(%)を同一のバー(棒グラフ)で示してある。
さらに、本例においては、試験サンプルXにおけるセラミックス粒子及び樹脂成分の分散状態と、セラミックス粒子だけを水に分散させた比較用のスラリー(試験サンプルY2)におけるセラミックス粒子の分散状態との比較を行った。
試験サンプルY2は、ジルコニア粒子50重量部に対して水50重量部を添加して混合することにより作製した。次いで、試験サンプルXと試験サンプルY2の粒度分布を上述の粒度分布測定装置を用いて測定した。その結果を図3に示す。図3においては、試験サンプルXについての粒度分布の測定結果を実線で示し、試験サンプルY2についての粒度分布の測定結果を点線で示してある。図3において、横軸は粒径(μm)を示し、縦軸は頻度(%)を示す。
試験サンプルY2は、ジルコニア粒子50重量部に対して水50重量部を添加して混合することにより作製した。次いで、試験サンプルXと試験サンプルY2の粒度分布を上述の粒度分布測定装置を用いて測定した。その結果を図3に示す。図3においては、試験サンプルXについての粒度分布の測定結果を実線で示し、試験サンプルY2についての粒度分布の測定結果を点線で示してある。図3において、横軸は粒径(μm)を示し、縦軸は頻度(%)を示す。
図1及び図2より知られるごとく、試験サンプルXは、試験サンプルY1に比べて粒度分布のばらつきが小さいことがわかる。即ち、セラミックス粒子と樹脂成分とをそれぞれ別々の溶媒(水)に分散させ、その後両者を混合することにより作製した混合スラリー(試験サンプルX)においては、セラミックス粒子と樹脂成分とを溶媒に一度に分散させることにより作製したスラリー(試験サンプルY1)に比べて、より均一にセラミクス粒子と樹脂成分とが分散されていることがわかる。したがって、試験サンプルXを凍結乾燥させてなる上記試料E1においては、試験サンプルY1を凍結乾燥させてなる上記試料C1に比べて、セラミックス粒子と樹脂成分とがより均一に高分散状態で分散されている。
また、図3より知られるごとく、試験サンプルXは、セラミックス粒子だけを水に分散させたスラリー(試験サンプルY2)とほぼ同程度の粒度分布を示した。よって、試験サンプルXにおいては、セラミックス粒子だけを分散させた場合と同程度の高分散状態で、セラミックス粒子と樹脂成分とが分散されていることがわかる。
試験サンプルXを凍結乾燥してなるセラミックス原料(試料E1)においては、混合スラリー(試験サンプルX)における高分散状態を維持しながら乾燥させることができるため、セラミックス粒子と樹脂成分とが均一に分散されている。
以上のように、本例によれば、セラミックス粒子と樹脂成分とが均一に分散したセラミックス原料を製造することができる。
試験サンプルXを凍結乾燥してなるセラミックス原料(試料E1)においては、混合スラリー(試験サンプルX)における高分散状態を維持しながら乾燥させることができるため、セラミックス粒子と樹脂成分とが均一に分散されている。
以上のように、本例によれば、セラミックス粒子と樹脂成分とが均一に分散したセラミックス原料を製造することができる。
(実施例2)
本例は、実施例1において作製したセラミックス原料(試料E1)を用いてセラミックス成形体を作製し、さらに該セラミックス成形体を焼成して焼結体を作製する例である。
まず、セラミックス原料に水を加えて混練物を作製し、この混練物を押出成形により成形し、シート状のセラミックス成形体を作製する。
本例は、実施例1において作製したセラミックス原料(試料E1)を用いてセラミックス成形体を作製し、さらに該セラミックス成形体を焼成して焼結体を作製する例である。
まず、セラミックス原料に水を加えて混練物を作製し、この混練物を押出成形により成形し、シート状のセラミックス成形体を作製する。
本例の押出成形においては、図4〜図7に示す成形装置1を用いて成形を行う。
成形装置1は、図4に示すごとく、スクリュー式の押出機2、3と、押出機2の先端に配設された成形型11とを有し、押出機2に導入した混練物80を成形型11からシート形状に押出成形してシート状のセラミックス成形体8に成形する装置である。
上記成形型11には、該成形型11内を通過する混練物80を、その幅方向に複数に分割してなる各領域においてそれぞれ温度調整するための温度調整手段5を有している。
成形装置1は、図4に示すごとく、スクリュー式の押出機2、3と、押出機2の先端に配設された成形型11とを有し、押出機2に導入した混練物80を成形型11からシート形状に押出成形してシート状のセラミックス成形体8に成形する装置である。
上記成形型11には、該成形型11内を通過する混練物80を、その幅方向に複数に分割してなる各領域においてそれぞれ温度調整するための温度調整手段5を有している。
以下、これを詳説する。
本例の成形装置1は、図4に示すごとく、2段のスクリュー式押出機2、3を連ねてなると共に、下段の押出機2の先端に上記成形型11を配設してある。
成形型11は、図4及び図5に示すごとく、円管の一方を押しつぶしたような形状を有し、先端に行くにつれて上下方向の寸法を狭め、かつ、幅方向の寸法を広くしてある。そして、図4に示すごとく、その先端には押出成形するセラミックス成形体8の厚みを規制するための一対の口金121、122を配設してある。上方の口金121は、調整ねじ125のねじ込み量を調整することにより進退可能に配設されており、下方の口金122との間とのギャップを調整することができる。
本例の成形装置1は、図4に示すごとく、2段のスクリュー式押出機2、3を連ねてなると共に、下段の押出機2の先端に上記成形型11を配設してある。
成形型11は、図4及び図5に示すごとく、円管の一方を押しつぶしたような形状を有し、先端に行くにつれて上下方向の寸法を狭め、かつ、幅方向の寸法を広くしてある。そして、図4に示すごとく、その先端には押出成形するセラミックス成形体8の厚みを規制するための一対の口金121、122を配設してある。上方の口金121は、調整ねじ125のねじ込み量を調整することにより進退可能に配設されており、下方の口金122との間とのギャップを調整することができる。
そして、成形型11は、図4〜図6に示すごとく、上記温度調整手段5として、成形型11を幅方向に分割してなる各領域ごとにそれぞれ設けたチャンバー51と、該チャンバー51にそれぞれ冷却用の熱媒体6を循環させる熱媒体循環手段60とを有する。
本例のチャンバー51は、図5、図6に示すごとく、上下それぞれに幅方向に3分割してなる領域にそれぞれ設けた。そして、各チャンバーには、熱媒体の流入口511と排出口512とを設け、これらに熱媒体循環手段6の循環パイプ621、622をそれぞれ接続した。
本例のチャンバー51は、図5、図6に示すごとく、上下それぞれに幅方向に3分割してなる領域にそれぞれ設けた。そして、各チャンバーには、熱媒体の流入口511と排出口512とを設け、これらに熱媒体循環手段6の循環パイプ621、622をそれぞれ接続した。
熱媒体循環手段60は、ポンプ、電磁弁等を介して熱媒体タンクからそれぞれのチャンバー51に適宜熱媒体6を循環できるよう構成されている。この熱媒体循環手段60の制御方法および詳細構造としては種々の構成をとることができる。例えば後述する実施形態例のようにフィードバック制御により自動制御を行うこともできる。本例では、自動制御を採用せず、手動により各チャンバー51への冷却用の熱媒体6の温度および流量を調整するよう構成した。
また、図4に示すごとく、上記各スクリュー式の押出機2、3は、いずれも、軸体221、321の周囲にリード部222、322を螺旋状に巻回してなる押出スクリュー22、32をハウジング21、31の内部に内蔵してなる。本例では、上記押出スクリュー22、23として、その外径(リード部の外径)dがφ30mmのものを採用した。そして両者の間には、真空室4を配設してある。また、上段の押出機3の後端上方には、混練物80を導入するための材料導入部39を配設した。
材料導入部39は、同図に示すごとく、逆四角錘状に形成された開口部390と、その下方に配設された左右一対の押込みローラ392とを有する。この一対の押込みローラ392は、両者の間に投入された混練物80を噛み込んで下方の押出機3の内部に送るよう構成されている。
また、上記真空室4は、上段の押出機3から押出された混練物80を脱気処理すべく、内部をポンプ55により真空引きできるよう構成されている。さらに、真空室4には、上記材料導入部39におけるものと同様の左右一対の押込みローラ292を配設してある。
また、上記真空室4は、上段の押出機3から押出された混練物80を脱気処理すべく、内部をポンプ55により真空引きできるよう構成されている。さらに、真空室4には、上記材料導入部39におけるものと同様の左右一対の押込みローラ292を配設してある。
次に、本例では、上記成形装置1により成形された成形体8を乾燥させてコイル状に巻き上げる乾燥装置7を準備した(図7参照)。乾燥装置7は、一対のプーリー711、712とこれらにより駆動されるベルト713よりなるベルトコンベア71を有する。また、ベルトコンベア71には、ベルト713が通過するヒータ室73が配設されている。ヒータ室73は、ケース730内にヒータ731と温度センサ732とを有してなり、ヒータコントローラー735が、上記温度センサ732の測定値に基づいてヒータ731を制御し、一定の温度を維持するよう制御される。
また、上記ベルトコンベア71の入り側には、押出成形されたセラミックス成形体8のたわみ量を測定する変位センサ741と、これの測定値に基づいて上記たわみ量が一定となるようにベルトコンベア71の速度を制御する速度制御装置74が設けられている。
また、ベルトコンベア71の出側には、乾燥後のシート状のセラミックス成形体8をコイル状に巻き取るコイラー75が設けてある。
また、ベルトコンベア71の出側には、乾燥後のシート状のセラミックス成形体8をコイル状に巻き取るコイラー75が設けてある。
次に、上記成形装置1を用いて実際にシート状のセラミックス成形体8を成形した。
混練物80は、実施例1において作製したセラミックス原料(試料E1)に水を加えて混練することにより作製した。具体的には、セラミックス原料95重量部に対して水を
5重量部加えて混練することにより混練物80を作製した。
成形するシート状のセラミックス成形体8のサイズは、幅W(図5)を150mm、厚みT(図4)を200μmとした。そして、このセラミックス成形体8のサイズに対応する形状に上記成形型11を構成した。したがって、上記スクリュー押出機2の押出スクリュー22の外径d(図5)とセラミックス成形体8の幅寸法Wとの関係は、W≧3dの関係にある。
混練物80は、実施例1において作製したセラミックス原料(試料E1)に水を加えて混練することにより作製した。具体的には、セラミックス原料95重量部に対して水を
5重量部加えて混練することにより混練物80を作製した。
成形するシート状のセラミックス成形体8のサイズは、幅W(図5)を150mm、厚みT(図4)を200μmとした。そして、このセラミックス成形体8のサイズに対応する形状に上記成形型11を構成した。したがって、上記スクリュー押出機2の押出スクリュー22の外径d(図5)とセラミックス成形体8の幅寸法Wとの関係は、W≧3dの関係にある。
セラミックス成形体8の成形に当たっては、まず上記の混練物80を材料導入部39から投入する。投入された混練物80は、一対の押込みローラ392によって下方の押出機3内に送られる。押出機3内の混練物80は、押出スクリュー32の回転によって混練されながら前進し、真空室4へと押出される。真空室4に進入した混練物80は、脱気された状態で、一対の押込みローラ292により下方の押出機2に送られる。押出機2内の混練物80は、押出スクリュー22の回転によってさらに混練されながら前進し、成形型11に進入した後、口金121、122の間からシート状に成形されて押出される。このとき、混練物80には約10MPaの圧力が加えられた状態で成形される。押出されたシート状のセラミックス成形体8は、上記の乾燥装置7によって乾燥され、コイル状に巻き取られる。
そして、本例では、押出成形される上記セラミックス成形体8の形状を修正すべく、上記温度調整手段5を用いることにより、成形型11を通過中の混練物80を、その幅方向に複数に分割してなる各領域においてそれぞれ温度調整しながら押出成形を行った。
具体的には、まず、成形開始時においては、上記熱媒体循環手段60によって10℃の温度の熱媒体6を全チャンバー51に同様に循環させておく。そして、成形されるセラミックス成形体8の形状を観察し、成形速度が速くしわ状となった部分に対応する領域のチャンバー51に循環させる熱媒体6の温度を低下させるか、その他の領域のチャンバー51に循環させる熱媒体6の温度を上昇させるか、あるいはその両方を行う。これにより、成形型11内を通過する混練物80の流動性が各領域ごとに調整され、口金121、122を通過する混練物80の速度を幅方向においてほぼ一定にすることができる。
具体的には、まず、成形開始時においては、上記熱媒体循環手段60によって10℃の温度の熱媒体6を全チャンバー51に同様に循環させておく。そして、成形されるセラミックス成形体8の形状を観察し、成形速度が速くしわ状となった部分に対応する領域のチャンバー51に循環させる熱媒体6の温度を低下させるか、その他の領域のチャンバー51に循環させる熱媒体6の温度を上昇させるか、あるいはその両方を行う。これにより、成形型11内を通過する混練物80の流動性が各領域ごとに調整され、口金121、122を通過する混練物80の速度を幅方向においてほぼ一定にすることができる。
次に、上記のようにして作製した厚み200μmのシート状のセラミックス成形体を焼成し、焼結体を作製する。
具体的には、まず、厚み200μmのセラミックス成形体を寸法150mm×150mmに切り出した。このセラミックス成形体を温度約1500℃で50時間焼成し、焼結体を得た。これを試料E2とする。
次いで、試料E2の焼結体について、ボイド及びポア等の空洞部の有無を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察した。走査型電子顕微鏡観察は、試料E2を表面から0.05mmの深さまで研磨し、その研磨面について行った。その結果を図8に示す。また、試料E2のSEM観察により、一定面積あたりの空洞部(有害欠陥)数を数え、単位面積あたりの有害欠陥数(個/mm2)を算出した。その結果を図10に示す。
具体的には、まず、厚み200μmのセラミックス成形体を寸法150mm×150mmに切り出した。このセラミックス成形体を温度約1500℃で50時間焼成し、焼結体を得た。これを試料E2とする。
次いで、試料E2の焼結体について、ボイド及びポア等の空洞部の有無を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察した。走査型電子顕微鏡観察は、試料E2を表面から0.05mmの深さまで研磨し、その研磨面について行った。その結果を図8に示す。また、試料E2のSEM観察により、一定面積あたりの空洞部(有害欠陥)数を数え、単位面積あたりの有害欠陥数(個/mm2)を算出した。その結果を図10に示す。
また、本例においては、試料E2の比較用として、乾式混合によりセラミックス粒子と樹脂成分とを混合して混合物を作製し、この混合物を成形し、焼成させて焼結体(試料C2)を作製する。
具体的には、まず、セラミックス粒子としてのジルコニア粒子85重量部と樹脂成分としてのPVB(ポリビニルブチラール)15重量部とを混合した。得られた混合物をドクターブレード法により厚み200μmのシート状に成形した。次いで、得られたシート状の成形体を寸法150mm×150mmに切り出し、温度約1500℃で50時間焼成し、焼結体を得た。これを試料C2とする。
具体的には、まず、セラミックス粒子としてのジルコニア粒子85重量部と樹脂成分としてのPVB(ポリビニルブチラール)15重量部とを混合した。得られた混合物をドクターブレード法により厚み200μmのシート状に成形した。次いで、得られたシート状の成形体を寸法150mm×150mmに切り出し、温度約1500℃で50時間焼成し、焼結体を得た。これを試料C2とする。
このようにして得られた試料C2についても、試料E2と同様にして走査型電子顕微鏡(SEM)による観察を行い、ボイド及びポア等の空洞部の有無を調べた。走査型電子顕微鏡観察は、上記試料E2と同様に、試料C2を表面から0.05mmまで研磨し、その研磨面について行った。その結果を図9に示す。また、試料C2のSEM観察により、一定面積あたりの空洞部(有害欠陥)の数を数え、単位面積あたりの有害欠陥数(個/mm2)を算出した。その結果を図10に示す。
図8より知られるごとく、試料E2においては、ボイドやポア等の空洞部はほとんど観察されなかった。一方、図9より知られるごとく、試料C2においては、空洞部が観察された。なお、図9においては、空洞部の位置を明確にするため、空洞部が観察された主要な位置を点線で囲って示してある。
また、図10より知られるごとく、試料C2においては、0.045個/mm2程度の空洞部が観察されたが、試料E2においては、0.001個/mm2程度しか空洞部が観察されず、試料E2は、欠陥がほとんどない焼結体であることが分かった。
また、図10より知られるごとく、試料C2においては、0.045個/mm2程度の空洞部が観察されたが、試料E2においては、0.001個/mm2程度しか空洞部が観察されず、試料E2は、欠陥がほとんどない焼結体であることが分かった。
(実施例3)
本例は、セラミックス粒子分散液濾過・分級工程及び樹脂成分分散液濾過・分級工程を行うことにより、粒径のばらつきの少ないセラミックス原料を作製する例である。
具体的には、まず、セラミックス粒子として、市販のアルミナ粒子の粉末を準備した。このアルミナ粒子50重量部に対して水50重量部を添加して混合することにより、セラミックス粒子分散液を作製した。なお、セラミックス粒子に対する水の添加量は、適宜調整することができ、例えばセラミックス粒子分散液中の水分量を20〜80重量%に調整することができる。
本例は、セラミックス粒子分散液濾過・分級工程及び樹脂成分分散液濾過・分級工程を行うことにより、粒径のばらつきの少ないセラミックス原料を作製する例である。
具体的には、まず、セラミックス粒子として、市販のアルミナ粒子の粉末を準備した。このアルミナ粒子50重量部に対して水50重量部を添加して混合することにより、セラミックス粒子分散液を作製した。なお、セラミックス粒子に対する水の添加量は、適宜調整することができ、例えばセラミックス粒子分散液中の水分量を20〜80重量%に調整することができる。
次に、セラミックス粒子分散液を目開き約100μmのメッシュに通して濾過を行った。粗大粒子の有無を確認するために、レーザー回折・散乱法(マイクロトラック粒度分布測定装置 日機装(株)製のMT3300EX)によって、セラミックス粒子分散液の濾過前後の粒度分布を測定した。その結果を図11及び図12に示す。図11は濾過前の粒度分布を示し、図12は濾過後の粒度分布を示す。
図11及び図12より知られるごとく、濾過を行うことにより粒径のばらつきが小さくなっていることがわかる。
図11及び図12より知られるごとく、濾過を行うことにより粒径のばらつきが小さくなっていることがわかる。
次に、樹脂成分としてメチルセルロースを準備し、このメチルセルロース2重量部に対して水98重量部を添加して混合することにより、樹脂成分分散液を作製した。なお、樹脂成分に対する水の添加量は、適宜調整することができ、例えば樹脂成分分散液中の水分量を50〜99重量%に調整することができる。
次に、樹脂成分分散液を目開き約50μmのメッシュに通して濾過を行った。濾過前後の粒度分布を図13に示す。粒度分布は、樹脂成分分散液の一部をシート状に乾燥させ、この乾燥体について、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、単位体積当たりの凝集体の個数を数えた。
図13より知られるごとく、濾過後においては、粒径100μm以上の粗大粒子が除去されていることがわかる。
次に、樹脂成分分散液を目開き約50μmのメッシュに通して濾過を行った。濾過前後の粒度分布を図13に示す。粒度分布は、樹脂成分分散液の一部をシート状に乾燥させ、この乾燥体について、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、単位体積当たりの凝集体の個数を数えた。
図13より知られるごとく、濾過後においては、粒径100μm以上の粗大粒子が除去されていることがわかる。
次いで、濾過を行った後のセラミックス粒子分散液と樹脂成分分散液とを混合することにより、混合スラリーを作製し、さらに実施例1と同様にして混合スラリーの凍結乾燥を行ってセラミックス原料を作製した。これを試料E3とする。
また、本例においては、上記試料E3の比較用として、セラミックス粒子分散液及び樹脂成分分散液の濾過を行わずにセラミックス原料を作製した。これを試料E4とする。
試料E4は、濾過を全く行わなかった点を除いては、上記試料E3と同様にして作製したものである。
即ち、試料E4は、アルミナ粒子50重量部に対して水50重量部を混合することにより作製したセラミックス粒子分散液と、メチルセルロース2重量部に対して水98重量部を混合することにより作製した樹脂成分分散液とを混合し、その後混合スラリーを凍結乾燥することにより作製した。
試料E4は、濾過を全く行わなかった点を除いては、上記試料E3と同様にして作製したものである。
即ち、試料E4は、アルミナ粒子50重量部に対して水50重量部を混合することにより作製したセラミックス粒子分散液と、メチルセルロース2重量部に対して水98重量部を混合することにより作製した樹脂成分分散液とを混合し、その後混合スラリーを凍結乾燥することにより作製した。
次に、試料E3及び試料E4の各セラミックス原料95重量部に、それぞれ水5重量部を加えて混合し、セラミックス混合体を得た。なお、セラミックス混合体中の水分量は、例えば1〜20重量%の範囲で適宜調整することができる。
次いで、このセラミックス混合体を実施例1と同様に成形し、シート状の成形体を作製した。成形は、例えば圧力5〜50MPaで行うことができ、成形体の厚みは、例えば0.1〜4mmの範囲で設定することができる。試料E3を用いて作製した成形体を試料E3aとし、試料E4を用いて作製した成形体を試料E4aとする。
次いで、このセラミックス混合体を実施例1と同様に成形し、シート状の成形体を作製した。成形は、例えば圧力5〜50MPaで行うことができ、成形体の厚みは、例えば0.1〜4mmの範囲で設定することができる。試料E3を用いて作製した成形体を試料E3aとし、試料E4を用いて作製した成形体を試料E4aとする。
また、本例においては、比較用として、乾式混合によりセラミックス粒子と樹脂成分とを混合して混合物を作製し、この混合物をシート状に成形して成形体(試料C3a)を作製した。
具体的には、まず、セラミックス粒子としてのアルミナ粒子85重量部と樹脂成分としてのPVB(ポリビニルブチラール)15重量部とを混合した。次いで、得られた混合物をドクターブレード法によりシート状に成形した。これを試料C3aとする。
具体的には、まず、セラミックス粒子としてのアルミナ粒子85重量部と樹脂成分としてのPVB(ポリビニルブチラール)15重量部とを混合した。次いで、得られた混合物をドクターブレード法によりシート状に成形した。これを試料C3aとする。
次に、上記試料E3a、試料E4a、及び試料C3aを走査型電子顕微鏡(SEM)により観察し、単位面積あたりの粒径の分布を調べた。その結果を図14に示す。
図14より知られるごとく、試料E4a及び試料C3aにおいては、粒径100μm以上の粗大粒子が多く観察されたが、試料E3aにおいては、粒径100μm以上の粗大粒子は観察されなかった。
図14より知られるごとく、試料E4a及び試料C3aにおいては、粒径100μm以上の粗大粒子が多く観察されたが、試料E3aにおいては、粒径100μm以上の粗大粒子は観察されなかった。
次に、各成形体(試料E3a、試料E4a、及び試料C3a)を焼結させてなるセラミックス製品を作製する。本例においては、セラミックス製品として、固体電解質体と、これを挟むように形成された一対の電極と、絶縁体と、ヒータとを有する一般的なガスセンサ素子を作製した。そして、その絶縁体の材料として、シート状の各成形体(試料E3a、試料E4a、及び試料C3a)を用いた。
試料E3aを用いて作製したガスセンサ素子を試料E3b、試料E4aを用いて作製したガスセンサ素子を試料E4b、試料C3aを用いて作製したガスセンサ素子をC3bとした。各ガスセンサ素子において、絶縁体は、試料E3a、試料E4a、及び試料C3aが焼結されてなる。本例においては、各ガスセンサ素子(試料E3b、試料E4b、及び試料C3b)をそれぞれ20個ずつ作製した。
試料E3aを用いて作製したガスセンサ素子を試料E3b、試料E4aを用いて作製したガスセンサ素子を試料E4b、試料C3aを用いて作製したガスセンサ素子をC3bとした。各ガスセンサ素子において、絶縁体は、試料E3a、試料E4a、及び試料C3aが焼結されてなる。本例においては、各ガスセンサ素子(試料E3b、試料E4b、及び試料C3b)をそれぞれ20個ずつ作製した。
次いで、これらのガスセンサ素子(試料E3b、試料E4b、試料C3b)のヒータに14V、15V、又は16Vの電圧をそれぞれ印加することにより、ガスセンサ素子自体に発熱による応力を加えた。そして、このときガスセンサ素子の絶縁体部分に発生するクラックの有無を観察した。20個の各試料について各電圧で電圧を印加したときのクラックの発生率を算出し、その結果を表1に示す。
表1より知られるごとく、試料E3のセラミック原料を用いて作製した試料E3bにおいては、クラックは全く観察されなかった。試料E4のセラミックス原料を用いて作製した試料E4bにおいては、16Vという比較的高い電圧を印加したときに、15%の割合でクラックが発生した。また、試料C3のセラミックス原料を用いて作製した試料C3bにおいては15Vの電圧を印加したときにおいても、5%の割合でクラックが発生していた。
このように、濾過を行って粒径100μm以上の粗大粒子が除去された試料E3を用いると、クラック等の欠陥の発生を抑制できるセラミックス製品(ガスセンサ素子;試料E3b)を作製できることがわかる。
このように、濾過を行って粒径100μm以上の粗大粒子が除去された試料E3を用いると、クラック等の欠陥の発生を抑制できるセラミックス製品(ガスセンサ素子;試料E3b)を作製できることがわかる。
1 成形装置
11 成形型
121、122 口金
2、3 押出機
22、32 押出スクリュー
4 真空室
5 温度調整手段
51 チャンバー
6 熱媒体
60 熱媒体循環手段
7 乾燥装置
11 成形型
121、122 口金
2、3 押出機
22、32 押出スクリュー
4 真空室
5 温度調整手段
51 チャンバー
6 熱媒体
60 熱媒体循環手段
7 乾燥装置
Claims (8)
- 少なくともセラミックス粒子と樹脂成分とを含有するセラミックス原料の製造方法において、
上記セラミックス粒子を水に混合することによりセラミックス粒子分散液を作製するセラミックス粒子分散工程と、
上記樹脂成分を水に混合することにより樹脂成分分散液を作製する樹脂成分分散工程と、
上記セラミックス粒子分散液と上記樹脂成分分散液とを混合することにより混合スラリーを作製する混合工程と、
上記混合スラリーを凍結乾燥することにより、上記セラミックス原料を作製する乾燥工程とを有することを特徴とするセラミックス原料の製造方法。 - 請求項1において、上記セラミックス粒子は、チタン酸アルミニウム、ムライト、チタン酸カリウム、リチウムアルミノシリケート、コージェライト、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、酸化チタン、酸化スズ、ガリ砒素、炭化ケイ素、酸化クロム、ジルコニア、アルミナ、イットリア、窒化ケイ素、炭化繊維、ケイ酸カルシウム、結晶化ガラス、無定形炭素、炭化タングステン、炭化チタン、ケイ化鉄、黒鉛、チタニア、炭素繊維、シリカ、窒化アルミニウム、チタン酸バリウム、酸化亜鉛、硫化亜鉛、ガリウム燐、酸化タングステン、硫化カドミニウム、及びインジウム・スズ酸化物(ITO)から選ばれる1種以上からなることを特徴とするセラミックス原料の製造方法。
- 請求項1又は2において、上記樹脂成分は、メチルセルロース、ヒドロキシルプロピルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、澱粉、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキシド、ポリアクリル酸ソーダ、及びポリアクリルアミドから選ばれる1種以上からなることを特徴とするセラミックス原料の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれか一項において、上記セラミックス粒子分散液を濾過あるいは分級することにより、少なくとも粒径100μm以上のセラミックス粗大粒子を除去するセラミックス粒子分散液濾過・分級工程を行うことを特徴とするセラミックス原料の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれか一項において、上記樹脂成分分散液を濾過あるいは分級することにより、少なくとも粒径100μm以上の樹脂成分粗大粒子を除去する樹脂成分分散液濾過・分級工程を行うことを特徴とするセラミックス原料の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれか一項において、上記混合スラリーを濾過あるいは分級することにより、少なくとも粒径100μm以上のセラミックス粗大粒子及び樹脂成分粗大粒子を除去する混合スラリー濾過・分級工程を行うことを特徴とするセラミックス原料の製造方法。
- 少なくともセラミックス粒子と樹脂成分とを含有するセラミックス原料を成形してなるセラミックス成形体の製造方法において、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の製造方法によって得られる上記セラミックス原料に水を加えて混練することにより混練物を作製し、該混練物に1〜50MPaの圧力を加えた状態で上記混練物を成形することを特徴とするセラミックス成形体の製造方法。 - 請求項7において、上記セラミックス成形体は、ガスセンサに用いられることを特徴とするセラミックス成形体の製造方法。
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